JP2018140903A - 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明の要旨は次のとおりである。
(2) 前記成長副工程における成長雰囲気圧力が1.3kPa以上39.9kPa以下である(1)に記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
(3) 得られる炭化珪素単結晶インゴットの高さの位置にあたる結晶成長端面の中心点Oとインゴットの外周端から中心方向5mm内側の位置にあたる結晶成長端面上の外周点Eとの高さの差(O−E)が、インゴットの半径rとの割合〔(O−E)/r〕で0.01以上0.1以下となる(1)又は(2)に記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
(4) 結晶成長端面におけるファセット以外の領域でのマイクロパイプ密度が、ファセット内でのマイクロパイプ密度の50%以下である(1)〜(3)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
(5) 結晶成長端面におけるファセット以外の領域でのマイクロパイプ密度が、ファセット内でのマイクロパイプ密度の25%以下である(1)〜(3)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
本発明では、所定の種結晶基板を用いた昇華再結晶法によるSiC単結晶インゴットの製造方法において、結晶成長端面が所定の凸面形状を有して、この結晶成長端面の中央部にファセットが形成されるようにしながら、結晶成長速度が0.1mm/h以下で少なくとも厚さ0.5mmのSiC単結晶を成長させる成長副工程を介して、主たるSiC単結晶を成長させる成長主工程を行うことで、マイクロパイプを効率的に減らすようにする。このようにすることで、ファセット以外の領域において、マイクロパイプ欠陥がバーガースベクトル1cの貫通らせん転位に分解するため、本発明ではこれを利用することで、得られる炭化珪素単結晶インゴットのマイクロパイプ密度を低減する。
先ず、予め得られたSiC単結晶インゴットより口径100mmの(0001)面を主面とした、オフ角が0.5度の4H型のSiC単結晶基板を切り出し、鏡面研磨して種結晶基板を準備した。種結晶基板とするこの得られたSiC単結晶基板について、X線トポグラフ測定〔回折面(−1100)〕を行い、マイクロパイプ欠陥を測定したところ、種結晶基板のマイクロパイプ密度は1個/cm2であった。
先ず、予め得られたSiC単結晶より口径100mmの(0001)面を主面とした、オフ角0°の4H型のSiC単結晶基板を切り出し、鏡面研磨して種結晶基板を準備した。種結晶基板とするこの得られたSiC単結晶基板について、実施例1と同様にしてX線トポグラフ測定〔回折面(−1100)〕によりマイクロパイプ密度を求めたところ、1個/cm2であった。
先ず、予め得られたSiC単結晶より口径100mmの(0001)面を主面とした、オフ角が0度の4H型のSiC単結晶基板を切り出し、鏡面研磨して種結晶基板を準備した。種結晶基板とするこの得られたSiC単結晶基板について、実施例1と同様にしてX線トポグラフ法によりマイクロパイプ密度を求めたところ、マイクロパイプ密度は1個/cm2であった。
先ず、予め得られたSiC単結晶より口径100mmの(0001)面を主面とした、オフ角が0度の4H型のSiC単結晶基板を切り出し、鏡面研磨して種結晶基板を準備した。種結晶基板とするこの得られたSiC単結晶基板について、実施例1と同様にしてX線トポグラフ法によりマイクロパイプ密度を求めたところ、マイクロパイプ密度は1個/cm2であった。
Claims (5)
- 炭化珪素単結晶からなる種結晶基板上に昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶インゴットの製造方法であって、前記種結晶基板が{0001}面から所定のオフ角方向に0.5°以下のオフ角を有しており、結晶成長速度が0.1mm/h以下で少なくとも厚さ0.5mmの炭化珪素単結晶を成長させる成長副工程を介して、結晶成長速度が0.2mm/h超で主たる炭化珪素単結晶を成長させる成長主工程を行い、結晶成長端面が所定の凸面形状を呈するようにして、該結晶成長端面の中央部にファセットを形成することを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
- 前記成長副工程における成長雰囲気圧力が1.3kPa以上39.9kPa以下である請求項1に記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
- 得られる炭化珪素単結晶インゴットの高さの位置にあたる結晶成長端面の中心点Oとインゴットの外周端から中心方向5mm内側の位置にあたる結晶成長端面上の外周点Eとの高さの差(O−E)が、インゴットの半径rとの割合〔(O−E)/r〕で0.01以上0.1以下となる請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
- 結晶成長端面におけるファセット以外の領域でのマイクロパイプ密度が、ファセット内でのマイクロパイプ密度の50%以下である請求項1〜3のいずれかに記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
- 結晶成長端面におけるファセット以外の領域でのマイクロパイプ密度が、ファセット内でのマイクロパイプ密度の25%以下である請求項1〜3のいずれかに記載の炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
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