JP4694144B2 - SiC単結晶の成長方法およびそれにより成長したSiC単結晶 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 54
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 26
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 15
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 12
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 6
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 244000000626 Daucus carota Species 0.000 description 1
- 235000002767 Daucus carota Nutrition 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
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- C23C16/325—Silicon carbide
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
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Description
上記基板のエピタキシャル成長面が、4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へ12°以上18°以下(12°を除く)のオフ角度で傾斜していることを特徴とするSiC単結晶の成長方法が提供される。
4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へオフ角度として15°傾けた面をエピタキシャル成長面とする基板を作製した。この基板は、(0001)面を成長面とする種結晶として昇華再結晶法により成長した4H−SiC単結晶を(0001)軸方向に対して15°傾けた面でスライスしてウェハを作製し、このウェハ表面を機械研磨、化学研磨によって加工したものである。基板の厚さは約380μmであった。
実施例1と同じ基板を用い、同じCVD装置および条件により、4H−SiC単結晶のエピタキシャル成長を行なった。ただし、成長条件のうち、プロパンガス流量を0.67sccmに変更して、C/Si比1.0相当とした。その結果、成長膜厚は8.8μmとなり、成長速度が4.4μm/hに向上した。
実施例1と同じ基板を用い、同じCVD装置および条件により、4H−SiC単結晶のエピタキシャル成長を行なった。ただし、成長条件のうち、プロパンガス流量を0.33sccmに変更して、C/Si比0.5相当とした。その結果、成長膜厚は3.5μmとなり、成長速度が1.75μm/hに低下した。
4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へオフ角度として25°傾けた面をエピタキシャル成長面とする基板を作製した。この基板は、(0001)面を成長面とする種結晶として昇華再結晶法により成長した4H−SiC単結晶を(0001)軸方向に対して25°傾けた面でスライスしてウェハを作製し、このウェハ表面を機械研磨、化学研磨によって加工したものである。基板の厚さは約380μmであった。
実施例4と同じ基板を用い、同じCVD装置および条件により、4H−SiC単結晶のエピタキシャル成長を行なった。ただし、成長条件のうち、プロパンガス流量を0.67sccmに変更して、C/Si比1.0相当とした。その結果、成長膜厚は9.4μmとなり、成長速度が4.7μm/hに向上した。
4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へオフ角度として8°傾けた面をエピタキシャル成長面とする基板を作製した。この基板は、(0001)面を成長面とする種結晶として昇華再結晶法により成長した4H−SiC単結晶を(0001)軸方向に対して8°傾けた面でスライスしてウェハを作製し、このウェハ表面を機械研磨、化学研磨によって加工したものである。基板の厚さは約380μmであった。
4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へオフ角度として4°傾けた面をエピタキシャル成長面とする基板を作製した。この基板は、(0001)面を成長面とする種結晶として昇華再結晶法により成長した4H−SiC単結晶を(0001)軸方向に対して4°傾けた面でスライスしてウェハを作製し、このウェハ表面を機械研磨、化学研磨によって加工したものである。基板の厚さは約380μmであった。
4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へオフ角度として30°傾けた面をエピタキシャル成長面とする基板を作製した。この基板は、(0001)面を成長面とする種結晶として昇華再結晶法により成長した4H−SiC単結晶を(0001)軸方向に対して30°傾けた面でスライスしてウェハを作製し、このウェハ表面を機械研磨、化学研磨によって加工したものである。基板の厚さは約380μmであった。
4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へオフ角度として45°傾けた面をエピタキシャル成長面とする基板を作製した。この基板は、(0001)面を成長面とする種結晶として昇華再結晶法により成長した4H−SiC単結晶を(0001)軸方向に対して45°傾けた面でスライスしてウェハを作製し、このウェハ表面を機械研磨、化学研磨によって加工したものである。基板の厚さは約380μmであった。
Claims (1)
- 4H−SiC単結晶基板の上にCVD法によるエピタキシャル成長法により4H−SiC単結晶を成長させる方法であって、
上記基板のエピタキシャル成長面が、4H−SiC単結晶の(0001)面に対して<11−20>軸方向へ12°以上18°以下(12°を除く)のオフ角度で傾斜していることを特徴とするSiC単結晶の成長方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145179A JP4694144B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | SiC単結晶の成長方法およびそれにより成長したSiC単結晶 |
PCT/JP2005/009200 WO2005111277A1 (en) | 2004-05-14 | 2005-05-13 | Method of growing sic single crystal and sic single crystal grown by same |
CN2011102726762A CN102337587A (zh) | 2004-05-14 | 2005-05-13 | SiC单晶的生长方法和由该方法生长的SiC单晶 |
DE602005004280T DE602005004280T2 (de) | 2004-05-14 | 2005-05-13 | Verfahren zum ziehen von sic-einkristallen und sic-einkristall |
EP05741354A EP1751329B1 (en) | 2004-05-14 | 2005-05-13 | Method of sic single crystal growth and sic single crystal |
CNA2005800150544A CN1950548A (zh) | 2004-05-14 | 2005-05-13 | SiC单晶的生长方法和由该方法生长的SiC单晶 |
US11/547,692 US20070221119A1 (en) | 2004-05-14 | 2005-05-13 | Method of Sic Single Crystal Growth and Sic Single Crystal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145179A JP4694144B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | SiC単結晶の成長方法およびそれにより成長したSiC単結晶 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005324994A JP2005324994A (ja) | 2005-11-24 |
JP2005324994A5 JP2005324994A5 (ja) | 2007-06-28 |
JP4694144B2 true JP4694144B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=34968350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004145179A Expired - Fee Related JP4694144B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | SiC単結晶の成長方法およびそれにより成長したSiC単結晶 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070221119A1 (ja) |
EP (1) | EP1751329B1 (ja) |
JP (1) | JP4694144B2 (ja) |
CN (2) | CN1950548A (ja) |
DE (1) | DE602005004280T2 (ja) |
WO (1) | WO2005111277A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7465353B2 (en) * | 2004-09-17 | 2008-12-16 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Method for growing epitaxial crystal |
US8980445B2 (en) | 2006-07-06 | 2015-03-17 | Cree, Inc. | One hundred millimeter SiC crystal grown on off-axis seed |
CN100514562C (zh) * | 2006-09-18 | 2009-07-15 | 中国科学院半导体研究所 | 用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法 |
WO2009033076A1 (en) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Transparent nanocrystalline diamond contacts to wide bandgap semiconductor devices |
JP4978637B2 (ja) | 2009-02-12 | 2012-07-18 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
DE102009033302B4 (de) * | 2009-07-15 | 2012-01-26 | Infineon Technologies Ag | Herstellungsverfahren für ein unipolares Halbleiter-Bauelement und Halbleitervorrichtung |
JP4959763B2 (ja) * | 2009-08-28 | 2012-06-27 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハ及びその製造方法 |
JPWO2011096109A1 (ja) * | 2010-02-05 | 2013-06-10 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素基板の製造方法 |
US9117740B2 (en) * | 2010-08-27 | 2015-08-25 | National University Corporation NARA Institute of Science and Technology | SiC semiconductor element |
JP2012109348A (ja) * | 2010-11-16 | 2012-06-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置 |
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JP2014013850A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-01-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素基板および半導体装置の製造方法、ならびに炭化珪素基板および半導体装置 |
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US9738991B2 (en) | 2013-02-05 | 2017-08-22 | Dow Corning Corporation | Method for growing a SiC crystal by vapor deposition onto a seed crystal provided on a supporting shelf which permits thermal expansion |
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JP4160769B2 (ja) | 2002-04-04 | 2008-10-08 | 新日本製鐵株式会社 | 炭化珪素単結晶インゴット及びウエハ |
KR100773624B1 (ko) | 2002-04-04 | 2007-11-05 | 신닛뽄세이테쯔 카부시키카이샤 | 탄화 규소 단결정으로 이루어지는 종결정 및 그를 이용한잉곳의 제조 방법 |
JP4160770B2 (ja) | 2002-04-04 | 2008-10-08 | 新日本製鐵株式会社 | 4h型炭化珪素単結晶エピタキシャル基板 |
-
2004
- 2004-05-14 JP JP2004145179A patent/JP4694144B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-05-13 CN CNA2005800150544A patent/CN1950548A/zh active Pending
- 2005-05-13 WO PCT/JP2005/009200 patent/WO2005111277A1/en active IP Right Grant
- 2005-05-13 US US11/547,692 patent/US20070221119A1/en active Granted
- 2005-05-13 EP EP05741354A patent/EP1751329B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-13 CN CN2011102726762A patent/CN102337587A/zh active Pending
- 2005-05-13 DE DE602005004280T patent/DE602005004280T2/de active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2005111277A1 (en) | 2005-11-24 |
DE602005004280D1 (de) | 2008-02-21 |
EP1751329A1 (en) | 2007-02-14 |
JP2005324994A (ja) | 2005-11-24 |
DE602005004280T2 (de) | 2009-01-29 |
CN1950548A (zh) | 2007-04-18 |
EP1751329B1 (en) | 2008-01-09 |
US20070221119A1 (en) | 2007-09-27 |
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