CN100456092C - 液晶显示装置的基板粘合设备及其驱动方法 - Google Patents

Abstract

一种基板粘合设备包括：一粘合室；下工作台和上工作台，它们分别位于粘合室内部的下部空间和上部空间，下工作台包括第一接收部分；第一提升系统，它具有支撑第一基板的第一支撑部分，第一接收部分在下工作台内接收第一支撑部分；和一鼓风系统，它形成于第一支撑部分内，用来将风吹过第一支撑部分。

Description

液晶显示装置的基板粘合设备及其驱动方法

本发明要求享有2002年3月22于韩国提出的第P2002-15643号和2002年3月25日提出的第P2002-15966号韩国专利申请的权益，它们在此引用以作参考。

技术领域

本发明涉及一种粘合设备，尤其涉及一种制造液晶显示装置的基板粘合设备和该基板粘合设备的驱动方法。

背景技术

适应对各类显示装置逐渐增长的需求，已经开发出平板显示器，如液晶显示器(LCD)、等离子显示板(PDP)、电致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)。尤其是LCD装置，因其分辨率高、重量轻、外形薄和功耗低而受到普遍使用。另外，已经在移动装置如笔记本计算机的显示器和计算机与电视的显示器中实现了LCD装置。因此，对改善LCD装置画质所作的努力与其分辨率高、重量轻、外形薄和功耗低的好处形成对比。为了将LCD装置用作一通用图像显示装置，例如必须保证诸如清晰度、亮度之类的画质和大显示面积。

根据已有技术的LCD装置的制造过程可以分成两类：液晶注入法和液晶滴注法。液晶注入法包括以下步骤：在第一基板和第二基板之一上形成一密封图案，以形成一注入口；在一真空处理室内将第一基板与第二基板相互粘合在一起；通过注入口注入液晶。日本专利申请第11-089612号和第11-172903号披露的液晶滴注法包括以下步骤：将液晶滴在第一基板上；在第一基板之上放置第二基板；移动第一和第二基板以使其彼此结合，由此将第一和第二基板相互粘合在一起。

与液晶注入法相比，液晶滴注法的优点在于，由于将液晶材料预先设置在第一基板上，所以无需一些处理步骤，如形成一液晶材料注入口、注入液晶材料和密封注入口。

图1是根据已有技术在淀积过程之前的基板粘合设备剖视图。图1中，基板组装设备包括机架10、上工作台21、下工作台22、密封剂分配装置(图中未示)、液晶材料分配装置30、包括上室单元31和下室单元32的处理室、室移动系统40和工作台移动系统50。室移动系统40包括一驱动电机，它受到驱动以有选择地将下室单元32移动到第一位置和第二位置，密封剂在第一位置上流出且液晶材料在第一位置上滴注，而在第二位置上执行粘合过程。工作台移动系统50包括另一个驱动电机，该驱动电机受到驱动以有选择地沿垂直于上下工作台21和22的垂直方向移动上工作台21。

图2是根据已有技术在一粘合过程之前的基板粘合设备剖视图。图2中，采用根据已有技术基板组装设备的液晶显示装置的制造方法包括：如图1所示，将第二基板52装到上工作台21上，将第一基板51装到下工作台22上。然后，通过室移动系统40，把具有下工作台22的下室单元32移动到第一处理位置，用于密封剂和液晶材料的分配操作。接着，通过室移动系统40，将下室单元32移动到用于粘合的第二处理位置。之后，用室移动系统40将上室单元31与下室单元32组装到一起，形成一真空紧密封，如图2所示，用一真空发生系统(图中未示)减小室内压强。

然后，在真空状态下，用工作台移动系统50向下移动上工作台21，用以将固定到上工作台21的第二基板52与固定到下工作台22上的第一基板51紧固。此外，通过一连续的增压处理，执行相互粘合各基板的过程，由此完成对LCD装置的制造。这样，在完成基板的粘合之后，将上室单元31与下室单元32相互分开，用室移动系统40将下室单元32移动到一卸载位置，卸下所粘合的基板。

但是，这种根据已有技术的基板组装设备存在问题。首先，这种根据已有技术的基板组装设备无法提供一辅助系统，该系统用来将基板稳定地装到上下工作台上，或者稳定地将所粘合的基板从下工作台上卸下，从而增大了基板可能会在装载/卸载过程中受到损坏的可能性。特别是，在粘合过程中，所粘合的基板可能部分地粘附到下工作台的上表面上。然后，在没有考虑基板是否已经粘附到下工作台上的情况下，这种根据已有技术的基板组装设备将所粘合的基板卸下，从而有很大的可能会损坏基板。

第二，必须在所粘合的基板中央或周边部分没有下垂的情况下卸下所粘合的基板。但是，由于这种根据已有技术的基板组装设备没有考虑这样的下垂情况，所以因所粘合的基板翘曲导致可能产生故障的可能性也增大了。特别是，考虑到LCD装置的尺寸随需要而逐渐增大，所以，防止在卸载所粘合的基板过程中出现下垂就变得极其重要和必要。

第三，基板与工作台之间的直接接触导致产生静电，这可能会损坏基板上形成的电路。另外，基板与工作台之间的直接接触降低了产量。

第四，在这种根据已有技术的基板组装设备中，第二基板装到下室单元的下工作台上，由室移动系统转移到上工作台的一个位置内以装到上工作台上，然后再次移动下室单元，将第一基板装到下工作台上。因此，非常有可能将基板装到不正确的位置上，这样，可能在装载其的过程中出现未对准的现象，由此增大了基板可能受损的可能性。

发明内容

本发明涉及一种制造液晶显示装置的基板粘合设备和该基板粘合设备的驱动方法，它们基本上避免了因已有技术的局限和缺点导致的一个或多个问题。

本发明的一个目的在于提供一种制造液晶显示装置的基板粘合设备和该粘合设备的驱动方法，其中为提升杆系统增加一鼓风系统，以防在基板与工作台之间产生静电，并且防止因基板的摩擦产生的划痕，从而在将基板固定到工作台上时将基板对准在精确的位置上。

本发明的其他特征和优点将在以下的描述中列出，根据该描述，它们一部分将变得很明显，或者可以通过对本发明的实践来学会。通过所写的说明书及其权利要求书以及附图中特别指出的结构，能够实现和达到本发明的其他目的和优点。

为了实现这些和其他优点，根据本发明，如所具体和概括描述的那样，一种基板粘合设备包括：一粘合室；下工作台和上工作台，它们分别位于粘合室内部的下部空间和上部空间，下工作台包括至少一个接收部分；一提升系统，它具有支撑固定在下工作台上第一基板的第一支撑部分和在下工作台内沿一垂直方向接收第一支撑部分的接收部分；和一鼓风系统，它形成于第一支撑部分内，用来将风吹过第一支撑部分。

在本发明的又一方面，一种基板粘合设备的驱动方法，该设备包括配备有上下工作台的粘合室、提升基板的提升系统和夹持基板的夹持系统，其中，下工作台包括第一接收部分，提升系统具有支撑基板的第一支撑部分，第一接收部分在下工作台内接收第一支撑部分，所述第一支撑部分具有一鼓风系统，该鼓风系统用来将风吹到与基板接触的接触部分上，该方法包括以下步骤：将基板放到提升系统和夹持系统之一上的第一位置上，移动夹持系统以对准基板。

应理解的是，前面对于本发明总的描述和以下详细的描述是示例性和解释性的，意欲用它们提供对所要求保护的本发明的进一步解释。

附图说明

所包括用来提供对本发明进一步理解并且包括在内构成说明书一部分的附图示出了本发明的实施例，它们连同文字部分一起用来解释本发明的原理。这些附图中：

图1是根据已有技术在淀积过程之前的基板粘合设备剖视图；

图2是根据已有技术在一粘合过程之前的基板粘合设备剖视图；

图3是根据本发明一典型基板粘合设备的剖视图；

图4是根据本发明一典型下工作台和基板提升系统的平面图；

图5A是根据本发明的图3中部分“A”的剖视图；

图5B是根据本发明一典型底座的剖视图；

图6是根据本发明一典型支撑提升系统的透视图；

图7是根据本发明另一典型支撑提升系统的透视图；

图8是根据本发明一典型下工作台、基板提升系统和夹持系统的透视图；

图9是根据本发明一典型夹持系统的透视图；

图10是示出基板与根据本发明的典型基板提升系统和夹持系统未对准的平面图；

图11是根据本发明沿图10的I-I所取的剖视图；

图12是根据本发明的基板提升系统和夹持系统典型操作过程的平面图。

具体实施方式

现在详细描述本发明的优选实施例，其实例示于附图中。

图3是根据本发明一典型基板粘合设备的剖视图。图3中，一种用于液晶显示装置的基板粘合设备可以包括粘合室110、上工作台121和下工作台122、一工作台移动单元、真空单元200、装载部分300、基板提升系统400和一夹持系统。

粘合室110可包括适于执行各基板间的粘合处理过程的结构。粘合室110可包括单独一个室的结构，该结构有一入口门(图中未示)。另一方面，粘合室110也可以包括上下两部分(图中未示)，它们可便于装载/卸载各基板。这上下两部分可以沿垂直和水平两个方向移动。另一方面，上下两部分中的第一部分可以是静止的，而上下两部分中的第二部分可以沿垂直和水平方向移动。粘合室110可以配有一排气管112，排气管112通过真空单元200减小粘合室110的内部压强。另外，粘合室110可以包括一通气管113，它通过从粘合室110外部引入空气或其他气体(N₂)，使粘合室110恢复到大气状态。排气管112和通气管113可以分别配有阀112a和113a，这些阀用来有选择地打开和关闭各条通路。

上下工作台121和122可以在粘合室110内部的上下空间内相互面对。下工作台122和上工作台121可以通过静电吸引第一和第二基板510和520。特别是，上工作台121可以配有一静电卡盘121a和沿静电卡盘121a周边形成的多个真空孔121b。静电卡盘121a可以用至少一对静电板构成，每一个静电板的极性相法。另一方面，静电卡盘121a可以构成为利用每一个都有相同极性的一对静电板提供静电力。另外，真空孔121b通过单独一条管线或多条管线121c彼此相通，用以接纳连接到上工作台121上的真空泵123产生的真空力。

类似地，下工作台122也可以在其一上部分配有至少一个静电卡盘122a和沿静电卡盘122a周边形成的至少一个真空孔。另一方面，如图5A所示，形成于下工作台122上表面的静电卡盘122a和真空孔122b的布置可以不限于形成于上工作台121下表面的静电卡盘121a和多个真空孔121b的布置。静电卡盘122a和多个真空孔122b的布置可以变为适应一对象基板和相应液晶分配区域的几何形状。但是，可能无需形成于下工作台122上表面上的多个真空孔。

图4是根据本发明一典型下工作台和基板提升系统的平面图。图4中，至少一个第一接收部分122d可以形成于下工作台122上表面的第一部分上，该部分对应于可放在下工作台122上表面上的第一基板的虚拟区(图中未示)。第一接收部分122d的位置可以位于下工作台122上表面的其他部分上，以防第一基板下垂(图中未示)。例如，第一接收部分122d可以形成于与一虚拟区的底部区域对应的一部分上，该虚拟区位于第一基板上表面上形成的相邻盒区域之间。另一方面，第一接收部分122d可以有与一槽或穿过下工作台122的一通孔对应的几何形状。另外，第一接收部分122d可以构成为一隐藏式槽(recessed slot)，仅在该隐藏式槽的特定部分上形成一通孔。

图3中，上工作台移动系统可以包括一上驱动电机133，它通过一移动轴131与上工作台121轴向耦合。下工作台移动系统可以包括下驱动电机134，下驱动电机134通过一旋转轴132与下工作台122轴向耦合。可以在粘合室110的外部或内部设置上下驱动电机133和134，以有选择地驱动各个轴131和132。

真空单元200可以将一吸力传送到粘合室110内部，以使粘合室110内部有选择地形成一真空状态。真空单元200可以包括一吸力泵，吸力泵用来产生该吸力，真空单元200所提供的空间与粘合室110的排气管112连通。

装载部分300可以作为与粘合室110分开的分立系统设置，粘合室内设有各种部件。装载部分300可以设置在粘合室110外部，以有选择地将各个基板装到粘合室110内部，或者将创门从粘合室110内取出卸下。装载部分300可以包括第一臂310和第二臂320，第一臂310传送其上滴有液晶的第一基板510，第二臂320传送其上分配有密封剂的第二基板520。

图3中，基板提升系统400可设置在粘合室110内部。或者，基板提升系统400既可以设置在粘合室110内部，也设置在其外部。基板提升系统400可以包括：第一支撑部分410a，将它有选择地接纳在(图4中)第一接收部分122d的内部，它有选择地支撑第一基板510；提升轴420，它连接到第一支撑部分410a上，从下工作台122延伸，经过第一接收部分122d，用来上下移动第一支撑部分410a；和一驱动部分430，它连接到提升轴420上，用来驱动提升轴420升高或下降。

第一接收部分122d可以沿下工作台122上表面的第一部分上一纵向方向形成，该纵向方向对应于与第一基板510的装载/卸载方向相同的方向上第一基板510的一虚拟区，而第一支撑部分410a可以沿与第一接收部分122d的外形相对应的纵向方向形成。因此，第一支撑部分410a可以稳定地支撑平坦的周边部分，由此防止了当提升系统作用于制造大型液晶显示装置的设备时，周边部分的下垂现象。

但是，可以改变第一接收部分122d和第一支撑部分410a的外形。例如，第一支撑部分410a的上表面可以形成有多个突起，以便减少与基板的接触面积。另外，可以沿下工作台122的一个最长边形成至少两个第一接收部分122d和至少两个第一支撑部分410a，而可以沿下工作台122的最短边形成至少两个第一接受部分122d和至少两个第一支撑部分410a，也可以沿下工作台122的最长边和最短边分别形成至少一个第一接收部分122d和至少一个第一支撑部分410a。

特别是，第一接收部分122d和第一支撑部分410a可以沿与第一基板510的装载/卸载方向不同的另一个方向配置。例如，可以沿与第一基板510的装载/卸载方向垂直的方向配置第一接收部分122d与第一支撑部分410a中的至少一个，形成一些图案中的任何一种图案，从上面看去，这些图案例如是“＝”，“≡”，“||”，“#”，“***”，由此防止了第一基板510的两侧下垂。

尤其是，如果第一支撑部分410a对第一基板510的支撑位置(或接触位置)有助于防止第一基板510下垂，那么就允许该位置存在。优选的是，该位置位于第一基板510上表面上形成的盒之间虚拟区的底面上。

可以把朝向与第一基板装载/卸载方向相同方向安装的第一支撑部分410a之间的间隔设定为能至少排除与第一臂310移动路径之间的相互干扰。例如，如图4所示，在第一臂310具有三个有预定间隔的手指的情况下，可以将第一支撑部分410a放到该间隔内，由此排除了对第一臂310移动的干扰。同时，可以在第一臂310每一个手指311引入其中的部分上，向下弯折垂直于第一基板510装载/卸载方向设置的其他支撑部分410b，由此防止与每一个手指之间的相互干扰。另一方面，如图5B所示，可以在其中央部分向下弯折其他支撑部分410b，由此防止与第一臂310中间手指之间的相互干扰。如图5B所示，可以将其他支撑部分410b的两个周边部分形成为有一长度，该长度使其不会与第一臂310的两侧上设置的手指相接触(或者，以一间隔形成第一臂两侧上设置的手指，该间隔能使手指与第一支撑部分410b不相互干扰)。

但是，如果为了用于大型液晶显示装置，将第一支撑部分410a和410b形成得更长，那么可能会出现第一支撑部分410a和410b两端下垂的情况。因此，可以在第一支撑部分410a和410b的每一个相应位置上，设置与第一支撑部分410a和410b轴向耦合的至少两个提升轴420以及用来沿上下方向移动提升轴420的至少两个驱动部分430。例如，可以将每一个提升轴420连接到相应的驱动部分430上，从上面看去，这些驱动部分430设置在沿水平方向配置的第一支撑部分410a与沿垂直方向配置的第一支撑部分410b之间的交叉部分上，或者设置在第一支撑部分410a和410b的中央部分与其两端之间的部分上。另外，第一支撑部分410a和410b的形状可以象条形、圆销形和多边中空管中的一种。但是，只要能对基板提供机械支撑，就可以将第一支撑部分410a和410b作成任何形状。

另外，包括接触第一基板510的一面的第一支撑部分410a和410b各面可以包括一种涂料(图中未示)，以防基板损坏，例如由第一支撑部分410a和410b与第一基板510之间的接触引起的划痕。这种涂料例如可以是诸如Teflon7或PEEK之类的材料，它能防止第一基板510受损如有划痕，并且是一种能去除第一基板510上产生的静电的导电材料。

基板提升系统400的驱动部分430可以包括至少一个步进电机和一汽缸。步进电机可以利用一气压系统或液压系统沿提升轴420的方向垂直移动汽缸。驱动部分430可以固定到粘合室110内部的下部空间，驱动部分430可以穿过粘合室110底部，固定在粘合室110的外部一位置上。这样，可以避免各驱动部分之间的干扰，并且可易于安装每一个驱动部分。

图6是根据本发明一典型支撑提升系统的透视图。图6中，一鼓风系统可以包括多个吹风孔410c，这些孔用于吹空气或气体以向上推固定在第一支撑部分410a和410b上的基板，该鼓风系统可以设置在第一支撑部分410a和410b上。用来将空气或气体供给吹风孔410。的供气管410d可以设置在第一支撑部分410a和410b之下。

图7是根据本发明另一典型支撑提升系统的透视图。图7中，一鼓风系统可以包括一吹风口410e，该口用于吹空气或气体以向上推固定在第一支撑部分410a和410b上的基板，该鼓风系统可以形成于第一支撑部分410a和410b上。用来将空气或气体供给吹风口410e的供气管410d可以设置在第一支撑部分410a和410b之下。

虽然图中未示，不过可以连同输送气体或空气的供气管一起，在下工作台122上表面上形成吹空气或气体的多个吹风孔，或者可以在上下工作台121和122上形成真空孔。可以通过吹风孔410c或真空孔加入气体或空气。

图8是根据本发明一典型下工作台、基板提升系统和夹持系统的透视图，图9是根据木发明一典型夹持系统的透视图。图8和9中，一夹持系统可以包括第二支撑部分610，它被有选择地收纳在至少一个第二接收部分122e的内部，第二接收部分122e沿与基板装载/卸载方向垂直的方向凹进下工作台122上表面的两侧边缘。第二支撑部分610可以沿水平方向移动。可以在第二支撑部分610后面的两侧上设置一对齿条和齿轮611a和611b，它们用来沿Z轴方向上下移动第二支撑部分610。可以在粘合室110内部设置用来向齿条和齿轮611a和611b传递电力的第一驱动系统(即，一双轴电机630)，用以沿Z轴方向驱动第二支撑部分610。可以在粘合室110内部设置一对导轨620，这对导轨用来沿X轴或Y轴方向移动第二支撑部分610。可以在粘合室110内部设置第二驱动系统640，用以在导轨620上沿X轴方向移动第二支撑部分610。

可以将第二接收部分122e形成为在下工作台122上表面的两边缘中间相对于安装在其上的基板有一预定长度。可以将第二支撑部分610形成为有一长度，该长度对应于第二接收部分122e的形状，第二支撑部分610可以向上推基板。可以弯曲第二支撑部分610，以使其具有支撑基板底面的第一面和支撑基板侧面的第二面。另外，象第一支撑部分410a和410b一样，接触第一基板510表面部分的第二支撑部分610例如可以涂有诸如Teflon7或PEEK之类的材料，用以防止因第二支撑部分610与第一基板510之间的接触引起的损坏，还可以涂敷有导电材料以消除第一基板510上产生的任何静电。

以下描述利用根据本发明的基板粘合设备制造一LCD装置的典型过程。

首先，如图3所示，装载部分300可以控制各个臂，这些臂要将第一基板510装到下工作台上，而要将第二基板520装到上工作台121上。这种情况下，装载部分300可以控制第二臂320，通过粘合室110的开口将其上没滴有液晶的第二基板520送到粘合室内部，使第二基板要受到粘合的那一面面向下。然后，上工作台121可以下降到靠近所传送的第二基板520，可以驱动与上工作台121连接的真空泵123，将一真空力传送给上工作台121中形成的真空孔121b，由此吸引第二臂320传送的第二基板520。接着，上工作台121可以上升。

装载部分300可以控制第一臂310，将其上滴有液晶的第一基板510运送到粘合室110下部空间设置的下工作台122上表面上。这种情况下，可以驱动基板提升系统400和夹持系统600的驱动部分430和530，沿向上的方向移动基板提升系统400和夹持系统。如图8所示，可以使第一支撑部分410a和410b从第一和第二接收部分122d和122e开始逐渐向上伸出，以接触第一臂310上固定的第一基板510下表面。可以连续向上移动第一和第二支撑部分410a、410b和610，将第一基板510从第一臂310上抽出，这些部分可以在一特定的上升高度处停住。此时，可以通过供气管410d向第一支撑部分410a和410b输送空气或气体，然后通过吹气孔410c或吹气口410e吹送它们，向上推(图6和7中的)第一基板510。为此，虽然第一基板固定在第一支撑部分410a和410b上，但是仍然避免了第一基板与第一支撑部分410a和410b上表面的直接接触。

当第一基板510固定到第一支撑部分410a和410b上且接触第一支撑部分410a和410b的上表面时，内应力可能不是集中而是分散的，那么第一基板510能够受到完全的支撑，避免了第一基板510移动或下垂的情况出现。因此，第一支撑部分410a和410b与第一基板510之间的接触可以包括面接触、线接触和点接触中的一种。

第一支撑部分410a和410b可以涂有一种诸如Tenon7，PEEK之类的材料或导电材料，而第一基板510通过吹气孔410c不与第一支撑部分410a和410b直接接触，防止了第一基板510的底面受损，并且消除了第一基510上产生的任何静电。

在基板提升过程之后，一旦通过控制装载部分300将第一臂310提到粘合室110之外，驱动部分430和630就可以沿向下的方向撤回各提升轴。然后，一旦与提升轴相连的第一和第二支撑部分410a、410b和610下降且被置于第一和第二接收部分122d和122内，就可以从第一和第二支撑部分410a、410b和610上撤回固定在410a、410b和610上的第一基板510，然后将第一基板510固定到下工作台122的上表面上。

在提取和撤回过程之后，可以驱动连接到122上的真空泵，将一真空力传送给多个真空孔122b。因此，通过真空泵产生的真空力，将第一基板510的底面附着到下工作台122的上表面上。另一方面，基板传送过程也可以包括将一电势加到下工作台122静电卡盘122a的静电板上，从而将第一基板510的底面附着到下工作台122的上表面上。由此，完成第一和第二基板510和520的装载过程。

在基板装载过程之后，可以关闭并密封粘合室110，可以驱动真空单元200，以减小粘合室110内部的压强。然后，一旦达到理想的真空压强，就通过令工作台移动单元使上工作台121沿向下方向移动，或者通过令工作台移动单元使下工作台122沿向上方向移动，执行第一和第二基板510和520的粘合过程。

在前述过程中，一旦在第二基板520的装载过程之前执行粘合过程，已经装有第二基板520的第二臂320就可以卸下放在上工作台122上的所粘合基板，以下描述这样一个过程。

首先，可以驱动基板提升系统400和夹持系统600，使各个第一和第二支撑部分410a、410b和610沿向上的方向移动，由此可以使所粘合的基板与下工作台122分开。第一和第二支撑部分410a、410b和610的向上移动可以是连续的，直到它们位于下工作台122的上部空间位置才停止。同样地，可以通过第一供气管410d向第一支撑部分410a和410b输送气体或空气，然后通过吹气孔410。或吹气口410e吹送它们，沿向上方向推第一基板。因此，虽然所粘合的基板可以固定在第一支撑部分410a和410b上，也可以避免第一基板与第一支撑部分410a和410b的直接接触。这样，可以防止产生基板的静电和划伤，并且缓和了因基板与提升系统400的接触导致的冲撞。

接着，可以控制装载部分300，使其再次把已经装有第二基板的第二臂320。送到粘合室110内部。可以将第二步320。的装载位置定位于通过基板提升系统400向上移动的所粘合基板的下部。

在第二臂320的输送过程之后，一旦基板特提升系统400和夹持系统600的第一和第二支撑部分410a、410b和610沿向下方向移动，就可以把固定到第一和第二支撑部分410a、410b和610上的所粘合基板转移到第二臂320的上表面上。第一和第二支撑部分410a、410b和610可以连续地沿向下方向移动，并且可以收纳在下工作台122的第一和第二接收部分122d和122e内。然后，通过控制装载部分300，可以将第二臂320卸载到粘合室110外部，由此完成了所粘合基板的卸载工作。

另一方面，如果完成了对所粘合基板的卸载过程，那么可以通过第一臂310、基板提升系统400和夹持系统600进行第一基板510的装载过程。因此，这里省略前面已经描述的对第一基板510的装载过程。

在LCD的制造方法中，当将一基板从第一臂310上装载到提升系统400和夹持系统600上时，如图10和11所示，可能会出现未对准的现象。

图10是示出基板与根据本发明的典型基板提升系统和夹持系统未对准的平面图，图11是根据本发明沿图10的I-I所取的剖视图。在图10和11中，一旦第一基板510没有与提升系统400和夹持系统600对准，就使提升系统400的第一支撑部分410a和410b沿着向上方向进一步移动，以使第一基板510与夹持系统600的第二支撑部分610分开。

图12是根据本发明的基板提升系统和夹持系统典型操作过程的平面图。在图9和12中，可以驱动夹持系统600的电机640，将第二支撑部分610移动到第一基板510的后侧。然后，可以驱动夹持系统600的双轴电机630，将第二支撑部分610一直移动到提升系统600(例如图8中)的第一支撑部分410a和410b的高度上。接着，可以驱动夹持系统600的电机640，将第二支撑部分610朝向第一基板510向前移动第一距离。因此，可以将未对准的第一基板510对准到一精确的位置。

如果提升系统400的第一支撑部分410a和410b中形成的鼓风系统吹出空气或气体，那么如参照图6所描述的那样，第一基板510不与第一支撑部分410a和410b直接接触，从而防止了第一基板510上有划痕，并且消除了第一基板510与第一支撑部分410a和410b之间产生的静电。另外，在第一基板510位于下工作台122上并且未对准的情况下，可以驱动夹持系统600的电机640，将第二支撑部分610移动到第一基板510的后侧。然后，可以驱动夹持系统600的双轴电机630，将第二支撑部分610一直移动到提升系统400的第一支撑部分的高度上。接着，可以驱动夹持系统600的电机640，将第二支撑部分610朝向第一基板510向前移动一预定距离。因此，可以将未对准的第一基板510对准到一精确的位置。

对本领域中那些技术人员来说很明显的是，可以在本发明中作各种修改和变换。这样，假定本发明的这些修改和变换落在所附权利要求书及其等同物的范围内，意欲使本发明覆盖它们。

Claims (12)

1.一种基板粘合设备，包括：

一粘合室；

下工作台和上工作台，它们分别位于粘合室内部的下部空间和上部空间，下工作台包括第一接收部分；

第一提升系统，它具有支撑第一基板的第一支撑部分，第一接收部分在下工作台内接收第一支撑部分；和

一鼓风系统，它形成于第一支撑部分内，用来将风吹过第一支撑部分。

2.根据权利要求1的设备，其特征在于，第一提升系统包括：一提升轴，它与第一支撑部分成整体形成，用来沿垂直方向移动第一支撑部分；一驱动部分，它连接到提升轴上，用来驱动提升轴沿垂直方向移动；和一供气管，它用来向第一支撑部分供气。

3.根据权利要求1的设备，其特征在于，第一接收部分沿下工作台的最长边和最短边之一形成于下工作台内，第一支撑部分对准第一接收部分的形状形成。

4.根据权利要求1的设备，其特征在于，鼓风系统包括多个吹风孔。

5.根据权利要求1的设备，其特征在于，鼓风系统包括一吹风口。

6.根据权利要求1的设备，其特征在于，第一支撑部分上涂敷有从包括Teflon7、PEEK和一种导电材料的组合中选择的至少一种材料。

7.根据权利要求1的设备，其特征在于，还包括：多个第二接收部分，它们形成于下工作台上；和第二提升系统，它包括至少两个支撑部分，支撑部分用来支撑第一基板，其特征在于，多个第二接收部分接收第二支撑部分。

8.根据权利要求7的设备，其特征在于，第二提升系统位于下工作台的两个长边上。

9.一种基板粘合设备的驱动方法，该设备包括一配备有上下工作台的粘合室、提升-基板的提升系统和夹住基板的夹持系统，其中，下工作台包括第一接收部分，提升系统具有支撑基板的第一支撑部分，第一接收部分在下工作台内接收第一支撑部分，所述第一支撑部分具有一鼓风系统，该鼓风系统用来将风吹到与基板接触的接触部分上，该方法包括以下步骤：

将基板放在提升系统和夹持系统之一上的第一位置；并且

移动夹持系统以对准基板。

10.根据权利要求9的方法，其特征在于，还包括以下步骤：在放基板的步骤之后，将夹持系统从第一位置开始移动第一距离。

11.根据权利要求9的方法，其特征在于，所述鼓风系统在移动夹持系统的过程中将风吹到基板上。

12.根据权利要求9的方法，其特征在于，还包括以下步骤：当基板在第一位置上时，沿一垂直方向移动提升系统，以使基板与夹持装置分开。

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