CN102161028A - 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置 - Google Patents

狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102161028A
CN102161028A CN2011100412633A CN201110041263A CN102161028A CN 102161028 A CN102161028 A CN 102161028A CN 2011100412633 A CN2011100412633 A CN 2011100412633A CN 201110041263 A CN201110041263 A CN 201110041263A CN 102161028 A CN102161028 A CN 102161028A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gap nozzle
cleaning
nozzle
unit
ejiction opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2011100412633A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
小笠原幸雄
宫崎文宏
元田公男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Publication of CN102161028A publication Critical patent/CN102161028A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/044—Slits, i.e. narrow openings defined by two straight and parallel lips; Elongated outlets for producing very wide discharges, e.g. fluid curtains
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
CN2011100412633A 2010-02-17 2011-02-17 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置 Pending CN102161028A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010032446A JP5258811B2 (ja) 2010-02-17 2010-02-17 スリットノズル洗浄装置及び塗布装置
JP2010-032446 2010-02-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102161028A true CN102161028A (zh) 2011-08-24

Family

ID=44462639

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011100412633A Pending CN102161028A (zh) 2010-02-17 2011-02-17 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5258811B2 (ko)
KR (1) KR101737124B1 (ko)
CN (1) CN102161028A (ko)
TW (1) TWI499457B (ko)

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102767222A (zh) * 2012-06-29 2012-11-07 松下家电研究开发（杭州）有限公司 温水便座装置喷嘴组件及其清洁方法及温水便座装置
CN103286030A (zh) * 2013-06-28 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
CN103331276A (zh) * 2013-07-12 2013-10-02 深圳市华星光电技术有限公司 超声波清洗装置和具有该超声波清洗装置的涂布机
CN103406230A (zh) * 2013-08-08 2013-11-27 厦门精恒新自动化科技有限公司 一种点胶清洗切换装置
CN104106125A (zh) * 2012-02-10 2014-10-15 东京毅力科创株式会社 擦拭垫、使用该垫的喷嘴维护装置和涂覆处理装置
CN105710056A (zh) * 2016-03-21 2016-06-29 京东方科技集团股份有限公司 液刀清洁装置及液刀
CN105855133A (zh) * 2016-06-02 2016-08-17 京东方科技集团股份有限公司 喷嘴自动清洁装置及喷嘴自动清洁方法
TWI564085B (zh) * 2013-03-15 2017-01-01 斯克林集團公司 噴嘴清潔裝置、塗布裝置、噴嘴清潔方法、以及塗布方法
CN106733358A (zh) * 2017-02-06 2017-05-31 京东方科技集团股份有限公司 喷嘴清洁装置及涂布液涂布设备
CN106914366A (zh) * 2015-12-17 2017-07-04 东丽工程株式会社 涂布器清洗装置和涂布装置
CN107433240A (zh) * 2016-05-26 2017-12-05 株式会社斯库林集团 喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法
WO2018127058A1 (zh) * 2017-01-05 2018-07-12 惠科股份有限公司 一种喷嘴的清洁装置
CN108580133A (zh) * 2018-06-01 2018-09-28 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 涂布设备口金擦拭机构
CN108672214A (zh) * 2018-07-25 2018-10-19 朱浩东 光学胶涂布设备
CN108816660A (zh) * 2018-08-04 2018-11-16 伍先春 光学胶涂布装置
CN108873609A (zh) * 2018-07-25 2018-11-23 朱浩东 光阻涂布设备
CN108873610A (zh) * 2018-07-25 2018-11-23 朱浩东 光阻涂布装置
CN108889536A (zh) * 2018-08-04 2018-11-27 伍先春 光学胶涂布装置
CN108906472A (zh) * 2018-07-25 2018-11-30 朱浩东 光学胶涂布装置
CN108983561A (zh) * 2018-08-03 2018-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 涂布口金组件及涂布口金系统
CN109219993A (zh) * 2016-06-09 2019-01-15 松下知识产权经营株式会社 部件装配装置
CN110237971A (zh) * 2019-05-31 2019-09-17 溧阳嘉拓智能设备有限公司 锂电池狭缝挤压式涂布模头在线全自动清洁装置及方法
CN112439592A (zh) * 2020-11-21 2021-03-05 颍上县龙裕扬工贸有限公司 一种带有除静电装置的塑料制品加工用喷涂装置
CN114160343A (zh) * 2021-12-19 2022-03-11 苏州康辉电子科技有限公司 一种基于塑料制品加工的静电去除装置
CN114558732A (zh) * 2022-03-09 2022-05-31 宿迁恒信工艺品有限公司 一种木制品玩具加工用喷漆装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5138058B2 (ja) * 2011-03-07 2013-02-06 東レ株式会社 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法
JP2013071033A (ja) * 2011-09-27 2013-04-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置
JP5809114B2 (ja) * 2012-07-10 2015-11-10 東京エレクトロン株式会社 塗布処理装置及び塗布処理方法
CN103846183A (zh) * 2013-12-20 2014-06-11 深圳市华星光电技术有限公司 一种涂布机喷嘴清洁装置
KR102232667B1 (ko) * 2014-06-12 2021-03-30 세메스 주식회사 기판 처리 장치
KR102292660B1 (ko) * 2014-07-24 2021-08-25 세메스 주식회사 세정 유닛, 이를 가지는 기판 처리 장치
KR101578368B1 (ko) * 2014-12-04 2015-12-18 주식회사 디엠에스 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터
JP6454597B2 (ja) * 2015-05-13 2019-01-16 東京応化工業株式会社 塗布装置、塗布システム及び塗布方法
JP6824673B2 (ja) * 2016-09-13 2021-02-03 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置
JP6430056B1 (ja) 2018-07-17 2018-11-28 中外炉工業株式会社 塗布用ノズルの清掃装置
JP7111565B2 (ja) * 2018-09-06 2022-08-02 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
JP7197525B2 (ja) * 2020-01-22 2022-12-27 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー
CN113231619A (zh) * 2021-05-08 2021-08-10 吴薇娜 一种发动机悬挂支架铝合金压铸件浇排结构
KR102656532B1 (ko) * 2022-08-29 2024-04-11 한국기술교육대학교 산학협력단 자동화된 슬롯다이코팅장치 및 그 제어방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001113213A (ja) * 1999-10-19 2001-04-24 Toray Ind Inc 塗布ヘッドの清掃方法および清掃装置並びにプラズマディスプレイおよびプラズマディスプレイ用部材の製造方法および装置
JP2007237122A (ja) * 2006-03-10 2007-09-20 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd スリットノズル洗浄装置
JP2008149247A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Chugai Ro Co Ltd 吐出ノズルの清掃装置
JP2008268906A (ja) * 2007-03-27 2008-11-06 Toray Ind Inc 清掃部材と塗布器の清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法
CN101314153A (zh) * 2007-05-28 2008-12-03 大日本网目版制造株式会社 喷嘴清洗装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002177848A (ja) * 2000-12-15 2002-06-25 Toray Ind Inc 塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法
JP4779234B2 (ja) * 2001-06-05 2011-09-28 東レ株式会社 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置
KR100923022B1 (ko) * 2002-06-14 2009-10-22 삼성전자주식회사 감광물질 코팅 방법 및 장치
KR100700180B1 (ko) * 2004-12-31 2007-03-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 예비토출부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법
KR100975129B1 (ko) * 2008-06-27 2010-08-11 주식회사 디엠에스 노즐 립 클리너를 구비한 슬릿 코터

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001113213A (ja) * 1999-10-19 2001-04-24 Toray Ind Inc 塗布ヘッドの清掃方法および清掃装置並びにプラズマディスプレイおよびプラズマディスプレイ用部材の製造方法および装置
JP2007237122A (ja) * 2006-03-10 2007-09-20 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd スリットノズル洗浄装置
JP2008149247A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Chugai Ro Co Ltd 吐出ノズルの清掃装置
JP2008268906A (ja) * 2007-03-27 2008-11-06 Toray Ind Inc 清掃部材と塗布器の清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法
CN101314153A (zh) * 2007-05-28 2008-12-03 大日本网目版制造株式会社 喷嘴清洗装置

Cited By (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104106125A (zh) * 2012-02-10 2014-10-15 东京毅力科创株式会社 擦拭垫、使用该垫的喷嘴维护装置和涂覆处理装置
CN104106125B (zh) * 2012-02-10 2016-09-28 东京毅力科创株式会社 擦拭垫、使用该垫的喷嘴维护装置和涂覆处理装置
CN102767222B (zh) * 2012-06-29 2014-07-23 松下家电研究开发（杭州）有限公司 温水便座装置喷嘴组件及其清洁方法及温水便座装置
CN102767222A (zh) * 2012-06-29 2012-11-07 松下家电研究开发（杭州）有限公司 温水便座装置喷嘴组件及其清洁方法及温水便座装置
TWI564085B (zh) * 2013-03-15 2017-01-01 斯克林集團公司 噴嘴清潔裝置、塗布裝置、噴嘴清潔方法、以及塗布方法
CN103286030B (zh) * 2013-06-28 2016-08-31 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
WO2014205872A1 (zh) * 2013-06-28 2014-12-31 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
CN103286030A (zh) * 2013-06-28 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
CN103331276A (zh) * 2013-07-12 2013-10-02 深圳市华星光电技术有限公司 超声波清洗装置和具有该超声波清洗装置的涂布机
CN103331276B (zh) * 2013-07-12 2016-05-18 深圳市华星光电技术有限公司 超声波清洗装置和具有该超声波清洗装置的涂布机
CN103406230B (zh) * 2013-08-08 2015-11-25 厦门精恒新自动化科技有限公司 一种点胶清洗切换装置
CN103406230A (zh) * 2013-08-08 2013-11-27 厦门精恒新自动化科技有限公司 一种点胶清洗切换装置
CN106914366A (zh) * 2015-12-17 2017-07-04 东丽工程株式会社 涂布器清洗装置和涂布装置
CN105710056A (zh) * 2016-03-21 2016-06-29 京东方科技集团股份有限公司 液刀清洁装置及液刀
US10758945B2 (en) 2016-03-21 2020-09-01 Boe Technology Group Co., Ltd. Liquid knife, liquid knife cleaning apparatus and liquid knife assembly apparatus
CN105710056B (zh) * 2016-03-21 2019-01-25 京东方科技集团股份有限公司 液刀清洁装置及液刀
CN107433240A (zh) * 2016-05-26 2017-12-05 株式会社斯库林集团 喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法
CN105855133A (zh) * 2016-06-02 2016-08-17 京东方科技集团股份有限公司 喷嘴自动清洁装置及喷嘴自动清洁方法
CN105855133B (zh) * 2016-06-02 2018-06-08 京东方科技集团股份有限公司 喷嘴自动清洁装置及喷嘴自动清洁方法
CN109219993A (zh) * 2016-06-09 2019-01-15 松下知识产权经营株式会社 部件装配装置
CN109219993B (zh) * 2016-06-09 2020-06-12 松下知识产权经营株式会社 部件装配装置
WO2018127058A1 (zh) * 2017-01-05 2018-07-12 惠科股份有限公司 一种喷嘴的清洁装置
US11071994B2 (en) 2017-01-05 2021-07-27 HKC Corporation Limited Cleaning device for nozzle
CN106733358A (zh) * 2017-02-06 2017-05-31 京东方科技集团股份有限公司 喷嘴清洁装置及涂布液涂布设备
CN106733358B (zh) * 2017-02-06 2019-10-01 京东方科技集团股份有限公司 喷嘴清洁装置及涂布液涂布设备
CN108580133B (zh) * 2018-06-01 2019-09-24 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 涂布设备口金擦拭机构
CN108580133A (zh) * 2018-06-01 2018-09-28 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 涂布设备口金擦拭机构
CN108906472A (zh) * 2018-07-25 2018-11-30 朱浩东 光学胶涂布装置
CN108873609A (zh) * 2018-07-25 2018-11-23 朱浩东 光阻涂布设备
CN108672214A (zh) * 2018-07-25 2018-10-19 朱浩东 光学胶涂布设备
CN108873610A (zh) * 2018-07-25 2018-11-23 朱浩东 光阻涂布装置
CN108983561A (zh) * 2018-08-03 2018-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 涂布口金组件及涂布口金系统
CN108816660A (zh) * 2018-08-04 2018-11-16 伍先春 光学胶涂布装置
CN108889536A (zh) * 2018-08-04 2018-11-27 伍先春 光学胶涂布装置
WO2020238925A1 (zh) * 2019-05-31 2020-12-03 江苏中关村嘉拓新能源设备有限公司 锂电池狭缝挤压式涂布模头在线全自动清洁装置及方法
CN110237971A (zh) * 2019-05-31 2019-09-17 溧阳嘉拓智能设备有限公司 锂电池狭缝挤压式涂布模头在线全自动清洁装置及方法
CN112439592A (zh) * 2020-11-21 2021-03-05 颍上县龙裕扬工贸有限公司 一种带有除静电装置的塑料制品加工用喷涂装置
CN114160343A (zh) * 2021-12-19 2022-03-11 苏州康辉电子科技有限公司 一种基于塑料制品加工的静电去除装置
CN114558732A (zh) * 2022-03-09 2022-05-31 宿迁恒信工艺品有限公司 一种木制品玩具加工用喷漆装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101737124B1 (ko) 2017-05-17
JP5258811B2 (ja) 2013-08-07
TWI499457B (zh) 2015-09-11
KR20110095133A (ko) 2011-08-24
JP2011167607A (ja) 2011-09-01
TW201200243A (en) 2012-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102161028A (zh) 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置
CN102161027B (zh) 狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置
KR102011538B1 (ko) 와이핑 패드 및 이 패드를 사용한 노즐 메인터넌스 장치와 도포 처리 장치
CN101856646B (zh) 基板处理装置
CN102194657B (zh) 基板清洗处理装置
KR102092702B1 (ko) 기판 세정 장치
CN104043553A (zh) 喷嘴清洁装置、涂布装置、喷嘴清洁方法以及涂布方法
CN1908819B (zh) 显影处理装置以及显影处理方法
JP2008149247A (ja) 吐出ノズルの清掃装置
JP4723398B2 (ja) スピン洗浄装置
KR101705303B1 (ko) 유리 기판 이송용 캐리어를 세척하는 장치 및 방법
TWI255352B (en) Droplet discharge apparatus, manufacturing apparatus for color filter, color filter, method of manufacturing therefor, liquid crystal apparatus, and electronic apparatus
CN1810389B (zh) 基板处理方法以及基板处理装置
JP4259107B2 (ja) 液滴吐出ヘッド清掃装置、液滴吐出ヘッド清掃方法および液滴吐出装置
CN101954790B (zh) 清扫单元、具有它的处理液涂敷装置和利用它的清扫方法
JP2010201742A (ja) 予備吐出部およびインクジェット装置
JP2504916B2 (ja) 基板洗浄装置
KR100975650B1 (ko) 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법
KR100823583B1 (ko) 습식처리장치
KR101160171B1 (ko) 세정 유닛 및 이를 갖는 처리액 도포 장치
JP2006051504A (ja) 塗布装置
CN217920030U (zh) 一种砖坯输送装置
JPH081013Y2 (ja) 基板洗浄装置
JP2023009394A (ja) 液滴吐出装置及び液滴吐出方法
JP2023046650A (ja) 印刷装置および払拭部材の洗浄方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20110824