JPH01160844A - 液晶表示装置の基体用ガラス - Google Patents

液晶表示装置の基体用ガラス

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JPH01160844A
JPH01160844A JP63283550A JP28355088A JPH01160844A JP H01160844 A JPH01160844 A JP H01160844A JP 63283550 A JP63283550 A JP 63283550A JP 28355088 A JP28355088 A JP 28355088A JP H01160844 A JPH01160844 A JP H01160844A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は一般に液晶表示装置用ガラス組成物に関し、更
に詳しくは、液晶表示装置のガラスシートの形成用用途
に要求される硬度、化学的耐久性及び高温安定性を示す
アルカリ土類硼アルミノ珪酸ガラスに関する。
(従来の技術) アルカリ土類硼アルミノ珪酸ガラスは非常に良く知られ
ているガラス組成物の一系統を構成している。米国特許
第2.393.449号には、例えば、実質的にアルカ
リ金属酸化物を含有せず、それ故、高い誘電率と低い誘
電力率のアルカリ土類硼アルミノ珪酸ガラスが開示され
ている。それらのガラスは、重量で、約to−go%の
Ba 0.5−20%のA 1203.22−60%の
B2O3、及び約55%までの5tO2から成る組成を
有し、コンデサー及び他の電子装置のガラス誘電層に使
用するのに特に適している。
より最近に開発された他の公知のアルカリを含有しない
珪酸ガラスは、タングステン−ハロゲンランプのランプ
外被として使用されるアルカリ土類アルミノ珪酸ガラス
である。ランゲステン−ハロゲンランプは、比較的高い
歪点、低い熱膨張率及び液相線において高粘度であるこ
とをガラスに要求し、その結果、それらは通常のガラス
管延伸装置を用いて形成しても良く、要求される比較的
高いランプ操作温度に耐えるであろう。この種のガラス
の例は、米国特許第3.978,362号に報告されて
おり、そこには約58−133%のSiO2、13−1
6%のA 12 o3.14−2)%のCaO10−5
%のMg O及び0−7%のBa O,最後にCa O
Mg O及びBaOの総量が少なくとも19重量%であ
るものから成るガラスが開示されている。
タングステン−ハロゲンランプに使用するための特別に
設計した珪酸アルミニウムの別の系統も又報告されてい
る。米国特許第4,303、250号には64−88%
のSl o、、11−14%のCaO,18,5−18
,5%のAl2O3、及びSrO及びBaOの総量が2
−8.5%であって、組成物に対し、SrOが約0−4
%でBaOが約0−5%の範囲であるものから成るガラ
ス組成物が開示されている。これらのガラスは、750
℃を超える歪点を示し、且つ、液相線において高粘度で
あると共に比較的低い液相線温度を与える。
米国特許第4,394.453号には、約60±1.5
%の5to2、t’r±1%のAlz Os 、5±0
.8%のBa O,11,4±0.8%のCaO及び7
.5±0.8%のMg Oから成るガラスが開示されて
いる。これらのガラスは、ベロチューブ延伸工程によっ
てガラス管を製造する際に要求される熱的安定性及び粘
度特性が改良されていることが報告的に示されている。
米国特許第4.409.337号には、約5B〜599
6のSi 02.1B−17%のA 1203.4.5
〜5゜25%のB2o3.7.5〜9.25%のCa 
0.5.5〜6.25%のMg O及び5〜9%から成
るタングステン−ハロゲンランプ用ガラスが開示されて
いる。
後者の組成物の決定的な特徴は、ZnOが任意に存在す
ることにより熱膨張を変化させると共に低減した液相線
温度に影響するBaO含有量を制御することである。
この出願のアルカリ土類アルミノ珪酸ガラスについての
特別の関心は、平板パネル表示装置用の平板ガラス基体
の製造についてである。米国特許第4.634.683
号には、本出願に要求されるガラスの性質、並びにその
ようなガラスを平板パネル表示装置に組込むために使用
される方法について一般的に記載されている。この用途
に適したものとして開示されているガラスは、モル%で
、5i02が約68〜60%、Al2O3が18〜26
%、及びBaOとSrOの総量が2〜6%から実質的に
成るものである。
平板パネル表示装置用の、関連したガラスが米国特許第
4,634.684号に記載されており、これには、モ
ル26で、約77〜82%の5102.9〜12%のA
l2O3及び9〜12%のSrOから実質的に成るガラ
スが開示されている。これらのガラスは、表示装置に加
工するのに必要な高い徐冷点を示し、又、液Fu線温度
において高い粘度を示すので、それらは、例えば、米国
特許第3、338,696号に記載されているようなオ
ーバーフローダウンドローシート形成法により形成する
ことができる。しかしながら、それらは比較的高温にお
いて溶融し、形成しなければならず、その温度は現在存
在している大型溶融装置の確認されている容量を超えて
いる。
後二者の特許において指摘されているように、現在の液
晶表示(LCD)技術は、ガラスの表面に直接薄膜トラ
ンジスタの巨大な配列を適用することを含んでいる。そ
のようなトランジスタの配列は、電気信号に対して速や
かに切替えの応答をする表示装置を供給するためには必
須であることが見出されている。
要求に応える薄膜トランジスタ(T P T)配列を供
給するために、トランジスタは、その上にポリシリコン
層を設けるために予め処理された基体ガラスのシート上
に本来あるべき位置に設けられる。しかしながら、その
ような層の開発には、習慣的に使用されている、より高
い加工温度のために、むしろ、高い歪点温度を有するガ
ラスが要求される。実際、表示装置の技術が進歩するに
つれ、より高い歪点を示すガラスが要求されている。し
かしながら、同時に、TPT配列の開発と基体に要求さ
れる優れた化学的耐久性を有するように、ガラスとポリ
シリコン層の間の物理的適合性を保証するために必要と
される熱膨張特性が維持されなければならない。
薄膜トランジスタ配列技術に用いられるLCD表示装置
用に使用され、単一のガラスに併有されなければならな
いガラスの種々の要件は、以下のように要約される。
(1)ガラス基体からアルカリがトランジスタマトリッ
クス中に移行する可能性を避けるために、意図的に添加
されたアルカリを実質的に含有しないものでなければな
らない: (2)ガラス基体は、TPTマトリックス蒸着工程にお
いて使用される試薬に耐えるよう十分化学的な耐久性の
あるものでなければならない;(3)ガラス基体とTP
T配列中に存在するケイ素との間の膨張率の誤った組合
わせは、それら基体の処理温度が増加するように、維持
されるか或はむしろ減じなければならない;並びに(4
)ガラスは高品質シートの形に低コストで製造可能でな
ければならず、従って、必要な表面仕上げを達成するた
めに、広範囲に亙る研削及び艶出しが必要であってはな
らない。
この最後の要件は、オーバーフローダウンドローシート
製造工程等のような本質的に仕上られたガラスシートを
製造可能なシートガラス製造工程が使用されなければな
らないということを意味する。このことは、逆にガラス
が液相線において高粘度であることが要求され、安定な
長期間のオーバーフローダウンドローシートを形成する
ための最小液相線粘度は現在、約3 X 105ボイズ
であるべきであると考えられている。
現在、液晶表示装置の製造に使用されている市販のガラ
スは、コーニングコード7059ガラスである。重量で
約50%の8102.15%のB2O3.10%のAl
2O3及び約24%のBaOから成るこのガラスは、名
目上はアルカリを含有せず、約48×10°T℃の膨張
率を有し、液相線温度において106ボイズを幾分超え
る粘度を示すものである。このガラスの高液相線粘度は
、オーバーフローダウンドローシート処理によるそれか
らのガラスシートの製造を容易にする。しかしながら、
このガラスの相対的に低い歪点(約590℃)は、進歩
したLCD表示装置の処理技術の要求に対し、辛うじて
適合するのみである。
現在の表示処理に耐えるためには、ガラスの歪点が少な
くとも625℃であることが要求されると考えられ、ガ
ラスの化学的耐久性も又実質的に改良されるべきである
。しかしながら、ガラスシートの効率的で経済的な製造
に本質的である水準を超えてガラスの液相線温度を不本
意に上げることをせずに、公知の型のアルカリを含有し
ないガラスの歪点を上昇させることは困難である。それ
にも拘らず、そのような表示装置へのガラスの処理可能
性についての有用な改良が要求されており、ガラスは高
歪点を有するだけでなく、熱膨張の平均直線係数が約2
0〜60X10−7/℃の範囲にあり、ガラス液相線に
おける粘度が約3XlO°5ボイズを超え、且つ、5%
CWiQ)HC1水溶液中95℃での重量損失が、24
時間後に約10s+g/c−のガラス表面領域を超えな
いことで特徴付けられる化学的耐久性を有するものでな
ければならない。
(発明の概要) 本発明によれば、アルカリ土類硼アルミノ珪酸組成物系
における組成物の特定された範囲が、進歩した液晶表示
装置の基体処理に対する上記した全ての要件に同時に合
致したガラスを生ずることが確認されている。−量的に
定義をすると、本発明に従って供給され、それらの要件
に適合するガラスは、カチオン百分率で、約52−58
%の5IO3、13、5−18%のA 1. o3.2
0−23%のB2O3、0−4%のMg O、0−6%
のCaO10−6%のSr0,19%のBa O,総量
で8−12%のMg O+Ca O+Sr O+Ba 
Ol並びに更なる修飾成分として任意に存在してもよい
0−3%のZnOから実質的になるものである。
本発明の範囲内に入るガラスは、清澄剤、着色剤又は他
の添加剤等の、溶融特性、外観及び/又は他のガラス性
能を改良するために少ない割合で使用される、他の公知
の成分から成っていてもよい。しかしながら、そのよう
な添加は、上記した組成限定を維持するために、量的に
限定されなければならない。何故ならば、それらの限定
範囲外のガラスは要求される性質を示さないことが見出
されているからである。
本発明のアルカリ土類硼アルミノ珪酸ガラス中の個々の
ガラス成分を変えることの効果は複雑で相互に関連があ
るけれども、幾つかの組成変形の幾つかの一般的な効果
は観察されている。例えば、もし、組成物のシリカ含有
量が非常に多いと、ガラスは溶融しにくくなる。一方、
シリカの量が少ないと、ガラスの高歪点を維持すること
が困難となる。
アルミナは又、ガラスの適正な歪点を維持するのに重要
な役割を有しているが、もし、過剰に存在すると、アル
ミナはガラスの液相線温度を過度に上昇させることが見
出されている。B2O3は特定した範囲内に維持しなけ
ればならない。何故ならば、もし、過剰に存在すると、
ガラスの耐酸性のみならずその歪点を不当に低下させる
からである。Mg Oは少量でガラスの液相線温度を制
御するのに有用であるが、過度の量であると耐酸性を低
下させる。CaO及びSrOはガラスの粘度−温度関係
を変更し、低液相線温度及び/又は液相線における高ガ
ラス粘度を達成するのを助けるのに有用であるが、過剰
量は反対の効果をもたらし、ガラスの液相線温度を不都
合にも上昇させる。
BaOはガラスの液相線を制御し、液相線において満足
な粘度を維持するための線成分であるが、この成6分が
過剰であると、ガラスを不当に軟化させ、且つ、ガラス
バッチのコストを不当に高める。
少量のZnOは性質を調整するために添加することがで
きるが、数%を超えるとガラスの歪温度を不当に低下さ
せる。
先に注記したように、現在の液晶表示装置の製造技術に
よるガラス基体上の活性TPT配列の製造は、ポリクリ
スタリンシリコン(多結晶質ケイ素)の蒸着が最初にガ
ラス基体に対して適用されるべきことを要求している。
洗練されたLCD装置が要求される場合には、ポリクリ
スタリンシリコンが使用され、ガラス基体に対して高い
処理温度が要求されている。ガラスの歪点が、ガラス又
は適用された塗料に対し損害を与えることなくそれらの
製造工程の間、ガラスが処理されることができるおおよ
そ最大の温度を表わしているということは、一般に受は
入れられている。
ガラスが実質的にアルカル金属酸化物を含有しないとい
うことも又重要なことである。何故ならば、アルカリ類
はガラスを軟化させる効果をHしており、さらに重要な
ことには、次の表示装置処理の間にポリシリコン塗膜中
に移動しがちであるからである。先に注記したように、
硼珪酸及びアルミノ珪酸ガラスは実質的にアルカリ金属
酸化物を含有せず、高い軟化点を有しているということ
は当業界において良く知られている。公知のアルミノ珪
酸組成物の場合においては、しかしながら、ガラスは通
常、安定なダウンドローシートの形成に望ましいよりも
より高い液相線を有している。
カくシて、これらの公知のアルミノ珪酸ガラスは表示装
置用の仕上げガラスシートを作るには経済的に使用する
ことができない。
一方、硼珪酸ガラスは、アルミノ珪酸ガラスよりも、よ
り低い液相線温度と良好な粘度−温度特性を有している
。しかしながら、それらはこの用途に必要とされる高歪
点及び耐酸性を提供するものではない。 下記第1表は
、硼珪酸及びアルミノ珪酸系におけるアルカリを含有し
ない二つの公知のガラスの組成を報告したものである。
第1表の組成物は、カチオン百分率で、そして括弧内に
示されている相当するff1t百分率の値と共に報告さ
れている。二つの組成物のそれぞれについて、第1表に
示されていることは、それぞれのガラスの、軟化、徐冷
、及び歪点温度を含む化学的及び物理的性質、それぞれ
のガラスの膨張率及び密度、並びに5%HCl中でのf
f1l損失によって立証された化学的耐久性である。ガ
ラスの内部液相線温度及びそれぞれの液相線温度におけ
るそれらの粘度も又報告されている。
表に記載されているように、ガラス中において硼素のカ
チオンの割合がアルミニウムのそれを超えているのでそ
のように表示した硼珪酸ガラスはコーニングコード70
59ガラスである。このガラスは、液を目線において高
い粘度を示すが、比較的低い歪点及びHCI水溶液と接
触させることによる高い重量損失によって証明される相
対的に低い化学的耐久性をも有する。コーニングコード
1724ガラスである、第1表のアルミノ珪酸ガラスは
、硼珪酸ガラスよりもより高い歪点を示し、酸の攻撃に
対してより低い感応性を示している。しかしながら、そ
れは、より低いものが望ましい液相線温度における粘度
をも表示している。
第  1  表   ′ コード 7059   コード 1724S i Oz
   51.、O(50)  54.5 (55,8)
B2o32B、0 (15)  8.0 (4,9)A
 12o312.9 (10)  18.5 (18,
7)Mg O8,0(5,8) Ca O8,0(7,9) Ba O10,1(24)  3.0 (8,3)軟化
点 ℃844      92 B徐冷点 ℃639 
     72B 歪点℃593   674 密度g/cc  2.76  2.64平均熱膨張率 
   4644 /’C(X107 ) 液相線温度 ℃ (内部−24時間)   898      1100
液相線粘度 ポイズ )20 X 10”   I X
 105重量損失 mg/cd  9.8      
0.25(5%lICl−95℃、24時間) 本発明によって解決されるべき主要な問題は、従来技術
のガラスよりもより高い歪点及び耐久性を示し、しかも
、過度に高い液相線温度及び高品質のガラスシートを経
済的に形成することができない程低い液相線における粘
度を示さないガラス組成物の領域を同定することである
。後者の要件は、臨界的である。何故ならば、経済的な
ガラスシートの製造が要求される種類のオーバーフロー
ダウンドローシート形成の処押工程にとっては、ガラス
の液相線温度において、粘度が少なくとも2X105、
より好ましくは3 X 105であることが実際的な要
件である。
下記第2表には、本発明の範囲内に入り、同時に性質が
全ての要件に適合するガラス組成物の実例を示す。第2
表に含まれている、報告されたそれぞれのガラスは、ガ
ラス成分のカチオン百分率での濃度であり、個々のガラ
ス試料について測定した、それらの軟化点(Sol’t
、PL、)徐冷点(Anneal、PL ) 、及び歪
点(Strain、PL、)温度、ガラスの熱膨張率(
Thern+、Exp、)及び密度、並びに液相線温度
及びガラスの液相線温度に・おける粘度である。熱膨張
率の値は、再度、25〜300℃における10Tを掛け
た平均値として報告されており、液相線温度は24時間
の内部液相線温度である。液相線粘度は1O−5を掛け
たポイズで報告されている。
第2表は又ガラスの化学的耐久性を反映する、HCIに
浸漬した後の1fX=損失(vL、Loss )の数字
を含んでいる。後者の数字は、5%MCIに95℃で2
4時間浸漬したガラス試料の表面から′のミリグラム/
平方センチメータでの重量損失を再度示したものである
第2表 Sin253 53 57 53 53A1203 1
7 17 13 15 15B203  20 20 
20 22 22Mg0  2 2 2 2 2 CaO44−−− 5rO2−−−4 Ba0        2   4    g    
8   4軟化点 ’C923918−−906 徐冷点 ’C696893672)386679歪点℃
650645628 Ba6630熱膨張率/”C3B
、8 37.54+、2 40.8 39゜9(X10
7) 密度  2.482.522’、642.642.58
g/cff13 液相線 ℃1032 1016 1014 1013 
1001液相線粘度   14  22  −  − 
 22p、  (XIO”) 重量損失   3.82.9 0.8 4.8 4.2
)11g/cd 第 2 表(終了) Sin253   53   53  53A1203
15   15   15  17B203     
 22    22    20    20Mg0 
      −    4    2    2CaO
−−2− 8「 0       2         2   
 4Ba0        8     6     
6     4軟化点 ”C−−−918 徐冷点 ’CB91  879  678  690歪
点’CB41 831 832 1140熱膨張率/’
C43、537,943、939,7(X107) 密度  2.672.5B  2.84 2.59g 
/ cm ’ 液相線 ”Cl011  983  1013  10
42液相線粘度   −−一13 1)、  (XIO“5) 重量損失   8.8  5.0  2.4  3.4
mg / cj 下記第2A表は、上記第2表中のカチオン百分率で報告
された組成物を重量パーセントの値で示したものである
第2A表(重量%) Si 02   57.2) 56.2)5B、225
2.H54,68A I203  15.57 15.
3010.8g 12.7013.13B203   
12.51 12.2911.4312.72)3.1
5Mg0    1.44  1.41 1.31 1
.33 1.38Ca0    4.03  3.’l
13  0  0   GSrO3、730007,1
2 Ba  O5,5110,8320,1420,371
0,53第2A表(終了) SI 025L、79 54.94 53.38 54
.:IA l z 03   12.44 13.19
 12.82 14.60Bz 03    12.4
5 13.2) 11.67 11.89Mg0   
   0  2.78  1.35  1.38Ca0
         0     0   1.88  
   0Sr0       3.37     0 
  3.47   7.08Ba  O19,9515
,8715,42)0,47先に注記したように、組成
物は物理的及び化学的性質の全てを同時に達成するには
不足があり、ガラスの目的物が本発明により提供された
。第3表は、それらの目的物に適合する組成物の特定さ
れた範囲に近いがその範囲外であるガラス組成物の実施
例を掲げた。第3表は種々のガラスの組成物を含み、ガ
ラスの徐冷及び歪点、それらの熱膨張率及び密度、並び
に報告されたガラスの液相線及び化学的耐久性と共にカ
チオン%を再度報告する。
第3表 SIO251515353 A +203 12.9 12.9 15 15B20
3  28 26 22 22 Mg0         −22− CaO−−−− 5rO−−−− BaO10,18,18t。
ZnO−−−− 徐冷点 ℃651   B47 674 892歪点”
CB2O600626842 熱膨張率/’0  4B、3  43.3 39.7 
45.5(XIOT) 密度  2.782.062.6[i 2.70g /
 c+n 3 内部液相線 ’C93290710351060重量損
失     13   1B  3.9 3.6mg/
cJ(5%IIcI) 第 3 表(終了) SIO255555351 A 12 03     10.9   12.9  
 15 12.9B203       24    
22  22  22Mg0         23−
4 Ca0         4    3   4   
4SrO−−−− BaO4,14,146 ZnO−−”l    − 徐冷点 ℃674  673 079 659歪点℃6
31 627 B33 [i17熱膨張率/℃3g、4
  30.9 3B、4 44.3(XIO”) 密度  2.502.502.542.86g / c
m ’ 液相線 ’C1034103710431022重量損
失     31   5 5.7  12mg/cd
(5%IICI) 第3表の試験から明らかなように、表中に報告された実
施例1.2及び8は、現在の液晶表示装置の製造技術の
要求に適合するには不十分で高過ぎる歪点を示しており
、それらのガラスは実施例5と共に、要求される化学的
耐久性を示してはいない。実施例3.4.6及び7は適
正な化学的耐久性を示してはいるが、しかし、実施例3
及び6はガラスの歪点については最低限であり、実施例
4及び7は受容不可能な高い液相線温度を示している。
本発明において使用するに好ましいガラス組成物は、カ
チオン%で、約53−57%のSt 02.15−17
%のA12o3.20−22%のB2O3.1−6%の
BaO11−2%のMg 010−4%のCa O,0
−4%のSrO,及び総=to  12%のMg O+
Ca O+Sr O+Ba Oから成るものであろう。
組成物のこの範囲内においては、歪点が約630℃を超
え、熱膨張係数が38−43X 10’ /℃の間にあ
り、液相線温度が1020℃より下であり、且つ、液相
線における粘度が106ポイズを超え、更に優れた化学
的耐久性を示すガラスが容易に提供される。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)カチオン百分率で、約52−58%のSiO_2
    、12.5−18%のAl_2O_3、20−23%の
    B_2O_3、0−4%のMgO、0−6%のCaO、
    0−6%のSrO、1−9%のBaO、8−12%のM
    gO+CaO+SrO+BaO、0−3%のZnO、及
    び0−1%の清澄剤から実質的になることを特徴とする
    ガラス組成物。
  2. (2)625℃を超える歪点、25〜300℃の範囲に
    おいて約20〜60X10^−^7/℃の範囲にある熱
    膨張の平均直線係数、約1050℃を超えない内部液相
    線温度、及び5%HCl中95℃で24時間の期間に約
    10mg/cm^2を超えない重量損失を示す十分な化
    学的耐久性を有する特許請求の範囲第1項記載のガラス
  3. (3)カチオン百分率で、約53−57%のSiO_2
    、15−17%のAl_2O_3、20−22%のB_
    2O_3、1−6%のBaO、1−2%のMgO、0−
    4%のCaO、0−4%のSrO、10−12%のMg
    O+BaO+CaO+SrOから実質的になることを特
    徴とするガラス組成物。
  4. (4)630℃を超える歪点、約38〜43X10^−
    ^7/℃の範囲にある熱膨張係数、約1042℃以下の
    液相線温度、及び液相時の粘度が1.3×10^5ポイ
    ズを超える特許請求の範囲第3項記載のガラス。
  5. (5)該組成物が、3−4%のCaO、1−3%のBa
    O及び1−3%のSrO、から成る特許請求の範囲第3
    項記載のガラス組成物。
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