TWI576600B - 用於測試分選機的拾放裝置 - Google Patents

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Description

用於測試分選機的拾放裝置
本發明涉及一種在測試分選機中用於拾取半導體元件之後移動至所需位置的拾放裝置。
測試分選機是一種將通過預定製造工藝製造的半導體元件從客戶盤(CUSTOMER TRAY)裝載(LOADING)到測試盤(TEST TRAY)之後，使運載於測試盤上的半導體元件能夠被測試器(TESTER)測試(TEST)，並根據測試結果而按等級對半導體元件進行分類，從而由測試盤卸載(UNLOADING)到客戶盤的裝置，其已被不少公開文獻所公開。
測試分選機中不僅具備以上涉及的客戶盤或測試盤，而且還具備構成於裝載部的對準器(ALIGNER)或用於存放和運載剩餘半導體元件的緩衝器(BUFFER)，以及本申請的在先申請技術(韓國專利申請10-2006-0007763號，發明名稱：測試分選機及測試分選機的裝載方法)中介紹的機動型裝載台、構成於卸載部的分揀台(SORTING TABLE)等用於運載或排列半導體元件的多個運載單元或排列單元。
本發明涉及一種為了在如上所述的不同單元(客戶盤、測試盤、對準器、緩衝器、機動型裝載台、分揀台)中的任意兩個單元之間傳送半導體元件而從一側的單元拾取半導體元件之後向另一側的單元移動半導體元件的拾放裝置(PICK AND PLACE APPARATUS)。通常，如果拾放裝置構成於裝載部則被稱為裝載器或裝載手(LOADING HAND)，而如果構成於卸載部則有時被稱為卸載器或卸載手(UNLOADING HAND)。
通常，由於客戶盤用於運載而存放半導體元件，因此為了拾取儘量多的半導體元件，需要使拾取的半導體元件之間的間距達到最小，而為了確保運載的半導體元件具有測試所需的間距，使半導體元件在測試盤上具有比在客戶盤上更寬的間距。即，比起客戶盤上的半導體元件之間的間距，測試盤上的半導體元件之間的間距更寬。因此，在將半導體元件從客戶盤裝載到測試盤或者從測試盤卸載到客戶盤時有必要調整半導體元件之間的間距。進而，除了在客戶盤或測試盤以外，當在對準器或緩衝器、機動型裝載台、分揀台等多種運載單元之間移動半導體元件時，也有必要根據需求調整半導體元件之間的間距。
然而，半導體元件的間距調整是通過拾放裝置完成的。即，通過拾放裝置從一側運載單元拾取半導體元件之後，將半導體元件之間的間距調整為所需間距，然後將半導體元件移動至另一側運載單元而進行運載。
因此，拾放裝置中設置有用於調整拾取器之間的間距的間距調整裝置。
拾放裝置中調整半導體元件之間的間距的方式中有凸輪(CAM)方式(參見韓國公開專利10-2006-0062796號，背景技術1)和鏈環(LINK)方式(參見韓國授權專利10-0628553號，背景技術2)。
另外，由於在待測試的半導體元件的大小改變時半導體元件之間的間距也將改變，因此拾取器之間的間距也應該改變。
因此，如果根據採用凸輪方式的背景技術1，則使用伺服馬達而使傾斜地形成有間距調整用輪槽的輪盤可以移動至任意位置，從而可以任意調整拾取器之間的間距。即，背景技術1中是在待測試的半導體元件的大小改變的情況下，通過改變伺服馬達的控制信號而改變半導體元件之間的間距(拾取器之間的間距)。
然而，如果根據背景技術1，則由於輪槽之間的間距要始終不變，因此輪盤的大小要在上下方向上夠長，由此產生拾放裝置整體變大的問題。
而且，即使在按照採用鏈環方式的背景技術2的情況下，也伴隨著為了改變拾取器之間的間距而需要更替間距確定環的麻煩。
本發明的目的在於提供一種可通過利用不同於所述背景技術1和2的輪而調整拾取器之間的間距的基於新的技術理念的拾放裝置相關技術。
為了達到如上所述的目的，根據本發明第一形態的用於測試分選機的拾放裝置包括：N個拾取器，用於拾取半導體元件，並能夠水平移動；一個以上的導軌，用於引導所述N個拾取器的水平移動；N個結合塊，分別將所述N個拾取器可水平移動地結合於所述一個以上的導軌上；間距調整裝置，用於調整所述N個拾取器之間的間距；安裝架，用於設置所述一個以上的導軌以及間距調整裝置，其中，N2，且所述間距調整裝置包括：驅動輪，包括具有互不相同的直徑的多個帶捲繞部，並能夠旋轉；從動輪，聯動於所述驅動輪的旋轉而旋轉，並具有與所述驅動輪的多個帶捲繞部對應的多個帶捲繞部；多個帶，將所述驅動輪和從動輪的相對應的帶捲繞部分別作為兩側的旋轉來往區間而進行旋轉；以及驅動源，使所述驅動輪正反向旋轉，其中，將所述拾取器中屬於第一群的L個拾取器和所述拾取器中屬於第二群的M個拾取器結合於所述多個帶上，以使所述L個拾取器和所述M個拾取器隨著所述驅動輪的正向旋轉或反向旋轉而沿著相反方向移動，而且，1L<N，1M<N，L+M=N。
所述多個帶捲繞部的直徑比為以2為公差遞增的等差數列。
而且，為了達到如上所述的目的，根據本發明第二形態的用於測試分選機的拾放裝置包括：N個拾取器，用於拾取半導體元件；一個以上的導軌，用於引導所述N個拾取器中N-1個拾取器的水平移動；N-1個結合塊，分別將所述N-1個拾取器可水平移動地結合於所述一個以上的導軌上；間距調整裝置，用於調整所述N個拾取器之間的間距；安裝架，用於設置所述一個以上的導軌以及間距調整裝置，其中，N2，且所述間距調整裝置包括：驅動輪，具有一個以上的帶捲繞部，並能夠旋轉；從動輪，聯動於所述驅動輪的旋轉而旋轉，並具有與所述驅動輪的一個以上的帶捲繞部對應的一個以上的帶捲繞部；一個以上的帶，將所述驅動輪和從動輪的一個以上的帶捲繞部作為旋轉來往區間而進行旋轉；驅動源，使所述驅動輪正反向旋轉，其中，將所述拾取器中屬於第一群的L個拾取器和所述拾取器中屬於第二群的M個拾取器結合於所述一個以上的帶上，以使所述L個拾取器和所述M個拾取器隨著所述驅動輪的正向旋轉或反向旋轉而沿著相反方向移動，並且所述拾取器中除了屬於第一群的拾取器和屬於第二群的拾取器以外的剩餘的1個拾取器被固定於所述安裝架上，而且，1L<N，0M<N，L+M+1=N。
所述驅動輪和從動輪分別包括具有互不相同的直徑的多個帶捲繞部，並分別將驅動輪和從動輪的相對應的帶捲繞部作為兩側的旋轉來往區間而設置多個帶。
所述多個帶捲繞部的直徑比為以1為公差遞增的等差數列。
根據本發明，無需使用輪盤而只要利用帶和輪即可調整拾取器之間的間距，因此不僅可以輕易地將拾取器之間的間距改變為任意期望間距，而且還具有可以減小裝置大小的效果。
100、500‧‧‧拾放裝置
111、112、511、512‧‧‧拾取器
121、122、521、522‧‧‧導軌
131、132、531‧‧‧結合塊
140、540‧‧‧間距調整裝置
141、541‧‧‧驅動輪
141a、541a‧‧‧帶捲繞部
142、542‧‧‧從動輪
142a、542a‧‧‧帶捲繞部
143、543‧‧‧同步帶
144a、144b‧‧‧帶塊
145‧‧‧馬達
150、550‧‧‧安裝架
圖1a為根據本發明第一實施例的用於測試分選機的拾放裝置的概略性立體圖。
圖1b為圖1a所示用於測試分選機的拾放裝置的示意性側剖面圖。
圖2為圖1所示用於測試分選機的拾放裝置的工作狀態圖。
圖3a至圖3d為示意性地表示根據本發明第一實施例的擴展例1的用於測試分選機的拾放裝置的構成的圖。
圖4為根據本發明第一實施例的擴展例2的用於測試分選機的拾放裝置的結構圖。
圖5為根據本發明第二實施例的用於測試分選機的拾放裝置的概略性正面圖。
圖6至圖8為示意性地表示根據本發明第二實施例的用於測試分選機的拾放裝置的擴展例的圖。
以下，參照附圖說明如上所述的根據本發明的優選實施例，然而為了說明的簡潔性，儘量省略或縮減重複的說明或對結構的圖示。
<第一實施例>
圖1a是對根據本發明第一實施例的用於測試分選機的拾放裝置(以下簡稱為“拾放裝置”)100的概略性立體圖。
如圖1a所示，根據第一實施例的拾放裝置100包括：兩個拾取器111、112；兩個導軌121、122；兩個結合塊131、132；間距調整裝置140；以及安裝架150。
兩個拾取器111、112是為了拾取半導體元件而配備的。這樣的兩個拾取器111、112被配備為可在水準方向上移動。
兩個導軌121、122是為了引導兩個拾取器111、112的水平移動而配備的。當然，由於導軌的個數只要能夠實現對構成於拾放裝置上的拾取器的適當引導即可，因此視具體實施的需要而配備一個以上就可能足夠。
兩個結合塊131、132分別將兩個拾取器111、112可水平移動地結合於導軌121、122上。即，拾取器111、112將通過結合塊131、132而可水平移動地結合於導軌121、122上。
間距調整裝置140用於調整兩個拾取器111、112彼此之間的間距。這種間距調整裝置140包括驅動輪141、從動輪142、同步帶143、帶塊(Belts Block)144a、144b以及馬達145。
驅動輪141隨馬達145的工作而旋轉。這種驅動輪141具有一個帶捲繞部141a。
從動輪142與驅動輪141相隔預定間距，並聯動於驅動輪141而旋轉。這種從動輪142也具有對應於驅動輪141的一個帶捲繞部141a的一個帶捲繞部142a。
同步帶143將驅動輪141和從動輪142的帶捲繞部141a、142a作為旋轉來往區間而旋轉。只要能夠控制拾取器111、112之間準確的間距調整，這種同步帶143即可以用任何形態的帶替代。
帶塊144a、144b是為了將結合塊131、132結合於同步帶143的適當位置而配備的。
馬達145是作為使驅動輪141正反向旋轉的驅動源而配備的。
另外，用於將第一拾取器111結合於導軌121、122上的第一結合塊131結合於同步帶143的上側位置，而用於將第二拾取器112結合於導軌121、122上的第二結合塊132則結合於同步帶143的下側位置。即，第一拾取器111和第二拾取器112分別通過第一結合塊131和第二結合塊132而結合於同步帶143上。因此，借 助於驅動輪141的正向旋轉或反向旋轉，第一拾取器111和第二拾取器112朝相反方向移動。
作為參考，圖1b是對圖1a的拾放裝置100的示意性側剖面圖，其表示從側面觀察的各構成要素的結合結構。如圖1b所示，第一結合塊131和拾取器111將安裝架150置於中間，並通過沿著拾取器111的移動方向延伸的形成於安裝架150內的通孔150a、150b而借助於螺栓B相互結合。並且，結合於同步帶143適當位置的帶塊144a結合於結合塊131。以下為了說明的簡潔性而省略如上所述的結合結構。
另外，圖2表示如上所述的拾放裝置100的工作狀態。
如圖2所示，由於當驅動輪141正向旋轉時第一拾取器111與第二拾取器112將沿著相互遠離的方向移動，因此第一拾取器111與第二拾取器112之間的間距得到調整。當然，如果驅動輪141反向旋轉，則由圖2的狀態轉換為圖1的狀態。而且，在想改變第一拾取器111與第二拾取器112之間的調整間距時，只要通過控制馬達145的正反旋轉量而調整驅動輪141的旋轉量即可輕易地改變第一拾取器111與第二拾取器112之間的調整間距。
<第一實施例的擴展例1>
圖3a及圖3b為具有四個拾取器311~314的示例，是對根據第一實施例的擴展例1的拾放裝置300的 概略性正面圖，圖3c是對應用於圖3a的拾放裝置300的驅動輪341的概略性立體圖。
在如圖3a及圖3b所示的擴展例1中，驅動輪341上具有兩個帶捲繞部341a、341b(如圖3c所示)。並且，兩個帶捲繞部341a、341b具有不同的直徑。此時，帶捲繞部的直徑比為1：3。即，如圖3d所示，如果假設具有等間距a的第一拾取器至第四拾取器311~314以位於第二拾取器312與第三拾取器313中間的假想中心線C為基準而縮短或者擴大彼此之間的間距，則從假想中心線至第二拾取器312和第三拾取器313的距離將是a/2，而從假想中心線至第一拾取器311和第四拾取器314的距離則是3a/2。因此，只有驅動輪341的第一帶捲繞部341a與第二帶捲繞部341b的直徑比成為1：3時，才能在調整間距時使各拾取器311~314之間維持相同的間距。
在此，如果將具有相同移動方向的拾取器311與312以及313與314綁定為群，則屬於第一群的第一拾取器311及第二拾取器312的移動方向與屬於第二群的第三拾取器313及第四拾取器314的移動方向相反。
當然，從動輪342也具有分別對應於驅動輪所具有的兩個帶捲繞部341a、341b的兩個帶捲繞部342a、342b。
<第一實施例的擴展例2>
圖4為具有8個拾取器411~418的示例，是對根據第一實施例的擴展例2的拾放裝置400的概略性結構圖。
在如圖4所示的擴展例2中，驅動輪441上具有四個帶捲繞部441a~441d。當然，如果與擴展例1類似地，以位於第四拾取器414與第五拾取器415中間的假想中心線C為基準而計算各拾取器411~418之間的距離，則驅動輪441與從動輪442上具有的四個帶捲繞部441a~441d/442a~442d具有1：3：5：7的直徑比。
即，如同本發明的第一實施例擴展的情況，如果拾取器均被設置為水平移動，則將驅動輪與從動輪的帶捲繞部的直徑比構成為以2為公差遞增的等差數列。
在此，如果考慮裝置的小型化，則對於直徑最小的帶捲繞部而言，其直徑越小越好，但是有必要考慮同步帶的曲率半徑等而確定。
<第二實施例>
圖5為根據本發明第二實施例的拾放裝置500的概略性正面圖。
如圖5所示，根據第二實施例的拾放裝置500包括：兩個拾取器511、512；兩個導軌521、522；結合塊531、532；間距調整裝置540；以及安裝架550。
兩個拾取器511、512是為了拾取半導體元件而配備的。這樣的兩個拾取器511、512中的第一拾取器511被配備為可在水準方向上移動。
兩個導軌521、522是為了引導第一拾取器511的水平移動而配備的。
結合塊531將第一拾取器511可水平移動地結合於導軌521、522上。
間距調整裝置540用於調整第一拾取器511與第二拾取器512之間的間距。這種間距調整裝置540包括驅動輪541、從動輪542、同步帶543、以及馬達(未圖示)。
驅動輪541隨馬達的工作而旋轉。這種驅動輪541具有一個帶捲繞部541a。
從動輪542與驅動輪541相隔預定間距，並聯動於驅動輪541而旋轉。這種從動輪542也具有對應於驅動輪541的一個帶捲繞部541a的一個帶捲繞部542a。
同步帶543將驅動輪541和從動輪542的帶捲繞部541a、542a作為旋轉來往區間而旋轉。
馬達使驅動輪541正反向旋轉。
另外，用於將第一拾取器511結合於導軌521、522上的結合塊531結合於同步帶543的上側位置，而第二拾取器512則固定於安裝架550。
因此，當驅動輪541旋轉時，只有第一拾取器511沿著水準方向移動，從而使第一拾取器511與第二拾取器512之間的間距得到調整。
<第二實施例的擴展例1>
圖6為具有3個拾取器611~613的示例，是對根據第二實施例的擴展例1的拾放裝置600的概略性結構圖。
在本擴展例1中，位於第一拾取器611與第三拾取器613之間的第二拾取器612被固定，而只有第一拾取器611和第三拾取器613隨著驅動輪641的旋轉而以第二拾取器612為基準而向彼此靠近或遠離的方向移動，從而使第一拾取器611至第三拾取器613之間的間距得到調整。
<第二實施例的擴展例2>
圖7為具有五個拾取器711~715的示例，是對根據第二實施例的擴展例2的拾放裝置700的概略性結構圖。
在本擴展例2中，以位於中間的第三拾取器713為基準，第一拾取器711及第二拾取器712與第四拾取器714及第五拾取器715向彼此靠近或遠離的方向水平移動，從而調整拾取器711~715之間的間距。
此時，由於相鄰的拾取器711~715之間形成間距為a的等間距，且第三拾取器713被固定，因此分別配備於驅動輪741和從動輪742上的具有不同直徑的帶捲繞部741a、741b/742a、742b的直徑比應成為1：2。進而，具有七個拾取器或九個拾取器等情況下，位於中間的拾取器被固定，此時帶捲繞部的直徑比將成為1：2：3：…之類以1為公差遞增的等差數列。
即，對於一個拾取器被固定於安裝架的第二實施例，如果具有奇數個拾取器則可能得到更好的應用。
當然，如圖8所示，當具有偶數個拾取器811~818時第二實施例也可以得到很好的應用，此時，驅動輪841和從動輪842的帶捲繞部的直徑比也是成為以1為公差遞增的等差數列。
另外，如果根據如上所述的第二實施例，則由於一個拾取器將被固定於安裝架，因此具有比拾取器的總數N少一個的(N-1)個結合塊。因此，只有(N-1)個拾取器結合於同步帶側。
作為參考，如果對驅動輪的直徑比進行多種改變，則在有些情況下各拾取器之間的間距不是等間距，在這種情況下本發明也可以得到很好的應用。
如上所述，已通過參照附圖的實施例對本發明進行了具體說明，然而上述實施例只是列舉本發明的優選實施例來說明的，因此不能理解為本發明僅僅局限於上述實施例，而要通過申請專利範圍及其均等概念來理解本發明的權利範圍。
100‧‧‧拾放裝置
111、112‧‧‧拾取器
121、122‧‧‧導軌
131、132‧‧‧結合塊
140‧‧‧間距調整裝置
141‧‧‧驅動輪
141a‧‧‧帶捲繞部
142‧‧‧從動輪
142a‧‧‧帶捲繞部
143‧‧‧同步帶
144a、144b‧‧‧帶塊
145‧‧‧馬達
150‧‧‧安裝架

Claims (5)

  1. 一種測試分選機用拾放裝置，其特徵在於，包括：N個拾取器，用於拾取半導體元件，並能夠水平移動；一個以上的導軌，用於引導所述N個拾取器的水平移動；N個結合塊，分別將所述N個拾取器可水平移動地結合於所述一個以上的導軌上；間距調整裝置，用於調整所述N個拾取器之間的間距；安裝架，用於設置所述一個以上的導軌以及間距調整裝置，其中，N2，且所述間距調整裝置包括：驅動輪，包括具有互不相同的直徑的多個帶捲繞部，並能夠旋轉；從動輪，聯動於所述驅動輪的旋轉而旋轉，並具有與所述驅動輪的多個帶捲繞部對應的多個帶捲繞部；多個帶，將所述驅動輪和從動輪的相對應的帶捲繞部分別作為兩側的旋轉來往區間而進行旋轉；驅動源，使所述驅動輪正反向旋轉，其中，將所述拾取器中屬於第一群的L個拾取器和所述拾取器中屬於第二群的M個拾取器結合於所述多個 帶上，以使所述L個拾取器和所述M個拾取器隨著所述驅動輪的正向旋轉或反向旋轉而沿著相反方向移動，而且，1L<N，1M<N，L+M=N，所述N為偶數，以假想中心線為基準，位於相互對稱的位置的一對拾取器中一個拾取器聯動於所述多個帶中的一個帶的上側旋轉來往區間的帶部分，所述一對拾取器中的另一個拾取器聯動於所述多個帶中的一個帶的下側旋轉來往區間的帶部分。
  2. 如請求項1所述的測試分選機用拾放裝置，其中所述多個帶捲繞部的直徑比為以2為公差遞增的等差數列。
  3. 一種測試分選機用拾放裝置，其特徵在於，包括：N個拾取器，用於拾取半導體元件；一個以上的導軌，用於引導所述N個拾取器中N-1個拾取器的水平移動；N-1個結合塊，分別將所述N-1個拾取器可水平移動地結合於所述一個以上的導軌；間距調整裝置，用於調整所述N個拾取器之間的間距；安裝架，用於設置所述一個以上的導軌以及間距調整裝置， 其中，N2，且所述間距調整裝置包括：驅動輪，具有一個以上的帶捲繞部，並能夠旋轉；從動輪，聯動於所述驅動輪的旋轉而旋轉，並具有與所述驅動輪的一個以上的帶捲繞部對應的一個以上的帶捲繞部；一個以上的帶，將所述驅動輪和從動輪的一個以上的帶捲繞部作為旋轉來往區間而進行旋轉；驅動源，使所述驅動輪正反向旋轉，其中，將所述拾取器中屬於第一群的L個拾取器和所述拾取器中屬於第二群的M個拾取器結合於所述一個以上的帶上，以使所述L個拾取器和所述M個拾取器隨著所述驅動輪的正向旋轉或反向旋轉而沿著相反方向移動，所述N為奇數，以位於中間的一個拾取器為基準，位於相互對稱的位置的一對拾取器中一個拾取器聯動於所述多個帶中的一個帶的一側旋轉來往區間的帶部分，所述一對拾取器中的另一個拾取器聯動於所述多個帶中的一個帶的另一側旋轉來往區間的帶部分，並且，所述拾取器中除了屬於第一群的拾取器和屬於第二群的拾取器以外的剩餘的1個拾取器被固定於所述安裝架上，該剩餘的1個拾取器為所述位於中間的一個拾取器，而且，1L<N，0M<N，L+M+1=N。
  4. 如請求項3所述的測試分選機用拾放裝置，其中所述驅動輪和從動輪分別包括具有互不相同的直徑的多個帶捲繞部，並分別將驅動輪和從動輪的相對應的帶捲繞部作為兩側的旋轉來往區間而設置多個帶。
  5. 如請求項4所述的測試分選機用拾放裝置，其中所述多個帶捲繞部的直徑比為以1為公差遞增的等差數列。
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