JP5865777B2 - 炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法 - Google Patents
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Claims (7)
- 炭化珪素基板上に、炭化珪素がエピタキシャル成長した第1エピタキシャル成長層および第2エピタキシャル成長層が順次設けられた炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法であって、
前記エピタキシャル成長の速度を、予め定める第1エピタキシャル成長速度R1として、前記炭化珪素基板上に前記炭化珪素をエピタキシャル成長させることによって、前記第1エピタキシャル成長層を形成する第1エピタキシャル成長工程と、
前記エピタキシャル成長の速度を、前記第1エピタキシャル成長速度R1から、前記第1エピタキシャル成長速度R1よりも高い第2エピタキシャル成長速度R2に変化させる速度変化工程と、
前記第1エピタキシャル成長層上に、前記第2エピタキシャル成長速度R2で前記炭化珪素をエピタキシャル成長させることによって、前記第2エピタキシャル成長層を形成する第2エピタキシャル成長工程とを備え、
前記第1エピタキシャル成長工程と前記速度変化工程と前記第2エピタキシャル成長工程とでは、前記炭化珪素の成長温度が同じであり、
前記速度変化工程では、前記炭化珪素のエピタキシャル成長の速度が変化する間に前記エピタキシャル成長によって形成される層である速度変化層の層厚が30nm未満になるように、前記炭化珪素のエピタキシャル成長の速度を変化させることを特徴とする炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法。 - 前記速度変化工程では、前記エピタキシャル成長の速度の単位時間あたりの変化率である成長速度変化率ΔRが2500μm/h2以上になるように、前記エピタキシャル成長の速度を変化させることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記第1エピタキシャル成長速度R1は、2μm/h以上5μm/h以下であり、
前記第2エピタキシャル成長速度R2は、10μm/h以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法。 - 前記第1エピタキシャル成長層および前記第2エピタキシャル成長層は、前記第1エピタキシャル成長層のドーピング濃度よりも前記第2エピタキシャル成長層のドーピング濃度が低くなるように形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記第1エピタキシャル成長工程および前記第2エピタキシャル成長工程では、
前記炭化珪素の原料ガスとして、珪素原子を供給するための珪素原子供給ガスと、炭素原子を供給するための炭素原子供給ガスとを含む原料ガスを反応室内に供給し、
前記珪素原子供給ガスの流量に対する前記炭素原子供給ガスの流量の比率である炭素(C)/珪素(Si)比が、前記第1エピタキシャル工程よりも前記第2エピタキシャル成長工程の方が高くなるように、前記珪素原子供給ガスおよび前記炭素原子供給ガスの流量を調整することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法。 - 前記第1エピタキシャル成長工程では、前記炭化珪素の原料ガスとして、珪素原子を供給するための珪素原子供給ガスと、炭素原子を供給するための炭素原子供給ガスとを含む原料ガスを反応室内に供給し、
前記第2エピタキシャル成長工程では、前記炭化珪素の原料ガスとして、前記珪素原子供給ガスと、前記炭素原子供給ガスと、ハライド系ガスとを含む原料ガスを供給することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法。 - 前記炭化珪素基板は、オフ角が5°よりも小さい4H−SiC型の結晶構造を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法。
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