CN103658054A - 测试分选机用拾放装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种测试分选机用拾放装置。根据本发明，通过另外设置可限制用于调整构成于拾放装置中的多个拾取模块之间的间距的轮盘的间距调整范围的限制部件，从而可以轻易地改变拾取模块之间的间距调整范围。

Description

测试分选机用拾放装置

技术领域

本发明涉及一种在测试分选机中用于拾取半导体元件之后移动至所需位置的拾放装置。

背景技术

测试分选机是一种将通过预定制造工艺制造的半导体元件从客户盘（CUSTOMER TRAY）装载（LOADING）到测试盘（TEST TRAY）之后，使运载于测试盘上的半导体元件能够被测试器（TESTER）测试（TEST），并根据测试结果而按等级对半导体元件进行分类，从而由测试盘卸载（UNLOADING）到客户盘的装置，其已被不少公开文献所公开。

测试分选机中不仅具备以上涉及的客户盘或测试盘，而且还具备构成于装载部的对准器（ALIGNER）或用于存放和运载剩余半导体元件的缓冲器（BUFFER），以及本申请的在先申请技术（韩国专利申请10-2006-0007763号，发明名称：

(测试分选机及测试分选机的装载方法)）中介绍的机动型装载台、构成于卸载部的分拣台（SORTING TABLE）等用于运载或排列半导体元件的多个运载单元或排列单元。

本发明涉及一种为了在如上所述的不同单元（客户盘、测试盘、对准器、缓冲器、机动型装载台、分拣台）中的任意两个单元之间传送半导体元件而从一侧的单元拾取半导体元件之后向另一侧的单元移动半导体元件的拾放装置（PICK AND PLACE APPARATUS）。通常，如果拾放装置构成于装载部则被称为装载器或装载手（LOADING HAND），而如果构成于卸载部则有时被称为卸载器或卸载手（UNLOADING HAND）。

通常，由于客户盘用于运载而存放半导体元件，因此为了拾取尽量多的半导体元件，需要使拾取的半导体元件之间的间距达到最小，而为了确保运载的半导体元件具有测试所需的间距，使半导体元件在测试盘上具有比在客户盘上更宽的间距。即，比起客户盘上的半导体元件之间的间距，测试盘上的半导体元件之间的间距更宽。因此，在将半导体元件从客户盘装载到测试盘或者从测试盘卸载到客户盘时有必要调整半导体元件之间的间距。进而，除了在客户盘或测试盘以外，当在对准器或缓冲器、机动型装载台、分拣台等多种运载单元之间移动半导体元件时，也有必要根据需求调整半导体元件之间的间距。

然而，半导体元件的间距调整是通过拾放装置完成的。即，通过拾放装置从一侧运载单元拾取半导体元件之后，将半导体元件之间的间距调整为所需间距，然后将半导体元件移动至另一侧运载单元而进行运载。

因此，拾放装置中设置有用于调整拾取器之间的间距的间距调整装置。

拾放装置中调整半导体元件之间的间距的方式中有凸轮（CAM）方式（参见韩国公开专利10-2006-0062796号，背景技术1）和链环（LINK）方式（参见韩国授权专利10-0628553号，背景技术2）。

另外，由于在待测试的半导体元件的大小改变时半导体元件之间的间距也将改变，因此拾取器之间的间距也应该改变。

因此，如果根据采用凸轮方式的背景技术1，则使用伺服马达而使倾斜地形成有间距调整用轮槽的轮盘可以移动至任意位置，从而可以任意调整拾取器之间的间距。即，背景技术1中是在待测试的半导体元件的大小改变的情况下，通过改变伺服马达的控制信号而改变半导体元件之间的间距（拾取器之间的间距）。

然而，如果根据背景技术1，则由于轮槽之间的间距要始终不变，因此轮盘的大小要在上下方向上够长，由此产生拾放装置整体变大的问题。

而且，即使在按照采用链环方式的背景技术2的情况下，也伴随着为了改变拾取器之间的间距而需要更替间距确定环的麻烦。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可通过利用不同于所述背景技术1和2的轮而调整拾取器之间的间距的基于新的技术理念的拾放装置相关技术。

为了达到如上所述的目的，根据本发明第一形态的测试分选机用拾放装置包括：N个拾取器，用于拾取半导体元件，并能够水平移动；一个以上的导轨，用于引导所述N个拾取器的水平移动；N个结合块，分别将所述N个拾取器可水平移动地结合于所述一个以上的导轨上；间距调整装置，用于调整所述N个拾取器之间的间距；安装架，用于设置所述一个以上的导轨以及间距调整装置，其中，N≥2，且所述间距调整装置包括：驱动轮，包括具有互不相同的直径的多个带卷绕部，并能够旋转；从动轮，联动于所述驱动轮的旋转而旋转，并具有与所述驱动轮的多个带卷绕部对应的多个带卷绕部；多个带，将所述驱动轮和从动轮的相对应的带卷绕部分别作为两侧的旋转来往区间而进行旋转；以及驱动源，使所述驱动轮正反向旋转，其中，将所述拾取器中属于第一群的L个拾取器和所述拾取器中属于第二群的M个拾取器结合于所述多个带上，以使所述L个拾取器和所述M个拾取器随着所述驱动轮的正向旋转或反向旋转而沿着相反方向移动，而且，1≤L<N，1≤M<N，L+M=N。

所述多个带卷绕部的直径比为以2为公差递增的等差数列。

而且，为了达到如上所述的目的，根据本发明第二形态的测试分选机用拾放装置包括：N个拾取器，用于拾取半导体元件；一个以上的导轨，用于引导所述N个拾取器中N-1个拾取器的水平移动；N-1个结合块，分别将所述N-1个拾取器可水平移动地结合于所述一个以上的导轨上；间距调整装置，用于调整所述N个拾取器之间的间距；安装架，用于设置所述一个以上的导轨以及间距调整装置，其中，N≥2，且所述间距调整装置包括：驱动轮，具有一个以上的带卷绕部，并能够旋转；从动轮，联动于所述驱动轮的旋转而旋转，并具有与所述驱动轮的一个以上的带卷绕部对应的一个以上的带卷绕部；一个以上的带，将所述驱动轮和从动轮的一个以上的带卷绕部作为旋转来往区间而进行旋转；驱动源，使所述驱动轮正反向旋转，其中，将所述拾取器中属于第一群的L个拾取器和所述拾取器中属于第二群的M个拾取器结合于所述一个以上的带上，以使所述L个拾取器和所述M个拾取器随着所述驱动轮的正向旋转或反向旋转而沿着相反方向移动，并且所述拾取器中除了属于第一群的拾取器和属于第二群的拾取器以外的剩余的1个拾取器被固定于所述安装架上，而且，1≤L<N，0≤M<N，L+M+1=N。

所述驱动轮和从动轮分别包括具有互不相同的直径的多个带卷绕部，并分别将驱动轮和从动轮的相对应的带卷绕部作为两侧的旋转来往区间而设置多个带。

所述多个带卷绕部的直径比为以1为公差递增的等差数列。

根据本发明，无需使用轮盘而只要利用带和轮即可调整拾取器之间的间距，因此不仅可以轻易地将拾取器之间的间距改变为任意期望间距，而且还具有可以减小装置大小的效果。

附图说明

图1a为根据本发明第一实施例的测试分选机用拾放装置的概略性立体图。

图1b为图1a所示测试分选机用拾放装置的示意性侧剖面图。

图2为图1所示测试分选机用拾放装置的工作状态图。

图3a至图3d为示意性地表示根据本发明第一实施例的扩展例1的测试分选机用拾放装置的构成的图。

图4为根据本发明第一实施例的扩展例2的测试分选机用拾放装置的结构图。

图5为根据本发明第二实施例的测试分选机用拾放装置的概略性正面图。

图6至图8为示意性地表示根据本发明第二实施例的测试分选机用拾放装置的扩展例的图。

符号说明：

100、500：拾放装置                  111、112、511、512：拾取器

121、122、521、522：导轨            131、132、531：结合块

140、540：间距调整装置              141、541：驱动轮

141a、541a：带卷绕部                142、542：从动轮

142a、542a：带卷绕部                143、543：同步带

144a、144b：带块                    145：马达

150、550：安装架

具体实施方式

以下，参照附图说明如上所述的根据本发明的优选实施例，然而为了说明的简洁性，尽量省略或缩减重复的说明或对结构的图示。

<第一实施例>

图1a是对根据本发明第一实施例的测试分选机用拾放装置（以下简称为“拾放装置”）100的概略性立体图。

如图1a所示，根据第一实施例的拾放装置100包括：两个拾取器111、112；两个导轨121、122；两个结合块131、132；间距调整装置140；以及安装架150。

两个拾取器111、112是为了拾取半导体元件而配备的。这样的两个拾取器111、112被配备为可在水平方向上移动。

两个导轨121、122是为了引导两个拾取器111、112的水平移动而配备的。当然，由于导轨的个数只要能够实现对构成于拾放装置上的拾取器的适当引导即可，因此视具体实施的需要而配备一个以上就可能足够。

两个结合块131、132分别将两个拾取器111、112可水平移动地结合于导轨121、122上。即，拾取器111、112将通过结合块131、132而可水平移动地结合于导轨121、122上。

间距调整装置140用于调整两个拾取器111、112彼此之间的间距。这种间距调整装置140包括驱动轮141、从动轮142、同步带143、带块（Belts Block）144a、144b以及马达145。

驱动轮141随马达145的工作而旋转。这种驱动轮141具有一个带卷绕部141a。

从动轮142与驱动轮141相隔预定间距，并联动于驱动轮141而旋转。这种从动轮142也具有对应于驱动轮141的一个带卷绕部141a的一个带卷绕部142a。

同步带143将驱动轮141和从动轮142的带卷绕部141a、142a作为旋转来往区间而旋转。只要能够控制拾取器111、112之间准确的间距调整，这种同步带143即可以用任何形态的带替代。

带块144a、144b是为了将结合块131、132结合于同步带143的适当位置而配备的。

马达145是作为使驱动轮141正反向旋转的驱动源而配备的。

另外，用于将第一拾取器111结合于导轨121、122上的第一结合块131结合于同步带143的上侧位置，而用于将第二拾取器112结合于导轨121、122上的第二结合块132则结合于同步带143的下侧位置。即，第一拾取器111和第二拾取器112分别通过第一结合块131和第二结合块132而结合于同步带143上。因此，借助于驱动轮141的正向旋转或反向旋转，第一拾取器111和第二拾取器112朝相反方向移动。

作为参考，图1b是对图1a的拾放装置100的示意性侧剖面图，其表示从侧面观察的各构成要素的结合结构。如图1b所示，第一结合块131和拾取器111将安装架150置于中间，并通过沿着拾取器111的移动方向延伸的形成于安装架150内的通孔150a、150b而借助于螺栓B相互结合。并且，结合于同步带143适当位置的带块144a结合于结合块131。以下为了说明的简洁性而省略如上所述的结合结构。

另外，图2表示如上所述的拾放装置100的工作状态。

如图2所示，由于当驱动轮141正向旋转时第一拾取器111与第二拾取器112将沿着相互远离的方向移动，因此第一拾取器111与第二拾取器112之间的间距得到调整。当然，如果驱动轮141反向旋转，则由图2的状态转换为图1的状态。而且，在想改变第一拾取器111与第二拾取器112之间的调整间距时，只要通过控制马达145的正反旋转量而调整驱动轮141的旋转量即可轻易地改变第一拾取器111与第二拾取器112之间的调整间距。

<第一实施例的扩展例1>

图3a及图3b为具有四个拾取器311～314的示例，是对根据第一实施例的扩展例1的拾放装置300的概略性正面图，图3c是对应用于图3a的拾放装置300的驱动轮341的概略性立体图。

在如图3a及图3b所示的扩展例1中，驱动轮341上具有两个带卷绕部341a、341b（如图3c所示）。并且，两个带卷绕部341a、341b具有不同的直径。此时，带卷绕部的直径比为1:3。即，如图3d所示，如果假设具有等间距a的第一拾取器至第四拾取器311～314以位于第二拾取器312与第三拾取器313中间的假想中心线C为基准而缩短或者扩大彼此之间的间距，则从假想中心线至第二拾取器312和第三拾取器313的距离将是a/2，而从假想中心线至第一拾取器311和第四拾取器314的距离则是3a/2。因此，只有驱动轮341的第一带卷绕部341a与第二带卷绕部341b的直径比成为1:3时，才能在调整间距时使各拾取器311～314之间维持相同的间距。

在此，如果将具有相同移动方向的拾取器311与312以及313与314绑定为群，则属于第一群的第一拾取器311及第二拾取器312的移动方向与属于第二群的第三拾取器313及第四拾取器314的移动方向相反。

当然，从动轮342也具有分别对应于驱动轮所具有的两个带卷绕部341a、341b的两个带卷绕部342a、342b。

<第一实施例的扩展例2>

图4为具有8个拾取器411～418的示例，是对根据第一实施例的扩展例2的拾放装置400的概略性结构图。

在如图4所示的扩展例2中，驱动轮441上具有四个带卷绕部441a～441d。当然，如果与扩展例1类似地，以位于第四拾取器414与第五拾取器415中间的假想中心线C为基准而计算各拾取器411～418之间的距离，则驱动轮441与从动轮442上具有的四个带卷绕部441a～441d/442a～442d具有1:3:5:7的直径比。

即，如同本发明的第一实施例扩展的情况，如果拾取器均被设置为水平移动，则将驱动轮与从动轮的带卷绕部的直径比构成为以2为公差递增的等差数列。

在此，如果考虑装置的小型化，则对于直径最小的带卷绕部而言，其直径越小越好，但是有必要考虑同步带的曲率半径等而确定。

<第二实施例>

图5为根据本发明第二实施例的拾放装置500的概略性正面图。

如图5所示，根据第二实施例的拾放装置500包括：两个拾取器511、512；两个导轨521、522；结合块531、532；间距调整装置540；以及安装架550。

两个拾取器511、512是为了拾取半导体元件而配备的。这样的两个拾取器511、512中的第一拾取器511被配备为可在水平方向上移动。

两个导轨521、522是为了引导第一拾取器511的水平移动而配备的。

结合块531将第一拾取器511可水平移动地结合于导轨521、522上。

间距调整装置540用于调整第一拾取器511与第二拾取器512之间的间距。这种间距调整装置540包括驱动轮541、从动轮542、同步带543、以及马达（未图示）。

驱动轮541随马达的工作而旋转。这种驱动轮541具有一个带卷绕部541a。

从动轮542与驱动轮541相隔预定间距，并联动于驱动轮541而旋转。这种从动轮542也具有对应于驱动轮541的一个带卷绕部541a的一个带卷绕部542a。

同步带543将驱动轮541和从动轮542的带卷绕部541a、542a作为旋转来往区间而旋转。

马达使驱动轮541正反向旋转。

另外，用于将第一拾取器511结合于导轨521、522上的结合块531结合于同步带543的上侧位置，而第二拾取器512则固定于安装架550。

因此，当驱动轮541旋转时，只有第一拾取器511沿着水平方向移动，从而使第一拾取器511与第二拾取器512之间的间距得到调整。

<第二实施例的扩展例1>

图6为具有3个拾取器611～613的示例，是对根据第二实施例的扩展例1的拾放装置600的概略性结构图。

在本扩展例1中，位于第一拾取器611与第三拾取器613之间的第二拾取器612被固定，而只有第一拾取器611和第三拾取器613随着驱动轮641的旋转而以第二拾取器612为基准而向彼此靠近或远离的方向移动，从而使第一拾取器611至第三拾取器613之间的间距得到调整。

<第二实施例的扩展例2>

图7为具有五个拾取器711～715的示例，是对根据第二实施例的扩展例2的拾放装置700的概略性结构图。

在本扩展例2中，以位于中间的第三拾取器713为基准，第一拾取器711及第二拾取器712与第四拾取器714及第五拾取器715向彼此靠近或远离的方向水平移动，从而调整拾取器711～715之间的间距。

此时，由于相邻的拾取器711～715之间形成间距为a的等间距，且第三拾取器713被固定，因此分别配备于驱动轮741和从动轮742上的具有不同直径的带卷绕部741a、741b/742a、742b的直径比应成为1:2。进而，具有七个拾取器或九个拾取器等情况下，位于中间的拾取器被固定，此时带卷绕部的直径比将成为1:2:3:…之类以1为公差递增的等差数列。

即，对于一个拾取器被固定于安装架的第二实施例，如果具有奇数个拾取器则可能得到更好的应用。

当然，如图8所示，当具有偶数个拾取器811～818时第二实施例也可以得到很好的应用，此时，驱动轮841和从动轮842的带卷绕部的直径比也是成为以1为公差递增的等差数列。

另外，如果根据如上所述的第二实施例，则由于一个拾取器将被固定于安装架，因此具有比拾取器的总数N少一个的（N-1）个结合块。因此，只有（N-1）个拾取器结合于同步带侧。

作为参考，如果对驱动轮的直径比进行多种改变，则在有些情况下各拾取器之间的间距不是等间距，在这种情况下本发明也可以得到很好的应用。

如上所述，已通过参照附图的实施例对本发明进行了具体说明，然而上述实施例只是列举本发明的优选实施例来说明的，因此不能理解为本发明仅仅局限于上述实施例，而要通过权利要求书及其等价概念来理解本发明的权利范围。

Claims (5)

1.一种测试分选机用拾放装置，其特征在于，包括：

N个拾取器，用于拾取半导体元件，并能够水平移动；

一个以上的导轨，用于引导所述N个拾取器的水平移动；

N个结合块，分别将所述N个拾取器可水平移动地结合于所述一个以上的导轨上；

间距调整装置，用于调整所述N个拾取器之间的间距；

安装架，用于设置所述一个以上的导轨以及间距调整装置，

其中，N≥2，且所述间距调整装置包括：

驱动轮，包括具有互不相同的直径的多个带卷绕部，并能够旋转；

从动轮，联动于所述驱动轮的旋转而旋转，并具有与所述驱动轮的多个带卷绕部对应的多个带卷绕部；

多个带，将所述驱动轮和从动轮的相对应的带卷绕部分别作为两侧的旋转来往区间而进行旋转；

驱动源，使所述驱动轮正反向旋转，

其中，将所述拾取器中属于第一群的L个拾取器和所述拾取器中属于第二群的M个拾取器结合于所述多个带上，以使所述L个拾取器和所述M个拾取器随着所述驱动轮的正向旋转或反向旋转而沿着相反方向移动，而且，1≤L<N，1≤M<N，L+M=N。

2.如权利要求1所述的测试分选机用拾放装置，其特征在于，所述多个带卷绕部的直径比为以2为公差递增的等差数列。

3.一种测试分选机用拾放装置，其特征在于，包括：

N个拾取器，用于拾取半导体元件；

一个以上的导轨，用于引导所述N个拾取器中N-1个拾取器的水平移动；

N-1个结合块，分别将所述N-1个拾取器可水平移动地结合于所述一个以上的导轨；

间距调整装置，用于调整所述N个拾取器之间的间距；

安装架，用于设置所述一个以上的导轨以及间距调整装置，

其中，N≥2，且所述间距调整装置包括：

驱动轮，具有一个以上的带卷绕部，并能够旋转；

从动轮，联动于所述驱动轮的旋转而旋转，并具有与所述驱动轮的一个以上的带卷绕部对应的一个以上的带卷绕部；

一个以上的带，将所述驱动轮和从动轮的一个以上的带卷绕部作为旋转来往区间而进行旋转；

驱动源，使所述驱动轮正反向旋转，

其中，将所述拾取器中属于第一群的L个拾取器和所述拾取器中属于第二群的M个拾取器结合于所述一个以上的带上，以使所述L个拾取器和所述M个拾取器随着所述驱动轮的正向旋转或反向旋转而沿着相反方向移动，

并且，所述拾取器中除了属于第一群的拾取器和属于第二群的拾取器以外的剩余的1个拾取器被固定于所述安装架上，而且，1≤L<N，0≤M<N，L+M+1=N。

4.如权利要求3所述的测试分选机用拾放装置，其特征在于，所述驱动轮和从动轮分别包括具有互不相同的直径的多个带卷绕部，

并分别将驱动轮和从动轮的相对应的带卷绕部作为两侧的旋转来往区间而设置多个带。

5.如权利要求4所述的测试分选机用拾放装置，其特征在于，所述多个带卷绕部的直径比为以1为公差递增的等差数列。

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