JP2664354B2 - 多段スライド装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、長いストロークを
得ることができるスライド装置であって、１つのモータ
を駆動するだけで、抵抗が少なくスムーズに伸縮駆動可
能な多段スライド装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体の生産ラインにおいて、ウェハの
搬送に使用されるチャンバには従来から次に示すような
ものが使用されている。図１０は、第１従来例であるア
ーム型チャンバを示した側面図であり、図１１は、その
平面図である。図１０に示すようにチャンバ５１は、基
台５２上に固設されている。基台５２には、不図示の駆
動手段に連結された回転軸５３が突出して形成されてい
る。その回転軸５３には、第１アーム５４の端部が固設
され、他端には第２アーム５５が回転可能に軸着されて
いる。更にその第２アーム５５にはその上面に、先に第
１アーム５４に軸着された側とは別の端部にフィンガ５
６が軸着されている。

【０００３】そして、チャンバ５１の周りにはエッチン
グ等の半導体生産工程を行うための各処理容器が配設さ
れており、図面では左右に容器５８，５９のシャッタ６
０部分を示してある。このような構成による従来のチャ
ンバ５１は、次のように作用する。先ず、チャンバ５１
は、図１１に示すように旋回範囲を３３０゜有してお
り、所定位置で第１アーム５４及び第２アーム５５内に
構成された不図示の駆動機構によってアーム５４，５５
及びフィンガ５６を回転させてその伸縮を行い、例え
ば、処理容器５８のウェハ５７を処理容器５９へ搬送す
る。

【０００４】従来の旋回型アームチャンバーは、旋回す
るためのスペースを必要とするため、無駄な空間を設け
ざるを得ず、スペース効率を低下させていた。その問題
を解決するために、直動型スライダーを２段、３段と、
多段に設けることが考えられる。この場合に、各スライ
ダーの各々に駆動用モータを設けたのでは、駆動モータ
用のスペースを必要とし、特に、各スライダー上に駆動
モータを配設すると、スライダーも大型化して、全体が
大型化する問題があった。１つの駆動モータで多段のス
ライダーを駆動させようとする考えは、従来から存在す
る。例えば、実開昭６２−７７１９３号では、図１２に
示すような多段スライダーが提案されている。

【０００５】固定ガイド６１にピニオン６２が回転可能
に保持されおり、ピニオン６２は、図示しない駆動モー
タにより回転される。固定ガイド６１には、第一スライ
ダー６５が図示しない複数のローラにより摺動可能に保
持されている。第一スライダー６５には、ピニオン６２
と対応する位置にラック６６が固設されている。第一ス
ライダー６５には、第二スライダー６８が図示しない複
数のローラにより摺動可能に保持されている。第二スラ
イダー６８には、第三スライダー７０が図示しない複数
のローラにより摺動可能に保持されている。また、第一
スライダー６５の左端には、第一プーリ６４が回転可能
に付設されている。そして、第一ベルト６３は、その一
端が固定ガイド６１の右端に固定され、第一プーリ６４
を周回して他端が第二スライダー６８の右端に固定され
ている。また、第二スライダー６８の左端には、第二プ
ーリ６７が回転可能に付設されている。そして、第二ベ
ルト６９は、その一端が第一スライダー６５の右端に固
定され、第二プーリ６７を周回して他端が第三スライダ
ー７０の右端に固定されている。

【０００６】上記構成を有することにより、ピニオン６
２が駆動モータにより時計廻りに回転されることによ
り、ラック６６を介して第一スライダー６５が矢印の方
向に移動する。そして、第一プーリ６４に引っ張られ
て、第二スライダー６８が矢印の方向に移動する。さら
に、第二プーリ６７に引っ張られて第三スライダー７０
が矢印の方向に移動する。これにより、１台の駆動モー
タで多段のスライダーを同時に移動させることができる
効果がある。図１２に示す構成では、スライダーを矢印
と反対の方向に移動させることはできない。多段スライ
ダーの反対側には、対象形にプーリ及びベルトが配設さ
れており、多段スライダー図中矢印と反対の方向に移動
させることが可能となっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記多
段スライド装置には次のような問題があった。 （１）実開昭６２−７７１９３号で開示されている多段
スライド装置では、ピニオン６２によりラック６６を左
右に移動させる必要があるため、ピニオン６２が固定ガ
イド６１の中央に付設されている。従って、第一スライ
ダー６５がスライドできる距離は、固定ガイド６１の全
長の半分以下である。さらに、構造的に第二スライダー
６８がスライドできる距離は、第一スライダー６５と同
じであり、第三スライダー７０がスライドできる距離
は、第二スライダー６８と同じなので、必要なストロー
クを確保するためには、固定ガイド６１の長さが長くな
り、取付スペースが拡大する問題があった。また、必要
なストロークを確保するためには、スライダーの段数を
増やす必要があり、スライダー重量が増加するため、ガ
イド等の補強を必要とし、ますます全体が大型化する問
題があった。

【０００８】（２）実開昭６２−７７１９３号で開示さ
れている多段スライド装置では、スライダーを両側にス
ライドさせるために、スライダーの両端部にプーリと索
を必要とするため、構造が複雑となり、トラブルの発生
が多くなる問題があった。また、その分大型化する問題
があった。

【０００９】本発明の目的は、固定ガイドの全長の８０
％近くのストロークを得ることのできるコンパクトな多
段スライダー装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の多段スライド装置は、次のような構成を有
する。 （１）駆動用モータが固設された固定ガイドと、固定ガ
イドに対して摺動可能に保持された第一スライダーと、
第一スライダーに対して摺動可能に保持された第二スラ
イダーと、固定ガイドに固設され駆動用モータに接続す
る駆動プーリと、固定ガイドに固設された第一従動プー
リと、両端が第一スライダーに固定され駆動プーリと第
一従動プーリとに張架される第一ベルトと、第一スライ
ダーの中央線上に固設され２本のベルトが張架可能な一
対の２段プーリと、両端が固定ガイドに固定され一対の
２段プーリを張架する第二ベルトと、両端が第二スライ
ダーに固定され一対の２段プーリに張架される第三ベル
トとを有している。 （２）また、（１）の多段スライド装置において、前記
第一スライダーの前記一対の２段プーリの外側に固設さ
れ、前記第二ベルトを前記固定ガイドと前記第一スライ
ダーとの隙間に誘導する第二従動プーリを有することを
特徴とする。

【００１１】（３）駆動用モータが固設された固定ガイ
ドと、固定ガイドに対して摺動可能に保持された第一ス
ライダーと、第一スライダーに対して摺動可能に保持さ
れた第二スライダーと、固定ガイドに固設され駆動用モ
ータに接続する駆動プーリと、固定ガイドに固設された
第一従動プーリと、駆動プーリと第一従動プーリとに張
架される第一ベルトと、第一ベルトと第一スライダーと
を連結する第一連結部材と、固定ガイドに固設されたフ
ックと、第一スライダーに固設された一対のスライドプ
ーリと、一対のスライドプーリを張架する第二ベルト
と、第二ベルトとフックとを連結する第二連結部材と、
第二ベルトと第二スライダーとを連結する第三連結部材
とを有している。 （４）また、（１）及至（３）の多段スライド装置のい
ずれか１つにおいて、前記固定ガイドと前記第一スライ
ダーとが、直線型ローラガイドにより摺動可能に保持さ
れ、前記第一スライダーと前記第二スライダーとが、直
線型ローラガイドにより摺動可能に保持されていること
を特徴とする。

【００１２】上記構成を有する多段スライダーは、以下
の様に作用する。（１）、（２）、（４）の構成よりな
る多段スライド装置の固定ガイドは、直線型ローラガイ
ドにより第一スライダーを摺動可能に保持する。また、
固定ガイドに固設された駆動プーリは、駆動モータの回
転力を第一ベルトに伝達する。第一スライダーは、直線
型ローラガイドにより第二スライダーを摺動可能に保持
する。駆動プーリが時計廻りに回転すると、第一ベルト
により第一従動プーリを介して引っ張られて第一スライ
ダーが移動する。第一スライダーが移動すると、第二ベ
ルトが第一スライダーと共に移動するため、２段プーリ
に駆動力が伝達される。２段プーリが回転すると、第三
ベルトにより引っ張られて第二スライダーが移動する。
ここで、第二従動プーリは、第二ベルトを固定ガイドと
第一スライダーとの隙間に誘導している。また、駆動モ
ータを逆回転すると、同様の作用により、第一スライダ
ー及び第二スライダーは、反対方向に移動する。

【００１３】（３）の構成よりなる多段スライド装置の
固定ガイドは、直線型ローラガイドにより第一スライダ
ーを摺動可能に保持する。また、固定ガイドに固設され
た駆動プーリは、駆動モータの回転力を第一ベルトに伝
達する。第一スライダーは、直線型ローラガイドにより
第二スライダーを摺動可能に保持する。駆動プーリが時
計廻りに回転すると、第一ベルトが同じ方向に移動す
る。そして、第一スライダーは、第一連結部材により第
一ベルトに連結されているので、第一スライダーが移動
する。そして、第一スライダーが移動すると、固定ガイ
ドに固設されたフックにより第二連結部材を介して、第
二ベルトに駆動力が伝達される。そして、第二スライダ
ーは、第三連結部材により第二ベルトに連結されている
ので、第二スライダーが移動する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態である多段スライド装置を図面に基づいて詳細に
説明する。図１に多段スライド装置１１の正面図を示
し、図２に図１の右側面図を示す。図３に図１のＡＡ断
面図を示し、図４にＢＢ断面図を示し、図５にＣＣ断面
図を示す。図１に示すように、固定ガイド１２には、２
本の取付支柱１５により駆動モータであるステップモー
タ１３が固設されている。ステップモータ１３の駆動軸
１３ａは、カップリング１４を介して駆動プーリ１６の
軸に接続している。図２及び図３に示すように、固定ガ
イド１２には、一対の直線型ローラガイドのアウターレ
ール２７が固設され、第一スライダー１９の両側面には
インナーレール２８が固設されている。

【００１５】アウターレール２７とインナーレール２８
との間には、図示しない直線型ボールスライドが保持さ
れており、第一スライダー１９は、固定ガイド１２に対
して摺動可能に保持されている。直線型ボールスライド
の長さは、４０ｍｍ程度であり、本実施の形態の場合、
アウターレール２７の全長の２０％以下である。従っ
て、第一スライダー１９は、固定ガイド１２の両側に対
して、固定ガイド１２の全長の８０％の距離まではみ出
して移動することが可能である。固定ガイド１２の上面
の内側には、駆動プーリ１６及び第一従動プーリ１７と
が回転可能に保持されている。そして、第一スライダー
１９の左上端１９ａに第一ベルト１８の一端がボルトに
より固定されている。また、第一ベルト１８の他端は第
一スライダー１９の右下端１９ｂにボルトにより固定さ
れている。第一ベルト１８は、一定の張力を持つ状態で
駆動プーリ１６及び第一従動プーリ１７に周回し張架さ
れている。

【００１６】第一スライダー１９の上面の中央線上に
は、２本のベルトを張架可能な２段プーリ２０，２１が
離れて回転可能に付設されている。また、２段プーリ２
０の上側には、第二従動プーリ２５が回転可能に付設さ
れている。また、２段プーリ２１の下側には、第二従動
プーリ２６が回転可能に付設されている。そして、固定
ガイド１２の右上端に第二ベルト２２の一端がボルトに
より固定されている。また、第二ベルト２２の他端は固
定ガイド１２の左下端にボルトにより固定されている。
第二ベルト２２は、一定の張力を持つ状態で２段プーリ
２０，２１の下段部、第二従動プーリ２５及び第二従動
プーリ２６に周回し張架されている。

【００１７】図５及び図２に示すように、第一スライダ
ー１９には、一対の直線型ローラガイドのアウターレー
ル２７が固設され、第二スライダー２４の両側面にはイ
ンナーレール２８が固設されている。アウターレール２
７とインナーレール２８との間には、図示しない直線型
ボールスライドが保持されており、第二スライダー２４
は、第一スライダー１９に対して摺動可能に保持されて
いる。直線型ボールスライドの長さは、２０〜４０ｍｍ
程度であり、本実施の形態の場合、アウターレール２７
の全長の２０％以下である。従って、第二スライダー２
４は、第一スライダー１９の両側に対して、第一スライ
ダー１９の全長の８０％の距離まではみ出して移動する
ことが可能である。第二スライダー２４の内側には、２
段プーリ２０，２１の上段部が位置している。そして、
第二スライダー２４の左上端２４ａに第三ベルト２３の
一端がボルトにより固定されている。また、第三ベルト
２３の他端は第二スライダー２４の右下端２４ｂにボル
トにより固定されている。第三ベルト２３は、一定の張
力を持つ状態で２段プーリ２０，２１に周回し張架され
ている。

【００１８】次に、上記構成を有する多段スライド装置
１１の作用を説明する。駆動プーリ１６を図３に矢印Ｌ
で示す方向に回転させるように、ステップモータ１３を
回転させた場合を説明する。駆動プーリ１６が矢印Ｌの
方向に回転すると、第一ベルト１８が矢印Ｍの方向に引
っ張られるため、第一スライダー１９の右下端１９ｂが
引っ張られて第一スライダー１９が矢印Ｍの方向に移動
する。同時に、図４において第一スライダー１９が矢印
Ｎの方向に移動すると、両端が固定ガイド１２に固定さ
れている第二ベルト２２により一定の駆動力で、２段プ
ーリ２０が矢印Ｑの方向に回転され、２段プーリ２１が
矢印Ｐの方向に回転される。

【００１９】図５に示すように、２段プーリ２０が矢印
Ｑの方向に回転し、２段プーリ２１が矢印Ｐの方向に回
転することにより、第三ベルト２３が矢印Ｒの方向に引
っ張られるため、第二スライダー２４の右下端２４ｂが
引っ張られて第二スライダー２４が矢印Ｒの方向に移動
する。すなわち、第一スライダー１９が固定ガイド１２
に対して移動するのと同じ距離だけ、第二スライダー２
４が第一スライダー１９に対して同時に移動する。固定
ガイド１２において、直動型ボールスライドの長さは図
３において、固定ガイド１２の左端から第一従動プーリ
１７の中心までとほぼ同じ長さなので、第一スライダー
１９は、右下端１９ｂが第一従動プーリ１７の中心まで
移動することができる。すなわち、第一スライダー１９
は、固定ガイド１２の全長の約８０％の距離を移動でき
る。第二スライダー２４も同様に、第一スライダー１９
の全長の約８０％の距離を移動することができる。

【００２０】従来の多段スライダーでは、各スライダー
の移動距離が固定ガイドの全長の５０％以下であったの
で、２段のスライダーで移動できる距離は、固定ガイド
の全長とほぼ同じ距離であったが、本実施の形態の多段
スライド装置１１では、固定ガイド１２の全長の１．６
倍の距離を移動することが可能である。当然ながら、ス
テップモータ１３を逆回転させることにより、第一スラ
イダー１９及び第二スライダー２４を右方向に移動させ
ることが可能である。この場合も、固定ガイド１２の全
長の１．６倍の距離を移動することが可能である。

【００２１】以上詳細に説明したように、本実施の形態
の多段スライド装置１１によれば、ステップモータ１３
が固設された固定ガイド１２と、固定ガイド１２に対し
て摺動可能に保持された第一スライダー１９と、第一ス
ライダー１９に対して摺動可能に保持された第二スライ
ダー２４と、固定ガイド１２に固設され固定ガイド１２
に接続する駆動プーリ１６と、固定ガイド１２に固設さ
れた第一従動プーリ１７と、両端が第一スライダー１９
に固定され駆動プーリ１６と第一従動プーリ１７とに張
架される第一ベルト１８と、第一スライダー１９の中央
線上に固設され２本のベルトが張架可能な一対の２段プ
ーリ２０，２１と、両端が固定ガイド１２に固定され一
対の２段プーリ２０，２１を張架する第二ベルト２２
と、両端が第二スライダー２４に固定され一対の２段プ
ーリ２０，２１に張架される第三ベルト２３とを有して
いるので、例えば２段の場合に、固定ガイド１２の全長
の１．６倍の距離を移動することが可能であり、従来よ
り少ない段数で必要なストロークを得ることができるた
め、スライド装置をコンパクト化することができる。ま
た、同じ機構で、ステップモータ１３を逆回転させるだ
けで、第一スライダー１９及び第二スライダー２４を反
対方向に移動させることが可能である。

【００２２】また、第一スライダー１９の一対の２段プ
ーリ２０，２１の外側に固設され、第二ベルト２２を固
定ガイド１２と第一スライダー１９との隙間に誘導する
第二従動プーリ２５、第二従動プーリ２６を有している
ので、第二ベルト２２が第一スライダー１９と接触する
ことが無く、第一スライダー１９をスムーズに移動させ
ることができる。また、固定ガイド１２と第一スライダ
ー１９とが、直線型ローラガイドにより摺動可能に保持
され、第一スライダー１９と第二スライダー２４とが、
直線型ローラガイドにより摺動可能に保持されているの
で、第一スライダー１９を固定ガイド１２に対して８０
％の距離移動させ、さらに第二スライダー２４を第一ス
ライダー１９に対して８０％の距離移動させても、第二
スライダー２４に高い剛性を確保することができる。

【００２３】次に、第二の実施の形態を説明する。第二
実施の形態は、駆動力の伝達方法のみ第一実施の形態と
異なるので、それを中心に説明する。図６に多段スライ
ド装置３１の平面図を示す。図７に図６の右側面図を示
す。図８に図７のＥＥ断面図を示す。図９に図７のＤＤ
断面図を示す。図７に示すように、固定ガイド１２に
は、駆動モータであるステップモータ１３が固設されて
いる。ステップモータ１３の駆動軸は、カップリング１
４を介して駆動プーリ１６の軸に接続している。固定ガ
イド１２には、一対の直線型ローラガイドのアウターレ
ール２７が固設され、第一スライダー１９の両側面には
インナーレール２８が固設されている。

【００２４】アウターレール２７とインナーレール２８
との間には、図示しない直線型ボールスライドが保持さ
れており、第一スライダー１９は、固定ガイド１２に対
して摺動可能に保持されている。直線型ボールスライド
の長さは、４０ｍｍ程度であり、本実施の形態の場合、
アウターレール２７の全長の２０％以下である。従っ
て、第一スライダー１９は、固定ガイド１２の両側に対
して、固定ガイド１２の全長の８０％の距離まではみ出
して移動することが可能である。図９に示すように、固
定ガイド１２には、駆動プーリ１６の対象の位置に第一
従動プーリ１７が回転可能に付設されている。駆動プー
リ１６と第一従動プーリ１７とを周回して一定の張力を
持って、第一ロープ３２が張架されている。また、固定
ガイド１２には、断面Ｌ字形の固定フック３４が固設さ
れている。第一ロープ３２は、第一連結部材４１により
第一スライダー１９に連結されている。

【００２５】次に、図８に示すように、第一スライダー
１９には、一対のスライドプーリ３３が回転可能に付設
されている。一対のスライドプーリ３３を周回して一定
の張力を持って、第二ロープ３５が張架されている。ま
た、第一スライダー１９には、断面Ｌ字形の第二固定フ
ック３７が固設されている。第二ロープ３５は、第二連
結部材４２により固定フック３４と連結されている。ま
た、第二ロープ３５は、第三連結部材３６により第二ス
ライダー２４に連結されている。

【００２６】次に、図６に示すように、第二スライダー
２４には、一対のスライドプーリ４０が回転可能に付設
されている。一対のスライドプーリ４０を周回して一定
の張力を持って、第二ロープ４５が張架されている。ま
た、第二ロープ４５は、第二連結部材４３により第二固
定フック３７と連結されている。また、第二ロープ４５
は、第三連結部材４４により第三スライダー３９に連結
されている。

【００２７】上記構成を有する第二実施の形態の多段ス
ライド装置３１の作用を説明する。駆動プーリ１６を図
９に矢印Ｌで示す方向に回転させるように、ステップモ
ータ１３を回転させた場合を説明する。駆動プーリ１６
が矢印Ｌの方向に回転すると、第一ロープ３２が矢印Ｍ
の方向に引っ張られるため、第一スライダー１９が第一
連結部材４１を介して引っ張られて、矢印Ｍの方向に移
動する。同時に、図８に示すように、第一スライダー１
９が矢印Ｍの方向に移動しても、固定フック３４が固定
ガイド１２に留まっており、第二ロープ３５が固定フッ
ク３４に固定されているので、スライドプーリ３３が矢
印Ｐの方向に回転される。そして、第三連結部材３６が
矢印Ｑの方向に引っ張られ、第二スライダー２４が矢印
Ｒの方向に移動する。

【００２８】同時に、図６に示すように、第二スライダ
ー２４が矢印Ｒの方向に移動しても、第二固定フック３
７が第一スライダー１９に留まっており、第二ロープ４
５が第二連結部材４３により第二固定フック３７に固定
されているので、スライドプーリ４０が矢印Ｐの方向に
回転される。そして、第三連結部材４４が矢印Ｑの方向
に引っ張られ、第三スライダー３９が矢印Ｒの方向に移
動する。これにより、第一スライダー１９が固定ガイド
１２に対して移動するのと同じ距離だけ、第二スライダ
ー２４が第一スライダー１９に対して同時に移動する。
又、第三スライダー３９も第二スライダー２４に対して
同じ距離だけ同時に移動できる。第一連結部材４１は、
駆動プーリ１６の近くから第一従動プーリ１７の近くま
で移動可能なので、第一スライダー１９は、固定ガイド
１２の全長の約８０％の距離を移動できる。第二スライ
ダー２４も同様に、第一スライダー１９の全長の約８０
％の距離を移動することができる。さらに、第三スライ
ダー３９も第二スライダー２４の全長の約８０％の距離
を移動できる。

【００２９】従来の多段スライダーでは、各スライダー
の移動距離が固定ガイドの全長の５０％以下であったの
で、２段のスライダーで移動できる距離は、固定ガイド
の全長とほぼ同じ距離であったが、本実施の形態の多段
スライド装置３１では、固定ガイド１２の全長の１．６
倍の距離を移動することが可能である。又、３段スライ
ダーとすると２．４倍の距離を移動可能である。ただ
し、第二実施の形態の多段スライド装置３１では、ステ
ップモータ１３を逆転させてもスライダーを逆方向に移
動させることはできない。

【００３０】以上詳細に説明したように、第二実施の形
態の多段スライド装置３１によれば、ステップモータ１
３が固設された固定ガイド１２と、固定ガイド１２に対
して摺動可能に保持された第一スライダー１９と、第一
スライダー１９に対して摺動可能に保持された第二スラ
イダー２４と、固定ガイド１２に固設されステップモー
タ１３に接続する駆動プーリ１６と、固定ガイド１２に
固設された第一従動プーリ１７と、駆動プーリ１６と第
一従動プーリ１７とに張架される第一ロープ３２と、第
一ロープ３２と第一スライダー１９とを連結する第一連
結部材４１と、固定ガイド１２に固設された固定フック
３４と、第一スライダー１９に固設された一対のスライ
ドプーリ３３と、一対のスライドプーリ３３を張架する
第二ロープ３５と、第二ロープ３５と固定フック３４と
を連結する第二連結部材４３と、第二ロープ３５と第一
スライダー１９とを連結する第三連結部材４４とを有し
ているので、例えば２段の場合に、固定ガイド１２の全
長の１．６倍の距離を移動することが可能であり、従来
より少ない段数で必要なストロークを得ることができる
ため、スライド装置をコンパクト化することができる。
第一実施の形態の多段スライド装置１１と比較して、構
造が簡単なため、製造コストが低減できるメリットがあ
る。

【００３１】以上本発明の多段スライド装置１１につい
て実施の形態に基づいて詳細に説明したが、本発明は上
記実施の形態に限定されることなく、色々な変形が可能
である。例えば、第一実施の形態ではベルトを使用し、
第二実施の形態ではロープを使用しているが、入れ替え
て実施しても同じであり、さらに、ピアノ線等の金属線
を利用することも可能である。また、第一実施の形態で
は２段スライダーを説明し、第二実施の形態では３段ス
ライダーを説明したが、何れにおいても、同じ機構を積
み重ねることにより段数を増加させて移動距離を長くす
ることが可能である。また、本実施の形態では、ベルト
及びロープとして伸縮性のものを使用し、プーリを固定
しているが、プーリにテンションを張る機能を持たせて
も良い。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の多段スライド装置によれば、駆動モータが固設さ
れた固定ガイドと、固定ガイドに対して摺動可能に保持
された第一スライダーと、第一スライダーに対して摺動
可能に保持された第二スライダーと、固定ガイドに固設
され固定ガイドに接続する駆動プーリと、固定ガイドに
固設された第一従動プーリと、両端が第一スライダーに
固定され駆動プーリと第一従動プーリとに張架される第
一ベルトと、第一スライダーの中央線上に固設され２本
のベルトが張架可能な一対の２段プーリと、両端が固定
ガイドに固定され一対の２段プーリを張架する第二ベル
トと、両端が第二スライダーに固定され一対の２段プー
リに張架される第三ベルトとを有しているので、例えば
２段の場合に、固定ガイドの全長の１．６倍の距離を移
動することが可能であり、従来より少ない段数で必要な
ストロークを得ることができるため、スライド装置をコ
ンパクト化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施の形態である多段スライド装
置１１の正面図である。

【図２】多段スライド装置１１の側面図である。

【図３】図１のＡＡ断面図である。

【図４】図１のＢＢ断面図である。

【図５】図１のＣＣ断面図である。

【図６】本発明の第二実施の形態である多段スライド装
置３１の平面図である。

【図７】多段スライド装置３１の側面図である。

【図８】図１のＥＥ断面図である。

【図９】図１のＤＤ断面図である。

【図１０】従来のウエハ搬送装置の構成を示す側面図で
ある。

【図１１】従来のウエハ搬送装置のハンド部の構成を示
す平面図である。

【図１２】従来の多段スライダーの構成を示す側面図で
ある。

【符号の説明】

１１ 多段スライド装置 １２ 固定ガイド １３ ステップモータ １６ 駆動プーリ １７ 第一従動プーリ １８ 第一ベルト １９ 第一スライダー ２０，２１ ２段プーリ ２２ 第二ベルト ２３ 第三ベルト ２４ 第二スライダー ２５，２６ 第二従動プーリ ２７ アウターレール ２８ インナーレール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鶴 和夫 大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光 洋精工株式会社内 (72)発明者 松下 継雄 大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光 洋精工株式会社内

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動用モータが固設された固定ガイド
   と、 前記固定ガイドに対して摺動可能に保持された第一スラ
   イダーと、 前記第一スライダーに対して摺動可能に保持された第二
   スライダーと、 前記固定ガイドに固設され、前記駆動用モータに接続す
   る駆動プーリと、 前記固定ガイドに固設された第一従動プーリと、 両端が前記第一スライダーに固定され、前記駆動プーリ
   と前記第一従動プーリとに張架される第一ベルトと、 前記第一スライダーの中央線上に固設され、２本のベル
   トが張架可能な一対の２段プーリと、 両端が前記固定ガイドに固定され、前記一対の２段プー
   リを張架する第二ベルトと、 両端が前記第二スライダーに固定され、前記一対の２段
   プーリに張架される第三ベルトとを有することを特徴と
   する多段スライド装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載する装置において、 前記第一スライダーの前記一対の２段プーリの外側に固
   設され、前記第二ベルトを前記固定ガイドと前記第一ス
   ライダーとの隙間に誘導する第二従動プーリを有するこ
   とを特徴とする多段スライド装置。
3. 【請求項３】 駆動用モータが固設された固定ガイド
   と、 前記固定ガイドに対して摺動可能に保持された第一スラ
   イダーと、 前記第一スライダーに対して摺動可能に保持された第二
   スライダーと、 前記固定ガイドに固設され、前記駆動用モータに接続す
   る駆動プーリと、 前記固定ガイドに固設された第一従動プーリと、 前記駆動プーリと前記第一従動プーリとに張架される第
   一ベルトと、 前記第一ベルトと前記第一スライダーとを連結する第一
   連結部材と、 前記固定ガイドに固設されたフックと、 前記第一スライダーに固設された一対のスライドプーリ
   と、 前記一対のスライドプーリを張架する第二ベルトと、 前記第二ベルトと前記フックとを連結する第二連結部材
   と、 前記第二ベルトと前記第二スライダーとを連結する第三
   連結部材とを有することを特徴とする多段スライド装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１及至請求項３に記載する装置の
   いずれか１つにおいて、 前記固定ガイドと前記第一スライダーとが、直線型ロー
   ラガイドにより摺動可能に保持され、 前記第一スライダーと前記第二スライダーとが、直線型
   ローラガイドにより摺動可能に保持されていることを特
   徴とする多段スライド装置。