KR101713031B1

KR101713031B1 - 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치

Info

Publication number: KR101713031B1
Application number: KR1020120105544A
Authority: KR
Inventors: 이진복; 유영민
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2012-09-24
Filing date: 2012-09-24
Publication date: 2017-03-07
Also published as: TW201415048A; TWI576600B; KR20140043958A; TWI509262B; CN103658054B; TW201604563A; CN103658054A

Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 픽앤플레이스장치에 구성되는 다수의 픽커모듈들 간의 간격을 조정하기 위한 캠판의 간격 조정 범위를 제한할 수 있는 제한부재를 더 구성시킴으로써 손쉽게 픽커모듈들 간의 간격 조정의 범위를 가변시킬 수 있도록 하는 기술이 개시된다.

Description

테스트핸들러용 픽앤플레이스장치{PICK AND PLACE APPARATUS FOR TEST HANDLER}

본 발명은 테스트핸들러에서 반도체소자를 파지한 후 요구되는 위치로 이동시키는 픽앤플레이스장치에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 고객트레이(CUSTOMER TRAY)로부터 테스트트레이(TEST TRAY)로 로딩(LOADING)한 후, 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 의해 테스트(TEST)될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 다시 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩(UNLOADING)하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.

테스트핸들러에는 위에서 언급한 고객트레이나 테스트트레이뿐만 아니라, 로딩부에 구성되는 얼라이너(ALIGNER)나 여분의 반도체소자들을 보관 적재하는 버퍼(BUFFER), 본 출원인의 선(先)출원된 기술(특허출원 10-2006-0007763호, 발명의 명칭 : 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 로딩방법)에서 소개된 바 있는 기동형로딩테이블, 언로딩부에 구성되는 소팅테이블(SORTING TABLE) 등과 같이 반도체소자를 적재 또는 정렬시키기 위한 다수의 적재요소나 정렬요소가 구비된다.

본 발명은 상기와 같이 서로 다른 요소들(고객트레이, 테스트트레이, 얼라이너, 버퍼, 기동형로딩테이블, 소팅테이블) 중 어느 두개의 요소들 사이에서 반도체소자들을 이송하기 위해, 일 측의 요소로부터 반도체소자를 파지한 후 타 측의 요소로 반도체소자를 이동시키는 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)에 관한 것이다. 대개의 경우, 픽앤플레이스장치가 로딩부에 구성된 경우에는 로더 또는 로딩 핸드라고 칭하기도 하며, 언로딩부에 구성된 경우에는 언로더 또는 언로딩 핸드라고 칭하기도 한다.

일반적으로 고객트레이는 반도체소자들의 보관을 위한 적재가 목적이기 때문에 가급적 많은 반도체소자들을 파지할 수 있도록 하기 위해 파지된 반도체소자들 간의 간격이 최소가 되도록 구비되며, 테스트레이는 적재된 반도체소자들이 테스트에 필요한 간격을 확보할 수 있도록 고객트레이에서보다 반도체소자들 간의 간격이 넓혀진 간격을 가지도록 구비된다. 즉, 고객트레이에서의 반도체소자들 간의 간격보다 테스트트레이에서의 반도체소자들 간의 간격이 더 넓게 되어 있다. 따라서 반도체소자들을 고객트레이로부터 테스트트레이로 로딩하거나, 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩할 경우에는 반도체소자들 간의 간격을 조정할 필요성이 있는 것이다. 더 나아가 고객트레이나 테스트트레이뿐만 아니라, 얼라이너나 버퍼, 기동형로딩테이블, 소팅테이블 등과 같은 다수의 적재요소들 간에 반도체소자의 이동이 있을 경우, 요구에 따라 반도체소자들 간의 간격 조정이 이루어질 필요성이 있다.

그러한 반도체소자의 간격조정은 픽앤플레이스장치에 의해 이루어진다. 즉, 픽앤플레이스장치에 의해 일 측 적재요소에서 반도체소자들을 파지한 후, 반도체소자들 간의 간격을 요구되는 간격으로 조정한 다음 타 측 적재요소로 반도체소자를 이동시켜 적재시키도록 구현하고 있는 것이다.

따라서 픽앤프레이스장치에는 픽커들 간의 간격을 조정하기 위한 간격조정장치가 구성되어 있다.

픽앤플레이스장치에서 반도체소자들 간의 간격을 조정하는 방식은 캠방식(대한민국 공개특허 10-2006-0062796호 참조, 배경기술1)과 링크방식(대한민국 등록특허 10-0628553호 참조, 배경기술2)이 있다.

한편, 테스트될 반도체소자들의 크기가 달라지는 경우에는 반도체소자들 간의 간격이 달라지기 때문에 픽커들 간의 간격도 가변되어야 한다.

따라서 캠방식을 취하는 배경기술1에 의하면 서보모터를 사용하여 간격조정용 캠홈이 경사지게 형성된 캠판을 임의의 위치로 이동시킬 수 있도록 하여 픽커들 간의 간격을 임의로 조정할 수 있게 하고 있다. 즉, 배경기술1은 테스트될 반도체소자의 크기가 변경된 경우에 서보모터의 제어신호를 가변시킴으로써 반도체소자들 간의 간격(픽커들 간의 간격)을 가변시킬 수 있도록 한 것이다.

그러나 배경기술1에 의한 경우 캠홈 간의 간격이 항상 일정해야 하기 때문에 캠판의 크기가 상하 방향으로 길어야 하며, 이에 따라 픽앤플레이스장치가 전체적으로 커지는 문제점이 발생한다.

또한, 링크방식을 취하는 배경기술2에 따르는 경우에도 픽커들 간의 간격을 가변하기 위해 피치 결정용 링 등을 교체해 주어야 하는 번거로움이 수반된다.

본 발명의 목적은 상기한 배경기술1 및 2와는 다른 풀리를 이용하여 픽커들 간의 간격을 조정할 수 있는 새로운 기술적 개념에 따른 픽앤플레이스장치에 관한 기술을 제공하는 것이다.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 형태에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치는, 반도체소자를 파지하며, 수평 이동이 가능한 N(N ≥ 2)개의 픽커; 상기 N개의 픽커의 수평 이동을 안내하기 위한 적어도 1개 이상의 안내 레일; 상기 N개의 픽커를 각각 상기 적어도 1개 이상의 안내 레일에 수평 이동이 가능하게 결합시키는 N개의 결합블럭; 상기 N개의 픽커들 상호 간의 간격을 조정하기 위한 간격 조정 장치; 및 상기 적어도 1개 이상의 안내레일 및 간격 조정 장치가 설치되는 설치 프레임; 을 포함하고, 상기 간격 조정 장치는, 각각 서로 다른 지름을 가지는 복수개의 벨트 감김 부분을 가지며, 회전 가능한 구동풀리; 상기 구동풀리의 회전에 연동하여 회전하며, 상기 구동풀리의 복수개의 벨트 감김 부분과 대응되는 복수개의 벨트 감김 부분을 가지는 피동풀리; 상기 구동풀리와 피동풀리의 상호 대응되는 벨트 감김 부분을 각각 양 측 회전 반환 구간으로 하여 회전하는 복수개의 벨트; 및 상기 구동풀리를 정역 회전시키는 구동원; 을 포함하며, 상기 픽커들 중 제1 군에 속한 L(1 ≤ L < N)개의 픽커와 상기 픽커들 중 제2 군에 속한 M(1 ≤ M < N, L + M = N)개의 픽커는 상기 구동풀리의 정회전 또는 역회전에 따라 이동 방향이 서로 반대가 되도록 상기 복수개의 벨트에 결합된다.

상기 복수개의 벨트 감김 부분의 지름비는 2씩 늘어나는 등차수열을 따른다.

또한, 위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2 형태에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치는, 반도체소자를 파지하는 N(N ≥ 2)개의 픽커; 상기 N개의 픽커 중 (N-1)개의 수평 이동을 안내하기 위한 적어도 1개 이상의 안내 레일; 상기 (N-1)개의 픽커를 각각 상기 적어도 1개 이상의 안내 레일에 수평 이동이 가능하게 결합시키는 (N-1)개의 결합블럭; 상기 N개의 픽커들 상호 간의 간격을 조정하기 위한 간격 조정 장치; 및 상기 적어도 1개 이상의 안내레일 및 간격 조정 장치가 설치되는 설치 프레임; 을 포함하고, 상기 간격 조정 장치는, 적어도 1개 이상의 벨트 감김 부분을 가지며, 회전 가능한 구동풀리; 상기 구동풀리의 회전에 연동하여 회전하며, 상기 구동풀리의 적어도 1개 이상의 벨트 감김 부분과 대응되는 적어도 1개 이상의 벨트 감김 부분을 가지는 피동풀리; 상기 구동풀리와 피동풀리의 적어도 1개 이상의 벨트 감김 부분을 회전 반환 구간으로 하여 회전하는 적어도 1개 이상의 벨트; 및 상기 구동풀리를 정역 회전시키는 구동원; 을 포함하며, 상기 픽커들 중 제1 군에 속한 L(1 ≤ L < N)개의 픽커와 상기 픽커들 중 제2 군에 속한 M(0 ≤ M < N, L + M + 1 = N)개의 픽커는 상기 구동풀리의 정회전 또는 역회전에 따라 이동 방향이 서로 반대가 되도록 상기 적어도 1개 이상의 벨트에 결합되며, 상기 픽커들 중 제1 군에 속한 픽커와 제2 군에 속한 픽커를 제외한 나머지 1개의 픽커는 상기 설치 프레임에 고정된다.

상기 구동풀리와 피동풀리는 각각 서로 다른 지름을 가지는 복수개의 벨트 감김 부분을 가지며, 복수개의 벨트가 각각 구동풀리와 피동풀리의 상호 대응되는 벨트 감김 부분을 양 측 회전 반환 구간으로 하여 설치된다.

상기 복수개의 벨트 감김 부분의 지름비는 1씩 늘어나는 등차수열을 따른다.

본 발명에 따르면 캠판을 사용하지 않고 벨트와 풀리만 이용하여 픽커간의 간격을 조정할 수 있기 때문에 픽커 간의 간격을 임의의 원하는 간격으로 쉽게 가변시킬 수 있을 뿐만 아니라 장치의 크기를 줄일 수 있는 효과도 있다.

도1a은 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도1b는 도1a의 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 개념적인 측면 절개도이다.
도2는 도1의 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 작동 상태도이다.
도3a 내지 도3d는 본 발명의 제1 실시예의 확장예1에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 구성을 개념적으로 도시하고 있다.
도4는 본 발명의 제1 실시예의 확장예2에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 구조도이다.
도5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 개략적인 정면도이다.
도6 내지 도8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 확장예들을 개념적으로 도시하고 있다.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명이나 구조에 대한 도시는 가급적 생략하거나 압축한다.

<제1 실시예>

도1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치(100, 이하 '픽앤플레이스장치'라 약칭 함)에 대한 개략적인 사시도이다.

도1a에서 참조되는 바와 같이, 제1 실시예에 따른 픽앤플레이스장치(100)는 2개의 픽커(111, 112), 2개의 안내 레일(121, 122), 2개의 결합블럭(131, 132), 간격 조정 장치(140) 및 설치 프레임(150)을 포함한다.

2개의 픽커(111, 112)는 반도체소자를 파지하기 위해 마련된다. 이러한 2개의 픽커(111, 112)는 수평 방향으로 이동 가능하게 구비된다.

2개의 안내 레일(121, 122)은 2개의 픽커(111, 112)의 수평 이동을 안내하기 위해 마련된다. 물론, 실시하기에 따라서 안내 레일은 픽앤플레이스장치에 구성되는 픽커들의 적절한 안내가 가능한 개수이면 되므로, 필요에 따라 1개 이상 구비되면 족할 수 있다.

2개의 결합블럭(131, 132)은 각각 2개의 픽커(111, 112)를 안내 레일(121, 122)에 수평 이동이 가능하게 결합시킨다. 즉, 픽커(111, 112)는 결합블럭(131, 132)을 매개하여 수평 이동이 가능하게 안내 레일(121, 122)에 결합된다.

간격 조정 장치(140)는 2개의 픽커(111, 112)들 상호 간의 간격을 조정한다. 이러한 간격 조정 장치(140)는 구동풀리(141), 피동풀리(142), 타이밍 벨트(143), 벨트 블럭(144a, 144b) 및 모터(145)를 포함한다.

구동풀리(141)는 모터(145)의 작동에 따라 회전한다. 이러한 구동풀리(141)는 1개의 벨트 감김 부분(141a)을 가진다.

피동풀리(142)는 구동풀리(141)와 일정 간격 이격되어 있으며 구동풀리(141)에 연동하여 회전한다. 이러한 피동풀리(142)도 구동풀리(141)의 1개의 벨트 감김 부분(141a)에 대응되는 1개의 벨트 감김 부분(142a)을 가진다.

타이밍 벨트(143)는 구동풀리(141)와 피동풀리(142)의 벨트 감김 부분(141a, 142a)을 회전 반환 구간으로 하여 회전한다. 이러한 타이밍 벨트(143)는 픽커(111, 112) 간의 정확한 간격 조정을 제어할 수만 있다면 어떠한 형태의 벨트로 대체되어도 좋다.

벨트 블럭(144a, 144b)은 결합블럭(131, 132)을 타이밍 벨트(143)의 적절한 지점에 결합시키기 위해 마련된다.

모터(145)는 구동풀리(141)를 정역 회전시키는 구동원으로서 마련된다.

한편, 제1 픽커(111)를 안내 레일(121, 122)에 결합시키고 있는 제1 결합블럭(131)은 타이밍 벨트(143)의 상측 지점에 결합되고, 제2 픽커(112)를 안내 레일(121, 122)에 결합시키고 있는 제2 결합블럭(132)은 타이밍 벨트(143)의 하측 지점에 결합된다. 즉, 제1 픽커(111)와 제2 픽커(112)는 각각 제1 결합블럭(131) 및 제2 결합블럭(132)을 매개로 타이밍 벨트(143)에 결합된다. 따라서 제1 픽커(111)와 제2 픽커(112)는 구동풀리(141)의 정회전 또는 역회전에 따라 이동 방향이 서로 반대가 된다.

참고로, 도1b는 도1a의 픽앤플레이스장치(100)에 대한 개념적인 측면 절개도로서, 측면에서 본 각 구성요소들의 결합 구조를 보여주고 있다. 도1b에서 참조되는 바와 같이 제1 결합블럭(131)과 픽커(111)는 설치 프레임(150)을 사이에 두고 픽커(111)의 이동 방향으로 길게 설치 프레임(150)에 형성된 통과구멍(150a, 150b)을 통해 볼트(B)에 의해 상호 결합된다. 그리고 타이밍 벨트(143)의 적절한 지점에 결합된 벨트 블럭(144a)은 결합블럭(131)에 결합되어 있다. 이하에서는 설명의 간결함을 위해 위와 같은 결합 구조를 생략한다.

한편, 도2는 위와 같은 픽앤플레이스장치(100)의 작동 상태를 보여주고 있다.

도2에서 참조되는 바와 같이 구동풀리(141)가 정회전하면 제1 픽커(111)와 제2 픽커(112)가 서로 멀어지는 방향으로 이동하므로 제1 픽커(111)와 제2 픽커(112) 간의 간격이 조정된다. 물론, 구동풀리(141)가 역회전하면 도2의 상태에서 도1의 상태로 전환된다. 그리고 만일 제1 픽커(111)와 제2 픽커(112) 간의 조정 간격을 가변시키고자 할 경우, 모터(145)의 정역 회전량을 제어함으로써 구동풀리(141)의 회전량만 조절하면 쉽게 제1 픽커(111)와 제2 픽커(112) 간의 조정 간격을 가변시킬 수 있다.

<제1 실시예의 확장예1>

도3a 및 도3b는 픽커(311 내지 314)가 4개 구비되는 예로서 제1 실시예의 확장예에 따른 픽앤플레이스장치(300)에 대한 개략적인 정면도이고, 도3c는 도3a의 픽앤플레이스장치(300)에 적용된 구동풀리(341)에 대한 개략적인 사시도이다.

도3a 및 도3b와 같은 확장예에서는 도3c에서 참조되는 바와 같이 구동풀리(341)에 2개의 벨트 감김 부분(341a, 341b)이 구비된다. 그리고 2개의 벨트 감김 부분(341a, 341b)은 서로 다른 지름을 가진다. 이 때 벨트 감김 부분의 지름비는 1 : 3이다. 즉, 도3d에서 참조되는 바와 같이 상호 간격이 'a'인 등 간격으로 제1 픽커 내지 제4 픽커(311 내지 314)가 제2 픽커(312)와 제3 픽커(313)의 중간에 있는 가상의 중심선(C)을 기준으로 상호간의 간격이 좁아지거나 넓어진다고 하면, 가상의 중심선에서 제2 픽커(312)와 제3 픽커(313) 까지의 거리는 a/2가 되고, 가상의 중심선에서 제1 픽커(311)와 제4 픽커(314) 까지의 거리는 3a/2가 된다. 따라서 구동풀리(341)의 제1 회전 감김 부분(341a)과 제2 회전 감김 부분(341b)의 지름비는 1 : 3 이 되어야 간격 조정 시에 각 픽커(311 내지 314)들이 서로 동일한 간격을 유지할 수 있게 된다.

여기서 동일한 이동방향을 가지는 픽커(311 및 312, 313 및 314)들을 군으로 묶을 때 제1 군에 속한 제1 픽커(311) 및 제2 픽커(312)의 이동방향과 제2 군에 속한 제3 픽커(313) 및 제4 픽커(314)의 이동 방향은 서로 반대이다.

물론, 피동풀리(342)의 경우에도 구동풀리에 있는 2개의 벨트 감김 부분(341a, 341b)에 각각 대응되는 2개의 벨트 감김 부분(342a, 342b)이 구비된다.
또한, 픽커(311 내지 314)들을 4개의 안내레일에 선택적으로 결합시키는 4개의 결합블럭들 중 서로 쌍을 이루며 인접한 2개의 결합블럭 중 하나는 '기역(ㄱ)'자 형태이고 다른 하나는 '니은(ㄴ)'자 형태이거나 또는 '역기역(「)'자나 '역니은(」)'자 형태이다. 여기서 서로 쌍을 이루는 '기역'자와 '니은'자 형태의 결합블럭 또는 '역기역'자와 '역니은'자 형태의 결합블럭은 각각 서로 다른 안내레일에 결합되어 있다. 즉, '기역'자 형태의 결합블럭과 '역기역'자 형태의 결합블럭은 4개의 안내레일 중 상측 2개의 안내레일에 결합되고, '니은'자 형태의 결합블럭과 '역니은'자 형태의 결합블럭은 4개의 안내레일 중 하측 2개의 안내레일에 결합된다.

<제1 실시예의 확장예2>

도4는 픽커(411 내지 418)가 8개 구비되는 예로서 제1 실시예의 확장예에 따른 픽앤플레이스장치(400)에 대한 개략적인 구조도이다.

도4와 같은 확장예에서는 구동풀리(441)에 4개의 벨트 감김 부분(441a 내지 441d)이 구비된다. 물론 확장예1에서와 마찬가지로 제4 픽커(414)와 제5 픽커(415)의 중간에 있는 가상의 중심선(C)과 각각의 픽커(411 내지 418)들 간의 거리를 기준으로 계산해 보면 구동풀리(441)와 피동풀리(442)에 있는 4개의 벨트 감김 부분(441a 내지 441d / 442a 내지 442d)은 1 : 3 : 5 : 7인 지름비를 가진다.

즉, 본 발명의 제1 실시예가 확장된 경우에서처럼 픽커들이 모두 수평 이동되게 설치된 경우에는 구동풀리와 피동풀리의 벨트 감김 부분의 지름비가 2씩 늘어나는 등차수열을 가지도록 구성된다.

여기서 지름이 가장 작은 벨트 감김 부분은 장치의 소형화를 고려할 때 그 지름이 작을수록 더 좋을 수 있지만, 타이밍 벨트의 곡률 반경 등을 고려하여 정할 필요가 있다.

<제2 실시예>

도5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 픽앤플레이스장치(500)에 대한 개략적인 정면도이다.

도5에서 참조되는 바와 같이, 제2 실시예에 따른 픽앤플레이스장치(500)는 2개의 픽커(511, 512), 2개의 안내 레일(521, 522), 결합블럭(531, 532), 간격 조정 장치(540) 및 설치 프레임(550)을 포함한다.

2개의 픽커(511, 512)는 반도체소자를 파지하기 위해 마련된다. 이러한 2개의 픽커(511, 512) 중 제1 픽커(511)는 수평 방향으로 이동 가능하게 구비된다.

2개의 안내 레일(121, 122)은 제1 픽커(511)의 수평 이동을 안내하기 위해 마련된다.

결합블럭(531)은 제1 픽커(511)를 안내 레일(521, 522)에 수평 이동이 가능하게 결합시킨다.

간격 조정 장치(540)는 제1 픽커(511)와 제2 픽커(512) 간의 간격을 조정한다. 이러한 간격 조정 장치(540)는 구동풀리(541), 피동풀리(542), 타이밍 벨트(543) 및 모터(미도시)를 포함한다.

구동풀리(541)는 모터의 작동에 따라 회전한다. 이러한 구동풀리(541)는 1개의 벨트 감김 부분(541a)을 가진다.

피동풀리(542)는 구동풀리(541)와 일정 간격 이격되어 있으며 구동풀리(541)에 연동하여 회전한다. 이러한 피동풀리(542)도 구동풀리(541)의 1개의 벨트 감김 부분(541a)에 대응되는 1개의 벨트 감김 부분(542a)을 가진다.

타이밍 벨트(543)는 구동풀리(541)와 피동풀리(542)의 벨트 감김 부분(541a, 542a)을 회전 반환 구간으로 하여 회전한다.

모터는 구동풀리(541)를 정역 회전시킨다.

한편, 제1 픽커(511)를 안내 레일(521, 522)에 결합시키고 있는 결합블럭(531)은 타이밍 벨트(543)의 상측 지점에 결합되고, 제2 픽커(512)는 설치 프레임(550)에 고정된다.

따라서 구동풀리(541)가 회전하면 제1 픽커(511)만이 수평 방향으로 이동하게 되면서 제1 픽커(511)와 제2 픽커(512) 간의 간격이 조정된다.

<제2 실시예의 확장예1>

도6은 픽커(611 내지 613)가 3개 구비되는 예로서 제2 실시예의 확장예에 따른 픽앤플레이스장치(600)에 대한 개략적인 구조도이다.

본 확장예에서는 제1 픽커(611)와 제3 픽커(613) 사이에 있는 제2 픽커(612)는 고정되어 있고, 제1 픽커(611)와 제3 픽커(613)만이 구동풀리(641)의 회전에 따라 제2 픽커(612)를 기준으로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하면서 제1 픽커(611) 내지 제3 픽커(613) 간의 간격이 조정된다.

<제2 실시예의 확장예2>

도7은 픽커(711 내지 715)가 5개 구비되는 예로서 제2 실시예의 확장예에 따른 픽앤플레이스장치(700)에 대한 개략적인 구조도이다.

본 확장예에서는 중간에 있는 제3 픽커(713)를 기준으로 제1 픽커(711) 및 제2 픽커(712)와 제4 픽커(714) 및 제5 픽커(715)가 가까워지거나 멀어지는 방향으로 수평 이동하면서 픽커(711 내지 715)들 상호간의 간격이 조정된다.

이 때, 인접하는 픽커(711 내지 715)들 간의 간격이 'a'인 등 간격을 이루고 있고, 제3 픽커(713)가 고정되어 있기 때문에 구동풀리(741)와 피동풀리(742)에 각각 구비되는 서로 다른 지름을 가지는 벨트 감김 부분(741a, 441b / 742a. 742b)의 지름비는 1 : 2가 되어야 한다. 그리고 더 나아가 픽커가 7개 구비된 경우나 픽커가 9개 구비된 경우 등과 같이 중간에 있는 픽커가 고정될 경우에는 벨트 감김 부분의 지름비가 1 : 2 : 3 :...과 같이 1씩 늘어나는 등차수열을 이룬다.

즉, 하나의 픽커가 설치 프레임에 고정되는 제2 실시예는 픽커가 홀수개로 구비될 때 더 바람직하게 적용될 수 있다.

물론, 도8에서와 같이 픽커(811 내지 818)가 짝수개로 구비될 때에도 제2 실시예는 바람직하게 적용될 수 있으며, 이때에도 구동풀리(841)와 피동풀리(842)의 벨트 감김 부분의 지름비는 1씩 늘어나는 등차수열을 이룬다.

한편, 위와 같은 제2 실시예에 따르면 하나의 픽커가 설치 프레임에 고정되기 때문에 픽커들의 총 개수(N)보다 1개 적은 개수(N-1)의 결합블럭이 구비된다. 따라서 (N-1)개의 픽커들만이 타이밍 벨트 측에 결합된다.

참고로 구동풀리의 지름비를 다양하게 변화시키면 각 픽커들 간의 간격이 등 간격이 아니어야 할 경우에도 본 발명은 바람직하게 적용될 수 있을 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

100, 500 : 픽앤플레이스장치
111, 112, 511, 512 : 픽커
121, 122, 521, 522 : 안내 레일
131, 132, 531 : 결합블럭
140, 540 : 간격 조정 장치
141, 541 : 구동풀리
141a, 541a : 벨트 감김 부분
142, 542 : 피동풀리
142a, 542a : 벨트 감김 부분
143, 543 : 타이밍 벨트
144a, 144b : 벨트 블럭
145 : 모터
150, 550 : 설치 프레임

Claims

삭제
반도체소자를 파지하며, 수평 이동이 가능한 픽커들;
상기 픽커들 상호 간의 간격을 조정하기 위한 간격 조정 장치;
상기 간격 조정 장치의 작동에 따라 이동함으로써 상호 간의 간격이 조정되는 픽커들의 수평 이동을 안내하기 위한 다수의 안내 레일;
하나의 픽커 당 하나씩 구비되며, 상기 픽커들을 상기 다수의 안내 레일 측에 수평 이동이 가능하도록 결합시키기 위해 마련되는 결합블럭들; 및
상기 간격 조정 장치 및 안내레일이 설치되는 설치 프레임; 을 포함하고,
상기 간격 조정 장치는,
각각 서로 다른 지름을 가지는 복수개의 벨트 감김 부분을 가지며, 회전 가능한 구동풀리;
상기 구동풀리의 회전에 연동하여 회전하며, 상기 구동풀리의 복수개의 벨트 감김 부분과 대응되는 복수개의 벨트 감김 부분을 가지는 피동풀리;
상기 구동풀리와 피동풀리의 상호 대응되는 벨트 감김 부분을 각각 양 측 회전 반환 구간으로 하여 회전하는 복수개의 벨트; 및
상기 구동풀리를 정역 회전시키는 구동원; 을 포함하며,
상기 간격 조정 장치의 작동에 따라 이동하는 픽커들 중 일부의 픽커들과 나머지 다른 일부의 픽커들이 상기 구동풀리의 정회전 또는 역회전에 따라 이동 방향이 서로 반대가 되도록 상기 복수개의 벨트에 결합되고,
상기 결합블럭들 중 서로 쌍을 이루며 인접한 2개의 결합블럭 중 하나는 '기역(ㄱ)'자 형태이고 다른 하나는 '니은(ㄴ)'자 형태이거나, 또는 하나는 '역기역(「)'자 형태이고 다른 하나는 '역니은(」)'자 형태이며,
상기 '기역'자와 '니은'자 형태의 결합블럭 또는 상기 '역기역'자와 '역니은'자 형태의 결합블럭은 서로 다른 안내레일에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제 2항에 있어서,
상기 안내레일들은 4개가 구비되고,
상기 '기역'자 형태의 결합블럭과 상기 '역기역'자 형태의 결합블럭은 상측 2개의 안내레일에 결합되고, 상기 '니은'자 형태의 결합블럭과 상기 '역니은'자 형태의 결합블럭은 하측 2개의 안내레일에 결합되는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 설치 프레임에는 상기 픽커들의 이동 방향으로 길게 형성된 통과구멍을 가지며,
상기 픽커들과 상기 결합블럭들은 상기 설치 프레임을 사이에 두고 마련되되, 상기 통과구멍을 통해 볼트에 의해 상호 결합되는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
삭제