KR20150103314A - 감소된 복잡성을 갖는 블러시가 없는 자가 베어링 ｄｃ 모터 - Google Patents

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Abstract

모터의 정류 방법은, 모터의 고정자와 기동 부품을 동작하도록 접속(interface)시키는 단계, 상기 기동 부품에 대하여 상대적으로 적어도 2 개의 권선 세트들을 배치시키는 단계, 및 상기 적어도 2 개의 권선 세트들에 의해 상기 기동 부품이 구동되고 센터링도 되도록, 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 독립적으로 제어하는 단계를 포함한다.

Description

감소된 복잡성을 갖는 블러시가 없는 자가 베어링 ＤＣ 모터{Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor}
(관련 출원)
본 출원은 2007년 6월 27일자로 출원된 "Commutation of An Electromagnetic Propulsion and Guidance System"이란 제하의 미국 특허 출원 대리인 문서 제390-012197-US(PAR)호의 관련 출원이다.
개시된 실시예들은 전자기 베어링들 및 모터들에 관한 것이며, 더욱 상세하게는, 권선 세트들(winding sets)의 개수가 감소된 자가 베어링 모터에 관한 것이다.
모터들을 이용하는 일부 응용들에서, 미세한 오염 물질들이 중대한 문제를 일으킬 수 있는 경우, 재료들은 제어되고 청결한 분위기에서 처리되어야 한다. 이들 응용 장치들에서, 청결도는 수율과 직접적으로 관련될 수 있으며, 그에 따라 비용에 영향을 미친다. 모터를 이용한 다른 응용들은 높은 부식성을 갖는 가스들 및 고온의 혹독한 분위기를 이용하는 처리 단계를 수반할 수 있다. 접촉 베이링들을 갖는 모터들은 마모되고, 입자성 오염을 초래하며, 결국에는, 상기 혹독한 분위기로 인하여 오동작하게 된다. 또한, 베어링들은 오동작하기 전에 수용할 수 없을 정도의 진동과 소음을 초래할 수도 있다.
1998년 10월 6일자로 등록된 미국 특허 제5,818,137호는, 로터를 상승시키는 영구 자석들을 갖는 고정자, 상기 로터의 방사상의 위치와 기울기 방향을 안정화시키는 8 개의 제어 권선들 및 상기 로터를 기동시키는 구동 권선들을 구비하는 집적된 자성 모터링 및 서스펜션 시스템(integrated magnetic motoring and suspension system)을 개시한다. 2004년 3월 16일자로 등록된 미국 특허 제6,707,200호는 동일 길이를 갖고 각각 적어도 2 개의 위상(phases)을 갖는 4 개의 코일 세그먼트들을 이용한 통합형 자성 베어링(integral magnetic bearing)을 구비하는 회전식 자성 짐발(rotational magnetic gimbal)을 개시한다. 상기 코일 세그먼트들의 각각에 독립적으로 (또는, 코일 세그먼트들의 군들에, 예를 들면, 3 상 모터들과 같이) 토크가 인가되어, 소정의 회전 속도 및 소정의 방사상 위치를 모두 달성할 수 있다. 2006년 7월 18일자로 등록된 미국 특허 제7,078,839호는 각각 3 상을 갖는 5 개의 코일 세그먼트들을 구비하는 자가 베어링 비대칭의 스텝퍼 모터(self bearing asymmetrical stepper motor)를 개시한다. 각각의 코일들에 공급되는 전류들의 크기는 로터의 중심의 기하학적 이심률(eccentricity)에 따라 변하며, 그에 따라, 서로 다른 자기력이 각각의 전자석으로부터 생성된다. 상기 자기력의 차이로 인하여, 로터는 지지될 수 있으며, 기하학적 편차에 대한 보상이 이루어진다.
권선 세트들(winding sets)의 개수가 감소된 자가 베어링 모터가 요구된다.
개시된 실시예들은, 모터의 고정자와 기동 부품을 동작하도록 접속(interface)시키는 단계, 상기 기동 부품에 대하여 상대적으로 적어도 2 개의 권선 세트들을 배치시키는 단계, 및 상기 적어도 2 개의 권선 세트들에 의해 상기 기동 부품이 구동되고 센터링도 되도록, 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 독립적으로 제어하는 단계를 포함하는 모터의 정류 방법에 관한 것이다.
다른 실시예에서, 모터의 정류 장치는, 모터의 기동 부품에 대하여 상대적으로 배치되는 적어도 2 개의 권선 세트들, 및 상기 적어도 2 개의 권선 세트들에 의해 상기 기동 부품이 구동되고 센터링도 되도록, 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 독립적으로 제어하도록 동작하는 정류 회로를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 모터는 독립적으로 제어되는 적어도 2 개의 권선 세트들을 갖는 고정자, 상기 고정자와 동작하도록 접속되는 기동 부품, 및 상기 적어도 2 개의 권선 세트들에 통신가능하도록 연결되고, 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 제어하여 독립적으로 상기 기동 부품을 구동시키고 센터링시키는 컨트롤러를 포함하며, 상기 적어도 2 개의 권선 세트들은 상기 기동 부품에 대하여 상대적으로 배치되고, 상기 컨트롤러는 상기 적어도 2 개의 권선 세트들에 의해 상기 기동 부품이 구동되고 센터링도 되도록 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍된다.
또 다른 실시예에서, 기판 처리 장치는, 독립적으로 제어되는 적어도 2 개의 권선 세트들을 갖는 고정자, 상기 고정자와 동작가능하도록 접하는 기동 부품, 및 상기 적어도 2 개의 권선 세트들에 통신가능하게 연결되고, 독립적으로 상기 기동 부품을 제어하고 센터링하도록 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 제어하기 위한 컨트롤러를 포함하며, 상기 적어도 2 개의 권선 세트들이 상기 기동 부품에 대하여 상대적으로 배치되고, 상기 컨트롤러는 상기 적어도 2 개의 권선 세트들에 의해 상기 기동 부품이 구동되고 센터링도 되도록 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍된다.
또 다른 실시예에서, 모터의 정류 방법은, 조정 전기각을 계산하는 단계, 및 독립적으로 상기 모터의 로터에 토크를 인가하고 상기 로터를 능동적으로 센터링하여 상기 로터가 상기 모터의 적어도 2 개의 권선 세트들에 의해 능동적으로 센터링되도록, 공통 세트의 정류 방정식들 내에서 상기 조정 전기각을 이용하는 단계를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 모터의 정류 방법은, 조정 전기각을 계산하는 단계, 및 모터의 로터에 독립적으로 토크를 인가하고 상기 로터를 능동적으로 센터링하여 상기 로터가 상기 모터의 적어도 2 개의 권선 세트들에 의해 능동적으로 센터링되도록, 정류 방정식들 내에 상기 조정 전기각을 도입시키는 단계를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 모터의 정류 장치는, 조정 전기각을 계산하는 회로, 및 공통 세트의 정류 방정식들이 상기 적어도 2 개의 권선 세트들을 갖는 모터들 및 적어도 3 개의 권선 세트들을 갖는 모터들에서, 토크 및 능동 센터링 힘들을 모두 발생시킬 수 있도록, 상기 공통 세트의 정류 방정식들에서 상기 조정 전기각을 이용하도록 동작되는 전류 증폭기를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 모터는 로터, 및 조정 전기각을 계산하는 회로; 및 공통 세트의 정류 방정식들이 모터 내에서 서로 다른 토크 및 능동 센터링 힘들을 모두 발생시킬 수 있도록 상기 공통 세트의 정류 방정식들 내에서 상기 조정 전기각을 이용하도록 동작되는 증폭기를 가지는 전류 증폭기에 의해 구동되는 권선들을 포함하며, 2 개의 권선 세트 모터 또는 3 개의 권선 세트 모터 중 적어도 하나이다.
또 다른 실시예에서, 기판 처리 장치는, 조정 전기각을 계산하는 회로, 및 공통 세트의 정류 방정식들이 모터 내에서 서로 다른 토크 및 능동 센터링 힘들을 모두 발생시킬 수 있도록 상기 공통 세트의 정류 방정식들에서 상기 조정 전기각을 이용하도록 동작되는 전류 증폭기를 포함하는 모터 정류용 컨트롤러를 포함하며, 상기 모터가 2 개의 권선 세트 모터 또는 3 개의 권선 세트 모터 중 적어도 하나이다.
또 다른 실시예에서, 기판 처리 장치는, 로터, 및 전류 증폭기에 의해 구동되는 권선들을 포함하는 모터를 구비하며, 상기 전류 증폭기는, 조정 전기각을 계산하는 회로, 및 공통 세트의 정류 방정식들이 상기 모터 내에서 서로 다른 토크 및 능동 센터링 힘들을 모두 발생시킬 수 있도록 상기 공통 세트의 정류 방정식들 내에서 상기 조정 전기각을 이용하도록 동작되는 증폭기를 가지며, 상기 모터가 2 개의 권선 세트 모터 또는 3 개의 권선 세트 모터 중 적어도 하나이다.
본 발명의 예시적 실시예들에 따르면, 자가 베어링 모터에 관한 기술이 제공된다.
이하의 상세한 설명에서는 개시된 실시예들의 태양 및 다른 특징들이 첨부된 도면들을 참조하여 설명될 것이다.
도 1은 개시된 실시예들을 구현하기에 적합한 예시적인 모터를 개략적으로 도시한다.
도 1a는 도 1의 실시예의 동작을 도시하는 예시적인 순서도이다.
도 2는 예시적인 실시예에 따른 선형 구성을 갖는 모터를 도시한다.
도 3은 예시적인 실시예에 따른 약 180°로 오프셋된 2 개의 권선 세트들을 갖는 모터를 도시한다.
도 4는 모터의 외주 상에 분포하는 권선 세트들을 갖는 예시적인 실시예를 도시한다.
도 5는 권선 세트들이 다수의 권선 부분 세트들로 분할되는 예시적인 실시예를 도시한다.
도 6은 3 개의 권선 세트들을 이용한 예시적인 실시예를 도시한다.
도 7은 4 개의 권선 세트들을 이용한 예시적인 실시예를 도시한다.
도 8은 개시된 실시예들에 대하여 위치 피드백을 제공하기에 적합한 예시적 실시예에 따른 센서 시스템을 도시한다.
도 9는 개시된 실시예들의 특징들을 포함하는 예시적인 기판 처리 장치의 상면도이다.
도 1은 본 명세서에 개시된 실시예를 구현하기에 적합한 예시적인 모터(100)를 개략적으로 도시한다. 개시된 실시예들이 도면들을 참조하여 설명될 것이지만, 이들은 다양한 대체 형태로 실시될 수 있음을 이해하여야 한다. 또한, 구성 부재 또는 재료와 관련하여 임의의 적합한 크기, 모양 또는 종류의 구성 부재 또는 재료가 적용될 수 있음을 이해하여야 한다.
모터(100)는, 본 실시예에서는 로터의 형태를 갖는 기동되는 부품(actuated component, 110) 및 권선 세트들(115, 120)을 포함한다. 개시된 실시예들의 목적과 관련하여, 기동되는 부품이란 용어는 움직임(motion)을 달성하거나, 본 명세서에 개시된 권선 세트들에 의해 생성된 힘들에 응답하는 힘을 인가하는 장치를 포함한다. 개시된 실시예들의 로터들 및 플라텐들(platens)은 기동되는 부품들의 예이다.
도 1에 도시된 예시적인 모터(100)는 회전식 구성(rotary configuration)을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 다른 실시예들은 후술하는 바와 같이 선형 구성(linear configuration)을 포함할 수 있다. 또한, 기동되는 부품(110)은 로터라고 지칭될 수 있으며, 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다. 권선 세트들(115, 120)은 하나 이상의 권선들을 포함할 수 있으며, 상기 권선 세트들을 구동하기에 적합한 소프트웨어, 하드웨어 또는 소프트웨어 및 하드웨어의 조합을 포함할 수 있는 전류 증폭기(125)에 의해 구동될 수 있다.
도 1a는 도 1의 실시예의 동작의 예시적인 순서도이다. 도 1 및 도 1a를 참조하면, 블록 10에서, 컨트롤러(112)는 모터(100)의 하나 이상의 센서들 또는 센서 시스템들(105)로부터 기동된 부품의 위치 정보를 수신하도록 동작한다(블록 60). 이후, 상기 컨트롤러는 상기 위치 정보 및 시스템 제어 규칙들에 따라 힘과 토크 명령을 결정할 수 있다. 이후, 블록 20에서, 컨트롤러(112)는 하나 이상의 힘 변환 함수들을 적용하여 일군의 명령된 권선 힘들(commanded winding forces)을 생성한다. 이후, 블록 30에서, 상기 명령된 권선 힘들이, 후술하는 바와 같이, 예를 들면, I 및 Δ 인 정류 파라미터들(commutation parameters)을 결정하기 위하여 사용될 수 있다. 이후, 상기 컨트롤러는 전류 증폭기(125)에 상기 정류 파라미터들을 제공할 수 있다.
또한, 전류 증폭기(125)는 상기 권선 세트들을 구동하기 위한 프로세서(127), 정류 함수(130) 및 전류 루프 함수(current loop function; 135)를 포함할 수 있다. 상기 프로세서는 일반적으로 정류 함수 및 전류 루프 함수의 동작을 제어하거나 조절할 수 있다. 상기 프로세서는 블록 40에 개시된 바와 같이 정류 함수(130)에 상기 정류 파라미터들을 제공할 수 있으며, 일군의 정류 방정식들에 따라 각 권선 세트의 하나 이상의 권선들에 대한 명령된 전류들을 결정할 수 있다. 블록 50에서, 전류 루프 함수(135)는 모터 권선들(115, 120)에 실제 전류들을 제공할 수 있다. 또한, 상기 전류 루프 함수는 상기 권선들을 통하는 흐르는 전류를 결정된 대로 유지하기 위한 피드백 및 구동 능력을 제공할 수도 있다. 본 명세서에 개시된 각 전류 증폭기는 개시된 실시예에 대한 기능들 및 연산을 수행하기 위해 요구되는 회로, 하드웨어 또는 소프트웨어의 조합을 포함한다.
도 2는 선형 구성을 갖는 다른 예시적인 실시예를 도시한다. 모터(200)는 본 실시예에서 플라텐 형태를 갖는 기동된 부품(210) 및 권선 세트들(215, 220)을 포함한다. 도 1의 실시예와 유사하게, 기동된 부품(210)은 임의의 적합한 방법으로 구성될 수 있으며, 권선 세트들(215, 220)은 하나 이상의 권선들을 포함할 수 있다. 개시된 실시예들의 목적과 관련하여, 상기 로터는 축 방향을 따라 제한될 수 있음을 이해해야 한다.
개개의 권선 세트들(215, 220)은 임의의 적합한 배향을 가질 수 있음을 이해하여야 한다. 전류 증폭기(225)는 권선 세트들(215, 225)을 구동할 수 있으며, 상기 권선 세트들을 구동하기에 적합한 소프트웨어, 하드웨어 또는 소프트웨어 및 하드웨어의 조합을 포함할 수 있다. 도 1의 실시예와 유사하게, 프로세서(230), 정류 함수(235) 및 전류 루프 함수(240)가 권선 세트들(215, 225)를 구동하기 위한 전류 증폭기(225)에 의해 이용될 수 있다. 또한, 프로세서(230), 정류 함수(235) 및 전류 루프 함수(240)는 위치 정보를 제공하는 하나 이상의 센서들 또는 센서 시스템으로부터 피드백을 수신하기 위한 회로를 포함할 수 있다.
개시된 실시예들은 자가베어링 모터 기능에 영향을 주기 위하여, 바람직하게는 최소 개수의 권선 세트들을 이용하는 자가 베어링 모터에 관한 것이다. 예를 들면, 하나 이상의 실시예들은 단지 2 개의 모터의 권선 세트들을 이용하여 자가 베어링에 필요한 힘을 발생시킬 수 있다. 상기 권선들은 개시된 실시예에서 사용하기에 적합한 임의의 종류의 권선들을 포함할 수 있다.
개시된 실시예들은 동일한 권선들을 이용하여, 회전식 실시예의 기동된 부품 또는 로터의 회전 중심을 능동적으로 제어하기 위하여 실질적으로 디커플링된 토크 힘들 및 방사상의 힘들을 제공한다. 선형 실시예들에서는, 동일한 권선들을 이용하여, 고정자와 플라텐 사이의 공극을 지나는 거리 주위의 플라텐을 능동적으로 제어하기 위하여 실질적으로 디커플링된 움직이는 방향의 선형 힘들과 가이던스 힘들(guidance forces)을 제공할 수 있다. 본 실시예들의 경우, 움직임 방향의 선형 힘들 및 토크는 집합적으로 구동력들이라 지칭될 수도 있다. 본 개시를 위하여, 회전식 실시예에서 로터의 회전 중심을 능동적으로 제어하기 위한 방사상 힘들 및 상기 고정자와 플라텐 사이의 공극을 지나는 가이던스 힘들은 집합적으로 센터링 힘들이라고 지칭될 수 있다.
개시된 실시예들에 따른 모터는 상기 로터 또는 플라텐의 소정의 부분들을 따라 분포하는 세크먼트화된 권선들, 예를 들면, 하나 이상의 부분 집합으로 분할된 권선 세트들을 포함할 수 있다. 각각의 권선 부분 집합은 하나 이상의 권선들을 포함할 수 있으며, 회전식 실시예들을 위하여 실질적으로 디커플링된 방사상 힘들과 탄젠트 힘들을 동시에 발생시키고 선형 시스템을 위하여 실질적으로 디커플링된 추진 및 가이던스 힘들을 제공하도록 구동되는 하나 이상의 권선들을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 실시예에서, 조절 전기 각도(adjustment electrical angle)가 공통된 일군의 정류 방정식들에서 계산되고 이용되어, 상기 권선들을 강화시킬 수 있다. 또한, 다른 정류 실시예들이 이용될 수도 있다. 전술한 바와 같이, 실시예들에 따른 상기 기동된 부품들, 예를 들면, 로터(110) 및 플라텐(210)은 단지 2 개의 모터 권선 세트들을 가지고 능동적으로 센터링될 수 있다. 상가 자가 베어링의 추가적인 실시예들은 권선들과 자극들의 신규한 배치를 이용할 수도 있다.
상기 자가 베어링 모터의 일부 실시예들은, 단지 2 개의 권선 세트들 및 단지 2 개의 제어 채널들을 이용할 수 있다. 로터 형태의 기동 부품에 탄젠트 및 방사 방향을 따르는, 또는 플라텐 형태의 기동 부품에 움직임 및 가이던스 방향을 따르는 힘들을 제공하기 위하여 하나 이상의 정류 함수들이 이용될 수 있다. 로렌츠 또는 맥스웰 종류의 힘들이 적용될 수도 있다. 구동 및 센터링 힘들을 발생시키기 위한 효율을 개선하기 위하여 최적화 기술들이 적용될 수 있다.
위치 및 공극 피드백을 모두 제공하는 센서 시스템이 더 포함될 수 있다. 예를 들면, 상기 센서 시스템은 제 1 및 제 2 축을 따라 동시적인 위치 측정을 제공하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 센서 시스템은 제 3 축을 따라, 제 1 및 제 2 축 측정들과 동시에 또는 개별적으로, 위치 측정을 할 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 센서 시스템은 개별적으로, 동시에 또는 이들의 조합으로 모든 측정을 할 수 있다. 적어도 일 실시예에서, 하나의 축은 로터 또는 플라텐에 대하여 탄젠트로 연장되고, 반면에 다른 축은 상기 로터 또는 플라텐의 표면들에 직교할 수 있다.
또 다른 실시예들에서, 모터 실시예들의 경우 위치 및 공극 피드백은 제한된 개수의 센서들을 이용하여 얻어질 수 있다. 적어도 하나의 실시예에서, 단지 2 쌍의 센서들이 사용될 수 있으며, 다수의 센서 장치에 대한 수요가 제거될 수 있다. 각 쌍 내에서, 상기 센서들은 기계적 또는 전기적 정도의 어떤 수만큼 이격되어 위치할 수 있다. 제 1 쌍의 반대측 센서들은 추가적인 쌍들 내의 반대 센서들로부터 기계적으로 또는 전기적인 정도의 어떤 수만큼 이격되어 위치될 수 있다. 적어도 하나의 실시예에서, 개시된 모터들의 피드백을 제공하기 위하여, 2 쌍의 센서들이 사용될 수 있다.
개시된 실시예들에 관한 응용들은, 예를 들면, 반도체 처리 공정의 로봇 기술과 같은 임의의 적합한 모터 응용을 포함한다. 또한, 개시된 자가 베어링 모터들은 통상의 베어링들의 대체물로서 이용될 수도 있다. 예를 들면, 자가 베이링 모터들은 로봇 암들을 제어하기 위한 구동 축에 의해 이용될 수 있는 이점이 있다. 접촉 베어링이 제거됨에 따라 파티클의 생성이 감소되고, 증폭 채널들의 개수가 감소됨에 따라 하드웨어의 실시를 위한 비용 절감이 얻어진다.
도 3, 4, 5, 6 및 7은 본 명세서에 개시된 자가 베어링 비블러시형 모터의 추가적인 실시예들을 도시한다. 설명의 간단을 위하여, 모터당 1 개의 위상만이 도시되어 있다. 다양한 도전체들 내의 전류 방향은 종이 평면으로부터 나오는 방향을 지시하는 점(dot)과 종이 평면 내부로 향하는 방향을 지시하는 "x"에 의해 지시될 수 있다. 각각의 모터는 영구 자석 기동 부품, 예를 들면, "N" 및 "S"로 지칭되는 교번하는 극들의 시퀀스를 갖는 로터(310)를 포함할 수 있지만, 이미의의 적합한 로터 구조가 이용될 수도 있다.
예시적인 실시예들에서, 상기 고정자들은 "철(iron)" 코어 (예를 들면, 강자성 재료와 같은 임의의 적합한 재료로 제조된 고정자 백킹(stator backing))을 갖거나, 상기 모터들은 비코어형 고정자들(coreless stators)을 가질 수도 있다. 본 명세서에서는 도 3, 4, 5, 6 및 7에 도시된 실시예들에 있어서, 소정의 구동 힘들, 즉, 토크 (T)와 각각 x 축과 y 축을 따르는 센터링 힘들 (Fx) 및 (Fy)에 대한 관계들이 로렌츠(Lorentz) 힘들을 이용하는 모터 구성과 로렌츠 및 맥스웰(Maxwell) 힘들의 조합을 이용하는 모터 구성과 관련하여 개시되어 있다. 상기 관계들은 소정의 토크 T, 힘 Fx 및 힘 Fy를 동시에 발생시키는 각 권선 세트에 대한 적합한 정류 조작들을 결정하기 위해 이용될 수 있다.
적어도 하나의 실시예에서, 상기 관계는 모터 내에서 디커플링된 토크 T 및방사상 힘들 Fx, Fy를 동시에 발생시키는 각각의 권선 세트들에 대한 적합한 위상 전류 진폭들(Ij, j = A, B, C,...) 및 전기 각도 오프셋들(Δj, j= A, B, C, ...)을 결정하기 위해 이용될 수 있다. 일단 결정되면, 상기 위상 전류 진폭들(Ij, j = A, B, C,...) 및 전기 각도 오프셋들(Δj, j= A, B, C, ...)은 소정의 토크 (T)와 각각 x 축과 y 축을 따르는 센터링 힘들 (Fx) 및 (Fy)을 발생시키기 위하여, 공통 세트의 정류 함수들과 함께 사용될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 모터는 3 상 정현파 정류에 의해 구동될 수 있다. 다른 실시예들에서, 정현파 전류에 대한 대체 실시예로서, wye-구성의 권선들에 대하여 상기 권선들을 통하여 동일한 정현파 전류들을 생성하기 위하여 공간 벡터 변조(space vector modulation)가 이용될 수 있다.
도 3을 참조하면, 소정의 토크 (T)와 센터링 힘들 (x-축을 따르는) Fx 및 (y-축을 따르는) Fy의 예시적인 관계들이 2 개의 권선 세트들, 즉, 권선 세트 A (315) 및 권선 세트 B(320)에 대한 로렌츠 힘들을 이용한 방사상의 및 탄젠트 힘들 Frj 및 Ftj (j=A, B)의 함수로서 개시되어 있다.
상기 관계들, 계산들 및 그에 따른 결과인 정류 구성은 예시적이며, 개시된 실시예들에서, 임의의 적합한 정류 방법을 이용하여 디커플링된 구동 및 센터링 힘들을 결정할 수 있다. 2 개의 권선 세트들이 도시되어 있지만, 모터는 개시된 실시예에 따른 권선들에 부가하여 추가적인 권선들 또는 권선 세트들을 포함할 수 있음을 이해하여야 한다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시예들에서 소정의 디커플링된 구동 및 센터링 힘들을 제공하기 위하여 임의의 개수의 권선 세트들이 이용될 수 있다. 권선 세트들 A(315) 및 B(320)은 약 180 도 만큼 오프셋된 것으로 도시되어 있지만, 다른 오프셋들도 이용될 수 있다.
전술한 바와 같이, 상기 고정자 세트들이 배치되는 고정자들은, 철 백킹을 갖거나(예를 들면, 코어를 갖는 고정자), 고정자들은 비코어형일 수 있다. 로렌츠 힘들을 이용한 도 3의 실시예들의 경우, 예시적인 힘의 관계들은 다음과 같이 표현될 수 있으며, R은 로터의 반지름이다.
Figure pat00001
Figure pat00002
Figure pat00003
힘의 관계들이 3 개의 방정식들과 4 개의 미지수들로 표현되어 있음을 알 수 있다. 예를 들면, 하기의 비용 함수(cost function)의 최소값을 확인함으로써, 추가적인 방정식들이 얻어질 수 있다.
Figure pat00004
상기 비용 함수는 2 개의 권선 세트들 사이에서 y 방향의 힘을 균등하게 분포시키는 것을 용이하게 하고, 서로 다른 방사상의 힘들이 서로 간섭하는 것을 방지할 수 있는 실시예임을 주목하여야 한다. 또한, 다른 비용 함수가 본 문제의 해결을 위하여 사용될 수도 있다. 예를 들면, 상기 권선들에 의해 유도되는 전류들에 기초하는 다른 비용 함수가 사용될 수 있다.
상기 비용 함수의 최소화는 (1) 내지 (3)의 제약 요건들에 종속되는 최소 방사상의 힘들을 제공할 것이다.
Figure pat00005
Figure pat00006
F tA 및 F tb 에 관하여, (1) 및 (2)를 풀면;
Figure pat00007
Figure pat00008
아래의 힘/전류 관계들은 도 3의 로렌츠 힘들을 이용하는 실시예를 위하여 이용될 수 있다(3 상 권선 세트들임을 가정함)
Figure pat00009
Figure pat00010
Figure pat00011
Figure pat00012
여기서,
IA = 권선 A(A)의 위상 전류의 진폭
IB = 권선 B(A)의 위상 전류의 진폭
ΔA = 권선 세트 A(rad)의 전기 각도 오프셋
ΔB = 권선 세트 B(rad)의 전기 각도 오프셋
(7) 내지 (12)를 이용하면,
Figure pat00013
Figure pat00014
Figure pat00015
Figure pat00016
또한, 개시된 실시예의 목적에 있어서, 본 명세서에 개시된 모든 아크 탄젠트 함수들(atan)은 4 개의 사분 역 탄젠트 함수들(quadrant inverse tangent functions; atan2) 및 해당 논거들(arguments)로서 해석될 수 있다.
이하의 예시적 모터 정류 방정식들이 이용될 수 있다.
Figure pat00017
Figure pat00018
여기서, IA, ΔA, IB, ΔB 는 권선 세트들 A 및 B에 의해 생성되는 힘 벡터들의 제어 크기들 및 방향들이며,
j = 각 권선 세트의 개별적인 위상들
따라서, 본 실시예에서, 전기적 각도 오프셋들 ΔA, ΔB 과 함께, 전기적 각도들 θA 및 θB 을 조절함으로써, 공통 또는 표준 세트의 모터 정류 방정식들이, 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉, x-축을 따르는 Fx 및 y-축을 따르는 Fy를 생성하기 위하여 이용될 수 있으며, 본 실시예에서는, 로렌츠 힘들을 생성하는 단지 2 개의 권선 세트들이 이용된다. 임의의 적합한 정류 방법을 이용한 다른 정류 스킴들이 적용될 수도 있다.
표준 세트의 정류 방정식들을 이용한 적합한 예시적인 기술들은 "Commutation of An Electromagnetic Propulsion and Guidance System"의 제하의 2007년 6월 27일자로 출원된 미국 특허 출원 대리인 문서 제390-012197-US (PAR)호를 참조할 수 있으며, 본 명세서에 그 전체가 참조로서 포함된다.
다시, 도 3을 참조하면, 또 다른 예시적인 실시예에 따른 모터 구성은 로렌츠 및 맥스웰 힘들의 조합을 이용할 수 있다. 방사상의 및 탄젠트 힘들(Frj, Ftj, j = A, B)의 함수로서 소정의 토크(T)와 x-축을 따른 센터링 힘들 Fx 및 y-축을 따른 센터링 힘들 Fy의 관계들은 방정식 (1) 내지 (3)에 도시된 것과 동일하다. 전술한 실시예와 유사하게, 상기 관계들, 계산들 및 그에 따른 결과인 정류 스킴들은 예시적이며, 개시된 실시예들에서도 다른 적합한 정류 해들(solutions)이 이용될 수 있음을 이해하여야 한다.
로렌츠 및 맥스웰 힘들을 이용하는 도 3의 실시예들에 대하여는, 이하의 힘/전류 관계들이 이용될 수 있다.
Figure pat00019
Figure pat00020
Figure pat00021
Figure pat00022
상기 유도는 (도 3에 도시된 부호 약속에 따라) 2 가지 경우, 즉 Fy > 0 및 Fy < 0 인 경우로 나뉘어 질 수 있다. 이들 2 가지 경우들은 예시적이다. IA, ΔA, IB, ΔB 에 대한 해들을 결정하기 위하여 다른 기술들 및 힘 분포들이 이용될 수 있으며, 개시된 실시예에 따라 단독(single) 권선 세트를 이용하여 탄젠트 및 방사상 힘들을 모두 생성할 수 있음을 이해하여야 한다.
Fy > 0 인 경우에, 예를 들면, Fy와 간섭할 수 있는 권선 세트 B(320)과 관련된 맥스웰 힘을 최소화하기 위하여,
Figure pat00023
이 된다.
Fy < 0 인 경우에, 예를 들면, Fy와 간섭할 수 있는 권선 세트 A(315)와 관련된 맥스웰 힘을 최소화하기 위하여.
Figure pat00024
이 된다.
그러므로, Fy > 0 인 예시적인 경우에는,
Figure pat00025
Figure pat00026
Figure pat00027
Figure pat00028
이고, Fy < 0 인 예시적인 경우에는,
Figure pat00029
Figure pat00030
Figure pat00031
Figure pat00032
여기서, T, Fx 및 Fy의 함수로서 aj, bj 및 cj, j=A, B이 이하의 표 1에 정의되어 있다.
Figure pat00033
표 1
본 실시예에서는 로렌츠 및 맥스웰 힘들을 모두 생성하기 위하여 단지 2 개의 권선 세트들을 이용하며, 권선 세트들 A(315) 및 B(320)을 구동하기 위하여 정류 함수들 (130)에서 유도된 IA, ΔA, IB, ΔB 를 적용함으로써, 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 을 생성하기 위하여, 공통 세트의 모터 정류 방정식들이 이용될 수 있다.
따라서, 전술한 실시예와 유사하게, 전기적 각도 오프셋들 ΔA, ΔB 과 함께 전기적 각도들 θA, θB을 조절함으로써, 공통 또는 표준 세트의 모터 정류 방정식들을 이용하여 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 를 생성하며, 본 실시예에서는 로렌츠 및 맥스웰 힘들을 생성하기 위하여 단지 2 개의 권선 세트들이 이용되었다. 임의의 적합한 정류 방법을 이용한 다른 정류 스킴들이 이용될 수도 있다.
도 4는 권선 세트들(415, 420)이 로터(410)의 외주 상의 소정 위치에 분포하는 예시적인 실시예를 도시한다. 각 권선 세트(415, 420)는 임의의 개수를 갖는 권선 서브세트들로 세그먼트화될 수 있으며, 임의의 개수를 갖는 소정의 위치들에 분포된다. 상기 권선 서브세트들은 서로에 대하여 또는 로터(410)에 대하여 그룹핑되거나 소정의 전기적 또는 기계적 오프셋을 갖도록 분포될 수 있다. 임의의 개수의 권선 세트들 및 권선 서브세트들 및 임의의 적합한 분포가 적용될 수 있다. 도 4는 2 개의 권선 세트들(415, 420)을 이용한 예시적인 실시예를 도시하며, 상기 권선 세트들 각각은 2 개의 권선 서브세트들(425, 430 및 435, 440)로서 각각 배치된다. 각 권선 세트 내의 2 개의 권선 서브세트들은 전기적으로 커플링되고, 서로에 대하여 임의의 적합한 전기적 및 기계적 오프셋되어 시프트된다.
도 5는 2 개의 권선 세트들 A(515) 및 B(520)를 이용하고, 각각의 권선 세트들이 2 개의 권선 서브세트들(525, 530 및 535, 540)으로서 각각 배치되는 예시적인 실시예를 도시한다. 각 권선 세트 내의 2 개의 권선 서브세트들은 전기적으로 커플링되고, 서로에 대하여 약 90의 전기 각도만큼 시프트된다. 그 결과, 한 쌍의 권선 서브세트들 중 하나가 순 탄젠트 힘을 생성하면, 상기 쌍의 다른 권선 서브세트는 순 방사상 힘을 생성하고, 그 역이 성립한다. 예시적인 본 실시예에서, 각각의 권선 세트들 내의 각각의 세그머트들은 약 90°의 각도로 기하학적으로 배치될 수 있다. 선택적으로는, 각 권선 세트의 권선 세그먼트들 사이의 전기적 각 오프셋 및 기하학적 각도 오프셋은 서로 다를 수 있다. 본 실시예에서, 권선 세트 A(515)는 2 개의 권선 서브세트들 A0(530) 및 A90(525)를 가질 수 있으며, 권선 세트 B(520)는 2 개의 권선 서브세트들 B0(540) 및 B90(535)를 가질 수 있다 각각의 권선 세트들 A 및 B는 도 1의 전류 증폭기(125)와 유사한 전류 증폭기에 의해 구동될 수 있다.
로렌츠의 힘들을 이용하는 도 5의 실시예의 세그먼트화된 권선 세트들(515, 520))에 대한 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 의 예시적인 관계들이 아래에 개시된다. 관계들, 계산들 및 그 결과인 정류 스킴들은 예시적이며, 개시된 실시예들에서 임의의 적합한 정류 해들이 이용될 수 있음을 이해하여야 한다. 2 개의 권선 세트들이 도시되어 있지만, 임의의 개수의 권선 세트들이 이용될 수 있음을 이해하여야 한다. 마찬가지로, 4 개의 권선 서브세트들이 도시되어 있지만, 임의의 개수의 권선 서브세트들이 적용될 수 있음을 이해하여야 한다. 또한, 권선 서브세트들(525, 530, 535, 540)이 90 도 만큼 오프셋된 것으로 도시되어 있지만, 다른 오프셋들도 적용될 수 있음을 이해하여야 한다.
도 5의 실시예에서 힘들의 관계들은 아래와 같다:
Figure pat00034
Figure pat00035
Figure pat00036
아래의 방정식들은 각각의 권선 세트 내의 권선 서브세트들이 90 전기 각도만큼 오프셋되었기 때문에 유효함을 주목하여야 한다.
Figure pat00037
Figure pat00038
Figure pat00039
Figure pat00040
Figure pat00041
이하의 힘/전류 관계식들은 로렌츠 힘들을 이용하는 도 5의 실시예들에서 이용될 수 있다.
Figure pat00042
Figure pat00043
Figure pat00044
Figure pat00045
방사상의 및 탄젠트 힘들의 관점에서 IA, ΔA, IB, ΔB 의 해를 찾기 위하여, 방정식보다 더 많은 변수가 있기 때문에 하나 이상의 방정식이 추가적으로 요구된다. 이 문제를 해결하기 위한 많은 방법이 있으며, 이용되는 설계 범주에 따라 다른 해들이 얻어질 수 있다. 예로서, 이하의 비용 함수를 최소화함으로써 추가적인 방정식이 얻어질 수 있다.
Figure pat00046
방정식들 (33) 내지 (45)로부터 하기의 해들에 도달하는 것이 가능하다.
Figure pat00047
Figure pat00048
Figure pat00049
Figure pat00050
Figure pat00051
Figure pat00052
Figure pat00053
Figure pat00054
권선 서브세트들(525, 530) 및 권선 서브세트들(535, 540)을 구동하기 위하여, 예를 들면, 위의 예(17) 및 (18)을 이용하여, 예를 들면, 도 1의 정류 함수(130)에 유도된 IA, ΔA, IB, ΔB를 적용함으로써, 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 를 생성하기 위하여, 공통 세트의 모터 정류 방정식이 이용될 수 있으며, 이 실시예에서, 단지 2 개의 권선 세트들이 로렌츠 힘들을 생성한다.
따라서, 전술한 실시예와 유사하게, 전기적 각도 오프셋들 ΔA, ΔB 과 함께 전기적 각도들 θA, θB을 조절함으로써, 공통 또는 표준 세트의 모터 정류 방정식들을 이용하여 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 를 생성할 수 있으며, 본 실시예에서는 로렌츠 및 맥스웰 힘들을 생성하기 위하여 단지 2 개의 권선 세트들이 이용되었다. 임의의 적합한 정류 방법을 이용한 다른 정류 스킴들이 이용될 수도 있다.
도 6은 3 개의 권선 세트들 A(615), B(620) 및 C(625)를이용하는 예시적인 실시예를 도시하며, 상기 권선 세트들은 도시된 바와 같이 A, B, 및 C로 지시된 로터의 3 섹터들 상으로 연장된다. 임의의 개수의 섹터들 상으로 연장된 임의의 개수의 권선 세트들이 포함될 수 있음을 이해하여야 한다. 각각의 권선 세트들 A(615), B(620) 및 C(625)는 전류 증폭기(630)에 의하여 유도될 수 있다. 전류 증폭기(630)은, 상기 권선 세트들을 구동하기에 적합한 소프트웨어, 하드웨어 또는 소프트웨어 및 하드웨어의 조합을 포함할 수 있다. 또한, 전류 증폭기(630)는 소정 개수의 권선 세트들을 구동하기에 적합한 프로세서(635), 정류 함수(640) 및 전류 루프 함수(645)를 포함할 수 있다. 도 1의 전류 증폭기(125)와 유사하게, 상기 정류 함수(640)는 특정 함수 세트에 따라 각 권선 세트의 권선들의 전류를 결정할 수 있으며, 전류 루프 함수(645)는 결정된 대로 상기 권선들을 흐르는 전류를 유지하기 위한 피드백 및 구동 능력을 제공한다. 또한, 프로세서(635), 정류 함수(640) 및 전류 루프 함수(645)는 위치 정보를 제공하는 하나 이상의 센서들 또는 센서 시스템들로부터 피드백을 수신하는 회로를 포함할 수 있다.
전술한 바와 같이, 도 6에 도시된 예시적인 실시예의 모터는 로렌츠 힘들을 기초로 동작하도록 구성될 수 있다. 다시, 도 6을 참조하면, 로렌츠 힘들을 이용한 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 는 아래와 같이 표현될 수 있다. 관계들, 계산들 및 그 결과인 정류 스킴들은 예시적이며, 개시된 실시예들에서 임의의 적합한 정류 해들이 이용될 수 있음을 이해하여야 한다. 3 개의 권선 세트들이 도시되어 있지만, 임의의 개수의 권선 세트들이 이용될 수 있음을 이해하여야 한다. 권선 세트들 A(615), B(620) 및 C(625)는 고정자 주위로 약 120 도 만큼 오프셋되어 실질적으로 균등하게 분포된 것으로 도시되어 있지만, 다른 오프셋들도 적용될 수 있음을 이해하여야 한다. 다른 실시예들에서, 상기 권선들은 소정의 축 주위로 전체적으로 대칭적이지만 상기 고정자의 가장자리 주위로 뷸균일하게 분포되는 구성으로 배치될 수 있다.
로렌츠 힘들을 이용한 도 6의 실시예들에 대한 힘의 관계식들이 예로서 다음과 같이 표시될 수 있다.
Figure pat00055
Figure pat00056
Figure pat00057
3 개의 권선 세트들 사이로 토크를 발생시키는 탄젠트 힘들을 균일하게 분포시킬 목적으로,
Figure pat00058
를 가정한다. 균일한 분포는 예시적인 해이며, IA, ΔA, IB, ΔB 의 해들을 결정하기 위하여 다른 기술들 및 힘 분포들이 사용될 수도 있다. 예를 들면, 전술한 실시예들에 나타낸 바와 같이, 비용 함수를 도입함으로써 다른 힘 분포들이 이용될 수 있다. 예를 들면, 권선들에 흐르는 전류에 기초하여 비용 함수가 이용될 수 있다.
수학식 54, 55, 56 및 57을 사용하면,
Figure pat00059
Figure pat00060
Figure pat00061
도 1의 실시예와 유사하게, 도 6의 실시예의 경우도, 2 개의 방정식과 3 개의 미지수가 있다. 그러므로, 하나 이상의 방정식이 요구된다. 하기의 예시적인 비용 함수를 최소화함으로써 추가적인 방정식이 얻어질 수 있다. 전술한 바와 같이, 다른 비용 함수들 및 힘 분포들이 이용될 수 있다.
Figure pat00062
이것은 다음과 같은 최적화된 해를 제공한다.
Figure pat00063
Figure pat00064
Figure pat00065
도 6의 로렌츠 힘들을 이용한 실시예에서 하기의 힘/전류 관계식이 이용될 수 있다.
Figure pat00066
Figure pat00067
결과로서:
Figure pat00068
Figure pat00069
여기서, j는 각각의 권선 세트를 나타내며:
Figure pat00070
Figure pat00071
Figure pat00072
Figure pat00073
위 실시예와 유사하게, 예를 들면, 권선 세트들 A, B 및 C에 적용될 수 있는 (17)의 형태인 정류 방정식들을 이용하여, Ij, Δj (여기서, j= A, B, C)가 정류 함수(640)에 적용함으로써, 로렌츠 힘들을 발생시키는 3 개의 권선 세트들(615, 620, 625)을 이용하여, 소정의 토크(T)와 센터링 힘들 Fx, Fy를 제공한다.
전술한 바와 같이, 공통 세트의 모터 정류 방정식들을 이용하여 소정의 토크 및 센터링 힘들을 제공하기 위하여 j=A, B, C 인 전기적 각도 오프셋 Δj를 이용하여 전기적 각도가 조정될 수 있다. 임의의 적합한 정류 방법을 이용하는 다른 정류 스킴들도 적용될 수 있다.
계속하여, 도 6을 참조하면, 다른 실시예의 모터는 로렌츠 및 맥스웰 힘들의 조합으로 동작되도록 구성될 수 있다. 방사상의 및 탄젠트 힘들 (Frj 및 Ftj, j=A, B, C)의 함수로서 소정의 토크(T)와 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 에 대한 예시적인 관계들은 전술한 로렌츠 및 맥스웰 힘들의 조합을 이용하는 도 3의 실시예와 유사할 수 있다.
본 실시예에서, 해는 도 6의 모터에 대하여 정의된 3 개의 섹터들 A, B 및 C에 대하여 상대적으로 소정의 센터링 힘 벡터 (Fx, Fy)의 위치에 기초하여 얻을 수 있다. 예를 들면, 각 섹터는 120 도일 수 있으며, 각 섹터들 마다 하나씩 3 개의 해를 구할 수 있다.
로렌츠 및 맥스웰 힘들을 이용하는 도 6의 실시예들의 경우, 하기의 힘/전류 관계가 이용될 수 있다.
Figure pat00074
Figure pat00075
로렌츠 및 맥스웰 힘들을 이용하는 도 6의 실시예에 대한 예시적인 해가 아래의 표 2에 표시되어 있으며,
Figure pat00076
및
Figure pat00077
이고, j=A, B이다.
Figure pat00078
Figure pat00079
표 2
본 실시예의 정류 함수들은 전술한 실시예들과 유사한 방식으로 유도될 수 있다. 예를 들면, 도시된 실시예들처럼, 전기적 각도는 예를 들면 권선 세트들 A, B 및 C에 적용할 수 있는 (17)의 형태인 정류 방정식들인 공통 세트의 모터 정류 방정식들을 이용하여 소정의 힘들을 제공하기 위하여, 전기적 각도 오프셋 Δj, j=A, B, C를 이용하여 조절될 수 있다. 임의의 적합한 정류 방식을 이용한 다른 정류 스킴들이 적용될 수도 있다.
도 7은 4 개의 권선 세트들 A(715), B(720), C(725) 및 D(730)를 이용하는 예시적인 실시예를 도시하며, 상기 권선 세트들은 도시된 바와 같이 A, B, C 및 D로 지시된 로터의 4 섹터들 상으로 연장된다. 권선 세트들 A(715), B(720), C(725) 및 D(730)은 각각 4 개의 권선 세트들을 구동할 수 있는 전류 증폭기(735)에 의하여 구동될 수 있다(상기 고정자의 가장자리를 따라 균일하게 분포된 것으로 도시되어 있지만, 다른 실시예들에서, 권선 세트들은 임의의 다른 소정의 방식으로 배치될 수 있다). 전류 증폭기(735)는 권선 세트들을 구동하기에 적합한 소프트웨어, 하드웨어 또는 소프트웨어 및 하드웨어의 조합을 포함할 수 있다. 또한, 전류 증폭기(735)는 4 개의 권선 세트들을 구동하기에 적합한 프로세서(740), 정류 함수(745) 및 전류 루프 함수(750)를 포함할 수 있다. 전류 증폭기(125)와 유사하게, 상기 정류 함수(745)는 특정 함수 세트에 따라 각 권선 세트의 권선들의 전류를 결정할 수 있으며, 전류 루프 함수(750)는 결정된 대로 상기 권선들을 흐르는 전류를 유지하기 위한 피드백 및 구동 능력을 제공한다. 또한, 프로세서(740), 정류 함수(745) 및 전류 루프 함수(750)는 위치 정보를 제공하는 하나 이상의 센서들 또는 센서 시스템들로부터 피드백을 수신하는 회로를 포함할 수 있다.
도 7에 도시된 예시적인 실시예에서, 상기 모터는 로렌츠 힘들에 기초하여 동작하도록 구성될 수 있다. 도 7의 실시예에서, 방사상의 및 탄젠트 힘들 (Frj 및 Ftj, j=A, B, C, D)의 함수로서 소정의 토크(T)와 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 에 대한 예시적인 관계들은 아래와 같다. 임의의 다른 관계들, 계산들 및 그에 따른 결과인 정류 스킴들도 이용될 수 있다.
Figure pat00080
Figure pat00081
Figure pat00082
4 개의 권선 세트들 사이에 토크를 생성하는 탄젠트 힘들을 균일하게 분포시키기 위하여,
Figure pat00083
을 가정한다. 균일한 분포는 예시적인 해일 뿐, 다른 기술들과 힘 분포들이 Ij 및 Δj 이고, j=A, B, C, D에 대한 해를 결정할 수 있다. 예를 들면, 전술한 실시예들에 도시된 비용 함수 또는 다른 예시적인 비용 함수를 도입함으로써 다른 힘 분포들이 이용될 수 있다. 또 다른 예시적인 비용 함수는 권선들을 흐르는 전류들에 기초할 수 있다.
그러므로,
Figure pat00084
Figure pat00085
Figure pat00086
반대측 상의 권선들 사이에 센터링 힘들을 균일하게 분포시키기 위하여,
Figure pat00087
Figure pat00088
Figure pat00089
Figure pat00090
가정한다. 전술한 바와 같이, 동일한 분포는 예시적 해이며, 다른 기술들 및 힘 분포들이 적용될 수도 있다.
아래의 힘/전류 관계들은 로렌츠 힘들을 이용하는 도 7의 실시예들을 위하여 이용될 수 있다.
Figure pat00091
Figure pat00092
결과로서,
Figure pat00093
Figure pat00094
각 권선 세트 j(=A(715), B(720), C(725) 및 D(730))에 대하여,
Figure pat00095
Figure pat00096
및
Figure pat00097
임.
로렌츠 힘들을 생성하는 4 개의 권선 세트들(715, 720, 725 및 430)을 이용하여 소정의 토크(T)와 센터링 힘들 Fx, Fy를 제공하기 위해, 정류 함수(745)에 Ij 및 Δj(j=A, B, C, D)이 적용될 수 있다.
전술한 실시예들에서와 같이, 공통 세트의 모터 정류 방정식들을 이용하여 소정의 토크 및 센터링 힘들을 제공하기 위하여 전기적 각도 오프셋 Δj(j=A, B, C, D)을 이용하여 전기적 각도가 조절될 수 있다. 따라서, 세그먼트화된 권선들(A, B, C, D)은 상기 공통 세트의 정류 방정식들의 조절된 전기 각도를 이용하여, 디커플링된 토크 및 센터링 힘들을 동시에 발생시켜 모터의 로터를 구동하고 중심을 유지하도록 구동될 수 있다. 또한, 임의의 다른 적합한 정류 조작이 이용될 수도 있다.
다시, 도 7을 참조하면, 다른 실시예에 따른 모터는 로렌츠 및 맥스웰 힘들의 조합을 이용할 수 있다. 방사상의 및 탄젠트 힘들(Frj 및 Ftj, j=A, B, C, D)의 함수로서, 소정의 토크(T)와 능동 센터링 힘들, 즉 x-축을 따른 Fx 및 y-축을 따른 Fy 의 관계들은 방정식 (75) 내지 (81)의 관계들과 동일하다. 로렌츠 및 맥스웰 힘들을 이용한 전술한 실시예들과 유사하게, 도 7의 실시예에 대하여 정의된 4 개의 섹터들에 대한 상대적인 소정의 센터링 힘 벡터 (Fx, Fy)의 위치에 기초하여 해가 얻어질 수 있다. 본 실시예에서, 각 섹터는 90 도일 수 있으며, 각 세트당 하나씩, 4 세트의 해들이 얻어질 수 있다.
로렌츠 및 맥스웰 힘들을 이용하는 청구항 78의 실시예의 경우, 이하의 힘/전류 관계들이 이용될 수 있다.
Figure pat00098
아래의 표 3에서는 로렌츠 및 맥스웰 힘들을 이용한 도 7의 실시예에 대한 예시적 해들이 표시되어 있으며, 표 3에서,
Figure pat00099
및
Figure pat00100
, j=A, B임.
Figure pat00101
표 3
본 실시예의 정류 함수들은 전술한 실시예들과 유사한 방식으로 유도될 수 있다. 예를 들면, 전술한 실시예에서와 같이, 권선 세트들 A, B, C, 및 D에 적용가능한 것으로서 (17)의 형태를 갖는 정류 방정식들과 같은 공통 세트의 모터 정류 방정식들을 이용하여 소정의 힘들을 제공하기 위하여, 전기적 각도 오프셋 Δj , j=A, B, C, D를 이용하여 전기적 각도가 조절될 수 있다. 임의의 적합한 정류 방식을 이용한 다른 정류 스킴들도 적용될 수 있다.
전술한 실시예에서와 같이, 공통 세트의 모터 정류 방정식들을 이용하여 소정의 힘들을 제공하기 위하여, 전기적 각도 오프셋 Δj , j=A, B, C, D를 이용하여 전기적 각도가 조절될 수 있다. 따라서, 권선 세트들 A, B, C, D은 상기 공통 세트의 정류 방정식들에서 조정된 전기적 각도를 사용하여 상기 모터의 로터에 토크를 인가하고, 상기 로터를 능동적으로 센터링하도록 동시에 디커플링된 토크 및 센터링 힘들을 발생시키도록 구동될 수 있다.
도 8은 개시된 실시예에서 위치 피드백을 제공하기에 적합한 센서 시스템의 예시적인 실시예를 나타낸다. 상기 센서 시스템은 쌍으로 배치되는 복수의 센서들을 포함할 수 있다. 각 센서 쌍은 다른 쌍으로부터 어느 정도의 기계적 또는 전기적 각도록 이격되어 위치할 수 있다. 제 1 쌍의 대응 센서들은 추가적인 쌍들의 대응 센서들로부터 어느 정도의 기계적 또는 전기적 각도로 이격되어 위치할 수 있다.
도 8의 예시적인 실시예에서, 2 쌍의 홀 효과 센서들(Hall Effect sensors; 810, 815)이 전술한 실시예의 경우 로터의 위치들을 결정하기 위하여 피드백을 제공할 수 있다. 제 1 쌍의 홀 효과 센서들(810)은 센서들 홀 A1 및 홀 A2를 포함할 수 있으며, 제 2 쌍의 홀 효과 센서들(815)는 센서들 홀 B1 및 홀 B2을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 제 1 센서 쌍(810)은 제 2 센서 쌍(815)로부터 기계적 각도인 90도 만큼 오프셋되어 위치한다. 또한, 각 센서는 그 쌍의 상대방으로부터 90의 전기적 각도 만큼 오프셋되어 위치할 수 있다. 예를 들면, 센서 홀 A1은 센서 홀 B1으로부터 90 도 전기적 오프셋을 가질 수 있으며, 센서 홀 A2는 셀서 홀 B2로부터 90의 전기적 각도 오프셋을 가질 수 있다. 각 센서, 홀 A1, 홀 A2, 홀 B1 및 홀 B2는 위치 피드백을 제공하기 위하여 적합한 전류 증폭기(125, 225, 630, 735)에 연결될 수 있다.
도 8의 예시적인 실시예에서, 센서들, 홀 A1 및 홀 A2는 서로로부터 90의 전기적 각도로 이격되어 위치하며, 로터가 회전함에 따라 위상 천이된 위치 의존 정현파 신호를 생성한다. 로터(11)의 전기적 위치는 다음과 같이,
Figure pat00102
계산될 수 있으며, A1 및 A2 는 각각 센서들 홀 A1 및 홀 A2로부터 나오는 신호들이다.
X 및 Y 방향을 따르는 로터의 변위는 2 세트의 센서들을 이용하여, 다음과 같이,
Figure pat00103
Figure pat00104
계산될 수 있으며, A1 및 A2 는 각각 센서들 홀 A1 및 홀 A2로부터 나오는 신호들이고, B1 및 B2 는 각각 센서들 홀 B1 및 홀 B2로부터 나오는 신호들이며, 상수 KgX 및 KgY는, 예를 들면, 알려진 갭 기준들에 대하여 실험적으로 결정될 수 있다.
따라서, 본 실시예에서, 단지 2 쌍의 홀 효과 센서들이 개시된 실시예들에 대하여 요구되는 위치 피드백을 제공한다. 로터가 회전하면서, 상기 로터의 교번하는 극들은 각 센서로부터 정현파 출력을 생성할 수 있다. 따라서, 각 쌍의 센서들 810, 815는 상기 로터의 위치가 결정된 것으로부터 위상 천이된 정현파 출력을 생성한다. 전술한 바와 같이, 예를 들면, 센서들 홀 A1 및 홀 A2의 2 개의 신호들의 비의 아크탄젠트에 의하여 결정되는 각이 계산될 수 있다. 또한, x 및 y 축들을 따르는 갭은, 예를 들면, 각 센서 쌍에 의해 출력되는 2 개의 센서 신호들의 제공의 4차 제곱근으로 해당 상수들을 나눔으로써 결정될 수 있다.
도 9는 개시된 실시예들의 특징들을 포함하는 예시적인 기판 처리 장치(1000)의 상면도를 도시한다. 기판 처리 장치(1000)은 일반적으로 대기에 대하여 개방된 대기 섹션(atomspheric section; 1050) 및 진공 챔버로서 기능하는 인접하는 진공 섹션(1100)을 가진다. 대기 섹션(1050)은 하나 이상의 기판 지지 카세트(1150) 및 대기 기판 이송 장치(1200)를 가진다. 진공 섹션(1100)은 하나 이상의 처리 모듈들91250) 및 진공 기판 이송 장치들(1300)를 가질 수 있다. 도 9에 도시된 실시예는 진공 섹션(100)내의 진공 상태를 교란시키지 않으면서 기판들이 대기 섹션(1050)과 진공 섹션(1100) 사이에서 지나다닐 수 있도록 하는 로드 락들(1350, 1400)을 가질 수 있다.
또한, 기판 처리 장치(1000)는 기판 처리 장치(1000)의 동작을 제어하는 컨트롤러(1700)를 포함한다. 컨트롤러(1700)는 프로세서(1730) 및 메모리(1780)을 포함할 수 있다. 컨트롤러(1700)는 링크(1830)을 통하여 기판 처리 시스템(1000)에 연결될 수 있다. 개시된 실시예들의 목적을 고려하면, 기판은, 예를 들면, 반도체 웨이퍼(예를 들면, 200 mm 또는 300 mm 웨이퍼), 평판 표시 기판, 기판 처리 장치(1000)에서 처리되기에 적합한 임의의 다른 종류의 기판, 블랭크 기판 또는 특정 치수들 또는 특정 질량과 같이 기판과 유사한 특성들을 갖는 피처리체일 수 있다.
개시된 실시예에 따르면, 대기 기판 이송 장치(1200)는 하나 이상의 자가 베어링 모터들(1600))을 포함할 수 있다. 개시된 실시예에 따르면, 자가 베어링 모터(1600)는 최소의 권선 세트들을 이용하여 상기 자가 베어링 모터의 기능에 영향을 미칠 수 있는 이점이 있으며, 동일한 권선들을 사용하여 실질적으로 디커플링된 구동 및 센터링 힘들을 제공할 수 있다. 자가 베어링 모터(1600)는 전술한 전류 증폭기들과 유사할 수 있는 전류 증폭기(1250)에 의해 구동될 수 있다. 또한, 개시된 실시예에 따르면, 진공 기판 이송 장치(1300)는 하나 이상의 자가 베어링 모터들(1900)을 포함할 수 있다. 자가 베어링 모터(1900)는 전술한 전류 증폭기들과 유사한 하나 이상의 전류 증폭기들(1500)에 의해 구동될 수 있다. 기판 처리 장치(1000)는 본 명세서에 개시된 적합한 다른 자가 베어링 모터들을 포함할 수도 있다.
요약하면, 개시된 실시예들은 최소의 권선 세트들을 이용하여 자가 베어링 모터의 기능에 영향을 미칠 수 있는 이점을 갖는 자가 베어링 모터에 관한 것이다. 권선 세트들의 개수를 감소시키는 것은, 예를 들면, 독립적인 권선들을 제어하기 위해 수반되는 복잡하고 고비용의 제어 시스템들 및 전자 장치들도 감소시킬 수 있기 때문에, 이점을 갖는다. 적어도 하나의 실시예에서, 모터의 기껏해야 2 개의 권선 세트들을 이용하여 자가 베어링 모터의 기능에 효과를 미칠 수 있다. 개시된 예시적인 회전식 실시예에서, 로터의 회전 중심을 능동적으로 제어하기 위하여 실질적으로 디커플링된 구동 및 센터링 힘들을 제공하기 위하여 동일한 권선들이 사용될 수 있다. 동일한 권선들을 이용하여, 실질적으로 디커플링된 추진력 및 안내 힘들(guidance 힘들)을 제공하여, 예시된 선형 실시예들 내의 플라텐을 제어할 수 있다. 개시된 모터 실시예들은 예를 들면 로터 또는 플라텐의 소정 부분들을 따라 분포되고 하나 이상의 권선 서브세트들을 갖는 권선 세트들을 형성하도록 나뉘어진 권선들과 같은 세그먼트화된 권선들을 포함할 수 있다. 또한, 위치 및 갭 피드백을 모두 제공하는 예시적인 센서 시스템이 포함될 수 있다. 예를 들면, 상기 센서 시스템은 제 1 및 제 2 축을 따라 동시 위치 즉정을 제공하도록 구성될 수 있다. 또한, 센서 시스템은 제 1 및 제 2 축 측정과 동시에 또는 개별적으로 제 3 축을 따른 측정을 제공할 수 있다.
전술한 개시 사항은 본 발명의 실시예들을 예시적으로 전달하기 위함을 이해하여야 한다. 당업자는 본 명세서에 개시된 실시예로부터 벗어나지 않고서 다양한 대체 및 변형 실시가 가능하다. 따라서, 실시예들은 첨부된 청구항들의 범위 내에 속하는 모든 이러한 대체, 변형 및 변화를 포괄하는 것이다.

Claims (20)

  1. 모터의 고정자 및, 기판 이송 장치의 구동 축에 마운트된 로터를 동작하도록 접속(interface)시키는 단계;
    상기 로터에 대하여 상대적으로 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 배치시키는 단계; 및
    상기 로터의 구동력들 및 센터링 힘들을 제공하는 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들이 서로 독립적으로 제어되도록, 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 독립적으로 제어하는 단계를 포함하고,
    상기 불과 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 각각의 개별적인 권선 세트는 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들을 모두 발생시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로터에 대하여 상대적으로 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들을 배치하는 단계; 및
    상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록, 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들을 독립적으로 제어하는 단계를 더 포함하는 기판 처리 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 로터에 대하여 상대적으로 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들을 배치하는 단계; 및
    상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록, 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들을 독립적으로 제어하는 단계를 더 포함하는 기판 처리 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들 각각을 한쌍의 권선 서브세트들처럼 배치하는 단계; 및
    상기 한쌍의 권선 서브세트들 중 하나의 권선 서브세트가 방사상 힘을 발생시키고 다른 권선 서브세트가 상기 로터에 대하여 탄젠츠 힘을 발생시키도록, 상기 권선 서브세트들의 각 쌍 내에서 권선 서브세트들을 오프셋시키는 단계를 더 포함하는 기판 처리 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    각 쌍의 권선 서브세트들 내에서 상기 권선 서브세트를 90도의 전기적 각도 만큼 오프셋시키는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  6. 기판 이송 장치의 구동 축에 마운트된, 모터의 로터에 대하여 상대적으로 배치되는 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들; 및
    상기 로터의 구동력들 및 센터링 힘들을 제공하는 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들이 서로 독립적으로 제어되도록, 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 독립적으로 제어하도록 동작하는 정류 회로를 포함하고,
    상기 불과 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 각각의 개별적인 권선 세트는 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들을 모두 발생시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되는 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들; 및
    상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록, 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들을 독립적으로 제어하도록 동작하는 정류 회로를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되는 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들; 및
    상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록, 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들을 독립적으로 제어하도록 동작하는 정류 회로를 더 포함하는 모터의 정류 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들은 각각 한 쌍의 권선 서브세트들을 포함하고,
    상기 한 쌍의 권선 서브세트들 중 하나의 권선 서브세트가 방사상 힘을 발생시키고 다른 권선 서브세트가 탄젠트 힘을 발생시키도록, 각 쌍의 권선 서브세트들내의 권선 서브세트들이 오프셋되는 모터의 정류 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    각 쌍의 권선 서브세트들 내의 상기 권선 서브세트들은 90의 전기적 각도만큼 오프셋되는 모터의 정류 장치.
  11. 독립적으로 제어되는 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 갖는 고정자;
    상기 고정자와 동작하도록 접속되고, 기판 이송 장치의 구동 축에 마운트된 로터; 및
    상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들에 통신가능하도록 연결되고, 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하여 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들을 서로 독립적으로 제어하는 컨트롤러를 포함하며,
    상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들은 상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되고, 상기 컨트롤러는 상기 로터의 구동력들 및 센터링 힘들을 제공하는 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들이 서로 독립적으로 제어되도록 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍되고,
    상기 불과 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 각각의 개별적인 권선 세트는 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들을 모두 발생시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치 모터.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 고정자는 독립적으로 제어되는 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들을 포함하고,
    상기 컨트롤러는 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들에 통신가능하도록 연결되며,
    상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들은 상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되고, 상기 컨트롤러는 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치 모터.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 고정자는 독립적으로 제어되는 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들을 포함하고,
    상기 컨트롤러는 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들에 통신가능하도록 연결되며,
    상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들은 상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되고, 상기 컨트롤러는 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치 모터.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 독립적으로 제어되는 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들 각각은 한 쌍의 권선 서브세트들을 포함하고,
    각 쌍의 권선 서브세트들 내의 권선 서브세트들은, 상기 한 쌍의 권선 서브세트들 중 하나의 권선 서브세트가 방사상 힘을 발생시키고 다른 권선 서브세트가 탄젠트 힘을 발생시키도록, 각 쌍의 권선 서브세트들내의 권선 서브세트들이 오프셋되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치 모터.
  15. 제 14 항에 있어서,
    각 쌍의 권선 서브세트들 내의 상기 권선 서브세트들은 90도의 전기적 각도 만큼 오프셋되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치 모터.
  16. 독립적으로 제어되는 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 갖는 고정자;
    상기 고정자와 동작가능하도록 접속하고, 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 구동 축에 마운트된 로터; 및
    상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들에 통신가능하게 연결되고, 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들이 서로 독립적으로 제어되도록 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하기 위한 컨트롤러를 포함하는 모터를 포함하며,
    상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들이 상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되고, 상기 컨트롤러는 상기 로터의 구동력들 및 센터링 힘들을 제공하는 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들이 서로 독립적으로 제어되도록 상기 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍되고,
    상기 불과 2 개의 단독 회로 권선 세트들 중 각각의 개별적인 권선 세트는 상기 로터의 구동력들 및 상기 로터의 센터링 힘들을 모두 발생시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 고정자는 독립적으로 제어되는 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들을 가지며,
    상기 컨트롤러는 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들에 통신가능하게 연결되며,
    상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들은 상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되며, 상기 컨트롤러는 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록 상기 적어도 3 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍된 기판 처리 장치.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 고정자는 독립적으로 제어되는 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들을 가지며,
    상기 컨트롤러는 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들에 통신가능하게 연결되며,
    상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들은 상기 로터에 대하여 상대적으로 배치되며, 상기 컨트롤러는 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들 중 불과 2 개에 의해 상기 로터가 독립적으로 구동되고 독립적으로 센터링되도록 상기 적어도 4 개의 단독 회로 권선 세트들을 제어하도록 프로그래밍된 기판 처리 장치.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 독립적으로 제어되는 적어도 2 개의 단독 회로 권선 세트들 각각은 한 쌍의 권선 서브세트들을 포함하고,
    각 쌍의 권선 서브세트들 내의 권선 서브세트들은 상기 쌍의 권선 서브세트들 중 하나의 권선 서브세트가 방사상의 힘을 발생시키고 다른 권선 서브세트가 탄젠트 힘을 발생시키도록 오프셋된 기판 처리 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    각 쌍의 권선 서브세트들 내의 상기 권선 서브세트들은 90도의 전기각 만큼 오프셋되는 기판 처리 장치.
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KR (2) KR101575758B1 (ko)
CN (1) CN101790834B (ko)
TW (1) TWI475783B (ko)
WO (1) WO2009003021A1 (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100297726A1 (en) 2008-02-13 2010-11-25 Amano Enzyme Inc. Stabilized transglutaminase and process for production thereof
US9465305B2 (en) * 2010-05-18 2016-10-11 Nikon Corporation Method for determining a commutation offset and for determining a compensation map for a stage
EP2670027B1 (en) * 2012-06-01 2017-09-13 Siemens Aktiengesellschaft Method and system for controlling a generator
US10564221B2 (en) 2013-11-13 2020-02-18 Brooks Automation, Inc. Method and apparatus for brushless electrical machine control
KR102224756B1 (ko) 2013-11-13 2021-03-08 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 씰링된 로봇 드라이브
WO2015073658A1 (en) 2013-11-13 2015-05-21 Brooks Automation, Inc. Sealed switched reluctance motor
TWI695447B (zh) 2013-11-13 2020-06-01 布魯克斯自動機械公司 運送設備
US10734912B2 (en) * 2016-08-24 2020-08-04 Beckhoff Automation Gmbh Stator device for a linear motor, linear drive system, and method for operating a stator device
US11271308B2 (en) * 2017-09-05 2022-03-08 Sri International Diamagnetic mechanically based antenna
US11018552B2 (en) * 2019-04-18 2021-05-25 Wisconsin Alumni Research Foundation High-force density three pole magnetic bearing
DE102020126068A1 (de) 2020-10-06 2022-04-07 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Axiaflussmaschine mit Schwingungsdämpfung
CN118110732A (zh) * 2024-04-18 2024-05-31 山东华东风机有限公司 一种磁悬浮轴承及控制方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02193547A (ja) * 1989-01-18 1990-07-31 Akira Chiba 半径方向回転体位置制御巻線付き電磁回転機械及び半径方向回転体位置制御装置
JP2002247823A (ja) * 2001-02-15 2002-08-30 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気浮上型電動機
KR20030022281A (ko) * 2000-07-16 2003-03-15 레비트로닉스 엘엘씨 경제적인 비마모성 전기 드라이브 장치

Family Cites Families (326)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2564221A (en) 1948-01-22 1951-08-14 Bailey Meter Co Electromagnetic motion responsive device
US3205485A (en) 1960-10-21 1965-09-07 Ti Group Services Ltd Screening vane electro-mechanical transducer
US3560774A (en) 1968-12-16 1971-02-02 Raymond R Reeves Rotary stepping motor with eccentric rotor
DE2102020A1 (de) 1971-01-16 1972-09-21 Luc J Klebeverfahren, Einrichtungen zur Durchfuhrung des Verfahrens und Anwen düngen des Verfahrens
US3860843A (en) 1970-06-26 1975-01-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd Rotating electric machine with reduced cogging
US3697992A (en) 1970-07-09 1972-10-10 Us Navy Servo compensation for inertia change
US3750151A (en) 1971-08-25 1973-07-31 H Dill Three-phase rotating ring display
DE2603882A1 (de) 1976-02-02 1977-08-04 Gutehoffnungshuette Sterkrade Schnellaufendes rotationssystem
US4210865A (en) 1977-12-12 1980-07-01 Chaika Leopold I Position sensor of linearly moving bodies
DE2847930A1 (de) 1978-11-04 1980-05-14 Teldix Gmbh Magnetische lagereinrichtung
US4547678A (en) 1980-01-11 1985-10-15 Califone International, Inc. Hybrid electric vehicle control methods and devices
US4360753A (en) 1980-05-08 1982-11-23 Shannon E Paul Motor having concentric ring rotor
JPS57135917U (ko) 1981-02-20 1982-08-25
JPH0646036B2 (ja) 1982-11-19 1994-06-15 セイコー電子工業株式会社 軸流分子ポンプ
JPS59108193A (ja) 1982-12-13 1984-06-22 株式会社日立製作所 磁気的に位置を検出する装置
US4659991A (en) 1983-03-31 1987-04-21 Ndt Technologies, Inc. Method and apparatus for magnetically inspecting elongated objects for structural defects
US4737701A (en) * 1983-04-29 1988-04-12 Emerson Electric Co. Tapped auxiliary winding for multi-speed operation of electric motor and method therefor
GB2140042B (en) 1983-05-20 1988-06-08 Rieter Ag Maschf Open-end yarn piecer
EP0129731A1 (en) 1983-06-15 1985-01-02 The Perkin-Elmer Corporation Wafer handling system
US4717874A (en) 1984-02-10 1988-01-05 Kabushiki Kaisha Sg Reluctance type linear position detection device
US4628499A (en) 1984-06-01 1986-12-09 Scientific-Atlanta, Inc. Linear servoactuator with integrated transformer position sensor
JPS61152304A (ja) 1984-12-26 1986-07-11 Hitachi Ltd スピンドル装置
DE3610479A1 (de) 1986-03-27 1987-10-01 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer wegsensor
US5080549A (en) 1987-05-11 1992-01-14 Epsilon Technology, Inc. Wafer handling system with Bernoulli pick-up
US5003260A (en) 1987-05-28 1991-03-26 Auchterlonie Richard C Inductive position sensor having plural phase windings on a support and a displaceable phase sensing element returning a phase indicating signal by electromagnetic induction to eliminate wire connections
US4874998A (en) 1987-06-11 1989-10-17 International Business Machines Corporation Magnetically levitated fine motion robot wrist with programmable compliance
DE3808331A1 (de) 1988-03-12 1989-09-28 Kernforschungsanlage Juelich Magnetische lagerung mit permanentmagneten zur aufnahme der radialen lagerkraefte
JPH01240268A (ja) 1988-03-17 1989-09-25 Seiko Seiki Co Ltd 研削盤のドレス方法
JP2852747B2 (ja) 1988-03-18 1999-02-03 セイコー精機株式会社 内面研削盤
JP2801014B2 (ja) 1988-06-17 1998-09-21 アドヴァンスド、セミコンダクター・マテリアルズ・アメリカ・インコーポレーテッド ベルヌーイのピックアップを備えるウエーハ取り扱いシステム
JPH0236313A (ja) 1988-07-26 1990-02-06 Fanuc Ltd 磁気式エンコーダの隙間調整方法
US4922197A (en) 1988-08-01 1990-05-01 Eaton Corporation High resolution proximity detector employing magnetoresistive sensor disposed within a pressure resistant enclosure
SE468589B (sv) 1988-11-10 1993-02-15 Spirac Engineering Ab Spiraltransportoer
US5210490A (en) 1989-01-11 1993-05-11 Nartron Corporation Linear position sensor having coaxial or parallel primary and secondary windings
US5124863A (en) 1989-06-27 1992-06-23 Canon Denshi Kabushiki Kaisha Disk drive device having reduced thickness
JPH03147568A (ja) 1989-11-01 1991-06-24 Canon Electron Inc ディスク駆動装置
US5015998A (en) 1989-08-09 1991-05-14 Kollmorgen Corporation Null seeking position sensor
JPH0374164A (ja) 1989-08-14 1991-03-28 Hitachi Ltd 電動機
DE3931661A1 (de) 1989-08-25 1991-04-04 Leybold Ag Magnetgelagerte vakuumpumpe
NL8902471A (nl) 1989-10-05 1991-05-01 Philips Nv Tweetraps positioneerinrichting.
JPH03125212A (ja) 1989-10-11 1991-05-28 Toshiba Corp キーボード操作支援装置
EP0858867A3 (en) 1989-10-20 1999-03-17 Applied Materials, Inc. Robot apparatus
US4992733A (en) 1989-11-17 1991-02-12 Visi-Trak Corporation Position sensing transducer having a circular magnet with an integral flux distorting member and two magnetic field sensors
JP3013997B2 (ja) 1989-12-06 2000-02-28 住友重機械工業株式会社 ２次元モータ式ステージ装置
DE4103603C2 (de) 1990-02-08 2003-09-11 Papst Licensing Gmbh & Co Kg Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils
JPH03276317A (ja) 1990-03-27 1991-12-06 Toshiba Corp 磁気軸受の制御装置
US5202695A (en) 1990-09-27 1993-04-13 Sperry Marine Inc. Orientation stabilization by software simulated stabilized platform
JPH04209996A (ja) 1990-11-30 1992-07-31 Daikin Ind Ltd 高速度回転真空ポンプの磁気軸受
US5450009A (en) 1990-12-28 1995-09-12 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Magnetic sensor and structure of its mounting
US5252870A (en) 1991-03-01 1993-10-12 Jacobsen Stephen C Magnetic eccentric motion motor
JPH04308823A (ja) 1991-04-05 1992-10-30 Ricoh Co Ltd 手ぶれ補正機能付きカメラ
DE69206872T2 (de) 1991-05-08 1996-07-25 Koyo Seiko Co Magnetische Antriebsvorrichtung
US5113102A (en) 1991-05-09 1992-05-12 Huntington Mechanical Laboratories, Inc. Rotary motion transmitter and heat treatment method for sealed chamber
JPH04364752A (ja) 1991-06-12 1992-12-17 Toshiba Corp 半導体基板処理システム
JPH0799919B2 (ja) 1991-07-18 1995-10-25 株式会社荏原製作所 誘導電動機の回転子軸振れ偏心検知装置
EP0526903B1 (en) 1991-08-06 1996-02-28 Koyo Seiko Co., Ltd. Bearing device
JP3125212B2 (ja) 1991-08-23 2001-01-15 武田薬品工業株式会社 ２−ピペラジノン誘導体およびその用途
US5285154A (en) 1991-10-15 1994-02-08 Eldec Corporation Saturable core proximity sensor aligned perpendicular to a magnet target having a plate and a non-magnetic metal housing
US5351004A (en) 1991-10-15 1994-09-27 Eldec Corporation Saturable core proximity sensor including a flux director and a magnetic target element
JPH0623687A (ja) 1992-02-21 1994-02-01 Ebara Corp ロボット
JP3347766B2 (ja) 1992-06-08 2002-11-20 日本トムソン株式会社 リニアエンコーダ及びこれを具備した案内ユニット
US5641054A (en) 1992-07-07 1997-06-24 Ebara Corporation Magnetic levitation conveyor apparatus
FR2696057B1 (fr) 1992-09-22 1997-06-13 Aerospatiale Moteur-couple allonge et dispositif de commande en debattement angulaire le comportant.
FR2695968B1 (fr) 1992-09-22 1994-12-23 Aerospatiale Dispositif à palier magnétique et à butée mécanique pour le positionnement d'un corps tournant par rapport à un corps statorique.
EP1179611B1 (de) 1992-10-06 2004-09-15 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Kammer für den Transport von Werkstücken
US5469053A (en) 1992-11-02 1995-11-21 A - Tech Corporation E/U core linear variable differential transformer for precise displacement measurement
US5386738A (en) 1992-12-22 1995-02-07 Honeywell Inc. Direct torque control moment gyroscope
US5334892A (en) 1992-12-22 1994-08-02 Anorad Corporation Positioning device for planar positioning
JP3312218B2 (ja) 1993-01-21 2002-08-05 光洋精工株式会社 磁気軸受装置
JP3189464B2 (ja) 1993-02-19 2001-07-16 株式会社デンソー 回転位置検出装置
JP3147568B2 (ja) 1993-03-05 2001-03-19 アイシン精機株式会社 アクチュエータのショックアブソーバへの固定構造
JP3135410B2 (ja) 1993-04-14 2001-02-13 光洋精工株式会社 磁気軸受装置
KR100303018B1 (ko) 1993-04-16 2001-11-22 스탠리 디. 피에코스 관절형아암이송장치
JPH0712091A (ja) 1993-09-24 1995-01-17 Ebara Corp 磁気軸受装置
JP2740893B2 (ja) 1993-11-01 1998-04-15 日本サーボ株式会社 永久磁石式ステッピングモータ
JPH07131966A (ja) 1993-11-05 1995-05-19 Sharp Corp ２次元リニアモータ
AT407196B (de) 1993-11-17 2001-01-25 Amo Automatisierung Messtechni Positionsmelder für automatisierung
JP3396525B2 (ja) 1993-12-08 2003-04-14 サンクス株式会社 導電体の位置検出方法及び電子部品のリード検査装置
DE4342539A1 (de) 1993-12-14 1995-06-22 Skf Textilmasch Komponenten Schaftloser Spinnrotor einer Offenend-Spinnmaschine
US5444368A (en) 1994-01-10 1995-08-22 H. Magnetic Corp. Differential reactance permanent magnet position transducer
US5642298A (en) 1994-02-16 1997-06-24 Ade Corporation Wafer testing and self-calibration system
JPH07255158A (ja) 1994-03-14 1995-10-03 Yaskawa Electric Corp 永久磁石形同期回転電機
US6989647B1 (en) 1994-04-01 2006-01-24 Nikon Corporation Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device
AU2686995A (en) 1994-06-01 1995-12-21 Stridsberg Innovation Ab Position transducer
US5801721A (en) 1994-09-09 1998-09-01 Signtech U.S.A. Ltd. Apparatus for producing an image on a first side of a substrate and a mirror image on a second side of the substrate
US5589769A (en) 1994-09-30 1996-12-31 Honeywell Inc. Position detection apparatus including a circuit for receiving a plurality of output signal values and fitting the output signal values to a curve
US5753991A (en) 1994-12-02 1998-05-19 Hydro-Quebec Multiphase brushless AC electric machine
DE59502927D1 (de) * 1994-12-02 1998-08-27 Sulzer Electronics Ag Verfahren zur kompensation von periodischen rüttelkräften in einer elektrischen drehfeldmaschine
US5568048A (en) 1994-12-14 1996-10-22 General Motors Corporation Three sensor rotational position and displacement detection apparatus with common mode noise rejection
US6246233B1 (en) 1994-12-30 2001-06-12 Northstar Technologies Inc. Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation
WO1996031934A1 (de) 1995-04-03 1996-10-10 Sulzer Electronics Ag Rotationsmaschine mit elektromagnetischem drehantrieb
JPH08323505A (ja) 1995-06-01 1996-12-10 Koyo Seiko Co Ltd 工作機械
US6194415B1 (en) * 1995-06-28 2001-02-27 Allergan Sales, Inc. Method of using (2-imidazolin-2-ylamino) quinoxoalines in treating neural injury
US5741113A (en) 1995-07-10 1998-04-21 Kensington Laboratories, Inc. Continuously rotatable multiple link robot arm mechanism
JP2914231B2 (ja) * 1995-07-26 1999-06-28 日本電気株式会社 電流検出回路
DE19529038A1 (de) 1995-08-08 1997-02-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh Magnetlager für einen Rotor
US5924975A (en) 1995-08-30 1999-07-20 International Business Machines Corporation Linear pump
GB2305022B (en) 1995-09-05 2000-04-26 Switched Reluctance Drives Ltd Starting a single-phase reluctance motor
US6163148A (en) 1995-10-17 2000-12-19 Seiko Epson Corporation Sensor, drive force auxiliary device using the sensor, and torque sensor zero point adjusting mechanism of the drive force auxiliary device
US5818137A (en) 1995-10-26 1998-10-06 Satcon Technology, Inc. Integrated magnetic levitation and rotation system
US6299404B1 (en) 1995-10-27 2001-10-09 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with double substrate holders
US5830272A (en) 1995-11-07 1998-11-03 Sputtered Films, Inc. System for and method of providing a controlled deposition on wafers
US5670876A (en) 1995-11-14 1997-09-23 Fisher Controls International, Inc. Magnetic displacement sensor including first and second flux paths wherein the first path has a fixed reluctance and a sensor disposed therein
US5633545A (en) 1995-12-06 1997-05-27 International Business Machines Corporation Disk drive in-hub radial-gap spindle motor with coils generating axial fields
JP3740770B2 (ja) 1995-12-28 2006-02-01 日本精工株式会社 密閉型アクチュエ−タ
JPH09269007A (ja) 1996-03-29 1997-10-14 Ebara Corp 受動型磁気軸受
US6074180A (en) 1996-05-03 2000-06-13 Medquest Products, Inc. Hybrid magnetically suspended and rotated centrifugal pumping apparatus and method
US6244835B1 (en) 1996-06-26 2001-06-12 James F. Antaki Blood pump having a magnetically suspended rotor
US6015272A (en) 1996-06-26 2000-01-18 University Of Pittsburgh Magnetically suspended miniature fluid pump and method of designing the same
JP3111376B2 (ja) 1996-07-02 2000-11-20 池上通信機株式会社 立体カメラの位置決め調整装置
JPH1023781A (ja) 1996-07-04 1998-01-23 Ebara Corp 磁気軸受電源装置
FR2750748B1 (fr) 1996-07-05 1998-11-20 Aerospatiale Palier magnetique actif longitudinalement et transversalement
US7087143B1 (en) 1996-07-15 2006-08-08 Semitool, Inc. Plating system for semiconductor materials
JPH1070865A (ja) 1996-08-26 1998-03-10 Ebara Corp 無軸受回転機械装置
CA2213810C (en) 1996-08-29 2006-06-06 Lewis Dale Pennington Benzo¬b|thiophene compounds, intermediates, processes, compositions and methods
JP3550465B2 (ja) 1996-08-30 2004-08-04 株式会社日立製作所 ターボ真空ポンプ及びその運転方法
TW304391U (en) 1996-10-18 1997-05-01 guo-zhen Weng Fastening structure for tea pot cover
EP0938646B1 (de) 1996-11-14 2001-09-19 Brose Fahrzeugteile GmbH &amp; Co. KG Anordnungen zum erfassen einer rotatorischen oder translatorischen bewegung
US5838121A (en) 1996-11-18 1998-11-17 Applied Materials, Inc. Dual blade robot
DE19652562C2 (de) 1996-12-17 1999-07-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
JPH10184685A (ja) 1996-12-25 1998-07-14 Fuji Xerox Co Ltd 磁気軸受
TW342898U (en) 1997-01-03 1998-10-11 Sheng-Zhang Jiang Improved structure for nut set
US5841274A (en) 1997-01-29 1998-11-24 Mitutoyo Corporation Induced current absolute position transducer using a code-track-type scale and read head
JP3757016B2 (ja) 1997-02-20 2006-03-22 ローツェ株式会社 ハンドリング用ロボット
NL1005344C2 (nl) 1997-02-21 1998-08-24 Stichting Tech Wetenschapp Aangedreven magneetlager.
JPH10270535A (ja) 1997-03-25 1998-10-09 Nikon Corp 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
US5886432A (en) 1997-04-28 1999-03-23 Ultratech Stepper, Inc. Magnetically-positioned X-Y stage having six-degrees of freedom
JP3885217B2 (ja) 1997-05-19 2007-02-21 株式会社安川電機 ウェハ搬送装置
JPH1130502A (ja) 1997-07-14 1999-02-02 Oki Electric Ind Co Ltd 位置検出機構
NL1006599C2 (nl) 1997-07-16 1999-01-19 Hollandse Signaalapparaten Bv Stelsel voor het stabiliseren van een op een beweegbaar platform geplaatst object.
WO1999004481A1 (fr) 1997-07-18 1999-01-28 Nikon Corporation Unite d'excitation, moteur lineaire ou plan utilisant l'unite, dispositif a etage utilisant le moteur et dispositif d'alignement utilisant le dispositif
JPH1151693A (ja) 1997-08-06 1999-02-26 Nippon Thompson Co Ltd リニアエンコーダ装置
KR19990026296A (ko) 1997-09-23 1999-04-15 윤종용 비동축 유도 모터용 동심 제어 장치
JP3627132B2 (ja) 1997-11-18 2005-03-09 東京エレクトロン株式会社 基板乾燥処理装置及び基板乾燥処理方法
US6078119A (en) 1997-11-26 2000-06-20 Ebara Corporation Bearingless rotary machine
JPH11166803A (ja) 1997-12-05 1999-06-22 Hitachi Cable Ltd 磁気式ケーブル伸び出し量センサ
JP3630964B2 (ja) 1997-12-26 2005-03-23 キヤノン株式会社 ステージ装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法
US6085760A (en) * 1997-12-31 2000-07-11 Placontrol, Inc. Animate form dental flossing device
US6097183A (en) 1998-04-14 2000-08-01 Honeywell International Inc. Position detection apparatus with correction for non-linear sensor regions
DE19816936A1 (de) 1998-04-16 1999-10-21 Siemens Ag Antennen-Transponder-Anordnung zur Energieübertragung und Winkelmessung
DE19819669A1 (de) * 1998-05-02 1999-11-04 Philips Patentverwaltung Teletext mit Transparent-Funktion
US6176668B1 (en) 1998-05-20 2001-01-23 Applied Komatsu Technology, Inc. In-situ substrate transfer shuttle
US6206176B1 (en) 1998-05-20 2001-03-27 Applied Komatsu Technology, Inc. Substrate transfer shuttle having a magnetic drive
US6086362A (en) 1998-05-20 2000-07-11 Applied Komatsu Technology, Inc. Multi-function chamber for a substrate processing system
US6522130B1 (en) 1998-07-20 2003-02-18 Uqm Technologies, Inc. Accurate rotor position sensor and method using magnet and sensors mounted adjacent to the magnet and motor
JP3601757B2 (ja) 1998-08-03 2004-12-15 オークマ株式会社 永久磁石モータ
US6324134B1 (en) 1998-08-05 2001-11-27 Seiko Instruments Inc. Disk recording and reproducing apparatus
US6058760A (en) 1998-08-18 2000-05-09 Kvh Industries, Inc. Apparatus and method for sensing angular displacement
DE59915016D1 (de) 1998-08-24 2009-06-18 Levitronix Llc Verfahren zum Bestimmen der radialen Position eines permanentmagnetischen Rotors und elektromagnetischer Drehantrieb
US6485531B1 (en) 1998-09-15 2002-11-26 Levitronix Llc Process chamber
DE19849613A1 (de) 1998-10-28 2000-05-04 Philips Corp Intellectual Pty Anordnung zur Messung einer relativen linearen Position
US6208045B1 (en) 1998-11-16 2001-03-27 Nikon Corporation Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom
US6147421A (en) 1998-11-16 2000-11-14 Nikon Corporation Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils
US6485250B2 (en) 1998-12-30 2002-11-26 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation
AU3206900A (en) 1998-12-31 2000-07-31 Ball Semiconductor Inc. Position sensing system
US6416215B1 (en) 1999-12-14 2002-07-09 University Of Kentucky Research Foundation Pumping or mixing system using a levitating magnetic element
US6127749A (en) 1999-02-10 2000-10-03 Nikon Corporation Of Japan Two-dimensional electric motor
US6358128B1 (en) 1999-03-05 2002-03-19 Ebara Corporation Polishing apparatus
JP2001074006A (ja) 1999-09-03 2001-03-23 Amitec:Kk ストロークセンサ
JP4209996B2 (ja) 1999-04-16 2009-01-14 スタンレー電気株式会社 プロジェクタ型車両用灯具
CN1372479A (zh) 1999-04-23 2002-10-02 文特拉西斯特股份有限公司 旋转血泵及其控制系统
TNSN00086A1 (fr) 1999-04-26 2002-05-30 Int Paper Co Machoire de scellage par induction
US6876896B1 (en) 1999-04-26 2005-04-05 Ab Tetrapak Variable motion system and method
EP1052761A3 (en) 1999-05-06 2001-05-09 Yukio Kinoshita A rotary electric machine
US6285097B1 (en) 1999-05-11 2001-09-04 Nikon Corporation Planar electric motor and positioning device having transverse magnets
JP3105210B1 (ja) 1999-05-17 2000-10-30 ファナック株式会社 ステータ構造
US6279412B1 (en) 1999-05-19 2001-08-28 Brooks Automation, Inc. Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly
US6326750B1 (en) 1999-06-17 2001-12-04 Emerson Electric Co. Active reduction of torque irregularities in rotating machines
AU6341200A (en) 1999-07-02 2001-01-22 Magnemotion, Inc. System for inductive transfer of power, communication and position sensing to a guideway-operated vehicle
JP3777272B2 (ja) 1999-07-05 2006-05-24 本田技研工業株式会社 車両におけるエンジン始動／停止装置
FR2797478B1 (fr) 1999-08-09 2001-10-12 Cit Alcatel Palier magnetique de centrage a commande en basculement de grande amplitude
TWI248718B (en) 1999-09-02 2006-02-01 Koninkl Philips Electronics Nv Displacement device
US6227817B1 (en) 1999-09-03 2001-05-08 Magnetic Moments, Llc Magnetically-suspended centrifugal blood pump
JP4359369B2 (ja) 1999-11-30 2009-11-04 キヤノンアネルバ株式会社 基板搬送ロボット
US6758593B1 (en) 2000-10-09 2004-07-06 Levtech, Inc. Pumping or mixing system using a levitating magnetic element, related system components, and related methods
JP2001224154A (ja) 2000-02-10 2001-08-17 Japan Science & Technology Corp マルチポール磁気浮上回転方法およびその装置
US6691159B1 (en) * 2000-02-24 2004-02-10 General Electric Company Web-based method and system for providing assistance to computer users
US6537011B1 (en) 2000-03-10 2003-03-25 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for transferring and supporting a substrate
US6781524B1 (en) 2000-03-17 2004-08-24 Magnemotion, Inc. Passive position-sensing and communications for vehicles on a pathway
US6498410B1 (en) 2000-03-28 2002-12-24 Ibiden Co., Ltd. Motor and pressure generating apparatus incorporating the motor
JP4341140B2 (ja) 2000-03-31 2009-10-07 ミツミ電機株式会社 電子機器
US6509732B1 (en) 2000-05-01 2003-01-21 Honeywell International Inc. Enhanced methods for sensing positions of an actuator moving longitudinally
US6559567B2 (en) * 2000-05-12 2003-05-06 Levitronix Llc Electromagnetic rotary drive
FR2808872B1 (fr) 2000-05-15 2002-08-16 Cit Alcatel Capteurs inductifs en etoile pour la detection de la position radiale d'un rotor dans un stator
JP2001326201A (ja) 2000-05-16 2001-11-22 Ebara Corp ポリッシング装置
KR100615878B1 (ko) * 2000-06-02 2006-08-25 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 Ｉｐｍ 모터, 모터구동차량, 전기자동차 및 전차
JP2001351874A (ja) 2000-06-09 2001-12-21 Ebara Corp 基板回転装置
US6445093B1 (en) 2000-06-26 2002-09-03 Nikon Corporation Planar motor with linear coil arrays
JP2002026105A (ja) 2000-07-05 2002-01-25 Daikin Ind Ltd 真空搬送モジュール
JP2002022403A (ja) 2000-07-13 2002-01-23 Tokyo Keiso Co Ltd 変位検出器および変位検出方法
GB0020501D0 (en) 2000-08-18 2000-10-11 Switched Reluctance Drives Ltd Apparatus and method for controlling an electric machine
JP3979561B2 (ja) 2000-08-30 2007-09-19 株式会社日立製作所 交流電動機の駆動システム
DE10043235A1 (de) 2000-09-02 2002-03-14 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
US6498451B1 (en) 2000-09-06 2002-12-24 Delphi Technologies, Inc. Torque ripple free electric power steering
US6690159B2 (en) 2000-09-28 2004-02-10 Eldec Corporation Position indicating system
DE50003742D1 (de) 2000-10-04 2003-10-23 Nti Ag Zuerich Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements
JP2002122137A (ja) 2000-10-10 2002-04-26 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 軸受装置
US6431011B1 (en) 2000-11-02 2002-08-13 Murray F. Feller Magnetic flow sensor and method
WO2002041473A1 (en) 2000-11-14 2002-05-23 Airex Corporation Integrated magnetic bearing
JP3757118B2 (ja) 2001-01-10 2006-03-22 株式会社日立製作所 非接触式回転位置センサ及び非接触式回転位置センサを有する絞弁組立体
US6642711B2 (en) 2001-01-24 2003-11-04 Texas Instruments Incorporated Digital inductive position sensor
US6691074B1 (en) 2001-02-08 2004-02-10 Netmore Ltd. System for three dimensional positioning and tracking
US6518747B2 (en) 2001-02-16 2003-02-11 Quantum Design, Inc. Method and apparatus for quantitative determination of accumulations of magnetic particles
US7036207B2 (en) 2001-03-02 2006-05-02 Encap Motor Corporation Stator assembly made from a plurality of toroidal core segments and motor using same
EP1243969A1 (en) 2001-03-20 2002-09-25 Asm Lithography B.V. Lithographic projection apparatus and positioning system
US20020149270A1 (en) 2001-04-12 2002-10-17 Hazelton Andrew J. Planar electric motor with two sided magnet array
US7196604B2 (en) 2001-05-30 2007-03-27 Tt Electronics Technology Limited Sensing apparatus and method
GB0126014D0 (en) 2001-10-30 2001-12-19 Sensopad Technologies Ltd Modulated field position sensor
US6650079B2 (en) 2001-06-01 2003-11-18 Nikon Corporation System and method to control planar motors
US20030085676A1 (en) 2001-06-28 2003-05-08 Michael Binnard Six degree of freedom control of planar motors
US6879126B2 (en) 2001-06-29 2005-04-12 Medquest Products, Inc Method and system for positioning a movable body in a magnetic bearing system
AU2002327249A1 (en) 2001-07-13 2003-01-29 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple independent end effectors
JP2003052146A (ja) 2001-08-06 2003-02-21 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 周面対向型モータ
US6573088B2 (en) 2001-08-08 2003-06-03 Dade Microscan Inc. Automated random access microbiological analyzer
EP1415390B1 (de) 2001-08-10 2005-03-23 ebm-papst St. Georgen GmbH & Co. KG Verfahren zur steuerung der kommutierung bei einem elektronisch kommutierten motor, und elektronisch kommutierter motor zur durchführung eines solchen verfahrens
JP2003068620A (ja) 2001-08-28 2003-03-07 Sendai Nikon:Kk 露光装置
JP3849921B2 (ja) 2001-09-26 2006-11-22 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
US6917136B2 (en) 2001-10-01 2005-07-12 Magnemotion, Inc. Synchronous machine design and manufacturing
FI114511B (fi) * 2001-10-24 2004-10-29 Abb Oy Menetelmä tahtikoneen roottorin asentokulman määrittämiseksi
US20030102721A1 (en) 2001-12-04 2003-06-05 Toshio Ueta Moving coil type planar motor control
JP3644922B2 (ja) * 2001-12-06 2005-05-11 本田技研工業株式会社 電動パワーステアリング装置
US6927505B2 (en) 2001-12-19 2005-08-09 Nikon Corporation Following stage planar motor
US7115066B1 (en) 2002-02-11 2006-10-03 Lee Paul Z Continuously variable ratio transmission
US6810754B2 (en) 2002-02-22 2004-11-02 Abas, Incorporated Magnetic-based transducer for measuring displacement
US6991710B2 (en) 2002-02-22 2006-01-31 Semitool, Inc. Apparatus for manually and automatically processing microelectronic workpieces
US7023118B1 (en) 2002-03-14 2006-04-04 The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration System for controlling a magnetically levitated rotor
US6800833B2 (en) 2002-03-29 2004-10-05 Mariusch Gregor Electromagnetically levitated substrate support
JP4197103B2 (ja) 2002-04-15 2008-12-17 株式会社荏原製作所 ポリッシング装置
US7292656B2 (en) 2002-04-22 2007-11-06 Cognio, Inc. Signal pulse detection scheme for use in real-time spectrum analysis
EP1357429A1 (en) * 2002-04-23 2003-10-29 ASML Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP3912779B2 (ja) 2002-05-08 2007-05-09 松下電器産業株式会社 磁気式位置検出装置
AU2003214583A1 (en) 2002-05-16 2003-12-02 Hans K. Asper Passive, dynamically stabilizing magnetic bearing and drive unit
US7578649B2 (en) 2002-05-29 2009-08-25 Brooks Automation, Inc. Dual arm substrate transport apparatus
US20040021437A1 (en) 2002-07-31 2004-02-05 Maslov Boris A. Adaptive electric motors and generators providing improved performance and efficiency
US6745145B2 (en) 2002-06-24 2004-06-01 Lsi Logic Corporation Methods and systems for enhanced automated system testing
US6909281B2 (en) 2002-07-03 2005-06-21 Fisher Controls International Llc Position sensor using a compound magnetic flux source
JP4712379B2 (ja) 2002-07-22 2011-06-29 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板処理装置
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
JP2004106084A (ja) 2002-09-17 2004-04-08 Ebara Corp ポリッシング装置及び基板処理装置
US20050174087A1 (en) 2004-02-10 2005-08-11 Koyo Seiko Co., Ltd. Control magnetic bearing device
DE10244234A1 (de) 2002-09-23 2004-03-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
FR2845469B1 (fr) 2002-10-07 2005-03-11 Moving Magnet Tech Capteur de position analogique a reluctance variable
US6813543B2 (en) 2002-10-08 2004-11-02 Brooks-Pri Automation, Inc. Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation
US20040070300A1 (en) 2002-10-10 2004-04-15 Fu Zhenxing (Zack) Low torque ripple surface mounted magnet synchronous motors for electric power assisted steering
US6879076B2 (en) 2002-12-09 2005-04-12 Johnny D. Long Ellipsoid generator
US6698737B1 (en) 2002-12-14 2004-03-02 Ronald Lee Blessing Clamping jig
US7030528B2 (en) 2003-02-06 2006-04-18 General Motors Corporation Dual concentric AC motor
JP2004245703A (ja) 2003-02-14 2004-09-02 Mitsuba Corp 回転角検出装置
EP1450462B1 (en) 2003-02-18 2008-07-09 Minebea Co., Ltd. Rotor and stator for an electrical machine with reduced cogging torque
JP2004253741A (ja) 2003-02-21 2004-09-09 Sumitomo Eaton Noba Kk 移動装置及び半導体製造装置
DE10309351A1 (de) 2003-03-03 2004-09-16 Robert Bosch Gmbh Druckregler
TWI327985B (en) 2003-04-14 2010-08-01 Daifuku Kk Apparatus for transporting plate-shaped work piece
US6803758B1 (en) 2003-04-25 2004-10-12 Delphi Technologies, Inc. Non-contact magnetically variable differential transformer
US7245047B2 (en) 2003-05-01 2007-07-17 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
AU2003902255A0 (en) 2003-05-09 2003-05-29 Queensland University Of Technology Motor
US20050035046A1 (en) 2003-06-06 2005-02-17 Hanson Kyle M. Wet chemical processing chambers for processing microfeature workpieces
US7596425B2 (en) 2003-06-13 2009-09-29 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Substrate detecting apparatus and method, substrate transporting apparatus and method, and substrate processing apparatus and method
DE10330434A1 (de) 2003-07-04 2005-02-03 Jostra Ag Zentrifugal-Pumpe
AU2003250002A1 (en) 2003-07-09 2005-01-28 Rena Sondermaschinen Gmbh Device for cleaning wafers after a cmp process
US6902646B2 (en) 2003-08-14 2005-06-07 Advanced Energy Industries, Inc. Sensor array for measuring plasma characteristics in plasma processing environments
EP1510867A1 (en) 2003-08-29 2005-03-02 ASML Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US8016541B2 (en) 2003-09-10 2011-09-13 Brooks Automation, Inc. Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation
EP1517042A1 (en) 2003-09-17 2005-03-23 Mecos Traxler AG Magnetic bearing device and vacuum pump
US7229258B2 (en) 2003-09-25 2007-06-12 Medforte Research Foundation Streamlined unobstructed one-pass axial-flow pump
DE112004001809T5 (de) 2003-09-25 2006-11-23 Medforte Research Foundation, Salt Lake City Axialströmungsblutpumpe mit magnetisch aufgehängtem, radial und axial stabilisiertem Laufrad
US7070398B2 (en) 2003-09-25 2006-07-04 Medforte Research Foundation Axial-flow blood pump with magnetically suspended, radially and axially stabilized impeller
US6952086B1 (en) 2003-10-10 2005-10-04 Curtiss-Wright Electro-Mechanical Corporation Linear position sensing system and coil switching methods for closed-loop control of large linear induction motor systems
JP4767488B2 (ja) 2003-10-23 2011-09-07 Ｎｔｎ株式会社 磁気浮上型ポンプ
JP4202889B2 (ja) 2003-10-29 2008-12-24 株式会社神戸製鋼所 薄膜形成方法及び装置
JP2005158826A (ja) 2003-11-20 2005-06-16 Anelva Corp マルチアーム型基板搬送ロボット及び基板搬送方法
JP4606033B2 (ja) 2004-01-30 2011-01-05 三菱電機株式会社 同期モータの回転子位置検出調整方法
JP4522106B2 (ja) 2004-02-04 2010-08-11 山洋電気株式会社 リニアモータ
US7264430B2 (en) 2004-02-26 2007-09-04 Federal Mogul World Wide, Inc Magnetically levitated high-speed spindle for shaping irregular surfaces
US20060238053A1 (en) 2004-03-01 2006-10-26 The University Of Toledo Conical bearingless motor/generator
JP2005253179A (ja) 2004-03-03 2005-09-15 Canon Inc 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法
FR2869090B1 (fr) 2004-04-15 2007-09-07 Gaz De France Procede pour raccorder une conduite de derivation a une canalisation principale et reseau souterrain de distribution de fluide
US7246985B2 (en) 2004-04-16 2007-07-24 Axcelis Technologies, Inc. Work-piece processing system
US7235906B2 (en) 2004-05-10 2007-06-26 Airex Corporation Magnetic bearing using displacement winding techniques
JP4324736B2 (ja) 2004-05-17 2009-09-02 株式会社島津製作所 磁気軸受制御装置
US7135855B2 (en) 2004-05-17 2006-11-14 David Scott Nyce Simplified inductive position sensor and circuit configuration
GB0411053D0 (en) 2004-05-18 2004-06-23 Ricardo Uk Ltd Data processing
US20050269892A1 (en) 2004-05-18 2005-12-08 Duff William B Jr Induction machine rotors with improved frequency response
JP4587708B2 (ja) 2004-05-20 2010-11-24 コニカミノルタオプト株式会社 位置検出装置、手振れ補正機構、および撮像装置
WO2005123565A2 (en) 2004-06-09 2005-12-29 Brooks Automation, Inc. Dual sacra arm
US7205741B2 (en) 2004-06-24 2007-04-17 Asml Netherlands B.V. Planar motor initialization method, planar motor, lithographic apparatus and device manufacturing method
JP4085074B2 (ja) 2004-06-24 2008-04-30 ファナック株式会社 磁気式角度検出器における回転体の製造方法
JP4732716B2 (ja) 2004-06-29 2011-07-27 株式会社アルバック 搬送装置及びその制御方法並びに真空処理装置
CN101023429B (zh) 2004-07-02 2010-09-01 斯特拉斯鲍公司 用于处理晶片的方法和系统
EP1621785A1 (en) 2004-07-30 2006-02-01 Mecos Traxler AG Method and apparatus for controlling a magnetic bearing device
EP1779080A1 (en) 2004-08-02 2007-05-02 NCTEngineering GmbH Sensor device capable of identifying any components of a mechanical force applied to a movable object
JP4649951B2 (ja) 2004-10-28 2011-03-16 日本電産株式会社 モータおよび電機子の製造方法
WO2006053384A1 (en) 2004-11-17 2006-05-26 Queensland University Of Technology Fluid pump
JP2006174526A (ja) 2004-12-13 2006-06-29 Nippon Densan Corp モータ
US7230355B2 (en) 2004-12-21 2007-06-12 Baldor Electric Company Linear hybrid brushless servo motor
US20060164697A1 (en) 2005-01-26 2006-07-27 Larson David R Irregularly spacing linear portions of media sheet for optical scanning thereof
US20060275155A1 (en) 2005-01-28 2006-12-07 Robert Thibodeau Rotational apparatus
JP4600060B2 (ja) 2005-02-01 2010-12-15 コニカミノルタオプト株式会社 駆動装置
KR100653434B1 (ko) * 2005-04-29 2006-12-01 영 춘 정 2상 무정류자 모터
JP2007019216A (ja) 2005-07-07 2007-01-25 Rorze Corp 基板の搬送ロボット
TWI447061B (zh) 2005-07-11 2014-08-01 Brooks Automation Inc 備有自動化對準功能的基板移送裝置
US8573919B2 (en) 2005-07-11 2013-11-05 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
JP4770308B2 (ja) 2005-07-15 2011-09-14 日立電線株式会社 トルクセンサ
JP4496376B2 (ja) 2005-09-05 2010-07-07 国立大学法人東京工業大学 使い捨て磁気浮上式血液ポンプ
EP1732011A1 (en) 2005-11-23 2006-12-13 Mecos Traxler AG Compact magnetic bearing device and method of operating the device with calculation of distribution of currents in the windings
FR2894023B1 (fr) 2005-11-29 2008-02-22 Electricfil Automotive Soc Par Capteur magnetique de position pour un mobile ayant une course lineaire limitee
JP4815204B2 (ja) 2005-12-01 2011-11-16 アイチエレック株式会社 永久磁石回転機及び圧縮機
US7339370B2 (en) 2005-12-09 2008-03-04 Bourns, Inc. Position and torque sensor
US20090021244A1 (en) 2005-12-15 2009-01-22 Lutz May Sensor
US7468589B2 (en) 2006-01-13 2008-12-23 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus having a controlled motor, and motor control system and method
US8104488B2 (en) 2006-02-22 2012-01-31 Applied Materials, Inc. Single side workpiece processing
JP4977378B2 (ja) 2006-02-23 2012-07-18 山梨日本電気株式会社 磁気センサ、回転検出装置及び位置検出装置
US7795861B2 (en) 2006-05-02 2010-09-14 Cairos Technologies Ag Method and apparatus for controlling a movable object for localization within a positioning area
JP2007312516A (ja) 2006-05-18 2007-11-29 Canon Inc 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法
US7868610B2 (en) 2006-06-09 2011-01-11 The Regents Of The University Of California Angular motion tracking sensor
US8701519B2 (en) 2006-06-28 2014-04-22 Genmark Automation, Inc. Robot with belt-drive system
WO2008003943A2 (en) 2006-07-03 2008-01-10 Zapaloid Limited Inhibition of alpha-synuclein aggregation
US20080067968A1 (en) 2006-09-12 2008-03-20 Nikon Corporation Identifying and compensating force-ripple and side-forces produced by linear actuators
WO2008039943A2 (en) 2006-09-27 2008-04-03 Vserv Tech Wafer processing system with dual wafer robots capable of asynchronous motion
US20080120164A1 (en) 2006-11-17 2008-05-22 Avaya Technology Llc Contact center agent work awareness algorithm
JP5379954B2 (ja) 2007-02-09 2013-12-25 株式会社東芝 制御盤試験用端子台、制御盤自動試験装置、及び仮設制御装置
JP5130762B2 (ja) 2007-03-26 2013-01-30 住友電気工業株式会社 広帯域光源装置
JP5663304B2 (ja) 2007-06-27 2015-02-04 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 多次元位置センサ
US7834618B2 (en) 2007-06-27 2010-11-16 Brooks Automation, Inc. Position sensor system
US8283813B2 (en) 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
JP5501375B2 (ja) 2009-01-11 2014-05-21 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ロボットおよびロボットの電気エンドエフェクタに電気的に接続するシステム、装置、および方法
JP3178747U (ja) 2012-07-18 2012-09-27 有限会社エコー商事 ポールの固定構造

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02193547A (ja) * 1989-01-18 1990-07-31 Akira Chiba 半径方向回転体位置制御巻線付き電磁回転機械及び半径方向回転体位置制御装置
KR20030022281A (ko) * 2000-07-16 2003-03-15 레비트로닉스 엘엘씨 경제적인 비마모성 전기 드라이브 장치
JP2004504795A (ja) * 2000-07-16 2004-02-12 レビトロニックス　エルエルシー 経済的な非摩耗電気駆動装置
JP2002247823A (ja) * 2001-02-15 2002-08-30 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気浮上型電動機

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