JPH08109037A - アルミノケイ酸塩ガラス - Google Patents

アルミノケイ酸塩ガラス

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JPH08109037A
JPH08109037A JP7054160A JP5416095A JPH08109037A JP H08109037 A JPH08109037 A JP H08109037A JP 7054160 A JP7054160 A JP 7054160A JP 5416095 A JP5416095 A JP 5416095A JP H08109037 A JPH08109037 A JP H08109037A
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Dawne M Moffatt
ミッシェル モファット ドーン
Dean V Neubauer
ヴェラール ニューバウアー ディーン
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 オーバーフローダウンドロー工程以外の方法
により製造できる、フラットパネルディスプレーデバイ
ス用のパネルに使用するガラスを提供する。 【構成】 アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、55%
−67%のSiO2 と、6%−14%のAl2 3 と、0%
−15%のB2 3 と、0%−21%のBaO、0%−15%
のSrO、0%−18%のCaO、および0%−8%のM
gOからなる群より選択される少なくとも1種類のアル
カリ土類金属酸化物とから実質的になる。SiO2 +A
2 3 の合計が68%より大きく、BaO+CaO+S
rO+MgOの合計が12%−30%である。歪点が640 ℃
より高く、95℃で5重量%の塩酸水溶液中に24時間に亘
り浸漬した後の損失重量が20mg/cm2 未満であり、
線熱膨脹係数が31×10-7/℃と57×10-7/℃との間の範
囲にある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はフラットパネルディスプ
レー装置に特に有用なアルミノケイ酸塩ガラスに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、ラップトップコンピュータ用だ
けでなく、情報案内や娯楽用途のための大型ユニット用
についても、フラットパネルディスプレーに対する関心
が高まっている。そのようなフラットパネルディスプレ
ーの形態の1つに液晶ディスプレーがある。
【0003】液晶ディスプレー(LCD)は、照明用の
外部光源を必要とするフラットパネルディスプレー装置
である。
【0004】米国特許第4,824,808 号(ダンボー、ジュ
ニア)には、LCDの基体に使用するガラスに必須の4
つの特性が記載されている。
【0005】第一に、ガラス基体からアルカリ金属がト
ランジスタマトリックス中に移行しないように、ガラス
には意図的にアルカリ金属酸化物を含ませてはならな
い。
【0006】第二に、ガラス基体は、TFTマトリック
スの蒸着工程に使用する試薬に耐えられるように十分な
化学的耐久性を有さなければならない。
【0007】第三に、ガラス基体の加工温度を上昇させ
るときでさえ、TFTアレイにおけるケイ素とガラスと
の間の膨脹の不整合を比較的低レベルに維持しなければ
ならない。
【0008】第四に、ガラスを低コストで高品質の薄い
シート形状に製造しなければならない。すなわち、表面
仕上げを所望のものとするために大規模のすり(grindi
ng)および磨き(polishing )を必要としてはならな
い。
【0009】実質的に仕上がった状態のガラスシートを
製造できるシートガラス製造工程が必要とされるので、
この最後の必要条件を満足させることが最も難しい。現
在、オーバーフローダウンドローシート製造工程(over
flow downdraw sheet manufacturing process )が採用
されている。この工程は、米国特許第3,338,696 号(ド
カーティ)および同第3,682,609 号(ドカーティ)に記
載されている。その工程には、液相線温度において非常
に大きい粘度および溶融温度を有し、成形温度において
失透に対する長時間安定度(例えば、30日間に及ぶ)を
有するガラスが必要とされている。
【0010】LCDの製造には現在コーニングコード70
59ガラスが使用されている。このガラスは、重量パーセ
ントで表して、約50%のSiO2 、約15%のB2 3
約10%のAl2 3 、および約24%のBaOから実質的
になり、アルカリ金属酸化物を意図的に含まず、25℃−
300 ℃における線熱膨張係数(CTE)が約46×10-7
℃であり、液相線温度における粘度が60,000Pa・s
(600,000 ポアズ)以上である。このガラスの液相線温
度における粘度が高いために、オーバーフローダウンド
ローシート製造工程を用いてそのガラスをシート状に圧
伸させることができるが、比較的歪点が低いので(約59
3 ℃)、Siデバイス(a-Si device )の加工には適し
ているが、ポリSiデバイス(poly-Si device)の加工
には適していない。
【0011】それゆえ、少なくとも3つの必要条件を満
たすように設計したガラスを開発する広範囲にわたる研
究が不十分な成功に終わっている。米国特許第4,409,33
7 号、同第4,824,808 号、同第5,116,788 号、および同
第5,116,789 号を参照のこと。最初に、ポリSiデバイ
スの製造に使用できるようにガラスを適応させる必要が
あった。次に、そのガラスをオーバーフローダウンドロ
ー工程によりシート状に成形できるようにしなければな
らなかった。最後に、そのガラスはケイ素の線熱膨脹係
数と厳密に合致する線熱膨脹係数を有する必要があっ
た。
【0012】「チップオンガラス」(COG)と称する
液晶技術における最近の進歩により、熱膨脹係数に関し
てケイ素に厳密に合致する基体ガラスの必要性がさらに
強調されている。このように、初期のLCDデバイスで
はドライバーチップ(driverchips)を基体ガラス上に
搭載していなかった。その代わりに、シリコンチップを
基体ガラスから離して搭載し、迎合する柔軟な配線によ
りLCD基体回路に接続していた。LCDデバイス技術
が改良され、それらのデバイスが大型化してきたので、
コストと不確かな信頼性のために、これらの柔軟な搭載
方法は受け入れられなくなった。このような状況のため
に、シリコンチップのテープオートマチックボンディン
グ(TAB)が開発された。この工程においては、シリ
コンチップとこれらチップへの電気的接続部をキャリア
テープ上に搭載して副集成部品を形成し、この副集成部
品をLCD基体上に直接搭載し、その後LCD回路への
接続を完了した。TABを用いることにより、コストを
減少させた一方で、信頼性を改善し、コンダクタの許容
密度を約200 μmのピッチに増加させた。これらの要素
はいずれも重要である。しかしながら、COGによる改
良点は、これら3つの要素に関してTABによる改良点
より優れている。そのため、LCDデバイスのサイズと
品質に関する必要条件が厳しくなるにつれ、集積回路の
シリコンチップの使用に応じてCOGを用いてこれらデ
バイスを製造することが要求されている。この理由のた
めに、基体ガラスは、ケイ素の線熱膨張係数に厳密に合
致する線熱膨脹係数を有さなければならない。すなわ
ち、このガラスは、0℃−300 ℃の範囲における線熱膨
脹係数が31−44×10-7/℃、好ましくは32−40×10-7
℃でなければならない。
【0013】オーバーフローダウンドロー工程に要求さ
れる液相線温度での大きな粘度値、すなわち、600,000
ポアズ(60,000Pa・s)は、ポリSiデバイスに要求
されるいくつかの他の特性と関連して達成するのが難し
い。その結果、粘度の要因がそれほど重要ではない他の
シート成形工程が注目を集めている。そのような工程の
例としては、フロート工程(float process )およびレ
ドロー工程(redraw process)が挙げられる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】フロート工程には、溶
融スズのような溶融金属の表面に亘りガラスシートを連
続的に圧伸する工程がある。溶融金属に接触する表面
は、圧伸中には露出されておらず、そのため、比較的滑
らかで欠陥がない。このために、一方の表面しか仕上げ
る必要がないという利点がある。本発明の主な目的は、
フラットパネルディスプレーデバイス用、特にポリSi
チップを用いるLCDデバイス用のパネルに使用するガ
ラスを提供することにある。本発明のさらなる目的は、
フロート工程のようなオーバーフローダウンドロー工程
以外の方法により製造できるようなパネルに使用するガ
ラスを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、特にフラット
パネルディスプレー用のパネルとして特に有用なアルミ
ノケイ酸ガラスであって、歪点が640 ℃より高く、95℃
で5重量%の塩酸水溶液中に24時間に亘り浸漬した後の
損失重量が20mg/cm2 未満であり、線熱膨脹係数が
31×10-7/℃と57×10-7/℃との間の範囲にあり、アル
カリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準の重量パ
ーセントで計算して、55%−67%のSiO2 と、6%−
14%のAl2 3 と、0%−15%のB2 3 と、0%−
21%のBaO、0%−15%のSrO、0%−18%のCa
O、および0%−8%のMgOからなる群より選択され
る少なくとも1種類のアルカリ土類金属酸化物とから実
質的になり、ここでSiO2 +Al2 3 の合計が68%
より大きく、BaO+CaO+SrO+MgOの合計が
12%−30%であるアルミノケイ酸塩ガラスを提供する。
【0016】本発明はまた、特にフラットパネルディス
プレー用のパネルとして特に有用なアルミノケイ酸ガラ
スであって、歪点が640 ℃より高く、95℃で5重量%の
塩酸水溶液中に24時間に亘り浸漬した後の損失重量が20
mg/cm2 未満であり、線熱膨脹係数が31×10-7/℃
と57×10-7/℃との間の範囲にあり、アルカリ金属酸化
物を実質的に含まず、酸化物基準の重量パーセントで計
算して、49%−58%のSiO2 と、16%−23%のAl2
3 と、0%−15%のB2 3 と、0%−21%のBa
O、0%−15%のSrO、0%−18%のCaO、および
0%−8%のMgOからなる群より選択される少なくと
も1種類のアルカリ土類金属酸化物とから実質的にな
り、ここでSiO2 +Al2 3 の合計が68%より大き
く、BaO+CaO+SrO+MgOの合計が12%−30
%であるアルミノケイ酸塩ガラスを提供する。
【0017】本発明の方法により、フラットパネルディ
スプレー用のガラスパネルを製造する。この方法は、酸
化物基準の重量パーセントで計算して、49%−67%のS
iO2 と、少なくとも6%のAl2 3 と、0%−15%
のB2 3 と、0%−21%のBaO、0%−15%のSr
O、0%−18%のCaO、および0%−8%のMgOか
らなる群より選択される少なくとも1種類のアルカリ土
類金属酸化物とから実質的になり、Al2 3 が6%−
14%の場合にはSiO2 が55%−67%であり、Al2
3 が16%−23%の場合にはSiO2 が49%−58%であ
り、SiO2 +Al2 3 の合計が68%より大きく、B
aO+CaO+SrO+MgOの合計が12%−30%であ
るアルミノケイ酸塩ガラスのバッチを溶融し、得られた
溶融物から溶融ガラスを引き伸ばして薄いシートを形成
する工程からなる。
【0018】本発明は、オーバーフローダウンドロー工
程の必要条件を満たす必要のない方法により製造し得る
フラットディスプレーデバイスのパネルが要望されたこ
とから始まったものである。特に、液相線温度における
粘度が60,000Pa・s(600,000 ポアズ)より大きい必
要のないことが望まれた。
【0019】しかしながら、それと同時に、他の必要条
件を満たさなければならない。そのような必要条件とし
ては、歪点が640 ℃より高いこと、良好な化学的耐久性
を有すること、熱膨脹係数(CTE)が制御されている
こと、およびアルカリ金属を含まないことが挙げられ
る。
【0020】これらのいくつかの必要条件は、アルカリ
金属を実質的に含まず、酸化物基準の重量パーセントで
計算して、49%−67%のSiO2 と、少なくとも6%の
Al2 3 と、0%−15%のB2 3 と、0%−21%の
BaO、0%−15%のSrO、0%−18%のCaO、お
よび0%−8%のMgOからなる群より選択される少な
くとも1種類のアルカリ土類金属酸化物とから実質的に
なり、Al2 3 が6%−14%の場合にはSiO2 が55
%−67%であり、Al2 3 が16%−23%の場合にはS
iO2 が49%−58%であり、SiO2 +Al2 3 の合
計が68%より大きく、BaO+CaO+SrO+MgO
の合計が12%−30%であるアルミノケイ酸塩ガラスによ
り満たされるかもしれないことが分かった。
【0021】化学的特性、成形特性、および物理的特性
の所望のマトリックス(matrix)を示すガラスを得るた
めに、上述のように特定した組成範囲にしたがうことが
必要であることが分かった。これを以下に説明する。
SiO2 およびAl2 3 はガラス成形酸化物である。
このガラスの成形性を達成するため、並びに所望の高い
歪点を得るためには、少なくとも49%のSiO2 および
6%のAl2 3 が必要である。SiO2 の含有量が67
%を越え、Al2 3 の含有量が23%を越えると、ガラ
ス溶融が難しくなる傾向にある。
【0022】SiO2 およびAl2 3 はまた、ガラス
の耐久性に関しても重要である。しかしながら、この点
に関して、SiO2 およびAl2 3 の含有量は相互依
存している。したがって、Al2 3 の含有量が6%−
14%の範囲にある場合、必要とされる化学的耐久性を得
るためには、SiO2 の含有量は少なくとも55%、好ま
しくは少なくとも60%必要とされる。Al2 3 の含有
量が16%−23%の範囲にある場合、適切な耐久性を得る
ためには、SiO2 の含有量は49%ほど少なくてよいで
あろう。所望の耐久性を得るためには、SiO2 とAl
2 3 の含有量の合計は、約68%よりも多くあるべきで
ある。
【0023】B2 3 は、ガラスを軟化させる傾向、す
なわち、溶融温度を低下させて溶融しやすくする傾向に
ある。しかしながら、B2 3 は、特に多量を用いた場
合には、歪点を低下させ、耐久性に対して有害である。
その結果、B2 3 の含有量は、約15%を越えるべきで
はなく、好ましくは8%以下である。
【0024】シリコンチップをガラス上に搭載すべきで
あり、そのために31−44×10-7/℃のCTEが必要な場
合には、好ましくはBaOの含有量を少量に維持すべき
である。BaOを他のアルカリ土類金属酸化物および/
またはAl2 3 で置き換えてもよい。
【0025】一般的に、アルカリ土類金属は、Ba、S
r、Ca、Mgの順番でCTEを上昇させる。すなわ
ち、BaOによる影響が最も大きく、MgOによる影響
は最も小さい。
【0026】上述した成分以外にも、様々な任意の成分
が考えられる。そのような成分の例としては、Ti
2 、ZrO2 、ZnO、La2 3 、Ta2 3 、N
2 5およびY2 3 が挙げられる。好ましくは、こ
れらの酸化物は、密度を増加させる傾向にありかつ歪点
を低下させるかもしれないので、約5%を越える量では
含まない。一般的に、屈折率または耐久性のような特性
に関する利点がなにかその他の点で得られるであろう。
アルカリ金属およびハロゲン化物は液晶流体を害する
傾向にあり、したがって、避けられない不純物を除いて
は含ませない。
【0027】化学的耐久性の尺度には、95℃の5重量%
のHCl水溶液中に24時間に亘りガラス試料を浸漬させ
たときの損失重量を通常用いている。本発明の目的を達
成するためには、重量損失が20mg/cm2 未満でなけ
ればならず、好ましくは5mg/cm2 未満、最も好ま
しくは1mg/cm2 未満である。
【0028】ディスプレーパネル、特にLCDデバイス
用のガラスパネルにおいて適切な熱膨脹係数(CTE)
には2つのレベルがある。1つのレベルは、この業界に
おいて標準となっていたコード7059ガラスに基づいてい
る。このガラスは46×10-7/℃のCTEを有しており、
44−57×10-7/℃のCTE範囲が適合すると考えられて
いる。好ましくはCTEの範囲は45−50×10-7/℃であ
る。
【0029】このレベルに含まれるCTE値を有する2
つのアルミノケイ酸塩ガラスのサブファミリーAおよび
Bを見出だした。これらのサブファミリー内に含まれる
組成を有するガラスは、酸化物基準の重量パーセントで
計算して以下に示すような成分から実質的になる: SiO2 50-57 55-67 Al2 3 16-22 6-14 B2 3 0-5.5 0-7.5 MgO 0.5-3 0-6.5 CaO 1-12.5 0-18.5 SrO 0.5-15 0-15.5 BaO 1-21 1-9.5 BaO+CaO+SrO+MgO - 16.5-28 もう一方のCTEレベルは、ケイ素に合致し、したがっ
て、チップ装着を直接行えるという要望に基づくもので
ある。したがって、ガラスパネルのCTE範囲は31−44
×10-7/℃であり、好ましくは32−40×10-7/℃であろ
う。
【0030】CTE値をこのような範囲内に収めるため
に、上記CTE範囲の必要条件を満たす2種類のアルミ
ノケイ酸塩ガラスのサブファミリーCおよびDを見出だ
した。これらのサブファミリー内に包含される組成を有
するガラスは、酸化物基準の重量パーセントで計算して
以下に示すような成分から実質的になる: SiO2 49-58 57-66 Al2 3 17.5-23 8-14 B2 3 0-14.5 0-13 MgO 0-8 0-4.5 CaO 0-9 0-9 SrO 0.4-13.5 0.5-13 BaO 0-21 2-21 BaO+CaO+SrO+MgO 13-28 本発明はまた、上述したガラスを溶融し、フロート工
程、レドローイングまたはローリングのような工程によ
り得られた溶融物からガラスシートを成形し、成形した
シートをパネルサイズに切断する各工程によりLCDデ
バイス用のパネルを製造する方法を提供する。
【0031】
【実施例】表Iにはいくつかのガラス組成が列記されて
いる。これらの組成は酸化物基準の重量部で表されてお
り、本発明のガラスの組成パラメータを示している。個
々の成分の合計はほぼ100 であり、As2 3 のような
清澄剤を除外した場合にはやや小さくなっている。した
がって、実際には、表に示した値を重量パーセントとみ
なしても差し支えない。
【0032】実際のバッチ材料は所望の酸化物からなる
ものであってよい。これらバッチ材料は、他のバッチ成
分と互いに溶融したときに、適切な比率で所望の酸化物
に転化される他の化合物からなるものであってもよい。
例えば、CaCO3 およびBaCO3 はそれぞれCaO
およびBaOの供給源と成り得る。
【0033】これらの組成に基づくガラスバッチを配合
した。得られたバッチを完全に互いにタンブル混合して
均一な溶融物を得て、白金るつぼ中に装填した。蓋をし
た後、この白金るつぼを1650℃に設定された炉中に移し
た。不純物を含まず脈理のないガラスを成形するため
に、2段階の溶融手順を採用した。最初にバッチを約16
時間に亘り溶融し、撹拌した。その後、溶融物を細かい
流動体として水道水の満たされた水槽中に注ぎ入れて、
ガラスの微細な粒子を形成した。この工程をガラス業界
において「ドリゲージング(drigaging )」と称する。
第2の工程において、微細なガラス粒子(乾燥後)を約
4時間に亘り1650℃で再溶融した。溶融物を両方向、す
なわち、時計回りと反時計回りで撹拌した。得られた溶
融物をスチール型に注ぎ入れ、およそ47.5×15.2×1.3
cm(18インチ×6インチ×0.5 インチ)の寸法を有す
るガラススラブを製造した。これらのガラススラブを約
725℃に設定されたアニーラーに直ちに移した。
【0034】上述した記載は実験室での溶融方法のみに
基づくものであることに留意されたい。しかしながら、
本発明のガラスは、大規模な商業用のガラス溶融装置お
よび成形装置を用いても溶融および成形できる。必要で
あれば、ヒ素およびアンチモンの酸化物等の清澄剤を通
常の量で添加してもよい。ガラス中に含まれる基本成分
以外の少量の成分は、ガラスの物理的特性に実質的には
影響しない。
【0035】表Iは、ガラス業界において慣習的な測定
技術にしたがって測定したガラスの化学的特性および物
理的特性の測定値を示している。0℃−300 ℃の温度範
囲における線熱膨脹係数(CTE)を×10-7/℃で表し
ている。軟化点および歪点を℃で表し、これらの値は繊
維伸率(fiber elongation)により測定した。HCl中
における耐久性は、95℃の5重量%のHCl水溶液の水
槽中に24時間に亘り浸漬させた後の損失重量(mg/c
2 )を測定することにより評価した。
【0036】
【表1】
【0037】
【表2】
【0038】表IAは、表I記載のものと同一のガラス組
成を酸化物基準のモルパーセントで表したものである。
【0039】
【表3】
【0040】
【表4】
【0041】上述したガラスの実施例は、本発明を特徴
付けるいくつかの特性を持たせるためにガラスを調製す
る際に行わなければならない組成のコントロールにおけ
る注意点を説明するものである。組成1が多量のSrO
を含有し、組成4が多量のCaOを含有し、そして組成
9がB2 3 を含まずに代わりにBaOを多く含有して
いることを除いて、組成1、4および9は極めて類似し
ている。
【0042】組成を比較することにより、耐久性に対す
る様々な酸化物の含有量の効果が分かる。組成11と12と
の比較により、アルカリ土類金属酸化物を置き換える
と、耐久性が大きな影響を受けることが分かる。また、
組成1と6との比較により、B2 3 を含まずに代わっ
てアルカリ土類金属酸化物を含有すると好ましい効果が
あることが示唆される。
【0043】上述したように、コード7059ガラスに適合
するガラスパネルの好ましいCTE範囲は45−50×10-7
/℃である。アルミノケイ酸塩のサブファミリーA′お
よびB′の範疇にあるガラスは、前記範囲のCTEを有
し、酸化物基準の重量パーセントで計算して、下記に示
す成分から実質的になる組成を有する。
【0044】 A′ B′ SiO2 50-57 55-67 Al2 3 16-20 6-<13 B2 3 0-5.5 0-7.5 MgO 2-2.75 2-6.5 CaO 1-<7 0-17.5 SrO 0.5-15 0-14.5 BaO 1-21 2-9.5 表IIは上述したサブファミリーの範疇に含まれる例示的
な組成を示している。組成13、14および15は、サブファ
ミリーA′を例示しており、一方組成16、17および18は
サブファミリーB′を例示している。
【0045】
【表5】
【0046】ケイ素を使用するのに適したガラスパネル
の好ましいCTE範囲は、32−40×10-7/℃の範囲であ
るとことに留意されたい。アルミノケイ酸塩サブファミ
リーC′およびD′の範疇の含まれるガラスは、前記範
囲のCTEを有し、酸化物基準の重量パーセントで計算
して、下記に示す成分から実質的になる組成を有する。
【0047】 C′ D′ SiO2 54-57 57-65.5 Al2 3 17.5-23 8-13 B2 3 5-15 4-13 MgO 2-2.75 2-3.5 CaO 1.5-<7 0-6.5 SrO 2-6 0-13 BaO 0.5-9.5 2-21 表III は上述したサブファミリーの範疇に含まれる例示
的な組成を示している。組成19、20および21は、サブフ
ァミリーC′を例示しており、一方組成22、23および24
はサブファミリーD′を例示している。
【0048】
【表6】
【0049】本発明の好ましい実施態様において、フラ
ットパネルディスプレー用のガラスパネルは、660 ℃よ
り高い歪点を有し、前述したHCl試験において1mg
/cm2 未満の損失重量を有する。2種類のアルミノケ
イ酸塩サブファミリーの範疇に含まれる組成を有するガ
ラスがこれらの好ましい条件を満たすことが分かった。
2つのファミリーEおよびFは、酸化物基準の重量%で
計算して、下記に示す成分から実質的になる組成を有す
る。
【0050】 SiO2 54-58 55-67 Al2 3 16-23 6-14 B2 3 0-6 0-7.5 MgO 2-4.5 0-7 CaO 1-12.5 0-18.5 SrO 2.5-15.5 0-15 BaO 0-14.5 1-21 MgO+CaO+SrO+BaO 15-27 18-28 表IV EおよびIV Fは、各々のサブファミリーの範疇
に含まれるいくつかの代表的な実施例の酸化物基準の略
重量パーセントで表した組成、および関連特性を示して
いる。
【0051】
【表7】
【0052】
【表8】
【0053】さらに好ましい実施態様としては、2.5 g
/cc未満の密度を有するガラスが挙げられる。この必
要条件を満たすガラスは、酸化物基準で分析した以下の
組成範囲から実質的になるアルミノケイ酸塩サブファミ
リーGに包含される。
【0054】 SiO2 54.7-57 Al2 3 16.8-21.8 B2 3 0-14 MgO 2.2-2.5 CaO 1.5-9.5 SrO 4.5-5.5 BaO 0.1-14.5 MgO+CaO+SrO+BaO 12.5-27 表Vは、代表的な実施例の酸化物基準の略重量パーセン
トで表した組成、および関連特性を示している。
【0055】
【表9】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ディーン ヴェラール ニューバウアー アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14845 ホースヘッズ ストーニィブルック イ ースト 1253

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 歪点が640 ℃より高く、95℃で5重量%
    の塩酸水溶液中に24時間に亘り浸漬した後の損失重量が
    20mg/cm2 未満であり、線熱膨脹係数が31×10-7
    ℃と57×10-7/℃との間の範囲にあり、アルカリ金属酸
    化物を実質的に含まず、酸化物基準の重量パーセントで
    計算して、55%−67%のSiO2 と、6%−14%のAl
    2 3 と、0%−15%のB2 3 と、0%−21%のBa
    O、0%−15%のSrO、0%−18%のCaO、および
    0%−8%のMgOからなる群より選択される少なくと
    も1種類のアルカリ土類金属酸化物とから実質的にな
    り、ここでSiO2 +Al2 3 の合計が68%より大き
    く、BaO+CaO+SrO+MgOの合計が12%−30
    %であることを特徴とするアルミノケイ酸塩ガラス。
  2. 【請求項2】 線熱膨脹係数が31−44×10-7/℃の範囲
    にあり、酸化物基準の重量パーセントで計算して、57%
    −66%のSiO2 、8%−14%のAl2 3、、0%−1
    3%のB2 3 、2%−21%のBaO、0.5 %−13%の
    SrO、0%−9%のCaO、および0%−4.5 %のM
    gOから実質的になることを特徴とする請求項1記載の
    アルミノケイ酸塩ガラス。
  3. 【請求項3】 線熱膨脹係数が44−57×10-7/℃の範囲
    にあり、酸化物基準の重量パーセントで計算して、55%
    −67%のSiO2 、6%−14%のAl2 3、、0%−
    7.5 %のB2 3 、1%−9.5 %のBaO、0%−15.5
    %のSrO、0%−15.5%のCaO、および0%−6.5
    %のMgOから実質的になり、BaO+CaO+SrO
    +MgOの合計が16.5%−28%であることを特徴とする
    請求項1記載のアルミノケイ酸塩ガラス。
  4. 【請求項4】 歪点が660 ℃より高く、95℃で5重量%
    の塩酸水溶液中に24時間に亘り浸漬した後の損失重量が
    1mg/cm2 未満であり、酸化物基準の重量パーセン
    トで計算して、55%−67%のSiO2 、6%−14%のA
    2 3 、0%−7.5 %のB2 3 、1%−21%のBa
    O、0%−15%のSrO、0%−18.5%のCaO、およ
    び0%−7%のMgOから実質的になり、BaO+Ca
    O+SrO+MgOの合計が18%−28%であることを特
    徴とする請求項1記載のアルミノケイ酸塩ガラス。
  5. 【請求項5】 歪点が640 ℃より高く、95℃で5重量%
    の塩酸水溶液中に24時間に亘り浸漬した後の損失重量が
    20mg/cm2 未満であり、線熱膨脹係数が31×10-7
    ℃と57×10-7/℃との間の範囲にあり、アルカリ金属酸
    化物を実質的に含まず、酸化物基準の重量パーセントで
    計算して、49%−58%のSiO2 と、16%−23%のAl
    2 3 と、0%−15%のB2 3 と、0%−21%のBa
    O、0%−15%のSrO、0%−18%のCaO、および
    0%−8%のMgOからなる群より選択される少なくと
    も1種類のアルカリ土類金属酸化物とから実質的にな
    り、ここでSiO2 +Al2 3 の合計が68%より大き
    く、BaO+CaO+SrO+MgOの合計が12%−30
    %であることを特徴とするアルミノケイ酸塩ガラス。
  6. 【請求項6】 線熱膨脹係数が31−44×10-7/℃の範囲
    にあり、酸化物基準の重量パーセントで計算して、49%
    −58%のSiO2 と、17.5%−23%のAl23 と、0
    %−14.5%のB2 3 と、0%−21%のBaO、0.4 %
    −13.5%のSrO、0%−9%のCaO、および0%−
    8%のMgOからなり群より選択される少なくとも1種
    類のアルカリ土類金属酸化物とから実質的になり、Ba
    O+CaO+SrO+MgOの合計が13%−28%である
    ことを特徴とする請求項1記載のアルミノケイ酸塩ガラ
    ス。
  7. 【請求項7】 線熱膨脹係数が44−57×10-7/℃の範囲
    にあり、酸化物基準の重量パーセントで計算して、50%
    −57%のSiO2 、16%−22%のAl2 3、0%−5.5
    %のB2 3 、1%−21%のBaO、0.5 %−15%の
    SrO、1%−12.5%のCaO、および0.5 %−3%の
    MgOから実質的になることを特徴とする請求項1記載
    のアルミノケイ酸塩ガラス。
  8. 【請求項8】 歪点が660 ℃より高く、95℃で5重量%
    の塩酸水溶液中に24時間に亘り浸漬した後の損失重量が
    1mg/cm2 未満であり、酸化物基準の重量パーセン
    トで計算して、54%−58%のSiO2 、16%−23%のA
    2 3 、0%−6%のB2 3 、0%−14.5%のBa
    O、2.5 %−15.5%のSrO、1%−12.5%のCaO、
    および2%−4.5 %のMgOから実質的になり、BaO
    +CaO+SrO+MgOの合計が15%−27%であるこ
    とを特徴とする請求項1記載のアルミノケイ酸塩ガラ
    ス。
  9. 【請求項9】 密度が2.5 g/ccであり、酸化物基準
    の重量パーセントで計算して、54.8%−57%のSi
    2 、16.8%−21.8%のAl2 3 、0%−14%のB2
    3 、0.1 %−14.5%のBaO、4.5 %−5.5 %のSr
    O、1.5 %−9.5%のCaO、および2.2 %−2.5 %の
    MgOから実質的になり、BaO+CaO+SrO+M
    gOの合計が12.5%−27%であることを特徴とする請求
    項1記載のアルミノケイ酸塩ガラス。
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