JPH1045422A - 無アルカリガラスおよびフラットディスプレイパネル - Google Patents
無アルカリガラスおよびフラットディスプレイパネルInfo
- Publication number
- JPH1045422A JPH1045422A JP19936196A JP19936196A JPH1045422A JP H1045422 A JPH1045422 A JP H1045422A JP 19936196 A JP19936196 A JP 19936196A JP 19936196 A JP19936196 A JP 19936196A JP H1045422 A JPH1045422 A JP H1045422A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alkali
- glass
- free glass
- sro
- cao
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
アルカリガラスを得る。 【解決手段】歪点が700℃以上、50〜300℃での
熱膨張係数が40×10-7/℃以下で、モル%表示でS
iO2 :66〜72、Al2 O3 :10〜14、B2 O
3 :0〜1.5、MgO:0〜10、CaO:0〜1
0、SrO:0〜10、BaO:0〜1未満、MgO+
CaO+SrO+BaO:14〜22からなる無アルカ
リガラス。
Description
用基板ガラスやフォトマスク用基板ガラスとして好適
な、アルカリ金属酸化物を実質上含有せず、フロート成
形可能な、無アルカリガラスに関する。
特に表面に金属ないし酸化物薄膜等を形成するもので
は、以下に示す特性が要求されてきた。 (1)アルカリ金属酸化物を含有していると、アルカリ
金属イオンが薄膜中に拡散して膜特性を劣化させるた
め、実質的にアルカリ金属イオンを含まないこと。 (2)薄膜形成工程で高温にさらされる際に、ガラスの
変形およびガラスの構造安定化に伴う収縮(熱収縮)を
最小限に抑えうるように、歪点が高いこと。
て充分な化学耐久性を有すること。特にSiOx やSi
Nx のエッチングのためのバッファードフッ酸(BH
F:フッ酸とフッ化アンモニウムの混合液)、およびI
TOのエッチングに用いる塩酸を含有する薬液、金属電
極のエッチングに用いる各種の酸(硝酸、硫酸等)、レ
ジスト剥離液のアルカリに対して耐久性のあること。 (4)内部および表面に欠点(泡、脈理、インクルージ
ョン、ピット、キズ等)がないこと。
うな状況にある。 (5)ディスプレイの軽量化が要求され、ガラス自身も
密度の小さいガラスが望まれる。 (6)ディスプレイの軽量化が要求され、基板ガラスの
薄板化が望まれる。
(a−Si)タイプの液晶ディスプレイに加え、若干熱
処理温度の高い多結晶シリコン(p−Si)タイプの液
晶ディスプレイが作製されるようになってきた(a−S
i:約350℃→p−Si:350〜550℃)。 (8)液晶ディスプレイ作製熱処理の昇降温速度を速く
して、生産性を上げたり耐熱衝撃性を上げるために、ガ
ラスの熱膨張係数の小さいガラスが求められる。
HF性に対する要求が弱くなってきている。これまでの
ガラスは、耐BHF性を良くするために、B2 O3 を6
〜10モル%含有するガラスが多く用いられてきた。し
かし、B2 O3 は歪点を下げる傾向がある。B2 O3 を
含有しないまたは含有量の少ない無アルカリガラスの例
としては以下のようなものがある。
含有しない、SiO2 −Al2 O3−SrOガラスが開
示されているが、SiO2 を77モル%以上含有するた
め、熔解に必要な温度が高く製造に困難を生ずる。
含有しない、SiO2 −Al2 O3−SrO結晶化ガラ
スが開示されているが、SiO2 を68モル%以上、か
つ、Al2 O3 を18モル%以上含有するため、熔解に
必要な温度が高く製造に困難を生ずる。
0〜5重量%含有するガラスが開示されているが、Ca
Oを11モル%以上含有するため失透温度が高く、また
CaOの原料である石灰石中の不純物リンを多く含有
し、ガラス基板上に作製するトランジスタにリーク電流
を生じさせるおそれがある。
〜3重量%含有するガラスが開示されているが、SrO
とCaOをそれぞれ8モル%以上含有するため、50〜
300℃での熱膨張係数が40×10-7/℃を超える。
〜5モル%含有するガラスが開示されているが、SrO
を15モル%以上含有するため、50〜300℃での熱
膨張係数が50×10-7/℃を超える。
2 O3 を0〜5モル%含有するガラスが開示されている
が、BaOを12モル%以上含有するため、熱膨張が大
きく、密度も大きい。
〜8モル%含有するガラスが開示されており、「SiO
2 を55〜67重量%含有し、かつ、Al2 O3 を6〜
14重量%含有するガラス」(a群)と「SiO2 を4
9〜58重量%含有し、かつ、Al2 O3 を16〜23
重量%含有するガラス」(b群)とに分けられるが、a
群はSiO2 の含有量が多いため、SiO2 原料である
ケイ砂が融液中に熔けきらず未融ケイ砂として熔け残る
問題があり、b群はAl2 O3 の含有量が多いため失透
温度が著しく高くなる問題がある。
欠点を解決し、歪点が高く、膨張が小さく、フロート成
形できる無アルカリガラスを提供することにある。
℃以上であって、50〜300℃での熱膨張係数が40
×10-7/℃以下であって、酸化物基準のモル%表示で
本質的に、SiO2 :66〜72、Al2 O3 :10〜
14、B2 O3 :0〜1、MgO:0〜10、CaO:
0〜10、SrO:0〜10、BaO:0〜1未満、M
gO+CaO+SrO+BaO:14〜22からなり、
アルカリ金属酸化物を実質的に含有しない無アルカリガ
ラスである。
明する。SiO2 は66%(モル%、以下特記ないかぎ
り同じ)未満では、歪点が充分に上がらず、かつ、熱膨
張係数が増大し、密度が上昇する。72%超では、熔解
性が低下し、失透温度が上昇する。好ましくは67〜7
1%である。
膨脹係数を下げ、歪点を上げるが、10%未満ではこの
効果があらわれず、また、ほかの膨張を上げる成分を増
加させることになるため、結果的に熱膨張が大きくな
る。14%超ではガラスの熔解性が悪くなったり、失透
温度を上昇させるおそれがある。10.5〜13.5%
がより好ましい。
反応性をよくし、また、失透温度を低下させるため1.
5%まで添加できる。しかし、多すぎると歪点が低くな
る。したがって1%以下が好ましく、実質的に含有しな
いことが特に好ましい。
中では膨張を高くせず、かつ歪点を過大には低下させな
いという特徴を有し、熔解性も向上させるため、含有で
きる。しかし、10%を超えると、失透温度が上昇する
おそれがある。8%以下がより好ましい。
アルカリ土類中では膨張を高くせず、かつ歪点を過大に
は低下させないという特徴を有し、熔解性も向上させる
ため、含有できる。しかし、10%を超えると、失透温
度が上昇したりCaO原料である石灰石(CaCO3 )
中の不純物であるリンが、多く混入するおそれがある。
8%以下がより好ましく、特に好ましくは5%以下であ
る。
度を上昇させず熔解性を向上させるため、含有できる。
しかし、10%を超えると膨脹係数が増大するおそれが
ある。好ましくは8%以下である。
に含有できる。しかし、多すぎるとガラスの膨張と密度
を過大に増加させるので1%未満とする。実質的に含有
しないことが好ましい。
14%よりも少ないと、熔解性に乏しく、22%よりも
多いと、熱膨張係数を小さくできないという難点が生じ
るおそれがある。好ましくはBaOを実質的に含まず、
15〜21%である。
ガラス表面に設ける金属ないし酸化物薄膜の特性劣化を
生じさせないために、アルカリ金属酸化物を不純物レベ
ルを超えて(すなわち実質的に)含有しない。また、同
様の理由で、P2 O5 を実質的に含有しないことが好ま
しい。さらに、ガラスのリサイクルを容易にするため、
PbO、As2 O3 、Sb2 O3 は実質的に含有しない
ことが好ましい。
にガラスの熔解性、清澄性、成形性を改善するため、Z
nO、Fe2 O3 、SO3 、F、Cl、SnO2 を総量
で5%以下添加できる。
0℃以上であり、パネル製造時の熱収縮を抑えられる。
本発明のガラスにおいて、好ましくは歪点は720℃以
上である。
300℃での熱膨張係数が40×10-7/℃以下であ
り、耐熱衝撃性が大きく、パネル製造時の生産性を高く
できる。本発明の無アルカリガラスにおいて、50〜3
00℃での熱膨張係数は30×10-7〜40×10-7/
℃であることが好ましい。
度が2.70g/cc以下であることが好ましく、より
好ましくは2.65g/cc以下である。
ηが102 ポイズとなる温度T2 が1770℃以下、好
ましくは1730℃以下になっているため、熔解が比較
的容易である。
ポイズとなる温度T4 が1370℃以下、好ましくは1
340℃以下であるうえ、この温度T4 が失透温度以上
になっているのでフロート法による成形ができる。
で製造できる。通常使用される各成分の原料を目標成分
になるように調合し、これを熔解炉に連続的に投入し、
1500〜1600℃に加熱して熔融する。この熔融ガ
ラスをフロート法により所定の板厚に成形し、徐冷後切
断する。
24は比較例である。各成分の原料を目標組成になるよ
うに調合し、白金坩堝を用いて1500〜1600℃の
温度で熔解した。熔解にあたっては、白金スターラを用
い撹拌しガラスの均質化を行った。次いで熔解ガラスを
流し出し、板状に成形後徐冷した。
%)と50〜300℃での熱膨脹係数(単位:×10-7
/℃)、歪点(単位:℃)、密度(単位:g/cc)、
高温粘性値として、熔解性の目安となる温度T2 (log
η=2、すなわち粘度が102ポイズとなる温度、単
位:℃)とフロート成形性の目安となる温度T4 (log
η=4、すなわち粘度が104 ポイズとなる温度、単
位:℃)、失透温度(単位:℃)、を示す。表4〜6に
は各例の組成を重量%で示す。
いずれも、熱膨脹係数は40×10-7/℃以下と低く、
歪点も700℃以上と高く、高温での熱処理に充分耐え
うることがわかる。
熔解が容易であり、成形性の目安となる温度T4 は失透
温度以上になっており、成形時に失透が生成するなどの
トラブルがないと考えられる。
が多いため、熱膨張係数が大きくなっている。また、C
aOおよびAl2 O3 が多いため、失透温度がT4 より
高く、フロート成形に適していない。例24はAl2 O
3 が少なく、MgO+CaO+SrO+BaOが多いた
め、歪点が700℃に満たない。
く、フロート法による成形ができ、ディスプレイ用基
板、フォトマスク用基板等の用途に好適である。
Claims (6)
- 【請求項1】歪点が700℃以上であって、50〜30
0℃での熱膨張係数が40×10-7/℃以下であって、
酸化物基準のモル%表示で本質的に、 SiO2 66〜72、 Al2 O3 10〜14、 B2 O3 0〜1.5、 MgO 0〜10、 CaO 0〜10、 SrO 0〜10、 BaO 0〜1未満、 MgO+CaO+SrO+BaO 14〜22、からな
り、アルカリ金属酸化物を実質的に含有しない無アルカ
リガラス。 - 【請求項2】P2 O5 、PbO、As2 O3 、Sb2 O
3 を実質的に含有しない請求項1記載の無アルカリガラ
ス。 - 【請求項3】BaOを実質的に含有しない請求項1また
は2記載の無アルカリガラス。 - 【請求項4】酸化物基準のモル%表示で本質的に、 SiO2 67〜72、 Al2 O3 10〜14、 B2 O3 0〜1.5、 MgO 0〜8、 CaO 0〜8、 SrO 0〜8、 MgO+CaO+SrO 15〜21、からな
り、アルカリ金属酸化物、BaOを実質的に含有しない
請求項1記載の無アルカリガラス。 - 【請求項5】P2 O5 、PbO、As2 O3 、Sb2 O
3 を実質的に含有しない請求項4記載の無アルカリガラ
ス。 - 【請求項6】請求項1、2、3、4または5記載の無ア
ルカリガラスを少なくとも一方の基板として使用したフ
ラットディスプレイパネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19936196A JP3804112B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 無アルカリガラス、無アルカリガラスの製造方法およびフラットディスプレイパネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19936196A JP3804112B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 無アルカリガラス、無アルカリガラスの製造方法およびフラットディスプレイパネル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1045422A true JPH1045422A (ja) | 1998-02-17 |
JP3804112B2 JP3804112B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=16406490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19936196A Expired - Lifetime JP3804112B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 無アルカリガラス、無アルカリガラスの製造方法およびフラットディスプレイパネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3804112B2 (ja) |
Cited By (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1044932A1 (de) * | 1999-04-12 | 2000-10-18 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
WO2001017921A1 (de) | 1999-09-04 | 2001-03-15 | Schott Glas | Erdalkalialuminoborosilicatglas und dessen verwendungen |
DE10064804A1 (de) * | 2000-12-22 | 2002-07-11 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
US6671026B2 (en) | 2000-01-12 | 2003-12-30 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display such as for a laptop computer |
US6852658B2 (en) | 2000-01-12 | 2005-02-08 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display, such as for a laptop computer |
US6867158B2 (en) | 2000-01-12 | 2005-03-15 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display such as for a laptop computer |
JP2009525942A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-07-16 | コーニング インコーポレイテッド | 熱および化学安定性が高いガラス組成物ならびにその製造方法 |
WO2011001920A1 (ja) | 2009-07-02 | 2011-01-06 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
WO2012043484A1 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 旭硝子株式会社 | ガラス原料の溶融方法、溶融ガラスの製造方法、ガラス製品の製造方法、および気中溶融装置とガラスビーズ |
WO2012076289A2 (de) | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Schott Ag | Borfreies universalglas |
WO2012077609A1 (ja) | 2010-12-07 | 2012-06-14 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラスの製造方法 |
WO2012090783A1 (ja) | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラスの製造方法 |
WO2012075002A3 (en) * | 2010-11-30 | 2012-10-04 | Corning Incorporated | Alkali-free high strain point glass |
WO2013084832A1 (ja) | 2011-12-06 | 2013-06-13 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスの製造方法 |
WO2013099970A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | AvanStrate株式会社 | フラットパネルディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法 |
WO2013129368A1 (ja) | 2012-02-27 | 2013-09-06 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスの製造方法 |
WO2013161902A1 (ja) | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
WO2013161903A1 (ja) | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
WO2013172307A1 (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | 旭硝子株式会社 | 板ガラスの製造方法 |
US8598055B2 (en) | 2008-05-30 | 2013-12-03 | Corning Incorporated | Boroalumino silicate glasses |
WO2013180220A1 (ja) | 2012-05-31 | 2013-12-05 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板、および、無アルカリガラス基板の薄板化方法 |
WO2013183539A1 (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-12 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の仕上げ研磨方法、および、該方法で仕上げ研磨された無アルカリガラス基板 |
WO2013183625A1 (ja) | 2012-06-05 | 2013-12-12 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
JP2014503465A (ja) * | 2011-01-25 | 2014-02-13 | コーニング インコーポレイテッド | 熱安定性および化学安定性の高いガラス組成物 |
JP2014088320A (ja) * | 2010-04-27 | 2014-05-15 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスクおよび情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
EP2639205A4 (en) * | 2010-11-08 | 2014-06-04 | Nippon Electric Glass Co | GLASS WITHOUT ALCALI |
JP2014531385A (ja) * | 2011-09-02 | 2014-11-27 | エルジー・ケム・リミテッド | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
JPWO2013183569A1 (ja) * | 2012-06-05 | 2016-01-28 | 旭硝子株式会社 | 磁気ディスクの製造方法および情報記録媒体用ガラス基板 |
KR20160046809A (ko) | 2013-08-26 | 2016-04-29 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리의 제조 방법 |
DE19840113B4 (de) * | 1998-09-03 | 2016-07-07 | Eglass Asia Ltd. | Alkalifreie Glaszusammensetzung zur Herstellung von Flachglas |
KR20160085260A (ko) | 2013-11-13 | 2016-07-15 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 판유리의 제조 방법 |
KR20160091332A (ko) | 2013-11-28 | 2016-08-02 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 기판, 및 무알칼리 유리 기판의 박판화 방법 |
KR20160093606A (ko) | 2013-12-04 | 2016-08-08 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 및 그 제조 방법 |
KR20160093605A (ko) | 2013-12-04 | 2016-08-08 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 유리 기판의 마무리 연마 방법, 및 그 방법으로 마무리 연마된 무알칼리 유리 기판 |
JP2016155753A (ja) * | 2012-12-21 | 2016-09-01 | コーニング インコーポレイテッド | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
WO2016159345A1 (ja) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
US9505650B2 (en) | 2012-12-05 | 2016-11-29 | Asahi Glass Company, Limited | Non-alkali glass substrate |
CN104334507B (zh) * | 2012-05-31 | 2016-11-30 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃基板及无碱玻璃基板的减薄方法 |
KR20160145616A (ko) | 2014-04-28 | 2016-12-20 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 |
US9708211B2 (en) | 2013-04-23 | 2017-07-18 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali-free glass substrate and method for producing same |
WO2018116731A1 (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
JP2018100208A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
CN110668694A (zh) * | 2013-10-17 | 2020-01-10 | 日本电气硝子株式会社 | 无碱玻璃 |
US10577277B2 (en) * | 2015-04-03 | 2020-03-03 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Glass |
JPWO2020071193A1 (ja) * | 2018-10-05 | 2021-09-02 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス板 |
JPWO2020027088A1 (ja) * | 2018-07-31 | 2021-09-24 | 日本電気硝子株式会社 | ディスプレイ用基板及びその製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7060915B2 (ja) * | 2014-12-12 | 2022-04-27 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
JP7004488B2 (ja) | 2015-03-10 | 2022-01-21 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス基板 |
-
1996
- 1996-07-29 JP JP19936196A patent/JP3804112B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (107)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19840113B4 (de) * | 1998-09-03 | 2016-07-07 | Eglass Asia Ltd. | Alkalifreie Glaszusammensetzung zur Herstellung von Flachglas |
DE19840113B9 (de) * | 1998-09-03 | 2016-10-13 | Eglass Asia Ltd. | Alkalifreie Glaszusammensetzung zur Herstellung von Flachglas |
US6329310B1 (en) | 1999-04-12 | 2001-12-11 | Schott Glas | Alkali-free aluminoborosilicate glass and uses thereof |
EP1044932A1 (de) * | 1999-04-12 | 2000-10-18 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
WO2001017921A1 (de) | 1999-09-04 | 2001-03-15 | Schott Glas | Erdalkalialuminoborosilicatglas und dessen verwendungen |
US6671026B2 (en) | 2000-01-12 | 2003-12-30 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display such as for a laptop computer |
US6852658B2 (en) | 2000-01-12 | 2005-02-08 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display, such as for a laptop computer |
US6867158B2 (en) | 2000-01-12 | 2005-03-15 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display such as for a laptop computer |
DE10064804A1 (de) * | 2000-12-22 | 2002-07-11 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
DE10064804C2 (de) * | 2000-12-22 | 2003-03-20 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
JP2016026138A (ja) * | 2006-02-10 | 2016-02-12 | コーニング インコーポレイテッド | 熱および化学安定性が高いガラス組成物ならびにその製造方法 |
US8763429B2 (en) | 2006-02-10 | 2014-07-01 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
US10364177B2 (en) | 2006-02-10 | 2019-07-30 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
US8753993B2 (en) | 2006-02-10 | 2014-06-17 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
JP2009525942A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-07-16 | コーニング インコーポレイテッド | 熱および化学安定性が高いガラス組成物ならびにその製造方法 |
JP2013082627A (ja) * | 2006-02-10 | 2013-05-09 | Corning Inc | 熱および化学安定性が高いガラス組成物ならびにその製造方法 |
JP2013082626A (ja) * | 2006-02-10 | 2013-05-09 | Corning Inc | 熱および化学安定性が高いガラス組成物ならびにその製造方法 |
US8598055B2 (en) | 2008-05-30 | 2013-12-03 | Corning Incorporated | Boroalumino silicate glasses |
USRE46337E1 (en) | 2008-05-30 | 2017-03-14 | Corning Incorporated | Boroalumino silicate glasses |
CN102471134B (zh) * | 2009-07-02 | 2015-04-15 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃及其制造方法 |
US8431503B2 (en) | 2009-07-02 | 2013-04-30 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali-free glass and method for producing same |
JPWO2011001920A1 (ja) * | 2009-07-02 | 2012-12-13 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
CN102471134A (zh) * | 2009-07-02 | 2012-05-23 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃及其制造方法 |
TWI423942B (zh) * | 2009-07-02 | 2014-01-21 | Asahi Glass Co Ltd | E-glass and its manufacturing method |
JP5712922B2 (ja) * | 2009-07-02 | 2015-05-07 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
WO2011001920A1 (ja) | 2009-07-02 | 2011-01-06 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
JP2014088320A (ja) * | 2010-04-27 | 2014-05-15 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスクおよび情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JPWO2012043484A1 (ja) * | 2010-09-30 | 2014-02-06 | 旭硝子株式会社 | ガラス原料の溶融方法、溶融ガラスの製造方法、ガラス製品の製造方法、および気中溶融装置とガラスビーズ |
JP5920218B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2016-05-18 | 旭硝子株式会社 | ガラス原料の溶融方法、溶融ガラスの製造方法およびガラス製品の製造方法 |
WO2012043484A1 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 旭硝子株式会社 | ガラス原料の溶融方法、溶融ガラスの製造方法、ガラス製品の製造方法、および気中溶融装置とガラスビーズ |
CN103097310A (zh) * | 2010-09-30 | 2013-05-08 | 旭硝子株式会社 | 玻璃原料的熔融方法、熔融玻璃的制造方法、玻璃制品的制造方法以及飞行中熔融装置和玻璃珠 |
US9061938B2 (en) | 2010-11-08 | 2015-06-23 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkali-free glass |
EP2639205A4 (en) * | 2010-11-08 | 2014-06-04 | Nippon Electric Glass Co | GLASS WITHOUT ALCALI |
WO2012075002A3 (en) * | 2010-11-30 | 2012-10-04 | Corning Incorporated | Alkali-free high strain point glass |
CN103261109A (zh) * | 2010-12-07 | 2013-08-21 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃和无碱玻璃的制造方法 |
CN103261109B (zh) * | 2010-12-07 | 2016-10-12 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃和无碱玻璃的制造方法 |
WO2012077609A1 (ja) | 2010-12-07 | 2012-06-14 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラスの製造方法 |
US9670087B2 (en) | 2010-12-07 | 2017-06-06 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali free glass and method for producing alkali free glass |
US9193622B2 (en) | 2010-12-07 | 2015-11-24 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali free glass and method for producing alkali free glass |
US20140005027A1 (en) * | 2010-12-08 | 2014-01-02 | Schott Ag | Boron-free universal glass |
DE102010054967B4 (de) * | 2010-12-08 | 2014-08-28 | Schott Ag | Borfreies Universalglas und dessen Verwendung |
DE102010054967A1 (de) | 2010-12-08 | 2012-07-05 | Schott Ag | Borfreies Universalglas |
US9096461B2 (en) | 2010-12-08 | 2015-08-04 | Schott Ag | Boron-free universal glass |
WO2012076289A2 (de) | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Schott Ag | Borfreies universalglas |
CN103282319A (zh) * | 2010-12-27 | 2013-09-04 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃和无碱玻璃的制造方法 |
EP2660213A4 (en) * | 2010-12-27 | 2014-07-23 | Asahi Glass Co Ltd | NON-ALKALIC GLASS AND METHOD FOR PRODUCING THE NON-ALKALINE GLASS |
US9108879B2 (en) | 2010-12-27 | 2015-08-18 | Asahi Glass Company, Limited | Non-alkali glass, and process for production of non-alkali glass |
JPWO2012090783A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2014-06-05 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラスの製造方法 |
WO2012090783A1 (ja) | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラスの製造方法 |
JP2014503465A (ja) * | 2011-01-25 | 2014-02-13 | コーニング インコーポレイテッド | 熱安定性および化学安定性の高いガラス組成物 |
JP2014531385A (ja) * | 2011-09-02 | 2014-11-27 | エルジー・ケム・リミテッド | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
KR20140107226A (ko) | 2011-12-06 | 2014-09-04 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리의 제조 방법 |
WO2013084832A1 (ja) | 2011-12-06 | 2013-06-13 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスの製造方法 |
CN103987666B (zh) * | 2011-12-06 | 2016-05-25 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃的制造方法 |
WO2013099970A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | AvanStrate株式会社 | フラットパネルディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法 |
JPWO2013099970A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2015-05-11 | AvanStrate株式会社 | フラットパネルディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法 |
CN103429547A (zh) * | 2011-12-28 | 2013-12-04 | 安瀚视特控股株式会社 | 平面面板显示器用玻璃基板及其制造方法 |
CN108314314A (zh) * | 2011-12-28 | 2018-07-24 | 安瀚视特控股株式会社 | 平面面板显示器用玻璃基板及其制造方法 |
EP2821375A4 (en) * | 2012-02-27 | 2015-10-28 | Asahi Glass Co Ltd | PROCESS FOR PRODUCING NON-ALKALINE GLASS |
KR20140134279A (ko) | 2012-02-27 | 2014-11-21 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리의 제조 방법 |
WO2013129368A1 (ja) | 2012-02-27 | 2013-09-06 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスの製造方法 |
JPWO2013161902A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2015-12-24 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
CN104254500A (zh) * | 2012-04-27 | 2014-12-31 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃及其制造方法 |
CN104271526B (zh) * | 2012-04-27 | 2016-12-07 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃及其制造方法 |
CN104271526A (zh) * | 2012-04-27 | 2015-01-07 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃及其制造方法 |
US9540273B2 (en) | 2012-04-27 | 2017-01-10 | Asahi Glass Company, Limited | Non-alkali glass and method for producing same |
WO2013161903A1 (ja) | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
US9382152B2 (en) | 2012-04-27 | 2016-07-05 | Asahi Glass Company, Limited | Non-alkali glass and method for producing same |
JP5702888B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2015-04-15 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
US20150045203A1 (en) * | 2012-04-27 | 2015-02-12 | Asahi Glass Company, Limited | Non-alkali glass and method for producing same |
KR20150013125A (ko) | 2012-04-27 | 2015-02-04 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 및 그의 제조 방법 |
WO2013161902A1 (ja) | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
KR20150013116A (ko) | 2012-05-16 | 2015-02-04 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 판 유리의 제조 방법 |
WO2013172307A1 (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | 旭硝子株式会社 | 板ガラスの製造方法 |
JPWO2013180220A1 (ja) * | 2012-05-31 | 2016-01-21 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板、および、無アルカリガラス基板の薄板化方法 |
KR20150028230A (ko) | 2012-05-31 | 2015-03-13 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 기판 및 무알칼리 유리 기판의 박판화 방법 |
WO2013180220A1 (ja) | 2012-05-31 | 2013-12-05 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板、および、無アルカリガラス基板の薄板化方法 |
CN104334507B (zh) * | 2012-05-31 | 2016-11-30 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃基板及无碱玻璃基板的减薄方法 |
CN104334507A (zh) * | 2012-05-31 | 2015-02-04 | 旭硝子株式会社 | 无碱玻璃基板及无碱玻璃基板的减薄方法 |
JPWO2013183569A1 (ja) * | 2012-06-05 | 2016-01-28 | 旭硝子株式会社 | 磁気ディスクの製造方法および情報記録媒体用ガラス基板 |
WO2013183625A1 (ja) | 2012-06-05 | 2013-12-12 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
WO2013183539A1 (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-12 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の仕上げ研磨方法、および、該方法で仕上げ研磨された無アルカリガラス基板 |
US9505650B2 (en) | 2012-12-05 | 2016-11-29 | Asahi Glass Company, Limited | Non-alkali glass substrate |
JPWO2014087971A1 (ja) * | 2012-12-05 | 2017-01-05 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
JP2016155753A (ja) * | 2012-12-21 | 2016-09-01 | コーニング インコーポレイテッド | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
US9919952B2 (en) | 2012-12-21 | 2018-03-20 | Corning Incorporated | Glass with improved total pitch stability |
US9963379B2 (en) | 2013-04-23 | 2018-05-08 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali-free glass substrate and method for producing same |
US9708211B2 (en) | 2013-04-23 | 2017-07-18 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali-free glass substrate and method for producing same |
KR20160046809A (ko) | 2013-08-26 | 2016-04-29 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리의 제조 방법 |
CN110668694A (zh) * | 2013-10-17 | 2020-01-10 | 日本电气硝子株式会社 | 无碱玻璃 |
KR20160085260A (ko) | 2013-11-13 | 2016-07-15 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 판유리의 제조 방법 |
KR20160091332A (ko) | 2013-11-28 | 2016-08-02 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 기판, 및 무알칼리 유리 기판의 박판화 방법 |
KR20160093606A (ko) | 2013-12-04 | 2016-08-08 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 및 그 제조 방법 |
KR20160093605A (ko) | 2013-12-04 | 2016-08-08 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 유리 기판의 마무리 연마 방법, 및 그 방법으로 마무리 연마된 무알칼리 유리 기판 |
KR20160145616A (ko) | 2014-04-28 | 2016-12-20 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 |
WO2016159345A1 (ja) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
JPWO2016159345A1 (ja) * | 2015-04-03 | 2018-02-01 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
US10577277B2 (en) * | 2015-04-03 | 2020-03-03 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Glass |
JP2021063010A (ja) * | 2015-04-03 | 2021-04-22 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
US11261123B2 (en) | 2015-04-03 | 2022-03-01 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Glass |
JP2018100208A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
WO2018116731A1 (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
CN110088053A (zh) * | 2016-12-19 | 2019-08-02 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃 |
US11572304B2 (en) | 2016-12-19 | 2023-02-07 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Glass |
JPWO2020027088A1 (ja) * | 2018-07-31 | 2021-09-24 | 日本電気硝子株式会社 | ディスプレイ用基板及びその製造方法 |
JPWO2020071193A1 (ja) * | 2018-10-05 | 2021-09-02 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス板 |
US12077471B2 (en) | 2018-10-05 | 2024-09-03 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkali-free glass plate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3804112B2 (ja) | 2006-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3804112B2 (ja) | 無アルカリガラス、無アルカリガラスの製造方法およびフラットディスプレイパネル | |
JP3988209B2 (ja) | 無アルカリガラスおよび液晶ディスプレイパネル | |
JP3144823B2 (ja) | 無アルカリガラス | |
JP4739468B2 (ja) | 無アルカリガラスおよびその清澄方法 | |
JP3800657B2 (ja) | 無アルカリガラスおよびフラットディスプレイパネル | |
US5801109A (en) | Alkali-free glass and flat panel display | |
JP3083586B2 (ja) | 無アルカリガラス | |
US6169047B1 (en) | Alkali-free glass and flat panel display | |
US4994415A (en) | SiO2 -Al2 O3 -BaO glass substrates with improved chemical resistance for use in display panels and others having thin films | |
JP3901757B2 (ja) | 無アルカリガラス、液晶ディスプレイパネルおよびガラス板 | |
EP0341313B1 (en) | Alkali free glass | |
JP4250208B2 (ja) | ディスプレイ基板用無アルカリガラス及び液晶ディスプレイパネル | |
JPH04325436A (ja) | 無アルカリガラス | |
JP5359824B2 (ja) | 無アルカリガラスの清澄方法 | |
JPH1025132A (ja) | 無アルカリガラス及びその製造方法 | |
JPH10139467A (ja) | 無アルカリガラス及びフラットディスプレイパネル | |
JPH1059741A (ja) | 無アルカリガラス及びその製造方法 | |
JP2707625B2 (ja) | ディスプレイ基板用無アルカリガラス | |
JPH10231139A (ja) | 無アルカリガラス及びその製造方法 | |
JPH09110460A (ja) | 無アルカリガラス | |
JPH09100135A (ja) | 無アルカリガラス及びディスプレイ用基板 | |
JP2004284949A (ja) | 無アルカリガラスの清澄方法 | |
JP2020172423A (ja) | 無アルカリガラス板 | |
CN102417297A (zh) | 无碱玻璃及平板显示面板 | |
JP2004299947A (ja) | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050815 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060501 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140519 Year of fee payment: 8 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |