JPH11245189A - 多段スライド装置 - Google Patents
多段スライド装置Info
- Publication number
- JPH11245189A JPH11245189A JP4785898A JP4785898A JPH11245189A JP H11245189 A JPH11245189 A JP H11245189A JP 4785898 A JP4785898 A JP 4785898A JP 4785898 A JP4785898 A JP 4785898A JP H11245189 A JPH11245189 A JP H11245189A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- base
- belt
- moves
- ball screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】高精度な駆動が可能となり、位置決め精度を向
上できる多段スライド装置を提供することにある。 【解決手段】】第1のベース1に設けられた直線移動自
在な第1のスライダ3をボールねじ6によって駆動し、
第1のスライダ3にこれと一体に同方向に移動する第2
のベース15を設ける。また、第2のベース15に第1
のスライダ3と同方向に直線移動自在な第2のスライダ
17を設け、第2のベース15に同ベースの移動に伴っ
て走行し第2のスライダ17を駆動するベルト20を設
けたことにある。
上できる多段スライド装置を提供することにある。 【解決手段】】第1のベース1に設けられた直線移動自
在な第1のスライダ3をボールねじ6によって駆動し、
第1のスライダ3にこれと一体に同方向に移動する第2
のベース15を設ける。また、第2のベース15に第1
のスライダ3と同方向に直線移動自在な第2のスライダ
17を設け、第2のベース15に同ベースの移動に伴っ
て走行し第2のスライダ17を駆動するベルト20を設
けたことにある。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、長いストローク
を得ることができ、物品の搬入、搬出等に用いられる多
段スライド装置に関する。
を得ることができ、物品の搬入、搬出等に用いられる多
段スライド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置において、チャ
ンバの周囲に複数の処理室が配置され、チャンバ内から
半導体基板を処理室に搬入、搬出する場合、チャンバ内
は狭い空間であるため、搬入時にはアームが伸長し、搬
出時にはアームが収縮する搬出入装置として多段スライ
ド装置が用いられている。
ンバの周囲に複数の処理室が配置され、チャンバ内から
半導体基板を処理室に搬入、搬出する場合、チャンバ内
は狭い空間であるため、搬入時にはアームが伸長し、搬
出時にはアームが収縮する搬出入装置として多段スライ
ド装置が用いられている。
【0003】多段スライド装置は、例えば、特開平9-
36200号公報で知られている。この多段スライド装
置は、固定ガイドに対してスライド自在な第1のスライ
ダと、この第1のスライダに対してスライド自在な第2
のスライダを有している。そして、固定ガイドにステッ
プモータが設けられ、このステップモータによって駆動
されるプーリとベルトによって第1のスライダが直線移
動し、第1のスライダに設けられたベルトによって第2
のスライダが同方向に直線移動するようになっている。
36200号公報で知られている。この多段スライド装
置は、固定ガイドに対してスライド自在な第1のスライ
ダと、この第1のスライダに対してスライド自在な第2
のスライダを有している。そして、固定ガイドにステッ
プモータが設けられ、このステップモータによって駆動
されるプーリとベルトによって第1のスライダが直線移
動し、第1のスライダに設けられたベルトによって第2
のスライダが同方向に直線移動するようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ように構成された多段スライド装置は、第1のスライダ
と第2のスライダを駆動する動力伝達機構としてプーリ
とベルトを用いているため、プーリとベルトのスリップ
やベルトの伸び等が原因して移動精度の確保が難しいと
いう事情がある。
ように構成された多段スライド装置は、第1のスライダ
と第2のスライダを駆動する動力伝達機構としてプーリ
とベルトを用いているため、プーリとベルトのスリップ
やベルトの伸び等が原因して移動精度の確保が難しいと
いう事情がある。
【0005】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、、円滑に駆動すると
ともに、移動精度が高く、高精度の位置決めができる多
段スライド装置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、、円滑に駆動すると
ともに、移動精度が高く、高精度の位置決めができる多
段スライド装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、前述した目
的を達成するために、請求項1は、第1のベースと、こ
の第1のベースに設けられた直線移動自在な第1のスラ
イダと、この第1のスライダを駆動するボールねじと、
前記第1のスライダに搭載され同スライダと一体に同方
向に移動する第2のベースと、この第2のベースに設け
られ前記第1のスライダと同方向に直線移動自在な第2
のスライダと、前記第2のベースに設けられ同ベースの
移動に伴って走行し前記第2のスライダを駆動するベル
ト駆動機構とを具備したことを特徴とする多段スライド
装置にある。
的を達成するために、請求項1は、第1のベースと、こ
の第1のベースに設けられた直線移動自在な第1のスラ
イダと、この第1のスライダを駆動するボールねじと、
前記第1のスライダに搭載され同スライダと一体に同方
向に移動する第2のベースと、この第2のベースに設け
られ前記第1のスライダと同方向に直線移動自在な第2
のスライダと、前記第2のベースに設けられ同ベースの
移動に伴って走行し前記第2のスライダを駆動するベル
ト駆動機構とを具備したことを特徴とする多段スライド
装置にある。
【0007】前述した構成によれば、ボールねじによっ
て第1のスライダが直線移動すると、第2のベースが一
体的に移動する。第2のベースが移動すると、プーリと
ベルトも一緒に移動し、ベルトは第1のベースに固定さ
れ、第2のスライダが連結されているため、ベルトが相
対的に走行して第2のスライダが第1のスライダと同方
向に移動する。
て第1のスライダが直線移動すると、第2のベースが一
体的に移動する。第2のベースが移動すると、プーリと
ベルトも一緒に移動し、ベルトは第1のベースに固定さ
れ、第2のスライダが連結されているため、ベルトが相
対的に走行して第2のスライダが第1のスライダと同方
向に移動する。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図1〜図3は第1の実施形態を
示し、図1は多段スライド装置の縦断側面図、図2は同
平面図、図3は同側面図である。第1のベース1は長方
形状の板状体からなり、この第1のベース1の上面には
幅方向に離間して2条の直線案内レール2が設けられて
いる。この直線案内レール2には第1のスライダ3が載
置され、第1のスライダ3は直線案内レール2に沿って
移動自在である。
面に基づいて説明する。図1〜図3は第1の実施形態を
示し、図1は多段スライド装置の縦断側面図、図2は同
平面図、図3は同側面図である。第1のベース1は長方
形状の板状体からなり、この第1のベース1の上面には
幅方向に離間して2条の直線案内レール2が設けられて
いる。この直線案内レール2には第1のスライダ3が載
置され、第1のスライダ3は直線案内レール2に沿って
移動自在である。
【0009】第1のスライダ3の幅方向の中間部には切
欠部4及びこの切欠部4から直線案内レール2と平行に
貫通孔5が設けられている。そして、切欠部4にはボー
ルねじ6のボールナット7が収納され、貫通孔5にはね
じ軸8が貫通して設けられている。ボールねじ6のねじ
軸8の両端部は第1のベース1に設けられた軸受9に回
転自在に支持されている。
欠部4及びこの切欠部4から直線案内レール2と平行に
貫通孔5が設けられている。そして、切欠部4にはボー
ルねじ6のボールナット7が収納され、貫通孔5にはね
じ軸8が貫通して設けられている。ボールねじ6のねじ
軸8の両端部は第1のベース1に設けられた軸受9に回
転自在に支持されている。
【0010】第1のベース1の長手方向の一端部におけ
る下部には取付け部材10aによってモータ、例えばス
テップモータ10がねじ軸8と平行に配置固定されてい
る。このステップモータ10の回転軸11には駆動プー
リ12が設けられ、前記ボールねじ6のねじ軸8には従
動プーリ13が設けられている。そして、駆動プーリ1
2と従動プーリ13との間にはベルト14が掛け渡さ
れ、ステップモータ10の回転駆動力をベルト14を介
してボールねじ6のねじ軸8に伝達するようになってい
る。前記取付け部材10aは縦方向に長い長孔10bを
有しており、この長孔10bに取付けねじ11cを挿通
して第1のベース1に取り付けられており、ベルト14
の張力を適正に与えている。
る下部には取付け部材10aによってモータ、例えばス
テップモータ10がねじ軸8と平行に配置固定されてい
る。このステップモータ10の回転軸11には駆動プー
リ12が設けられ、前記ボールねじ6のねじ軸8には従
動プーリ13が設けられている。そして、駆動プーリ1
2と従動プーリ13との間にはベルト14が掛け渡さ
れ、ステップモータ10の回転駆動力をベルト14を介
してボールねじ6のねじ軸8に伝達するようになってい
る。前記取付け部材10aは縦方向に長い長孔10bを
有しており、この長孔10bに取付けねじ11cを挿通
して第1のベース1に取り付けられており、ベルト14
の張力を適正に与えている。
【0011】前記第1のスライダ3の両側部には立上り
壁3aが一体に設けられ、これら立上り壁3a間には前
記第1のベース1の長手方向に長い長方形の板状体から
なる第2のベース15が架設されている。第2のベース
15の上面の幅方向の中間部には第2のベース15の長
手方向に沿って直線案内レール16が設けられている。
そして、この直線案内レール16には第2のスライダ1
7が載置され、第2のスライダ17は直線案内レール1
6に沿って移動自在である。
壁3aが一体に設けられ、これら立上り壁3a間には前
記第1のベース1の長手方向に長い長方形の板状体から
なる第2のベース15が架設されている。第2のベース
15の上面の幅方向の中間部には第2のベース15の長
手方向に沿って直線案内レール16が設けられている。
そして、この直線案内レール16には第2のスライダ1
7が載置され、第2のスライダ17は直線案内レール1
6に沿って移動自在である。
【0012】また、第2のベース15の一側部における
長手方向の両端部には鉛直方向に支軸18a、18bが
固定され、これら支軸18a,18bにはプーリ19
a,19bが回転自在に嵌合されている。そして、一対
のプーリ19a,19bにはベルト20が掛け渡され、
直線案内レール16に沿って走行するようになってい
る。さらに、前記一方の支軸18aは第2のベース15
に対してその長手方向に移動可能に固定された取付け板
15aに設けられ、ベルト20の張力を適正に保持でき
るようになっている。
長手方向の両端部には鉛直方向に支軸18a、18bが
固定され、これら支軸18a,18bにはプーリ19
a,19bが回転自在に嵌合されている。そして、一対
のプーリ19a,19bにはベルト20が掛け渡され、
直線案内レール16に沿って走行するようになってい
る。さらに、前記一方の支軸18aは第2のベース15
に対してその長手方向に移動可能に固定された取付け板
15aに設けられ、ベルト20の張力を適正に保持でき
るようになっている。
【0013】一方のプーリ19aの近傍には第1のベー
ス1の一側部に対して固定された固定部材21が設けら
れ、この固定部材21の上端部は固定部22を介して前
記ベルト20の一部に固定されている。すなわち、ベル
ト20は固定部材21によって第1のベース1に固定さ
れて走行不能になっている。
ス1の一側部に対して固定された固定部材21が設けら
れ、この固定部材21の上端部は固定部22を介して前
記ベルト20の一部に固定されている。すなわち、ベル
ト20は固定部材21によって第1のベース1に固定さ
れて走行不能になっている。
【0014】また、プーリ19bの近傍に位置するベル
ト20は固定部23によって前記第2のスライダ17に
連結されていて、第2のスライダ17の移動に伴ってベ
ルト20が相対的にプーリ19a,19bの周りを矢印
方向に移動するようになっている。
ト20は固定部23によって前記第2のスライダ17に
連結されていて、第2のスライダ17の移動に伴ってベ
ルト20が相対的にプーリ19a,19bの周りを矢印
方向に移動するようになっている。
【0015】次に、前述のように構成された多段スライ
ド装置の作用について説明する。図1の実線に示すよう
に、第1のスライダ3及び第2のスライダ17が最右端
に位置している状態からステップモータ10が駆動する
と、回転軸11が回転して駆動プーリ12が回転する。
駆動プーリ12の回転はベルト14を介して従動プーリ
13に伝達され、ボールねじ6のねじ軸8が回転する。
ねじ軸8の回転運動は,これと螺合するボールナット7
によって直線運動に変換され、ボールナット7がねじ軸
8上を矢印a方向に移動する。ボールナット7は第1の
スライダ3に固定されているため、第1のスライダ3が
直線案内レール2に沿って同方向に移動する。
ド装置の作用について説明する。図1の実線に示すよう
に、第1のスライダ3及び第2のスライダ17が最右端
に位置している状態からステップモータ10が駆動する
と、回転軸11が回転して駆動プーリ12が回転する。
駆動プーリ12の回転はベルト14を介して従動プーリ
13に伝達され、ボールねじ6のねじ軸8が回転する。
ねじ軸8の回転運動は,これと螺合するボールナット7
によって直線運動に変換され、ボールナット7がねじ軸
8上を矢印a方向に移動する。ボールナット7は第1の
スライダ3に固定されているため、第1のスライダ3が
直線案内レール2に沿って同方向に移動する。
【0016】第1のスライダ3には第2のベース15が
搭載されているため、第2のベース15は直線案内レー
ル16に沿って第1のスライダ3と一体に同方向に移動
する。第2のベース15が移動すると、同ベース15に
固定されている一対のプーリ19a,19bも移動する
が、ベルト20は第1のベース1に固定されているた
め、ベルト20は相対的にプーリ19a,19bの周り
を矢印b方向に移動する。
搭載されているため、第2のベース15は直線案内レー
ル16に沿って第1のスライダ3と一体に同方向に移動
する。第2のベース15が移動すると、同ベース15に
固定されている一対のプーリ19a,19bも移動する
が、ベルト20は第1のベース1に固定されているた
め、ベルト20は相対的にプーリ19a,19bの周り
を矢印b方向に移動する。
【0017】ベルト20が相対的に移動すると、このベ
ルト20に連結されている第2のスライダ17が直線案
内レール16に沿って矢印a方向に移動する。したがっ
て、第1のスライダ3と第2のスライダ17が同方向に
同一量移動することになり、第2のベース15は図1の
2点鎖線で示すように、第1のベース1の最左端より延
出し、第2のスライダ17も第2のベース15の最左端
に位置する。なお、ステップモータ10を逆回転させる
ことにより、第1のスライダ3および第2のスライダ1
7は逆方向に移動することは勿論である。
ルト20に連結されている第2のスライダ17が直線案
内レール16に沿って矢印a方向に移動する。したがっ
て、第1のスライダ3と第2のスライダ17が同方向に
同一量移動することになり、第2のベース15は図1の
2点鎖線で示すように、第1のベース1の最左端より延
出し、第2のスライダ17も第2のベース15の最左端
に位置する。なお、ステップモータ10を逆回転させる
ことにより、第1のスライダ3および第2のスライダ1
7は逆方向に移動することは勿論である。
【0018】このようにボールねじ6の駆動とベルト2
0の駆動により移動方向寸法を短くすることができ、よ
り高精度な駆動が可能となり、位置決め精度が向上す
る。また、ボールねじ6を採用することにより、ステッ
プモータ10に対し大きな負荷変動を許容でき、ベルト
20のメンテナンスを軽減できる。
0の駆動により移動方向寸法を短くすることができ、よ
り高精度な駆動が可能となり、位置決め精度が向上す
る。また、ボールねじ6を採用することにより、ステッ
プモータ10に対し大きな負荷変動を許容でき、ベルト
20のメンテナンスを軽減できる。
【0019】なお、前記第1の実施形態においては、プ
ーリ19a,19bおよびベルト20を第2のベース1
5に対して垂直に設けたが、平行に設けてもよく、直線
案内レール16を2条とし、その間にベルト20を配置
してもよい。
ーリ19a,19bおよびベルト20を第2のベース1
5に対して垂直に設けたが、平行に設けてもよく、直線
案内レール16を2条とし、その間にベルト20を配置
してもよい。
【0020】また、ボールねじ6と直線案内レール2の
配置は、ボールねじ6を直線案内レール2の外側に配置
してもよく、また、ステップモータ10とボールねじ6
のねじ軸8との動力伝達はカップリングによって連結し
てもよい。
配置は、ボールねじ6を直線案内レール2の外側に配置
してもよく、また、ステップモータ10とボールねじ6
のねじ軸8との動力伝達はカップリングによって連結し
てもよい。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、請求項記載の発明
によれば、ボールねじの駆動とベルトの駆動により移動
方向寸法を短くすることができ、より高精度な駆動が可
能となり、位置決め精度が向上する。また、ボールねじ
を採用することにより、モータに対し大きな負荷変動を
許容でき、ベルトのメンテナンスを軽減できるという効
果がある。
によれば、ボールねじの駆動とベルトの駆動により移動
方向寸法を短くすることができ、より高精度な駆動が可
能となり、位置決め精度が向上する。また、ボールねじ
を採用することにより、モータに対し大きな負荷変動を
許容でき、ベルトのメンテナンスを軽減できるという効
果がある。
【図1】この発明の第1の実施形態を示す多段スライド
装置の縦断側面図。
装置の縦断側面図。
【図2】同実施形態の多段スライド装置の平面図。
【図3】同実施形態の多段スライド装置の側面図。
1…第1のベース 3…第1のスライダ 6…ボールねじ 10…ステップモータ 15…第2のベース 17…第2のスライダ 19a,19b…プーリ 20…ベルト
Claims (1)
- 【請求項1】 第1のベースと、この第1のベースに設
けられた直線移動自在な第1のスライダと、この第1の
スライダを駆動するボールねじと、前記第1のスライダ
に搭載され同スライダと一体に同方向に移動する第2の
ベースと、この第2のベースに設けられ前記第1のスラ
イダと同方向に直線移動自在な第2のスライダと、前記
第2のベースに設けられ同ベースの移動に伴って走行し
前記第2のスライダを駆動するベルト駆動機構とを具備
したことを特徴とする多段スライド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4785898A JPH11245189A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 多段スライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4785898A JPH11245189A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 多段スライド装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11245189A true JPH11245189A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=12787076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4785898A Pending JPH11245189A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 多段スライド装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11245189A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100395555B1 (ko) * | 2000-02-28 | 2003-08-25 | 삼성전자주식회사 | 신축 암을 갖는 산업용 로봇 |
JP2005294331A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Sumitomo Eaton Noba Kk | ウエハスキャン装置 |
JP2011183472A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Yaskawa Electric Corp | ハンド装置及びロボット装置並びに機械製品の製造システム |
DE102014108982A1 (de) | 2013-06-27 | 2014-12-31 | Denso Wave Incorporated | Industrieroboter mit einer horizontalen mehrstufigen teleskopischen Vorrichtung |
CN114366306A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-04-19 | 上海市胸科医院 | 伸缩结构及医疗机器人末端执行机构 |
-
1998
- 1998-02-27 JP JP4785898A patent/JPH11245189A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100395555B1 (ko) * | 2000-02-28 | 2003-08-25 | 삼성전자주식회사 | 신축 암을 갖는 산업용 로봇 |
JP2005294331A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Sumitomo Eaton Noba Kk | ウエハスキャン装置 |
JP2011183472A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Yaskawa Electric Corp | ハンド装置及びロボット装置並びに機械製品の製造システム |
DE102014108982A1 (de) | 2013-06-27 | 2014-12-31 | Denso Wave Incorporated | Industrieroboter mit einer horizontalen mehrstufigen teleskopischen Vorrichtung |
US9573281B2 (en) | 2013-06-27 | 2017-02-21 | Denso Wave Incorporated | Industrial robot provided with horizontal multistage telescopic device |
DE102014108982B4 (de) | 2013-06-27 | 2022-05-12 | Denso Wave Incorporated | Industrieroboter mit einer horizontalen, mehrstufigen, teleskopischen Vorrichtung |
DE102014108982B8 (de) | 2013-06-27 | 2022-07-07 | Denso Wave Incorporated | Industrieroboter mit einer horizontalen, mehrstufigen, teleskopischen Vorrichtung |
CN114366306A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-04-19 | 上海市胸科医院 | 伸缩结构及医疗机器人末端执行机构 |
CN114366306B (zh) * | 2022-01-11 | 2023-09-01 | 上海市胸科医院 | 伸缩结构及医疗机器人末端执行机构 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Effective date: 20040713 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A521 | Written amendment |
Effective date: 20040913 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041116 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050322 |