JP6579710B2 - SiCエピタキシャルウェハの製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献2のC/Si比が低い条件で実際にSiCエピタキシャル層を成長させると、キャロット欠陥抑制とドロプレットの発生抑制とを両立させることができなかった。つまり、安定的にキャロット欠陥の少ないエピタキシャルウェハを得る方法は知られていない。
すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
図1は、共焦点微分干渉光学系を用いた表面検査装置である共焦点顕微鏡(レーザーテック株式会社製、SICA6X)によって得られたキャロット欠陥の像である。また図2は、キャロット欠陥近傍のSiCエピタキシャルウェハの断面模式図である。図1及び図2において、図示左側がステップフロー上流側であり、図示右側がステップフロー下流側である。
Siドロップレットとは、エピタキシャル成長中に過剰なSi原子が基板表面に凝縮した異物であり、これを起因としてSiドロプレット起因欠陥が形成される。Siドロップレットは異物の一態様であり、それを起点とした結晶成長の乱れが生じ、エピタキシャル表面で小型のピットやバンプの形状を持つ欠陥を発生させる。起点が異物である点が、起点が転位等であるキャロット欠陥とは異なる。実際にエピタキシャル成長させる場合は極端なSi過剰な条件はとらないため、Siドロプレットは小型であり、Siドロプレット起因欠陥も小型のものとなる。Siドロプレット欠陥は、大きさや形態上の特徴で、他欠陥と識別することができる。Siドロプレット起因欠陥も、結晶性や結晶成長表面の乱れであり、また発生する場合は一気に多数発生する傾向があるため、デバイス制作に悪影響を与える。
本発明の一態様に係るSiCエピタキシャルウェハの製造方法は、SiC単結晶基板上にエピタキシャル層を有するSiCエピタキシャルウェハの製造方法であって、エピタキシャル層を結晶成長する際に、結晶成長を開始する初期に第1の条件でエピタキシャル層の一部を形成する工程と、前記第1の条件よりもCl/Si比を減少させ、かつ、C/Si比を増加させた第2の条件でSiCエピタキシャル層の一部を形成する工程と、を有する。この際、第1の条件におけるC/Si比は0.6以下であり、Cl/Si比は5.0以上である。
SiCエピタキシャルウェハは、SiC単結晶基板上にエピタキシャル層を形成することで得られる。そのため、まずSiC単結晶基板を準備する。
基板の面方位としては、(0001)面で、オフ角度が設けられたものを使用する。オフ角度は0.4°〜8°の物が用いることができ、4°オフすなわち3.5°〜4.5°のものが好適に用いられる。
エピタキシャル層は、例えば減圧の化学気相成長(CVD)法等によりSiC単結晶基板の成長面上に、ステップフロー成長(原子ステップから横方向成長)して得られる。
SiCエピタキシャル成長の原料ガスとしては、シラン系ガスとしてシランや塩化シランが用いられ、炭素系ガスとしてエチレンやプロパンなどの炭化水素が用いられる。さらにドーパントとし窒素ガスなどが添加される。これらの原料ガスを運ぶキャリアガスとしては、水素やArなどの不活性ガスが用いられる。この他、成長速度の改善等の目的で塩素系ガスとしてHClを添加してもよい。
C/Si比は、シラン系ガスと炭素系ガスから求められる。Cl/Si比は、塩素系ガスまたはシラン系ガスと塩素系ガスの合計と、シラン系ガスと、から求められる。シラン系ガスとして塩化シラン(SiH4−nCln:n=0〜4)を用いる場合は、シラン系ガス中のCl元素もCl/Si比に寄与するため、Cl/Si比におけるCl比は、シラン系ガス中のCl元素とCl原料ガス中のCl元素の合計から求める。
ドリフト層はデバイスの能動層が形成されるため、結晶性や表面モフォロジーが重要であり、ドリフト層の成長条件、たとえばC/Si比は、ドリフト層の特性を優先して決定される。一方、バッファ層の成長条件は、ドリフト層に影響を与えずに一定のキャリア濃度になればよく、成長条件の選定の自由度は大きい。
例えば、SiH2Cl2ガスとC3H8ガスでC/Si比を制御し、HClガスの供給量を変化することで、Cl/Si比を制御することができる。
例えば、C/Si比を0.6以下としCl/Si比を制御しない場合、キャロット欠陥の発生は抑制することができる。しかしながら、成長雰囲気中のSiの比率が高くなり、Siドロップレットが発生してしまう。
一方で、Cl/Si比を5.0以上としC/Si比を制御しない場合、キャロット欠陥が発生してしまう。
また第1の条件において、Cl/Si比は5以上である。Si原料として塩化シランの中で最もCl/Si比が高いSiHCl3を用いた場合でも、Cl/Si=3であり、さらにHClを加える必要がある。SiCのCVD原料としてSiCl4を用いることもできるが、この場合でもCl/Si=4である。すなわち、第1の条件において塩素を含むSi原料を用いた場合、HClを合わせて使用することで、所定のCl/Si比を容易に実現することができる。
また、ランピング期間を短くし、バッファ層の成長範囲内でランピング成長を収めることができれば、デバイス層の条件を変更しなくてもよく、デバイス層の成長条件を任意に選ぶことができる。
(実施例1)
SiC単結晶基板は昇華法で作製されたSiCインゴットをスライスしたものを使用した。SiC単結晶基板のサイズは3インチとした。スライス後のSiC単結晶の表面は、粗研磨とダイアモンド砥粒による精密研磨を行い、エピタキシャル成長を行うための成長面を平坦化されていた。SiC単結晶基板のポリタイプは4Hであり、c軸に対して<11−20>方向に対して4°のオフセット角を有する。
キャロット欠陥は、基板の貫通転位密度と関係する為、効果を比較するために、実施例と比較例は、3インチ基板と4インチ基板でそれぞれ、同じインゴットから得られた欠陥密度が同じレベルの物を用いた。
成長圧力:15kPa
成長温度:1600℃
結晶成長条件(C/Si比、Cl/Si比)
第1条件:C/Si比 0.6、Cl/Si比 5.0
第2条件:C/Si比 1.0、Cl/Si比 3.0
ランピング工程で成膜したエピタキシャル層の層厚:0.5μm
バッファ層の層厚:0.5μm
比較例1では、実施例1とエピタキシャル成長条件を変更した点以外、同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。
比較例1では、結晶成長条件(C/Si比、Cl/Si比)を途中で変更することなく以下の条件とした。
結晶成長条件:C/Si比 1.0、Cl/Si比 3.0
比較例2では、実施例1とエピタキシャル成長開始初期のC/Si比とCl/Si比条件を変更した点以外、同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。
比較例2では、結晶成長条件の第1条件を以下の条件とした。
結晶成長条件(C/Si比、Cl/Si比)
第1条件:C/Si比 0.60、Cl/Si比 3.0
(実施例2)
実施例2では、SiC単結晶基板を変更し、4インチのものとした。その他の条件は実施例1と同一とした。
実施例3では、ランピング工程にかける時間を1/5にした点が実施例2と異なる。その他の条件は実施例2と同一とした。
結晶成長条件(C/Si比、Cl/Si比)
第1条件:C/Si比 0.6、Cl/Si比 5.0
第2条件:C/Si比 1.0、Cl/Si比 3.0
ランピング工程で成膜したエピタキシャル層の層厚:0.1μm
バッファ層の層厚:0.5μm
比較例3では、実施例2と結晶成長条件を変更した点以外、同様の条件でSiCエピタキシャルウェハを作製した。
比較例3では、結晶成長条件(C/Si比、Cl/Si比)を途中で変更することなく以下の条件とした。
結晶成長条件:C/Si比 1.0、Cl/Si比 3.0
すなわち、比較例3は比較例1とSiC単結晶基板のサイズを変更した点が異なる。
Claims (7)
- SiC単結晶基板上にエピタキシャル層を有するSiCエピタキシャルウェハの製造方法であって、
前記エピタキシャル層を結晶成長する際に、結晶成長を開始する初期に第1の条件でエピタキシャル層の一部を形成する工程と、前記第1の条件よりもCl/Si比を減少させ、かつ、C/Si比を増加させた第2の条件でSiCエピタキシャル層の一部を形成する工程と、を有し、
前記第1の条件におけるC/Si比は0.6以下であり、Cl/Si比は5.0以上であり、
前記第1の条件において、Cl元素の供給源として塩化シラン(SiH 4−n Cl n :n=0〜4)と塩化水素(HCl)を共に用いる、SiCエピタキシャルウェハの製造方法。 - 前記エピタキシャル層を結晶成長する際に、前記第1の条件から前記第2の条件に向かって、C/Si比を徐々に減少させると共にCl/Si比を徐々に増加させるランピング工程を行う請求項1に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記第2の条件におけるC/Si比は0.8〜1.5であり、Cl/Si比は0〜4である請求項1または2のいずれかに記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記エピタキシャル層が、前記SiC単結晶基板側から順にバッファ層とドリフト層とからなり、
前記バッファ層を成長させる際に前記ランピング工程を行う請求項1〜3のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。 - 前記ランピング工程に要する時間が、前記バッファ層を成膜するのに要する時間の1/5以上である請求項4に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記ランピング工程で結晶成長するエピタキシャル層の層厚が、0.1μm以上である請求項2〜5のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記ランピング工程が、前記エピタキシャル層の成長開始と同時に開始される請求項2〜6のいずれかに記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
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