CN105384335A - 无碱玻璃 - Google Patents

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CN105384335A CN201510536259.2A CN201510536259A CN105384335A CN 105384335 A CN105384335 A CN 105384335A CN 201510536259 A CN201510536259 A CN 201510536259A CN 105384335 A CN105384335 A CN 105384335A
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Abstract

本发明提供具有高应变点、并且显示出可控的蚀刻速率的无碱玻璃。一种无碱玻璃，以基于氧化物的摩尔％计，含有SiO2？67～77％、Al2O3？8～16％、B2O3？0.1～2.9％、MgO？2～6.5％、CaO？5.5～12.5％、SrO？0～8％和BaO？2～6％，MgO+CaO+SrO+BaO为10～17.5％，(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为2.2以下，MgO/CaO为0.7以下，HF重量减少量为0.16(mg/cm2)/分钟以下，应变点为705℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为41.5×10-7/℃以下，比重为2.61g/cm3以下，且杨氏模量为78GPa以上。

Description

无碱玻璃
技术领域
本发明涉及无碱玻璃。详细而言，本发明涉及显示出适合作为薄型显示器的基板用玻璃的蚀刻速率、应变点、热膨胀系数、比重的无碱玻璃。
背景技术
无碱玻璃适合用作避忌碱离子扩散的显示器用途的基板玻璃。在该基板玻璃上形成半导体元件，为了不会由于此时施加的热而变形，要求该玻璃具有高应变点和低热膨胀系数。另外，为了轻量化，还要求比重低。
为了应对上述要求，提出了如下方案：将Al2O3和B2O3的量成对地进行控制，并且将Al2O3的量限制为使碱土金属元素与镧的合计量对Al2O3的量的摩尔比为规定值以上的量(专利文献1)。
另外，近年来，随着显示器薄型化，要求玻璃基板也薄。在显示器制造工序中，进行基板玻璃的薄板化处理，该薄板化通常通过利用氢氟酸类药液的蚀刻来进行。因此，从显示器装置的生产率的观点出发，要求利用氢氟酸的蚀刻速率高的玻璃。
作为应对上述要求的无碱玻璃，提出了实质上不含有使耐氢氟酸性提高的B2O3的无碱玻璃(专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009-525942号公报
专利文献2：日本特开2012-106919号公报
发明内容
发明所要解决的问题
利用氢氟酸的蚀刻速率快时，确实能够快速进行薄板化处理，但另一方面会产生蚀刻斑，另外，蚀刻深度容易变得不均匀，还容易损害玻璃表面的平滑性。此外，在基板玻璃自身的厚度已减小的今天，对提高蚀刻速率的要求也不像以往那么高。倒不如说，从提高品质的观点出发，为了防止蚀刻斑等，要求可控的蚀刻速率。为此，考虑增加B2O3，但增加B2O3时，存在应变点降低、热膨胀系数增大的问题。
因此，本发明的目的在于提供应对这样相反的要求、具有高应变点、低热膨胀系数、进而具有低比重、并且显示出可控的蚀刻速率的无碱玻璃。
用于解决问题的手段
即，本发明提供一种无碱玻璃，以基于氧化物的摩尔％计，含有：
SiO267～77％、
Al2O38～16％、
B2O30.1～2.9％、
MgO2～6.5％、
CaO5.5～12.5％、
SrO0～8％、和
BaO2～6％，
MgO+CaO+SrO+BaO为10～17.5％，
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为2.2以下，
MgO/CaO为0.7以下，
HF重量减少量为0.16(mg/cm2)/分钟以下，
应变点为705℃以上，
50～350℃下的平均热膨胀系数为41.5×10-7/℃以下，
比重为2.61g/cm3以下，且
杨氏模量为78GPa以上。
上述无碱玻璃中，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)优选为0.18以上。另外，比模量优选为30GPa·cm3/g以上。
另外，本发明提供一种无碱玻璃，以基于氧化物的摩尔％计，含有：
SiO268～75％、
Al2O39～15％、
B2O30.4～2.4％、
MgO2.5～6％、
CaO6.5～10％、
SrO0～7％、和
BaO2.5～5％，其中
MgO+CaO+SrO+BaO为11.0～16.8％，
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为1.5以下，
MgO/CaO为0.64以下，
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.19以上，
HF重量减少量为0.14(mg/cm2)/分钟以下，
应变点为730℃以上，
50～350℃下的平均热膨胀系数为40×10-7/℃以下，
比模量为30.5GPa·cm3/g以上，
比重为2.60g/cm3以下，且
杨氏模量为81GPa以上。
另外，本发明提供一种无碱玻璃，以基于氧化物的摩尔％计，含有：
SiO268.5～74％、
Al2O39.5～14％、
B2O30.6～2.1％、
MgO3～5.5％、
CaO7.5～9％、
SrO0.5～6.5％、和
BaO3～4.5％，其中
MgO+CaO+SrO+BaO为11.5～16.5％，
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为1.3以下，
MgO/CaO为0.60以下，
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.20以上，
HF重量减少量为0.13(mg/cm2)/分钟以下，
应变点为740℃以上，
50～350℃下的平均热膨胀系数为39×10-7/℃以下，
比模量为31GPa·cm3/g以上，
比重为2.59g/cm3以下，且
杨氏模量为81.5GPa以上。
发明效果
上述本发明的无碱玻璃(以下简称为“本发明的玻璃”)具有可控的蚀刻速率，应变点高，热膨胀系数低，比重低。该玻璃可以适合在中小型的LCD、OLED、特别是移动终端、数码照相机、手机等便携式显示器的领域中使用。
具体实施方式
本发明中，“无碱”玻璃是指实质上不含有Na2O、K2O等碱金属氧化物的玻璃。在此，“实质上不含有”是指，可以含有不可避免地含有的碱金属作为杂质等。本发明中，不可避免地含有的碱金属至多为约0.1摩尔％。
该无碱玻璃除了含有形成玻璃骨架的SiO2、Al2O3以外，还含有规定量的碱土金属氧化物等。首先，对这些各成分的基于氧化物的含量进行说明。以下，如果没有特别说明，“％”表示“摩尔％”。
SiO2的含量为67～77％，优选为67.5～76％，更优选为68～75％，最优选为68.5～74.0％。SiO2的含量小于上述下限值时，存在如下倾向：应变点变低，热膨胀系数和比重变高，进而耐氢氟酸性变差。另一方面，超过上述上限值时，存在如下倾向：玻璃粘度达到102泊(dPa·s)时的温度(T2)变高等熔化性变差，失透温度升高，杨氏模量降低。
Al2O3的含量为8～16％，优选为8.5～15％，更优选为9～15％，最优选为9.5～14％。Al2O3的含量小于上述下限值时，存在如下倾向：难以控制分相，应变点降低，热膨胀系数变高，杨氏模量降低。另一方面，超过上述上限值时，存在如下倾向：T2升高而使熔化性变差，失透温度也升高。
B2O3的含量为0.1～2.9％，优选为0.2～2.7％，更优选为0.4～2.4％，最优选为0.6～2.1％。B2O3的含量小于上述下限值时，难以得到充分的耐氢氟酸性。另外，存在比重和热膨胀系数升高的倾向。另一方面，超过上述上限值时，存在应变点降低的倾向。
MgO的含量为2～6.5％，优选为2.5～6％，更优选为2.7～5.8％，进一步优选为2.9～5.6％，最优选为3～5.5％。MgO具有在不提高热膨胀系数的情况下提高熔化性、降低比重、提高杨氏模量、进而提高耐氢氟酸性的效果，但其含量小于上述下限值时，难以充分得到这些效果。另一方面，超过上述上限值时，失透温度升高。
CaO的含量为5.5～12.5％，优选为6～11％，更优选为6.5～10％，最优选为7.5～9％。CaO也具有在不提高热膨胀系数的情况下提高熔化性、提高杨氏模量、降低失透温度的效果，但其含量小于上述下限值时，难以充分得到这些效果。另一方面，超过上述上限值时，存在热膨胀系数和失透温度升高的倾向。
SrO的含量为0～8％，优选为0～7.5％，更优选为0～7％，最优选为0.5～6.5％。通过含有SrO，具有熔化性变良好且失透温度降低的倾向。SrO的含量小于上述下限值时，存在熔化性变差、失透温度升高的倾向。另一方面，超过上述上限值时，存在比重和热膨胀系数变高、杨氏模量降低、耐氢氟酸性也变差的倾向。顺便指出，SrO的含量为0～8％是指可含有也可不含有SrO，在含有的情形下其含量的最大值为8％。
BaO的含量为2～6％，优选为2～5.5％，更优选为2.5～5％，最优选为3～4.5％。BaO的含量小于上述下限值时，失透温度升高，熔化性降低。另一方面，超过上述上限值时，存在比重和热膨胀系数变高、杨氏模量降低、耐氢氟酸性变差的倾向。
上述成分中，碱土金属氧化物的合计量、即MgO+CaO+SrO+BaO(以下有时记为“RO”)为10～17.5％，优选为10.5～17.2％，更优选为11～16.8％，进一步优选为11.5～16.5％，最优选为15.5～16.5％。该合计量小于上述下限值时，存在玻璃的熔化性变差、失透温度也升高的倾向，超过上述上限值时，存在应变点降低、比重变高，热膨胀系数变高，耐氢氟酸性降低的倾向。
上述RO对Al2O3之比、即RO/Al2O3为2.2以下。该比超过上述值时，存在热膨胀系数变高的倾向。优选该比为1.8以下，更优选为1.5以下，最优选为1.3以下。作为RO/Al2O3的下限值，没有特别限制，从确保玻璃的熔化性的观点出发，优选为约0.8。
此外，MgO对CaO之比、即MgO/CaO为0.7以下。该比超过上述值时，难以在不降低应变点的情况下保持低失透温度。优选为0.67以下，更优选为0.64以下，最优选为0.60以下。对于MgO/CaO的下限值，没有特别限制，从不使热膨胀系数过高的观点出发，优选为约0.2。
优选本发明的玻璃中MgO对上述RO之比、即MgO/RO为0.18以上。这种情况下，能够在维持高应变点的同时，达到低热膨胀系数和比重，降低蚀刻速率，达到优选的杨氏模量。更优选为0.19以上，最优选为0.20以上。对于该比的上限值，没有特别限制，从不使失透温度过高的观点出发，优选为约0.8。
除了含有上述各成分外，本发明的玻璃为了提高其熔化性、澄清性、成形性等，还可以含有总量为2％以下、优选为1％以下、更优选为0.5％以下的ZnO、Fe2O3、SO3、F、Cl、SnO2。
另一方面，对于本发明的玻璃而言，为了不使设置在玻璃板表面的金属或氧化物等的薄膜产生特性劣化，优选实质上不含有P2O5。此外，为了使玻璃容易再循环，优选实质上不含有PbO、As2O3、Sb2O3。
接着，对具有上述组成的本发明的玻璃的各特性进行说明。该玻璃显示出规定的蚀刻速率，本发明中，作为蚀刻速率的指标使用HF重量减少量。该HF重量减少量定义为将玻璃浸渍于25℃的5质量％氢氟酸水溶液(HF)时的每单位面积和每单位时间的质量减少量((mg/cm2)/分钟)。如后所述，本发明的玻璃在制成板状的情况下，其厚度优选为0.1～0.7mm，此情形下优选的蚀刻速率的标准为0.16(mg/cm2)/分钟以下的HF重量减少量。如果为上述值以下的HF重量减少量，则能够实现无蚀刻斑等的均匀的蚀刻。优选HF重量减少量为0.15(mg/cm2)/分钟以下，更优选为0.14(mg/cm2)/分钟以下，最优选为0.13(mg/cm2)/分钟以下。对于HF重量减少量的下限值，没有特别限制，从显示器装置的生产率的观点出发，优选为0.02(mg/cm2)/分钟以上。
本发明的玻璃的应变点为705℃以上。应变点为上述值以上的玻璃在显示器制造工序中不会产生由热收缩引起的问题，能够达到高成品率。优选应变点为710℃以上，进一步为720℃以上，更优选为730℃以上，进一步优选为735℃以上，最优选为740℃以上。对于应变点的上限值，没有特别限定，但应变点过高时，需要与之相应地升高成形装置的温度，成形装置的寿命有降低的倾向，因此优选为约770℃。
本发明的玻璃在50～350℃下的平均热膨胀系数为41.5×10-7/℃以下。平均热膨胀系数为上述值以下的玻璃可耐受显示器制造工序中的热冲击，能够达到高成品率。优选平均热膨胀系数为41×10-7/℃以下，更优选为40×10-7/℃以下，最优选为39×10-7/℃以下。平均热膨胀系数的下限值没有特别限制，实际上为约30×10-7/℃。
本发明的玻璃的比重为2.61g/cm3以下。比重为上述值以下的玻璃在显示器制造工序中不会产生由挠曲引起的问题，能够有助于产品的轻量化。优选比重为2.60g/cm3以下，更优选为2.59g/cm3以下，进一步优选为2.57g/cm3以下。对于比重的下限值，没有特别限定，实际上优选为2.4g/cm3以上。
本发明的玻璃的杨氏模量为78GPa以上。高杨氏模量使玻璃的破坏韧性提高，适合于要求玻璃板的大型化、薄板化的各种显示器用基板玻璃、光掩模用基板玻璃。优选为79GPa以上，更优选为80GPa以上，进一步优选为81GPa以上，最优选为81.5GPa以上。
另外，本发明的玻璃优选比模量(杨氏模量/比重)为30GPa·cm3/g以上，可降低自重挠曲。由此，制造工序中起因于自重挠曲的变形少，适合于要求玻璃板的大型化、薄板化的各种显示器用基板玻璃、光掩模用基板玻璃。更优选为30.5GPa·cm3/g以上，最优选为31GPa·cm3/g以上。
另外，本发明的玻璃的粘度达到102泊(dPa·s)时的温度T2优选为1800℃以下，更优选为1780℃以下。温度T2如果为上述值以下，则玻璃原料的熔化比较容易。
另外，本发明的玻璃的粘度达到104泊(dPa·s)时的温度T4优选为1400℃以下，更优选为1370℃以下。温度T4为上述值以下的玻璃适合于利用浮法的成形。
另外，从与应变点同样的观点出发，玻璃化转变温度Tg优选为760℃以上。更优选为770℃以上，最优选为780℃以上。
本发明的玻璃例如可以通过如下方法制作。将上述各成分的原料以达到上述规定组成的方式进行调配，将其连续投入熔化炉中，加热至1500～1800℃，使其熔化而得到熔融玻璃。将所得到的熔融玻璃利用成形装置成形为规定板厚的玻璃带，将该玻璃带退火后，将其切断。
本发明中，优选通过浮法或熔融法等进行成形。通过使用熔融法，玻璃化转变温度附近的平均冷却速度变快，在利用氢氟酸蚀刻处理将所得到的玻璃板进一步薄膜化时，蚀刻处理后一侧的面的玻璃板的表面粗糙度变得更小。从能够稳定地生产大型平板玻璃(例如边长为2m以上)的观点出发，优选浮法。
从制造薄型显示器装置的观点出发，优选成形后的平板玻璃的厚度薄，优选为0.7mm以下，更优选为0.6mm以下，最优选为0.5mm以下。对厚度的下限值，没有特别限定，但为了在显示器制造时不发生由自重挠曲引起的问题，优选为0.1mm以上，更优选为0.2mm以上。
显示器制造工序中，该平板玻璃被浸渍到例如含有氢氟酸(HF)的药液中，对至少其一个主面进行从表面至5μm以上的深度为止的蚀刻处理。如果为上述HF重量减少量，则在使用5质量％氢氟酸的情况下，达到约0.1μm/分钟～约0.7μm/分钟的蚀刻速率，以均匀的深度且在不损害玻璃表面的平滑性的情况下进行蚀刻，因此是优选的。
利用碱性药液也可以进行蚀刻处理，但从能够在更不损害玻璃表面的平滑性的情况下进行蚀刻的观点出发，优选含有氢氟酸的药液。药液中含有的氢氟酸浓度通常为1～50质量％，特别是为约2质量％～约15质量％，但并不特别限定于该值。另外，除了含有氢氟酸以外，还可以在药液中进一步添加盐酸、硝酸、硫酸等氢氟酸以外的酸。通过根据药液中的氟浓度而浸渍规定的时间，能够得到以规定量薄板化的无碱玻璃基板。
实施例
以下，利用实施例和比较例进一步详细地对本发明进行说明，但本发明不限定于这些实施例。
将各成分的原料以使得玻璃组成为表1～表5所示的目标组成(基于氧化物的玻璃组成(单位：摩尔％))的方式进行调配，使用铂坩埚在1650℃的温度下熔化4小时。熔化后，使其流出到碳板上，在玻璃化转变温度+30℃保持60分钟后，以1℃/分钟冷却至室温，得到板状的玻璃板。使用该玻璃板，进行各种评价。例1～16、20～23为本发明的例(实施例)，例17～19为比较用的例(比较例)。
表1～5中示出了各玻璃的基于氧化物的玻璃组成(单位：摩尔％)和比重(单位：g/cm3)(利用阿基米德法测定)、杨氏模量(单位：GPa)(利用超声波法测定)、比模量(单位：GPa·cm3/g)、应变点(单位：℃)(利用JISR3103：2001记载的纤维法测定)、玻璃化转变温度Tg(单位：℃)、50℃～350℃的平均热膨胀系数(单位：×10-7/℃)、作为高温粘性值的成为熔化性的标准的温度T2(玻璃粘度η达到102泊时的温度、单位：℃)和成为浮法成形性和熔融成形性的标准的温度T4(玻璃粘度η达到104泊时的温度、单位：℃)(利用旋转粘度计测定)、HF重量减少量(单位：(mg/cm2)/分钟)。需要说明的是，表1～5中，括号中所示的值为计算值。
HF重量减少量如下测定。将如上所述得到的玻璃板切断，对两面进行镜面研磨，得到40mm见方、厚度1mm的玻璃样品。将该玻璃样品清洗后，干燥，测定质量。然后，将玻璃样品在保持于25℃的5质量％氢氟酸中浸渍20分钟，清洗、干燥，测定浸渍后的质量，计算出与浸渍前相比的质量减少量。如果在浸渍中对药液进行搅拌，则蚀刻速度会发生变动，因此，未实施搅拌。由样品尺寸计算出表面积，用质量减少量除以表面积后，进一步除以浸渍时间，由此求出每单位面积和每单位时间的质量减少量(HF重量减少量)。
表1
摩尔％ 例1 例2 例3 例4 例5 例6
SiO2 72.5 70.3 71.0 70.0 69.8 74.6
Al2O3 11.9 12.7 12.4 12.9 12.5 10.7
B2O3 0.7 0.8 1.3 0.6 0.6 0.4
MgO 3.1 4.1 3.1 4.4 5.0 4.5
CaO 7.6 8.0 7.5 8.6 8.6 7.3
SrO 1.1 1.1 0.6 0.5 0.5 0.5
BaO 3.1 3.0 4.1 3.0 3.0 2.0
RO 14.9 16.2 15.3 16.5 17.1 14.3
RO/Al2O3 1.25 1.28 1.23 1.28 1.37 1.34
MgO/CaO 0.41 0.51 0.41 0.51 0.58 0.62
MgO/RO 0.21 0.25 0.20 0.27 0.29 0.31
平均热膨胀系数(10-7/℃) 37.6 (38.8) (38.6) (38.9) 39.9 35.1
比重(g/cm3) 2.57 (2.59) (2.60) (2.59) 2.59 2.52
杨氏模量(GPa) 82.4 (83.2) (81.0) (84.1) 84.6 83.1
比模量(GPa·cm3/g) 32.0 (32.1) (31.1) (32.5) 32.6 33.0
应变点(℃) 743 (737) (735) (740) 730 742
Tg(℃) 792 (792) (788) (795) 784 791
T2(℃) (1765) (1730) (1751) (1724) (1718) (1782)
T4(℃) (1372) (1352) (1363) (1349) (1343) (1377)
HF重量减少((mg/cm2)/分钟) 0.10 (0.14) (0.13) (0.14) 0.13 0.07
表2
摩尔％ 例7 例8 例9 例10 例11 例12
SiO2 68.6 69.5 71.9 71.2 71.8 75.0
Al2O3 14.9 11.8 11.0 12.3 12.1 8.6
B2O3 1.7 1.2 0.3 1.2 1.2 1.1
MgO 4.7 6.3 3.6 2.5 3.9 5.2
CaO 6.9 9.2 10.8 5.5 5.9 7.6
SrO 0.7 0.0 0.4 5.3 0.0 0.4
BaO 2.5 2.0 2.0 2.0 5.1 2.1
RO 14.8 17.5 16.8 15.3 14.9 15.3
RO/Al2O3 0.99 1.48 1.53 1.24 1.23 1.78
MgO/CaO 0.68 0.68 0.33 0.45 0.66 0.68
MgO/RO 0.32 0.36 0.21 0.16 0.26 0.34
平均热膨胀系数(10-7/℃) (36.2) (38.7) (39.4) (39.6) (37.6) (36.3)
比重(g/cm3) (2.57) (2.55) (2.55) (2.61) (2.61) (2.51)
杨氏模量(GPa) (84.5) (84.7) (83.5) (80.2) (80.4) (80.3)
比模量(GPa·cm3/g) (32.9) (33.2) (32.7) (30.7) (30.7) (32.0)
应变点(℃) (740) (730) (737) (728) (737) (728)
Tg(℃) (796) (781) (789) (786) (789) (772)
T2(℃) (1707) (1701) (1743) (1746) (1766) (1781)
T4(℃) (1342) (1326) (1354) (1364) (1371) (1366)
HF重量减少((mg/cm2)/分钟) (0.14) (0.14) (0.12) (0.13) (0.12) (0.06)
表3
摩尔％ 例13 例14 例15 例16
SiO2 69.2 71.0 74.0 73.1
Al2O3 12.3 11.3 12.3 11.6
B2O3 2.8 1.1 1.0 0.4
MgO 4.3 4.0 2.5 4.3
CaO 7.6 7.9 6.6 6.8
SrO 0.6 0.5 0.6 0.5
BaO 3.2 4.2 3.0 3.3
RO 15.7 16.6 12.7 14.9
RO/Al2O3 1.28 1.47 1.03 1.28
MgO/CaO 0.57 0.51 0.38 0.63
MgO/RO 0.27 0.24 0.20 0.29
平均热膨胀系数(10-7/℃) (38.4) (39.9) (34.5) (36.6)
比重(g/cm3) (2.57) (2.61) (2.54) (2.57)
杨氏模量(GPa) (80.9) (81.1) (80.8) (82.1)
比模量(GPa·cm3/g) (31.4) (31.0) (31.8) (32.0)
应变点(℃) (719) (730) (746) (743)
Tg(℃) (772) (783) (796) (794)
T2(℃) (1716) (1745) (1791) (1770)
T4(℃) (1335) (1355) (1389) (1374)
HF重量减少((mg/cm2)/分钟) (0.15) (0.14) (0.07) (0.09)
表4
摩尔％ 例17 例18 例19
SiO2 68.4 71.6 68.4
Al2O3 11.9 10.6 12.0
B2O3 1.9 0.0 3.1
MgO 5.0 3.4 4.2
CaO 8.4 9.0 5.7
SrO 1.4 1.3 3.3
BaO 3.0 4.1 3.3
RO 17.8 17.8 16.5
RO/Al2O3 1.50 1.68 1.38
MgO/CaO 0.60 0.38 0.74
MgO/RO 0.28 0.19 0.25
平均热膨胀系数(10-7/℃) (41.1) 42.8 40.7
比重(g/cm3) (2.61) 2.63 2.62
杨氏模量(GPa) (82.3) 82.5 80.3
比模量(GPa·cm3/g) (31.6) 31.3 30.7
应变点(℃) (719) 727 700
Tg(℃) (774) 779 753
T2(℃) (1698) (1752) (1707)
T4(℃) (1325) (1362) (1330)
HF重量减少((mg/cm2)/分钟) (0.17) 0.13 0.15
表5
如表4所示，含有超过本发明范围的RO的例17中，HF重量减少量大。例18为专利文献2记载的发明的范围内的组成，HF重量减少量小，但热膨胀系数高，比重也大。例19具有专利文献1记载的发明的范围内的组成，B2O3和MgO/CaO多，应变点低。与此相对，如表1～3、5所示，满足本发明的条件的例1～16、20～23均维持高应变点，并且HF重量减少量、热膨胀系数和比重均为规定量以下。
以上参照特定的实施方式详细地对本发明进行了说明，但对本领域技术人员显而易见的是，可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下进行各种变更、修正。
本申请基于2014年8月27日提出的日本专利申请2014-172477，将其内容作为参考援引于此。
产业上的可利用性
本发明的无碱玻璃的应变点高，热膨胀系数低，比重小且显示出可控的蚀刻速率，适合作为显示器用的高品质玻璃。

Claims (5)

1.一种无碱玻璃，以基于氧化物的摩尔％计，含有：
MgO+CaO+SrO+BaO为10～17.5％，
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为2.2以下，
MgO/CaO为0.7以下，
HF重量减少量为0.16(mg/cm2)/分钟以下，
应变点为705℃以上，
50～350℃下的平均热膨胀系数为41.5×10-7/℃以下，
比重为2.61g/cm3以下，且
杨氏模量为78GPa以上。
2.如权利要求1所述的无碱玻璃，其中，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.18以上。
3.如权利要求1或2所述的无碱玻璃，其中，比模量为30GPa·cm3/g以上。
4.一种无碱玻璃，以基于氧化物的摩尔％计，含有：
MgO+CaO+SrO+BaO为11.0～16.8％，
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为1.5以下，
MgO/CaO为0.64以下，
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.19以上，
HF重量减少量为0.14(mg/cm2)/分钟以下，
应变点为730℃以上，
50～350℃下的平均热膨胀系数为40×10-7/℃以下，
比模量为30.5GPa·cm3/g以上，
比重为2.60g/cm3以下，且
杨氏模量为81GPa以上。
5.一种无碱玻璃，以基于氧化物的摩尔％计，含有：
MgO+CaO+SrO+BaO为11.5～16.5％，
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为1.3以下，
MgO/CaO为0.60以下，
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.20以上，
HF重量减少量为0.13(mg/cm2)/分钟以下，
应变点为740℃以上，
50～350℃下的平均热膨胀系数为39×10-7/℃以下，
比模量为31GPa·cm3/g以上，
比重为2.59g/cm3以下，且
杨氏模量为81.5GPa以上。
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