JP2008184361A - 3C−SiC単結晶膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】Si単結晶基板上に、平坦かつ反位相領域の存在しない高品質な3C−SiC単結晶膜を簡便に形成する方法を提供する。
【解決手段】面方位(001)からのオフ角度が0.2°以上1°未満であり、オフ方向が<100>以外の方向であるSi単結晶基板上に、前記Si単結晶基板を100%水素ガス雰囲気中でアニール処理した後、3C−SiC単結晶をエピタキシャル成長させることにより、高品質な3C−SiC単結晶膜を得る。
【選択図】なし
【解決手段】面方位(001)からのオフ角度が0.2°以上1°未満であり、オフ方向が<100>以外の方向であるSi単結晶基板上に、前記Si単結晶基板を100%水素ガス雰囲気中でアニール処理した後、3C−SiC単結晶をエピタキシャル成長させることにより、高品質な3C−SiC単結晶膜を得る。
【選択図】なし
Description
本発明は、次世代電子素子、高速高温動作可能電子素子、太陽光発電素子等としての応用が期待される、立方晶炭化ケイ素(以下、3C−SiCという。)単結晶膜をSi単結晶基板上に形成する方法に関する。
SiCは、広いバンドギャップ、高い電子移動度、高耐熱性等の優れた特性を有しており、また、構成元素の資源量が豊富であり、かつ、環境汚染への懸念が小さいこと等から、次世代電子素子、高速高温動作可能電子素子、太陽光発電素子等における化合物半導体としての応用が期待される材料である。
上記のようなSiCの薄膜の形成方法としては、各種CVD法、スパッタリング法、各種MBE法等が用いられている。
これらの方法によって結晶性に優れたSiC薄膜を得るためには、Si−C間の結合が共有結合であり、化学結合形成エネルギーおよびエピタキシャル結晶成長のための拡散エネルギーがともに大きいことから、例えば、CVD法においては、1200℃以上での高温条件を要する。また、スパッタリング法、MBE法においては、高真空雰囲気下で成長させなければならない。
これらの方法によって結晶性に優れたSiC薄膜を得るためには、Si−C間の結合が共有結合であり、化学結合形成エネルギーおよびエピタキシャル結晶成長のための拡散エネルギーがともに大きいことから、例えば、CVD法においては、1200℃以上での高温条件を要する。また、スパッタリング法、MBE法においては、高真空雰囲気下で成長させなければならない。
また、3C−SiC単結晶は、比較的低温で成長可能であるため、Si基板上に成長させる試みも盛んに行われている。特に、Si基板上に形成されたSiC薄膜は、現在のシリコンテクノロジーを継承することができるため、産業技術の開発コストにおける優位性からも、その実用化が求められている。
しかしながら、単一原子からなる無極性基板であるSi基板上に、極性をもつ3C−SiC単結晶を成長させると、反位相領域が発生し、3C−SiC単結晶を半導体素子として利用する際、形成されたSi−SiまたはC−C結合が、電流リークパスとなるという課題を有していた。
また、SiとSiCとの間には約20%もの格子不整合が存在するため、積層欠陥が発生する等の課題も有しており、高品質の連続した3C−SiC単結晶膜を形成することは非常に困難であった。
また、SiとSiCとの間には約20%もの格子不整合が存在するため、積層欠陥が発生する等の課題も有しており、高品質の連続した3C−SiC単結晶膜を形成することは非常に困難であった。
これに対しては、例えば、非特許文献1や特許文献1に、Si(001)基板に、<010>以外の方向に2°以上のオフ角度を設けることにより、反位相領域および積層欠陥を低減させることができることが開示されている。
特許第2633403号公報
古川勝紀、藤井良久、鈴木彰、中嶋重夫,「Si基板上のCVD成長β−SiC単結晶の欠陥制御」,シャープ技報,47(1990),p.11−15
しかしながら、オフ角度は、大きくなるにつれて、ステップバンチングが発生しやすくなり、3C−SiC成長表面に荒れを生じたり、3C−SiCのステップフロー成長に異方性が生じたりするため、積層欠陥等の対消滅の確率が減少し、欠陥残留確率が増加する等の不具合を生じる。
このため、対消滅の確率を高めるためには、3C−SiCを厚膜で成長させなければならないが、厚膜成長させると、3C−SiC膜の反りや表面の凹凸の増大を招くこととなる。
このため、対消滅の確率を高めるためには、3C−SiCを厚膜で成長させなければならないが、厚膜成長させると、3C−SiC膜の反りや表面の凹凸の増大を招くこととなる。
これに対しては、成長表面粗さを低減させるために、塩化物等のハロゲン系ガスを使用する方法も提案されているが、Si基板がエッチングされる等により制御が複雑となり、また、装置の腐食や排気処理等のための設備コストが増大する。
本発明は、上記技術的課題を解決するためになされたものであり、Si単結晶基板上に、平坦かつ反位相領域の存在しない高品質な3C−SiC単結晶膜を簡便に形成する方法を提供することを目的とするものである。
本発明に係る3C−SiC単結晶膜の形成方法は、面方位(001)からのオフ角度が0.2°以上1°未満であり、オフ方向が<100>以外の方向であるSi単結晶基板上に、3C−SiC単結晶をエピタキシャル成長させることを特徴とする。
これにより、Si(001)基板上に、平坦かつ反位相領域の存在しない3C−SiC単結晶膜を簡便に得ることができる。
これにより、Si(001)基板上に、平坦かつ反位相領域の存在しない3C−SiC単結晶膜を簡便に得ることができる。
上記形成方法においては、成長させる3C−SiCへの異方性の付与、反位相領域の消滅効果等の観点から、前記Si単結晶基板のオフ角度を0.5°以下とし、また、オフ方向を<011>、または、<011>から<100>への傾き5°以下とすることが好ましい。
さらに、上記形成方法においては、3C−SiC単結晶のエピタキシャル成長前に、前記Si単結晶基板を、100%水素ガス雰囲気中でアニール処理することが好ましい。
上記アニール処理を経ることにより、Si単結晶基板の3C−SiC成長面の酸化膜等が除去され、さらに、酸化誘起積層欠陥の発生が抑制され、Si単結晶基板表面に明瞭なステップを出現させることができる。
上記アニール処理を経ることにより、Si単結晶基板の3C−SiC成長面の酸化膜等が除去され、さらに、酸化誘起積層欠陥の発生が抑制され、Si単結晶基板表面に明瞭なステップを出現させることができる。
上述したとおり、本発明によれば、Si単結晶基板上に、表面平坦度に優れた高品質な面方位(001)の3C−SiC単結晶膜を容易に形成することができる。
また、本発明により得られる3C−SiC単結晶膜は、反りが小さく、反位相領域が存在しないため、高出力電子デバイス等として好適に用いることができ、さらには、4H−SiC、6H−SiC、GaN等の六方晶系化合物半導体の結晶成長用基板としても利用することができる。
また、本発明により得られる3C−SiC単結晶膜は、反りが小さく、反位相領域が存在しないため、高出力電子デバイス等として好適に用いることができ、さらには、4H−SiC、6H−SiC、GaN等の六方晶系化合物半導体の結晶成長用基板としても利用することができる。
以下、本発明をより詳細に説明する。
本発明に係る3C−SiC単結晶膜の形成方法は、Si(001)基板上に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長させるにあたり、その形成面の面方位(001)からのオフ角度を0.2°以上1°未満とし、オフ方向を<100>以外の方向とすることを特徴とするものである。
上記のようなSi基板を用いることにより、この基板上に、平坦かつ反位相領域の存在しない3C−SiC単結晶膜を簡便に得ることができる。
本発明に係る3C−SiC単結晶膜の形成方法は、Si(001)基板上に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長させるにあたり、その形成面の面方位(001)からのオフ角度を0.2°以上1°未満とし、オフ方向を<100>以外の方向とすることを特徴とするものである。
上記のようなSi基板を用いることにより、この基板上に、平坦かつ反位相領域の存在しない3C−SiC単結晶膜を簡便に得ることができる。
SiCを成長させるためのSi単結晶基板としては、一般に、面方位(001)または(111)のSi基板が用いられるが、本発明においては、劈開性等の観点から製造上優位であるSi(001)基板を用いる。
また、前記Si単結晶基板には、上記のようなオフ角度を設けておくことにより、成長させる3C−SiCに異方性を与えることができる。
前記オフ角度が0.2°未満である場合、アニールによりヘイズが発生しやすい。
一方、前記オフ角度が2°以上の場合は、ステップバンチングの発生等により、3C−SiC単結晶膜の表面粗さが増大しやすい。
前記オフ角度は0.5°以下とすることがより好ましい。
前記オフ角度が0.2°未満である場合、アニールによりヘイズが発生しやすい。
一方、前記オフ角度が2°以上の場合は、ステップバンチングの発生等により、3C−SiC単結晶膜の表面粗さが増大しやすい。
前記オフ角度は0.5°以下とすることがより好ましい。
さらに、前記Si単結晶基板は、上記のようなオフ角度を設けるのと同時に、オフ方向を<100>以外の方向とすることにより、反位相領域を効果的に消滅させることができる。
アニール処理したSi単結晶基板表面には、オフ角度が設けられている状態では、テラス状の2×1構造(ダブルステップ)領域と島状の1×2構造(シングルステップ)領域が出現する。通常、3C−SiC成長は、<100>方向において高速となるため、オフ方向を<100>とした場合、シングルステップの拡大方向とダブルステップの成長方向、すなわち、反位相領域の拡大方向とステップフロー成長の進行方向が同じになる。
したがって、反位相領域の形成要因となるシングルステップ領域を、対消滅またはダブルステップ領域で覆って消滅させることが困難となり、<100>方向にオフした場合は、反位相領域が消滅しにくいと考えられる。
アニール処理したSi単結晶基板表面には、オフ角度が設けられている状態では、テラス状の2×1構造(ダブルステップ)領域と島状の1×2構造(シングルステップ)領域が出現する。通常、3C−SiC成長は、<100>方向において高速となるため、オフ方向を<100>とした場合、シングルステップの拡大方向とダブルステップの成長方向、すなわち、反位相領域の拡大方向とステップフロー成長の進行方向が同じになる。
したがって、反位相領域の形成要因となるシングルステップ領域を、対消滅またはダブルステップ領域で覆って消滅させることが困難となり、<100>方向にオフした場合は、反位相領域が消滅しにくいと考えられる。
これに対して、例えば、<110>方向にオフした場合は、シングルステップ領域は、<100>と<010>方向に拡大するため、両方向の対消滅確率が高く、加えて、<110>方向のステップフロー成長によって覆われ、反位相領域が消滅する。
前記Si単結晶基板のオフ方向は、反位相領域の消滅効果の観点から、<011>、または、<011>から<100>への傾き5°以下とすることがより好ましい。
前記Si単結晶基板のオフ方向は、反位相領域の消滅効果の観点から、<011>、または、<011>から<100>への傾き5°以下とすることがより好ましい。
また、上記形成方法においては、3C−SiC単結晶のエピタキシャル成長前に、前記Si単結晶基板を、100%水素ガス雰囲気中でアニール処理することが好ましい。
3C−SiC成長前のSi単結晶基板を100%水素ガス雰囲気中でアニール処理することにより、成長表面の酸化膜等を除去するのみならず、酸化誘起積層欠陥の発生を抑制し、Si単結晶基板表面に明瞭なステップを出現させることができる。
雰囲気ガスをアルゴン等の不活性ガスやこれと水素ガスとの混合ガスとした場合は、上記のような水素ガスのみの場合と同様の効果が得られない。
一方、塩化物等のハロゲン系ガスを含むガスを用いた場合には、Si単結晶基板表面にエッチピットが発生しやすくなり、3C−SiC成長等の制御が困難となる。
上記の100%水素ガス雰囲気中でのアニール処理は、1000〜1300℃で10分以上保持することにより行うことが好ましい。
3C−SiC成長前のSi単結晶基板を100%水素ガス雰囲気中でアニール処理することにより、成長表面の酸化膜等を除去するのみならず、酸化誘起積層欠陥の発生を抑制し、Si単結晶基板表面に明瞭なステップを出現させることができる。
雰囲気ガスをアルゴン等の不活性ガスやこれと水素ガスとの混合ガスとした場合は、上記のような水素ガスのみの場合と同様の効果が得られない。
一方、塩化物等のハロゲン系ガスを含むガスを用いた場合には、Si単結晶基板表面にエッチピットが発生しやすくなり、3C−SiC成長等の制御が困難となる。
上記の100%水素ガス雰囲気中でのアニール処理は、1000〜1300℃で10分以上保持することにより行うことが好ましい。
なお、前記3C−SiC単結晶のエピタキシャル成長は、通常の条件で行うことができるが、Si単結晶基板表面を炭化処理した後、表面が平滑になるために十分な膜厚を確保できる程度まで成長させることが好ましく、その成長温度は、成長表面マイグレーションを考慮して、1100℃以上1350℃以下とすることが好ましい。
具体的な成長方法は、下記実施例に示す。
具体的な成長方法は、下記実施例に示す。
以下、本発明を実施例に基づいてさらに具体的に説明するが、本発明は、下記実施例により制限されるものではない。
[実施例1]
面方位(001)からのオフ角度が0.6°、オフ方向が<011>から<100>への傾き5°のSi単結晶基板を用い、これを基板ホルダに載置し、反応管内の成長領域にセットして、100%水素ガス雰囲気中、1200℃で10分間のアニール処理を行った。
引き続き、炉内温度を500℃以下に下げ、キャリア水素ガス1.5slmに対して、炭化層形成のための原料ガスとしてプロパンを50Torr雰囲気下、6sccm供給した。
そして、プロパンガスを供給したまま、基板温度を1180℃まで上昇させ、そのまま5分間保持した。
次に、供給ガスを、キャリア水素ガス30slmに対して、3C−SiC成長原料ガスとしてプロパン1.2sccm、シラン1.6sccmに切り換え、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させた。
得られたSi単結晶基板上の3C−SiC単結晶膜の表面は、原子間力顕微鏡(AMF)による観察の結果、非常に平坦であり、反位相領域は確認されなかった。
[実施例1]
面方位(001)からのオフ角度が0.6°、オフ方向が<011>から<100>への傾き5°のSi単結晶基板を用い、これを基板ホルダに載置し、反応管内の成長領域にセットして、100%水素ガス雰囲気中、1200℃で10分間のアニール処理を行った。
引き続き、炉内温度を500℃以下に下げ、キャリア水素ガス1.5slmに対して、炭化層形成のための原料ガスとしてプロパンを50Torr雰囲気下、6sccm供給した。
そして、プロパンガスを供給したまま、基板温度を1180℃まで上昇させ、そのまま5分間保持した。
次に、供給ガスを、キャリア水素ガス30slmに対して、3C−SiC成長原料ガスとしてプロパン1.2sccm、シラン1.6sccmに切り換え、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させた。
得られたSi単結晶基板上の3C−SiC単結晶膜の表面は、原子間力顕微鏡(AMF)による観察の結果、非常に平坦であり、反位相領域は確認されなかった。
[比較例1]
面方位(001)からのオフ角度が0.5°、オフ方向が<100>のSi単結晶基板を用い、それ以外は実施例1と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、反位相領域が確認された。
面方位(001)からのオフ角度が0.5°、オフ方向が<100>のSi単結晶基板を用い、それ以外は実施例1と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、反位相領域が確認された。
[比較例2]
Si(001)基板を用い、それ以外は実施例1と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、反位相領域が確認された。
Si(001)基板を用い、それ以外は実施例1と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、反位相領域が確認された。
[比較例3]
アニール処理に用いるガスをアルゴンガスとし、それ以外は比較例2と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、比較例2の場合よりも多くの反位相領域が存在することが確認された。
アニール処理に用いるガスをアルゴンガスとし、それ以外は比較例2と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、比較例2の場合よりも多くの反位相領域が存在することが確認された。
[比較例4]
面方位(001)からのオフ角度が2°のSi単結晶基板を用い、それ以外は実施例1と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、ステップバンチングが発生し、表面粗さが増大した。
面方位(001)からのオフ角度が2°のSi単結晶基板を用い、それ以外は実施例1と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、ステップバンチングが発生し、表面粗さが増大した。
[比較例5]
面方位(001)からのオフ角度が4°のSi単結晶基板を用い、それ以外は比較例4と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、ステップバンチングが発生し、表面粗さが増大した。
面方位(001)からのオフ角度が4°のSi単結晶基板を用い、それ以外は比較例4と同様にして、3C−SiC単結晶膜を厚さ約1μm成長させたところ、膜表面に、ステップバンチングが発生し、表面粗さが増大した。
Claims (4)
- 面方位(001)からのオフ角度が0.2°以上1°未満であり、オフ方向が<100>以外の方向であるSi単結晶基板上に、3C−SiC単結晶をエピタキシャル成長させることを特徴とする3C−SiC単結晶膜の形成方法。
- 前記Si単結晶基板のオフ角度を0.5°以下とすることを特徴とする請求項1記載の3C−SiC単結晶膜の形成方法。
- 前記Si単結晶基板のオフ方向を<011>、または、<011>から<100>への傾き5°以下とすることを特徴とする請求項1または請求項2記載の3C−SiC単結晶膜の形成方法。
- 3C−SiC単結晶のエピタキシャル成長前に、前記Si単結晶基板を、100%水素ガス雰囲気中でアニール処理することを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかに記載の3C−SiC単結晶膜の形成方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007019022A JP2008184361A (ja) | 2007-01-30 | 2007-01-30 | 3C−SiC単結晶膜の形成方法 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2012031012A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Seiko Epson Corp | 立方晶炭化珪素膜の製造方法 |
WO2023047755A1 (ja) | 2021-09-21 | 2023-03-30 | 信越半導体株式会社 | ヘテロエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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2007
- 2007-01-30 JP JP2007019022A patent/JP2008184361A/ja active Pending
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