JPH10110891A - ガラス基板の支持装置 - Google Patents
ガラス基板の支持装置Info
- Publication number
- JPH10110891A JPH10110891A JP26453896A JP26453896A JPH10110891A JP H10110891 A JPH10110891 A JP H10110891A JP 26453896 A JP26453896 A JP 26453896A JP 26453896 A JP26453896 A JP 26453896A JP H10110891 A JPH10110891 A JP H10110891A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing pad
- glass base
- glass substrate
- supporting
- pressure gas
- Prior art date
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- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板を非接触で支持し、ガラス基板の
反りや撓みを防止し得る支持装置を提供する。 【解決手段】 ガラス基板の支持部材の中央部に軸受パ
ッド１２が設けられ、軸受パッド１２の中央部にノズル
１３が設けられ、その周囲に溝１４が形成され、ノズル
１３から高圧ガスを噴き出してカラーフィルタ基板１の
中央部を非接触で支持することにより、反りや撓みによ
る吸着固定ができなくなるのを防止する。
反りや撓みを防止し得る支持装置を提供する。 【解決手段】 ガラス基板の支持部材の中央部に軸受パ
ッド１２が設けられ、軸受パッド１２の中央部にノズル
１３が設けられ、その周囲に溝１４が形成され、ノズル
１３から高圧ガスを噴き出してカラーフィルタ基板１の
中央部を非接触で支持することにより、反りや撓みによ
る吸着固定ができなくなるのを防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はガラス基板の支持
装置に関し、特に、大型の液晶表示装置やプラズマディ
スプレイ（以下、ＰＤＰと称する）などを検査する検査
装置に用いられ、表示用ガラス基板を支持する支持装置
に関する。
装置に関し、特に、大型の液晶表示装置やプラズマディ
スプレイ（以下、ＰＤＰと称する）などを検査する検査
装置に用いられ、表示用ガラス基板を支持する支持装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来のカラーフィルタ基板やＰ
ＤＰパネルの検査装置の外観図であり、図６は縦断面図
である。
ＤＰパネルの検査装置の外観図であり、図６は縦断面図
である。
【０００３】図５において、カラーフィルタ基板（また
はＰＤＰ基板）１はガラス基板の上にカラーフィルタを
配列したものであり、バキュームチャック２によって吸
着固定されており、カラーフィルタ基板１の下面には蛍
光灯などの光源３が設けられて透過照明される。光がカ
ラーフィルタ基板１を透過したときの像が結像レンズ４
を介してＣＣＤラインセンサ５で捉えられ、これが画像
処理装置６で判別され、カラーフィルタ基板１の欠陥の
画像がディスプレイ７に表示される。
はＰＤＰ基板）１はガラス基板の上にカラーフィルタを
配列したものであり、バキュームチャック２によって吸
着固定されており、カラーフィルタ基板１の下面には蛍
光灯などの光源３が設けられて透過照明される。光がカ
ラーフィルタ基板１を透過したときの像が結像レンズ４
を介してＣＣＤラインセンサ５で捉えられ、これが画像
処理装置６で判別され、カラーフィルタ基板１の欠陥の
画像がディスプレイ７に表示される。
【０００４】バキュームチャック２は図６に示すよう
に、平板の表面に設けられた溝部８が細孔９を介して外
部の真空発生装置（図示せず）に接続されており、カラ
ーフィルタ基板１をバキュームチャック２に載置するこ
とにより、溝部８が負圧となり、吸着固定されるように
なっている。
に、平板の表面に設けられた溝部８が細孔９を介して外
部の真空発生装置（図示せず）に接続されており、カラ
ーフィルタ基板１をバキュームチャック２に載置するこ
とにより、溝部８が負圧となり、吸着固定されるように
なっている。
【０００５】なお、ここで表示ガラス基板とは、カラー
フィルタ基板にかかわらず、ＣＣＤなどで検査する対象
の各種ガラス基板をいうものとする。
フィルタ基板にかかわらず、ＣＣＤなどで検査する対象
の各種ガラス基板をいうものとする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図７はバキュームチャ
ックの上にカラーフィルタ基板１を載置したときの断面
図であり、図８は１枚のガラス基板でカラーフィルタパ
ネルを多面取りした例を示す図である。
ックの上にカラーフィルタ基板１を載置したときの断面
図であり、図８は１枚のガラス基板でカラーフィルタパ
ネルを多面取りした例を示す図である。
【０００７】図５および図６に示した従来のバキューム
チャック２でカラーフィルタ基板１を吸着する場合、大
型化や薄型化に伴って反ったり撓みを生じるが、バキュ
ームチャック２でその反りや撓みを吸収することができ
ない。このために、カラーフィルタ基板１の反りや撓み
によりＣＣＤラインセンサ５の検出能力が場所によって
異なってしまう。また、カラーフィルタ基板１の反りや
撓みが大きくなると、バキュームチャック２の溝部８の
真空度が高まらず、図７に示すように、吸着固定できな
くなってしまう。さらに、図８に示すように、１枚のガ
ラス基板でカラーフィルタパネルを多面取りする場合に
は、カラーフィルタのない部分を使って支持することも
可能であるが、大型の液晶パネルやＰＤＰパネルでは１
枚のガラス基板に１枚のカラーフィルタパネルまたはＰ
ＤＰパネルをとることになるため、支持するのが不可能
になるという問題点があった。
チャック２でカラーフィルタ基板１を吸着する場合、大
型化や薄型化に伴って反ったり撓みを生じるが、バキュ
ームチャック２でその反りや撓みを吸収することができ
ない。このために、カラーフィルタ基板１の反りや撓み
によりＣＣＤラインセンサ５の検出能力が場所によって
異なってしまう。また、カラーフィルタ基板１の反りや
撓みが大きくなると、バキュームチャック２の溝部８の
真空度が高まらず、図７に示すように、吸着固定できな
くなってしまう。さらに、図８に示すように、１枚のガ
ラス基板でカラーフィルタパネルを多面取りする場合に
は、カラーフィルタのない部分を使って支持することも
可能であるが、大型の液晶パネルやＰＤＰパネルでは１
枚のガラス基板に１枚のカラーフィルタパネルまたはＰ
ＤＰパネルをとることになるため、支持するのが不可能
になるという問題点があった。
【０００８】それゆえに、この発明の主たる目的は、ガ
ラス基板を非接触で支持し、ガラス基板の反りや撓みを
防止し得るガラス基板の支持装置を提供することであ
る。
ラス基板を非接触で支持し、ガラス基板の反りや撓みを
防止し得るガラス基板の支持装置を提供することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
表示用ガラス基板を検査するために表示用ガラス基板を
支持する支持装置であって、表示用ガラス基板の周囲を
支持するための支持部材と、支持部材の中央部に設けら
れ、高圧ガスを噴き出して表示用ガラス基板の中央部付
近を非接触で支持する静圧軸受パッドとを備えて構成さ
れる。
表示用ガラス基板を検査するために表示用ガラス基板を
支持する支持装置であって、表示用ガラス基板の周囲を
支持するための支持部材と、支持部材の中央部に設けら
れ、高圧ガスを噴き出して表示用ガラス基板の中央部付
近を非接触で支持する静圧軸受パッドとを備えて構成さ
れる。
【００１０】請求項２に係る発明では、請求項１の静圧
軸受パッドには噴き出した高圧ガスを回収するための回
収溝と回収孔とが設けられる。
軸受パッドには噴き出した高圧ガスを回収するための回
収溝と回収孔とが設けられる。
【００１１】請求項３に係る発明では、前記１の支持部
材は移動可能であって、静圧軸受パッドに供給する空気
圧を支持部材の移動に同期させて可変にする。
材は移動可能であって、静圧軸受パッドに供給する空気
圧を支持部材の移動に同期させて可変にする。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の一実施形態のテ
ーブルスキャン方向の断面図であり、図２はそれと直交
する方向の断面図である。
ーブルスキャン方向の断面図であり、図２はそれと直交
する方向の断面図である。
【００１３】この実施形態では、カラーフィルタ基板１
を支持するためにガラス基板支持治具１０が新たに設け
られ、それ以外の構成は前述の図５と同じである。ガラ
ス基板支持治具１０はＣＣＤラインセンサ５の中心線よ
りオフセットした位置に設けられる。また、ガラス基板
支持治具１０には、図２に示すように高圧ガスの供給経
路１１が設けられており、ガラス基板支持治具１０の先
端には軸受パッド１２がボルトによって締結されてい
る。
を支持するためにガラス基板支持治具１０が新たに設け
られ、それ以外の構成は前述の図５と同じである。ガラ
ス基板支持治具１０はＣＣＤラインセンサ５の中心線よ
りオフセットした位置に設けられる。また、ガラス基板
支持治具１０には、図２に示すように高圧ガスの供給経
路１１が設けられており、ガラス基板支持治具１０の先
端には軸受パッド１２がボルトによって締結されてい
る。
【００１４】図３は軸受パッドの詳細を示す図である。
図３において、パッド１２の中央部にはノズル１３が設
けられ、その周囲には田の字状に溝１４が形成されてい
る。図２に示した供給経路１１から供給された高圧ガス
はノズル１３から噴き出し、軸受パッド１２表面の溝１
４を介して広い面積に広がることになる。すなわち、軸
受パッド１２とカラーフィルタ基板１の下面との間で静
圧軸受を構成し、非接触で支持することが可能となり、
ガラス基板の撓みを防止できる。
図３において、パッド１２の中央部にはノズル１３が設
けられ、その周囲には田の字状に溝１４が形成されてい
る。図２に示した供給経路１１から供給された高圧ガス
はノズル１３から噴き出し、軸受パッド１２表面の溝１
４を介して広い面積に広がることになる。すなわち、軸
受パッド１２とカラーフィルタ基板１の下面との間で静
圧軸受を構成し、非接触で支持することが可能となり、
ガラス基板の撓みを防止できる。
【００１５】図４は軸受パッドの他の例を示す図であ
る。この図４に示した例は図３に示したように高圧ガス
の噴き出しによってクリーン度が低下するのを防止する
ものである。すなわち、溝１４と外周との間に新たに回
収溝１５が設けられる。この回収溝１５は溝１４よりも
開口が大きくされており、溝１４から噴き出した高圧ガ
スは軸受パッド１２とカラーフィルタ基板１との間に沿
って流れ、回収溝１５に形成されている回収孔１６によ
って回収される。
る。この図４に示した例は図３に示したように高圧ガス
の噴き出しによってクリーン度が低下するのを防止する
ものである。すなわち、溝１４と外周との間に新たに回
収溝１５が設けられる。この回収溝１５は溝１４よりも
開口が大きくされており、溝１４から噴き出した高圧ガ
スは軸受パッド１２とカラーフィルタ基板１との間に沿
って流れ、回収溝１５に形成されている回収孔１６によ
って回収される。
【００１６】また、高圧ガスの供給圧力をカラーフィル
タ基板１の撓みの大小によって可変するようにしてもよ
い。すなわち、テーブルの移動に同期して供給圧力を制
御し、おおむねガラス基板の中央部が軸受パッド１２上
にあるとき、供給圧力を高めて撓みを補正できる。
タ基板１の撓みの大小によって可変するようにしてもよ
い。すなわち、テーブルの移動に同期して供給圧力を制
御し、おおむねガラス基板の中央部が軸受パッド１２上
にあるとき、供給圧力を高めて撓みを補正できる。
【００１７】なお、上述の説明では、液晶表示装置のカ
ラーフィルタ基板１を支持するものを例にとって説明し
たが、これに限ることなくその他のガラス基板を支持す
る場合にも適用してもよい。
ラーフィルタ基板１を支持するものを例にとって説明し
たが、これに限ることなくその他のガラス基板を支持す
る場合にも適用してもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、表示
用ガラス基板の周囲を支持する支持部材の中央部に静圧
軸受パッドを設け、この静圧軸受パッドから高圧ガスを
噴き出してガラス基板の中央部付近を非接触で支持する
ようにしたので、ガラス基板の反りや撓みが小さくな
り、吸着固定できなくなるのを防止でき、センサによる
検出能力がどこでも一定にすることができる。
用ガラス基板の周囲を支持する支持部材の中央部に静圧
軸受パッドを設け、この静圧軸受パッドから高圧ガスを
噴き出してガラス基板の中央部付近を非接触で支持する
ようにしたので、ガラス基板の反りや撓みが小さくな
り、吸着固定できなくなるのを防止でき、センサによる
検出能力がどこでも一定にすることができる。
【図１】この発明の一実施形態のテーブルスキャン方向
の断面図である。
の断面図である。
【図２】この発明の一実施形態のテーブルスキャン方向
と直交する方向の断面図である。
と直交する方向の断面図である。
【図３】軸受パッドの詳細を示す図である。
【図４】軸受パッドの他の例を示す図である。
【図５】従来のカラーフィルタ基板やＰＤＰパネルの検
査装置の外観図である。
査装置の外観図である。
【図６】従来のカラーフィルタ基板やＰＤＰパネルの検
査装置の縦断面図である。
査装置の縦断面図である。
【図７】バキュームチャックの上にカラーフィルタ基板
を載置したときの断面図である。
を載置したときの断面図である。
【図８】１枚のガラス基板でカラーフィルタパネルを多
面取りした例を示す図である。
面取りした例を示す図である。
１ カラーフィルタ基板 ２ バキュームチャック ３ 光源 ４ 結像レンズ ５ ＣＣＤラインセンサ ８ 溝部 ９ 細孔 １０ ガラス基板支持治具 １１ 供給通路 １２ 軸受パッド １３ ノズル １４ 溝 １５ 回収溝 １６ 回収孔
Claims (3)
- 【請求項１】 表示用ガラス基板を検査するために該表
示用ガラス基板を支持する支持装置であって、 前記表示用ガラス基板の周囲を支持するための支持部材
と、 前記支持部材の中央部に設けられ、高圧ガスを噴き出し
て前記表示用ガラス基板の中央部付近を非接触で支持す
る静圧軸受パッドとを備えた、ガラス基板の支持装置。 - 【請求項２】 前記静圧軸受パッドには、前記噴き出し
た高圧ガスを回収するための回収溝と回収孔とが設けら
れることを特徴とする、請求項１のガラス基板の支持装
置。 - 【請求項３】 前記支持部材は移動可能であって、 前記静圧軸受パッドに供給する空気圧を前記支持部材の
移動に同期させて可変にしたことを特徴とする、請求項
１または２のガラス基板の支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26453896A JPH10110891A (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | ガラス基板の支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26453896A JPH10110891A (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | ガラス基板の支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10110891A true JPH10110891A (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=17404665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26453896A Withdrawn JPH10110891A (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | ガラス基板の支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10110891A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100456092C (zh) * | 2002-03-22 | 2009-01-28 | 乐金显示有限公司 | 液晶显示装置的基板粘合设备及其驱动方法 |
| JP2010118362A (ja) * | 2010-03-04 | 2010-05-27 | Ntn Corp | 微細パターン修正方法 |
-
1996
- 1996-10-04 JP JP26453896A patent/JPH10110891A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100456092C (zh) * | 2002-03-22 | 2009-01-28 | 乐金显示有限公司 | 液晶显示装置的基板粘合设备及其驱动方法 |
| JP2010118362A (ja) * | 2010-03-04 | 2010-05-27 | Ntn Corp | 微細パターン修正方法 |
| JP4540748B2 (ja) * | 2010-03-04 | 2010-09-08 | Ｎｔｎ株式会社 | 微細パターン修正方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040106 |