JPH0623636A - ２次元運動機構 - Google Patents
２次元運動機構Info
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- JPH0623636A JPH0623636A JP4146654A JP14665492A JPH0623636A JP H0623636 A JPH0623636 A JP H0623636A JP 4146654 A JP4146654 A JP 4146654A JP 14665492 A JP14665492 A JP 14665492A JP H0623636 A JPH0623636 A JP H0623636A
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- axis
- guide
- guides
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T74/18—Mechanical movements
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
- Y10T74/20354—Planar surface with orthogonal movement only
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡易な構造を有すると共に、複数の移動体を
駆動可能な２次元運動機構を提供する。 【構成】 第１軸ガイド１４ａ、１４ｂと、それと直角
方向へ平行に配された第２軸ガイドＡ１２ａ、１２ｂお
よび第２軸ガイドＢ１２ｃ、１２ｄと、第２軸ガイドＡ
１２ａ、１２ｂと連結され、それに沿って移動する第１
軸シャフトＡ２０ａと、端部が第２軸ガイドＢ１２ｃ、
１２ｄと連結され、それに沿って移動する第１軸シャフ
トＢ２０ｂと、端部が第１軸ガイド１４ａ、１４ｂと連
結され、それに沿って移動する第２軸シャフト１６ａ
と、第１軸シャフトＡ２０ａおよび第２軸シャフト１６
ａ上を移動する第１の移動体２４と、第１軸シャフトＢ
２０ｂおよび第２軸シャフト１６ａ上を移動する第２の
移動体２６と、第２軸シャフト１６ａを移動させるため
の第１軸駆動機構４２ａと、第１軸シャフトＡ２０ａ移
動させるための第２軸駆動機構Ａ３２ａと、第１軸シャ
フトＢ２０ｂを移動させるための第２軸駆動機構Ｂ３２
ｂとを具備する。
駆動可能な２次元運動機構を提供する。 【構成】 第１軸ガイド１４ａ、１４ｂと、それと直角
方向へ平行に配された第２軸ガイドＡ１２ａ、１２ｂお
よび第２軸ガイドＢ１２ｃ、１２ｄと、第２軸ガイドＡ
１２ａ、１２ｂと連結され、それに沿って移動する第１
軸シャフトＡ２０ａと、端部が第２軸ガイドＢ１２ｃ、
１２ｄと連結され、それに沿って移動する第１軸シャフ
トＢ２０ｂと、端部が第１軸ガイド１４ａ、１４ｂと連
結され、それに沿って移動する第２軸シャフト１６ａ
と、第１軸シャフトＡ２０ａおよび第２軸シャフト１６
ａ上を移動する第１の移動体２４と、第１軸シャフトＢ
２０ｂおよび第２軸シャフト１６ａ上を移動する第２の
移動体２６と、第２軸シャフト１６ａを移動させるため
の第１軸駆動機構４２ａと、第１軸シャフトＡ２０ａ移
動させるための第２軸駆動機構Ａ３２ａと、第１軸シャ
フトＢ２０ｂを移動させるための第２軸駆動機構Ｂ３２
ｂとを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は２次元運動機構に関し、
一層詳細には複数の移動体を２次元運動させるための２
次元運動機構に関する。
一層詳細には複数の移動体を２次元運動させるための２
次元運動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】複数の移動体を２次元運動させるための
２次元運動機構の一例としては、本願発明者が先に出願
し、特開平３−２１３２３３号公報に開示される連設型
運動機構がある。この連設型運動機構は１個の移動体を
１の平面内において移動させる２次元運動機構を略同一
平面内で複数連設して成る運動機構である。１個の２次
元運動機構については移動体をＸ軸方向へ移動させるＸ
軸駆動機構と、当該移動体をＹ軸方向へ移動させるＹ軸
駆動機構とを備え、各移動体をそれぞれのＸ軸駆動機構
とＹ軸駆動機構とで独立に駆動可能になっている。
２次元運動機構の一例としては、本願発明者が先に出願
し、特開平３−２１３２３３号公報に開示される連設型
運動機構がある。この連設型運動機構は１個の移動体を
１の平面内において移動させる２次元運動機構を略同一
平面内で複数連設して成る運動機構である。１個の２次
元運動機構については移動体をＸ軸方向へ移動させるＸ
軸駆動機構と、当該移動体をＹ軸方向へ移動させるＹ軸
駆動機構とを備え、各移動体をそれぞれのＸ軸駆動機構
とＹ軸駆動機構とで独立に駆動可能になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の連設型運動機構には次のような課題がある。例え
ば、４個の移動体を駆動させる場合、各移動体を独立し
て移動させる点においては著しい効果を奏するが、各移
動体につきＸ軸駆動機構とＹ軸駆動機構をそれぞれ設け
る必要があり、合計８個の駆動機構を組み込むため機構
が複雑になると共に製造コストが高くなるという課題が
ある。また、現実の使用態様において、例えば４個の移
動体を完全に独立させたまま同時に駆動させることは少
なく、仮に移動体の駆動制御に多少の制約があっても実
際には問題にならない。そこで移動体の駆動制御に多少
の制約を許容しつつ製造コストを削減し得る複数の移動
体を有する２次元運動機構が求められている。従って、
本発明は簡易な構造を有すると共に、複数の移動体を駆
動可能な２次元運動機構を提供することを目的とする。
来の連設型運動機構には次のような課題がある。例え
ば、４個の移動体を駆動させる場合、各移動体を独立し
て移動させる点においては著しい効果を奏するが、各移
動体につきＸ軸駆動機構とＹ軸駆動機構をそれぞれ設け
る必要があり、合計８個の駆動機構を組み込むため機構
が複雑になると共に製造コストが高くなるという課題が
ある。また、現実の使用態様において、例えば４個の移
動体を完全に独立させたまま同時に駆動させることは少
なく、仮に移動体の駆動制御に多少の制約があっても実
際には問題にならない。そこで移動体の駆動制御に多少
の制約を許容しつつ製造コストを削減し得る複数の移動
体を有する２次元運動機構が求められている。従って、
本発明は簡易な構造を有すると共に、複数の移動体を駆
動可能な２次元運動機構を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、基本的な構
成としては、第１軸方向へ平行に配された１対の第１軸
ガイドと、前記第１軸方向と直角な第２軸方向へ平行に
配された１対の第２軸ガイドＡと、前記第２軸ガイドＡ
と、平行に配された１対の第２軸ガイドＢと、前記第１
軸ガイドと平行に配され、各端部がそれぞれ１対の前記
第２軸ガイドＡと連結され、第２軸ガイドＡに沿って移
動可能な第１軸シャフトＡと、前記第１軸ガイドと平行
に配され、各端部がそれぞれ１対の前記第２軸ガイドＢ
と連結され、第２軸ガイドＢに沿って移動可能な第１軸
シャフトＢと、前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に配さ
れ、各端部がそれぞれ１対の前記第１軸ガイドと連結さ
れ、第１軸ガイドに沿って移動可能な第２軸シャフト
と、常時前記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフトの
交点に位置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第２軸
シャフト上を移動可能な第１の移動体と、常時前記第１
軸シャフトＢおよび第２軸シャフトの交点に位置すると
共に、第１軸シャフトＢおよび第２軸シャフト上を移動
可能な第２の移動体と、前記第２軸シャフトを前記第１
軸ガイドに沿って移動させるための１個の第１軸駆動機
構と、前記第１軸シャフトＡを前記第２軸ガイドＡに沿
って移動させるための１個の第２軸駆動機構Ａと、前記
第１軸シャフトＢを前記第２軸ガイドＢに沿って移動さ
せるための１個の第２軸駆動機構Ｂとを具備することを
特徴とする。
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、基本的な構
成としては、第１軸方向へ平行に配された１対の第１軸
ガイドと、前記第１軸方向と直角な第２軸方向へ平行に
配された１対の第２軸ガイドＡと、前記第２軸ガイドＡ
と、平行に配された１対の第２軸ガイドＢと、前記第１
軸ガイドと平行に配され、各端部がそれぞれ１対の前記
第２軸ガイドＡと連結され、第２軸ガイドＡに沿って移
動可能な第１軸シャフトＡと、前記第１軸ガイドと平行
に配され、各端部がそれぞれ１対の前記第２軸ガイドＢ
と連結され、第２軸ガイドＢに沿って移動可能な第１軸
シャフトＢと、前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に配さ
れ、各端部がそれぞれ１対の前記第１軸ガイドと連結さ
れ、第１軸ガイドに沿って移動可能な第２軸シャフト
と、常時前記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフトの
交点に位置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第２軸
シャフト上を移動可能な第１の移動体と、常時前記第１
軸シャフトＢおよび第２軸シャフトの交点に位置すると
共に、第１軸シャフトＢおよび第２軸シャフト上を移動
可能な第２の移動体と、前記第２軸シャフトを前記第１
軸ガイドに沿って移動させるための１個の第１軸駆動機
構と、前記第１軸シャフトＡを前記第２軸ガイドＡに沿
って移動させるための１個の第２軸駆動機構Ａと、前記
第１軸シャフトＢを前記第２軸ガイドＢに沿って移動さ
せるための１個の第２軸駆動機構Ｂとを具備することを
特徴とする。
【０００５】特に、４個の移動体を設ける場合は、第１
軸方向へ平行に配された１対の第１軸ガイドＡと、該第
１軸ガイドＡと、平行に配された１対の第１軸ガイドＢ
と、前記第１軸方向と直角な第２軸方向へ平行に配され
た１対の第２軸ガイドＡと、前記第２軸ガイドＡと、平
行に配された１対の第２軸ガイドＢと、前記第１軸ガイ
ドＡ、Ｂと平行に配され、各端部がそれぞれ１対の前記
第２軸ガイドＡと連結され、第２軸ガイドＡに沿って移
動可能な第１軸シャフトＡと、前記第１軸ガイドＡ、Ｂ
と平行に配され、各端部がそれぞれ１対の前記第２軸ガ
イドＢと連結され、第２軸ガイドＢに沿って移動可能な
第１軸シャフトＢと、前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に
配され、各端部がそれぞれ１対の前記第１軸ガイドＡと
連結され、第１軸ガイドＡに沿って移動可能な第２軸シ
ャフトＡと、前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に配され、
各端部がそれぞれ１対の前記第１軸ガイドＢと連結さ
れ、第１軸ガイドＢに沿って移動可能な第２軸シャフト
Ｂと、常時前記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフト
Ａの交点に位置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第
２軸シャフトＡ上を移動可能な第１の移動体と、常時前
記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフトＢの交点に位
置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフト
Ｂ上を移動可能な第２の移動体と、常時前記第１軸シャ
フトＢおよび第２軸シャフトＡの交点に位置すると共
に、第１軸シャフトＢおよび第２軸シャフトＡ上を移動
可能な第３の移動体と、常時前記第１軸シャフトＢおよ
び第２軸シャフトＢの交点に位置すると共に、第１軸シ
ャフトＢおよび第２軸シャフトＢ上を移動可能な第４の
移動体と、前記第２軸シャフトＡを前記第１軸ガイドＡ
に沿って移動させるための１個の第１軸駆動機構Ａと、
前記第２軸シャフトＢを前記第１軸ガイドＢに沿って移
動させるための１個の第１軸駆動機構Ｂと、前記第１軸
シャフトＡを前記第２軸ガイドＡに沿って移動させるた
めの１個の第２軸駆動機構Ａと、前記第１軸シャフトＢ
を前記第２軸ガイドＢに沿って移動させるための１個の
第２軸駆動機構Ｂとを具備することを特徴とする。
軸方向へ平行に配された１対の第１軸ガイドＡと、該第
１軸ガイドＡと、平行に配された１対の第１軸ガイドＢ
と、前記第１軸方向と直角な第２軸方向へ平行に配され
た１対の第２軸ガイドＡと、前記第２軸ガイドＡと、平
行に配された１対の第２軸ガイドＢと、前記第１軸ガイ
ドＡ、Ｂと平行に配され、各端部がそれぞれ１対の前記
第２軸ガイドＡと連結され、第２軸ガイドＡに沿って移
動可能な第１軸シャフトＡと、前記第１軸ガイドＡ、Ｂ
と平行に配され、各端部がそれぞれ１対の前記第２軸ガ
イドＢと連結され、第２軸ガイドＢに沿って移動可能な
第１軸シャフトＢと、前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に
配され、各端部がそれぞれ１対の前記第１軸ガイドＡと
連結され、第１軸ガイドＡに沿って移動可能な第２軸シ
ャフトＡと、前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に配され、
各端部がそれぞれ１対の前記第１軸ガイドＢと連結さ
れ、第１軸ガイドＢに沿って移動可能な第２軸シャフト
Ｂと、常時前記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフト
Ａの交点に位置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第
２軸シャフトＡ上を移動可能な第１の移動体と、常時前
記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフトＢの交点に位
置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフト
Ｂ上を移動可能な第２の移動体と、常時前記第１軸シャ
フトＢおよび第２軸シャフトＡの交点に位置すると共
に、第１軸シャフトＢおよび第２軸シャフトＡ上を移動
可能な第３の移動体と、常時前記第１軸シャフトＢおよ
び第２軸シャフトＢの交点に位置すると共に、第１軸シ
ャフトＢおよび第２軸シャフトＢ上を移動可能な第４の
移動体と、前記第２軸シャフトＡを前記第１軸ガイドＡ
に沿って移動させるための１個の第１軸駆動機構Ａと、
前記第２軸シャフトＢを前記第１軸ガイドＢに沿って移
動させるための１個の第１軸駆動機構Ｂと、前記第１軸
シャフトＡを前記第２軸ガイドＡに沿って移動させるた
めの１個の第２軸駆動機構Ａと、前記第１軸シャフトＢ
を前記第２軸ガイドＢに沿って移動させるための１個の
第２軸駆動機構Ｂとを具備することを特徴とする。
【０００６】
【作用】作用について説明する。１本のシャフト上に複
数の移動体を移動可能に設けるため、当該シャフトを移
動させる１個の駆動機構で同時に複数の移動体を同方向
へ移動させることができる。
数の移動体を移動可能に設けるため、当該シャフトを移
動させる１個の駆動機構で同時に複数の移動体を同方向
へ移動させることができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。図１には本実施例の２次元運動機構
の構造を示した平面断面図を示し、図２にはその２次元
運動機構の斜視図を示す。図において、１０はフレーム
であり、中央部分がくり抜かれた枠状に形成されてい
る。１２ａ、１２ｂは第１軸ガイドＡの一例であるＸ軸
ボールネジである。Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂはフ
レーム１０上において、第１軸方向であるＸ軸方向へ平
行に配されている。１２ｃ、１２ｄは第１軸ガイドＢの
一例であるＸ軸ボールネジである。Ｘ軸ボールネジ１２
ｃ、１２ｄはフレーム１０上において、Ｘ軸ボールネジ
１２ａ、１２ｂと平行に配されている。
面と共に詳述する。図１には本実施例の２次元運動機構
の構造を示した平面断面図を示し、図２にはその２次元
運動機構の斜視図を示す。図において、１０はフレーム
であり、中央部分がくり抜かれた枠状に形成されてい
る。１２ａ、１２ｂは第１軸ガイドＡの一例であるＸ軸
ボールネジである。Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂはフ
レーム１０上において、第１軸方向であるＸ軸方向へ平
行に配されている。１２ｃ、１２ｄは第１軸ガイドＢの
一例であるＸ軸ボールネジである。Ｘ軸ボールネジ１２
ｃ、１２ｄはフレーム１０上において、Ｘ軸ボールネジ
１２ａ、１２ｂと平行に配されている。
【０００８】１４ａ、１４ｂは第２軸ガイドＡの一例で
あるＹ軸ボールネジである。Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１
４ｂはフレーム１０上において、第２軸方向であるＹ軸
方向へ平行に配されている。１４ｃ、１４ｄは第２軸ガ
イドＢの一例であるＹ軸ボールネジである。Ｙ軸ボール
ネジ１４ｃ、１４ｄはフレーム１０上において、Ｙ軸ボ
ールネジ１４ａ、１４ｂと平行に配されている。１６ａ
は第１軸シャフトＡの一例である１本のシャフトであ
り、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄと
平行に配されている。シャフト１６ａの各端部はそれぞ
れＹ軸ボールネジ１４ａ、１４ｂへ螺合されているトラ
ベラ１８ａ、１８ｂへ固定されている。従って、Ｙ軸ボ
ールネジ１４ａ、１４ｂが軸線を中心に同方向へ、同回
転数で回転すると、トラベラ１８ａ、１８ｂはＹ軸ボー
ルネジ１４ａ、１４ｂに沿ってＹ軸方向へ移動する。
あるＹ軸ボールネジである。Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１
４ｂはフレーム１０上において、第２軸方向であるＹ軸
方向へ平行に配されている。１４ｃ、１４ｄは第２軸ガ
イドＢの一例であるＹ軸ボールネジである。Ｙ軸ボール
ネジ１４ｃ、１４ｄはフレーム１０上において、Ｙ軸ボ
ールネジ１４ａ、１４ｂと平行に配されている。１６ａ
は第１軸シャフトＡの一例である１本のシャフトであ
り、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄと
平行に配されている。シャフト１６ａの各端部はそれぞ
れＹ軸ボールネジ１４ａ、１４ｂへ螺合されているトラ
ベラ１８ａ、１８ｂへ固定されている。従って、Ｙ軸ボ
ールネジ１４ａ、１４ｂが軸線を中心に同方向へ、同回
転数で回転すると、トラベラ１８ａ、１８ｂはＹ軸ボー
ルネジ１４ａ、１４ｂに沿ってＹ軸方向へ移動する。
【０００９】１６ｂは第１軸シャフトＢの一例である１
本のシャフトであり、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂ、
１２ｃ、１２ｄと平行に配されている。シャフト１６ｂ
の各端部はそれぞれＹ軸ボールネジ１４ｃ、１４ｄへ螺
合されているトラベラ１８ｃ、１８ｄへ固定されてい
る。従って、Ｙ軸ボールネジ１４ｃ、１４ｄが軸線を中
心に同方向へ、同回転数で回転すると、トラベラ１８
ｃ、１８ｄはＹ軸ボールネジ１４ｃ、１４ｄに沿ってＹ
軸方向へ移動する。なお、Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１４
ｂはトラベラ１８ｃ、１８ｄ内を非接触で挿通されてい
る。２０ａは第２軸シャフトＡの一例である１本のシャ
フトであり、Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、
１４ｄと平行に配されている。シャフト２０ａの各端部
はそれぞれＸ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂへ螺合されて
いるトラベラ２２ａ、２２ｂへ固定されている。従っ
て、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂが軸線を中心に同方
向へ、同回転数で回転すると、トラベラ２２ａ、２２ｂ
はＸ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂに沿ってＸ軸方向へ移
動する。
本のシャフトであり、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂ、
１２ｃ、１２ｄと平行に配されている。シャフト１６ｂ
の各端部はそれぞれＹ軸ボールネジ１４ｃ、１４ｄへ螺
合されているトラベラ１８ｃ、１８ｄへ固定されてい
る。従って、Ｙ軸ボールネジ１４ｃ、１４ｄが軸線を中
心に同方向へ、同回転数で回転すると、トラベラ１８
ｃ、１８ｄはＹ軸ボールネジ１４ｃ、１４ｄに沿ってＹ
軸方向へ移動する。なお、Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１４
ｂはトラベラ１８ｃ、１８ｄ内を非接触で挿通されてい
る。２０ａは第２軸シャフトＡの一例である１本のシャ
フトであり、Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、
１４ｄと平行に配されている。シャフト２０ａの各端部
はそれぞれＸ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂへ螺合されて
いるトラベラ２２ａ、２２ｂへ固定されている。従っ
て、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂが軸線を中心に同方
向へ、同回転数で回転すると、トラベラ２２ａ、２２ｂ
はＸ軸ボールネジ１２ａ、１２ｂに沿ってＸ軸方向へ移
動する。
【００１０】２０ｂは第２軸シャフトＢの一例である１
本のシャフトであり、Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１４ｂ、
１４ｃ、１４ｄと平行に配されている。シャフト２０ｂ
の各端部はそれぞれＸ軸ボールネジ１２ｃ、１２ｄへ螺
合されているトラベラ２２ｃ、２２ｄへ固定されてい
る。従って、Ｘ軸ボールネジ１２ｃ、１２ｄが軸線を中
心に同方向へ、同回転数で回転すると、トラベラ２２
ｃ、２２ｄはＸ軸ボールネジ１２ｃ、１２ｄに沿ってＸ
軸方向へ移動する。なお、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２
ｂはトラベラ２２ｃ、２２ｄ内を非接触で挿通されてい
る。２４は第１の移動体の一例であるスライダであり、
シャフト１６ａおよびシャフト２０ａが挿通されてい
る。スライダ２４には工具、ロボットヘッド、計測器、
ワーク等が搭載可能になっている。スライダ２４は、常
時前記シャフト１６ａおよびシャフト２０ａの交点に位
置すると共に、シャフト１６ａおよびシャフト２０ａ上
を摺動可能になっている。
本のシャフトであり、Ｙ軸ボールネジ１４ａ、１４ｂ、
１４ｃ、１４ｄと平行に配されている。シャフト２０ｂ
の各端部はそれぞれＸ軸ボールネジ１２ｃ、１２ｄへ螺
合されているトラベラ２２ｃ、２２ｄへ固定されてい
る。従って、Ｘ軸ボールネジ１２ｃ、１２ｄが軸線を中
心に同方向へ、同回転数で回転すると、トラベラ２２
ｃ、２２ｄはＸ軸ボールネジ１２ｃ、１２ｄに沿ってＸ
軸方向へ移動する。なお、Ｘ軸ボールネジ１２ａ、１２
ｂはトラベラ２２ｃ、２２ｄ内を非接触で挿通されてい
る。２４は第１の移動体の一例であるスライダであり、
シャフト１６ａおよびシャフト２０ａが挿通されてい
る。スライダ２４には工具、ロボットヘッド、計測器、
ワーク等が搭載可能になっている。スライダ２４は、常
時前記シャフト１６ａおよびシャフト２０ａの交点に位
置すると共に、シャフト１６ａおよびシャフト２０ａ上
を摺動可能になっている。
【００１１】２６は第２の移動体の一例であるスライダ
であり、シャフト１６ａおよびシャフト２０ｂが挿通さ
れている。スライダ２６には工具、ロボットヘッド、計
測器、ワーク等が搭載可能になっている。スライダ２６
は、常時前記シャフト１６ａおよびシャフト２０ｂの交
点に位置すると共に、シャフト１６ａおよびシャフト２
０ｂ上を摺動可能になっている。２８は第３の移動体の
一例であるスライダであり、シャフト１６ｂおよびシャ
フト２０ａが挿通されている。スライダ２８には工具、
ロボットヘッド、計測器、ワーク等が搭載可能になって
いる。スライダ２８は、常時前記シャフト１６ｂおよび
シャフト２０ａの交点に位置すると共に、シャフト１６
ｂおよびシャフト２０ａ上を摺動可能になっている。３
０は第４の移動体の一例であるスライダであり、シャフ
ト１６ｂおよびシャフト２０ｂが挿通されている。スラ
イダ３０には工具、ロボットヘッド、計測器、ワーク等
が搭載可能になっている。スライダ３０は、常時前記シ
ャフト１６ｂおよびシャフト２０ｂの交点に位置すると
共に、シャフト１６ｂおよびシャフト２０ｂ上を摺動可
能になっている。
であり、シャフト１６ａおよびシャフト２０ｂが挿通さ
れている。スライダ２６には工具、ロボットヘッド、計
測器、ワーク等が搭載可能になっている。スライダ２６
は、常時前記シャフト１６ａおよびシャフト２０ｂの交
点に位置すると共に、シャフト１６ａおよびシャフト２
０ｂ上を摺動可能になっている。２８は第３の移動体の
一例であるスライダであり、シャフト１６ｂおよびシャ
フト２０ａが挿通されている。スライダ２８には工具、
ロボットヘッド、計測器、ワーク等が搭載可能になって
いる。スライダ２８は、常時前記シャフト１６ｂおよび
シャフト２０ａの交点に位置すると共に、シャフト１６
ｂおよびシャフト２０ａ上を摺動可能になっている。３
０は第４の移動体の一例であるスライダであり、シャフ
ト１６ｂおよびシャフト２０ｂが挿通されている。スラ
イダ３０には工具、ロボットヘッド、計測器、ワーク等
が搭載可能になっている。スライダ３０は、常時前記シ
ャフト１６ｂおよびシャフト２０ｂの交点に位置すると
共に、シャフト１６ｂおよびシャフト２０ｂ上を摺動可
能になっている。
【００１２】３２ａはサーボモータであり、笠歯車機構
３４および金属シャフト３６を介してＸ軸ボールネジ１
２ａ、１２ｂを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ３２ａ、笠歯車機構３４および金属シャフ
ト３６で、シャフト２０ａをＸ軸ボールネジ１２ａ、１
２ｂに沿って移動させるための１組の第１軸駆動機構Ａ
が構成される。この構成により、Ｘ軸ボールネジ１２ａ
がモータ３２ａにより直接駆動され、Ｘ軸ボールネジ１
２ｂは笠歯車機構３４および金属シャフト３６を介して
駆動される。３２ｂはサーボモータであり、笠歯車機構
３８および金属シャフト４０を介してＸ軸ボールネジ１
２ｃ、１２ｄを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ３２ｂ、笠歯車機構３８および金属シャフ
ト４０で、シャフト２０ｂをＸ軸ボールネジ１２ｃ、１
２ｄに沿って移動させるための１組の第１軸駆動機構Ｂ
が構成される。この構成により、Ｘ軸ボールネジ１２ｄ
がモータ３２ｂにより直接駆動され、Ｘ軸ボールネジ１
２ｃは笠歯車機構３８および金属シャフト４０を介して
駆動される。
３４および金属シャフト３６を介してＸ軸ボールネジ１
２ａ、１２ｂを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ３２ａ、笠歯車機構３４および金属シャフ
ト３６で、シャフト２０ａをＸ軸ボールネジ１２ａ、１
２ｂに沿って移動させるための１組の第１軸駆動機構Ａ
が構成される。この構成により、Ｘ軸ボールネジ１２ａ
がモータ３２ａにより直接駆動され、Ｘ軸ボールネジ１
２ｂは笠歯車機構３４および金属シャフト３６を介して
駆動される。３２ｂはサーボモータであり、笠歯車機構
３８および金属シャフト４０を介してＸ軸ボールネジ１
２ｃ、１２ｄを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ３２ｂ、笠歯車機構３８および金属シャフ
ト４０で、シャフト２０ｂをＸ軸ボールネジ１２ｃ、１
２ｄに沿って移動させるための１組の第１軸駆動機構Ｂ
が構成される。この構成により、Ｘ軸ボールネジ１２ｄ
がモータ３２ｂにより直接駆動され、Ｘ軸ボールネジ１
２ｃは笠歯車機構３８および金属シャフト４０を介して
駆動される。
【００１３】４２ａはサーボモータであり、笠歯車機構
４４および金属シャフト４６を介してＹ軸ボールネジ１
４ａ、１４ｂを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ４２ａ、笠歯車機構４４および金属シャフ
ト４６で、シャフト１６ａをＹ軸ボールネジ１４ａ、１
４ｂに沿って移動させるための１組の第２軸駆動機構Ａ
が構成される。この構成により、Ｙ軸ボールネジ１４ａ
がモータ４２ａにより直接駆動され、Ｙ軸ボールネジ１
４ｂは笠歯車機構４４および金属シャフト４６を介して
駆動される。４２ｂはサーボモータであり、笠歯車機構
４８および金属シャフト５０を介してＹ軸ボールネジ１
４ｃ、１４ｄを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ４２ｂ、笠歯車機構４８および金属シャフ
ト５０で、シャフト１６ｂをＹ軸ボールネジ１４ｃ、１
４ｄに沿って移動させるための１組の第２軸駆動機構Ｂ
が構成される。この構成により、Ｙ軸ボールネジ１４ｄ
がモータ４２ｂにより直接駆動され、Ｙ軸ボールネジ１
４ｃは笠歯車機構４８および金属シャフト５０を介して
駆動される。
４４および金属シャフト４６を介してＹ軸ボールネジ１
４ａ、１４ｂを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ４２ａ、笠歯車機構４４および金属シャフ
ト４６で、シャフト１６ａをＹ軸ボールネジ１４ａ、１
４ｂに沿って移動させるための１組の第２軸駆動機構Ａ
が構成される。この構成により、Ｙ軸ボールネジ１４ａ
がモータ４２ａにより直接駆動され、Ｙ軸ボールネジ１
４ｂは笠歯車機構４４および金属シャフト４６を介して
駆動される。４２ｂはサーボモータであり、笠歯車機構
４８および金属シャフト５０を介してＹ軸ボールネジ１
４ｃ、１４ｄを同方向へ、同回転数で回転させる。この
サーボモータ４２ｂ、笠歯車機構４８および金属シャフ
ト５０で、シャフト１６ｂをＹ軸ボールネジ１４ｃ、１
４ｄに沿って移動させるための１組の第２軸駆動機構Ｂ
が構成される。この構成により、Ｙ軸ボールネジ１４ｄ
がモータ４２ｂにより直接駆動され、Ｙ軸ボールネジ１
４ｃは笠歯車機構４８および金属シャフト５０を介して
駆動される。
【００１４】なお、各笠歯車機構３４、３８、４４、４
８は、フレーム１０の各コーナーに配設されているギア
ボックス５２内に収容されている。また、各ボールネジ
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１４ａ、１４ｂ、１
４ｃ、１４ｄおよび金属シャフト３６、４０、４６、５
０の各端部はギアボックス５２に回転可能に軸支されて
いる。さらに、サーボモータ３２ａ、３２ｂ、４２ａ、
４２ｂは、図２に明示されるように、フレームカバー５
４の上方に配置され、ベルトケーシング５６内に配設さ
れているタイミングベルト（不図示）を介して各ボール
ネジ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１４ａ、１４
ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび金属シャフト３６、４０、４
６、５０等を回転駆動する構成になっている。
８は、フレーム１０の各コーナーに配設されているギア
ボックス５２内に収容されている。また、各ボールネジ
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１４ａ、１４ｂ、１
４ｃ、１４ｄおよび金属シャフト３６、４０、４６、５
０の各端部はギアボックス５２に回転可能に軸支されて
いる。さらに、サーボモータ３２ａ、３２ｂ、４２ａ、
４２ｂは、図２に明示されるように、フレームカバー５
４の上方に配置され、ベルトケーシング５６内に配設さ
れているタイミングベルト（不図示）を介して各ボール
ネジ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１４ａ、１４
ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび金属シャフト３６、４０、４
６、５０等を回転駆動する構成になっている。
【００１５】上記の構成により、本実施例の２次元運動
機構において、スライダ２４をＸ−Ｙ運動させるために
は、モータ３２ａ、４２ａを駆動することにより可能と
なる。スライダ２６をＸ−Ｙ運動させるためには、モー
タ３２ｂ、４２ａを駆動することにより可能となる。ス
ライダ２８をＸ−Ｙ運動させるためには、モータ３２
ａ、４２ｂを駆動することにより可能となる。スライダ
３０をＸ−Ｙ運動させるためには、モータ３２ｂ、４２
ｂを駆動することにより可能となる。このモータ３２
ａ、３２ｂ、４２ａ、４２ｂの駆動組み合わせにより、
スライダ２４、２６、２８、３０のＸ−Ｙ方向の位置を
任意に移動させることができる。この移動制御は不図示
のマイクロコンピュータシステム搭載の制御装置で制御
することができる。
機構において、スライダ２４をＸ−Ｙ運動させるために
は、モータ３２ａ、４２ａを駆動することにより可能と
なる。スライダ２６をＸ−Ｙ運動させるためには、モー
タ３２ｂ、４２ａを駆動することにより可能となる。ス
ライダ２８をＸ−Ｙ運動させるためには、モータ３２
ａ、４２ｂを駆動することにより可能となる。スライダ
３０をＸ−Ｙ運動させるためには、モータ３２ｂ、４２
ｂを駆動することにより可能となる。このモータ３２
ａ、３２ｂ、４２ａ、４２ｂの駆動組み合わせにより、
スライダ２４、２６、２８、３０のＸ−Ｙ方向の位置を
任意に移動させることができる。この移動制御は不図示
のマイクロコンピュータシステム搭載の制御装置で制御
することができる。
【００１６】上記の実施例において、第１軸ガイドＡ、
Ｂ、第２軸ガイドＡ、Ｂとしてボールネジ１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ
を用いたがボールネジに代えてタイミングベルトやエア
シリンダ機構を利用し、シャフト１６ａ、１６ｂ、２０
ａ、２０ｂ等をＸ軸またはＹ軸方向へ移動させる方式を
採用してもよい。また、本実施例において移動体（スラ
イダ）の数は４個であったが、任意の２個（スライダ２
４と３０、またはスライダ２６と２８の場合は除く）、
または３個で構成してもよい。さらには本発明の構成を
多重の構成にしてスライダの数を５以上にすることも可
能である。以上、本発明の好適な実施例について種々述
べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのでは
なく、例えば移動体の形状は立方体ブロック状ではなく
枠状や、十字状であってもよいし、移動体を挿通するシ
ャフトは１本ではなく、複数本であってもよい等、発明
の精神を逸脱しない範囲でさらに多くの改変を施し得る
のはもちろんである。
Ｂ、第２軸ガイドＡ、Ｂとしてボールネジ１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ
を用いたがボールネジに代えてタイミングベルトやエア
シリンダ機構を利用し、シャフト１６ａ、１６ｂ、２０
ａ、２０ｂ等をＸ軸またはＹ軸方向へ移動させる方式を
採用してもよい。また、本実施例において移動体（スラ
イダ）の数は４個であったが、任意の２個（スライダ２
４と３０、またはスライダ２６と２８の場合は除く）、
または３個で構成してもよい。さらには本発明の構成を
多重の構成にしてスライダの数を５以上にすることも可
能である。以上、本発明の好適な実施例について種々述
べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのでは
なく、例えば移動体の形状は立方体ブロック状ではなく
枠状や、十字状であってもよいし、移動体を挿通するシ
ャフトは１本ではなく、複数本であってもよい等、発明
の精神を逸脱しない範囲でさらに多くの改変を施し得る
のはもちろんである。
【００１７】
【発明の効果】本発明に係る２次元運動機構を用いる
と、１本のシャフト上に複数の移動体を移動可能に設け
るため、当該シャフトを移動させる１個の駆動機構で同
時に複数の移動体を同方向へ移動させることができるた
め、例えば４個の移動体を駆動させるための駆動機構を
４個で済むので、従来の連設型運動機構と比較して機構
が簡単になると共に製造コストの削減が可能になるとい
う著効を奏する。
と、１本のシャフト上に複数の移動体を移動可能に設け
るため、当該シャフトを移動させる１個の駆動機構で同
時に複数の移動体を同方向へ移動させることができるた
め、例えば４個の移動体を駆動させるための駆動機構を
４個で済むので、従来の連設型運動機構と比較して機構
が簡単になると共に製造コストの削減が可能になるとい
う著効を奏する。
【図１】本発明に係る２次元運動機構の実施例を示した
平面断面図。
平面断面図。
【図２】実施例の２次元運動機構を示した斜視図。
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ Ｘ軸ボールネジ １４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ Ｙ軸ボールネジ １６ａ、１６ｂ、２０ａ、２０ｂ シャフト ２４、２６、２８、３０ スライダ ３２ａ、３２ｂ、４２ａ、４２ｂ サーボモータ ３４、３８、４４、４８ 笠歯車機構 ３６、４０、 ４６、５０ 金属シャフト
Claims (3)
- 【請求項１】 第１軸方向へ平行に配された１対の第１
軸ガイドと、 前記第１軸方向と直角な第２軸方向へ平行に配された１
対の第２軸ガイドＡと、 前記第２軸ガイドＡと、平行に配された１対の第２軸ガ
イドＢと、 前記第１軸ガイドと平行に配され、各端部がそれぞれ１
対の前記第２軸ガイドＡと連結され、第２軸ガイドＡに
沿って移動可能な第１軸シャフトＡと、 前記第１軸ガイドと平行に配され、各端部がそれぞれ１
対の前記第２軸ガイドＢと連結され、第２軸ガイドＢに
沿って移動可能な第１軸シャフトＢと、 前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に配され、各端部がそれ
ぞれ１対の前記第１軸ガイドと連結され、第１軸ガイド
に沿って移動可能な第２軸シャフトと、 常時前記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフトの交点
に位置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第２軸シャ
フト上を移動可能な第１の移動体と、 常時前記第１軸シャフトＢおよび第２軸シャフトの交点
に位置すると共に、第１軸シャフトＢおよび第２軸シャ
フト上を移動可能な第２の移動体と、 前記第２軸シャフトを前記第１軸ガイドに沿って移動さ
せるための１個の第１軸駆動機構と、 前記第１軸シャフトＡを前記第２軸ガイドＡに沿って移
動させるための１個の第２軸駆動機構Ａと、 前記第１軸シャフトＢを前記第２軸ガイドＢに沿って移
動させるための１個の第２軸駆動機構Ｂとを具備するこ
とを特徴とする２次元運動機構。 - 【請求項２】 第１軸方向へ平行に配された１対の第１
軸ガイドＡと、 該第１軸ガイドＡと、平行に配された１対の第１軸ガイ
ドＢと、 前記第１軸方向と直角な第２軸方向へ平行に配された１
対の第２軸ガイドＡと、 前記第２軸ガイドＡと、平行に配された１対の第２軸ガ
イドＢと、 前記第１軸ガイドＡ、Ｂと平行に配され、各端部がそれ
ぞれ１対の前記第２軸ガイドＡと連結され、第２軸ガイ
ドＡに沿って移動可能な第１軸シャフトＡと、 前記第１軸ガイドＡ、Ｂと平行に配され、各端部がそれ
ぞれ１対の前記第２軸ガイドＢと連結され、第２軸ガイ
ドＢに沿って移動可能な第１軸シャフトＢと、 前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に配され、各端部がそれ
ぞれ１対の前記第１軸ガイドＡと連結され、第１軸ガイ
ドＡに沿って移動可能な第２軸シャフトＡと、 前記第２軸ガイドＡ、Ｂと平行に配され、各端部がそれ
ぞれ１対の前記第１軸ガイドＢと連結され、第１軸ガイ
ドＢに沿って移動可能な第２軸シャフトＢと、 常時前記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフトＡの交
点に位置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第２軸シ
ャフトＡ上を移動可能な第１の移動体と、 常時前記第１軸シャフトＡおよび第２軸シャフトＢの交
点に位置すると共に、第１軸シャフトＡおよび第２軸シ
ャフトＢ上を移動可能な第２の移動体と、 常時前記第１軸シャフトＢおよび第２軸シャフトＡの交
点に位置すると共に、第１軸シャフトＢおよび第２軸シ
ャフトＡ上を移動可能な第３の移動体と、 常時前記第１軸シャフトＢおよび第２軸シャフトＢの交
点に位置すると共に、第１軸シャフトＢおよび第２軸シ
ャフトＢ上を移動可能な第４の移動体と、 前記第２軸シャフトＡを前記第１軸ガイドＡに沿って移
動させるための１個の第１軸駆動機構Ａと、 前記第２軸シャフトＢを前記第１軸ガイドＢに沿って移
動させるための１個の第１軸駆動機構Ｂと、 前記第１軸シャフトＡを前記第２軸ガイドＡに沿って移
動させるための１個の第２軸駆動機構Ａと、 前記第１軸シャフトＢを前記第２軸ガイドＢに沿って移
動させるための１個の第２軸駆動機構Ｂとを具備するこ
とを特徴とする２次元運動機構。 - 【請求項３】 前記各ガイドはボールネジであり、前記
各シャフトの端部が螺合され、前記各駆動機構には該ボ
ールネジを回転させるサーボモータを含むことを特徴と
する請求項１または２記載の２次元運動機構。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4146654A JPH0790437B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | ２次元運動機構 |
| US08/059,364 US5355744A (en) | 1992-05-12 | 1993-05-11 | Two dimensional drive system |
| DE4315762A DE4315762C2 (de) | 1992-05-12 | 1993-05-11 | Zweidimensionales Antriebssystem |
| CN93105318A CN1048083C (zh) | 1992-05-12 | 1993-05-12 | 二元运动机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4146654A JPH0790437B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | ２次元運動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0623636A true JPH0623636A (ja) | 1994-02-01 |
| JPH0790437B2 JPH0790437B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=15412616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4146654A Expired - Fee Related JPH0790437B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | ２次元運動機構 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5355744A (ja) |
| JP (1) | JPH0790437B2 (ja) |
| CN (1) | CN1048083C (ja) |
| DE (1) | DE4315762C2 (ja) |
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| CN104330244A (zh) * | 2014-11-23 | 2015-02-04 | 保定维特瑞交通设施工程有限责任公司 | 交通控制显示单元光电性能参数的测试装置 |
| CN107363579B (zh) * | 2017-07-07 | 2019-02-26 | 安徽同盛环件股份有限公司 | 一种用于工件毛坯的切削装置 |
| CN114603328A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-10 | 上海智能制造功能平台有限公司 | 一种用于智能装配的3prs-2pp双平台设备 |
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- 1992-05-12 JP JP4146654A patent/JPH0790437B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 1993-05-11 DE DE4315762A patent/DE4315762C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-05-12 CN CN93105318A patent/CN1048083C/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101335302B1 (ko) * | 2006-11-10 | 2013-12-03 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1078777A (zh) | 1993-11-24 |
| DE4315762C2 (de) | 1998-01-15 |
| JPH0790437B2 (ja) | 1995-10-04 |
| US5355744A (en) | 1994-10-18 |
| DE4315762A1 (de) | 1993-11-18 |
| CN1048083C (zh) | 2000-01-05 |
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