JPH04160030A - 液晶ディスプレイ基板用ガラス - Google Patents

液晶ディスプレイ基板用ガラス

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JPH04160030A
JPH04160030A JP28689590A JP28689590A JPH04160030A JP H04160030 A JPH04160030 A JP H04160030A JP 28689590 A JP28689590 A JP 28689590A JP 28689590 A JP28689590 A JP 28689590A JP H04160030 A JPH04160030 A JP H04160030A
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    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/076Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は液晶デイスプレィ基板用ガラスに係り、特に、
ポリシリコンTPT (薄膜トランジスタ)形の電界効
果トランジスタを用いたアクティブマトリクス駆動方式
の汎用液晶デイスプレィに用いる基板用ガラスとして好
適な、液晶デイスプレィ基板用ガラスに関する。
[従来の技術] 液晶デイスプレィは、CRT (カソードレイチューブ
、ブラウン管)に比べて消費電力が低く、低電圧で駆動
させることができ、軽量化や薄型化が容易である等の利
点を有している。中でも、TPT(薄膜トランジスタ)
形の電界効果トランジスタを用いたアクティブマトリク
ス駆動方式の液晶デイスプレィは、非常に多くの走査電
極を設けることができるために画素の高密度化や高精細
化が容易であり、デユーティ−比が高く、かつ透過表示
が可能なため、CRTに代わるフルカラーデイスプレー
として注目されている。
このTFT形の電界効果トランジスタを用いたアクティ
ブマトリクス駆動方式の液晶デイスプレィは、ガラスや
石英等の透明基板上に形成する半導体トランジスタの材
質により、アモルファスシリコン(α−8i)TFT形
やポリシリコン(P−81)TFT形等に分けることが
でる。そして、P−3i形はα−3i形に比べて画素の
高密度化や高精細化が容易であり、かつ同一基板上に駆
動回路等を組み込むことが可能なため、研究開発の焦点
は次第にP−3i形に移りつつある。
α−31TFTおよびP−3iTFTは、いずれも、透
明基板上にα−8i膜またはP−5i膜を成膜した後、
フォトリソグラフィーに基づくバターニング工程を繰返
し行うことにより成形される。このため、TPTが形成
される透明基板には、TPTの材料の線膨張係数に近似
する線膨張係数を有することの他に、耐熱性に優れるこ
と、化学的耐久性に優れること等が要求される。
このような要求を満たす透明基板としては、シリカガラ
スがあるが、高価であるため、汎用の液晶デイスプレィ
用基板としては不適である。このため、α−3iTFT
形の汎用液晶デイスプレィにおいては、シリカガラスに
代わるものとして、バリウム硼珪酸無アルカリガラスが
多用されている。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、バリウム硼珪酸無アルカリガラスをP−
3iTFT形の液晶デイスプレィの基板として使用した
場合、P−3iTFTはα−3iTFTより高温下で形
成されるために、耐熱性の面で難点が生じる。
したがって本発明の目的は、P−Siの線膨張係数と近
似する線膨張係数を有し、かつ、P−3iTFT形の液
晶デイスプレィの基板として使用可能な歪点、P−8i
TFTの成形過程で多用される弗酸および硝酸に対する
良好な耐性、実用的な熔融性、および実用的な成形性を
有し、P−8iTFT形の汎用液晶デイスプレィの基板
として好適な、液晶デイスプレィ基板用ガラスを提供す
ることにある。
[課題を解決するための手段] 本発明は上記目的を達成するためになされたものであり
、本発明の液晶デイスプレィ基板用ガラスは、SiO!
、B2O3、Al103 、MgO。
CaO1SrO,およびBaOを合量で95モル%以上
含有し、モル%表示による各成分の含有量が SiO2    62%以上68%以下B203   
  8%以以上1亢 Mg0       1%以上5%以下Ca0    
   3%以以上7以以下SrO      1%以上
3%未満Ba0       1%以以上3朱 であることを特徴とするものである。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の液晶デイスプレィ基板用ガラスは、上述のよう
に、S i02 、B2 0a 、Aj!t 03、M
gO1CaOSSrO1およびBaOを合量で95モル
%以上含有し、各成分の含有量は、モル%表示でそれぞ
れ上記の値に限定される。これらの限定理由は、以下の
通りである。
SiO2の含有量が68モル%を超えると粘性が高くな
って熔融性が低下し、62モル%未満では得られるガラ
スの歪点が低下し過ぎる。
また、B! 03の含有量が12モル%以上では得られ
るガラスの歪点が低下し過ぎると共に耐硝酸性が低下し
、8モル%未満では粘性が高くなって熔融性が低下する
と共に、得られるガラスの耐弗酸性が低下する。
Al2O2の含有量が13モル%を超えると得られるガ
ラスの耐失透性が低下すると共に、このガラスに弗酸を
接触させたときに、弗酸によりガラス表面が白濁し易く
なる。一方、Alt O3の含有量が9モル%未満では
得られるガラスの歪点が低下し過ぎる。
MgOは、得られるガラスの膨張係数と粘性とを低下さ
せる成分としてアルカリ土類酸化物中で最も効果的な成
分である。ため、1モル%以上含有させる必要があるが
、5モル%を超えて含有させると得られるガラスの耐失
透性が低下する。
また、CaOはMgOとほぼ類似した作用を有するため
3モル%以上必要であるが、7モル%を超えて含有させ
ると得られるガラスの耐失透性が低下する。
SrOおよびBaOは共に、得られるガラスの耐失透性
を向上させる成分として効果的な成分であるため、それ
ぞれ1モル%以上必要であるが、粘性を高めて熔融性を
低下させると共に得られガラスの歪点を低下させ、かつ
膨張係数を大きくさせる成分でもあるため、含有量はそ
れぞれ3モル%未満に限定され、両者の合量も5モル%
以下に限定される。
そして、これらの成分の合量は、前述したように、95
モル%以上に限定される。各成分の含有量が上述の範囲
内にあっても、これらの成分の合量が95モル%未満で
は所望の特性が害られなくなるため、好ましくない。
ガラスの成分およびその含有量、ならびに各成分の合量
を上述のように規定することにより、P−3iの線膨張
係数と近似する線膨張係数を有し、かつP−8iTFT
形の液晶デイスプレィの基板として使用可能な歪点を有
するガラス、すなわち、100〜300℃における平均
線膨張係数が34X 10−7〜39 X 10−0−
7de’ ・c+n−”で、歪点が630℃以上である
ガラスを得ることができる。
そしてこのガラスは、熔融性および成形性にも優れたガ
ラスである。
また、本発明の液晶デイスプレィ基板用ガラスは、前述
したSiO2SB20a、Afy 03、Mg0SCa
O1SrO,およびBaO以外の成分(以下、副成分と
いう)を、総量で5モル%以下含有することができる。
副成分としては、ZnO,PbO5La20a、ZrO
25As203 、およびsb2 o3からなる群より
選択される少なくとも1種を含有させることが好ましい
。そして、モル%表示による各副成分の含有量は Zn0           2%以下PbO1%以下 La2O31%以下 Zr01          1%以下As2O32%
以下 5by03        2%以下 であることが特に好ましい。なお、これら各副生分の含
有量の範囲は、いずれも0%を含む。
ZnOは得られるガラスの膨張係数を上げずに粘性を低
下させ、かつ耐失透性を向上させる成分として効果的で
あるが、得られるガラスの歪点を低下させると共に耐硝
酸性を低下させる成分でもあるため、含有させる場合は
2モル%以下が特に好ましい。
PbOは得られるガラスの耐失透性を向上させる成分と
して効果的であるが、得られるガラスの歪点を低下させ
ると共に熔解時の粘性を上げる成分でもあるため、含有
させる場合は1モル%以下が特に好ましい。
La2O3は得られるガラスの歪点を低下させずに耐失
透性を向上させる成分として効果的であるが、高価であ
ると共に得られるガラスの耐硝酸性を低下させる成分で
もあるため、含有させる場合は1モル%以下が特に好ま
しい。
Zr0tは得られるガラスの歪点を上げ、耐弗酸性およ
び耐硝酸性を向上させる成分として効果的であるが、得
られるガラスの耐失透性を低下させる成分でもあるため
、含有させる場合は1モル%以下が特に好ましい。
As2O3および5b2o3は、それぞれ脱泡剤として
必要な成分であるが、白金るつぼや通電装置等の熔融装
置を損傷させるため、含有させる場合は、それぞれ2モ
ル%以下が特に好ましい。
本発明の液晶デイスプレィ基板用ガラスは、各成分の原
料として、ガラスの原料として一般に使用される酸化物
、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物等を用い、これらの原料を
所定の酸化物換算組成となるように秤量、混合した後、
通常のガラス熔融装置を用いて1500〜1600℃で
熔融し、脱泡、均質化を行ってから所定の形状に成形、
徐冷することにより得られる。
[実施例] 以下、本発明の実施例について説明する。
実施例1 原料として珪石粉、硼酸、アルミナ、炭酸マグネシウム
、炭酸カルシウム、硝酸ストロンチウム、炭酸バリウム
および亜砒酸を用い、これらを酸化物換算量で表−1に
示す組成となるように秤量、混合した後、1600℃で
熔融し、脱泡、均質化を行ってから板状に成形、徐冷し
て、120×150X50+m−の板状を呈する本発明
の液晶デイスプレィ基板用ガラスを得た。
得られたガラスの100〜300℃における平均線膨張
係数(以下、α100〜300という)、歪点、および
1500℃における粘度を表−1に示す。
また、得られたガラスの耐弗酸性および耐硝酸性を以下
の要領で評価した。
・耐弗酸性 得られたガラスを研摩して得た試料を25℃の5%HF
水溶液に3時間浸漬し、乾燥後、試料の重量減を単位面
積、単位時間当りの量に換算して、その耐弗酸性を評価
した。
・耐硝酸性 耐弗酸性の評価の場合と同様にして得た試料を80℃の
30%HNO3水溶液に3時間浸漬し、乾燥後、試料の
重量減を単位面積、単位時間当りの量に換算して、その
耐硝酸性を評価した。
これらの各換算値も表−1に示す。
さらに、得られたガラス約100gを容量100ccの
白金坩堝に入れ、この白金坩堝に白金製の蓋をして11
00℃で24時間放置し、放置後のガラス内部における
結晶(失透)発生の有無を顕微鏡観察して、その耐失透
性を評価した。この顕微鏡観察結果も表−1に示す。
実施例2〜5 原料として珪石粉、硼酸、アルミナ、炭酸マグネシウム
、炭酸カルシウム、硝酸ストロンチウム、炭酸バリウム
、亜鉛華、硝酸鉛、酸化ランタン、酸化ジルコニウム、
亜砒酸および酸化アンチモンを用い、これらを酸化物換
算量で表−1に示す組成となるように秤量、混合した後
、1500〜1600℃で熔融し、脱泡、均質化を行っ
てから板状に成形、徐冷して、実施例1と同一形状の液
晶デイスプレィ基板用ガラスをそれぞれ得た。
得られた各ガラスのα100〜300・歪点・および1
500℃における粘度を表−1に示す。
また、得られた各ガラスの耐弗酸性および耐硝酸性を実
施例1と同様にして評価した。このときの各換算値も表
−1に示す。
さらに、得られた各ガラスの耐失透性を実施例1と同様
にして評価した。このときの各顕微鏡観察結果も表−1
に示す。
比較例1 表−1に示すように、従来よりα−8iTFT形の液晶
デイスプレィの基板として多用されているバリウム硼珪
酸無アルカリガラスに類似する組成のガラスを得た。
得られたガラスのα100〜300 、歪点、および1
500℃における粘度を表−1に示す。
また、得られたガラスの耐弗酸性および耐硝酸性を実施
例1と同様にして評価した。このときの各換算値も表−
1に示す。
さらに、得られたガラスの耐失透性を実施例1と同様に
して評価した。このときの顕微鏡観察結果も表−1に示
す。
(以下余白) 表−1から明らかなように、実施例1〜5で得られた本
発明の液晶デイスプレィ基板用ガラスのαtoo−30
0は36X10−7〜39X10−7deg−1・薗−
1であり、P−3iの線膨張係数と近似している。また
、各ガラスの歪点はいずれも630℃以上であり、P−
5iTFT形の液晶デイスプレィの基板として使用可能
なものである。
また、1500℃における粘度はいずれのガラスでも1
03ポイズ未満であり、実用的な熔融性を有しているこ
とがわかる。
さらに、5%HF水溶液に浸漬した場合の重量減が7〜
911g/cシ・hr、30%HNO3水溶液に浸漬し
た場合の重量減が4X10−2〜12×10−2■g/
c−・hrであり、それぞれ、耐弗酸性および耐硝酸性
に優れていることがわかる。なお、5%HF水溶液によ
る処理中および30%HNO3水溶液による処理中のい
ずれにおいても、ガラス表面が白濁する現象は見られな
かった。
また、いずれのガラスにおいても、1100℃で24時
間放置した後に結晶の発生は認められなかった。このこ
とから各ガラスの失透温度は1100℃以下であり、実
用的な成形性を有していることがわかる。
一方、比較例1のバリウム硼珪酸無アルカリガラスは、
耐弗酸性、耐硝酸性、熔融性および成形性は問題ないが
、実施例1〜5で得られた本発明の液晶デイスプレィ基
板用ガラスに比べると歪点が低く、αtoo〜300も
大きい。
[発明の効果コ 以上説明したように、本発明の液晶デイスプレィ基板用
ガラスは、P−3iO線膨張係数と近似する線膨張係数
を有し、かつ、P−8iTFT形の液晶デイスプレィの
基板として使用可能な歪点、P−3iTPTの成形過程
で多用される弗酸および硝酸に対する良好な耐性、実用
的な熔融性、および実用的な成形性を有している。
したがって本発明を実施することにより、P−3iTF
T形の汎用液晶デイスプレィの基板として好適な、液晶
デイスプレィ基板用ガラスを提供することが可能となる

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)SiO_2、B_2O_3、Al_2O_3、M
    gO、CaO、SrO、およびBaOを合量で95モル
    %以上含有し、モル%表示による各成分の含有量が SiO_262%以上68%以下 B_2O_38%以上12%未満 Al_2O_39%以上13%以下 MgO1%以上5%以下 CaO3%以上7%以下 SrO1%以上3%未満 BaO1%以上3%未満 SrO+BaO2%以上5%以下 であることを特徴とする液晶ディスプレイ基板用ガラス
  2. (2)SiOを、B_2O_3、Al_2O_3、Mg
    O、CaO、SrO、およびBaOの他に、ZnO、P
    bO、La_2O_3、ZrO_2、As_2O_3、
    およびSb_2O_3からなる群より選択される少なく
    とも1種を総量で5モル%以下含有することを特徴とす
    る請求項(1)記載の液晶ディスプレイ基板用ガラス。
  3. (3)ZnO、PbO、La_2O_3、ZrO_2、
    As_2O_3、およびSb_2O_3からなる群より
    選択される少なくとも1種を総量で5モル%以下含有し
    、モル%表示による各成分の含有量がZnO2%以下 PbO1%以下 La_2O_31%以下 ZrO_21%以下 As_2O_32%以下 Sb_2O_32%以下 であることを特徴とする請求項(2)記載の液晶ディス
    プレイ基板用ガラス。
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