JP6723219B2 - SiCエピタキシャルウェハ、SiCエピタキシャルウェハの製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、SiC単結晶の製造は、2000℃以上の高温成長を必要とし、結晶欠陥が発生しやすい。結晶欠陥の無い完全結晶を実現することは、現段階ではできない。SiCのバルク結晶から切り出されたSiC単結晶基板は、エピタキシャル成長を行う前の段階から転位をはじめとする欠陥を有する。そのため、SiC単結晶基板上にSiC層をエピタキシャル成長させることで得られるSiCエピタキシャルウェハも、ある程度の欠陥を有することは避けられない。
台形欠陥は、エピタキシャル層表面において、SSB直上に形成されるライン状の欠陥と、SSBが原因となりステップフロー下流側に形成されるライン状の欠陥とを有する。それぞれの欠陥が、台形の上底、下底となり、全体として台形状の欠陥となる。エピタキシャル表面視で視認される見かけが台形状であるため、一般に台形欠陥と言われている。
ステップバンチングは、基板表面にステップが階段状に存在するとき、結晶成長中にこれらステップ列が合体して束となった巨大なステップである。ステップバンチングは結晶成長中に形成される。この他、ステップバンチングは成長を伴わない熱処理による表面原子の移動でも形成される。結晶面が結晶成長面に対して微傾斜した基板を用いる場合、一般的なステップバンチングは、微傾斜方向に略垂直な方向に延伸した巨視的な長さを持ち、一定の面積を有する表面荒れとして観察される。これに対し、本明細書で言うショートステップバンチング(SSB)は、そのような一般的にみられる巨視的な長さのものとは区別される。SSBは、転位などの微小欠陥を起点として発生し、表面において原子ステップ(通常2〜10原子層程度)が集まって合体したものであり、孤立して存在する。この表面の段差自体を指してSSBということもある。SSBは、典型的には数十μmから1mm以下程度の短く限られた長さをもち、個々の原因欠陥に付随して発生する。
一般的に、SiC単結晶基板を熱処理した状態で生じている原子ステップの集合体をショートステップバンチング(SSB)と呼ぶことが多い。そのため本明細書でもその意味で用い、エピタキシャル成長後の表面に生じるステップバンチングは、エピタキシャル層表面のショートステップバンチング(エピタキシャル層表面のSSB)と呼んで区別する。
また例えば、非特許文献2では、基底面転位、貫通刃状転位、貫通螺旋転位、加工スクラッチに起因する転移ループ等が起因となり台形欠陥が発生することが記載されている。これらの転位等の全てから台形欠陥が発生するのではなく、条件により確率で台形欠陥が発生することも記載されている。
さらに、非特許文献3では、エピタキシャル成長前の水素エッチング条件を変えることで、SiC単結晶基板上のSSBの長さが変わることが記載されている。
例えば、非特許文献1及び2では、台形欠陥の発生メカニズムを分析しているだけであり、この台形欠陥による半導体デバイスへの影響を抑制するための手段については記載されていない。
非特許文献3には、SiC単結晶基板に局所的に生じるSSBの長さを制御できることが記載されている。これは、台形欠陥の上底の長さを制御することに繋がる。しかしながら、半導体デバイスへ大きな影響を及ぼすのは、台形欠陥の下底の段差である。上底を制御できても、下底を制御できなければ、半導体デバイスへの影響を十分抑制することはできない。
特許文献1及び2では、マクロなエピタキシャル層の表面の粗さについては言及しているが、よりミクロ(局所的)なエピタキシャル層表面のSSBについては注目されていない。特にエピタキシャル成長直後に局所的に発生するSSBが起因となって発生する台形欠陥の改善については記載も示唆もない。
本発明の構成を説明する前に、台形欠陥について説明する。図1は、従来のSiCエピタキシャルウェハ上に確認された台形欠陥の光学表面検査装置画像である。図1では、台形欠陥を区別しやすい様に一つの台形欠陥の周囲を点線で囲っている。
図1に示すように、従来のSiCエピタキシャルウェハにおける台形欠陥20は、オフセット方向のステップフロー上流側(図示−X方向)にオフセット方向と垂直すなわちステップフロー成長方向と垂直な方向に延伸して形成された上底21と、オフセット方向のステップフロー下流側(図示+X方向)にオフセット方向垂直な方向に延伸して形成された下底22とを有する。このとき、台形欠陥20の形状は等脚台形であり、下底22の長さは、上底21の長さより長い。そのため、上底21及び下底22と垂直な垂線と、台形欠陥20の斜辺がなす角θは、上底21から下底22へ向かって広がる角度を正とすると、常にθ>0が成り立つ。
本明細書において、基板のオフセット角度をつけた方向にステップフローが成長することから、基板のオフセット角度をつけた方向をオフセット方向、あるいはステップフロー成長方向とすることがあるが、これらは同じ方向を意味している。ステップフローが成長する方向を下流とし、その方向をオフセット下流、反対方向をオフセット上流ということがある。
これに対し、エピタキシャル層2の表面かつSSB11から(0001)方向に進んだ位置にも段差が現れる。この段差は、SiCエピタキシャルウェハ100の表面に形成される台形欠陥20の上底21に対応する。上底21の段差は、SSB11の段差から大きく拡大することがないため、段差としては下底22の段差より比較的小さい。つまり、SSB11を起点として、そのほぼ直上と、オフセット下流側に欠陥が2つの辺として形成され、この2辺を結んだものが台形欠陥20となる。
次いで、台形欠陥20の起点となるSSB11について説明する。ステップバンチングの形成される理由は種々考えられるが、そのうちの転位などの欠陥に起因しエッチングにより発生するSSBについて図3を用いて説明する。
図3は、SiC単結晶基板1の表面を拡大した断面模式図である。SiC単結晶基板1の表面は、オフセット角を有し、(0001)面からわずかに傾いている。そのため、原子レベルのテラス12と、ステップ13が組合されて、SiC単結晶基板1の表面が構成される。このSiC単結晶基板1に気相エッチングを加えると、ステップ13の端部から順にエッチングが進み、理想的には表面形状に影響は生じない。しかしながら、例えば、基底面転位、貫通刃状転位、貫通螺旋転位、加工スクラッチに起因する転移ループ等が表面にあると、その欠陥の基板表面に露出している部分でエッチングの速度が速くなる。その結果、その部分を中心にオフセット方向とは垂直な方向にエッチングが進む。エッチングを終えた後には、テラス12に対して、ステップ13の段差がその他の部分と比較して大きくなる部分ができる。この大きな段差が、SSB11の一態様である。そのため、SSB11は、オフセット方向に垂直な(1−100)方向に、起点となる欠陥を中心にしてライン状に形成される。このため、SSB11に伴い形成される台形欠陥20の上底21及び下底22も、オフセット方向に垂直な(1−100)方向に形成される。
本発明の一態様に係るSiCエピタキシャルウェハは、(0001)面から<11−20>方向に4度以下のオフセット角を有するSiC単結晶基板上にSiCエピタキシャル層が形成されたSiCエピタキシャルウェハである。SiCエピタキシャルウェハには台形欠陥が含まれる。台形欠陥の中には、ステップフロー下流側の下底の長さが、ステップフロー上流側の上底の長さ以下である反転した台形欠陥が含まれる。
上述のように、半導体デバイスに大きな影響を及ぼすのは、台形欠陥の下底22、27の段差である。反転した台形欠陥25は、従来の台形欠陥20と比較して下底27の長さが短い。すなわち、反転した台形欠陥25は、従来の台形欠陥20と比較して半導体デバイスへの影響が少ない欠陥であると言える。つまり、本発明の一態様に係るSiCエピタキシャルウェハは、台形欠陥の一部が反転した台形欠陥25であり、半導体デバイスへの悪影響を抑制することができる。具体的には、本発明の一態様に係るSiCエピタキシャルウェハを用いることで、MOSキャパシタの耐圧異常や、リーク電流の発生等を抑制することができる。
台形欠陥中の反転した台形欠陥25の割合が、50%以上であれば、高い歩留りでSiCエピタキシャルウェハから半導体デバイスを作製することができる。
反転した台形欠陥25における下底27の長さを0とするための具体的な構成について説明する。台形欠陥の上底26と下底27との距離をdとし、上底26の長さをDとする。このとき、下底27の長さは、D+2dtanθ(θ<0)で表記される。すなわち、D+2dtanθ<0となる場合において、反転した台形欠陥25の下底27の長さが0となり、形状が三角形状となる。オフセット角が一定の場合、反転した台形欠陥25が三角形状となる場合の条件は、エピタキシャル層2の厚みhで決定される。オフセット角をφとすると、tanφ=h/dが成り立つ。そのため、D+2htanθ/tanφ<0を満たすように、エピタキシャル層2の厚みhを設定することで、反転した台形欠陥25の形状を三角形状とすることができる。
SSB11の長さは、気相エッチングの影響を受けて変化する。一方で、気相エッチングの条件は、台形欠陥以外の欠陥にも影響を与えるため、台形欠陥以外の要因も考慮して決められる。従来は、上底の長さ(SSBの長さ)が一定以下となる条件の中で、気相エッチングの条件を選択する必要があったのに対し、本発明の一態様に係るSiCエピタキシャルウェハの製造方法では、気相エッチング条件としてSSB11が一定以上の長さとなるような条件を採用できる。すなわち、台形欠陥の抑制と、その他の欠陥発生抑制とを両立できる。
本発明の一態様に係るSiCエピタキシャルウェハの製造方法について説明する。
本発明の一態様に係るSiCエピタキシャルウェハは、上述のようなSiCエピタキシャルウェハの製造方法であって、SiC単結晶基板上をエッチングするエッチング工程と、エッチング後のSiC単結晶基板上にエピタキシャル層を成長させるエピタキシャル成長工程とを有する。そして、エピタキシャル層を成長させる工程において、Si系原料ガスとC系原料ガスの濃度比C/Siを1.0以下とする。
独立に設定したエッチング条件で上底の長さを予測し、あらかじめ測定して把握した台形欠陥の形状の分布と必要な成長膜厚から、台形欠陥が下底の長さが所定以下となるエピ成長条件を設定する。これにより、例えばSiCエピタキシャルウェハ中に存在する台形欠陥2中の反転した台形欠陥の割合を50%以上、あるいは75%以上とすることができ、キラー欠陥となる台形欠陥の下底の総延長量を小さく抑えかつ他の欠陥の低減と両立することができる。
(実施例1)
SiC単結晶基板として、3インチの4H−SiC単結晶基板を用意した。4H−SiC単結晶基板は、(0001)Si面に対して<11−20>方向に4度のオフセット角を有する。ここで、4度のオフセット角は、±0.5°程度のずれは許容される。
次いで、準備した3インチの4H−SiC単結晶基板をホットウォールプラネタリ型ウェハ自公転型のCVD装置に設置し、4H−SiC単結晶基板の表面に対して、水素ガスを用いたガスエッチングを行った。エッチングの温度は、エピタキシャル成長の温度と同一の1630℃とした。
エッチング後の4H−SiC単結晶基板の表面に、原料ガスとしてシラン、プロパン、キャリアガスとして水素を供給しながら、成長圧力15kPa、成長温度1630℃の条件のもとで、エピタキシャル層の厚みが10μmに至るまで、エピタキシャル成長を行った。このとき、C/Si比は、0.95とした。
図5は、実施例1のSiCエピタキシャルウェハ上に確認された台形欠陥の光学表面検査装置画像である。光学表面検査装置としては、光学表面検査装置カンデラ(KLA Tencor社製 Candela6300)を用いた。図示左側が、オフセット上流である。この画像は、光学表面検査装置カンデラ以外に、コンフォーカル微分干渉光学系表面検査装置SICA(レーザーテック社製)を用いて確認することもできる(図視略)。
上底及び下底と垂直な垂線と、台形欠陥の斜辺がなす角θは、上底から下底へ向かって広がる角度を正とした際に、θ=−62°であった。
角度θは、SiCエピタキシャルウェハ中央から28mmの位置に存在する任意の10点の台形欠陥の平均値として求めた。ウェハ自公転型の為、ほぼ円対象の分布となっていて、28mmよりも内側の台形欠陥の角度θは−62°よりも小さい(下底がより短くなる角度)分布となっていた。このとき、SiCエピタキシャルウェハ内に存在する台形欠陥の90%以上が反転した台形形状となっていた。
C/Si比を1.00とした点以外は、実施例1と同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。図6は、実施例2のSiCエピタキシャルウェハ上に確認された台形欠陥の光学表面検査装置画像である。図示左側が、オフセット上流である。上底及び下底と垂直な垂線と、台形欠陥の斜辺がなす角θは、上底から下底へ向かって広がる角度を正とした際に、θ=0°であった。
C/Si比を1.05とした点以外は、実施例1と同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。図7は、比較例1のSiCエピタキシャルウェハ上に確認された台形欠陥の光学表面検査装置画像である。図示左側が、オフセット上流である。上底及び下底と垂直な垂線と、台形欠陥の斜辺がなす角θは、上底から下底へ向かって広がる角度を正とした際に、θ=75°であった。
(参考例1)
成長温度を1650℃とした点以外は、比較例1と同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。その結果、上底及び下底と垂直な垂線と、台形欠陥の斜辺がなす角θは、上底から下底へ向かって広がる角度を正とした際に、θ=80°であった。
成長温度を1610℃とした点以外は、比較例1と同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。その結果、上底及び下底と垂直な垂線と、台形欠陥の斜辺がなす角θは、上底から下底へ向かって広がる角度を正とした際に、θ=66°であった。
(参考例3)
エピタキシャル層の成長速度を参考例1の1.5倍としたこと以外は、参考例1と同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。上底及び下底と垂直な垂線と、台形欠陥の斜辺がなす角θは、上底から下底へ向かって広がる角度を正とした際に、θ=87°であった。
エピタキシャル層の成長速度を参考例1の2倍としたこと以外は、参考例1と同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。上底及び下底と垂直な垂線と、台形欠陥の斜辺がなす角θは、上底から下底へ向かって広がる角度を正とした際に、θ=86°であった。
(実施例3)
エッチングの温度を1550℃としたこと以外は、実施例1と同様の条件で、SiCエピタキシャルウェハを作製した。図11にCVD装置の実施例3及び後述する実施例4における昇温条件を模式的に示した。図11に示すように、エッチング温度に至るまで昇温後、所定のエッチング温度(図11のEt温度)に達した時点から15分間温度を維持しながらエッチングを行った。その後、5分かけて所定のエピタキシャル成長温度(エピ温度)まで昇温し、1分保持後に、エピタキシャル成長を行った。
エッチングの温度を1500℃としたこと以外は、実施例3と同様の条件で、SiCエピタキシャルウェハを作製した。
また、別途同様のエッチング温度で基板をエッチングのみ行いエピタキシャル成長を行わないで取り出した基板の表面をSICAで同様に測定して比較し、エピタキシャル成長後の表面の台形欠陥の上底の長さが、エッチングのみでエピタキシャル成長を行う前のSSBの長さとほぼ一致することも確認した。
比較例1のSiCウェハを用いて、SiCエピタキシャルウェハの測定位置に伴う台形欠陥の形状を確認した。図13は、SiCエピタキシャルウェハの測定位置毎に確認された台形欠陥のSICA像である。図示右側から、SiCエピタキシャルウェハの中央、SiCエピタキシャルウェハの中央から28mmの位置、SiCエピタキシャルウェハの中央から31mmの位置を測定した画像である。図13に示すように、SiCエピタキシャルウェハの端部に近づきに従い、下底の長さが長くなっている。これは、SiCエピタキシャルウェハ面内でもわずかなC/Si比のバラツキが生じているためと考えられる。
Claims (7)
- (0001)面から<11−20>方向に4度以下のオフセット角を有するSiC単結晶基板上にSiCエピタキシャル層が形成されたSiCエピタキシャルウェハであって、
前記SiCエピタキシャルウェハに含まれる台形欠陥が、ステップフロー下流側の下底の長さがステップフロー上流側の上底の長さ以下である反転した台形欠陥を含むことを特徴とするSiCエピタキシャルウェハ。 - 前記台形欠陥中の前記反転した台形欠陥の割合が50%以上である請求項1に記載のSiCエピタキシャルウェハ。
- 前記反転した台形欠陥において、前記ステップフロー下流側の下底の長さが0であり、形状が三角形状であるものを有する請求項1又は2のいずれかに記載のSiCエピタキシャルウェハ。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法であって、
SiC単結晶基板上をエッチングするエッチング工程と、エッチング後のSiC単結晶基板上にエピタキシャル層を成長させるエピタキシャル成長工程とを有し、
前記エピタキシャル成長工程において、Si系原料ガスとC系原料ガスの濃度比C/Siを0.95以上1.0以下とするSiCエピタキシャルウェハの製造方法。 - 前記エピタキシャル成長工程における温度を1630℃以下とする請求項4に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記エッチング工程において、エッチングガスをシラン(SiH4)ガスとする請求項4又は5のいずれかに記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記エッチング工程における温度を、前記エピタキシャル成長工程の温度より低くする請求項4〜6のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
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