JP6109028B2 - 炭化珪素単結晶インゴット - Google Patents
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Description
(1)炭化珪素単結晶インゴットであり、インゴット成長方向断面の成長開始面近傍に、らせん転位が積層欠陥に変換された0.5mm以上10mm以下の厚さの構造変換部位を有し、前記構造変換部位以降に成長した主たる結晶成長部分のインゴット成長方向に垂直な円盤状断面の直径をRとして、円盤状断面の中心点Oを中心にして0.5×Rの直径を有した中心円領域と、該円盤状断面の該中心円領域を除いた残りのドーナツ状周辺領域とを定義したとき、前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値が、前記中心円領域で観察されるらせん転位密度の平均値の80%以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴット。
(3)インゴット成長方向断面が{1-100}面であることを特徴とする(1)に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
i)中心点O
ii)a 1 〜a 8
iii)b 1 〜b 8
iv)c 1 〜c 8
v)d 1 〜d 8
ここで、記号a〜dに付された数字は半径r 1 〜r 8 の数字に対応するものであって、例えばa 1 、b 1 、c 1 及びd 1 は半径r 1 上に存在する測定点である。このうちa及びbは、各半径において0超0.5以下の範囲内にある測定点であり、c及びdは、各半径において0.5超1以下の範囲内にある測定点である。また、同一記号を有した8つの測定点は、記号a〜dごとにそれぞれ同一円上に存在する、(1)〜(3)のいずれか1つに記載の炭化珪素単結晶インゴット。
(5)
前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値は500個/cm 2 以下
である(4)に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
(I)昇華再結晶法により成長させたバルクのSiC単結晶から切り出した円盤状の炭化珪素単結晶基板であり、基板の直径をRとして、基板の中心点Oを中心にして0.5×Rの直径を有した中心円領域と、該基板の該中心円領域を除いた残りのドーナツ状周辺領域とを定義したとき、前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値が、前記中心円領域で観察されるらせん転位密度の平均値の80%以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶基板。
(II)前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値が、前記中心円領域で観察されるらせん転位密度の平均値の60%以下であることを特徴とする(I)に記載の炭化珪素単結晶基板。
(III)前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値が、前記中心円領域で観察されるらせん転位密度の平均値の50%以下であることを特徴とする(I)に記載の炭化珪素単結晶基板。
(IV)前記基板の円周を8等分する4本の直径を基板内で任意に選択し、該基板の中心点Oをゼロにして該中心点Oから放射状に伸びる8本の半径r 1 〜r 8 をそれぞれ0から1までの目盛を有した軸に見立てたとき、前記中心円領域で観察されるらせん転位密度の平均値は、下記i)〜iii)の合計17の測定点で測定した値の平均であり、また、前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値は、下記iv)〜v)の合計16の測定点で測定した値の平均であり、
i)中心点O
ii)a 1 〜a 8
iii)b 1 〜b 8
iv)c 1 〜c 8
v)d 1 〜d 8
ここで、記号a〜dに付された数字は半径r 1 〜r 8 の数字に対応するものであって、例えばa 1 、b 1 、c 1 及びd 1 は半径r 1 上に存在する測定点である。このうちa及びbは、各半径において0超0.5以下の範囲内にある測定点であり、c及びdは、各半径において0.5超1以下の範囲内にある測定点である。また、同一記号を有した8つの測定点は、記号a〜dごとにそれぞれ同一円上に存在する、(I)〜(III)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶基板。
(V)前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値は500個/cm 2 以下である(IV)に記載の炭化珪素単結晶基板。
(VI)前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値は300個/cm 2 以下である(IV)に記載の炭化珪素単結晶基板。
(VII)前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値は100個/cm 2 以下である(IV)に記載の炭化珪素単結晶基板。
(VIII)種結晶を用いた昇華再結晶法による炭化珪素単結晶の製造方法であって、
3.9kPa以上39.9kPa以下の第1の成長雰囲気圧力、及び、種結晶の温度が2100℃以上2300℃未満である第1の成長温度にて、少なくとも厚さ0.5mmの炭化珪素単結晶を成長させる第1の成長工程と、
0.13kPa以上2.6kPa以下の第2の成長雰囲気圧力、及び、種結晶の温度が第1の成長温度より高くて2400℃未満である第2の成長温度にて、第1の成長工程より厚く炭化珪素単結晶を成長させる第2の成長工程とを含む、
ことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
(IX)1時間あたり12kPa以下の圧力変化速度で第1の成長雰囲気圧力から第2の成長雰囲気圧力に減圧させる(VIII)に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
(X)1時間あたり40℃以下の温度変化速度で第1の成長温度から第2の成長温度に昇温させる(VIII)または(IX)に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
(XI)第1の成長工程における結晶成長速度が100μm/hr以下である(VIII)〜(X)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
(XII)第1及び第2の成長工程を含む全成長工程のうち、第1の成長工程を結晶成長開始から全成長工程の2分の1以下の時間までに行う(VIII)〜(XI)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
本発明における円盤状のSiC単結晶基板は、昇華再結晶法で成長させたバルクのSiC単結晶から切り出されたものである。先に述べたように、MSE法による結晶成長やCVD法によるSiCのエピタキシャル成長において、らせん転位を低減させることに成功した報告例は存在する。
i)中心点O
ii)a1〜a8
iii)b1〜b8
iv)c1〜c8
v)d1〜d8
MSE法は等温環境下での結晶成長法であり、様々なSiC単結晶成長法の中でも平衡状態に最も近い、準平衡状態が実現された結晶成長法と言われている。準平衡状態において、らせん転位が積層欠陥に変換することは、SiC単結晶中では、らせん転位よりも積層欠陥の方がエネルギー的に安定であることを示唆している。しかしながら、MSE法での成長速度は昇華再結晶法の10分の1以下であり、CVD法を含めてこれらの成長条件をそのまま昇華再結晶法に適用しても、直ちに同様な平衡状態を作り出すことはできない。
図4は、本発明の実施例に係るSiC単結晶基板を得るのに用いたバルクSiC単結晶を製造するための装置であって、改良レーリー法(昇華再結晶法)による単結晶成長装置の一例を示す。結晶成長は、SiCの昇華原料8を誘導加熱により昇華させ、SiC種結晶1上に再結晶させることにより行われる。種結晶1は黒鉛蓋10の内面に取り付けられており、昇華原料8は黒鉛坩堝9の内部に充填される。この黒鉛坩堝9及び黒鉛蓋10は、熱シールドのために黒鉛製フェルト13で被膜されており、二重石英管11内部の黒鉛支持棒12の上に設置される。石英管11の内部を真空排気装置17によって真空排気した後、高純度Arガス及び窒素ガスを、配管15を介してマスフローコントローラ16で制御しながら流入させ、石英管内圧力(成長雰囲気圧力)を真空排気装置17で調整しながら、ワークコイル14に高周波電流を流し、黒鉛坩堝9を加熱することで結晶成長を行った。ここで、成長温度はSiC種結晶1の温度とした。
先ず、予め得られたSiC単結晶より口径75mmの(0001)面を主面とした、オフ角が〈11−20〉方向に4度傾いた4H型のSiC単結晶基板を切り出し、鏡面研磨して種結晶を準備した。この種結晶1を上記で説明した単結晶成長装置の黒鉛蓋10の内面に取り付け、昇華原料8を充填した黒鉛坩堝9にセットし、黒鉛製フェルト13で被覆した後、黒鉛支持棒12の上に載せて二重石英管11の内部に設置した。
結果を表1に示す。
先ず、二重石英管11の内部を真空排気した後、雰囲気ガスとして高純度Arガスを流入させ、石英管内圧力を80kPaに保ちながら、種結晶1の温度が2200℃になるまで上昇させた。その後、成長圧力である6.5kPaまで30分かけて減圧し、石英管内圧力が6.5kPa、種結晶1の温度が2200℃の成長条件下で10時間の結晶成長を行うことで、種結晶上に厚さ0.8mmのSiC単結晶からなる構造変換層を成長させた(成長速度80μm/h)。引き続き、圧力変化速度1.3kPa/hで減圧すると共に25℃/hの温度変化速度で温度を上げて、4時間かけて石英管内圧力を1.3kPa、種結晶温度を2300℃にし、この成長雰囲気圧力及び種結晶温度を保って80時間の結晶成長を行った以外は実施例A1と同様にした。
結果を表1に示す。
先ず、二重石英管11の内部を真空排気した後、雰囲気ガスとして高純度Arガスを流入させ、石英管内圧力を80kPaに保ちながら、種結晶1の温度が2200℃になるまで上昇させた。その後、成長圧力である13.3kPaまで30分かけて減圧し、石英管内圧力が13.3kPa、種結晶1の温度が2200℃の成長条件下で20時間の結晶成長を行うことで、種結晶上に厚さ1mmのSiC単結晶からなる構造変換層を成長させた(成長速度50μm/h)。引き続き、圧力変化速度1.2kPa/hで減圧すると共に10℃/hの温度変化速度で温度を上げて、10時間かけて石英管内圧力を1.3kPa、種結晶温度を2300℃にし、この成長雰囲気圧力及び種結晶温度を保って80時間の結晶成長を行った以外は実施例A1と同様にした。
結果を表1に示す。
先ず、二重石英管11の内部を真空排気した後、雰囲気ガスとして高純度Arガスを流入させ、石英管内圧力を80kPaに保ちながら、種結晶1の温度が2200℃になるまで上昇させた。その後、成長圧力である26.6kPaまで30分かけて減圧し、石英管内圧力が26.6kPa、種結晶1の温度が2200℃の成長条件下で30時間の結晶成長を行うことで、種結晶上に厚さ0.75mmのSiC単結晶からなる構造変換層を成長させた(成長速度25μm/h)。引き続き、圧力変化速度1.265kPa/hで減圧すると共に5℃/hの温度変化速度で温度を上げて、20時間かけて石英管内圧力を1.3kPa、種結晶温度を2300℃にし、この成長雰囲気圧力及び種結晶温度を保って80時間の結晶成長を行った以外は実施例A1と同様にした。
結果を表2に示す。
先ず、二重石英管11の内部を真空排気した後、雰囲気ガスとして高純度Arガスを流入させ、石英管内圧力を80kPaに保ちながら、種結晶1の温度が2200℃になるまで上昇させた。その後、成長圧力である39.9kPaまで30分かけて減圧し、石英管内圧力が39.9kPa、種結晶1の温度が2200℃の成長条件下で50時間の結晶成長を行うことで、種結晶上に厚さ0.75mmのSiC単結晶からなる構造変換層を成長させた(成長速度15μm/h)。引き続き、圧力変化速度1.29kPa/hで減圧すると共に3.3℃/hの温度変化速度で温度を上げて、30時間かけて石英管内圧力を1.3kPa、種結晶温度を2300℃にし、この成長雰囲気圧力及び種結晶温度を保って80時間の結晶成長を行った以外は実施例A1と同様にした。
結果を表2に示す。
二重石英管11の内部を真空排気するまで実施例A1と同様にし、その後、雰囲気ガスとして高純度Arガスを流入させて、石英管内圧力を80kPaにした。この圧力下において、ワークコイル14に電流を流して温度を上げ、種結晶1の温度が2200℃になるまで上昇させた。成長圧力である1.3kPaに30分かけて減圧した後に、100時間の結晶成長を行い、口径75mm、厚み(高さ)30mmのバルクSiC単結晶を成長させた(成長速度300μm/h)。
結果を表2に示す。
この実施例Bでは、実施例Aと同様に、図4の改良レーリー法による単結晶成長装置を用いた。
先ず、予め得られたSiC単結晶より口径50mmの(0001)面を主面とした、オフ角が〈11−20〉方向に4度傾いた4H型のSiC単結晶基板を切り出し、鏡面研磨して種結晶とした。また、同じSiC単結晶から別途(0001)面基板を切り出し、鏡面研磨の後に、溶融KOHエッチング(520℃、5〜10分)を行い、光学顕微鏡によってらせん転位密度を計測した。ここでは、J. Takahashi et al., Journal of Crystal Growth, 135, (1994), 61-70に記載されている方法に従って、貝殻型ピットを基底面転位、小型の6角形ピットを貫通刃状転位、中型・大型の6角形ピットをらせん転位として、エッチピット形状による転位欠陥の分類を行ったところ、らせん転位密度は1000個/cm2であった。
先ず、上記構造変換の確認実験と同様にして構造変換誘発成長を行った(工程I)。引き続き、圧力変化速度1.2kPa/hrで減圧すると共に10℃/hrの温度変化速度で温度を上げ、10時間かけて成長雰囲気圧力を1.3kPa、種結晶温度を2300℃にし(遷移条件:工程II)、この成長雰囲気圧力及び種結晶温度を保って30時間の結晶成長を行った(通常成長:工程III)。得られた炭化珪素単結晶(インゴット)の口径は50mmであり、厚み(全長)は13mmであった。このうち、工程IIIによって成長した単結晶の厚みは、同様の条件で測定した結果から見積もると11mmであると考えられる。
表3に示したように、工程I、工程II、及び工程IIIにおける各条件を変えた以外は実施例B1と同様にして、炭化珪素単結晶の成長を行った。また、最終的に得られた炭化珪素単結晶のうち、工程IIIによって成長した部分の単結晶から(0001)面基板を切り出し、実施例B1と同様にして、らせん転位密度を求めた。結果を表3に示す。
実施例B1とほぼ同等(らせん転位密度1000個/cm2)の種結晶を用いて、表4に示した成長工程からなる結晶成長を行った。
先ず、工程Iとして示したように、成長開始時の成長雰囲気圧力を1.3kPaにすると共に種結晶温度を2200℃にして、20時間の結晶成長を行い、厚さ4mmの炭化珪素単結晶を成長させた。引き続き、工程IIに示した圧力変化速度及び温度変化速度により1〜10時間かけて条件を変化させ、工程IIIに示した成長雰囲気圧力及び種結晶温度を保って構造変換誘発成長を10〜33.3時間行った。更に、工程IVに示した圧力変化速度及び温度変化速度により1〜60時間かけて条件を変化させた後、最後に工程Vに示した成長雰囲気圧力及び種結晶温度を保って30時間の結晶成長を行った。なお、本発明の第1の成長工程にあたる工程IIIで得られた結晶の厚みと結晶成長速度は表4に示したとおりであり、これらの値は別途同様の成長を行った結果から見積もった。また、第2の成長工程に相当する工程Vによって成長した単結晶の厚みは9〜12mmであり、成長速度は300〜400μm/hrである。
予め成長しておいた炭化珪素単結晶インゴットから、口径50mmの(0001)面を主面とした、オフ角が〈11−20〉方向に4度傾いた4H型のSiC単結晶基板を切り出し、研磨後、種結晶とした。結晶成長は構造変換の確認実験と同様にして行ったが、真空排気装置で結晶成長中の雰囲気圧力を1.3kPaに調整し、成長温度は2250℃になるようにワークコイルの電流値を調整した。そして、この成長雰囲気圧力及び種結晶温度の条件で結晶成長を60.5時間行ったところ、得られた炭化珪素単結晶の口径は52mmであり、高さは約12mmであった。
らせん転位密度がそれぞれ2600、3100、3600個/cm2の口径100mmの4H型SiC種単結晶を作製し、これらの種結晶を用いて、表3の実施例B1と同様な方法で口径100mmの4H型SiC単結晶成長を行った。得られた結晶は、工程Iによって得られた構造変換誘発層の厚さは約1mmであり、工程IIIによって得られた通常成長層の厚さは約10mmであった。
実施例B15と同様にらせん転位密度が2600個/cm2の口径100mmの4H型SiC種単結晶を作製し、この種結晶を用いて、表3の比較例B3と同様な方法で口径100mmの4H型SiC単結晶成長を行った。ここで、工程Iの構造変換誘発成長の時間は4時間で、工程IIIの通常成長の時間は50時間とした。その結果、得られた結晶は、工程Iの構造変換誘発層の厚さは約0.2mmであり、また、工程IIにおける通常成長層の厚さは20mmであった。
実施例B1と同条件で4H−SiC単結晶を作製し、工程Iの構造変換誘発層の一部を含むようにして厚さ0.5mmの基板を切り出し、研磨により厚さ350μmのSiC単結晶基板を作製した。実施例B1で確認したのと同様にして、らせん転位の積層欠陥への構造変換が生じた領域から切り出された基板をX線トポグラフによって観察したところ、複数のらせん転位が積層欠陥へと構造変換していることが分った。この構造変換によってらせん転位密度が110個/cm2に低減しており、この領域から3mm角の耐圧600V級のSBD(ショットキーバリアダイオード)を作製し、リーク電流を測定したところ10-8A以下であり、十分にリーク電流の少ないデバイスの作製が可能であった。
比較例B6と同条件で4H−SiC単結晶を作製し、厚さ0.5mmの基板を切り出し、研磨により厚さ350μmのSiC単結晶基板を作製した。実施例B1と同様な方法によりらせん転位密度を計測すると1000個/cm2であった。この基板から3mm角の耐圧600V級のSBDを作製してリーク電流を測定したところ10-4Aであった。
Claims (5)
- 炭化珪素単結晶インゴットであり、インゴット成長方向断面の成長開始面近傍に、らせん転位が積層欠陥に変換された0.5mm以上10mm以下の厚さの構造変換部位を有し、前記構造変換部位以降に成長した主たる結晶成長部分のインゴット成長方向に垂直な円盤状断面の直径をRとして、円盤状断面の中心点Oを中心にして0.5×Rの直径を有した中心円領域と、該円盤状断面の該中心円領域を除いた残りのドーナツ状周辺領域とを定義したとき、前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値が、前記中心円領域で観察されるらせん転位密度の平均値の80%以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴット。
- インゴット成長方向断面が面内にc軸を含む成長方向断面であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
- インゴット成長方向断面が{1-100}面であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
- 前記円盤状断面の円周を8等分する4本の直径を円盤状断面内で任意に選択し、該円盤状断面の中心点Oをゼロにして該中心点Oから放射状に伸びる8本の半径r 1 〜r 8 をそれぞれ0から1までの目盛を有した軸に見立てたとき、前記中心円領域で観察されるらせん転位密度の平均値は、下記i)〜iii)の合計17の測定点で測定した値の平均であり、また、前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値は、下記iv)〜v)の合計16の測定点で測定した値の平均であり、
i)中心点O
ii)a 1 〜a 8
iii)b 1 〜b 8
iv)c 1 〜c 8
v)d 1 〜d 8
ここで、記号a〜dに付された数字は半径r 1 〜r 8 の数字に対応するものであって、例えばa 1 、b 1 、c 1 及びd 1 は半径r 1 上に存在する測定点である。このうちa及びbは、各半径において0超0.5以下の範囲内にある測定点であり、c及びdは、各半径において0.5超1以下の範囲内にある測定点である。また、同一記号を有した8つの測定点は、記号a〜dごとにそれぞれ同一円上に存在する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶インゴット。 - 前記ドーナツ状周辺領域で観察されるらせん転位密度の平均値は500個/cm 2 以下
である請求項4に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
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