DE4103603C2 - Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils - Google Patents

Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils

Info

Publication number
DE4103603C2
DE4103603C2 DE4103603A DE4103603A DE4103603C2 DE 4103603 C2 DE4103603 C2 DE 4103603C2 DE 4103603 A DE4103603 A DE 4103603A DE 4103603 A DE4103603 A DE 4103603A DE 4103603 C2 DE4103603 C2 DE 4103603C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
position sensor
sensor according
coil arrangement
core
measuring coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE4103603A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4103603A1 (de
Inventor
Michael Hermann
Johann Von Der Heide
Hans-Dieter Papst
Uwe Mueller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Papst Licensing GmbH and Co KG
Original Assignee
Papst Licensing GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE9004531U external-priority patent/DE9004531U1/de
Application filed by Papst Licensing GmbH and Co KG filed Critical Papst Licensing GmbH and Co KG
Priority to DE4103603A priority Critical patent/DE4103603C2/de
Publication of DE4103603A1 publication Critical patent/DE4103603A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4103603C2 publication Critical patent/DE4103603C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2046—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable ferromagnetic element, e.g. a core
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
    • G01D5/225—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the mutual induction between the two coils

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils; mit einer langgestreckten Messspulenanordnung, in der ein weichmagnetischer Kern in Längsrichtung stationär angeordnet ist und der einen zur Längenausdehnung geringen Querschnitt aufweist; mit einem von dem Teil bewegbaren Steuermagneten, insbesondere Permanentmagneten, der in Längsrichtung des weich­ magnetischen Kerns bewegbar ist, diesen positionsabhängig partiell magnetisch sättigt und damit die elektrischen Werte der Messspulenanordnung steuert; und mit einer Auswerteeinrichtung zum Auswerten der sich positionsabhängig ändernden elektri­ schen Werte der Messspulenanordnung.
Aus der EP-B 238 922 ist bereits ein magnetischer Wegsensor zur Erfassung der Lage eines Messobjektes bekannt, der aus einem Differential-Transformator mit einem fest­ stehenden Kern aus weichmagnetischem Material besteht. Entlang diesem Kern wird zusammen mit dem Messobjekt ein Dauermagnet bewegt, der den weichmagnetischen Kern positionsabhängig partiell magnetisch sättigt, so dass an dieser Stelle ein virtueller Luftspalt in dem Kern bewirkt wird, der entsprechenden Einfluss auf die Kopplung zwischen den Wicklungen des Differential-Transformators hat. Ein ähnlicher magneti­ scher Wegsensor ist auch aus der DE-OS 39 14 787 bekannt.
Bei dem magnetischen Wegsensor nach der EP-B-238 922 befindet sich zwar der weichmagnetische Kern innerhalb der Messspulenanordnung mit Primär- und Sekun­ därwicklungen, der Steuermagnet ist jedoch außerhalb der gesamten Anordnung vorge­ sehen, so dass magnetische Fremdfelder verhältnismäßig große Messfehler verursachen können. Außerdem ist ein solcher Positionssensor verhältnismäßig kompliziert aufge­ baut und benötigt aufwendige Führungsmittel zur genauen Führung des Steuermagneten gegenüber dem weichmagnetischen Kern.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Einfluss von magnetischen Fremdfel­ dern zu minimieren und dabei gleichzeitig zu niedrigen Herstellkosten zu kommen.
Diese Aufgabe wird gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch gelöst, dass der weichmagnetische Kern im Querschnitt trogförmig, insbesondere V- oder U-förmig, ausgebildet ist und dass der Steuermagnet zwischen den Schenkeln des Kerns innerhalb der Messspulenanordnung angeordnet und durch das Teil bewegbar ist. Diese Lösung hat den Vorteil, dass der Luftspalt zwischen dem Steuermagneten und dem Kern gering gehalten werden kann und stets die gleiche Größe hat, um eine Messung mit großer Zuverlässigkeit zu ermöglichen. Die Unempfindlichkeit gegenüber Fremdfeldern ist erheblich gesteigert gegenüber dem Positionssensor nach dem besprochenen Stand der Technik.
Die Messspulenanordnung des erfindungsgemäßen Positionssensors ist vorzugsweise auf einen rohrförmigen Trägerkörper gewickelt, und die Länge des Kerns entspricht etwa der Länge der Messspulenanordnung und des Bewegungsweges des Steuermag­ neten. Der Kern ist vorzugsweise aus Dynamoblech hergestellt.
Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsfarm ist der Steuermagnet mit dem Teil seitlich ausweichend elastisch aufgehängt, wird von dem Kern angezogen, berührt diesen und wird von diesem gleichzeitig geführt. Hierdurch werden besondere Führungsmittel eingespart. Der Steuermagnet und/oder der Kern sind an den Berüh­ rungsflächen vorzugsweise mit einer abriebfesten und reibungsmindernden Schicht überzogen, so dass trotz dieser Berührung eine lange Lebensdauer und geringe Betäti­ gungskräfte erzielt werden.
Vorzugsweise ist die Messspulenanordnung als Transformator mit mehreren Wicklun­ gen ausgebildet, insbesondere in der Form eines Differentialtransformators.
Als Auswerteeinrichtungen können verschiedene Formen vorgesehen sein. In einer vorteilhaften Ausführungsform ist die Auswerteeinrichtung zur Messung induktivitäts­ abhängiger Bestromungsverläufe der Messspulenanordnung ausgebildet. Der Messspu­ lenanordnung werden dabei vorzugsweise impulsförmige Ströme zugeführt. Eine andere Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteschaltung die Übertragung von Wechselstrom- oder Impulssignalen von der Primärwicklung auf die Sekundärwicklung der Messspulenanordnung abhängig von der Position des Steuer­ magneten auswertet.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine ersten Ausführungsforen eines Positions­ sensors entlang der Linie I-I von Fig. 2;
Fig. 2 einen Schnitt durch den Positionssensor nach Fig. 1 in vergrößerter Darstellung entlang der Linie II-II in Fig. 1;
Fig. 3 ein elektrisches Schaltbild zur Verdeutlichung der Polaritäten der Mess­ spulenanordnung des Positionssensors nach den Fig. 1 und 2;
Fig. 4 ein Schaltbild einer Auswerteeinrichtung; und
Fig. 5 ein Spannungs-Zeit-Diagramm zur Auswerteeinrichtung nach Fig. 4.
Der in den Fig. 1 und 2 dargestellte Positionssensor enthält einen rohrförmigen Träger­ körper 2, auf den über den wesentlichen Teil seiner Länge eine Sekundärspule 3 gewi­ ckelt ist. An den axialen Endbereichen des Trägerkörpers 2 sind zwei Teilspulen 4 und 5 angeordnet, die durch einen Verbindungsdraht 10 miteinander verbunden sind und die Primärspule bilden. Die entsprechenden Spulen 3, 4 und 5 sind mit Anschlüssen 9 versehen.
Innerhalb der aus den Spulen 3, 4 und 5 bestehenden Messspulenanordnung, also im vorliegenden Beispiel innerhalb des Trägerkörpers 2, sind ein trogförmiger Kern 6 sowie der an einem bewegten Teil 1 angeordnete Steuermagnet 8 angeordnet, wobei der Steuermagnet 8 im vorliegenden Beispiel einen kreisförmigen Querschnitt hat und mit seiner Umfangsfläche an den Innenflächen der Schenkel 7 des trogförmigen Kerns 6 anliegt. Im vorliegenden Bespiel ist der trogförmige Kern 6V-förmig ausgebildet. Je nach den räumlichen Verhältnissen und der Form des Steuermagneten 8 sind auch andere Formen, wie z. B. U-Form möglich.
Das bewegliche Teil 1 kann in Richtung des Doppelpfeils 16 in Richtung der Längs­ achse der Messspulenanordnung bewegt werden, und zwar derart, dass der Steuermag­ net 8 im wesentlichen die gesamte Länge des Kerns 6 bestreicht. Der Kern besteht vorzugsweise aus Dynamoblech, und wird an der Stelle magnetisch gesättigt, an der sich der Steuermagnet 8 gerade befindet. Diese partielle Sättigung führt zu einem virtu­ ellen Luftspalt im Kern 6, wodurch die Kopplungsverhältnisse zwischen den Primär­ spulen 4 und 5 und der Sekundärspule 3 lageabhängig verändert werden. Das bewegli­ che Teil 1 mit seinem Steuermagneten 8 ist in Querrichtung federnd gelagert, so dass der Steuermagnet 8 beim Anziehen der Innenflächen der Schenkel 7 des Kerns 6 mit diesem in enger Berührung bleibt, wodurch sich besonders stabile magnetische Verhältnisse ergeben. Um die Reibungskräfte zwischen dem Steuermagneten 8 und den Innenflächen des Kerns 6 sowie Abnutzung zu vermindern, sind die Berührungsflächen der beiden Teile zweckmäßigerweise mit einer abriebfesten und reibungsmindernden Schicht (nicht gezeigt) überzogen.
Die Wicklungen 3, 4 und 5 der Messspulenanordnung des Ausführungsbeispiels sind als Differential-Transformator geschaltet, was das Schaltbild nach Fig. 3 im einzelnen zeigt. Es ist: zu sehen, dass bei den durch Punkte an den einzelnen Wicklungen 4, 3 und 5 angedeuteten Polaritäten sich eine gegensinnige Polarität für die Teil-Primarwicklun­ gen 4 und 5 ergibt.
Fig. 4 zeigt nun ein Beispiel einer Auswerteeinrichtung für den Positionssensor nach den Fig. 1 bis 3. Ein durch einen Steuerimpuls 12 gesteuerter Transistor 13 beaufschlagt die aus den Teilwicklungen 4 und 5 bestehende Primärwicklung. Je nach Stellung des mit dem bewegten Teil verbundenen Kerns 8 wird auf die Sekundärwicklung 3 ein positionsabhängiges Signal übertragen und von einem Differentialverstärker 14 ausge­ wertet. Wie Fig. 5 zeigt, ist die Primärspannung Upr in der Form von Impulsen 12', und das auf die Sekundärwicklung 3 übertragene Signal Usek hat die Form eines verformten Rechteckimpulses 15. Aus dem Impulsverlauf der Impulse 15 kann auf die Stellung des Steuermagneten 8 gegenüber dem Kern 6 geschlossen werden. Es ist jedoch auch denkbar, der Primärwicklung 4, 5 ein sinusförmiges Wechselstromsignal zuzuführen und die Amplitude der in der Sekundärwicklung 3 induzierten Spannung auszuwerten. Darüber hinaus ist es möglich, die Wicklungen 4, 5 sowie 3 in der Funktion miteinander zu vertauschen, d. h., die Wicklung 3 als Primärwicklung zu verwenden und die beiden zusammengeschalteten Teilwicklungen 4 und 5 als Sekundärwicklung zu benutzen. Schließlich ist es auch möglich, nur eine Wicklung vorzusehen und deren Induktivität als Maß der Position des Steuerkerns 8 auszuwerten.
Für die Auswerteeinrichtung sind verschiedene Formen möglich. Bei der Impulsaus­ wertung werden zur Bestromung und Auswertung der Bestromungsverläufe zweckmä­ ßigerweise Schaltungen mit einem Mikroprozessor verwendet, um die Position des Steuermagneten genau zu ermitteln.

Claims (12)

1. Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils; mit einer langgestreckten Messspulenanordnung, in der ein weichmagnetischer Kern in Längsrichtung stationär angeordnet ist und der einen zur Längenausdeh­ nung geringen Querschnitt aufweist; mit einem von dem Teil bewegbaren Steu­ ermal; neten, insbesondere Permanentmagneten, der in Längsrichtung des weich­ magnetischen Kerns bewegbar ist, diesen positionsabhängig partiell magnetisch sättigt und damit die elektrischen Werte der Messspulenanordnung steuert; und mit einer Auswerteeinrichtung zum Auswerten der sich positionsabhängig ändernden elektrischen Werte der Messspulenanordnung; dadurch gekennzeich­ net, dass der weichmagnetische Kern (6) im Querschnitt trogförmig, insbesondere V- oder U-förmig, ausgebildet ist und dass der Steuermagnet (8) zwischen den Schenkeln (7) des Kerns (6) innerhalb der Messspulenanordnung (3, 4, 5) ange­ ordnet und durch das Teil (1) bewegbar ist.
2. Positionssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messspulen­ anordnung (3, 4, 5) auf einen rohrförmigen Trägerkörper (2) gewickelt ist.
3. Positionssensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Kerns (6) etwa gleich der Länge der Messspulenanordnung (3, 4, 5) und des Bewegungsweges des Steuermagneten (8) ist.
4. Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Kern (6) aus Dynamoblech besteht.
5. Positionssensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Steuermagnet (8) mit dem Teil (1) seitlich ausweichend elastisch aufge­ hängt ist, von dem Kern (6) angezogen wird, diesen berührt und von diesem geführt wird.
6. Positionssensor nach Anspruch 5. dadurch gekennzeichnet, dass der Steuermagnet und/oder der Kern an den Berührungsflächen mit einer abriebfesten und reibungsmindernden Schicht überzogen wird.
7. Positionssensor nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messspulenanordnung (3, 4, 5) als Transformator mit mehreren Wicklungen ausgebildet ist.
8. Positionssensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Transforma­ tor als Differentialtransformator (3, 4, 5) ausgebildet ist.
9. Positionssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Transforma­ tor zwei in Längsrichtung in Abstand voneinander angeordnete und gegeneinan­ der geschachtelte Teilwicklungen (4, 5) und eine sich über den gesamten Bewe­ gungsbereich des Steuermagneten (8) erstreckende zweite Wicklung (3) enthält,
10. Positionssensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, dass die Auswerteeinrichtung zur Messung induktivitätsabhängiger Bestro­ mungsverläufe der Messspulenanordnung ausgebildet ist.
11. Positionssensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Messspu­ lenanordnung impulsförmige Ströme zugeführt werden
12. Positionssensor nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteschaltung die Übertragung von Wechselstrom- oder Impulssignalen von der Primärwicklung (4, 5) auf die Sekundärwicklung (3) der Messspulenan­ ordnung abhängig von der Position des Steuermagneten (8) auswertet.
DE4103603A 1990-02-08 1991-02-07 Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils Expired - Fee Related DE4103603C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4103603A DE4103603C2 (de) 1990-02-08 1991-02-07 Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4003813 1990-02-08
DE9004531U DE9004531U1 (de) 1990-04-21 1990-04-21 Induktiv arbeitender Positionssensor
DE4103603A DE4103603C2 (de) 1990-02-08 1991-02-07 Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4103603A1 DE4103603A1 (de) 1991-08-14
DE4103603C2 true DE4103603C2 (de) 2003-09-11

Family

ID=25889887

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4103603A Expired - Fee Related DE4103603C2 (de) 1990-02-08 1991-02-07 Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5204621A (de)
DE (1) DE4103603C2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009009085A1 (de) 2009-02-14 2010-08-19 Hella Kgaa Hueck & Co. Positionssensoreinrichtung

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE9312361U1 (de) * 1993-08-24 1994-01-13 Ab Elektronik Gmbh, 59368 Werne Anordnung zur Erfassung von Meßpunkten sich relativ zueinander bewegender Teilelemente
DE4425904A1 (de) * 1994-07-21 1996-01-25 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer Wegsensor
US5793206A (en) 1995-08-25 1998-08-11 Jentek Sensors, Inc. Meandering winding test circuit
US6118271A (en) * 1995-10-17 2000-09-12 Scientific Generics Limited Position encoder using saturable reactor interacting with magnetic fields varying with time and with position
DE19621886C2 (de) * 1996-05-31 2000-11-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Magnetische Positionsmeßeinrichtung
US6486673B1 (en) 1997-01-06 2002-11-26 Jentek Sensors, Inc. Segmented field dielectrometer
US6144206A (en) * 1997-01-06 2000-11-07 Jentek Sensors, Inc. Magnetometer with waveform shaping
US6781387B2 (en) 1997-01-06 2004-08-24 Jentek Sensors, Inc. Inspection method using penetrant and dielectrometer
AU6760898A (en) 1997-03-13 1998-09-29 Jentek Sensors, Inc. Magnetometer detection of fatigue damage in aircraft
ATE256865T1 (de) * 1997-10-29 2004-01-15 Jentek Sensors Inc Absolutmessung von eigenschaften mit luftkalibrierung
WO1999026062A1 (en) 1997-11-14 1999-05-27 Jentek Sensors, Inc. Multiple frequency quantitative coating characterization
DE19805783C2 (de) * 1998-02-12 2000-06-08 Siemens Ag Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes
DE19805621A1 (de) * 1998-02-12 1999-08-19 Hydraulik Ring Gmbh Anordnung zur berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes, vorzugsweise einer Schaltwelle eines Kraftfahrzeuggetriebes
DE19806529C2 (de) * 1998-02-17 2002-04-18 Micro Epsilon Messtechnik Weg-Winkel-Sensor
DK174336B1 (da) 1998-06-30 2002-12-09 3D Sensor Aps Berøringsløs vinkelmåler
AU4420800A (en) * 1999-04-23 2000-11-10 Scientific Generics Limited Position sensor
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
DE10044839B4 (de) * 1999-09-27 2004-04-15 Siemens Ag Induktiver Positionssensor
EP1224110B1 (de) * 1999-10-27 2007-04-18 Siemens VDO Automotive S.A.S. Elektronisches lenksäulenmodul
FR2800460B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact
FR2800459B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couplage differentiel
FR2800457B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Procede de fabrication de capteur analogique de position sans contact
FR2800458B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couche noyau de largeur variable
DE10025661A1 (de) 2000-05-24 2001-12-06 Balluff Gebhard Feinmech Wegmeßsystem
JP2001347959A (ja) * 2000-06-06 2001-12-18 Mitsubishi Electric Corp 電動パワーステアリング装置
US6445311B1 (en) * 2000-12-21 2002-09-03 G. Burnell Hohl Inductive joystick
DE10105082A1 (de) * 2001-02-05 2002-08-14 Wincor Nixdorf Gmbh & Co Kg Vorrichtung zur Entgegennahme von Banknoten
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
FR2830614B1 (fr) * 2001-10-09 2003-12-05 Siemens Vdo Automotive Capteur de position sans contact de type a inductance mutuelle
US20040036468A1 (en) * 2002-04-17 2004-02-26 Bernd Hoffelder Measuring device for detecting the angular position of a rotatable object
EP1721130B2 (de) † 2004-03-01 2014-04-30 Sagentia Limited Positionssensor
CN100592036C (zh) * 2004-03-08 2010-02-24 微一埃普西龙测量技术有限两合公司 非接触式位移测量系统
DE102004041107A1 (de) * 2004-03-08 2005-10-06 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg Berührungslos arbeitendes Wegmesssystem
US7135855B2 (en) * 2004-05-17 2006-11-14 David Scott Nyce Simplified inductive position sensor and circuit configuration
GB0513414D0 (en) * 2005-06-30 2005-08-03 Sensopad Ltd Sensing apparatus and method
ATE457055T1 (de) * 2006-04-06 2010-02-15 Magneti Marelli Spa Aktuator mit berührungslosem weggeber
BRPI0713234B1 (pt) 2006-07-07 2019-08-20 Magneti Marelli Powertrain S. P. A. Sistema de aquisição para detectar a posição angular de um botão para o gás de uma motocicleta
US20080284554A1 (en) * 2007-05-14 2008-11-20 Thaddeus Schroeder Compact robust linear position sensor
US8823294B2 (en) * 2007-06-27 2014-09-02 Brooks Automation, Inc. Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system
WO2009003186A1 (en) 2007-06-27 2008-12-31 Brooks Automation, Inc. Multiple dimension position sensor
US8283813B2 (en) 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
US9752615B2 (en) * 2007-06-27 2017-09-05 Brooks Automation, Inc. Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor
US8222892B2 (en) * 2007-06-27 2012-07-17 Brooks Automation, Inc. Sensor for simultaneous position and gap measurement
JP5416104B2 (ja) 2007-06-27 2014-02-12 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド セルフベアリングモータ用位置フィードバック
KR101496654B1 (ko) * 2007-06-27 2015-02-27 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 리프트 능력 및 감소된 코깅 특성들을 가지는 전동기 고정자
WO2009012396A2 (en) 2007-07-17 2009-01-22 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus with motors integral to chamber walls
JP5108143B2 (ja) 2008-03-19 2012-12-26 サジェンティア リミテッド 処理回路構成
KR102160324B1 (ko) * 2013-02-01 2020-09-25 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 감지 디바이스를 제조하기 위한 방법
DE102013203586A1 (de) * 2013-03-01 2014-09-04 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor zum Erfassen einer Position eines Gebermagneten
EP3108211B1 (de) * 2014-02-18 2019-11-06 Balluff GmbH Positionsmessvorrichtungen
WO2015164165A1 (en) * 2014-04-21 2015-10-29 Nucleus Scientific, Inc. Inductive position sensing in linear actuators
DE102014214439A1 (de) * 2014-07-23 2016-01-28 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Aktor-Sensor-Anordnung und Verfahren zur Anwendung bei einer solchen Anordnung
KR102370003B1 (ko) * 2016-04-22 2022-03-02 케이에스알 아이피 홀딩스 엘엘씨. 쇽 업소버를 위한 유도성 센서
CN109716630B (zh) 2016-09-13 2021-01-22 核科学股份有限公司 多连杆电传动系统
DE102018000422B4 (de) 2017-01-20 2023-06-01 Thomas Magnete Gmbh Magnetspule mit integriertem Sensor
SE541400C2 (en) 2017-02-27 2019-09-17 Sem Ab Inductive position sensor with improved plunger core design

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1485646A (en) * 1973-11-16 1977-09-14 Hitachi Ltd Digital displacement sensors
DE3309089A1 (de) * 1982-03-17 1983-09-29 Merlin Gerin Vorrichtung zum ermitteln der stellung eines beweglichen koerpers, insbesondere bei einem kernkraftreaktor
EP0238922B1 (de) * 1986-03-27 1990-01-24 Vacuumschmelze GmbH Magnetischer Wegsensor
DE3914787A1 (de) * 1989-05-05 1990-11-08 Hermann Michael Dipl Phys Induktiv arbeitender positionssensor

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3641429A (en) * 1969-12-24 1972-02-08 Massachusetts Inst Technology Position-measuring transducer comprising a stator and relatively movable flux-altering member
US4639667A (en) * 1983-05-23 1987-01-27 Andresen Herman J Contactless controllers sensing displacement along two orthogonal directions by the overlap of a magnet and saturable cores
US4697144A (en) * 1984-04-19 1987-09-29 Verify Electronics Limited Position sensing apparatus
US4678991A (en) * 1985-11-18 1987-07-07 United Technologies Corporation Inductive displacement transducer with unipolar output
DE3933627A1 (de) * 1989-10-07 1990-09-27 Daimler Benz Ag Sensor mit einem beweglichen permanentmagnetsystem zur bestimmung einer bewegungsabhaengigen groesse

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1485646A (en) * 1973-11-16 1977-09-14 Hitachi Ltd Digital displacement sensors
DE3309089A1 (de) * 1982-03-17 1983-09-29 Merlin Gerin Vorrichtung zum ermitteln der stellung eines beweglichen koerpers, insbesondere bei einem kernkraftreaktor
EP0238922B1 (de) * 1986-03-27 1990-01-24 Vacuumschmelze GmbH Magnetischer Wegsensor
DE3914787A1 (de) * 1989-05-05 1990-11-08 Hermann Michael Dipl Phys Induktiv arbeitender positionssensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009009085A1 (de) 2009-02-14 2010-08-19 Hella Kgaa Hueck & Co. Positionssensoreinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE4103603A1 (de) 1991-08-14
US5204621A (en) 1993-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4103603C2 (de) Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils
EP0693673B1 (de) Magnetischer Wegsensor
DE2511683C3 (de) Induktiver Stellungsgeber
DE3610479A1 (de) Magnetischer wegsensor
DE19836599A1 (de) Verfahren zur berührungslosen magnetischen Erfassung linearer Relativbewegungen zwischen Dauermagneten und elektronischen Sensoren
DE102016002420B4 (de) Verfahren zur Bestimmung der Position eines Magneten relativ zu einer Sensorzelle
CH680391A5 (de)
DE112021005553T5 (de) Hubmessvorrichtung für Hydraulikzylinder
DE2923644A1 (de) Positionsfuehler
DE19630108A1 (de) Einrichtung zur berührungslosen Erfassung der Geschwindigkeit oder Position eines ferromagnetischen Geberteils
DE3803293A1 (de) Magnetisch betaetigter analoger elektrischer wegaufnehmer fuer geradlinige bewegungen
DE10354375A1 (de) Berührungslos arbeitendes Wegmesssystem
DE3909745A1 (de) Positioniereinrichtung
CH666745A5 (de) Vorrichtung zum indirekten beruehrungslosen elektrischen messen kleiner wege.
DE102005035799B4 (de) Kontaktloser Magnetpositionssensor
DE2916500C2 (de)
EP0342509B1 (de) Winkelimpulsgeber
DE19828372A1 (de) Vorrichtung zum Messen von Dreh- oder Linearbeschleunigungen
DE10161541A1 (de) Sensoranordnung und Funktionseinheit mit Sensoranordnung
DE2747731C3 (de) Induktiver Differentialmeßtransformator
DE3118768A1 (de) Vorrichtung zur erfassung der stellung oder des weges eines beweglichen bauteiles, insbesondere einer brennkraftmaschine
DE10023503A1 (de) Positionsschalter
DE19716607A1 (de) Sensorvorrichtung zur induktiven Wegmessung von Schaltkontakten elektromagnetischer Schaltgeräte und elektromagnetisches Schaltgerät mit einer Sensorvorrichtung zur induktiven Wegmessung
DE19802064A1 (de) Sensormagnet, insbesondere zur Positionserfassung in Kombination mit einem Sensorelement, und Magnetisierspule für dessen Magnetisierung
DE4316520A1 (de) Abschirmbarer magnetischer Stellungssensor

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PAPST LICENSING GMBH, 78549 SPAICHINGEN, DE

8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: G01B 7/02

8120 Willingness to grant licences paragraph 23
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PAPST LICENSING GMBH & CO. KG, 78549 SPAICHINGEN,

8172 Supplementary division/partition in:

Ref country code: DE

Ref document number: 4143682

Format of ref document f/p: P

Q171 Divided out to:

Ref country code: DE

Ref document number: 4143682

8304 Grant after examination procedure
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee