JP2001074006A - ストロークセンサ - Google Patents
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- stroke sensor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
- G01D5/2033—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils controlling the saturation of a magnetic circuit by means of a movable element, e.g. a magnet
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
- F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
- F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
- F15B15/2853—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using potentiometers
-
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- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
- F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
- F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
- F15B15/2861—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化が可能で、シンプルな構造を持ち、検
出可能ストローク範囲を広くとることもでき、また、高
分解能で検出可能にする。 【解決手段】 本体２の内部において、該本体の所定端
側にて一端が片持ち支持され、他端が本体の空間内に延
びているセンサ部材４は、所定の交流信号によって同相
励磁される複数のコイル区間を可動体の直線変位方向に
沿って順次配列してなるコイル部１０を含む。可動体３
の内部において、センサ部材の侵入を許すように内部空
間５が設けられ、内部空間５の周壁は磁性体又は導電体
の磁気応答物質１１からなる。可動体のストローク位置
に応じて磁気応答物質とコイル部との相対的位置が変化
し、この相対的位置に応じて各コイル区間のインダクタ
ンスを変化させ、磁気応答物質の端部が１つのコイル区
間の一端から他端まで変位する間で該コイル区間の両端
間電圧が漸減又は漸増する。
出可能ストローク範囲を広くとることもでき、また、高
分解能で検出可能にする。 【解決手段】 本体２の内部において、該本体の所定端
側にて一端が片持ち支持され、他端が本体の空間内に延
びているセンサ部材４は、所定の交流信号によって同相
励磁される複数のコイル区間を可動体の直線変位方向に
沿って順次配列してなるコイル部１０を含む。可動体３
の内部において、センサ部材の侵入を許すように内部空
間５が設けられ、内部空間５の周壁は磁性体又は導電体
の磁気応答物質１１からなる。可動体のストローク位置
に応じて磁気応答物質とコイル部との相対的位置が変化
し、この相対的位置に応じて各コイル区間のインダクタ
ンスを変化させ、磁気応答物質の端部が１つのコイル区
間の一端から他端まで変位する間で該コイル区間の両端
間電圧が漸減又は漸増する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、流体圧シリンダ
のストローク位置検出やスプール弁のスプール位置検出
などの用途に適用することができるストロークセンサに
関し、特に、交流励磁されるコイルとこのコイルに対し
て相対的に変位する磁性体又は導電体とを含んで構成さ
れるものであり、さらに詳しくは、１相の交流で励磁さ
れる１次コイルのみを使用して複数相の振幅関数特性を
示す出力交流信号をストローク位置に応じて生成するも
のに関する。
のストローク位置検出やスプール弁のスプール位置検出
などの用途に適用することができるストロークセンサに
関し、特に、交流励磁されるコイルとこのコイルに対し
て相対的に変位する磁性体又は導電体とを含んで構成さ
れるものであり、さらに詳しくは、１相の交流で励磁さ
れる１次コイルのみを使用して複数相の振幅関数特性を
示す出力交流信号をストローク位置に応じて生成するも
のに関する。
【０００２】
【従来の技術】流体圧シリンダ等のストローク位置を検
出する位置検出装置は、従来より種々の方式のものが知
られている。そのうち、電磁コイルを使用した誘導型の
シリンダ位置検出装置としては、例えば、実公平２−２
６００３号公報等に示されたものが知られている。従来
公知のこの種の誘導型のシリンダ位置検出装置は、いず
れも、ピストンロッドの表面を凹凸加工したり、ピスト
ンロッドの表面に磁性体又は導電体のパターンを形成
し、その上から所要のコーティング処理を施してピスト
ンロッド表面の保護を図ったものである。また、位置検
出方式は、複数の１次コイルを互いに電気的位相のずれ
た複数相の交流信号（例えばsin ωｔとcosωｔ）でそ
れぞれ励磁し、各１次コイルによる２次側誘導信号を合
成して１つの２次出力信号を生成し、励磁用の交流信号
に対するこの２次出力信号における電気的位相ずれが検
出対象ピストン位置を示すようにした位相シフトタイプ
からなっている。
出する位置検出装置は、従来より種々の方式のものが知
られている。そのうち、電磁コイルを使用した誘導型の
シリンダ位置検出装置としては、例えば、実公平２−２
６００３号公報等に示されたものが知られている。従来
公知のこの種の誘導型のシリンダ位置検出装置は、いず
れも、ピストンロッドの表面を凹凸加工したり、ピスト
ンロッドの表面に磁性体又は導電体のパターンを形成
し、その上から所要のコーティング処理を施してピスト
ンロッド表面の保護を図ったものである。また、位置検
出方式は、複数の１次コイルを互いに電気的位相のずれ
た複数相の交流信号（例えばsin ωｔとcosωｔ）でそ
れぞれ励磁し、各１次コイルによる２次側誘導信号を合
成して１つの２次出力信号を生成し、励磁用の交流信号
に対するこの２次出力信号における電気的位相ずれが検
出対象ピストン位置を示すようにした位相シフトタイプ
からなっている。
【０００３】従来装置のようにピストンロッドの表面に
所要の加工・形成を行うものにおいては、ピストンロッ
ドの製造・加工が面倒であり、また、各シリンダロッド
毎に特注で製造・加工を行わなければならないため、様
々なタイプ・サイズのシリンダにおいて位置検出装置の
共用化を図ることができなかった。また、加工済みのピ
ストンロッドの表面に所要のコーティング処理を施した
としても、ピストンロッドの伸縮動作の繰り返しによる
摺動摩耗によって、数年の使用によって、表面コーティ
ングが剥がれてしまい、耐久性に乏しいという問題点も
あった。
所要の加工・形成を行うものにおいては、ピストンロッ
ドの製造・加工が面倒であり、また、各シリンダロッド
毎に特注で製造・加工を行わなければならないため、様
々なタイプ・サイズのシリンダにおいて位置検出装置の
共用化を図ることができなかった。また、加工済みのピ
ストンロッドの表面に所要のコーティング処理を施した
としても、ピストンロッドの伸縮動作の繰り返しによる
摺動摩耗によって、数年の使用によって、表面コーティ
ングが剥がれてしまい、耐久性に乏しいという問題点も
あった。
【０００４】このような欠点を除去するために、特開平
１０−１５３２０３号公報に示されたようなシリンダス
トローク位置検出装置が提案されている。それは、ピス
トンロッドの内部に空間を設け、その内部空間内にセン
サ構造を収容できるようにしたことにより、ピストンロ
ッドの外周に格別の加工をする必要を無くし、サイズの
異なるシリンダにおいても検出装置各要素の共用化を容
易に図ることができるようにし、かつ、摺動摩耗の心配
のない耐久性に富んだシリンダストローク位置検出装置
を提供するものである。しかし、ピストンロッドの内部
空間内に収容するセンサ構造は、１次コイルと２次コイ
ルを含むものであり、コイル構成の面で改良の余地があ
った。
１０−１５３２０３号公報に示されたようなシリンダス
トローク位置検出装置が提案されている。それは、ピス
トンロッドの内部に空間を設け、その内部空間内にセン
サ構造を収容できるようにしたことにより、ピストンロ
ッドの外周に格別の加工をする必要を無くし、サイズの
異なるシリンダにおいても検出装置各要素の共用化を容
易に図ることができるようにし、かつ、摺動摩耗の心配
のない耐久性に富んだシリンダストローク位置検出装置
を提供するものである。しかし、ピストンロッドの内部
空間内に収容するセンサ構造は、１次コイルと２次コイ
ルを含むものであり、コイル構成の面で改良の余地があ
った。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、従来知られ
たシリンダストローク位置検出装置に用いられる誘導型
位置センサのコイル構成は、１次コイルと２次コイルが
必要であるため、部品点数が多くなり、製造コストを低
廉にするのに限界があった。また、小型化するにも限界
があった。励磁コイルの自己インダクタンスを測定する
タイプの位置検出器も知られており、それはそれでコイ
ル数を減らすことができるが、検出対象の変位に応じた
移相量が狭い範囲でしか得られないため、実際はその移
相量の測定が困難であり、また、検出分解能が悪く、実
用化には不向きであった。本発明は上述の点に鑑みてな
されたもので、小型かつシンプルな構造を持つと共に、
利用可能な検出可能ストローク範囲を広くとることもで
き、また、検出対象の変位が微小でも高分解能での検出
が可能なストロークセンサを提供しようとするものであ
る。
たシリンダストローク位置検出装置に用いられる誘導型
位置センサのコイル構成は、１次コイルと２次コイルが
必要であるため、部品点数が多くなり、製造コストを低
廉にするのに限界があった。また、小型化するにも限界
があった。励磁コイルの自己インダクタンスを測定する
タイプの位置検出器も知られており、それはそれでコイ
ル数を減らすことができるが、検出対象の変位に応じた
移相量が狭い範囲でしか得られないため、実際はその移
相量の測定が困難であり、また、検出分解能が悪く、実
用化には不向きであった。本発明は上述の点に鑑みてな
されたもので、小型かつシンプルな構造を持つと共に、
利用可能な検出可能ストローク範囲を広くとることもで
き、また、検出対象の変位が微小でも高分解能での検出
が可能なストロークセンサを提供しようとするものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、本体の空間内
で該本体に対して相対的に直線変位する可動体のストロ
ーク位置を検出するためのストロークセンサであって、
前記本体の内部において、該本体の所定端側にて一端が
片持ち支持され、他端が本体の空間内に延びているセン
サ部材と、前記可動体の内部において、前記センサ部材
の侵入を許すように設けられた内部空間と、所定の交流
信号によって励磁される複数のコイル区間を前記可動体
の直線変位方向に沿って順次配列してなるコイル部であ
って、前記センサ部材または前記可動体の内部空間の周
壁の一方に設けられてなるものと、前記コイル部に対し
て相対的に変位するよう、前記センサ部材または前記可
動体の内部空間の周壁の他方に設けられてなる磁気応答
物質であって、前記可動体のストローク位置に応じて該
磁気応答物質と前記コイル部との相対的位置が変化し、
この相対的位置に応じて各コイルのインダクタンスを変
化させ、前記磁気応答物質が１つのコイル区間の一端か
ら他端まで変位する間で該コイル区間の両端間電圧が漸
減又は漸増するようにしたものとを具えている。
で該本体に対して相対的に直線変位する可動体のストロ
ーク位置を検出するためのストロークセンサであって、
前記本体の内部において、該本体の所定端側にて一端が
片持ち支持され、他端が本体の空間内に延びているセン
サ部材と、前記可動体の内部において、前記センサ部材
の侵入を許すように設けられた内部空間と、所定の交流
信号によって励磁される複数のコイル区間を前記可動体
の直線変位方向に沿って順次配列してなるコイル部であ
って、前記センサ部材または前記可動体の内部空間の周
壁の一方に設けられてなるものと、前記コイル部に対し
て相対的に変位するよう、前記センサ部材または前記可
動体の内部空間の周壁の他方に設けられてなる磁気応答
物質であって、前記可動体のストローク位置に応じて該
磁気応答物質と前記コイル部との相対的位置が変化し、
この相対的位置に応じて各コイルのインダクタンスを変
化させ、前記磁気応答物質が１つのコイル区間の一端か
ら他端まで変位する間で該コイル区間の両端間電圧が漸
減又は漸増するようにしたものとを具えている。
【０００７】本発明を流体圧シリンダのストロークセン
サに適用した場合、上記本体はシリンダ本体に相当し、
上記可動体はピストンおよびピストンロッドに相当す
る。その場合、センサ部材は、シリンダ本体の内部にお
いて、該本体の所定端側にて一端が片持ち支持され、他
端が本体の空間内に延びるように設けられる。また、ピ
ストンおよびピストンロッドつまり可動体の内部におい
て、該センサ部材の侵入を許すように内部空間が設けら
れる。このような構造は、上述の特開平１０−１５３２
０３号に示されたものと共通しており、そこで説明され
ているように、構造の簡単化、耐久性の向上、小型化、
共用化、等の種々の利点を享受することができる。スト
ローク位置検出は、誘導原理に従い、コイル部と該コイ
ル部に対して相対的に変位するように配置された磁気応
答物質との相対的位置を、該相対的位置に応じて生じる
各コイルのインダクタンス変化に応じた出力電圧に基づ
き、検出することで、行われる。一方、スプール弁の位
置検出装置として適用する場合は、上記可動体はスプー
ルに相当する。
サに適用した場合、上記本体はシリンダ本体に相当し、
上記可動体はピストンおよびピストンロッドに相当す
る。その場合、センサ部材は、シリンダ本体の内部にお
いて、該本体の所定端側にて一端が片持ち支持され、他
端が本体の空間内に延びるように設けられる。また、ピ
ストンおよびピストンロッドつまり可動体の内部におい
て、該センサ部材の侵入を許すように内部空間が設けら
れる。このような構造は、上述の特開平１０−１５３２
０３号に示されたものと共通しており、そこで説明され
ているように、構造の簡単化、耐久性の向上、小型化、
共用化、等の種々の利点を享受することができる。スト
ローク位置検出は、誘導原理に従い、コイル部と該コイ
ル部に対して相対的に変位するように配置された磁気応
答物質との相対的位置を、該相対的位置に応じて生じる
各コイルのインダクタンス変化に応じた出力電圧に基づ
き、検出することで、行われる。一方、スプール弁の位
置検出装置として適用する場合は、上記可動体はスプー
ルに相当する。
【０００８】一例として、コイル部は上記センサ部材の
側に設けられ、その場合は、磁気応答物質は上記可動体
の上記内部空間の周壁の側に設けられる。上記可動体の
材質そのものが所定の磁気応答物質からなる場合は、可
動体の内部空間の周壁そのものが上記磁気応答物質に相
当することとなり、それとは別に特別の磁気応答物質を
設ける必要はない。上記可動体の材質そのものが所定の
磁気応答物質に該当していないならば、可動体の内部空
間の周壁の側に、特別に、該所定の磁気応答物質を配置
することとなる。コイル部と磁気応答物質の配置は逆で
もよいので、別の例としては、コイル部を上記可動体の
上記内部空間の周壁の側に設け、所定の磁気応答物質を
上記センサ部材の側に設けるようにしてもよい。
側に設けられ、その場合は、磁気応答物質は上記可動体
の上記内部空間の周壁の側に設けられる。上記可動体の
材質そのものが所定の磁気応答物質からなる場合は、可
動体の内部空間の周壁そのものが上記磁気応答物質に相
当することとなり、それとは別に特別の磁気応答物質を
設ける必要はない。上記可動体の材質そのものが所定の
磁気応答物質に該当していないならば、可動体の内部空
間の周壁の側に、特別に、該所定の磁気応答物質を配置
することとなる。コイル部と磁気応答物質の配置は逆で
もよいので、別の例としては、コイル部を上記可動体の
上記内部空間の周壁の側に設け、所定の磁気応答物質を
上記センサ部材の側に設けるようにしてもよい。
【０００９】磁気応答物質は、典型的には、磁性体及び
導電体の少なくとも一方を含んでなるものであってよ
い。磁気応答物質が磁性体からなる場合は、該磁気応答
物質の或るコイル区間に対する近接又は侵入の度合いが
増すほど該コイル区間の自己インダクタンスが増加し、
該磁気応答物質の端部が１つのコイル区間の一端から他
端まで変位する間で該コイル区間の両端間電圧が漸増す
る。コイル部において複数のコイル区間が位置検出対象
たる可動体の直線変位方向に沿って順次配列されてなる
ことにより、コイル部に対する磁気応答物質の位置が、
検出対象の変位に応じて相対的に変位するにつれ、各コ
イル区間の両端間電圧の漸増（又は漸減）変化が順番に
起こる。よって、このコイル端子間電圧の漸増（又は漸
減）変化を、所定周期関数の部分的位相範囲での変化に
見立ててこれらを組み合わせて利用することにより、検
出対象位置に応じて所定の周期関数特性に従う振幅をそ
れぞれ示す複数の交流出力信号を生成することができ
る。すなわち、各コイル区間の端子間電圧をそれぞれ取
り出し、それらを加算及び／又は減算して組合わせるこ
とにより、検出対象位置に応じて所定の周期関数特性に
従う振幅をそれぞれ示す複数の交流出力信号を生成する
ことができる。
導電体の少なくとも一方を含んでなるものであってよ
い。磁気応答物質が磁性体からなる場合は、該磁気応答
物質の或るコイル区間に対する近接又は侵入の度合いが
増すほど該コイル区間の自己インダクタンスが増加し、
該磁気応答物質の端部が１つのコイル区間の一端から他
端まで変位する間で該コイル区間の両端間電圧が漸増す
る。コイル部において複数のコイル区間が位置検出対象
たる可動体の直線変位方向に沿って順次配列されてなる
ことにより、コイル部に対する磁気応答物質の位置が、
検出対象の変位に応じて相対的に変位するにつれ、各コ
イル区間の両端間電圧の漸増（又は漸減）変化が順番に
起こる。よって、このコイル端子間電圧の漸増（又は漸
減）変化を、所定周期関数の部分的位相範囲での変化に
見立ててこれらを組み合わせて利用することにより、検
出対象位置に応じて所定の周期関数特性に従う振幅をそ
れぞれ示す複数の交流出力信号を生成することができ
る。すなわち、各コイル区間の端子間電圧をそれぞれ取
り出し、それらを加算及び／又は減算して組合わせるこ
とにより、検出対象位置に応じて所定の周期関数特性に
従う振幅をそれぞれ示す複数の交流出力信号を生成する
ことができる。
【００１０】例えば、典型的には、磁気応答物質の端部
が１つのコイル区間の一端から他端まで変位する間に生
じる該コイル区間の両端間電圧の漸増変化カーブは、例
えばサイン関数における０度から９０度までの範囲の関
数値変化になぞらえることができる。また、この漸増変
化カーブは、その振幅を負に反転して、所定レベル（オ
フセットレベル）を加算する電圧シフトを行なえば、所
定レベルから漸減する漸減変化カーブに変換することが
できる。このような漸減変化カーブは、例えばサイン関
数における９０度から１８０度までの範囲の関数値変化
になぞらえることができる。かくして、順番に並んだ４
つのコイル区間における、順番に起こる、それらの両端
間電圧の漸増変化は、必要に応じて適宜の加算及び／又
は減算を施すことにより、サイン関数における０度から
９０度までの範囲の関数値変化、９０度から１８０度ま
での範囲の関数値変化、１８０度から２７０度までの範
囲の関数値変化、２７０度から３６０度までの範囲の関
数値変化、にそれぞれなぞらえることができる。各範囲
におけるカーブの傾斜方向や電圧シフトのオフセットレ
ベルは、適切なアナログ演算により、適宜コントロール
することができる。しかして、検出対象位置に応じてサ
イン関数特性に従う振幅を示す第１の交流出力信号を生
成することができ、また、このサイン関数に対して９０
度位相ずれた同一特性の周期関数つまりコサイン関数の
特性に従う振幅を示す第２の交流出力信号を生成するこ
ともできる。
が１つのコイル区間の一端から他端まで変位する間に生
じる該コイル区間の両端間電圧の漸増変化カーブは、例
えばサイン関数における０度から９０度までの範囲の関
数値変化になぞらえることができる。また、この漸増変
化カーブは、その振幅を負に反転して、所定レベル（オ
フセットレベル）を加算する電圧シフトを行なえば、所
定レベルから漸減する漸減変化カーブに変換することが
できる。このような漸減変化カーブは、例えばサイン関
数における９０度から１８０度までの範囲の関数値変化
になぞらえることができる。かくして、順番に並んだ４
つのコイル区間における、順番に起こる、それらの両端
間電圧の漸増変化は、必要に応じて適宜の加算及び／又
は減算を施すことにより、サイン関数における０度から
９０度までの範囲の関数値変化、９０度から１８０度ま
での範囲の関数値変化、１８０度から２７０度までの範
囲の関数値変化、２７０度から３６０度までの範囲の関
数値変化、にそれぞれなぞらえることができる。各範囲
におけるカーブの傾斜方向や電圧シフトのオフセットレ
ベルは、適切なアナログ演算により、適宜コントロール
することができる。しかして、検出対象位置に応じてサ
イン関数特性に従う振幅を示す第１の交流出力信号を生
成することができ、また、このサイン関数に対して９０
度位相ずれた同一特性の周期関数つまりコサイン関数の
特性に従う振幅を示す第２の交流出力信号を生成するこ
ともできる。
【００１１】このように、好ましい一実施形態として、
検出対象位置に応じてサイン及びコサイン関数特性に従
う振幅をそれぞれ示す２つの交流出力信号を生成するこ
とができる。例えば、検出対象位置を角度θに置き換え
て示すと、概ね、サイン関数特性を示す振幅を持つ交流
出力信号は、ｓｉｎθｓｉｎωｔで示すことができるも
のであり、コサイン関数特性を示す振幅を持つ交流出力
信号は、ｃｏｓθｓｉｎωｔで示すことができるもので
ある。これは、レゾルバといわれる位置検出器の出力信
号の形態と同様のものであり、極めて有用なものであ
る。例えば、前記アナログ演算回路で生成された前記２
つの交流出力信号を入力し、該２つの交流出力信号にお
ける振幅値の相関関係から該振幅値を規定する前記サイ
ン及びコサイン関数における位相値を検出し、検出した
位相値に基づき前記検出対象の位置検出データを生成す
る振幅位相変換部を具備するようにするとよい。
検出対象位置に応じてサイン及びコサイン関数特性に従
う振幅をそれぞれ示す２つの交流出力信号を生成するこ
とができる。例えば、検出対象位置を角度θに置き換え
て示すと、概ね、サイン関数特性を示す振幅を持つ交流
出力信号は、ｓｉｎθｓｉｎωｔで示すことができるも
のであり、コサイン関数特性を示す振幅を持つ交流出力
信号は、ｃｏｓθｓｉｎωｔで示すことができるもので
ある。これは、レゾルバといわれる位置検出器の出力信
号の形態と同様のものであり、極めて有用なものであ
る。例えば、前記アナログ演算回路で生成された前記２
つの交流出力信号を入力し、該２つの交流出力信号にお
ける振幅値の相関関係から該振幅値を規定する前記サイ
ン及びコサイン関数における位相値を検出し、検出した
位相値に基づき前記検出対象の位置検出データを生成す
る振幅位相変換部を具備するようにするとよい。
【００１２】なお、磁気応答物質として、銅のような良
導電体を使用した場合は、渦電流損によってコイルの自
己インダクタンスが減少し、磁気応答物質の端部が１つ
のコイルの一端から他端まで変位する間で該コイルの両
端間電圧が漸減することになる。この場合も、上記と同
様に検出することが可能である。磁気応答物質として、
磁性体と導電体を組合わせたハイブリッドタイプのもの
を用いてもよい。別の実施形態として、磁気応答物質と
して永久磁石を含み、コイルは磁性体コアを含むように
してもよい。この場合は、コイルの側の磁性体コアにお
いて永久磁石の接近に応じて対応する箇所が磁気飽和又
は過飽和となり、該磁気応答物質すなわち永久磁石が１
つのコイルの一端から他端まで変位する間で該コイルの
両端間電圧が漸減することになる。
導電体を使用した場合は、渦電流損によってコイルの自
己インダクタンスが減少し、磁気応答物質の端部が１つ
のコイルの一端から他端まで変位する間で該コイルの両
端間電圧が漸減することになる。この場合も、上記と同
様に検出することが可能である。磁気応答物質として、
磁性体と導電体を組合わせたハイブリッドタイプのもの
を用いてもよい。別の実施形態として、磁気応答物質と
して永久磁石を含み、コイルは磁性体コアを含むように
してもよい。この場合は、コイルの側の磁性体コアにお
いて永久磁石の接近に応じて対応する箇所が磁気飽和又
は過飽和となり、該磁気応答物質すなわち永久磁石が１
つのコイルの一端から他端まで変位する間で該コイルの
両端間電圧が漸減することになる。
【００１３】かくして、この発明によれば、１次コイル
のみを設ければよく、２次コイルは不要であるため、小
型かつシンプルな構造の位置検出装置を提供することが
できる。また、複数のコイル区間を検出対象の変位方向
に沿って順次配列してなり、磁気応答物質の端部が１つ
のコイル区間の一端から他端まで変位する間で該コイル
の両端間電圧が漸増（又は漸減）する特性の変化が、各
コイル区間毎に順番に起こるので、各コイル区間毎の両
端間電圧をそれぞれ取り出してそれらを加算及び／又は
減算して組合わせることにより、検出対象位置に応じて
所定の周期関数特性に従う振幅をそれぞれ示す複数の交
流出力信号（例えばサイン及びコサイン関数特性に従う
振幅をそれぞれ示す２つの交流出力信号）を容易に生成
することができ、利用可能な位相角範囲を広くとること
ができる。例えば、上記のように、０度から３６０度ま
でのフルの位相角範囲で検出を行うことも可能である。
また、これら複数の交流出力信号における振幅値の相関
関係から該振幅値を規定する所定周期関数（例えばサイ
ン及びコサイン関数）における位相値を検出すること
で、検出対象の変位が微小でも高分解能での位置検出が
可能である。
のみを設ければよく、２次コイルは不要であるため、小
型かつシンプルな構造の位置検出装置を提供することが
できる。また、複数のコイル区間を検出対象の変位方向
に沿って順次配列してなり、磁気応答物質の端部が１つ
のコイル区間の一端から他端まで変位する間で該コイル
の両端間電圧が漸増（又は漸減）する特性の変化が、各
コイル区間毎に順番に起こるので、各コイル区間毎の両
端間電圧をそれぞれ取り出してそれらを加算及び／又は
減算して組合わせることにより、検出対象位置に応じて
所定の周期関数特性に従う振幅をそれぞれ示す複数の交
流出力信号（例えばサイン及びコサイン関数特性に従う
振幅をそれぞれ示す２つの交流出力信号）を容易に生成
することができ、利用可能な位相角範囲を広くとること
ができる。例えば、上記のように、０度から３６０度ま
でのフルの位相角範囲で検出を行うことも可能である。
また、これら複数の交流出力信号における振幅値の相関
関係から該振幅値を規定する所定周期関数（例えばサイ
ン及びコサイン関数）における位相値を検出すること
で、検出対象の変位が微小でも高分解能での位置検出が
可能である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照してこの発
明の実施の形態を詳細に説明しよう。図１は、本発明に
係るストロークセンサをシリンダ位置検出装置として構
成した一実施例を、シリンダ軸方向に沿う断面図で示す
ものである。このシリンダ位置検出装置が適用されるシ
リンダ装置１は、油圧又は空気圧シリンダなど、どのよ
うなタイプのシリンダであってもよい。このシリンダ装
置１は、通常知られるように、シリンダ本体２と、この
シリンダ本体２に対して相対的に直線変位可能に挿入さ
れたピストン部３とを含んでいる。なお、図１におい
て、シリンダ本体２に関連する油圧又は空気圧回路の図
示は省略してある。
明の実施の形態を詳細に説明しよう。図１は、本発明に
係るストロークセンサをシリンダ位置検出装置として構
成した一実施例を、シリンダ軸方向に沿う断面図で示す
ものである。このシリンダ位置検出装置が適用されるシ
リンダ装置１は、油圧又は空気圧シリンダなど、どのよ
うなタイプのシリンダであってもよい。このシリンダ装
置１は、通常知られるように、シリンダ本体２と、この
シリンダ本体２に対して相対的に直線変位可能に挿入さ
れたピストン部３とを含んでいる。なお、図１におい
て、シリンダ本体２に関連する油圧又は空気圧回路の図
示は省略してある。
【００１５】シリンダ本体２の内部においては、該シリ
ンダ本体２の閉鎖端２ａ側にて一端が片持ち支持され、
他端が該シリンダ本体２の開口端２ｂの方に延びた、セ
ンサ部材４が設けられている。シリンダ本体２の内部に
はセンサ部材４が延びて設けられているが故に、シリン
ダ本体２の内部で図示のｘ方向に前後に直線移動するピ
ストン部３は、この長尺のセンサ部材４を適切に避ける
必要がある。そこで、ピストン部３の内部において、こ
のセンサ部材の侵入を許すように、所要の空間５が設け
られる。
ンダ本体２の閉鎖端２ａ側にて一端が片持ち支持され、
他端が該シリンダ本体２の開口端２ｂの方に延びた、セ
ンサ部材４が設けられている。シリンダ本体２の内部に
はセンサ部材４が延びて設けられているが故に、シリン
ダ本体２の内部で図示のｘ方向に前後に直線移動するピ
ストン部３は、この長尺のセンサ部材４を適切に避ける
必要がある。そこで、ピストン部３の内部において、こ
のセンサ部材の侵入を許すように、所要の空間５が設け
られる。
【００１６】センサ部材４にはコイル部１０が設けられ
ている。このコイル部１０は、所定の１相の交流信号に
よって励磁される複数のコイル区間（図示例では４個の
コイル区間ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ）をピストン部３の
直線変位方向（図示のｘ方向）に沿って順次配列してな
る。詳しくは、センサ部材４において、複数コイル区間
ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤを含むコイル部１０は、ボビン
部６に巻設され、その外周を非磁性および非導電性の保
護チューブ（若しくはコーテングあるいはモールド）７
によってカバーされてなる。保護チューブ７としてはい
かなる材質のものを用いてもよいが、例えば、絶縁性樹
脂からなる熱収縮チューブを用いると安価である。な
お、コイル部１０における各コイル区間ＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤは、所定の１相の交流信号によって励磁される
ものであるため、物理的に別々に分離された個別のコイ
ルからなっている必要はなく、全体が実質的に１つのコ
イルからなっているものであってよい。すなわち、この
１つのコイルを所要の複数の各コイル区間に対応して複
数の中間位置で分け、各中間位置から出力端子をそれぞ
れ導き出すことで、複数の各コイル区間ＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤを形成するようにしてよい。この場合、電気回
路的には、各コイル区間ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤが直列
接続されて所定の１相の交流信号によって励磁されるこ
とになる。勿論、これに限らず、各コイル区間ＬＡ，Ｌ
Ｂ，ＬＣ，ＬＤとして物理的に別々のコイルを使用し、
これらを直列接続して所定の１相の交流信号によって一
括励磁するか、若しくは所定の１相の交流信号によって
別々の励磁回路を介して同相励磁するようにしてもよ
い。しかし、最初に述べたような１つのコイルを所要の
複数の各コイル区間に対応して複数の中間位置で分けて
使用する実施形態が最もシンプルである。なお、以下、
各コイル区間ＬＡ〜ＬＤを、単に「コイル」という。
ている。このコイル部１０は、所定の１相の交流信号に
よって励磁される複数のコイル区間（図示例では４個の
コイル区間ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ）をピストン部３の
直線変位方向（図示のｘ方向）に沿って順次配列してな
る。詳しくは、センサ部材４において、複数コイル区間
ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤを含むコイル部１０は、ボビン
部６に巻設され、その外周を非磁性および非導電性の保
護チューブ（若しくはコーテングあるいはモールド）７
によってカバーされてなる。保護チューブ７としてはい
かなる材質のものを用いてもよいが、例えば、絶縁性樹
脂からなる熱収縮チューブを用いると安価である。な
お、コイル部１０における各コイル区間ＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤは、所定の１相の交流信号によって励磁される
ものであるため、物理的に別々に分離された個別のコイ
ルからなっている必要はなく、全体が実質的に１つのコ
イルからなっているものであってよい。すなわち、この
１つのコイルを所要の複数の各コイル区間に対応して複
数の中間位置で分け、各中間位置から出力端子をそれぞ
れ導き出すことで、複数の各コイル区間ＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤを形成するようにしてよい。この場合、電気回
路的には、各コイル区間ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤが直列
接続されて所定の１相の交流信号によって励磁されるこ
とになる。勿論、これに限らず、各コイル区間ＬＡ，Ｌ
Ｂ，ＬＣ，ＬＤとして物理的に別々のコイルを使用し、
これらを直列接続して所定の１相の交流信号によって一
括励磁するか、若しくは所定の１相の交流信号によって
別々の励磁回路を介して同相励磁するようにしてもよ
い。しかし、最初に述べたような１つのコイルを所要の
複数の各コイル区間に対応して複数の中間位置で分けて
使用する実施形態が最もシンプルである。なお、以下、
各コイル区間ＬＡ〜ＬＤを、単に「コイル」という。
【００１７】ボビン部６は、非磁性の中空筒からなり、
その内部に１又は複数の磁性体棒８が収納されている。
磁性体棒８は、コイル部１０の全長にわたって延びてお
り、該コイル部１０の全長にわたるインダクタンス値を
設定する。ボビン部６内に収納する磁性体棒８の太さあ
るいは数を適宜調節することにより、コイル部１０の全
長にわたるインダクタンス値の設定変更を行うことがで
きる。なお、磁性体棒８として、その周囲に銅めっき等
を施して導電性被膜を形成したものを用いるとよい。そ
うすれば、後述するように温度ドリフト特性を低減させ
ることができる。ボビン部６は、非磁性であればよく、
金属あるいは樹脂等からなっていてもよい。しかし、適
用するシリンダ装置１が大型建設機械等大きな荷重が加
わる用途に使用される場合は、十分な強度を確保するた
めに金属を用いるのがよい。例えば、ボビン部６は非磁
性のステンレス等を用いて構成する。なお、シリンダ閉
鎖端２ａに開閉自在かつ気密および液密に密閉できるキ
ャップ部９を設け、該キャップ部９を開放することでシ
リンダ内のセンサ部材４の出し入れを行うことにできる
ようにすれば、センサ部材４のシリンダ内への設置およ
びメンテナンスが容易に行える。コイル部１０の配線
（図示せず）は、シリンダ閉鎖端２ａの適宜箇所（例え
ばキャップ部９の箇所でもよい）に穿たれた通り道（図
示せず）を通って、外部とコンタクトするためのコネク
タ（図示せず）に接続される。
その内部に１又は複数の磁性体棒８が収納されている。
磁性体棒８は、コイル部１０の全長にわたって延びてお
り、該コイル部１０の全長にわたるインダクタンス値を
設定する。ボビン部６内に収納する磁性体棒８の太さあ
るいは数を適宜調節することにより、コイル部１０の全
長にわたるインダクタンス値の設定変更を行うことがで
きる。なお、磁性体棒８として、その周囲に銅めっき等
を施して導電性被膜を形成したものを用いるとよい。そ
うすれば、後述するように温度ドリフト特性を低減させ
ることができる。ボビン部６は、非磁性であればよく、
金属あるいは樹脂等からなっていてもよい。しかし、適
用するシリンダ装置１が大型建設機械等大きな荷重が加
わる用途に使用される場合は、十分な強度を確保するた
めに金属を用いるのがよい。例えば、ボビン部６は非磁
性のステンレス等を用いて構成する。なお、シリンダ閉
鎖端２ａに開閉自在かつ気密および液密に密閉できるキ
ャップ部９を設け、該キャップ部９を開放することでシ
リンダ内のセンサ部材４の出し入れを行うことにできる
ようにすれば、センサ部材４のシリンダ内への設置およ
びメンテナンスが容易に行える。コイル部１０の配線
（図示せず）は、シリンダ閉鎖端２ａの適宜箇所（例え
ばキャップ部９の箇所でもよい）に穿たれた通り道（図
示せず）を通って、外部とコンタクトするためのコネク
タ（図示せず）に接続される。
【００１８】ピストン部３における内部空間５の周壁に
は所定の磁気応答物質１１が設けられる。なお、図で
は、ピストン部３の材質と所定の磁気応答物質１１とが
区別できるように図示されているが、ピストン部３の材
質それ自体が所定の磁気応答物質１１と同じ材質である
場合は、ピストン部３における内部空間５の周壁には特
別の部材を付加的に設けることなく、該ピストン部３の
内壁部分そのものを該所定の磁気応答物質１１として機
能させることができる。例えば、所定の磁気応答物質１
１として磁性体を用いる場合では、ピストン部３の材質
それ自体が鉄等の強磁性体からなる場合は、所定の磁気
応答物質１１として特別の部材を付加的に設けることな
く、該ピストン部３の内壁部分そのものを該所定の磁気
応答物質１１として機能させることができるが、これに
対して、ピストン部３の材質がステンレスのような非磁
性体からなる場合は、所定の良導電体または強磁性体か
らなるスリーブをピストン部３における内部空間５の周
壁に嵌装し、該所定の磁気応答物質１１として機能させ
る。その場合、ピストン部３における内部空間５の周壁
に銅めっきを施すことにより、良導電体からなる磁気応
答物質１１を形成するようにしてもよい。
は所定の磁気応答物質１１が設けられる。なお、図で
は、ピストン部３の材質と所定の磁気応答物質１１とが
区別できるように図示されているが、ピストン部３の材
質それ自体が所定の磁気応答物質１１と同じ材質である
場合は、ピストン部３における内部空間５の周壁には特
別の部材を付加的に設けることなく、該ピストン部３の
内壁部分そのものを該所定の磁気応答物質１１として機
能させることができる。例えば、所定の磁気応答物質１
１として磁性体を用いる場合では、ピストン部３の材質
それ自体が鉄等の強磁性体からなる場合は、所定の磁気
応答物質１１として特別の部材を付加的に設けることな
く、該ピストン部３の内壁部分そのものを該所定の磁気
応答物質１１として機能させることができるが、これに
対して、ピストン部３の材質がステンレスのような非磁
性体からなる場合は、所定の良導電体または強磁性体か
らなるスリーブをピストン部３における内部空間５の周
壁に嵌装し、該所定の磁気応答物質１１として機能させ
る。その場合、ピストン部３における内部空間５の周壁
に銅めっきを施すことにより、良導電体からなる磁気応
答物質１１を形成するようにしてもよい。
【００１９】次に、コイル部１０と磁気応答物質１１と
の相対的位置関係を検出する原理について説明する。図
２（Ａ）は、図１におけるコイル部１０と磁気応答物質
１１（ピストン部３の内周壁）との配置を抽出して外観
略図によって示すもの、同図（Ｂ）はそのコイル軸方向
断面略図、同図（Ｃ）は該コイル部１０の電気回路の一
例を示す図である。コイル部１０は、巻数、コイル長等
の性質が同等の４つのコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ
を、ピストン部３の直線変位方向に沿って順次配列して
なる。ピストン部３の内周壁を構成する円筒状の磁気応
答物質１１は、ピストン部３の収縮方向の動きに伴っ
て、その内部空間５内に棒状のセンサ部材４を飲み込ん
でいき、センサ部材４に設けられたコイル部１０の各コ
イルの磁場内に侵入する。図示の例では、ピストン部３
の収縮方向の動きに伴って図の右方向に磁気応答物質１
１が進行するとき、磁気応答物質１１の先端１１ａが、
最初にコイルＬＡの磁場に侵入し、次に、コイルＬＢ，
ＬＣ，ＬＤの順にその磁場に侵入していく。２点鎖線１
１’は最後のコイルＬＤにまで侵入した磁気応答物質１
１を示している。４つのコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ
に対応する範囲を有効検出範囲とする。すなわち１つの
コイルの長さをＫとすると、その４倍の長さ４Ｋが有効
検出範囲となる。なお、実際は範囲４Ｋの両端では精度
が落ちるため、その部分は使用しないものとし、実際の
有効検出範囲は４Ｋよりも少し狭くなる。
の相対的位置関係を検出する原理について説明する。図
２（Ａ）は、図１におけるコイル部１０と磁気応答物質
１１（ピストン部３の内周壁）との配置を抽出して外観
略図によって示すもの、同図（Ｂ）はそのコイル軸方向
断面略図、同図（Ｃ）は該コイル部１０の電気回路の一
例を示す図である。コイル部１０は、巻数、コイル長等
の性質が同等の４つのコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ
を、ピストン部３の直線変位方向に沿って順次配列して
なる。ピストン部３の内周壁を構成する円筒状の磁気応
答物質１１は、ピストン部３の収縮方向の動きに伴っ
て、その内部空間５内に棒状のセンサ部材４を飲み込ん
でいき、センサ部材４に設けられたコイル部１０の各コ
イルの磁場内に侵入する。図示の例では、ピストン部３
の収縮方向の動きに伴って図の右方向に磁気応答物質１
１が進行するとき、磁気応答物質１１の先端１１ａが、
最初にコイルＬＡの磁場に侵入し、次に、コイルＬＢ，
ＬＣ，ＬＤの順にその磁場に侵入していく。２点鎖線１
１’は最後のコイルＬＤにまで侵入した磁気応答物質１
１を示している。４つのコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ
に対応する範囲を有効検出範囲とする。すなわち１つの
コイルの長さをＫとすると、その４倍の長さ４Ｋが有効
検出範囲となる。なお、実際は範囲４Ｋの両端では精度
が落ちるため、その部分は使用しないものとし、実際の
有効検出範囲は４Ｋよりも少し狭くなる。
【００２０】各コイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤはその芯
部に全長にわたって磁性体棒８が挿入された状態となっ
ており、磁気応答物質１１が近接していない限り、その
インダクタンス値は最大である。磁気応答物質１１の各
コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど
該コイルの自己インダクタンスが減少し、該磁気応答物
質１１の端部１１ａが１つのコイルの一端から他端まで
変位する間で該コイルの両端間電圧が漸減する。すなわ
ち、磁気応答物質１１が磁性体である場合は、磁性体が
コイル外周にかぶさる格好になるため、コイル芯部の磁
性体コア８にのみ集中していた磁束が外側にかぶさった
磁気応答物質１１の方に漏洩し、コイルの自己インダク
タンスが減少する。また、磁気応答物質１１が導電体で
ある場合は、導電体がコイル外周にかぶさる格好にな
り、磁界によるうず電流損が生じ、コイルの自己インダ
クタンスが減少する。外周の導電体のうず電流損による
インダクタンス減少率の方が、外周の磁性体による磁束
漏洩によるインダクタンス減少率よりも大であるので、
より好ましい実施態様は磁気応答物質１１として導電体
を使用することである。
部に全長にわたって磁性体棒８が挿入された状態となっ
ており、磁気応答物質１１が近接していない限り、その
インダクタンス値は最大である。磁気応答物質１１の各
コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど
該コイルの自己インダクタンスが減少し、該磁気応答物
質１１の端部１１ａが１つのコイルの一端から他端まで
変位する間で該コイルの両端間電圧が漸減する。すなわ
ち、磁気応答物質１１が磁性体である場合は、磁性体が
コイル外周にかぶさる格好になるため、コイル芯部の磁
性体コア８にのみ集中していた磁束が外側にかぶさった
磁気応答物質１１の方に漏洩し、コイルの自己インダク
タンスが減少する。また、磁気応答物質１１が導電体で
ある場合は、導電体がコイル外周にかぶさる格好にな
り、磁界によるうず電流損が生じ、コイルの自己インダ
クタンスが減少する。外周の導電体のうず電流損による
インダクタンス減少率の方が、外周の磁性体による磁束
漏洩によるインダクタンス減少率よりも大であるので、
より好ましい実施態様は磁気応答物質１１として導電体
を使用することである。
【００２１】図２（Ｃ）に示すように、各コイルＬＡ，
ＬＢ，ＬＣ，ＬＤは、交流電源１２から発生される所定
の１相の交流信号（仮にｓｉｎωｔで示す）によって定
電圧又は定電流で励磁される。各コイルＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤの両端間電圧をそれぞれＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄで示すと、このそれぞれの電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄを取り出すために、端子１４〜１８が設けられてい
る。容易に理解できるように、各コイルＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤは、物理的に切り離された別々のコイルである
必要はなく、一連のコイルの全長を４分割する位置に中
間端子１４〜１８を設けるだけでよい。すなわち、端子
１４，１５間のコイル部分がコイルＬＡとなり、端子１
５，１６間のコイル部分がコイルＬＢ、端子１６，１７
間のコイル部分がコイルＬＣ、端子１７，１８間のコイ
ル部分がコイルＬＤ、となる。各コイルの出力電圧Ｖ
Ａ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤは、アナログ演算回路２０及び２
１に所定の組み合わせで入力され、所定の演算式に従っ
て加算又は減算されることで、各アナログ演算回路２０
及び２１から検出対象位置に応じたサイン及びコサイン
関数特性を示す振幅をそれぞれ持つ２つの交流出力信号
（つまり互に９０度位相のずれた振幅関数特性を持つ２
つの交流出力信号）が生成される。例示的に、アナログ
演算回路２０の出力信号をｓｉｎθｓｉｎωｔで示し、
アナログ演算回路２１の出力信号をｃｏｓθｓｉｎωｔ
で示す。アナログ演算回路２０及び２１は、オペアンプ
ＯＰ１，ＯＰ２と抵抗回路群ＲＳ１，ＲＳ２とを含んで
構成される。
ＬＢ，ＬＣ，ＬＤは、交流電源１２から発生される所定
の１相の交流信号（仮にｓｉｎωｔで示す）によって定
電圧又は定電流で励磁される。各コイルＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤの両端間電圧をそれぞれＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄで示すと、このそれぞれの電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄを取り出すために、端子１４〜１８が設けられてい
る。容易に理解できるように、各コイルＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤは、物理的に切り離された別々のコイルである
必要はなく、一連のコイルの全長を４分割する位置に中
間端子１４〜１８を設けるだけでよい。すなわち、端子
１４，１５間のコイル部分がコイルＬＡとなり、端子１
５，１６間のコイル部分がコイルＬＢ、端子１６，１７
間のコイル部分がコイルＬＣ、端子１７，１８間のコイ
ル部分がコイルＬＤ、となる。各コイルの出力電圧Ｖ
Ａ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤは、アナログ演算回路２０及び２
１に所定の組み合わせで入力され、所定の演算式に従っ
て加算又は減算されることで、各アナログ演算回路２０
及び２１から検出対象位置に応じたサイン及びコサイン
関数特性を示す振幅をそれぞれ持つ２つの交流出力信号
（つまり互に９０度位相のずれた振幅関数特性を持つ２
つの交流出力信号）が生成される。例示的に、アナログ
演算回路２０の出力信号をｓｉｎθｓｉｎωｔで示し、
アナログ演算回路２１の出力信号をｃｏｓθｓｉｎωｔ
で示す。アナログ演算回路２０及び２１は、オペアンプ
ＯＰ１，ＯＰ２と抵抗回路群ＲＳ１，ＲＳ２とを含んで
構成される。
【００２２】上述のように、磁気応答物質１１の各コイ
ルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど該コ
イルの自己インダクタンスが減少し、該磁気応答物質１
１の端部１１ａが１つのコイルの一端から他端まで変位
する間で該コイルの両端間電圧が漸減する。ここで、複
数のコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤが検出対象の変位方
向に沿って順次配列されてなることにより、これらコイ
ルに対する磁気応答部材の位置が、検出対象の変位に応
じて相対的に変位するにつれ、図３（Ａ）に例示するよ
うに、各コイルの両端間電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤの
漸減変化が順番に起こる。図３（Ａ）において、或るコ
イルの出力電圧が傾斜している区間において、当該コイ
ルの一端から他端に向かって磁気応答物質１１の端部１
１ａが変位していることになる。典型的には、磁気応答
物質１１の端部１１ａが或る１つのコイルの一端から他
端まで変位する間に生じる該コイルの両端間電圧の漸減
変化カーブは、サイン又はコサイン関数における９０度
の範囲の関数値変化になぞらえることができる。そこ
で、各コイルの出力電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤをそれ
ぞれ適切に組み合わせて加算及び／又は減算することに
より、検出対象位置に応じたサイン及びコサイン関数特
性を示す振幅をそれぞれ持つ２つの交流出力信号ｓｉｎ
θｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを生成することが
できる。
ルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど該コ
イルの自己インダクタンスが減少し、該磁気応答物質１
１の端部１１ａが１つのコイルの一端から他端まで変位
する間で該コイルの両端間電圧が漸減する。ここで、複
数のコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤが検出対象の変位方
向に沿って順次配列されてなることにより、これらコイ
ルに対する磁気応答部材の位置が、検出対象の変位に応
じて相対的に変位するにつれ、図３（Ａ）に例示するよ
うに、各コイルの両端間電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤの
漸減変化が順番に起こる。図３（Ａ）において、或るコ
イルの出力電圧が傾斜している区間において、当該コイ
ルの一端から他端に向かって磁気応答物質１１の端部１
１ａが変位していることになる。典型的には、磁気応答
物質１１の端部１１ａが或る１つのコイルの一端から他
端まで変位する間に生じる該コイルの両端間電圧の漸減
変化カーブは、サイン又はコサイン関数における９０度
の範囲の関数値変化になぞらえることができる。そこ
で、各コイルの出力電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤをそれ
ぞれ適切に組み合わせて加算及び／又は減算することに
より、検出対象位置に応じたサイン及びコサイン関数特
性を示す振幅をそれぞれ持つ２つの交流出力信号ｓｉｎ
θｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを生成することが
できる。
【００２３】すなわち、アナログ演算回路２０では、コ
イルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの出力電圧ＶＡ，ＶＢ，Ｖ
Ｃ，ＶＤを下記式（１）のように演算することで、図３
（Ｂ）に示すようなサイン関数特性の振幅カーブを示す
交流出力信号を得ることができ、これは、等価的に「ｓ
ｉｎθｓｉｎωｔ」で示すことができる。 （ＶＢ−ＶＡ）−（ＶＤ−ＶＣ）−Ｖｏ …式（１） なお、Ｖｏは最少インダクタンス値（磁気応答物質１１
が１つのコイルの全体をカバーしたときのインダクタン
ス値）に対応する基準電圧であり、０レベルにオフセッ
トするためのものである。
イルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの出力電圧ＶＡ，ＶＢ，Ｖ
Ｃ，ＶＤを下記式（１）のように演算することで、図３
（Ｂ）に示すようなサイン関数特性の振幅カーブを示す
交流出力信号を得ることができ、これは、等価的に「ｓ
ｉｎθｓｉｎωｔ」で示すことができる。 （ＶＢ−ＶＡ）−（ＶＤ−ＶＣ）−Ｖｏ …式（１） なお、Ｖｏは最少インダクタンス値（磁気応答物質１１
が１つのコイルの全体をカバーしたときのインダクタン
ス値）に対応する基準電圧であり、０レベルにオフセッ
トするためのものである。
【００２４】また、アナログ演算回路２１では、コイル
ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの出力電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，
ＶＤを下記式（２）のように演算することで、図３
（Ｂ）に示すようなコサイン関数特性の振幅カーブを示
す交流出力信号を得ることができる。これは等価的に
「ｃｏｓθｓｉｎωｔ」で示すことができる。 ＶＡ＋（ＶＢ−ＶＣ）＋（Ｖｐ−ＶＤ）−Ｖｏ …式（２） Ｖｐは最大インダクタンス値（磁気応答物質１１が１つ
のコイルにまったく近接していないときのインダクタン
ス値）に対応する基準電圧であり、出力電圧ＶＤをオフ
セットするためのものである。なお、温度ドリフトを考
慮すると、各コイルＬＡ〜ＬＤの温度ドリフトと同等の
温度ドリフト特性で各基準電圧Ｖｏ，Ｖｐが生成される
ようにするために、適宜のダミーコイルを介在させて各
基準電圧Ｖｏ，Ｖｐを生成するのがよい。勿論、他の温
度補償手段を用いてもよい。
ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの出力電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，
ＶＤを下記式（２）のように演算することで、図３
（Ｂ）に示すようなコサイン関数特性の振幅カーブを示
す交流出力信号を得ることができる。これは等価的に
「ｃｏｓθｓｉｎωｔ」で示すことができる。 ＶＡ＋（ＶＢ−ＶＣ）＋（Ｖｐ−ＶＤ）−Ｖｏ …式（２） Ｖｐは最大インダクタンス値（磁気応答物質１１が１つ
のコイルにまったく近接していないときのインダクタン
ス値）に対応する基準電圧であり、出力電圧ＶＤをオフ
セットするためのものである。なお、温度ドリフトを考
慮すると、各コイルＬＡ〜ＬＤの温度ドリフトと同等の
温度ドリフト特性で各基準電圧Ｖｏ，Ｖｐが生成される
ようにするために、適宜のダミーコイルを介在させて各
基準電圧Ｖｏ，Ｖｐを生成するのがよい。勿論、他の温
度補償手段を用いてもよい。
【００２５】各交流出力信号の振幅成分であるサイン及
びコサイン関数における位相角θは、検出対象位置に対
応しており、９０度の範囲の位相角θが、１個のコイル
の長さＫに対応している。従って、４Ｋの長さの有効検
出範囲は、位相角θの０度から３６０度までの範囲に対
応している。よって、この位相角θを検出することによ
り、４Ｋの長さの範囲における検出対象位置をアブソリ
ュートで検出することができる。
びコサイン関数における位相角θは、検出対象位置に対
応しており、９０度の範囲の位相角θが、１個のコイル
の長さＫに対応している。従って、４Ｋの長さの有効検
出範囲は、位相角θの０度から３６０度までの範囲に対
応している。よって、この位相角θを検出することによ
り、４Ｋの長さの範囲における検出対象位置をアブソリ
ュートで検出することができる。
【００２６】ここで、温度特性の補償について説明する
と、温度に応じて各コイルのインピーダンスが変化し、
その出力電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤも変動する。例え
ば、図３（Ａ）で実線のカーブに対して破線で示すよう
に各電圧が一方向に増加または減少変動する。しかし、
これらを加減算合成したサイン及びコサイン関数特性の
交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎω
ｔにおいては、図３（Ｂ）で実線のカーブに対して破線
で示すように正負両方向の振幅変化として表れる。これ
を振幅係数Ａを用いて示すと、Ａｓｉｎθｓｉｎωｔ及
びＡｃｏｓθｓｉｎωｔとなり、この振幅係数Ａが周辺
環境温度に応じて変化することとなり、この変化は２つ
の交流出力信号において同じように現われる。ここから
明らかなように、温度特性を示す振幅係数Ａは、それぞ
れのサイン及びコサイン関数における位相角θに対して
影響を及ぼさない。従って、この実施形態においては、
自動的に温度特性の補償がされていることとなり、精度
のよい位置検出が期待できる。さらに、前述のように、
コイル部１０の磁性体コアに相当する磁性体棒８の外周
に銅めっき等を施して導電体被膜を形成することによ
り、温度補償を行うことができる。すなわち、この磁性
体棒８の表面の導電体被膜はそこに生じるうず電流損に
よって磁気回路のインダクタンスを減少させるものであ
るが、例えば温度上昇時に、各コイルのインピーダンス
が上昇するとき（これは本来、自己インダクタンスの減
少を招くが）、導電体被膜のうず電流損が減少して相対
的に磁気回路のインダクタンスを上昇させ、コイルのイ
ンダクタンスの温度ドリフトを補償する。同様の理由
で、ボビン部６の非磁性金属として多少なりとも導電性
を持つものを用いると、同様の温度ドリフト補償効果が
期待できる。
と、温度に応じて各コイルのインピーダンスが変化し、
その出力電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤも変動する。例え
ば、図３（Ａ）で実線のカーブに対して破線で示すよう
に各電圧が一方向に増加または減少変動する。しかし、
これらを加減算合成したサイン及びコサイン関数特性の
交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎω
ｔにおいては、図３（Ｂ）で実線のカーブに対して破線
で示すように正負両方向の振幅変化として表れる。これ
を振幅係数Ａを用いて示すと、Ａｓｉｎθｓｉｎωｔ及
びＡｃｏｓθｓｉｎωｔとなり、この振幅係数Ａが周辺
環境温度に応じて変化することとなり、この変化は２つ
の交流出力信号において同じように現われる。ここから
明らかなように、温度特性を示す振幅係数Ａは、それぞ
れのサイン及びコサイン関数における位相角θに対して
影響を及ぼさない。従って、この実施形態においては、
自動的に温度特性の補償がされていることとなり、精度
のよい位置検出が期待できる。さらに、前述のように、
コイル部１０の磁性体コアに相当する磁性体棒８の外周
に銅めっき等を施して導電体被膜を形成することによ
り、温度補償を行うことができる。すなわち、この磁性
体棒８の表面の導電体被膜はそこに生じるうず電流損に
よって磁気回路のインダクタンスを減少させるものであ
るが、例えば温度上昇時に、各コイルのインピーダンス
が上昇するとき（これは本来、自己インダクタンスの減
少を招くが）、導電体被膜のうず電流損が減少して相対
的に磁気回路のインダクタンスを上昇させ、コイルのイ
ンダクタンスの温度ドリフトを補償する。同様の理由
で、ボビン部６の非磁性金属として多少なりとも導電性
を持つものを用いると、同様の温度ドリフト補償効果が
期待できる。
【００２７】サイン及びコサイン関数特性の振幅を持つ
交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎω
ｔにおける振幅関数ｓｉｎθ及びｃｏｓθの位相成分θ
を、位相検出回路（若しくは振幅位相変換手段）２２で
計測することで、検出対象たるストローク位置をアブソ
リュートで検出することができる。この位相検出回路２
２としては、例えば特開平９−１２６８０９号公報に示
された技術を用いて構成するとよい。例えば、第１の交
流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔを電気的に９０度シフト
することで、交流信号ｓｉｎθｃｏｓωｔを生成し、こ
れと第２の交流出力信号ｃｏｓθｓｉｎωｔを加減算合
成することで、ｓｉｎ（ωｔ＋θ）およびｓｉｎ（ωｔ
−θ）なる、θに応じて進相および遅相方向に位相シフ
トされた２つの交流信号（位相成分θを交流位相ずれに
変換した信号）を生成し、その位相θを測定すること
で、ストローク位置検出データを得ることができる。あ
るいは、公知のレゾルバ出力を処理するために使用され
るＲ−Ｄコンバータを、この位相検出回路２２として使
用するようにしてもよい。
交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎω
ｔにおける振幅関数ｓｉｎθ及びｃｏｓθの位相成分θ
を、位相検出回路（若しくは振幅位相変換手段）２２で
計測することで、検出対象たるストローク位置をアブソ
リュートで検出することができる。この位相検出回路２
２としては、例えば特開平９−１２６８０９号公報に示
された技術を用いて構成するとよい。例えば、第１の交
流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔを電気的に９０度シフト
することで、交流信号ｓｉｎθｃｏｓωｔを生成し、こ
れと第２の交流出力信号ｃｏｓθｓｉｎωｔを加減算合
成することで、ｓｉｎ（ωｔ＋θ）およびｓｉｎ（ωｔ
−θ）なる、θに応じて進相および遅相方向に位相シフ
トされた２つの交流信号（位相成分θを交流位相ずれに
変換した信号）を生成し、その位相θを測定すること
で、ストローク位置検出データを得ることができる。あ
るいは、公知のレゾルバ出力を処理するために使用され
るＲ−Ｄコンバータを、この位相検出回路２２として使
用するようにしてもよい。
【００２８】なお、図３（Ｂ）に示すように、サイン及
びコサイン関数特性の交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ
及びｃｏｓθｓｉｎωｔにおける振幅特性は、角度θと
検出対象位置ｘとの対応関係が線形性を持つものとする
と、真のサイン及びコサイン関数特性を示していない。
しかし、位相検出回路２２では、見かけ上、この交流出
力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔをそ
れぞれサイン及びコサイン関数の振幅特性を持つものと
して位相検出処理する。その結果、検出した位相角θ
は、検出対象位置ｘに対して、線形性を示さないことに
なる。しかし、位置検出にあたっては、そのように、検
出出力データ（検出した位相角θ）と実際の検出対象位
置との非直線性はあまり重要な問題とはならない。つま
り、所定の反復再現性をもって位置検出を行なうことが
できればよいのである。また、必要とあらば、位相検出
回路２２の出力データを適宜のデータ変換テーブルを用
いてデータ変換することにより、検出出力データと実際
の検出対象位置との間に正確な線形性を持たせることが
容易に行なえる。よって、本発明でいうサイン及びコサ
イン関数の振幅特性を持つ交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎ
ωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔとは、真のサイン及びコサ
イン関数特性を示していなければならないものではな
く、図３（Ｂ）に示されるように、実際は三角波形状の
ようなものであってよいものであり、要するに、そのよ
うな傾向を示していればよい。つまり、サイン等の三角
関数に類似した周期関数であればよい。なお、図３
（Ｂ）の例では、観点を変えて、その横軸の目盛をθと
見立ててその目盛が所要の非線形目盛からなっていると
すれば、横軸の目盛をｘと見立てた場合には見かけ上三
角波形状に見えるものであっても、θに関してはサイン
関数又はコサイン関数ということができる。
びコサイン関数特性の交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ
及びｃｏｓθｓｉｎωｔにおける振幅特性は、角度θと
検出対象位置ｘとの対応関係が線形性を持つものとする
と、真のサイン及びコサイン関数特性を示していない。
しかし、位相検出回路２２では、見かけ上、この交流出
力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔをそ
れぞれサイン及びコサイン関数の振幅特性を持つものと
して位相検出処理する。その結果、検出した位相角θ
は、検出対象位置ｘに対して、線形性を示さないことに
なる。しかし、位置検出にあたっては、そのように、検
出出力データ（検出した位相角θ）と実際の検出対象位
置との非直線性はあまり重要な問題とはならない。つま
り、所定の反復再現性をもって位置検出を行なうことが
できればよいのである。また、必要とあらば、位相検出
回路２２の出力データを適宜のデータ変換テーブルを用
いてデータ変換することにより、検出出力データと実際
の検出対象位置との間に正確な線形性を持たせることが
容易に行なえる。よって、本発明でいうサイン及びコサ
イン関数の振幅特性を持つ交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎ
ωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔとは、真のサイン及びコサ
イン関数特性を示していなければならないものではな
く、図３（Ｂ）に示されるように、実際は三角波形状の
ようなものであってよいものであり、要するに、そのよ
うな傾向を示していればよい。つまり、サイン等の三角
関数に類似した周期関数であればよい。なお、図３
（Ｂ）の例では、観点を変えて、その横軸の目盛をθと
見立ててその目盛が所要の非線形目盛からなっていると
すれば、横軸の目盛をｘと見立てた場合には見かけ上三
角波形状に見えるものであっても、θに関してはサイン
関数又はコサイン関数ということができる。
【００２９】サイン及びコサイン関数特性の交流出力信
号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔにおける
振幅関数ｓｉｎθ及びｃｏｓθの位相成分θの変化範囲
は、上記実施例のような０度から３６０度までのほぼフ
ル範囲での変化に限らず、それよりも狭い限られた角度
範囲での変化であってもよい。その場合は、コイルの構
成を簡略化することができる。有効検出範囲が狭くても
よいような場合には、検出可能位相範囲は３６０度未満
の適宜の範囲であってよい。その他、検出目的に応じ
て、検出可能位相範囲が３６０度未満の適宜の範囲であ
ってよい場合が種々あるので、そのような場合に適宜応
用可能である。
号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔにおける
振幅関数ｓｉｎθ及びｃｏｓθの位相成分θの変化範囲
は、上記実施例のような０度から３６０度までのほぼフ
ル範囲での変化に限らず、それよりも狭い限られた角度
範囲での変化であってもよい。その場合は、コイルの構
成を簡略化することができる。有効検出範囲が狭くても
よいような場合には、検出可能位相範囲は３６０度未満
の適宜の範囲であってよい。その他、検出目的に応じ
て、検出可能位相範囲が３６０度未満の適宜の範囲であ
ってよい場合が種々あるので、そのような場合に適宜応
用可能である。
【００３０】図４は、磁気応答物質１１の配置の変形例
を示す断面図である。ピストン部３の内部空間５の径が
その出口に近づくにつれて徐々に広がるような形状をな
しており、結果的に該内部空間５の周壁に形成される磁
気応答物質１１の寸法がその先端１１ａに近づくほど、
センサ部材４つまりコイル部１０からのラジアル方向距
離が広がるように傾斜をなしている。この磁気応答物質
１１の傾斜範囲は、例えば、ほぼＫぐらいの長さにわた
っていてよい。この磁気応答物質１１の傾斜に応じてコ
イルに対する磁気応答物質１１のギャップ距離が変化
し、コイルに滑らかな若しくは非線形的なインダクタン
ス変化をもたらす。すなわち、磁気応答物質１１の先端
１１ａの移動にともなうコイルのインダクタンス変化を
滑らかな若しくは非線形的な漸減特性とすることができ
る。
を示す断面図である。ピストン部３の内部空間５の径が
その出口に近づくにつれて徐々に広がるような形状をな
しており、結果的に該内部空間５の周壁に形成される磁
気応答物質１１の寸法がその先端１１ａに近づくほど、
センサ部材４つまりコイル部１０からのラジアル方向距
離が広がるように傾斜をなしている。この磁気応答物質
１１の傾斜範囲は、例えば、ほぼＫぐらいの長さにわた
っていてよい。この磁気応答物質１１の傾斜に応じてコ
イルに対する磁気応答物質１１のギャップ距離が変化
し、コイルに滑らかな若しくは非線形的なインダクタン
ス変化をもたらす。すなわち、磁気応答物質１１の先端
１１ａの移動にともなうコイルのインダクタンス変化を
滑らかな若しくは非線形的な漸減特性とすることができ
る。
【００３１】図５は、本発明に係るストロークセンサの
別の実施例を示す断面図である。この実施例では、ピス
トン部３側の磁気応答物質１１がセンサ部材４のコイル
部１０に侵入していくにつれて、コイルのインダクタン
スが漸増するようになっている。すなわち、コイル部１
０のボビン６０は非磁性体からなっており、ピストン部
３の内部空間５の周壁に設けられた磁気応答物質１１は
強磁性体からなる。これにより、ピストン部３の収縮ス
トロークによって磁気応答物質１１のコイル部１０の各
コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど
該コイルの自己インダクタンスが増加し、該磁気応答物
質１１の端部が１つのコイルの一端から入り込んで他端
まで変位する間で該コイルの両端間電圧が漸増する。ピ
ストン部３の伸長ストローク時はその逆である。
別の実施例を示す断面図である。この実施例では、ピス
トン部３側の磁気応答物質１１がセンサ部材４のコイル
部１０に侵入していくにつれて、コイルのインダクタン
スが漸増するようになっている。すなわち、コイル部１
０のボビン６０は非磁性体からなっており、ピストン部
３の内部空間５の周壁に設けられた磁気応答物質１１は
強磁性体からなる。これにより、ピストン部３の収縮ス
トロークによって磁気応答物質１１のコイル部１０の各
コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど
該コイルの自己インダクタンスが増加し、該磁気応答物
質１１の端部が１つのコイルの一端から入り込んで他端
まで変位する間で該コイルの両端間電圧が漸増する。ピ
ストン部３の伸長ストローク時はその逆である。
【００３２】また、図５の例では、コイル部１０におい
て、有効検出範囲に対応するコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，
ＬＤの前後に補助コイルＬα，Ｌβが更に設けられてい
る。すなわち、コイル部１０は、巻数、コイル長等の性
質が同等の６つのコイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，Ｌ
Ｄ，Ｌβを、ピストン部３の直線変位方向に沿って順次
配列してなる構成である。補助コイルＬα，Ｌβは、コ
サイン関数特性を忠実に得ることができるようにするた
めに設けたものであり、精度をそれほど追及しない場合
は、省略可能である。
て、有効検出範囲に対応するコイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，
ＬＤの前後に補助コイルＬα，Ｌβが更に設けられてい
る。すなわち、コイル部１０は、巻数、コイル長等の性
質が同等の６つのコイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，Ｌ
Ｄ，Ｌβを、ピストン部３の直線変位方向に沿って順次
配列してなる構成である。補助コイルＬα，Ｌβは、コ
サイン関数特性を忠実に得ることができるようにするた
めに設けたものであり、精度をそれほど追及しない場合
は、省略可能である。
【００３３】ピストン部３のストローク変化に応じた、
コイル部１０と磁気応答物質１１との相対的位置関係の
変化は、図１の実施例と同様である。すなわち、ピスト
ン部３の内周壁を構成する円筒状の磁気応答物質１１
は、ピストン部３の収縮方向の動きに伴って、その内部
空間５内に棒状のセンサ部材４を飲み込んでいき、セン
サ部材４に設けられたコイル部１０の各コイルの磁場内
に侵入する。図示の例では、ピストン部３の収縮方向の
動きに伴って図の右方向に磁気応答物質１１が進行する
とき、磁気応答物質１１の先端が、最初にコイルＬαの
磁場に侵入し、次に、コイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの
順にその磁場に侵入していき、最後にコイルＬβの磁場
に侵入する。ただし、この実施例では、コイル部１０の
ボビン６０は非磁性体からなっていて磁性体を含まず、
一方、ピストン部３の内部空間５の周壁に設けられた磁
気応答物質１１は強磁性体からなるので、磁気応答物質
１１の各コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが
増すほど該コイルの自己インダクタンスが増加し、該磁
気応答物質１１の端部が１つのコイルの一端から入り込
んで他端まで変位する間で該コイルの両端間電圧が漸増
する。
コイル部１０と磁気応答物質１１との相対的位置関係の
変化は、図１の実施例と同様である。すなわち、ピスト
ン部３の内周壁を構成する円筒状の磁気応答物質１１
は、ピストン部３の収縮方向の動きに伴って、その内部
空間５内に棒状のセンサ部材４を飲み込んでいき、セン
サ部材４に設けられたコイル部１０の各コイルの磁場内
に侵入する。図示の例では、ピストン部３の収縮方向の
動きに伴って図の右方向に磁気応答物質１１が進行する
とき、磁気応答物質１１の先端が、最初にコイルＬαの
磁場に侵入し、次に、コイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの
順にその磁場に侵入していき、最後にコイルＬβの磁場
に侵入する。ただし、この実施例では、コイル部１０の
ボビン６０は非磁性体からなっていて磁性体を含まず、
一方、ピストン部３の内部空間５の周壁に設けられた磁
気応答物質１１は強磁性体からなるので、磁気応答物質
１１の各コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが
増すほど該コイルの自己インダクタンスが増加し、該磁
気応答物質１１の端部が１つのコイルの一端から入り込
んで他端まで変位する間で該コイルの両端間電圧が漸増
する。
【００３４】図６は図５の実施例におけるコイル部１０
の接続例を示す。各コイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，Ｌ
Ｄ，Ｌβは、交流電源１２から発生される所定の１相の
交流信号（ｓｉｎωｔ）によって定電圧又は定電流で励
磁される。各コイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌ
βの両端間電圧をそれぞれＶα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄ，Ｖβで示すと、このそれぞれの電圧Ｖα，ＶＡ，Ｖ
Ｂ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖβを取り出すために、端子１３〜１
９が設けられている。前述と同様に、各コイルＬα，Ｌ
Ａ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌβは、物理的に切り離された
別々のコイルである必要はなく、一連のコイルの全長を
６分割する位置に端子１３〜１９を設けるだけでよい。
各コイルの出力電圧Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖ
βは、アナログ演算回路２０及び２１に所定の組み合わ
せで入力され、所定の演算式に従って加算又は減算され
ることで、各アナログ演算回路２０及び２１から検出対
象位置に応じたサイン及びコサイン関数特性を示す振幅
をそれぞれ持つ２つの交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ
およびｃｏｓθｓｉｎωｔが生成される。
の接続例を示す。各コイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，Ｌ
Ｄ，Ｌβは、交流電源１２から発生される所定の１相の
交流信号（ｓｉｎωｔ）によって定電圧又は定電流で励
磁される。各コイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌ
βの両端間電圧をそれぞれＶα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄ，Ｖβで示すと、このそれぞれの電圧Ｖα，ＶＡ，Ｖ
Ｂ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖβを取り出すために、端子１３〜１
９が設けられている。前述と同様に、各コイルＬα，Ｌ
Ａ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌβは、物理的に切り離された
別々のコイルである必要はなく、一連のコイルの全長を
６分割する位置に端子１３〜１９を設けるだけでよい。
各コイルの出力電圧Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖ
βは、アナログ演算回路２０及び２１に所定の組み合わ
せで入力され、所定の演算式に従って加算又は減算され
ることで、各アナログ演算回路２０及び２１から検出対
象位置に応じたサイン及びコサイン関数特性を示す振幅
をそれぞれ持つ２つの交流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ
およびｃｏｓθｓｉｎωｔが生成される。
【００３５】以上の構成により、磁気応答物質１１の各
コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど
該コイルの自己インダクタンスが増加し、該部材の端部
が１つのコイルの一端から他端まで変位する間で該コイ
ルの両端間電圧が漸増する。複数のコイルＬα，ＬＡ，
ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌβが検出対象の変位方向に沿って
順次配列されてなることにより、これらコイルに対する
磁気応答部材の位置が、検出対象の変位に応じて相対的
に変位するにつれ、図７（Ａ）に例示するように、各コ
イルの両端間電圧Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖβ
の漸増変化が順番に起こる。図７（Ａ）において、或る
コイルの出力電圧が傾斜している区間において、当該コ
イルの一端から他端に向かって磁気応答物質１１の端部
１１ａが変位していることになる。典型的には、磁気応
答物質１１の端部１１ａが或る１つのコイルの一端から
他端まで変位する間に生じる該コイルの両端間電圧の漸
増変化カーブは、サイン又はコサイン関数における９０
度の範囲の関数値変化になぞらえることができる。そこ
で、各コイルの出力電圧Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄ，Ｖβをそれぞれ適切に組み合わせて加算及び／又は
減算することにより、検出対象位置に応じたサイン及び
コサイン関数特性を示す振幅をそれぞれ持つ２つの交流
出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを
生成することができる。
コイルの磁場に対する近接又は侵入の度合いが増すほど
該コイルの自己インダクタンスが増加し、該部材の端部
が１つのコイルの一端から他端まで変位する間で該コイ
ルの両端間電圧が漸増する。複数のコイルＬα，ＬＡ，
ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌβが検出対象の変位方向に沿って
順次配列されてなることにより、これらコイルに対する
磁気応答部材の位置が、検出対象の変位に応じて相対的
に変位するにつれ、図７（Ａ）に例示するように、各コ
イルの両端間電圧Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖβ
の漸増変化が順番に起こる。図７（Ａ）において、或る
コイルの出力電圧が傾斜している区間において、当該コ
イルの一端から他端に向かって磁気応答物質１１の端部
１１ａが変位していることになる。典型的には、磁気応
答物質１１の端部１１ａが或る１つのコイルの一端から
他端まで変位する間に生じる該コイルの両端間電圧の漸
増変化カーブは、サイン又はコサイン関数における９０
度の範囲の関数値変化になぞらえることができる。そこ
で、各コイルの出力電圧Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，Ｖ
Ｄ，Ｖβをそれぞれ適切に組み合わせて加算及び／又は
減算することにより、検出対象位置に応じたサイン及び
コサイン関数特性を示す振幅をそれぞれ持つ２つの交流
出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを
生成することができる。
【００３６】すなわち、図６のアナログ演算回路２０で
は、コイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの出力電圧ＶＡ，Ｖ
Ｂ，ＶＣ，ＶＤを下記式（３）のように演算すること
で、図３（Ｂ）に示すようなサイン関数特性の振幅カー
ブを示す交流出力信号を得ることができ、これは、等価
的に「ｓｉｎθｓｉｎωｔ」で示すことができる。 （ＶＡ−ＶＢ）＋（ＶＤ−ＶＣ） …式（３）
は、コイルＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤの出力電圧ＶＡ，Ｖ
Ｂ，ＶＣ，ＶＤを下記式（３）のように演算すること
で、図３（Ｂ）に示すようなサイン関数特性の振幅カー
ブを示す交流出力信号を得ることができ、これは、等価
的に「ｓｉｎθｓｉｎωｔ」で示すことができる。 （ＶＡ−ＶＢ）＋（ＶＤ−ＶＣ） …式（３）
【００３７】また、図６のアナログ演算回路２１では、
コイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌβの出力電圧
Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖβを下記式（４）の
ように演算することで、図７（Ｂ）に示すようなコサイ
ン関数特性の振幅カーブを示す交流出力信号を得ること
ができる。なお、図７（Ｂ）に示すコサイン関数特性の
振幅カーブは、実際はマイナス・コサイン関数特性つま
り「−ｃｏｓθｓｉｎωｔ」であるが、サイン関数特性
に対して９０度のずれを示すものであるからコサイン関
数特性に相当するものである。従って、これをコサイン
関数特性の交流出力信号といい、以下、等価的に「ｃｏ
ｓθｓｉｎωｔ」で示す。 （ＶＡ−Ｖα）＋（ＶＢ−ＶＣ）＋（Ｖβ−ＶＤ） …式（４） なお、式（４）の演算に代えて、下記の式（４'）の演
算を行なってもよい。 （ＶＡ−Ｖα）＋（ＶＢ−ＶＣ）−ＶＤ …式（４'）
コイルＬα，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌβの出力電圧
Ｖα，ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤ，Ｖβを下記式（４）の
ように演算することで、図７（Ｂ）に示すようなコサイ
ン関数特性の振幅カーブを示す交流出力信号を得ること
ができる。なお、図７（Ｂ）に示すコサイン関数特性の
振幅カーブは、実際はマイナス・コサイン関数特性つま
り「−ｃｏｓθｓｉｎωｔ」であるが、サイン関数特性
に対して９０度のずれを示すものであるからコサイン関
数特性に相当するものである。従って、これをコサイン
関数特性の交流出力信号といい、以下、等価的に「ｃｏ
ｓθｓｉｎωｔ」で示す。 （ＶＡ−Ｖα）＋（ＶＢ−ＶＣ）＋（Ｖβ−ＶＤ） …式（４） なお、式（４）の演算に代えて、下記の式（４'）の演
算を行なってもよい。 （ＶＡ−Ｖα）＋（ＶＢ−ＶＣ）−ＶＤ …式（４'）
【００３８】なお、式（４）で求めたマイナス・コサイ
ン関数特性の交流出力信号「−ｃｏｓθｓｉｎωｔ」を
電気的に１８０度位相反転処理することで、実際に、ｃ
ｏｓθｓｉｎωｔで示される信号を生成し、これをコサ
イン関数特性の交流出力信号としてもよい。しかし、後
段の位相検出回路（振幅位相変換回路）２２で、例え
ば、コサイン関数特性の交流出力信号を「−ｃｏｓθｓ
ｉｎωｔ」の形で減算演算に使用するような場合は、マ
イナス・コサイン関数特性の交流出力信号「−ｃｏｓθ
ｓｉｎωｔ」のままで使用すればよい。なお、式（４）
の演算に代えて、下記の式（４''）の演算を行なえば、
実際にコサイン関数特性の交流出力信号「ｃｏｓθｓｉ
ｎωｔ」を生成することができる。 （Ｖα−ＶＡ）＋（ＶＣ−ＶＢ）＋（ＶＤ−Ｖβ） …式（４''）
ン関数特性の交流出力信号「−ｃｏｓθｓｉｎωｔ」を
電気的に１８０度位相反転処理することで、実際に、ｃ
ｏｓθｓｉｎωｔで示される信号を生成し、これをコサ
イン関数特性の交流出力信号としてもよい。しかし、後
段の位相検出回路（振幅位相変換回路）２２で、例え
ば、コサイン関数特性の交流出力信号を「−ｃｏｓθｓ
ｉｎωｔ」の形で減算演算に使用するような場合は、マ
イナス・コサイン関数特性の交流出力信号「−ｃｏｓθ
ｓｉｎωｔ」のままで使用すればよい。なお、式（４）
の演算に代えて、下記の式（４''）の演算を行なえば、
実際にコサイン関数特性の交流出力信号「ｃｏｓθｓｉ
ｎωｔ」を生成することができる。 （Ｖα−ＶＡ）＋（ＶＣ−ＶＢ）＋（ＶＤ−Ｖβ） …式（４''）
【００３９】各交流出力信号の振幅成分であるサイン及
びコサイン関数における位相角θは、検出対象位置に対
応しており、９０度の範囲の位相角θが、１個のコイル
の長さＫに対応している。従って、４Ｋの長さの有効検
出範囲は、位相角θの０度から３６０度までの範囲に対
応している。よって、この位相角θを検出することによ
り、４Ｋの長さの範囲における検出対象位置をアブソリ
ュートで検出することができる。
びコサイン関数における位相角θは、検出対象位置に対
応しており、９０度の範囲の位相角θが、１個のコイル
の長さＫに対応している。従って、４Ｋの長さの有効検
出範囲は、位相角θの０度から３６０度までの範囲に対
応している。よって、この位相角θを検出することによ
り、４Ｋの長さの範囲における検出対象位置をアブソリ
ュートで検出することができる。
【００４０】図５の構成も、図１の場合と同様に、温度
ドリフト補償可能である。温度ドリフト特性は、図７
（Ａ）で実線のカーブに対して破線で示すようであり、
各電圧が一方向に増加または減少変動する。しかし、こ
れらを加減算合成したサイン及びコサイン関数特性の交
流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔ
においては、図７（Ｂ）で実線のカーブに対して破線で
示すように正負両方向の振幅変化として表れる。これを
振幅係数Ａを用いて示すと、Ａｓｉｎθｓｉｎωｔ及び
Ａｃｏｓθｓｉｎωｔとなり、この振幅係数Ａが周辺環
境温度に応じて変化することとなり、この変化は２つの
交流出力信号において同じように現われる。ここから明
らかなように、温度特性を示す振幅係数Ａは、それぞれ
のサイン及びコサイン関数における位相角θに対して影
響を及ぼさない。従って、この実施形態においては、自
動的に温度特性の補償がされていることとなり、精度の
よい位置検出が期待できる。
ドリフト補償可能である。温度ドリフト特性は、図７
（Ａ）で実線のカーブに対して破線で示すようであり、
各電圧が一方向に増加または減少変動する。しかし、こ
れらを加減算合成したサイン及びコサイン関数特性の交
流出力信号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔ
においては、図７（Ｂ）で実線のカーブに対して破線で
示すように正負両方向の振幅変化として表れる。これを
振幅係数Ａを用いて示すと、Ａｓｉｎθｓｉｎωｔ及び
Ａｃｏｓθｓｉｎωｔとなり、この振幅係数Ａが周辺環
境温度に応じて変化することとなり、この変化は２つの
交流出力信号において同じように現われる。ここから明
らかなように、温度特性を示す振幅係数Ａは、それぞれ
のサイン及びコサイン関数における位相角θに対して影
響を及ぼさない。従って、この実施形態においては、自
動的に温度特性の補償がされていることとなり、精度の
よい位置検出が期待できる。
【００４１】サイン及びコサイン関数特性の交流出力信
号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔにおける
振幅関数ｓｉｎθ及びｃｏｓθの位相成分θを、前述と
同様に、位相検出回路（若しくは振幅位相変換手段）２
２で計測することで、検出対象位置をアブソリュートで
検出することができる。
号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔにおける
振幅関数ｓｉｎθ及びｃｏｓθの位相成分θを、前述と
同様に、位相検出回路（若しくは振幅位相変換手段）２
２で計測することで、検出対象位置をアブソリュートで
検出することができる。
【００４２】図８は、コイル部１０及び磁気応答物質１
１の別の構成例を示す側面及び断面図である。この場
合、各コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβの相互の配置間隔
は、図５等の例と同様に、Ｋであるが、各コイルの長さ
が短くなっている。すなわち、隣接する各コイルＬα，
ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβは図１や図５のように密接している必
要はなく、適宜離隔していてもよい。ピストン部３の内
部空間５の径がその出口に近づくにつれて徐々に広がる
ような形状をなしており、結果的に該内部空間５の周壁
に形成される磁気応答物質１１の寸法がその先端１１ａ
に近づくほど、センサ部材４つまりコイル部１０からの
ラジアル方向距離が広がるように傾斜をなしている。こ
の磁気応答物質１１の傾斜範囲は、例えば、ほぼＫぐら
いの長さにわたっている。この磁気応答物質１１の傾斜
に応じてコイルに対する磁気応答物質１１のギャップ距
離が変化し、コイルに滑らかなインダクタンス変化をも
たらす。すなわち、磁気応答物質１１の先端１１ａの移
動にともなうコイルのインダクタンス変化を滑らかな漸
増（若しくは漸減）変化特性とすることができる。勿
論、図１や図５のように各コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌ
βが密接して配置されている場合も、ピストン部３の内
部空間５の周壁に設けられた磁気応答物質１１がその先
端１１ａから所定の範囲で図８図示のような傾斜をなす
ように形成してよいことは、図４で既に述べた。また、
図１及び図５のようにピストン部３の内部空間５の周壁
に設けられた磁気応答物質１１に特段の傾斜を設けない
場合でも、図８のように各コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌ
βを適宜分離して配置することも可能である。
１の別の構成例を示す側面及び断面図である。この場
合、各コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβの相互の配置間隔
は、図５等の例と同様に、Ｋであるが、各コイルの長さ
が短くなっている。すなわち、隣接する各コイルＬα，
ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβは図１や図５のように密接している必
要はなく、適宜離隔していてもよい。ピストン部３の内
部空間５の径がその出口に近づくにつれて徐々に広がる
ような形状をなしており、結果的に該内部空間５の周壁
に形成される磁気応答物質１１の寸法がその先端１１ａ
に近づくほど、センサ部材４つまりコイル部１０からの
ラジアル方向距離が広がるように傾斜をなしている。こ
の磁気応答物質１１の傾斜範囲は、例えば、ほぼＫぐら
いの長さにわたっている。この磁気応答物質１１の傾斜
に応じてコイルに対する磁気応答物質１１のギャップ距
離が変化し、コイルに滑らかなインダクタンス変化をも
たらす。すなわち、磁気応答物質１１の先端１１ａの移
動にともなうコイルのインダクタンス変化を滑らかな漸
増（若しくは漸減）変化特性とすることができる。勿
論、図１や図５のように各コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌ
βが密接して配置されている場合も、ピストン部３の内
部空間５の周壁に設けられた磁気応答物質１１がその先
端１１ａから所定の範囲で図８図示のような傾斜をなす
ように形成してよいことは、図４で既に述べた。また、
図１及び図５のようにピストン部３の内部空間５の周壁
に設けられた磁気応答物質１１に特段の傾斜を設けない
場合でも、図８のように各コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌ
βを適宜分離して配置することも可能である。
【００４３】更に別の例として、コイル部１０の各コイ
ルは、分離配置された複数のコイル部分からなっていて
もよい。図９は、その一例として、１個のコイルＬＡに
ついて、その分離配置例を示している。図９において
は、分離配置された４つのコイル部分ＬＡ１，ＬＡ２，
ＬＡ３，ＬＡ４によって、Ｋの範囲をカバーする１個の
コイルＬＡが構成されている。各コイル部分ＬＡ１，Ｌ
Ａ２，ＬＡ３，ＬＡ４は直列接続され、コイルＬＡの端
子間電圧ＶＡが出力される。この場合、各コイル部分Ｌ
Ａ１，ＬＡ２，ＬＡ３，ＬＡ４の巻数は、共通していて
もよいし、適宜異なっていてもよい。また、各コイル部
分ＬＡ１，ＬＡ２，ＬＡ３，ＬＡ４の配置の離隔間隔は
均等であってもよいし、適宜異なっていてもよい。これ
ら、コイル巻数や離隔間隔などを不均一（非線形）にす
ることにより、サイン関数またはコサイン関数のカーブ
により近い特性の自己インピーダンス変化を引き起こす
ことができる。そうすれば、前述した検出位相角θと実
際の検出対象距離（位置）との関係の非線形性を改善す
ることができる。同様に、図１や図５のように隣接する
コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβを密接して配置する場合
も、１つのコイルの全長Ｋの範囲でその巻数を均一にせ
ずに、位置に応じて不均一にしてもよい。これによって
も、サイン関数またはコサイン関数のカーブにより近い
特性の自己インピーダンス変化を引き起こすことがで
き、前述した検出位相角θと実際の検出対象距離（位
置）との関係の非線形性を改善することができる。
ルは、分離配置された複数のコイル部分からなっていて
もよい。図９は、その一例として、１個のコイルＬＡに
ついて、その分離配置例を示している。図９において
は、分離配置された４つのコイル部分ＬＡ１，ＬＡ２，
ＬＡ３，ＬＡ４によって、Ｋの範囲をカバーする１個の
コイルＬＡが構成されている。各コイル部分ＬＡ１，Ｌ
Ａ２，ＬＡ３，ＬＡ４は直列接続され、コイルＬＡの端
子間電圧ＶＡが出力される。この場合、各コイル部分Ｌ
Ａ１，ＬＡ２，ＬＡ３，ＬＡ４の巻数は、共通していて
もよいし、適宜異なっていてもよい。また、各コイル部
分ＬＡ１，ＬＡ２，ＬＡ３，ＬＡ４の配置の離隔間隔は
均等であってもよいし、適宜異なっていてもよい。これ
ら、コイル巻数や離隔間隔などを不均一（非線形）にす
ることにより、サイン関数またはコサイン関数のカーブ
により近い特性の自己インピーダンス変化を引き起こす
ことができる。そうすれば、前述した検出位相角θと実
際の検出対象距離（位置）との関係の非線形性を改善す
ることができる。同様に、図１や図５のように隣接する
コイルＬα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβを密接して配置する場合
も、１つのコイルの全長Ｋの範囲でその巻数を均一にせ
ずに、位置に応じて不均一にしてもよい。これによって
も、サイン関数またはコサイン関数のカーブにより近い
特性の自己インピーダンス変化を引き起こすことがで
き、前述した検出位相角θと実際の検出対象距離（位
置）との関係の非線形性を改善することができる。
【００４４】図１０は、図５におけるコイル部１０の各
コイルの配置の変形例であり、隣接コイル間でのクロス
トークを防いで検出精度を向上させることができるよう
にしたものである。図１０（Ａ）においては、各コイル
Ｌα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβの間に磁性体スペーサ３１が配
置されている。これにより、個々のコイルで発生した磁
束の通り道が拡散されずに、個々のコイルの内部から直
近端部（磁性体スペーサ３１の箇所）を通り、外周を通
り、直近端部（磁性体スペーサ３１の箇所）を通り、内
部に戻るという、図示のΦに示すようなルートを通るこ
とになる。よって、クロストークを防ぎ、各コイルの外
周に対して近接する磁気応答物質１１の存在に対する個
々のコイルの応答性（インピーダンス変化）を極めて良
好にし、検出精度を向上させることができる。図１０
（Ａ）では隣接コイル間に設ける磁性体スペーサ３１は
１個であるが、図１０（Ｂ）のように、隣接コイル間に
２個の磁性体スペーサ３１ａ，３１ｂを幾分分離させて
配置するようにしてもよい。この場合、非磁性体からな
るボビン６０の芯に細い針金のような磁性体を挿入して
おき、磁束の通りを良くするようにしてもよい。図１０
に示された変形は、図１の例においても適用可能であ
る。
コイルの配置の変形例であり、隣接コイル間でのクロス
トークを防いで検出精度を向上させることができるよう
にしたものである。図１０（Ａ）においては、各コイル
Ｌα，ＬＡ〜ＬＤ，Ｌβの間に磁性体スペーサ３１が配
置されている。これにより、個々のコイルで発生した磁
束の通り道が拡散されずに、個々のコイルの内部から直
近端部（磁性体スペーサ３１の箇所）を通り、外周を通
り、直近端部（磁性体スペーサ３１の箇所）を通り、内
部に戻るという、図示のΦに示すようなルートを通るこ
とになる。よって、クロストークを防ぎ、各コイルの外
周に対して近接する磁気応答物質１１の存在に対する個
々のコイルの応答性（インピーダンス変化）を極めて良
好にし、検出精度を向上させることができる。図１０
（Ａ）では隣接コイル間に設ける磁性体スペーサ３１は
１個であるが、図１０（Ｂ）のように、隣接コイル間に
２個の磁性体スペーサ３１ａ，３１ｂを幾分分離させて
配置するようにしてもよい。この場合、非磁性体からな
るボビン６０の芯に細い針金のような磁性体を挿入して
おき、磁束の通りを良くするようにしてもよい。図１０
に示された変形は、図１の例においても適用可能であ
る。
【００４５】上記各実施例において、磁気応答物質１１
の構成は、磁性体又は導電体の一方に限らず、両方を逆
特性でハイブリッドに組み合わせたものであってもよ
い。また、磁気応答物質１１として永久磁石を含むもの
を使用し、コイル部１０の各コイルには鉄心コア含むよ
うにしてもよい。例えば、図１のようにボビン部６に磁
性体棒８を具備する構成を採用し、磁気応答物質１１と
して永久磁石は、少なくともコイル長Ｋに相当する長さ
を持つリング状磁石を用いるとよい。その場合では、ピ
ストン部３の動きに応じて、磁気応答物質１１たる永久
磁石が、いずれかのコイルに接近するとその近接箇所に
対応する鉄心コアが部分的に磁気飽和ないし過飽和状態
となり、該コイルの端子間電圧が低下する。このよう
に、磁気応答部材１１として永久磁石を使用する場合
も、非磁性良導電体を用いる場合と同様に、磁気応答部
材１１つまり永久磁石が１つのコイルの一端から他端ま
で変位する間で該コイルの両端間電圧の漸減変化を引き
起こさせることができる。
の構成は、磁性体又は導電体の一方に限らず、両方を逆
特性でハイブリッドに組み合わせたものであってもよ
い。また、磁気応答物質１１として永久磁石を含むもの
を使用し、コイル部１０の各コイルには鉄心コア含むよ
うにしてもよい。例えば、図１のようにボビン部６に磁
性体棒８を具備する構成を採用し、磁気応答物質１１と
して永久磁石は、少なくともコイル長Ｋに相当する長さ
を持つリング状磁石を用いるとよい。その場合では、ピ
ストン部３の動きに応じて、磁気応答物質１１たる永久
磁石が、いずれかのコイルに接近するとその近接箇所に
対応する鉄心コアが部分的に磁気飽和ないし過飽和状態
となり、該コイルの端子間電圧が低下する。このよう
に、磁気応答部材１１として永久磁石を使用する場合
も、非磁性良導電体を用いる場合と同様に、磁気応答部
材１１つまり永久磁石が１つのコイルの一端から他端ま
で変位する間で該コイルの両端間電圧の漸減変化を引き
起こさせることができる。
【００４６】更に、上記各実施例においては、サイン及
びコサイン関数の振幅特性を持つ２つの出力交流信号ｓ
ｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを生成する例
（いわばレゾルバタイプの２相出力を生ずる例）につい
て説明したが、これに限らず、所定位相ずれを示す３以
上の三角関数の振幅特性を持つ３以上の出力交流信号
（例えば、ｓｉｎθ・ｓｉｎωｔ、ｓｉｎ（θ−１２０
°）・ｓｉｎωｔ及びｓｉｎ（θ−２４０°）・ｓｉｎ
ωｔ）を出力するように構成してもよい。
びコサイン関数の振幅特性を持つ２つの出力交流信号ｓ
ｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを生成する例
（いわばレゾルバタイプの２相出力を生ずる例）につい
て説明したが、これに限らず、所定位相ずれを示す３以
上の三角関数の振幅特性を持つ３以上の出力交流信号
（例えば、ｓｉｎθ・ｓｉｎωｔ、ｓｉｎ（θ−１２０
°）・ｓｉｎωｔ及びｓｉｎ（θ−２４０°）・ｓｉｎ
ωｔ）を出力するように構成してもよい。
【００４７】なお、上記各実施例において、配置するコ
イルＬＡ〜ＬＤの数は、２又は３であってもよいし、４
以上であってもよい。出力交流信号における振幅関数の
位相θの変化範囲として、３６０度フルにとらずに、９
０度程度あるいは１８０度程度の範囲でよい場合は、２
又は３個のコイルでも済ますことができる。
イルＬＡ〜ＬＤの数は、２又は３であってもよいし、４
以上であってもよい。出力交流信号における振幅関数の
位相θの変化範囲として、３６０度フルにとらずに、９
０度程度あるいは１８０度程度の範囲でよい場合は、２
又は３個のコイルでも済ますことができる。
【００４８】変形例として、公知の位相シフト型位置検
出原理に従う検出装置のように、２相交流信号（例えば
ｓｉｎωｔとｃｏｓωｔ）を用いて複数相でコイルを励
磁し、ストローク位置に対応する位相角θだけ位相シフ
トした出力交流信号（例えばｓｉｎ（ωｔ＋θ））を得
るようにすることも可能である。そのためには、例え
ば、２つのコイルグループを並列配置し、各グループ毎
に位相の異なる交流信号（例えばｓｉｎωｔとｃｏｓω
ｔ）によってそれぞれ該グループ内のコイルを共通に励
磁し、一方のコイルグループの出力をアナログ演算する
ことでｃｏｓθｓｉｎωｔを形成し、他方のコイルグル
ープの出力をアナログ演算することでｓｉｎθｃｏｓω
ｔを形成するようにし、両出力を加算又は減算すれば、
位相シフトした出力交流信号ｓｉｎ（ωｔ＋θ）を得る
ことができる。
出原理に従う検出装置のように、２相交流信号（例えば
ｓｉｎωｔとｃｏｓωｔ）を用いて複数相でコイルを励
磁し、ストローク位置に対応する位相角θだけ位相シフ
トした出力交流信号（例えばｓｉｎ（ωｔ＋θ））を得
るようにすることも可能である。そのためには、例え
ば、２つのコイルグループを並列配置し、各グループ毎
に位相の異なる交流信号（例えばｓｉｎωｔとｃｏｓω
ｔ）によってそれぞれ該グループ内のコイルを共通に励
磁し、一方のコイルグループの出力をアナログ演算する
ことでｃｏｓθｓｉｎωｔを形成し、他方のコイルグル
ープの出力をアナログ演算することでｓｉｎθｃｏｓω
ｔを形成するようにし、両出力を加算又は減算すれば、
位相シフトした出力交流信号ｓｉｎ（ωｔ＋θ）を得る
ことができる。
【００４９】上記各実施例において、コイル部１０と磁
気応答物質１１との関係を逆にし、コイル部１０を可動
体つまりピストン部３の内部空間５内に配置し、磁気応
答物質１１をセンサ部材４の側に固定するようにしても
よい。上記各実施例に係る本発明のストロークセンサ
は、流体圧シリンダのストローク位置検出装置に限ら
ず、スプール弁のスプール位置検出装置など、その他適
宜の可動体ストローク位置検出装置に適用することがで
きる。また、センサのサイズも、適用する装置のサイズ
に合わせて、大型の堅牢な検出装置として構成すること
もできるし、小型の精密ストローク位置検出装置として
構成することもできる。
気応答物質１１との関係を逆にし、コイル部１０を可動
体つまりピストン部３の内部空間５内に配置し、磁気応
答物質１１をセンサ部材４の側に固定するようにしても
よい。上記各実施例に係る本発明のストロークセンサ
は、流体圧シリンダのストローク位置検出装置に限ら
ず、スプール弁のスプール位置検出装置など、その他適
宜の可動体ストローク位置検出装置に適用することがで
きる。また、センサのサイズも、適用する装置のサイズ
に合わせて、大型の堅牢な検出装置として構成すること
もできるし、小型の精密ストローク位置検出装置として
構成することもできる。
【００５０】
【発明の効果】以上のとおり、この発明によれば、１次
コイルのみを設ければよく、２次コイルは不要であるた
め、小型化の容易な、かつシンプルで安価な構造のスト
ロークセンサを提供することができる。また、複数のコ
イル区間を検出対象の変位方向に沿って順次配列してな
り、磁気応答物質の端部が１つのコイル区間の一端から
他端まで変位する間で該コイル区間の両端間電圧が漸減
（又は漸増）する特性の変化が、各コイル区間毎に順番
に起こるので、各コイル区間毎の両端間電圧をそれぞれ
取り出してそれらを加算及び／又は減算して組合わせる
ことにより、検出対象位置に応じて所定の周期関数特性
に従う振幅をそれぞれ示す複数の交流出力信号（例えば
サイン及びコサイン関数特性に従う振幅をそれぞれ示す
２つの交流出力信号）を容易に生成することができ、利
用可能な位相角範囲を広くとることができる。例えば、
上記のように、０度から３６０度までのフルの位相角範
囲で検出を行うことも可能である。また、これら複数の
交流出力信号における振幅値の相関関係から該振幅値を
規定する所定周期関数（例えばサイン及びコサイン関
数）における位相値を検出することで、検出対象の変位
が微小でも高分解能での位置検出が可能である。
コイルのみを設ければよく、２次コイルは不要であるた
め、小型化の容易な、かつシンプルで安価な構造のスト
ロークセンサを提供することができる。また、複数のコ
イル区間を検出対象の変位方向に沿って順次配列してな
り、磁気応答物質の端部が１つのコイル区間の一端から
他端まで変位する間で該コイル区間の両端間電圧が漸減
（又は漸増）する特性の変化が、各コイル区間毎に順番
に起こるので、各コイル区間毎の両端間電圧をそれぞれ
取り出してそれらを加算及び／又は減算して組合わせる
ことにより、検出対象位置に応じて所定の周期関数特性
に従う振幅をそれぞれ示す複数の交流出力信号（例えば
サイン及びコサイン関数特性に従う振幅をそれぞれ示す
２つの交流出力信号）を容易に生成することができ、利
用可能な位相角範囲を広くとることができる。例えば、
上記のように、０度から３６０度までのフルの位相角範
囲で検出を行うことも可能である。また、これら複数の
交流出力信号における振幅値の相関関係から該振幅値を
規定する所定周期関数（例えばサイン及びコサイン関
数）における位相値を検出することで、検出対象の変位
が微小でも高分解能での位置検出が可能である。
【図１】 本発明に係るストロークセンサの流体圧シリ
ンダ装置における一実施例を示す軸方向断面略図。
ンダ装置における一実施例を示す軸方向断面略図。
【図２】 図１のストロークセンサによる位置検出原理
を説明する図であって、（Ａ）は図１におけるコイル部
と磁気応答物質との配置を抽出して示す外観略図、
（Ｂ）はそのコイル軸方向断面略図、（Ｃ）は該コイル
部に関連する電気回路図。
を説明する図であって、（Ａ）は図１におけるコイル部
と磁気応答物質との配置を抽出して示す外観略図、
（Ｂ）はそのコイル軸方向断面略図、（Ｃ）は該コイル
部に関連する電気回路図。
【図３】 図１、図２の実施例における位置検出動作説
明図であって、（Ａ）は各コイルの出力例を示す図、
（Ｂ）は各コイル出力の演算合成例を示す図。
明図であって、（Ａ）は各コイルの出力例を示す図、
（Ｂ）は各コイル出力の演算合成例を示す図。
【図４】 図１、図２の実施例における磁気応答物質の
先端形状の変形例を示す断面略図。
先端形状の変形例を示す断面略図。
【図５】 本発明に係るストロークセンサの別の実施例
を示す軸方向断面略図。
を示す軸方向断面略図。
【図６】 図５の実施例におけるコイル部に関連する電
気回路図。
気回路図。
【図７】 図５の実施例における位置検出動作説明図で
あって、（Ａ）は各コイルの出力例を示す図、（Ｂ）は
各コイル出力の演算合成例を示す図。
あって、（Ａ）は各コイルの出力例を示す図、（Ｂ）は
各コイル出力の演算合成例を示す図。
【図８】 本発明各実施例における磁気応答物質の先端
形状の変形例とコイル配置の変形例とを示す断面略図。
形状の変形例とコイル配置の変形例とを示す断面略図。
【図９】 本発明各実施例におけるコイル配置の別の変
形例を示す断面略図。
形例を示す断面略図。
【図１０】 本発明各実施例におけるコイル配置の更に
別の変形例を示す断面略図。
別の変形例を示す断面略図。
１ シリンダ装置 ２ シリンダ本体 ３ ピストン部 ４ センサ部材 ５ ピストン部の内部空間 ６ ボビン部 ７ 保護チューブ ８ 磁性体棒 １０ コイル部 １１ 磁気応答物質 １２ 交流電源 ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ，Ｌα，Ｌβ コイル（コイル
区間） ２０，２１， アナログ演算回路 ２２ 位相検出回路 ３１，３１ａ，３１ｂ 磁性体スペーサ
区間） ２０，２１， アナログ演算回路 ２２ 位相検出回路 ３１，３１ａ，３１ｂ 磁性体スペーサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 宏 埼玉県川越市山田896−８ (72)発明者 戸澤 祥二 東京都世田谷区用賀４丁目10番１号 新キ ャタピラー三菱株式会社内 Ｆターム(参考） 2F063 AA02 BA05 CA09 CA10 CA34 CB01 CC09 DA01 DB04 DD05 DD06 EA02 GA03 GA29 GA33 GA36 GA79 LA01 LA02 LA11 LA22 LA23 3H081 AA03 CC25 EE29 GG04 GG15 GG22 GG28
Claims (13)
- 【請求項１】 本体の空間内で該本体に対して相対的に
直線変位する可動体のストローク位置を検出するための
ストロークセンサであって、 前記本体の内部において、該本体の所定端側にて一端が
片持ち支持され、他端が本体の空間内に延びているセン
サ部材と、 前記可動体の内部において、前記センサ部材の侵入を許
すように設けられた内部空間と、 所定の交流信号によって励磁される複数のコイル区間を
前記可動体の直線変位方向に沿って順次配列してなるコ
イル部であって、前記センサ部材または前記可動体の内
部空間の周壁の一方に設けられてなるものと、 前記コイル部に対して相対的に変位するよう、前記セン
サ部材または前記可動体の内部空間の周壁の他方に設け
られてなる磁気応答物質であって、前記可動体のストロ
ーク位置に応じて該磁気応答物質と前記コイル部との相
対的位置が変化し、この相対的位置に応じて各コイル区
間のインダクタンスを変化させ、前記磁気応答物質が１
つのコイル区間の一端から他端まで変位する間で該コイ
ル区間の両端間電圧が漸減又は漸増するようにしたもの
と、を具えたストロークセンサ。 - 【請求項２】 前記各コイル区間の電圧をそれぞれ取り
出し、それらを加算及び／又は減算することにより、前
記ストローク位置に応じて所定の周期関数特性に従う振
幅を示す交流出力信号を生成するアナログ演算回路を更
に備えた請求項１に記載のストロークセンサ。 - 【請求項３】 前記アナログ演算回路は、前記ストロー
ク位置に応じて所定の周期関数特性に従う振幅をそれぞ
れ示す複数の交流出力信号を生成するものであり、該複
数の各交流出力信号の振幅を規定する前記周期関数特性
は所定位相だけ異なる同一特性の周期関数からなる請求
項２に記載のストロークセンサ。 - 【請求項４】 前記生成された複数の交流出力信号を入
力し、該交流出力信号における振幅値の相関関係から該
振幅値を規定する前記所定の周期関数における特定の位
相値を検出し、検出した位相値に基づき前記検出対象の
位置検出データを生成する振幅位相変換部を更に具えた
請求項３に記載のストロークセンサ。 - 【請求項５】 前記複数の交流出力信号は、検出対象位
置に応じてサイン期関数特性に従う振幅を示す交流出力
信号と、検出対象位置に応じてコサイン期関数特性に従
う振幅を示す交流出力信号とからなる請求項３又は４に
記載のストロークセンサ。 - 【請求項６】 前記コイル部が前記センサ部材の側に設
けられ、前記磁気応答物質が前記可動体の内部空間の周
壁の側に設けられている請求項１乃至５のいずれかに記
載のストロークセンサ。 - 【請求項７】 前記センサ部材は、磁性体を含むボビン
部を含み、このボビン部に前記コイル部の各コイルが嵌
め込まれている請求項６に記載のストロークセンサ。 - 【請求項８】 前記ボビン部は、非磁性体からなる筒部
と、筒部内に収納された１又は複数の磁性体棒とからな
る請求項７に記載のストロークセンサ。 - 【請求項９】 前記ボビン部における磁性体又は磁性体
棒は、その表面に導電体被膜が形成されてなることを特
徴とする請求項６又は７に記載のストロークセンサ。 - 【請求項１０】 前記センサ部材は、前記コイル部を嵌
め込んでなる芯棒と、隣接する各コイル区間の端部間に
介在する磁性体スペーサとを含む請求項６に記載のスト
ロークセンサ。 - 【請求項１１】 前記可動体の素材それ自体が前記磁気
応答物質からなっている請求項６に記載のストロークセ
ンサ。 - 【請求項１２】 前記磁気応答物質は、磁性体又は導電
体の少なくとも一方を含む請求項１乃至１１のいずれか
に記載のストロークセンサ。 - 【請求項１３】 前記コイル部は、前記可動体の直線変
位方向に沿って延びた実質的に１つのコイルからなり、
この１つのコイルの所定の中間位置から出力端子をそれ
ぞれ導き出すことで、該１つのコイルによって前記複数
のコイル区間が形成されてなる請求項１乃至１２のいず
れかに記載のストロークセンサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24976899A JP2001074006A (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | ストロークセンサ |
| US09/653,424 US6512360B1 (en) | 1999-03-15 | 2000-08-31 | Self-induction-type stroke sensor |
| DE60019044T DE60019044T2 (de) | 1999-09-03 | 2000-08-31 | Hubsensor der selbstinduktiven Art |
| EP00118865A EP1081390B1 (en) | 1999-09-03 | 2000-08-31 | Self-induction-type stroke sensor |
| KR1020000051734A KR100654790B1 (ko) | 1999-09-03 | 2000-09-01 | 스트로크 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24976899A JP2001074006A (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | ストロークセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001074006A true JP2001074006A (ja) | 2001-03-23 |
Family
ID=17197950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24976899A Pending JP2001074006A (ja) | 1999-03-15 | 1999-09-03 | ストロークセンサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1081390B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001074006A (ja) |
| KR (1) | KR100654790B1 (ja) |
| DE (1) | DE60019044T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009204348A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Panasonic Electric Works Co Ltd | ポジションセンサ |
| JP2009204346A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Panasonic Electric Works Co Ltd | ポジションセンサ |
| CN102007366A (zh) * | 2007-06-27 | 2011-04-06 | 布鲁克斯自动化公司 | 多维位置传感器 |
| US8659205B2 (en) | 2007-06-27 | 2014-02-25 | Brooks Automation, Inc. | Motor stator with lift capability and reduced cogging characteristics |
| US9024488B2 (en) | 2007-06-27 | 2015-05-05 | Brooks Automation, Inc. | Robot drive with magnetic spindle bearings |
| JP2017009306A (ja) * | 2015-06-17 | 2017-01-12 | 株式会社理研計器奈良製作所 | 変位センサ |
| US9752615B2 (en) | 2007-06-27 | 2017-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor |
| US11002566B2 (en) | 2007-06-27 | 2021-05-11 | Brooks Automation, Inc. | Position feedback for self bearing motor |
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| FR2831225B1 (fr) * | 2001-10-24 | 2004-01-02 | Snecma Moteurs | Dispositif electrohydraulique de changement de pas d'helice |
| DE10155063A1 (de) * | 2001-11-09 | 2003-05-22 | Wabco Gmbh & Co Ohg | Induktiver Wegsensor, integriert in einen Hydrospeicher |
| KR100496682B1 (ko) * | 2002-07-25 | 2005-06-22 | 현대모비스 주식회사 | 페달의 작동 측정장치 |
| US7023199B2 (en) | 2002-12-31 | 2006-04-04 | Caterpillar Inc. | Position sensing cylinder cap for ease of service and assembly |
| US7121185B2 (en) | 2004-05-28 | 2006-10-17 | Caterpillar Inc. | Hydraulic cylinder having a snubbing valve |
| FR2877084B1 (fr) * | 2004-10-27 | 2007-02-23 | Electricfil Automotive Soc Par | Dispositif pour detecter au moins la position d'une cible mobile |
| DE102005020506A1 (de) | 2005-04-29 | 2006-11-09 | TRüTZSCHLER GMBH & CO. KG | Vorrichtung an einem Streckwerk einer Spinnereimaschine, insbesondere Strecke, Karde, Kämmmaschine o. dgl., zur Belastung der Streckwerkswalzen, mit mindestens einem Druckmittelzylinder |
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| JP2011514652A (ja) | 2007-07-17 | 2011-05-06 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
| WO2016051592A1 (ja) * | 2014-10-03 | 2016-04-07 | 株式会社エスジー | 位置検出装置 |
| CN116247766A (zh) * | 2021-03-15 | 2023-06-09 | 荣耀终端有限公司 | 无线充电系统、芯片和无线充电电路 |
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| US4371496A (en) * | 1980-06-18 | 1983-02-01 | Westinghouse Electric Corp. | Position indication system |
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1999
- 1999-09-03 JP JP24976899A patent/JP2001074006A/ja active Pending
-
2000
- 2000-08-31 DE DE60019044T patent/DE60019044T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-31 EP EP00118865A patent/EP1081390B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-01 KR KR1020000051734A patent/KR100654790B1/ko not_active IP Right Cessation
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