JPS61295256A - 基板用ガラス - Google Patents
基板用ガラスInfo
- Publication number
- JPS61295256A JPS61295256A JP13662585A JP13662585A JPS61295256A JP S61295256 A JPS61295256 A JP S61295256A JP 13662585 A JP13662585 A JP 13662585A JP 13662585 A JP13662585 A JP 13662585A JP S61295256 A JPS61295256 A JP S61295256A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- component
- cao
- bao
- meltability
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/102—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing lead
- C03C3/108—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing lead containing boron
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、転移温度（Ｔ ｇ）が６５０℃以上であり、
熱膨張係数（αｘｔｏ−７／”０）が約３５〜６０であ
って、優れた溶融性を維持しつつ対失透性が改善された
基板用ガラスに関する。
熱膨張係数（αｘｔｏ−７／”０）が約３５〜６０であ
って、優れた溶融性を維持しつつ対失透性が改善された
基板用ガラスに関する。
「従来技術」
近年、金属酸化物や金属等の薄膜を被覆形成したガラス
基板が、ＥＬや液晶等のディスプレイ、太陽電池および
フォトマスク等に利用されているが、これらの分野にお
いて基板として用いられるガラスは、薄膜形成工程等に
おける厳しい要求に対応して、以下に示す高度の特性が
要望されている。
基板が、ＥＬや液晶等のディスプレイ、太陽電池および
フォトマスク等に利用されているが、これらの分野にお
いて基板として用いられるガラスは、薄膜形成工程等に
おける厳しい要求に対応して、以下に示す高度の特性が
要望されている。
（１）￥ｊ膜形成工程において、高温にさらされるので
、優れた耐火・耐熱性、すなわち、転移温度（Ｔ ｇ）
が６５０℃以上、熱膨張係数（αＸｌ０−７／℃）が約
３５〜６０の範囲の特性を有すること。
、優れた耐火・耐熱性、すなわち、転移温度（Ｔ ｇ）
が６５０℃以上、熱膨張係数（αＸｌ０−７／℃）が約
３５〜６０の範囲の特性を有すること。
（２）ガラス中のアルカリイオンがｒ４ＨＱ中に拡散し
て特性を変えないようアルカリ成分を含有しないこと。
て特性を変えないようアルカリ成分を含有しないこと。
（３）泡、脈理およびインクルージヨン等を含まない高
度の光学的特性を有すること。
度の光学的特性を有すること。
（４）種々の薬品による洗浄やエツチングに耐え得る化
学的耐久性を有すること。
学的耐久性を有すること。
従来、上記の高転移温度特性と低膨張特性とを有するガ
ラスとして、種々のアルミノケイ酸塩ガラスが知られて
いる。
ラスとして、種々のアルミノケイ酸塩ガラスが知られて
いる。
例えば、多量のＢ２Ｏ３成分を含有する５ｉｏ２−Ｂ２
Ｏ３−Ａｌ２Ｏ２−ＢａＯ系ガラスがコーニング社の暑
７０５８ガラスとして知られている。しかし、このガラ
スは、粘性が大きいため溶融性が悪く、また溶融時のＢ
２Ｏ３成分の揮発により光学的均質性を損ない易いうえ
、転移温度が不十分である。また、広い範囲量のＰｂＯ
成分を含有するＳ ｉ０２−Ａ Ｉ２Ｏ３−ＭｇＯ−Ｃ
ａＯ−ＺｎＯ−ＰｂＯ系のガラスが特開昭５８−３２０
３８号公報において知られているが、このガラスはＰｂ
Ｏ成分が多い場合は着色しやすく、また少ない場合は失
透しやすい、さらに、Ｒ２Ｏ成分（ただし、Ｒはアルカ
リ金属元素）を添加し得るＳｉ０２−Ｂ２０３−ＡＳｉ
０２−Ｂ２０３−Ａ１２０３−系のガラスが特開昭８０
−４２２４７号公報において知られている。しかし、こ
のガラスは、無アルカリの場合、失透しやすく光学的均
質性に優れたカラスを得がたい。
Ｏ３−Ａｌ２Ｏ２−ＢａＯ系ガラスがコーニング社の暑
７０５８ガラスとして知られている。しかし、このガラ
スは、粘性が大きいため溶融性が悪く、また溶融時のＢ
２Ｏ３成分の揮発により光学的均質性を損ない易いうえ
、転移温度が不十分である。また、広い範囲量のＰｂＯ
成分を含有するＳ ｉ０２−Ａ Ｉ２Ｏ３−ＭｇＯ−Ｃ
ａＯ−ＺｎＯ−ＰｂＯ系のガラスが特開昭５８−３２０
３８号公報において知られているが、このガラスはＰｂ
Ｏ成分が多い場合は着色しやすく、また少ない場合は失
透しやすい、さらに、Ｒ２Ｏ成分（ただし、Ｒはアルカ
リ金属元素）を添加し得るＳｉ０２−Ｂ２０３−ＡＳｉ
０２−Ｂ２０３−Ａ１２０３−系のガラスが特開昭８０
−４２２４７号公報において知られている。しかし、こ
のガラスは、無アルカリの場合、失透しやすく光学的均
質性に優れたカラスを得がたい。
なお、特開昭８０−７１５４０号公報において、ＣａＯ
成分不在下でのＢａＯ成分の耐失透性改善効果に基づい
て溶融性を向上させた ５ｉＯ７−Ｂ２Ｏ３−Ａ１２０
３− ＭｇＯ−ＢａＯ−ＺｎＯ−ＰｂＯ系のガラスが提
案されているが、このガラスは、耐失透性が十分に改善
されているとはいえない。
成分不在下でのＢａＯ成分の耐失透性改善効果に基づい
て溶融性を向上させた ５ｉＯ７−Ｂ２Ｏ３−Ａ１２０
３− ＭｇＯ−ＢａＯ−ＺｎＯ−ＰｂＯ系のガラスが提
案されているが、このガラスは、耐失透性が十分に改善
されているとはいえない。
［解決しようとする問題点」
本発明は、上述の状況に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、基板用ガラスに対する前記の諸要望
を満たし、優れた溶融性を維持しつつ、耐失透性を一段
と向上させて、前記従来のガラスにみられる諸欠点を総
合的に解消した基板用ガラスを提供することにある。
的とするところは、基板用ガラスに対する前記の諸要望
を満たし、優れた溶融性を維持しつつ、耐失透性を一段
と向上させて、前記従来のガラスにみられる諸欠点を総
合的に解消した基板用ガラスを提供することにある。
ｒ問題点を解決するための手段」
上記目的を達成するため、本発明者等は、鋭意試験研究
を重ねた結果、比較的多量のＣａＯ成分を含有するＳｉ
０２−Ｂ２０３−Ａ１２０３Ｓｉ０２−Ｂ２０３−Ａ１
２０３−系ガラスにＢａＯ成分を必須成分として含有さ
せると所望の高転移温度特性および低膨張特性とともに
優れた溶融性を維持しつつ、液相温度を著しく低下させ
ることが可能であり、耐失透性に一層優れたガラスが得
られることをみいだし、本発明をなすに至った。
を重ねた結果、比較的多量のＣａＯ成分を含有するＳｉ
０２−Ｂ２０３−Ａ１２０３Ｓｉ０２−Ｂ２０３−Ａ１
２０３−系ガラスにＢａＯ成分を必須成分として含有さ
せると所望の高転移温度特性および低膨張特性とともに
優れた溶融性を維持しつつ、液相温度を著しく低下させ
ることが可能であり、耐失透性に一層優れたガラスが得
られることをみいだし、本発明をなすに至った。
本発明にかかる基板用ガラスの特徴は、重量％で、
５ｉＯ７４６〜 ６５ ％、
Ｂ２Ｏ３０．５〜 ｌＯ％、
Ａ１２０３１０〜 ２２ ％。
ＭｇＯ３〜 １０ ％。
ＣａＯ３，５〜 １５ ％、
Ｓ「０ ０〜１５・ ％、ＢａＯ
３．５〜１５ ％、ＰｂＯＯ，
５〜 １０ ％、 ＺｎＯ３，５〜 １５ ％、 ＺｒＯ７θ 〜 ２．５％、 Ａｓ２Ｏ３０” １ ％ および ５ｂ２０３０ 〜２ ％ を含有することにある。
３．５〜１５ ％、ＰｂＯＯ，
５〜 １０ ％、 ＺｎＯ３，５〜 １５ ％、 ＺｒＯ７θ 〜 ２．５％、 Ａｓ２Ｏ３０” １ ％ および ５ｂ２０３０ 〜２ ％ を含有することにある。
上記のように各成分の組成範囲を限定した理由は、つぎ
のとおりである。
のとおりである。
すなわち、Ｓ＋０２．成分は、ガラスの溶融性を悪化さ
せることなく所要の耐火・耐熱性と化学的耐久性を維持
させることができるが、そのためには４６〜６５％の範
囲が適量である− Ｂ２Ｏ３成分の量は、ガラスの化学
的耐久性と転移温度を劣化させることなく溶融性を向上
させるため、０．５〜１０％の範囲とする。Ａｌ２Ｏ３
成分は、ガラスの溶融性を悪化させることなく所要の転
移温度を維持させるため、１０〜２２％含有させなけれ
ばならない、 ＭｇＯ成分の量は、ガラスの失透を防止
しつつ溶融の際の粘性を低下させるため、３〜ｌＯ％と
する。
せることなく所要の耐火・耐熱性と化学的耐久性を維持
させることができるが、そのためには４６〜６５％の範
囲が適量である− Ｂ２Ｏ３成分の量は、ガラスの化学
的耐久性と転移温度を劣化させることなく溶融性を向上
させるため、０．５〜１０％の範囲とする。Ａｌ２Ｏ３
成分は、ガラスの溶融性を悪化させることなく所要の転
移温度を維持させるため、１０〜２２％含有させなけれ
ばならない、 ＭｇＯ成分の量は、ガラスの失透を防止
しつつ溶融の際の粘性を低下させるため、３〜ｌＯ％と
する。
本発明において、ＣａＯ成分は、後述のＢａＯ成分の耐
失透性向上効果を助長する成分として欠くことのできな
い重要な成分である。しかし、その量が５，５％未満で
は、上記の助長効果が著しく減退し、また１５％を超え
るとガラスの熱膨張係数が過大となりやすい、 ＢａＯ
成分は、上述のとおりＣａＯ成分との共存下で耐失透性
を著しく向上させる重要な成分であるが、その量は、こ
の効果を発揮させるため、３．５％以上必要であり、ま
たガラスの溶融性を悪化させないため、１５％までとす
る。
失透性向上効果を助長する成分として欠くことのできな
い重要な成分である。しかし、その量が５，５％未満で
は、上記の助長効果が著しく減退し、また１５％を超え
るとガラスの熱膨張係数が過大となりやすい、 ＢａＯ
成分は、上述のとおりＣａＯ成分との共存下で耐失透性
を著しく向上させる重要な成分であるが、その量は、こ
の効果を発揮させるため、３．５％以上必要であり、ま
たガラスの溶融性を悪化させないため、１５％までとす
る。
末尾に示した図−１において１曲線（Ｉ）は。
５ｉ０２８０．０％、Ｂ２Ｏ３３．９％、Ａｌ２０３１
７．９％、Ｍｇ８７．４％、Ｚｎ０７．４％、Ｐｂ０３
．１％ およびＡｓ２Ｏ３０，３％を基礎ガラス組成と
した場合のＣａＯ成分の添加量と液相温度の関係を示し
ている。また、同図曲線（ＩＩ）は、上記基礎ガラス組
成にＢａＯ成分を加えた５ｉ０２５７．０％、 Ｂ２Ｏ
３３．７％、Ａｌ２０３１７．０％、Ｍｇ０７．０ ％
、Ｚｎ０７．０％、 ＢａＯ３，０％、 Ｐｂ０３．
０％ およびＡｇ２Ｏ３０，３％のガラスを基礎組成と
した場合のＣａＯ成分の添加量と液相温度の関係を示し
ている。液相温度の低さは、耐失透性の優れていること
を示すが、図にみられるとおり、曲線（Ｉ）ではＣａＯ
成分の液相温度低下効果は顕著でないのに対し、 Ｂａ
Ｏ成分を予め含有する場合の曲線（ＩＩ）では、ＣａＯ
成分の量が５．５％を超えると意外にも液相温度低下効
果が顕著に現われ、臨界的変化を示している。 ｐｂｏ
成分は、ガラスの化学的耐久性を損ねることなく溶融性
を向上し、失透傾向を防止することができるが、そのた
めには０．５〜ｌＯ％の範囲が適量である。 ＺｎＯ成
分は、ガラスの失透を防止しつつ溶融性と化学的耐久性
を向上させ得るが、その効果を発揮させるためには、３
．５〜１５％の範囲でなければならない、 ＳｒＯ成分
は、転移温度の調整や溶融性改善のために任意に添加し
得るが、 １５％までで十分である。 ＺｒＯ７成分は
、ガラスの転移温度や化学的耐久性向上のため添加し得
るが、溶融性を悪化させやすいので、その量は２．５％
以下とする。 Ａｓ２Ｏ３成分は、ガラス溶融の際の
清澄剤として１％まで、また５ｂ２０３成分は、ガラス
の清澄剤または融剤として、２％までそれぞれ任意に添
加できる。
７．９％、Ｍｇ８７．４％、Ｚｎ０７．４％、Ｐｂ０３
．１％ およびＡｓ２Ｏ３０，３％を基礎ガラス組成と
した場合のＣａＯ成分の添加量と液相温度の関係を示し
ている。また、同図曲線（ＩＩ）は、上記基礎ガラス組
成にＢａＯ成分を加えた５ｉ０２５７．０％、 Ｂ２Ｏ
３３．７％、Ａｌ２０３１７．０％、Ｍｇ０７．０ ％
、Ｚｎ０７．０％、 ＢａＯ３，０％、 Ｐｂ０３．
０％ およびＡｇ２Ｏ３０，３％のガラスを基礎組成と
した場合のＣａＯ成分の添加量と液相温度の関係を示し
ている。液相温度の低さは、耐失透性の優れていること
を示すが、図にみられるとおり、曲線（Ｉ）ではＣａＯ
成分の液相温度低下効果は顕著でないのに対し、 Ｂａ
Ｏ成分を予め含有する場合の曲線（ＩＩ）では、ＣａＯ
成分の量が５．５％を超えると意外にも液相温度低下効
果が顕著に現われ、臨界的変化を示している。 ｐｂｏ
成分は、ガラスの化学的耐久性を損ねることなく溶融性
を向上し、失透傾向を防止することができるが、そのた
めには０．５〜ｌＯ％の範囲が適量である。 ＺｎＯ成
分は、ガラスの失透を防止しつつ溶融性と化学的耐久性
を向上させ得るが、その効果を発揮させるためには、３
．５〜１５％の範囲でなければならない、 ＳｒＯ成分
は、転移温度の調整や溶融性改善のために任意に添加し
得るが、 １５％までで十分である。 ＺｒＯ７成分は
、ガラスの転移温度や化学的耐久性向上のため添加し得
るが、溶融性を悪化させやすいので、その量は２．５％
以下とする。 Ａｓ２Ｏ３成分は、ガラス溶融の際の
清澄剤として１％まで、また５ｂ２０３成分は、ガラス
の清澄剤または融剤として、２％までそれぞれ任意に添
加できる。
なお、本発明のガラスは、上記成分のほかにガラスの溶
融性、耐失透性および化学的耐久性の向−Ｌまたはソー
ラリゼーシ□ン防止等のため、必要に応じ、 ＴｉＯ２
、Ｔａ２０５ 、 Ｎｂ２Ｏ５、Ｌａ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３
、Ｇｄ２Ｏ３および Ｐ２Ｏ５の各成分を、各々５％ま
で、マタＣｅ２ｒＪ３ 、５ｎ０２オＪ：び Ｆｅ２Ｏ
３成分を各／／ ０．５％まで含有させることができる
。
融性、耐失透性および化学的耐久性の向−Ｌまたはソー
ラリゼーシ□ン防止等のため、必要に応じ、 ＴｉＯ２
、Ｔａ２０５ 、 Ｎｂ２Ｏ５、Ｌａ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３
、Ｇｄ２Ｏ３および Ｐ２Ｏ５の各成分を、各々５％ま
で、マタＣｅ２ｒＪ３ 、５ｎ０２オＪ：び Ｆｅ２Ｏ
３成分を各／／ ０．５％まで含有させることができる
。
「実施例」
つぎに、本発明の基板用ガラスにかかる実施組成例（Ｎ
ｏ、１＝Ｎｏ、１２）と比較組成例Ｎｏ、Ａ 、 Ｎｏ
、ＢおよびＮｏ、Ｃ（それぞれ前記従来のＳｉＯ□−Ａ
Ｉ、０３−ＭｇＯ−ＣａＯ−ＺｎＯ−ＰｂＯ系ガラス、
５ｉ０２−Ｂ２Ｏ３ −Ａｌ２Ｏ２−ＭｇＯ−ＣａＯ−
ＺｎＯ−Ｒ２Ｏ系ガラスおよび５ｉ０２−日、０３−Ａ
１２０３−ＭｇＯ−ＢａＯ３−Ａ１２Ｏ３−系ガラス）
を、これらのガラスの熱膨張係数（αＸ １０−７／’
Ｏ） 、転移温度（Ｔｇ（”０））および液相温度（”
Ｃ）とともに表−１に示す。ここで、液相温度は、約ｌ
龍の大きさのガラス粒を温度傾斜炉で３０分間保温し、
失透が析出した上限温度を測定することにより求めたも
のである。
ｏ、１＝Ｎｏ、１２）と比較組成例Ｎｏ、Ａ 、 Ｎｏ
、ＢおよびＮｏ、Ｃ（それぞれ前記従来のＳｉＯ□−Ａ
Ｉ、０３−ＭｇＯ−ＣａＯ−ＺｎＯ−ＰｂＯ系ガラス、
５ｉ０２−Ｂ２Ｏ３ −Ａｌ２Ｏ２−ＭｇＯ−ＣａＯ−
ＺｎＯ−Ｒ２Ｏ系ガラスおよび５ｉ０２−日、０３−Ａ
１２０３−ＭｇＯ−ＢａＯ３−Ａ１２Ｏ３−系ガラス）
を、これらのガラスの熱膨張係数（αＸ １０−７／’
Ｏ） 、転移温度（Ｔｇ（”０））および液相温度（”
Ｃ）とともに表−１に示す。ここで、液相温度は、約ｌ
龍の大きさのガラス粒を温度傾斜炉で３０分間保温し、
失透が析出した上限温度を測定することにより求めたも
のである。
表−１にみられるとおり、比較組成例のガラスは、いず
れも液相温度が１２００℃以上と高く耐失透性に劣るの
で、均質性の高いガラスを得ることが困難である。これ
に対して本発明の実施組成例のガラスは、いずれも所定
の高転移温度特性と低膨張特性を維持し、しかも液相温
度が１２００℃以下であって、耐失透性に一段と優れて
いる。
れも液相温度が１２００℃以上と高く耐失透性に劣るの
で、均質性の高いガラスを得ることが困難である。これ
に対して本発明の実施組成例のガラスは、いずれも所定
の高転移温度特性と低膨張特性を維持し、しかも液相温
度が１２００℃以下であって、耐失透性に一段と優れて
いる。
本発明の上記実施例のガラスは、いずれも耐失透性と溶
融性に優れているので、調合原料を約１３００〜１４５
０℃の温度で溶融し、比較的容易に攪拌均質化し、所望
形状に成形することができる。
融性に優れているので、調合原料を約１３００〜１４５
０℃の温度で溶融し、比較的容易に攪拌均質化し、所望
形状に成形することができる。
「発明の効果」
上述のとおり、本発明の基板用ガラスは、所定量の Ｂ
ａＯおよび ＣａＯ成分を共存させた Ｓ＋０２−Ｂ２
Ｏ３−Ａ １２０３−Ｍｇ０−ＣａＯ−ＢａＯ−ＺｎＯ
−ＰｂＯ系ガラスであるから、所望の高転移温度特性と
低膨張特性を有し、そのうえ優れた溶融性を維持しつつ
、耐失透性を大幅に改善することができる。また、アル
カリ成分を含有していないうえに、化学的耐久性にも優
れている。従って、本発明のガラスは、ＥＬ等の各種基
板として用いる場合、高温度での薄膜形成工程や過酷な
各種の化学処理工程に十分耐えることができるので、特
性の優れた薄膜を形成し得る。また、ガラスの製造に際
しては、基板用ガラスに要求される高度の均質性を有す
るガラスを高い歩留で安定して製造することができる。
ａＯおよび ＣａＯ成分を共存させた Ｓ＋０２−Ｂ２
Ｏ３−Ａ １２０３−Ｍｇ０−ＣａＯ−ＢａＯ−ＺｎＯ
−ＰｂＯ系ガラスであるから、所望の高転移温度特性と
低膨張特性を有し、そのうえ優れた溶融性を維持しつつ
、耐失透性を大幅に改善することができる。また、アル
カリ成分を含有していないうえに、化学的耐久性にも優
れている。従って、本発明のガラスは、ＥＬ等の各種基
板として用いる場合、高温度での薄膜形成工程や過酷な
各種の化学処理工程に十分耐えることができるので、特
性の優れた薄膜を形成し得る。また、ガラスの製造に際
しては、基板用ガラスに要求される高度の均質性を有す
るガラスを高い歩留で安定して製造することができる。
なお、本発明の基板用ガラスは、その特性が要求される
前記以外の他の用途の基板用ガラスにも使用し得る。
前記以外の他の用途の基板用ガラスにも使用し得る。
図＝１において、曲Ｍ （Ｉ）は、５ｉ０２−Ｂ２Ｏ３
−Ａ ｌ２０３−Ｍｇ０−ＺｎＯ−ＰｂＯ−Ａｓ２０３
系の基礎組成におけるＣａＯ成分の添加量と液相温度と
の関係を示し、曲線（■）は５ｉ０２−Ｂ２Ｏ３−Ａ１
２０３− ＭｇＯ−ＺｎＱ−ＰｂＧ−ＢａＯ−Ａｓ２０
３系基礎組成における同様の関係を示す図である。 特許出願人 株式会社 オ ハ ラ 図−工 手 続 補 正 占 昭和６１年９月１７日
−Ａ ｌ２０３−Ｍｇ０−ＺｎＯ−ＰｂＯ−Ａｓ２０３
系の基礎組成におけるＣａＯ成分の添加量と液相温度と
の関係を示し、曲線（■）は５ｉ０２−Ｂ２Ｏ３−Ａ１
２０３− ＭｇＯ−ＺｎＱ−ＰｂＧ−ＢａＯ−Ａｓ２０
３系基礎組成における同様の関係を示す図である。 特許出願人 株式会社 オ ハ ラ 図−工 手 続 補 正 占 昭和６１年９月１７日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 重量％で、 ＳｉＯ＿２ ４６〜６５％、 Ｂ＿２Ｏ＿３ ０．５〜１０％、 Ａｌ＿２Ｏ＿３ １０〜２２％、 ＭｇＯ ３〜１０％、 ＣａＯ ５．５〜１５％、 ＳｒＯ ０〜１５％、 ＢａＯ ３．５〜１５％、 ＰｂＯ ０．５〜１０％、 ＺｎＯ ３．５〜１５％、 ＺｒＯ＿２ ０〜２．５％、 Ａｓ＿２Ｏ＿３ ０〜１％ およびＳｂ＿２Ｏ＿３ ０〜２％ を含有することを特徴とする基板用ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13662585A JPS61295256A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 基板用ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13662585A JPS61295256A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 基板用ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295256A true JPS61295256A (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15179676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13662585A Pending JPS61295256A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 基板用ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61295256A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63176332A (ja) * | 1987-01-16 | 1988-07-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 電子機器の基板用ガラス |
| DE19916296C1 (de) * | 1999-04-12 | 2001-01-18 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
| WO2001017921A1 (de) | 1999-09-04 | 2001-03-15 | Schott Glas | Erdalkalialuminoborosilicatglas und dessen verwendungen |
| JP2002053341A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-19 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 無機ｅｌディスプレイガラス基板 |
| JP2007254283A (ja) * | 1994-03-14 | 2007-10-04 | Corning Inc | アルミノケイ酸塩ガラスを用いたガラスパネル |
| US8598056B2 (en) | 2010-10-06 | 2013-12-03 | Corning Incorporated | Alkali-free glass compositions having high thermal and chemical stability |
| US8753993B2 (en) | 2006-02-10 | 2014-06-17 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
| JP2015051918A (ja) * | 2014-11-06 | 2015-03-19 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP13662585A patent/JPS61295256A/ja active Pending
Cited By (13)
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|---|---|---|---|---|
| JPS63176332A (ja) * | 1987-01-16 | 1988-07-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 電子機器の基板用ガラス |
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