KR102449536B1 - 전자소자 분류장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전자소자 분류장치를 제안한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전자소자 분류장치는 복수의 전자소자가 안착되는 웨이퍼 테이블; 상기 웨이퍼 테이블로부터 픽업된 전자소자가 플레이싱되고, 상기 웨이퍼 테이블과 수직인 상태로 배치되는 소팅 테이블; 및 상기 웨이퍼 테이블로부터 전자소자를 픽업하고, 상기 픽업된 전자소자를 상기 소팅 테이블로 이송하고 플레이싱하는 픽업장치를 포함하되, 상기 픽업장치는 상기 전자소자를 픽업 또는 플레이싱하는 스윙암; 상기 스윙암을 상기 웨이퍼 테이블로부터 전자소자를 픽업하는 픽업위치 및 상기 픽업된 전자소자를 상기 소팅 테이블의 적재위치 사이에서 회전시키는 회전구동원; 상기 웨이퍼 테이블과 회전구동원 사이에 위치하고, 상기 스윙암을 상기 웨이퍼 테이블 방향으로 이동시키는 제1 선형구동부; 및 상기 소팅 테이블과 회전구동원 사이에 위치하고, 상기 스윙암을 상기 소팅 테이블 방향으로 이동시키는 제2 선형구동부를 포함한다.

Description

전자소자 분류장치{APPARATUS FOR SORTING ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은 전자소자 분류장치에 관한 것이다.
전자소자는 전기 전도도가 부도체보다는 높고, 금속과 같은 전도체보다는 낮은 반도체로 구성된 집적회로로서, 원래 칩은 얇은 판 조각을 가리키는 말이나 현재는 반도체 회로를 나타내는 말로 사용된다.
전자소자는 현대의 컴퓨터를 만드는 기본 부품으로 산술연산, 정보기억, 다른 칩의 제어 등을 수행하는 핵심이며 전자산업을 뒷받침한다.
전자소자는 웨이퍼 상에 위치된 상태에서 검사될 수 있으며, 웨이퍼 상에 위치된 상태에서 검사 공정을 마친 전자소자들은 출하 또는 후속공정을 위하여 양품의 소자들만이 픽 앤 플레이스(PICK & PLACE) 장치에 의하여 와플팩과 같은 전용 트레이에 적재된다.
한편, 이와 관련하여 대한민국공개특허 제10-2014-0120989호(발명의 명칭: 소자분류장치)에서는, 웨이퍼상에 위치된 소자를 픽업하여 트레이에 적재하는 시간을 최소화시키기 위한 것으로, 소자가 적재된 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼 테이블과, 웨이퍼 테이블의 양측으로 상기 소자가 적재될 트레이를 이송시키는 한 쌍의 트레이이송부들과, 웨이퍼 테이블의 양측에 배치되고, 웨이퍼 테이블 상에 탑재된 웨이퍼상의 소자를 교번적으로 픽업하여 트레이상에 적재하는 한 쌍의 이송툴들을 포함하는 구성을 개시하고 있다.
이러한 전자소자 분류장치는 전자소자를 옮기는 과정에서 승강 구동으로 인한 시간이 부가되어 전자소자의 분류 속도가 느려지는 문제점이 있었다.
뿐만 아니라, 이송툴에 의해 옮겨지는 전자소자가 승강 구동에 따라 발생하는 진동의 영향을 받을 수 있었다. 이에 따라, 새로운 구조의 전자소자 분류장치에 대한 개발 요구가 있어 왔다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전자소자의 이송 공정을 신속하면서도 안정적으로 수행하여, 작업시간을 단축시키고, 웨이퍼 테이블의 크기 변화에 대해 구성의 변경이나 부가 없이 높은 적용성을 가질 수 있는 전자소자 분류장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 일 실시예에 따른 전자소자 분류장치는, 복수의 전자소자가 안착되는 웨이퍼 테이블; 상기 웨이퍼 테이블로부터 픽업된 전자소자가 플레이싱되고, 상기 웨이퍼 테이블과 수직인 상태로 배치되는 소팅 테이블; 및 상기 웨이퍼 테이블로부터 전자소자를 픽업하고, 상기 픽업된 전자소자를 상기 소팅 테이블로 이송하고 플레이싱하는 픽업장치를 포함하되, 상기 픽업장치는 상기 전자소자를 픽업 또는 플레이싱하는 스윙암; 상기 스윙암을 상기 웨이퍼 테이블로부터 전자소자를 픽업하는 픽업위치 및 상기 픽업된 전자소자를 상기 소팅 테이블의 적재위치 사이에서 회전시키는 회전구동원; 상기 웨이퍼 테이블과 회전구동원 사이에 위치하고, 상기 스윙암을 상기 웨이퍼 테이블 방향으로 이동시키는 제1 선형구동부; 및 상기 소팅 테이블과 회전구동원 사이에 위치하고, 상기 스윙암을 상기 소팅 테이블 방향으로 이동시키는 제2 선형구동부를 포함한다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 웨이퍼 테이블 및 소팅 테이블이 수직상태로 배치됨에 따라, 전자소자의 이송 공정을 신속하면서도 안정적으로 수행하여 작업 시간을 단축시키켜 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 웨이퍼 테이블을 구동하는 웨이퍼 이송부을 포함하여, 웨이퍼의 크기 변화에 대해 구성의 변경이나 부가 없이 높은 적용성을 가질 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명은 일 실시예에 따른 전자소자 분류장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자소자 분류장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 스윙암의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 선형구동부의 부분단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치를 이용하여 전자소자를 픽업하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.
본원은 전자소자 분류장치에 관한 것이다. 참고로, 전자소자 분류장치에 의해 분류되는 전자소자는 LED(Light Emitting Diode)일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태의 반도체 칩이 포함될 수 있다.
도 1은 본 발명은 일 실시예에 따른 전자소자 분류장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자소자 분류장치의 정면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치의 측면도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 스윙암의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 선형구동부의 부분단면도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치를 이용하여 전자소자를 픽업하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자소자 분류장치(10)(이하, ‘본 전자소자 분류장치(10)’라 함)에 대해서 설명한다.
본 전자소자 분류장치(10)는 웨이퍼 테이블(100), 소팅 테이블(200), 및 픽업장치(300)를 포함한다.
웨이퍼 테이블(100)에는 복수의 전자소자가 안착된다. 예시적으로, 복수의 전자소자는 웨이퍼를 다이싱하여 형성될 수 있으며, 다이싱된 웨이퍼 상태로 웨이퍼 테이블(100)에 안착될 수 있다.
또한, 웨이퍼 테이블(100)은 수직으로 배치된다. 상술한 수직으로 배치된다는 것은 전자소자가 적재되는 테이블의 법선이 대략 수평 방향을 향하도록 웨이퍼 테이블(100)이 세워진 상태로 배치됨을 의미한다.
또한, 수직으로 배치되어 있는 웨이퍼 테이블(100)은 전자소자의 적재를 위해 안착적재부를 구비할 수 있다. 이러한 안착적재부는 접착 물질을 통해 전자소자를 안착할 수 있다. 다만, 전자소자의 적재 수단은 접착 물질이 포함된 안착적재부에 한정되는 것은 아니다.
또한, 웨이퍼 테이블(100)을 평면 방향에 대하여 전 방향으로 이동시키는 웨이퍼 이송부(110)를 더 포함할 수 있다. 예시적으로, 웨이퍼 테이블(100)은 웨이퍼 이송부(110)를 통해 전자소자가 적재되는 테이블에 대한 평면 방향으로 직선 이동 및 회전 이동할 수 있다. 다시 말해, 웨이퍼 테이블(100)은 웨이퍼 이송부(110)를 통해 Y축, Z축 방향 및 YZ평면에 수직되는 축을 중심으로 회전 이동할 수 있다.
본 전자소자 분류장치(10)는 웨이퍼 테이블(100)에서 픽업되는 전자소자를 촬영하는 제1 카메라부(510)를 더 포함할 수 있다. 예시적으로, 제1 카메라부(510)는 웨이퍼 테이블(100) 상에 위치하고, 픽업장치(300)를 통해 픽업되는 전자소자를 촬영하여, 전자소자의 위치와 방향을 파악할 수 있다. 또한, 제1 카메라부(510)로부터 전자소자의 위치와 방향을 파악함으로써, 웨이퍼 테이블(100)의 위치 및 방향을 조절하여 픽업장치(300)를 이용하여 정확하게 픽업할 수 있다.
또한, 웨이퍼 테이블(100)에 안착된 전자소자는 픽업장치(300)를 통해 소팅 테이블(200)로 이송될 수 있다.
소팅 테이블(200)은 웨이퍼 테이블(100)로부터 픽업된 전자소자가 플레이싱될 수 있다. 소팅 테이블(200)과 웨이퍼 테이블(100)은 픽업장치(300)를 통해 다양한 용도로 사용될 수 있다. 예시적으로, 웨이퍼 테이블(100)에서 적재된 전자소자가 소팅 테이블(200)로 이송됨으로써 전자소자가 분류될 수 있고, 웨이퍼 테이블(100)에서 분류된 전자소자가 소팅 테이블(200)에 적재됨으로써 분류된 전자소자가 종류별로 적재될 수 있다.
또한, 소팅 테이블(200)은 웨이퍼 테이블(100)과 수직인 상태로 배치된다. 웨이퍼 테이블(100)과 수직으로 배치된 소팅 테이블(200)은 전자소자의 적재를 위해 부착 적재부를 구비할 수 있다. 하지만, 이에 한정되지 않고 별도의 전자소자가 안착되는 리드 프레임이 소팅 테이블(200)의 상부에 위치하여, 리드 프레임에 전자소자가 안착된 전자소자 패키지가 제작될 수 있다.
또한, 소팅 테이블(200)은 평면 방향에 대하여 전 방향으로 이동시키는 소팅 테이블 이송부(210)를 더 포함할 수 있다. 예시적으로, 소팅 테이블(200)은 소팅 테이블 이송부(210)를 통해 전자소자가 적재되는 테이블에 대한 평면 방향으로 직선 이동 및 회전 이동할 수 있다. 다시 말해, 소팅 테이블(200)은 소팅 테이블 이송부(210)를 통해 X축, Y축 방향 및 XY평면에 수직되는 축을 중심으로 회전 이동할 수 있다.
본 전자소자 분류장치(10)는 픽업된 전자소자가 안착되는 소팅 테이블(200)을 촬영하는 제2 카메라부(520)를 더 포함할 수 있다. 예시적으로, 제2 카메라부(520)는 픽업된 전자소자가 안착되는 소팅 테이블(200)을 촬영하여, 전자소자가 안착되는 소팅 테이블(200)의 위치와 방향을 파악할 수 있다. 또한, 제2 카메라부(520)로부터 전자소자가 안착되는 위치를 파악하여, 소팅 테이블(200)의 위치 및 방향을 조절하여 전자소자를 원하는 위치에 정확하게 안착시킬 수 있다.
픽업장치(300)는 웨이퍼 테이블(100)로부터 전자소자를 픽업하고, 픽업된 전자소자를 소팅 테이블(200)로 이송하고 플레이싱한다.
픽업장치(300)는 서로 수직되게 배치된 웨이퍼 테이블(100) 및 소팅 테이블(200) 사이에 구비되어 웨이퍼 테이블(100)에서 소팅 테이블(200)로 전자소자를 이송할 수 있다. 이때, 픽업장치(300)는 웨이퍼 테이블(100)에 적재된 전자소자를 분류하면서 소팅 테이블(200)로 이송할 수 있지만, 단순히 웨이퍼 테이블(100)에서 분류된 전자소자를 소팅 테이블(200)로 이송할 수도 있다.
이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치(300)에 대해서 상세히 설명한다.
도 3을 참조하면, 픽업장치(300)는 스윙암(310), 회전구동원(330), 제1 선형구동부(410) 및 제2 선형구동부(420)를 포함한다.
스윙암(310)은 전자소자를 픽업 또는 플레이싱한다. 상세하게는, 스윙암(310)은 웨이퍼 테이블(100) 상에 위치한 전자소자를 픽업하고, 픽업된 전자소자를 소팅 테이블(200)에 플레이싱할 수 있다.
회전구동원(330)은 스윙암(310)을 웨이퍼 테이블(100)로부터 전자소자를 픽업하는 픽업위치 및 픽업된 전자소자를 소팅 테이블(200)에 플레이싱하는 적재위치 사이에서 회전시킨다. 또한, 회전구동원(330)의 회전축은 웨이퍼 테이블(100)의 법선 및 소팅 테이블(200)의 법선과 45도의 각도를 이루어 배치될 수 있다.
예시적으로, 회전구동원(330)은 웨이퍼 테이블(100)로부터 전자소자를 픽업하는 픽업위치에 위치한 스윙암(310)을 180도 회전시켜 픽업된 전자소자를 소팅 테이블(200)에 플레이싱하는 적재위치로 이동시킬 수 있다.
제1 선형구동부(410)는 웨이퍼 테이블(100)과 회전구동원(330) 사이에 위치하고, 스윙암(310)을 웨이퍼 테이블(100) 방향으로 이동시킨다. 다시 말해, 제1 선형구동부(410)는 픽업위치에 위치한 스윙암(310)을 웨이퍼 테이블(100) 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 제1 선형구동부(410)는 후술되는 회전이드부(340)에 고정 결합될 수 있으며, 회전되어 픽업위치에 위치한 스윙암(310)을 웨이퍼 테이블(100) 방향으로 선형이동시킬 수 있다.
제2 선형구동부(420)는 소팅 테이블(200)과 회전구동원(330) 사이에 위치하고, 스윙암(310)을 소팅 테이블(200) 방향으로 이동시킨다. 다시 말해, 제2 선형구동부(420)는 적재위치에 위치한 스윙암(310)을 소팅 테이블(200) 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 제2 선형구동부(420)는 후술되는 회전이드부(340)에 고정 결합될 수 있으며, 회전되어 적재위치에 위치한 스윙암(310)을 소팅 테이블(200) 방향으로 선형이동시킬 수 있다.
또한, 제1 선형구동부(410) 및 제2 선형구동부(420)는 보이스 코일 모터에 기반하여 구동될 수있다. 본 전자소자 분류장치(10)는 보이스 코일 모터로 구성된 선형구동부(410, 420)를 이용하여 스윙암(310)을 이동시킴으로써, 스윙암(310)의 위치와 힘을 정밀하게 조절하여, 전자소자의 파손을 최소화할 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 전자소자 분류장치(10)는 회전판(320) 및 회전가이드부(340)를 더 포함할 수 있다.
회전판(320)은 스윙암(310)이 고정되고, 회전구동원(330)에 의해 회전될 수 있다. 또한, 회전판(320)에는 복수의 스윙암(310)이 회전구동원(330)의 회전축을 중심으로 소정의 각도를 가지고 배치될 수 있다. 예시적으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 회전판(320)에는 회전구동원(330)의 회전축을 중심으로 90도의 각도를 가지게 4개의 스윙암(310)이 고정될 수 있다. 이에 따라, 회전구동원(330)은 회전판(320)을 90도씩 회전시켜, 스윙암(310)을 웨이퍼 테이블(100) 상에 위치한 전자소자를 픽업하는 픽업위치에서 소팅 테이블(200)에 전자소자를 플레이싱하는 적재위치로 이동시킬 수 있다.
회전가이드부(340)는 스윙암(310)의 타측단부가 삽입되고, 스윙암(310)의 이동을 가이드하는 가이드홈(341)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 스윙암(310)은 회전가이드부(340)의 가이드홈(341)을 따라 이동될 수 있다. 또한, 스윙암(310)의 타측단부에는 베어링부(313)가 위치하고, 베어링부(313)가 가이드홈(341)에 삽입되어 원활히 회전될 수 있다.
도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 스윙암(310)에 대해서 상세히 설명한다.
스윙암(310)은 프레임부(311), 픽업부(312), 베어링부(313), 및 LM 가이드부(314)를 포함할 수 있다.
프레임부(311)는, 도 5에 도시된 바와 같이, L자 형태로 절곡되어 형성될 수 있다.
픽업부(312)는 프레임부(311)의 일측 단부에 위치하고, 전자소자를 픽업 또는 플레이싱할 수 있다. 예시적으로 픽업부(312)는 진공 흡입으로 전자소자를 픽업하거나, 진공상태를 해제하여 전자소자의 픽업상태를 해제할 수 있다. 이와 같이, 전자소자를 진공 흡입을 통해 이송하기 때문에, 전자소자의 파손을 최소화할 수 있다. 또한, 전자소자를 이송하는 픽업부(312)의 진공 흡입의 동력은 가스일 수 으며, 가스 동력은 가스 공급부를 통해 제공 받을 수 있다.
베어링부(313)는 프레임부(311)의 타측단부에 위치하고, 베어링을 구비할 수 있다. 또한, 베어링부(313)는 회전가이드부(340)의 가이드홈(341)에 삽입되고, 가이드홈(341)의 내측면에 베어링부(313)의 베어링이 접촉되어, 스윙암(310)이 원활히 이동될 수 있다.
LM 가이드부(314)는 픽업부(312)가 회전구동원(330)의 회전축과 45도를 이루는 축방향으로 선형이동하도록 가이드할 수 있다. 또한, LM 가이드부(314)는 일측이 회전판(320)에 고정되고, 프레임부(311)가 슬라이딩 이동이 가능하도록 결합될 수 있다. 예시적으로, 프레임부(311)에는 슬라이딩홈이 형성되고, 슬라이딩홈에 LM 가이드가 삽입되어, 프레임부(311)는 제1 선형구동부(410) 또는 제2 선형구동부(420)에 의해 회전구동원(330)의 회전축과 45도를 이루는 축방향으로 선형이동될 수 있다.
도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 선형구동부(410, 420)에 대해서 설명한다.
제1 선형구동부(410)는 스윙암(310)의 베어링부(313)가 삽입되는 제1 삽입홈(411)을 포함하고, 제2 선형구동부(420)는 스윙암(310)의 베어링부(313)가 삽입되는 제2 삽입홈(421)을 포함할 수 있다.
제1 선형구동부(410)는 스윙암(310)의 베어링부(313)가 제1 삽입홈(411)에 삽입된 경우, 스윙암(310)을 웨이퍼 테이블(100)이 위치하는 방향 또는 웨이퍼 테이블(100)과 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다.
제2 선형구동부(420)는 스윙암(310)의 베어링부(313)가 제2 삽입홈(421)에 삽입된 경우, 스윙암(310)을 소팅 테이블(200)이 위치하는 방향 또는 소팅 테이블(200)과 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 제1 선형구동부(410) 및 제2 선형구동부(420)의 삽입홈은 회전가이드부(340)의 가이드홈(341) 상에 위치할 수 있다. 다시말해, 스윙암(310)은 회전가이드부(340)의 가이드홈(341)과 삽입홈(411, 421)에 의해 형성된 홈을 따라 이동될 수 있다.
도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업장치(300)를 이용하여 전자소자를 픽업하는 방법에 대해서 상세히 설명한다.
웨이퍼 테이블(100)에 위치한 전자소자를 픽업할 경우, 스윙암(310)의 베어링부(313)가 제1 선형구동부(410)의 제1 삽입홈(411)에 위치할 수 있다. 이때, 제1 선형구동부(410)를 구동시켜, 스윙암(310)의 픽업부(312)를 웨이퍼 테이블(100) 방향으로 이동시켜, 웨이퍼 테이블(100) 상에 위치한 전자소자를 픽업할 수 있다. 이때, 제1 카메라부(510)를 이용하여, 전자소자의 위치를 파악하여, 전자소자를 픽업전 웨이퍼 테이블(100)의 위치 및 방향을 조절할 수 있다.
전자소자를 픽업한 후, 제1 선형구동부(410)는 스윙암(310)을 웨이퍼 테이블(100)과 멀어지는 방향으로 이송하여, 제1 선형구동부(410)의 제1 삽입홈(411)이 회전가이드부(340)의 가이드홈(341)과 일치하도록 이동시킬 수 있다..
이후, 스윙암(310)을 회전구동원(330)을 통해 회전가이드부(340)의 가이드홈(341)을 따라 이동시켜, 스윙암(310)의 베어링부(313)를 제2 선형구동부(420)의 제2 삽입홈(421)에 위치시킬 수 있다.
스윙암(310)의 베어링부(313)를 제2 삽입홈(421)에 위치시킨 후, 제2 선형구동부(420)를 구동시켜 스윙암(310)의 픽업부(312)를 소팅 테이블(200) 방향으로 이동시켜, 소팅 테이블(200)로 전자소자를 플레이싱할 수 있다. 이때, 제2 카메라부(520)를 이용하여, 전자소자가 안착되는 위치를 파악하여, 전자소자가 안착되는 소팅 테이블(200)의 위치 및 방향을 조절할 수 있다.
전자소자를 플레이싱한 후, 제2 선형구동부(420)는 스윙암(310)을 소팅 테이블(200)과 멀어지는 방향으로 이송시켜, 제2 선형구동부(420)의 제2 삽입홈(421)이 회전가이부의 가이드홈(341)과 일치하도록 이동시킬 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 전자소자 분류장치
100 : 웨이퍼 테이블 110 : 웨이퍼 이송부
200 : 소팅 테이블 210 : 소팅 테이블 이송부
300 : 픽업장치
310 : 스윙암 311 : 프레임부
312 : 픽업부 313 : 베어링부
314 : LM 가이드부
320 : 회전판 330 : 회전구동원
340 : 회전가이드부 341 : 가이드홈
410 : 제1 선형구동부 411 : 제1 삽입홈
420 : 제2 선형구동부 421 : 제2 삽입홈
510 : 제1 카메라부 520 : 제2 카메라부

Claims (7)

  1. 전자소자 분류장치에 있어서,
    복수의 전자소자가 안착되는 웨이퍼 테이블;
    상기 웨이퍼 테이블로부터 픽업된 전자소자가 플레이싱되고, 상기 웨이퍼 테이블과 수직인 상태로 배치되는 소팅 테이블; 및
    상기 웨이퍼 테이블로부터 전자소자를 픽업하고, 상기 픽업된 전자소자를 상기 소팅 테이블로 이송하고 플레이싱하는 픽업장치를 포함하되,
    상기 픽업장치는
    상기 전자소자를 픽업 또는 플레이싱하는 스윙암;
    상기 스윙암을 상기 웨이퍼 테이블로부터 전자소자를 픽업하는 픽업위치 및 상기 픽업된 전자소자를 상기 소팅 테이블에 플레이싱하는 적재위치 사이에서 회전시키는 회전구동원;
    상기 웨이퍼 테이블과 회전구동원 사이에 위치하고, 상기 스윙암을 상기 웨이퍼 테이블 방향으로 이동시키는 제1 선형구동부; 및
    상기 소팅 테이블과 회전구동원 사이에 위치하고, 상기 스윙암을 상기 소팅 테이블 방향으로 이동시키는 제2 선형구동부를 포함하고,
    상기 스윙암은
    프레임부;
    상기 프레임부의 일측 단부에 위치하고, 전자소자를 픽업 또는 플레이싱하는 픽업부;
    상기 프레임부의 타측단부에 위치하고, 베어링을 구비하는 베어링부; 및
    상기 픽업부가 상기 회전구동원의 회전축과 45도를 이루는 축방향으로 선형이동하도록 가이드하는 LM가이드부를 포함하는 것인 전자소자 분류장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 픽업장치는
    상기 스윙암이 고정되고, 상기 회전구동원에 의해 회전되는 회전판; 및
    상기 스윙암의 타측단부가 삽입되고, 상기 스윙암의 이동을 가이드하는 가이드홈이 형성된 회전가이드부를 더 포함하는 것인 전자소자 분류장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 선형구동부는 상기 스윙암의 타측단부가 삽입되는 제1 삽입홈을 포함하고,
    상기 제2 선형구동부는 상기 스윙암의 타측단부가 삽입되는 제2 삽입홈을 포함하는 것인 전자소자 분류장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 선형구동부 및 제2 선형구동부는 보이스 코일 모터로 구성되는 것인 전자소자 분류장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 테이블에서 상기 스윙암이 픽업하는 전자소자를 촬영하는 제1 카메라부 및
    상기 픽업된 전자소자가 안착되는 상기 소팅 테이블을 촬영하는 제2 카메라부를 포함하는 전자소자 분류장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 테이블을 Y축 및 Z축 방향으로 이송시키는 웨이퍼이송부 및
    상기 소팅 테이블을 X축 및 Y축 방향으로 이송시키는 소팅 테이블이송부를 더 포함하는 전자소자 분류장치.
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