JP2017009306A - 変位センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 測定対象物の構成等にかかわらず、測定対象物の変位の検出範囲を拡大することができる変位センサを提供する。
【解決手段】 筒状のボビン17に巻回されて形成される中空孔13aを有するコイル13と、コイル13に交流信号を供給して磁束を発生させる発振回路と、測定対象物の変位に伴ってコイル13の軸方向に変位することによって、コイル13の中空孔13a内へ出入自在に設けられる棒状のプローブ14と、コイル13による磁束がプローブ14を通過することによりプローブ14の表面に発生する渦電流の大きさによって変化するコイル13のインピーダンスに基づいて、測定対象物の変位を検出する変位検出手段とを備える変位センサ1。
【選択図】図3
【解決手段】 筒状のボビン17に巻回されて形成される中空孔13aを有するコイル13と、コイル13に交流信号を供給して磁束を発生させる発振回路と、測定対象物の変位に伴ってコイル13の軸方向に変位することによって、コイル13の中空孔13a内へ出入自在に設けられる棒状のプローブ14と、コイル13による磁束がプローブ14を通過することによりプローブ14の表面に発生する渦電流の大きさによって変化するコイル13のインピーダンスに基づいて、測定対象物の変位を検出する変位検出手段とを備える変位センサ1。
【選択図】図3
Description
本発明は、測定対象物の変位を測定する渦電流効果を利用した変位センサに関する。
従来から、金属で構成された測定対象物の変位を測定するために、渦電流効果を利用した渦電流式変位センサが知られている。このような渦電流式変位センサは、測定対象物に対してコイルの中心軸が対向するようにコイルが配設され、このコイルに対して発振回路から高周波の交流信号が供給されることによって、コイルから高周波の磁束が発生するように構成されている。そして、渦電流式変位センサでは、測定対象物がこのコイルによる磁束に近づくと、磁束が測定対象物を通過することにより測定対象物の表面に渦電流を発生させる。この渦電流の大きさは、コイルと測定対象物との距離に対応しており、渦電流の大きさによってコイルのインピーダンスが変化するので、渦電流式変位センサでは、例えば、このインピーダンス変化を発振回路出力の電圧変化として取り出して、測定対象物の変位を求めている。
また、測定対象物の変位量を高分解能で検出するために、コイルの空芯部に長手軸方向に断面積が変化する円錐状の磁性体のプローブを挿入させて配置する変位センサも提案されている(例えば、特許文献1参照)。この変位センサでは、プローブが、長手軸方向にコイルの空心部内で変位することによるコイルのインダクタンスの変化を検出し、その検出値を変位量に変換することでプローブの変位量を求めている。
しかしながら、従来のコイルに測定対象物を近づける渦電流式変位センサの場合には、検出できる測定対象物の変位の範囲が短く、長い距離は測定できない。また、コイルの径を大きくすれば、それに比例して距離が長くなるが、その場合には周囲の部材や配線等に接触してしまう虞等があるため、取り付け位置が限定されると共に、応答速度も遅くなるため、用途が非常に限定される。また、特許文献1のように、測定対象物の変位量を検出するために、長手方向に断面積が変化する円錐状のプローブを用いた場合には、プローブの後端側の断面積は大きくなるため、コイルの空芯部の径の大きさもそれに応じて大きくする必要があるので、取り付け位置が限定される。また、プローブの後端側の断面積とコイルの空芯部の径の大きさによっては、プローブの変位量が制限されるため、長い距離を測定することができない虞がある。
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであって、測定対象物の構成等にかかわらず、測定対象物の変位の検出範囲を拡大することができる変位センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る変位センサは、筒状のボビンに巻回されて形成される中空孔を有するコイルと、前記コイルに交流信号を供給して磁束を発生させる発振回路と、測定対象物の変位に伴って前記コイルの軸方向に変位することによって、前記コイルの前記中空孔内へ出入自在に設けられる棒状のプローブと、前記コイルによる前記磁束が前記プローブを通過することにより前記プローブの表面に発生する渦電流の大きさによって変化する前記コイルのインピーダンスに基づいて、前記測定対象物の変位を検出する変位検出手段と、を備えることを特徴としている。
また、本発明に係る変位センサでは、前記コイルが複数に分割され、測定対象物の変位を精度良く検出することを特徴としている。
また、本発明に係る変位センサは、前記コイルが、前記中空孔を除き筐体に収容されていることを特徴としている。
また、本発明に係る変位センサは、前記測定対象物が、不動部に対向して往復運動を行う可動部であって、前記プローブは、前記可動部又は前記不動部のいずれかに取り付けられることを特徴としている。
本発明に係る変位センサによれば、測定対象物の変位に伴ってコイルの軸方向に変位することによって、コイルの中空孔内へ出入自在に設けられる棒状のプローブを備えているので、測定対象物の構成等によってプローブの取り付け位置が制限を受けることがなく、測定対象物の変位の検出範囲を拡大することができる。また、コイルの軸方向の長さ及びプローブの長さを調節することで、様々な測定対象物の変位の検出に容易に対応することができる。
また、本発明に係る変位センサによれば、コイルが複数に分割され、発振回路および変位検出手段をそれぞれ備え、測定対象物の変位の検出精度を向上させることができる。
また、本発明に係る変位センサによれば、コイルを、中空孔を除き磁性体の筐体に収容すれば、外部からの磁場の影響等を防止することができ、測定対象物の変位の検出精度を向上させることができる。
また、本発明に係る変位センサによれば、測定対象物は、不動部に対向して往復運動を行う可動部であって、プローブは、可動部又は不動部に取り付けられるので、コイルから可動部又は不動部までの距離が長く、可動部の変位量が大きい場合でも、可動部の変位を精度良く検出することができる。
以下、本発明に係る変位センサの実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本発明に係る変位センサ1は、例えば測定対象物として、プレス機械等の工作機械に備えられる往復運動を行う可動部等の変位量を検出するためのものである。本実施形態に係る変位センサ1は、図1に示すように、プレス機械2の動的精度を測定するためにプレス機械2の往復運動を行う可動部であるスライド3の変位量を検出するように設けられている。
この変位センサ1が設けられるプレス機械2は、図1に示すように、下型4が保持されるボルスタ(不動部)5と、このボルスタ5に対向して配置され、ボルスタ5の上方で上下方向に昇降可能に上型6を保持するスライド(可動部)3を備えている。プレス機械2は、上型6の下面にスプリング7を介してストリッパ8が取り付けられており、このストリッパ8が、スライド3の下降に伴って上型6と共に下降し、下型4との間で被加工材料9を挟んで押さえるようになっている。そして、更にスライド3と共に上型6が下降することにより上型6に取り付けられているパンチ10によって被加工材料9が打ち抜かれる。この打ち抜きによるカス11は、下型4に形成されたカス穴12へ落下するようになっている。
変位センサ1は、図1〜図3に示すように、中空孔13aを有するコイル13と、スライド3の変位に伴ってコイル13の軸方向に変位することによって、コイル13の中空孔13a内へ出入自在に設けられる円柱状のプローブ14と、コイル13に交流信号を供給して磁束Φを発生させる発振回路15と、コイル13による磁束Φがプローブ14を通過することによりプローブ14の表面に発生する渦電流の大きさによって変化するコイル13のインピーダンスに基づいて、スライド3の変位を検出する変位検出手段16とを備えている。尚、図1及び図3では、発振回路15及び変位検出手段16は、省略して図示している。
コイル13は、例えば、図1に示すように、ボルスタ5に支持部材18を介して固定された状態で取り付けられている。このコイル13は、図3に示すように、筒状のボビン17に巻回されて、中空孔13aを有するように形成されている。
ボビン17は、例えば、絶縁性を有する樹脂材料等によって形成されており、図3に示すように、両端が開口している長尺な円筒状の胴部17aと、この胴部17aの両端の外周から軸方向に直交して外側へ突出するように設けられる略円形状の鍔部17b、17cとを備えている。胴部17aの内径(中空孔13aの径)D1は、スライド3の変位に伴ってプローブ14が中空孔13a内に出入できるように、プローブ14の外径D2よりも大きく形成されている。また、ボビン17の胴部17aに巻回されるコイル13は、軸方向の長さH1が、プローブ14の可動範囲(スライド3のストローク)よりも長くなるように設けられている。また、詳しくは図示しないが、コイル13は、同軸ケーブルに接続されており、この同軸ケーブルを介して発振回路15等に接続されている。尚、本実施形態に係る変位センサ1では、1つのボビン17に1つのコイル13が巻回されている例を示しているが、これに限定されるものではなく、発振回路15からコイル13に交流信号が供給されることにより、図2に示すような磁束Φを発生できるように構成されていれば良く、例えば、軸方向に複数のボビン17を配設しておき、それぞれにコイル13を巻回することによって軸方向に複数に分割してコイル13を設けるようにしても良い。また、1つのボビン17に複数のコイル13を巻回するようにしても良い。また、コイル13の軸方向の長さH1は、プローブ14の可動範囲(スライド3のストローク)に依らず、必要な長さだけでも良い。
このようなコイル13は、例えば、図3に示すように、中空孔13aを除いて筐体19に収容される。この筐体19としては、例えば、外部からの磁場の影響等を排除して検出精度を向上させるために、磁性体材料で形成されているものを用いることができる。筐体19は、図3に示すように、両端が開口している長尺な円筒状の円筒部19aと、円筒部19aのプローブ14が中空孔13aへ挿入される側の反対側の端部(図3中の下端)の開口を閉塞する円盤状の底部19bとを有している。円筒部19aのプローブ14が中空孔13aへ挿入される側の端部(図3中の上端)の開口は、その大きさがボビン17の内径(中空孔13aの径)と略同一に形成され、中心が中空孔13aの中心と一致するように設けられている。尚、本実施形態では、コイル13が筐体19に収容されている例を示しているが、これに限定されるものではなく、外部から磁場等の影響を受ける虞が少なく、検出精度が維持できる場合には、筐体19を設けなくても良い。また、筐体19の形状や材質は、これに限定されるものではなく、例えば、樹脂材料を用いても良い。
プローブ14は、図1に示すように、スライド3の変位に伴ってコイル13の軸方向に変位するように、スライド3に支持部材20を介して取り付けられている。このプローブ14は、例えば、鉄等の磁性金属によって円柱状に形成されている。プローブ14は、スライド3の変位に応じて、コイル13の中空孔13a内に非接触で出入できるように、外径(底面の直径)D2が中空孔13aの径D1よりも小さく形成されている。このようなプローブ14が中空孔13a内に挿入されると、コイル13のインピーダンスが増加し、発振回路15の共振点からずれて、発振が停止してしまったり、その反面、増加が少なすぎると検出出力が小さくなり、精度を十分に取れなくなる。この相反する条件を両立させるためには、例えば、図5に示すように、コイル13を変位方向に分割し、分割したそれぞれのコイル13に発振回路15および変位検出手段16をそれぞれ備えることが好ましい。
また、プローブ14は、可動範囲を最大限移動した場合でも、コイル13の中空孔13a内に挿入される側の端部(図3中の下端)が、中空孔13a内の最下位値まで移動しないように、長さH2が調節されて、スライド3に支持部材20を介して取り付けられている。尚、プローブ14の形状は、円柱状に限定されるものではなく、多角柱を含む、コイル13の中空孔13a内に非接触で出入できるような棒状あるいは板状等であればよく、スライド3の変位と変位検出手段16の出力の関係を事前に測定しておけば、断面積が変位方向に変化するものであってもよい。
このような変位センサ1を用いてスライド3の変位を検出する場合には、図2に示すように、発振回路15から高周波の交流信号をコイル13に対して供給することによって、コイル13に高周波の磁束Φを発生させる。この際に発振回路15からコイル13に対して供給する交流信号の発振周波数としては、例えば、100k〜1MHzの範囲が好ましい。このように発振回路の発振周波数を高くすることにより、スライド3の変位の応答速度を向上させることができる。
変位センサ1では、スライド3の変位に伴ってプローブ14がコイル13の軸方向に変位し、中空孔13a内へと近づくと、コイル13による磁束Φがプローブ14を通過することによりプローブ14の表面にコイル13が発生する磁界を打ち消すように渦電流が発生し、コイル13とプローブ14との距離に応じてコイル13のインピーダンスが変化する。そして、変位検出手段16では、このインピーダンスの変化を発振回路15の出力の電圧変化として取り出して、この出力信号を整流回路16aによって整流し、その後、平滑化回路16bによって整流後の信号を平滑化することにより、プローブ14の変位に対応した直流電圧に変化することによって、プローブ14の変位量と同じ変位量となるスライド3の変位量が検出される。尚、変位検出手段16による変位量の検出の仕方は、これに限定されるものではなく、従来公知の検出方法を適宜用いても良い。また、本発明に係る変位センサ1は、上述の構成及び用途に限定されるものではなく、渦電流効果を利用して変位を検出するための様々な装置に適用することができる。
また、本実施形態に係る変位センサ1では、図1に示すように、コイル13は、ボルスタ5に支持部材18を介して固定された状態で取り付けられており、プローブ14は、スライド3に支持部材20を介して取り付けられてるが、コイル13とプローブ14の取り付け位置を入れ替えるように構成しても良い。
また、本実施形態に係る変位センサ1では、円柱状のプローブ14を用いており、コイル13の中空孔13a内にスライド3の変位に伴ってプローブ14が出入自在である例を示しているが、図4に示すように、中空孔21aを有するように筒状に形成されるプローブ21をコイル13の軸方向へ変位するようにスライド3に配設しておき、スライド3の変位に伴ってプローブ21がコイル13の周囲を覆うように構成しても良い。尚、この場合には、プローブ21の内径(中空孔21aの径)は、ボビン17の鍔部17bの直径よりも大きく形成される。また、図4では、コイル13を筐体19に収容していない例を示しているが、図3の構成と同様にコイル13は筐体19に収容されていても良い。
尚、本発明の実施の形態は上述の形態に限るものではなく、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲で適宜変更することができる。
1 変位センサ
2 プレス機械
3 スライド(可動部)
5 ボルスタ(不動部)
13 コイル
13a 中空孔
14 プローブ
15 発振回路
16 変位検出手段
17 ボビン
19 筐体
Φ 磁束
2 プレス機械
3 スライド(可動部)
5 ボルスタ(不動部)
13 コイル
13a 中空孔
14 プローブ
15 発振回路
16 変位検出手段
17 ボビン
19 筐体
Φ 磁束
Claims (4)
- 筒状のボビンに巻回されて形成される中空孔を有するコイルと、
前記コイルに交流信号を供給して磁束を発生させる発振回路と、
測定対象物の変位に伴って前記コイルの軸方向に変位することによって、前記コイルの前記中空孔内へ出入自在に設けられる棒状のプローブと、
前記コイルによる前記磁束が前記プローブを通過することにより前記プローブの表面に発生する渦電流の大きさによって変化する前記コイルのインピーダンスに基づいて、前記測定対象物の変位を検出する変位検出手段と、を備えることを特徴とする変位センサ。 - 前記コイルは、複数のコイルから構成されることを特徴とする請求項1に記載の変位センサ。
- 前記コイルは、前記中空孔を除き筐体に収容されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位センサ。
- 前記測定対象物は、不動部に対向して往復運動を行う可動部であって、
前記プローブは、前記可動部又は前記不動部のいずれかに取り付けられることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の変位センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015121789A JP2017009306A (ja) | 2015-06-17 | 2015-06-17 | 変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015121789A JP2017009306A (ja) | 2015-06-17 | 2015-06-17 | 変位センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017009306A true JP2017009306A (ja) | 2017-01-12 |
Family
ID=57761389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015121789A Pending JP2017009306A (ja) | 2015-06-17 | 2015-06-17 | 変位センサ |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001074006A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-03-23 | Amitec:Kk | ストロークセンサ |
JP2001336906A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Chuo Spring Co Ltd | 電磁誘導型変位検出装置 |
-
2015
- 2015-06-17 JP JP2015121789A patent/JP2017009306A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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JP2001336906A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Chuo Spring Co Ltd | 電磁誘導型変位検出装置 |
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