JPH11245189A - 多段スライド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高精度な駆動が可能となり、位置決め精度を向
上できる多段スライド装置を提供することにある。 【解決手段】】第１のベース１に設けられた直線移動自
在な第１のスライダ３をボールねじ６によって駆動し、
第１のスライダ３にこれと一体に同方向に移動する第２
のベース１５を設ける。また、第２のベース１５に第１
のスライダ３と同方向に直線移動自在な第２のスライダ
１７を設け、第２のベース１５に同ベースの移動に伴っ
て走行し第２のスライダ１７を駆動するベルト２０を設
けたことにある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、長いストローク
を得ることができ、物品の搬入、搬出等に用いられる多
段スライド装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置において、チャ
ンバの周囲に複数の処理室が配置され、チャンバ内から
半導体基板を処理室に搬入、搬出する場合、チャンバ内
は狭い空間であるため、搬入時にはアームが伸長し、搬
出時にはアームが収縮する搬出入装置として多段スライ
ド装置が用いられている。

【０００３】多段スライド装置は、例えば、特開平９-
３６２００号公報で知られている。この多段スライド装
置は、固定ガイドに対してスライド自在な第１のスライ
ダと、この第１のスライダに対してスライド自在な第２
のスライダを有している。そして、固定ガイドにステッ
プモータが設けられ、このステップモータによって駆動
されるプーリとベルトによって第１のスライダが直線移
動し、第１のスライダに設けられたベルトによって第２
のスライダが同方向に直線移動するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ように構成された多段スライド装置は、第１のスライダ
と第２のスライダを駆動する動力伝達機構としてプーリ
とベルトを用いているため、プーリとベルトのスリップ
やベルトの伸び等が原因して移動精度の確保が難しいと
いう事情がある。

【０００５】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、、円滑に駆動すると
ともに、移動精度が高く、高精度の位置決めができる多
段スライド装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、前述した目
的を達成するために、請求項１は、第１のベースと、こ
の第１のベースに設けられた直線移動自在な第１のスラ
イダと、この第１のスライダを駆動するボールねじと、
前記第１のスライダに搭載され同スライダと一体に同方
向に移動する第２のベースと、この第２のベースに設け
られ前記第１のスライダと同方向に直線移動自在な第２
のスライダと、前記第２のベースに設けられ同ベースの
移動に伴って走行し前記第２のスライダを駆動するベル
ト駆動機構とを具備したことを特徴とする多段スライド
装置にある。

【０００７】前述した構成によれば、ボールねじによっ
て第１のスライダが直線移動すると、第２のベースが一
体的に移動する。第２のベースが移動すると、プーリと
ベルトも一緒に移動し、ベルトは第１のベースに固定さ
れ、第２のスライダが連結されているため、ベルトが相
対的に走行して第２のスライダが第１のスライダと同方
向に移動する。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１〜図３は第１の実施形態を
示し、図１は多段スライド装置の縦断側面図、図２は同
平面図、図３は同側面図である。第１のベース１は長方
形状の板状体からなり、この第１のベース１の上面には
幅方向に離間して２条の直線案内レール２が設けられて
いる。この直線案内レール２には第１のスライダ３が載
置され、第１のスライダ３は直線案内レール２に沿って
移動自在である。

【０００９】第１のスライダ３の幅方向の中間部には切
欠部４及びこの切欠部４から直線案内レール２と平行に
貫通孔５が設けられている。そして、切欠部４にはボー
ルねじ６のボールナット７が収納され、貫通孔５にはね
じ軸８が貫通して設けられている。ボールねじ６のねじ
軸８の両端部は第１のベース１に設けられた軸受９に回
転自在に支持されている。

【００１０】第１のベース１の長手方向の一端部におけ
る下部には取付け部材１０ａによってモータ、例えばス
テップモータ１０がねじ軸８と平行に配置固定されてい
る。このステップモータ１０の回転軸１１には駆動プー
リ１２が設けられ、前記ボールねじ６のねじ軸８には従
動プーリ１３が設けられている。そして、駆動プーリ１
２と従動プーリ１３との間にはベルト１４が掛け渡さ
れ、ステップモータ１０の回転駆動力をベルト１４を介
してボールねじ６のねじ軸８に伝達するようになってい
る。前記取付け部材１０ａは縦方向に長い長孔１０ｂを
有しており、この長孔１０ｂに取付けねじ１１ｃを挿通
して第１のベース１に取り付けられており、ベルト１４
の張力を適正に与えている。

【００１１】前記第１のスライダ３の両側部には立上り
壁３ａが一体に設けられ、これら立上り壁３ａ間には前
記第１のベース１の長手方向に長い長方形の板状体から
なる第２のベース１５が架設されている。第２のベース
１５の上面の幅方向の中間部には第２のベース１５の長
手方向に沿って直線案内レール１６が設けられている。
そして、この直線案内レール１６には第２のスライダ１
７が載置され、第２のスライダ１７は直線案内レール１
６に沿って移動自在である。

【００１２】また、第２のベース１５の一側部における
長手方向の両端部には鉛直方向に支軸１８ａ、１８ｂが
固定され、これら支軸１８ａ，１８ｂにはプーリ１９
ａ，１９ｂが回転自在に嵌合されている。そして、一対
のプーリ１９ａ，１９ｂにはベルト２０が掛け渡され、
直線案内レール１６に沿って走行するようになってい
る。さらに、前記一方の支軸１８ａは第２のベース１５
に対してその長手方向に移動可能に固定された取付け板
１５ａに設けられ、ベルト２０の張力を適正に保持でき
るようになっている。

【００１３】一方のプーリ１９ａの近傍には第１のベー
ス１の一側部に対して固定された固定部材２１が設けら
れ、この固定部材２１の上端部は固定部２２を介して前
記ベルト２０の一部に固定されている。すなわち、ベル
ト２０は固定部材２１によって第１のベース１に固定さ
れて走行不能になっている。

【００１４】また、プーリ１９ｂの近傍に位置するベル
ト２０は固定部２３によって前記第２のスライダ１７に
連結されていて、第２のスライダ１７の移動に伴ってベ
ルト２０が相対的にプーリ１９ａ，１９ｂの周りを矢印
方向に移動するようになっている。

【００１５】次に、前述のように構成された多段スライ
ド装置の作用について説明する。図１の実線に示すよう
に、第１のスライダ３及び第２のスライダ１７が最右端
に位置している状態からステップモータ１０が駆動する
と、回転軸１１が回転して駆動プーリ１２が回転する。
駆動プーリ１２の回転はベルト１４を介して従動プーリ
１３に伝達され、ボールねじ６のねじ軸８が回転する。
ねじ軸８の回転運動は，これと螺合するボールナット７
によって直線運動に変換され、ボールナット７がねじ軸
８上を矢印ａ方向に移動する。ボールナット７は第１の
スライダ３に固定されているため、第１のスライダ３が
直線案内レール２に沿って同方向に移動する。

【００１６】第１のスライダ３には第２のベース１５が
搭載されているため、第２のベース１５は直線案内レー
ル１６に沿って第１のスライダ３と一体に同方向に移動
する。第２のベース１５が移動すると、同ベース１５に
固定されている一対のプーリ１９ａ，１９ｂも移動する
が、ベルト２０は第１のベース１に固定されているた
め、ベルト２０は相対的にプーリ１９ａ，１９ｂの周り
を矢印ｂ方向に移動する。

【００１７】ベルト２０が相対的に移動すると、このベ
ルト２０に連結されている第２のスライダ１７が直線案
内レール１６に沿って矢印ａ方向に移動する。したがっ
て、第１のスライダ３と第２のスライダ１７が同方向に
同一量移動することになり、第２のベース１５は図１の
２点鎖線で示すように、第１のベース１の最左端より延
出し、第２のスライダ１７も第２のベース１５の最左端
に位置する。なお、ステップモータ１０を逆回転させる
ことにより、第１のスライダ３および第２のスライダ１
７は逆方向に移動することは勿論である。

【００１８】このようにボールねじ６の駆動とベルト２
０の駆動により移動方向寸法を短くすることができ、よ
り高精度な駆動が可能となり、位置決め精度が向上す
る。また、ボールねじ６を採用することにより、ステッ
プモータ１０に対し大きな負荷変動を許容でき、ベルト
２０のメンテナンスを軽減できる。

【００１９】なお、前記第１の実施形態においては、プ
ーリ１９ａ，１９ｂおよびベルト２０を第２のベース１
５に対して垂直に設けたが、平行に設けてもよく、直線
案内レール１６を２条とし、その間にベルト２０を配置
してもよい。

【００２０】また、ボールねじ６と直線案内レール２の
配置は、ボールねじ６を直線案内レール２の外側に配置
してもよく、また、ステップモータ１０とボールねじ６
のねじ軸８との動力伝達はカップリングによって連結し
てもよい。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項記載の発明
によれば、ボールねじの駆動とベルトの駆動により移動
方向寸法を短くすることができ、より高精度な駆動が可
能となり、位置決め精度が向上する。また、ボールねじ
を採用することにより、モータに対し大きな負荷変動を
許容でき、ベルトのメンテナンスを軽減できるという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態を示す多段スライド
装置の縦断側面図。

【図２】同実施形態の多段スライド装置の平面図。

【図３】同実施形態の多段スライド装置の側面図。

【符号の説明】

１…第１のベース ３…第１のスライダ ６…ボールねじ １０…ステップモータ １５…第２のベース １７…第２のスライダ １９ａ，１９ｂ…プーリ ２０…ベルト

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のベースと、この第１のベースに設
   けられた直線移動自在な第１のスライダと、この第１の
   スライダを駆動するボールねじと、前記第１のスライダ
   に搭載され同スライダと一体に同方向に移動する第２の
   ベースと、この第２のベースに設けられ前記第１のスラ
   イダと同方向に直線移動自在な第２のスライダと、前記
   第２のベースに設けられ同ベースの移動に伴って走行し
   前記第２のスライダを駆動するベルト駆動機構とを具備
   したことを特徴とする多段スライド装置。