JP2655224B2 - フラットパネル表示装置およびその基体用ガラス - Google Patents
フラットパネル表示装置およびその基体用ガラスInfo
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
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- Liquid Crystal (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス基体を含むフラッ
トパネル表示装置に関し、さらに詳しくは、前記ガラス
が高アルミナ、アルカリ土類ホウケイ酸塩ガラスである
フラットパネル表示装置に関するものである。
トパネル表示装置に関し、さらに詳しくは、前記ガラス
が高アルミナ、アルカリ土類ホウケイ酸塩ガラスである
フラットパネル表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】「フラットパネル表示のためのアルカリ
土類アルミノホウケイ酸塩ガラス」の表題で本発明者に
より同時出願された米国特許出願は、多結晶性シリコン
薄膜トランジスタを利用したフラットパネル表示装置に
おける基体用に設計されたガラスに関する。そこに開示
されたガラスは、６７５℃より高い歪み点、１１２５℃
末満の液相線温度、および失透に対する長期安定性を示
し、実質的にアルカリ金属酸化物とＭｇＯを含まない組
成を有し、モルパーセントで表わして、６３−６８％の
ＳｉＯ２、７．５−１１％のＡｌ２Ｏ３、９．５−１６
％のＣａＯ、０−５％のＳｒＯ、４．５−１０％のＢａ
Ｏ、１４−２６％のＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および１
−７％のＢ２Ｏ３から実質的になる。
土類アルミノホウケイ酸塩ガラス」の表題で本発明者に
より同時出願された米国特許出願は、多結晶性シリコン
薄膜トランジスタを利用したフラットパネル表示装置に
おける基体用に設計されたガラスに関する。そこに開示
されたガラスは、６７５℃より高い歪み点、１１２５℃
末満の液相線温度、および失透に対する長期安定性を示
し、実質的にアルカリ金属酸化物とＭｇＯを含まない組
成を有し、モルパーセントで表わして、６３−６８％の
ＳｉＯ２、７．５−１１％のＡｌ２Ｏ３、９．５−１６
％のＣａＯ、０−５％のＳｒＯ、４．５−１０％のＢａ
Ｏ、１４−２６％のＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および１
−７％のＢ２Ｏ３から実質的になる。
【０００３】「フラットパネル表示のためのアルミノケ
イ酸ストロンチウムガラス」の表題でＷ．Ｈ．Ｄｕｍｂ
ａｕｇｈ，Ｊｒ．とＪ．Ｃ．Ｌａｐｐにより同時出願さ
れた米国特許出願は同様に、多結晶性シリコン薄膜トラ
ンジスタを利用したフラットパネル表示装置における基
体用に設計されたガラスに関する。そこに開示されたガ
ラスは、６７５℃より高い歪み点、１３２５℃以下の液
相線温度、失透に対する長期安定性、および１．５×１
０５ポアズより大きい液相線粘度を示し、実質的にアル
カリ金属酸化物とＭｇＯを含まない組成を有し、モルパ
ーセントで表わして、６５−７５％のＳｉＯ２、６−１
０％のＡｌ２Ｏ３、１５−２６％のＳｒＯ、０−１０％
のＣａＯおよび／またはＢａＯ、０−５％のＢ２Ｏ３、
および０−１２％の［ＣａＯおよび／またはＢａＯ］＋
Ｂ２Ｏ３から実質的になる。
イ酸ストロンチウムガラス」の表題でＷ．Ｈ．Ｄｕｍｂ
ａｕｇｈ，Ｊｒ．とＪ．Ｃ．Ｌａｐｐにより同時出願さ
れた米国特許出願は同様に、多結晶性シリコン薄膜トラ
ンジスタを利用したフラットパネル表示装置における基
体用に設計されたガラスに関する。そこに開示されたガ
ラスは、６７５℃より高い歪み点、１３２５℃以下の液
相線温度、失透に対する長期安定性、および１．５×１
０５ポアズより大きい液相線粘度を示し、実質的にアル
カリ金属酸化物とＭｇＯを含まない組成を有し、モルパ
ーセントで表わして、６５−７５％のＳｉＯ２、６−１
０％のＡｌ２Ｏ３、１５−２６％のＳｒＯ、０−１０％
のＣａＯおよび／またはＢａＯ、０−５％のＢ２Ｏ３、
および０−１２％の［ＣａＯおよび／またはＢａＯ］＋
Ｂ２Ｏ３から実質的になる。
【０００４】ガラスは、以下の理由により液晶表示装置
における基体として選択される： （１）ガラスは透明である；（２）ガラスは、表示装置
製造中にさらされる化学および物理条件に耐えられる；
そして（３）ガラスは、精密に制御された寸法の薄いシ
ートに安価な費用で製造できる。液晶表示装置は、照明
を外部光源に頼る受動的な表示装置である。その液晶表
示装置は、分割された表示装置として、または２つの基
本マトリックス形状のうちの１つの形状に製造される。
２つのマトリックスタイプの基体に必要な要件は異な
る。第一の種類は、液晶材料の閾値特性によってアドレ
スされた内因的マトリックスである。第二の種類は、ダ
イオード、金属−絶縁体−金属素子または薄膜トランジ
スタ（ＴＦＴ）のアレーが各ピクセルに電子スイッチを
提供するようにアドレスされた、外因的マトリックスま
たは能動的マトリックスである。しかしながら、どちら
においても、２つのガラスシートが表示装置の構造を形
成する。
における基体として選択される： （１）ガラスは透明である；（２）ガラスは、表示装置
製造中にさらされる化学および物理条件に耐えられる；
そして（３）ガラスは、精密に制御された寸法の薄いシ
ートに安価な費用で製造できる。液晶表示装置は、照明
を外部光源に頼る受動的な表示装置である。その液晶表
示装置は、分割された表示装置として、または２つの基
本マトリックス形状のうちの１つの形状に製造される。
２つのマトリックスタイプの基体に必要な要件は異な
る。第一の種類は、液晶材料の閾値特性によってアドレ
スされた内因的マトリックスである。第二の種類は、ダ
イオード、金属−絶縁体−金属素子または薄膜トランジ
スタ（ＴＦＴ）のアレーが各ピクセルに電子スイッチを
提供するようにアドレスされた、外因的マトリックスま
たは能動的マトリックスである。しかしながら、どちら
においても、２つのガラスシートが表示装置の構造を形
成する。
【０００５】内因的にアドレスされた液晶表示装置は、
≦３５０℃の温度での薄膜付着を用いて製造され、次い
で、フォトリトグラフィックの模様づけをされる。その
工程に含まれる低温要件のために、Ｎａ＋イオンの移動
を妨げる、シリカバリア層を有するソーダ石灰ケイ酸塩
ガラスは、その基体として広く用いられている。スーパ
ーツイストネマティックと呼ばれる内因的にアドレスさ
れた液晶表示装置の高性能バージョンは、基体の要件と
して非常に精密な平滑性を追加した。その要件は、その
ような表示装置に用いられるソーダ石灰ケイ酸塩ガラス
が磨かれることを要求する。あるいは、ニューヨーク
州、コーニング、コーニング社により市販されているボ
ロアルミノケイ酸バリウムガラス、コーニングコード７
０５９が用いられ、そのガラスは、米国特許第３，３３
８，６９６号（Ｄｏｃｋｅｒｔｙ）および同第３，６８
２，６０９号（Ｄｏｃｋｅｒｔｙ）に記載されているよ
うに下引き溶融パイプ（ｄｏｗｎｄｒａｗ ｆｕｓｉｏ
ｎ ｐｉｐｅ）を利用して、表面の研磨を必要とせずに
精密にシートに形成される。
≦３５０℃の温度での薄膜付着を用いて製造され、次い
で、フォトリトグラフィックの模様づけをされる。その
工程に含まれる低温要件のために、Ｎａ＋イオンの移動
を妨げる、シリカバリア層を有するソーダ石灰ケイ酸塩
ガラスは、その基体として広く用いられている。スーパ
ーツイストネマティックと呼ばれる内因的にアドレスさ
れた液晶表示装置の高性能バージョンは、基体の要件と
して非常に精密な平滑性を追加した。その要件は、その
ような表示装置に用いられるソーダ石灰ケイ酸塩ガラス
が磨かれることを要求する。あるいは、ニューヨーク
州、コーニング、コーニング社により市販されているボ
ロアルミノケイ酸バリウムガラス、コーニングコード７
０５９が用いられ、そのガラスは、米国特許第３，３３
８，６９６号（Ｄｏｃｋｅｒｔｙ）および同第３，６８
２，６０９号（Ｄｏｃｋｅｒｔｙ）に記載されているよ
うに下引き溶融パイプ（ｄｏｗｎｄｒａｗ ｆｕｓｉｏ
ｎ ｐｉｐｅ）を利用して、表面の研磨を必要とせずに
精密にシートに形成される。
【０００６】外因的にアドレスされた液晶表示装置は、
さらに２つの範疇に分類される：第一のものは金属−絶
縁体−金属素子またはアモルファスシリコン（ａ−Ｓ
ｉ）素子に基づき；第二のものは多結晶質シリコン（ｐ
ｏｌｙ−Ｓｉ）素子に基づく。ｐｏｌｙ−Ｓｉから形成
された素子は、ａ−Ｓｉ薄膜トランジスタに用いられる
温度よりも実質的に高い温度で加工される。そのような
温度は、加工中のシートの熱変形を防止するためにソー
ダ石灰ケイ酸塩ガラスおよびコーニングコード７０５９
より高い歪み点を有するガラスの使用を要求する。ガラ
スの歪み点が低ければ低いほど、その寸法変化は大きく
なる。この問題に対する実際的な解決策は、約６００℃
の温度での加工中に寸法変化が最小となるように、高い
歪み点を有するガラスを開発することである。
さらに２つの範疇に分類される：第一のものは金属−絶
縁体−金属素子またはアモルファスシリコン（ａ−Ｓ
ｉ）素子に基づき；第二のものは多結晶質シリコン（ｐ
ｏｌｙ−Ｓｉ）素子に基づく。ｐｏｌｙ−Ｓｉから形成
された素子は、ａ−Ｓｉ薄膜トランジスタに用いられる
温度よりも実質的に高い温度で加工される。そのような
温度は、加工中のシートの熱変形を防止するためにソー
ダ石灰ケイ酸塩ガラスおよびコーニングコード７０５９
より高い歪み点を有するガラスの使用を要求する。ガラ
スの歪み点が低ければ低いほど、その寸法変化は大きく
なる。この問題に対する実際的な解決策は、約６００℃
の温度での加工中に寸法変化が最小となるように、高い
歪み点を有するガラスを開発することである。
【０００７】ガラス基体からのナトリウムの移動による
薄膜トランジスタの汚染は、加工中の重大な問題点であ
る。このような問題は、アルカリの移動に対する障壁を
提供するために基体ガラスに被覆を施すことへと導い
た。
薄膜トランジスタの汚染は、加工中の重大な問題点であ
る。このような問題は、アルカリの移動に対する障壁を
提供するために基体ガラスに被覆を施すことへと導い
た。
【０００８】米国特許第２，０１０，８３６号（Ａｄａ
ｍｓら）は、重量パーセントで、２５−４５％のＳｉＯ
２、０−２．５％のＲ２Ｏ、１２−２７％のＣａＯ、１
５−２５％のＡｌ２Ｏ３、≧５％のＺｎＯおよび５−１
２％のＢ２Ｏ３から実質的になるガラスを開示してい
る。ＢａＯは、５．２％までの量で実施例のいくつかに
存在している。ＳｉＯ２とＢａＯの量は、本発明の組成
に必要とされる水準より低い。
ｍｓら）は、重量パーセントで、２５−４５％のＳｉＯ
２、０−２．５％のＲ２Ｏ、１２−２７％のＣａＯ、１
５−２５％のＡｌ２Ｏ３、≧５％のＺｎＯおよび５−１
２％のＢ２Ｏ３から実質的になるガラスを開示してい
る。ＢａＯは、５．２％までの量で実施例のいくつかに
存在している。ＳｉＯ２とＢａＯの量は、本発明の組成
に必要とされる水準より低い。
【０００９】米国特許第２，１３５，６６２号（Ｈａｎ
ｌｅｉｎら）は、重量パーセントで、３５％のＳｉ
Ｏ２、３０％のＡｌ２Ｏ３、１０％のＢ２Ｏ３、１５％
のＣａＯ、および１０％のＢａＯから実質的になるガラ
スを記載している。ＳｉＯ２の量は、本発明のガラスに
記載されている量より少なく、Ａｌ２Ｏ３の含有量は多
い。
ｌｅｉｎら）は、重量パーセントで、３５％のＳｉ
Ｏ２、３０％のＡｌ２Ｏ３、１０％のＢ２Ｏ３、１５％
のＣａＯ、および１０％のＢａＯから実質的になるガラ
スを記載している。ＳｉＯ２の量は、本発明のガラスに
記載されている量より少なく、Ａｌ２Ｏ３の含有量は多
い。
【００１０】来国特許第３，３１０，４１３号（Ｈａｒ
ｒｉｎｇｔｏｎ）は、重量パーセントで、５３．５−５
９．５％のＳｉＯ２、１３．０−１６．５％のＡｌ２Ｏ
３、４．０−９．０％のＢ２Ｏ３、０−５．０％のＭｇ
Ｏ、５．５−１６．５％のＢａＯ、および８．５−１
５．０％のＣａＯから実質的になるガラスに関する。Ｍ
ｇＯは１−４％で好ましく存在しており、そのガラスは
１１２５℃より低い液相線温度を示す。この特許の組成
と本発明のガラス組成との間には部分的な重なりがある
が、ＭｇＯを含むことが好まれ（実施例では１つを除い
て全てに含まれている）、本発明のガラスの最大液相線
温度はこの特許のガラスの液相線温度より５０℃低く、
この特許の実施例は１つも本発明の組成範囲内に入らな
い。
ｒｉｎｇｔｏｎ）は、重量パーセントで、５３．５−５
９．５％のＳｉＯ２、１３．０−１６．５％のＡｌ２Ｏ
３、４．０−９．０％のＢ２Ｏ３、０−５．０％のＭｇ
Ｏ、５．５−１６．５％のＢａＯ、および８．５−１
５．０％のＣａＯから実質的になるガラスに関する。Ｍ
ｇＯは１−４％で好ましく存在しており、そのガラスは
１１２５℃より低い液相線温度を示す。この特許の組成
と本発明のガラス組成との間には部分的な重なりがある
が、ＭｇＯを含むことが好まれ（実施例では１つを除い
て全てに含まれている）、本発明のガラスの最大液相線
温度はこの特許のガラスの液相線温度より５０℃低く、
この特許の実施例は１つも本発明の組成範囲内に入らな
い。
【００１１】米国特許第３，４９６，４０１号（Ｄｕｍ
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．）は、重量パーセントで、５５−７
０％のＳｉＯ２、１３−２５％のＡｌ２Ｏ３、１０−２
５％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および０−１
０％のＢ２Ｏ３から実質的になるガラスを報告してい
る。ＢａＯは７つの実施例中３つに存在しており、その
最大量は７．５５％である。同様にＭｇＯが３つの実施
例中に含まれており、その最大量は８．５４％である。
ＭｇＯを除いたとしても、どの実施例も本発明の範囲内
に入る組成を有していない。
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．）は、重量パーセントで、５５−７
０％のＳｉＯ２、１３−２５％のＡｌ２Ｏ３、１０−２
５％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および０−１
０％のＢ２Ｏ３から実質的になるガラスを報告してい
る。ＢａＯは７つの実施例中３つに存在しており、その
最大量は７．５５％である。同様にＭｇＯが３つの実施
例中に含まれており、その最大量は８．５４％である。
ＭｇＯを除いたとしても、どの実施例も本発明の範囲内
に入る組成を有していない。
【００１２】米国特許第３，９７８，３６２号（Ｄｕｍ
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．ら）は、重量パーセントで、５８−
６３％のＳｉＯ２、１３−１６％のＡｌ２Ｏ３、１４−
２１％のＣａＯ、０−５％のＭｇＯ、０−７％のＢａ
Ｏ、および≧１９％のＣａＯ＋ＭｇＯ＋ＢａＯから実質
的になるガラスについて述べている。ＢａＯの含有量は
少なく、Ｂ２Ｏ３は好ましくは存在しないと述べられて
いる。
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．ら）は、重量パーセントで、５８−
６３％のＳｉＯ２、１３−１６％のＡｌ２Ｏ３、１４−
２１％のＣａＯ、０−５％のＭｇＯ、０−７％のＢａ
Ｏ、および≧１９％のＣａＯ＋ＭｇＯ＋ＢａＯから実質
的になるガラスについて述べている。ＢａＯの含有量は
少なく、Ｂ２Ｏ３は好ましくは存在しないと述べられて
いる。
【００１３】米国特許第４，０６０，４２３号（Ｔｈｏ
ｍａｓ）は、重量パーセントで、５５−６８％のＳｉＯ
２、１５−１８％のＡｌ２Ｏ３、７−１３％のＣａＯ、
および６−１６％のＢａＯから実質的になるガラスを記
載している。Ｂ２Ｏ３は存在しないと述べられている。
ｍａｓ）は、重量パーセントで、５５−６８％のＳｉＯ
２、１５−１８％のＡｌ２Ｏ３、７−１３％のＣａＯ、
および６−１６％のＢａＯから実質的になるガラスを記
載している。Ｂ２Ｏ３は存在しないと述べられている。
【００１４】米国特許第４，２５５，１９８号（Ｄａｎ
ｉｅｌｓｏｎら）は、重量パーセントで、６１−６５％
のＳｉＯ２、１４−１７％のＡｌ２Ｏ３、８−１５％の
ＣａＯ、６−９％のＳｒＯ、０−５％のＭｇＯ、および
０−５％のＢａＯから実質的になるガラスについて検討
している。Ｂ２Ｏ３は、この特許のガラスの成分として
述べられていない。
ｉｅｌｓｏｎら）は、重量パーセントで、６１−６５％
のＳｉＯ２、１４−１７％のＡｌ２Ｏ３、８−１５％の
ＣａＯ、６−９％のＳｒＯ、０−５％のＭｇＯ、および
０−５％のＢａＯから実質的になるガラスについて検討
している。Ｂ２Ｏ３は、この特許のガラスの成分として
述べられていない。
【００１５】米国特許第４，３０２，２５０号（Ｄａｎ
ｉｅｌｓｏｎ）は、重量パーセントで、６４−６８％の
ＳｉＯ２、１６．５−１８．５％のＡｌ２Ｏ３、１１−
１４％のＣａＯ、０−４％のＳｒＯ、０−５％のＢａ
Ｏ、および２−６．５％のＳｒＯ＋ＢａＯから実質的に
なるガラスに関する。Ｂ２Ｏ３は、この特許のガラスの
成分として述べられていない。
ｉｅｌｓｏｎ）は、重量パーセントで、６４−６８％の
ＳｉＯ２、１６．５−１８．５％のＡｌ２Ｏ３、１１−
１４％のＣａＯ、０−４％のＳｒＯ、０−５％のＢａ
Ｏ、および２−６．５％のＳｒＯ＋ＢａＯから実質的に
なるガラスに関する。Ｂ２Ｏ３は、この特許のガラスの
成分として述べられていない。
【００１６】米国特許第４，３９４，４５３号（Ｄｕｍ
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．）は、重量パーセントで、６０．０
±１．５％のＳｉＯ２、１７．０±１．０％のＡｌ２Ｏ
３、５．０±０．８％のＢ２Ｏ３、１１．４±０．８％
のＣａＯ、および７．５±０．８％のＭｇＯから実質的
になるガラスを記載している。ＭｇＯはこの特許のガラ
スにおける必要な成分である。
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．）は、重量パーセントで、６０．０
±１．５％のＳｉＯ２、１７．０±１．０％のＡｌ２Ｏ
３、５．０±０．８％のＢ２Ｏ３、１１．４±０．８％
のＣａＯ、および７．５±０．８％のＭｇＯから実質的
になるガラスを記載している。ＭｇＯはこの特許のガラ
スにおける必要な成分である。
【００１７】米国特許第４，４０９，３３７号（Ｄｕｍ
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．）は、重量パーセントで、５６−５
９％のＳｉＯ２、１６−１７％のＡｌ２Ｏ３、４．５−
５．２５％のＢ２Ｏ３、７．５−９．２５％のＣａＯ、
５．５−６．２５％のＭｇＯ、および５−９％のＢａＯ
から実質的になるガラスを記載している。ＭｇＯはこの
特許のガラスにおける必要な成分である。
ｂａｕｇｈ，Ｊｒ．）は、重量パーセントで、５６−５
９％のＳｉＯ２、１６−１７％のＡｌ２Ｏ３、４．５−
５．２５％のＢ２Ｏ３、７．５−９．２５％のＣａＯ、
５．５−６．２５％のＭｇＯ、および５−９％のＢａＯ
から実質的になるガラスを記載している。ＭｇＯはこの
特許のガラスにおける必要な成分である。
【００１８】米国特許第４，４４１，０５１号（Ｔｈｏ
ｍａｓ）は、再生サイクルハロゲンランプの透明外被の
ために設計されたガラスに関し、そのガラスは、重量パ
ーセントで表わして、５２−６０％のＳｉＯ２、１１−
１７％のＡｌ２Ｏ３、１１−１６％のＢａＯ、８−１２
％のＣａＯ、３−７％のＢ２Ｏ３、および０−３％のア
ルカリ金属酸化物から実質的になる。液晶表示装置の基
体についてこの特許中ではなにも言及されてはおらず、
示された３％までのアルカリ金属酸化物の含有は、アル
カリ金属酸化物を含まない本発明のガラスの要件に反し
ている。
ｍａｓ）は、再生サイクルハロゲンランプの透明外被の
ために設計されたガラスに関し、そのガラスは、重量パ
ーセントで表わして、５２−６０％のＳｉＯ２、１１−
１７％のＡｌ２Ｏ３、１１−１６％のＢａＯ、８−１２
％のＣａＯ、３−７％のＢ２Ｏ３、および０−３％のア
ルカリ金属酸化物から実質的になる。液晶表示装置の基
体についてこの特許中ではなにも言及されてはおらず、
示された３％までのアルカリ金属酸化物の含有は、アル
カリ金属酸化物を含まない本発明のガラスの要件に反し
ている。
【００１９】米国特許第４，９９４，４１５号（Ｉｍａ
ｉ）は、液晶表示装置の基体としての使用に適し、重量
パーセントで、５５−５８％のＳｉＯ２、８−１３％の
Ａｌ２Ｏ３、４−１０％のＢ２Ｏ３、４−７％のＣａ
Ｏ、１１−２０％のＢａＯ、０−５％のＳｒＯ、および
０．５−７％のＺｎＯから実質的になるガラスを記載し
ている。ＣａＯの量は、本発明に必要な水準より低く、
ＺｎＯはこの特許のガラスに必要な成分である。ＺｎＯ
は、粘度−温度曲線を平らにし、これにより、溶融粘度
を増大させる一方、ガラスの歪み点を望ましくなく低く
する。
ｉ）は、液晶表示装置の基体としての使用に適し、重量
パーセントで、５５−５８％のＳｉＯ２、８−１３％の
Ａｌ２Ｏ３、４−１０％のＢ２Ｏ３、４−７％のＣａ
Ｏ、１１−２０％のＢａＯ、０−５％のＳｒＯ、および
０．５−７％のＺｎＯから実質的になるガラスを記載し
ている。ＣａＯの量は、本発明に必要な水準より低く、
ＺｎＯはこの特許のガラスに必要な成分である。ＺｎＯ
は、粘度−温度曲線を平らにし、これにより、溶融粘度
を増大させる一方、ガラスの歪み点を望ましくなく低く
する。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】それゆえ、本発明の主
な目的は、ｐｏｌｙ−Ｓｉ薄膜トランジスタを利用した
液晶表示装置における基体に適するガラス組成物を提供
することであって、そのガラス組成物は、実質的にアル
カリ金属酸化物を含まず、加工に用いられる化学品に対
して比較的不活性であり、６２５℃より高い歪み点を有
し、および、最も重要なことに、上述した薄いガラスシ
ートの精密加工のような下引き溶融パイプに利用される
白金および高温耐火性セラミック材料と接触したときの
失透に対する長期安定性を示す。
な目的は、ｐｏｌｙ−Ｓｉ薄膜トランジスタを利用した
液晶表示装置における基体に適するガラス組成物を提供
することであって、そのガラス組成物は、実質的にアル
カリ金属酸化物を含まず、加工に用いられる化学品に対
して比較的不活性であり、６２５℃より高い歪み点を有
し、および、最も重要なことに、上述した薄いガラスシ
ートの精密加工のような下引き溶融パイプに利用される
白金および高温耐火性セラミック材料と接触したときの
失透に対する長期安定性を示す。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上述したように、本発明
のガラスが満たさなければならない最も厳密な必要条件
は、そのガラスが約１０４−１０６ポアズの粘度を示す
温度で非常に長期間白金および高耐火性材料へ暴露され
た際の失透に対する抵抗性である。溶融パイプを利用し
たガラスシート引きには、ガラス製品を造形するための
従来のプレス加工における非常に急速な焼き入れ操作が
ない。まさにその加工の性質により、溶融ガラスは、３
０日間溶融ユニットの耐火性成分と接触し続けることも
あり得る。
のガラスが満たさなければならない最も厳密な必要条件
は、そのガラスが約１０４−１０６ポアズの粘度を示す
温度で非常に長期間白金および高耐火性材料へ暴露され
た際の失透に対する抵抗性である。溶融パイプを利用し
たガラスシート引きには、ガラス製品を造形するための
従来のプレス加工における非常に急速な焼き入れ操作が
ない。まさにその加工の性質により、溶融ガラスは、３
０日間溶融ユニットの耐火性成分と接触し続けることも
あり得る。
【００２２】シート引きガラスに存在する条件下で失透
するガラスの傾向を研究所において評価することは大変
困難である。最初の近似として、「液相線」測定を用い
る。しかしながら、実際、研究所で用いた方法のため
に、その測定は真の液相線ではない。それゆえ、測定技
術は、その後に液相線が存在すると思われる範囲に広が
る温度幅を有する勾配炉中に導き入れられる白金ボート
に砕いたガラスを配置することを含む。２４時間後に、
そのボートをその炉から取り出して、冷却し、そこから
ガラスを取り外す。このガラスから薄膜を調製し、その
薄膜を顕微鏡で観察した。結晶が観察される最高温度で
測定を行なった。この「液相線」温度に対応する粘度
は、そのガラスが許容されるかどうかの最初の評価を提
供する。
するガラスの傾向を研究所において評価することは大変
困難である。最初の近似として、「液相線」測定を用い
る。しかしながら、実際、研究所で用いた方法のため
に、その測定は真の液相線ではない。それゆえ、測定技
術は、その後に液相線が存在すると思われる範囲に広が
る温度幅を有する勾配炉中に導き入れられる白金ボート
に砕いたガラスを配置することを含む。２４時間後に、
そのボートをその炉から取り出して、冷却し、そこから
ガラスを取り外す。このガラスから薄膜を調製し、その
薄膜を顕微鏡で観察した。結晶が観察される最高温度で
測定を行なった。この「液相線」温度に対応する粘度
は、そのガラスが許容されるかどうかの最初の評価を提
供する。
【００２３】下引き溶融パイプ加工を利用してガラスシ
ートを形成するために必要な粘度は、約１−３×１０５
ポアズである。したがって、その加工に用いるガラスの
失透傾向をうまく評価するために、どの溶融パイプ材料
が所定のガラス組成に最も適しているかに応じて例えば
白金またはアルミナやジルコンのような高耐火性セラミ
ック材料と接触している間、そのガラスの固体片を液相
線温度よりずっと高い温度に加熱する。その後に、溶融
ガラスをガラス形成範囲内の粘度まで冷却して、その温
度を７日間保持する。その後に、試料について結晶の存
在を視覚的に検査する。本発明のガラスは、下引き溶融
パイプ加工によるシート形成用に設計したので、その組
成物は、液相線温度で約１．５×１０５ポアズより大き
い粘度を示す。
ートを形成するために必要な粘度は、約１−３×１０５
ポアズである。したがって、その加工に用いるガラスの
失透傾向をうまく評価するために、どの溶融パイプ材料
が所定のガラス組成に最も適しているかに応じて例えば
白金またはアルミナやジルコンのような高耐火性セラミ
ック材料と接触している間、そのガラスの固体片を液相
線温度よりずっと高い温度に加熱する。その後に、溶融
ガラスをガラス形成範囲内の粘度まで冷却して、その温
度を７日間保持する。その後に、試料について結晶の存
在を視覚的に検査する。本発明のガラスは、下引き溶融
パイプ加工によるシート形成用に設計したので、その組
成物は、液相線温度で約１．５×１０５ポアズより大き
い粘度を示す。
【００２４】酸化物基準の重量パーセントで表わして、
約２５％のＢａＯ、約１０％のＡｌ２Ｏ３、約１５％の
Ｂ２Ｏ、および約５０％のＳｉＯ２から実質的になるコ
ーニングコード７０５９は、５９３℃の歪み点および２
５゜−３００℃に亘って４６×１０−７／℃の線熱膨脹
係数を示す。アルカリ金属酸化物を含まないこと、およ
び下引き溶融パイプによる薄いガラスシート加工におけ
る有用性により、コーニングコード７０５９ガラスは、
ａ−Ｓｉ素子の基体として広く使用されている。ポリ−
Ｓｉ素子の基体として使用するガラスを発明しようとす
る努力において、研究計画は、多結晶性シリコン薄膜ト
ランジスタを利用した液晶表示装置の基体としてそれら
を適用できるようにするような、コード７０５９ガラス
の有する歪み点およびその他の特性より優れた特性を示
すガラスを開発することより着手した。
約２５％のＢａＯ、約１０％のＡｌ２Ｏ３、約１５％の
Ｂ２Ｏ、および約５０％のＳｉＯ２から実質的になるコ
ーニングコード７０５９は、５９３℃の歪み点および２
５゜−３００℃に亘って４６×１０−７／℃の線熱膨脹
係数を示す。アルカリ金属酸化物を含まないこと、およ
び下引き溶融パイプによる薄いガラスシート加工におけ
る有用性により、コーニングコード７０５９ガラスは、
ａ−Ｓｉ素子の基体として広く使用されている。ポリ−
Ｓｉ素子の基体として使用するガラスを発明しようとす
る努力において、研究計画は、多結晶性シリコン薄膜ト
ランジスタを利用した液晶表示装置の基体としてそれら
を適用できるようにするような、コード７０５９ガラス
の有する歪み点およびその他の特性より優れた特性を示
すガラスを開発することより着手した。
【００２５】その研究により、酸化物基準のモルパーセ
ントで表わして、６３−６８％のＳｉＯ２、７．５−１
１％のＡｌ２Ｏ３、９．５−１６％のＣａＯ、０−５％
のＳｒＯ、４．５−１０％のＢａＯ、ここで１４−２６
％のＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および１−７％のＢ２Ｏ
３から実質的になり、アルカリ金属酸化物を実質的に含
まないガラスに至った。この研究からの非常に重大な発
見は、そのガラス組成からＭｇＯを排除する必要性であ
った。それゆえ、ケイ酸マグネシウムが他の結晶相より
高い温度でガラスから沈殿し、それにより実際には、増
大した結晶成長となることが観察された。したがって、
本発明のガラス組成物は、実質的にＭｇＯを含まない；
すなわち、そのバッチ成分は、アルカリ金属酸化物と同
様に、マグネシウム含有材料を実質的に含まない。
ントで表わして、６３−６８％のＳｉＯ２、７．５−１
１％のＡｌ２Ｏ３、９．５−１６％のＣａＯ、０−５％
のＳｒＯ、４．５−１０％のＢａＯ、ここで１４−２６
％のＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および１−７％のＢ２Ｏ
３から実質的になり、アルカリ金属酸化物を実質的に含
まないガラスに至った。この研究からの非常に重大な発
見は、そのガラス組成からＭｇＯを排除する必要性であ
った。それゆえ、ケイ酸マグネシウムが他の結晶相より
高い温度でガラスから沈殿し、それにより実際には、増
大した結晶成長となることが観察された。したがって、
本発明のガラス組成物は、実質的にＭｇＯを含まない；
すなわち、そのバッチ成分は、アルカリ金属酸化物と同
様に、マグネシウム含有材料を実質的に含まない。
【００２６】いくつかの成分の含有量は、最適液相線粘
度と長期失透に対する最も高い抵抗性を確保するために
重要である。説明すると： ガラスの十分高い歪み点を達成するために、ＳｉＯ２の
量は６３％の最低含有量で保持されなければならない
が、ＳｉＯ２含有量が６８％を超えた場合には、ガラス
は標準ガラス製造設備を用いた溶融および成形には粘性
が強くなりすぎる。Ａｌ２Ｏ３の量が７．５−１１％の
範囲から外れた場合には、液相線温度が著しく上昇す
る。Ｂ２Ｏ３の量を１−７％の間に保持することは、溶
融粘度を低くするのに有用であるが、７％を超えた量で
は、歪み点の値を減少させることもある。アルカリ土類
金属酸化物の合計量は、良好なガラス溶融力を確保する
ために少なくとも１４％でなければならないが、２６％
を超えると、歪み点を減少させる傾向にある。ＢａＯ
は、ガラスの粘度をひどくは減少させずに液相線温度を
低下させるので、合計アルカリ土類金属酸化物含有量の
必要な部分である。Ａｌ２Ｏ３とＢａＯの量は、液相線
温度を１０７５℃より低く保持するのに際して特に重要
である。
度と長期失透に対する最も高い抵抗性を確保するために
重要である。説明すると： ガラスの十分高い歪み点を達成するために、ＳｉＯ２の
量は６３％の最低含有量で保持されなければならない
が、ＳｉＯ２含有量が６８％を超えた場合には、ガラス
は標準ガラス製造設備を用いた溶融および成形には粘性
が強くなりすぎる。Ａｌ２Ｏ３の量が７．５−１１％の
範囲から外れた場合には、液相線温度が著しく上昇す
る。Ｂ２Ｏ３の量を１−７％の間に保持することは、溶
融粘度を低くするのに有用であるが、７％を超えた量で
は、歪み点の値を減少させることもある。アルカリ土類
金属酸化物の合計量は、良好なガラス溶融力を確保する
ために少なくとも１４％でなければならないが、２６％
を超えると、歪み点を減少させる傾向にある。ＢａＯ
は、ガラスの粘度をひどくは減少させずに液相線温度を
低下させるので、合計アルカリ土類金属酸化物含有量の
必要な部分である。Ａｌ２Ｏ３とＢａＯの量は、液相線
温度を１０７５℃より低く保持するのに際して特に重要
である。
【００２７】好ましいガラス組成は、モルパーセント
で、６４−６６％のＳｉＯ２、８−１０％のＡｌ
２Ｏ３、１０−１５％のＣａＯ、０−３％のＳｒＯ、
４．５−８％のＢａＯ、ここで１８−２４％のＣａＯ＋
ＳｒＯ＋ＢａＯ、および２−６％のＢ２Ｏ３から実質的
になる。
で、６４−６６％のＳｉＯ２、８−１０％のＡｌ
２Ｏ３、１０−１５％のＣａＯ、０−３％のＳｒＯ、
４．５−８％のＢａＯ、ここで１８−２４％のＣａＯ＋
ＳｒＯ＋ＢａＯ、および２−６％のＢ２Ｏ３から実質的
になる。
【００２８】モルパーセントを重量パーセントに正確に
変換することは数学的に不可能であるが、重量パーセン
トで表わした本発明のガラス組成の近似は以下のとおり
である：５３−６０％のＳｉＯ２、１１−１６％のＡｌ
２Ｏ３、８−１５％のＣａＯ、０−１０％のＳｒＯ、１
１−１８％のＢａＯ、ここで２０−３０％のＣａＯ＋Ｓ
ｒＯ＋ＢａＯ、および２−６％のＢ２Ｏ３。
変換することは数学的に不可能であるが、重量パーセン
トで表わした本発明のガラス組成の近似は以下のとおり
である：５３−６０％のＳｉＯ２、１１−１６％のＡｌ
２Ｏ３、８−１５％のＣａＯ、０−１０％のＳｒＯ、１
１−１８％のＢａＯ、ここで２０−３０％のＣａＯ＋Ｓ
ｒＯ＋ＢａＯ、および２−６％のＢ２Ｏ３。
【００２９】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を詳細に説明
する。
する。
【００３０】表Ｉに、酸化物基準の重量部で表わした、
本発明の組成パラメータを例示するいくつかのガラス組
成を示す。各成分の合計が１００に近いので、便宜上、
表示した値は重量パーセントを示すものとみなしてさし
つかえない。バッチ成分は、他のバッチ成分とともに溶
融されたときに、適切な比率で所望の酸化物に変換され
る酸化物または他の化合物いずれかの材料でよい。例え
ば、ＣａＣＯ３はＣａＯの供給源を、Ｈ３ＢＯ３はＢ２
Ｏ３の供給源を提供する。
本発明の組成パラメータを例示するいくつかのガラス組
成を示す。各成分の合計が１００に近いので、便宜上、
表示した値は重量パーセントを示すものとみなしてさし
つかえない。バッチ成分は、他のバッチ成分とともに溶
融されたときに、適切な比率で所望の酸化物に変換され
る酸化物または他の化合物いずれかの材料でよい。例え
ば、ＣａＣＯ３はＣａＯの供給源を、Ｈ３ＢＯ３はＢ２
Ｏ３の供給源を提供する。
【００３１】バッチ成分を配合し、均一な溶融物を得る
ためにともにボールミル粉砕して白金るつぼに装填し
た。その上に蓋をした後に、そのるつぼを約１６００℃
で作動している炉に移し、バッチを約１６時間溶融し
た。その後に、そのるつぼを炉から取り出して、溶融物
を約３０ｃｍ×１５ｃｍ×１ｃｍの寸法を有するガラス
スラブを形成するためにスチール板上に注いだ。そし
て、そのスラブを直ちに約７１５℃で作動しているアニ
ーラーに移動させた。（７０５９、１７３３および１７
２４のラベルを貼った試料は、コーニング社により市販
されているガラスを示す。）上記記載は研究所規模の溶
融工程を示したものであるが、本発明のガラスは、大規
模の商業ガラス溶融および形成設備を利用して溶融およ
び形成できることは理解されよう。ここでのガラスは、
下引き溶融パイプを利用して薄いガラスシートに引かれ
るように設計されたものであることを確認しておきた
い。また、研究所の溶融では用いなかったが、従来の清
澄剤、例えば、Ａｓ２Ｏ３およびＳｂ２Ｏ３を所望と思
われる場合に適切な比率でバッチに含ませることができ
る。
ためにともにボールミル粉砕して白金るつぼに装填し
た。その上に蓋をした後に、そのるつぼを約１６００℃
で作動している炉に移し、バッチを約１６時間溶融し
た。その後に、そのるつぼを炉から取り出して、溶融物
を約３０ｃｍ×１５ｃｍ×１ｃｍの寸法を有するガラス
スラブを形成するためにスチール板上に注いだ。そし
て、そのスラブを直ちに約７１５℃で作動しているアニ
ーラーに移動させた。（７０５９、１７３３および１７
２４のラベルを貼った試料は、コーニング社により市販
されているガラスを示す。）上記記載は研究所規模の溶
融工程を示したものであるが、本発明のガラスは、大規
模の商業ガラス溶融および形成設備を利用して溶融およ
び形成できることは理解されよう。ここでのガラスは、
下引き溶融パイプを利用して薄いガラスシートに引かれ
るように設計されたものであることを確認しておきた
い。また、研究所の溶融では用いなかったが、従来の清
澄剤、例えば、Ａｓ２Ｏ３およびＳｂ２Ｏ３を所望と思
われる場合に適切な比率でバッチに含ませることができ
る。
【００３２】表Ｉにはまた、ガラス業界で慣習的な技術
に従って記載したガラスについて測定したいくつかの物
理特性および化学特性に関する測定値を示す。ここで、
アニール点（Ａ．Ｐ．）、歪み点（Ｓｔ．ｐ．）、およ
び白金ボートを用いた内部液相線温度（Ｌｉｑ．）は℃
で表わす。また、２５゜−３００℃の温度範囲に亘る線
熱膨脹係数（Ｅｘｐ．）を×１０−７／℃で、密度（Ｄ
ｅｎ．）をグラム／ｃｃで、そして液相線温度でのガラ
スの粘度（Ｖｉｓ．）をポアズで表す。最後に、酸によ
る攻撃に対する抵抗の評価を、５重量％のＨＣｌ水溶液
の浴に２４時間浸漬後のｍｇ／ｃｍ２で表わした重量損
失（Ｗ．Ｌ．）の測定により行なった。
に従って記載したガラスについて測定したいくつかの物
理特性および化学特性に関する測定値を示す。ここで、
アニール点（Ａ．Ｐ．）、歪み点（Ｓｔ．ｐ．）、およ
び白金ボートを用いた内部液相線温度（Ｌｉｑ．）は℃
で表わす。また、２５゜−３００℃の温度範囲に亘る線
熱膨脹係数（Ｅｘｐ．）を×１０−７／℃で、密度（Ｄ
ｅｎ．）をグラム／ｃｃで、そして液相線温度でのガラ
スの粘度（Ｖｉｓ．）をポアズで表す。最後に、酸によ
る攻撃に対する抵抗の評価を、５重量％のＨＣｌ水溶液
の浴に２４時間浸漬後のｍｇ／ｃｍ２で表わした重量損
失（Ｗ．Ｌ．）の測定により行なった。
【００３３】表ＩＩに、モルパーセントで表わした表Ｉ
のガラス組成を示す。
のガラス組成を示す。
【００３４】
【表１】
【００３５】
【表２】
【００３６】
【表３】
【００３７】例６と１２が最も好ましいガラスであると
思われる。
思われる。
【００３８】以上、液晶表示装置の基体に本発明のガラ
スを利用することについて詳細に説明してきたが、本発
明は電子発光表示装置およびプラズマ表示装置のような
他のフラットパネル表示装置にも用いられることが理解
されよう。
スを利用することについて詳細に説明してきたが、本発
明は電子発光表示装置およびプラズマ表示装置のような
他のフラットパネル表示装置にも用いられることが理解
されよう。
Claims (3)
- 【請求項１】 多結晶質シリコン薄膜トランジスタを利
用したフラットパネル表示装置の基体用ガラスであっ
て、前記ガラスが、６２５℃より高い歪み点、１０７５
℃未満の液相線温度および１．５×１０５ポアズより大
きい液相線粘度を示し、実質的にアルカリ金属酸化物と
ＭｇＯを含まず、酸化物基準のモルパーセントで表わし
て、６３−６８％のＳｉＯ２、７．５−１１％のＡｌ２
Ｏ３、９．５−１６％のＣａＯ、０−５％のＳｒＯ、
４．５−１０％のＢａＯ、ここで１４−２６％のＣａＯ
＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および１−７％のＢ２Ｏ３から実質
的になることを特徴とするガラス。 - 【請求項２】 前記ガラスが６４−６６％のＳｉＯ２、
８−１０％のＡｌ２Ｏ３、１０−１５％のＣａＯ、０−
３％のＳｒＯ、４．５−８％のＢａＯ、ここで１８−２
４％のＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、および２−６％のＢ２
Ｏ３から実質的になることを特徴とする請求項１記載の
ガラス。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のガラスから成る
基体を含むフラットパネル表示装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/743,799 US5116787A (en) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | High alumina, alkaline earth borosilicate glasses for flat panel displays |
| US743799 | 1991-08-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05193980A JPH05193980A (ja) | 1993-08-03 |
| JP2655224B2 true JP2655224B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=24990236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4141199A Expired - Lifetime JP2655224B2 (ja) | 1991-08-12 | 1992-06-02 | フラットパネル表示装置およびその基体用ガラス |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5116787A (ja) |
| EP (1) | EP0528114B1 (ja) |
| JP (1) | JP2655224B2 (ja) |
| KR (1) | KR0139279B1 (ja) |
| DE (1) | DE69205523T2 (ja) |
| TW (1) | TW209857B (ja) |
Families Citing this family (45)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6413589B1 (en) | 1988-11-29 | 2002-07-02 | Chou H. Li | Ceramic coating method |
| US5116788A (en) * | 1991-08-12 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | Alkaline earth aluminoborosilicate glasses for flat panel displays |
| FR2692883B1 (fr) * | 1992-06-25 | 1994-12-02 | Saint Gobain Vitrage Int | Verres thermiquement stables et chimiquement résistants. |
| US5707746A (en) * | 1992-09-25 | 1998-01-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin film transistor device with advanced characteristics by improved matching between a glass substrate and a silicon nitride layer |
| US5374595A (en) * | 1993-01-22 | 1994-12-20 | Corning Incorporated | High liquidus viscosity glasses for flat panel displays |
| US5326730A (en) * | 1993-01-22 | 1994-07-05 | Corning Incorporated | Barium aluminosilicate glasses |
| US5342426A (en) * | 1993-07-16 | 1994-08-30 | Corning Incorporated | Making glass sheet with defect-free surfaces and alkali metal-free soluble glasses therefor |
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| US5489558A (en) * | 1994-03-14 | 1996-02-06 | Corning Incorporated | Glasses for flat panel display |
| US5885914A (en) * | 1995-07-28 | 1999-03-23 | Asahi Glass Company Ltd. | Alkali-free glass and display substrate |
| DE19601922C2 (de) * | 1996-01-13 | 2001-05-17 | Schott Glas | Zinn- und zirkonoxidhaltige, alkalifreie Erdalkali-Alumo-Borosilicatgläser und deren Verwendung |
| KR19980065367A (ko) * | 1996-06-02 | 1998-10-15 | 오평희 | 액정표시소자용 백라이트 |
| US5824127A (en) * | 1996-07-19 | 1998-10-20 | Corning Incorporated | Arsenic-free glasses |
| US6060168A (en) * | 1996-12-17 | 2000-05-09 | Corning Incorporated | Glasses for display panels and photovoltaic devices |
| US6286206B1 (en) | 1997-02-25 | 2001-09-11 | Chou H. Li | Heat-resistant electronic systems and circuit boards |
| US5937514A (en) | 1997-02-25 | 1999-08-17 | Li; Chou H. | Method of making a heat-resistant system |
| US6458017B1 (en) | 1998-12-15 | 2002-10-01 | Chou H. Li | Planarizing method |
| US6976904B2 (en) * | 1998-07-09 | 2005-12-20 | Li Family Holdings, Ltd. | Chemical mechanical polishing slurry |
| US6676492B2 (en) | 1998-12-15 | 2004-01-13 | Chou H. Li | Chemical mechanical polishing |
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| DE10000839C1 (de) | 2000-01-12 | 2001-05-10 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
| DE10000838B4 (de) | 2000-01-12 | 2005-03-17 | Schott Ag | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
| KR20020006822A (ko) | 2000-07-13 | 2002-01-26 | 서두칠 | 무 알칼리 유리 |
| DE10064804C2 (de) * | 2000-12-22 | 2003-03-20 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
| JP5013308B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2012-08-29 | 日本電気硝子株式会社 | ディスプレイ用ガラス基板 |
| CN102219355B (zh) * | 2005-12-16 | 2013-05-22 | 日本电气硝子株式会社 | 无碱玻璃基板及其制造方法 |
| US7833919B2 (en) | 2006-02-10 | 2010-11-16 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
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| TWI614227B (zh) | 2012-02-29 | 2018-02-11 | 康寧公司 | 低ｃｔｅ之無鹼硼鋁矽酸鹽玻璃組成物及包含其之玻璃物件 |
| WO2015023561A2 (en) | 2013-08-15 | 2015-02-19 | Corning Incorporated | Intermediate to high cte glasses and glass articles comprising the same |
| WO2015023525A1 (en) | 2013-08-15 | 2015-02-19 | Corning Incorporated | Alkali-doped and alkali-free boroaluminosilicate glass |
| EP3116834B1 (en) | 2014-03-13 | 2021-06-02 | Corning Incorporated | Glass article and method for forming the same |
| JP5988059B2 (ja) * | 2014-11-06 | 2016-09-07 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
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Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL125167C (ja) * | 1963-01-17 | |||
| US4634683A (en) * | 1985-10-23 | 1987-01-06 | Corning Glass Works | Barium and/or strontium aluminosilicate crystal-containing glasses for flat panel display devices |
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| US5116788A (en) * | 1991-08-12 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | Alkaline earth aluminoborosilicate glasses for flat panel displays |
-
1991
- 1991-08-12 US US07/743,799 patent/US5116787A/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-05-14 DE DE69205523T patent/DE69205523T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-05-14 EP EP92108127A patent/EP0528114B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-05-27 TW TW081104203A patent/TW209857B/zh not_active IP Right Cessation
- 1992-06-02 JP JP4141199A patent/JP2655224B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1992-08-12 KR KR92014528A patent/KR0139279B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69205523D1 (de) | 1995-11-23 |
| TW209857B (ja) | 1993-07-21 |
| EP0528114A1 (en) | 1993-02-24 |
| EP0528114B1 (en) | 1995-10-18 |
| JPH05193980A (ja) | 1993-08-03 |
| US5116787A (en) | 1992-05-26 |
| KR0139279B1 (en) | 1998-06-15 |
| KR930004909A (ko) | 1993-03-23 |
| DE69205523T2 (de) | 1996-05-30 |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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