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2020-07-21 |
2025-01-09 |
三菱電機株式会社 |
炭化珪素エピタキシャルウエハの製造方法
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CN112259451B
(zh)
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2020-09-22 |
2022-11-29 |
山东天岳先进科技股份有限公司 |
一种碳化硅晶片的位错识别方法及碳化硅晶片与应用
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KR102283879B1
(ko)
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2021-01-14 |
2021-07-29 |
에스케이씨 주식회사 |
탄화규소 웨이퍼의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼 및 웨이퍼 제조용 시스템
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KR102321229B1
(ko)
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2021-03-30 |
2021-11-03 |
주식회사 쎄닉 |
탄화규소 웨이퍼 및 이를 적용한 반도체 소자
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CN113594027A
(zh)
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2021-07-27 |
2021-11-02 |
兰州大学 |
一种腐蚀4h-碳化硅表面的方法
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JP7285890B2
(ja)
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2021-08-04 |
2023-06-02 |
株式会社レゾナック |
ＳｉＣエピタキシャルウェハ及びＳｉＣエピタキシャルウェハの製造方法
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JP7183358B1
(ja)
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2021-08-04 |
2022-12-05 |
昭和電工株式会社 |
ＳｉＣエピタキシャルウェハ及びＳｉＣエピタキシャルウェハの製造方法
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CN119764220B
(zh)
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2024-12-27 |
2025-11-18 |
中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
一种降低碳化硅外延材料缺陷数量的方法
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