CN108701634B - 移送工具 - Google Patents

移送工具 Download PDF

Info

Publication number
CN108701634B
CN108701634B CN201780012748.5A CN201780012748A CN108701634B CN 108701634 B CN108701634 B CN 108701634B CN 201780012748 A CN201780012748 A CN 201780012748A CN 108701634 B CN108701634 B CN 108701634B
Authority
CN
China
Prior art keywords
wheels
belt
driven
driving
coupled
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201780012748.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108701634A (zh
Inventor
柳弘俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JT Corp
Original Assignee
JT Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JT Corp filed Critical JT Corp
Priority claimed from PCT/KR2017/000224 external-priority patent/WO2017119781A1/ko
Publication of CN108701634A publication Critical patent/CN108701634A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108701634B publication Critical patent/CN108701634B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/44—Belt or chain tensioning arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B2/00—Friction-grip releasable fastenings
    • F16B2/02—Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening
    • F16B2/06—Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening external, i.e. with contracting action
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2812/00—Indexing codes relating to the kind or type of conveyors
    • B65G2812/02—Belt or chain conveyors
    • B65G2812/02128—Belt conveyors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Tyre Moulding (AREA)

Abstract

本发明涉及元件处理器，更详细地说涉及移送工具，在执行元件的检查、分类等的元件处理器中拾取以及移送元件。本发明公开了一种移送工具，包括：驱动轮部，包括多个驱动轮，所述多个驱动轮外径相互不同，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；从动轮部，包括多个从动轮，所述多个从动轮外径相互不同，并且与所述驱动轮部相对并对应于所述驱动轮部；多个旋转部件，缠绕于所述各个驱动轮以及所述各个从动轮；至少一个拾取器，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件；其中，所述驱动轮部以及所述从动轮部中的一个通过齿形结构与相应的旋转部件结合。

Description

移送工具
技术领域
本发明涉及元件处理器，更详细地说涉及移送工具所述移送工具在执行元件的检查、分类等的元件处理器中拾取以及移送元件。
背景技术
一般地说，DRAM、闪速存储器、LSI、LED、WL-CSP元件等半导体元件(以下，称为“元件”)，在完成半导体工艺之后完成锯切工艺、包装工艺等之后投放到市场。
然后，为了确保已面市的产品的可靠性，通过检查装置、分类装置、检查以及分类装置等进行自动检查以及根据检查结果进行分类，据此筛选合格的产品之后投放到市场上。
另外，随着元件的引线框、BGA等终端结构的多样化，芯片的种类也变得多样化。
最近，根据对元件的小型化以及高集成度的要求，元件不经过树脂等的成型工艺，而是最终在晶圆水准上商品化，对此呈现出正在扩大的趋势。
另一方面，在诸如，SD存储器、手机SD存储器、收集CPU的如L SI的半导体市场中，随着竞争加剧，非常迫切需要节省元件制造成本并最终提高生产率。
另外，对于半导体的生产是在无尘室内执行工艺，而在无尘室内执行各个工艺的装置的处理速度与生产率有直接联系，因此对于未经过包装工艺或者在之前的晶圆水准卸载元件的元件处理器提高装置处理速度也非常重要。
尤其是，在生产半导体时，对于在晶圆水准卸载元件的元件处理器提高装置处理速度非常重要，并且执行拾取以及移送元件的移送工具的性能是元件处理器的处理速度的重要因素。
另外，最近作为处理对象的元件尺寸非常小，据此对超小型的元件的拾取以及移送的移送工具要求非常高的精确度。
因此，开发了如下的移送工具：为了提高拾取以及移送超小型元件的移送工具的精确度，在诸如线或者带的多个带设置拾取器，旋转该带来调节各个拾取器之间的间距，进而能够精确且迅速地调节拾取器之间的间距。
但是，在此时因为使用的多个带设置的各个拾取器的重量，在带中出现下沉现象，因此存在可降低移送工具精确度的问题。
不仅如此，随着该带的下沉现象加重，与各个带的两端结合的夹持部的组装可能错位，因此存在需经常更换夹持部的不便。
(专利文献1)KR10-2010-0081277A
(专利文献2)KR10-0580816B
(专利文献3)KR10-0443039B
(专利文献4)KR10-2004-0096409A
发明内容
(要解决的问题)
为了解决上述问题，本发明的目的在于提供如下的移送工具：在诸如线或带的多个旋转部件设置拾取器，并旋转旋转部件来调节各个拾取器之间的间距，进而可精确且迅速地调节拾取器之间的间距。
本发明的另一目的在于，提供如下的带张力调节装置以及调节方法：包括用于调节带长度的调节部，与固定调节部的固定部。
(解决问题的手段)
本发明是为了达成如上所述的本发明的目的而提出的，本发明公开的移送工具，其特征在于，包括：驱动轮部100，包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140外径相互不同，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；从动轮部300，包括多个从动轮310、320、330、340，所述多个从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与所述驱动轮部100相对并对应于所述驱动轮部100；多个旋转部件210、220、230、240，缠绕于所述各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340；至少一个拾取器30，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件210、220、230、240；其中，所述驱动轮部100以及所述从动轮部300中的某一个通过齿形结构与相应的旋转部件210、220、230、240结合。
所述旋转部件210、220、230、240可以是带或线。
所述旋转部件210、220、230、240为带，所述驱动轮部100以及所述从动轮部300可具有一对引导部111、121、131、141，所述一对引导部111、121、131、141向半径方向凸出并使各个轮支撑带的两侧。
所述旋转部件210、220、230、240为带，所述带的两端缠绕于相应的轮之后通过夹持部600可相互连接，以使所述带具有提前设定的张力。
所述夹持部600可包括夹持体610以及夹持部件620，所述夹持体610以及夹持部件620相互结合，进而在所述带两端分别在齿形结构690向外侧折弯至少一次的状态下，在所述夹持体610以及夹持部件620之间加压所述带的折弯至少一次的部分。
所述夹持部600可包括：夹持体610，具有一对缠绕轴611，所述带的两端分别缠绕一对缠绕轴611，且带的齿形结构690朝向外侧；夹持部件620，与夹持体610结合，进而在所述带两端缠绕于所述缠绕轴611的状态下向所述缠绕轴611加压所述带。
所述缠绕轴611或者所述夹持部件620在接触所述带的面可形成齿形结构629，以对应于所述带的齿形结构690。
所述旋转部件210、220、230、240可以是无接缝的环形(loop)带，并且缠绕于相应的轮，以使所述旋转部件210、220、230、240具有提前设定的张力。
所述旋转部件210、220、230、240为两端相互连接的环形(loop)线，并且缠绕于相应的轮，以使所述旋转部件210、220、230、240具有提前设定的张力。
所述从动轮部300不可通过齿形结构与所述旋转部件210、220、230、240结合。
所述移送工具还可包括张力调节部700，为了调节所述旋转部件210、220、230、240的张力，张力调节部700使所述从动轮部300向远离或接近所述驱动轮部100的方向移动，
所述多个从动轮310、320、330、340可形成一体。
本发明公开了另外一种移送工具，包括：驱动轮部100，包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140具有相互不同的外径，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；从动轮部300，包括多个从动轮310、320、330、340，所述多个从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与所述驱动轮部100相对并对应于所述驱动轮部100；多个旋转部件210、220、230、240，缠绕于所述各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340；至少一个拾取器30，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件210、220、230、240。
所述旋转部件210、220、230、240为带，所述带的两端可缠绕于相应的轮之后通过夹持部600相互连接，以使所述带具有提前设定的张力。
所述夹持部600可包括夹持体610以及夹持部件620，所述夹持体610以及夹持部件620相互结合，进而在所述带两端分别的齿形结构690向外侧折弯至少一次的状态下，在所述夹持体610以及夹持部件620之间加压所述带的折弯至少一次的部分。
所述夹持部600可包括：夹持体610，具有一对缠绕轴611，所述带的两端分别缠绕一对缠绕轴611，且带的齿形结构690朝向外侧；夹持部件620，与夹持体610结合，进而在所述带的两端缠绕于所述缠绕轴611的状态下向所述缠绕轴611加压所述带。
所述缠绕轴611或者所述夹持部件620在接触于所述带的面上可形成齿形结构629以对应于所述带的齿形结构690。
所述夹持体610在所述一对缠绕轴611之间可形成与所述夹持部件620结合的结合部618。
所述夹持体610以所述一对缠绕轴611为基准，可在与所述夹持部件620相对的位置上形成向带的长度方向凸出的带引导部614。
另外，本发明公开了一种带连接装置，作为使用于移送工具的带连接装置，包括：固定夹具730，在夹持体610带两端分别的齿形结构690向外侧缠绕于缠绕轴611的状态下，支撑夹持体610以使夹持部件620结合于夹持体610；张力调节部700，拉紧缠绕于一对缠绕轴611的带的两端，进而在夹持部件620结合于夹持体610之前使带具有提前设定的张力，其中所述移送工具包括：驱动轮部100，包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140具有相互不同的外径，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；从动轮部300，包括多个从动轮310、320、330、340，所述多个从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与所述驱动轮部100相对并对应于所述驱动轮部100；多个旋转部件210、220、230、240，缠绕于所述各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340；至少一个拾取器30，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件210、220、230、240；其中，所述旋转部件210、220、230、240为带，所述带的两端可缠绕于相应的轮之后通过夹持部600相互连接，以使所述带具有提前设定的张力；其中，所述夹持部600可包括：夹持体610，具有一对缠绕轴611，所述带的两端分别缠绕一对缠绕轴611，且带的齿形结构朝向外侧；夹持部件620，与夹持体610结合，进而在所述带两端缠绕于所述缠绕轴611的状态下向所述缠绕轴611加压所述带。
所述缠绕轴611或者所述夹持部件620在接触所述带的面中，可形成齿形结构629以对应于所述带的齿形结构690。
所述夹持体610在所述一对缠绕轴611之间可形成与所述夹持部件620结合的结合部618。
所述夹持体610可形成带引导部614，该带引导部614以所述一对缠绕轴611为基准，在与所述夹持部件620相对的位置沿带的长度方向凸出。
所述张力调节部700可包括：至少一个张力调节缠绕轴710，一端可旋转地结合于所述固定夹具730并且插入所述带的两个末端中的某一个；旋转部720，结合于所述张力调节缠绕轴710的另一端，进而通过旋转调节所述带的张力。
所述带连接装置可包括固定部800，所述固定部800与所述张力调节部700结合使所述带保持已设定的张力。
所述张力调节部700可设置测量所述带的张力的传感器。
(发明的效果)
根据本发明的移送工具具有如下优点：根据具有多个拾取器并且调节各个拾取器的间距，旋转部件具有齿形结构，并且所述旋转部件所缠绕的驱动轮以及从动轮中的一个轮形成齿形结构以对应于旋转部件的齿形结构，进而能够迅速并精确地调节间距。
另外，根据本发明的移送工具具有如下的优点：由具有齿形结构的旋转部件、旋转部件所缠绕的驱动轮以及从动轮构成，并且用夹持部连接旋转部件两端，以使旋转部件具有已设定的张力，进而能够坚固地固定旋转部件，进而不仅能够防止旋转部件断开，还能够防止装置故障。
另外，本发明具有如下的优点：如上所述将带的两个末端通过夹持部连接时，追加提供带连接装置，进而能够简单且容易进行通过夹持部固定带两端的作业，其中所述夹持部包括夹持体以及结合于夹持体的夹持部件，所述带连接装置在保持将带两端结合于夹持体以保持提前设定的张力的状态下，将夹持体固定在固定夹具之后可将夹持部件结合于夹持体。
再则，根据本发明的带连接装置具有如下的优点：可拉紧缠绕于夹持体的带两端，从而能够调节带的张力，进而容易设置具有提前设定的张力的带。
附图说明
图1是示出根据本发明一实施例的移送工具的结构的正面图。
图2是在图1的移送工具中扩大驱动轮部的部分的部分扩大图。
图3是在图1的移送工具中扩大从动轮部的部分的部分扩大图。
图4示出驱动轮部(从动轮部)的剖面图，作为图1中的Ⅳ-Ⅳ方向的剖面。
图5是示出图1的移送工具中的旋转部件两端连接结构的分解立体图。
图6是示出图5中的带以及夹持部件的剖面图。
图7a作为根据本发明的带连接装置，示出通过图5以及图6的夹持部结合带两端的带连接装置的分解立体图。
图7b是示出对在图7a的调节部设置的带的张力调节过程的平面图。
图8是示出在图7b结合根据本发明的带连接装置中的固定部的过程的分解图。
图9a以及图9b是通过图7a至图8的带连接装置由图5及图6的夹持部结合带两端的过程的正面图。
图10a以及图10b是示出夹持部件结合于夹持体的过程正面图，以作为通过图7a至图8的带连接装置由图5及图6的夹持部结合带两端的过程。
图11a以及图11b是示出在去除图7a至图8的带连接装置之后去除带两端中的一部分的过程的正面图。
图12是示出根据本发明另一实施例的移送工具的结构的正面图。
图13是示出根据本发明其他实施例的移送工具的结构的正面图。
具体实施方式
以下，参照附图如下说明移送工具、带连接装置，其中该带连接装置连接使用于移送工具的带的两个末端。
如图1至图6所示，根据本发明的移送工具包括：驱动轮部100，包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140外径相互不同并且通过驱动马达产生的旋转力旋转驱动；从动轮部300，包括多个从动轮310、320、330、340，所述多个从动轮310、320、330、340外径相互不同并且与驱动轮部100相对设置并对应于驱动轮部100；多个旋转部件210、220、230、240，缠绕于各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340；至少一个拾取器30，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件210、220、230、240。
在此，所述移送工具可使用于对完成检查的元件执行分类的分拣机、执行检查以及分类的处理器、粘片机等，只要是需要移送元件的装置，在任何装置都可以使用。
所述驱动轮部100是与用于产生旋转力的诸如，电机等的旋转驱动装置(未示出)的旋转轴直接结合或者通过连接器等连接而旋转的结构，并且可具有多种结构。
尤其是，所述驱动轮部100包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140对应于后述的旋转部件210、220、230、240的数量，并结合于通过旋转驱动装置旋转的驱动轴10。
然后，所述多个驱动轮110、120、130、140分别具有另外的轮结构或者形成一体等，可具有多种结构。
另外，所述多个驱动轮110、120、130、140可分别形成一对引导部111、121、131、141，以引导旋转部件210、220、230、240的两侧，使旋转部件210、220、230、240不向轴方向移动。
所述一对引导部111、121、131、141为使各个轮支撑旋转部件210、220、230、240的两侧而向半径方向凸出形成等，可具有多种结构。
另外，所述多个驱动轮110、120、130、140以驱动轴10为基准外径沿长度方向逐渐缩小或增大。
所述从动轮部300可包括多个从动轮310、320、330、340，所述多个从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与驱动轮部100相对并对应于驱动轮部100。
所述从动轮部300除了旋转驱动于驱动轴10以外具有与驱动轮部100类似的结构。
尤其是，所述从动轮部300包括可旋转地结合于从动轴20的多个从动轮310、320、330、340。
另外，所述多个从动轮310、320、330、340具有另外的轮结构或者形成一体等多种结构等，可具有多种结构。
另外，所述多个从动轮310、320、330、340可分别形成一对引导部311、321、331、341，所述一对引导部311、321、331、341引导旋转部件210、220、230、240的两侧，使旋转部件210、220、230、240不向轴方向移动。
所述一对引导部311、321、331、341为使各个轮支撑旋转部件210、220、230、240两侧而向半径方向凸出形成等，可具有多种结构。
另外，所述从动轮310、320、330、340以从动轴20为基准外径沿长度方向逐渐增大或者缩小。
所述旋转部件210、220、230、240作为在提前设定的位置结合至少一个拾取器30的结构，结合于驱动轮部100的相应驱动轮以及从动轮部300的相应从动轮，并且通过驱动轮以及从动轮的旋转驱动，横向移动已结合的拾取器30，进而调节与邻接的拾取器30的间隔，即调节间距。
在此，所述拾取器30作为用于拾取元件的结构，只要是能够拾取元件的结构任何结构都可以使用。
作为一示例，所述拾取器30可由杆以及拾取头构成，其中杆用于传达真空压以通过真空压拾取元件，而拾取头结合于杆下端来拾取元件。
另外，对于所述拾取器30，杆直接结合于旋转部件210、220、230、240或者可夹带支撑部件来设置所述拾取器30。
另一方面，所述旋转部件210、220、230、240只要是能够与拾取器30直接或者间接结合的结构，可以是带、线等的各种结构。
另外，所述带以及线在与轮接触的部分形成齿形结构690，进而能够更加精确地旋转所述带以及线，即可使用同步齿形带或同步线。
所述齿形结构690可具有多种结构，并具有如下的结构：所述齿形结构690与形成在后述的驱动轮以及从动轮中的至少一个的齿形结构670啮合，以使带能够精确地旋转。
此时，所述驱动轮以及从动轮可具有齿形结构670，进而在接触于旋转部件的面中对应于形成在旋转部件的齿形结构690。
尤其是，在所述驱动轮以及从动轮中的一个形成齿形结构670，尤其是优选为只在驱动轮形成齿形结构670。
即，若在所述驱动轮以从动轮中的一个，尤其是只在驱动轮形成齿形结构670，则为了通过在旋转时旋转形成有齿形结构670的轮来啮合于结合于该轮的旋转部件210、220、230、240的齿形结构690能够进行精确地旋转。
再则，通过轮以及旋转部件210、220、230、240之间的齿形啮合进行精确旋转，能够使结合的拾取器30线性移动，进而能够精确地调节各个拾取器30之间的间距。
另一方面，所述旋转部件210、220、230、240支撑拾取器30，从而发生变形导致拾取器30出现位置误差等，因此根据旋转部件210、220、230、240的状态，尤其是根据张力拾取器30可发生移动误差。
据此，对于所述旋转部件210、220、230、240需要更加精确地调节张力。
据此，所述旋转部件210、220、230、240优选为带，并且带的两端缠绕于相应的轮之后通过夹持部600相互连接，进而以使带具有提前设定的张力。
具体地说，所述夹持部600可包括夹持体610以及夹持部件620，所述夹持体610以及夹持部件620在带两端分别的齿形结构690向外侧折弯至少一次的状态下相互结合，进而在所述夹持体610以及夹持部件620之间加压所述带折弯至少一次的部分。
所述夹持体610以及夹持部件620可具有多种结构，并具有如下的结构：在带两端分别的齿形结构690向外侧折弯至少一次的状态下，所述夹持体610以及夹持部件620相互结合，进而在所述夹持体610以及夹持部件620之间加压所述带折弯至少一次的部分。
作为另一示例，所述夹持部600可包括：夹持体610，具有一对缠绕轴611，所述带的两端分别缠绕一对缠绕轴611，且带的齿形结构朝向外侧；夹持部件620，与夹持体610结合，进而在带两端缠绕于缠绕轴611的状态下向所述缠绕轴611加压所述带。
所述夹持体610作为具有向外侧缠绕带两端分别的齿形结构690的一对缠绕轴611的结构，可具有多种结构。
所述一对缠绕轴611可具有多种结构，并具有如下的结构：沿带的长度方向间隔配置在夹持体610上，进而使两端分别具有朝向外侧的齿形结构690的带向外侧缠绕。
具体地说，所述一对缠绕轴611优选为外周面的一部分形成曲面，而向着待后述的夹持部件620的面形成平面以紧贴带并固定带。
另外，所述夹持体610可形成与夹持部件620结合的结合部618。
所述结合部618根据与夹持部件620的结合结构可具有多种结构，并且可形成内螺纹部619，进而在与夹持部件620用螺栓结合时与螺栓680螺纹结合。
另一方面，所述结合部618可形成在夹持体610中的各个位置，也可形成在一对缠绕轴611之间。
另外，所述夹持体610可形成带引导部614，该带引导部614以一对缠绕轴611为基准，在与夹持部件620相对的位置沿带的长度方向凸出。
此时，所述带引导部614可形成齿形结构(未示出)，以对应于带的齿形结构690。
所述夹持部件620可具有多种结构，并具有如下的结构：所述夹持部件620与夹持体610结合，以使在带两端缠绕于缠绕轴611的状态下向缠绕轴611加压带。
具体地说，夹持部件620与夹持体610相似可具有直角四边形的平面形状，以使所述带两端缠绕于缠绕轴611的状态下沿带的长度方向具有固定的形状。
另外，所述夹持部件620根据与夹持体610的结合结构可具有多种结构，并且可形成螺纹孔621，进而在与夹持体610用螺栓结合时可插入螺栓680。
另一方面，所述缠绕轴611或者夹持部件620在接触带的面中可形成齿形结构629，以对应于带的齿形结构690。
尤其是，与本发明的实施例相同，夹持部件620的接触于带的面形成齿形结构629以对应于带的齿形结构690，进而在与夹持部620以及夹持体610结合的同时齿形结合，进而能够坚固地固定带的两端。
再则，由具有齿形结构690的旋转部件210、220、230、240、旋转部件210、220、230、240所缠绕的驱动轮以及从动轮构成，并且是用夹持部600连接旋转部件210、220、230、240的两端，以使旋转部件210、220、230、240具有提前设定的张力，进而能够坚固地固定旋转部件210、220、230、240，以使旋转部件210、220、230、240能够精确旋转，即固定在旋转部件210、220、230、240的拾取器能够精确移动，而且能够精确地调节拾取器之间的间距，不仅能够防止因旋转部件210、220、230、240断开导致破损，还能够防止装置故障。
另一方面，在将具有齿形结构690的旋转部件210、220、230、240的两端连接于夹持部600时，因为在所使用的带设置的各个拾取器的重量出现带下沉现象，可降低移送工具的精确度，因此以使带具有提前设定的张力非常重要。
据此，如图9a至10b所示，本发明还提供带连接装置，该装置包括：固定夹具730，在夹持体610带两端分别的齿形结构690向外侧缠绕于缠绕轴611的状态下，支撑夹持体610以使夹持部件620结合于夹持体610；张力调节部700，拉紧缠绕于一对缠绕轴611的带的两端，进而在夹持部件620结合于夹持体610之前使带具有提前设定的张力。
所述固定夹具730可具有各种结构，并具有如下的结构：支撑夹持体610，进而在夹持体610带两端分别的齿形结构690向外侧缠绕于缠绕轴611的状态下，使夹持部件620结合于夹持体610。
作为一示例，所述固定夹具730可形成夹具槽，可使夹持部600的支撑部616插入于与后述的一对张力调节缠绕轴710旋转结合的一面。
所述夹具槽可形成多种结构，并具有如下结构：插入夹持部600的至少一部分，进而在张力调节缠绕轴710以及旋转部720旋转时固定夹持部600。
作为一示例，所述夹具槽可以是固定夹具730的内侧方向形成的凹槽，以插入夹持部600的支撑部616。
作为另一示例，所述固定夹具730无需另外的夹具槽结构，而是可多个部件结合而成的结构来固定夹持部600。
此时，所述固定夹具730优选为，与夹持部600的外周面中的至少一面紧贴并且可与旋转部720一同固定夹持部600的位置。
所述张力调节部700可具有多种结构，并具有如下的结构：拉紧缠绕于一对缠绕轴611的带的两端，进而在夹持部件620结合于夹持体610之前使带具有提前设定的张力。
作为一示例，所述张力调节部700可包括：至少一个张力调节缠绕轴710，一端可旋转地结合于固定夹具730并且插入带的两个末端中的一个；旋转部720，结合于张力调节缠绕轴710的另一端，进而通过旋转调节带的张力。
所述张力调节缠绕轴710可具有多种结构，并具有如下的结构：一端可旋转地结合于固定夹具730并且插入带两个末端中的一个。
作为一示例，如图7a至图10b所示，所述张力调节缠绕轴710可以是圆柱形状的部件，使带210、220、230、240的末端沿带210、220、230、240长度方向垂直插入。
另外，所述部件可形成插入槽711可插入带210、220、230、240的末端。
具体地说，所述张力调节缠绕轴710配置成一对，并且以带的长度间隔距离地位于一对缠绕轴611的外侧，而插入槽711插入从一对缠绕轴611凸出的带210、220、230、240的各个末端。
此时，所述插入槽711可具有多种结构，并具有如下的结构：插入带210、220、230、240的末端，进而在通过后述的旋转部720旋转时可固定带210、220、230、240的末端。
所述旋转部720作为用于旋转张力调节缠绕轴710的结构，可具有多种结构。
作为一示例，所述旋转部720可具有多种结构，并具有如下的结构：结合于张力调节缠绕轴710的另一端，通过使用者手动操作等使张力调节缠绕轴710旋转。
另一方面，所述旋转部720可形成至少一个固定槽721，该固定槽721用于与后述的固定部800结合，该固定部800用于固定旋转部720。
所述固定槽721形成用于与后述的固定部800紧固的形状，并且根据与固定部800的结合方式可具有多种结构。
另一方面，所述旋转部720可形成调节槽722，该调节槽722是用于通过旋转部720的旋转来调节带210、220、230、240的张力。
所述调节槽722可具有多种结构，并具有如下的结构：形成在旋转部720，通过旋转部720旋转张力调节缠绕轴710，据此调节带210、220、230、240的张力。
作为一示例，所述调节槽722剖面形成多角形，可通过多角形状的扳手等调节旋转部720的旋转角度。
然后，所述调节槽722优选为形成在对应于张力调节缠绕轴710的旋转轴的位置。
另一方面，所述张力调节部700可设置有测量带的张力的传感器。
对于所述传感器，可具有多种结构，并具有如下的结构：设置在张力调节缠绕轴710、旋转部720、固定夹具730中的至少一个，并测量带210、220、230、240的张力。
作为一示例，所述传感器设置在旋转部720并标记在旋转部720旋转时测量的反弹程度，进而可测量出施加于带210、220、230、240的张力。
另外，所述带连接装置可包括固定部800，该固定部800与张力调节部700结合使带保持已设定的张力。
所述固定部800可具有多种结构，并具有如下的结构：与张力调节部700结合，以使带210、220、230、240保持已设的张力。
作为一示例，如图8所示，所述固定部800通过被至少一个紧固部件820固定的固定部件810而防止旋转。
具体地说，所述固定部800可包括：位于旋转部720的另一面的固定部件810；用于紧固固定部件810与各个旋转部720的至少一个紧固部件820。
此时，所述各个紧固部件820可以是螺栓，并且可与旋转部720的固定槽721螺纹结合。
如上所述的带连接装置通过如下的过程用夹持件结合带的两端。
首先，将处于与所述夹持部件620分离的状态的夹持体610固定在固定夹具730。
然后，如图7a以及7b所示，在夹持体610的缠绕轴611缠绕带的状态沿垂直于带210、220、230、240长度方向的方向移动，将带210、220、230、240的末端插入于张力调节缠绕轴710的插入槽711。
然后，在所述带210、220、230、240的末端结合于张力调节缠绕轴710，之后在张力调节缠绕轴710结合旋转部720。
此时，所述夹持体610优选为，夹持体610的支撑部616插入于固定夹具730，以防止通过张力调节缠绕轴710以及旋转部720的旋转驱动移动所述夹持体610。
另一方面，使结合带210、220、230、240末端的张力调节缠绕轴710通过旋转部720的旋转调节带的张力，即过程如下：在所述张力调节缠绕轴710结合旋转部720，之后调节带210、220、230、240的两端中的至少一端的长度来调节带210、220、230、240的张力。
如图8所示，若调节带的张力，则在张力调节部700结合固定部来保持带的已调节张力。
然后，如图10a以及图10b所示，以保持所述带的张力的状态下，在夹持体610结合夹持部件620，进而在夹持体610与夹持部件620结合时可将带的张力变化变成最小化。
另一方面，如图11a以及图11b所示，在所述夹持体610结合夹持部件620之后，从夹持部600去除带连接装置，并切除从夹持部600凸出的带210、220、230、240的末端。
另一方面，如图12所示，所述旋转部件210、220、230、240可由不具有接缝的环形(loop)带构成。
此时，所述环形带优选为具有提前设定的张力，并且为缠绕于相应的轮形成已设定的长度。
在这一情况下，所述带作为闭合曲线的结构，是不具有接缝的环形状，因此无需夹持部600，该夹持部600是用于相互连接构成接缝线的带两端。
在此，对于形成不具有接缝的带，除了通过成型等形成一体的方式以外，还可通过夹持结合、用粘结物质结合、焊接结合等各种结合结构来结合两个末端。
同样地，若所述旋转部件210、220、230、240为线，则为使所述旋转部件210、220、230、240具有提前设定的张力而缠绕于相应的轮，并且当然也可由两端相互连接的环形(loop)线构成。
所述线的两端可通过夹持结合、用粘结物质结合、焊接接合等各种方式相互结合。
此时，所述移送工具可包括张力调节部700，以用于调节缠绕于相应的轮的环形带或者线的张力。
所述张力调节部700是调节缠绕于相应的轮的带的张力的结构，并且可具有多种结构。
在一实施例中，如图12所示，所述张力调节部700可由线性移动部构成，所述线性移动部使所述从动轮部300向远离或接近所述驱动轮部100的方向(图12的箭头方向)移动，以调节所述旋转部件210、220、230、240的张力。
此时，所述从动轮部300通过线型移动部移动，并且可与旋转部件210、220、230、240产生摩擦，因此优选为不用齿形结构与旋转部件210、220、230、240结合。
所述从动轮部300的多个从动轮310、320、330、340为了具有已设定的固定的差异而形成相互不同的外径，因此使从动轮部300远离或接近驱动轮部100地移动，进而可一次性调节旋转部件210、220、230、240的张力。
具体地说，在固定所述驱动轮部100的状态下向连接从动轮部300的虚拟线(X轴)方向移动，进而可一次性调节旋转部件210、220、230、240的张力。在另一实施例中，如图13所示，所述张力调节部700可包括带支撑部710与带加压部720，并且在带支撑部710与带加压部720之间放置带。
所述带支撑部710是为了在带底面的已设定的点以沿垂直方向(Z方向)支撑带而固定设置的结构，并且可具有多种结构。
上述点是结合于带的拾取器30的设置位置。例如，为了防止垂直方向(Z方向)位置变化，所述的点优选为设置于在结合于带的拾取器30中结合于最接近轮的位置的拾取器30与相应的轮之间。
具体地说，为使所述拾取器30位于提前设定的水平位置，带应该平行于连接驱动轮以及从动轮的旋转的虚拟基准线，据此带支撑部710的特征在于，尽管有后述的带加压部720的加压，但是带支撑部710还是支撑带，以使带平行于虚拟基准线。
所述带加压部720可具有多种结构，并且具有如下的结构：沿垂方向(Z方向)移动对带上面施加压力，进而调节带的张力。
所述带支撑部710被固定在支撑点并向垂直上方支撑带的底面，因此所述带加压部720向垂直下方(-Z方向，图13的箭头方向)移动，并且加压带的上面来调节张力。
所述带加压部720优选为设置在所述带支撑部730与轮之间，以防止结合于带的拾取器30的垂直方向(Z方向)的位置变化。
再则，所述带加压部720特征在于，为使带具有提前设定的张力，垂直于连接驱动轮以及从动轮的旋转轴的虚拟基准线来加压带，为此带加压部720对于连接驱动轮以及从动轮的旋转轴的虚拟基准线进行移动。
以上不过是关于可由本发明实现的优选实施例的一部分的说明，众所周知本发明的范围不得被上述实施例限定，并且在上述说明的本发明的技术思想与其根本的技术思想应高全部包括于本发明的范围。

Claims (7)

1.一种移送工具，其特征在于，包括：
驱动轮部(100)，包括多个驱动轮(110、120、130、140)，所述多个驱动轮(110、120、130、140)的外径相互不同，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；
从动轮部(300)，包括多个从动轮(310、320、330、340)，所述多个从动轮(310、320、330、340)的外径相互不同，并且与所述驱动轮部(100)相对并对应于所述驱动轮部(100)；
多个旋转部件(210、220、230、240)，缠绕于所述各个驱动轮(110、120、130、140)以及所述各个从动轮(310、320、330、340)；
至少一个拾取器(30)，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件(210、220、230、240)；
其中，所述驱动轮部(100)通过齿形结构与相应的旋转部件(210、220、230、240)结合；
所述从动轮部(300)不形成齿形结构；
所述旋转部件(210、220、230、240)是无接缝的环形带，并且缠绕于相应的轮，以使所述旋转部件(210、220、230、240)具有提前设定的张力；
还包括张力调节部(700)，为了调节所述旋转部件(210、220、230、240)的张力，使所述从动轮部(300)向远离或接近所述驱动轮部(100)的方向移动；
所述张力调节部(700)包括：
线性移动部，使所述从动轮部(300)沿着连接所述驱动轮部(100)与所述从动轮部(300)的虚拟延长线移动。
2.根据权利要求1所述的移送工具，其特征在于，
所述旋转部件(210、220、230、240)为带，
所述驱动轮部(100)以及所述从动轮部(300)具有一对引导部(111、121、131、141)，所述一对引导部(111、121、131、141)向半径方向凸出并使各个轮支撑带的两侧。
3.根据权利要求1所述的移送工具，其特征在于，
所述张力调节部(700)还包括带支撑部(710)和带加压部(720)，并且在带支撑部(710)与带加压部(720)之间放置带。
4.根据权利要求1所述的移送工具，其特征在于，
所述多个从动轮(310、320、330、340)形成一体。
5.一种移送工具，其特征在于，包括：
驱动轮部(100)，包括多个驱动轮(110、120、130、140)，所述多个驱动轮(110、120、130、140)的外径相互不同，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；
从动轮部(300)，包括多个从动轮(310、320、330、340)，所述多个从动轮(310、320、330、340)的外径相互不同，并且与所述驱动轮部(100)相对并对应于所述驱动轮部(100)；
多个旋转部件(210、220、230、240)，缠绕于所述各个驱动轮(110、120、130、140)以及所述各个从动轮(310、320、330、340)；
至少一个拾取器(30)，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件(210、220、230、240)；
所述旋转部件(210、220、230、240)为带，所述带的两端缠绕于相应的轮之后通过夹持部(600)相互连接，以使所述带具有提前设定的张力；
所述驱动轮部(100)通过齿形结构与所述旋转部件(210、220、230、240)结合；
所述从动轮部(300)不形成齿形结构；
所述夹持部(600)包括：
夹持体(610)，具有一对缠绕轴(611)，所述旋转部件的两端分别缠绕于一对缠绕轴(611)，且齿形结构(690)朝向外侧；
夹持部件(620)，与夹持体(610)可分离地结合，进而在所述旋转部件的两端缠绕于所述缠绕轴(611)以使所述齿形结构(690)朝向外侧的状态下向所述缠绕轴(611)加压所述旋转部件；
所述夹持体(610)在所述一对缠绕轴(611)之间形成与所述夹持部件(620)结合的结合部(618)。
6.根据权利要求5所述的移送工具，其特征在于，
所述缠绕轴(611)或者所述夹持部件(620)在接触于所述带的面上形成齿形结构(629)以对应于所述带的齿形结构(690)。
7.根据权利要求5所述的移送工具，其特征在于，
所述夹持体(610)以所述一对缠绕轴(611)为基准在与所述夹持部件(620)相对的位置形成向带的长度方向凸出的带引导部(614)。
CN201780012748.5A 2016-01-06 2017-01-06 移送工具 Active CN108701634B (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2016-0001686 2016-01-06
KR20160001686 2016-01-06
KR10-2016-0113500 2016-09-02
KR1020160113500A KR101754628B1 (ko) 2016-01-06 2016-09-02 이송툴
PCT/KR2017/000224 WO2017119781A1 (ko) 2016-01-06 2017-01-06 이송툴 및 벨트이음장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108701634A CN108701634A (zh) 2018-10-23
CN108701634B true CN108701634B (zh) 2023-04-07

Family

ID=59353904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780012748.5A Active CN108701634B (zh) 2016-01-06 2017-01-06 移送工具

Country Status (3)

Country Link
KR (2) KR101754628B1 (zh)
CN (1) CN108701634B (zh)
TW (1) TWI643794B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6216849B1 (en) * 1992-05-22 2001-04-17 Hadewe B.V. Belt assembly
KR20040096409A (ko) * 2003-05-09 2004-11-16 디엔씨엔지니어링 주식회사 피치가변 이송장치
CN101660590A (zh) * 2008-08-25 2010-03-03 罗伯特·博世有限公司 皮带轮传动系统
CN103523456A (zh) * 2012-07-04 2014-01-22 阿斯莫株式会社 工件搬送装置及工件制造方法
CN103658054A (zh) * 2012-09-24 2014-03-26 泰克元有限公司 测试分选机用拾放装置
KR101378326B1 (ko) * 2009-01-05 2014-03-27 에이에스엠 어쌤블리 오토메이션 리미티드 전자 부품들을 처리하기 위한 전달 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001321409A (ja) * 2000-05-18 2001-11-20 Yaskawa Electric Corp 下肢駆動装置
KR100432356B1 (ko) 2001-11-19 2004-05-22 미래산업 주식회사 핸들러의 디바이스 픽커
KR100648919B1 (ko) * 2005-11-15 2006-11-24 (주)테크윙 픽앤플레이스 장치
US8590113B2 (en) * 2010-05-26 2013-11-26 Massachusetts Institute Of Technology Methods and apparatus for applying tension to a motion transmission element

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6216849B1 (en) * 1992-05-22 2001-04-17 Hadewe B.V. Belt assembly
KR20040096409A (ko) * 2003-05-09 2004-11-16 디엔씨엔지니어링 주식회사 피치가변 이송장치
CN101660590A (zh) * 2008-08-25 2010-03-03 罗伯特·博世有限公司 皮带轮传动系统
KR101378326B1 (ko) * 2009-01-05 2014-03-27 에이에스엠 어쌤블리 오토메이션 리미티드 전자 부품들을 처리하기 위한 전달 장치
CN103523456A (zh) * 2012-07-04 2014-01-22 阿斯莫株式会社 工件搬送装置及工件制造方法
CN103658054A (zh) * 2012-09-24 2014-03-26 泰克元有限公司 测试分选机用拾放装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI643794B (zh) 2018-12-11
KR20170082476A (ko) 2017-07-14
KR101754628B1 (ko) 2017-07-06
TW201730069A (zh) 2017-09-01
CN108701634A (zh) 2018-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8070199B2 (en) Apparatus for picking up semiconductor package
JP2735820B2 (ja) 回転運動をするピックアップツールを備えたダイボンディング装置およびダイボンディング方法
US8672210B2 (en) Capillary exchange system of semiconductor wire bonding
KR20170056415A (ko) 열압착 본딩장치
US8864121B2 (en) Adaptive clamp width adjusting device
CN108701634B (zh) 移送工具
KR20150122031A (ko) 이송툴모듈, 니들핀 조립체, 및 그를 가지는 소자핸들러
TWI631647B (zh) 元件處理器
US6547121B2 (en) Mechanical clamper for heated substrates at die attach
CN108778966B (zh) 移送工具
JP5410388B2 (ja) チップ保持装置，チップ供給装置およびチップ搭載機
JP4659440B2 (ja) 基板搬送装置およびチップ搭載機
KR20180083698A (ko) 이송툴의 벨트이음장치
KR102155346B1 (ko) 소자핸들러
KR20210138426A (ko) 이송툴 및 그를 구비한 소자핸들러
JPH0438654B2 (zh)
KR20160040002A (ko) 소자핸들러
KR200211723Y1 (ko) 티·시·피 제조시의 폿팅 공정용 테이프 이송장치
TW201342500A (zh) 固定元件接合裝置及其固定元件供應模組
KR20170069687A (ko) 소자핸들러
KR19990035573A (ko) 리드 프레임 픽업장치
JP2004182294A (ja) 半導体装置の製造装置
JP4111817B2 (ja) 半導体素子の装着装置
JPH0719867B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置の外部リード成形方法
KR20030038587A (ko) 클램프커버를 이용한 반도체팩키지 절단장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant