KR20200000252A - 이송툴 - Google Patents

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KR20200000252A
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유홍준
정시환
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(주)제이티
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Abstract

본 발명은, 이송툴에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자를 픽업하는 픽커들 사이의 간격을 조절할 수 있는 이송툴에 관한 것이다.
본 발명은 진공압에 의해 소자(1)를 픽업하는 복수의 픽커(100)들과, 상기 복수의 픽커(100)들이 제1방향을 따라 이동가능하게 결합되는 픽커가이드부(202)를 포함하는 본체부(200)와, 상기 복수의 픽커(100)들 사이의 상기 제1방향 간격을 조절하는 간격조절부(300)를 포함하며, 상기 간격조절부(300)는, 상기 복수의 픽커(100)들 중 양 끝단에 위치된 한 쌍의 픽커(100)를 한 쌍의 기준픽커(102)라고 할 때, 상기 한 쌍의 기준픽커(102)를 상기 픽커가이드부(202)를 따라 이동시켜 상기 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 상기 제1방향 간격을 조정하는 제1간격조정부(310)와, 상기 한 쌍의 기준픽커(102) 사이에 상기 픽커(100)들이 등간격으로 위치되도록 상기 픽커(100)들을 이동시키는 제2간격조정부(320)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10)을 개시한다.

Description

이송툴{Transfer tool}
본 발명은, 이송툴에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자를 픽업하는 픽커들 사이의 간격을 조절할 수 있는 이송툴에 관한 것이다.
반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 반도체소자 검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.
소자에 대한 검사는 메모리소자, CPU, GPU 등과 같은 비메모리소자, LED소자, 태양광소자 등 소자의 종류에 따라서 실온환경에서 수행하는 실온검사, 고온환경에서 수행되는 가열검사 등 다양한 검사들이 있다.
또한 소자에 대한 검사는 패키징 공정을 마친 후에 수행되는 것이 일반적이나, 반도체 공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼 수준에서 검사되는 경우도 있다.
한편 소자에 대한 검사의 종류, 검사결과가 다양해지면서, 굿(Good) 및 리젝(Reject)으로 분류되기보다는, 굿(Good) 및 리젝(Reject)에 더하여 재검사 등 그 분류등급이 많아지고 굿(Good) 이외의 분류등급으로 분류되는 비율이 높아지고 있는 실정이다.
상기와 같이 소자의 검사, 분류는 소자핸들러에 의하여 수행되며, 소자핸들러는 일반적으로 웨이퍼, 트레이 등에 적재되어 복수의 소자들을 로딩하고, 로딩된 소자들을 이송툴에 의하여 픽업하여 이송하면서 검사, 분류공정 등을 수행한다.
한편 이송툴은, 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 복수의 픽커들을 구비하여, X축방향 선형이동, X-Y축 선형이동, 회전이동 등 다양한 이동에 의하여 소자를 이송하며 소자의 이송효율을 고려하여 복수개의 픽커들을 포함함이 일반적이다.
그리고 픽커는 일반적으로 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로가 형성되고 일단에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되는 로드와, 로드를 상하방향으로 이동시키기 위한 액추에이터가 구비된다.
액추에이터는 공압으로 작동하는 구성으로서, 공압이 작용되는 공간을 제공하는 실린더와, 공압에 의하여 실린더의 내부에서 슬라이드 이동되는 피스톤으로 구성된다. 그리고, 이와 같은 액추에이터의 피스톤과 로드가 링크등을 통하여 연결되며, 이에 따라, 실린더의 내부에서 피스톤이 슬라이드 이동되는 것에 의하여 로드가 상하방향으로 이동된다.
한편 복수의 픽커들을 구비한 이송툴은 소자의 픽업에 있어 웨이퍼, 트레이, 테스트소켓 등에 따라서 적재된 소자들의 간격이 달라 이를 위하여 복수의 픽커들 간의 간격을 조절하는 피치조절부를 구비할 수 있다.
종래의 이송툴의 피치조절부는, 링크부재들을 이용하는 방식, 복수의 슬롯들이 형성된 캠을 이용하는 방식이 적용되었는데, 간격조절의 정밀도가 떨어지거나 픽커의 흔들림이 발생되는 문제점이 있다.
최근 처리대상이 되는 소자의 크기가 작아지고 처리속도가 증가하면서 정확한 소자핸들링을 위해 단순한 구조로 정밀한 피치조절을 빠르게 수행할 수 있는 새로운 방식이 요구되고 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점 및 필요성을 인식하여 복수의 픽커들 사이의 간격조절 및 소자핸들링을 정밀하고 빠르게 수행할 수 있는 이송툴을 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 진공압에 의해 소자(1)를 픽업하는 복수의 픽커(100)들과, 상기 복수의 픽커(100)들이 제1방향을 따라 이동가능하게 결합되는 픽커가이드부(202)를 포함하는 본체부(200)와, 상기 복수의 픽커(100)들 사이의 상기 제1방향 간격을 조절하는 간격조절부(300)를 포함하는 이송툴(10)을 개시한다.
상기 간격조절부(300)는, 상기 복수의 픽커(100)들 중 양 끝단에 위치된 한 쌍의 픽커(100)를 한 쌍의 기준픽커(102)라고 할 때, 상기 한 쌍의 기준픽커(102)를 상기 픽커가이드부(202)를 따라 이동시켜 상기 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 상기 제1방향 간격을 조정하는 제1간격조정부(310)와, 상기 한 쌍의 기준픽커(102) 사이에 상기 픽커(100)들이 등간격으로 위치되도록 상기 픽커(100)들을 이동시키는 제2간격조정부(320)를 포함할 수 있다.
상기 제1간격조정부(310)는, 회전구동부에 의해 회전구동되는 구동풀리(312)와, 상기 구동풀리(312)에 대응되어 설치되는 종동풀리(314)와, 상기 구동풀리(312) 및 상기 종동풀리(314)에 감기며 상기 한 쌍의 기준픽커(102)와 고정결합되는 회전부재(316)를 포함할 수 있다.
상기 제2간격조정부(320)는, 상기 복수의 픽커(100)들에 각각 결합되는 복수의 제1베어링부(322)들과, 상기 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되며, 상기 제1베어링부(322)들이 등간격으로 위치되도록 상기 제1베어링부(322)들 사이로 진입하는 복수의 쐐기부(324)들을 포함할 수 있다.
상기 복수의 제1베어링부(322)들은, 서로 같은 크기로 형성되며, 서로 같은 높이에서 대응되는 픽커(100)와 결합될 수 있다.
상기 복수의 쐐기부(324)들은, 상기 복수의 제1베어링부(322)들의 상측에 위치되는 복수의 상부쐐기부(324a)들과, 상기 복수의 제1베어링부(322)들의 하측에 위치되는 복수의 하부쐐기부(324b)들을 포함할 수 있다.
상기 제2간격조정부(320)는, 상기 복수의 상부쐐기부(324a)들이 상기 제1방향으로 이동가능하게 결합되며, 상기 복수의 제1베어링부(322)들 상측에서 상기 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되는 상부이동본체부(326)와, 상기 복수의 하부쐐기부(324b)들이 상기 제1방향으로 이동가능하게 결합되며, 상기 복수의 제1베어링부(322)들 하측에서 상기 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되는 하부이동본체부(328)를 포함할 수 있다.
상기 상부쐐기부(324a) 및 상기 하부쐐기부(324b)는, 상기 복수의 제1베어링부(322)들 사이에 교번하여 위치되도록 설치될 수 있다.
상기 상부쐐기부(324a) 및 상기 하부쐐기부(324b)는, 서로 같은 형상 및 크기로 형성되며, 상기 제1베어링부(322)를 기준으로 상하 같은 거리에 위치될 수 있다.
상기 제2간격조정부(320)는, 상기 상부이동본체부(236)와 상기 하부이동본체부(238)를 서로 반대방향으로 이동시키며, 상기 상부이동본체부(236)와 상기 하부이동본체부(238)의 이동시점 및 이동간격을 동기화하는 동기구동부(329)를 포함할 수 있다.
상기 동기구동부(329)는, 상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)의 일측에 설치되는 제1동기구동부(410)와, 상기 상부이동본체부(236) 및 상기 하부이동본체부(238)의 타측에 설치되는 제2동기구동부(420)를 포함할 수 있다.
상기 제1동기구동부(410)는, 상하방향으로 배치되며, 상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)와 각각 서로 다른 측에서 결합되는 제1회전부재(411)가 감기는 제1풀리부(412, 414)를 포함할 수 있다.
상기 제2동기구동부(420)는, 상하방향으로 배치되며, 상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)와 각각 서로 다른 측에서 결합되는 제2회전부재(421)가 감기는 제2풀리부(422, 424)를 포함할 수 있다.
상기 복수의 제1베어링부(322)들에 상기 복수의 쐐기부(324)들이 밀착되어 가압력에 의해 상기 복수의 제1베어링부(322)들의 위치가 고정되도록 상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)를 상기 복수의 제1베어링부(322) 측으로 가압하는 가압부를 추가로 포함할 수 있다.
상기 쐐기부(324)는, 상기 제1베어링부(322)와 접촉 시 상대회전되는 제2베어링부일 수 있다.
본 발명에 따른 이송툴은, 종래의 링크방식이나 캠방식이 아닌 복수의 픽커들 사이에 쐐기부재를 진입시켜 픽커들 사이의 간격을 벌리는 쐐기형구조를 적용함으로써, 복수의 픽커들 사이의 간격조절 및 소자핸들링을 정밀하고 빠르게 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송툴을 보여주는 정면도이다.
도 2a 내지 도 2f는, 도 1의 이송툴의 구성 일부를 보여주는 정면도로서, 픽커 사이의 간격을 가변하기 위한 이송툴의 동작과정을 보여주는 도면이다,
도 3은, 도 1의 Ⅲ-Ⅲ방향 단면도이다.
도 4는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송툴을 보여주는 단면도이다.
이하 본 발명에 따른 이송툴에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이송툴(10)은, 진공압에 의해 소자(1)를 픽업하는 복수의 픽커(100)들과, 복수의 픽커(100)들이 제1방향을 따라 이동가능하게 결합되는 픽커가이드부(202)를 포함하는 본체부(200)와, 복수의 픽커(100)들 사이의 제1방향 간격을 조절하는 간격조절부(300)를 포함한다.
상기 픽커(100)는, 진공압에 의해 소자(1)를 픽업하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 픽커(100)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 하단에 소자(1)가 흡착되는 흡착헤드(112)와, 흡착헤드(101)와 결합되며 후술하는 본체부(200)에 지지되는 바디부(114)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 픽커(100)는, 후술하는 본체부(200)에 지지된 상태로 소자(1)를 진공압에 의해 픽업할 수 있다면 다양한 구성이 가능하며, 예로서, 한국공개특허 제10-2016-0109363호의 픽커와 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
각 바디부(114)는, 복수의 픽커(100)들이 간격을 두고 연직면 상 수평방향(이하, 제1방향, 도면 기준 X축방향)을 따라 일렬로 배치되도록 본체부(200)에 이동가능하게 결합될 수 있다.
상기 본체부(200)는, 복수의 픽커(100)들이 제1방향을 따라 이동가능하게 설치되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 본체부(200)는, 구조물(미도시)에 설치되어 픽커(100), 후술하는 간격조절부(300), 간격조절부(300)의 구동을 위한 구동부 등이 설치되는 구성으로, 강성을 가지는 직사각형 형태의 판상부재일 수 있다.
예로서, 상기 본체부(200)는, 일면에 제1방향을 따라 형성되는 픽커가이드부(202)를 포함할 수 있다.
상기 픽커가이드부(202)는, 복수의 픽커(100)들이 간격을 두고 일렬로 배치되며 제1방향을 따라 이동가능하게 결합되는 가이드로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 픽커가이드부(202)는, 본체부(200) 중 픽커(100)를 향하는 전면의 상단부 및 하단부에 제1방향으로 배치되어 픽커(100)의 상단 및 하단에 각각 결합되는 상부가이드부(204) 및 하부가이드부(206)를 포함할 수 있다.
도시하지는 않았으나, 상기 상부가이드부(204) 및 하부가이드부(206)는, 픽커(100)들 사이의 간섭을 최소화 하기 위하여 각각 한쌍으로 설치될 수 있다. 이때, 상기 복수의 픽커(100)들은, 한 쌍의 상부가이드부(204) 및 한 쌍의 하부가이드부(206)에 교번(교차)하여 결합될 수 있다.
또한, 상기 픽커가이드부(202)는, 상부가이드부(202) 및 하부가이드부(204)에 이동가능하게 결합되는 이동블럭(205)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 픽커(100)는, 상단 및 하단에서 각각 이동블록(205)과 고정결합됨으로써 상부가이드부(204) 및 하부가이드부(206)를 따라 이동될 수 있다.
이때, 상기 본체부(200)의 상단부 및 하단부는, 도 3에 도시된 바와 같이, 본체부(200)와 픽커(100) 사이에 후술하는 상부이동본체부(326) 및 하부이동본체부(328)이 설치되도록 픽커(100)를 향하는 방향으로 돌출형성될 수 있다.
특히, 상기 본체부(200)는, 본체부(200)의 자중을 증가시키지 않으면서 상단부 및 하단부가 픽커(100)를 향해 돌출되도록, 상단부 및 하단부의 경계부분이 픽커지지부(100)를 향해 이중으로 절곡될 수 있다.
그에 따라, 본체부(200)의 상단부 및 하단부 사이에 후술하는 간격조절부(300)가 설치되는 공간이 확보될 수 있다.
상기 간격조절부(300)는, 복수의 픽커(100)들 사이의 제1방향(도면기준 X축방향) 간격을 조절하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 간격조절부(300)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 픽커(100)들 중 양 끝단에 위치된 한 쌍의 픽커(100)를 한 쌍의 기준픽커(102)라고 할 때, 한 쌍의 기준픽커(102)를 픽커가이드부(202)를 따라 이동시켜 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 제1방향 간격을 조정하는 제1간격조정부(310)와, 기준픽커(102) 사이에 픽커(100)들이 등간격으로 위치되도록 픽커(100)들을 이동시키는 제2간격조정부(320)를 포함할 수 있다.
상기 제1간격조정부(310)는, 양 끝단에 위치된 한 쌍의 기준픽커(102)를 서로 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동시켜 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 제1방향 간격을 조정하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다. 이때, 기준픽커(102)를 제외한 나머지 픽커(102)들은 고정되지 않고 외력에 의해 픽커가이드부(202)를 따라 자유롭게 이동될 수 있다.
예로서, 상기 제1간격조정부(310)는, 회전구동부에 의해 회전구동되는 구동풀리(312)와, 구동풀리(312)에 대응되어 설치되는 종동풀리(314)와, 구동풀리(312) 및 종동풀리(314)에 감기며 한 쌍의 기준픽커(102)와 고정결합되는 회전부재(316)를 포함할 수 있다.
상기 구동풀리(312) 및 종동풀리(314)는, 이송툴(10)의 양단에 제1방향(X축방향)으로 배치될 수 있다.
상기 회전부재(316)는, 벨트 또는 와이어로 구성되어 구동풀리(312) 및 종동풀리(314)에 미리 설정된 장력을 가지도록 감길 수 있다.
상기 회전부재(316)는, 한 쌍의 기준픽커(102)와 각각 고정결합될 수 있다.
이때, 상기 한 쌍의 기준픽커(102) 중 하나는 고정부재(317)를 통해 회전부재(316)의 상측에 결합되고, 나머지 하나는 고정부재(317)를 통해 회전부재(316)의 하측에 결합될 수 있다.
상기 한 쌍의 기준픽커(102)가 회전부재(316)의 서로 다른 측에 고정결합됨으로써, 구동풀리(312)의 회전시 한 쌍의 기준픽커(102)가 서로 다른 방향으로 이동됨으로써, 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 간격이 조정될 수 있다.
예로서, 도 1을 참조하면, 구동풀리(312) 및 종동풀리(314)가 반시계방향으로 회전하면 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 간격이 증가하고, 구동풀리(312) 및 종동풀리(314)가 시계방향으로 회전하면 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 간격이 증가될 수 있다.
상기 제2간격조정부(320)는, 제1간격조정부(310)를 통해 위치가 조정된 한 쌍의 기준픽커(102)를 기준으로, 한 쌍의 기준픽커(102) 사이에 픽커(100)들을 등간격으로 위치시키는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제2간격조정부(320)는, 복수의 픽커(100)들에 각각 결합되는 복수의 제1베어링부(322)들과, 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되며, 제1베어링부(322)들이 등간격으로 위치되도록 상기 제1베어링부(322)들 사이로 진입하는 복수의 쐐기부(324)들을 포함할 수 있다.
상기 복수의 제1베어링부(322)들은, 서로 같은 크기로 형성되며, 서로 같은 높이(H)에서 대응되는 픽커(100)와 고정결합될 수 있다.
또한, 상기 복수의 제1베어링부(322)들은, 도 1에 도시된 바와 같이, 원형의 베어링일 수 있고, 회전 가능하게 설치될 수 있음은 물론이다.
상기 복수의 쐐기부(324)들은, 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되며, 제1베어링부(322)들이 등간격으로 위치되도록 제1베어링부(322)들 사이로 진입하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
이때, 상기 제2간격조정부(320)는, 복수의 쐐기부(324)들이 설치되는 이동본체부(326, 328)를 포함할 수 있다.
상기 이동본체부(326, 328)는, 복수의 쐐기부(324)들과 결합되고 상하이동에 의해 쐐기부(324)가 제1베어링부(322)들 사이에 진입될 수 있도록 하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 이동본체부(326, 328)는, 판상의 플레이트로서, 본체부(200)와 픽커(100) 사이의 공간에 설치될 수 있다.
또한, 상기 이동본체부(326, 328)는, 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 본체부(200)에 결합될 수 있다.
예로서, 상기 이동본체부(326, 328)는, 본체부(200)의 양단에 상하방향으로 구비되는 리니어가이드(208)에 이동가능하게 결합될 수 있다.
이때, 복수의 쐐기부(324)들은, 이동본체부(326, 328)에 대한 상하위치는 고정하면서 제1방향 이동은 가능하게 이동본체부(326, 328)에 결합될 수 있다.
이를 위해, 상기 이동본체부(326, 328)에는 쐐기부(324)의 제1방향 이동을 위해 제1방향으로 형성되는 가이드슬롯(327)이 형성될 수 있다.
상기 복수의 쐐기부(324)들은, 서로 같은 형상 및 크기로 형성되며, 제1베어링부(322)를 기준으로 상하 같은 거리에 위치되도록 이동본체부(326, 328)에 결합됨이 바람직하다.
예로서, 상기 쐐기부(324)는, 원형의 제2베어링부일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형상 및 크기로 구성될 수 있음은 물론이다. 상기 쐐기부(324)가 제2베어링부로 구성되는 경우, 제1베어링부(322)와 접촉 시 상대회전될 수 있다.
한편, 상기 이동본체부(326, 328)가 본체부(200)와 픽커(100) 사이에 설치되고 픽커(100)와 본체부(200)의 결합면의 이면(반대면) 측에 제1베어링부(322)가 설치되는 경우, 쐐기부(324)는 이동본체부(326, 328)로부터 이웃하는 픽커(100) 사이를 통과하여 연장되는 연결부재(325)를 통해 제1베어링부(322)와 접촉가능한 위치에 배치될 수 있다.
따라서, 상기 픽커(100)가 제1방향으로 이동하는 경우, 픽커(100)가 자연스럽게 연결부재(325) 이동방향으로 밀어서 대응되는 쐐기부(324)도 함께 이동될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 쐐기부(324)들은, 복수의 제1베어링부(322)들의 상측에 위치되는 복수의 상부쐐기부(324a)들과, 복수의 제1베어링부(322)들의 하측에 위치되는 복수의 하부쐐기부(324b)들을 포함할 수 있다.
상기 상부쐐기부(324a) 및 상기 하부쐐기부(324b)는, 이웃하는 제1베어링부(322) 사이에 하나의 쐐기부(324) 만이 진입되도록, 복수의 제1베어링부(322)들 사이에 교번하여 위치됨이 바람직하다.
예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 8개의 제1베어링부(322)가 8개의 픽커(100)에 설치되어 있는 경우를 가정하면, '첫 번째 픽커(100)와 두 번째 픽커(100) 사이', '세 번째 픽커(100)와 네 번째 픽커(100) 사이', '다섯 번째 픽커(100) 및 여섯 번째 픽커(100) 사이' 및 '일곱 번째 픽커(100)와 여덟 번째 픽커(100) 사이' 에는 상부쐐기부(324a)가 대응되어 설치되고, '두 번째 픽커(100)와 세 번째 픽커(100) 사이', '네 번째 픽커(100)와 다섯 번째 픽커(100) 사이', '여섯 번째 픽커(100) 및 일곱 번째 픽커(100) 사이' 에는 하부쐐기부(324b)가 대응되어 설치될 수 있다.
이 경우에도, 상기 상부쐐기부(324a) 및 상기 하부쐐기부(324b)는, 서로 같은 형상 및 크기로 형성되며, 제1베어링부(322)를 기준으로 상하 같은 거리에 위치되도록 설치됨이 바람직하다.
이때, 상기 제2간격조정부(320)는, 상부쐐기부(324a)가 결합되는 상부이동본체부(326) 및 하부쐐기부(324b)가 결합되는 하부이동본체부(328)를 포함할 수 있다.
상기 상부이동본체부(326)는, 복수의 상부쐐기부(324a)들이 제1방향으로 이동가능하게 결합되며, 복수의 제1베어링부(322)들 상측에서 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되는 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 상술한 이동본체부와 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
상기 하부이동본체부(328)는, 복수의 하부쐐기부(324b)들이 제1방향으로 이동가능하게 결합되며, 복수의 제1베어링부(322)들 하측에서 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되는 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 상술한 이동본체부와 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
상기 상부이동본체부(326)는 상부쐐기부(324a)를 제1베어링부(322)들 사이에 진입시키기 위해 하측방향으로 이동이 구동되며, 상기 하부이동본체부(326)는 하부쐐기부(324b)를 제1베어링부(322)들 사이에 진입시키기 위해 상측방향으로 이동이 구동될 수 있다.
그런데, 이동본체부가 단일부재로 이루어지지 않고, 본 실시예와 같이 상부이동본체부(326)와 하부이동본체부(328)로 구분되어 구성되는 경우, 상부이동본체부(326)와 하부이동본체부(328)의 이동시점 및 이동거리를 동기화 하지 않으면 쐐기부(324)가 제1베어링부(322) 사이로 진입한다고 하더라도 복수의 제1베어링부(322)들 사이 간격이 등간격으로 조정되는 것을 보장하기 어렵다.
이에, 상기 제2간격조정부(320)는, 상부이동본체부(236)와 하부이동본체부(238)를 서로 반대방향으로 이동시키며, 상부이동본체부(236)와 하부이동본체부(238)의 이동시점 및 이동간격을 동기화하는 동기구동부(329)를 포함할 수 있다.
예로서, 상기 동기구동부(329)는, 상부이동본체부(326) 및 하부이동본체부(328)의 일측에 설치되는 제1동기구동부(410)와, 상부이동본체부(236) 및 하부이동본체부(238)의 타측에 설치되는 제2동기구동부(420)를 포함할 수 있다.
상기 제1동기구동부(410)는, 상하방향으로 배치되며, 상부이동본체부(326) 및 하부이동본체부(328)와 각각 서로 다른 측에서 결합되는 제1회전부재(411)가 감기는 제1풀리부(412, 414)를 포함할 수 있다.
상기 제1풀리부(412, 414)는, 상하방향으로 배치되는 한 쌍의 제1풀리부재(412, 414)를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 제1풀리부재(412, 414)에는 상부이동본체부(326) 및 하부이동본체부(328)와 각각 결합되는 제1회전부재(411)가 감길 수 있다.
이때, 상기 상부이동본체부(326)와 상기 하부이동본체부(328)는, 클램핑부재(415)를 통해 제1풀리부(412, 414)를 기준으로 제1회전부재(411)의 서로 다른 측에 결합될 수 있다. 그리고, 상기 상부이동본체부(326)와 상기 하부이동본체부(328)는, 한 쌍의 제1풀리부재(412, 414)의 상하방향중심에 대해 대칭을 이루는 위치에 결합됨이 바람직하다.
그에 따라, 제1풀리부(412, 414)의 회전에 따라, 상부이동본체부(326)와 하부이동본체부(328)가 서로 같은 시점에 서로 반대방향으로 같은 거리만큼 이동될 수 있다.
상기 제1동기구동부(410)와 유사하게, 상기 제2동기구동부(420)는, 상하방향으로 배치되며, 상부이동본체부(326) 및 하부이동본체부(328)와 각각 서로 다른 측에서 결합되는 제2회전부재(421)가 감기는 제2풀리부(422, 424)를 포함할 수 있다.
상기 제2풀리부(422, 424)는, 상하방향으로 배치되는 한 쌍의 제2풀리부재(422, 424)를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 제2풀리부재(422, 424)에는 상부이동본체부(326) 및 하부이동본체부(328)와 각각 결합되는 제2회전부재(421)가 결합될 수 있다.
이때, 상기 상부이동본체부(326)와 상기 하부이동본체부(328)는, 클램핑부재(425)를 통해 제2풀리부(422, 424)를 기준으로 제2회전부재(421)의 서로 다른 측에 결합될 수 있다. 그리고, 상기 상부이동본체부(326)와 상기 하부이동본체부(328)는, 한 쌍의 제2풀리부재(422, 424)의 상하방향중심에 대해 대칭을 이루는 위치에 결합됨이 바람직하다.
그에 따라, 제2풀리부(422, 424)의 회전에 따라, 상부이동본체부(326)와 하부이동본체부(328)가 서로 같은 시점에 서로 반대방향으로 같은 거리만큼 이동될 수 있다.
상기 제1풀리부(412, 414) 및 상기 제2풀리부(422, 424)은, 같은 회전구동원에 의해 회전됨이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1풀리부(412, 414) 및 상기 제2풀리부(422, 424)가 서로 다른 회전구동원에 의해 회전구동되는 경우, 상기 제1풀리부(412, 414) 및 상기 제2풀리부(422, 424)의 회전구동은 서로 동기화되어야 함은 당연하다.
한편, 본 발명은 상부쐐기부(324a)와 하부쐐기부(324b)가 제1베어링부(322)들 사이로 진입하여 제1베어링부(322)들 사이의 간격을 벌림으로써 픽커(100)들 사이의 간격이 조절되어야 하므로, 쐐기부(324)의 직경은 미리 설계된 제1베어링부(322) 사이의 최대간격보다 크게 형성되어야 한다.
또한, 쐐기부(324)에 의해 벌려진 제1베어링부(322)의 위치를 흔들림없이 고정하기 위해 쐐기부(324)를 가압하여 제1베어링부(322)를 향한 가압력을 유지할 필요가 있다.
그에 따라, 본 발명은, 복수의 제1베어링부(322)들에 복수의 쐐기부(324)들이 밀착되어 가압력에 의해 복수의 제1베어링부(322)들의 위치가 고정되도록 이동본체부(상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328))를 복수의 제1베어링부(322) 측으로 가압하는 가압부(화살표 도시)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 가압부는, 미리 설정된 가압력을 형성하여 이동본체부(326, 328)를 제1베어링부(322) 측으로 가압할 수 있다면 다양한 가압원이 가능하며, 예로서, 정압실린더를 이용할 수 있다.
이상 상부이동본체부(326) 및 하부이동본체부(328)를 통한 간격조절부(300)를 설명하였으나, 다른 실시예로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 단일부재의 이동본체부를 이용한 간격조절부(300)도 가능함은 물론이다.
이러한 경우, 이동본체부는, 제1베어링부(322)를 기준으로 상측이나 하측에 설치되며 그에 따라 복수의 쐐기부(324)들 또한 제1베어링부(322)를 기준으로 상측이나 하측에서 제1베어링부(322) 사이로 진입하게 된다는 점과, 그에 따라 도 1 내지 도 3과 같은 쐐기부(324)의 이동거리 동기화를 위한 동기구동부(329)는 필수적인 구성이 아니라는 점을 제외하고는 상술한 실시예와 동일하다.
다만, 복수의 쐐기부(324)가 제1베어링부(322)를 기준으로 상하로 교번하여 배치되는 것이 아니므로, 이웃하는 쐐기부(324)들 사이에 간섭이 발생될 수 있다.
이를 방지하기 위하여, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1베어링부(322)가 2단적층 구조로 구성되거나, 또는 복수의 쐐기부(324)들의 배치면을 2층구조로 하여 이웃하는 쐐기부(324)들 사이에 간섭이 없도록 교차 배치될 수 있다.
이하, 도 2a 내지 도 2f를 참조하여, 본 발명에 따른 이송툴(10)을 통한 픽커(100) 간격조절방법을 자세히 설명한다.
먼저, d1의 등간격으로 배치되어 있는 픽커(100)들 사이의 간격을 d2(d2>d1)로 가변하기 위하여, 도 2a에 도시된 바와 같이, 제1간격조절부(310)의 구동풀리(312) 및 종동풀리(314)를 반시계방향으로 회전시켜 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 간격을 D1에서 D2로 증가시킨다. 여기서, 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 간격 D2는 조정하고자 하는 픽커(100) 사이 간격 d2에 의해 계산될 수 있다.
이때, 이동본체부(326, 328)는 기준픽커(102)의 이동을 간섭하지 않기 위해 제1베어링부(322)와 간섭되지 않도록 위치된다.
한 쌍의 기준픽커(100)의 위치가 고정된 상태에서 나머지 픽커(100)의 위치를 조정하기 위하여, 도 2b에 도시된 바와 같이, 동기구동부(329)의 제1풀리부(412, 414) 및 제2풀리부(422, 424)를 구동하여 상부이동본체부(326)는 하측으로, 하부이동본체부(328)는 상측으로 이동시킨다.
이때, 제1베어링부(322) 또는 쐐기부(324)는 접촉에 따라 회전하거나 서로 미끄러질 수 있다.
양 단에 위치되는 한 쌍의 기준픽커(102)의 위치는 고정되어 있으므로, 쐐기부(324)에 의해 픽커(100) 사이의 간격이 벌어지며 각 픽커(100) 사이 간격이 d2의 등간격으로 재조정될 수 있다.
도 2c는, 쐐기부(324)가 제1베어링부(322)들 사이로 진입하여 픽커(100) 사이 간격이 d2로 재조정된 상태를 보여주는 도면이다. 상술한 가압부에 의해 쐐기부(324)에 의해 제1베어링부(322)에 가해지는 압력을 미리 설정한 정압으로 유지하여 각 픽커(100)의 위치를 고정할 수 있다.
다음으로, d2의 간격으로 배치된 픽커(100) 사이의 간격을 d3(d3<d2)로 가변하기 위하여, 도 2d에 도시된 바와 같이, 쐐기부(324)가 제1베어링부(322)와 간섭되지 않도록 동기구동부(329)의 제1풀리부(412, 414) 및 제2풀리부(422, 424)를 구동하여 상부이동본체부(326)는 상측으로, 하부이동본체부(328)는 하측으로 이동시킨다.
그 후, 도 2e에 도시된 바와 같이, 제1간격조절부(310)의 구동풀리(312) 및 종동풀리(314)를 시계방향으로 회전시켜 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 간격을 D2에서 D3로 감소시킨다. 여기서, 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 간격 D3는 조정하고자 하는 픽커(100) 사이 간격 d3에 의해 계산될 수 있다.
한 쌍의 기준픽커(100)의 위치가 고정된 상태에서 나머지 픽커(100)의 위치를 조정하기 위하여, 도 2f에 도시된 바와 같이, 동기구동부(329)의 제1풀리부(412, 414) 및 제2풀리부(422, 424)를 구동하여 상부이동본체부(326)는 하측으로, 하부이동본체부(328)는 상측으로 이동시킨다.
양 단에 위치되는 한 쌍의 기준픽커(102)의 위치는 고정되어 있으므로, 쐐기부(324)에 의해 픽커(100) 사이의 간격이 벌어지거나 좁아지며 각 픽커(100) 사이 간격이 d3의 등간격으로 재조정될 수 있다.
도 2f는, 쐐기부(324)가 제1베어링부(322)들 사이로 진입하여 픽커(100) 사이 간격이 d3로 재조정된 상태를 보여주는 도면이다. 상술한 가압부에 의해 쐐기부(324)에 의해 제1베어링부(322)에 가해지는 압력을 미리 설정한 정압으로 유지하여 각 픽커(100)의 위치를 고정할 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
1: 소자 10: 이송툴
100: 픽커 200: 본체부
300: 간격조절부

Claims (11)

  1. 진공압에 의해 소자(1)를 픽업하는 복수의 픽커(100)들과,
    상기 복수의 픽커(100)들이 제1방향을 따라 이동가능하게 결합되는 픽커가이드부(202)를 포함하는 본체부(200)와,
    상기 복수의 픽커(100)들 사이의 상기 제1방향 간격을 조절하는 간격조절부(300)를 포함하며,
    상기 간격조절부(300)는,
    상기 복수의 픽커(100)들 중 양 끝단에 위치된 한 쌍의 픽커(100)를 한 쌍의 기준픽커(102)라고 할 때, 상기 한 쌍의 기준픽커(102)를 상기 픽커가이드부(202)를 따라 이동시켜 상기 한 쌍의 기준픽커(102) 사이의 상기 제1방향 간격을 조정하는 제1간격조정부(310)와,
    상기 한 쌍의 기준픽커(102) 사이에 상기 픽커(100)들이 등간격으로 위치되도록 상기 픽커(100)들을 이동시키는 제2간격조정부(320)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1간격조정부(310)는,
    회전구동부에 의해 회전구동되는 구동풀리(312)와,
    상기 구동풀리(312)에 대응되어 설치되는 종동풀리(314)와,
    상기 구동풀리(312) 및 상기 종동풀리(314)에 감기며 상기 한 쌍의 기준픽커(102)와 고정결합되는 회전부재(316)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2간격조정부(320)는,
    상기 복수의 픽커(100)들에 각각 결합되는 복수의 제1베어링부(322)들과,
    상기 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되며, 상기 제1베어링부(322)들이 등간격으로 위치되도록 상기 제1베어링부(322)들 사이로 진입하는 복수의 쐐기부(324)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 복수의 제1베어링부(322)들은,
    서로 같은 크기로 형성되며, 서로 같은 높이에서 대응되는 픽커(100)와 결합되는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 복수의 쐐기부(324)들은,
    상기 복수의 제1베어링부(322)들의 상측에 위치되는 복수의 상부쐐기부(324a)들과, 상기 복수의 제1베어링부(322)들의 하측에 위치되는 복수의 하부쐐기부(324b)들을 포함하며,
    상기 제2간격조정부(320)는,
    상기 복수의 상부쐐기부(324a)들이 상기 제1방향으로 이동가능하게 결합되며, 상기 복수의 제1베어링부(322)들 상측에서 상기 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되는 상부이동본체부(326)와,
    상기 복수의 하부쐐기부(324b)들이 상기 제1방향으로 이동가능하게 결합되며, 상기 복수의 제1베어링부(322)들 하측에서 상기 본체부(200)에 대해 상하이동 가능하게 설치되는 하부이동본체부(328)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 상부쐐기부(324a) 및 상기 하부쐐기부(324b)는,
    상기 복수의 제1베어링부(322)들 사이에 교번하여 위치되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 상부쐐기부(324a) 및 상기 하부쐐기부(324b)는,
    서로 같은 형상 및 크기로 형성되며, 상기 제1베어링부(322)를 기준으로 상하 같은 거리에 위치되는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2간격조정부(320)는,
    상기 상부이동본체부(236)와 상기 하부이동본체부(238)를 서로 반대방향으로 이동시키며, 상기 상부이동본체부(236)와 상기 하부이동본체부(238)의 이동시점 및 이동간격을 동기화하는 동기구동부(329)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 동기구동부(329)는,
    상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)의 일측에 설치되는 제1동기구동부(410)와, 상기 상부이동본체부(236) 및 상기 하부이동본체부(238)의 타측에 설치되는 제2동기구동부(420)를 포함하며,
    상기 제1동기구동부(410)는,
    상하방향으로 배치되며, 상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)와 각각 서로 다른 측에서 결합되는 제1회전부재(411)가 감기는 제1풀리부(412, 414)를 포함하며,
    상기 제2동기구동부(420)는,
    상하방향으로 배치되며, 상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)와 각각 서로 다른 측에서 결합되는 제2회전부재(421)가 감기는 제2풀리부(422, 424)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  10. 청구항 5에 있어서,
    상기 복수의 제1베어링부(322)들에 상기 복수의 쐐기부(324)들이 밀착되어 가압력에 의해 상기 복수의 제1베어링부(322)들의 위치가 고정되도록 상기 상부이동본체부(326) 및 상기 하부이동본체부(328)를 상기 복수의 제1베어링부(322) 측으로 가압하는 가압부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
  11. 청구항 5에 있어서,
    상기 쐐기부(324)는, 상기 제1베어링부(322)와 접촉 시 상대회전되는 제2베어링부인 것을 특징으로 하는 이송툴(10).
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