CN105710056B - 液刀清洁装置及液刀 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种液刀清洁装置及液刀，所述液刀清洁装置包括：一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接。本发明所提供的液刀清洁装置，可以代替以往的手动清洁，清洁液刀的刀口，可减少液帘分叉出现的概率，从而减少此类显影MURA出现的概率，提高了设备的稼动，也避免不连续流片产生的其他问题。

Description

液刀清洁装置及液刀
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种液刀清洁装置及液刀。
背景技术
TFT-LCD(tin film transistor-liquid crystal display，薄膜晶体管液晶显示器)中彩膜工厂主要目的是在玻璃基板上涂布不同颜色的光刻胶，经曝光、显影、后烘等工艺来制作不同颜色的图形。彩膜工厂显影工艺的目的是去除基板上未曝光的光刻胶，保留已曝光的光刻胶图形，通过稀释后的氢氧化钾(KO)溶液冲洗曝光后的玻璃基板，再通过纯净水清洗，去除KO残液。显影设备显影段和清洗段连接区域添加液刀装置快速清除基板表面的KO残留液体和显影残渣，减少清洗段过滤器(filter)阻塞。但是，液刀长时间不间断生产经常会出现水帘分叉现象，主要原因是显影残渣或其他异物掉入液刀的刀口阻碍了水流方向。液刀内部残留异物易形成的分叉液帘易造成显影不良，产生显影不良(Mura)等品质不良。
为了解决上述问题，传统做法为停机后手动清洁液帘，主要动作为将薄片塞入显影机液刀的刀口内部，按照一定的速度自动来回数次的清洁液刀的刀口内部，按照一定的频率定期清洁液刀内部的残留异物，确认清洁OK后复线。但是，这样影响了设备稼动，并存在产品不良风险。
发明内容
本发明的目的在于提供一种液刀清洁装置及液刀，该液刀清洁装置可以代替以往的手动清洁，清洁液刀的刀口，可减少液帘分叉出现的概率，从而减少此类显影MURA出现的概率，提高了设备的稼动。
本发明所提供的技术方案如下：
一种液刀清洁装置，用于清洁液刀，所述液刀上具有刀口；所述液刀清洁装置包括：
一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；
一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；
以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接。
进一步的，所述架体包括：
用于相对设置在所述液刀两侧的第一侧架体和第二侧架体；
以及，用于设置在所述液刀的刀口下方的底部架体，所述底部架体连接第一侧架体和第二侧架体；
其中所述清洁刮片设置在所述底部架体上。
进一步的，所述液刀清洁装置还包括一用于对所述清洁刮片的伸入至所述刀口内的第一高度进行调整的调整结构。
进一步的，所述调整结构包括设置在所述架体上的一卷轴；
所述清洁刮片为软质刮片，其一端朝向所述液刀的刀口伸出，另一端卷设在所述卷轴上，其中所述卷轴转动，能够收放所述软质刮片，以调整所述清洁刮片的伸入至所述刀口内的第一高度。
进一步的，所述液刀上设置有沿所述刀口的延伸方向设置的导轨；
所述移动机构包括：
用于与所述液刀上的导轨相配合，在所述导轨上进行往复移动的移动部件，所述移动部件设置在所述架体上；以及，用于驱动所述移动部件在所述导轨上移动的驱动结构。
进一步的，所述导轨包括：凸设在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凸起部；所述移动部件包括：能够与所述凸起部配合，而设置在所述凸起部上的挂钩部；或者，
所述导轨包括：在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凹槽结构；所述移动部件包括：能够与所述凹槽结构配合的挂钩部。
进一步的，所述移动机构还包括：
用于控制所述驱动结构的工作状态，以控制所述架体的移动状态，进而控制所述清洁刮片的工作状态的控制装置。
一种液刀，所述液刀上具有与如上所述的液刀清洁装置的移动机构相配合的配合结构。
进一步的，所述配合结构包括：沿所述刀口的延伸方向设置的导轨，所述导轨设置在所述液刀上。
进一步的，所述导轨包括：凸设在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凸起部；或者，所述导轨包括：在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凹槽结构。
本发明所带来的有益效果如下：
本发明所提供的液刀清洁装置，可以代替以往的手动清洁，清洁液刀的刀口，可减少液帘分叉出现的概率，从而减少此类显影MURA出现的概率，提高了设备的稼动，也避免不连续流片产生的其他问题。
附图说明
图1表示传统的液刀的立体结构示意图；
图2表示传统的液刀的主视图；
图3表示本发明实施例中提供的液刀的主视图；
图4表示本发明实施例中提供的液刀的立体结构示意图；
图5表示本发明实施例中提供的液刀清洁装置的结构示意图；
图6表示本发明实施例中提供的液刀清洁装置清洁液刀时的结构示意图；
图7表示液刀喷射液帘正常情况的正面示意图；
图8表示液刀喷射液帘出现异常情况的正面示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
图1和图2所示为传统的清洁设备或显影设备的液刀的结构示意图。液刀主要材质为SUS(不锈钢)材质，如图1和图2所示，液刀1上具有一呈狭缝状的刀口2，整个液刀1的刀口2的狭缝宽度必须大致相同，液刀1的刀口2狭缝宽度一般规格为0.1mm±0.015mm。清洗剂或显影液从液刀1的刀口2的狭缝均匀流出冲洗基板表面。但长时间不间断生产使用会出现液帘分叉现象(如图7所示)，严重时会出现显影横线Mura(不良)。
传统的液刀清洗做法是：设备必须停机作业，将细长型的清洁刮片(Film)插入液刀的刀口内部左右来回刮试液刀的刀口内壁，目视观察液刀水流无分叉后清洁作业完成，后续还有进行复机作业，造成设备稼动率下降，且易出现品质风险。
如图5和图6所示，本发明实施例所提供的液刀清洁装置包括：
一用于设置在所述液刀100上，并能够沿所述刀口101的延伸方向进行往复移动的架体200；
一用于伸入所述液刀100的刀口101内，并能够在所述架体200带动下在所述刀口101内往复移动，以清洁所述刀口101的清洁刮片300，所述清洁刮片300设置在所述架体200上；
以及，一用于使得所述架体200在所述液刀100上沿所述刀口101的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体200与所述移动机构连接。
本发明所提供的液刀清洁装置，可以代替以往的手动清洁，清洁液刀100的刀口101，可减少液帘分叉出现的概率，从而减少此类显影MURA出现的概率，提高了设备的稼动，也避免不连续流片产生的其他问题。
以下说明本发明实施例所提供的液刀清洁装置的优选实施例。
在本实施例中，优选的，如图5和图6所示，所述架体200包括：
用于相对设置在所述液刀100两侧的第一侧架体201和第二侧架体202；以及，用于设置在所述液刀100的刀口101下方的底部架体203，所述底部架体203连接第一侧架体201和第二侧架体202；其中所述清洁刮片300设置在所述底部架体203上。
如图5所示，在上述方案中，所述架体200的第一侧架体201、第二侧架体202和底部架体203呈V型结构，与液刀100的结构相匹配。应当理解的是，在实际应用中，所述架体200的结构形式可以有多种，在此并不进行局限。
此外，在本实施例中，优选的，所述液刀清洁装置还包括一用于对所述清洁刮片300的伸入至所述刀口101内的第一高度进行调整的调整结构。
采用上述方案，所述清洁刮片300的能够伸入至所述液刀100的刀口101内的第一高度是可以通过调整结构来进行调整的，由此，使得该液刀清洁装置可适用于不同深度的刀口101的清洁。
在本实施例中，优选的，所述调整结构包括设置在所述架体200上的一卷轴(图中未示出)；所述清洁刮片300为软质刮片，其一端朝向所述液刀100的刀口101伸出，另一端卷设在所述卷轴上，其中所述卷轴转动，能够收放所述软质刮片，以调整所述清洁刮片300的伸入至所述刀口101内的第一高度。
采用上述方案，可以通过转动卷轴，来收放软质刮片，使得软质刮片的伸入到刀口101内的第一高度可调，所述调整结构采用卷轴与软质刮片来配合，结构简单，易操作。应当理解的是，在实际应用中，所述调整结构还可以采用其他结构，在此不再一一列举。
此外，需要说明的是，所述调整结构还可以包括设置在所述卷轴上的一用于当所述清洁刮片300的伸入至所述刀口101内的第一高度为设定高度时，对所述清洁刮片300进行限定的限定部件。
此外，在本实施例中，与本发明实施例中所提供的液刀清洁装置相配合的，对液刀100的结构也进行了改进，如图3、图4和图6所示，本发明实施例中提供的液刀100上设置有沿所述刀口101的延伸方向设置的导轨102。
在本实施例中，所述移动机构包括：用于与所述液刀100上的导轨102相配合，在所述导轨102上进行往复移动的移动部件，所述移动部件设置在所述架体200上；以及，用于驱动所述移动部件在所述导轨102上移动的驱动结构。
采用上述方案，本发明中所提供的液刀100在其外壁增加了导轨102设计，用于安装本发明实施例中所提供的液刀清洁装置，液刀清洁装置通过架体200两边的移动部件与液刀100两侧的导轨102配合来固定在液刀100上，不清洁时所述架体200停放在液刀100右侧最边缘位置，不会造成液刀100液帘分叉现象，所述导轨102与所述架体200上的移动部件配合，来控制架体200的移动方向，其中，架体200的移动驱动力由所述驱动结构来提供。液刀清洁装置通过液刀100两边的导向机构固定在液刀100上，所述驱动结构的具体结构可以有多种形式，例如：可以采用丝杆和伺服电机的配合方式，或者，采用螺杆与驱动电机的配合等；在此对于所述驱动结构的具体结构并不进行具体限定。
在本实施例中，优选的，如图3、图4和图6所示，所述导轨102包括：凸设在所述液刀100的两侧，并沿所述刀口101的延伸方向延伸的凸起部；所述移动部件包括：能够与所述凸起部配合，而设置在所述凸起部上的挂钩部204。
采用上述方案，通过凸起部与挂钩部204的配合来将架体200固定在液刀100上，且凸起部与挂钩部204的配合方式结构简单，防止异常掉落风险。
在本发明的其他实施例中，所述液刀100的导轨102与所述液刀清洁装置的移动部件的配合方式还可以有多种，例如：所述导轨102包括在所述液刀100的两侧，并沿所述刀口101的延伸方向延伸的凹槽结构；所述移动部件包括：能够与所述凹槽结构配合的挂钩部。应当理解的是，对于所述导轨102和所述移动部件的具体配合结构在此并不进行限定。
此外，本发明所提供的实施例中，所述移动机构还包括：用于控制所述驱动结构的工作状态，以控制所述架体200的移动状态，进而控制所述清洁刮片300的工作状态的控制装置。
此外，所述控制装置还用于控制所述卷轴的工作状态，以控制所述清洁刮片300的伸入至所述刀口101内的第一高度。
采用上述方案，所述控制装置可以采用通过无线信号等来控制架体200沿着导轨102来回清洁液刀100内壁，该液刀清洁装置的清洁时间、清洁间隔时间以及清洁刮片300的第一高度可进行设定控制。
本发明优选实施例中所提供的液刀清洁装置可在不停机的情况下，利用生产间隔自动清洁液刀100，通过此装置中清洁刮片300来回刮试液刀100的刀口101来去除残留物，降低液帘分叉带来的品质风险。该液刀清洁装置可以根据实际情况调节清洁频率及清洁时间，例如：可以通过触摸屏进行设定来控制。
本发明优选实施例中所提供的液刀清洁装置还可以实现定期清洁方式防范液帘分叉异常发生风险，清洁完成后确保液帘状态如附图6所示；若生产中发现液帘出现附图7所示，可立即暂停显影流片，可通过触摸屏等来进行设定及时进行清洁作业，在不严重影响设备稼动的情况下确保品质无异常。
此外，在本发明的实施例中还提供了一种液刀，所述液刀上具有与如上所述的液刀清洁装置的移动机构相配合的配合结构。
优选的，如图3和图4所示，本发明实施例所提供的液刀100中，所述配合结构包括：沿所述刀口101的延伸方向设置的导轨102，所述导轨102设置在所述液刀100上。
优选的，如图3和图4所示，本发明实施例所提供的液刀100中，所述导轨102包括：凸设在所述液刀100的两侧，并沿所述刀口101的延伸方向延伸的凸起部；或者，所述导轨102包括：在所述液刀100的两侧，并沿所述刀口101的延伸方向延伸的凹槽结构。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种液刀清洁装置，用于清洁液刀，所述液刀上具有刀口；其特征在于，所述液刀清洁装置包括：
一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；
一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；
以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接；
所述液刀清洁装置还包括一用于对所述清洁刮片的伸入至所述刀口内的第一高度进行调整的调整结构；
所述调整结构包括设置在所述架体上的一卷轴；
所述清洁刮片为软质刮片，其一端朝向所述液刀的刀口伸出，另一端卷设在所述卷轴上，其中所述卷轴转动，能够收放所述软质刮片，以调整所述清洁刮片的伸入至所述刀口内的第一高度。
2.根据权利要求1所述的液刀清洁装置，其特征在于，
所述架体包括：
用于相对设置在所述液刀两侧的第一侧架体和第二侧架体；
以及，用于设置在所述液刀的刀口下方的底部架体，所述底部架体连接第一侧架体和第二侧架体；
其中所述清洁刮片设置在所述底部架体上。
3.根据权利要求1所述的液刀清洁装置，其特征在于，
所述液刀上设置有沿所述刀口的延伸方向设置的导轨；
所述移动机构包括：
用于与所述液刀上的导轨相配合，在所述导轨上进行往复移动的移动部件，所述移动部件设置在所述架体上；以及，用于驱动所述移动部件在所述导轨上移动的驱动结构。
4.根据权利要求3所述的液刀清洁装置，其特征在于，
所述导轨包括：凸设在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凸起部；所述移动部件包括：能够与所述凸起部配合，而设置在所述凸起部上的挂钩部；或者，
所述导轨包括：在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凹槽结构；所述移动部件包括：能够与所述凹槽结构配合的挂钩部。
5.根据权利要求3所述的液刀清洁装置，其特征在于，
所述移动机构还包括：
用于控制所述驱动结构的工作状态，以控制所述架体的移动状态，进而控制所述清洁刮片的工作状态的控制装置。
6.一种液刀，其特征在于，所述液刀上具有与如权利要求1至5任一项所述的液刀清洁装置的移动机构相配合的配合结构。
7.根据权利要求6所述的液刀，其特征在于，所述配合结构包括：沿所述刀口的延伸方向设置的导轨，所述导轨设置在所述液刀上。
8.根据权利要求7所述的液刀，其特征在于，
所述导轨包括：凸设在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凸起部；或者，所述导轨包括：在所述液刀的两侧，并沿所述刀口的延伸方向延伸的凹槽结构。
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