KR20170105604A - 메모리 셀 - Google Patents

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KR20170105604A KR1020177023241A KR20177023241A KR20170105604A KR 20170105604 A KR20170105604 A KR 20170105604A KR 1020177023241 A KR1020177023241 A KR 1020177023241A KR 20177023241 A KR20177023241 A KR 20177023241A KR 20170105604 A KR20170105604 A KR 20170105604A
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카말 엠. 카르다
치안 타오
두라이 비샤크 니르말 라마스와미
하이타오 리우
커크 디. 프럴
아쇼니타 에이. 차반
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마이크론 테크놀로지, 인크
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Abstract

메모리 셀은 선택 장치 및 상기 선택 장치와 전기적으로 직렬 연결된 커패시터를 포함한다. 커패시터는 그 사이에 강유전성 물질을 갖는 2개의 전도성 커패시터 전극을 가진다. 커패시터는 커패시터 전극들 중 하나에서부터 강유전성 물질을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생적 전류 누설 경로를 가진다. 하나의 커패시터 전극에서 다른 한 커패시터 전극까지의 병렬 전류 누설 경로가 존재한다. 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 내생 경로보다 낮은 총 전항을 가진다. 그 밖의 다른 양태가 개시된다.

Description

메모리 셀
본 명세서에 개시된 실시예는 메모리 셀과 관련된다.
메모리는 집적 회로의 하나의 유형이며, 데이터를 저장하기 위해 컴퓨터 시스템에서 사용된다. 메모리는 개별 메모리 셀의 하나 이상의 어레이로 제조될 수 있다. 메모리 셀에, 디지트 라인(비트 라인, 데이터 라인, 감지 라인, 또는 데이터/감지 라인이라고도 지칭될 수 있음) 및 액세스 라인(워드 라인이라고도 지칭될 수 있음)을 이용해, 써지거나 읽힐 수 있다. 디지트 라인은 어레이의 컬럼을 따르는 메모리 셀들을 전도성 인터커넥트할 수 있고, 액세스 라인은 어레이의 로우를 따라 메모리 셀을 전도성 인터커넥트할 수 있다. 각각의 메모리 셀은 디지트 라인과 액세스 라인의 조합을 통해 고유하게 주소 지정될 수 있다.
메모리 셀은 휘발성 또는 비휘발성일 수 있다. 비휘발성 메모리 셀은 컴퓨터가 꺼졌을 때를 포함해 긴 시간 동안 데이터를 저장할 수 있다. 휘발성 메모리는 소멸되며 따라서 많은 경우 초당 수회 재생/다시써질 필요가 있다. 그럼에도, 메모리 셀이 적어도 2개의 서로 다른 선택 가능 상태로 메모리를 보유 또는 저장하도록 구성된다. 2진(binary) 시스템에서, 상태가 "0" 또는 "1"로 간주된다. 또 다른 시스템에서, 적어도 일부 개별 메모리 셀은 정보의 셋 이상의 레벨 또는 상태를 저장하도록 구성될 수 있다.
커패시터가 메모리 셀에서 사용될 수 있는 한 가지 유형의 전자 구성요소이다. 커패시터는 전기적으로 절연되는 물질에 의해 분리되는 2개의 전기 전도체를 가진다. 전기장으로서 에너지가 이러한 물질 내에 정전 방식으로 저장될 수 있다. 한 가지 유형의 커패시터가 절연 물질의 적어도 일부로서 강유전성 물질을 갖는 강유전성 커패시터이다. 강유전성 물질은 2개의 안정한 분극 상태(polarized state)를 가짐으로써 특징화된다. 강유전성 물질의 분극 상태는 적절한 프로그래밍 전압에 의해 변경될 수 있으며, 프로그래밍 전압의 제거 후에 (적어도 일정 시간 동안) 유지된다. 각각의 분극 상태는 타 분극 상태와 다른 전하-저장된 커패시턴스를 가지며, 이는 반전될 것이 바람직한 때까지 분극 상태를 반전시키지 않고 메모리 상태를 쓰고(즉, 저장) 읽는 데 사용될 수 있는 것이 이상적이다. 덜 바람직할 수 있지만, 강유전성 커패시터를 갖는 일부 메모리에서, 메모리 상태를 읽는 동작이 분극을 반전시킬 수 있다. 따라서 분극 상태를 결정하면, 메모리 셀의 다시 쓰기(re-write)가 실시되어 메모리 셀을 이의 결정 직후 사전-읽기 상태로 둘 수 있다. 이와 무관하게, 강유전성 커패시터를 포함하는 메모리 셀은 커패시터의 일부를 형성하는 강유전성 물질의 쌍안정 특성(bi-stable characteristics) 때문에 비휘발성이다.
한 가지 유형의 메모리 셀이 강유전성 커패시터와 직렬로 전기적으로 연결된 선택 장치를 가진다. 선택 장치가 유휴 상태(즉, 비활성 또는 "오프")일 때에도 전류가 선택 장치를 통해 인접 기판 물질로 누설되는 것이 일반적이다. 이는 강유전성 커패시터의 인접 전극에서의 전압 강하를 야기하고, 따라서 2개의 커패시터 전극들 간 전압 차이를 만들 수 있다. 이로 인해, 메모리 셀이 유휴 상태일 때 전기장이 강유전성 물질에 걸쳐 인가된다. 작을지라도, 이러한 전기장은 강유전성 물질에서의 개별 쌍극자를 뒤집기 시작하고 모두 뒤집어질 때까지 계속하여, 메모리 셀의 프로그램된 상태를 소거할 수 있다. 이는 짧은 시간 동안 발생할 수 있으며, 이는 메모리 셀에서의 비휘발성 상태를 파괴 또는 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 일부분의 개략도이다.
도 3는 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 일부분의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 일부분의 개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 일부분의 개략도이다.
도 6은 도 5의 구조의 메모리 셀의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 일부분의 개략도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 일부분의 개략도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따르는 메모리 셀의 일부분의 개략도이다.
도 10은 도 9의 구조의 메모리 셀의 평면도이다.
본 발명의 하나의 실시예에 따르는 메모리 셀(10)이 도식적 도 1을 참조하여 나타나고 먼저 기재된다. 메모리 셀(10)을 갖는 집적 회로(도시되지 않음)가 수천 또는 수백만 개의 메모리 어레이 또는 서브-어레이에 대해 제조되는 이러한 메모리 셀을 가질 수 있을 것이며, 본 명세서에 특정 물질이 개시되지는 않는다. 이러한 어레이 또는 서브-어레이는 복수의 액세스 라인과 선택 라인을 가지며, 이들 사이에서 교차하는 곳에 개별 메모리 셀(10)이 있을 수 있을 것이다. 개별 메모리 셀은 개별 액세스 라인 및 교차 개별 선택 라인의 일부분을 포함하는 것으로 여겨질 수 있다.
메모리 셀(10)은 선택 장치(12) 및 예를 들어 도시된 바와 같이 전도성(즉, 전기적) 경로(16)에 의해 상기 선택 장치(12)와 전기적으로 직렬로 연결된(즉, 회로) 커패시터(14)를 포함한다. 도시된 다이어그램 내 커패시터(14)는 이들 사이에 강유전성 물질(19)을 갖는 2개의 전도성 커패시터 전극(18 및 20)을 포함하는 것으로 여겨질 수 있다. 물리적으로, 경로(16)는 단순히 커패시터(14)와 선택 장치(12)에 의해 공유되는 단일 전극일 수 있다. 커패시터(14)는 커패시터 전극(18 또는 20) 중 하나로부터 강유전성 물질(19)를 통과하여 다른 하나의 커패시터 전극으로의 내성 전류(즉, 전기) 누설 경로를 포함한다. 이러한 내성 경로는 도 1에서 명확성을 위해 강유전성 물질(19) 주위에 있는 경로(22)로 점선으로서 도시된다. 그러나 실제로, 경로(22)는 강유전성 물질(19)을 통해 각각의 커패시터 전극(18 및 20)으로 그리고 이들 사이에 내성적으로/본질적으로 존재할 것이다. 내성 경로(22)는 동작 중인 장치(14)가 커패시터로서 기능할 때 저항기(24)로 도시되는 일부 비교적 다소 높은 전체/총 저항(즉, 전기 저항)을 가질 것이다. 저항기(24)의 총 저항은 강유전성 물질(19)의 조성, 강유전성 물질(19)의 두께, 및 강유전성 물질(19) 내 쌍극자 배향에 따라 달라질 것이다. 저항기(24)는 본질적으로 저항이 전압 종속적이 되게 하는 비선형/가변 저항기일 수 있다.
메모리 셀(10)은 하나의 커패시터 전극(18 또는 20)에서 다른 커패시터 전극으로의 병렬(즉, 회로-병렬) 전류 누설 경로(26)를 포함한다. 하나의 실시예에서, 병렬 경로(26)는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖고, 하나의 실시예에서, 이는 강유전성 물질(19)의 것보다 낮다. 병렬 경로(26)가 경로(24)보다 충분히 짧은 길이를 가질 경우, 이는 강유전성 물질(19)의 우세 밴드 갭보다 클 수 있다. 이와 무관하게, 하나의 실시예에서 병렬 경로(26)는 내성 경로(22)의 총 저항보다 낮은 일부 총 전항(가령, 저항기(28)로서 도시됨)을 가진다. 단지 예시로서, 내성 누설 경로(22)를 통한 총 저항이 1 x 1011 - 1 x 1018 옴(ohm)일 수 있으며 병렬 누설 경로(26)를 통한 총 저항이 1 x 109 - 1 x 1017 옴(ohm)일 수 있다.
선택 장치(12)는 복수의 장치를 포함해, 임의의 기존의 또는 장차 개발될 선택 장치일 수 있다. 예시로는 다이오드, 전계 효과 트랜지스터, 및 바이폴라 트랜지스터가 있다. 동작 중에, 선택 장치(12)는 메모리 셀이 유휴 상태일 때(즉, 메모리 셀(10)과 연관된 집적 회로가 동작상 "온(on)"이지만, 메모리 셀(10)의 어떠한 "읽기" 또는 "쓰기" 동작도 발생 중이 아닌 때) 전류 누설을 보일 것이다. 선택 장치 전류 누설 경로(30)가 존재하고, 선택 장치(12) 주위의 점선으로 도시되지만, 이는 선택 장치(12)를 통한 또는 (가령, 접지 또는 그 밖의 다른 전위로 유지되는) 기저 기판까지 내생적/본질적으로 존재할 것이다. 누설 경로(30)는 일부 총 전항(32)을 갖는 것으로 나타난다. 하나의 실시예에서, 병렬 경로(26)는 메모리 셀(10)이 유휴 상태일 때 이를 통과하는 전류가 메모리 셀(10)이 유효 상태일 때 경로(30)를 통과하는 전류 누설보다 크거나 같도록 구성된다. 이는 선택 장치(12), 커패시터(14), 병렬 경로(26)의 구성 및 물질, 및 정상 동작 중인 메모리 셀(10) 내 다양한 포인트에서의 전압에 따라 달라질 것이다. 이와 무관하게 이상적으로, 이로 인해 유휴 상태일 때 전극(18 및 20)에서의 전압이 서로 동일하거나 적어도 매우 유사할 수 있어서(가령, 50밀리볼트 내), 메모리 셀(10)이 유휴 상태일 때 강유전성 물질(19) 내에 전기장이 전혀 생성되지 않거나 무시할만한 정도로 생성된다. 더 예를 들면, 유휴 상태일 때 커패시터 양단의 임의의 전압 차이가 강유전성 물질(19) 내 임의의 전기장이 강유전성 물질(19)의 내생적 보자력 장보다 적어도 20배 낮도록 정해진다. 이는 강유전성 물질(19) 내 의도하지 않은 쌍극자 방향 변화를 배제시킬 수 있다. 또는 예를 들어, 이는 강유전성 물질(19) 내 의도하지 않은 쌍극자 변화의 위험을 적어도 감소시키거나 의도하지 않은 쌍극자 변화까지의 시간을 증가시킬 수 있다.
하나의 실시예에서, 병렬 경로(26) 내 저항기(28)가 낮은 전압(가령, 250밀리볼트 미만)에서보다 높은 전압(가령, 1 내지 5볼트)에서일수록 높은 전체 저항을 보이는 커패시터 전극(18 및 20) 간 비선형 저항기이다. 이상적으로는, 이러한 비선형 저항기는 낮은 전압에서 유휴 상태일 때에 비교하면 높은 전압 "읽기" 및 "쓰기" 동작 동안 병렬 경로(26) 내 전류 누설의 더 큰 감소 크기를 제공하는 쪽으로 형성된다.
액세스 라인 및 선택 라인(어느 것도 도시되지 않음)이 메모리 셀(10)과 연관될 수 있을 것이다. 예를 들어 선택 장치(12)는 단순한 2 단자 다이오드 또는 그 밖의 다른 2 단자 장치일 수 있다. 그 후 교차점형 어레이 구성이 사용되어, 전도성 경로(11)가 커패시터 전극(18)의 일부로서 액세스 또는 선택 라인(도시되지 않음)과 연결되거나 이들의 일부가 되고 전도성 경로(13)가 선택 장치(12)의 일부로서 액세스 또는 선택 라인(도시되지 않음) 중 다른 하나와 연결되거나 이의 일부가 된다. 대안예를 들면, 선택 장치(12)는 전계 효과 트랜지스터일 수 있다. 그 후 예를 들어, 전도성 경로(11)가 메모리 어레이 또는 서브-어레이 내 복수의 커패시터(14)(도시되지 않음)에 공통적인 커패시터 셀 전극(18)의 일부일 수 있고, 구성요소(16)는 트랜지스터의 하나의 소스/드레인 영역일 수 있고, 구성요소(13)는 나머지일 수 있다. 트랜지스터의 게이트(도시되지 않음)가 액세스 라인(도시되지 않음)의 일부일 수 있고, 소스/드레인 구성요소(13)가 감지 라인(도시되지 않음)과 연결되거나 이의 일부가 될 수 있다. 그 밖의 다른 아키텍처 및 구조가 물론 대안으로 사용될 수 있다.
도 2는 커패시터(14) 및 병렬 전류 누설 경로(26)를 포함하는 메모리 셀(10)의 일부분의 예시적 물리 구성을 도시한다. 상기 기재된 실시예에서의 유사한 번호가 경우에 따라 사용되었으며, 일부 상이한 부분은 상이한 번호로 지시된다. 선택 장치(12)(도시되지 않음)가 커패시터 전극(18 또는 20) 중 하나에 전기적으로 연결될 수 있다. 물질은, 메모리 셀 구조(10)에 별도로, 높이 방향으로 내측으로(elevationally inward), 및 높이 방향으로 외측으로(elevationally outward) 위치할 것이다. 예를 들어, 집적 회로의 그 밖의 다른 부분 또는 완전 제조된 구성요소가 구조(10) 부근의 어딘가에 제공될 수 있고, (도 1에 도시된 바와 같은 임의의 적합한 선택 장치(12)의 포함을 제외하고는) 본 명세서에 개시된 발명과 특히 밀접하게 관련되지는 않는다.
커패시터 전극(18 및 20)에 대한 예시적 전도성 물질은 원소 금속, 둘 이상의 원소 금속의 합금, 전도성 금속 화합물, 및 전도성 도핑된 반도체 물질 중 하나 이상을 포함한다. 예시적 강유전성 물질(19)이 전이 금속 옥사이드, 지르코늄, 지르코늄 옥사이드, 하프늄, 하프늄 옥사이드, 납 지르코늄 티타네이트, 및 바륨 스트론튬 티타네이트 중 하나 이상을 갖는 강유전체를 포함하고, 여기에 실리콘, 알루미늄, 란탄, 이트륨, 에르븀, 칼슘, 마그네슘, 스트론튬, 및 희토류 원소 중 하나 이상을 포함하는 도펀트를 가질 수 있다. 두 가지 특정 예시로는 HfxSiyOz 및 HfxZryOz가 있다. 달리 지시되지 않는 한, 본 명세서에 기재되는 물질 및/또는 구조 중 임의의 것이 균질 또는 불균질할 수 있으며, 이와 무관하게, 임의의 아래 놓이는 물질 위에서 연속이거나 불연속일 수 있다. 또한, 달리 지시되지 않는 한, 각각의 물질은 임의의 적합한 기존 또는 미래에 개발될 기법을 이용해 형성될 수 있고, 원자층 증착, 화학 기상 증착, 물리 기상 증착, 에피택시 성장, 확산 도핑, 및 이온 주입이 예시가 될 수 있다. 커패시터 전극(18 및 20) 각각에 대한 예시적 두께는 25 내지 300 옹스트롬이며, 강유전성 물질(19)에 대한 예시적 두께는 15 내지 200 옹스트롬이다. 본 문서에서, 홀로 사용되는(어떠한 선행하는 방향 형용사 없는) "두께"는 상이한 조성의 바로 인접한 물질 또는 바로 인접한 영역의 가장 가까운 표면으로부터 수직으로 특정 물질 또는 영역을 관통하는 평균 직선 거리라고 정의된다. 덧붙여, 본 명세서에 기재되는 다양한 물질이 실질적으로 일정한 두께 또는 가변 두께를 가질 수 있다. 가변 두께를 가진 경우, 두께는 달리 지시되지 않는 한 평균 두께를 지칭한다.
평행 경로(26)가 물질(34)에 의해 둘러 싸이는 것 또는 물질 내에 있는 것으로 도시된다. 예시적 물질(34)이 비정질 실리콘, 다결정 실리콘, 게르마늄, 칼코게나이드(가령, 금속 디칼코게나이드), 실리콘-풍부 실리콘 니트라이드, 실리콘-풍부 실리콘 옥사이드, 및 전도성 증가 도펀트로 적절하게 도핑된 내생적 유전체 물질(가령, SiO2 및/또는 및 Ti, Ta, Nb, Mo, Sr, Y, Cr, Hf, Zr 및 란탄 계열 이온 중 하나 이상으로 도핑된 Si3N4) 중 하나 이상을 포함한다. 물질(34), 및 이에 따른 병렬 경로(26)가 이러한 물질(들)을 우세하게(즉, 50원자%를 초과하여) 포함할 수 있다. 이들 물질 중 임의의 것은 메모리 셀(10)이 유휴 상태일 때 이를 통과하는 전류 누설 흐름에 대해 원하는 총 저항을 제공하기 위해 도핑되거나 도핑되지 않을 수 있다. 하나의 실시예에서, 물질(34)은 균질하고, 이에 따라 커패시터 전극(18 및 20) 사이의 병렬 경로(26)가 균질하다. 하나의 실시예에서, 물질(34)은 불균질하고, 이에 따라 커패시터 전극(18 및 20) 사이의 병렬 경로(26)가 불균질하다. 물질(34) 및 이에 따른 병렬 경로(26)가 불균질한 실시예에서, 병렬 경로(26)는 서로 다른 밴드 갭을 갖는 서로 다른 조성 물질로 인해 복수의 밴드 갭을 가질 수 있다. 그러나, 병렬 경로(26)는 병렬 경로(26) 내 개별 서로 다른 물질의 각자의 부피에 따라 달라질 수 있는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세한(제어를 의미) 밴드 갭을 가질 것이다. 따라서 그리고 이와 무관하게, "우세한(dominant)"이 특정 경로/물질의 균질성과 무관하게 본 명세서에서 사용되고 적용된다. 하나의 실시예에서, 강유전성 물질(19)의 우세한 밴드 갭은 병렬 경로(26)의 우세한 밴드 갭보다 낮을 수 있다. 하나의 실시예에서, 병렬 경로(26)의 최소 길이가 강유전성 물질(19)의 최소 두께보다 길게 만들어진다. 한 가지 예를 들면, 강유전성 물질의 우세 대역 갭과 병렬 경로가 거의 동일할 때 병렬 경로 내 상태의 밀도가 강유전성 물질과 동일하거나 클 때 이러한 길이 관계가 사용될 수 있다. 또 다른 예를 들면, 강유전성 물질의 우세 밴드 갭이 병렬 경로의 우세 밴드 갭보다 작을 때 병렬 경로 내 상태의 밀도가 강유전성 물질과 동일하거나 클 때 이러한 길이 관계가 사용될 수 있다.
하나의 실시예에서 그리고 도 2에 도시된 바와 같이, 물질(34) 및 이에 따른 병렬 경로(26)는 강유전성 물질(19)에 직접 맞대고 있다. 이 명세서에서, 언급된 물질 또는 구조가 서로에 대해 적어도 일부 물리적으로 닿아 접촉하는 경우 물질 및 구조가 다른 것과 "직접 맞대고 있다(directly against)". 이와 달리, "직접"이 선행하지 않는 "위에", "상에", 및 "맞대는"이 "직접 맞대는" 뿐 아니라 중간 물질(들) 또는 구조(들)가 언급된 물질 또는 구조가 서로에 대해 어떠한 물리적으로 닿는 접촉을 하지 않는 구조까지 포함한다. 두 개의 언급된 물질이 서로에 대해 직접 맞대지 않는 경우, 다른 조성의 물질이 이들 사이에 존재한다. 본 명세서에서 사용될 때, "상이한 조성"은 예를 들어, 물질들이 균질하지 않는 경우 두 가지 언급되는 물질의 서로 직접 맞대는 부분이 화학적 및/또는 물리적으로 상이할 것만 필요로 한다. 두 가지 언급되는 물질이 서로 직접 맞대지 않는 경우, "상이한 조성"은 물질들이 균질하지 않는 경우 상기 두 가지 언급된 물질의 서로 가장 가까운 부분이 화학적 및/또는 물리적으로 상이할 것만 필요로 한다. 도 3은 병렬 경로(26)가 강유전성 물질(19a)에 직접 맞대지 않는 대안적 실시예의 메모리 셀(10a)을 도시한다. 앞서 기재된 실시예에서의 유사한 번호가 경우에 따라 사용되었으며, 일부 구성 차이는 접미사 "a" 또는 상이한 번호로 지시된다. 커패시터(14a)는 물질(34 및 19a) 사이에서 이격된 일부 물질(21)(예컨대, 유전체 물질, 가령, 실리콘 디옥사이드 및/또는 실리콘 니트라이드)을 포함하며, 따라서 병렬 경로(26)가 강유전성 물질(19a)에 직접 맞대지 않는 것으로 도시된다. 그 밖의 다른 임의의 속성(들) 또는 구조(들)이 앞서 기재된 바와 같이 사용될 수 있다.
도 4는 또 다른 예시적 실시예 메모리 셀(10b)을 보여준다. 앞서 기재된 실시예에서의 유사한 번호가 경우에 따라 사용되었으며, 일부 구성 차이는 접미사 "b" 또는 상이한 번호로 지시된다. 메모리 셀(10b) 내 물질(34b) (및 이에 따른 병렬 경로(26b))이 강유전성 물질(19b)을 본질적으로 통과하며, 따라서 커패시터 구조(14b)의 내부 부분을 구성하고 (즉, 적어도 하나의 직선 횡단면에서) 각각 강유전성 물질(19b)에 직접 맞대는 2개의 측방 측부(35)를 갖는 것으로 나타난다. 그 밖의 다른 임의의 속성(들) 또는 구조(들)이 앞서 기재된 바와 같이 사용될 수 있다.
병렬 전류 누설 경로가 2개의 커패시터 전극 사이의 강유전성 물질의 최소 두께와 동일하거나, 이보다 크거나, 이보다 작은 최소 길이를 가질 수 있다. 하나의 실시예에서, 병렬 경로는 2개의 커패시터 전극들 간 강유전성 물질의 최소 두께의 5% 내에 최소 길이를 가진다. 도 2-4는 강유전성 물질(19/19a/19b)의 최소 두께와 실질적으로 동일한 최소 길이를 갖는 병렬 경로(26)를 보여준다. 예를 들어 도 2 및 3의 실시예에서조차, 물질(34)을 통과하는 가장 짧은 경로(가령, 최소 길이)는 커패시터 전극(18)의 물질의 최하부 우측 코너에서부터 전극(20)의 물질의 최상부 우측 코너까지이나, 도 2 및 3에서 명료성을 위해 병렬 경로(26)가 물질(34)을 통과하는 넓은 아치형 경로로서 도시된다. 일부 실시예에서, 병렬 경로의 최소 길이는 2개의 커패시터 전극들 사이의 강유전성 물질의 최소 두께보다 클 수 있으며, 하나의 실시예에서 30% 내이고, 하나의 실시예에서 적어도 2배일 수 있다.
또 다른 예시적 실시예의 메모리 셀(10c)이 도 5 및 6에 도시된다. 앞서 기재된 실시예에서의 유사한 번호가 경우에 따라 사용되었으며, 일부 구성 차이는 접미사 "c" 또는 상이한 번호로 지시된다. 커패시터(14c)는 베이스(40) 및 (즉, 적어도 하나의 직선 횡단면에서) 이로부터 뻗어 있는 측방으로 이격된 벽(42)을 갖는 제1 전도성 커패시터 전극(20c)을 포함한다. 측방으로 이격된 벽(42)은 대면 측부 표면(43)을 가진다. 제2 전도성 커패시터 전극(18c)은 제1 커패시터 전극(20c)의 벽(42)들 사이에 측방으로 위치한다. 강유전성 물질(19c)은 제1 커패시터 전극(20c)의 벽(42)들 사이에 측방으로 위치하고 제2 커패시터 전극(18c)과 제1 커패시터 전극(20c) 사이에 횡방향으로 위치한다. 하나의 실시예에서, 강유전성 물질(19c)은 측부 표면(44)을 갖는 측방으로 이격된 벽들(45)(도 5)을 포함한다. 커패시터(14c)는 제1 및 제2 커패시터 전극(20c 및 18c) 중 하나에서부터 강유전성 물질(19c)을 통해 다른 하나까지의 내생적 전류 누설 경로(22)를 포함한다.
병렬 전류 누설 경로(26c)는 제2 커패시터 전극(18c)과 제1 커패시터 전극(20c)의 베이스(40)의 표면(41) 사이에 있다. 병렬 경로(26)는 회로-병렬 내생 경로(22)이고 내상 경로(22)보다 낮은 총 전항을 가진다. 하나의 실시예에서, 병렬 경로(26c)는 0.4 eV 내지 5.0 eV의, 그리고 하나의 실시예에서 강유전성 물질(19c)의 밴드 갭보다 낮은 우세 밴드 갭을 갖는 물질(34c) 내에 그리고 물질을 통과한다. 도 5는 병렬 경로(26c)의 최소 길이가 강유전성 물질(19c)의 최소 두께의 2배를 초과하는 예시적 실시예를 도시한다. 하나의 실시예에서, 물질(34c)은 제1 커패시터 전극(42)의 베이스(40)의 표면(41)에 직접 맞댄다. 하나의 실시예에서, 물질(34c)은 강유전성 물질(19c)의 측방으로 이격된 벽(45)의 측부 표면(44)에 직접 맞대고 있다. 선택 장치(12)(도시되지 않음)가 커패시터(14c)와 전기적으로 직렬 연결될 것이며, 특히 제1 커패시터 전극(20c) 또는 제2 커패시터 전극(18c) 중 하나와 전기적으로 직렬 연결된다. 하나의 실시예에서 그리고 도시된 바와 같이, 물질(34c)은 제1 커패시터 전극(20c)의 측방으로 이격된 벽(42)들의 측부 표면(43)에 직접 맞대고 있지 않다. 하나의 실시예에서 그리고 도시된 바와 같이, 제1 커패시터 전극(20c)은 환형부(48)를 포함하고, 하나의 실시예에서 강유전성 물질(19c)은 환형부(50)를 포함한다. 그 밖의 다른 임의의 속성(들) 또는 구조(들)이 앞서 기재된 바와 같이 사용될 수 있다.
임의의 적합한 기법은 도 5 및 6 구조를 만들기 위해 사용될 수 있다. 예를 들어, 제1 커패시터 전극(20c) 및 강유전성 물질(19c)이 유전체 물질 내 개구부 내 각자의 라이닝(lining)으로서 형성될 수 있다(도시되지 않음). 그 후, 강유전성 물질(19c)이 이의 베이스를 통해 이방성으로 에칭되어, 도 5에 도시된 바와 같이 물질(19c) 구성을 생성할 수 있다. 그 후 물질(34c)은 증착 및 에칭 백(etch back)되어, 도 5에 도시된 바와 같은 구조를 생성할 수 있고, 그 후 물질(18c)의 증착 및 폴리시 백(polish-back) 또는 에칭 백이 뒤 따른다.
도 7은 도 5 및 6에 도시된 것의 대안 실시예 메모리 셀(10d)을 도시한다. 앞서 기재된 실시예에서의 유사한 번호가 경우에 따라 사용되었으며, 일부 구성 차이는 접미사 "d" 또는 상이한 번호로 지시된다. 강유전성 물질(19d)은 베이스(54)를 가지며, 상기 베이스로부터 측방으로 이격된 벽(45)들이 뻗어 있다. 물질(34d)은 강유전성 물질(19d)의 베이스(54)를 통해 뻗어 있다. 하나의 실시예에서 그리고 도시된 바와 같이, 물질(34d)은 강유전성 물질(19d)의 측방으로 이격된 벽(45)들의 측부 표면(44)에 직접 맞대지 않는다. 선택 장치(12)(도시되지 않음)가 커패시터(14d)와 전기적으로 직렬 연결될 것이며, 특히 커패시터 전극(18d 또는 20c) 중 하나에 전기적으로 직렬 연결될 것이다. 임의의 적합한 기법이 물론 도 7의 구조를 만들기 위해 사용될 수 있다. 예를 들어, 제1 커패시터 전극(20c) 및 강유전성 물질(19d)이 유전체 물질 내 개구부 내 각자의 라이닝(lining)으로서 형성될 수 있다(도시되지 않음). 그 후, 물질(18d)은, 물질(34d)의 측방 폭과 동일한 측방 폭을 갖는 빈 공간을 남겨두면서, 강유전성 물질(19d)을 갖는 나머지 개구부 내에 라이닝으로서 이의 측벽으로서 형성될 수 있다. 그 후 물질(18d) 라이닝은 이의 베이스를 통해 이방성으로 에칭될 수 있다. 그 후 강유전성 물질(19d)의 베이스를 통해 물질(20c)까지 에칭하여 도 7에 도시된 물질(19d)의 최종 구조를 생성하는 것이 뒤 따른다. 그 후 물질(34d)은 증착 및 에칭 백되어, 이의 최종 구조를 생성할 수 있고, 그 후 물질(18d)의 증착 및 폴리시 백(polish-back) 또는 에칭 백이 뒤 따른다. 그 밖의 다른 임의의 속성(들) 또는 구조(들)이 앞서 기재된 바와 같이 사용될 수 있다.
또 다른 실시예의 메모리 셀(10e)이 도 8에 도시된다. 앞서 기재된 실시예에서의 유사한 번호가 경우에 따라 사용되었으며, 일부 구성 차이는 접미사 "e" 또는 상이한 번호로 지시된다. 제1 커패시터 전극(20c)은 베이스(40)를 갖는지 여부에 무관하게, 측방으로 이격된 벽(42)을 가진다. 병렬 전류 누설 경로(26e)는 제2 커패시터 전극(18c)과 제1 커패시터 전극(20c)의 측방으로 이격된 벽(42)의 표면(60) 사이에 있다. 하나의 실시예에서 그리고 도시된 바와 같이, 표면(60)은 제1 커패시터 전극(20c)의 측방으로 이격된 벽(42)들의 측부 표면을 포함한다. 이와 무관하게, 하나의 실시예에서 그리고 도시된 바와 같이, 물질(34e)이 제1 커패시터 전극(20c)의 벽(42)의 표면(60)에 직접 맞대고 있다. 제1 커패시터 전극(20c)이 베이스(40)를 갖고 상기 베이스로부터 측방으로 이격된 벽(42)이 뻗어 있는 하나의 실시예에서, 물질(34e)은 제1 커패시터 전극(20c)의 베이스(40)의 표면(61)에 직접 맞댄다. 선택 장치(12)(도시되지 않음)가 커패시터(14e)와 전기적으로 직렬 연결될 것이며, 특히 커패시터 전극(18c 또는 20c) 중 하나에 전기적으로 직렬 연결될 것이다. 임의의 적합한 기법이 물론 도 8의 구조를 만들기 위해 사용될 수 있다. 예를 들어, 제1 커패시터 전극(20c)이 유전체 물질 내 개구부 내 라이닝으로서 형성될 수 있다(도시되지 않음). 그 후 물질(34e)이 증착 및 에칭 백되어 도 8에 도시된 바와 같은 이의 구조를 생성할 수 있다. 그 후 강유전성 물질(19e)을 나머지 개구부 내 라이닝으로서 증착하고, 뒤이어 물질(19e)의 베이스를 통해 이를 이방성으로 에칭하는 것이 뒤 따른다. 그 후 물질(18c)이 증착 및 폴리시 또는 에칭 백되어 이의 도시된 최종 구조가 도출될 수 있다. 그 밖의 다른 임의의 속성(들) 또는 구조(들)이 앞서 기재된 바와 같이 사용될 수 있다.
또 다른 실시예의 메모리 셀(10f)이 도 9 및 10에 도시된다. 앞서 기재된 실시예에서의 유사한 번호가 경우에 따라 사용되었으며, 일부 구성 차이는 접미사 "f" 또는 상이한 번호로 지시된다. 병렬 전류 누설 경로(26f)가 제2 커패시터 전극(18f)과 제1 커패시터 전극(20c)의 측방으로 이격된 벽(42)의 표면 사이에 있다는 점에서 메모리 셀(10f)이 메모리 셀(10e)과 다소 유사하다. 그러나 메모리 셀(10f)에서, 이러한 표면은 제1 커패시터 전극(20c)의 측방으로 이격된 벽(42)의 높이 방향으로 최외부 표면(65)을 포함한다. 또한 하나의 실시예에서 그리고 도시된 바와 같이, 물질(34f)이 강유전성 물질(19f)의 높이 방향으로 최외부인 표면(66)에 직접 맞대고 있다. 또한 하나의 실시예에서 그리고 도시된 바와 같이, 물질(34f)은 환형부(70)를 포함한다. 물론 임의의 적합한 기법은 도 9 및 도 10 구조를 만들기 위해 사용될 수 있다. 예를 들어, 제1 커패시터 전극(20c) 및 강유전성 물질(19f)이 유전체 물질 내 개구부 내 각자의 라이닝(lining)으로서 형성될 수 있다(도시되지 않음). 그 후 물질(18f)은 증착되어 강유전성 물질(19f)을 갖는 나머지 개구부를 측벽으로서 채울 수 있다. 그 후 물질(20c, 19f, 및 18f)이 표면(65 및 66)의 높이까지 집합적으로 에칭 또는 폴리시 백될 수 있다. 그 후 물질(34f)은 나머지 개구부 내 라이닝으로서 증착될 수 있고 에칭 물질(34f)을 이의 베이스를 통해 이방성 에칭하여 도 9 및 10에 도시된 바와 같은 이의 최종 구조를 생성할 수 있다. 그 후 나머지 물질(18f)이 증착 및 폴리시 또는 에칭 백되어 이의 도시된 최종 구조가 도출될 수 있다. 그 밖의 다른 임의의 속성(들) 또는 구조(들)이 앞서 기재된 바와 같이 사용될 수 있다.
하나의 실시예에서, 메모리 셀(가령, 10e 또는 10f)은 환형부(48)를 포함하는 제1 커패시터 전극(20c)을 가진다. 제2 커패시터 전극(18c/18f)은 제1 커패시터 전극(20c)의 환형부(48) 내에 방사형으로 위치한다. 강유전성 물질(19e/19f)은 제1 커패시터 전극(20c)의 환형부(48) 내에 방사형으로 위치한다. 커패시터(14e/14f)가 제1 커패시터 전극 및 제2 커패시터 전극 중 하나에서부터 강유전성 물질(19e/19f)을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생적 전류 누설 경로(22)를 포함한다. 병렬 전류 누설 경로(26e/26f)는 제2 커패시터 전극(18c/18f)과 제1 커패시터 전극(20c)의 환형부(48)의 표면 사이에 있다. 병렬 경로(26e/26f)는 회로-병렬 내생 경로(22)이고 내상 경로(22)보다 낮은 총 전항을 가진다.
하나의 실시예에서, 물질(34f)은 환형부(70)를 포함한다. 하나의 실시예에서, 물질(34f)이 환형부(48)의 높이 방향으로 최외부 표면(65)에 직접 맞대고 있다. 하나의 실시예에서, 강유전성 물질(19f)은 환형부(50f)를 포함하고 물질(34f)은 환형부(50f)의 높이 방향으로 최외부 표면(66)에 직접 맞대고 있다. 그 밖의 다른 임의의 속성(들) 또는 구조(들)이 앞서 기재된 바와 같이 사용될 수 있다.
결론
일부 실시예에서, 메모리 셀은 선택 장치 및 전기적으로 선택 장치와 직렬 연결된 커패시터를 포함한다. 커패시터는 그 사이에 강유전성 물질을 갖는 2개의 전도성 커패시터 전극을 가진다. 커패시터는 커패시터 전극들 중 하나에서부터 강유전성 물질을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생적 전류 누설 경로를 포함한다. 하나의 커패시터 전극에서 다른 커패시터 전극까지의 병렬 전류 누설 경로가 존재한다. 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 내생 경로보다 낮은 총 전항을 가진다.
일부 실시예에서, 메모리 셀은 선택 장치 및 전기적으로 선택 장치와 직렬 연결된 커패시터를 포함한다. 커패시터는 그 사이에 강유전성 물질을 갖는 2개의 전도성 커패시터 전극을 가진다. 커패시터는 커패시터 전극들 중 하나에서부터 강유전성 물질을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생적 전류 누설 경로를 포함한다. 하나의 커패시터 전극에서 다른 한 커패시터 전극까지의 병렬 전류 누설 경로가 존재한다. 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 0.4　eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 가진다.
일부 실시예에서, 메모리 셀은 선택 장치 및 전기적으로 선택 장치와 직렬 연결된 커패시터를 포함한다. 커패시터는 베이스 및 상기 베이스로부터 뻗어 있는 측방으로 이격된 벽을 갖는 제1 전도성 커패시터 전극을 포함한다. 제2 전도성 커패시터 전극은 제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 측방으로 위치한다. 강유전성 물질은 측방으로 제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 위치하고 측방으로 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극 사이에 위치한다. 커패시터는 제1 및 제2 커패시터 전극 중 하나에서부터 강유전성 물질을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생적 전류 누설 경로를 포함한다. 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 베이스의 표면 사이에 병렬 전류 누설 경로가 존재한다. 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 내생 경로보다 낮은 총 전항을 가진다.
일부 실시예에서, 메모리 셀은 선택 장치 및 전기적으로 선택 장치와 직렬 연결된 커패시터를 포함한다. 커패시터는 측방으로 이격된 벽들을 갖는 제1 전도성 커패시터 전극을 포함한다. 제2 전도성 커패시터 전극은 제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 측방으로 위치한다. 강유전성 물질은 측방으로 제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 위치하고 측방으로 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극 사이에 위치한다. 커패시터는 제1 및 제2 커패시터 전극 중 하나에서부터 강유전성 물질을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생적 전류 누설 경로를 포함한다. 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽들의 표면 사이에 병렬 전류 누설 경로가 존재한다. 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 내생 경로보다 낮은 총 전항을 가진다.
일부 실시예에서, 메모리 셀은 선택 장치 및 전기적으로 선택 장치와 직렬 연결된 커패시터를 포함한다. 커패시터는 환형부를 포함하는 제1 전도성 커패시터 전극을 포함한다. 제2 전도성 커패시터 전극은 제1 커패시터 전극의 벽들 내에 방사형으로 위치한다. 강유전성 물질은 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극 사이의 제1 커패시터 전극의 환형부 내에 방사형으로 위치한다. 커패시터는 제1 및 제2 커패시터 전극 중 하나에서부터 강유전성 물질을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생적 전류 누설 경로를 포함한다. 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 환형부의 표면 사이에 병렬 전류 누설 경로가 존재한다. 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 내생 경로보다 낮은 총 전항을 가진다.
적법하게, 본 명세서에 개시된 주제 사항은 구조 및 방법의 특징에 더 특정적이거나 덜 특정적인 언어로 기재되었다. 그러나 본 명세서에 개시된 수단이 예시적 실시예를 포함하기 때문에 특허청구범위는 도시되고 기재된 특정 특징부에 한정되지 않음이 이해될 것이다. 따라서 특허청구범위는 문자로 쓰여진 바와 같은 전체 범위를 가지며, 균등론에 따라 적절하게 해석될 것이다.

Claims (37)

  1. 선택 장치,
    상기 선택 장치와 전기적으로 직렬 연결된 커패시터 - 상기 커패시터는 사이에 강유전성 물질을 갖는 2개의 전도성 커패시터 전극을 포함하며, 상기 커패시터는 커패시터 전극들 중 하나에서부터 상기 강유전성 물질을 통해 다른 한 커패시터 전극까지의 내생 전류 누설 경로를 포함함 - , 및
    하나의 커패시터 전극에서부터 다른 한 커패시터 전극으로의 병렬 전류 누설 경로 - 상기 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 상기 내생 경로보다 낮은 총 저항을 가짐 - 를 포함하는, 메모리 셀.
  2. 제1항에 있어서, 동작 중에 선택 장치는 메모리 셀이 유휴 상태인 때 전류 누설을 보이고, 병렬 경로는 메모리 셀이 유휴 상태인 때 통과하는 전류가 메모리 셀이 유휴 상태인 때의 선택 장치의 전류 누설보다 크거나 동일하도록 구성되는, 메모리 셀.
  3. 제2항에 있어서, 병렬 경로는 메모리 셀이 유휴 상태인 때 통과하는 전류가 최대 1 나노암페어이도록 구성되는, 메모리 셀.
  4. 제1항에 있어서, 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 가지며 강유전성 물질의 우세 밴드 갭보다 낮은, 메모리 셀.
  5. 제1항에 있어서, 동작 중에 유휴 상태일 때의 커패시터 양단의 전압 차이가 강유전성 물질 내 전기장이 강유전성 장 물질의 내생적 보자력 장보다 적어도 20배이도록 정해지는, 메모리 셀.
  6. 제1항에 있어서, 병렬 경로는 강유전성 물질에 직접 맞대고 있는, 메모리 셀.
  7. 제6항에 있어서, 병렬 경로는 각각 강유전성 물질에 직접 맞대고 있는 2개의 측방 측부를 갖는, 메모리 셀.
  8. 제1항에 있어서, 병렬 경로는 저 전압보다 고 전압에서 고 저항을 보이는 2개의 커패시터 전극 사이의 비선형 저항기를 포함하는, 메모리 셀.
  9. 제1항에 있어서, 병렬 경로는 2개의 커패시터 전극 사이의 강유전성 물질의 최소 두께보다 큰 최소 길이를 갖는, 메모리 셀.
  10. 제9항에 있어서, 병렬 경로의 최소 길이는 강유전성 물질의 최소 두께의 적어도 2배인, 메모리 셀.
  11. 제9항에 있어서, 병렬 경로의 최소 길이는 강유전성 물질의 최소 두께의 30% 내인, 메모리 셀.
  12. 제9항에 있어서, 강유전성 물질의 우세 밴드 갭이 병렬 경로의 우세 밴드 갭과 동일하거나 미만인, 메모리 셀.
  13. 제1항에 있어서, 병렬 경로는 2개의 커패시터 전극들 사이의 강유전성 물질의 최소 두께의 5% 내인 최소 길이를 갖는, 메모리 셀.
  14. 선택 장치,
    상기 선택 장치와 전기적으로 직렬 연결된 커패시터 - 상기 커패시터는 사이에 강유전성 물질을 갖는 2개의 전도성 커패시터 전극을 포함하며, 상기 커패시터는 커패시터 전극들 중 하나에서부터 상기 강유전성 물질을 통해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생 전류 누설 경로를 포함함 - , 및
    하나의 커패시터 전극에서부터 다른 한 커패시터 전극으로의 병렬 전류 누설 경로 - 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고, 병렬 전류 누설 경로는 0.4　eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 가짐 - 를 포함하는, 메모리 셀.
  15. 제14항에 있어서, 상기 병렬 경로의 우세 밴드 갭은 강유전성 물질의 우세 밴드 갭보다 작은, 메모리 셀.
  16. 제14항에 있어서, 상기 병렬 경로는 비정질 실리콘, 다결정질 실리콘, 및 게르마늄 중 하나 이상을 우세하게 포함하는, 메모리 셀.
  17. 제14항에 있어서, 상기 병렬 경로는 하나 이상의 칼코게나이드를 우세하게 포함하는, 메모리 셀.
  18. 제14항에 있어서, 상기 병렬 경로는 실리콘-풍부 실리콘 니트라이드, 실리콘-풍부 실리콘 옥사이드, 및 전도도 증가 도펀트로 도핑된 내생적 유전체 물질 중 하나 이상을 우세하게 포함하는, 메모리 셀.
  19. 제14항에 있어서, 2개의 커패시터 전극 사이에서 병렬 경로는 균질한, 메모리 셀.
  20. 제14항에 있어서, 2개의 커패시터 전극 사이에서 상기 병렬 경로는 불 균질한, 메모리 셀.
  21. 선택 장치,
    상기 선택 장치와 전기적으로 직렬 연결된 커패시터 - 상기 커패시터는
    베이스 및 상기 베이스로부터 뻗어 있는 측방으로 이격된 벽을 갖는 제1 전도성 커패시터 전극,
    제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 측방으로 위치하는 제2 전도성 커패시터 전극, 및
    제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 측방으로 위치하고 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극 사이에 측방으로 위치하는 강유전성 물질을 포함하며, 상기 커패시터는 상기 제1 커패시터 전극과 제2 커패시터 전극 중 하나에서부터 상기 강유전성 물질을 통과해 다른 한 커패시터 전극까지의 내생 전류 누설 경로를 포함함 - , 및
    제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 베이스의 표면 사이의 병렬 전류 누설 경로 - 상기 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 상기 내생 경로보다 낮은 총 저항을 가짐 - 를 포함하는, 메모리 셀.
  22. 제21항에 있어서, 상기 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 베이스의 표면 사이에서 상기 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 그리고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 제1 커패시터 전극의 베이스의 표면에 직접 맞대고 있는, 메모리 셀.
  23. 제22항에 있어서, 강유전성 물질은 측부 표면을 갖는 측방으로 이격된 벽을 포함하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질이 강유전성 물질의 측방으로 이격된 벽의 측부 표면에 직접 맞대고 있는, 메모리 셀.
  24. 제21항에 있어서, 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 베이스의 표면 사이에서 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 있고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽의 측방 측부 표면에 직접 맞대고 있지 않는, 메모리 셀.
  25. 제21항에 있어서,
    강유전성 물질은 베이스 및 상기 베이스로부터 뻗어 있는 측방으로 이격된 벽을 가지며,
    제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 베이스의 표면 사이에서 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 있고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 강유전성 물질의 베이스를 통해 뻗어 있는, 메모리 셀.
  26. 제25항에 있어서, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 강유전성 물질의 측방으로 이격된 벽의 측방 측부 표면에 직접 맞대고 있지 않는, 메모리 셀.
  27. 선택 장치,
    상기 선택 장치와 전기적으로 직렬 연결된 커패시터, 상기 커패시터는
    측방으로 이격된 벽을 갖는 제1 전도성 커패시터 전극,
    제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 측방으로 위치하는 제2 전도성 커패시터 전극, 및
    제1 커패시터 전극의 벽들 사이에 측방으로 위치하고 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극 사이에 측방으로 위치하는 강유전성 물질을 포함하며, 상기 커패시터는 제1 커패시터 전극과 제2 커패시터 전극 중 하나에서부터 상기 강유전성 물질을 통과해 다른 하나의 커패시터 전극까지의 내생 전류 누설 경로를 포함함 - , 및
    제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽의 표면 사이의 병렬 전류 누설 경로 - 상기 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 상기 내생 경로보다 낮은 총 저항을 가짐 - 를 포함하는,
    메모리 셀.
  28. 제27항에 있어서, 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽의 표면 사이에서 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 있고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽의 표면에 직접 맞대고 있는, 메모리 셀.
  29. 제28항에 있어서, 표면은 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽의 측방 측부 표면을 포함하는, 메모리 셀.
  30. 제28항에 있어서, 표면은 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽의 높이 방향으로 최외부인 표면을 포함하는, 메모리 셀.
  31. 제30항에 있어서, 강유전성 물질은 높이 방향으로 최외부인 표면을 포함하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 강유전성 물질의 높이 방향으로 최외부인 표면에 직접 맞대고 있는, 메모리 셀.
  32. 제28항에 있어서, 제1 커패시터 전극은 베이스를 가지며 상기 베이스로부터 측방으로 이격된 벽이 뻗어 있고, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 제1 커패시터 전극의 베이스의 표면에 직접 맞대고 있는, 메모리 셀.
  33. 제27항에 있어서, 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 측방으로 이격된 벽의 표면 사이에서 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 있고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 환형부를 포함하는, 메모리 셀.
  34. 선택 장치,
    상기 선택 장치와 전기적으로 직렬 연결된 커패시터 - 상기 커패시터는
    환형부를 포함하는 제1 전도성 커패시터 전극,
    제1 커패시터 전극의 환형부 내에 방사형으로 존재하는 제2 전도성 커패시터 전극, 및
    제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극 사이에서 제1 커패시터 전극의 환형부 내 방사형으로 존재하는 강유전성 물질을 포함하고, 상기 커패시터는 제1 커패시터 전극 및 제2 커패시터 전극 중 하나에서부터 상기 강유전성 물질을 통해 다른 한 커패시터 전극까지의 내생 전류 누설 경로를 포함함 - , 및
    제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 환형부의 표면 사이의 병렬 전류 누설 경로 - 상기 병렬 전류 누설 경로는 내생 경로에 회로-병렬이고 상기 내생 경로보다 낮은 총 저항을 가짐 - 를 포함하는, 메모리 셀.
  35. 제34항에 있어서, 제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 환형부의 표면 사이에서 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 있고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 환형부를 포함하는, 메모리 셀.
  36. 제34항에 있어서,
    환형부의 표면은 환형부의 높이 방향으로 최외부 표면이며,
    제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 환형부의 표면 사이에서 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 있고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 환형부의 높이 방향으로 최외부 표면에 직접 맞대어 있는, 메모리 셀.
  37. 제34항에 있어서,
    강유전성 물질은 높이 방향으로 최외부 표면을 갖는 환형부를 포함하고,
    제2 커패시터 전극과 제1 커패시터 전극의 환형부의 표면 사이에서 병렬 경로는 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질 내에 있고 상기 물질을 통과하며, 0.4 eV 내지 5.0 eV의 우세 밴드 갭을 갖는 물질은 강유전성 물질의 높이 방향으로 최외부 표면에 직접 맞대어 있는, 메모리 셀.
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Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9337210B2 (en) 2013-08-12 2016-05-10 Micron Technology, Inc. Vertical ferroelectric field effect transistor constructions, constructions comprising a pair of vertical ferroelectric field effect transistors, vertical strings of ferroelectric field effect transistors, and vertical strings of laterally opposing pairs of vertical ferroelectric field effect transistors
US9263577B2 (en) 2014-04-24 2016-02-16 Micron Technology, Inc. Ferroelectric field effect transistors, pluralities of ferroelectric field effect transistors arrayed in row lines and column lines, and methods of forming a plurality of ferroelectric field effect transistors
US9472560B2 (en) 2014-06-16 2016-10-18 Micron Technology, Inc. Memory cell and an array of memory cells
US9159829B1 (en) 2014-10-07 2015-10-13 Micron Technology, Inc. Recessed transistors containing ferroelectric material
US9276092B1 (en) 2014-10-16 2016-03-01 Micron Technology, Inc. Transistors and methods of forming transistors
US9305929B1 (en) 2015-02-17 2016-04-05 Micron Technology, Inc. Memory cells
US9853211B2 (en) 2015-07-24 2017-12-26 Micron Technology, Inc. Array of cross point memory cells individually comprising a select device and a programmable device
US10134982B2 (en) 2015-07-24 2018-11-20 Micron Technology, Inc. Array of cross point memory cells
US10396145B2 (en) * 2017-01-12 2019-08-27 Micron Technology, Inc. Memory cells comprising ferroelectric material and including current leakage paths having different total resistances
US11222921B2 (en) * 2017-08-29 2022-01-11 Intel Corporation Selector devices
US10650978B2 (en) * 2017-12-15 2020-05-12 Micron Technology, Inc. Methods of incorporating leaker devices into capacitor configurations to reduce cell disturb
US10347322B1 (en) * 2018-02-20 2019-07-09 Micron Technology, Inc. Apparatuses having memory strings compared to one another through a sense amplifier
US10923493B2 (en) 2018-09-06 2021-02-16 Micron Technology, Inc. Microelectronic devices, electronic systems, and related methods
US10615288B1 (en) 2018-10-24 2020-04-07 International Business Machines Corporation Integration scheme for non-volatile memory on gate-all-around structure
US10700093B1 (en) 2018-12-20 2020-06-30 Sandisk Technologies Llc Ferroelectric memory devices employing conductivity modulation of a thin semiconductor material or a two-dimensional charge carrier gas and methods of operating the same
US11177284B2 (en) 2018-12-20 2021-11-16 Sandisk Technologies Llc Ferroelectric memory devices containing a two-dimensional charge carrier gas channel and methods of making the same
US10833092B2 (en) * 2019-01-23 2020-11-10 Micron Technology, Inc. Methods of incorporating leaker-devices into capacitor configurations to reduce cell disturb, and capacitor configurations incorporating leaker-devices
KR102664403B1 (ko) 2019-02-18 2024-05-09 삼성전자주식회사 반도체 장치 및 이를 제조하는 방법
US10804274B2 (en) 2019-02-27 2020-10-13 International Business Machines Corporation Co-integration of non-volatile memory on gate-all-around field effect transistor
US11170834B2 (en) * 2019-07-10 2021-11-09 Micron Technology, Inc. Memory cells and methods of forming a capacitor including current leakage paths having different total resistances
US11177266B2 (en) 2019-08-26 2021-11-16 Micron Technology, Inc. Array of capacitors, an array of memory cells, a method of forming an array of capacitors, and a method of forming an array of memory cells
US11101274B2 (en) 2019-12-05 2021-08-24 Micron Technology, Inc. Ferroelectric capacitor, a ferroelectric memory cell, an array of ferroelectric memory cells, and a method of forming a ferroelectric capacitor
US11107516B1 (en) 2020-02-24 2021-08-31 Sandisk Technologies Llc Ferroelectric memory devices containing a two-dimensional charge carrier gas channel and methods of making the same
US11672128B2 (en) * 2020-07-20 2023-06-06 Micron Technology, Inc. Methods of incorporating leaker devices into capacitor configurations to reduce cell disturb, and capacitor configurations incorporating leaker devices
US11355531B1 (en) 2020-11-30 2022-06-07 Micron Technology, Inc. Array of capacitors, an array of memory cells, method used in forming an array of memory cells, methods used in forming an array of capacitors, and methods used in forming a plurality of horizontally-spaced conductive lines
US11557593B2 (en) 2020-11-30 2023-01-17 Micron Technology, Inc. Array of memory cells, methods used in forming an array of memory cells, methods used in forming an array of vertical transistors, and methods used in forming an array of capacitors
US11706927B2 (en) 2021-03-02 2023-07-18 Micron Technology, Inc. Memory devices and methods of forming memory devices
US11418197B1 (en) * 2021-05-21 2022-08-16 Kepler Computing Inc. Majority logic gate having paraelectric input capacitors and a local conditioning mechanism
US11290111B1 (en) 2021-05-21 2022-03-29 Kepler Computing Inc. Majority logic gate based and-or-invert logic gate with non-linear input capacitors
US11695072B2 (en) 2021-07-09 2023-07-04 Micron Technology, Inc. Integrated assemblies and methods of forming integrated assemblies
US11917834B2 (en) 2021-07-20 2024-02-27 Micron Technology, Inc. Integrated assemblies and methods of forming integrated assemblies
US11641205B1 (en) 2021-10-01 2023-05-02 Kepler Computing Inc. Reset mechanism for a chain of majority or minority gates having paraelectric material
US11664370B1 (en) 2021-12-14 2023-05-30 Kepler Corpating inc. Multi-function paraelectric threshold gate with input based adaptive threshold
US11705905B1 (en) 2021-12-14 2023-07-18 Kepler Computing, Inc. Multi-function ferroelectric threshold gate with input based adaptive threshold
US11750197B1 (en) 2022-04-20 2023-09-05 Kepler Computing Inc. AND-OR-invert logic based on a mix of majority OR minority logic gate with non-linear input capacitors and other logic gates

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010024021A (ko) * 1997-09-15 2001-03-26 개리 에프. 데벤위크 션티드강유전성커패시터를 가진 강유전성메모리셀 및 그제조방법
US6256220B1 (en) * 1997-09-15 2001-07-03 Celis Semiconductor Corporation Ferroelectric memory with shunted isolated nodes
KR20060048987A (ko) * 2004-08-05 2006-05-18 삼성전자주식회사 강유전체 캐패시터, 그 제조 방법 및 강유전체 메모리 소자
US20060118841A1 (en) * 2004-12-03 2006-06-08 Texas Instruments Incorporated Ferroelectric capacitor with parallel resistance for ferroelectric memory
US20070108524A1 (en) * 2004-08-05 2007-05-17 Broadcom Corporation Low threshold voltage PMOS apparatus and method of fabricating the same
US20140269002A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-18 Crossbar, Inc. Two-terminal memory with intrinsic rectifying characteristic
US20140269046A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for use in selecting or isolating memory cells

Family Cites Families (229)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4070653A (en) 1976-06-29 1978-01-24 Texas Instruments Incorporated Random access memory cell with ion implanted resistor element
US5565695A (en) 1995-04-21 1996-10-15 Johnson; Mark B. Magnetic spin transistor hybrid circuit element
ATE223108T1 (de) 1995-04-24 2002-09-15 Infineon Technologies Ag Halbleiter-speichervorrichtung unter verwendung eines ferroelektrischen dielektrikums und verfahren zur herstellung
JP2921468B2 (ja) 1996-02-19 1999-07-19 日本電気株式会社 半導体メモリ装置
JPH1093083A (ja) 1996-09-18 1998-04-10 Toshiba Corp 半導体装置の製造方法
DE19640215C1 (de) 1996-09-30 1998-02-19 Siemens Ag Integrierte Halbleiterspeicheranordnung mit "Buried-Plate-Elektrode"
JP3587004B2 (ja) 1996-11-05 2004-11-10 ソニー株式会社 半導体メモリセルのキャパシタ構造及びその作製方法
US6336544B1 (en) 1999-03-01 2002-01-08 Casinovations Incorporated Coin collection system
JP3668790B2 (ja) * 1997-03-31 2005-07-06 岩崎電気株式会社 始動器内蔵形高圧蒸気放電灯
US6288431B1 (en) 1997-04-04 2001-09-11 Nippon Steel Corporation Semiconductor device and a method of manufacturing the same
JPH1140683A (ja) 1997-07-22 1999-02-12 Hitachi Ltd 半導体記憶装置及びその製造方法
KR100269306B1 (ko) * 1997-07-31 2000-10-16 윤종용 저온처리로안정화되는금속산화막으로구성된완충막을구비하는집적회로장치및그제조방법
JP3373403B2 (ja) 1997-09-16 2003-02-04 帝人株式会社 スェード調人工皮革の製造方法
JPH11274429A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Toshiba Corp 半導体記憶装置
KR100292819B1 (ko) * 1998-07-07 2001-09-17 윤종용 커패시터및그의제조방법
US20030001189A1 (en) 2000-02-24 2003-01-02 Tetsuo Fujiwara Ferroelectric capacitor and semiconductor device
US6249014B1 (en) * 1998-10-01 2001-06-19 Ramtron International Corporation Hydrogen barrier encapsulation techniques for the control of hydrogen induced degradation of ferroelectric capacitors in conjunction with multilevel metal processing for non-volatile integrated circuit memory devices
JP3743189B2 (ja) 1999-01-27 2006-02-08 富士通株式会社 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法
US6242299B1 (en) * 1999-04-01 2001-06-05 Ramtron International Corporation Barrier layer to protect a ferroelectric capacitor after contact has been made to the capacitor electrode
US6236076B1 (en) 1999-04-29 2001-05-22 Symetrix Corporation Ferroelectric field effect transistors for nonvolatile memory applications having functional gradient material
US6611014B1 (en) * 1999-05-14 2003-08-26 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor device having ferroelectric capacitor and hydrogen barrier film and manufacturing method thereof
US6370056B1 (en) 2000-03-10 2002-04-09 Symetrix Corporation Ferroelectric memory and method of operating same
KR100747369B1 (ko) 1999-09-30 2007-08-07 로무 가부시키가이샤 불휘발성 메모리
DE19959084B4 (de) 1999-12-08 2005-05-12 Schott Ag Organisches LED-Display und Verfahren zu seiner Herstellung
US6635528B2 (en) * 1999-12-22 2003-10-21 Texas Instruments Incorporated Method of planarizing a conductive plug situated under a ferroelectric capacitor
US6417537B1 (en) 2000-01-18 2002-07-09 Micron Technology, Inc. Metal oxynitride capacitor barrier layer
JP4938921B2 (ja) 2000-03-16 2012-05-23 康夫 垂井 トランジスタ型強誘電体不揮発性記憶素子
US20020036313A1 (en) 2000-06-06 2002-03-28 Sam Yang Memory cell capacitor structure and method of formation
GB2366666B (en) 2000-09-11 2002-12-04 Toshiba Res Europ Ltd An optical device and method for its manufacture
US6339544B1 (en) 2000-09-29 2002-01-15 Intel Corporation Method to enhance performance of thermal resistor device
US20020102808A1 (en) 2001-01-31 2002-08-01 Skyland Pu Method for raising capacitance of a trench capacitor and reducing leakage current
US6448601B1 (en) 2001-02-09 2002-09-10 Micron Technology, Inc. Memory address and decode circuits with ultra thin body transistors
US6566192B2 (en) * 2001-02-27 2003-05-20 Nanya Technology Corporation Method of fabricating a trench capacitor of a memory cell
KR100407575B1 (ko) 2001-04-18 2003-12-01 삼성전자주식회사 강유전체 메모리 장치 및 그 형성 방법
US6717215B2 (en) 2001-06-21 2004-04-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Memory structures
US6717195B2 (en) 2001-06-29 2004-04-06 Rohm Co., Ltd. Ferroelectric memory
JP2003045174A (ja) 2001-08-01 2003-02-14 Sharp Corp 半導体記憶装置
US20030063740A1 (en) * 2001-08-20 2003-04-03 Sagar Richard B. Method of providing multilevel quality signals
TW508808B (en) 2001-09-14 2002-11-01 Winbond Electronics Corp Stacked type capacitor structure and its manufacturing method
US6665207B2 (en) 2001-11-14 2003-12-16 Micron Technology, Inc. ROM embedded DRAM with dielectric removal/short
US7075134B2 (en) 2001-11-29 2006-07-11 Symetrix Corporation Ferroelectric and high dielectric constant integrated circuit capacitors with three-dimensional orientation for high-density memories, and method of making the same
KR100799129B1 (ko) 2001-12-24 2008-01-29 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리 소자의 캐패시터 제조방법
CN1306599C (zh) 2002-03-26 2007-03-21 松下电器产业株式会社 半导体装置及其制造方法
US6579760B1 (en) 2002-03-28 2003-06-17 Macronix International Co., Ltd. Self-aligned, programmable phase change memory
JP2003289134A (ja) 2002-03-28 2003-10-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
US6940085B2 (en) 2002-04-02 2005-09-06 Hewlett-Packard Development Company, I.P. Memory structures
AU2003234818B8 (en) 2002-05-20 2009-03-26 Otsuka Pharmaceutical Co., Ltd. Chloasma amelioration composition and dullness amelioration composition
US6812509B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Palo Alto Research Center Inc. Organic ferroelectric memory cells
JP2004040059A (ja) 2002-07-08 2004-02-05 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置の製造方法および半導体記憶装置
US7884349B2 (en) 2002-08-02 2011-02-08 Unity Semiconductor Corporation Selection device for re-writable memory
US7186569B2 (en) 2002-08-02 2007-03-06 Unity Semiconductor Corporation Conductive memory stack with sidewall
US7009235B2 (en) 2003-11-10 2006-03-07 Unity Semiconductor Corporation Conductive memory stack with non-uniform width
US6897106B2 (en) 2002-08-16 2005-05-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Capacitor of semiconductor memory device that has composite Al2O3/HfO2 dielectric layer and method of manufacturing the same
KR100475116B1 (ko) * 2002-11-12 2005-03-11 삼성전자주식회사 산화알루미늄/산화하프늄 복합유전막을 가지는 반도체메모리 소자의 커패시터 및 그 제조 방법
US6744087B2 (en) 2002-09-27 2004-06-01 International Business Machines Corporation Non-volatile memory using ferroelectric gate field-effect transistors
JP4509467B2 (ja) 2002-11-08 2010-07-21 シャープ株式会社 不揮発可変抵抗素子、及び記憶装置
US6876021B2 (en) * 2002-11-25 2005-04-05 Texas Instruments Incorporated Use of amorphous aluminum oxide on a capacitor sidewall for use as a hydrogen barrier
JP4355136B2 (ja) 2002-12-05 2009-10-28 シャープ株式会社 不揮発性半導体記憶装置及びその読み出し方法
KR100493040B1 (ko) 2002-12-30 2005-06-07 삼성전자주식회사 반도체 소자의 커패시터 및 그 제조방법
KR100480644B1 (ko) 2003-02-28 2005-03-31 삼성전자주식회사 셀 구동 전류가 증가된 상 변화 메모리
JP4141861B2 (ja) 2003-03-03 2008-08-27 富士通株式会社 半導体装置及びその製造方法
US7755934B2 (en) 2003-03-18 2010-07-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Resistance change memory device
US6897472B2 (en) 2003-06-26 2005-05-24 Rj Mears, Llc Semiconductor device including MOSFET having band-engineered superlattice
KR100578212B1 (ko) 2003-06-30 2006-05-11 주식회사 하이닉스반도체 엠티피 구조의 강유전체 캐패시터 및 그 제조 방법
US7408212B1 (en) 2003-07-18 2008-08-05 Winbond Electronics Corporation Stackable resistive cross-point memory with schottky diode isolation
US7067385B2 (en) 2003-09-04 2006-06-27 Micron Technology, Inc. Support for vertically oriented capacitors during the formation of a semiconductor device
US7297602B2 (en) 2003-09-09 2007-11-20 Sharp Laboratories Of America, Inc. Conductive metal oxide gate ferroelectric memory transistor
US7001821B2 (en) * 2003-11-10 2006-02-21 Texas Instruments Incorporated Method of forming and using a hardmask for forming ferroelectric capacitors in a semiconductor device
US7816722B2 (en) 2004-02-04 2010-10-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Memory array
US7082052B2 (en) 2004-02-06 2006-07-25 Unity Semiconductor Corporation Multi-resistive state element with reactive metal
KR100626912B1 (ko) 2004-04-23 2006-09-20 주식회사 하이닉스반도체 불휘발성 강유전체 수직 전극 셀과 수직 전극 셀을 이용한불휘발성 강유전체 메모리 장치 및 그 수직 전극 셀 제조방법
US6995025B2 (en) 2004-06-21 2006-02-07 Sharp Laboratories Of America, Inc. Asymmetrical programming ferroelectric memory transistor
JP2006049566A (ja) 2004-08-04 2006-02-16 Toshiba Corp 半導体記憶装置及びその製造方法
KR100587396B1 (ko) 2004-08-13 2006-06-08 동부일렉트로닉스 주식회사 비휘발성 메모리 소자 및 그의 제조방법
US7378286B2 (en) 2004-08-20 2008-05-27 Sharp Laboratories Of America, Inc. Semiconductive metal oxide thin film ferroelectric memory transistor
US8154002B2 (en) 2004-12-06 2012-04-10 President And Fellows Of Harvard College Nanoscale wire-based data storage
JP4345676B2 (ja) 2005-01-12 2009-10-14 エルピーダメモリ株式会社 半導体記憶装置
KR100707181B1 (ko) 2005-02-14 2007-04-13 삼성전자주식회사 듀얼 스토리지 노드를 구비하는 반도체 메모리 장치와 그제조 및 동작 방법
US8003511B2 (en) 2008-12-19 2011-08-23 Unity Semiconductor Corporation Memory cell formation using ion implant isolated conductive metal oxide
US8270193B2 (en) 2010-01-29 2012-09-18 Unity Semiconductor Corporation Local bit lines and methods of selecting the same to access memory elements in cross-point arrays
US8937292B2 (en) 2011-08-15 2015-01-20 Unity Semiconductor Corporation Vertical cross point arrays for ultra high density memory applications
KR100695513B1 (ko) 2005-06-15 2007-03-15 주식회사 하이닉스반도체 반도체 소자의 제조방법
JP2007049016A (ja) 2005-08-11 2007-02-22 Nec Electronics Corp 半導体装置およびその製造方法
US7304339B2 (en) * 2005-09-22 2007-12-04 Agile Rf, Inc. Passivation structure for ferroelectric thin-film devices
JP2007157982A (ja) 2005-12-05 2007-06-21 Seiko Epson Corp トランジスタ型強誘電体メモリおよびその製造方法
US7982252B2 (en) 2006-01-27 2011-07-19 Hynix Semiconductor Inc. Dual-gate non-volatile ferroelectric memory
US7842990B2 (en) 2006-02-17 2010-11-30 Hynix Semiconductor Inc. Nonvolatile ferroelectric memory device including trench capacitor
JP4745108B2 (ja) 2006-04-06 2011-08-10 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
WO2008073529A2 (en) 2006-07-31 2008-06-19 Drexel University Integrated semiconductor and transition-metal oxide nanostructures and methods for preparing same
TWM315710U (en) 2006-08-04 2007-07-21 Jackson Yu Storing apparatus of video/audio media
US7558097B2 (en) 2006-12-28 2009-07-07 Intel Corporation Memory having bit line with resistor(s) between memory cells
US8207063B2 (en) 2007-01-26 2012-06-26 Eastman Kodak Company Process for atomic layer deposition
FR2913523B1 (fr) 2007-03-09 2009-06-05 Commissariat Energie Atomique Disposistif de memorisation de donnees multi-niveaux a materiau a changement de phase
JP4535076B2 (ja) 2007-03-14 2010-09-01 セイコーエプソン株式会社 強誘電体キャパシタとその製造方法
KR100876136B1 (ko) 2007-04-12 2008-12-29 서울시립대학교 산학협력단 엠에프엠아이에스 구조를 갖는 전계효과 트랜지스터 및강유전체 메모리 장치와 그 제조방법
WO2008126961A1 (en) 2007-04-12 2008-10-23 University Of Seoul Foundation Of Industry-Academic Cooperation Mfmis-fet, mfmis-ferroelectric memory device, and methods of manufacturing the same
US7452776B1 (en) 2007-04-24 2008-11-18 Promos Technoloies Pte. Ltd. Integrated circuits with substrate protrusions, including (but not limited to) floating gate memories
JP2008277543A (ja) 2007-04-27 2008-11-13 Toshiba Corp 不揮発性半導体記憶装置
US8487450B2 (en) 2007-05-01 2013-07-16 Micron Technology, Inc. Semiconductor constructions comprising vertically-stacked memory units that include diodes utilizing at least two different dielectric materials, and electronic systems
US8294219B2 (en) 2007-07-25 2012-10-23 Intermolecular, Inc. Nonvolatile memory element including resistive switching metal oxide layers
US8679903B2 (en) 2007-07-27 2014-03-25 Stmicroelectronics, Inc. Vertical quadruple conduction channel insulated gate transistor
JP2009076653A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Toshiba Corp 半導体装置及びその製造方法
US7892956B2 (en) 2007-09-24 2011-02-22 International Business Machines Corporation Methods of manufacture of vertical nanowire FET devices
KR101226685B1 (ko) 2007-11-08 2013-01-25 삼성전자주식회사 수직형 반도체 소자 및 그 제조 방법.
KR20090055874A (ko) 2007-11-29 2009-06-03 삼성전자주식회사 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법
TWI360708B (en) * 2007-12-17 2012-03-21 Au Optronics Corp Pixel structure, display panel, elecro-optical app
JP2009170511A (ja) 2008-01-11 2009-07-30 Toshiba Corp 半導体素子及び半導体装置
US8394683B2 (en) 2008-01-15 2013-03-12 Micron Technology, Inc. Methods of forming semiconductor constructions, and methods of forming NAND unit cells
TW200933878A (en) 2008-01-21 2009-08-01 Ind Tech Res Inst Memory capacitor and manufacturing method thereof
JP5162276B2 (ja) 2008-02-28 2013-03-13 ローム株式会社 強誘電体メモリ装置
US8034655B2 (en) 2008-04-08 2011-10-11 Micron Technology, Inc. Non-volatile resistive oxide memory cells, non-volatile resistive oxide memory arrays, and methods of forming non-volatile resistive oxide memory cells and memory arrays
US8304823B2 (en) 2008-04-21 2012-11-06 Namlab Ggmbh Integrated circuit including a ferroelectric memory cell and method of manufacturing the same
JP5288877B2 (ja) 2008-05-09 2013-09-11 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
JP5546740B2 (ja) 2008-05-23 2014-07-09 ローム株式会社 半導体装置
US8004871B2 (en) 2008-05-26 2011-08-23 Panasonic Corporation Semiconductor memory device including FET memory elements
JP5081069B2 (ja) 2008-06-09 2012-11-21 パナソニック株式会社 半導体記憶装置
JP2010044844A (ja) 2008-08-18 2010-02-25 Toshiba Corp 半導体記憶装置
US7791925B2 (en) 2008-10-31 2010-09-07 Seagate Technology, Llc Structures for resistive random access memory cells
US20100110753A1 (en) 2008-10-31 2010-05-06 Qimonda Ag Ferroelectric Memory Cell Arrays and Method of Operating the Same
US8362604B2 (en) 2008-12-04 2013-01-29 Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) Ferroelectric tunnel FET switch and memory
US8159858B2 (en) 2008-12-19 2012-04-17 Unity Semiconductor Corporation Signal margin improvement for read operations in a cross-point memory array
US20100195393A1 (en) 2009-01-30 2010-08-05 Unity Semiconductor Corporation Data storage system with refresh in place
US8021897B2 (en) 2009-02-19 2011-09-20 Micron Technology, Inc. Methods of fabricating a cross point memory array
WO2010104918A1 (en) 2009-03-10 2010-09-16 Contour Semiconductor, Inc. Three-dimensional memory array comprising vertical switches having three terminals
US8193522B2 (en) 2009-04-09 2012-06-05 Qualcomm Incorporated Diamond type quad-resistor cells of PRAM
US7940554B2 (en) 2009-04-24 2011-05-10 Sandisk 3D Llc Reduced complexity array line drivers for 3D matrix arrays
US8173987B2 (en) 2009-04-27 2012-05-08 Macronix International Co., Ltd. Integrated circuit 3D phase change memory array and manufacturing method
US7968876B2 (en) 2009-05-22 2011-06-28 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell having vertical channel access transistor
JP5025696B2 (ja) 2009-08-11 2012-09-12 株式会社東芝 抵抗変化メモリ
US8716780B2 (en) 2009-11-06 2014-05-06 Rambus Inc. Three-dimensional memory array stacking structure
CN102074562B (zh) 2009-11-25 2012-08-29 中国科学院微电子研究所 Nand结构及其形成方法
US8144516B2 (en) * 2009-12-03 2012-03-27 Micron Technology, Inc. Dynamic pass voltage for sense operation in a memory device
US8441097B2 (en) 2009-12-23 2013-05-14 Intel Corporation Methods to form memory devices having a capacitor with a recessed electrode
US8363443B2 (en) 2010-02-01 2013-01-29 Unity Semiconductor Corporation Circuits and techniques to compensate data signals for variations of parameters affecting memory cells in cross-point arrays
WO2011105198A1 (en) 2010-02-26 2011-09-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
US8198160B2 (en) 2010-04-19 2012-06-12 Jun Liu Vertical transistor phase change memory
US8411477B2 (en) 2010-04-22 2013-04-02 Micron Technology, Inc. Arrays of vertically stacked tiers of non-volatile cross point memory cells, methods of forming arrays of vertically stacked tiers of non-volatile cross point memory cells, and methods of reading a data value stored by an array of vertically stacked tiers of non-volatile cross point memory cells
US8570785B2 (en) 2010-05-26 2013-10-29 Hewlett-Packard Development Company Reading a memory element within a crossbar array
CN102263122B (zh) 2010-05-28 2012-12-12 旺宏电子股份有限公司 非易失性存储装置
US8241944B2 (en) 2010-07-02 2012-08-14 Micron Technology, Inc. Resistive RAM devices and methods
US8890233B2 (en) 2010-07-06 2014-11-18 Macronix International Co., Ltd. 3D memory array with improved SSL and BL contact layout
US20120012897A1 (en) 2010-07-16 2012-01-19 Unity Semiconductor Corporation Vertically Fabricated BEOL Non-Volatile Two-Terminal Cross-Trench Memory Array with Two-Terminal Memory Elements and Method of Fabricating the Same
US8207032B2 (en) 2010-08-31 2012-06-26 Micron Technology, Inc. Methods of forming pluralities of vertical transistors, and methods of forming memory arrays
US8659944B2 (en) 2010-09-01 2014-02-25 Macronix International Co., Ltd. Memory architecture of 3D array with diode in memory string
US8796661B2 (en) 2010-11-01 2014-08-05 Micron Technology, Inc. Nonvolatile memory cells and methods of forming nonvolatile memory cell
US9454997B2 (en) 2010-12-02 2016-09-27 Micron Technology, Inc. Array of nonvolatile memory cells having at least five memory cells per unit cell, having a plurality of the unit cells which individually comprise three elevational regions of programmable material, and/or having a continuous volume having a combination of a plurality of vertically oriented memory cells and a plurality of horizontally oriented memory cells; array of vertically stacked tiers of nonvolatile memory cells
US8431458B2 (en) 2010-12-27 2013-04-30 Micron Technology, Inc. Methods of forming a nonvolatile memory cell and methods of forming an array of nonvolatile memory cells
US8399874B2 (en) 2011-01-17 2013-03-19 Snu R&Db Foundation Vertical nonvolatile memory device including a selective diode
US8791447B2 (en) 2011-01-20 2014-07-29 Micron Technology, Inc. Arrays of nonvolatile memory cells and methods of forming arrays of nonvolatile memory cells
US8462537B2 (en) 2011-03-21 2013-06-11 Intel Corporation Method and apparatus to reset a phase change memory and switch (PCMS) memory cell
KR20120124788A (ko) 2011-05-04 2012-11-14 삼성전자주식회사 반도체 소자
JP5662237B2 (ja) 2011-05-10 2015-01-28 株式会社日立製作所 半導体記憶装置
US8847196B2 (en) 2011-05-17 2014-09-30 Micron Technology, Inc. Resistive memory cell
US8665007B2 (en) * 2011-06-10 2014-03-04 Cypress Semiconductor Corporation Dynamic power clamp for RFID power control
US20120327714A1 (en) 2011-06-23 2012-12-27 Macronix International Co., Ltd. Memory Architecture of 3D Array With Diode in Memory String
KR20130005878A (ko) 2011-07-07 2013-01-16 삼성전자주식회사 저저항 반도체 소자
WO2013009711A1 (en) * 2011-07-08 2013-01-17 Timler John P Insulator based upon one or more dielectric structures
US8946812B2 (en) 2011-07-21 2015-02-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
US8575584B2 (en) 2011-09-03 2013-11-05 Avalanche Technology Inc. Resistive memory device having vertical transistors and method for making the same
US8536561B2 (en) 2011-10-17 2013-09-17 Micron Technology, Inc. Memory cells and memory cell arrays
US8760909B2 (en) 2011-10-20 2014-06-24 Macronix International Co., Ltd. Memory and manufacturing method thereof
US9252188B2 (en) 2011-11-17 2016-02-02 Micron Technology, Inc. Methods of forming memory cells
US20130193400A1 (en) 2012-01-27 2013-08-01 Micron Technology, Inc. Memory Cell Structures and Memory Arrays
KR20130092925A (ko) 2012-02-13 2013-08-21 에스케이하이닉스 주식회사 가변 저항 메모리 소자 및 이의 제조 방법
US9368581B2 (en) 2012-02-20 2016-06-14 Micron Technology, Inc. Integrated circuitry components, switches, and memory cells
US9041129B2 (en) 2012-02-24 2015-05-26 National Applied Research Laboratories Semiconductor memory storage array device and method for fabricating the same
JP5951374B2 (ja) 2012-07-09 2016-07-13 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
TWI571971B (zh) * 2012-07-25 2017-02-21 漢陽大學校 產學協力團 非揮發性記憶體元件
US20140088995A1 (en) 2012-09-21 2014-03-27 Md Revolution, Inc. Systems and methods for dynamic adjustments for personalized health and wellness programs
US9152428B2 (en) 2012-09-28 2015-10-06 Intel Corporation Alternative boot path support for utilizing non-volatile memory devices
KR102031187B1 (ko) 2012-10-05 2019-10-14 삼성전자주식회사 수직형 메모리 장치
US9093304B2 (en) 2012-10-12 2015-07-28 Finscale Inc. Vertical super-thin body semiconductor on dielectric wall devices and methods of their fabrication
US9230685B2 (en) * 2012-10-23 2016-01-05 Micron Technology, Inc. Memory programming methods and memory systems
GB2507557B (en) 2012-11-05 2015-06-10 Nano Porous Solutions Ltd Pressure swing adsorption apparatus
US8796751B2 (en) 2012-11-20 2014-08-05 Micron Technology, Inc. Transistors, memory cells and semiconductor constructions
US9053801B2 (en) 2012-11-30 2015-06-09 Micron Technology, Inc. Memory cells having ferroelectric materials
US8878271B2 (en) 2013-03-01 2014-11-04 Micron Technology, Inc. Vertical access device and apparatuses having a body connection line, and related method of operating the same
JP5793525B2 (ja) 2013-03-08 2015-10-14 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
US20140252298A1 (en) 2013-03-10 2014-09-11 Sandisk 3D Llc Methods and apparatus for metal oxide reversible resistance-switching memory devices
US8969170B2 (en) * 2013-03-14 2015-03-03 Globalfoundries Inc. Method of forming a semiconductor structure including a metal-insulator-metal capacitor
US9691981B2 (en) 2013-05-22 2017-06-27 Micron Technology, Inc. Memory cell structures
US9000407B2 (en) 2013-05-28 2015-04-07 Intermolecular, Inc. ReRAM materials stack for low-operating-power and high-density applications
US9153777B2 (en) 2013-06-03 2015-10-06 Micron Technology, Inc. Thermally optimized phase change memory cells and methods of fabricating the same
JP6121819B2 (ja) 2013-07-04 2017-04-26 株式会社東芝 半導体装置および誘電体膜
US9246100B2 (en) 2013-07-24 2016-01-26 Micron Technology, Inc. Memory cell array structures and methods of forming the same
US20150028280A1 (en) 2013-07-26 2015-01-29 Micron Technology, Inc. Memory cell with independently-sized elements
US9337210B2 (en) 2013-08-12 2016-05-10 Micron Technology, Inc. Vertical ferroelectric field effect transistor constructions, constructions comprising a pair of vertical ferroelectric field effect transistors, vertical strings of ferroelectric field effect transistors, and vertical strings of laterally opposing pairs of vertical ferroelectric field effect transistors
JP6194207B2 (ja) 2013-08-20 2017-09-06 矢崎総業株式会社 外装部材
WO2015032999A1 (es) 2013-09-06 2015-03-12 Permanyer Griño Connexions, S.L.U. Equipo electrónico de medición de calidad de la transmisión de señales eléctricas
CN104469711B (zh) 2013-09-23 2019-06-11 中兴通讯股份有限公司 非结构化补充数据业务监控方法及装置
JP6067524B2 (ja) 2013-09-25 2017-01-25 株式会社東芝 半導体装置および誘電体膜
KR20150041705A (ko) 2013-10-08 2015-04-17 삼성전자주식회사 선택 소자와 저항 변화 소자를 갖는 반도체 소자 및 그 형성 방법
US9543515B2 (en) 2013-11-07 2017-01-10 Intel Corporation Electrode materials and interface layers to minimize chalcogenide interface resistance
KR102131075B1 (ko) 2013-11-12 2020-07-07 삼성전자주식회사 반도체 소자 및 이의 제조 방법
US9076686B1 (en) 2014-01-10 2015-07-07 Micron Technology, Inc. Field effect transistor constructions and memory arrays
US9806129B2 (en) 2014-02-25 2017-10-31 Micron Technology, Inc. Cross-point memory and methods for fabrication of same
US9601194B2 (en) 2014-02-28 2017-03-21 Crossbar, Inc. NAND array comprising parallel transistor and two-terminal switching device
US20150249113A1 (en) 2014-02-28 2015-09-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Nonvolatile memory device
WO2016040131A1 (en) 2014-09-03 2016-03-17 Visionscope Technologies Llc Devices and methods for minimally invasive surgery
US9263577B2 (en) 2014-04-24 2016-02-16 Micron Technology, Inc. Ferroelectric field effect transistors, pluralities of ferroelectric field effect transistors arrayed in row lines and column lines, and methods of forming a plurality of ferroelectric field effect transistors
US9922709B2 (en) 2014-05-20 2018-03-20 Sandisk Technologies Llc Memory hole bit line structures
KR20150135804A (ko) 2014-05-26 2015-12-04 삼성전자주식회사 가변 저항 메모리 장치 및 그 제조 방법
US9362494B2 (en) 2014-06-02 2016-06-07 Micron Technology, Inc. Array of cross point memory cells and methods of forming an array of cross point memory cells
US9343506B2 (en) 2014-06-04 2016-05-17 Micron Technology, Inc. Memory arrays with polygonal memory cells having specific sidewall orientations
US9472560B2 (en) 2014-06-16 2016-10-18 Micron Technology, Inc. Memory cell and an array of memory cells
JP6458384B2 (ja) 2014-07-24 2019-01-30 株式会社デンソー 車線検出装置および車線検出方法
US9437658B2 (en) 2014-08-05 2016-09-06 Sandisk Technologies Llc Fully isolated selector for memory device
JP6265091B2 (ja) 2014-09-19 2018-01-24 株式会社デンソー 高圧ポンプの制御装置
US9159829B1 (en) 2014-10-07 2015-10-13 Micron Technology, Inc. Recessed transistors containing ferroelectric material
US9276092B1 (en) 2014-10-16 2016-03-01 Micron Technology, Inc. Transistors and methods of forming transistors
US9305929B1 (en) 2015-02-17 2016-04-05 Micron Technology, Inc. Memory cells
US9853211B2 (en) 2015-07-24 2017-12-26 Micron Technology, Inc. Array of cross point memory cells individually comprising a select device and a programmable device
KR102452290B1 (ko) 2015-09-04 2022-12-01 에스케이하이닉스 주식회사 반도체구조물 및 그 제조 방법
GB2543520B (en) 2015-10-20 2019-06-19 Advanced Risc Mach Ltd Memory access instructions
EP4071787B1 (en) 2015-12-18 2023-09-27 Floadia Corporation Memory cell, nonvolatile semiconductor storage device, and method for manufacturing nonvolatile semiconductor storage device
KR102450814B1 (ko) 2015-12-29 2022-10-05 에스케이하이닉스 주식회사 문턱 스위칭 장치 및 그 제조 방법과, 이를 포함하는 전자 장치
US9741764B1 (en) 2016-02-22 2017-08-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Memory device including ovonic threshold switch adjusting threshold voltage thereof
US10282108B2 (en) 2016-08-31 2019-05-07 Micron Technology, Inc. Hybrid memory device using different types of capacitors
US10163917B2 (en) 2016-11-01 2018-12-25 Micron Technology, Inc. Cell disturb prevention using a leaker device to reduce excess charge from an electronic device
US10396145B2 (en) 2017-01-12 2019-08-27 Micron Technology, Inc. Memory cells comprising ferroelectric material and including current leakage paths having different total resistances
KR20180105530A (ko) 2017-03-15 2018-09-28 에스케이하이닉스 주식회사 강유전성 메모리 소자 및 이를 포함하는 크로스 포인트 어레이 장치
TWI633648B (zh) 2017-07-04 2018-08-21 華邦電子股份有限公司 記憶體裝置及其製造方法
US10438645B2 (en) 2017-10-27 2019-10-08 Ferroelectric Memory Gmbh Memory cell and methods thereof
US10650978B2 (en) 2017-12-15 2020-05-12 Micron Technology, Inc. Methods of incorporating leaker devices into capacitor configurations to reduce cell disturb
CA3109940A1 (en) 2018-08-17 2020-02-20 Massachusetts Institute Of Technology Articles and methods for generation of tunable coloration and interference
JP2020047314A (ja) 2018-09-14 2020-03-26 キオクシア株式会社 半導体記憶装置
US10833092B2 (en) 2019-01-23 2020-11-10 Micron Technology, Inc. Methods of incorporating leaker-devices into capacitor configurations to reduce cell disturb, and capacitor configurations incorporating leaker-devices
US11812600B2 (en) 2019-06-25 2023-11-07 Intel Corporation Vertical memory cell with self-aligned thin film transistor
US11170834B2 (en) 2019-07-10 2021-11-09 Micron Technology, Inc. Memory cells and methods of forming a capacitor including current leakage paths having different total resistances

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010024021A (ko) * 1997-09-15 2001-03-26 개리 에프. 데벤위크 션티드강유전성커패시터를 가진 강유전성메모리셀 및 그제조방법
US6256220B1 (en) * 1997-09-15 2001-07-03 Celis Semiconductor Corporation Ferroelectric memory with shunted isolated nodes
KR20060048987A (ko) * 2004-08-05 2006-05-18 삼성전자주식회사 강유전체 캐패시터, 그 제조 방법 및 강유전체 메모리 소자
US20070108524A1 (en) * 2004-08-05 2007-05-17 Broadcom Corporation Low threshold voltage PMOS apparatus and method of fabricating the same
US20060118841A1 (en) * 2004-12-03 2006-06-08 Texas Instruments Incorporated Ferroelectric capacitor with parallel resistance for ferroelectric memory
US20140269002A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-18 Crossbar, Inc. Two-terminal memory with intrinsic rectifying characteristic
US20140269046A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for use in selecting or isolating memory cells

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Publication number Publication date
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US10217753B2 (en) 2019-02-26
WO2016133611A1 (en) 2016-08-25
US10741567B2 (en) 2020-08-11
US20190189626A1 (en) 2019-06-20
KR102220284B1 (ko) 2021-02-26
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TWI594236B (zh) 2017-08-01
KR20200027573A (ko) 2020-03-12

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