JP2798829B2 - 2次元運動機構 - Google Patents

2次元運動機構

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JP2798829B2 JP3298218A JP29821891A JP2798829B2 JP 2798829 B2 JP2798829 B2 JP 2798829B2 JP 3298218 A JP3298218 A JP 3298218A JP 29821891 A JP29821891 A JP 29821891A JP 2798829 B2 JP2798829 B2 JP 2798829B2
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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は2次元運動機構に関し、
一層詳細には移動体を平面内で2次元運動させることが
可能な2次元運動機構に関する。
【0002】
【従来の技術】移動体を平面内で2次元運動させること
が可能な2次元運動機構としては種々の機構が提案され
ている。本発明者も先にこの種の2次元運動機構を開発
し、出願している(例えば、特開平1−303359号
公報、特開平2−134443号公報参照)。これらの
2次元運動機構は基台上にボールネジがX−Y方向に配
設され、当該ボールネジをモータで選択的に回転させる
ことにより移動体をX−Y駆動する機構である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の2次元運動機構には次のような課題がある。ボー
ルネジを使用することにより、極めて移動体の位置決め
精度を向上させることができるが、ボールネジをモータ
で駆動するため、ボールネジや連結部分のギア等から発
生する騒音が大きいという課題がある。また、ボールネ
ジは高価なため、3〜4本のボールネジを有する2次元
運動機構は製造コストが高くなるという経済的な課題も
ある。従って、本発明は騒音の小さい、安価な2次元運
動機構を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。第1の構成としては、
基台と、該基台上に平行に配された1対のガイドと、該
ガイドに対して直角に配され、両端が前記1対のガイド
へそれぞれ取着されると共に、ガイドの長さ方向へ移動
可能な移動ガイドと、該移動ガイド上を、該移動ガイド
の長さ方向へ移動可能な移動体と、前記基台に設けら
れ、前記移動体の移動平面に直交する軸心を中心に回転
する出力軸を備える第1の回転駆動手段と、前記移動体
に設けられ、該移動体の移動平面に直交する軸心を中心
に回転する出力軸を備える第2の回転駆動手段と、一端
が前記第1の回転駆動手段の出力軸に固定され、該出力
軸の回転出力により回動する第1のリンク片と、一端が
前記第2の回転駆動手段の出力軸に固定され、該出力軸
の回転出力により回動すると共に、他端が前記第1のリ
ンク片の他端と、前記移動体の移動平面に直交する軸心
を中心に回動自在に軸着された第2のリンク片とを具備
する。
【0005】また、第2の構成としては、基台と、該基
台上に平行に配された1対のX軸ガイドと、前記基台上
に、前記X軸ガイドと直角な方向へ平行に配された1対
のY軸ガイドと、該Y軸ガイドと平行に配され、両端が
前記1対のX軸ガイドへそれぞれ取着されると共に、X
軸ガイドの長さ方向へ移動可能なX移動ガイドと、前記
X軸ガイドと平行に配され、両端が前記1対のY軸ガイ
ドへそれぞれ取着されると共に、Y軸ガイドの長さ方向
へ移動可能なY移動ガイドと、前記X移動ガイドおよび
前記Y移動ガイド上を、X移動ガイドおよびY移動ガイ
の長さ方向へ移動可能な移動体と、前記基台に設けら
れ、前記移動体の移動平面に直交する軸心を中心に回転
する出力軸を備える第1の回転駆動手段と、前記移動体
に設けられ、前記移動体の移動平面に直交する軸心を中
心に回転する出力軸を備える第2の回転駆動手段と、一
端が前記第1の回転駆動手段の出力軸に固定され、該出
力軸の回転出力により回動する第1のリンク片と、一端
が前記第2の回転駆動手段の出力軸に固定され、該出力
軸の回転出力により回動すると共に、他端が前記第1の
リンク片の他端と前記移動体の移動平面に直交する軸心
を中心に回動自在に軸着された第2のリンク片とを具備
することを特徴とする。
【0006】
【作用】作用について説明する。第1の構成において、
第1の回転駆動手段と第2の回転駆動手段を駆動する
と、両回転駆動手段の移動体の移動平面に直交する軸心
を中心に回転する出力軸の回転出力が、第1のリンク片
と第2のリンク片とによる回動運動に変換され、移動ガ
イドはガイドに沿って移動し、移動体は当該移動ガイド
上をガイドと直角な方向へ移動するので、移動体を位置
決め精度良く2次元運動させることが可能となる。一
方、第2の構成において、第1の回転駆動手段と第2の
回転駆動手段を駆動すると、両回転駆動手段の移動体の
移動平面に直交する軸心を中心に回転する出力軸の回転
出力が、第1のリンク片と第2のリンク片とによる回動
運動に変換され、X移動ガイドはX軸ガイドに沿って移
動し、Y移動ガイドはY軸ガイドに沿って移動するの
で、移動体はX移動ガイドおよびY移動ガイド上を共に
移動することになり、移動体を位置決め精度良く2次元
運動させることが可能となる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に、詳述する。 (第1実施例)第1実施例について、図1および図2と
共に説明する。まず、構成について説明する。10は基
台であり、コ字状に形成されている。基台10の各コー
ナーには支持ボックス12が固定されている。14a、
14bはガイドであり、平行に配されている。ガイド1
4a、14bは金属製の棒体で形成され、両端はそれぞ
れ支持ボックス12へ固定されている。なお、ガイド1
4a、14bは金属製の棒体に限らず、直動ガイドを用
いてもよい。16a、16bは摺動体であり、それぞれ
ガイド14a、14bへ外嵌されている。摺動体16
a、16bはガイド14a、14bの長さ方向へ摺動可
能になっている。
【0008】18は移動ガイドの一例であるロッドであ
り、金属製の棒体で形成されている。ロッド18はガイ
ド14a、14bに対し直角に配され、両端はそれぞれ
摺動体16a、16bに挟着固定されている。ロッド1
8は摺動体16a、16bの長さ方向への移動に伴い、
ガイド14a、14bに対して直角を維持しながらガイ
ド14a、14bの長さ方向へ移動可能になっている。
なお、ロッド18の外周面には長さ方向へ複数のスプラ
イン溝20が刻設されている。また、移動ガイドとして
は、金属製の棒体のロッド18に限らず、いわゆる直動
ガイドを用いてもよい。22は移動体であり、1個のブ
ロック体である。移動体22は内部にロッド18が挿通
されると共に、ロッド18のスプライン溝20と嵌合
し、ロッド18を中心とした回動が防止されている。従
って、移動体22はロッド18を回動することなく、ロ
ッド18の長さ方向へ移動可能になっている。移動体2
2には加工作業用の工具、ロボットヘッド、計測器、加
工されるワーク等が取付可能になっている。24は第1
の回転駆動手段の一例である第1モータである。第1モ
ータ24はサーボモータが使用されている。第1モータ
24は基台10の外縁部に突設された取付部26aに固
定されている。第1モータ24の出力軸28aは減速機
構(不図示)により所定の減速比で減速されている。出
力軸28aは取付部26aの上面から突出している。こ
の出力軸28aは、図1に明らかなようにガイド14
a、14bおよびロッド18に直角に配設された軸であ
る。すなわち、出力軸28aは、移動体22の移動平面
(X−Y平面)に直交する軸心を中心に回転するように
設けられている。
【0009】30は第2の回転駆動手段の一例である第
2モータである。第2モータ30はサーボモータが使用
されている。第2モータ30は移動体22に設けられた
取付部26bに固定されている。第2モータ30の出力
軸28bも減速機構(不図示)により所定の減速比で減
速されている。出力軸28bも取付部26bの上面から
突出している。この出力軸28bも、図1に明らかなよ
うにガイド14a、14bおよびロッド18に直角に配
設された軸である。すなわち、出力軸28bは、移動体
22の移動平面(X−Y平面)に直交する軸心を中心に
回転するように設けられている。32は第1のリンク片
であり、一端部36aは第1モータ24の出力軸28a
に固定されている。従って、第1モータ24が駆動する
と、第1のリンク片32の他端部36bは、出力軸28
aと一体に回転する一端部36aを中心に円運動(回
転)を行う。この際、第1のリンク片32は、X−Y平
面に平行な平面内で回転運動する。34は第2のリンク
片であり、一端部36cは第2モータ30の出力軸28
bに固定されている。従って、第2モータ30が駆動
ると、第2のリンク片34の他端部36dは、出力軸2
8bと一体に回転する一端部36cを中心に円運動(回
転)を行う。この際、第2のリンク片34は、X−Y平
面に平行な平面内で回転運動する。第2のリンク片34
の他端部36dは、第1のリンク片32の他端部36b
とピン38を介して、移動体の移動平面(X−Y平面)
に直交する軸心を中心に、回動自在に軸着されている。
【0010】40はガイドチェーンであり、第2モータ
30へ電力を供給するケーブルや、移動体22に取り付
けられるロボットヘッドの駆動用のエアチューブ等が内
部に挿通される。ガイドチェーン40は不図示の接続手
段により、第1のリンク片32および第2のリンク片3
4へ固定されており、第1のリンク片32および第2の
リンク片34と共にフレキシブルに移動する。この2次
元運動機構の第1モータ24および第2モータ30はコ
ンピュータ制御されており、その制御システムについて
図2と共に説明する。第1モータ24にはエンコーダを
含む第1検出回路42が設けられ、出力軸28aの回転
角度を検出可能になっている。一方、第2モータ30に
もエンコーダを含む第2検出回路44が設けられ、出力
軸28bの回転角度を検出可能になっている。
【0011】46はマイクロプロセッサ(MPU)であ
り、記憶装置(ROM、RAM、外部メモリ)48に記
憶されているプログラム、制御データ、および入力装置
(キーボード等)50から入力されたコマンド、データ
に基づいて2次元運動機構の制御を行う。特に、第1モ
ータ24の出力軸28aおよび第2モータ30の出力軸
28bの回転量のコントロールは、第1検出回路42お
よび第2検出回路44から送られてくるデータを基に、
第1モータ24を駆動するための第1ドライバ回路52
および第2モータ30を駆動するための第2ドライバ回
路54をフィードバックコントロールすることにより行
われる。この出力軸28aおよび出力軸28bの回転量
のコントロールにより移動体22のX−Y位置がコント
ロールされる。なお、56は出力装置(例えばディスプ
レイ)であり、入力装置50から入力したデータ等を出
力表示する装置である。続いて第1実施例の2次元運動
機構の動作について説明する。第1モータ24が駆動さ
れると、出力軸28aが回転し、第1のリンク片32が
一端部36aを中心に回動する。この回動により、第1
のリンク片32の他端部36bのX−Y方向の位置が変
化するので、第2のリンク片34を介して移動体22を
移動させる力が作用する。
【0012】一方、第2モータ30が駆動されると、出
力軸28bが回転し、第2のリンク片34が一端部36
cを中心に回動する。この回動により、第2のリンク片
34の他端部36dのX−Y方向の位置が変化する。そ
の際、第1のリンク片32の一端部36aの位置は固定
なので、移動体22を移動させようとする力が作用す
る。第1モータ24と第2モータ30の両回転出力の合
成により、移動体22がX−Y方向へ移動する。移動体
22の移動量は出力軸28aおよび出力軸28bの回転
量(回転角度)と相関関係があり、この相関関係が制御
データとして予め記憶装置48に記憶されているのでM
PU46は当該相関関係データを参照してコントロール
可能になっている。なお、出力軸28aおよび出力軸2
8bの単位時間当たりの回転量と第1のリンク片32お
よび第2のリンク片34の長さの関係で移動体22の移
動速度を調整することも可能となるので、高速な移動体
22の移動も実現可能である。
【0013】(第2実施例)第2実施例について図3と
共に説明する。第2実施例は第1実施例の2次元運動機
構を2組並設したものであり、第1実施例と同一の構成
部材については第1実施例と同一の名称を付し、説明は
省略する。ガイド100a、100bに2組の摺動体1
02a、102bと102c、102dが外嵌されてい
る。摺動体102a、102bの間にはロッド104a
が設けられ、摺動体102c、102dの間にはロッド
104bが設けられている。ロッド104a、104b
の外周面にはスプライン溝106が刻設されている。ロ
ッド104a、104bにはそれぞれ移動体108a、
108bが外嵌されると共にスプライン溝106と嵌合
して回動防止が図られている。
【0014】移動体108aを2次元運動させるための
第1モータ110a、第2モータ112a、第1のリン
ク片114a、第2のリンク片116a、ガイドチェー
ン118aと、移動体108bを2次元運動させるため
の第1モータ110b、第2モータ112b、第1のリ
ンク片114b、第2のリンク片116b、ガイドチェ
ーン118bとは互いに反対側に設けられ、干渉が防止
されている。このような構成により、第1モータ110
a、110bおよび第2モータ112a、112bを駆
動することにより、移動体108a、108bは、X軸
方向へは共用するガイド100a、100b上を移動
し、Y軸方向へは各々のロッド104a、104b上を
移動可能になっている。従って、X軸方向の位置が干渉
し合わない範囲で移動体108a、108bは互いに独
立した2次元運動が可能になっている。
【0015】(第3実施例)第3実施例について図4と
共に説明する。第3実施例は第2実施例の2次元運動機
構を2組、基台の上方へ積層状に設けると共に、互いの
ロッドの方向を直交するよう配置したものであり、第2
実施例と同一の構成部材については第1実施例と同一の
名称を付し、説明は省略する。移動体200a、200
bを駆動する2次元運動機構は、移動体200c、20
0dを駆動する2次元運動機構の下方に設けられてい
る。移動体200a、200b用のガイド202a、2
02bは基台204上Y軸方向に配設され、ロッド20
6a、206bはガイド202a、202bに対して直
角なX軸方向へ配置されている。一方、移動体200
c、200d用のガイド202c、202dは基台20
4上X軸方向に配設され、ロッド206c、206dは
ガイド202c、202dに対して直角なY軸方向へ配
置されている。従って、本実施例の2次元運動機構にお
いては、互いに干渉し合わない範囲で4個の移動体20
0a、200b、200c、200dは互いに独立した
2次元運動が可能になっている。
【0016】(第4実施例) 第4実施例について図5と共に説明する。300は基台
であり、中央をくり抜いたロ字状に形成されている。基
台300の各コーナーには支持ボックス302が固定さ
れている。304a、304bはX軸ガイドであり、X
軸方向へ平行に配されている。X軸ガイド304a、3
04bは金属製の棒体で形成され、両端はそれぞれ支持
ボックス302へ固定されている。なお、X軸ガイド3
04a、304bは金属製の棒体に限らず、直動ガイド
を用いてもよい。306a、306bはX軸摺動体であ
り、それぞれX軸ガイド304a、304bへ外嵌され
ている。X軸摺動体306a、306bはX軸ガイド3
04a、304bの長さ方向へ摺動可能になっている。
308はX移動ガイドの一例であるXロッドであり、金
属製の棒体で形成されている。Xロッド308はX軸ガ
イド304a、304bに対し直角に配され、両端はそ
れぞれX軸摺動体306a、306bに挟着固定されて
いる。Xロッド308はX軸摺動体306a、306b
の長さ方向への移動に伴い、X軸ガイド304a、30
4bに対して直角を維持しながらX軸ガイド304a、
304bの長さ方向へ移動可能になっている。なお、X
ロッド308の外周面には先行実施例のロッドに刻設さ
れていたスプライン溝は不要である。また、X移動ガイ
としては、金属製の棒体のXロッド308に限らず、
いわゆる直動ガイドを用いてもよい。
【0017】310a、310bはY軸ガイドであり、
Y軸方向へ平行に配されている。Y軸ガイド310a、
310bは金属製の棒体で形成され、両端はそれぞれ支
持ボックス302へ固定されている。なお、Y軸ガイド
310a、310bは金属製の棒体に限らず、直動ガイ
ドを用いてもよい。312a、312bはY軸摺動体で
あり、それぞれY軸ガイド310a、310bへ外嵌さ
れている。Y軸摺動体312a、312bはY軸ガイド
310a、310bの長さ方向へ摺動可能になってい
る。314はY移動ガイドの一例であるYロッドであ
り、金属製の棒体で形成されている。Yロッド314は
Y軸ガイド310a、310bに対し直角に配され、両
端はそれぞれY軸摺動体312a、312bに挟着固定
されている。Yロッド314はY軸摺動体312a、3
12bの長さ方向への移動に伴い、Y軸ガイド310
a、310bに対して直角を維持しながらY軸ガイド3
10a、310bの長さ方向へ移動可能になっている。
なお、Yロッド314の外周面にも先行実施例のロッド
に刻設されていたスプライン溝は不要である。また、
移動ガイドとしては、金属製の棒体のYロッド314に
限らず、いわゆる直動ガイドを用いてもよい。
【0018】316は移動体であり、1個のブロック体
である。移動体316は内部にXロッド308およびY
ロッド314が直交して挿通されている。従って、Xロ
ッド308およびYロッド314にスプライン溝を設け
て移動体316の回動防止を図らなくても移動体316
の回動が防止されている。また、移動体316はXロッ
ド308およびYロッド314の長さ方向へ移動可能に
なっている。移動体316には加工作業用の工具、ロボ
ットヘッド、計測器、加工されるワーク等が取付可能に
なっている。318は第1の回転駆動手段の一例である
第1モータである。第1モータ318はサーボモータが
使用されている。第1モータ318は基台300の外縁
部に突設された取付部320aに固定されている。第1
モータ318の出力軸322aは減速機構(不図示)に
より所定の減速比で減速されている。出力軸322aは
取付部320aの上面から突出している。この出力軸3
28aは、図5に明らかなようにX軸およびY軸に直角
に配設された軸である。すなわち、出力軸328aは、
移動体316の移動平面(X−Y平面)に直交する軸心
を中心に回転するように設けられている。
【0019】324は第2の回転駆動手段の一例である
第2モータである。第2モータ324はサーボモータが
使用されている。第2モータ324は移動体316に設
けられた取付部320bに固定されている。第2モータ
324の出力軸322bも減速機構(不図示)により所
定の減速比で減速されている。出力軸322bも取付部
320bの上面から突出している。この出力軸328b
も、図5に明らかなようにX軸およびY軸に直角に配設
された軸である。すなわち、出力軸328bは、移動体
316の移動平面(X−Y平面)に直交する軸心を中心
に回転するように設けられている。326は第1のリン
ク片であり、一端部330aは第1モータ318の出力
軸322aに固定されている。従って、第1モータ31
8が駆動すると、第1のリンク片326の他端部330
bは、出力軸322aと一体に回転する一端部330a
を中心に円運動(回転)を行う。この際、第1のリンク
片326は、X−Y平面に平行な平面内で回転運動す
る。328は第2のリンク片であり、一端部330cは
第2モータ324の出力軸322bに固定されている。
従って、第2モータ324が駆動すると、第2のリンク
片328の他端部330dは、出力軸322bと一体に
回転する一端部330cを中心に円運動(回転)を行
う。この際、第2のリンク片328は、X−Y平面に平
行な平面内で回転運動する。第2のリンク片328の他
端部330dは、第1のリンク片326の他端部330
bとピン332を介して、移動体の移動平面(X−Y平
面)に直交する軸心を中心に、回動自在に軸着されてい
る。
【0020】334はガイドチェーンであり、第2モー
タ324へ電力を供給するケーブルや、移動体316に
取り付けられるロボットヘッドの駆動用のエアチューブ
等が内部に挿通される。ガイドチェーン334は不図示
の接続手段により、第1のリンク片326および第2の
リンク片328へ固定されており、第1のリンク片32
6および第2のリンク片328と共にフレキシブルに移
動する。この2次元運動機構の第1モータ318および
第2モータ324もコンピュータ制御されており、その
制御システムについては第1実施例と同一なので説明は
省略する。続いて第4実施例の2次元運動機構の動作に
ついて説明する。第1モータ318が駆動されると、出
力軸322aが回転し、第1のリンク片326が一端部
330aを中心に回動する。この回動により、第1のリ
ンク片326の他端部330bのX−Y方向の位置が変
化するので、第2のリンク片328を介して移動体31
6を移動させる力が作用する。
【0021】一方、第2モータ324が駆動されると、
出力軸322bが回転し、第2のリンク片328が一端
部330cを中心に回動する。この回動により、第2の
リンク片328の他端部330dのX−Y方向の位置が
変化する。その際、第1のリンク片326の一端部33
0aの位置は固定なので、移動体316を移動させよう
とする力が作用する。第1モータ318と第2モータ3
24の両回転出力の合成により、移動体316がX−Y
方向へ移動する。移動体316の移動量は出力軸322
aおよび出力軸322bの回転量(回転角度)と相関関
係があり、この相関関係が制御データとして予め記憶さ
れており、当該相関関係データを参照して移動体316
の運動をコントロール可能になっている。以上、本発明
の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上
述の実施例に限定されるのではなく、例えば、第1およ
び第2の回転駆動手段はサーボモータに限らず、ロータ
リシリンダ等の回転アクチュエータでもよい等、発明の
精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもち
ろんである。
【0022】
【発明の効果】本発明に係る2次元運動機構を用いる
と、請求項1の構成においては、第1の回転駆動手段と
第2の回転駆動手段を駆動すると、両回転駆動手段の
動体の移動平面に直交する軸心を中心に回転する出力軸
の回転出力が、第1のリンク片と第2のリンク片とによ
る回動運動に変換され、移動ガイドはガイドに沿って移
動し、移動体は当該移動ガイド上をガイドと直角な方向
へ移動するので、移動体を位置決め精度良く2次元運動
させることが可能となる。一方、請求項2の構成におい
ては、第1の回転駆動手段と第2の回転駆動手段を駆動
すると、両回転駆動手段の移動体の移動平面に直交する
軸心を中心に回転する出力軸の回転出力が、第1のリン
ク片と第2のリンク片とによる回動運動に変換され、
移動ガイドはX軸ガイドに沿って移動し、Y移動ガイド
はY軸ガイドに沿って移動するので、移動体はX移動ガ
イドおよびY移動ガイド上を共に移動することになり、
移動体を安定的に位置決め精度良く2次元運動させるこ
とが可能となる。従って、騒音を発生させるボールネジ
を用いることがないので、騒音が小さく、かつバランス
よく簡潔に構成できるため安価で位置決め精度の良好な
2次元運動機構を提供可能となる等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る2次元運動機構の第1実施例を示
した斜視図。
【図2】その制御システムを示したブロックダイアグラ
ム。
【図3】第2実施例を示した斜視図。
【図4】第3実施例を示した平面図。
【図5】第4実施例を示した斜視図。
【符号の説明】
10、204、300 基台 14a、14b、100a、100b、202a、20
2b、202c、202d ガイド 18、104a、104b、206a、206b、20
6c、206d ロッド 22、108a、108b、200a、200b、20
0c、200d、316移動体 24、110a、110b、318 第1モータ 30、112a、112b、324 第2モータ 32、114a、114b、326 第1のリンク片 34、116a、116b、318 第2のリンク片 304a、304b X軸ガイド 308 Xロッド 310a、310b Y軸ガイド 314 Yロッド

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基台と、 該基台上に平行に配された1対のガイドと、 該ガイドに対して直角に配され、両端が前記1対のガイ
    ドへそれぞれ取着されると共に、ガイドの長さ方向へ移
    動可能な移動ガイドと、 該移動ガイド上を、該移動ガイドの長さ方向へ移動可能
    な移動体と、 前記基台に設けられ、前記移動体の移動平面に直交する
    軸心を中心に回転する出力軸を備える第1の回転駆動手
    段と、 前記移動体に設けられ、該移動体の移動平面に直交する
    軸心を中心に回転する出力軸を備える第2の回転駆動手
    段と、 一端が前記第1の回転駆動手段の出力軸に固定され、該
    出力軸の回転出力により回動する第1のリンク片と、 一端が前記第2の回転駆動手段の出力軸に固定され、該
    出力軸の回転出力により回動すると共に、他端が前記第
    1のリンク片の他端と、前記移動体の移動平面に直交す
    る軸心を中心に回動自在に軸着された第2のリンク片と
    を具備することを特徴とする2次元運動機構。
  2. 【請求項2】 前記ガイドには複数の前記移動ガイド
    取着され、 各移動ガイドにはそれぞれ前記移動体が設けられ、 各移動体に対応して前記第1の回転駆動手段、前記第2
    の回転駆動手段、前記第1のリンク片および前記第2の
    リンク片がそれぞれ設けられていることを特徴とする請
    求項1記載の2次元運動機構。
  3. 【請求項3】 基台と、 該基台上に平行に配された1対のX軸ガイドと、 前記基台上に、前記X軸ガイドと直角な方向へ平行に配
    された1対のY軸ガイドと、 該Y軸ガイドと平行に配され、両端が前記1対のX軸ガ
    イドへそれぞれ取着されると共に、X軸ガイドの長さ方
    向へ移動可能なX移動ガイドと、 前記X軸ガイドと平行に配され、両端が前記1対のY軸
    ガイドへそれぞれ取着されると共に、Y軸ガイドの長さ
    方向へ移動可能なY移動ガイドと、 前記X移動ガイドおよび前記Y移動ガイド上を、X移動
    ガイドおよびY移動ガの長さ方向へ移動可能な移動
    体と、 前記基台に設けられ、前記移動体の移動平面に直交する
    軸心を中心に回転する出力軸を備える第1の回転駆動手
    段と、 前記移動体に設けられ、前記移動体の移動平面に直交す
    る軸心を中心に回転する出力軸を備える第2の回転駆動
    手段と、 一端が前記第1の回転駆動手段の出力軸に固定され、
    出力軸の回転出力により回動する第1のリンク片と、 一端が前記第2の回転駆動手段の出力軸に固定され、
    出力軸の回転出力により回動すると共に、他端が前記第
    1のリンク片の他端と前記移動体の移動平面に直交する
    軸心を中心に回動自在に軸着された第2のリンク片とを
    具備することを特徴とする2次元運動機構。
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