TW201212284A - Light-emitting device manufacturing method, light-emitting device, lighting device, backlight, liquid-crystal panel, display device, display device manufacturing method, display device drive method and liquid-crystal display device - Google Patents

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TW201212284A
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substrate
rod
emitting element
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Tetsu Negishi
Akihide Shibata
Kenji Komiya
Fumiyoshi Yoshioka
Hiroshi Iwata
Akira Takahashi
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Sharp Kk
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Description

201212284 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種發光裝置之製造方法、發光裝置、照 明裝置、背光、液晶面板、顯示裝置、顯示裝置之製造方 法、顯示裝置之驅動方法及液晶顯示裝置。又,本發明例 如關於一種具有直下型背光之液晶顯示裝置。 【先前技術】 先前’作為發光裝置而存在如下者:如圖109所示,於 安裝有導線架901之封裝基板900上安裝1個(或數個)led (Light Emitting Diode,發光二極體)晶片 91〇,將 LED晶片 910之η型電極905與p型電極906藉由接線911而分別連接於 導線架901之後,於由反射板921包圍之LED晶片910上填 充包含螢光體之樹脂922,進而於包含該螢光體之樹脂922 上填充透明樹脂923(例如,參照非專利文獻1) ^上述led 晶片910中,於藍寶石基板9〇2上積層有包含GaN之半導體 層903 ’且於該半導體層903具有活性層9〇4 » 上述發光裝置之製造方法中存在如下問題:將1個(或數 個)LED晶片910安裝於封裝基板900上之後的配線步驟係對 1個封裝個別地進行,因此成本變高。 又’搭載有上述1個(或數個)LED晶片之發光裝置存在如 下問題:每個LED晶片之亮度不均直接成為發光裝置之亮 度不均,因此發光裝置之良率較差。 又’先前’作為發光裝置而存在松下電工技報v〇1 53, No· 1,4〜9頁(非專利文獻2)中所記載者。 154399.doc 201212284 圖110表示上述文獻之發光裝置之立體圓。 於圖110中’ 3015為封裝之LED晶片。 如圖m所示’該發光裝置係將封裝之各㈣晶片則 配置於特定位置以生成所期望之光。 上述發光裝置具有如下優點:由於將封裝之各㈣晶片 3〇15於特定位置配置有複數個,故而可獲得所期望之光之 出射光量。 然而’先前技術中存在如下問題:於封裝步驟及安裝步 敎任-者中,均將LED晶片3()15及咖封裝—個個地個 別操作而配置於基板上,故而封裝成本及安裝成本變高。 又,先前,作為顯示裝置,例如存在曰本專利特開 2〇〇2-353517號公報(專利文獻!)中所揭示者。該顯示裝置 中,將複數個LED(發光二極體)晶片配置為二維矩陣狀。 更詳細而言’將出射光為藍色之LED晶片、出射光為綠色 之LED晶片 '及出射光為紅色之LED晶片配置於互不相同 之基板上,且使用該3片基板實現全彩顯示。 又,上述藍色LED晶片係經由導線而與搭載該藍色lEd 晶片之基板上之電極(接合墊)電性連接。與此相同地,上 述綠色LED晶片係經由導線而與搭載該綠色>LED晶片之基
板上之電極電性間接連接,又,上述紅色㈣晶片係經Z 導線而與搭載該、红色LED晶片《基板上之電極電性間接連 接。 然而,上述先前之顯示裝置係使各LED晶片與基板上之 電極經由導線而電性連接,故而需要形成該導線之線接合 154399.doc 201212284 步驟。 因此,上述先前之顯示裝置中,存在隨著導線之形成而 製造成本增加之問題。 又’先前以來’液晶顯示裝置具有液晶面板及照射該液 晶面板之背光裝置。 上述液晶面板具有薄膜電晶體基板與彩色濾光片基板, 該兩者基板係相互平行地對向配置,於該兩者基板之間填 φ 充有液晶。 上述背光裝置配置於上述液晶面板之正下方,且具有與 液晶面板之基板不同之基板、及配置於該不同之基板上之 發光元件(參照曰本專利特開2009-181883號公報:專利文 獻2)。 然而,上述先前之液晶顯示裝置存在如下問題:由於背 光裝置之基板使用與液晶面板之基板不同之基板,故而背 光裝置變厚,從而導致液晶顯示裝置變厚。 _ [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2002-3535 17號公報 、 [專利文獻2]曰本專利特開2009-181883號公報 [非專利文獻] [非專利文獻1]村上元著,「第13次LED.LD用半導體封 裝技術之變遷」,Semiconductor FPD World,Pressjournal 社 ’ 2009年 5 月號,ρ.114〜117(圖 5)。 [非專利文獻2]松下電工技報vol. 53, No. 1,4〜9頁。 154399.doc 201212284 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 因此纟發明之課題在於提供一種藉由將配置於同一基 板上之複數個發光元件共同配線而可降低製造成本,且可 減小特性不均而提高良率之發光裝置之製造方法及藉由該 發光裝置之製造方法而製造之發光裝置。 又’本發明之另一課題在於提供一種可降低製造成本, 且可減小特性不均並提高良率之照明裝置。 又,本發明之另一課題在於提供一種可降低製造成本, 且可減小特性不均而提高良率之背光。 又,本發明之另一課題在於提供一種可降低製造成本, 且可減小特性不均而提高良率之液晶面板。 又,本發明之課題在於提供一種可抑制封裝成本及安裝 成本之發光裝置之製造方法。 又本發明之課題在於提供一種可以低成本製造,且可 實現高精細之顯示之顯示裝置。 又’本發明之課題在於提供一種使由發光元件構成之背 光部形成得較薄之薄型液晶顯示裝置。 [解決問題之技術手段] 為了解決上述課題,第丨發明之發光裝置之製造方法之 特徵在於包括: 配置步驟,於同一基板上配置複數個發光元件; 配線步驟’將配置於上述基板上之上述複數個發光元件 之—部分或全部共同配線;及 154399.doc -6 - 201212284 基板分割步驟,於上述配置步驟與上述配線步驟之後, 將上述基板分割為複數個分割基板,藉此形成複數個於上 述分割基板上配置有複數個發光元件之發光裝置。
根據上述構成,將配置於同一基板上之複數個發光元件 共同配線之後,將基板分割為複數個分割基板,從而形成 複數個於分割基板上配置有複數個發光元件之發光裝置, 藉此可簡化配線步驟而降低製造成本。又,於將η個具有 X0/。之焭度不均之發光元件加以集合時,整體之亮度不均 成為Y=X/Vii[%] ’故而可減小特性不均而提高良率。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述配置步驟中,將上述複數個發光元件共同配置於 上述同一基板上。 根據上述實施形態,於上述配置步驟中’將複數個發光 元件共同配置於同一基板上,藉此與配線步驟之簡化相互 結合可進一步降低製造成本。 又,一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述基板上形成用α對上述複數個發光元件進行配線 之配線圖案, 於上述基板分割步驟中之上述基板之叫區域未形成上 述配線圖案。 根:上述實施形態’為對複數個發光元件進行配線而形 成於基板上之配線圖案未形成於基板分料財之基板之 切斷區域,藉此不會於 會於切斷時散洛導電性之配線碎屑,從 而可防止因導電性夕财妯表叶自攸 之配線碎屑所引起之短路等不良情況。 154399.doc 201212284 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述基板上形成用以對上述複數個發光元件進行配線 之配線圖案, 於上述基板之切斷區域形成有即便於上述基板分割步驟 中被切斷亦不會影響到電性連接之上述配線圖案。 根據上述實施形態’於基板之切斷區域形成有即便於基 板分割步驟中切斷亦不會影響到到電性連接之配線圖案, 藉此可跨鄰接之分割基板連續形成配線圖案,配線圖案形 成變得容易,並且於基板分割時即便切斷亦不會導致電路 動作產生問題。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述基板分割步驟中之上述基板之切斷區域未配置上 述發光元件。 根據上述實施形態’於基板分割步驟中之基板之切斷區 域未配置發光元件,藉此不存在因切斷而破損之發光元 件,可有效活用發光元件。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述基板之切斷區域,配置有上述複數個發光元件 中、即便於上述基板分割步驟中被切斷亦不會影響到所期 望之發光量之發光元件。 根據上述貫施形態,上述複數個發光元件中,即便於基 板分割步驟中切斷亦不會影響到所期望之發光量之發光元 件配置於基板之切斷區域,藉此即便因切斷而破損之發光 元件不發光,亦會藉由未被切斷之其他複數個發光元件進 154399.doc 201212284 行發光。因此無需考慮於配置步驟中不將發光元件配置 於基板之切斷區域’從而可簡化配置步驟。 又,一實施形態之發光裝置之製造方法包括: 螢光體塗佈步驟,於上述配置步驟與上述配線步驟之後 且上述基板分割步驟之前,於上述基板上塗佈螢光體;及 保護膜塗佈步驟,於上述螢光體塗佈步驟之後於上述基 板上塗佈保護膜。 根據上述實施形態,於配置有複數個發光元件之1個基 板上一次進行上述配置步驟、於配線步驟之後且基板分割 步驟之前於基板上塗佈螢光體之螢光體塗佈步驟、及於該 螢光體塗佈步驟之後於上述基板上塗佈保護膜之保護膜塗 佈步驟’藉此與先前之針對每個封裝進行之情形相比可大 幅降低製造成本。 又,一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述螢光體塗佈步驟中,上述螢光體係選擇性地塗佈 於配置有上述複數個發光元件之區域。 根據上述實施形態,於配置有複數個發光元件之區域選 擇性地塗佈螢光體,藉此可減少材料費中佔較大比率之瑩 光體之使用量,從而可削減成本。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述分割基板之各個上配置有1 00個以上之上述發光 元件。 根據上述實施形態,於分割基板之各個上配置100個以 上之發光元件,藉此可使集合具有亮度不均之複數個發光 154399.doc •9- 201212284 元件時之整體之亮度不均降低至1個發光元件之亮度不均 之1 /10以下。 通常,每個發光元件之亮度不均亦有時會因順方向電壓 (Vf)之不均而達到50°/〇。先前’藉由點燈測試而排除偏離 規格之發光元件,或者將同樣亮度之發光元件劃分為群組 而使用。然而,於將η個具有X%之亮度不均之發光元件加 以集合時,整體之亮度不均成為γ=χ/>Γη[%]。即,η=ι〇〇 時,即便各發光元件具有50。/。之不均,整體之亮度不均亦 會成為該不均之1/1〇即5%,從而可符合規格。藉此,無需 進行各發光元件之點燈測試,從而可削減成本。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述基板分割步驟中,將上述基板分割為至少2種以 上之形狀不同之上述分割基板。 根據上述實施形態,於基板分割步驟中,將基板分割為 至少2種以上之形狀不同之分割基板,藉此可容易地提供 與各種形態對應之發光裝置。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 於上述基板上配置上述複數個發光元件之配置步驟包 括: 基板製作步驟,製作於安裝面至少具有第1電極及第2電 極之上述基板; 塗佈步驟,於上述基板上塗佈包含上述複數個發光元件 之溶液;及 排列步驟,對至少上诚笸! Φ L 1 上达第1電極與上述第2電極施加電 154399.doc 201212284 壓,使上述複數個發光元件排列於至少藉由上述第丨電極 及上述第2電極而規定之位置。 根據上述實施形態,製作於安裝面具有至少第丨電極及 第2電極之基板’於該基板上塗佈包含複數個發光元件之 液體。其後,對至少第1電極與第2電極施加電壓,將複數 個發光70件排列於藉由至少第丨電極及第2電極而規定之位 置。藉此,可使上述複數個發光元件容易地排列於基板上 之特定位置。因此,無需如先前般將發光二極體一個個地 配置於基板上之特定位置,可使多數個微細的發光二極體 精度佳地配置於特定位置。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 至少上述第1電極及上述第2電極用作為用以驅動上述複 數個發光元件之電極。 根據上述實施形態,至少第丨電極及上述第2電極用作用 以驅動複數個發光元件之電極,藉此可簡化配線步驟而削 減成本。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 上述複數個發光元件為棒狀’ 以上述複數個發光元件之長度方向相對於上述基板之安 裝面平打之方式,將上述複數個發光元件配置於上述基板 之安裝面上。 根據上述實施形態,以棒狀之複數個發光元件之長度方 向相對於基板之安裝面平行之方式,將複數個發光元件配 置於基板之安裝面上,藉此可使轴向(長度方向)相對於徑 154399.doc 201212284 故而於發光元件之發光面之面積相同之 向之長度比變大 條件下較之發光面為平坦的正方形時可更有效地進行向基 ㈣之橫向之熱流出,進一步抑制發光時之溫度上升,從 而貫現更長壽命化、高效率化。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 上述棒狀之發光s件具有同心狀地包圍棒狀之芯的筒狀 之發光面。 根據上述實施形態,棒狀之發光元件具有同心狀地包圍 棒狀之芯的筒狀之發光面,#此與同—體積且具有平坦的 發光面之發光元件相比’每!個發光元件之發光面之面積 增大’可削減用以獲得特定亮度之發光元件數從而可削 減成本。 又’一實施形態之發光裝置之製造方法中, 上述棒狀之發光元件包括:第!導電型 <棒狀之半導體 芯;及覆蓋該半導體芯之外周之第2導電型之筒狀之半導 體層, 上述棒狀之發光元件之上述半導體芯之—端側露出。 根據上述實施形態,棒狀之發光元件包括第丨導電型之 棒狀之半導體芯、及覆蓋該半導體芯之外周之第2導電型 之筒狀之半導體層,半導體芯之一端側露出,藉此可於半 導體芯之-端側之露出部分連接_方之電極,於半導體父、 之另-端側之半導體層連接電極,可於兩端將電極分開連 接’防止連接於半導體層之電極與半導體芯之露出部分短 路,故而可容易地配線。 154399.doc -12· 201212284 又,一實施形態之發光裝置之製造方法中, 上述複數個發光元件係形成於磊晶基板上之複數個元 件’且係將上述各元件自上述磊晶基板上分離者。 根據上述實施形態,形成磊晶基板上所形成之複數個元 件,並使用自該磊晶基板上分離之複數個發光元件,藉此 與針對每個發光元件將磊晶基板分斷而使用之情況相比, 可再利用磊晶基板,故而可降低成本。 # 又,第2發明之發光裝置之特徵在於包括: 自-1個基板分割而得之分割基板; 配置於上述分割基板上之複數個發光二極體;及 於上述分割基板上空開特定間隔而形成,且由上述複數 個發光二極體所連接之第1電極與第2電極; 上述複數個發光二極體中共存有陽極連接於上述第1電 極且陰極連接於上述第2電極之發光二極體,與陰極速接 於上述第1電極且陽極連接於上述第2電極之發光二極體; •藉由交流電源對上述第1電極與上述第2電極之間施加交 流電壓而驅動上述複數個發光二極體。 根據上述構成,無需使連接於上述第丨、第2電極間之複 數個發光二極體之極性一致而排列’故而不需要製造時使 複數個發光二極體之極性(方向)一致之步驟,從而可簡化 步驟。又,無需於發光二極體上設置標記以識別發光二極 體之極性(方向)’且無需使發光二極體為特別之形狀以識 別極性,故而可簡化發光二極體之製造步驟,亦可抑制製 造成本。再者,於發光二極體之尺寸較小之情形時或發光 154399.doc 13 201212284 二極體之個數較多之情形時,與使極性一致而排列發光二 極體之情況相比,可格外簡化上述配置步驟。 又,一實施形態之發光裝置中, 上述分割基板安裝於散熱板上。 根據上述實施形態’將分割基板安裝於散熱板上,藉此 散熱效果進一步提高。 又’第3發明之照明裝置之特徵在於包括上述發光裝 置。 根據上述構成,藉由使用上述發光裝置,可降低製造成 本’且可減小特性不均並提高良率。 又’第4發明之背光之特徵在於包括上述發光裝置。 根據上述構成,藉由使用上述發光裝置’可降低製造成 本’且可減小特性不均並提高良率。 又’第5發明之液晶面板之特徵在於包括上述發光裝 置。 根據上述構成,藉由使用上述發光裝置,可降低製造成 本’且可減小特性不均並提高良率。 又’第6發明之液晶面板之特徵在於包括: 透明基板; 複數個發光元件’其配置於上述透明基板之一面,且連 接於形成於上述透明基板之一面之配線;及 複數個薄膜電晶體,其形成於上述透明基板之另一面。 根據上述構成’藉由使用設液晶面板基板與背光基板為 一體之透明基板’可降低零件成本與製造成本,並且可獲 154399.doc 14 201212284 得更薄型之液晶面板。 又’第7發明之液晶面板之特徵在於包括: 透明基板; 複數個發光元件,其配置於上述透明基板之一面,且連 接於形成於上述透明基板之一面之配線;及 彩色濾光片’其形成於上述透明基板之另一面。 根據上述構成,藉由使用設彩色濾光片與背光基板為一 體之透明基板,可降低零件成本與製造成本,並且可獲得 更薄型之液晶面板。 又’本發明之發光裝置之製造方法之特徵在於包括: 基板準備步驟’準備具有第1電極與第2電極之第1基 板; 元件供給步驟,使具有第1液體與位於該第1液體内之複 數個發光元件之含元件液體位於上述第1基板上;及 几件排列步驟,對上述第丨電極與上述第2電極施加電 壓’且將兩個以上之上述發光元件排列於根據藉由施加上 述電壓而生成之電場所決定之預先規定之位置。 根據本發明,不個別地操作一個個發光元件,可以一次 處理將複數個發光元件排列於特定場所,故而可削減製造 成本。 又’一實施形態中, 於上述元件排列步驟中,使上述含元件液體相對於上述 第1基板而相對移動。 根據上述實施形態’發光元件於第1基板之表面附近隨 154399.doc 201212284 著液體之流動而移動,發光元件可藉由第〗電極與第2電極 所規疋之特定場所而於短時間接近。因此,可縮短發光元 件之排列時間。 又,一實施形態中, 包括與上述第1基板大致平行地配置第2基板之第2基板 配置步驟, 於上述元件供給步驟中,將上述含元件液體填充於上述 第1基板與上述第2基板之間。 根據上述實施形態,藉由相互大致平行地配置之第!基 板及第2基板,可防止液體之蒸發,故而可精度佳且良率 佳地將發光元件排列於特定場所。 又,一實施形態中, 上述第2基板具有與上述第丨電極及上述第2電極對向之 第3電極, 於上述元件供給步驟及上述元件排列步驟中之至少一步 驟中,對上述第1電極與上述第3電極之間施加電壓。 根據上述實施形態,對第丨電極與第3電極之間施加非對 稱的電壓,藉此可使發光元件於第丨電極方向或第3電極方 向移動。因此,可縮短排列時間,且,可將未排列之發光 元件迅速地回收等。 又,一實施形態中, 於上述兀件排列步驟中,使上述含元件液體於上述第1 基板與上述第2基板之間流動。 根據上述實施形態,藉由第丨基板與第2基板可規定含元 154399.doc 1Λ 201212284 件液體之流路,可防止液體蒸發,且可防止因氣化引起之 冷卻而產生對流,故而可精度佳且良率佳地將發光元件排 列於特定場所。 又,根據上述實施形態,發光元件於第丨基板之表面附 近隨著液體之流動而移動,因此發光元件容易接近由第1 電極與第2電極所規定之特定場所,從而可縮短排列於該 場所之時間。 又,根據上述實施形態,藉由使第丨基板與第2基板之間 隙與第1基板上之場所無關而固定,可使液體之流速與第i 基板上之場所無關而固定,故而可良率佳地將發光元件排 列於特定場所。 又,根據上述實施形態,藉由調整注入至由第丨及第2基 板所規定之流路中之液體之量,可容易地改變液體之流 速’故而可良率佳地使發光元件排列於特定場所。 又’一實施形態中, 以絕緣膜覆蓋上述第1電極之表面及上述第2電極之表 面。 根據上述實施形態,第1及第2電極中不流動電流,故而 可使電壓降非常小,從而可使排列之良率提高。若第^基 板之規模變大而使所排列之發光元件為多數,則第丨及第2 電極之配線長度變長’電壓降變得明顯,存在無法於配線 未端進行排列之虞。 又’根據上述實施形態,於第1電極與第2電極之間電流 不流過’故而可防止因電化學效應而導致電極溶解卫可 154399.doc -17- 201212284 防止斷線或液體污染所致之排列良率之惡化。於金屬電極 接觸於電解液之狀態下,若使電壓施加至電極間,則金屬 於電解液中溶出。 又,一實施形態中, 上述第1基板之表面包含與上述發光元件之表面之材料 相同之材料。 根據上述實施形態’可使固著於第丨基板表面之發光元 件減少,從而可使排列良率提高。其原因在於,於發光元 件與第1基板之表面之材料相同之情形時,動電位相同, 相互排斥’可防止發光元件固著於第1基板之表面。 又,一實施形態中, 上述含元件液體包含界面活性劑。 根據上述實施形態’可防止發光元件彼此凝結或者發光 元件固著於絕緣膜、基板、電極。 又,一實施形態中, 上述各發光元件中之不同之2點之最長距離為50 μηι以 下。 根據上述實施形態’即便係最大尺寸為5 〇 pm以下之發 光元件,亦與發光元件之個數無關而可容易地配置於特定 場所。若進一步說明,則可說適於排列微細的物體。藉由 排列多數個微小尺寸之發光元件,於可降低面照明等之亮 度不均之方面較為有效。 又,一實施形態中, 上述複數個發光元件之各個具有棒狀之形狀。 •18· 154399.doc 201212284 、根據上述實施形態,由於發光元件為棒狀,故而可將發 光元件之端固疋於第1電極上,將發光元件之另一端固 定於第2電極。因此,可使對準精度優異。 又’一實施形態中, 上述發光元件包括: 圓柱狀之第1導電型之第1半導體層; 筒狀之里子井層,其以覆蓋上述第1半導體層之外周面 之方式配置;及 筒狀之第2導電型之第2半導體層,其以覆蓋上述量子井 層之外周面之方式配置。 換έ之,發光元件形成為n型半導體-量子井邛型半導體 形成於同軸上之怒-殼_殼構造,或者形成為ρ型半導體-量 子井-η型半導體形成於同軸上之芯·殼·殼構造。 根據上述實施形態,於棒狀發光元件之側面之大致整個 面形成發光層,故而可使每—個棒狀發光元件之發光面積 變大。 又,一實施形態中, 上述複數個發光元件之各個具有棒狀之形狀, 與上述各發光元件之延伸方向垂直之剖面之直徑大於 500 nm。 根據上述實施形態,可使所排列之棒狀發光元件之強度 變大’從而可使所排列之棒狀發光元件不彎曲。因此,可 使發光元件内之應力變小’從而可抑制因應力所致之發光 效率之降低。 154399.doc •19- 201212284 又,一實施形態中, 上述發光元件包括: 圓柱狀之第1導電型之第1半導體層; 筒狀之量子井層’其以覆蓋上述第i半導體層之外周面 之方式配置;及 筒狀之第2導電型之第2半導體層,其以覆蓋上述量子井 層之外周面之方式配置;且 與上述各發光元件之延伸方向垂直之剖面之直徑大於 500 nm。 換言之,各發光元件形成為棒狀之芯·殼殼構造,且, 各發光元件之直徑大於500 nm。 根據上述實施形態,可使各發光元件之光之發光量充 足,故而即便對1個電極對僅排列一個發光元件,亦可獲 得充分之發光密度。 又,一實施形態中, 包括元件排出步驟,其將上述複數個發光元件中未排列 於上述預先規定之位置之發光元件排出。 根據上述貫施形態,可將未排列於特定場所之發光元件 加以回收並排列於其他第1基板,從而可降低發光裝置之 製造成本。 又,根據上述實施形態,可防止未排列於特定場所之發 光元件於乾燥後等凝結而產生配線不良。 又,一實施形態中, 包括元件固定步驟,其於上述元件排列步驟之後,對上 154399.doc •20· 201212284 述第1電極與上述第2電極之間,施加比上述元件排列步驟 中施加於上述第1電極與上述第2電極之間之電壓高的電 壓,而將排列於上述預先規定之位置之上述發光元件固定 於該預先規定之位置。 根據上述實施形態,可將發光元件固定於特定位置,故 而可使對準精度優異。 又,根據上述實施形態,於液體之流動變快之情形時發 光元件亦不會移動,又,於將液體去除時,發光元件亦不 會移動’故而可使對準精度格外優異。 又,一實施形態中, 包括基板乾燥步驟,其於上述元件排列步驟之後,將上 述第1基板之.表面乾燥。 根據上述實施形態,藉由基板乾燥步驟而將發光元件固 定於電極間。又,藉由基板乾燥步驟,可於第丨基板之表 面形成保護膜,從而可保護發光元件。 又,一實施形態中, 上述含元件液體之表面張力為50 mN/m以下。 根據上述實施形態, 若第1基板之表面於被表面張力較大之液體濡濕之狀態 下乾燥’則由於乾燥中液體之表面接觸於發光元件而導致 發光元件移動,從而有時會產生對準偏移。根據上述實施 形態’由於使用表面張力較小之液體,故而可防止對準偏 移。 又,一實施形態中, 154399.doc 21 201212284 上述含元件液體之表面張力為30 mN/m以下。 根據上述實施形態,由於使用表面張力比50 mN/m小之 液體,故而可確實地防止對準偏移。 又,一實施形態中, 包括液體更換步驟,其於上述元件供給步驟之後且上述 乾燥步驟之前’將上述第1液體更換為表面張力比該第1液 體小之第2液體。 根據上述實施形態’於發光元件之排列時,可使用表面 張力較大之液體(任意之液體),另一方面,於乾燥時,可 使用表面張力較小之液體。因此,於排列時可使用生成較 大之靜電感應之效果之液體而可有效地進行發光元件之排 列’並且可於乾燥時使用表面張力較小之液體而可防止發 光元件之對準偏移。 又,一實施形態中, 上述各發光元件於該發光元件之表面具有第丨區域與第2 區域,並且藉由對上述第丨區域與上述第2區域施加電壓而 發光, 且該製造方法包括元件連接步驟,其以導電體將上述第 1區域與上述第1電極連接,並且以導電體將上述第2區域 與上述第2電極連接。 根據上述實施形態,以導電體將發光元件與第1電極連 接,並且以導電體將發光元件與第2電極連接,故而可使 第1及第2電極與微小的發光元件之電性連接良好。因此, ; 述第1電極與第2電極之間施加電壓而使發光裝置發 154399.doc 201212284 光時,可確實地防止電壓變為與發光元件無關之狀態(短 路)。 又’一實施形態中, 上述發光元件於該發光元件之表面具有第1區域與第2區 域,並且藉由對上述第1區域與上述第2區域施加電壓而發 光, 且該製造方法包括追加電極形成步驟,其形成第4霓極 ® 與第5電極,該第4電極連接於排列於上述預先規定之位置 之上述兩個以上之發光元件的兩個以上之上述第1區域, 該第5電極連接於排列於上述預先規定之位置之上述兩個 以上之發光元件的兩個以上之上述第2區域。 根據上述實施形態,藉由對第4電極與第5電極施加電 壓,可對發光元件施加電壓,從而不使用第丨電極與第2電 極即可對發光元件施加電壓。因此,可將與上述發光元件 之排列時之電極構造(第1電極及第2電極)不同的構造之配 •線(第4電極及第5電極)使用於向發光元件施加電壓,可使 電壓施加之自由度變大,從而電壓施加變得容易。 又,一實施形態中, 包括於上述元件排列步驟之後,將上述第丨基板分斷之 基板分斷步驟。 根據上述實施形態,以一次之發光元件之排列可形成將 複數個發光元件排列於特定場所之複數個基板,從而可削 減製造成本。 又,一實施形態中, 154399.doc •23· 201212284 在上述元件排列步驟中, r 於上述第1基板上排列1000個 以上之上述發光元件。 根據上述貫施形態,益靈用以仏左技卜__,山 用以檢查發光元件之成本,從 而可削減製造成本。 又(丨)’本發明之顯示裝覃之特徵在於包括: 基板; 複數條第1配、線,装|V( β , % 兵乂 /0 一方向延伸之方式形成於上述 基板上; 複數條第2配線,其以沿另—方向延伸之方式形成於上 述基板上;及 複數個發光元件,其矩陣狀地配置於上述基板上;且 上述各發光元件之一端部與上述複數條第丨配線中之一 者電性直接連接,並且上述各發光元件之另一端部與上述 複數條第2配線中之一者電性直接連接, 上述各發光元件之長度相對於寬度之比為5以上且4〇0以 下’且其長度為0.5 μπι以上200 μηι以下。 此處,上述發光元件具有圓形狀、橢圓形狀、矩形狀、 多邊形狀等之剖面,亦可為呈一直線狀或曲線狀等延伸、 或者具有彎曲部者。 又’所謂上述「寬度」係指發光元件中最粗部分之寬 度。 根據上述構成,上述各發光元件之一端部與上述複數條 第1配線中之一者電性直接連接,並且上述各發光元件之 另一端部與上述複數條第2配線中之一者電性直接連接, 154399.doc 201212284 故而不需要上述先前之顯示裝置中所必需之導線。其結 果,較之上述先前之顯示裝置可削減材料費及製造步驟, 從而可以低成本製造。 又,因不需要上述導線故而亦不需要接合墊,從而亦可 不於發光元件彼此之間配置接合塾,從而可使發光元件彼 此之間隔變窄。而且,由於長度相對於寬度之比為5以上 且400以下,且該長度為〇.5 μίη以上2〇〇 以下,故而上 述各發光元件非常小。因此,本發明之顯示裝置可使包含 發光元件之像素部非常小,從而可實現高精細之顯示。 又,由於上述長度相對於寬度之比為5以上且4〇0以下, 且,使該長度為200 μπι以下,故而藉由對第J配線與第2配 線之間施加電壓,可將發光元件容易地配置於該第丨配線 與第2配線之間。 若上述長度相對於寬度之比小於5 ’或者該比超過4〇〇, 或者該長度超過200 μιη,則即便進行上述電壓之施加,向 第1配線與第2配線之間配置發光元件亦較為困難。 又’由於使上述各發光元件之長度為〇.5 μιη以上,故而 可提高發光強度而獲得所期望之發光強度。 若使上述各發光元件之長度小於〇.5 ,則發光強度 低’無法獲得所期望之發光強度。 上述先前之顯示裝置中,於LED晶片彼此之間插入接合 墊,故而無法使LED晶片彼此之間隔變窄,現實上實現高 精細之顯示較為困難。 又,由於上述發光元件之長度相對於寬度之比為ί;以 154399.doc -25- 201212284 上,故而發光元件為棒狀。藉此,可使自與上述發光元件 之一端部電性直接連接之第丨配線之部分至與該發光元件 之另一端部電性直接連接之第2配線之部分為止的距離變 大°若換種說法,則可使形成於上述發光元件之一端部之 電性接觸部與形成於該發光元件之另一端部之電性接觸部 之間的距離變長》其結果,上述第丨配線及第2配線之形成 步驟變得容易,故而可降低製造成本。 以下,使用圖95、圖96對使上述長度相對於寬度之比為 5以上所帶來之作用效果進行更詳細說明。 首先’假設存在圖95、圖96之發光元件1、2。上述發光 元件1係上表面為正方形(W1=L1)且厚度為hi、體積為 V1=W1xL1xH1=W12xH1。另-方面,上述發光元件2為棒 狀,厚度H2與發光元件丨之厚度m相等,寬度|2小於發光 元件1之寬度W1 ’長度L2大於發光元件1之長度L〗,體積 V2與體積vi相等。於該情形時,W2xL2=wixLi成立。而 且,由於上述發光元件!之體積V1與發光元件2之體積ν2 φ 相等故而發光元件1之材料(例如高價之GaN)與發光元件 2之材料之成本相同。 於將上述發光元件1、2與2條配線電性連接之情形時, 發光το件1中可於區域A1、B1B成電性接觸部,另一方 面,發光元件2中可於區域A2、…形成電性接觸部。於可 於亡述區域A1、A2、B1、B2之各個形成電性接觸部時, 發光70件1之電性接觸部間之距離約為L1,發光元件2之電 ί1生接觸間之距離約為L2。藉此’相較於與上述發光元件 154399.doc -26· 201212284 1相關之2條配線間之距離,與發光元件2相關之2條配線間 之距離變長。
如此’上述發光元件2相關之2條配線間之距離變長之情 況’由於用以配線之例如曝光裝置為低規格則足夠,故而 可降低裝置成本》又’上述配線間之距離越長,則越難引 起配線不良,故而亦獲得良率提高之效果。進而,若使上 述配線間之距離為1 〇 μιη以上,則配線製程中使用喷黑變 得容易,故而可適用捲軸之低成本製程。 因此,藉由使上述發光元件之長度相對於發光元件之寬 度之比為5以上而使發光元件為棒狀,故而不增加發光元 件之材料成本即可降低裝置成本,可提高良率,從而可降 低總製造成本。 (2) —實施形態之顯示裝置係如上述之顯示裝置, 其中 上述發光元件包含: 棒狀之第1導電型半導體;及 第2導電型半導體,其同轴狀地覆蓋上述第i導電型半導 體之一部分。 此處,所謂上述「第巧電型」係指p型或職。又,所 謂上述「第2導電型」係指於^導電型為?型情形時為N 型,而於第1導電型為N型情形時為卩型。 根據上述貫施形態’由於上成笛,道+ 上述第2導電型半導體呈同軸 狀地覆蓋棒狀之第1導電型半導俨 干导體之一部分,故而發光元 件之發光面積變大。因此,可槎离 J权冋上述顯示裝置之亮度。 154399.doc -27- 201212284 (3) —實施形態之顯示裝置係如上述(1)或(2)之顯示裝 置,其中 上述複數個發光元件包含出射紅色光之紅色發光元件、 出射綠色光之綠色發光元件、及出射藍色光之藍色發光元 件。 根據上述實施形態’由於上述複數個發光元件包含出射 紅色光之紅色發光元件、出射綠色光之綠色發光元件、及 出射藍色光之藍色發光元件’故而不使用螢光體即可實現 全彩顯示。 又’藉由將上述實施形態之顯示裝置使用於例如液晶顯 示裝置之背光’可自液晶顯示裝置去除彩色濾光片,從而 可降低液晶顯示裝置之製造成本》 又’於將上述實施形態之顯示裝置使用於例如液晶顯示 裝置之背光之情形時,可使液晶顯示裝置之色純度或亮度 提高。 (4) 一實施形態之顯示裝置係如上述(3)之顯示裝置, 其中 於上述紅色發光元件、綠色發光元件及藍色發光元件中 流動相同電流時’以將上述紅色發光元件發出之紅色光、 上述綠色發光元件發出之綠色光、及上述藍色發光元件發 出之藍色光混合則可獲得白色光之方式,調整上述紅色發 光元件、綠色發光元件及藍色發光元件之各自之發光面 積。 根據上述實施形態,於上述紅色發光元件、綠色發光元 154399.doc •28· 201212284 件及藍色發光元件令流動相同電流,且將紅色發光元件發 出之紅色光、綠色發光元件發出之綠色光、及藍色發光元 件發出之藍色光加以混合便可獲得白色光。 若於即便於上述紅色發光元件、綠色發光元件及藍色發 光元件中流動相同電流’且將紅色發光元件發出之紅色 光、綠色發光元件發出之綠色光、及藍色發光元件發出之 藍色光加以混合亦無法獲得白色光之情形時,必須調節流 過紅色發光元件、綠色發光元件及藍色發光元件之各個之 電流量用以於1個像素部獲得白色。其結果,會產生驅動 上述紅色發光元件、綠色發光元件及藍色發光元件之驅動 器電路變得複雜之問題。又,必須於上述紅色發光元件、 綠色發光元件及藍色發光元件中發光強度較弱之發光元件 流過較大之電流,從而亦存在該發光強度較弱之發光元件 之壽命變短之問題。 因此,上述實施形態之顯示裝置中,由於亦可不調節流 過紅色發光元件、綠色發光元件及藍色發光元件之各個之 電流量,故而可以簡單之驅動器電路獲得白色光,並且可 防止紅色發光元件、綠色發光元件及藍色發光元件之壽命 之劣化。 (5) —實施形態之顯示裝置係如上述(1)或(2)之顯示裝 置,其中 包括上述複數個發光元件之出射光所入射之複數個螢光 體, 上述發光元件之出射光為紫外光, 154399.doc •29· 201212284 上述複數個螢光體包含:入射上述紫外光而出射紅色光 之紅色螢光體;入射上述紫外光而出射綠色光之綠色螢光 體;及入射上述紫外光而出射藍色光之藍色螢光體。 根據上述實施形態,由於上述複數個螢光體包含因紫外 光之入射而出射紅色光之紅色螢光體、因紫外光之入射而 出射綠色光之綠色螢光體、及因紫外光之入射而出射藍色 光之藍色螢光體’故而僅以出射紫外光之發光元件即可實 現全彩顯示。 (6) —實施形態之顯示裝置係如上述(5)之顯示裝置, 其中 於上述複數個發光元件中流動相同電流時,以將上述紅 色螢光體發出之上述紅色光、上述綠色螢光體發出之上述 綠色光、及上述藍色螢光體發出之上述藍色光混合則可獲 得白色光之方式’調整上述複數個發光元件之各自之發光 面積。 根據上述實施形態’於上述複數個發光元件中流動相同 電流’且將紅色螢光體發出之紅色光、綠色螢光體發出之 綠色光、及藍色螢光體發出之藍色光加以混合便可獲得白 色光。 若於即便於上述複數個發光元件中流動相同電流,且將 紅色螢光體發出之紅色光、綠色螢光體發出之綠色光、藍 色螢光體發出之藍色光加以混合亦無法獲得白色光之情形 時’必須調節流過各發光元件之電流量。其結果,產生驅 動上述複數個發光元件之驅動器電路變得複雜之問題。 154399.doc -30- 201212284 又’必須於上述複數個發光元件中發光強度較弱之發光元 件中流過較大之電流,從而亦存在該發光強度較弱之發光 元件之壽命變短之問題。 因此’上述實施形態之顯示裝置中,由於亦可不調節流 過各發光元件之電流量,故而可以簡單之驅動器電路獲得 白色光’並且可防止複數個發光元件之壽命之劣化。 (7) 一實施形態之顯示裝置係如上述(1)至(6)之顯示裝 置,其中 上述基板為可撓性基板。 根據上述實施形態,由於上述基板為可撓性基板,故而 可提高基板之配置之自由度。 (8) 本發明之顯示裝置之製造方法之特徵在於包括: 第1配線形成步驟,於基板上形成沿一方向延伸之複數 條第1配線; 絕緣膜形成步驟,以覆蓋上述複數條第i配線之方式於 上述基板上形成絕緣膜; 露出步驟,藉由將上述絕緣膜之一部分去除而形成複數 個開口部,於上述各開口部内使上述第丨配線之一部分露 出; 第2配線形成步驟,於形成有上述複數個開口部之絕緣 膜上,形成沿另一方向延伸之複數條第2配線,將上述第2 配線之一部分放入上述各開口部内; 塗佈步驟,於上述第丨配線及上述第2配線上,塗佈包含 複數個發光元件之液體;及 154399.doc 31 201212284 排列步驟’對上述第1配線及第2配線施加電壓,以上述 發光元件之一端部位於上述開口部内之上述第1配線之一 部分上’且上述發光元件之另一端部位於上述開口部内之 上述第2配線之一部分上的方式,排列上述複數個發光元 件。 根據上述構成,於上述第1配線及第2配線上,塗佈包含 複數個發光元件之液體之後,對第1配線及第2配線施加電 壓’藉此可於各開口部内之第1配線之一部分上配置發光 元件之一端部,並且可於各開口部内之第2配線之一部分 上配置發光元件之另一端部,故而亦可不一個個地配置複 數個發光元件’可一次配置複數個發光元件。 (9) 一實施形態之顯示裝置之製造方法係如上述(8)之顯 示裝置之製造方法,其中 上述複數個發光元件包含:出射紅色光之複數個紅色發 光元件;出射綠色光之複數個綠色發光元件;及出射藍色 光之複數個藍色發光元件; 上述複數個開口部包含:用以配置上述紅色發光元件之 複數個紅色發光元件用開口部;用以配置上述綠色發光元 件之複數個綠色發光元件用開口部;及用以配置上述藍色 發光元件之複數個藍色發光元件用開口部; 上述第1配線之一部分於上述紅色發光元件用開口部 内、綠色發光元件用開口部内及藍色發光元件用開口部内 露出, 上述第2配線之一部分進入上述紅色發光元件用開口部 154399.doc -32- 201212284 内、綠色發光元件用開口部内及藍色發光元件用開口部 内, 上述塗佈步驟包括如下過程: 於上述第1配線及上述第2配線上,塗佈包含上述複數個 紅色發光元件之液體; 於上述第1配線及上述第2配線上,塗佈包含上述複數個 綠色發光元件之液體;及 • 於上述第1配線及上述第2配線上,塗佈包含上述複數個 藍色發光元件之液體; 上述排列步驟包括如下過程: 對與上述紅色發光元件對應之上述第1配線及第2配線施 加電壓,以上述紅色發光元件之一端部位於上述紅色發光 元件用開口部内之上述第1配線之一部分上,且上述紅色 發光元件之另一端部位於上述紅色發光元件用開口部内之 上述第2配線之一部分上的方式,排列上述複數個紅色發 ® 光元件; 對與上述綠色發光元件對應之上述第〗配線及第2配線施 加電壓’以上述綠色發光元件之一端部位於上述綠色發光 元件用開口部内之上述第1配線之一部分上,且上述綠色 發光元件之另一端部位於上述綠色發光元件用開口部内之 上述第2配線之一部分上的方式,排列上述複數個綠色發 光元件;及 對與上述藍色發光元件對應之上述第1配線及第2配線施 加電壓,以上述藍色發光元件之一端部位於上述藍色發光 154399.doc •33- 201212284 元件用開口部内之上述第1配線之一部分上,且上述藍色 發光元件之另一端部位於上述藍色發光元件用開口部内之 上述第2配線之一部分上的方式,排列上述複數個藍色發 光元件。 根據上述實施形態’藉由對與上述紅色發光元件對應之 第1配線及第2配線施加電壓’可於各紅色發光元件用開口 部内之第1配線之一部分上配置紅色發光元件之一端部, 並且於各紅色發光元件用開口部内之第2配線之一部分上 配置紅色發光元件之另一端部,故而亦可不一個個地配置 複數個紅色發光元件,可一次配置複數個發光元件。 又,藉由對與上述綠色發光元件對應之第1配線及第2配 線施加電壓’可於各綠色發光元件用開口部内之第1配線 之一部分上配置綠色發光元件之一端部,並且可於各綠色 發光元件用開口部内之第2配線之一部分上配置綠色發光 元件之另一端部,故而亦可不一個個地配置複數個綠色發 光元件’可一次配置複數個發光元件。 又’藉由對與上述藍色發光元件對應之第1配線及第2配 線施加電壓’可於各藍色發光元件用開口部内之第1配線 之一部分上配置藍色發光元件之一端部,並且可於各藍色 發光元件用開口部内之第2配線之一部分上配置藍色發光 元件之另一端部,故而亦可不一個個地配置複數個藍色發 光元件’可一次配置複數個發光元件。 因此’僅進行1次上述複數個紅色發光元件之排列,進 行1次複數個綠色發光元件之排列,進行丨次複數個藍色發 154399.doc •34· 201212284 光元件之排列,即僅將排列之過程進行3次,即可將複數 個紅色發光元件、綠色發光元件及藍色發光元件分別配置 於所期望之位置。 (10) —實施形態之顯示裝置之製造方法係如上述〇?)之 顯示裝置之製造方法,其中 上述發光元件之出射光為紫外光, 上述複數個開口部包含複數個紅色螢光體用開口部、複 • 數個綠色螢光體用開口部、及複數個藍色螢光體用開口 部, 上述第1配線之一部分於上述紅色螢光體用開口部内、 綠色螢光體用開口部内及藍色螢光體用開口部内露出, 上述第2配線之一部分進入上述紅色螢光體用開口部 内、綠色螢光體用開口部内及藍色螢光體用開口部内, 且該製造方法包括螢光體形成步驟,其將接收上述紫外 光而出射紅色光之紅色螢光體形成於上述紅色螢光體用開 • 口部内,將接收上述紫外光而出射綠色光之綠色螢光體形 成於上述綠色勞光體用開口部内’將接收上述紫外光而出 射藍色光之藍色榮光體形成於上述藍色螢光體用開口部 内。 根據上述實施形態,將接收上述紫外光出射紅色光之紅 色螢光體形成於紅色螢光體用開口部内,將接收紫外光出 射綠色光之綠色螢光體形成於綠色螢光體用開口部内,將 接收紫外光出射藍色光之藍色螢光體形成於藍色螢光體用 開口部内’故而使用出射紫外光之發光元件可實現全彩顯 154399.doc •35· 201212284 示0 又’上述全彩顯示可使發光元件之種類為1種,故而可 以低成本實現。 又’一實施形態之顯示裝置之製造方法係如上述 (8)〜(10)之顯示裝置之製造方法,其中 上述各發光元件之長度相對於寬度之比為5以上且4〇〇以 下’且該長度為〇.5 μιη以上2 0 0 μπι以下。 (11)本發明之顯示裝置之驅動方法之特徵在於, 其係使上述(1)至(7)之顯示裝置進行顯示之顯示裝置之 驅動方法,且 該驅動方法係對上述第1配線及第2配線施加交流電壓而 使上述發光元件發光。 根據上述構成,由於對上述第1配線及第2配線施加交流 電壓而使發光元件發光’故而即便與第丨配線連接之複數 個發光元件之一端部之極性不統一,亦可使複數個發光元 件均勻地發光。因此’由於無需進行用以使與上述第】配 線連接之複數個發光元件之一端部之極性統一之控制,故 而可防止製造步驟變得複雜。 又,本發明之液晶顯示裝置之特徵在於包括: 透過光之第1基板; 透過光之第2基板; 液晶’其填充於上述第1基板與上述第2基板之間; 發光元件’其配置於上述第1基板之與上述液晶側為相 反側之面。 154399.doc •36· 201212284 此處,該說明書t,例如上述第1基板為TFT(Thin Film Transistor ’薄膜電晶體)基板或彩色濾光片基板中之一基 板’上述第2基板為TFT基板或彩色濾光片基板中之另一基 板。於上述TFT基板中,設置有作為開關元件之薄膜電晶 體(TFT)。於上述彩色濾光片基板中,設置有遮蔽自發光 元件發出之光之黑矩陣,或者,除了黑矩陣以外,還設置 有紅色、綠色及藍色之著色層。 根據本發明之液晶顯示裝置’由於上述發光元件配置於 上述第1基板,故而發光元件直接形成於構成液晶顯示裝 置之2片基板中之一基板。因此,不需要先前之背光裝置 中所必需之用以配置發光元件之基板。 因此’可使由發光元件構成之背光部形成得較薄,從而 可實現薄型之液晶顯示裝置。 又’一實施形態之液晶顯示裝置中, 上述發光元件包含: 棒狀之第1導電型之半導體芯;及 以覆蓋上述半導體芯之方式而形成之第2導電型之半導 體層; 上述發光元件以使上述發光元件之軸與上述第丨基拓:之 上述面大致平行的方式配置於上述第1基板。 根據該實施形態之液晶顯示裝置,由於上述發光元件為 棒狀構造之發光元件,故而自發光元件發出之光以發光元 件之軸為中心向360度方向照射。因此,於使發光元件配 置於第1基板上之步驟中,無需控制以上述軸為中心之旋 154399.doc •37- 201212284 轉方向。因此,可容易地進行發光元件之排列。 又’由於上述發光元件為棒狀構造之發光元件,故而可 使發光元件之單位體積之發光面積變大。因此,可使用以 獲知所期望之光量之發光元件之尺寸變小,從而可降低發 光元件之材料費。因此’可降低液晶顯示裝置之成本。 又,一實施形態之液晶顯示裝置中, 於上述第1基板或上述第2基板中,設置有自上述發光元 件發出之光所通過之光通過區域, 自與上述第1基板之上述面正交之方向觀察,上述發光 元件配置於與上述光通過區域重疊之位置,且上述發光元 件小於上述光通過區域。 根據該實施形態之液晶顯示裝置,於與上述光通過區域 重疊之位置,配置較該光通過區域小之上述發光元件,故 而可有效地利用自發光元件發出之光。即,藉由不於與光 通過區域不重疊之位置配置發光元件,可抑制不利於顯示 之光之照射’從而可實現低消耗電力化。 又 了對1個光通過區域配置1個發光元件,且可使發光 π件與光通過區域之位置關係相同。因此,背光之光針對 每個像素為固定’而不會產生亮度不均。相對於此,先前 之背光裝置中,發光元件之數量相對於液晶面板之像素數 而δ 一般較少。因此,發光元件之位置與像素之位置之關 係針對每個像素而不同,故而來自發光元件之光強度針對 每個像素而不同,背光之光會產生亮度不均。 又,於與形成液晶面板之上述第丨基板為同一基板上形 154399.doc 201212284 成發光元件,故而可結合上述光通過區域控制性佳地配置 發光元件。即,可控制良好地進行光通過區域與發光元件 之對準。 又,一實施形態之液晶顯示裝置中,包含使自上述發光 元件發出之光反射至上述第1基板側之反射膜。 根據該實施形態之液晶顯示裝置,由於具有使自上述發 光元件發出之光反射至上述第丨基板側之反射膜,故而可 • 使自發光元件向第1基板之液晶側之相反方向照射之光效 率佳地向液晶反射。因此,可效率佳地利用自發光元件發 出之光。 又,一實施形態之液晶顯示裝置中,上述反射膜積層於 透明之保護膜上,該透明之保護膜積層於上述發光元件 上。 根據該貫施形態之液晶顯示裝置,由於上述反射膜積層 於透明之保護膜上,且該透明之保護膜積層於上述發光元 ® 件上,故而藉由調整保護膜之膜厚及形狀,可使光不浪費 地照射至第1基板或第2基板上所設置之光通過區域。 又,一實施形態之液晶顯示裝置中,於上述第丨基板之 上述液晶側之面,設置有作為開關元件之薄膜電晶體。 根據該貫施形態之液晶顯示裝置,於上述第丨基板之上 述液晶側之面,設置有作為開關元件之薄膜電晶體 (TFT),故而自發光元件發出之光自形成有TFT之基板側入 射至液晶。 而且,自形成有TFT之基板之侧入射光之方面係與通常 154399.doc •39· 201212284 之液晶顯示裝置相同。因此,可不使液晶顯示裝置之構成 變大而實現薄型之液晶顯示農置。 又’—實施形態之液晶顯示裝置中,於上述第2基板之 上述液晶側之面,設置有作為開關元件之薄膜電晶體。 根據該實施形態之液晶顯示裝置,於上述第2基板之上 述液晶側之面設置有作為開關元件之薄膜電晶體(TFT), 故而自發光元件發出之光自與形成有TFT之基板相反之基 板側入射至液晶。 而且’由於可將發光元件與TFT分別形成於不同之基板 上’故而於發光元件配置步驟中,可防止對TFT帶來損 傷,或者,於形成TFT之步驟中,可防止對發光元件帶來 才貝傷。 [發明之效果] 由以上可明確,根據本發明之發光裝置之製造方法、發 光裝置、照明裝置、背光及液晶面板,可降低製造成本, 且可減小特性不均並提高良率。 又,根據本發明之發光裝置之製造方法,不將一個個發 光元件個別地操作,而以一次處理將複數個發光元件排列 於特定場所,故而可削減製造成本。 本發明之顯示裝置中,將發光元件之一端部與第丨配線 電性直接連接,並且將發光元件之另一端部與第2配線電 性直接連接’藉此亦可不以導線電性連接第1配線及第2配 線與發光元件,故而可以低成本製造。 又’將上述發光元件之一端部與第1配線電性直接連 154399.doc 201212284 接’並且將發光元件之另一端部與第2配線電性直接連 接’藉此亦不需要接合墊,故而可使發光元件彼此之間隔 變窄。而且’由於長度相對於寬度之比為5以上且以 下’且該長度為〇.5 以上2〇〇 pm以下,故而上述發光元 件非常小》因此,本發明之顯示裝置可使各像素部非常 小,從而可實現高精細的顯示。 本發明之顯示裝置之製造方法中,於第1配線及第2配線 上塗佈包含複數個發光元件之液體之後,對第1配線及第2 配線施加電壓,藉此可於各開口部内之第1配線之一部分 上配置發光元件之一端部,並且可於各開口部内之第2配 線之一部分上配置發光元件之另一端部,故而亦可不一個 個地配置複數個發光元件,可一次配置複數個發光元件。 本發明之顯示裝置之驅動方法中’由於對第1配線及第2 配線施加交流電壓而使發光元件發光,故而即便與第1配 線連接之複數個發光元件之一端部之極性不統—,亦可使 複數個發光元件均勻地發光。因此,由於無需進行用以使 與上述第1配線連接之複數個發光元件之一端部之極性統 一之控制,故而可防止製造步驟變得複雜。 根據本發明之液晶顯示裝置,由於上述發光元件配置於 上述第1基板上,故而可使由發光元件構成之背光部形成 得較薄’從而可實現薄型之液晶顯示裝置。 【實施方式】 可根據以下之詳細說明與隨附圖式而充分理解本發明。 隨附圖式僅為說明者,並不限制本發明。 154399.doc •41 - 201212284 以下,根據圖示之實施形態詳細說明本發明之發光裝置 之製造方法、發光裝置、照明裝置、背光及液晶面板。該 實施形態中,發光元件使用摻雜有Si之η型GaN與摻雜有 Mg之p型GaN ’但GaN中摻雜之雜質並不限定於此。 (第1實施形態) 本發明之第1實施形態之說明中,首先,作為發光裝置 之製造方法及發光裝置中所使用之發光元件,以下之〇)中 對第1發光元件之製造方法(圖1〜圖3所示)進行說明,並且 (2)中對第2發光元件(圖4~圖17所示)之製造方法進行說 明’進而,(3)〜(5)中對發光元件向同一基板上之配置步 驟、配線步驟進行說明之後,(6)中說明基板分割步驟(圖 3 1所示)。 (1)第1發光元件之製造方法 圖1〜圖3表示本發明之第1實施形態之發光裝置中所使用 之第1發光元件之製造方法之步驟圖。以下,參照圖丨〜圖3 說明第1發光元件之製造方法。 首先,如圖1所示,於n型GaN基板20上形成n型GaN層 1 0 使用 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition : 金屬有機氣相沈積)裝置,使棒狀n型GaN結晶成長。該棒 狀之η型GaNl中,將成長溫度設定為7〇〇。〇〜8〇〇。〇左右,使 用二曱基鎵(TMG ’ trimethylgallium)及氨(NH3)作為成長氣 體,對η型雜質供給用供給矽烷(SiH4),進而供給氫(η〗)作 為載氣’藉此可使將Si作為雜質之n型GaN層1成長。另一 方面,若以低溫(例如6〇〇。(:或其以下)或高溫(例如, 154399.doc •42· 201212284 l〇〇〇°C或其以上)使GaN成長,則於低溫之情形時,所形成 之GaN進行偏向上方之成長而成為前端變細之形狀,又, 於高溫之情形時,所形成之GaN進行偏向側方之成長而成 為薄膜狀並非棒狀。 其次·,如圖2所示,於η型GaN層1上使InGaN量子井層2 成長。量子井層2係根據發光波長使設定溫度為750°C :對 載氣供給氮(N2),對成長氣體供給TMG及NH3、三甲基銦 (TMI,trimethylindium),藉此可於η型GaN層1上形成包含 p型InGaN之量子井層2。再者,該量子井層亦可於InGaN 層與P型GaN層之間加入p型AlGaN層作為電子阻擋層。 又,亦可為將GaN之障壁層與InGaN之量子井層交替積層 而成之多重量子井構造。 其次,於InGaN量子井層2上形成p型GaN層3。該p型 GaN層3係使設定溫度為800°C,使用TMG及NH3作為成長 氣體,對p型雜質供給用使用Cp2Mg,藉此可形成p型GaN 層3。 其次,如圖3所示,將包含η型GaN層1、量子井層2及p 型GaN層3之複數個棒狀構造發光元件10於IPA (isopropanol,異丙醇)等之溶液中施加超音波振動,藉此 自基板分離複數個棒狀構造發光元件10。 上述第1實施形態之發光裝置中所使用之第1發光元件之 製造方法中,形成作為磊晶基板之η型GaN基板20上所形 成之複數個元件,使用自該η型GaN基板20上分離之複數 個棒狀構造發光元件1 0,藉此與針對每個發光元件而將基 154399.doc -43 - 201212284 板分斷後使用之情況相比,由於可再利用〇型GaN基板 20,故而可降低成本。 該實施形態中,使用棒狀構造發光元件1〇作為棒狀之發 光元件,但棒狀之發光元件並不限定於此,例如亦可為使 用η型GaN基板上具有成長孔之成長遮罩或金屬種等使複 數個棒狀之發光元件成長之後,自基板分離者。 上述第1實施形態中,使用棒狀之發光元件,但本發明 之發光元件並不限定於此,亦可為具有圓形狀、橢圓狀、 正方形狀、矩形狀、多邊形狀等之平坦的發光面,且以該 發光面相對於基板平行之方式配置於安裝面上之形態之發 光元件。 (2)第2發光元件之製造方法 又’圖4〜圖1 7係依序表示本發明之第1實施形態之發光 裝置中所使用之第2發光元件之製造方法之步驟圖。 該第2貫施形態中,首先’如圖4所示,對所準備之藍寶 石基板101進行清洗。 其次’如圖5所示,於藍寶石基板ι〇1上成膜η型GaN膜 102 ° 其次,如圖6所示,藉由沈積而於n型GaN膜102上形成 遮罩層103。該遮罩層103例如由SiN或Si02製作成。 其次,於上述遮罩層103上塗佈抗触劑層1〇5,進行曝光 及顯影(develop) ’進而,進行乾式蝕刻,如圖7所示,於 抗钱劑層105及遮罩層103上形成孔1〇5Α、103A。藉由該 孔105A、103A ’而η型GaN膜102之一部分i〇2A露出。上 154399.doc -44- 201212284 述遮罩層103成為成長遮罩,形成於遮罩層103上之孔1〇3Α 成為成長孔。 其次,於觸媒金屬形成步驟中,如圖8所示,使觸媒金 屬106蒸鍍(沈積)於抗蝕劑層1〇5上及孔103A中露出之η型 GaN膜102之一部分102Α上。該觸媒金屬106例如可採用 Ni、Fe等。 其次,藉由剝離而將抗蝕劑層105及抗蝕劑層105上之觸 媒金屬106去除,如圖9所示,殘留η型GaN膜102之一部分 102A上之觸媒金屬1〇6,其次進行清洗。 其-人’於半導體芯形成步驟中,如圖10所示,使用 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition :金屬 有機氣相沈積)裝置,使n型GaN結晶成長而於觸媒金屬ι〇6 之存在下形成剖面大致六邊形之棒狀之半導體芯1〇7。該 棒狀之半導體芯107例如成長為長度25 μπ^將成長溫度設 定為800°C左右,使用三曱基鎵(TMG)及氨(ΝΗ3)作為成長 氣體,對η型雜質供給用供給矽烷(SiH4),進而供給氫(Ha) 作為載氣,藉此可使將si作為雜質之nsGaN之半導體芯 1〇7成長。此處,η型GaN為六方晶系之結晶成長,以相對 於藍寶石基板101表面垂直之方向為c軸向而使該 成長,藉此可獲得六稜柱形狀之半導體芯。雖依賴於成長 方向及成長溫度等成長條件,但存在所成長之半導體#之 直徑為數1〇 nm至數1〇〇 nm左右之較小的情形時剖面2易 成為大致接近圓形之形狀的傾向’且存在若直徑為〇 5阿 左右至數μΓΠ變大則剖面容易以大致六邊形成長之傾向。 154399.doc -45- 201212284 形成複數個上述抗蝕劑層105之孔1〇5Α、遮罩層l〇3之孔 103A,於該複數個孔1〇5Α、103A中露出之複數處之η型 GaN膜102之一部分102Α上形成觸媒金屬106,而形成複數 根棒狀之半導體芯107。 其次,如圖11所示’藉由MOCVD,以覆蓋包含η型GaN 之半導體芯107及遮罩層103之方式,成膜包含1)型111〇&]^之 量子井層108。該量子井層1〇8係根據發光波長而使設定溫 度為750 C ’供給氮(N2)作為載氣,供給TMG及NH3、三甲 基銦(TMI)作為成長氣體,藉此可於η型GaN之半導體芯 107上及遮罩層103上形成包含p型inGaN之量子井層1〇8。 再者’該量子井層亦可於InGaN層與p型GaN層之間加入p 型AlGaN層作為電子阻擋層。又,亦可為將之障壁層 與InGaN之量子井層交替積層而成之多重量子井構造。 其次,於半導體層形成步驟中’如圖U所示,藉由 MOCVD而於量子井層108之整個表面形成包含p型GaN之 半導體層110。該半導體層11〇係使設定溫度為今⑽^,使 用TMG及NH3作為成長氣體,p型雜質供給用使用cp2Mg, 藉此可形成包含p型GaN之半導體層110。 於藉由上述MOCVD而形成之量子井層log及半導體層 110之成長中,於附有觸媒金屬106之狀態下成膜,故而與 覆蓋半導體芯107之側面107B之部分之成長速度相比,觸 媒金屬106與半導體芯107之前端面i〇7A之間的部分之成長 速度較快’例如為1 0〜1 〇〇倍。作為具體的一例,附著有觸 媒金屬106之部位之GaN之成長速度為5〇〜1〇〇 μιη/小時,相 154399.doc -46- 201212284 對於此不附著觸媒金屬之部位之GaN之成長速度為丨〜]μιη/ 小時。由此,量子井層108、半導體層110之前端部log a、 110A之膜厚與側面部108B、110B之膜厚相比變厚。 其次’如圖12所示,於觸媒金屬去除步驟中,藉由蚀刻 而去除半導體芯107上之觸媒金屬106之後進行清洗,藉由 退火而使半導體層110活化。此處,由於覆蓋上述半導體 芯1〇7之前端面1〇7Α之量子井層108、半導體層11〇之前端 部108A、110A之厚壁比覆蓋半導體芯107之側面1〇7B之量 子井層108、半導體層110之側面部1〇8B、11〇B之厚壁更 厚,故而金屬去除面之損傷及缺陷不易對PN接面帶來不良 影響。又,可防止於蝕刻時半導體芯107自半導體層110露 出。 其次,如圖13所示’於包含p型GaN之半導體層110之整 個表面形成導電膜1 i i。該導電膜丨丨丨之材質可採用多晶 矽' ITCHIruhum tin 〇xide,氧化銦錫)等。該導電膜lu之 膜厚例如為200 nm。而且,於上述導電膜U1成膜後,以 500 C至600 C進行熱處理,藉此可降低包含p型之半導 體層110與導電膜lu之接觸電阻。再者,導電膜川並不 限疋於此 <列如亦可使用厚度5 nm之或Au/Ni之半透 明之積層金屬料。該積層金屬膜之成膜使用蒸鐘法或錢 鍍法。進而’ $ 了進-步降低導電層之電阻,亦可於][TO 之導^膜上積層Ag/Nmu/Ni2積層金屬膜。 '、人如圖14所不’藉由乾式蝕刻之RIE(reactive ion §反應陡離子蝕刻)而將於半導體芯107上及遮罩層 154399.doc •47· 201212284 103上橫向延伸之部分之導電膜ill去除。又,藉由上述 RIE而將覆蓋半導體芯107之前端面107A上之半導體層110 之前端部110A僅去除某厚度部分。又,藉由上述rie而將 於遮罩層103上超過導電膜ill於橫向延伸之區域之半導體 層110去除。又’藉由上述RIE而將於遮罩層103上超過導 電膜111於橫向延伸之區域之量子井層108去除。 如上所述,於上述RIE之前,由於量子井層108之前端部 108A之膜厚與側面部108B之膜厚相比充分厚,且半導體 層110之前端部110A之膜厚與侧面部110B之膜厚相比充分 厚,故而於上述RIE之後,於前端部半導體芯1〇7不會露 出。因此,藉由上述RIE而使覆蓋半導體芯107之前端面之 量子井層108、半導體層110與覆蓋半導體芯1〇7之側面之 量子井層108、半導體層110、導電膜ill殘留。 其次,如圖1 5所示,藉由钱刻而將遮罩層1 〇3(圖1 4所 不)去除。於該遮罩層103由氧化碎(S i Ο 2)構成之情形時, 使用含有氟酸(HF)之溶液,藉此可容易地對遮罩層1〇3進 行蝕刻而又不會對半導體芯1 〇7及覆蓋半導體芯1 〇7之半導 體層110、導電膜111之部分帶來影響。又,藉由使用cf4 之乾式姓刻,可容易地對遮罩層1 〇3進行蝕刻而又不會對 半導體芯107及覆蓋半導體芯1〇7之半導體層110、導電膜 111之部分帶來影響。藉此,半導體芯1〇7之藍寶石基板 1〇1側之露出部分107C之外周面露出。 其次,如圖16所示’藉由RIE(反應性離子蝕刻)對基礎η 型GaN膜1〇2進行蝕刻而使藍寶石基板101表面露出。藉 154399.doc •48· 201212284 此,形成與半導體芯107相連之包含η型GaN之段部102B。 此處,由於前端面107A上之半導體層110與量子井層108之 厚度與基礎η型GaN膜102之厚度相比充分厚,故而藉由上 述RIE可使半導體芯107之前端面107A不露出。 藉此,由上述包含η型GaN之半導體芯107、包含p型 InGaN之量子井層108、包含p型GaN之半導體層110及導電 膜111、包含η型GaN之段部102B而構成的棒狀構造之發光 元件形成於藍寶石基板101上。 其次’於分離步驟中,將基板浸潰於異丙醇(IPA)水溶 液中,使用超音波(例如數10 KHz)使基礎基板(藍寶石基板 101)沿著基板平面振動,藉此以使豎立設置於基礎基板上 之半導體芯107折彎之方式,對量子井層1 〇8與半導體層 110、導電膜111所覆蓋之半導體芯1〇7作用應力,如圖17 所示’量子井層108與半導體層11〇、導電膜1丨丨所覆蓋之 半導體芯107自基礎基板分離。 如此’可製造自基礎基板分離之微細的棒狀構造發光元 件 100。 又’使用超音波將上述半導體芯107自基板分離,但並 不限定於此,亦可藉由使用切斷工具將半導體芯自基板機 械性地折彎而分離,於該情形時,可以簡單的方法將設置 於基板上之微細的複數個棒狀構造發光元件於短時間内分 離。 進而’上述棒狀構造發光元件100由於半導體層110自半 導體芯107之外周面向半徑方向外側結晶成長,徑向之成 154399.doc -49- 201212284 長距離較短且缺陷向外側地轉移,故而可藉由結晶缺陷較 少之半導體層110而覆蓋半導體芯107。因此,可實現特性 良好之棒狀構造發光元件。 根據該發光元件之製造方法,可製造自基礎基板分離之 微細的棒狀構造發光元件100。又,可再利用上述藍寶石 基板1 01。又’上述棒狀構造發光元件1 〇〇中,可減少所使 用之半導體量,可實現使用發光元件之裝置之薄型化與輕 量化’並且’藉由自以半導體層110覆蓋之半導體芯1〇7之 全周放出光而擴大發光區域’故而可實現發光效率高且省 電之發光裝置、背光、照明裝置及顯示裝置等。又,如圖 16所示,藉由RIE(反應性離子蝕刻)而將基礎η型〇&]^膜1〇2 蝕刻形成段部102Β,亦可將該基礎η型GaN膜1〇2之蝕刻省 略自無段部102B之基礎n型GaN膜102將半導體芯1〇7分 離,製作不具有段部1〇2Β之棒狀構造發光元件。 此處’由於使棒狀構造發光元件1 00之直徑為i pm,長 度為25 μπι,故而每1個棒狀構造發光元件1〇〇之發光面積 即量子井層108之面積大致為(25χπχ(〇.5)2 μπι2_(露出部分 107C之外周面積))。 又,棒狀構造發光元件1〇〇具有同心狀地包圍棒狀之半 導體芯107之筒狀之發光面(量子井層1〇8),藉此與同一體 積且具有平坦的發光面之發光元件相比,棒狀構造發光元 件100之每1個發光面之面積增大,可削減用以獲得特定亮 度之發光元件數,從而可削減成本。 又,棒狀構造發光元件100具有ρ型棒狀之半導體芯 154399.doc •50· 201212284 107 '與覆蓋該半導體芯107之外周之n型筒狀之半導體層 110,且半導體芯107之一端側露出,藉此可於半導體芯 1〇7之一端側之露出部分1〇7(:連接一方之電極,於半導體 芯1〇7之另一端側之導電膜1U連接電極,從而可於兩端分 開連接電極,防止連接於導電膜lu之電極與半導體芯ι〇7 之露出部分107C短路,故而可容易地配線。 再者,上述半導體芯107之露出部分i〇7c與由半導體層 • U〇覆蓋之覆蓋部分之各個的剖面並不限定於六邊形狀, 亦可為其他多邊形或圓形之剖面形狀,又,亦可為半導體 怎之露出部分與覆蓋部分不同之剖面形狀。 又,根據該第1實施形態之第2發光元件之製造方法,不 僅於π型半導體芯1〇7之前端面i〇7a亦於側面1〇7B形成p型 半導體層110’故而可使pn接面之面積變大,從而可使發 光面積變大’可提高發光效率。又,由於使用上述觸媒金 屬106形成η型半導體芯1〇7,故而可加快η型半導體芯1〇7 ® 之成長速度。因此’與先前相比可使半導體芯107於短時 間内變長’從而可使與η型半導體芯1〇7之長度成比例關係 之發光面積進一步變大。又,由於上述η型半導體芯1〇7之 前端面107Α及側面由ρ型半導體層11〇覆蓋,故而可防止ρ 型半導體層110用之電極與η型半導體芯1〇7短路。 又’根據該第1實施形態之第2發光元件之製造方法,於 殘留有觸媒金屬106之狀態下形成ρ型量子井層108、ρ型半 導體層110’故而可於同一製造裝置内連續進行η型半導體 芯107之形成與ρ型量子井層108、ρ型半導體層11〇之形 154399.doc -51 - 201212284 成。由此,可削減步驟,縮短製造時間。又,由於形成上 述η型半導體芯107之後,無需將該半導體芯1〇7取出至製 造裝置外,故而可使η型半導體芯1〇7之表面不附著污垢, 從而可改善το件特性。又,由於可連續進行上述η型半導 體芯107之形成與ρ型量子井層1〇8、ρ型半導體層ιι〇之形 成,故而可避免較大之溫度變化或成長停止等而改善結晶 性,從而可改善元件特性。又,於形成上述η型半導體芯 107之後不立即進行將觸媒金屬i 〇6去除之钮刻,藉此可消 除對η型半導體芯1〇7之表面(即,與p型半導體層11〇之界 面)之損傷,從而可改善元件特性。 又’ 5玄第1貫施形態之第2發光元件之製造方法中,於藍 寶石基板101上附有觸媒金屬106之狀態下依序形成η型半 導體芯107與ρ型半導體層11(),故而與觸媒金屬ι〇6接觸之 部分之成長速度相較於與觸媒金屬1〇6不接觸之部分之成 長速度而格外(例如為1 〇〜1 〇〇倍)快。因此,可製作尺寸之 縱橫比較高之發光元件。該第2實施形態中,作為一例, 使棒狀構造發光元件100之直徑為1 μιη,長度為25 μηι。 又’由於可於上述觸媒金屬W6下將η型半導體芯1〇7與ρ型 半導體層110連續積層,故而可減少ΡΝ接面部之缺陷。 又’根據該第1實施形態之第2發光元件之製造方法,將 遮罩層103去除而使半導體芯1〇7之藍寶石基板101側之露 出部分107C露出,故而可減少半導體層11〇之蝕刻量。 又’上述棒狀構造發光元件1〇〇中,藉由與半導體芯107相 連且包含η型GaN之段部102Β,可容易地取得與半導體芯 154399.doc -52- 201212284 107之接觸。又,上述棒狀構造發光元件ίο。中,可藉由量 子井層108而提高發光效率。 又’上述第2發光元件之製造方法中,於藍寶石基板ι〇1 上成膜有η型GaN膜102,但亦可省略於藍寶石基板1〇1上 成膜η型GaN膜102之步驟,而於藍寶石基板1〇1上直接形 成遮罩層103。又’於上述觸媒金屬去除步驟中,將半導 體芯107上之觸媒金屬1〇6藉由蝕刻而去除,但亦可省略該 Φ 觸媒金屬去除步驟,而於殘留有觸媒金屬1〇6之狀態下直 接形成導電膜111。又,上述實施形態中,如圖14所示, 藉由RIE而對導電膜ill、包含p型GaN之半導體層11〇,.量 子井層108進行蝕刻,但亦可省略藉由該RIE而進行之蝕刻 步驟,於將以下之遮罩層103去除之步驟中,藉由剝離將 各層與遮罩層103 —併去除。 又’上述第2發光元件之製造方法中,使用m〇cvd裝置 使半導體芯丨07結晶成長’但亦可使用— 擊b_ epitaxy’分子束蟲晶)裝置等其他結晶成長裝置形成 半導體芯。又,使用具有成長孔之成長遮罩使半導體芯於 基板上結晶成長,但亦可於基板上配置金屬種,自金屬種 使半導體芯結晶成長。 又’上述第2發光㈣之製造方法中,使用超音波將由 半導體層m覆蓋之半導體以〇7自藍寶石基板ι〇ι分離, 但並不限定於此,亦可使用切斷工具將半導體芯自基板機 械性地折彎而分離。於該情形時,可以簡單的方法將設置 於基板上之微細的複數個棒狀構造發光元件於短時間内分 154399.doc -53- 201212284 離。 (3)發光元件之配置步驟 圖18表示本發明之第1實施形態之發光裝置之製造方法 中所使用的絕緣性基板之平面圖。再者,該發光裝置中所 使用之棒狀構造發光元件使用圖3所示之棒狀構造發光元 件10或圖17所示之棒狀構造發光元件1〇〇中之任一者,但 亦可使用其他棒狀之發光元件。 該第1實施形態之發光裝置中,如圖丨8所示,首先於基 板製作步驟中,製作於安裝面形成有第丨、第2電極及作為 配線圖案之一例之金屬電極2〇1、2〇2之絕緣性基板2〇〇。 絕緣性基板200係於如玻璃、陶瓷、氧化鋁、樹脂般之絕 緣體或如矽般之半導體表面形成氧化矽膜’且表面具有絕 緣性之基板。於使用玻璃基板之情形時,較理想的是於表 面形成如氧化矽膜、氮化矽膜般之基礎絕緣膜。 上述金屬電極201、202係利用印刷技術形成為所期望之 電極形狀。再者,亦可將金屬膜及感光體膜均勻地積層, 將所期望之電極圖案曝光,並蝕刻而形成。 圖18中省略圖示,於金屬電極2〇1、2〇2形成有焊墊以自 外部賦予電位。 其次’排列步驟中’於金屬電極2〇 1、2〇2所對向之部分 (排列區域)排列棒狀構造發光元件。圖18辛,為了容易觀 察圖’而使排列棒狀構造發光元件之排列區域為9χ3個, 但實際上設為1 〇〇個以上之任意個數之排列區域。 由上述基板製作步驟與塗佈步驟及排列步驟而構成於基 154399.doc 201212284 板上配置複數個發光元件之配置步驟。 圖19係自圖18之XIX-XIX線觀察之剖面模式圖。 首先,於塗佈步驟中,如圖19所示,於絕緣性基板 上,較薄地塗佈包含棒狀構造發光元件21〇之異两醇 (IPA)211。除了 IPA211以外,亦可為乙二醇、丙二醇、甲 醇、乙醇、丙酮、或其等之混合物。或者,IPA2u可使用 包含其他有機物之液體、水等。 然而,若經由液體而於金屬電極201、2〇2間流過較大之 電流,則會導致無法於金屬電極2〇1、2〇2間施加所期望之 電壓差。於如此之情形時,以覆蓋金屬電極2〇1、2〇2之方 式於絕緣性基板200表面整體塗佈10 nm〜3〇 nm左右之絕緣 膜即可。 ^ 塗佈包含棒狀構造發光元件21〇iIPA211之厚度為於液 體中棒狀構造發光元件21〇可移動之厚度,以使於接下來 之排列棒狀構造發光元件21〇之步驟中可排列棒狀構造發 光元件21〇。因此,塗佈IPA2u之厚度為棒狀構造發光元 件210之粗度以上,例如為數卜111〜數。若所塗佈之厚度 過薄,則棒狀構造發光元件21〇難以移動,若過厚則乾燥 液體之時間變長。x,相對於IpA之量而棒狀構造發光元 件21〇之量較佳為1><1〇4根/(^3〜1><1〇7根/£^3。 為了塗佈包含棒狀構造發光元件210之ΐρΑ2ΐι ,亦可於 使棒狀構造發光元件21〇排列之金屬電極之外周圍形成 框,於該框内填充包含棒狀構造發光元件21〇之ipA2u以 成為所期望之厚度。然而,於包含棒狀構造發光元件2 10 154399.doc -55- 201212284 之IPA211具有黏性之情形時,無需框即可塗佈為所期望之 厚度。 IPA或乙二醇、丙二醇、…、或其等之混合物,或包含 其他有機物之液體’或水專液體之黏性越低越理想,又較 理想的疋藉由加熱而容易蒸發,以便用於棒狀構造發光元 件210之排列步驟。 其次,對金屬電極201、202間賦予電位差。該第i實施 形態中,s5:為1 V之電位差為宜。金屬電極2〇1、2〇2之電 · 位差可施加0.1〜10 V,若為O.i v以下則棒狀構造發光元件 210之排列變差,若為10 v以上則金屬電極間之絕緣開始 成為問題。因此,較佳為V,更佳為1 v左右。 圖20表示上述棒狀構造發光元件21〇排列於金屬電極 201、202上之原理。如圖2〇所示,若對金屬電極2〇1施加 電位VL,對金屬電極2〇2施加電位VR(VL<VR),則金屬電 極201中感應負電荷,金屬電極202中感應正電荷β若棒狀 構造發光元件210接近於此處,則於棒狀構造發光元件21〇 φ 中,於接近金屬電極201之側感應正電荷,於接近金屬電 極202之側感應負電荷。該棒狀構造發光元件210中感應電 荷取決於靜電感應。即’放置於電場中之棒狀構造發光元 件210中,直至内部之電場為〇為止表面感應電荷。其結 果於各電極與棒狀構造發光元件210之間藉由靜電而引 力起作用’棒狀構造發光元件2) 〇沿$金屬電極训、逝 門所產生之電力線,並且各棒狀構造發光元件2 1 〇中所引 起之電荷大致相等’故而藉由電荷所致之排斥力,而大致 154399.doc •56- 201212284 等間隔地於固定方向規則地排列。然而,例如圖17所示之 棒狀構造發光元件100中’由半導體層110覆蓋之半導體芯 107之露出部分側之方向不固定而為隨機方向。 如以上般,棒狀構造發光元件210藉由在金屬電極2〇1、 202間所產生之外部電場,而使棒狀構造發光元件21〇產生 電荷,藉由電荷之引力而使棒狀構造發光元件21〇吸附於 金屬電極201、202,故而棒狀構造發光元件21〇之大+必 須為可於液體中移動之大小。因此,棒狀構造發光元件 210之大小根據液體之塗佈量(厚度)而變化。於液體之塗佈 量較少之情形時,棒狀構造發光元件21〇必須為奈米級尺 寸,於液體之塗佈量較多之情形時,亦可為微米級尺寸。 於棒狀構造發光元件210電性上不為中性而帶正電或負 電之情形時,若僅對金屬電極201、202間賦予靜態的電位 差(DC),則無法穩定排列棒狀構造發光元件21〇。例如, 於棒狀構造發光元件210實質上帶正電之情形時,與感應 正電荷之金屬電極202之引力相對性地變弱。因此,棒狀 構造發光元件210之排列成為非對向。 於如此之情形時,如圖21所示,較佳為對金屬電極 201、202間施加AC電壓。於圖21中,對金屬電極2〇2施加 基準電位,對金屬電極2〇1施加振幅vppL/22AC電壓。藉 由如此,即便於棒狀構造發光元件21〇帶電之情形時,亦 可確保對向排列。肖者’對該情形時之金屬電極搬所賦 予之父流電壓之頻率較佳為1〇 Hz〜i MHz,更佳為5〇 Hz〜i kHz ’此時排列最穩定。進而,對金屬電極2〇 1、間所 154399.doc •57· 201212284 施加之AC電壓並不限定於正弦波,亦可為矩形波、三角 波、錄齒形波荨週期性地變動者。再者,VPPL宜設為1 v 左右。 其次,於使棒狀構造發光元件21 〇排列於金屬電極2〇}、 202上之後,對絕緣性基板2〇〇進行加熱,藉此使液體蒸發 而使之乾燥’使棒狀構造發光元件21〇沿著金屬電極2(n、 202間之電力線等間隔地排列並固著。 圖22表示配置有上述棒狀構造發光元件21〇之絕緣性基 板200之平面圖。再者,圖22中,為了容易觀察圖而使棒 狀構造發光元件210之數量減少,但實際上1〇〇個以上之棒 狀構造發光元件21 0配置於同一絕緣性基板2〇〇上。 藉由將圖22所示之配置有棒狀構造發光元件21〇之絕緣 性基板200用於液晶顯示裝置等之背光,可實現薄型化與 輕量化且發光效率較高且省電之背光。又,藉由將配置有 該棒狀構造發光元件210之絕緣性基板200用作照明裝置, 可貫現溥型化與輕量化且發光效率較高且省電之照明裝 上述棒狀構造發光元件210之pn極性於一方不一致而隨 機地排列。因此,驅動時藉由交流電壓驅動,不同極性之 棒狀構造發光元件210交替發光。 又’根據上述發光裝置之製造方法,製作形成有以分別 賦予獨立之電位之2個金屬電極2〇1 ' 202為單位之排列區 域的絕緣性基板200 ’於該絕緣性基板2〇〇上塗佈包含複數 個棒狀構造發光元件21〇之液體。其後,分別對2個金屬電 154399.doc •58· 201212284 極201、2〇2施加獨立之電壓’使微細的棒狀構造發光元件 210排列於藉由2個金屬電極201、202而規定之位置藉 此’可使上述棒狀構造發光元件210容易地配置於特定絕 緣性基板200上。 因此,無需如先前般將發光二極體一個個地配置於基板 上之特定位置,可使多數個微細的發光二極體精度佳地配 置於特定位置。 根據該發光裝置之製造方法,藉由抑制發光時之溫度上 升且使發光分散,可製造亮度不均較少且實現長壽命2與 高效率化之發光裝置。 又,上述發光裝置之製造方法中,可減少所使用之半導 體量。進而,上述棒狀構造發光元件21〇中,自被半導體 層覆蓋之半導體芯之側面整體放出光而擴大發光區域故 而可實現發光效率較高且省電之發光裝置。 又,上述發光裝置中,將複數個發光元件大致均等地分 散配置於絕緣性基板之安裝面上,藉此可效率佳地使 藉由發光而由發光元件所產生之熱向橫向流出,故而發光 時之溫度上升進而得到抑制’從而實現更長壽命化、高效 率化。 又,以使複數個棒狀構造發光元件210之長度方向相對 於絕緣性基板200之安裝面平行之方式,而將棒狀構造發 光元件21〇配置於絕緣性基板2〇〇之安裝面上,藉此可#軸 向(長度方向)相對於徑向之長度比變大,故而於發光面之 積才同之條件下,較之發光面為正方形時可使熱沿橫向 154399.doc -59· 201212284 效率佳地向絕緣性基板200流出,發光時之溫度上升進而 得到抑制’從而實現更長壽命化、高效率化,又,該發光 裝置之製造方法中’利用對電極間施加電壓所引起之物體 之極化’故而可方便地使棒狀構造發光元件之兩端極化, 相對於棒狀構造發光元件而配合性較佳。 又’上述棒狀構造發光元件210為發光二極體,陽極連 接於金屬電極201(第1電極)並且陰極連接於金屬電極 202(第2電極)之發光二極體、與陰極連接於金屬電極 201(第1電極)並且陽極連接於金屬電極2〇2(第2電極)之發 光二極體共存地配置於絕緣性基板200上。而且,該發光 裝置中,藉由交流電源對金屬電極201(第1電極)與金屬電 極202(第2電極)之間施加交流電壓而驅動複數個發光二極 體,藉此無需相對於多數個發光二極體而使陽極與陰極之 方向一致地配置,從而可簡化配置步驟。 又,將至少金屬電極201(第1電極)及金屬電極2〇2(第2電 極)用作用以驅動複數個棒狀構造發光元件21〇之電極,藉 此可簡化配線步驟並削減成本。 圖18〜圖22所示之發光裝置之製造方法中,使用棒狀構 造發光元件’但發光元件並不限定於此,亦可為具有圓形 狀、橢圓狀、正方形狀、矩形狀、多邊形狀等之平坦的發 光面,且以使該發光面相對於基板平行之方式配置於安裝 面上之形態之發光元件。然而,該發光裝置之製造方法 中,利用對電極間施加電壓所引起之物體之極化,故而較 理想的是便於極化之棒狀之發光元件》 154399.doc •60· 201212284 (4)配線步驟 圖2 3〜圖2 5表示本發明之第i實施形態之其他發光裝置之 製造方法之步驟圖《再者,該發光裝置之製造方法係將 100個以上之棒狀構造發光元件配置於同一基板之安裝面 上者。s亥發光裝置之製造方法中所使用之棒狀構造發光元 件具有第1導電型之棒狀之半導體芯、與覆蓋該半導體芯 之外周之第2導電型之筒狀之半導體層,且棒狀之發光元 件之半導體芯之一端側露出即可。 該發光裝置之製造方法中,如圖23所示,首先於基板製 作步驟中,製作於安裝面形成有作為第丨、第2電極及配線 圖案之一例之金屬電極301、302之絕緣性基板3〇〇。 其次,於配置步驟中,於絕緣性基板3〇〇上,以使長度 方向相對於絕緣性基板3 〇 〇之安裝面平行之方式配置丨〇 〇個 以上之棒狀構造發光元件3丨0。該配置步驟令,使用與第丄 實施形態之發光裝置之製造方法同樣之方法,使液體中之 棒狀構造發光元件310排列於金屬電極3〇1、3〇2上之後, 對絕緣性基板300進行加熱,藉此使液體蒸發使之乾燥, 使棒狀構造發光元件3 10沿著金屬電極3〇1、3〇2間之電力 線而等間隔地排列並固著。 上述棒狀構造發光元件310包括:包含棒狀之nSGaN2 半導體芯311 ;及包含p型GaN之半導體層312,其不覆蓋 上述半導體芯3 11之一端側之部分而使之為露出部分 311a,且覆蓋半導體芯311之露出部分3Ua以外之覆蓋部 分3Ub。將上述棒狀構造發光元件31〇之一端側之露出部 154399.doc -61 - 201212284 分311a連接於金屬電極3〇1,並且將棒狀構造發光元件3i〇 之另一端側之半導體層312連接於金屬電極302。 其次,於配線步驟中,如圆24所示,於絕緣性基板3〇〇 上形成層間絕緣膜303,將該層間絕緣膜3〇3圖案化而於金 屬電極301上及金屬電極3〇2上分別形成接觸孔3〇3a。 其次,如圖25所示,以埋入2個接觸孔3〇3a之方式形成 金屬配線304、305。 如此,可將配置於絕緣性基板3〇〇之安裝面上之1〇〇個以 上之棒狀構造發光元件310共同配置,並且可將金屬配線 304、305共同連接於複數個棒狀構造發光元件31〇。又, 圖23〜圖25中,表示了棒狀構造發光元件31〇之中央部自絕 緣性基板300懸空之狀態,實際上,棒狀構造發光元件31〇 於圖18〜圖22所示之棒狀構造發光元件之配置方法中之ιρΑ 水溶液之乾燥時,因絕緣性基板3〇〇表面與棒狀構造發光 元件310之間隙中之液滴蒸發而縮小時所產生之靜摩擦導 致中央部分撓曲並接觸於絕緣性基板3〇〇上。再者,即便 於棒狀發光元件3 1 0不直接接觸於絕緣性基板3〇〇上之情形 時,亦經由層間絕緣膜3〇3而與絕緣性基板3〇〇接觸。 又,亦可於棒狀構造發光元件31〇之中央部分與絕緣性 基板300之間,以支撐棒狀構造發光元件31〇之方式而設置 金屬部,棒狀構造發光元件310之中央部分經由金屬部而 接觸於絕緣性基板3〇〇。 根據上述發光裝置之製造方法,無需如先前般將發光二 極體-個個地配置於基板上之特定位置,可使多數個微細 I54399.doc •62· 201212284 的發光二極體精度佳地配置於特定位置,從而可抑制發光 時之溫度上升且使發光分散,藉此可製造亮度不均較少且 貫現長哥命化與高效率化之發光裝置。 上述發光裝置中,將複數個棒狀構造發光元件31〇大致 均等地分散配置於絕緣性基板300之安裝面上,藉此,可 效率佳地使藉由發光而由發光元件所產生之熱沿橫向地向 基板側流出,故而進一步抑制發光時之溫度上升,從而實 現更長哥命化、南效率化。 又,以使複數個棒狀構造發光元件3 1 〇之長度方向相對 於絕緣性基板300之安裝面平行之方式,將棒狀構造發光 元件31〇配置於絕緣性基板3〇〇之安裝面上,藉此增大軸向 (長度方向)相對於徑向之長度比,故而於發光面之面積相 同之條件下較之發光面為正方形時,可效率佳地使熱向絕 緣性基板300側之橫向流出,進一步抑制發光時之溫度上 升’從而實現更長壽命化 '高效率化。 又,上述複數個棒狀構造發光元件31〇係將露出部分 311a為陽極、覆蓋部分3Ub為陰極之發光二極體,以及陽 極連接於金屬電極301(第丨電極)且陰極連接於金屬觉極 3〇2(第2電極)之發光二極體、及陰極連接於金屬電極 3〇1(第1電極)且陽極連接於金屬電極3〇2(第2電極)之發光 二極體共存地配置於絕緣性基板3〇〇上。而且,該發光裝 置中,藉由交流電源對金屬電極3〇1 (第i電極)與金屬電極 3 02(第2電極)之間施加交流電塵而驅動複數個發光二極 體,藉此無需相對於多數個發光二極體而使陽極與陰極之 I54399.doc • 63 · 201212284 方向一致地配置,從而可簡化配置步驟。 (5)其他發光裝置之製造方法 圖26〜圖30表示本發明之第【實施形態之其他發光裝置之 製造方法之步驟圖。再者,圖26〜圖30中,僅表示了發光 裝置之一部分,該發光裝置之製造方法係將1〇〇個以上之 棒狀構造發光元件配置於同一基板之安裝面上者。該發光 裝置之製造方法中所使用之棒狀構造發光元件,只要是包 含第1導電型之棒狀之半導體芯、及覆蓋該半導體怒之外 周之第2導電型之筒狀之半導體層,且棒狀之發光元件之 半導體芯之一端側露出者即可。 在該發光裝置之製造方法中,如圖26之剖面圖及圖27之 平面圖所示,首先,於基板製作步驟中,製作於安裝面形 成有作為第1、第2電極及配線圖案之一例之金屬電極 401、402之絕緣性基板400。 其次,於配置步驟中,於絕緣性基板4〇〇上,以使長度 方向相對於絕緣性基板400之安裝面平行之方式配置複數 個棒狀構造發光元件410。該配置步驟中,使用與圖18〜圖 22所示之發光裝置之製造方法同樣之方法,使液體中之棒 狀構造發光元件410排列於金屬電極4〇1、4〇2上之後,將 絕緣性基板400加熱,使液體蒸發並乾燥,而使棒狀構造 發光元件410沿著金屬電極401、402間之電力線而等間隔 地配置。 上述棒狀構造發光元件410包括:包含棒狀之„型GaN之 半導體芯411 ;及包含p型GaN之半導體層412,其不覆蓋 154399.doc •64· 201212284 上述半導體芯411之一端側之部分而使之成為露出部分 411a,以此方式覆蓋半導體芯411之露出部分4Ua以外之 覆蓋部分411b。將上述棒狀構造發光元件41〇之一端側之 露出部分41 la藉由包含導電性接著劑等之金屬油墨之接著 部403而連接於金屬電極4〇 i,並且將棒狀構造發光元件 410之另一端側之半導體層4丨2藉由包含導電性接著劑等之 金屬油墨之接著部404而連接於金屬電極402。此處,金屬 油墨係藉由噴墨法等而塗佈於絕緣性基板4〇〇上之特定部 位。 其次’如圖28之平面圖及圖29之剖面圖所示,於絕緣性 基板400上之配置有複數個棒狀構造發光元件41〇之區域選 擇性地塗佈螢光體420(螢光體塗佈步驟)。此處,螢光體係 藉由噴墨法等而塗佈於絕緣性基板4〇〇上之特定區域t.再 者,亦可於絕緣性基板4〇〇上之配置有複數個棒狀構造發 光元件410之區域’選擇性地塗佈包含螢光體之透明樹 脂。 其次’如圖30所示,於螢光體42〇之塗佈後,於絕緣性 基板400上形成包含透明樹脂之保護膜421。 如此’可將複數個棒狀構造發光元件41〇共同配置於絕 緣性基板400之安裝面上’並且可將金屬配線共同連接於 複數個棒狀構造發光元件41〇。 其次’於配置有複數個棒狀構造發光元件41〇之1個絕緣 性基板400上一次進行將螢光體42〇塗佈於絕緣性基板4〇〇 上之螢光體塗佈步驟、及於該螢光體塗佈步驟之後將保護 154399.doc -65· 201212284 (6)基板分割步驟 利用圖31說明本發明之第1實施形態之發光裝置 之,k方法之基板分割步驟。該基板分割步驟中,使用藉 由圖26〜圖30所示之步驟而制 裝作之絕緣性基板4 〇 〇,但亦可 使用藉由圖1 8〜圖22麻+ + 土 m 和 圖所不之步驟而製作之絕緣性基板200、 或藉由圖23〜圖25所不之步驟而製作之絕緣性基板则。 圖之平面圖所示,於基板分割步驟令,將絕緣性基 板彻分割為形狀不同之複數個分割基板430A、430B、 430C、430D、430E 〇此處,複數個分割基板43〇A、 430B、430C、430D、430E之各個係本發明之發光裝置, 且以棒狀構造發光元件410具有1〇〇個以上之方式自絕緣性 基板400分割《上述分割基板43〇八形成正方形狀分割基 板430B形成大於分割基板43〇A之正方形狀,分割基板 430C形成大於分割基板430B之正方形狀,分割基板43〇d 形成圆形狀,分割基板43 0E形成直角三角形狀。 於上述基板分割步驟中,藉由將絕緣性基板400分割為 形狀不同之複數個分割基板430A、430B、430C、430D、 430E,可容易地提供與各種形態對應之發光裝置。 再者’使形成於絕緣性基板4 0 0上以對複數個棒狀構造 發光元件410進行配線之配線圖案不形成於基板分割步驟 中之基板切斷區域,藉此於切斷時導電性之配線碎屑不會 154399.doc -66- 201212284 散落,從而可防止因導電性之配線碎屑所引起之短路等不 良情況。 或者,於絕緣性基板400之切斷區域,形成即便於基板 分割步驟中切斷亦不會影響到電性連接之配線圖案,藉此 可跨過鄰接之分割基板而連續形成配線圖案,配線圖案形 成變得容易,並且即便於基板分割時切斷亦不會導致電路 動作產生問題。 Φ 又’於基板分割步驟中之絕緣性基板400之切斷區域不 配置棒狀構造發光元件41〇,藉此可使消除因切斷而破損 之棒狀構造發光元件410,從而可有效地活用棒狀構造發 光兀件41 0。 S玄發光裝置之製造方法中,圖26、圖29'圖30中表示了 棒狀構造發光元件410之中央部自絕緣性基板4〇〇懸空之狀 態,實際上,棒狀構造發光元件4丨〇於第丨實施形態之棒狀 構造發光元件之配置方法中之IPA水溶液之乾燥時,因絕 緣性基板400表面與棒狀構造發光元件41〇之間隙之液滴蒸 發而縮小時所產生之靜摩擦導致中央部分彎曲並接觸於絕 緣性基板400上。再者,即便於棒狀發光元件41〇不直接接 觸於絕緣性基板4〇〇上之情形時,亦會經由營光體與絕緣 性基板400接觸。 再者’亦可於棒狀構造發光元件41〇之中央部分與絕緣 f生基板4GGm ’以支撐棒狀構造發光元件川之方式設置 金屬4 S狀構造發光元件41〇之中央部分經由金屬部而 接觸於絕緣性基板400。 154399.doc •67- 201212284 根據上述構成之發光裝置之製造方法,將配置於同一絕 緣性基板400上之複數個棒狀構造發光元件41〇共同配線之 後’將絕緣性基板400分割為複數個分割基板43〇a、 430B、430C、430D、430E,於分割基板 430A、43〇B、 430C、43 0D、43 0E上形成複數個配置有複數個棒狀構造 發光元件41 0之發光裝置,藉此可簡化配線步驟而降低製 造成本’且可減小特性不均並提高良率。 又’於上述配置步驟中’將複數個棒狀構造發光元件 410共同配置於同一絕緣性基板4〇〇上,藉此與配線步驟之 簡化結合可進一步降低製造成本。 又’於分割基板 430A、430B、430C、430D、430E之各 個上配置100個以上之棒狀構造發光元件41〇,藉此可使將 具有亮度不均之複數個發光元件集合時之整體亮度不均降 低為1個發光元件之亮度不均之1 〇以下。 又’上述棒狀構造發光元件410係露出部分411a為陽 極、覆蓋部分411b為陰極之發光二極體,且陽極連接於金 屬電極401(第1電極)並且陰極連接於金屬電極4〇2(第2電 極)之發光二極體、及陰極連接於金屬電極4〇ι(第1電極)並 且陽極連接於金屬電極4〇2(第2電極)之發光二極體共存地 配置於絕緣性基板400上。而且,該發光裝置中,藉由交 流電源對金屬電極4〇1(第1電極)與金屬電極4〇2(第2電極) 之間施加交流電壓而驅動複數個發光二極體,藉此無需相 對於多數個發光二極體使陽極與陰極之方向一致而配置, 從而可簡化配置步驟。 J54399.doc -68 - 201212284 又’於上述發光裝置之製造方法I於使複數個棒狀構 造發光元件410配置於絕緣性基板4〇〇上之配置步驟之後, 於基板分割步驟甲將絕緣性基板4〇〇分割為分別配置有ι〇〇 個以上之棒狀構造發光元件41〇之複數個分割基板43〇,藉 此可減少於各步驟間流動之基板數量而大幅削減成本。曰 又,根據上述發光裝置之製造方法,無需如先前般將發 光元件一個個地配置於基板上之特定位置,可將多數個微 • 細之發光元件精度佳地配置於特定位置,抑制發光時之溫 度上升且使發光散落,藉此可製造亮度不均較少且實現長 壽命化與高效率化之發光裝置。 上述發光裝置中,將複數個棒狀構造發光元件41〇大致 均等地分散配置於絕緣性基板400之安裝面上,藉此因發 光而由棒狀構造發光元件41〇所產生之熱可效率佳地沿橫 向朝基板侧流出,故而進一步抑制發光時之溫度上升,從 而實現更長壽命化、高效率化。 •又’於將複數個棒狀構造發光元件41 〇配置於絕緣性基 板400上之後,於絕緣性基板400上之配置有複數個棒狀構 造發光元件410之區域選擇性地塗佈螢光體42〇,藉此可減 少材料費佔較大比率之螢光體之使用量而削減成本。 (第2實施形態) 圖32表示本發明之第2實施形態之照明裝置中所使用之 發光裝置之平面圖,圖33表示上述發光裝置之側視圖。 該第2實施形態之照明裝置中所使用之發光裝置5〇〇如圖 32、圖33所示’於正方形狀之散熱板501上安裝有配置有 154399.doc -69- 201212284 100個以上之棒狀構造發光元件(未圖示)之圓形狀之絕緣性 基板502。此處,圆形狀之絕緣性基板5〇2為使用第1實施 形態之發光裝置之製造方法而製造的配置有100個以上之 棒狀構造發光元件之分割基板。 圖34表示作為使用圖32、圖33所示之發光裝置5〇〇之照 明裝置之一例的LED燈泡5 10之側視圖。如圖34所示,該 LED燈泡5 1 〇包括:作為電源連接部之燈座5 n,其用以嵌 入外部之插口且與商用電源連接;圓錐形狀之散熱部 512,其一端連接於燈座5U,另一端之直徑逐漸擴大;及 透光部513,其覆蓋散熱部512之另一端側。於上述散熱部 5 12内’將絕緣性基板5 〇2朝向透光部5丨3側而配置有發光 裝置500 »該發光裝置5〇〇係使用藉由上述第1實施形態之 發光裝置之製造方法而製造者。 根據上述構成之照明裝置,藉由使用發光裝置5〇〇,可 降低製造成本,且可減小特性不均並提高良率。 又’藉由使用圖32、圖33所示之發光裝置500,可實現 亮度不均較少且實現長壽命化與高效率化之照明裝置。 又’藉由將配置有上述複數個棒狀構造發光元件之絕緣 性基板502安裝於散熱板5〇1上而進一步提高散熱效果。 (第3實施形態) 圖35表示本發明之第3實施形態之使用發光裝置之背光 之平面圖。 該第3實施形態之背光6〇〇如圖35所示,將複數個發光裝 置602相互隔開特定間隔而格子狀地安裝於作為散熱板之 154399.doc -70- 201212284 一例之長方形狀之支撐基板601上。此處,發光裝置602為 使用第1實施形態之發光裝置之製造方法而製造的配置有 100個以上之棒狀構造發光元件之分割基板。 根據上述構成之背光600,藉由使用發光裝置6〇2可降低 製造成本’且可減小特性不均並提高良率。 又’藉由使用發光裝置602,可實現亮度不均較少且實 現長壽命化與高效率化之背光。 Φ 又’藉由將上述發光裝置602安裝於支撐基板6〇1上而進 一步提高散熱效果。 (第4實施形態) 圖36表示本發明之第4實施形態之使用發光裝置之背光 之平.面圖。 該第4實施形態之背光610如圖36所示’於作為散熱板之 一例之長方形狀之支撐基板611上,安裴有1個較大之發光 裝置612。該發光裝置612使用藉由上述第1實施形態之發 •光裝置之製造方法而製造者。 根據上述構成之背光610,藉由使用發光裝置612,可降 低製造成本’且可減小特性不均並提高良率。 又,藉由將上述發光裝置612安裝於支撐基板611上而進 一步提高散熱效果。 (第5實施形態) 圖37表示本發明之第5實施形態之使用發光裝置之液晶 面板之平面圖與側視圖。 該第5實施形態之液晶面板62〇如圖37所示,於作為散熱 154399.doc -71- 201212284 板之一例之長方形狀之透明基板622之一面上,形成有第 1、第2電極及作為配線圖案之一例之金屬電極(未圖示), 且配置有與該金屬電極連接之複數個發光元件(未圖示 由該金屬電極、包含發光元件之發光部分621、及透明基 板622而形成1個較大之發光裝置。又,於透明基板622之 另一面上,矩陣狀地形成有未圖示之像素電極與TFT(Thin Film Transistor :薄膜電晶體)。而且,於透明基板622之 另一側隔開特定間隔而配置有液晶密封板624,於液晶密 封板624與透明基板622之間密封有液晶623。 通常之液晶面板係使液晶驅動基板與背光分離,因背光 之光量不均或發熱等問題而使用導光管或散熱元件,由此 導致成本上升,或者使液晶面板變厚。相對於此,根據上 述構成之液晶面板620,相對於由先前之1個發光元件獲得 之光量而以複數個發光元件構成,因此無光量不均或發熱 之問題,故而無需導光管或散熱元件。因此,液晶面板被 大致分斷之分割基板即發光裝置配置於與具有液晶之面相 反之側而直接用作液晶基板’藉此可獲得低成本且薄型之 液晶面板。 如此’根據上述構成之液晶面板620,藉由使用包含發 光部分621與透明基板622之發光裝置,可降低製造成本, 且可減小特性不均並提高良率。又,藉由使用使液晶面板 基板與背光基板為一體之透明基板622,可降低零件成本 與製造成本,並且可實現更薄型之液晶面板。 再者’亦可對如下液晶面板適用本發明,該液晶面板包 154399.doc •72· 201212284 括·透明基板;複數個發光元件,其配置於該透明基扳之 一面’且連接於形成於透明基板之一面的配線;及彩色濾 光片’其形成於上述透明基板之另一面。 例如’圖44表示如此之構成例之液晶面板820。如圊44 之側視圖所示,於作為散熱板之一例的長方形狀之透明基 板822之一面上,形成有第1、第2電極及作為配線圖案之 一例之金屬電極(未圖示),且配置有與該金屬電極連接之 複數個發光元件(未圖示)^由該金屬電極、包含發光元件 之發光部分821、及透明基板822而形成1個較大之發光裝 置。又,於透明基板822之另一面上形成有彩色濾光片 823 ’於彩色濾光片823上形成有保護膜824。而且,於透 明基板822之另一侧隔開特定間隔而配置有玻璃基板827, 於玻璃基板827與透明基板822之間密封有液晶825。於上 述玻璃基板827之與液晶825對向之面上,矩陣狀地形成有 未圖示之像素電極與TFT826。 該液晶面板中,藉由使用使彩色濾光片與背光基板為一 體之透明基板,可降低零件成本與製造成本,並且可實現 更薄型之液晶面板。 上述第1〜第5實施形態中,對將發光二極體用作發光元 件之發光裝置、發光裝置之製造方法、照明裝置、背光及 液B曰面板進行了說明,但本發明之發光元件並不限定於發 光二極體,亦可對使用半導體雷射、有機EL(mectr〇 Luminescence :電致發光)、無機EL(本徵EL)等之發光元 件的發光裝置、發光裝置之製造方法、照明裝置、背光及 154399.doc •73- 201212284 液晶面板適用本發明。 又,上述第1實施形態之第丨、第2發光元件之製造方法 中’半導體芯及半導體層使用以GaN為母材之半導體,但 本發明亦可適用於使用以GaAs、AlGaAs、GaAsP、 InGaN、AlGaN、GaP、ZnSe、AlGalnP 等為母材之半導體 之發光元件。又,使半導體芯為11型,使半導體層為卩型, 但本發明亦可適用於導電型相反之棒狀構造發光元件。 又’上述第1實施形態之第2發光元件之製造方法中,對 具有剖面為六邊形之棒狀之半導體芯之棒狀構造發光元件 進行了說明,但並不限定於此,本發明亦可適用於具有剖 面可為圓形或橢圓之棒狀亦可為多邊形狀之棒狀之半導體 芯之棒狀構造發光元件。 又’上述第1實施形態之第2發光元件之製造方法中,使 棒狀構造發光元件之直徑為i μπι且使長度為1〇 μιη〜3〇 之微米級尺寸,但亦可係直徑或長度中之至少直徑為小於 1 Pm之奈米級尺寸之元件。上述棒狀構造發光元件之半導 體芯之直徑較佳為500 nm以上且1〇〇 μηι以下,與數1〇 nm〜 數100 nm之棒狀構造發光元件相比可抑制半導體芯之直徑 之不均,可降低發光面積即發光特性之不均,從而可提高 良率。 再者,若規定棒狀構造發光元件之發光面積之下限值, 則為3.14><1〇-3 0„12(於直徑111111、長度1叫1之棒狀之半導 體心之外周呈筒狀地形成發光面時之面積)。或者,若發 光元件為正方形之板狀,則一邊為56 nm。任一形狀之發 154399.doc •74· 201212284 光元件均難以形成為其以下之尺寸。又,若規定配置於同 一基板之戈*裝面上之發光元件之個數的上限值,則為i億 個’超過1億個則難以保持良率而配置。 又,上述第1實施形態之第2發光元件之製造方法中,使 用MOCVD裝置使半導體芯或上覆層結晶成長,但亦可使 用MBE(分子束磊晶)裝置等其他結晶成長裝置而形成半導 體^或上覆層。 又,上述第1實施形態之發光裝置之製造方法中,利用 對電極間施加電壓所引起之棒狀之發光元件之極化,將棒 狀之發光凡件配置於基板上並連接於電極間,但將複數個 發光元件配置於同—基板上之配置方法,或將配置於基板 上之複數個#光元件之一部分或全部共同配線之配線方法 並不限定於此’亦可使用其他方法。 例如,圖38表示本發明之其他實施形態之發光裝置之製 w方法中所使用之棒狀構造發光元件之側視圖與端面圖, 圖39〜圖43表示上述發光裝置之製造方法中之各步驟。再 者’圖39〜圖43中僅表示了發光裝置之一部分,該發光裝 置之製造方法係將1 〇 〇個以上之棒狀構造發光元件配置於 同一基板之安裝面上者。 該棒狀構造發光元件710如圖38所示,具有包含n型⑽ 之剖面為大致圓形之棒狀之半導體芯701,與覆蓋該半導 體芯701之外周之圓筒狀之包含p型GaN之半導體層加。 上述半導體芯7G1僅兩側之端面露出。此時,亦可於半導 體芯701與半導體層7〇2之間具有量子井層。 154399.doc •75· 201212284 首先,將包含如此之棒狀構造發光元件71〇之溶液如圖 39所示塗佈於絕緣性基板720上。 其次,如圖40所示,使用擦拭裝置721 ,進行於基板側 t拭塗佈於絕緣性基板72〇上之溶液(主要為棒狀構造發光 元件710)之擦拭處理,藉此以棒狀構造發光元件HQ之長 度方向朝向同-方向之方式’而排列複數個棒狀構造發光 元件710。 其人如圖41所示,使經擦拭處理之絕緣性基板72〇乾 燥。 其次’如圖42所#,對配置有複數個棒狀構造發光元件 710之絕緣性基板720之與棒狀構造發光元件71〇之長度方 向正交之直線區域S進行姓刻,使直線區域s重疊之棒狀構 造發光元件710之半導體芯、7〇1之一冑分露出。#此,一部 分棒狀構造發光元件71〇具有n型半導體芯m露出之露出 部分710a,及被p型半導體層7〇2覆蓋之覆蓋部分鳩。 而且,如圖43所示,於絕緣性基板72〇之直線區域s形成 金屬配線731 ’並且於金屬8&線731_特定間隔而大致平 行地形成金屬配線732。 藉此,金屬配線73丨連接於複數個棒狀構造發光元件71〇 中之-部分之η型半導體芯7〇1,金屬配線732連接於複數 個棒狀構造發光元件710中之一部分之包含psGaN之半導 體層702。而且,例如圖43中,金屬配線73ι連接於4個棒 狀構造發光元件71〇A〜710I^n型半導體芯7〇1,金屬配線 m連接於p型半導體層702。因此,以自p型半導體層皿 154399.doc •76· 201212284 側向η型半導體芯701側流過電流之方式對金屬配線73i與 金屬配線732之間施加電壓,藉此4個棒狀構造發光元件 710Α〜710D發光。 而且,於基板分割步驟中,將絕緣性基板72〇分割為複 數個分割基板,藉此於分割基板上形成複數個配置有複數 個棒狀構造發光元件710之發光裝置。 如此,複數個發光元件中即便於基板分割步驟中切斷亦 不會影響到所期望之發光量之棒狀構造發光元件71〇配置 於絕緣性基板720之切斷區域,即便藉由切斷而破損之棒 狀構造發光元件710不發光,亦會藉由未切斷之其他複數 個棒狀構造發光元件71〇而進行發光,故而無需考慮於配 置步驟中不將棒狀構造發光元件71〇配置於絕緣性基板72〇 之切斷區域’從而可簡化配置步驟。此處’所謂「所期望 之發光量」係指發光裝置所要求之規格之一。 對本發明之具體的實施形態進行了說明,但本發明並不 限定上述之實施形態,可於本發明之範圍内實施各種變 更。 以下’對進一步之實施形態進行詳細說明。再者,以下 之第6〜24實施形態及其變形例中,所謂含元件液體係指具 有液體及位於該液體中之複數個發光元件之物質。又,所 謂特定位置(場所)係指預先規定之位置(場所)。 (第6實施形態) 首先,進行基板準備步驟。該基板準備步驟中,準備平 面圖示於以下之圖45之作為第1基板之絕緣性基板1〇5〇。 154399.doc -77· 201212284 如圖45所示,絕緣性基板丨〇5〇係於其表面具有金屬製之 第1電極1051、及金屬製之第2電極1052。上述絕緣性基板 1050係於如玻璃、陶瓷、氧化鋁、樹脂般之絕緣體或如矽 般之半導體表面形成氧化矽膜,且表面具有絕緣性之基 板。此處,於使用玻璃基板之情形時,較理想的是於表面 形成如氧化矽膜、氮化矽膜般之基礎絕緣膜。 上述第1及第2電極1 〇5 1、1052係利用印刷技術形成為所 期望之電極形狀。再者,上述第1及第2電極1〇51、1〇52 中,例如,亦可將金屬膜及感光體膜均勻地積層,將所期 望之電極圖案曝光並姓刻而形成。 圖45中省略了,第i及第2電極1〇51、1〇52中以自外部設
定電位之方式形成有焊墊。於該第!及第2電極1〇51、MM 所對向之部分(排列區域)排列棒狀構造發光元件。圖Μ 中,將排列棒狀構造發光元件之排列區域排列有2χ2個, 但可排列任意個數。 圖46係自圖45之乂„4„線觀察之剖面模式圖。 一其-人,進行凡件供給步驟。元件供給步驟中,如圖46所 示’於絕緣性基板刪上,較薄地塗佈含元件液體,該含 元件液體具有作為液體之—例之異丙醇⑽難】,及位於 該IPAH)61中之作為發光元件之—例之棒狀構造發光元件 刪。液體除了 IPA觀以外,可使用乙二醇丙二醇、 甲醇、乙醇、丙酮、或其等之混合物等。或者,作為液 體,可使用包含IPA1061以外之其他有機物之液體、水 等。 154399.doc •78· 201212284 然而’若經由液體而於第1及第2電極1051、1〇52間流過 較大的電流’則無法對第1及第2電極丨05丨、丨〇52間施加所 期望之電壓差。於如此之情形時,以覆蓋第1及第2電極 1051、1052之方式於絕緣性基板1〇5〇之表面整體塗佈1〇 nm〜300 nm左右之絕緣膜即可。 塗佈包含棒狀構造發光元件1()6〇之1?八1〇61之厚度為於 液體中棒狀構造發光元件1060可移動之厚度,以使於其次 之排列棒狀構造發光元件1060之步驟中,可排列棒狀構造 發光元件1060。因此’塗佈IPAi 〇61之厚度為棒狀構造發 光元件1060之粗度以上,例如,為數μηι〜數 mm。若所塗佈 之厚度過薄’則棒狀構造發光元件1〇6〇難以移動,若過 厚’則於進行乾燥之情形時液體乾燥時間變長。又,相對 於1PA之量’棒狀構造發光元件1060之量較佳為ΐχίο4根/ cm3〜Ιχίο7根/cm3。 為了塗佈包含棒狀構造發光元件1060之IPA1061,亦可 於使棒狀構造發光元件1060排列之金屬電極之外周圍形成 t 於δ玄框内填充包含棒狀構造發光元件1060之IPA106 1 以成為所期望之厚度。然而,於包含棒狀構造發光元件 1060之ΙΡΑ1〇61具有黏性之情形時,無需框即可塗佈為所 期望之厚度。 其人’進行元件排列步驟。該元件排列步驟中,對第1 電極51與第2電極52之間施加交流電壓。該第6實施形態 中’適當的是1 V、5 ΚΗζ之交流。第i、第2電極51、52之 父流電壓可施加°,1〜1〇 V,若為0.1 V以下則棒狀構造發光 154399.doc •79- 201212284 元件1060之排列變差,若為1〇 v以上,則元件凝集於第i 與第2電極間。因此,較佳為〇5〜5 v,更佳為! v左右。 又,交流頻率可使用i Hz〜10 MHz,若為】Hz以下則排列 不均變大,若為1 〇 MHz以上則難以對電極施加所期望之電 壓。因此,較佳為10 Hz〜1 MHz,更佳為10〇 KHz。 進而,對第1、第2電極1051、1〇52間所施加之AC電壓並 不限定於正弦波,只要為矩形波、三角波、鋸齒形波等週 期性地變動者即可。 圖47表示將上述棒狀構造發光元件6〇排列於第^、第2電 極1051、1052上之原理。如圖47所示,若對第丨電極1〇51 施加電位VL,對第2電極1〇52施加電,則第 1電極1051中感應負電荷,第2電極1〇52中感應正電荷。若 棒狀構造發光元件1060接近於此,則於棒狀構造發光元件 1060中,於接近第1電極1〇51之侧感應正電荷,於接近第2 電極1052之側感應負電荷。該棒狀構造發光元件ι〇6〇中感 應電荷取決於靜電感應。即,放置於電場中之棒狀構造發 光元件1〇6〇直至内部之電場變為〇為止於表面感應電荷。 其結果,於各電極與棒狀構造發光元件1〇6〇之間藉由靜電 而作用引力,棒狀構造發光元件丨〇6〇沿著第i、第2電極 1051、1〇52間所產生之電力線。 又,如圖48般於電力線不均勻之情形時,藉由介電泳而 使棒狀發光元件1〇6〇偏向電極方向。藉由靜電力與介電泳 之兩者或任一者之力而使棒狀發光元件接近電極。又,各 棒狀構造發光元件1060中感應之電荷大致相等,藉由電荷 154399.doc •80· 201212284 之排斥力而大致等間隔地於固定方向規則地排列。再者, 於圖48中’ 1070表示微小發光元件,1071表示液體,丨〇72 表示不均勻之電場,1073表示第2電極,1074表示第1電 極,1〇75表示第1基板。 又’如圖49般’若使用寬度〇.5 μιη〜1〇 μΓη之電極則可於 各電極間一根一根地排列棒狀發光元件。再者,於圖49 中’ a相當於電極之寬度’且將&控制為〇 5 μιη〜10 μπι之範 圍。 如以上般,棒狀構造發光元件1060藉由第1、第2電極 105 1、1052間所產生之外部電場,而使棒狀構造發光元件 1060吸附於第1、第2電極1〇51、ι〇52,故而棒狀構造發光 元件1060之大小必須為可於液體中移動之大小。因此,液 體之塗佈量(厚度)必須較棒狀發光元件之直徑更大。 圖50表示排列有上述棒狀構造發光元件1060之絕緣性基 板1050之平面圖。藉由將排列有該棒狀構造發光元件1〇6〇 之絕緣性基板1050用於液晶顯示裝置等之背光,可實現能 夠薄型化與輕量化且發光效率高且省電之背光。又,藉由 將排列有該棒狀構造發光元件1〇6〇之絕緣性基板1〇5〇用作 發光裝置,可實現能夠薄型化與輕量化且發光效率高且省 電之發光裝置。 圖51表示使用排列有上述棒狀構造發光元件1〇6〇之絕緣 性基板1050之顯示裝置之平面圖。如圖51所示,顯示裝置 1100為於絕緣性基板111〇上具備顯示部11〇1、邏輯電路部 1102、邏輯電路部1103、邏輯電路部11〇4及邏輯電路部 154399.doc -81· 201212284 1105之構成。於上述顯示部1101中,於矩陣狀地配置之像 素中排列有棒狀構造發光元件1060。 根據上述第6實施形態之發光裝置之製造方法,不將一 個個發光元件個別地操作,即可以一次處理將複數個發光 元件排列於特定場所,故而可削減製造成本。 (第7實施形態) 圖52係用以說明第7實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。再者’於圖52中,箭頭Α表示液體1257之流向。 第7實施形態中’元件排列步驟中,僅使包含發光元件 1260之含元件液體相對於第1基板1250而相對性地流動之 方面與第6實施形態不同。 作為使包含上述發光元件1260之含元件液體相對於第1 基板1250而相對性地流動之方法’例如,存在對含元件液 體施加壓力’或者使第1基板125〇傾斜,或者對含元件液 體吹風等之方法’只要為對含元件液體提供速度成分之方 法,亦可為任何方法。 根據上述第7實施形態之發光裝置之製造方法,發光元 件1260於第1基板125〇之表面附近隨著液體之流動而移 動’故而發光元件1260於由第1電極1251與第2電極1252所 規定之特定場所以更短時間接近。因此,可縮短發光元件 1260之排列時間。 (第8實施形態) 圖53係用以說明第8實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。 154399.doc • 82 - 201212284 第8實施形態中,於基板準備步驟之後,進行與第1基板 1350大致平行地配置第2基板138〇之第2基板配置步驟,於 其後之元件供給步驟中,於第1基板1350與第2基板1380之 間隙填充含發光元件液體,在此方面與第6實施形態不 同。 根據上述第8實施形態之發光裝置之製造方法,藉由相 互大致平行地配置之第1基板135〇及第2基板138〇,可防止 液體之蒸發’故而可精度佳且良率佳地將發光元件1360排 列於特定場所。 (第9實施形態) 圖54係用以說明第9實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。 第9實施形態中,第2基板1480具有與第1基板1450之第1 及第2電極1451、1452對向之第3電極1453 ’且於元件供給 步驟及元件排列步驟中之至少一步驟中,對第1電極145 1 與第2電極1452之至少一方與第3電極丨453之間施加電壓, 在此方面與第8實施形態不同。 發光元件1460必須位於第丨基板丨450附近以便排列於特 定場所。此處’通常,使發光元件1460以重力落下並排列 於特定位置。根據第9實施形態,施加電壓,使發光元件 146〇向第1基板145〇側移動,故而可迅速使發光元件146〇 移動至第1基板1450附近,從而可迅速進行發光元件146〇 之排列。 又’為了再利用或為了防止配線不良,必須回收未排列 154399.doc • 83 · 201212284 於特定場所之發光元件1460。此處,藉由使浮游於該液體 中之發光元件1460於第1基板1450與第2基板1480之中間附 近移動’可迅速地自第1基板1450上排出。即,根據圖54 之表示流速之圖表,由於第1基板1450與第2基板1480之中 間附近之液體之流速較高,故而藉由施加至第1電極145 1 與第3電極1453之間的交流電壓而使未排列之發光元件 1460移動至上述中間位置,藉此可將該浮游之發光元件 1460有效地回收。 圖55及圖56係表示施加至第3電極1453中之電壓之例的 圖。詳細而言,圖55表示第3電極之電壓(於下部電極側移 動)’詳細而言係於使浮游於液體中之發光元件丨46〇向第1 電極1451(下部電極)側移動時施加至第3電極1453中之電 壓。又,圖56表示第3電極之電壓(於上部電極側移動),詳 細而言係於使浮游於液體中之發光元件146〇向第3電極 1453(上部電極)側移動時施加至第3電極1453中之電壓。 根據上述第9實施形態之發光裝置之製造方法,藉由對 第1電極(下部電極)1450與第3電極(上部電極)1480間施加 圖55、圖56所示之非對稱的電壓,可使發光元件146〇向第 1電極1451方向或第3電極1453方向移動。因此,可縮短排 列時間’且可將未排列之發光元件丨460迅速地回收等。 (第10實施形態) 圖57係用以說明第1〇實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。 第10實施形態中,於元件排列步驟中,包含發光元件之 154399.doc • 84 - 201212284 液體即含元件液體於第1基板與第2基板之間,如圖57箭頭 B所示’自第1電極1551側向第2電極1552側流動,此青況 與第8實施形態不同。 根據第10實施形態之發光裝置之製造方法,可藉由第1 基板1550與第2基板1580而規定含元件液體之流路,可防 止液體之蒸發’從而可防止因氣化引起之冷卻而產生對 流’故而可精度佳且良率佳地將發光元件丨56〇排列於特定 場所。 又’根據上述第1 0實施形態之發光裝置之製造方法,發 光元件1560於第1基板1550之表面附近,隨著液體之流動 而移動’故而可使發光元件1560容易接近於由第1電極 1551與第2電極1552所規定之特定場所,從而可縮短排列 時間。 又,根據上述第10實施形態之發光裝置之製造方法:,藉 由使第1基板1550與第2基板1580之間隙與第1基板1550上 之場所無關而固定,可使液體之流速與第丨基板丨55〇上之 場所無關而固定,故而可良率佳地將發光元件156〇排列於 特定場所。 又根據上述第1 〇實施形態之發光裝置之製造方法,藉 由調整注入至由第1及第2基板155〇、158〇所規定之流路中 之液體之量,可容易地改變液體之流速,故而可良率佳地 使發光元件排列於特定場所。 (第11實施形態) 圖58係用以說明第丨丨實施形態之發光裝置之製造方法之 154399.doc -85« 201212284 模式圖。 第11實施形態係第1及第2電極1651、1652之表面被絕緣 膜1677覆蓋,此方面與第6實施形態不同。 根據第11實施形態之發光裝置之製造方法,電流不流過 第1及第2電極1651、1652,故而可使電壓降非常小,從而 可使排列之良率提高。若第1基板1650規模變大,且所排 列之發光元件之數量變多,則存在第1及第2電極1651、 1652之配線長度變長’電壓降變得明顯,無法於配線之未 端進行排列之虞。 又,根據上述第11實施形態之發光裝置之製造方法,電 流不流過第1電極與第2電極之間,故而可防止因電化學效 應而導致電極熔解’從而可防止斷線或液體之污染所致之 排列良率之惡化。若於金屬電極1651、1652與電解液接觸 之狀態下,對電極1651、1652間施加電壓,則金屬於電解 液中熔解。 (第12實施形態) 圖5 9係用以說明第12實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。 第12實施形態中,第1基板1750之表面1777包含與發光 元件1 760之表面之材料相同的材料,此方面與第^基板 1150之表面之材料無限制之第6實施形態不同。 根據上述第12實施形態之發光裝置之製造方法,可減少 固著於第!基板1750之表面1777之發光元件176〇,可使排 列良率提尚。其原因在於可防止如下情況,即於發光元件 154399.doc -86 - 201212284 1760與第1基板π%之表面1777之材料相同之情形時動 電位變得相同,相互排斥,發光元件176〇固著於第1基板 1750之表面1777。 (第13實施形態) 第13實施形態係液體包含界面活性劑之方面與第6實施 形態不同。 藉由界面活性劑之混入而可防止發光裝置凝結。其原因 ® 在於,於因污染或其他理由而導致與發光元件不同之材料 附著於發光元件表面之情形時,各自之動電位降低或者正 負改變,故而容易引起凝結。又,於發光元件表面與基板 或電極表面之材料不同之情形時,存在動電位不同而容易 引起凝結之情形。藉由將界面活性劑混入液體中,可抑制 凝結。 因此,根據上述第13實施形態之發光裝置之製造方法, 可防止發光元件彼此凝結,或者發光元件與絕緣膜、基 •板、電極凝結。 (第14實施形態) 第14實施形態中,發光元件之最長部分之尺寸為5 〇 以下’此方面與發光元件之最長部分之尺寸無限制之第6 實施形態不同。 於一個個地操作發光元件而進行封裝之情形時,若發光 元件之大小變為100 μηι以下則會導致成本急速増大。 其原因在於,於排列微小者之情形時,所需要之對準精 度klS)。又’其原因在於’用以獲得固定光量之發光开件 154399.doc -87- 201212284 之個數(排列個數)變多。又,其原因在於微細的發光元件 之強度較弱,難以處理。 根據本發明’即便係最大尺寸為5 0 μπι以下之發光元 件,亦與發光元件之個數無關可容易地配置於特定場所。 若進一步敍述則適於排列微細的物體。 藉由排列多數個微小尺寸之發光元件,可降低面照明等 之亮度不均,此方面較為有效。 (第15實施形態) 圖60、61、62係用以說明第15實施形態之發光裝置之製 造方法之模式圖。 第1 5實施形態中,發光元件2060具有棒狀之形狀,此方 面與發光元件之形狀無限制之第6實施形態不同。 如圖60之鳥瞰圖所示’於發光元件2060為棒狀之情形 時,可將發光元件2060之一端固定於第1電極2〇51上,將 發光元件2060之另一端固定於第2電極2052上。因此,可 使對準精度優異。於棒狀之發光元件2060之情形時,於棒 狀之發光元件2060之兩端感應正電荷與負電荷,故而藉由 極化而效率佳地產生使微細發光體之方向一致之力矩。因 此’可精度佳地決定包含方向在内之排列位置,從而可於 實際上精度佳地排列。 再者,於正方形之發光元件為薄型發光元件之情形時, 如圖61之鳥蛾圖所示’存在發光元件2070傾斜排列於第1 電極2071與第2電極2072之間之情形。又,如圖62之鳥瞰 圖所示,存在發光元件2080錯開排列於第1電極2081與第2 154399.doc -88· 201212284 如此’於發光元件不為棒狀之情形 電極2082之間之情形 時,對準精度變差。 (第16實施形態) 圖63係用以說明第丨& #能 弟16實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。再者,圖禁心 _㈧中,箭頭C、D表示發光元件217〇之 排出方向。
第16實施形態中,具備將含元件液體中之複數個發光元 件2 160中未排列於特定場所之發光元件21 7轉出之元件排 出步驟,此方面與第6實施形態不同。 第16實施形態中,元件排列步驟中,於將發光元件216〇 排列於第1基板2150中第!電極2151與第2電極2152相對之 場所之後,進行元件排出步驟。 而且,元件排出步驟中,使不含有棒狀發光元件之液體 流動’而將未排列於特定場所之發光元件自第1基板2丨5〇 上排出。 根據上述第16實施形態之發光裝置之製造方法,可將未 排列於特疋場所之發光元件217 0加以回收,並且可排列於 其他第1基板’從而可降低發光裝置之製造成本。 又,根據上述第16實施形態之發光裝置之製造方法.,可 防止未排列於特定場所之發光元件217〇於乾燥後等凝結而 引起配線不良。 (第Π實施形態) 圖64係用以說明第1 7實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。 154399.doc • 89 - 201212284 第1 7實施形態中,於元件排列步驟之後,具備元件固定 步驟’此方面與第6實施形態不同。 詳細而言,第17實施形態中,元件排列步驟中,將發光 元件2260排列於第1基板2250之第1電極2251與第2電極 2252相對之場所。 其後,元件固定步驟中,於第1基板2250之第1電極2251 與第2電極2252之間,施加較之元件排列步驟中施加至第1 電極2251與第2電極2252之間的電壓高之電壓,將排列於 預先規定之位置之發光元件2260固定於該預先規定之位 置。 根據上述第17實施形態之發光裝置之製造方法,可將發 光元件2260固定於特定位置,故而可使對準精度優異。 又,根據上述第17實施形態之發光裝置之製造方法,即 便於液體2257之流動變得迅速之情形時發光元件2260亦不 移動,又,於將液體2257去除時,發光元件2260亦不移 動,故而可使對準精度格外優異。 (第18實施形態) 圖65、圖66係用以說明第1 8實施形態之發光裝置之製造 方法之模式圖。 第1 8實施形態中,於元件排列步驟之後,具備將第1基 板之表面乾燥之基板乾燥步驟,此方面與第6實施形態不 同。 詳細而言,第18實施形態中,元件排列步驟中,將發光 元件23 60排列於第1基板2350之第1電極2351與第2電極 154399.doc -90- 201212284 2352相對之場所β 其後,於基板乾燥步驟中,如圖65所示,將液體去除之 後’如圖66所示’將於第1基板235〇中濡濕之表面乾燥。 乾燥既可於常溫進行,又亦可於5〇〜2〇〇度左右進行。 根據上述第18實施形態之發光裝置之製造方法,藉由基 板乾燥步驟’可將發光元件1360固定於電極間。 又’根據上述第18實施形態之發光裝置之製造方法,藉 鲁 由基板乾燥步驟’可於第1基板2250之表面形成保護膜, 從而可保護發光元件226〇。 (第19實施形態) 圖67、圖68係用以說明第19實施形態之發光裝置之製造 方法之模式圖。 第19實施形態中’含元件液體之表面張力為50 mN/m以 下’此情況與含元件液體之表面張力無限制之第18實施形 態不同。 • 洋細而言,第19實施形態中,元件排列步驟中,將發光 元件2460排列於第1基板2450之第1電極2451與第2電極 2452相對之場所。 其後,於基板乾燥步驟中,如圖67所示,將液體去除之 後,如圖68所示,將於第!基板245〇中濡濕之表面乾燥。 乾燥既可於常溫進行,又亦可於5〇〜2〇〇度左右進行。 若第1基板2450之表面於由表面張力較大之液體濡濕之 狀態乾燥,則於乾燥中液體之表面會與發光元件接觸藉 此存在發光元件2460移動而引起對準偏移之情況。藉由使 154399.doc 91 201212284 用表面張力較小之液體(5〇 mN/m以下,更佳為30 mN/m以 下),可防止對準偏移。 (第20實施形態) 圖69、圖70係用以說明第20實施形態之發光裝置之製造 方法之模式圖。 第20實施形態中,具備於元件供給步驟之後且基板乾燥 步驟之前’將第1液體更換為表面張力較該第1液體小之第 2液體之液體更換步驟,此方面與第18實施形態不同。 再者,此處,所謂第1液體係指於元件排列步驟中,排 列發光元件2560時包圍發光元件2560之液體。因此,上述 第6〜1 9實施形態中’稱為液體者全部為第!液體。 第20實施形態中’元件排列步驟中,將發光元件256〇排 列於第1基板2550之第1電極2551與第2電極2552相對之場 所之後’進行液體更換步驟。 該液體更換步驟中,藉由繼續流動第2液體而將第1液體 更換為表面張力較第1液體小之第2液體2588 »其後,如圖 69所示,將第2液體2588去除之後,如圖70所示,於基板 乾燥步驟中,將第1基板2550之表面乾燥,將第2液體2588 完全去除。 根據上述第20實施形態之發光裝置之製造方法,於發光 元件2560之排列時,可使用表面張力較大之液體(任意液 體),另一方面,於乾燥時,可使用表面張力較小之液 體。因此,於排列時產生較大之靜電感應或介電泳之效 果’且,可使用發光元件不凝結之液體,可效率佳地進行 154399.doc •92· 201212284 發光元件2560之排列,並且於乾燥時可使用表面張力較小 之液體,可防止發光元件2560之對準偏移。 (第21實施形態) 圖71、圖72係用以說明第21實施形態之發光裝置之製造 方法之模式圖。再者’於圖71、圖72中,265〇表示第1基 板。 第21實施形態_,具備元件連接步驟,此方面與第6實 施形態不同。 於第21實施形態中,於發光元件2660之表面,具有第1 區域2670與第2區域2671,並且藉由對第1區域2670與第2 區域2671施加電壓而發光。 又,如圖71之剖面圖及圖72之烏瞰圖所示,元件連接步 驟中’以導電體2680連接上述第1區域2670與第1電極 2651 ’並且以導電體2681連接第2區域2671與第2電極 2652。 根據上述第21實施形態之發光裝置之製造方法,以導電 體2680連接發光元件2660與第1電極2651,並且以導電體 2681連接發光元件2660與第2電極2652,故而可使第1及第 2電極2651、2652與微小的發光元件2660良好地電性連 接。因此,於對上述第1電極2651與第2電極2652之間施加 電壓而使發光裝置發光時,可確實防止成為電壓不施加至 發光元件2660之狀態(短路)。 (第22實施形態) 圖73、圖74係用以說明第22實施形態之發光裝置之製造 154399.doc -93· 201212284 方法之模式圖。 再者,於圖73、圖74中,不存在第3電極之原因在於, 作為變形例而有如下情形,即存在與第1基板275〇大致平 行地配置之第2基板及位於該第2基板上之第3電極。又, 於圖73中,參照編號279〇、2791、 為了容易理解’於圖74之烏瞰圖中 示0 2792表示層間膜。又, ,省略上述層間膜之圖 第22實施形態中,具備追加電極形成步驟,此方面與第 6實施形態不同。 於第22實施形態中,於發光元件276〇之表面,具有第^ 區域2770與第2區域2771,並且對第1區域2770與第2區域 2771施加電壓而發光。 如圖7 4之鳥瞰圖所示,該實施形態中,發光元件2 7 6 〇呈 矩陣狀地排列。 追加電極形成步驟中,如圖73之剖面圖及圖74之鳥峨圖 所示,形成電性連接於所有棒狀發光元件2760之所有第1 區域2770之第4電極2780,並且形成電性連接於所有棒狀 發光元件2760之所有第2區域2771之第5電極2781。 根據上述第22實施形態之發光裝置之製造方法,藉由對 第4電極2780與第5電極2781施加電壓,可對發光元件2760 施加電壓,可不使用第1電極2751與第2電極2752,而對發 光元件2760施加電壓。因此,可將與上述發光元件2760之 排列時之電極構造(第1電極2751及第2電極2752)不同的構 造之配線(第4電極2780及第5電極2781)用於對發光元件 154399.doc -94· 201212284 2760之電壓施加,可使電壓施加之自由度變大,從而電壓 施加變得容易。 (第23實施形態) 圖75 '圖76係用以說明第23實施形態之發光裝置之製造 方法之模式圖。 第23實施形態中,於元件排列步驟之後,具備基板分斷 步驟,此方面與第6實施形態不同。 鲁 第23貫施形態中,如圖75所示,元件排列步驟中,將多 數個發光元件(例如’棒狀發光元件或棒狀之微小發光元 件)2860呈矩陣狀地排列於較大之第1基板2850 ^其後,基 板分斷步驟中’如圖76所示,將第1基板2850分斷,形成 矩陣狀地排列有複數個發光元件2860之複數個第i基板 2870〜2875。再者,基板之分斷數量並不限定為6,只要為 2以上之自然數則可為任何數字。 根據上述第23實施形態之發光裝置之製造方法,可形成 籲 以一次發光元件2860之排列而將複數個發光元件286〇排列 於特定場所之複數個第1基板2 8 7 0〜2 8 7 5,從而可削減製造 成本。 (第24實施形態) 圖77係用以說明第24實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖。 第24實施形態中,元件排列步驟中,於基板295〇上排列 1000個以上之發光元件(例如,棒狀發光元件或棒狀之微 小發光元件)2960,此方面與元件排列步驟中排列於基板 I54399.doc 95· 201212284 上之發光元件之數量無限制之第6實施形態不同。 —個發光元件2960所發出之光之光量相較於發光裝置之 整體光量而較小。根據上述第24實施形態之發光裝置之製 造方法’由於所排列之發光元件296〇之數量為1〇〇〇個以 上’故而於即便存在損壞之發光元件296〇之情形時,亦判 斷發光裝置為良品。因此,由於即便為不良發光元件而發 光裝置亦會成為良品,故而不需要發光元件296〇之檢查, 從而可削減製造成本。 例如’於存在不良率為1%之先前之發光元件,將其等 加以封裝並使用1 〇個封裝而形成發光元件之情形時,大概 以10個發光裝置中有丨個之比例含有不良發光元件,光量 成為良品之90%。若設光量9〇〇/。為不良,則發光裝置之良 率成為90%,故而需要發光元件之檢查。 另一方面,於使用1〇00個不良率為1%之發光元件之情 形時,大概發光裝置中含有10個不良發光元件,光量成為 所有發光元件為良品之情形時之99%,判定為良品,故而 不需要發光元件之檢查。因此,不需要用以檢查發光元件 之成本,從而可削減製造成本。 再者,上述各實施形態中,省略與其他實施形態相同之 作用效果之記載。而且,僅記載各實施形態特有之作用效 果。 又,具有上述已說明之第6〜24實施形態之發明之構成中 之2個以上之構成的實施形態當然構成本發明之進而其他 實施形態。 154399.doc -96· 201212284 又,如上所述,作為發光元件,可使用棒狀構造發光元 件,棒狀發光元件可藉由以下方式而形成,例如使用11型 GaN基板上具有成長孔之成長遮罩或金屬種等使複數個棒 狀之發光元件成長之後,自基板分離。 圖78A、圖78B係表示本發明之發光裝置之製造方法中 可使用之棒狀發光元件之圖,且係包含各棒狀發光元件之 中心軸之模式剖面圖。 # 圖78A表示具有縱向層疊構造之棒狀發光元件。該棒狀 發光元件具有將棒狀之P型半導體層31u、量子井層 3112、及棒狀之η型半導體層3113縱向層疊之構造。於使 棒狀發光元件之端面之半徑為r(參照圖78Α)時,該棒狀發 光元件之發光面積3114表示為7ir2。不成為2χπι·2之原因在 於,量子井層3112之棒狀發光元件之延伸方向之厚度非常 薄,使量子井層3112不為三維而近似性地採用二維平面者 較為準確。 ^ 另一方面’圖78Β表示具有芯-殼-殼構造之棒狀發光元 件。該棒狀發光元件包括:具有圓柱狀之形狀(棒狀之形 狀)且作為第1導電型之η型第1半導體層3121 ;以覆蓋第j 半導體層3121之外周面之方式配置之筒狀之量子井層 3122 ;及以覆蓋量子井層3122之外周面之方式配置且作為 筒狀之第2導電型之p型第2半導體層31 23。 換言之,該棒狀發光元件為η型半導體-量子井_p型半導 體形成於同轴上之芯-殼-殼構造。於使量子井層3122$.外 周面之直徑為d,使棒狀發光元件之長度為l時,該棒狀發 154399.doc •97- 201212284 光元件之發光面積3 124表示為π£^。 因此’若使用圖78Β中所.示之具有芯_殼_殼構造之棒狀 發光元件作為發光元件,則可於各棒狀發光元件之侧面之 大致整個表面形成發光層,故而可使每一個棒狀發光元件 之發光面積變大。 再者,該例中,第!導電型為η,另一方φ,第2導電型 為Ρ,棒狀發光元件為η型半導體·量子井卞型半導體形成於 同軸上之芯-殼-殼構造,本發明中,當然亦可係第丨導電型 為P,另一方面,第2導電型為n ’棒狀發光元件為p型半導 體-量子井-η型半導體形成於同軸上之芯_殼-殼構造。 圖79Α、圖79Β係表示棒狀發光元件之直徑與棒狀發光 元件之彎曲之關係的模式圖。 〇羊細而5,圖79Α係表示棒狀發光元件之直徑小於5〇〇 nm之發光裝置之一例的模式圖。 該發光裝置具有基板3221、形成於該基板3221上之第j 電極3222及第2電極3223、及棒狀發光元件3224 ’且棒狀 發光元件3224之一端部連接於第1電極3222上,另一方 面,棒狀發光元件3224之另一端部連接於第2電極3223 上。於棒狀發光元件3224之直徑小於500 nm之情形時,如 圖79A所示,棒狀發光元件3224非常容易彎曲,且產生伴 隨棒狀發光元件3224之彎曲之應力。而且,因該應力而導 致棒狀發光元件3224之發光效率降低。 另一方面’圖79B係表示棒狀發光元件之直徑大於5〇〇 nm之發光裝置之模式圖。 154399.doc •98- 201212284 該發光裝置具有基板3251、形成於該基板3251上之第1 電極3252及第2電極3253、及棒狀發光元件3254,且棒狀 發光元件3254之一端部連接於第1電極3252上,另一方 面’棒狀發光元件3254之另一端部連接於第2電極3253 上。於棒狀發光元件3254之直徑大於500 nm之情形時,如 圖79B所示’棒狀發光元件3254不會彎曲。因此,不會產 生伴隨棒狀發光元件3254之彎曲之發光量之降低,可自各 棒狀發光元件3254取得所期待之發光量。 圖80係表示本發明中可製造之發光裝置之構造之模式 圖。 該發光裝置具有第1電極3322、第2電極3323、及棒狀發 光元件33 24。上述棒狀發光元件33 24為η型半導體_量子井_ Ρ型半導體或ρ型半導體-量子井_η型半導體形成於同軸上之 芯-殼-殼構造,且直徑為5〇〇 nm以上。 上述棒狀發光元件3324之一端部藉由棒狀發光元件3324 之延伸方向之尺寸為a(該實施形態中,a=1 5 μπ1)之觸點 3326,而連接於第!電極3322上,另一方面,棒狀發光元 件3 324之另一端部藉由棒狀發光元件3324之延伸方向之尺 寸為1.5 μπι之觸點3327而連接於第2電極3323上。再者, 接觸區域之棒狀發光元件之延伸方向之尺寸並不限定為 1·5 μηι者,當然既可比其長,亦可比其短。 芯-殼-殼構造之棒狀發光元件3324之丨根之發光面積於 设棒狀發光το件之長度為設直徑為^卜叫,且如圖 80所示於棒狀發光元件之兩端取15[μιη]之接觸時,接觸 154399.doc •99· 201212284 部不發光,故而可將量子井層之外周面與棒狀發光元件之 外周面視為近似性者,根據d与〇, 發光面積=α-3)χπϋ[μπι2]。 又,較理想的是棒狀發光元件於1個電極間一根一根地 排列。其原因在於,如圖8丨所示,若於一對電極3422、 3423間排列2根以上之棒狀發光元件3424、3425,則如圖 81所示’棒狀發光元件3424、期頻繁產生交又而成為不 良之原因。 圖82Α係表示棒狀發光元件引起之不良構造之模式圖, 圖82Β係表示可防止該不良構造之構造之模式圖。 °羊細而S,圖82Α係表示棒狀發光元件3524不排列於相 互對向之電極間’棒狀發光元件3524之一端部連接於一電 極,並且該棒狀發光元件⑽之另—端部連接於與該一電 極所對向之電極在與該—電極所對向之方向垂直的方向鄰 接之電極的不良構造之模式圖。若產生該不良構造,則無 法排歹i特疋數量之棒狀發光元件故而無法獲得特定光 量。 如圖82B所示’該不良構造可藉由將於與上述對向之方 向垂直之方向鄰接之電極間之間隔b空開0.5χ棒狀發光元 件之長度以上而避免。其原因在於,若如此則藉由長度之 :制而使於上述對向之方向交又之電極間之接合變得困 圖83A係表示棒狀發来a,· i 發先70件所引起之其他不良構造之模 式圖’圖83B表示可p大μ% 了防止该不良構造之構造之模式圖。 154399.doc -100- 201212284 詳細而言,圖m係表示棒狀發光⑽助之―端部連 接於與默排列之對電極之對向方向垂直的方向上相鄰接 之電極之間所形成之凹部’並且棒狀發光元件3624之·一端 部連接於與該凹部於上述對向方向對向之凹部之不良構造
的模式圖°又’雖未㈣’但作為除此以外之該種不良構 [亦有棒狀發光元件之—端部連接於凹部,並且棒狀發 光兀件之另-端部連接於電極之特定位置者。該等不良構 造阻礙狀之發光位置之發光,引起發光之亮度不均。 如圖83B所示,該不良構造可藉由設與預定排列之對電 極之對向方向垂直的方向上相鄰接之電極之間所形成的凹 部之底彼此之距離〇為i .5><棒狀發光元件之長度以上而避 免。其原因在於,若如此則藉由長度之限制而使棒狀發光 元件連接於凹部變得困難。 圖84A係表不棒狀發光元件所引起之其他不良構造之模 式圖,圖84B係表示可防止該不良構造之構造之模式圖。 詳細而言’圖84A係表示棒狀發光元件3724、3725排列 於電極對不同之行之間之不良構造的模式圖。若產生該不 良構造’則無法實現特定發光量及特定光出射密度之均勻 性0 如圖84B所示’該不良構造可藉由使鄰接之電極對不同 之行之間的距離e為2.5χ棒狀發光元件之長度以上而避 免。其原因在於,幾乎不存在3個以上棒狀發光元件串列 配向之情況。 根據該等’若使棒狀發光元件之長度為Ε[μηι],貝彳1個棒 154399.doc • 101 · 201212284 狀發光元件所佔之基板面積s為: 3与〇.5父1^(1.54+2.5><1〇=〇.51^仏[^1112]。據此每單位基 板面積之發光面積為(L-3)>^D/(0.5Lx4L)bm2]。 此處,若每l[lm(流明)]之發光使用2.〇χ1〇5 μιη2以上之基 板面積則成本上升’故而較理想的是以小於2〇χ1〇5 μιη2之 基板面積進行l[lm]之發光。又,棒狀發光元件通常為每 1[μηι2]之發光面積具有7〇xl〇-6[lm]之亮度,故而如下式成 立: 70xl(T6x(L-3)x7cxD/(0.5Lx4L) ^ 1/(2.〇xl〇5) = 5.〇xl〇·6…式(1) 〇 圖85係表示有效的棒狀發光元件之直徑與長度之關係的
圖,且係表示 7〇xlO-6x(L-3)x7txD/(0.5L><4L)=5.〇xl〇·6 之 DL 二維平面上之軌跡的圖。 為了基於生產來揭示成本,如上所述,必須滿足上述式 (1),於圖85中,棒狀發光元件之直徑必須大於線f。因 此,如圖85所示,線f具有大於〇.5〇m](500[nm])之直徑D 之極小值,故而必須使棒狀發光元件之直徑為500 nm以 上。又,藉由設直徑D為1[μηι]以上,可使每單位基板面積 之發光變大,進而可達成成本價值。 以上,進行了本發明之發光裝置之製造方法中可使用之 棒狀發光元件之詳細的說明。然而,本發明中,作為發光 元件,當然亦可使用棒狀發光元件以外之發光元件。具體 而言,本發明中,亦可使用具有圓形狀、橢圓狀、正方形 154399.doc -102· 201212284 狀、矩形狀、多邊形狀等平坦之發光面,且以該發光面相 對於基板平行之方式配置於安裝面上之形態之發光元件。 (第25實施形態) 圖86係本發明之第25實施形態之顯示裝置之概略構成 圖。 上述顯示裝置包括:絕緣可撓性基板400 1 ;形成於絕緣 可撓性基板4001上,且沿著絕緣可撓性基板4001之橫向而 延伸之複數條列配線4002、4002、…;形成於絕緣可撓性 基板4001上,且沿著絕緣可撓性基板4001之縱向而延伸之 複數條行配線4003、4003、…;連接於複數條列配線 4002、 4002、…之列驅動電路4004 ;連接於複數條行配線 4003、 4003、…之行驅動電路4005 ;及矩陣狀地配置於絕 緣可撓性基板4001上之棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠 色LED元件4006B及棒狀藍色LED元件4006C。圖86中‘棒 狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B及棒狀藍 色LED元件4006C僅分別圖示了 2個,實際上有3個以上。 再者,上述絕緣可撓性基板4001為基板之一例。又,上述 列配線4002為第1配線之一例,行配線4003為第2配線之一 例。而且,上述棒狀紅色LED元件4006A為紅色發光元件 之一例,棒狀綠色LED元件4006B為綠色發光元件之一 例,棒狀藍色LED元件4006C為藍色發光元件之一例。 作為上述絕緣可撓性基板400 1可使用例如可撓性陶瓷基 板或可撓性玻璃基板等。又,代替上述絕緣可撓性基板 4001,亦可使用包含如玻璃、陶瓷、氧化鋁、樹脂般之絕 154399.doc -103- 201212284 緣體之剛性基板。或者,亦可使用於如矽般之半導體表面 形成氧化矽膜,且表面具有絕緣性之基板。於使用玻璃基 板之情形時,較理想的是於表面形成如氧化矽膜、氮化矽 膜般之基礎絕緣膜。 上述各列配線4002之大部分由絕緣膜4007覆蓋,於該絕 緣膜4007上形成有各行配線4003之大部分。上述絕緣膜 4007具有棒狀紅色LED元件用開口部4008A、棒狀綠色 LED元件用開口部4008B及棒狀藍色LED元件用開口部 4008C。於上述棒狀紅色LED元件用開口部4008A内配置棒 狀紅色LED元件4006A,於棒狀綠色LED元件用開口部 4008B内配置棒狀綠色LED元件4006B,於棒狀藍色LED元 件用開口部4008C内配置棒狀藍色LED元件4006C。即,上 述棒狀紅色LED元件用開口部4008A形成於紅色之像素 部,棒狀綠色LED元件用開口部4008B形成於綠色之像素 部,棒狀藍色LED元件用開口部4008C形成於藍色之像素 部。再者,上述棒狀紅色LED元件用開口部4008A為紅色 發光元件用開口部之一例,棒狀綠色LED元件用開口部 4008B為綠色發光元件用開口部之一例,棒狀藍色LED元 件用開口部4008C為藍色發光元件用開口部之一例。 上述各列配線4002由絕緣膜4007大部分覆蓋,各列配線 4002之端子部4002a進入棒狀紅色LED元件用開口部4008A 内、棒狀綠色LED元件用開口部4008B内及棒狀藍色LED 元件用開口部4008C内。 上述各行配線4003之大部分形成於絕緣膜4007上,各行 154399.doc • 104· 201212284 配線4003之端子部4003a進入棒狀紅色LED元件用開口部 4008A内、棒狀綠色LED元件用開口部4008B内及棒狀藍色 LED元件用開口部4008C内。 上述列驅動電路4004及行驅動電路4005於列配線4002與 行配線4003之間,流過與欲顯示之資料對應之電流,藉此 驅動與該列配線4002及行配線4003對應之像素部。 上述棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B 及棒狀藍色LED元件4006C,分別係一端部與複數條列配 線4002、4002、…中之一個端子部4002a電性直接連接, 並且另一端部與複數條行配線4003、4003、...中之一個端 子部4003a電性直接連接。藉此,上述列驅動電路4004及 行驅動電路4005經由複數條列配線4002、4002、…及行配 線4003、4003、...,而使電流流過於棒狀紅色LED元件 4006A、棒狀綠色LED元件4006B及棒狀藍色LED元件 4006C中。而且,若於上述棒狀紅色LED元件4006A、棒狀 綠色LED元件4006B及棒狀藍色LED元件4006C中流過電 流,則棒狀紅色LED元件4006A出射紅色光,棒狀綠色 LED元件4006B出射綠色光,棒狀藍色LED元件4006C出射 藍色光。再者,圖86中未圖示,於端子部4002a、4003 a上 塗佈導電性接著劑4010(圖911、圖91J、圖91K)。 圖87係上述棒狀紅色LED元件4006A之概略立體圖。再 者,圖87中,表示將上述棒狀紅色LED元件4006A搭載於 絕緣可撓性基板400 1上之前之狀態。 上述各棒狀紅色LED元件4006A包括:剖面大致圓形之 154399.doc -105- 201212284 棒狀之包含η型GaAs(鎵砷)之半導體芯4111A ;及呈同軸狀 地覆蓋半導體芯4111A之一部分之外周面之方式而形成的 包含p型GaAs之半導體殼4112A。而且,上述各棒狀紅色 LED元件4006A係長度相對於寬度Rl之比為5以上且4〇〇 以下’且’ s亥長度L丨為0.5 μηι以上200 μηι以下。再者,上 述半導體芯4111Α為第1導電型半導體之一例,半導體殼 4112A為第2導電型半導體之一例。 上述半導體芯4111A之一端側之外周面及端面由半導體 殼4112 A覆蓋’半導體芯4111A之另一端側之外周面及端 面露出。 上述半導體殼4112A為有底圓筒形狀,半導體殼4ii2A 之中心抽與半導體芯4111A之半導體殼4112 A側之端部之 中心軸一致。 圖88係上述棒狀綠色LED元件4006B之概略立體圖。再 者’圖88中,表示將上述棒狀綠色LED元件4006B搭載於 絕緣可撓性基板4001上之前之狀態。 上述各棒狀綠色LED元件4006B包括:剖面大致圓形之 棒狀之包含η型GaP(鎵磷)之半導體芯4111B;及呈同軸狀 地覆蓋半導體芯4111B之一部分之外周面之方式而形成的 包含p型GaP之半導體殼4112B。而且,上述各棒狀綠色 LED元件4006B係長度L2相對於寬度R2之比為5以上且400 以下’且’該長度L2為0.5 μιη以上200 μηι以下。再者,上 述半導體芯4111Β為第1導電型半導體之一例,半導體殼 4112Β為第2導電型半導體之一例。 154399.doc -106- 201212284 上述半導體芯4111B之一端側之外周面及端面由半導體 设4112B覆蓋,半導體芯4111B之另一端側之外周面及端面 露出。 上述半導體殼4112B為有底圓筒形狀,半導體殼41126之 中心轴與半導體芯4111B之半導體殼4112B側之端部之中心 轴一致。 圖89係上述棒狀藍色LED元件4006C之概略立體圖。再 者,圖89中,表示將上述棒狀藍色led元件4〇〇6C搭載於 絕緣可撓性基板4001上之前之狀態。 上述各棒狀藍色LED元件400 6C包括:剖面大致圓形之 棒狀之包含n型GaN(鎵氮)之半導體芯4111C ;及呈同轴狀 地覆蓋半導體芯4111C之一部分之外周面之方式而形成的 包含p型GaN之半導體殼4112C。而且,上述各棒狀藍色 LED元件4006C係長度La相對於寬度R3之比為5以上且4〇〇 以下,且’該長度L3為〇·5 μιη以上200 μηι以下。再者,上 述半導體芯4111C為第1導電型半導體之一例,半導體殼 4112C為第2導電型半導體之一例。 上述半導體芯4iiic之一端側之外周面及端面由半導體 设4112C覆蓋,半導體芯41uc之另一端側之外周面及端面 露出。 上述半導體殼4112C為有底圓筒形狀,半導體殼4112C之 中心軸與半導體芯4111C之半導體殼4112C側之端部之中心 轴一致0 根據上述構成之顯示裝置,由於棒狀紅色LED元件 154399.doc •107- 201212284 4006A、棒狀綠色LED元件4006B及棒狀藍色LED元件 4006C係分別為一端部與複數條列配線4002、4002、…中 之一個端子部4002a電性直接連接,並且另一端部與複數 條行配線4003、4003、…中之一個端子部4003a電性直接 連接,故而不需要上述先前(日本專利特開2002-3535 17號 公報)之顯示裝置所需要之導線。其結果,與上述先前之 顯示裝置相比可更削減材料費及製造步驟,從而可以低成 本製造。 又,因不需要上述導線,故而亦不需要接合墊,從而可 使棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B、棒 狀藍色LED元件4006C間之距離變短。而且,上述棒狀紅 色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B、棒狀藍色 LED元件4006C係長度L,、L2、L3相對於寬度Ri、R2、R3 之比為5以上且400以下,且,該長度L!、L2、L3為0.5 μηι 以上200 μηι以下,故而非常小。因此,可使上述顯示裝置 之各像素部非常小,從而可實現高精細之顯示。 又,上述長度1^丨、L2、L3相對於寬度Ri、R2、R3之比為 5以上且400以下,且,該長度Li、L2、L3為200 μιη以下, 故而藉由對列配線4002與行配線4003之間施加電壓,可將 棒狀紅色LED元件4006Α、棒狀綠色LED元件4006Β、棒狀 藍色LED元件4006C容易地配置於列配線4002與行配線 4003之間。 若上述長度L!、L2、L3相對於寬度R!、R2、R3之比小於 5,或者該比超過400,或者該長度超過200 μιη,則即便進 154399.doc • 108 - 201212284 行上述電壓之施加,亦難以將棒狀紅色LED元件4006 A、 棒狀綠色LED元件4006B、棒狀藍色LED元件4006C配置於 列配線4002與行配線4003之間。 又,由於使上述棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色 LED元件4006B、棒狀藍色LED元件4006C之長度L,、L2、 L3為0.5 μηι以上,故而可使發光強度變高,獲得所期望之 發光強度。 φ 若使上述棒狀紅色LED元件4006Α、棒狀綠色LED元件 4006B、棒狀藍色LED元件4006C之長度L,、L2、L3小於 0.5 μιη,則發光強度變低,無法獲得所期望之發光強度。 又,藉由使上述長度L,、L2、L3相對於寬度R!、R2、R3 之比為5以上,而使列配線4002之端子部4002a與行配線 4003之端子部4003a之間的距離變長,故而列配線4002及 行配線4003用之例如曝光裝置為低規格即可,且難以產生 端子部4002a對端子部4003 a之短路。因此,不會使上述棒 ® 狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B、棒狀藍 色LED元件4006C之材料成本增加,可降低裝置成本,可 使良率提高,從而可降低總製造成本。 又,由於上述半導體殼4112A、4112B、4112C同軸狀地 覆蓋半導體芯4111A、4111B、4111C之一部分,故而棒狀 紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B、棒狀藍色 LED元件4006C之各自之發光面積擴大。因此,可提高上 述LED液晶顯示裝置之亮度。
又,於上述絕緣可撓性基板4001上,配置棒狀紅色LED 154399.doc -109· 201212284 元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B及棒狀藍色LED元件 4006C,故而可不使用螢光體而實現全彩顯示。 又’藉由將該第25實施形態之顯示裝置用於液晶顯示裝 置等之背光’可實現能夠薄型化與輕量化且發光效率高且 省電之背光。 又’於將該第25實施形態之顯示裝置用於液晶顯示裝置 之背光之情形時,可省略液晶顯示裝置之彩色濾光片,從 而可降低製造成本’並且可使液晶顯示裝置之色純度及亮 度提高。 又’藉由將έ亥第2 5貫施形態之顯示裝置用作照明裝置, 可實現能夠薄型化與輕量化且發光效率高且省電之照明裝 置。於該情形時,亦可使搭載於上述絕緣可撓性基板4〇〇1 上之發光元件之出射光之顏色統一為一種顏色。 又,由於上述顯示裝置使用絕緣可撓性基板4〇〇1,故而 可使絕緣可撓性基板4〇〇1之配置之自由度變高。 以下,對上述棒狀藍色LED元件4〇〇6C之製造方法進行 說明。 圖90A〜圖90E係表示上述棒狀藍色LED元件4〇〇6c之製 造方法之步驟圖。該第25實施形態中,使用摻雜有^(石夕) 之η型GaN與摻雜有Mg(鎂),但摻雜於GaN中之 雜質並不限定於此。 首先,如圖9〇A所示,於包含η型GaN之基板4121上,形 成具有複數個成長孔4122a(圖9〇A中僅圖示!個)之遮罩 彻。作為該遮罩4122之材料,可使用叫(氧化石夕)或氮 I54399.doc 201212284 化石夕(ShN4)等能夠對半導體芯4mc及半導體殼4U2C進行 選擇性地钮刻之材料。上述成長孔41223之形成可利用通 常之半導體製程中所使用之周知之微影法與乾式蝕刻法。 其次’如圖90B所示,於半導體芯4111C形成步驟中,於 藉由遮罩4122之成長孔4122a而露出之基板4121上,使用 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition :金屬 有機氣相沈積)裝置,使n型GaN結晶成長而形成複數根棒 狀之半導體芯4111C(圖90B中僅圖示1根此時,將成長 溫度設定為950°C左右,使用TMG(三曱基鎵)及Nh3(氨)作 為成長氣體,對η型雜質供給用供給siH4(矽烷),進而供給 H2(氫)作為載氣,藉此可使以“為 雜質之η型GaN之半導體 芯4111(:成長。此時,可以遮罩4122之成長孔4122&之直徑 決定成長之半導體芯4111C之直徑。又,n型GaN為六方晶 系之結晶成長’且以相對於基板4121表面垂直之方向為c 轴向而使之成長’由此成為六稜柱形狀之半導體芯 4111C。依賴於成長方向或成長溫度等之成長條件,於所 成長之半導體芯4111C之直徑為數1〇 nm至數100 nm左右較 小之情形時存在剖面容易成為接近大致圓形之形狀的傾 向,若直徑為0.5 μιη左右至數μιη變大則存在容易以剖面大 致六邊形而使之成長之傾向。 其次’如圖90C所示,於半導體層形成步驟中,以覆蓋 棒狀之半導體芯4111C之方式而於基板4121之整個表面上 形成包含ρ型GaN之半導體層4112C,。將形成溫度設定為 960°C左右,使用TMG及ΝΑ作為成長氣體,對p型雜質供 154399.doc -111· 201212284 給用使用ChMg(雙環戊二烯基鎂),藉此可使以鎂(Mg)為 雜質之p型GaN成長。 其次’於露出步驟中’藉由剝離而將半導體層4U2C,之 一部分與遮罩4122—併去除,如圖9〇D所示,形成覆蓋半 導體芯4111C之一部分之半導體殼4U2C,使棒狀之半導體 芯4111C之基板4121側之端部之外周面露出。於該狀態 下’上述半導體芯4111C之基板4121側之相反側之端面由 半導體殼4112(:覆蓋。於上述遮罩4122由3丨02或8丨31^4構成 之情形時,使用含有HF (氟酸)之溶液,藉此可不對半導體 芯4111C及覆蓋半導體芯4111C之半導體層部分(成為半導 體殼4112C之部分)帶來影響地容易地對遮罩4122進行蝕 刻,可藉由剝離而將半覆蓋導體芯4111C之基板4121側之 端部之外周面的半導體層4112C'之一部分與遮罩4122 —併 去除。該第25實施形態之露出步驟中,雖使用剝離,但亦 可藉由蝕刻而使半導體芯4111C之基板41 21侧之端部之外 周面露出。於乾式蝕刻之情形時,藉由使用CF4或XeF2, 可不對半導體芯4111C及覆蓋半導體芯4111C之半導體層部 分(成為半導體殼4112C之部分)帶來影響地對遮罩4122進 行蝕刻,可將覆蓋半導體芯4111C之基板4121側之端部之 外周面的半導體層411 2C'之一部分與遮罩4122—併去除。 其次,於分離步驟中,將基板4121浸潰於IPA(異丙醇) 溶液中,使用超音波(例如數1〇 KHz)而使基板4121沿著基 板平面振動,藉此以使豎立設置於基板4121上之半導體芯 4111C之接近基板4121側之根部彎曲的方式,而對一部分 154399.doc •112- 201212284 由半導體殼4112C覆蓋之半導體芯4111C作用應力,如圖 90E所示,將一部分由半導體殼4112C覆蓋之半導體芯 4111C自基板4121分離。 如此,可一次製造複數個自上述基板4121分離之微細的 棒狀藍色LED元件4006C。 而且,上述棒狀紅色LED元件4006A及棒狀綠色LED元 件4006B亦與棒狀藍色LED元件4006C同樣地可一次製造複 數個。 該第25實施形態之顯示裝置可使用如上所述製造出之棒 狀紅色LED元件4006 A及棒狀綠色LED元件4006B、棒狀藍 色LED元件4006C而製造。 以下,對上述顯示裝置之製造方法進行說明。 首先,如圖91A所示,於絕緣可撓性基板4001上,於基 板之縱向隔開特定間隔而排列複數條列配線4002、 4002、…。此處,上述列配線4002係利用印刷技術而形成 為所期望之形狀。再者,亦可將金屬膜及感光體膜均勻地 積層,將所期望之電極圖案曝光並進行蝕刻而形成列配線 4002 ° 其次,如圖91B所示,於上述絕緣可撓性基板4001之整 個表面上形成絕緣膜4007,由絕緣膜4007覆蓋複數條列配 線4002、4002、…之全部° 其次,將上述絕緣膜4007之一部分去除,如圖91C所 示,形成用以配置棒狀紅色LED元件4006A之棒狀紅色 LED元件用開口部4008A,用以配置棒狀綠色LED元件 154399.doc •113· 201212284 4006B之棒狀綠色LED元件用開口部4008B,及用以配置棒 狀藍色LED元件4006C之棒狀藍色LED元件用開口部 4008C。藉此,列配線4002之端子部4002a自上述棒狀紅色 LED元件用開口部4008 A内、棒狀綠色LED元件用開口部 4008B内及棒狀藍色LED元件用開口部4008C内露出。 其次,如圖91D所示,於上述絕緣膜4007上,於基板之 橫向隔開特定間隔而排列複數條行配線4003、4003、…, 將行配線4003之端子部4003a放入棒狀紅色LED元件用開 口部4008A内、棒狀綠色LED元件用開口部4008B内及棒狀 藍色LED元件用開口部4008C内。此處,上述行配線4003 係利用印刷技術而形成為所期望之形狀。再者,亦可將金 屬膜及感光體膜均勻地積層,將所期望之電極圖案曝光並 蝕刻,而形成行配線4003。 其次,如圖91E、圖91F所示,對上述複數條列配線 4002、4002、...之全部,及對端子部4003a放入棒狀紅色 LED元件用開口部4008A内之行配線4003,連接交流電源 4131。 其次,於塗佈步驟中,於絕緣可撓性基板4001上,較薄 地塗佈包含複數個棒狀紅色LED元件4006A之IPA溶液 4132。 除了上述IPA溶液4132以外,亦可為乙二醇、丙二 醇、甲醇、乙醇、丙酮、或其等之混合物。或者,可代替 IPA溶液4132,而使用包含其他有機物之液體、水等。再 者,上述IPA溶液4132為液體之一例。 然而,若於上述列配線4002之端子部4002a與行配線 154399.doc -114- 201212284 4003之端子部4003a之間經由液體而流過較大之電流,則 無法對列配線4002之端子部4002a與行配線4003之端子部 4003a之間施加所期望之電壓差。於如此之情形時,只要 以覆蓋上述列配線4003及行配線4003之端子部4003a之方 式,於絕緣可撓性基板4001之整個表面上塗佈10 nm〜30 nm左右之絕緣膜即可。 塗佈包含上述複數個棒狀紅色LED元件4006A之IPA溶液 4132之厚度,係棒狀紅色LED元件4006A可於液體中移動 之厚度,.以便於接下來排列棒狀紅色LED元件4006A之步 驟中可排列棒狀紅色LED元件4006A。因此,塗佈上述IPA 溶液4132之厚度為棒狀紅色LED元件4006A之粗度(寬度 Ri)以上,例如,為數μπι〜數mm。若塗佈之厚度過薄,則 棒狀紅色LED元件4006A難以移動,若過厚,則乾燥液體 之時間變長。又,相對於IPA溶液4132之量,棒狀紅色 LED元件4006A之量較佳為U104根/cm3〜ΙχΙΟ7根/cm3。 為了塗佈包含上述棒狀紅色LED元件4006A之IPA溶液 4132,亦可於所要排列棒狀紅色LED元件4006A之金屬電 極之外周圍形成框,而於該框内將包含棒狀紅色LED元件 4006A之IPA溶液4132填充至所期望之厚度。然而,於包含 棒狀紅色LED元件4006A之IPA溶液4132具有黏性之情形 時,無需框即可塗佈成所期望之厚度。 IPA或乙二醇、丙二醇、…、或其等之混合物,或包含 其他有機物之液體,或水等液體之黏性越低越理想,又較 理想的是容易藉由加熱而蒸發,以便用於棒狀紅色LED元 154399.doc -115- 201212284 件4006A之排列步驟。 其次,對上述列配線4002之端子部4002a施加基準電 位,對行配線4003之端子部4003a施加特定振幅之交流電 壓。藉此,使上述棒狀紅色LED元件4006A進入棒狀紅色 LED元件用開口部4008A内。此時,上述棒狀紅色LED元 件4006A之一端部配置於列配線4002之端子部4002a上,另 一方面,棒狀紅色LED元件4006A之另一端部配置於行配 線4003之端子部4003a上。 上述交流電壓之頻率較佳為10 Hz〜1 MHz,更佳為50 Hz~l kHz,此時排列最穩定。進而,上述交流電壓並不限 定於正弦波,只要為矩形波、三角波、鋸齒形波等週期性 地變動者即可。再者,上述振幅為0.5 V左右較佳。又, 亦可代替上述交流電源413 1而使用直流電源。 其次,如圖91G所示,對上述複數條列配線4002、 4002、...之全部及端子部4003 a進入棒狀綠色LED元件用開 口部4008B内之行配線4003,連接交流電源4 1 3 1。 其次,於塗佈步驟中,於絕緣可撓性基板4001上,較薄 地塗佈包含棒狀綠色LED元件4006B之IPA溶液4133。可代 替上述IPA溶液4133而使用之溶液與棒狀紅色LED元件 4006A之情形時相同。又,上述IPA溶液4133之塗佈厚度亦 與棒狀紅色LED元件4006A之情形時相同。即,包含上述 棒狀綠色LED元件4006B之IPA溶液4133之塗佈,可與包含 棒狀紅色LED元件4006A之IPA溶液4132之塗佈相同地進 行。再者,上述IPA溶液4133為液體之一例。 154399.doc •116- 201212284 其次,與上述棒狀紅色LED元件4006A之排列時相同 地,對列配線4002之端子部4002a施加基準電位,對行配 線4003之端子部4003a施加特定振幅之交流電壓。藉此, 上述棒狀綠色LED元件4006B進入棒狀綠色LED元件用開 口部4008B内。此時,上述棒狀綠色LED元件4006B之一端 部配置於列配線4002之端子部4002a上,另一方面,棒狀 綠色LED元件4006B之另一端部配置於行配線4003之端子 部4003a上。 其次,如圖91H所示,對上述複數條列配線4002、 4002、…之全部及端子部3a進入棒狀藍色LED元件用開口 部4008C内之行配線4003,連接交流電源4131。 其次,於塗佈步驟中,於絕緣可撓性基板4001上,較薄 地塗佈包含棒狀藍色LED元件4006C之IPA溶液4134。可代 替上述IPA溶液4134而使用之溶液與棒狀紅色LED元件 4006A之情形時相同。又,上述IPA溶液4134之塗佈厚度亦 與棒狀紅色LED元件4006A之情形時相同。即,包含上述 棒狀藍色LED元件4006C之IPA溶液4134之塗佈可與包含棒 狀紅色LED元件4006A之IPA溶液4132之塗佈相同地進行。 再者,上述IPA溶液4134為液體之一例。 其次,與上述棒狀紅色LED元件4006A之排列時相同 地,對列配線4002之端子部4002a施加基準電位,對行配 線4003之端子部4003a施加特定振幅之交流電壓。藉此, 上述棒狀藍色LED元件4006C進入棒狀藍色LED元件用開 口部4008C内。此時,上述棒狀藍色LED元件4006C之一端 154399.doc -117· 201212284 部配置於列配線4002之端子部4002a上,另一方面,棒狀 藍色LED元件4006B之另一端部配置於行配線4003之端子 部4003a上。 其次,如圖911〜圖91K所示,於上述列配線4002、行配 線4003之端子部4002a、4003a上藉由例如噴墨而塗佈導電 性接著劑4010,並使導電性接著劑4010乾燥而硬化。藉 此,上述棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件 4006B及棒狀藍色LED元件4006C之一端部固定於列配線 4002之端子部4002a,成為與列配線4002之端子部4002a導 通之狀態。又,上述棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色 LED元件4006B及棒狀藍色LED元件4006C之另一端部固定 於行配線4003之端子部4003a,成為與行配線4003之端子 部4003a導通之狀態。即,棒狀紅色LED元件4006A、棒狀 綠色LED元件4006B及棒狀藍色LED元件4006C之一端部物 理性且電性直接連接於上述列配線4002之端子部4002a, 並且棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B及 棒狀藍色LED元件4006C之另一端部物理性且電性直接連 接於行配線4003之端子部4003a。 其次,如圖86所示,將複數條列配線4002、4002、…連 接於上述列驅動電路4004,並且將複數條行配線4003、 4003、...連接於行驅動電路4005。 如此,較薄地塗佈包含上述複數個棒狀紅色LED元件 4006A之IPA溶液4132之後,對列配線4002之端子部4002a 施加基準電位,對行配線4003之端子部4003a施加特定振 154399.doc -118- 201212284 幅之交流電壓,藉此可將向紅色之像素部之複數個棒狀紅 色LED元件4006A之排列一次進行。因此,不需要一個個 地排列上述複數個棒狀紅色LED元件4006A之作業,又, 亦不需要線接合步驟,故而使製造步驟簡單,從而可降低 製造成本。 又,由於上述複數個棒狀綠色LED元件4006B及棒狀藍 色LED元件4006C之排列亦與複數個棒狀紅色LED元件 4006A之排列相同地進行,故而可使製造步驟更簡單,從 而可進一步降低製造成本。 又,藉由上述交流電源413 1僅施加3次交流電壓,即可 結束複數個棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件 4006B及棒狀藍色LED元件4006C之排列,故而可減少製造 步驟數。 又,上述棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件 4006B及棒狀藍色LED元件4006C非常小,僅藉由對列配線 4002之端子部4002a與行配線4003之端子部4003a之間施加 所期望之電壓差,即可容易地將棒狀紅色LED元件4006A 放入棒狀紅色LED元件用開口部4008A内,容易地將棒狀 綠色LED元件4006B放入棒狀綠色LED元件用開口部4008B 内,容易地將棒狀藍色LED元件4006C棒狀藍色LED元件 用開口部4008C内。因此,上述複數個棒狀紅色LED元件 4006A、棒狀綠色LED元件4006B及棒狀藍色LED元件 4006C之排列較為容易。 上述第25實施形態中,以棒狀紅色LED元件4006A、棒 154399.doc -119- 201212284 狀綠色LED元件4006B、棒狀藍色LED元件之順序進行排 列,例如,亦可以棒狀綠色LED元件4006B、棒狀紅色 LED元件4006A、棒狀藍色LED元件之順序進行排歹,或 者,亦可以棒狀藍色LED元件、棒狀綠色LED元件 4006B、棒狀紅色LED元件4006A之順序進行排列。 上述第25實施形態中,於結束棒狀紅色LED元件 4006A、棒狀綠色LED元件4006B、棒狀藍色LED元件之排 列之後,於棒狀紅色LED元件‘用開口部4008A内、棒狀綠 色LED元件用開口部4008B内及棒狀藍色LED元件用開口 部4008C内塗佈導電性接著劑4010,例如,亦可將棒狀紅 色LED元件4006A之排列、向棒狀紅色LED元件用開口部 4008A内之導電性接著劑4010之塗佈、棒狀綠色LED元件 4006B之排歹|J、向棒狀綠色LED元件用開口部4008B内之導 電性接著劑4010之塗佈、棒狀藍色LED元件4006C之排 列、向棒狀藍色LED元件用開口部4008C内之導電性接著 劑4010之塗佈依序進行。 上述第25實施形態中,於絕緣可撓性基板4001上,搭載 有棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色LED元件4006B及棒 狀藍色LED元件4006C之3種棒狀LED元件,但亦可搭載1 種棒狀LED元件。例如,亦可於絕緣可撓性基板4001上僅 排列複數個棒狀藍色LED元件4006C,或者排列出射紅 色、綠色、藍色以外之顏色之光的複數個棒狀LED元件。 又,亦可使搭載於上述絕緣可撓性基板4001上之棒狀 LED元件之種類為4種以上。例如,亦可於上述絕緣可撓 154399.doc -120- 201212284 性基板4001上,搭載棒狀紅色LED元件4006A、棒狀綠色 LED元件4006B、棒狀藍色LED元件4006C及棒狀黃色LED 元件之4種棒狀LED元件。 (第26實施形態) 圖92係本發明之第26實施形態之顯示裝置之概略構成 圖。又,於圖92中,與圖86之構成部為同一形狀且同一名 稱之構成部附加與圖86之構成部同一之參照編號並省略說 明。再者,圖92中,與圖86同樣,省略端子部4202a、 4203a上之導電性接著劑4010之圖示。 上述顯示裝置包括形成有複數個棒狀紅色LED元件用開 口部4208A、4208A、...、棒狀綠色LED元件用開口部 4208B、4208B、…及棒狀藍色LED元件用開口部4208C、 4208C、…之絕緣膜4207 ° 於上述各棒狀紅色LED元件用開口部4208 A内配置有棒 狀紅色LED元件4206A,於各棒狀綠色LED元件用開口部 4208B内配置有棒狀綠色LED元件4206B,於各棒狀藍色 LED元件用開口部4208C内配置有棒狀藍色LED元件 4206C。上述棒狀紅色LED元件4206A、棒狀綠色LED元件 4206B及棒狀藍色LED元件4206C分別係一端部與複數條列 配線4202、4202、…之中之一個端子部4202a電性直接連 接,並且另一端部與複數條行配線4203、4203、…之中之 一個端子部4203a電性直接連接。藉此,上述列驅動電路 4004及行驅動電路4005經由列配線4202及行配線4203,而 使棒狀紅色LED元件4206A、棒狀綠色LED元件4206B及棒 154399.doc • 121 - 201212284 狀藍色LED元件4206C中流過電流。而且,若上述棒狀紅 色LED元件4206A、棒狀綠色LED元件4206B及棒狀藍色 LED元件4206C中流過電流,則棒狀紅色LED元件4206A出 射紅色光,棒狀綠色LED元件4206B出射綠色光,棒狀藍 色LED元件4206C出射藍色光。 又,與上述第25實施形態相同地,棒狀紅色LED元件 4206A、棒狀綠色LED元件4206B及棒狀藍色LED元件 4200C亦分別係長度相對於寬度之比為5以上且400以下, 且該長度為0.5 μηι以上200 μιη以下,但在調整棒狀紅色 LED元件4206Α、棒狀綠色LED元件4206Β及棒狀藍色LED 元件4206C之各發光面積的方面與上述第25實施形態不 同。 更詳細而言,於製造時以成長時間等調整棒狀紅色LED 元件4206A、棒狀綠色LED元件4206B及棒狀藍色LED元件 4206C之各自之發光面積,以於上述棒狀紅色LED元件 4206A、棒狀綠色LED元件4206B及棒狀藍色LED元件 4206C中流動相同電流之情形時,將棒狀紅色LED元件 4206A之紅色之出射光、棒狀綠色LED元件4206B之綠色之 出射光、及棒狀藍色LED元件4206C之藍色之出射光加以 混合便可獲得白色光。此處,由於發光強度按照上述棒狀 藍色LED元件4206C、棒狀紅色LED元件4206A、棒狀綠色 LED元件4206B之順序變大,故而以使棒狀紅色LED元件 4206A之發光面積大於棒狀藍色LED元件4206C之發光面積 之方式,且以使棒狀綠色LED元件4206B之發光面積大於 154399.doc -122- 201212284 棒狀紅色LED元件4206A之發光面積之方式,製造棒狀紅 色LED元件4206A、棒狀綠色LED元件4206B及棒狀藍色 LED 元件 4206C。 再者,上述列配線4202、行配線4203、絕緣膜4207與上 述第25實施形態之列配線4002、行配線4003、絕緣膜4007 相比,僅形狀不同。 根據上述構成之顯示裝置,於棒狀紅色LED元件 φ 4206A、棒狀綠色LED元件4206B及棒狀藍色LED元件 4206C中流動相同電流,且將棒狀紅色LED元件4206A之紅 色之出射光、棒狀綠色LED元件4206B之綠色之出射光、 及棒狀藍色LED元件4206C之藍色之出射光加以混合便可 獲得白色光。 因此,由於用以獲得上述白色光之控制變得簡單,故而 可使列驅動電路4004及行驅動電路4005之構成變得簡單。 又,即便於上述棒狀紅色LED元件4206A、棒狀綠色 ® LED元件4206B及棒狀藍色LED元件4206C中發光強度最小 之棒狀綠色LED元件4206B中不流動過剩的電流,亦可獲 得白色光,故而可防止棒狀綠色LED元件4206B之壽命變 短。 (第27實施形態) 圖93係本發明之第27實施形態之顯示裝置之概略構成 圖。又,於圖93中,與圖86之構成部為同一形狀且同一名 稱之構成部附加與圖86之構成部同一之參照編號並省略說 明。再者,圖93中,與圖86同樣,省略端子部4002a、 154399.doc -123- 201212284 4003a上之導電性接著劑4010之圖示。 上述顯示裝置包括出射紫外光之複數個棒狀LED元件 43 06、43 06、...。各棒狀LED元件4306配置於複數個紅色 螢光體用開口部4308A、4308A、...、綠色螢光體用開口 部4308B、4308B、…及藍色螢光體用開口部4308C、 43 08C、…之各個上。再者,上述棒狀LED元件43 06為發 光元件之一例。 上述複數個棒狀LED元件43 06、43 06、…分別係一端部 與複數條列配線4002、4002、…中之一個端子部4002a電 性直接連接,並且另一端部與複數條行配線4003、 4003、...中之一個端子部4003a電性直接連接。藉此,上 述列驅動電路4004及行驅動電路4005經由列配線4002及行 配線4003而使電流流過棒狀LED元件43 06。 又,與上述第25實施形態相同地,各棒狀LED元件4306 亦係長度相對於寬度之比為5以上且400以下,且該長度為 0.5 μπι以上 200 μηι以下。 於上述紅色螢光體用開口部4308Α内,配置有接收來自 棒狀LED元件4306之紫外光出射紅色光之紅色螢光體 4309A。該紅色螢光體4309A以覆蓋紅色螢光體用開口部 4308A内之棒狀LED元件4306之方式而形成。 於上述綠色螢光體用開口部4308B内,配置有接收來自 棒狀LED元件4306之紫外光出射綠色光之綠色螢光體 43 09B。該綠色螢光體4309B以覆蓋綠色螢光體用開口部 4308B内之棒狀LED元件4306之方式而形成。 154399.doc -124- 201212284 於上述藍色螢光體用開口部4308C内,配置有接收來自 棒狀LED元件43 06之紫外光出射藍色光之藍色勞光體 4309C。該藍色螢光體4309C以覆蓋藍色螢光體用開口部 4308C内之棒狀LED元件4306之方式而形成。 圖94係上述顯示裝置之要部之模式剖面圖。 上述棒狀LED元件4306包括:剖面大致圓形之棒狀之包 含η型InGaN(氮化銦鎵)之半導體芯4311 ;及呈同軸狀地覆 蓋半導體芯43 11之一部分之外周面之方式而形成的包含p 型InGaN之半導體殼4312。再者,上述半導體芯4311為第1 導電型半導體之一例,半導體殼43 12為第2導電型半導體 之一例。 上述半導體芯43 11之一端側之外周面及端面由半導體殼 43 12覆蓋,但半導體芯43 11之另一端側之外周面及端面露 出。 上述半導體殼4312為有底圓筒形狀,半導體殼4312β中 〜轴與半導體芯43 11之半導體殼43 12側之端部之中心轴一 致。 又’上述棒狀LED元件4306之一端部以導電性接薪劑 4010固定於列配線4002之端子部4002a,另一方面,棒狀 LED元件4306之另一端部以導電性接著劑4〇1〇固定於行配 線4003之端子部4〇〇3a。藉由該固定,棒狀LED元件43〇6 之半導體芯4 311露出之側之端部的中心軸較之棒狀L E D元 件4306之半導體芯4311不露出之側之端部的中心軸更偏向 絕緣可撓性基板400 1側。 154399.doc •125· 201212284 再者,圖93之紅色螢光體用開口部4308A、綠色螢光體 用開口部4308B及藍色螢光體用開口部4308C,與上述第 25實施形態之棒狀紅色LED元件用開口部4008A、棒狀綠 色LED元件用開口部4008B、棒狀藍色LED元件用開口部 4008C形狀相同,僅名稱不同。 以下,對上述顯示裝置之製造方法進行說明。 首先,以與上述第25實施形態同樣之方法,於絕緣可撓 性基板4001上,形成複數條列配線4002、4002、…、複數 條行配線4003、4003、…及絕緣膜4007之後,排列及固定 複數個棒狀LED元件4306。藉此,上述各棒狀LED元件 4306之一端部與列配線4002之端子部4002a電性直接連 接,並且各棒狀LED元件4306之另一端部與行配線4003之 端子部4003a電性直接連接。 其次,於上述紅色螢光體用開口部4308A内利用喷墨法 等形成紅色螢光體4309A,紅色螢光體用開口部4308 A内 之棒狀LED元件43 06之紫外光入射至紅色螢光體4309A。 其次,於上述綠色螢光體用開口部4308B内利用喷墨法 等形成綠色螢光體4309B,綠色螢光體用開口部4308B内 之棒狀LED元件43 06之紫外光入射至綠色螢光體43 09B。 其次,於上述藍色螢光體用開口部4308C内利用喷墨法 等形成藍色螢光體4309C,藍色螢光體用開口部4308C内 之棒狀LED元件4306之紫外光入射至藍色螢光體4309C。 如此,與上述第25實施形態相同地,於較薄地塗佈包含 複數個棒狀LED元件4306之IPA溶液之後,對列配線4002 154399.doc •126- 201212284 對行配線4003之端子部 ’藉此可將複數個棒狀 之端子部4002a施加基準電位, 4003a施加特定振幅之交流電壓
LED元件43 06之排列一次進杆。lL J 琨仃因此,不需要將上述複數 個棒狀LED元件4306—個個地排列之作業,又,亦不需要 線接合步驟,故而使製造步驟簡單,從而可降低製造成 本。 又,由於形成上述紅色螢光體43〇9A、綠色螢光體 # 4309B及藍色螢光體㈣9C,故而僅以出射紫外光之發光 元件即可實現全彩顯示。 上述第27實施形態中,按照紅色螢光體、綠色螢光體、 藍色螢光體之順序形成,但例如,亦可按照綠色營光體、 紅色螢光體、藍色螢光體之順序形成,或者,亦可按照藍 色螢光體、綠色螢光體、紅色營光體之順序等形成。即, 上述紅色螢光體、綠色螢光體、藍色螢光體之形成之順序 並不限定於上述第27實施形態。 •又,於上述第27實施形態中,如第26實施形態般,亦可 調整各棒狀LED元件之發光面積,以於複數個棒狀LED元 件中流動相同電流之情形時’將紅色螢光體之紅色之出射 光’’亲色螢光體之綠色之出射光、及藍色螢光體之藍色之 出射光加以混合便可獲得白色光。 於上述第25〜第27實施形形態中,亦可對列配線及行配 線施加交流電壓而使棒狀紅色LED元件等發光。即便半導 體〜之路出側之端部之方向不一致,亦可使棒狀紅色 元件等均勻地發光。 154399.doc -127- 201212284 上述第25~第27實施形態中,對將LED元件用作發光元 件之一例之顯示裝置及其製造方法進行了說明,但本發明 可適用於半導體雷射、有機EL(Electro Luminescence :電 致發光)、無機EL(本徵EL)等用作發光元件之顯示裝置及 其製造方法。 上述第25〜第27實施形態中,半導體芯與半導體殼使用 以GaAs、GaP、GaN、InGaN為母材之半導體,但亦可使 用以 AlGaAs、GaAsP、InGaN、AlGaN、ZnSe、AlGalnP 等 為母材之半導體。 上述第25〜第27實施形態中,使半導體芯為n型,使半導 體殼為ρ型,但亦可使半導體芯為ρ型,使半導體殼為η 型。又’對具有大致圓柱形狀之半導體芯之發光元件進行 了說明’但並不限定於此,半導體芯可為剖面呈橢圓之棒 狀,亦可為剖面呈三角形或六邊形等多邊形狀之棒狀。 上述第25〜第27實施形態中,半導體殼覆蓋半導體芯之 一端面,但亦可係半導體殼不覆蓋半導體芯之一端面, 即’半導體芯之軸向之兩端面露出。 上述第25〜第27實施形態中,半導體芯之露出侧之端部 之周面與半導體殼之周面之間產生階差,但亦可為半導體 芯之露出側之端部之周面與半導體殼之周面無階差地相 連即’亦可為半導體芯之露出側之端部之用 ^ ^ ^ 周面與半導體 设之周面成為大致同一面。 :上述第25〜第27實施形態中’亦可於半導體芯 體设之間插入量子井層。 154399.doc • 128· 201212284 於上述第25〜第27實施形態中,以於相對於列配線延伸 之方向正交之方向延伸之方式形成行配線,但亦可以於相 對於列配線延伸方向成銳角或鈍角交叉之方向延伸之方式 形成行配線。 如上述般’對本發明之上述第25〜第27實施形態及其變 形例進行了說明,但本發明並不限定於上述第25〜第27實 施形態及其變形例者,於本發明之範圍内可實施各種變 更。例如’亦可使上述第25〜第27實施形態及其變形例之 構成適當組合而成者作為本發明之一實施形態。 (第28實施形態) 圖97係本發明之第28實施形態之液晶顯示裝置之剖面 圖。如圖97所示,該液晶顯示裝置具有透過光之第1基板 5001及透過光之第2基板5〇〇2。第1基板5〇〇1與第2基板 5002相互平行地對向配置’於該兩者之基板5〇〇1、5〇〔丨2之 間填充有液晶5〇〇3。第1基板5〇〇1、第2基板5〇〇2及液晶 5003構成液晶面板。 於上述第1基板5001之液晶5003侧(下側)之面設置有作 為開關元件之薄膜電晶體(以下稱為TFT)5〇〇4。即,第i基 板5001為TFT基板。 上述TFT5004具有自第1基板5〇〇1側依序配置之閘極電 極5041、(包含非晶矽等之)半導體膜5〇42、源極電極5〇43 及沒極電極5044。於閘極電極5〇41與半導體膜5〇42之間, 設置有包含氣化矽等之閘極絕緣膜5〇45。源極電極5〇43與 汲極電極5044於閘極電極5〇41下之半導體膜5〇42之兩侧相 154399.doc -129- 201212284 互隔離而形成。汲極電極5044經由接觸孔而連接於像素電 極 5046。 上述TFT5004藉由自閘極電極5041供給之掃描信號電壓 而接通/斷開控制。又,自源極電極5〇43供給之圖像顯示 信號電壓經由汲極電極5044而供給至像素電極5〇46。 上述TFT5004由形成於閘極絕緣膜5〇45下側之絕緣膜 5047覆蓋。該絕緣膜5〇47包含感光性樹脂,且配置於源極 電極5043與像素電極5046之間而使兩電極間絕緣。像素電 極5046針對每個像素區域而矩陣狀地形成。像素電極5〇46 係藉由例如ITO(indium-tin oxide:氧化銦錫)等之透明導 電體而形成。於該像素電極5〇46之下側形成有未圖示之配 向膜,液晶5003藉由該配向膜而於特定方向配向限制。 於上述第1基板5001之與液晶5003側為相反側(上側)之 面,介隔第1偏光膜5017而配置有發光元件5〇1〇。於發光 兀件5010上積層有透明的保護膜5〇〇8,於該保護膜5〇〇8上 積層有反射膜5009。 上述反射膜5009使自發光元件5010發出之光反射至第1 基板5001側。藉由該反射膜5〇〇9,可使自發光元件5〇1〇照 射至第1基板5001之與液晶5〇〇3側為相反之方向的光效率 佳地朝向液晶5003反射。因此’可效率佳地利用自發光元 件5010發出之光。 上述發光元件5010例如為藍色之LED發光元件,於該發 光元件5010上,由發出黃色螢光之螢光體5013覆蓋,藉此 構成白色之背光部。上述保護膜5〇〇8包含例如樹脂等,上 154399.doc •130· 201212284 述反射膜5009包含例如紹等。 上述發光元件5010為棒狀構造之發光元件,且以發光元 件5010之軸與第1基板5001之上表面大致平行之方式配置 於第1基板5001。 如圖98所示’上述發光元件5010具有棒狀之第1導電型 之半導體芯5〇11、及以覆蓋半導體芯5011之方式而形成的 第2導電型之半導體層5012。半導體芯5011包含η型GaN, 且形成為剖面六邊形之棒狀。半導體層5〇12包含p型 GaN。半導體芯5011中形成有一端側之外周面露出之露出 部分501 la。半導體芯5011之另一端側之端面由半導體層 5012覆蓋。 於上述半導體芯5011之露出部分5〇Ua連接有η側電極 (圖103之第2電極5052),於上述半導體層5〇12連接有ρ側電 極(圖103之第1電極5〇51) ’以由半導體芯5〇11之外周面與 半導體層5012之内周面之pn接面部而引起電子與電洞之再 結合之方式自ρ側電極向η側電極流過電流,藉此自pn接面 部放出光。該發光元件501〇中,從由半導體層5〇12覆蓋之 半導體芯50 11之全周放出光,由此發光區域擴大,從而使 發光效率較高。 此處,上述發光元件5010係指例如直徑為i μιη且長度為 10 μιη〜3 0 μηι之微米級尺寸、直徑或長度中之至少直徑未 達1 μπι之奈米級尺寸之元件。 自上述發光元件5010發出之光以發光元件5〇1〇之轴為中 心而向360度方向照射。因此,於將發光元件5〇1〇配置於 154399.doc •131· 201212284 第1基板5001上之步驟中,無需控制以上述軸為中心之旋 轉方向。因此,可容易地進行發光元件5〇1〇之排列。 又’上述發光元件5010為棒狀構造之發光元件,故而可 使發光元件5010之單位體積之發光面積變大。因此,可使 用以獲得所期望之光量之發光元件5〇丨〇之尺寸變小,從而 可降低發光元件5010之材料費。因此,可降低液晶顯示裝 置之成本。 此處’對上述發光元件5010之製造方法進行說明。該實 施形態中’使用摻雜有Si之n型GaN與摻雜有Mg之p型 GaN ’但摻雜於GaN中之雜質並不限定於此。 首先,如圖99A所示,於包含nsGaN之基板5〇21上形成 具有成長孔5022a之遮罩5022。遮罩5022可使用能夠對氧 化矽(Si〇2)或氮化矽(shN4)等半導體芯及丰導體層進行選 擇性地蝕刻之材料。成長孔5〇22&之形成可利用通常之半 導體製程中所使用之周知之微影法與乾式蝕刻法。此時, 所要成長之半導體芯之直徑依賴於上述遮罩5 〇22之成長孔 5022a之尺寸。 其後,如圖99B所示,於半導體芯形成步驟中,於藉由 遮罩5022之成長孔5022a而露出之基板5〇21上使用 MOCVD(Metal 〇rganic Chemical Vap〇r 金屬 有機氣相沈積)裝置,使n型GaN結晶成長而形成棒狀之半 導體芯5011。將成長溫度設定為95〇c>c左右,使用三甲基 鎵(TMG)及氨(NH3)作為成長氣體,對n型雜質供給用供給 矽烷(SiHd,進而供給氫旧2)作為載氣,藉此可使以以為 154399.doc -132- 201212284 雜質之η型GaN之半導體芯成長。此處,η型GaN為六方曰 系之結晶成長’且以相對於基板5〇2 1表面垂直之方向為轴 向而使之成長,藉此可獲得六稜柱形狀之半導體芯。 其後,如圖99C所示,於半導體層形成步驟中,以覆蓋 棒狀之半導體芯5011之方式於遮罩5022整個表面形成包含 p型GaN之半導體層5012。將形成溫度設定為960°C左古, 使用二曱基鎵(TMG)及氨(NH3)作為成長氣體,對p型雜質 供給用使用雙環戊二浠基鎮(Cp2Mg),藉此可使以鎮(Mg) 為雜質之p型GaN成長。 其後’如圖99D所示,於露出步驟中,藉由剝離而將除 覆蓋半導體芯5011之半導體層5012之部分以外之區域與遮 罩5 02 2去除,於棒狀之半導體芯50Π之基板5 〇21側使基板 側之外周面露出而形成露出部分501 la。於該狀態下,上 述半導體芯5011之與基板5021為相反之側之端面由半導體 層5012覆蓋。 於由氧化矽(Si〇2)或氮化矽(Si3N4)構成上述遮罩5022之 情形時’藉由使用包含氟酸(HF)之溶液,可不對半導體芯 5011及覆蓋半導體芯5011之半導體層5012部分帶來影響地 容易地對遮罩5022進行蝕刻,可藉由剝離而將除覆蓋半導 體芯5011之半導體層5012之部分以外之區域與遮罩5022— 併去除。該實施形態之露出步驟中,使用剝離,但亦可藉 由蝕刻而使半導體芯5011之一部分露出。於乾式蝕刻之情 形時,藉由使用CF4或XeF2,可不對半導體芯5〇11及復蓋 半導體芯5011之半導體層5012部分帶來影響地容易地對遮 154399.doc -133- 201212284 罩5 022進行蝕刻,可將除覆蓋半導體芯之半導體層5012之 部分以外之區域與遮罩5022—併去除。 其後,於分離步驟中,將基板浸潰於異丙醇(IPA)水溶 液中,使用超音波(例如數10 KHz)使基板5021沿著基板平 面振動’藉此以使豎立設置於基板5021上之半導體芯5011 之接近基板5021側之根部彎曲的方式,而對由半導體層 5012覆蓋之半導體芯5011作用應力,如圖99E所示,由半 導體層5012覆蓋之半導體芯5〇11自基板5 021分離。 如此’可製造自基板5021分離之微細的棒狀構造之發光 元件5010。例如’可製造直徑為1 μιη、長度為1〇 μηι之發 光元件5010。 如圖97所示,於上述第2基板5002之液晶5〇〇3側(上側) 之面设置有黑矩陣5005及著色層5006。即,第2基板5002 為彩色濾光片基板。 上述黑矩陣5005遮蔽自發光元件5010發出之光。藉由該 黑矩陣5005而對第1基板5001之形成有TFt5004之區域進行 遮光。 上述著色層5006被著色有紅色、綠色、藍色之任一顏 色。針對每個像素而形成有紅色、綠色、藍色之任一顏色 之著色層5006。該實施形態中,於水平方向紅色、綠色、 藍色之著色層5006依序重複排列。 於上述著色層5006上形成有各像素共用之對向電極 5〇〇7。該對向電極5007亦藉由ITO等之透明導電體而形 成°又’於對向電輊5007之上側形成有未圖示之配向膜, 154399.doc -134· 201212284 液晶5003藉由該配向膜而配向限制於特定方向。於第2基 板5002下側之面設置有第2偏光膜5027。 於上述第2基板5002上設置有自發光元件5010發出之光 通過之光通過區域Z。該光通過區域z相當於除黑矩陣f;〇〇5 以外之區域’即著色層5006之區域。而且,自發光元件 5010發出之光經由光通過區域z ’自第2偏光膜5027出射至 外部。 • 自與第1基板5001之上表面正交之方向觀察,上述發光 元件5010配置於與光通過區域z重疊之位置,發光元件 5010小於光通過區域z。因此’可有效地利用自發光元件 5010發出之光。即’於不與光通過區域z重疊之位置不配 置發光元件5 010,可抑制不利於顯示之光之照射,從而實 現低消耗電力化。 又,可對1個光通過區域Z配置1個發光元件5 〇丨〇或複數 個發光元件5010 ,可使發光元件5010與光通過區域Z之位 置關係相同。因此,由發光元件5〇1〇構成之背光部之光針 對每個像素而固定,不會產生亮度不均。相對於此,先前 之月光裝置中,發光元件5〇1〇之數量相對於液晶面板之像 素數而5 —般較少。因此,發光元件5〇1〇之位置與像素之 位置之關係針對母個像素而不同,故而來自發光元件$ 〇工〇 之光強度針對每個像素而不同,背光之光會產生亮度不 均。 又於與形成液晶面板之上述第1基板5001為同一基板 上形成發光元件5010,故而與上述光通過區域2一致可 154399.doc •135· 201212284 控 區 制性佳地配置發光元件。即 域Z與發光元件5〇1〇之對準。 其次,對上述構成之液晶顯 明 ,可控制良好地進行光通過 示裝置之製作方法進行說 首先’於第印驟中’例如以本案申請人申請之曰本專 利特開2_-304538公報所示般一般而言眾所周知之通常 之步驟製作液晶面板。再者’關於詳細情況係與日本專利 特開2008-304538公報相同,故而省略。 即如圖97所示,於第1基板5001上形成閘極電極 5041、閘極絕緣膜5045、半導體膜5〇42、源極電極5〇43、 沒極電極5044、絕緣膜5047及像素電極5046,並形成 TFT5004。於第2基板5002上形成黑矩陣5005、著色層5006 及對向電極5007。而且’將第1基板5〇〇1與第2基板5002貼 合’於第1基板5001與第2基板5〇〇2之間注入液晶5003。於 第1基板500 1之液晶5003側之相反側之面形成第1偏光膜 5017,於第2基板5002之液晶5003側之相反側之面形成第2 偏光膜5027。如此,製作液晶面板。 其後,於第2步驟中,於上述液晶面板之第1基板5001上 形成背光部。 即,如圖100所示,於形成於第1基板5001上之第1偏光 膜5017上形成第1電極5051及第2電極5052。第1電極5051 及第2電極5052係於與上述液晶面板之光通過區域z對應之 位置,以第1電極5051與第2電極5052之間之距離變短之方 式而形成。若如此則於以下步驟(配置發光元件5010之步 154399.doc • 136· 201212284 驟)中’於對第1電極505 1與第2電極5052之間施加交流電 壓時’可僅於電極間之距離較短之部分配置發光元件 5010。 而且,利用本案申請人申請之曰本專利特開2〇〇8_ 260073號公報所示之方法,將發光元件5〇1〇排列於電極 5051、5052。即,如圖1〇1所示,使利用圖99A〜圖99E所 示之方法而製作之發光元件5010包含於異丙醇5061中,並 將包含該發光元件5010之異丙醇5061較薄地塗佈於第1偏 光膜5017上。而且,對第1電極5051與第2電極5〇52之間施 加交流電壓,如圖102所示,排列發光元件501 〇。再者, 關於詳細情況係與曰本專利特開2008-260073公報相同, 故而省略。 其後,如圖103所示’將經排列之發光元件5〇1〇之兩端 部連接於第1電極5051及第2電極5052。此時,發光元件 5〇1〇藉由導電性接著劑5〇71而固定於電極5051、5〇52。 此處’上述發光元件5010藉由對第1電極5 〇51及第2電極 5052間施加交流電壓而驅動。因此,即便相對於該當極 5 0 5 1、5 0 5 2而發光元件5 01 〇之極性不統一,亦可使複數個 發光元件5010均勻地發光。因此,不需要用以使發光元件 5010之極性統一之控制,故而可防止製造步驟變得複雜。 其後’如圖104所示’利用喷墨方式等而於發光元件 5010上形成螢光體5013。該螢光體5013之厚度例如為1〇 um〜200 um左右。螢光體5013例如著色為黃色,與發出藍 色光之發光元件5010—併形成白色之背光部。 154399.doc •137· 201212284 其後,如圖104所示,形成包含樹脂等之透明的保護膜 5008,於該保護膜5008上,積層包含鋁等之反射膜5〇〇9 ^ 藉由調整該保護膜5008之膜厚及形狀,而如箭頭之光路所 示,可對光通過區域Z不浪費地照射光。此處,作為比較 例,如圖105所示,若不將反射膜5009A積層於保護膜5〇〇8 上而形成為與第1基板5001平行之板狀,則如箭頭之光路 所示’自發光元件5010發出之光難以集中於光通過區域 Z。即’光亦反射至光通過區域z以外,從而光之利用效率 變差。 如此於上述液晶面板上形成由發光元件501〇、保護膜 5008及反射膜5009構成之背光部。 根據上述構成之液晶顯示裝置’上述發光元件5〇1〇配置 於上述第1基板5001上,故而發光元件5010直接形成於構 成液晶顯示裝置之2片基板中之一基板。因此,不需要先 前之背光裝置中所必需之用以配置發光元件之基板。因 此’可較薄地形成由發光元件5010構成之背光部,從而可 實現薄型之液晶顯示裝置。 又,於上述第1基板5001之上述液晶5003側之面設置有 作為開關元件之丁?丁5004,故而自發光元件5010發出之光 自形成有TFT5004之基板5001側入射至液晶5003。於自形 成有TFT5004之基板5001之側入射光之方面,與一般的液 晶顯示裝置相同。因此,不會使液晶顯示裝置之構成變大 而可實現薄型之液晶顯示裝置。 (第29實施形態) 154399.doc •138- 201212284 圖106表示本發明之第29實施形態之液晶顯示裝置。若 對與上述第28實施形態不同之方面進行說明,則該第29實 施形態中,第1基板5001為彩色濾光片基板,第2基板5002 為TFT基板。再者,於該第29實施形態中,對與上述第28 實施形態同一之部分,附加同一參照編號’並省略詳細的 說明。 如圖106所示,於第1基板5001之液晶5003側(下側)之面 設置有黑矩陣5005及著色層5006。該著色層5006形成光通 過區域Z。如此,發光元件5010設置於與彩色濾光片基板 同一之基板上。 另一方面,於第2基板5002之液晶5003側(上側)之面, 設置有作為開關元件之TFT5004。因此,自發光元件5010 發出之光,自與形成有TFT5004之基板5002為相反之基板 5001側入射至液晶。而且,可使發光元件501〇與丁1?丁5〇〇4 形成於分別不同之基板上,故而於配置發光元件5010之步 驟中’可防止對TFT5004帶來損傷,或者,於形成 TFT5004之步驟中,可防止對發光元件5010帶來損傷。 (第30實施形態) 圖107表示本發明之第30實施形態之液晶顯示裝置,若 對與上述第28實施形態不同之方面進行說明,則該第30實 施形態中,存在3種發光元件5010A、5010B、5010C 1且 不存在圖97之著色層5006。再者,於該第30f施形態中, 對與上述第28實施形態同一之部分,附加同一參照編號, 並省略詳細的說明。 154399.doc •139· 201212284 如圖107所示,第1發光元件5010A發出紅色之光,第2發 光元件501 〇B發出綠色之光,第3發光元件5〇1〇c發出藍色 之光。因此,不需要於各發光元件5〇1〇A、5010B、5010C 之正下方之光通過區域Z設置著色層5〇〇6。即,於第2基板 5002之液晶5003側(上側)之面,僅設置黑矩陣5005,第2基 板5002成為具有遮光功能之濾光器基板。 而且’如圖108所示’發光元件5〇1〇a、5010B、5010C 有3種,故而需要4個電極5051A、5052A、5053A、 505 4Α»即’各發光元件5〇1 〇A、5010B、5010C之一端連 接於第1電極5 051A,第1發光元件501〇a之另一端連接於 第2電極5052A,第2發光元件5010B之另一端連接於第3電 極5053A ’第3發光元件5010C之另一端連接於第4電極 5054A。各電極 5051A、5052A、5053A、5054A 兼作驅動 電極。 再者,該第30實施形態中,使上述第28實施形態之發光 元件為3種且省略著色層,但亦可使上述第29實施形態之 發光元件為3種且省略著色層。 再者,本發明並不限定於上述實施形態。例如,亦可將 上述第1至上述第3實施形態之各特徵點以多種方式組合。 又,作為發光元件,除了上述實施形態所示之所謂具有筒 狀之發光層之發光元件以外,亦可使用具有平面狀之發光 層之通常之發光元件。 又,上述第28至上述第3〇實施形態中,對具有半導體芯 5011之一端側之外周面露出之露出部分5〇Ua之發光元件 I54399.doc •140· 201212284 =行了說明,但並不限定於此,亦可為具有半導體芯之兩 端之外周面露出之露出部分者,亦可為具有半導體芯之中 央部分之外周面露出之露出部分者。 又,上述第28至上述第30實施形態中,半導體芯咒丨丨與 半導體層5012使用以GaN為母材之半導體,但使用以 GaAS、A1GaAs、GaAsP、InGaN、α1(^ν、以卩、、
AlGalnP等為母材之半導體之發光元件亦可適用本發明。 又,使半導體芯為η型,使半導體層為㈣,但本發明亦可 適用於導電型相反之發光元件。χ,對具有六棱柱形狀之 半導體芯之發光元件進行了說明,但並不限定於此,本發 明亦可適用於具有剖面為圓形或橢圓之棒狀、亦可為三角 形等其他多邊形狀之棒狀之半導體芯之發光元件。 又,包含上述第1〜30實施形態中之2個以上之實施形態 之發明,當然構成本發明之進而其他實施形態。又,包含 上述第1〜30實施形態及其等變形例中之2個以上之構成的 發明,亦當然構成本發明之進而其他實施形態。 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之第1實施形態之發光裝置中所使用的第工 發光元件之製造方法之步驟圖; 圖2係繼圖1之後之步驟圖; 圖3係繼圖2之後之步驟圖; 圖4係本發明之第1實施形態之發光裝置中所使用的第2 發光元件之製造方法之步驟圖; 圖5係繼圖4之後之步驟圖; 154399.doc • 141 - 201212284 圖6係繼圖5之後之步驟圖; 圖7係繼圖6之後之步驟圖; 圖8係繼圖7之後之步驟圖; 圖9係繼圖8之後之步驟圖; 圖10係繼圖9之後之步驟圖; 圖11係繼圖10之後之步驟圖; 圖1 2係繼圖11之後之步驟圖; 圖13係繼圖12之後之步驟圖; 圖14係繼圖13之後之步驟圖; 圖1 5係繼圖14之後之步驟圖; 圖16係繼圖15之後之步驟圖; 圖17係繼圖16之後之步驟圖; 圖18係本發明之第1實施形態之發光裝置中所使用的絕 緣性基板之平面圖; 圖19係自圖18之Χΐχ-χιχ線觀察之剖面模式圖; 圖20係說明排列上述棒狀構造發光元件之原理之圖. 圖21係說明於排列上述棒狀構造發光元件時賦予給電極 之電位之圖; 圖22係排列有上述棒狀構造發光元件之絕緣性基板之平 面圖; 圖2 3係本發明之第丨實施形態之其他發光裝置之製造方 法之步驟圖; 圖24係繼圖23之後之步驟圖; 圖25係繼圖24之後之步驟圖; 154399.doc •142- 201212284 圖26係本發明之第1實施形態之其他發光裝置之製造方 法之步驟圖; 圖2 7係繼圖2 6之後之步驟圖; 圖2 8係繼圖2 7之後之步驟圖; 圖29係繼圖28之後之步驟圖; 圖30係繼圖29之後之步驟圖; 圖31係用以說明本發明之第1實施形態之發光裝置之製 造方法之基板分割步驟的圖; 圖32係本發明之第2實施形態之照明裝置中所使用的發 光裝置之平面圖; 圖33係上述發光裝置之側視圖; 圖3 4係作為使用上述發光裝置之照明裝置之一例之]^ e d 燈泡之側視圖; 圖35係使用本發明之第3實施形態之發光裝置之背光之 平面圖; 圖36係使用本發明之第4實施形態之發光裝置之背光之 平面圖; 圖37係使用本發明之第5實施形態之發光裝置之液晶面 板之平面圖與側視圖; 圖3 8係本發明之其他實施形態之發光裝置之製造方法中 所使用的棒狀構造發光元件之側視圖與端面圖; 圖39係表示將包含上述發光裝置之製造方法之棒狀構造 發光元件之溶液塗佈於絕緣性基板上之步驟的圖; 圖4〇係表示對上述絕緣性基板上所塗佈之溶液進行擦轼 154399.doc -143- 201212284 處理之步驟之圓; 圖 圖41係表示將經擦拭處理之絕緣性基板乾燥之步驟之 圖42係表示對排列有上 板之與棒狀構造發光元件 蝕刻而使p型半導體芯之一 述棒狀構造發光元件之絕緣性基 之長度方向正交之直線區域進行 部分露出之步驟的圓; 圖 圖43係表示於上述絕緣性基板上形成金屬配線之步驟 圖44係使用本發明之其他實施形 板之側視圖; 態之發光裝置之液晶面
圖45係第6實施形態之發光裝置之製造方法 第1基板之平面圖; 吓使用之 圖46係自圖1之ΧΙΙ-χπ線觀察之剖面模式圖; 圖47係表示棒狀構造發光元件排列於第i、第2電極上之 μιη〜1 〇 之電
圖48係表示電力線不均勻之情形之圖; 圖49係表示本發明中可使用之寬度為〇 5 極之圖; 元件之絕緣性基板之平面 圖5 0係排列有棒狀構造發光
51表示使用排列有棒狀構造發光元件之絕緣性基板 示裝置之平面圖 土 52係用以說明第7實施形態之發光裝置之製造方法 式圖 & 、 I54399.doc .144· 201212284 圖53係用以說明第8實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖54係用以說明第9實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖55係表示於第9實施形態中對第3電極施加之電壓之例 的圖; 圖56係表示於第9實施形態中對第3電極施加之電壓之例 的圖; 圖57係用以說明第丨〇實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖58係用以說明第丨丨實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖59係用以說明第12實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖60係用以說明第15實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖61係說明發光元件並非棒狀發光元件之情形時之問題 點的模式圖; 圖62係說明發光元件並非棒狀發光元件之情形時之問題 點的模式圖; 圖63係用以說明第16實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖64係用以說明第17實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 154399.doc • 145· 201212284 圖65係用以說明第18實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖66係用以說明第1 8實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖67係用以說明第19實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖68係用以說明第19實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖69係用以說明第20實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖70係用以說明第20實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖71係用以說明第21實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖72係用以說明第21實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖73係用以說明第22實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖74係用以說明第22實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖75係用以說明第23實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖76係用以說明第23實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 154399.doc -146 - 201212284 圖77係用以說明第24實施形態之發光裝置之製造方法之 模式圖; 圖78A係表示具有縱向層疊構造之棒狀發光元件之模式 圖, 圖78B係表示具有芯-殼-殼構造之棒狀發光元件之模式 圖; 圖79A係表示棒狀發光元件之直徑小於500 nm之發光裝 置之一例的模式圖; 圖79B係表示棒狀發光元件之直徑大於500 nm之發光裝 置的模式圖; 圖80係表示本發明中可製造之發光裝置之構造之圖; 圖8 1係用以說明棒狀發光元件之交叉所引起之機制之 圖, 圖82A係表示棒狀發光元件所引起之一不良構造之模式 圖, 圖82B係表示可防止圖82 A所示之不良構造之構造之模 式圖, 圖83 A係表示棒狀發光元件所引起之一不良構造之模式 圖, 圖83B係表示可防止圖83A所示之不良構造之構造之模 式圖; 圖84A係表示棒狀發光元件所引起之一不良構造之模式 S3 · 圃, 圖84B係表示可防止圖84A所示之不良構造之構造之模 154399.doc •147· 201212284 式圖; 圖85係表示有效的棒狀發光元件之直徑與長度之關係之 圖; 圖86係本發明之第25實施形態之顯示裝置之概略構成 圖; 圖8 7係本發明之第25實施形態之棒狀紅色LED元件之概 略立體圖, 圖88係本發明之第25實施形態之棒狀綠色LED元件之概 略立體圖; 圖89係本發明之第25實施形態之棒狀藍色LED元件之概 略立體圖; 圖90A係本發明之第25實施形態之棒狀藍色LED元件之 製造方法之步驟圖; 圖90B係繼圖90A之後之棒狀藍色LED元件之製造方法之 步驟圖; 圖90C係繼圖90B之後之棒狀藍色LED元件之製造方法之 步驟圖; 圖90D係繼圖90C之後之棒狀藍色LED元件之製造方法之 步驟圖; 圖90E係繼圖90D之後之棒狀藍色LED元件之製造方法之 步驟圖; 圖91A係本發明之第25實施形態之顯示裝置之製造方法 之步驟圖; 圖91B係繼圖91A之後之顯示裝置之製造方法之步驟 154399.doc -148- 201212284 圖; 圖91C係繼圖91B之後之顯示裝置之製造方法之步驟 圖; 圖91D係繼圖91C之後之顯示裝置之製邊方法之步驟 圖; 圖91E係繼圖91D之後之顯示裝置之製造方法之步驟 圖, φ 圖91F係繼圖91D之後之顯示裝置之製造方法之步驟 圖; 圖91G係繼圖91F之後之顯示裝置之製造方法之步驟 圖, 圖91H係繼圖91G之後之顯示裝置之製造方法之步驟 圖; 圖911係繼圖91H之後之顯示裝置之製造方法之步驟圖; 圖91J係繼圖91H之後之顯示裝置之製造方法之步驟圖; 修 圖91K係繼圖91H之後之顯示裝置之製造方法之穸驟 圖; 圖92係本發明之第26實施形態之顯示裝置之概略構成 圖; 圖93係本發明之第27實施形態之顯示裝置之概略構成 圖; 圖94係上述第27實施形態之顯示裝置之要部之模式剖面 圖; 圖95係用以說明本發明之顯示裝置之一作用效果之圖; 154399.doc • 149- 201212284 圖96係用以說明本發明之顯示裝置之一作用效果之圖; 圖97係表示本發明之第28實施形態之液晶顯示裝置之簡 略剖面圖; 圖98係發光元件之立體圖; 圖99A係表示發光元件之製造方法之第驟之剖面圖; 圖99B係表示發光元件之製造方法之第2步驟之剖面圖; 圖99C係表示發光元件之製造方法之第3步驟之剖面圖; 圖99D係表示發光元件之製造方法之第4步驟之刳面圖; 圖99E係表示發光元件之製造方法之第5步驟之剖面圖; 圖1 〇〇係表示液晶顯示裝置之電極之平面圖; 圖101係表示將發光元件排列於電極之方法以及自圖4之 A-A線觀察之剖面圖; 圖1〇2係表示將發光元件排列於電極之狀態之平面圖; 圖1〇3係表示將發光元件排列於電極之狀態以及自圖^之 B-B線觀察之剖面圖; 圖1〇4係表示於發光元件上設置反射膜之狀態之剖面 圖; 圖105係表示比較例之剖面圖; 圖1〇6係表示本發明之第29實施形態之液晶顯示裝置之 簡略剖面圖; 圖107係表示本發明之第3〇實施形態之液晶顯示裝置之 簡略剖面圖; 圖108係表示將發光元件排列於電極之狀態之平面圖; 圖109係先前之發光裝置之剖面圖;及 154399.doc 201212284 圖110係表示先前之發光裝置之立體圖。 【主要元件符號說明】 1 2 ' 108 、 3112 、 3122 3 10 、 100 、 210 、 310 ' 410、710、710A〜710D、 1060 20 101 ' 902 102 102A 102B 103
103A、105A 105 106 107 、 311 、 411 、 701 、 4111A、4111B、4111C、 4311 、 5011
107A
107B 107C、311a、411a、 710a、5011a n型GaN層 量子井層 P型GaN層 棒狀構造發光元件 η型GaN基板 藍寶石基板 η型GaN膜 η型GaN膜之一部分 η型GaN膜之段邹 遮罩層 孔 抗蚀劑層 觸媒金屬 半導體芯 半導體芯之前端面 半導體芯之側面 半導體芯之露出部分 154399.doc -151 - 201212284
108A
108B 110 、 312 、 412 、 702 、 903 、 4112C' 、 5012 111 200 、 300 ' 400 、 502 、 720 > 1050 、 1110 201 ' 202 ' 301 ' 302 ' 401 、 402 211 303 303a 304 、 305 、 731 、 732 311b 、 411b 、 710b 403 、 404 420 、 5013
421 、 824 、 5008 430 ' 500 ' 612 ' 602 430A、430B、430C、 430D 、 430E 501 510 511 512 量子井層之前端部 量子井層之側面部 半導體層 導電膜 絕緣性基板 金屬電極 $
IPA 層間絕緣膜 接觸孔 金屬配線 半導體芯之覆蓋部分 接著部 螢光體 籲 保護膜 發光裝置 分割基板 散熱板 LED燈泡 燈座 散熱部 154399.doc - 152- 201212284
513 透光部 600 、 610 背光 601 、 611 支撐基板 620 > 820 液晶面板 621 ' 821 發光部分 622 、 822 透明基板 623 、 825 、 5003 液晶 624 液晶密封板 721 擦拭裝置 823 彩色濾光片 826 TFT 827 玻璃基板 900 封裝基板 901 導線架 904 活性層 905 η型電極 906 ρ型電極 910 LED晶片 911 接線 921 反射板 922 樹脂 923 透明樹脂 1051 、 1251 、 1451 、 1551 、 1651 、 1751 、 第1電極 154399.doc -153- 201212284 2051 、 2071 、 2081 、 2151 、 2251 、 2351 、 2451 、 2551 、 2651 、 2751 ' 3222 ' 3252 ' 3322 1052 、 1252 、 1452 、 第2電極 1552 ' 1652 、 1752 、 2052 ' 2072 、 2082 、 2152 ' 2252 ' 2352 、 2452 、 2552 、 2652 、 2752 ' 3223 、 3253 、 3323 1061 1100 1101 1102 、 1103 、 1104 、 1105 1250 、 1350 > 1450 、 1550 、 1650 、 1750 、 異丙醇 顯示裝置 顯示部 邏輯電路部 第1基板 2150 ' 2250 ' 2350 ' 2450 ' 2550 ' 2650 、 2750 、 2850 、 2870 、 2871 ' 2872、2873、 2874 、 2875 、 2950 、 5001 1257 ' 1357 、 1457 、 液體 1557 、 1657 、 1757 ' 2157 ' 2257 154399.doc -154- 201212284
1260、 1360 ' 1460、 發光元件 1560 ' 1660、 1760、 2060 ' 2070 > 2080 ' 2160、 2260 ' 2360、 2460、 2560、 2660、 2760 ' 2860、 2960 ' 5010、 5010A 、5010B 、 5010C 1380、 1480、 1580 、 5002 第2基板 1453 第3電極 1677、 4007 ' 4207 ' 5047 絕緣膜 1777 第1基板之表面 2170 未排列於特定場所之發光元 件
2588 第2液體 2670 ' 2770 發光元件之第1區域 2671 、 2771 發光元件之第2區域 2680 > 2681 導電體 2780 第4電極 2781 第5電極 2790 ' 2791 > 2792 層間膜 3015 經封裝之LED晶片 3111 P型半導體層 3113 棒狀之η型半導體層 154399.doc -155 201212284 3114 棒狀發光元件之發光面積 3121 第1半導體層 3123 第2半導體層 3124 棒狀發光元件之發光面積 4121 、 5021 3324 3524 ' 3221 、 3251 、 3224 、 3254 、 3326 、 3327 3422 、 3423 3424 、 3425 、 基板 棒狀發光元件 觸點 電極 棒狀發光元件
3624 、 3724 、 3725 4001 4002 ' 4202 4002a、4003a、4202a、 4203a 4003 、 4203 4004 4005 4006A 4006B 4006C 4008A 4008B 4008C 4010 、 5071 絕緣可撓性基板 列配線 端子部
行配線 列驅動電路 行驅動電路 棒狀紅色LED元件 棒狀綠色LED元件 棒狀藍色LED元件 棒狀紅色LED元件用開口部 棒狀綠色LED元件用開口部 棒狀藍色LED元件用開口部 導電性接著劑 154399.doc -156- 201212284
4112A、4112B、4112C、 4312 4122 ' 5022 4122a 4131 4132 、 4133 、 4134 4004
4005 4206A 4206B 4206C 4208A 4208B 4208C 4306 4308A 4308B 4308C 4309A 4309B 4309C 5004 5005 5006 半導體殼 遮罩 成長孔 交流電源 IPA溶液 列驅動電路 行驅動電路 棒狀紅色LED元件 棒狀綠色LED元件 棒狀藍色LED元件 棒狀紅色LED元件用開口部 棒狀綠色LED元件用開口部 棒狀藍色LED元件用開口部 棒狀LED元件 紅色螢光體用開口部 綠色螢光體用開口部 藍色螢光體用開口部 紅色螢光體 綠色螢光體 藍色螢光體 TFT(薄膜電晶體) 黑矩陣 著色層 154399.doc -157- 201212284 5007 對向電極 5009 、 5009A 反射膜 5017 第1偏光膜 5022a 成長孔 5027 第2偏光膜 5041 閘極電極 5042 半導體膜 5043 源極電極 5044 汲極電極 5045 閘極絕緣膜 5046 像素電極 505 1、5052、5051A、 電極 5052A ' 5053A ' 5054A 5061 異丙醇 A、B、C、D 箭頭 D 直徑 L 長度 S 直線區域 R 半徑 Z 光通過區域 -158· 154399.doc

Claims (1)

  1. 201212284 七、申請專利範圍: 1. 一種發光裝置之製造方法,其特徵在於包括: 配置步驟,於同一基板上配置複數個發光元件; 配線步驟’將配置於上述基板上之上述複數個發光元 件之一部分或全部共同配線;及 基板分割步驟’於上述配置步驟與上述配線步驟之 後,將上述基板分割為複數個分割基板,藉此形成複數 Φ 個於上述分割基板上配置有複數個發光元件之發光裝 置。 2. 如請求項1之發光裝置之製造方法,其中於上述配置步 驟中,將上述複數個發光元件共同配置於上述同一基板 上。 3. 如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中於上述基板 上形成用以對上述複數個發光元件進行配線之配線圖 案, • 於上述基板分割步驟中之上述基板之切斷區域未形成 上述配線圖案。 4. 如凊求項1或2之發光裝置之製造方法,其中於上述基板 上形成用以對上述複數個發光元件進行配線之配線圖 案, 於上述基板之切斷區域,形成有即便於上述基板分割 步驟中被切斷亦不會影響到電性連接之上述配線圖案。 5. 如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中於上述基板 分割步驟中之上述基板之切斷區域未配置上述發光元 154399.doc 201212284 件。 6·如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中於上述基板 之切斷區域,配置有上述複數個發光元件中、即便於上 述基板分割步驟中被切斷亦不會影響到所期望之發光量 之發光元件。 7. 如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中包括: 螢光體塗佈步驟,於上述配置步驟與上述配線步驟之 後且上述基板分割步驟之前,於上述基板上塗佈螢光 體;及 保護膜塗佈步驟,於上述螢光體塗佈步驟之後於上述 基板上塗佈保護膜。 8. 如請求項7之發光裝置之製造方法,其中於上述勞光體 塗佈步驟t ’上述螢光體係選擇性地塗佈於配置有上述 複數個發光元件之區域。 9. 如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中於上述分割 基板之各個上配置有100個以上之上述發光元件。 10. 如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中於上述基板 分割步驟中,將上述基板分割為至少2種以上之形狀不 同之上述分割基板。 11_如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中於上述基板 上配置上述複數個發光元件之配置步驟包括: 基板製作步驟,製作於安裝面至少具有第丨電極及第2 電極之上述基板; 塗佈步驟,於上述基板上塗佈包含上述複數個發光元 154399.doc 201212284 件之溶液;及 排列步驟’對至少上述第1電極與上述第2電極施加電 壓’使上述複數個發光元件排列於至少藉由上述第1電 極及上述第2電極而規定之位置。 12. 如凊求項11之發光裝置之製造方法,其中至少上述第1 電極及上述第2電極用作為用以驅動上述複數個發光元 件之電極。 13. 如請求項1或2之發光裝置之製造方法,其中上述複數個 發光元件為棒狀, 以上述複數個發光元件之長度方向相對於上述基板之 安裝面平行之方式’將上述複數個發光元件配置於上述 基板之安裝面上。 14_如請求項13之發光裝置之製造方法,其中上述棒狀之發 光元件具有同心狀地包圍棒狀之芯的筒狀之發光面。 15_如請求項14之發光裝置之製造方法,其中上述棒狀之發 光元件包含第1導電型之棒狀之半導體芯、及覆蓋該半 導體芯之外周的第2導電型之筒狀之半導體層, 上述棒狀之發光元件之上述半導體芯之一端側露出。 16. 如請求項1或2之μ裝置之製造方法,其中上述複數個 發光7L件係形成於磊晶基板上之複數個元件,且係將上 述各元件自上述磊晶基板上分離者。 17. —種發光裝置,其特徵在於包括: 自1個基板分割而得之分割基板; 配置於上述分割基板上之複數個發光二極體;及 154399.doc 201212284 於上述分割基板上空開特定間隔而形成,且由上述複 數個發光二極體所連接之第1電極與第2電極; 上述複數個發光二極體中共存有陽極連接於上述第1 電極且陰極連接於上述第2電極之發光二極體,及陰極 連接於上述第1電極且陽極連接於上述第2電極之發光二 極體; 藉由交流電源對上述第1電極與上述第2電極之間施加 交流電壓而驅動上述複數個發光二極體。 18.如請求項17之發光裝置,其中上述分割基板安裝於散熱 板上。 19 · 一種照明裝置’其特徵在於包括如請求項17或1 8之發光 裝置。 20. —種背光,其特徵在於包括如請求項17或18之發光裝 置。 21. —種液晶面板’其特徵在於包括如請求項17或18之發光 裝置。 22. —種液晶面板,其特徵在於包括: 透明基板; 複數個發光元件’其配置於上述透明基板之一面,且 連接於形成於上述透明基板之一面之配線;及 複數個薄膜電晶體’其形成於上述透明基板之另一 面。 23. —種液晶面板’其特徵在於包括: 透明基板; 154399.doc 201212284 複數個發光元件,其配置於上述透明基板之一面,且 連接於形成於上述透明基板之一面之配線;及 彩色;慮光片’其形成於上述透明基板之另一面。 24. —種發光裝置之製造方法,其特徵在於包括: 基板準備步驟’準備具有第1電極與第2電極之第1基 板; 元件供給步驟’使具有第丨液體與位於該第1液體中之 複數個發光元件之含元件液體位於上述第丨基板上;及 7C件排列步驟,對上述第丨電極與上述第2電極施加電 壓,且將兩個以上之上述發光元件排列於根據藉由施加 上述電壓而生成之電場所決定之預先規定之位置。 25·如請求項24之發光裝置之製造方法,其中於上述元件排 列步驟中’使上述含元件液體相對於上述第1基板而相 對移動。 26. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中包括與上 述第1基板大致平行地配置第2基板之第2基板配置步 驟, 於上述元件供給步驟中’將上述含元件液體填充於上 述第1基板與上述第2基板之間。 27. 如請求項26之發光裝置之製造方法,其中上述第2基板 具有與上述第1電極及上述第2電極對向之第3電極, 於上述元件供給步驟及上述元件排列步驟中之至少一 步驟中’對上述第1電極與上述第3電極之間施加電壓。 28·如請求項26之發光裝置之製造方法,其中於上述元件排 154399.doc 201212284 列步驟中,使上述含元件液體於上述第1基板與上述第2 基板之間流動。 29. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中以絕緣膜 覆蓋上述第1電極之表面及上述第2電極之表面。 30. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述第i 基板之表面包含與上述發光元件之表面之材料相同的材 料。 31. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述含元 件液體包含界面活性劑。 32. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述各發 光元件中之不同之2點之最長距離為50 μπι以下。 33. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述複數 個發光元件之各個具有棒狀之形狀。 34. 如請求項24或25之發光元件之製造方法,其中上述發光 元件包含: 圓柱狀之第1導電型之第1半導體層; 筒狀之量子井層,其以覆蓋上述第丨半導體層之外周 面之方式配置;及 筒狀之第2導電型之第2半導體層,其以覆蓋上述量子 井層之外周面之方式配置。 35. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述複數 個發光元件之各個具有棒狀之形狀, 與上述各發光元件之延伸方向垂直之剖面之直徑大於 500 nm 〇 154399.doc • 6 · 201212284 36.如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述發光 元件包含: 圓柱狀之第1導電型之第1半導體層; R狀之量子井層,其以覆蓋上述第1半導體層之外周 面之方式配置,·及 筒狀之第2導電型之第2半導體層’其以覆蓋上述量子 井層之外周面之方式配置;且 與上述各發光元件之延伸方向垂直之剖面之直徑大於 500 nm 〇 37. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中包括元件 排出步驟,其將上述複數個發光元件中未排列於上述預 先規定之位置之發光元件排出。 38. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中包括元件 固定步驟,其於上述元件排列步驟之後,對上述第【電 極與上述第2電極之間,施加比上述元件排列步驟中施 加於上述第1電極與上述第2電極之間之電壓高的電壓, 而將排列於上述預先規定之位置之上述發光元件固定於 該預先規定之位置。 39. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中包括基板 乾燥步驟’其於上述元件排列步驟之後,將上述第^基 板之表面乾燥。 40. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述含元 件液體之表面張力為50 mN/m以下。 41. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其十上述令元 154399.doc 201212284 件液體之表面張力為30 mN/m以下。 42.如請求項39之發光裝置之製造方法,其中包括液體更換 步驟’其於上述元件供給步驟之後且上述乾燥步驟之 前,將上述第1液體更換為表面張力比該第丨液體小之第 2液體。 43 ·如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述各發 光元件於該發光元件之表面具有第丨區域與第2區域,並 且藉由對上述第1區域與上述第2區域施加電壓而發光, 且該製造方法包括元件連接步驟,其以導電體將上述 第1區域與上述第1電極連接,並且以導電體將上述第2 區域與上述第2電極連接。 44. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中上述發光 元件於該發光元件之表面具有第丨區域與第2區域,並且 藉由對上述第1區域與上述第2區域施加電壓而發光, 且該製造方法包括追加電極形成步驟,其形成第4電 極與第5電極,該第4電極連接於排列於上述預先規定之 位置之上述兩個以上之發光元件的兩個以上之上述第1 區域,該第5電極連接於排列於上述預先規定之位置之 上述兩個以上之發光元件的兩個以上之上述第2區域。 45. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中包括於上 述元件排列步驟之後,將上述第丨基板分斷之基板分斷 步驟。 46. 如請求項24或25之發光裝置之製造方法,其中在上述元 件排列步驟中,於上述第丨基板上排列1〇〇〇個以上之上 154399.doc 201212284 述發光元件。 47. —種顯示裝置,其特徵在於包括: 基板; 複數條第1配線,其以沿一方向延伸之方式形成於上 述基板上; 複數條第2配線,其以沿另一方向延伸之方式形成於 上述基板上;及 • 複數個發光元件,其矩陣狀地配置於上述基板上;且 上述各發光元件之一端部與上述複數條第丨配線中之 者電性直接連接,並且上述各發光元件之另一端部與 上述複數條第2配線中之一者電性直接連接, 上述各發光元件之長度相對於寬度之比為5以上且4〇〇 以下’且其長度為〇·5 μηι以上200 μηι以下。 48. 如請求項47之顯示裝置’其中上述發光元件包含: 棒狀之第1導電型半導體;及 ® 第2導電型半導體,其同軸狀地覆蓋上述第1導電型半 導體之一部分。 49. 如請求項47或48之顯示裝置,其中上述複數個發光元件 包含:出射红色光之紅色發光元件;出射綠色光之綠色 發光元件;及出射藍色光之藍色發光元件。 50. 如請求項49之顯示裝置’其中於上述紅色發光元件.·綠 色發光元件及藍色發光元件中流動相同電流時,以將上 述紅色發光元件發出之紅色光、上述綠色發光元件發出 之綠色光、及上述藍色發光元件發出之藍色光混合則可 154399.doc •9· 201212284 獲得白色光之方式’調整上述紅色發光元件、綠色發光 元件及藍色發光元件之各自之發光面積。 51.如請求項47或48之顯示裝置,其中包括上述複數個發光 元件之出射光所入射之複數個螢光體, 上述發光元件之出射光為紫外光, 上述複數個螢光體包含··入射上述紫外光而出射紅色 光之紅色螢光體;入射上述紫外光而出射綠色光之綠色 螢光體,及入射上述紫外光而出射藍色光之藍色榮光 體。 52. 如請求項51之顯示裝置,其中 於上述複數個發光元件中流動相同電流時,以將上述 紅色螢光體發出之上述紅色光、上述綠色螢光體發出之 上述綠色光、及上述藍色螢光體發出之上述藍色光混合 則可獲彳于白色光之方式,調整上述複數個發光元件之各 自之發光面積。 53. 如请求項47之顯示袭置,其中上述基板為可棱性基板。 54. —種顯示裝置之製造方法,其特徵在於包括: 第1配線形成步驟,於基板上形成沿一方向延伸之複 數條第1配線; 絕緣膜形成步驟,以覆蓋上述複數條第1配線之方式 於上述基板上形成絕緣膜; 露出步驟,藉由將上述絕緣膜之一部分去除而形成複 數個開口部,於上述各開口部内使上述第1配線之一部 分露出; 154399.doc 201212284 第2配線形成步驟’於形成有上述複數個開口部之絕 緣膜上’形成沿另一方向延伸之複數條第2配線,將上 述第2配線之一部分放入上述各開口部内; 塗佈步驟’於上述第1配線及上述第2配線上,塗佈包 含複數個發光元件之液體;及 排列步驟’對上述第1配線及第2配線施加電壓,以上 述發光元件之一端部位於上述開口部内之上述第1配線 之一部分上’且上述發光元件之另一端部位於上述開口 部内之上述第2配線之一部分上的方式,排列上述複數 個發光元件。 55.如请求項54之顯示裝置之製造方法,其中上述複數個發 光元件包含:出射紅色光之複數個紅色發光元件;出射 綠色光之複數個綠色發光元件;及出射藍色光之複數個 藍色發光元件; 上述複數個開口部包含:用以配置上述紅色發光元件 之複數個紅色發光元件用開口部;用以配置上述綠色發 光元件之複數個綠色發光元件用開口部;及用以配置上 述藍色發光元件之複數個藍色發光元件用開口部; 上述第1配線之一部分於上述紅色發光元件用開口部 内、綠色發光元件用開口部内及藍色發光元件用開口部 内露出, 上述第2配線之一部分進入上述紅色發光元件用開口 部内、綠色發光元件用開口部内及藍色發光元件用開口 部内, 154399.doc 201212284 上述塗佈步驟包括如下過程: 於上述第1配線及上述第2配線上,塗佈包含上述複數 個紅色發光元件之液體; 於上述第1配線及上述第2配線上,塗佈包含上述複數 個綠色發光元件之液體;及 於上述第1配線及上述第2配線上’塗佈包含上述複數 個藍色發光元件之液體; 上述排列步驟包括如下過程: 對與上述紅色發光元件對應之上述第1配線及第2配線 施加電壓,以上述紅色發光元件之一端部位於上述紅色 發光元件用開口部内之上述第1配線之一部分上,且上 述紅色發光元件之另一端部位於上述紅色發光元件用開 口部内之上述第2配線之一部分上的方式,排列上述複 數個紅色發光元件; 對與上述綠色發光元件對應之上述第1配線及第2配線 施加電壓’以上述綠色發光元件之一端部位於上述綠色 發光元件用開口部内之上述第1配線之一部分上,且上 述綠色發光元件之另一端部位於上述綠色發光元件用開 口部内之上述第2配線之一部分上的方式,排列上述複 數個綠色發光元件;及 對與上述藍色發光元件對應之上述第1配線及第2配線 施加電壓’以上述藍色發光元件之一端部位於上述藍色 發光元件用開口部内之上述第1配線之一部分上,且上 述藍色發光元件之另一端部位於上述藍色發光元件用開 154399.doc •12· 201212284 口部内之上述第2配線之一部分上的方式,排列上述 數個藍色發光元件。 56. 如請求項54之顯示裝置之製造方法,其中上述發光元件 之出射光為紫外光, 上述複數個開口部包含複數個紅色螢光體用開口部、 複數個綠色螢光體用開口部、及複數個藍色螢光體用 口部, 汗 上述第1配線之一部分於上述紅色螢光體用開〇邹 内、綠色螢光體用開口部内及藍色螢光體用開口部内露 出, 上述第2配線之一部分進入上述紅色螢光體用開D部 内、綠色螢光體用開口部内及藍色螢光體用開口部内, 且該製造方法包括螢光體形成步驟,其將接收上迷紫 外光而出射紅色光之紅色螢光體形成於上述紅色螢光體 用開口部内,將接收上述紫外光而出射綠色光之綠色勞 光體形成於上述綠色螢光體用開口部内,將接收上述紫 外光而出射藍色光之藍色螢光體形成於上述藍色螢光體 用開口部内。 57. —種顯示裝置之驅動方法’其特徵在於:其係使如請求 項47或48之顯示裝置進行顯示之顯示裝置之驅動方法, 且 該驅動方法係對上述第1配線及第2配線施加交流電壓 而使上述發光元件發光。 58. —種液晶顯示裝置,其特徵在於包括: 154399.doc •13· 201212284 透過光之第1基板; 透過光之第2基板; 液晶’其填充於上述第1基板與上述第2基板之間; 發光元件’其配置於上述第1基板之與上述液晶側為 相反側之面。 59. 60. 61. 62. 63. 如請求項5 8之液晶顯示裝置’其中上述發光元件包含: 棒狀之第1導電型之半導體芯;及 以覆蓋上述半導體芯之方式而形成之第2導電型之半 導體層; 上述發光元件以使上述發光元件之軸與上述第1基板 之上述面大致平行的方式配置於上述第1基板。 如凊求項58或59之液晶顯示裝置,其中於上述第!基板 或上述第2基板中,設置有自上述發光元件發出之光所 通過之光通過區域, 自與上述第1基板之上述面正交之方向觀察,上述發 光元件配置於與上述光通過區域重疊之位置,且上述發 光元件小於上述光通過區域。 如請求項58或59之液晶顯示裝置,其中包含使自上述發 光元件發出之光反射至上述第1基板側之反射膜。 如请求項61之液晶顯示裝置,其中上述反射膜積層於透 明之保護膜上,該透明之保護膜積層於上述發光元件 上。 如μ求項58或59之液晶顯示裝置,其中於上述第【基板 之上述液晶側之面設置有作為開關元件之薄膜電晶體。 154399.doc 201212284 64.如請求項58或59之液晶顯示裝置,其中於上述第2基板 之上述液晶側之面設置有作為開關元件之薄膜電晶體。
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