DE60019044T2 - Hubsensor der selbstinduktiven Art - Google Patents

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Hiroshi Kawagoe-shi Sakamoto
Shoji Tozawa
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Amiteq Co Ltd Hachiouji
Amiteq Co Ltd
Caterpillar Mitsubishi Ltd
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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich generell auf Hubsensoren, die in der Lage sind, eine Hubposition eines Hydraulikzylinders oder eine Schieberposition eines Schieberventils zu detektieren, und insbesondere auf Hubsensoren von der Art, die einen Spulenabschnitt, der durch ein Wechselstromsignal erregbar ist, und eine magnetische Substanz oder einen elektrischen Leiter aufweisen, der in bezug auf den Spulenabschnitt bewegbar ist. Noch spezieller betrifft die vorliegende Erfindung einen Hubsensor der selbstinduktiven Art, der nur Primärspulen verwendet, die durch ein Einphasen-Wechselstromsignal erregbar sind, um Wechselstrom-Ausgangssignale zu erzeugen, die Amplituden-Funktionscharakteristiken einer Vielzahl von Phasen präsentieren, im Ansprechen auf eine zu detektierende Hubposition.
  • Seither waren verschiedene Arten von Positionsdetektorvorrichtungen bekannt, die konzipiert waren, eine Hubposition in einem Hydraulikzylinder oder dergleichen zu detektieren. Von diesen Positiondetektorvorrichtungen sind Zylinder-Positionsdetektorvorrichtungen der induktiven Art, die elektromagnetische Spulen verwenden, beispielsweise aus der Japanischen Gebrauchsmuster-Veröffentlichung Nr. HEI-2-26003 bekannt. Bei jeder dieser herkömmlichen Zylinder-Positionsdetektorvorrichtungen der induktiven Art werden erhabene und vertiefte Abschnitte oder ein Muster einer magnetischen Substanz oder ein elektrischer Leiter zunächst auf der Oberfläche der Kolbenstange ausgebildet und dann wird eine vorgegebene Schutzbeschichtung auf die Oberfläche der Kolbenstange mit den erhabenen und vertieften Abschnitten oder dem Muster einer magnetischen Substanz oder eines elektrischen Leiters aufgebracht. Insbesondere die bekannten Vorrichtungen basieren auf einem Positionsdetektionsschema des Phasenverschiebungstyp, bei dem eine Vielzahl von Primärspulen durch Mehrphasen-Wechselstromsignale (z.B. sinωt und cosωt) erregt werden, die gegeneinander in ihrer elektrischen Phase verschoben sind, und Signale, die durch die Primärspulen auf Sekundärspulen induziert werden, werden zusammen synthetisiert, um ein einziges sekundäres Ausgangssignal zu erzeugen, so dass, aus den erregenden Wechselstromsignalen, eine elektrische Phasen-Differenz von Ausgangssignalen von den Sekundärspulen eine zu detektierende Position des Kolbens anzeigt.
  • Bei den herkömmlichen Zylinder-Positionsdetektorvorrichtungen der induktiven Art mit der Kolbenstangenoberfläche, auf der erhabene und vertiefte Abschnitte oder ein Muster einer magnetischen Substanz oder ein elektrischer Leiter ausgebildet sind, ist die Herstellung und Bearbeitung der Kolbenstange jedoch sehr mühsam und zeitaufwendig. Zudem muß in diesem Fall jede Kolbenstange in einer speziellen Reihenfolgen hergestellt und bearbeitet werden. Daher kann die gleiche Positionsdetektorvorrichtung nicht bei Zylindern von verschiedenen unterschiedlichen Arten und Größen verwendet werden. Ferner zeigt, sogar bei der bearbeiteten Kolbenstange, die den vorgegebenen Beschichtungsprozess durchlaufen hat, die Beschichtung nach mehreren Jahren des Gebrauchs die Tendenz abzublättern aufgrund der Gleitabnutzung, die durch eine wiederholte Hin- und Herbewegung der Kolbenstange verursacht wird, welche zu einer schlechten Haltbarkeit der Kolbenstange führen würde.
  • Um die Nachteile der bekannten herkömmlichen Zylinder-Positionsdetektorvorrichtung der induktiven Art zu vermeiden, wurde eine hochentwickeltere Positiondetektorvorrichtung für einen Hubzylinder beispielsweise in der offengelegten Japanischen Patentveröffentlichung Nr. HEI 10-153203 vorgeschlagen. Die vorgeschlagene Zylinder-Positionsdetektorvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Kolbenstange einen Innenraum für das Eintreten einer Sensorstruktur aufweist, so dass die Erfordernis für das Anwenden einer besonderen Bearbeitung an der Umfangsoberfläche der Kolbenstange entfällt und verschiedene Komponenten der Detektorvorrichtung betriebsbereit von Zylindern verschiedener unterschiedlicher Größen gemeinsam genutzt werden können. Die so ausgelegte vorgeschlagene Zylinder-Positionsdetektorvorrichtung kann auch eine erhöhte Lebensdauer aufweisen, um die Möglichkeit von unerwünschter Gleitabnützung zu vermeiden. Die Sensorstruktur, die in dem Innenraum der Kolbenstange vorgesehen ist, enthält sowohl Primärspulen als auch Sekundärspulen und die Spulenstruktur läßt noch Raum für Verbesserungen.
  • Da nämlich für die Spulenstruktur des Positionssensors der induktiven Art, die bei der herkömmlichen Zylinder-Positionsdetektorvorrichtung verwendet wird, sowohl die Primär- als auch die Sekundärspulen erforderlich sind, nimmt die erforderliche Anzahl der Komponententeile in der Vorrichtung signifikant zu, so dass man an enge Grenzen bei der Reduzierung der Herstellungskosten und Größe der Detektorvorrichtung stoßen würden. Es ist auch ein Positiondetektor bekannt, der derart ausgelegt ist, dass er die Selbstinduktion der Erregerspulen messen kann und die erforderliche Anzahl der Spulen reduzieren kann; eine Phasenänderungsgröße, die einer Verschiebung eines zu detektierenden Objektes entspricht, kann jedoch von diesem Positionsdetektor nur in einem sehr engen Bereich erhalten werden. Somit weist der Positionsdetektor die Probleme auf, dass die Messung der Phasenänderungsgröße tatsächlich schwierig ist und die Detektionsauflösung sehr gering ist, so dass er für den praktischen Gebrauch nie geeignet sein kann.
  • US-A-4 646 012 offenbart einen digitalen Stangenpositionsindikator mit einzelnen diskreten Spulen, die entlang des Bewegungsweges eines länglichen magnetisch permeablen Elements beabstandet sind. Im Ansprechen auf die Bewegung des magnetisch permeablen Elements werden entsprechende Induktivitäten der Spulen hervorgerufen, die auf eine solche Weise variieren, dass während einer Bewegung von einem Ende zum anderen einer besonderen der Spulen eine Spannung über die besondere Spule hervorgerufen wird, die progressiv abnimmt oder zunimmt. Der digitale Stangenpositionsindikator speichert in digitaler Form Kompensationssignale zur automatischen Einstellung der Position in bezug auf die Spulen.
  • DE 39 29 681 A offenbart einen Hubsensor, wie er in dem Oberbegriff des neuen Anspruchs 1 vorgetragen ist.
  • Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Hubsensor der selbstinduktiven Art bereitzustellen, der kompakt in der Größe und einfach im Aufbau ist, einen breiteren detektierbaren Hubbereich bereitstellt und auch eine Hochauflösungsdetektion erreicht, sogar wenn die Verschiebung eines zu detektierenden Objektes sehr klein ist.
  • Um das vorher erwähnte Ziel zu erreichen, stellt die vorliegenden Erfindung einen verbesserten Hubsensor bereit, wie er in Anspruch 1 vorgetragen ist.
  • In dem Fall, in dem die vorliegende Erfindung als Hubsonsor für einen Hydraulikzylinder verwendet wird, entspricht der vorher erwähnte "Körper" dem Zylinderkörper und das vorher erwähnte "bewegbare Element" entspricht der Kolbenstange. In diesem Fall wird das Sensorelement an einem Ende ausragend an einem vorgegebenen Ende des Zylinderkörpers auf solche Weise gehalten, dass sich sein anderes Ende in den Raum des Zylinderkörpers erstreckt. Der Kolben und die Kolbenstange, i.e. das bewegbare Element, weist ferner einen in ihrem Innern ausgebildeten Innenraum auf, der dem Sensorelement das Eintreten in das bewegbare Element ermöglicht. Eine derartige Struktur ist dem ähnlich, was in der offengelegten Japanischen Patentveröffentlichung Nr. HEI 10-153203, die vorher besprochen wurde, veröffentlicht ist, welche, wie darin beschrieben wurde, verschiedene Vorteile bietet, wie beispielsweise Vereinfachung, verbesserte Lebensdauer, Kompaktheit und breitete Anwendungsmöglichkeiten der Struktur. Die Hubpositionsdetektion wird hier durch Detektieren, in Entsprechung zu den Induktionsgesetzen, von relativen Positionen des Spulenabschnitts und einer auf Magnetismus ansprechenden Substanz, die zur relativen Verschiebung des Spulenabschnitts vorgesehen ist, auf der Grundlage von Ausgangsspannungen bewirkt, die Induktivitätsänderungen der einzelnen Spulensegmente entsprechen, die im Ansprechen auf Änderungen von relativen Positionen des Spulenabschnitts und der auf Magnetismus ansprechenden Substanz auftreten. Falls die vorliegende Erfindung als Schieberventil-Positionsdetektorvorrichtung verwendet wird, entspricht andererseits das vorher erwähnte "bewegbare Element" dem Schieber.
  • Ist beispielsweise der Spulenabschnitt auf dem Sensorelement vorgesehen, ist in diesem Fall die auf Magnetismus ansprechende Substanz an der inneren Umfangswand des bewegbaren Elements, die den Innenraum definiert, vorgesehen. Wenn das Material des bewegbaren Elements selbst eine vorgegebene auf Magnetismus ansprechende Substanz aufweist, dann arbeitet die innere Umfangswand des bewegbaren Elements, die den Innenraum definiert, selbst als die vorher erwähnte auf Magnetismus ansprechende Substanz, weshalb daher die Erfordernis für das Bereitstellen einer getrennten auf Magnetismus ansprechenden Substanz, die nicht die innere Umfangswand ist, entfällt. Falls das Material des bewegbaren Elements selbst nicht eine vorgegebene auf Magnetismus ansprechende Substanz aufweist, muß eine solche vorgegebene auf Magnetismus ansprechende Substanz getrennt an der inneren Umfangswand des bewegbaren Elements, die den Innenraum definiert, vorgesehen werden. Im Gegensatz dazu kann der Spulenabschnitt auf der inneren Umfangswand des bewegbaren Elements, die den Innenraum definiert, der auf dem Sensor vorgesehen ist, vorgesehen sein und die auf Magnetismus ansprechende Substanz kann auf dem Sensorelement vorgesehen sein, da die Positionsbeziehung zwischen dem Spulenabschnitt und der auf Magnetismus ansprechenden Substanz umgekehrt werden kann, ohne Unanehmlichkeiten mit sich zu bringen.
  • Kennzeichnenderweise kann die auf Magnetismus ansprechende Substanz wenigstens eines der folgenden aufweisen: ein magnetisches Material und/oder einen elektrischen Leiter. In dem Fall, in dem die auf Magnetismus ansprechende Substanz ein magnetisches Material aufweist, nimmt, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz sich näher an oder tiefer in eines der Spulensegmente bewegt, die Selbst-Induktion zu und somit nimmt die Spannung über (i.e., zwischen den gegenüberliegenden Enden des) das Spulensegment progressiv während der Verschiebung der oberen Spitze der auf Magnetismus ansprechenden Substanz von einem Ende zu dem anderen Ende dieser Spule zu. Da die Vielzahl der Spulensegmente entlang der Verschiebungsrichtung des bewegbaren Elements, das das Objekt der Positionsdetektion ist, in Serie angeordnet sind, werden hier progressive Zunahme- oder progressive Abnahme-) Änderungen bei den jeweiligen Spannungen der Spulensegmente sequentiell auftreten, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz sich in bezug auf den Spulenabschnitt im Ansprechen auf die Verschiebung des zu detektierenden Objektes bewegt. Wenn Kombinationen der progressiven Zunahme- (oder progressiven Abnahme-) Änderungen bei den jeweiligen Zwischen-Abgriffspannungen der Spulensegmente verwendet werden, während die Spannungsänderungen als Änderung im partiellen Phasenbereichen von vorbestimmten zyklischen Funktionen betrachtet werden, kann eine Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen erzeugt werden, die Amplituden von vorgegebenen zyklischen Funktionscharakteristiken in Entsprechung zu der Hubposition des zu detektierenden Objektes aufweisen. Die Vielzahl der Wechselstrom-Ausgangssignale, die Amplituden von vorgegebenen zyklischen Funktionscharakteristiken in Entsprechung zu der Hubposition des zu detektierenden Objektes repräsentieren, können durch Abnehmen der jeweiligen Zwischen-Abgriffspannungen der einzelnen Spulensegmente und Durchführen von Addition und/oder Subtraktion zwischen den abgenommenen Spannungen der Spulensegmente erzeugt werden, um dadurch Kombinationen der Zwischen-Abgriffspannungen bereitzustellen.
  • Zum Beispiel kann eine progressiv zunehmende Änderungskurve der Spannung entlang eines der Spulensegmente, welche während der Bewegung der auf Magnetismus ansprechenden Substanz von einem Ende zum anderen des Spulensegments stattfindet, mit einer Funktionswertänderung in einem Bereich von 0° – 90° der Sinusfunktion verglichen werden. Die progressiv zunehmende Änderungskurve kann in eine Änderungskurve, die von einem vorgegebenen Pegel progressiv abnimmt, durch Invertieren der Amplitudenwerte in entsprechende negative Werte und durch Unterziehen der invertierten Amplitudenwerte einer Spannungs-Verschiebungsoperation konvertiert werden, um diesen vorgegebene Pegel hinzuzufügen (Versatzpegel). Eine derartige progressiv abnehmende Änderungskurve kann zum Beispiel mit einer Funktionswertänderung innerhalb eines Bereiches von 90° – 180° der Sinuskurve verglichen werden. Mittels Durchführens einer geeigneten Addition und/oder Subtraktion zwischen den Zwischen-Abgriffspannungen, wie es erforderlich ist, können somit die progressiv zunehmenden Änderungen der Zwischen-Abgriffspannungen, die in seriell angeordneten vier Spulensegmenten auftreten, jeweils mit Funktionswertvariationen in dem Bereich von 0° – 90°, dem Bereich 90° – 180°, dem Bereich 180° – 270° und dem Bereich 270° – 360° der Sinuskurve verglichen werden. Die Neigungsrichtungen der Kurven in den einzelnen Bereichen und Spannungsverschiebungs-Abweichungspegel können, wenn es erforderlich ist, durch geeignete analoge arithmetische Operationen gesteuert werden. Auf diese Weise kann ein erstes Wechselstrom-Ausgangssignal, das eine Amplitude der Sinusfunktionscharakteristiken präsentiert, in Entsprechung zu der Position des zu detektierenden Objektes und eine zweites Wechselstrom-Ausgangsignal erzeugt werden, das eine Amplitude der gleichen Funktioncharakteristiken präsentiert, welche von der Sinusfunktion um 90° phasenverschoben ist.
  • Als bevorzugte Ausführung können zwei Wechselstrom-Ausgangssignale, die jeweils Amplituden der Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken präsentieren, in Entsprechung zu der Position des zu detektierenden Objekts erzeugt werden. Allgemein gesprochen, kann, wenn die Position des zu detektierenden Objektes durch einen Winkel θ bezeichnet wird, das Wechselstrom-Ausgangssignal der Amplitude, das die Sinusfunktioncharakteristiken präsentiert, durch "sinθsinωt" repräsentiert werden, während das Wechselstrom-Ausgangssignal der Amplitude, das die Cosinusfunktioncharakteristiken präsentiert, durch "cosθsinωt" repräsentiert wird. Die Signale sind ähnlich in der Form zu Ausgangssignalen von herkömmlichen Positionsdetektorvorrichtungen, die allgemein als "Koordinatenwandler" bezeichnet werden, und sie können äußerst nutzbringend verwendet werden. Die vorliegende Erfindung kann zum Beispiel einen Amplituden-Phasen-Konvertierungsabschnitt aufweisen, der die Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen, die durch die analoge arithmetische Operationsschaltung erzeugt werden, empfängt und, aus einer Beziehung zwischen Amplitudenwerten in der Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen, besondere Phasenwerte in den vorgegebenen zyklischen Funktionen detektiert, die die Amplitudenwerte definieren, um Daten, die für die Position des zu detektierenden bewegbaren Elements kennzeichnend sind, auf der Grundlage der detektierten besonderen Phasenwerte zu erzeugen.
  • In dem Fall, in welchem das auf Magnetismus ansprechende Element einen guten elektrischen Leiter, wie beispielsweise Kupfer, aufweist, würde die Selbstinduktion der Spulensegmente aufgrund eines Wirbelstromeverlustes abnehmen, so dass während der Bewegung der auf Magnetismus ansprechenden Substanz von einem Ende zu dem anderen eines besonderen der Spulensegmente eine Spannung über das besondere Spulensegment zur progessiven Abnahme veranlaßt wird. Auch in diesem Fall kann die Positionsdetektion auf die gleiche Weise wie in dem vorher beschriebenen Fall ausgeführt werden. Die auf Magnetismus ansprechende Substanz kann als ein Hybrid-Typ vorgesehen sein, welcher eine Kombination des magnetischen Materials und eines elektrischen Leiters aufweist. Als weitere Ausführungsform kann eine Permanentmagnet als die auf Magnetismus ansprechende Substanz verwendet werden und die Spulensegmente können einen magnetischen Kern aufweisen. In einem solchen Fall, wenn der Permanentmagnet, der als die auf Magnetismus ansprechende Substanz wirkt, sich irgendeinem der Spulensegmente nähert, wird ein Abschnitt des magnetischen Kern, der dem Permanentmagnet nahe gekommen ist, magnetisch gesättigt oder übersättigt, was zu einem progressiven Abfall bei der Zwischen-Abgriffspannung der Spulensegmente während der Verschiebung der auf Magnetismus ansprechenden Substanz, i.e. des Permanentmagneten, von einem Ende zu dem anderen des Spulensegments führt.
  • Die in dieser Art und Weise ausgelegte vorliegende Erfindung benötigt somit nur Primärspulen und eine Forderung nach Sekundärspulen kann entfallen. Die Vielzahl von Spulenelementen ist ferner entlang der Verschiebungsrichtung des zu detektierenden Objekts in Serie angeordnet und Veränderungen bei Charakteristiken der Spulensegmente, i.e. progressiv zunehmende (oder progressiv abnehmende) Veränderungen in jeweiligen Zwischen-Abgriffspannungen der Spulensegmente, treten sequentiell auf, wenn die Spitze der auf Magnetismus ansprechenden Substanz sich von einem Ende zu dem anderen einer der Spulen bewegt. Durch Abnehmen der jeweiligen Zwischen-Abgriffspannungen der Spulensegmente und ihrem nachfolgendem Kombinieren durch Addition und/oder Subtraktion derselben, kann somit bequem eine Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen erzeugt werden, die jeweilige Amplituden von vorgegebenen zyklischen Funktionscharakteristiken (z.B., zweier Wechselstrom-Ausgangssignalen, die jeweilige Amplituden der Sinus- und Cosinusfunktionschrakteristiken präsentieren) im Ansprechen auf eine aktuelle Position des zu detektierenden Objekts präsentieren. Somit kann ein breiterer verfügbarer Phasenwinkelbereich durch die vorliegende Erfindung geschaffen werden. Die vorliegende Erfindung gestattet beispielsweise eine Detektion über den vollen 0° – 360° Phasenwinkelbereich, wie im vorhergehenden beschrieben wurde. Ferner erzielt durch Detektieren, aus einer Beziehung zwischen den Anplitudenwerten in der Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignale, von Phasenwerten in den vorgegebenen zyklischen Funktionen (z.B. Sinus- und Cosinusfunktionen), die die Amplitudenwerte definieren, die vorliegende Erfindung eine Hochauflösungsdetektion, auch wenn die Verschiebung des zu detektierenden Objektes sehr klein ist.
  • Zum besseren Verständnis der Ziele und anderer Merkmale der vorliegenden Erfindung werden ihre bevorzugten Ausführungsformen nachfolgend detaillierter unter Bezugnahme auf die anhängenden Zeichnungen beschrieben. In den Zeichnungen ist folgendes gezeigt:
  • 1 ist eine schematische Axialschnittansicht eines Hubsensors in Entsprechung zu einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die bei einer Hydraulikzylindervorrichtung angewendet wird.
  • 2A ist eine schematische Außenansicht des Hubsensors, welcher beispielhaft für Positionsdetektionsgesetze ist, auf welchen der Hubsensor basiert und die eine Anordnung eines in 1 gezeigten Spulenabschnitts und einer auf Magnetismus ansprechenden Substanz im herausgezogenen Zustand zeigt, 2B ist eine schematische Schnittansicht, die längs der Achse des Spulenabschnitts genommen wurde, und 2C ist ein Blockschaltbild, das eine zu dem Spulenabschnitt gehörende elektrische Schaltung zeigt.
  • 3 ist ein Beispiel einer Positionsdetektionsoperation der in 1 und 2 gezeigten Ausführungsform, bei dem Teil (A) ein Diagramm ist, das beispielhaft Ausgaben von Spulen zeigt und Teil (B) ein Diagramm ist, das ein Beispiel einer arithmetischen Synthese von den Ausgaben der einzelnen Spulen zeigt.
  • 4 ist eine schematische Schnittansicht, die eine Modifikation der in 1 und 2 gezeigten auf Magnetismus ansprechenden Substanz zeigt, die insbesondere eine modifizierte Form eines oberen Endabschnitts der auf Magnetismus ansprechenden Substanz zeigt.
  • 5 ist eine schematischer Axialschnittansicht, die eine weitere Ausführungsform des Hubsensors nach der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 6 ist ein Blockschaltbild, das die zu dem Spulenabschnitt gehörende elektrische Schaltung der zweiten Ausführungsform zeigt.
  • 7 ist beispielhaft für eine Positionsdetektionsoperation der in 5 gezeigten zweiten Ausführungsform ist, wobei Teil (A) ein Diagramm ist, das beispielhaft Ausgaben von Seinzelnen pulen zeigt, und Teil (B) ein Diagramm ist, das ein Beispiel einer arithmetischen Synthese von den Ausgaben der einzelnen Spulen zeigt.
  • 8 ist eine schematische Schnittansicht, die eine modifizierte Form des oberen Endabschnitts der auf Magnetismus ansprechenden Substanz und eine modifizierte Anordnung der Spulen zeigt.
  • 9 eine schematische Schnittansicht, die noch eine andere modifizierte Anordnung der Spulen zeigt. Und
  • 10A und 10B sind schematische Schnittansichten, die noch weitere modifizierte Anordnungen der Spulen zeigen.
  • 1 zeigt einen Hubsensor gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, der als Zylinder-Positionsdetektorvorrichtung angebaut ist, und insbesondere ist 1 eine Schnittansicht der Zylinder-Positionsdetektorvorrichtung, die längs der Achse des Zylinders genommen wurde. Die Zylindervorrichtung 1, bei der die Zylinder-Positionsdetektorvorrichtung der vorliegenden Erfindung angewendet wird, kann von irgendeiner Art sein, wie beispielsweise hydraulisch oder pneumatisch. Wie herkömmlicherweise bekannt ist, weist die Zylindervorrichtung 1 einen Zylinderkörper 2 und ein in den Zylinderkörper 2 eingesetztes Kolbenelement 3 zur linearen Bewegung oder Verschiebung in bezug auf den Zylinderkörper 2 auf. Es ist anzumerken, dass die Darstellung einer zum Zylinderkörper 2 in Beziehung stendenden hydraulischen oder pneumatischen Schaltung der Einfachheithalber weggelassen wurde.
  • Innerhalb des Zylinderkörpers 2 wird ein längliches Sensorelement 4 an seinem einen Ende ausragend neben einem geschlossenen Ende 2a des Zylinderkörpers 2 gehalten und das Sensorelement 4 weist ein anderes Ende auf, das sich in einen Raum des Zylinderkörpers 2 auf sein offenes Ende 2b hin erstreckt. Das Kolbenelement 3, das sich linear rückwärts und vorwärts in eine "x"-Richtung innerhalb des Zylinderkörpers 2 bewegt, muß daher ein Berühren des länglichen Sensorelements 4 entsprechend vermeiden. Somit ist ein vorgegebener Innenraum 5 in dem Kolbenelement 3 ausgebildet, um dem Sensorelement 4 einen freien Eintritt zu gestatten.
  • Das Sensorelement 4 weist einen Spulenabschnitt 10 mit einer Vielzahl von Spulensegmenten (in dem dargestellten Beispiel, vier Spulensegmente LA, LB, LC und LD) auf, die durch ein vorgegebenes Einphasen-Wechselstromsignal erregbar sind, und diese Spulensegmente sind längs der linearen Bewegungsrichtung x des Kolbenelements 3 in Serie angeordnet. Speziell der Spulenabschnitt 10 mit der Vielzahl von Spulensegmenten LA, LB, LC und LD ist um einen Spulenabschnitt 6 gewunden und sein Außenumfang ist mit einem nicht-magnetischen oder nichtelektrisch leitenden Schutzrohr (oder Beschichtung oder Form) 7 bedeckt. Obgleich das Schutzrohr 7 aus irgendeinem geeigneten Material hergestellt sein kann, wird bevorzugt, dass das Rohr 7 ein thermisch kontrahierbares Rohr ist, das wegen der geringen Kosten aus einem Isolierkunstharz hergestellt ist. Da die Spulensegmente LA, LB, LC und LD durch das vorgegebene Einphasen-Wechselstromsignal erregt werden, müssen sie nicht notwendigerweise physikalisch getrennte Spulen sein und können aus einer im wesentlichen einzelnen Spule als eine Gesamtheit ausgebildet sein. Die einzelne Spule kann nämlich in eine Vielzahl von Zwischenpositionen in Entprechung zu den Spulensegmenten LA, LB, LC und LD unterteilt sein und Ausgangsanschlüsse oder Abgriffstellen können bei den Zwischenpositionen vorgesehen sein, um dadurch die Spulensegmente LA, LB, LC und LD zu schaffen, die in Serie verbunden sind und durch das vorgegebene Einphasen-Wechselstromsignal erzeugt werden. Die vorliegende Erfindung ist natürlich nicht dahingehend eingeschränkt und die Spulensegmente LA, LB, LC und LD können getrennte Spulen sein, die in Serie verbunden sind und zusammen durch ein vorgegebenes Einphasen-Wechselstromsignal erregt werden oder in der gleichen Phase durch ein vorgegebenes Einphasen-Wechselstromsignal, das über verschiedene Anregungsschaltung geliefert wird. Die einfachste ist jedoch die vorher erwähnte Anordnung, bei der die Einzelspule in eine Vielzahl von Zwischenpositionen in Entsprechung zu den Spulensegmente LA, LB, LC und LD unterteilt ist. Die Spulensegmente LA, LB, LC und LD werden jeweils einfach als eine "Spule" bezeichnet.
  • Der Spulenabschnitt 6 ist in der Form eines nicht-magnetischen Hohlzylinders, in welchen einer oder mehrere Magnetstäbe 8 aufgenommen werden. Die Magnetstäbe 8 erstrecken sich durch die Länge des Spulenabschnitts 10 und und ihre Funktion ist, einen Induktionswert, i.e., eine Inpedanz, längs der gesamten Länge des Spulenabschnitts 10 einzustellen. Die Einstellung eines solchen Induktionswertes längs der gesamten Länge des Spulenabschnitts 10 kann, wie gewünscht, durch eine geeignete Anpassung der Dicke und der Anzahl der Stäbe 8, die in dem Spulenabschnitt 6 aufgenommen werden, geändert werden. Vorzugsweise ist jeder Magnetstab mit Kupfer oder dergleichen beschichtet, um eine elektrisch leitende Beschichtung auf seiner Umfangsoberfläche zu schaffen, so dass die leitende Beschichtung hilft, Temperaturverschiebungscharakteristiken auszugleichen, wie es nachfolgend beschrieben wird. Der Spulenabschnitt 6 kann aus irgendeinem geeigneten Metall oder Kunstharz ausgebildet sein, solange er nur nicht-magnetisch ist. In Fällen, in denen die Zylindervorrichtung 1, die die erfinderische Sensorvorrichtung angewendet, bei großen Baumaschinen oder dergleichen verwendet wird, die relativ großen Belasten ausgesetzt sind, ist es eher vorzuziehen, dass der Spulenabschnitt 6 aus Metal, wie beispielsweise nicht-magnetischem rostfreiem Stahl, gebildet wird, um eine ausreichende mechanische Festigkeit sicherzustellen. Wenn ein Abdeckungselement 9 an dem geschlossenen Ende 2a des Zylinders vorgesehen ist, zum Verschließen und Öffnen des Zylinderkörpers 2 und zum luftdichten und flüssigkeitsdichten Abdichten des Zylinderkörpers 2 und auch zum Schaffen einer solchen Anordnung, die gestattet, ein Einsetzen und Entfernen des Sensorelements 4 in und aus dem Zylinder durch Öffnen des Abdeckungselements 9 durchzuführen, kann eine Installation des Sensorelements 4 in den Zylinder und eine Wartung des Sensorelements 4 sehr einfach durchgeführt werden. Leitungen (nicht gezeigt) des Spulenabschnitts 10 werden durch einen Durchgang (ebenfals nicht gezeigt) durchgeführt, der in einem geeigneten Abschnitt des geschlossenen Endes 2a des Zylinders ausgebildet wird (welcher beispielsweise ein Abschnitt des Abdeckungselements 9 sein kann), und an einen Kontaktanschluß (ebenfalls nicht gezeigt) nach außen gekoppelt.
  • Ferner ist bei der hier beschriebenen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine vorgegebene auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 an der inneren Umfangswandoberfläche des Kolbenelements 3, die den Innenraum 5 definiert, vorgesehen. In 1 ist die in 1 gezeigte auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 von der Art, dass die Substanz 11 visuell von dem auf Magnetismus ansprechenden Material des Kolbenelements 3 unterschieden werden kann. Falls das Kolbenelement 3 jedoch aus dem gleichen Material hergestellt ist wie die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11, darf die innere Umfangswandfläche des Kolbenelements 3 selbst als die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 wirken, ohne eine separate auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 vorzusehen. Wenn ein magnetisches Material als die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 verwendet wird und das Kolbenelement 3 selbst aus einem ferromagnetischen Material, wie beispielsweise Eisen, hergestellt ist, darf die innere Umfangswandfläche des Kolbenelements 3 als die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 wirken, ohne eine separate auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 vorzusehen, wie im vorhergehenden erwähnt wurde; wenn das Kolbenelement 3 jedoch aus einem nicht-magnetischen Material, wie beispielsweise rostfreiem Stahl, hergestellt wird, dann wird eine Manschette eines guten elektrischen Leiters oder ferromagnetischen Materials auf die innere Umfangswandfläche des Kolbenelements 3, die den Inneraum 5 definiert, so angepaßt, dass die Manchette als die vorgegebene auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 wirken kann. In einem solchen Fall kann die innere Umfangswandfläche des Kolbenelements 3, die den Innenraum 5 definiert, mit Kupfer beschichtet sein, um die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 von guter elektrischen Leitfähigkeit zu schaffen.
  • Die folgenden Absätze beschreiben die Grundprinzipien zum Detektieren eines relativen Positionsverhältnisses zwischen dem Spulenabschnitt 10 und der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 bei der vorliegenden Ausführungsform. 2A ist eine schematische Außenansicht, die eine in 1 gezeigte Anordnung von dem Spulenabschnitt 10 und der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 (die innere Umfangswandfläche des Kolbenelements 3) oder das Positionsverhältnis zwischen denselben im herausgezogenen Zustand zeigt, 2B ist eine Schnittansicht, die längs der Achse des Spulenabschnitts 10 genommen wurde, und 2C ist ein Blockschaltbild, das eine zu dem Spulenabschnitt 10 gehörende elektrische Schaltung zeigt. Der Spulenabschnitt 10 weist die vier Spulen LA, LB, LC und LD auf, wobei jede die gleichen Charakteristiken aufweist, wie beispielsweise die gleiche Anzahl von Windungen und die gleiche Spulenlänge, die segentiell oder in Serie längs der Richtung der linearen Bewegung des Kolbenelements 3 angeordnet sind. Wenn das Kolbenelement 3 sich in kontrahierender (Einzugs-Richtung) bewegt, wird sich das stabförmige Sensorelement 4 dazu veranlaßt, sich längs der zylindrisch ausgebildeten auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11, die die inneren Umfangswandfläche bildet, in den Innenraum 5 des Kolbenelements 3 zu bewegen, so dass die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 in die jeweiligen magnetischen Felder der einzelnen Spulen des Spulenabschnitts 10 eintritt. Da in dem dargestellten Beispiel die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich auf das hintere Ende des Spulenabschnitts 10 bewegt, nämlich in der Figur nach rechts, im Ansprechen auf die Bewegung des Kolbenabschnitts 3 in die Einzugsrichtung, tritt die Spitze 11a der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 in das magnetische Feld der Anfangsspule LA zuerst ein und tritt dann in die jeweiligen Felder der anderen Spulen LB, LC und LD sequentiell in der erwähnten Reihenfolge ein. Eine Punkt-und-Strich-Linie 11' in 2B bildet die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 ab, die soweit in das magnetische Feld der letzten Spule (ganz rechte Spule in der Figur) LD vollständig eingetreten ist. Axiale Bereiche, die den vier Spulen LA, LB, LC und LD entsprechen, bilden zusammen den wirksamen Detektionsbereich der Sensorvorrichtung. Wenn nämlich die Länge von jeder der Spulen durch K repräsentiert wird, ist der wirksame Detektionsbereich gleich einem Vierfachen der Länge K, i.e. 4K. Es ist anzumerken, dass, da Detektionsgenauigkeit in Wirklichkeit dazu neigt, an den gegenüberliegenden Enden des wirksamen Detektionsbereiches herabgesetzt zu werden, die gegenüberliegenden Enden des wirksamen Detektionsbereichs nicht zu Detektionszwecken in der vorliegenden Ausführungsform verwendet werden, so dass die tatsächliche Länge des wirksamen Detektionsbereiches ein wenig kürzer als 4K ist.
  • Der eine oder die mehreren Magnetstäbe 8 erstrecken sich axial durch die jeweiligen Kernbereiche der einzelnen Spulen LA, LB, LC und LD. Der eine oder die mehreren Magnetstäbe 8 präsentieren einen maximalen Induktivtätswert, falls die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich nicht ausreichend nahe an dem Spulenabschnitt 10 befindet. Wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich näher zu oder weiter in das magnetische Feld einer der Spulen bewegt, nimmt die Selbstinduktion der Spule ab; somit wird eine Spannung zwischen gegenüberliegenden Enden der Spule progressiv abnehmen, wenn die Spitze 11a der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 von einem Ende zu dem anderen Ende der besagten Spule verschoben wird. Genauer gesagt, falls die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 aus einer magnetischen Substanz ausgebildet ist, bedeckt die magnetische Substanz den Außenumfang der Spule, welche durch die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 umgeben wurde, wodurch ein magnetischer Fluß, der in soweit allein in den magnetischen Kernen 8, nämlich den Stäbe 8, in dem Spulenkernbereich konzentriert war, aus der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 austritt, so dass es zum Abnehmen der Selbstinduktion der Spule führt. Falls weiterhin die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 aus einer elektrisch leitenden Substanz ausgebildet ist, bedeckt die elektrisch leitende Substanz den Außenumfang der Spule, welche durch die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 umgeben wurde und somit findet ein Wirbelstromverlust aufgrund des magnetischen Feldes statt, was auch zu einer Abnahme der Selbstinduktion der Spule führt. Die Verwendung der elektrisch leitenden Substanz als der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 wird mehr bevorzugt, da die Rate der Induktionabnahme, die durch den Wirbelstromverlust in der die Spule umgebenden leitenden Substanz hervorgerufen wird, größer ist als die Raten der Induktionsabnahme, die durch das Austreten des Magnetflusses in die die Spule umgebenden magnetischen Substanz hervorgerufen wird.
  • Wie in 2C gezeigt ist, werden die einzelnen Spulen LA, LB, LC und LD bei konstanter Spannung oder Strom durch ein vorgegebenes Einphasen-Wechselstromsignal (vorläufig durch "sinωt" bezeichnet) erregt, das durch eine Wechselstromenergiequelle 12 erzeugt wurde. Spannungen zwischen den jeweiligen gegenüberliegenden Enden dieser Spulen LA, LB, LC und LD werden in der Figur jeweils mit "VA", "VB", "VC" und "VD" bezeichnet und Abgriffstellen 1418 sind vorgesehen, um diese Spannungen VA, VB, VC und VD abzunehmen. Wie leicht zu verstehen ist, müssen diese Spulen LA, LB, LC und LD nicht notwendigerweise physikalisch getrennte Spulen sein und sie können durch nur eine einzige kontinuierliche Spule ersetzt werden, die in vier Längen oder Spulenabschnitte durch die Zwischenabgriffstellen 1418 unterteilt wird; das heißt, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 14 und 15 arbeitet als die Spule LA, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 15 und 16 arbeitet als die Spule LB, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 16 und 17 arbeitet als die Spule LC und der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 17 und 18 arbeitet als die Spule LD. Die Ausgangsspannungen VA, VB, VC und VD von den einzelnen Spulen werden in vorgegebenen Kombinationen an zwei analoge arithmetische Operationsschaltungen 20 und 21 abgegeben, in welchen sie einer Addition und/oder Subtraktion auf der Grundlage vorgegebener mathematischer Ausdrücke unterzogen werden, wie später detailliert beschrieben wird. Diese analogen arithmetischen Operationsschaltungen 20 und 21 erzeugen so zwei Wechselstrom-Ausgangssignale von Amplituden, die Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken (i.e., zwei Wechselstrom-Ausgangssignale mit Amplitudenfunktionscharakteristiken, die voneinander um 90° phasenverschoben sind) präsentieren, die einer aktuellen Position des zu detektierenden Objektes entsprechen. Zum Zwecke der Veranschaulichung wird das Ausgangssignal von der analogen arithmetischen Operationsschaltung 20 mit sinθsinωt bezeichnet, während das Ausgangssignal von der anderen analogen arithmetischen Operationsschaltung 21 mit cosθsinωt bezeichnet wird. Die analogen arithmetischen Operationsschaltungen 20 und 21 weisen Operations-Verstärker OP1, OP2 und Widerstandsschaltungen RS1, RS2 auf.
  • Da die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich näher zu oder weiter in das magnetische Feld irgendeiner der Spulen bewegt, wie bereits erwähnt wurde, nimmt die Selbstinduktion der Spule ab und somit nimmt die Spannung zwischen den gegenüberliegenden Enden der Spule während einer Verschiebung der Spitze 11a der Substanz 11 von einem Ende zu dem anderen der Spule progressiv ab. Da die Spulen LA, LB, LC und LD längs der Verschiebungsrichtung des zu detektierenden Objektes in Serie plaziert sind, werden hier progressive Änderungen bei den jeweiligen Spannungen VA, VB, VC und VD der Spulen LA, LB, LC und LD sequentiell auftreten, wie es in Teil (A) von 3 veranschaulichend gezeigt ist, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich in bezug auf die Spulen LA, LB, LC und LD im Ansprechen auf die Verschiebung des zu detektierenden Objektes bewegt. In Teil (A) aus 3 repräsentiert eine Neigung in jeder der Kurven, die für die Ausgangsspannungen VA, VB, VC und VD von den Spulen LA, LB, LC und LD kennzeichnend sind, einen Bereich, in welchem die Spitze 11a der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 sich von einem Ende auf das andere Ende der betreffenden Spule bewegt. Kennzeichnenderweise kann eine progressive Variationskurve der Spannung zwischen den gegenüberliegenden Enden der Spule, die während der Bewegung der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 von einem Ende zu dem anderen Ende der Spule auftritt, mit einer Funktionswertänderung in einem 90°-Bereich der Sinus- oder Cosinusfunktion verglichen werden. Durch geeignetes Kombinieren der Ausgangspannungen VA, VB, VC und VD von den einzelnen Spulen LA, LB, LC und LD und Durchführen einer Addition und/oder Subtraktion zwischen den Kombinationen ist es möglich, zwei Wechselstrom-Ausgangssignale sinθsinωt und cosθsinωt der Amplituden zu erzeugen, die Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken präsentieren, die einer aktuellen Position des zu detektierenden Objektes entsprechen.
  • Genauer gesagt, kann die analoge arithmetische Operationsschaltung 20 ein Wechselstrom-Ausgangssignal, das für eine Amplitudenkurve der Sinusfunktionscharakteristik kennzeichnend ist, wie es in Teil (B) aus 3 gezeigt ist, mittels Durchführens von arithmetischen Operationen an den Ausgabespannungen VA, VB, VC und VD von den Spulen LA, LB, LC und LD in Entsprechung zu nachfolgendem Ausdruck (1) bereitstellen; das Wechselstrom-Ausgangssignal von der analogen arithmetischen Schaltung 20 kann äquivalent durch "sinθsinωt" repräsentiert werden. (VB – VA) – (VD – VC) – Vo Ausdruck (1)
  • Es ist anzumerken, dass "Vo" eine Referenzspannung repräsentiert, die einem minimalen Induktionswert entspricht, der erhalten wird, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 eine der Spulen in ihrer Gesamtheit vollständig bedeckt hat, und diese Referenzspannung wird hier verwendet, um die Ausgangsspannung auf einen Nullpegel zu versetzen.
  • Ferner kann die analoge arithmetische Operationsschaltung 21 ein Wechselstrom-Ausgangssignal, das für eine Amplitudenkurve der Cosinusfunktionscharakteristik kennzeichnend ist, wie es in Teil (B) aus 3 gezeigt ist, mittels Durchführens von arithmetischen Operationen an den Ausgabespannungen VA, VB, VC und VD von den Spulen LA, LB, LC und LD in Entsprechung zu nachfolgendem Ausdruck (2) bereitstellen; das Wechselstrom-Ausgangssignal von der analogen arithmetischen Schaltung 20 kann äquivalent durch "cosθsinωt" repräsentiert werden. VA + (VB – VC) + (Vp – VD) – Vo Ausdruck (2)
  • Es ist anzumerken, dass "Vp" eine Referenzspannung repräsentiert, die einem maximalen Induktionswert entspricht, der erhalten wird, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich nicht ausreichend nahe an irgendeiner der Spulen befindet und diese Referenzspannung wird hier verwendet, um die Ausgangsspannung VD zu versetzen. Zieht man Temperaturverschiebungen in Betracht, müßte eine Erzeugung der Referenzspannungen Vo und Vp besser unter Verwendung einer geeigneten Testspule ausgeführt werden, so dass diese Spannungen Vo und Vp mit den gleichen Temperaturverschiebungscharakteristiken erzeugt werden können wie die der Spulen LA, LB, LC und LD. Irgendwelche andere geeigneten Temperaturausgleichsmittel können jedoch natürlich verwendet werden.
  • Ein Phasenwinkel θ bei den Sinus- und Cosinusfunktionen, die Amplitudenkomponenten der einzelnen Wechselstrom-Ausgangssignale sind, entspricht der aktuellen zu detektierenden Position, und ein Phasenwinkel θ in dem 90°-Bereich entspricht der Länge K einer der Spulen. Somit entspricht der wirksame Detektionsbereich der 4K-Länge einem 0° bis 360° Bereich des Phasenwinkels θ. Jede Position innerhalb des wirksamen Detektionsbereichs der 4K-Länge kann daher in einem Absolutwert durch Detektieren eines solchen Phasenwinkels θ detektiert werden.
  • Nachfolgend wird der Ausgleich der Temperaturcharakteristiken erläutert. Die Impedanz der einzelnen Spulen variiert mit einer Änderung der Temperatur und eine solche Impedanzvariation resultiert in Variationen bei den Ausgangsspannungen VA, VB, VC und VD der einzelnen Spulen. Wie in Teil (A) aus 3 dargestellt ist, würde beispielsweise jede der Ausgangsspannungen VA, VB, VC und VD variieren, um in eine Richtung zuzunehmen oder abzunehmen, in bezug auf eine ausgezogene Linie, wie es durch die gestrichelte Line abgebildet ist. Jedoch bei den Wechselstrom-Ausgangssignale sinθsinωt und cosθsinωt der Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken, die durch die additiven und subtraktiven Synthesen der Spannungssignale erhalten werden, würden Variationen als positive und negative Amplitudenvariationen erscheinen, wie es durch gestrichelte Linien im Gegensatz zu den ausgezogenen Kurven in Teil (B) der 3 gezeigt ist. Wenn ein Amplitudenkoeffizient A verwendet wird, kann er durch Asinθsinωt und Acosθsinωt repräsentiert werden und dieser Amplitudenkoeffizient A wird mit der Umgebungstemperatur variieren. Die Amplitudenkoeffizientenvariation erscheint in gleicher Weise in den zwei Wechselstrom-Ausgangssignalen. Wie man daraus ersehen kann, beeinflußt der Amplitudenkoeffizient A, der für Temperaturcharakteristiken repräsentativ ist, den Phasenwinkel θ nicht in den Sinus- und Cosinusfunktionen nicht. Das bedeutet, dass ein Ausgleich der Temperaturverschiebungscharakteristiken in der vorliegenden Erfindung automatisch richtig, erhalten wurden, ohne den Phasenwinkel θ bei den einzelnen Sinus- und Cosinusfunktionen zu beeinflussen, und somit eine Präzisionsdetektion mittels der Positionsdetektorvorrichtung bereitgestellt wird. Ferner kann der Temperaturverschiebungsausgleich durch Ausbilden einer leitenden Beschichtung, wie beispielsweise Kupferbeschichtung, am Außenumfang eines jeden der Magnetstäbe 8, die als die Magnetkerne des Spulenabschnitts 10 wirken, durchgeführt werden, wie es im vorhergehenden dargelegt wurde. Genauer gesagt, obgleich die leitenden Beschichtungen der Magnetstäbe 8 zur Reduzierung der Induktion der magnetischen Schaltung aufgrund ihrer darin erzeugten Wirbelstromverluste aktiv sind, nimmt der Wirbelstromverlust in den leitenden Beschichtungen ab, um zu veranlassen, dass die Induktion der magnetischen Schaltung relativ zunimmt, wenn die Spuleninduktion zum Beispiel im Ansprechen auf eine Temperaturzunahme zunimmt (was jedoch eine Zunahme bei der Selbstinduktion mit sich bringen würde), was somit die Temperaturverschiebungen der Spuleninduktion ausgleichen kann. Aus dem gleichen Grund kann ein ähnlicher Temperaturverschiebungsausgleichseffekt durch Verwenden einer mehr oder weniger leitenden Substanz als das nicht-magnetischen Metall des Spulenabschnitts 6 vorgesehen sein.
  • Jede Hubposition innerhalb des wirksamen Detektionsbereiches kann in einem Absolutwert mit Hilfe der Phasendetektionsschaltung (oder Amplituden/Phasen-Konvertierungsmittel) 22 detektiert werden, welche die Phasenkomponente θ der Amplitudenfunktion sinθ und cosθ in den Wechselstrom-Ausgangssignalen sinθsinωt und cosθsinωt der Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken detektiert. Die Phasendetektionsschaltung 22 kann so implementiert sein, wie beispielsweise durch Verwendung einer Technik, die von dem Bevollmächtigten der vorliegenden Anmeldung in der offengelegten Japanischen Patenveröffentlichung Nr. Hei-9-126809 (die U.S. Patent Nr. 5 710 509 entspricht) offenbart ist. Beispielsweise wird ein Wechselstromsignal sinθcosωt durch elektrisches Verschieben des ersten Wechselstrom-Ausgangssignals sinθsinωt um 90° erzeugt und die zwei Wechselstromsignale sin(ωt+θ) und sin(ωt-θ), die in einer Phasenvorschub- oder Phasenverzögerungs-Richtung in Entsprechung zu θ phasenverschoben sind (i.e., Signale, die ihre Phasenkomponenten θ in Wechselstrom-Phasenverschiebungen konvertiert haben), werden durch additives und subtraktives Synthetisieren dieses Signals sinθcosωt und des zweiten Wechselstrom-Ausgangssignals cosθsinωt auf eine solche Weise erzeugt, das Daten, die für eine detektierte Hubposition kennzeichnend sind (Hubpositions-Detektionsdaten), durch Messen der Phase θ erhalten werden können. Diese Phasendetektionsschaltung 22 kann entweder durch eine anwendungsspezifische Schaltung in Form einer LSI oder durch eine Software- Verarbeitung, die eine CPU, einen Prozessor, Computer oder dergleichen verwendet, implementiert sein. Alternativ kann ein herkömmlich bekannter R/D-Wandler normalerweise zur Verarbeitung einer Koordinatenwandler-Ausgabe als die Phasen-Detektionsschaltung 22 verwendet werden. Eine Detektion der Phasenkomponente θ in der Phasen-Detektionsschaltung 22 kann vielmehr durch einen analogen Prozeß unter Verwendung einer Integrationsschaltung oder dergleichen als durch einen digitalen Prozeß durchgeführt werden. Alternativ können digitale Detektionsdaten, die für eine Drehposition θ kennzeichnend sind, durch einen digitalen Phasendetektionsprozeß erzeugt werden und dann können analoge Detektionsdaten, die für eine Drehposition θ kennzeichnend sind, durch Konvertieren der digitalen Detektionsdaten in eine analogen Darstellung erhalten werden. Die Wechselstrom-Ausgangssignale sinθsinωt und cosθsinωt von den arithmetischen Operationsschaltungen 20 und 21 können natürlich direkt ausgegeben werden, ohne durch die Phasendetektionsschaltung 22 verarbeitet worden zu sein, wobei in diesem Fall die Detektionsschaltung 22 weggelassen werden kann.
  • Wenn es eine lineare Korrespondenz zwischen dem Phasenwinkel θ und der Position x des zu detektierenden Objektes gibt, werden die Amplituden in den Wechselstrom-Ausgangssignalen sinθsinωt und cosθsinωt der Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken nicht reale Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken aufweisen, wie es in (B) aus 3 gezeigt ist. Die Phasendetektionsschaltung 22 führt jedoch den Phasendetektionsprozeß an diesen Wechselstrom-Ausgangssignalen sinθsinωt und cosθsinωt aus, als wenn sie offenbar reale Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken hätten. Als Ergebnis dieses Phasendetektionsprozesses wird der detektierte Phasenwinkel θ keine Linearität in bezug auf die Position x des zu detektierenden Objektes präsentieren. Beim Detektieren der Position spielt jedoch die Nicht-Linearität zwischen den Detektions-Ausgabedaten (detektierter Phasenwinkel θ) und der aktuellen Position des zu detektierenden Objektes keine große Rolle. Es ist nämlich nur erforderlich, dass man in der Lage ist, die Positionsdetektion mit einer vorgegebenen repetetiven Reproduzierbarkeit durchzuführen. Ferner können, wenn es erforderlich ist, die Ausgabedaten von der Phasendetektionsschaltung 22 in eine andere Datenform durch Verwendung einer geeigneten Datenkonvertierungstabelle konvertiert werden, so dass eine exakte Linearität schnell zwischen den Detektionsausgangsdaten und der aktuellen Position des zu detektierenden Objektes geschaffen werden kann. Demgemäß müssen die "Wechselstrom-Ausgangssignale sinθsinωt und cosθsinωt mit Amplitudencharakteristiken der Sinus- und Cosinusfunktionen", auf die im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung Bezug genommen wird, nicht notwendigerweise reale Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken sein; in Wirklichkeit können sie irgendwie ähnlichen denen einer Dreieckswellenform sein, wie es veranschaulichend in (B) aus 3 gezeigt ist, solange sie soche Tendenzen aufweisen. Mit anderen Worten, es ist nur notwendig, dass die Sinus- und Cosinusfunktionen in der vorliegenden Erfindung periodische Funktionen ähnlich zu trigonometrischen Funktionen sind, wie beispielsweise einer Sinusfunktion. In dem veranschaulichten Beispiel von (B) aus 3, kann, wenn die horizontale Achse den Phasenwinkel θ darstellt und vorgegebene nicht-lineare Kalibrierung aufweist, sogar eine Funktion, die augenscheinlich als eine Dreieckswellenform erscheint, wenn angenommen wird, dass die Kalibrierungen der horizontalen Achse die Positionen x darstellen, als eine Sinus- oder Cosinusfunktion in Bezug auf den Phasenwinkel θ betrachtet werden.
  • Ein Variationsbereich der Phasenkomponente θ der Amplitudenfunktionen sinθ und cosθ in den Wechselstrom-Ausgangssignalen sinθsinωt und cosθsinωt der Sinus- und Cosinusfunktionen muß nicht notwendigerweise der volle 0° – 360°-Bereich sein wie in der vorher beschriebenen Ausführungsform und kann ein engerer Winkelbereich sein, wobei in diesem Fall die Spulenkonstruktion signifikant vereinfacht sein kann. In dem Fall, in dem der wirksame Detektionsbereich eingeengt werden kann, kann der detektierbare Phasenbereich irgendein Bereich, der kleiner als 360° ist, sein. Es gibt verschieden Fälle, in welchen der detektierbare Phasenbereich irgendein geeigneter Bereich unter 360°, abhängend von dem gewünschten Zweck der Detektion, sein kann, so dass der engere wirksamere Detektionsbereich bei einem von solchen Fällen als geeignet angewendet werden kann.
  • 4 ist eine Schnittansicht, die eine modifizierte Anordnung der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 zeigt. Der Innenraum 5 des Kolbenelements 3 ist so geformt, dass er einen in Richtung auf seine Auslaßöffnung progressiv zunehmenden Durchmesser aufweist. Folglich ist die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11, die an der inneren Umfangswandfläche des Kolbenelements 3 ausfgeformt ist und den Innenraum 5 definiert, in einer solchen Weise abgeschrägt, dass der radiale Abstand der Substanz 11 von dem Sensorelement 4, i.e., dem Spulenabschnitt 10, progressiv in Richtung auf die Spitze 11a zunimmt. Der abgeschrägte Bereich der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 kann eine axiale Länge haben, die im wesentlichen gleich der Länge K ist. Der radiale Abstand der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 von dem Spulenabschnitt 10 variiert in Entsprechung zu der Schräge, welche eine sanfte oder nicht-lineare Induktionsänderung hervorruft; das heißt, dass die Induktionsänderung in dem Spulenabschnitt 10, der auf die Bewegung der Spitze 11a der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 anspricht, so erzeugt werden kann, dass sie sanfte oder nicht-lineare progressiv abnehmende Charakteristiken aufweist.
  • 5 ist eine Schnittansicht, die eine weitere oder zweite Ausführungsform des Hubsensors gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, welche so angeordnet ist, dass, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 des Kolbenelements 3 sich längs des Außenumfangs des Spulenabschnitts 10 zu dem hinteren (rechts in der Figur) Ende des Spulenabschnitts 10 bewegt, die Spuleninduktion progressiv zunimmt. In diesem Fall ist der Spulenabschnitt 60 nämlich aus einem nicht-magnetischen Material hergestellt, während die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11, die an der inneren Umfangswandfläche des Kolbenelements 3 ausfgeformt ist und den Innenraum 5 definiert, aus einem ferromagnetischen Material hergestellt ist. Bei dieser Anordnung nimmt, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich näher an oder weiter in das Magnetfeld einer der Spulen des Spulenabschnitts 10 aufgrund des Einzugshubs des Kolbenelements 3 bewegt, die Selbstinduktion der Spule zu und somit nimmt die Spannung zwischen gegenüberliegenden Enden der Spule progressiv während der Verschiebung der Spitze der Substanz 11 von einem Ende zu dem anderen der Spule zu. Bei dem Ausfahr(vorstehenden)-Hub des Kolbenelements 3 findet eine zu der oben erwähnten umgekehrte Operation statt.
  • In dem dargestellten Beispiel aus 5 weist zudem der Spulenabschnitt 10 weitere Zusatzspulen Lα und Lβ vor und hinter den Spulen LA, LB, LC und LD, die dem wirksamen Detektionsbereich entsprechen, auf. Der Spulenabschnitt 10 weist diese sechs Spulen LA, LB, LC und LD und Lα, Lβ auf, wobei sie jeweils gleiche Charakteristiken haben, wie beispielsweise die gleiche Anzahl von Windungen und die gleiche Länge, welche sequentiell längs der Richtung der linearen Bewegung des Kolbenelements 3 angeorgnet sind. Die Zusatzspulen Lα und Lβ sind hier vorgesehen, um Cosinusfunktionscharakteristiken exakt aufzunehmen und es kann auf sie verzichtet werden, wenn eine sehr hohe Detektionsgenauigkeit nicht erforderlich ist.
  • Bei der Ausführungsform von 5 variiert das relative Positionsverhältnis zwischen dem Spulenabschnitt 10 und der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 im Ansprechen auf eine Änderung einer Hubposition des Kolbenelements 3 im wesentlichen auf die gleiche Weise wie bei der ersten Ausführungsform aus 1. Wenn nämlich das Kolbenelement 3 sich in die kontrahierende (Einzugs-)Richtung bewegt, verursacht die zylindrisch geformte auf Magnetismus ansprechende Substanz 11, die die innere Umfangswandfläche des Kolbelelements 3 bildet, dass das stabförmige Sensorelement 4 tiefer in den Innenraum 5 des Kolbenelements 3 eingeführt wird, so dass die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sequentiell in die jeweiligen magnetischen Felder des Spulenabschnitts 10 eintritt. In dem dargestellten Beispiel aus 5 tritt, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich auf das hintere Ende des Spulenabschnitts 10, nämlich nach rechts in der Figur, im Ansprechen auf die Bewegung des Kolbenabschnitts 3 in der kontrahierenden Richtung bewegt, die Spitze der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 zuerst in das magnetische Feld der Zusatzspule Lα ein, dann tritt sie in die jeweiligen Felder der anderen Spulen LA, LB, LC und LD ein und schließlich tritt sie in das magnetische Feld der Zusatzspule Lβ ein. Bei dieser Ausführungsform ist der Spulenabschnitt 60 aus einem nicht-magnetischen Material hergestellt, wobei er auch nicht-magnetisches Material innen enthält, während die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11, die auf der inneren Umfangswandfläche des Kolbenelements 3 ausgebildet ist und den Innenraum 5 definiert, aus einem ferromagnetischen Material hergestellt ist, wie im vorhergehenden erwähnt wurde, so dass, wenn sich die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 näher zu oder weiter in das magnetische Feld einer der Spulen bewegt, die Selbstinduktion der Spule zunimmt und somit die Spannung zwischen den gegenüberliegenden Enden der Spule während einer Verschiebung der Spitze der Substanz 11 von einem Ende zu dem anderen der Spule progressiv zunimmt.
  • 6 zeigt ein Beispiel einer elektrischen Verbindung des Spulenabschnitts 10 in der in 5 gezeigten Ausführungsform. Die einzelnen Spulensegmente Lα, LA, LB, LC, LD und Lβ werden bei einer konstanter Spannung oder Strom durch ein vorgegebenes Einphasen-Signal ("sinωt") angeregt, das durch eine Wechselstrom-Energieversorgung 12 erzeugt wird. Spannungen zwischen den jeweiligen gegenüberliegenden Enden (Zwischen-Abgriffspannungen) dieser Spulensegmente Lα, LA, LB, LC, LD und Lβ werden hier jeweils mit "Vα", "VA", "VB", "VC", "VD" und "Vβ" bezeichnet und Zwischenausgabeanschlüsse oder Abgriffstellen 1319 sind vorgesehen, um die Spannungen Vα, VA, VB, VC, VD und Vβ abzunehmen. Wie in der vorher beschriebenen Ausführungsform müssen die Spulensegmente Lα, LA, LB, LC, LD und Lβ nicht notwendigerweise physikalisch getrennte Spulen sein und sie können durch einfach eine einzige kontinuierliche Spule, die in sechs Spulenlängen oder -abschnitte durch die zwischenliegenden Abgriffstellen 1319 unterteilt sind, implementiert sein; das heißt, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 13 und 14 arbeitet als das Spulensegment Lα, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 14 und 15 arbeitet als das Spulensegment LA, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 15 und 16 arbeitet als das Spulensegment LB, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 16 und 17 arbeitet als das Spulensegment LC, der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 17 und 18 arbeitet als das Spulensegment LD und der Spulenabschnitt zwischen den Abgriffstellen 18 und 19 arbeitet als das Spulensegment Lβ. Die Ausgangsspannungen Vα, VA, VB, VC, VD und Vβ von den einzelnen Spulensegmenten werden in vorgegebenen Kombinationen an zwei analoge arithmetische Operationsschaltungen 20 und 21 abgegeben, in welchen sie einer Addition und/oder Subtraktion auf der Grundlage vorgegebener mathematischer Ausdrücke unterzogen werden. Diese analogen arithmetischen Schaltungen 20 und 21 erzeugen somit zwei Wechselstrom-Ausgangssignale sinesinωt und cosesinωt von Amplituden, die Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken zeigen, die einer aktuellen Position des zu detektierenden Objektes entsprechen.
  • Bei den vorher beschriebenen Anordnungen nimmt, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich näher zu oder weiter oder tiefer in eine der Spulen bewegt, die Selbstinduktion, i.e. Impedanz, der Spule zu und somit nimmt die Spannung zwischen den gegenüberliegenden Enden der Spule während einer Verschiebung der Spitze der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 von einem Ende zu dem anderen dieser Spule progressiv zu. Da die Spulen Lα, LA, LB, LC, LD und Lβ in Serie längs der Verschiebungsrichtung des zu detektierenden Objektes angeordnet sind, werden hier progressiv zunehmende (progressiv abnehmende) Veränderungen bei den jeweiligen Spannungen Vα, VA, VB, VC, VD und Vβ der Spulen Lα, LA, LB, LC, LD und Lβ sequentiell auftreten, wie es veranschaulichend in Teil (A) aus 7 gezeigt ist, wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 sich in bezug auf die Spulen im Ansprechen auf die Verschiebung des zu detektierenden Objektes bewegt. In Teil (A) aus 7 repräsentiert eine Neigung in jeder der Kurven, die für die Ausgangsspannung von einer der Spulen kennzeichnend sind, einen Bereich, in dem die Spitze der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 sich von einem Ende auf das andere der besagte Spule bewegt. Kennzeichnenderweise kann die progressiv zunehmende Variationskurve der Spannung zwischen den gegenüberliegenden Enden der Spule, welche während der Bewegung der Spitze 11a der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 von einem Ende zu dem anderen der Spule auftritt, mit einer Funktionswertveränderung innerhalb eines 90°-Bereiches der Sinus- oder Cosinusfunktion verglichen werden. Durch geeignetes Kombinieren der Ausgangsspannungen Vα, VA, VB, VC, VD und Vβ von den Spulen Lα, LA, LB, LC, LD und Lβ und durch Ausführen einer Addition und/oder Subtraktion zwischen den Kombinationen, ist es möglich, zwei Wechselstrom-Ausgangssignale sinθsinωt und cosθsinωt von Amplituden zu erzeugen, die Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken zeigen, die einer aktuellen Position des zu detektierenden Objektes entsprechen.
  • Genauer gesagt, die in 6 gezeigte analoge arithmetische Schaltung 20 kann ein Wechselstrom-Ausgangssignal bereitstellen, das eine Amplitudenkurve der Sinusfunktioncharakteristik zeigt, wie es in Teil (B) aus 3 gezeigt ist, mittels Durchführens von arithmetischen Operationen an den Ausgangsspannungen VA, VB, VC und VD von den Spulen LA, LB, LC und LD in Entsprechung zu nachfolgendem Ausdruck (3); das Wechselstrom-Ausgangssignal kann in äquivalenter Weise folgendermaßen durch "sinθsinωt" repräsentiert werden. (VA – VB) + (VD – VC) Ausdruck (3)
  • Ferner kann die in 6 gezeigte andere analoge arithmetische Operationsschaltung 21 ein Wechselstrom-Ausgangssignal bereitstellen, das eine Amplitudenkurve der Cosinusfunktionscharakteristik aufweist, wie es in Teil (B) aus 7 gezeigt ist, mittels Durchführens von arithmetischen Operationen an den Ausgangsspannungen Vα, VA, VB, VC, VD und Vβ der Spulen Lα, LA, LB, LC, LD und Lβ gemäß dem nachfolgenden Ausdruck (4). Obgleich die Amplitudenkurve der Cosinusfunktionscharakteristik, wie sie in Teil (B) aus 7 gezeigt ist, in Wirklichkeit eine Minus-Cosinusfunktionscharakteristik, i.e., "–cosθsinωt" darstellt, entspricht die Amplitudenkurve der Cosinusfunktionscharakteristik, da sie eine 90°-Verschiebung in bezug auf die Sinusfunktionscharakteristik aufweist. Daher kann dieses als ein Wechselstrom-Ausgangssignal der Cosinusfunktionscharakteristik betrachtet werden, was gleichermaßen durch "cosθsinωt" repräsentiert werden kann. (VA – Vα) + (VB – VC) + (Vβ – VD) Ausdruck (4)
  • Es ist anzumerken, das der folgende mathematische Ausdruck anstelle des vorhergehenden Ausdrucks (4) angewendet werden kann: (VA – Vα) + (VB – VC) – VD Ausdruck (4')
  • Das Wechselstrom-Ausgangssignal "–cosθsinωt" der durch den Ausdruck (4) ausgerechneten Minus-Cosinusfunktionscharakteristik kann um 180° elektrisch phaseninvertiert werden, um dadurch ein Signal "cosθsinωt" zur Verwendung als das Wechselstrom-Ausgangssignal der Cosinusfunktionscharakteristik aktuell zu erzeugen. In einer Situation, in der das Wechselstrom-Ausgangssignal der Cosinusfunktionscharakteristik jedoch durch eine Phasendetektionsschaltung 22 bei einer nachfolgenden Stufe für eine subtraktive arithmetische Operation in Form von "–cosθsinωt" verwendet wird, kann das Wechselstrom-Ausgangssignal "–cosθsinωt" der Minus-Cosinusfunktionscharakteristik natürlich gerade so verwendet werden, wie es ist. Es ist auch anzumerken, dass das Wechselstrom-Ausgangssignal "cosθsinωt" der augenblicklichen Cosinusfunktionscharakteristik mittels Durchführens des folgenden mathematischen Ausdrucks anstelle von Ausdruck (4) erzeugt werden kamm: (VA – Vα) + (VC – VB) + (VD – Vβ) Ausdruck (4")
  • Der Phasenwinkel θ in den Sinus- und Cosinusfunktionen, die die Amplitudenkomponenten der einzelnen Wechselstrom-Ausgangssignale sind, entspricht der derzeitigen Position des zu detektierenden Objektes, und der Phasenwinkel θ innerhalb eines 90°-Bereiches entspricht der Länge K einer jeden der Spulen. Der wirksame Detektionsbereich der 4K-Länge entspricht somit einem Phasenwinkel θ in dem Bereich von 0° bis 360°. Daher kann jede Position innerhalb des wirksamen Detektionsbereichs der 4K-Länge in einem Absolutwert durch Detektieren eines solchen Phasenwinkels θ detektiert werden.
  • Eine Kompensation der Temperaturverschiebungscharakteristiken in der Ausführungsform aus 5 wird ebenfalls auf die gleiche Weise wie in der Ausführungsform aus 1 erreicht. Die Temperaturverschiebungscharakteristiken sind, wie sie in Teil (A) aus 7 veranschaulicht sind und jede der Ausgangsspannungen würde variieren, um in einer Richtung zuzunehmen oder abzunehmen, wie es durch eine gepunktete Linie im Gegensatz zu einer Kurve mit durchgezogener Line abgbildet ist. Bei den Wechselstrom-Ausgangssignalen sinθsinωt und cosθsinωt der Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken, die durch additive und subtraktive Synthesen der Ausgangsspannungen erhalten werden, würden die Variationen als positive und negative Amplitudenvariationen erscheinen, wie es durch gepunktete Linien im Gegensatz zu durchgezogenen Linien-Kurven in Teil (B) aus 7 gezeigt ist. Wenn ein Amplitudenkoeffizient A verwendet wird, können die Wechselstrom-Ausgangssignale jeweils als Asinθsinωt und Acosθsinωt dargestellt werden und es ist der Amplitudenkoeffizient A, der im Ansprechen auf eine Änderung einer Umgebungstemperatur variiert. Wie man daraus klar entnehmen kann, beeinflußt der Amplitudenkoeffizient A, der für die Temperaturcharakteristiken kennzeichnend ist, den Phasenwinkel θ in den Sinus- und Cosinusfunktionen nicht. In der vorliegenden Erfindung können somit Temperaturcharakteristiken auf automatische Weise genau kompensiert werden, um dabei eine Präzisionspositionsdetektion zu erreichen.
  • Jede Position des zu detektierenden Objektes kann als ein Absolutwert durch die Phasendetektionsschaltung (oder Amplituden/Phasen-Konvertierungsmittel) 22 detektiert werden, die die Phasenkomponente θ der Amplitudenfunktionen sinθ und cosθ in den Wechselstrom-Ausgangssignalen sinθsinωt und cosθsinωt der Sinus- und Cosinusfunktionen mißt.
  • 8 ist eine schematische Schnittseitenansicht, die andere Beispiele des Spulenabschnitts 10 und der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 zeigt. In diesem Fall sind die Spulen Lα, LA – LD und Lβ voneinander um einen Abstand K wie in dem Beispiel aus 5 beabstandet, aber jede der Spulen ist kleiner in der Länge als die in den Beispielen aus 1 und 5. Die benachbarten Spulen Lα, LA – LD und Lβ müssen nämlich nicht so nah beieinander sein wie in den Beispielen von 1 und 5 und können voneinander beabstandet sein wie es zweckmäßig ist. Der Innenraum 5 des Kolbenelements 3 ist ist so geformt, dass er einen in Richtung auf seine Auslaßöffnung progressiv zunehmenden Durchmesser aufweist. Folglich ist die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11, die an der inneren Umfangswandfläche des Kolbenelements 3 ausgebildet ist und und den Innenraum 5 definiert, in solcher Weise abgeschrägt, dass der radiale Abstand der Substanz 11 von dem Sensorelement 4, i.e. Spulenabschnitt 10, progressiv in Richtung auf die Spitze 11a zunimmt. Der abgeschrägte Bereich der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 weist eine axiale Länge auf, die im wesentlichen gleich zu der Länge K ist. In Entsprechung zu der Schräge der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 variiert der radiale Abstand oder Abstandgröße der Substanz 11 in bezug auf die Spulen progressiv, so dass sanfte Induktionsvariantionen in den Spulen auftreten. Die Spulen-Induktionsvariationen, die auf die Bewegung der Spitze 11a der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 ansprechen, können nämlich sanfte, progressiv zunehmende (oder progressiv abnehmende) Charakteristiken aufweisen. Natürlich kann, sogar in dem Fall, in dem die Spulen Lα, LA – LD und Lβ nahe zueinander wie in den Beispielen aus 1 und 5 plaziert sind, die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 so geformt sein, dass sie über einen vorgegebenen Bereich von ihrer Spitze 11a abgeschrägt ist, wie es in 8 gezeigt ist, wie es im vorhergehenden in Bezug auf 4 aufgezeigt wurde. Ferner können, sogar wenn die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11, die an der inneren Umfangswandfläche des Kolbenelements 3 ausgebildet ist, keinen abgeschrägten Abschnitt aufweist wie in den Beispielen aus 1 und 5, die benachbarten Spulen Lα, LA – LD und Lβ voneinander beabstandet sein wie es zweckmäßig ist, wie es in 8 gezeigt ist.
  • Als ein weiteres modifiziertes Beispiel kann jede der Spulen in dem Spulenabschnitt 10 eine Vielzahl von getrennten Spulensegmenten aufweisen. 9 zeigt eine beispielhafte Anordnung der getrennten Spulensegmente, bei welchen eine Spule LA aus vier voneinander beabstandeten Spulensegmenten LA1, LA2, LA3 und LA4 besteht, die zusammen die Länge K abdecken. Diese Spulensegmente LA1, LA2, LA3 und LA4 sind in Serie miteinander verbunden, um eine Zwischen-Abgriffspannung VA der Spule LA zu erzeugen. In diesem Fall können die Spulensegmente LA1, LA2, LA3 und LA4 entweder identisch zueinander sein oder sich voneinander in der Anzahl der Spulenwindungen unterscheiden. Die Spulensegmente LA1, LA2, LA3 und LA4 können in gleichmäßigen oder ungleichmäßigen Intervallen, wie es gewünscht wird, beabstandet sein. Durch Anwenden von unterschiedlichen Anzahlen von Spulenwindungen und ungleichmäßigen Intervallen zwischen den Spulensegmenten (nicht-lineare Anordnungen), usw. können Impedanzvariationen mit Charakteristiken erzeugt werden, die näher an einer Sinus- oder Cosinusfunktionskurve liegen, weche die vorher erwähnte Nicht-Linearität zwischen einem detektierten Phasenwinkel θ und einer aktuellen Entfernung (Position) des zu detektierenden Objektes vermindern kann. In ähnlicher Weise kann, sogar wenn sich die Spulen Lα, LA – LD und Lβ nahe beieinander befinden, wie in dem Beispiel von 1 und 5, die Anzahl der Spulenwindungen über die Länge K der betreffenden Spule gleichmäßig oder nicht gleichmäßig zwischen den Spulensegmenten, abhängend von dem Bereich innerhalb der Länge K, hergestellt sein. Auch diese Anordnung kann Impedanzvariationen mit Charakteristiken erzeugen, die näher bei einer Sinus- oder Cosinusfunktionskurve liegen, was dann die vorher erwähnte Nicht-Linearität zwischen einem detektierten Phasenwinkel θ und einer zu detektierenden aktuellen Entfernung (Position) verringern kann.
  • 10A und 10B zeigen Modifikationen der Plazierung der Spulen in dem Spulenabschnitt 10 aus 5, die so geplant sind, dass sie Kreuzkopplung zwischen jeden benachbarten Spulen verhindern und daher die Detektionsgenauigkeit verbessern. In der Modifikation aus 10A sind die Spulen Lα, LA – LD und Lβ voneinander über magnetische Abstandshalter 31 beabstandet, um so zu verhindern, dass der von den einzelnen Spulen erzeugte magnetische Fluß sich ausbreitet; der magnetische Fluß von jeder der Spulen folgt nämlich einem Weg, der mit ϕ in der Figur bezeichnet ist, auf welchem er aus dem Inneren der Spule fließt, dann ein nächstes Ende (i.e., die Position des magnetischen Anstandshalters 31), einen äußeren Umfang der Spule und eine weiteres nächstes Ende (i.e., die Position des magnetischen Anstandshalters 31) passiert und dann in das Innere der Spule zurückkehrt. Eine solche Anordnung verhindert wirksam die unerwünschte Kreuzkopplung zwischen Spulen, was die Ansprechfähigkeit (Impedanzvariationen) der einzelnen Spulen in bezug auf das Vorhandensein der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 stark verbessert, die sich näher an den äußeren Umfang der Spulen bewegt, wodurch die Detektionsgenauigkeit verbessert wird. Während nur ein magnetischer Abstandshalter 31 zwischen jede von benachbarten Spulen in dem Beispiel aus 10A angeordnet ist, können zwei magnetische Abstandshalter 31a und 31b etwas beabstandet voneinander zwischen jeder von benachbarten Spulen angeordnet sein, wie es in 10B veranschaulicht ist. In dem Beispiel von 10A und 10B kann ein nichtmagnetischer Körper als ein Spulenkörperabschnitt 60 verwendet werden und ein magnetisches Element, wie bespielsweise ein dünner Draht, können in das Zentrum des Spulenkörperabschnitts 60 eingesetzt sein, so dass ein Fließen des magnetischen Flusses erleichtert wird. Die Modifikationen aus 10A und 10B sind auch bei der Ausführungsform aus 1 anwendbar.
  • Bei jeder der vorher beschriebenen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 durch Kombinieren eines magnetischen Materials und eines elektrischen Leiters, i.e. als ein Hybrid von entgegensetzten Charakteristiken, eher gebildet sein als wenn sie durch nur eines der folgenden, dem magnetischen Material oder dem elektrischen Leiter, gebildet wird. Die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 kann ferner einen Permanentmagnet aufweisen und die Spulen des Spulenabschnitts können einen Eisenkern enthalten. Der Spulenkörperabschnitt 6 kann zum Beispiel einen Magnetstab 8 enthalten, wie es in 1 gezeigt ist, und der als die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 verwendete Permanentmagnet kann ein ringförmiger Permanentmagnet mit einer axialen Länge sein, die wenigstens gleich der Spulenlänge K ist. In einem solchen Fall wird, wenn der als die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 wirkende Permanentmagnet sich irgendeiner der Spulen aufgrund der Bewegung des Kolbenelements 3 nähert, ein Abschnitt des Eisenkerns, der dem Permanentmagnet des Kolbenelements 3 nahe gekommen ist, magnetisch gesättigt über übersättigt, was einen Abfall bei den Zwischen-Abgriffspannungen der Spule zu Folge hat. Sogar in dem Fall, in dem der Permanentmagnet als die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 verwendet wird, findet das gleiche Verhalten statt wie in dem Fall, in welchen ein nicht-magnetischer elektrischer Leiter als die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 verwendet wird; das heißt, dass die Zwischen-Abgriffspannung der Spule veranlaßt wird, während einer Verschiebung der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11, i.e. des Permanentmagneten, von einem Ende zu dem anderen der Spule progressiv abzunehmen.
  • Während jede der Ausführungsformen im vorhergehenden in bezug auf den Hubsensor beschrieben wurde, der zwei Wechselstrom-Ausgangssignale sinθsinωt und cosθsinωt mit Amplitudencharakteristiken von Sinus- und Cosinusfunktionen erzeugt (i.e., einem Hubsensor von sogenannter Koordinatenwandlerart, der zwei-Phasen-Ausgangssignale erzeugt), ist die vorliegende Erfindung nicht dahingehend eingeschränkt und kann so ausgelegt sein, dass sie drei oder mehrere Wechselstrom-Ausgangssignale erzeugt, die Anplitudencharakteristiken von drei oder mehreren trigonometrischen Funktionen aufweisen, wobei sie vorgegebene Phasendifferenzen aufweisen (z.B., sinθsinωt, sin(θ – 120°)·sinωt, sin(θ – 240°)·sinωt).
  • Es sollte auch geschätzt werden, dass bei jeder der Ausführungsformen die Anzahl der Spulen zwei oder drei oder mehr als 4 sein kann; gerade zwei oder drei Spulen werden in dem Fall ausreichend sein, in dem der Variationsbereich der Phasenkomponente θ der Amplitudenfunktionen in den Wechselstrom-Ausgangssignalen eher ein Bereich von etwa 90° oder 180° sein kann als der volle 360°-Bereich.
  • Als eine Modifikation der vorliegenden Erfindung können die Spulen in mehreren Phasen unter Verwendung von Zweiphasen-Wechselstromsignalen (z.B., sinωt und cosωt) erregt werden, ebenso wie bei einer herkömmlichen Detektorvorrichtung auf der Grundlage der Positionsdetektionsgesetze der Phasenverschiebungsart, um ein Wechselstrom-Ausgangssignal zu erzeugen, das um einen Phasenwinkel θ phasenverschoben ist, der einer zu detektierenden Hubposition (z.B.., sin(ωt + θ)) entspricht. Für diesen Zweck können zwei Spulengruppen parallel zueinander vorgesehen sein und diese zwei Spulen werden jeweils mit zwei Wechselstromsignalen von zwei unterschiedlichen Phasen (z.B., sinωt und cosωt) in einer solchen Weise beliefert, dass all die Spulen in jeder Spulengruppe durch eines der Wechselstromsignale erregt werden. In einem solchen Fall wird ein Ausgabe cosθsinωt mittels Durchführens von analogen arithmetischen Operationen an der Ausgabe von einer der Spulengruppen erzeugt, während eine Ausgabe sinθcosωt mittels Durchführens von analogen arithmetischen Operationen an der Ausgabe von der anderen Spulengruppe erzeugt wird; und dann kann ein phasenverschobenes Wechselstrom-Ausgangssignal sin(ωt + θ) mittels Durchführens von Addition oder Subtraktion zwischen den zwei Ausgaben erhalten werden.
  • Zudem kann bei jeder der vorher beschriebenen Ausführungsformen die Positionsbeziehung zwischen dem Spulenabschnitt 10 und der auf Magnetismus ansprechenden Substanz 11 umgekehrt sein; das heißt, dass der Spulenabschnitt 10 in dem Innenraum 5 des bewegbaren Elements, i.e, des Kolbenelements 3, vorgesehen ist und die auf Magnetismus ansprechende Substanz 11 an dem Sesorelement 4 befestigt sein kann.
  • Überdies kann der erfinderische Hubsensor, der in bezug auf die bevorzugten Ausführungsformen beschrieben wurde, bei irgendeiner Vorrichtung zur Detektion einer Hubposition eines bewegbaren Elements, der nicht der Hydraulikzylinder ist, wie beispielsweise eine Vorrichtung zum Detektieren einer Schieberposition eines Schieberventils, angewendet werden. Ferner kann der erfinderische Hubsensor als eine großformatige, Großdetektorvorrichtung in Konformität zu der Größe einer Vorrichtung, bei welcher der Hubsensor verwendet wird, oder kann als eine Kompakt-Hubpositionsdetektorvorrichtung konstruiert sein.
  • Zusammenfassend benötigt die in soweit beschriebene vorliegende Erfindung nur Primärspulen und eine Erfordernis für Sekundärspulen kann entfallen, so dass die vorliegende Erfindung einen Hubsensor von vereinfachtem und kostengünstigen Aufbau vorsehen kann, der leicht in der Größe reduziert werden kann. Ferner ist die vorliegende Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Spulensegmenten in Serie längs der Verschiebungsrichtung des zu detektierenden Objekts angeordnet ist und Variationen in Charakteristiken der Spulensegmente, i.e., progressiv zunehmende (oder progressiv abnehmende) Variationen bei den jeweiligen Zwischen-Abgriffspannungen der Spulensegmente, sequentiell auftreten, wenn die Spitze der auf Magnetismus ansprechenden Substanz sich von einem Ende zu dem anderen einer der Spulen bewegt. Durch Abnehmen der jeweiligen Zwischen-Abgriffspannungen der Spulensegmente und ihrem nachfolgendem Kombinieren durch Addition und/oder Subtraktion untereinander, kann einfach eine Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen, die jeweilige Amplituden von vorgegebenen zyklischen Funktionscharakteristiken aufweisen (z.B., zweier Wechselstrom-Ausgangssignale, die jeweilige Amplituden von Sinus- und Cosinusfunktionscharakteristiken aufweisen), im Ansprechen auf eine aktuelle Position des zu detektierenden Objektes erzeugt werden. Somit kann ein breiter verfügbarer Phasenwinkelbereich durch die vorliegende Erfindung geschaffen werden. Die vorliegende Erfindung ermöglicht zum Beispiel eine Detektion über den vollen 0° – 360°-Phasenwinkelbereich, wie bereits beschrieben wurde. Ferner erreicht durch Detektieren, aus einer Korrelation zwischen Amplitudenwerten in der Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen, wobei die Phasenwerte in den vorgegebenen zyklischen Funktionen (z.B., Sinus-und Cosinusfunktionen) die Amplitudenwerte definieren, die vorliegende Erfindung eine Hochauflösungsdetektion, sogar wenn eine Verschiebung des zu detektierenden Objektes sehr klein ist.

Claims (12)

  1. Hubsensor zum Detektieren einer Hubposition eines bewegbaren Elements (3), das in bezug auf einen Körper (2) innerhalb eines in dem Körper ausgebildeten Raumes linear bewegbar ist, wobei der Hubsensor folgendes aufweist: ein Sensorelement (4) mit einem Ende, das ausragend an einem vorgegebenen Ende des Körpers (2) gehalten wird, und mit einem anderen Ende, das sich in den Raum des Körpers (2) erstreckt, wobei das bewegbare Element (3) in seinem Inneren einen Innenraum (5) aufweist, der dem Sensorelement (4) das Eintreten in das bewegbare Element (3) ermöglicht; einen Spulenabschnitt (10), der auf einem derbeiden Teile Sensorelement (4) und Innenumfangswand des bewegbaren Elements (3), die den Innenraum (5) definiert, vorgesehen ist; und eine auf Magnetismus ansprechende Substanz (11), die auf einem anderen der beiden Teile Sensorelement (4) und Innenumfangswand des bewegbaren Elements (3), die den Innenraum (5) definiert, in der Art und Weise vorgesehen ist, dass die auf Magnetismus ansprechende Substanz (11) in bezug auf den Spulenabschnitt (10) bewegbar ist, wobei relative Positionen der auf Magnetismus ansprechenden Substanz (11) und des Spulenabschnitts (10) in Entsprechung zu einer Hubposition des bewegbaren Elements (3) variieren, dadurch gekennzeichnet, dass der Spulenabschnitt (10) eine Vielzahl von Spulensegmenten (LA –LD) aufweist, die durch ein vorgegebenes Wechselstrom-Signal erregbar sind und entlang einer Richtung einer linearen Bewegung des bewegbaren Elements (3) sequentiell angeordnet sind, im Ansprechen auf welche die jeweilige Induktivität der Spulensegmente (LA – LD) auf solche Weise variiert, dass während einer Bewegung der auf Magnetismus ansprechenden Substanz (11) von einem Ende zu einem anderen eines besonderen der Spulensegmente (LA –LD) bewirkt wird, dass eine Spannung über dem besonderen Spulensegment progressiv abnimmt oder zunimmt, der Hubsensor ferner einen arithmetischen Operator (20, 21) zum Erzeugen einer Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen auf der Grundlage der jeweiligen Spannungen der Spulensegmente aufweist, wobei die Vielzahl der Wechselstrom-Ausgangssignale besondere Amplituden auf der Grundlage von vorgegebenen zyklischen Funktionscharakteristiken in Entsprechung zu der Hubposition des bewegbaren Elements (3) darstellen, und wobei die zyklischen Funktionscharakteristiken jeweilige der Amplituden der Vielzahl der Wechselstrom-Ausgangssignale definieren, die zyklische Funktionen einer gleichen Charakteristik aufweisen, welche gegeneinander um einen vorgegebenen Phasenbetrag verschoben sind.
  2. Hubsensor nach Anspruch 1, bei dem der arithmetische Operator (20, 21) die jeweiligen Spannungen der Spulensegmente entnimmt und eine Addition und/oder Subtraktion zwischen den Spannungen der Spulensegmente durchführt, um dadurch die Vielzahl von Wechselstrom-Ausgangssignalen zu erzeugen.
  3. Hubsensor nach Anspruch 1 oder 2, der ferner einen Amplituden-Phasen-Konvertierungsabschnitt (22) aufweist, der die Vielzahl der durch den arithmetischen Operator (20, 21) erzeugten Wechselstrom-Ausgangssignale empfängt und, aus einer Beziehung zwischen Amplitudenwerten in der Vielzahl der Wechselstrom-Ausgangssignale, besondere Phasenwerte in den vorgegebenen zyklischen Funktionen detektiert, die die Amplitudenwerte definieren, um Daten zu erzeugen, die für die auf der Grundlage der detektierten besonderen Phasenwerte zu detektierende Position des bewegbaren Elements kennzeichnend sind.
  4. Hubsensor nach einem der Ansprüche 1 – 3, bei dem die Vielzahl der Wechselstrom-Ausgangssignale ein Wechselstrom-Ausgangssignal enthält, das eine Amplitude einer Sinusfunktionscharakteristik in Entsprechung zu der Hubposition des bewegbaren Elements (3) darstellt, und ein Wechselstrom- Ausgangssignal enthält, das eine Amplitude einer Cosinusfunktioncharakteristik in Entsprechung zu der Hubposition des bewegbaren Elements darstellt.
  5. Hubsensor nach einem der Ansprüche 1 – 4, bei dem der Spulenabschnitt (10) an dem Sensorelement (4) vorgesehen ist und die auf Magnetismus ansprechende Substanz (11) an der den Innenraum (5) definierenden inneren Umfangswand des bewegbaren Elements (3) vorgesehen ist.
  6. Hubsensor nach Anspruch 5, bei dem das Sensorelement (4) einen eine magnetische Substanz (8) enthaltenden Spulenkörper (6) aufweist und jedes der Spulensegmente des Spulenabschnitts in den Spulenkörper eingepaßt ist.
  7. Hubsensor nach Anspruch 6, bei dem der Spulenkörper (6) einen zylindrischen Abschnitt, der aus einem nichtmagnetischen Material hergestellt ist, und einen oder mehrere Magnetstäbe (8) enthält, die in dem zylindrischen Abschnitt aufgenommen werden.
  8. Hubsensor nach Anspruch 5 oder 6, bei dem die magnetische Substanz oder jeder des einen oder der mehreren Magnetstäbe eine auf diesen ausgebildete elektrisch leitende Beschichtung aufweist.
  9. Hubsensor nach Anspruch 5, bei dem das Sensorelement (4) einen Kernstab mit dem dort eingepaßten Spulenabschnitt und einen magnetischen Abstandshalter (31; 31a, 31b) aufweist, der zwischen gegenüberliegende Enden jedes benachbarten Paars der Spulensegmente (LA – LD) eingefügt ist.
  10. Hubsensor nach Anspruch 5, bei dem das Material des bewegbaren Elements (3) selbst die auf Magnetismus ansprechende Substanz (11) aufweist.
  11. Hubsensor nach einem der Ansprüche 1 – 10, bei dem die auf Magnetismus ansprechende Substanz (11) wenigstens eines der folgenden enthält, ein magnetisches Material und/oder ein elektrisch leitendes Material.
  12. Hubsensor nach einem der Ansprüche 1 – 11, bei dem der Spulenabschnitt (LA – LD) im wesentlichen eine einzige Spule aufweist, die sich entlang der Richtung einer linearen Bewegung des bewegbaren Elements erstreckt, und eine Vielzahl von Ausgangsanschlüssen (1418) in vorgegebenen Zwischenpositionen der einzigen Spule vorgesehen sind, so dass die Vielzahl der Spulensegmente (LA – LD) durch die einzige Spule gebildet werden.
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