KR100567797B1 - 핸들러용 픽커의 간격 조절장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 핸들러용 픽커의 간격 조절장치에 관한 것으로, 반도체 소자를 흡착하는 픽커 간의 간격을 임의의 간격으로 조절할 수 있도록 한 것이다.

이를 위한 본 발명은, 가이드레일을 따라 수평 이동하도록 설치된 베이스블럭과; 상기 베이스블럭에 수직하게 설치되는 가이드레일을 따라 상하로 승강 가능하게 설치되는 승강블럭과; 상기 승강블럭에 수평한 회전축을 중심으로 회동가능하게 설치되며, 외주면을 따라 복수개의 캠홈이 중간부에서 외곽방향으로 경사지게 형성된 캠축과; 일단부가 상기 캠축의 각 캠홈에 이동가능하게 결합된 상태로 상기 승강블럭에 수평하게 설치되는 수평 가이드레일을 따라 수평하게 이동하도록 설치되어, 반도체 소자를 흡착하는 복수개의 픽커와; 상기 캠축의 일단부에 결합되어 상기 캠축을 원하는 임의의 각도로 회동시키는 모터를 포함하여 구성된 핸들러용 픽커의 간격 조절장치를 제공한다.

핸들러, 픽커, 피치, 간격, 캠축, 캠홈, 서보모터

Description

핸들러용 픽커의 간격 조절장치{Apparatus for Adjusting Distance Between the Pickers of Handler}

도 1은 본 발명에 따른 핸들러용 픽커의 간격 조절장치의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 핸들러의 소자 픽업장치의 정면도

도 2는 도 1의 픽업장치의 측면도

도 3은 도 1의 픽업장치의 캠축의 정면도 및 이 캠축에 형성된 캠홈의 궤적을 나타내는 전개도를 함께 도시한 도면

도 4와 도 5는 각각 도 1의 대응도로서 본 발명의 픽커 간격 조절장치에 의한 픽커 간격 조절 동작을 보여주는 정면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

4 : 승강블럭 5 : 수평 엘엠가이드

7 : 픽커블럭 8 : 픽커

9 : 캠축 10 : 캠홈

11 : 서보모터 12 : 슬라이더

본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 관한 것으로, 특히 반도체 소자를 흡착하여 이송하는 픽업장치의 픽커 들의 간격 조절이 용이하고 다양하게 수행될 수 있도록 한 핸들러용 픽커의 간격 조절장치에 관한 것이다.

주지하는 바와 같이, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 또는 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module ICs)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈 아이씨 등을 자동으로 원하는 공정으로 이송하며 테스트할 수 있도록 된 장치를 일컫는다.

통상적으로 핸들러들은 진공압에 의해 반도체 소자를 흡착하는 복수개의 픽커가 설치된 픽업장치로 반도체 소자들을 소정의 공정 위치로 이송한다.

하나의 핸들러에서 테스트하는 반도체 소자의 종류가 바뀌면, 상기 반도체 소자가 수납되는 트레이 및 셔틀 등의 각종 체인지키트(change kit)가 교체되어야 하며, 따라서 반도체 소자를 흡착하는 픽업장치의 각 픽커 간의 간격 또한 이에 맞게 가변되어야 한다.

이에 본 출원인은 복잡한 링크를 사용하지 않고 간단한 구성으로 빠르고 정확하게 픽커 간격을 조절할 수 있는 장치를 개발하였는 바, 대한민국 등록특허공보 10-0248704호(2000년 3월 15일 공고)에 복수개의 캠홈이 경사지게 형성된 캠축을 회전가능하게 설치하고, 상기 캠축의 각 캠홈에 각각의 픽커의 상단부가 상대 이동이 가능하도록 결합시켜, 상기 캠축을 회전실린더를 이용하여 회동시킬 때 상기 각 픽커의 상단부가 캠축의 캠홈을 따라 이동하면서 각 픽커 간의 간격 조절이 용이하 게 이루어지도록 한 '반도체 소자 검사기의 소자 간격조절장치'가 개시되어 있다.

상기 간격조절장치는 픽커의 끝단부가 캠축의 캠홈의 일단부에 위치했을 때는 픽커 간격이 최소로 되고, 회전실린더에 의해 캠축이 회전하여 픽커의 끝단부가 캠홈의 타단부로 이동했을 때는 픽커 간격이 최대로 되면서 픽커 간 피치 조절이 2단계로 이루어진다.

그런데, 상기와 같이 종래의 소자 간격조절장치는 캠축의 회전 각도를 다양한 각도로 조절할 수 없기 때문에 픽커 간의 간격 조절이 최소와 최대의 2단계로만 이루어지는 문제가 있으며, 예컨대 픽커 간격이 중간정도를 가져야 할 경우에는 픽업장치를 교체해야 하는 문제가 발생한다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 반도체 소자를 흡착하는 픽커 간의 간격을 임의의 간격으로 조절할 수 있도록 한 핸들러용 픽커의 간격 조절장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 가이드레일을 따라 수평 이동하도록 설치된 베이스블럭과; 상기 베이스블럭에 수직하게 설치되는 가이드레일을 따라 상하로 승강 가능하게 설치되는 승강블럭과; 상기 승강블럭에 수평한 회전축을 중심으로 회동가능하게 설치되며, 외주면을 따라 복수개의 캠홈이 중간부에서 외곽방향으로 경사지게 형성된 캠축과; 일단부가 상기 캠축의 각 캠홈에 이동가능하게 결합된 상태로 상기 승강블럭에 수평하게 설치되는 수평 가이드레일을 따라 수평하게 이동하도록 설치되어, 반도체 소자를 흡착하는 복수개의 픽커와; 상기 캠축의 일단부에 결합되어 상기 캠축을 원하는 임의의 각도로 회동시키는 모터를 포함하여 구성된 핸들러용 픽커의 간격 조절장치를 제공한다.

이하, 본 발명에 따른 핸들러용 픽커의 간격 조절장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1과 도 2는 본 발명에 따른 픽커 간격 조절장치가 적용된 반도체 소자 픽업장치의 구성을 나타낸 도면들로, 핸들러 본체의 상측에 설치된 가이드레일(미도시) 및 선형 운동 시스템에 의해 수평 이동하도록 된 베이스블럭(1)에 수직 엘엠가이드(2)(LM Guide)가 상하방향으로 설치되고, 이 수직 엘엠가이드(2)에는 엘엠블럭(3)이 결합되며, 상기 엘엠블럭(3)에는 승강블럭(4)이 결합된다.

상기 승강블럭(4)에는 수평 엘엠가이드(5)가 수평하게 설치되고, 이 수평 엘엠가이드(5)에는 복수개의 엘엠블럭(6)이 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 각 복수개의 엘엠블럭(6)에는 반도체 소자를 흡착하는 복수개의 픽커(8)가 승강 가능하게 결합된 복수개의 픽커블럭(7)들이 개별적으로 결합된다.

그리고, 상기 승강블럭(4)의 상부에는 그 외주면에 복수개의 캠홈(10)이 형성된 캠축(9)이 회전가능하게 설치되며, 상기 캠축(9)의 일단부에는 캠축(9)을 임의의 각도로 회동시키는 서보모터(11)가 결합된다. 미설명 부호 13은 상기 승강블럭(4)의 양측면부에 대해 캠축(9)의 양측단을 회전가능하게 지지하는 베어링이다.

상기 각 픽커블럭(7)에는 상기 캠축(9)의 각 캠홈(10)을 따라 이동하도록 된 슬라이더(12)가 설치된다. 상기 슬라이더(12)는 베어링 또는 구형상의 롤러와 같은 요소로 구성될 수 있다.

도 3에 상세히 도시된 것과 같이, 상기 캠축(9)의 캠홈(10)들은 일단부에서 타단부로 갈수록 중간부분에서 외곽방향으로 경사지도록 형성되어 상호간의 간격이 점차적으로 벌어지도록 되어 있으며, 캠축(9)의 중간을 기점으로 상호 대칭으로 형성된다.

또한, 상기 캠축(9)의 캠홈(10)들은 전개했을 때 일측에서 타측 방향으로 직선형으로 기울어지는 형태를 갖는 것이 바람직하며, 상기 픽커(8) 간의 피치는 캠홈(10)의 기울기와 캠축(9)의 회전각도에 의해 결정된다.

상기와 같이 구성된 핸들러용 픽커의 간격 조절은 다음과 같이 이루어진다.

이해를 돕기 위해, 초기에 상기 픽커(8)는 도 1에 도시된 것과 같이, 각각의 슬라이더(12)가 캠홈(10)의 최소 피치 위치인 일단부에 위치되어 각 픽커(8) 간의 피치가 최소 피치인 상태인 것으로 하여 설명한다.

작업자가 핸들러의 모니터 및/또는 키보드를 통해 메인제어부(미도시)에 가변시키고자 하는 픽커의 피치를 입력하면, 메인제어부가 소정의 제어신호를 상기 서보모터(11)에 전달하여 서보모터(11)를 일정량 구동시킨다.

상기 서보모터(11)의 구동에 의해 캠축(9)이 소정 각도만큼 회전하게 되고, 이에 따라 캠축(9)의 각 캠홈(10)에 결합된 슬라이더(12)가 캠홈(10)을 따라 슬라이딩하게 되고, 따라서 도 4에 도시된 것과 같이, 픽커블럭(7)이 수평 엘엠가이드(5)를 따라 이동하며 피치가 증가하게 된다.

이 때, 상기 서보모터(11)는 회전각도의 제어가 가능하므로 상기 캠축(9)의 회전각도의 제어가 가능하고, 따라서 픽커(8)의 피치를 임의로 가변시킬 수 있다.

상기 픽커(8)의 피치를 최대로 하고자 할 경우에는 도 5에 도시된 것과 같이, 상기 슬라이더(12)가 캠홈(10)의 타단부에 위치될 때까지 캠축(9)을 회전시키면 된다.

한편, 전술한 실시예에서는 상기 서보모터(11)의 축과 캠축(9)이 동축상으로 직접 결합되어 있으나, 이와는 다르게 서보모터(11)의 축에 구동풀리가 결합되고, 캠축(9)의 일단부에 상기 구동풀리와 타이밍벨트로 연결되는 종동풀리를 설치하여, 서보모터의 동력이 타이밍벨트를 통해 캠축에 전달되도록 할 수도 있을 것이다.

또한, 본 발명은 상기 캠축을 회동시키기 위해 서보모터를 사용하고 있으나, 회전각이 임의의 각도로 제어 가능한 모든 종류의 모터가 사용될 수 있다.

그리고, 전술한 실시예의 설명에서 상기 픽커(8)는 단품 반도체 소자를 진공압에 의해 흡착하도록 구성된 것으로 하였으나, 복수개의 반도체 소자를 하나의 기판 상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)를 테스트하는 핸들러의 경우 상기 픽커는 모듈 아이씨의 양측단부를 그립(grip) 및 해제하는 그립퍼(gripper)로 구성될 수 있다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 모터의 회전각에 의해 캠축의 회전각이 결정되고, 상기 캠축의 회전각에 따라 픽커의 간격이 임의로 조정될 수 있으므로, 픽커의 피치를 사용자가 원하는 대로 임의로 조정할 수 있게 된다.

Claims (4)

1. 가이드레일을 따라 수평 이동하도록 설치된 베이스블럭과;

   상기 베이스블럭에 수직하게 설치되는 가이드레일을 따라 상하로 승강 가능하게 설치되는 승강블럭과;

   상기 승강블럭에 수평한 회전축을 중심으로 회동가능하게 설치되며, 외주면을 따라 복수개의 캠홈이 중간부에서 외곽방향으로 경사지게 형성된 캠축과;

   일단부가 상기 캠축의 각 캠홈에 이동가능하게 결합된 상태로 상기 승강블럭에 수평하게 설치되는 수평 가이드레일을 따라 수평하게 이동하도록 설치되어, 반도체 소자를 흡착하는 복수개의 픽커와;

   상기 캠축의 일단부에 결합되어 상기 캠축을 원하는 임의의 각도로 회동시키는 모터와, 상기 모터에 축결합되어 회전하는 제 1풀리와, 상기 캠축의 일단에 고정되어 회전하는 제 2풀리와, 상기 제 1풀리와 제 2풀리에 걸쳐져 결합되어 제 1풀리의 회전력을 제 2풀리에 전달하는 타이밍벨트로 구성된 구동유닛을 포함하여 구성된 핸들러용 픽커의 간격 조절장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 캠축의 캠홈들은 전개했을 때 직선형인 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커의 간격 조절장치.
3. 삭제
4. 제 1항에 있어서, 상기 모터는 서보모터인 것을 특징으로 하는 핸들러용 픽커의 간격 조절장치.

Images