DE4315762C2 - Zweidimensionales Antriebssystem - Google Patents

Zweidimensionales Antriebssystem

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Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein zweidimensiona­ les Antriebssystem, genauer bezieht sie sich auf ein zweidimen­ sionales Antriebssystem, welches in der Lage ist, eine Mehrzahl von beweglichen bzw. verstellbaren Körpern zu bewegen bzw. zu verstellen.
Aus der DE 41 00 686 A1, insbesondere Fig. 3 und 7, ist ein zweidimensionales Antriebssystem bekannt, das eine Mehrzahl von Unterantriebssystemen aufweist, von denen jedes in der Lage ist, einen einzelnen bewegbaren Körper in einer Ebene zu bewe­ gen. Die Unterantriebssysteme sind matrixartig nebeneinander in einer Ebene angeordnet. Jedes Unterantriebssystem weist eine bewegbare X-Führung, die entlang eines Paares von feststehenden Y-Führungen bewegt werden kann, eine bewegbare Y-Führung, die entlang eines Paares von feststehenden X-Führungen bewegt wer­ den, wobei der einzelne bewegbare Körper immer an einem Kreu­ zungspunkt der bewegbaren X- und Y-Führung positioniert ist, einen X-Antriebsmechanismus zum Bewegen des bewegbaren Körpers in X-Richtung und einen Y-Antriebsmechanismus zum Bewegen des bewegbaren Körpers in Y-Richtung senkrecht zur X-Richtung auf. Der X-Antriebsmechanismus und der Y-Antriebsmechanismus können den bewegbaren Körper unabhängig antreiben.
Jedoch weist das zweidimensionale Antriebssystem die folgenden Nachteile auf.
Das Antriebssystem muß einen X-Antriebsmechanismus und einen Y- Antriebsmechanismus für jeden bewegbaren Körper aufweisen. Im Fall des Bewegens von vier bewegbaren Körpern zum Beispiel muß das Antriebssystem acht Antriebsmechanismen aufweisen. Darum weist das Antriebssystem eine komplexe Struktur auf, und die Herstellungskosten müssen höher sein. Im tatsächlichen Gebrauch werden vier bewegbare Körper selten unabhängig angetrieben, so daß nun ein Antriebssystem mit niedrigeren Kosten gefordert wird, selbst dann, wenn es einige Beschränkungen in der Bewe­ gung der bewegbaren Körper aufweist.
Aus "Industrie-Anzeiger", 87. Jahrg., Nr. 96, 30. Nov. 1965, S. 2342, Bild 28, ist eine geradlinige Wälzführung bekannt, bei der ein erstes Paar von Stahlstangen, die an einem Maschinen­ bett befestigt werden, und senkrecht dazu ein weiteres Paar von Stahlstangen, die als Schlitten dienen und mit dem ersten Paar über Kugellager verbunden sind, vorgesehen sind.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein zweidimensionales Antriebssy­ stem, welches in der Lage ist, eine Mehrzahl von bewegbaren bzw. verstellbaren Körpern zu bewegen bzw. zu verstellen, mit einer einfachen Struktur zu ermöglichen.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein zweidimensionales Antriebs­ system nach Anspruch 1.
In dem zweidimensionalen Antriebssystem der vorliegenden Erfin­ dung ist eine Mehrzahl von Körpern auf einer bewegbaren Füh­ rung, z. B. einer Stange, verschiebbar, so daß ein Antriebsmecha­ nismus zum Bewegen der bewegbaren Führung in der Lage ist, die bewegbaren Körper gleichzeitig in derselben Richtung zu bewegen bzw. zu stellen. Daher können die zum Beispiel vier bewegbaren Körper durch vier Antriebsmechanismen bewegt bzw. gestellt werden. Im Vergleich zu dem zuvor genannten zweidimensionalen Antriebssystem weist das zweidimensionale Antriebssystem der vorliegenden Erfindung eine einfachere Struktur auf, und seine Herstellungskosten können reduziert werden.
Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Es folgt die Beschreibung eines Ausführungsbeispieles anhand der Figuren.
Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des zweidimensionalen Antriebssystems der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 2 eine Draufsicht im Schnitt der Ausführungsform.
In den Fig. 1 und 2 umschließt ein Rahmen 10 einen recht­ eckigen Raum 11.
Ein Paar von X-Kugelumlaufspindeln 12a und 12b, welche ein Bei­ spiel für erste X-Führungen sind, sind auf dem Rahmen 10 vorge­ sehen. Die X-Kugelumlaufspindeln 12a und 12b sind parallel zu einer X-Richtung angeordnet.
Ein Paar von X-Kugelumlaufspindeln 12c und 12d, welche ein Bei­ spiel für zweite X-Führungen sind, sind auf dem Rahmen 10 vor­ gesehen. Die X-Kugelumlaufspindeln 12c und 12d sind parallel zu den X-Kugelumlaufspindeln 12a und 12b angeordnet.
Ein Paar von Y-Kugelumlaufspindeln 14a und 14b, welche ein Bei­ spiel für erste Y-Führungen sind, sind auf dem Rahmen 10 vorge­ sehen. Die X-Kugelumlaufspindeln 14a und 14b sind parallel zu einer Y-Richtung senkrecht zur X-Richtung angeordnet.
Ein Paar von Y-Kugelumlaufspindeln 14c und 14d, welche ein Bei­ spiel für zweite Y-Führungen sind, sind auf dem Rahmen 10 vor­ gesehen. Die Y-Kugelumlaufspindeln 14c und 14d sind parallel zu den Y-Kugelumlaufspindeln 14a und 14b angeordnet.
Eine Stange 16a ist eine erste bewegbare X-Führung. Die Stange 16a ist parallel zu den X-Kugelumlaufspindeln 12a, 12b, 12c und 12d angeordnet. Jedes Ende der Stange 16a ist an den Läufern 18a bzw. 18b, welche ein Beispiel für bewegbare bzw. stellbare Blöcke sind, fixiert (befestigt). Die Läufer 18a und 18b sind auf die Y-Kugelumlaufspindeln 14a bzw. 14b aufgeschraubt. Mit dieser Struktur bewegen sich die Läufer 18a und 18b in die Y- Richtung entlang der Y-Kugelumlaufspindeln 14a und 14b, wenn die Y-Kugelumlaufspindeln 14a und 14b in die gleiche Richtung mit der gleichen Umdrehungsgeschwindigkeit rotieren.
Eine Stange 16b ist eine zweite bewegbare X-Führung. Die Stange 16b ist parallel zu den X-Kugelumlaufspindeln 12a, 12b, 12c und 12d angeordnet. Jedes Ende der Stange 16b ist an den Läufern 18c bzw. 18d, welche ein Beispiel der bewegbaren bzw. stellba­ ren Blöcke sind, fixiert. Die Läufer 18c und 18d sind auf die Y-Kugelumlaufspindeln 14c bzw. 14d aufgeschraubt. Mit dieser Struktur bewegen sich die Läufer 18c und 18d in der Y-Richtung entlang der Y-Kugelumlaufspindeln 14c und 14d, wenn die Y- Kugelumlaufspindeln 14c und 14d in die gleiche Richtung mit der gleichen Umdrehungsgeschwindigkeit rotieren. Es ist zu bemer­ ken, daß die Y-Kugelumlaufspindeln 14a und 14b die Läufer 18c und 18d ohne Kontakt durchstoßen bzw. durch diese geführt sind.
Eine Stange 20a ist eine erste bewegbare Y-Führung. Die Stange 20a ist parallel zu den Y-Kugelumlaufspindeln 14a, 14b, 14c und 14d angeordnet. Jedes Ende der Stange 20a ist an Läufern 22a bzw. 22b, welche ein Beispiel für die bewegbaren Blöcke sind, fixiert. Die Läufer 22a und 22b sind auf die X-Kugelumlauf­ spindeln 12a bzw. 12b aufgeschraubt. Mit dieser Struktur bewe­ gen sich die Läufer 22a und 22b in der X-Richtung entlang der X-Kugelumlaufspindeln 12a und 12b, wenn die X-Kugelumlauf­ spindeln 12 und 12b in dieselbe Richtung mit derselben Umdre­ hungsgeschwindigkeit rotieren.
Eine Stange 20b ist eine zweite bewegbare Y-Führung. Die Stange 20b ist parallel zu den Y-Kugelumlaufspindeln 14a, 14b, 14c und 14d angeordnet. Jedes Ende der Stange 20b ist an Läufern 22c bzw. 22d fixiert (befestigt), welche ein Beispiel für bewegbare bzw. stellbare Blöcke sind. Die Läufer 22c und 22d sind auf die X-Kugelumlaufspindeln 12c bzw. 12d aufgeschraubt. Mit dieser Struktur bewegen sich die Läufer 22c und 22d in der X-Richtung entlang der X-Kugelumlaufspindeln 12c und 12d, wenn die X- Kugelumlaufspindeln 12c und 12d in die gleiche Richtung mit der gleichen Umdrehungsgeschwindigkeit rotieren. Es ist zu bemer­ ken, daß die X-Kugelumlaufspindeln 12a und 12b die Läufer 22c und 22d ohne Kontakt durchstoßen bzw. durch diese geführt sind.
Ein Gleitstück 24 ist ein Beispiel für einen ersten bewegbaren bzw. stellbaren Körper. Die Stangen 16a und 20a durchstoßen das Gleitstück 24. Werkzeuge, Roboterköpfe, Meßausrüstungen, Werk­ stücke, Werke, etc. können auf das Gleitstück 24 montiert wer­ den. Das Gleitstück 24 befindet sich immer an einem Kreuzungs­ punkt der Stangen 16a und 20a. Das Gleitstück 24 kann sich ent­ lang der Stangen 16a und 20a bewegen bzw. entlang dieser ge­ stellt werden.
Ein Gleitstück 28 ist ein Beispiel für einen zweiten bewegbaren Körper. Die Stangen 16b und 20a durchstoßen das Gleitstück 28, Werkzeuge, Roboterköpfe, Meßausrüstungen, Werkstücke, Werke, etc. können auf das Gleitstück 28 montiert werden. Das Gleit­ stück 28 befindet sich immer an einem Kreuzungspunkt der Stan­ gen 16b und 20a. Das Gleitstück 28 kann sich entlang der Stan­ gen 16b und 20a bewegen bzw. entlang dieser gestellt werden.
Ein Gleitstück 26 ist ein Beispiel für einen dritten bewegbaren Körper. Die Stangen 16a und 20b durchstoßen das Gleitstück 26.
Werkzeuge, Roboterköpfe, Meßausrüstungen, Werkstücke, Werke, etc. können auf das Gleitstück 26 montiert werden. Das Gleit­ stück 26 befindet sich immer an einem Kreuzungspunkt der Stangen 16a und 20b. Das Gleitstück 26 kann sich entlang der Stangen 16a und 20b bewegen bzw. entlang dieser gestellt werden.
Ein Gleitstück 30 ist ein Beispiel für einen vierten bewegbaren Körper. Die Stangen 16b und 20b durchstoßen das Gleitstück 30. Werkzeuge, Roboterköpfe, Meßausrüstungen, Werkstücke, Werke, etc. können auf das Gleitstück 30 montiert werden. Das Gleit­ stück 30 befindet sich immer an einem Kreuzungspunkt der Stangen 16b und 20b. Das Gleitstück 30 kann sich entlang der Stangen 16b und 20b bewegen bzw. entlang dieser gestellt werden.
Ein Gleichstromstellmotor 32a dreht die X-Kugelumlaufspindeln 12a und 12b in der gleichen Richtung mit der gleichen Umdre­ hungsgeschwindigkeit. Die X-Kugelumlaufspindel 12a wird durch den Stellmotor 32a direkt gedreht; die X-Kugelumlaufspindel 12b wird dagegen über Kegelradgetriebe (-antriebe) 34 und eine Metallwelle 36 gedreht. Ein Satz eines ersten X-Antriebsmecha­ nismus zum Bewegen bzw. Stellen der Stangen 20a in X-Richtung entlang der X-Kugelumlaufspindeln 12a und 12b weist den Stell­ motor 32a, die Kegelradgetriebe 34 und die Metallwelle 36 auf.
Ein Gleichstromstellmotor 32b dreht die X-Kugelumlaufspindeln 12c und 12d in derselben Richtung mit derselben Umdrehungs­ geschwindigkeit. Die X-Kugelumlaufspindel 12d wird durch den Stellmotor 32b direkt gedreht; die X-Kugelumlaufspindel 12c dagegen wird über Kegelradgetriebe 38 und eine Metallwelle 40 gedreht. Ein Satz eines zweiten X-Antriebsmechanismus zum Bewegen bzw. Stellen der Stangen 20b in X-Richtung entlang der X-Kugelumlaufspindeln 12c und 12d weist den Stellmotor 32b, die Kegelradgetriebe 38 und die Metallwelle 40 auf.
Ein Gleichstromstellmotor 42a dreht die Y-Kugelumlaufspindeln 14a und 14b in derselben Richtung mit derselben Umdrehungsge­ schwindigkeit. Die Y-Kugelumlaufspindel 14a wird durch den Stellmotor 42a direkt gedreht; die Y-Kugelumlaufspindel 14b dagegen wird über Kegelradgetriebe 44 und eine Metallwelle 46 gedreht. Ein Satz eines ersten Y-Antriebsmechanismus zum Bewegen bzw. Stellen der Stange 16a in Y-Richtung entlang der Y-Kugel­ umlaufspindeln 14a und 14b weist den Stellmotor 42a, die Kegelradgetriebe 44 und die Metallwelle 46 auf.
Ein Gleichstromstellmotor 42b dreht die Y-Kugelumlaufspindeln 14c und 14d in derselben Richtung mit derselben Umdrehungsge­ schwindigkeit. Die Y-Kugelumlaufspindel 14d wird direkt durch den Stellmotor 42b gedreht; die Y-Kugelumlaufspindel 14c dagegen wird über Kegelradgetriebe 48 und eine Metallwelle 50 gedreht. Ein Satz eines zweiten Y-Antriebsmechanismus zum Bewegen bzw. Stellen der Stange 16b in Y-Richtung entlang der Y-Kugelumlauf­ spindeln 14c und 14d weist den Stellmotor 42b, die Kegelrad­ getriebe 48 und die Metallwelle 50 auf.
Es ist zu bemerken, daß die Kegelradgetriebe 34, 38, 44 bzw. 48 in Getrieben (Getriebekästen) 52, welche an jeder Ecke des Rahmens 10 vorgesehen sind, untergebracht sind. Endabschnitte der Kugelumlaufspindeln 12a, 12b, 12c, 12d, 14a, 14b, 14c und 14d und die Metallwellen 36, 40, 46 und 50 werden von den Getriebegehäusen 52 drehbar gehalten. Weiter sind die Stell­ motoren 32a, 32b, 42a und 42b, wie in Fig. 1 klar gezeigt, über Rahmenabdeckungen 54 vorgesehen und mit den Kugelumlaufspindeln 12a, 12b, 12c, 12d, 14a, 14b, 14c und 14d und den Metallwellen 36, 40, 46 und 50 über Synchronriemen (nicht gezeigt), welche entsprechend in Riemengehäusen 56 untergebracht sind, verbunden, um diese zu drehen.
Mit den oben beschriebenen Strukturen kann das Gleitstück 24 in den X-Y-Richtungen durch Steuerung des Stellmotors 32a und 42a bewegt bzw. gestellt werden; das Gleitstück 26 kann in den X-Y- Richtungen durch Steuerung der Stellmotoren 32b und 42a bewegt bzw. gestellt werden; das Gleitstück 28 kann in den X-Y-Rich­ tungen durch Steuerung der Stellmotoren 32a und 42b bewegt bzw. gestellt werden; das Gleitstück 30 kann in den X-Y-Richtungen durch Steuerung des Stellmotors 32b und 42b bewegt bzw. ge­ stellt werden. Die Positionen jedes Gleitstücks 24, 26, 28 und 30 kann durch Auswahl von Kombinationen der Stellmotoren 32a, 32b, 42a und 42b gesteuert werden. Es ist zu bemerken, daß bei der vorliegenden Ausführungsform die Steuerung der Stellmotoren 32a, 32b, 42a und 42b durch eine Steuereinheit (nicht gezeigt), welche einen Mikroprozessor aufweist, durchgeführt wird.
In der vorliegenden Ausführungsform werden die Kugelumlaufspin­ deln 12a, 12b, 12c, 12d, 14a, 14b, 14c und 14d als die festste­ henden ersten X-Führungen, die feststehenden zweiten X- Führungen, die ersten feststehenden Y-Führungen und die zweiten feststehenden Y-Führungen verwendet, aber diese Führungen sind nicht auf Kugelumlaufspindeln beschränkt. Synchronriemen, Luft­ zylindereinheiten, etc. können anstelle der Kugelumlaufspindeln 12a, 12b, 12c, 12d, 14a, 14b, 14c und 14d verwendet werden, um die Stangen 16a, 16b, 20a und 20b in den X-Y-Richtungen zu be­ wegen bzw. zu stellen.
In der Ausführungsform weist das Antriebssystem vier Gleitstüc­ ke (bewegbare Körper) auf, aber die Anzahl der Gleitstücke kann zwei (ausgenommen die Fälle der Gleitstücke 24 und 30 und der Gleitstücke 26 und 28) oder drei sein. Weiter kann eine Mehr­ zahl von Antriebssystemen geschichtet sein.

Claims (6)

1. Zweidimensionales Antriebssystem mit
einer ersten, als Stange ausgebildeten bewegbaren X-Führung (16a), die in einer X-Richtung angeordnet ist,
wobei sich die erste bewegbare X-Führung (16a) entlang mindestens einer feststehenden Y-Führung (14a, 14b, 14c und/oder 14d), die an einem Rahmen (10) fixiert und in ei­ ner zu der X-Richtung senkrechten Y-Richtung angeordnet ist, bewegen kann, und
wobei sich die erste bewegbare X-Führung (16a) in der Y- Richtung von einem Ende der feststehenden Y-Führung (14a, 14b, 14c und/oder 14d) zu dem anderen Ende derselben bewe­ gen kann,
einer zweiten, als Stange ausgebildeten bewegbaren X-Führung (16b), die parallel zu der ersten bewegbaren X-Führung (16a) angeordnet ist,
wobei sich die zweite bewegbare X-Führung (16b) entlang der feststehenden Y-Führung (14a, 14b, 14c und/oder 14d) bewegen kann, und
wobei sich die zweite bewegbare X-Führung (16b) in der Y- Richtung von einem Ende der feststehenden Y-Führung (14a, 14b, 14c und/oder 14d) zu dem anderen Ende derselben bewe­ gen kann,
einer ersten, als Stange ausgebildeten bewegbaren Y-Führung (20a), die in der Y-Richtung angeordnet ist,
wobei sich die erste bewegbare Y-Führung (20a) entlang mindestens einer feststehenden X-Führung (12a und/oder 12b), die an dem Rahmen (10) fixiert und in der X-Richtung angeordnet ist, bewegen kann, und
wobei sich die erste bewegbare Y-Führung (20a) in der X- Richtung von einem Ende der feststehenden X-Führung (12a und/oder 12b) zu dem anderen Ende derselben bewegen kann,
einem ersten bewegbaren Körper (24), der immer an einem Kreu­ zungspunkt der ersten bewegbaren X-Führung (16a) und der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) positioniert ist,
wobei sich der erste bewegbare Körper (24) auf der ersten bewegbaren X-Führung (16a) und der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) bewegen kann,
einem zweiten bewegbaren Körper (28), der immer an einem Kreu­ zungspunkt der zweiten bewegbaren X-Führung (16b) und der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) positioniert ist,
wobei sich der zweite bewegbare Körper (28) auf der zwei­ ten bewegbaren X-Führung (16b) und der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) bewegen kann,
einem ersten X-Antriebsmechanismus (32a, 34, 36) zum Bewegen der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) in der X-Richtung,
einem ersten Y-Antriebsmechanismus (42a, 44, 46) zum Bewegen der ersten bewegbaren X-Führung (16a) in der Y-Richtung, und
einem zweiten Y-Antriebsmechanismus (42b, 48, 50) zum Bewegen der zweiten bewegbaren X-Führung (16b) in der Y-Richtung.
2. Zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die feststehenden X-Führungen X-Kugelumlaufspindeln (12a, 12b) sind,
daß jedes Ende der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) auf eine entsprechende Kugelumlaufspindel der X-Kugelumlaufspindeln (12a, 12b) aufgeschraubt ist,
daß der erste X-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (32a) zum Drehen der X-Kugelumlaufspindeln (12a, 12b) aufweist,
wobei die erste bewegbare Y-Führung (20a) in der X-Rich­ tung bewegt wird, wenn der Stellmotor (32a) die X-Kugel­ umlaufspindeln (12a, 12b) dreht,
daß die feststehenden Y-Führungen Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) sind,
daß jedes Ende der ersten bewegbaren Y-Führung (16a) auf eine entsprechende Kugelumlaufspindel der Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) aufgeschraubt ist,
daß der erste Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42a) zum Drehen der Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) auf­ weist,
wobei die erste bewegbare X-Führung (16a) in die Y-Rich­ tung bewegt wird, wenn der Stellmotor (42a) die Y-Kugel­ umlaufspindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) dreht,
daß jedes Ende der zweiten bewegbaren X-Führung (16b) auf eine entsprechende Kugelumlaufspindel der Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) aufgeschraubt ist, und
daß der zweite Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42b) zum Drehen der Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) aufweist,
wobei die zweite bewegbar X-Führung (16b) in der Y-Rich­ tung bewegt wird, wenn der Stellmotor (42b) die Y-Kugel­ umlaufspindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) dreht.
3. zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die feststehenden X-Führungen ein Paar von X-Kugelumlauf­ spindeln (12a, 12b) sind,
daß die feststehenden Y-Führungen ein Paar von Y-Kugelumlauf­ spindeln (14a, 14b oder 14c, 14d) sind,
daß der erste X-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (32a) aufweist,
wobei eine Kugelumlaufspindel (12a) der X-Kugelumlauf­ spindeln (12a, 12b) direkt durch den Stellmotor (32a) gedreht und die andere Kugelumlaufspindel (12b) derselben über einen Übertragungsmechanismus, der eine Metallwelle (36) und ein Kegelradgetriebe (34) aufweist, gedreht wird,
daß der erste Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42a) aufweist,
wobei eine Kugelumlaufspindel (14a) der Y-Kugelumlauf­ spindel (14a, 14b) direkt durch den Stellmotor (42a) gedreht und die andere Kugelumlaufspindel (14b) derselben über einen Übertragungsmechanismus, der eine Metallwelle (46) und ein Kegelradgetriebe (44) aufweist, gedreht wird, und
daß der zweite Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42b) aufweist,
wobei eine Kugelumlaufspindel (14c) der Y-Kugelumlauf­ spindel (14c, 14d) direkt durch den Stellmotor (42b) ge­ dreht und die andere Kugelumlaufspindel (14d) derselben über einen Übertragungsmechanismus, der eine Metallwelle (50) und ein Kegelradgetriebe (48) aufweist, gedreht wird.
4. Zweidimensionales Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch
eine zweite, als Stange ausgebildete bewegbare Y-Führung (20b), die parallel zu der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) angeord­ net ist,
wobei sich die zweite bewegbare Y-Führung (20b) entlang der feststehenden X-Führung (12a und/oder 12b) bewegen kann, und
wobei sich die zweite bewegbare Y-Führung (20b) in der X- Richtung von einem Ende der feststehenden X-Führung (12a und/oder 12b) zu dem anderen Ende derselben bewegen kann,
einen dritten bewegbaren Körper (26), der immer an einem Kreu­ zungspunkt der ersten bewegbaren X-Führung (16a) und der zwei­ ten bewegbaren Y-Führung (20b) positioniert ist,
wobei sich der dritte bewegbare Körper (26) auf der ersten bewegbaren X-Führung (16a) und der zweiten bewegbaren Y- Führung (20b) bewegen kann,
einen vierten bewegbaren Körper (30) der immer an einem Kreu­ zungspunkt der zweiten bewegbaren X-Führung (16b) und der zweiten bewegbaren Y-Führung (20b) positioniert ist,
wobei sich der vierte bewegbare Körper (30) auf der zwei­ ten bewegbaren X-Führung (16b) und der zweiten bewegbaren Y-Führung (20b) bewegen kann, und
einen zweiten X-Antriebsmechanismus (32b, 38, 40) zum Bewegen der zweiten bewegbaren Y-Führung (20b) in der X-Richtung.
5. Zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die feststehenden X-Führungen X-Kugelumlaufspindeln (12a, 12b, 12c, 12d) sind,
daß jedes Ende der ersten bewegbaren Y-Führung (20a) auf eine entsprechende Kugelumlaufspindel der X-Kugelumlaufspindeln (12a, 12b) aufgeschraubt ist,
daß der erste X-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (32) zum Drehen der X-Kugelumlaufspindeln (12a, 12b) aufweist,
wobei die erste bewegbare Y-Führung (20a) in der X-Rich­ tung bewegt wird, wenn der Stellmotor (32a) die X-Kugel­ umlaufspindeln (12a, 12b) dreht,
daß jedes Ende der zweiten bewegbaren Y-Führung (20b) auf eine entsprechende Kugelumlaufspindel der X-Kugelumlaufspindeln (12c, 12d) aufgeschraubt ist,
daß der zweite X-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (32b) zum Drehen der X-Kugelumlaufspindeln (12c, 12d) aufweist, wobei die zweite bewegbare Y-Führung (20b) in der X-Rich­ tung bewegt wird, wenn der Stellmotor (32b) die X-Kugel­ umlaufspindeln (12c, 12d) dreht,
daß die feststehenden Y-Führungen Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b, 14c, 14d) sind,
daß jedes Ende der bewegbaren ersten X-Führung (16a) auf eine entsprechende Kugelumlaufspindel der Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b) aufgeschraubt ist,
daß der erste Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42a) zum Drehen der Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b) aufweist,
wobei die erste bewegbare X-Führung (16a) in der Y-Rich­ tung bewegt wird, wenn der Stellmotor (42a) die Y-Kugel­ umlaufspindeln (14a, 14b) dreht,
daß jedes Ende der zweiten bewegbaren X-Führung (16b) auf eine entsprechende Kugelumlaufspindel der Y-Kugelumlaufspindeln (14c, 14d) aufgeschraubt ist, und
daß der zweite Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42b) zum Drehen der Y-Kugelumlaufspindeln (14c, 14d) aufweist, wobei die zweite bewegbare X-Führung (16b) in der Y-Rich­ tung bewegt wird, wenn der Stellinotor (42b) die Y-Kugel­ umlaufspindeln (14c, 14d) dreht.
6. Zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die feststehenden X-Führungen X-Kugelumlaufspindeln (12a, 12b, 12c, 12d) sind,
daß die feststehenden Y-Führungen Y-Kugelumlaufspindeln (14a, 14b, 14c, 14d) sind,
daß der erste X-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (32a) aufweist,
wobei eine Kugelumlaufspindel (12a) der X-Kugelumlauf­ spindeln (12a, 12b) durch den Stellmotor (32a) direkt gedreht und die andere Kugelumlaufspindel (12b) derselben über einen Übertragungsmechanismus, der eine Metallwelle (36) und ein Kegelradgetriebe (34) aufweist, gedreht wird,
daß der zweite X-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (32b) aufweist,
wobei eine Kugelumlaufspindel (12c) der X-Kugelumlauf­ spindeln (12c, 12d) durch den Stellmotor (32b) direkt gedreht und die andere Kugelumlaufspindel (12d) derselben über einen Übertragungsmechanismus, der eine Metallwelle (40) und ein Kegelradgetriebe (38) aufweist, gedreht wird,
daß der erste Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42a) aufweist,
wobei eine Kugelumlaufspindel (14a) der Y-Kugelumlauf­ spindeln (14a, 14b) durch den Stellmotor (42a) direkt gedreht wird und die andere Kugelumlaufspindel (14b) derselben über einen Übertragungsmechanismus, der eine Metallwelle (46) und ein Kegelradgetriebe (44) aufweist, gedreht wird, und
daß der Y-Antriebsmechanismus einen Stellmotor (42b) aufweist, wobei eine Kugelumlaufspindel (14c) der Y-Kugelumlauf­ spindeln (14c, 14d) durch den Stellmotor (42b) direkt gedreht und die andere Kugelumlaufspindel (14d) derselben über einen Übertragungsmechanismus, der eine Metallwelle (50) und ein Kegelradgetriebe (48) aufweist, gedreht wird.
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