JP2009020048A - 接触式センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】エネルギー消費を抑制しつつ、接触子を被測定物に押し付ける力を変化させることができ、かつ任意の測定方向において使用できる小型の接触式センサを提供する。
【解決手段】軸12の軸端に設けられるとともにシリンダ1の外部に突出した接触子13と、接触子13とは反対側の軸端に設けられる第1の永久磁石14と、シリンダ1に固定されるとともに軸12と摺接し、軸12を軸の長手方向に案内する直動軸受8と、軸12の長手方向の位置を測定するセンサ素子10と、磁性体で構成された磁心3に絶縁電線による巻線4を捲回することにより形成されるとともに、第1の永久磁石14と対向しかつ磁界の向きが第1の永久磁石14と反対方向となるように設けられた電磁石5と、磁界の向きが第1の永久磁石14と反対方向でかつ電磁石5と同一となるよう磁心3に設けられた第2の永久磁石7とを備えた接触式センサ。
【選択図】図1
【解決手段】軸12の軸端に設けられるとともにシリンダ1の外部に突出した接触子13と、接触子13とは反対側の軸端に設けられる第1の永久磁石14と、シリンダ1に固定されるとともに軸12と摺接し、軸12を軸の長手方向に案内する直動軸受8と、軸12の長手方向の位置を測定するセンサ素子10と、磁性体で構成された磁心3に絶縁電線による巻線4を捲回することにより形成されるとともに、第1の永久磁石14と対向しかつ磁界の向きが第1の永久磁石14と反対方向となるように設けられた電磁石5と、磁界の向きが第1の永久磁石14と反対方向でかつ電磁石5と同一となるよう磁心3に設けられた第2の永久磁石7とを備えた接触式センサ。
【選択図】図1
Description
本発明は、接触式センサに関し、更に特定的には表面粗さ測定装置や突き押し強度測定装置等に使用される接触式センサに関する。
接触子を被測定物に接触させて被測定物の表面粗さや突き押し強度を測定する測定装置において、接触式センサが広く用いられている。接触式センサは接触子を被測定物に押し当てることにより、接触子に締結されている軸の位置が変位し、かかる変位をセンサ端子により検出することにより、被測定物の表面粗さを測定することができる。また、接触子を被測定物に押し付ける力を算出することにより、資料の突き押し強度を測定することもできる。
従来、接触子を被測定物に押し付ける力として、接触子および軸にかかる重力を利用した形式の接触式センサが用いられている。しかし同式の接触式センサは被測定物に対して接触子を鉛直方向からしか押し当てることができないため、例えば鉛直方向に設置された壁の表面荒さなどを測定することは困難である。また、軸や接触子を取り替えることなく接触子を被測定物に押し付ける力を変化させることができないため、1つの接触式センサで強度の大きく異なる被測定物の突き押し強度を測定することは困難である。
かかる問題点を解決するため、空気アクチュエータを内蔵した形式の接触式センサが知られている。同形式の接触式センサは空気アクチュエータにより生じた空気圧により接触子を被測定物に押し付ける力を発生させているので、重力方向にかかわらず使用することができる。また、空気圧を変えることにより接触子を被測定物に押し付ける力を変えることができるので、強度の異なる被測定物の突き押し強度を容易に測定できる。
また、板ばねおよび電磁石を内蔵した形式の接触式センサが知られている(例えば特許文献1)。同形式の接触式センサは板ばねの弾性および電磁石の反発力により接触子を被測定物に押し付ける力を発生させているので、重力方向にかかわらず使用することができる。また、電磁石の反発力を変えることにより接触子を被測定物に押し付ける力を変えることができるため、強度の異なる被測定物の突き押し強度を容易に測定できる。
特開2007−85815号公報
しかし、空気アクチュエータを内蔵した形式の接触式センサはアクチュエータを使用するため、測定中常に空気を圧縮する必要があり、エネルギー消費が大きい。また、たとえば宇宙空間など、空気がない場所では使用することができない。一方、板ばねおよび電磁石を内蔵した形式の接触式センサも測定中常に電磁石に通電し磁力を発生させる必要があるため、エネルギー消費が大きい。また、電磁石と別に、板ばね等の構造物を接触式センサ内部に設けることが必要であるため、接触式センサが大型化する。
本発明はかかる実情を鑑みなされたもので、エネルギー消費を抑制しつつ、接触子を被測定物に押し付ける力を変化させることができ、かつ空気の有無と無関係に使用でき、更に任意の測定方向において使用できる小型の接触式センサを提供することを課題とする。
本発明にかかる磁気軸受装置は、シリンダと、前記シリンダに挿入された軸と、前記軸の軸端に設けられるとともに前記シリンダの外部に突出した接触子と、前記接触子とは反対側の軸端に設けられる第1の永久磁石と、前記シリンダに固定されるとともに前記軸と摺接し、当該軸を当該軸の長手方向に案内する直動軸受と、前記軸の長手方向の位置を測定するセンサ素子と、磁性体で構成された磁心に絶縁電線による巻線を捲回することにより形成されるとともに、前記第1の永久磁石と対向しかつ磁界の向きが前記第1の永久磁石と反対方向となるように設けられた電磁石と、前記第1の永久磁石に対向するとともに磁界の向きが第1の永久磁石と反対方向となりかつ前記電磁石と同一となるよう前記磁心に設けられた第2の永久磁石とを備える。
上記構成によると、第1の永久磁石に対向するとともに磁界の向きが第1の永久磁石と反対方向となるように設けられた第2の永久磁石を備えるため、第1の永久磁石と第2の永久磁石とが反発力を生じ、接触子を被測定物に押し付ける力として当該反発力を利用する。従って、エネルギー消費を抑制しつつ、接触子を被測定物に押し付ける力を得ることができる。また、前記第1の永久磁石と対向しかつ磁界の向きが第1の永久磁石と反対方向となるように設けられた電磁石を有するため、通電時において電磁石と第1の永久磁石とは反発力を生じ、第1の永久磁石と第2の永久磁石とが生じさせた反発力を補強する。従って接触子を被測定物に押し付ける力を一層強めることができる。また、接触子を被測定物に押し付ける力は空気の有無と無関係に発生するため、当該接触式センサは宇宙など空気の環境でも使用できる。また、接触子を被測定物に押し付ける力は重力に依存しないため、当該接触式センサは、任意の測定方向において使用できる。また、上記特許文献1に示された技術において使用した板ばねが不要となるので、小型の接触式センサとすることができる。
本発明にかかる磁気軸受装置の第2の永久磁石は、第1の永久磁石と対向する磁心の端部に設けられることが好ましい。
上記構成によると、第2の永久磁石を、第1の永久磁石と対向する磁心の端部に設けるため、第2の永久磁石と第1の永久磁石とが最も近接する。従って、同一の反発力を得るために要する第2の永久磁石の磁力が小さくてすみ、第2の永久磁石を小型かつ安価に構成することができる。
上記構成によると、第2の永久磁石を、第1の永久磁石と対向する磁心の端部に設けるため、第2の永久磁石と第1の永久磁石とが最も近接する。従って、同一の反発力を得るために要する第2の永久磁石の磁力が小さくてすみ、第2の永久磁石を小型かつ安価に構成することができる。
本発明にかかる磁気軸受装置の第2の永久磁石は、第1の永久磁石と対向する磁心の端部から磁心内部まで延設して設けられることも好ましい。
上記構成によると、第2の永久磁石を、第1の永久磁石と対向する磁心の端部から磁心内部まで延設して設けるため、第2の永久磁石としてより大きな永久磁石を使用することができる。従って、容易により大きな反発力を発生させることができ、接触子を被測定物に押し付ける力をより強くすることができる。かかる効果は電力を使用せずにできるので、よりエネルギー消費を抑えることができる。
上記構成によると、第2の永久磁石を、第1の永久磁石と対向する磁心の端部から磁心内部まで延設して設けるため、第2の永久磁石としてより大きな永久磁石を使用することができる。従って、容易により大きな反発力を発生させることができ、接触子を被測定物に押し付ける力をより強くすることができる。かかる効果は電力を使用せずにできるので、よりエネルギー消費を抑えることができる。
本発明にかかる磁気軸受装置の電磁石は複数の前記巻線を備えることが好ましい。
複数の巻線を備えることにより、必要に応じて必要な数の巻線のみに通電することができる。従って電磁石の発生する磁力を容易に変化させることができ、接触子を被測定物に押し付ける力を容易に切り替えることができる。よって、同一の接触センサによって、強度の異なる被測定物の突き押し強度を、容易に測定できる。
複数の巻線を備えることにより、必要に応じて必要な数の巻線のみに通電することができる。従って電磁石の発生する磁力を容易に変化させることができ、接触子を被測定物に押し付ける力を容易に切り替えることができる。よって、同一の接触センサによって、強度の異なる被測定物の突き押し強度を、容易に測定できる。
本発明によれば、エネルギー消費を抑制しつつ、接触子を被測定物に押し付ける力を変化させることができ、かつ空気の有無と無関係に使用でき、更に任意の測定方向において使用できる小型の接触式センサを提供することができる。
本発明に係る接触式センサを具体化した実施形態を図1を用いて説明する。
図1に示すように、本実施形態にかかる接触式センサのシリンダ1は略有底円筒状であるとともに、開口部を略円環状の蓋2によって封じられている。
図1に示すように、本実施形態にかかる接触式センサのシリンダ1は略有底円筒状であるとともに、開口部を略円環状の蓋2によって封じられている。
シリンダ1の底部内面には磁心3と磁心3の周りに絶縁電線を捲回して形成されたコイル4からなる電磁石5が、軸の長手方向に磁界を向けて固定されている。なお、磁心3の開口部側の端部には第2の永久磁石7がN極を開口部側に向けて締結されている。また、電磁石5も開口部側がN極となるように捲線されているため、通電時において電磁石5は第2の永久磁石7の磁界を補強する。
シリンダ1の内周面であるとともに開口部側には、略円環状の直動軸受8が固定されている。また、シリンダ1の内周面であるとともに直動軸受8と電磁石5との間にはフランジ状の突出部9を介してセンサ素子10が備えられている。
シリンダ1には略円柱状の軸12が挿入されており、軸12の外周面は直動軸受8の内周面に摺接している。そのため、軸12はシリンダ1内を軸の長手方向に移動可能であるが、ラジアル方向には移動できない。
軸12の一方の末端には接触子13が締結されているとともに、蓋2の中央部の貫通孔15を介してシリンダ1の外部に突出している。軸12の接触子13が締結されている側の端部であってシリンダ1内部に挿入されている部分の外周面には略円環状のストッパ11が備えられている。ストッパ11の径は蓋2の貫通孔15より大きいため、軸12がシリンダ1外部に抜け落ちることを防止している。また、ストッパ11が直動軸受8に当たることにより、軸12がシリンダ内部に深く入り過ぎることも防止される。
軸12の接触子13が締結されている末端の反端側の末端には第1の永久磁石14が設けられている。なお、第1の永久磁石14は、上述した第2の永久磁石7にN極を向けて対向している。軸12の第1の永久磁石14が設けられた端部にはセンサターゲット16が更に設けられており、センサ素子10と対向している。
このような構造の接触センサは測定時において以下のように動作する。
接触子が被測定物に押し当てられると、被測定物からの反力を受けて、接触子および接触子が設けられている軸12が軸の長手方向であるとともにシリンダ1の底部向きに変位する。このとき同時に軸12の端部に設けられたセンサターゲット16も変位し、センサターゲット16の変位をセンサ素子10が検出する。この接触式センサを表面粗さ測定装置に使用するときは、被測定物に当該接触式センサの接触子を押し当てた状態で、接触子の押し当て方向と垂直な方向に等速度でセンサまたは被測定物を移動させ、センサ素子10が検出した変位と時間の関係から、被測定物の表面粗さを算出する。
接触子が被測定物に押し当てられると、被測定物からの反力を受けて、接触子および接触子が設けられている軸12が軸の長手方向であるとともにシリンダ1の底部向きに変位する。このとき同時に軸12の端部に設けられたセンサターゲット16も変位し、センサターゲット16の変位をセンサ素子10が検出する。この接触式センサを表面粗さ測定装置に使用するときは、被測定物に当該接触式センサの接触子を押し当てた状態で、接触子の押し当て方向と垂直な方向に等速度でセンサまたは被測定物を移動させ、センサ素子10が検出した変位と時間の関係から、被測定物の表面粗さを算出する。
接触子を被測定物に押し当てる力は第2の永久磁石7と電磁石5とにより生じる磁界の合力と、第1の永久磁石14とが生じさせる磁界と、第2の永久磁石7および電磁石5と第1の永久磁石14との距離により決定する。ここで、第1の永久磁石14および第2の永久磁石7の磁界の強さは一定であるので、電磁石5に流す電流量を一定にすれば、接触子を被測定物に押し当てる力は、第2の永久磁石7および電磁石5と第1の永久磁石14との距離のみの関数となるため、センサ素子10が検出した変位より算出できる。従って、この接触式センサを突き押し強度測定装置に使用するときは、被測定物に当該接触式センサの接触子を一定速度で押し当て、押し当て強度の変化と時間の関係から、被測定物の突き押し強度を算出する。
上記実施形態の接触式センサによれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)上述したように、上記実施形態において、第1の永久磁石14に対向するとともに磁界の向きが第1の永久磁石14と反対方向となるように設けられた第2の永久磁石7を備えるため、第1の永久磁石14と第2の永久磁石7とに反発力を生じさせる。本実施形態においては、接触子13を被測定物に押し付ける力として、当該反発力を利用する。従って、エネルギー消費を抑制しつつ、接触子13を被測定物に押し付ける力を得ることができる。
(1)上述したように、上記実施形態において、第1の永久磁石14に対向するとともに磁界の向きが第1の永久磁石14と反対方向となるように設けられた第2の永久磁石7を備えるため、第1の永久磁石14と第2の永久磁石7とに反発力を生じさせる。本実施形態においては、接触子13を被測定物に押し付ける力として、当該反発力を利用する。従って、エネルギー消費を抑制しつつ、接触子13を被測定物に押し付ける力を得ることができる。
(2)また、第1の永久磁石14と対向しかつ磁界の向きが第1の永久磁石14と反対方向となるように設けられた電磁石5を有するため、通電時において電磁石5と第1の永久磁石14とは反発力を生じ、第1の永久磁石14と第2の永久磁石7とが生じさせた反発力を補強する。従って、電磁石5に通電することにより接触子を被測定物に押し付ける力をより強めることができる。更に通電する電流を変化させることにより、電磁石5の磁界を変化させ、接触子を被測定物に押し付ける力を変えることもできる。
(3)上記実施形態において、接触子13を被測定物に押し付ける力は重力に依存しないため、上記実施形態にかかる接触式センサは、鉛直方向にかかわらず、任意の測定方向において使用できる。
(4)また、接触子を被測定物に押し付ける力は、空気など外部環境に依存せずに発生する。従って、宇宙空間など空気のない環境でも使用することができる。
(5)本実施形態においては、上記特許文献1に示された技術において用いられた板ばねが不要であるため、特許文献1に示される接触式センサと比して小型の接触式センサとすることができる。
(5)本実施形態においては、上記特許文献1に示された技術において用いられた板ばねが不要であるため、特許文献1に示される接触式センサと比して小型の接触式センサとすることができる。
(6)上記実施形態においては、第2の永久磁石7を、第1の永久磁石14と対向する磁心3の端部に設けるため、第2の永久磁石7と第1の永久磁石14とが最も近接する。従って、同一の反発力を得るために要する第2の永久磁石7の磁力が小さくてすみ、第2の永久磁石を小型かつ安価に構成することができる。
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態においては、第2の永久磁石7を、第1の永久磁石14と対向する磁心3の端部に設けたが、図2に示すように、第2の永久磁石7は、磁心3の端部から磁心内部まで延設して設けてもよい。かかる構成によると第2の永久磁石として、上記実施形態において使用した永久磁石に比して、一層大きな永久磁石を使用することができる。従って、大きな反発力をより容易発生させることができ、接触子13を被測定物に押し付ける力をより強くすることができる。かかる効果は電力を使用せずにできるので、一層エネルギー消費を抑えることができる。
・上記実施形態においては、第2の永久磁石7を、第1の永久磁石14と対向する磁心3の端部に設けたが、図2に示すように、第2の永久磁石7は、磁心3の端部から磁心内部まで延設して設けてもよい。かかる構成によると第2の永久磁石として、上記実施形態において使用した永久磁石に比して、一層大きな永久磁石を使用することができる。従って、大きな反発力をより容易発生させることができ、接触子13を被測定物に押し付ける力をより強くすることができる。かかる効果は電力を使用せずにできるので、一層エネルギー消費を抑えることができる。
・上記実施形態においては、電磁石5は一つのコイル4(巻線)を有しているが、複数のコイル(巻線)を有していても良い。複数の巻線を備えることにより、必要に応じて必要な数の巻線のみに通電することができる。従って電磁石5の発生する磁力を容易に変化させることができ、接触子13を被測定物に押し付ける力を容易に切り替えることができる。よって、同一の接触センサによって、強度の異なる被測定物の突き押し強度を、一層容易に測定できる。
・上記実施形態においては第1の永久磁石14のN極と、第2の永久磁石7および電磁石5のN極とを対向させたが、第1の永久磁石14のS極と、第2の永久磁石7および電磁石5のS極とを対向させてもよい。要するに磁石同士の反発力を利用できれば良い。
本発明は、表面粗さ測定装置や突き押し強度測定装置等に使用される接触式センサに広く利用される。
1…シリンダ、2…蓋、3…磁心、4…コイル、5…電磁石、7…第2の永久磁石、8…直動軸受、9…突出部、10…センサ素子、11…ストッパ、12…軸、13…接触子、14…第1の永久磁石、15…貫通孔、16…センサターゲット。
Claims (4)
- シリンダと、
前記シリンダに挿入された軸と、
前記軸の軸端に設けられるとともに前記シリンダの外部に突出した接触子と、
前記接触子とは反対側の軸端に設けられる第1の永久磁石と、
前記シリンダに固定されるとともに前記軸と摺接し、当該軸を当該軸の長手方向に案内する直動軸受と、
前記軸の長手方向の位置を測定するセンサ素子と、
磁性体で構成された磁心に絶縁電線による巻線を捲回することにより形成されるとともに、前記第1の永久磁石と対向しかつ磁界の向きが前記第1の永久磁石と反対方向となるように設けられた電磁石と、
前記第1の永久磁石に対向するとともに磁界の向きが第1の永久磁石と反対方向となりかつ前記電磁石と同一となるよう前記磁心に設けられた第2の永久磁石とを備えた接触式センサ。 - 前記第2の永久磁石は前記第1の永久磁石と対向する前記磁心の端部に設けられる請求項1に記載の接触式センサ。
- 前記第2の永久磁石は前記第1の永久磁石と対向する前記磁心の端部から前記磁心内部まで延設して設けられる請求項1に記載の接触式センサ。
- 前記電磁石は複数の前記巻線を備える請求項1〜3のいずれか1項に記載の接触式センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007184352A JP2009020048A (ja) | 2007-07-13 | 2007-07-13 | 接触式センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105403142A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-16 | 华中科技大学 | 一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪 |
CN109612930A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-04-12 | 湖北凯乐科技股份有限公司 | 一种线缆表面缺陷探测装置 |
JP2020501168A (ja) * | 2016-11-29 | 2020-01-16 | ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・インスティテュート・フューア・エレクトロニク・ウント・メステクニク | 試験片表面に圧子を侵入移動する間、測定信号を決定する測定デバイス、測定構成及び方法 |
-
2007
- 2007-07-13 JP JP2007184352A patent/JP2009020048A/ja active Pending
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