JP2010532151A - 複雑性低減型セルフ・ベアリング・ブラシレスｄｃモーター - Google Patents

複雑性低減型セルフ・ベアリング・ブラシレスｄｃモーター Download PDF

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Abstract

モーターを転流する方法には、モーターのステーターおよびモーターの作動コンポーネントを効果的に接続し、作動コンポーネントに対して少なくとも2つの巻線セットを配置し、およびこの少なくとも2つの巻線セットを独立して制御し、この少なくとも2つの巻線セットで作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うことが含まれる。

Description

開示されている実施例は、特に巻線セット数を減らしたセルフ・ベアリング・モーターをはじめとした電磁ベアリングおよびモーターに言及している。
本出願は、2007年6月27日に提出された『Commutation of An Electromagnetic Propulsion and Guidance System（電磁推進および誘導システムの転流）』という題名の米国特許出願の代理人整理番号390-012197-US（PAR）に関連するものである。
モーターを利用する特定の用途では、微細な汚染物質が重大な問題を引き起こす可能性があるため、材料は制御された清潔な場所において処理されなければならない。これらの用途において、清浄度は直接歩留まりに影響する場合があり、これはコストに影響をもたらすことがある。他のモーターの用途としては、非常に腐食性の高い気体や高温という過酷な環境を利用した処理工程を含めてもよい。コンタクト・ベアリングのあるモーターは、この過酷な環境によって、摩耗したり、粒子状汚染物が生じたり、最終的に故障することがある。さらにベアリングでは、故障の前に振動量や遊びが許容範囲を超える場合もある。
1998年10月6日に発行された米国特許No. 5,818,137は、ローターを持ち上げる永久磁石、ローターの半径方向の位置および傾斜の向きを安定させる8つの制御巻線、およびローターを作動させる駆動巻線で構成されるステーターを有する、統合型磁気動力およびサスペンション・システムを説明している。2004年3月16日に発行された米国特許No. 6,707,200は、それぞれ少なくとも2相がある同じ長さのコイル・セグメント4つを利用した、統合磁気ベアリングを有する、回転型磁気ジンバルを説明している。所望の回転速度および所望の半径方向の位置の両方を実現するため、コイル・セグメントそれぞれには、独立して（または3相モーターにおけるもののように、コイル・セグメントのグループに対して）トルクが印加される。2006年7月18日に発行された米国特許No. 7,078,839は、それぞれ3相あるコイル・セグメント5つを有する、セルフ・ベアリング非対称ステッピング・モーターを説明している。それぞれのコイルに供給される電流量は、ローターの中心の幾何学的離心率によって異なり、このためそれぞれの電磁石からは異なる磁力が生じる。磁力が異なるため、ローターは支持可能となり、幾何学的な偏りについて補正が行われる。
開示された実施例は、モーターの転流の方法を対象としており、モーターではモーターのステーターおよび作動コンポーネントを効果的に接続し、作動コンポーネントに対して少なくとも2つの巻線セットを配置し、この少なくとも2つの巻線セットを独立して制御し、この少なくとも2つの巻線セットでアクチュエーターの駆動およびセンタリングの両方ができるようになっている。
他の実施例において、モーターを転流するための装置には、モーターの作動コンポーネントに対して配置される少なくとも2つの巻線セット、およびこの少なくとも2つの巻線セットによって作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方ができるようこの少なくとも2つの巻線セットを独立して制御できるようになっている転流回路が含まれる。
さらに他の実施例では、モーターには独立して制御される少なくとも2つの巻線セットを有するステーター、ステーターと効果的に接続された作動コンポーネント、およびこの少なくとも2つの巻線セットに対して通信のために接続されたコントローラーが含まれており、これによってこの少なくとも2つの巻線セットが作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう制御される。ここで、この少なくとも2つの巻線セットを制御して、この少なくとも2つの巻線セットによって作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うよう、この少なくとも2つの巻線セットは作動コンポーネントに対して配置され、このコントローラーはプログラミングされている。
他の実施例では、基板処理装置には独立して制御される少なくとも2つの巻線セットを有するステーター、ステーターと効果的に接続された作動コンポーネント、およびこの少なくとも2つの巻線セットに対して通信のために接続されたコントローラーが含まれており、これによってこの少なくとも2つの巻線セットが作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう制御される。ここで、この少なくとも2つの巻線セットを制御して、この少なくとも2つの巻線セットによって作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うように、この少なくとも2つの巻線セットは作動コンポーネントに対して配置され、このコントローラーはプログラミングされている。
他の実施例において、モーターを転流させるための方法には、調整電気角を算出し、モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、ローターが少なくとも2つのモーター巻線セットで能動的にセンタリングを行うように、一連の共通した転流方程式でこの調整電気角を利用するものが含まれている。
他の実施例において、モーターを転流させるための方法には、調整電気角を算出し、モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、ローターが少なくとも2つのモーター巻線セットで能動的にセンタリングするように、モーターを転流させるための転流方程式にその調整電気角を代入するものが含まれている。
他の実施例において、モーターを転流させるための方法には、調整電気角を算出するための回路、一連の共通した転流方程式でこの調整電気角を利用できる電流増幅器が含まれ、この一連の共通した転流方程式が、少なくとも2つの巻線セットを有するモーター、および少なくとも3つの巻線セットを有するモーターにおいてトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成可能となるようになっている。
さらに他の実施例において、モーターには、ローター、および電流増幅器で駆動される巻線が含まれ、この電流増幅器は調整電気角を算出するための回路、一連の共通した転流方程式でこの調整電気角を利用できる増幅器を有し、2つの巻線セットまたは3つの巻線セットのいずれか一方であるモーターにおいて、この一連の共通した転流方程式が互いに異なるトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成可能となっている。
さらに他の実施例において、基板処理装置には、調整電気角を算出するための回路および一連の共通した転流方程式でこの調整電気角を利用できる電流増幅器を有するコントローラーが含まれ、2つの巻線セットまたは3つの巻線セットのいずれか一方であるモーターにおいて、この一連の共通した転流方程式が互いに異なるトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成可能となっている。
さらに他の実施例において、基板処理装置には、ローター、および電流増幅器で駆動される巻線を有するモーターが含まれ、この電流増幅器は調整電気角を算出するための回路、一連の共通した転流方程式でこの調整電気角を利用できる増幅器を有し、2つの巻線セットまたは3つの巻線セットのいずれか一方であるモーターにおいて、この一連の共通した転流方程式が互いに異なるトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成可能となっている。
現在開示されている実施例の上述の側面およびその他の機能は、別添の書類に付随して理解され、以下の記述において説明されている。
開示された実施例を実践するのに適した例示的なモーターの説明図である。 図1の実施例の動作の例示的なフロー・チャートである。 直線的構成を有する例示的なモーターの実施例である。 約180度のオフセットで2つの巻線セットを有する、例示的なモーターの実施例である。 モーターの周囲に巻線セットが配分された例示的なモーターの実施例である。 巻線セットが多くの巻線サブセットの集合に分割されている例示的な実施例である。 3つの巻線セットを使用した例示的な実施例である。 4つの巻線セットを使用した例示的な実施例である。 開示された実施例について位置フィードバックを行うのに適したセンサー・システムの例示的な実施例である。 開示された実施例の機能を取り込んだ例示的な基板処理装置1000の平面図である。
図1は、本書で開示された実施例を実践するのに適した例示的なモーター100の説明図である。現在開示されている実施例は図面への参照とともに説明されるが、数多くの代替的な形態において実施されてもよいと理解されるべきである。また、要素または材料の何らかの適したサイズ、形状または種別も使用可能であると理解されるべきである。
モーター100には、ローターの形態におけるこの実施例において、作動コンポーネント110、および巻線セット115、120が含まれている。開示された実施例の目的について、作動コンポーネントという用語は、本書で説明されている巻線セットによって生成される力に応じて動作を行い、力を印加する機器が含まれると理解されるべきである。開示された実施例のローターおよびプラテンは、作動コンポーネントの例である。
図1に描かれている例示的なモーター100の実施例は、ロータリー構成を有するものとして示されているが、他の実施例では以下で説明されるとおり、直線的構成を有するものとしてもよい。ローターとも呼ばれる作動コンポーネント110は、何らかの適した構造を有していてもよい。巻線セット115、120には、1つまたは複数の巻線を含めてもよく、電流増幅器125によって駆動されるようにしてもよい。なお、この電流増幅器125は、この巻線セットを駆動するのに適したソフトウェア、ハードウェアまたはソフトウェアおよびハードウェアの組み合わせが含まれていてもよい。
図1Aは、図1の実施例の動作の例示的なフロー・チャートである。図1および1Aを参照した場合、ブロック10において、コントローラー12はモーター100（ブロック60）の1つまたは複数のセンサーまたはセンサー・システム105から作動コンポーネントの位置情報を受け取るよう動作していてもよい。このコントローラーはその後、この位置情報およびシステム・コントロールの法則から力およびトルク命令を決定してもよい。ブロック20において、このコントローラー112はその後、一連の指令された巻線の力を生成すべく、1つまたは複数の変形の力を印加してもよい。ブロック30において、この一連の命令された巻線の力はその後、以下で説明されるように、例えばIおよびΔなどの転送パラメーターを決定するために使用してもよい。このコントローラーはその後、電流増幅器125に対する転流パラメーターを提示してもよい。
また、この電流増幅器125には、巻線セットを駆動するためにプロセッサー127、転流機能130、および電流ループ機能135が含まれていてもよい。このプロセッサーは全般的に、転流および電流ループ機能の動作の制御および連携を行ってもよい。このプロセッサーは、ブロック40に示されているとおり転流機能130に対する転流パラメーターを提示してもよく、一連の転流方程式に応じて、各巻線セットの1つまたは複数の巻線について、指令された電流を決定してもよい。ブロック50において、電流ループ機能135はモーターの巻線115、120に対して実際の電流を供給してもよい。また、この電流ループ機能は、決定されたとおり巻線を通した電流を保持するために、フィードバックおよび駆動性能を提供してもよい。本書で開示されている各電流増幅器には、回路、ハードウェアまたはソフトウェアが、開示された実施例を対象とした機能および演算を実行するために必要となる何らかの組み合わせにおいて含まれる。
図2は直線的構成を有する他の例示的なモーターの実施例である。モーター200には、プラテンおよび巻線セット215、220の形態を有するこの実施例において、作動コンポーネント210が含まれている。図1の実施例に類似して、作動コンポーネント210は何らかの適した形態において構成されていてもよく、巻線セット215、220には1つまたは複数の巻線が含まれていてもよい。開示された実施例の目的において、ローターは軸方向に沿って制約されていてもよいと理解されるべきである。
個々の巻線セット215、220は適した方向になっていてもよいと理解されるべきである。電流増幅器225は巻線セット215、225を駆動してもよく、この巻線セットを駆動するのに適したソフトウェア、ハードウェアまたはソフトウェアおよびハードウェアのいずれかの組み合わせが含まれていてもよい。プロセッサー230、転流機能235、および電流ループ機能240は、図1の実施例に類似して、巻線セット215、225を駆動するために電流増幅器225によって使用されてもよい。また、このプロセッサー230、転流機能235、および電流ループ機能240には、位置情報を提供する1つまたは複数のセンサーまたはセンサー・システムからのフィードバックを受信するために回路が含まれていてもよい。
開示されている実施例は、セルフ・ベアリング・モーターの機能に影響を及ぼす、最小限の巻線セット数を有利に使用するセルフ・ベアリング・モーターを意図している。例えば、1つまたは複数の実施例は、セルフ・ベアリングに必要な力を生み出す際に、1つのモーターで2つの巻線セットのみを使用してもよい。この巻線には、開示された実施例での使用に適した、いずれの種別の巻線が含まれていてもよい。
開示された実施例は、ロータリーの実施例における作動コンポーネントまたはローターの回転の中心を能動的に制御するために、同じ巻線を使用して、実質的に独立したトルク力および半径方向力を生み出してもよい。直線的な実施例において、ステーターおよびプラテンの間のギャップに沿った方向の周囲でプラテンを能動的に制御するために、同じ巻線を使用して、動作および案内力の方向で実質的に独立した直線的な力を生み出してもよい。開示された実施例の目的において、動作方向の直線的な力およびトルクは、総称して駆動力と呼ばれる。開示された実施例の目的において、ロータリーの実施例におけるローターの回転の中心を能動的に制御するための半径方向力、およびステーターおよびプラテンの間のギャップに沿った案内力は総称して、向心力と呼ばれる。
開示されたモーターの実施例には、分割された巻線が含まれていてもよく、例えばローターまたはプラテンの所望の部分に沿って、巻線セットを1つまたは複数の巻線サブセットの集合として配分させてもよい。各巻線サブセットの集合には、1つまたは複数の巻線を含めてもよく、ロータリーの実施例については実質的に独立した半径方向力および接線力を同時に生み出すように、直線的な実施例については実質的に独立した推進力および案内力を生み出すように駆動されてもよい。少なくとも1つの実施例において、調整電気角は、巻線を励磁する際の一連の共通した転流方程式で算出および使用されてもよい。また他の転流の実施例を使用してもよい。上記で述べたとおり、この実施例の作動コンポーネント、例えば、ローター110およびプラテン210は、モーターの巻線セットわずか2つのみで能動的にセンタリングされてもよい。セルフ・ベアリング・モーターの追加的な実施例では、巻線および磁気ポールの新規性のある配置を使用してもよい。
セルフ・ベアリング・モーターの一部の実施例では、わずか2つの巻線セットおよびわずか2つの制御チャネルを使用してもよい。ローターといった形態における作動コンポーネントに対する接線および半径方向の両方に沿った力、またはプラテンといった形態における作動コンポーネントの動作および案内の方向に沿った力を提供する際に、1つまたは複数の転流機能を使用してもよい。ローレンツおよびマックスウェルといった種別の力を採用してもよい。駆動力および向心力を生成する際の効率を向上させる際に、最適化技法を適用してもよい。
位置およびギャップの両者のフィードバックを行うため、センサー・システムを含めてもよい。例えば、センサー・システムは第1および第2の軸に沿った同時位置測定を行うように構成されていてもよい。また、センサー・システムは、第1および第2の軸の測定と同時に、または個別に、第3の軸に沿った測定を行うことができるようになっていてもよい。1つまたは複数の実施例において、センサー・システムはすべての測定を個別に、同時に、または任意の組み合わせで行うようになっていてもよい。少なくとも1つの実施例において、1つの軸はモーターのローターまたはプラテンに対して接線方向に伸びていてもよい一方で、もう一方の軸はローターまたはプラテンの面に直交していてもよい。
さらなる実施例において、モーターの実施例の位置およびギャップのフィードバックは、限られた数のセンサーを使用することで得られる。少なくとも1つの実施例において、わずか2つのペアのセンサーのみを使用してもよく、この場合、複数個のセンサー装置の必要性がなくなる。各ペアの範囲内で、センサーは何らかの機械的角度または電気角の距離をおいて配置してもよい。最初のペアの対応するセンサーは、追加ペアにおける対応するセンサーから、何らかの機械的角度または電気角の距離をおいて配置してもよい。少なくとも1つの実施例において、開示されたモーターについてフィードバックを行うために、2つのペアのセンサーが使用される。
開示された実施例の用途には、適切なモーターの用途が含まれていてもよい。例えば、半導体処理におけるロボット工学などである。また開示されたセルフ・ベアリング・モーターは、通常のベアリングの代用として使用してもよい。例えば、セルフ・ベアリング・モーターは、ロボット・アームを制御する駆動シャフトによって有利に使用することもできる。コンタクト・ベアリングをなくすことで、粒子の発生を有利に減少させ、増幅器のチャネル数を減少させることで、ハードウェア実装のコスト節約となる。
図3、4、5、6および7は、本書で開示されたセルフ・ベアリング・ブラシレス・モーターの追加的な実施例を示している。簡潔にするため、モーター1つあたり1相のみ示されている。様々な伝導体における電流の向きは、点のある丸印は紙面から外に向かうもの、また×に丸印があるものは紙面に向かう方向として示されていると考えてもよい。各モーターには、永久磁石による作動コンポーネントが含まれていてもよく、例えば、N極およびS極と記載され交互に配置された一連のポールを有するローター310が可能であるが、適したローター構造であればいずれも使用可能である。
この例示的な実施例において、ステーターは「鉄心」のコア（例えば、強磁性体など適した材料から構成されたステーターの支持体）を有していてもよく、またはモーターは中核なしのステーターとなっていてもよい。図3、4、5、6および7に示されている実施例について、所望の駆動力トルク（T）およびX軸に沿った向心力（Fx）およびY軸に沿った向心力（Fy）の関係は、ローレンツ力を使用した上でのモーター配置について、またローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせを使用した上での配置について、本書において記載されている。この関係は、所望のトルクT、力Fxおよび力Fyを同時に生み出す各巻線セットについて適切な転流動作を決定する際に使用してもよい。
少なくとも1つの実施例において、この関係は、モーターにおいて独立したトルクT、半径方向力FxおよびFyを同時に生み出す各巻線セットについて、適切な相電流の増幅（Ij, j = A, B, C, …）および電気角オフセット（Δj, j = A, B, C, …）を決定する際に使用してもよい。相電流の増幅（Ij, j = A, B, C, …）および電気角オフセット（Δj, j = A, B, C, …）が決定したら、これらは所望のトルク（T）、またX軸に沿った所望の向心力（Fx）およびY軸に沿った所望の向心力（Fy）を生み出すための一連の共通した転流機能とともに使用してもよい。
実施例によっては、モーターは3相正弦波転流によって駆動されていてもよい。その他の実施例において、正弦波転流の代用手段として、巻線を通して同等の正弦波を生み出す際にY字構成の巻線を対象に、空間ベクトル変調を使用してもよい。
図3を参照すると、所望のトルク（T）および向心力Fx（X軸に沿ったもの）およびFy（Y軸に沿ったもの）を対象とした例示的な関係は、2つの巻線セット、巻線セットAの315、巻線セットBの320についてローレンツ力を使用した、半径方向力Frjおよび接線力Ftjおよび（j=A,B）の関数として、以下に示されている。
この関係、計算および結果として生じる転流スキームは例示的であり、開示された実施例においては、独立した駆動力および向心力を決定するにあたって、いずれの適した転流の解法を使用してもよいと理解されるべきである。2つの巻線セットが示されているが、モーターには開示された実施例に従って使用されるものに加えて、追加的な巻線または巻線セットが含まれていてもよいと理解されるべきである。また、本書に記載されている実施例の所望の独立した駆動力および向心力を生み出すためには、任意の個数の巻線セットを使用してもよいと理解されるべきである。巻線セットAの315およびBの320は約180度のオフセットで示されているが、他のオフセットを使用してもよいと理解されるべきである。
上記で示したとおり、巻線セットが配置されるステーターは、「鉄心」の支持体（例えば、コアのあるステーター）を有していてもよく、ステーターはコアなしでもよい。例示的な力関係は、図3の実施例についてはローレンツ力を使用して、以下のとおり表現でき、ここでRはローターの半径である。
Figure 2010532151
力関係は3つの方程式および4つの未知数によって表現されることが理解される。例えば、以下のコスト関数の最小値を求めることによって、追加的な方程式も得られる。
Figure 2010532151
上記で使用されたコスト関数は、便宜上、Y軸方向の力を2つの巻線セット間で等しく配分させ、異なる半径方向力が互いに干渉することを防いでいる例である点に留意すべきである。また、問題を解く際には、他のコスト関数を使用してもよい。例えば、巻数から得られる電流に基づいた他のコスト関数を使用してもよい。
上記のコスト機能の最小化によって、（1）から（3）の制約において最小の半径方向力が得られる：
Figure 2010532151
およびについて（1）および（2）を解くと：
Figure 2010532151
図3の実施例については、ローレンツ力を使用して以下の力／電流の関係を使用してもよい（3相巻線セットを想定）：
Figure 2010532151
ここで、
IA = 巻線Aの相電流の増幅（A）
IB = 巻線Bの相電流の増幅（A）
ΔA = 巻線セットAの電気角オフセット（rad）
ΔB = 巻線セットBの電気角オフセット（rad）
（7）から（12）を使用すると：
Figure 2010532151
開示された実施例の目的について、本書に記載されているすべてのアークタンジェント関数（atan）は、第4象限の逆正接関数（atan2）および対応する偏角として解釈してもよい。
以下の例示的なモーターの転流方程式を使用してもよい：
Figure 2010532151
ここで、IA、ΔA、IB、ΔBは、巻線セットAおよびBによって生み出される力ベクトルの大きさおよび向きであり、ここで：
j = 各巻線セットの個別の相。
この例においては、このとおり、電気角ΘAおよびΘBに加えて電気角オフセットΔAおよびΔBを調整することで、一連の共通した、または一連の標準的なモーター転送方程式を使用して、所望のトルク（T）およびX軸に沿った能動的な向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）を生み出してもよく、この実施例においてはわずか2つの巻線セットのみがローレンツ力を生み出している。また、何らかの適切な転流実施例を使用した、他の転流スキームを採用してもよい。
この方法における一連の標準的な転流方程式を使用する適切な例示的な技法は、全体を参照して本明細書に組み込まれている、2007年6月27日に提出された『Commutation of An Electromagnetic Propulsion and Guidance System（電磁推進および誘導システムの転流）』という題名の米国特許出願の代理人整理番号390-012197-US（PAR）において認めることができる。
図3を再び参照すると、他の例示的な実施例に従ったモーターの配置では、ローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせを使用してもよい。所望のトルク（T）およびX軸に沿った向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）の半径方向力および接線力（Frj, Ftj, j = A, B）の関数としての関係は、方程式（1）から（3）と同じである。上記の実施例と同様に、この関係、計算および結果として生じる転流スキームは例示的であり、開示された実施例においては、いずれの適した転流の解法を使用してもよいと理解されるべきである。
図3の実施例について、ローレンツ力およびマックスウェル力を使用して、以下の力／電流の関係を使用してもよい。
Figure 2010532151
このように導き出すと、Fy > 0およびFy < 0といった2つの場合に分割することができる（図3に示された符号の付け方に関して）。これら2つの場合は例示的なものである。開示された実施例に従った接線力および半径方向力の両者を生み出すために単独の巻線セットをしようしながら、IA、ΔA、IB、ΔBについて解法を決定する際に、他の技法および力配分を使用してもよいと理解されるべきである。
Fy > 0の場合には、
Figure 2010532151
とおいて、例えば巻線セットBの320に付随したマックスウェル力を最小化し、Fyと干渉しないようにする。
Fy < 0の場合には、
Figure 2010532151
とおいて、例えば巻線セットAの315に付随したマックスウェル力を最小化し、Fyと干渉しないようにする。
ゆえに、Fy > 0という例示的な場合：
Figure 2010532151
また、Fy < 0という例示的な場合：
Figure 2010532151
ここで、T、FxおよびFy の関数としてのaj、bjおよびcj（j = A, B）は、以下の表1で定義される：
Figure 2010532151
巻線セットAの315およびBの320を駆動する転流機能130で誘導されたIA、ΔA、IB、ΔBを適用すると、例えば上記（17）および（18）を使用することで、一連の共通したモーター転流方程式を使用して、この実施例においてはローレンツ力およびマックスウェル力の両者を生み出す、わずか2つの巻線セットを使用した所望のトルク（T）およびX軸に沿った能動的な向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）を生み出すこともできる。
このように、上記の実施例に類似しているが、電気角ΘAおよびΘBに加えて電気角オフセットΔAおよびΔBを調整することで、一連の共通した、または一連の標準的なモーター転送方程式を使用して、所望のトルク（T）およびX軸に沿った能動的な向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）を生み出してもよく、この実施例においてはわずか2つの巻線セットのみがローレンツ力およびマックスウェル力を生み出している。また、何らかの適切な転流実施例を使用した、他の転流スキームを使用してもよい。
図4は、モーター410の周囲の所望の位置に巻線セット415、420が配分した、例示的な実施例を示している。各巻線セット415、420は、任意の個数の巻線サブセットの集合に分割されてもよく、これは任意の個数の所望の場所において配分してもよい。この巻線サブセットの集合は、互いに、またはローター410に関して、いずれの所望の電気的または機械的なオフセットによってグループ化または配分されていてもよい。任意の個数の巻線セットおよび巻線サブセットおよびいずれの適した配分も使用できる。図4は、2つの巻線セット410、420を使用した例示的な実施例を示しており、各巻線セットはそれぞれ2つの巻線サブセット425、430および435、440として配置されている。各巻線セットのこの2つの巻線サブセットは、適した電気的および機械的オフセットによって互いに電気的な組み合わせおよび移動が行われている。
図5は、2つの巻線セットAの515およびBの520を使用した例示的な実施例を示しており、各巻線セットはそれぞれ2つの巻線サブセット525、530および535、540として配置されている。各巻線セットのこの2つの巻線サブセットは、約90度の電気角によって互いに電気的な組み合わせおよび移動が行われている。この結果、ペアにあるこの2つの巻線サブセットの一方が純粋な接線力を生み出すと、ペアにある他方の巻線サブセットは純粋な半径方向力を生み出し、この逆もまた真となる。示されている例示的な実施例において、個別の巻線セットのそれぞれの部分は約90度の角度において、幾何学的に配置してもよい。代替的な実施例において、1つの個別の巻線セットの複数の巻線部分間における幾何学的角度のオフセットおよび電気角のオフセットは互いに異なっていてもよい。この実施例において、巻線セットAの515には2つの巻線サブセットA0 530およびA90 525を有し、巻線セットBの520は2つの巻線サブセットB0 540およびB90 535を有している。この巻線セットAおよびBのそれぞれは、図1の電流増幅器125に類似した電流増幅器によって駆動してもよい。
図5の実施例の分割された巻線セット515、520について、所望のトルク（T）およびX軸に沿った向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）の例示的な関係は、ローレンツ力を使用すると以下に示されるとおりである。この関係、計算および結果として生じる転流スキームは例示的であり、開示された実施例においては、いずれの適した転流の解法を使用してもよいと理解されるべきである。2つの巻線セットが示されているが、任意の個数の巻線セットを使用してもよいと理解されるべきである。同様に、4つの巻線サブセットが示されているが、任意の個数の巻線サブセットを使用してもよいと理解されるべきである。さらに、巻線サブセット525、530、535、540は90度のオフセットで示されているが、他のオフセットを使用してもよいと理解されるべきである。
図5の実施例についての力の関係は、以下のように表すことができる：
Figure 2010532151
各巻線セット内において、巻線サブセットは90度の電気角によってオフセットされているため、以下の方程式が成り立つ点に留意されたい。
Figure 2010532151
図5の実施例について、ローレンツ力を使用して、以下の力／電流の関係を使用してもよい：
Figure 2010532151
半径方向力および接線力に関して、IA、ΔA、IB、ΔBの解を求めるためには、方程式の数よりも変数の方が多いため1つ方程式を追加する必要がある。この問題を解くためには数多くの方法があり、使用された設計基準に応じて異なる解が得られる。例として、以下のコスト関数を最小化することによって、この追加的な方程式が提案される。
Figure 2010532151
方程式（33）から（45）によって、以下の解に到達することができる：
Figure 2010532151
巻線サブセット525、530および巻線サブセット535、540を駆動する、例えば130（図1）のような転流機能で誘導されたIA、ΔA、IB、ΔBを適用すると、例えば上記（17）および（18）を使用することで、一連の共通したモーター転流方程式を使用してこの実施例においてローレンツ力を生み出す、わずか2つの巻線セットで所望のトルク（T）およびX軸に沿った能動的な向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）を生み出すこともできる。
このように、上記の実施例に類似しているが、電気角ΘAおよびΘBに加えて電気角オフセットΔAおよびΔBを調整することで、一連の共通した、または一連の標準的なモーター転送方程式を使用して、所望のトルク（T）およびX軸に沿った能動的な向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）を生み出してもよく、この実施例においてはわずか2つの巻線セットのみがローレンツ力およびマックスウェル力を生み出している。また、何らかの適切な転流実施例を使用した、他の転流スキームを採用してもよい。
図6は、3つの巻線セットAの615、Bの620およびCの625を使用した例示的な実施例を示しており、巻線セットは示されているとおり、A、BおよびCと記載されたローターの3つの部分を覆っている。任意の個数の部分を覆う任意の個数の巻線セットを含めてもよいと理解されるべきである。この巻線セットAの615、Bの620およびCの625のそれぞれは、電流増幅器630によって駆動してもよい。電流増幅器630には、この巻線セットを駆動するのに適したソフトウェア、ハードウェアまたはソフトウェアおよびハードウェアの組み合わせが含まれていてもよい。また、電流増幅器630には、所望の個数の巻線セットを駆動するために、プロセッサー635、転流機能640、および電流ループ機能645が含まれていてもよい。図1にある電流増幅器125に類似して、この転流機能640は一連の特定の機能に従って各巻線セットの巻線について電流を決定してもよく、一方でこの電流ループ機能645は決定されたとおり巻線を通した電流を保持するため、フィードバックおよび駆動能力を提供してもよい。また、このプロセッサー635、転流機能640、および電流ループ機能645には、位置情報を提供する1つまたは複数のセンサーまたはセンサー・システムからのフィードバックを受信するために回路が含まれていてもよい。
以前に記載したとおり、図6に示されている例示的な実施例におけるモーターは、ローレンツ力に基づいて動作するように構成してもよい。再び図6を参照すると、所望のトルク（T）およびX軸に沿った向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）の例示的な関係は、ローレンツ力を使用すると以下に示されるとおりに表すこともできる。この関係、計算および結果として生じる転流スキームは例示的であり、開示された実施例においては、いずれの適した転流の解法を使用してもよいと理解されるべきである。3つの巻線セットが示されているが、任意の個数の巻線セットを使用してもよいと理解されるべきである。 巻線セットAの615、Bの620およびCの625は約120度のオフセットでステーターの周囲で実質的に均等に配分されているものとして示されているが、他のオフセットを使用してもよいと理解されるべきである。他の代替的な実施例において、巻線セットは所望の軸の周りにおいておおむね対照的に、ただしステーターの周囲に関して不均等に配分される構成として配置されてもよい。
図6の実施例についての力の関係は、ローレンツ力を使用すると以下のように表すことができる：
Figure 2010532151
ここで：
Figure 2010532151
と仮定する。これは3つの巻線セット間でトルクを生み出す接線力を均等に配分するためである。均等な配分は例示的な解法であり、IA、ΔA、IB、ΔBについて解法を決定する際に、他の技法および力配分を使用してもよいと理解されるべきである。上記の実施例において示されているとおりコスト関数を導入することで、他の力配分を使用してもよい。例えば、巻数から得られる電流に基づいたコスト関数を使用してもよい。
（54）、（55）、（56）および（57）を使用すると：
Figure 2010532151
図1の実施例と類似して、図6のこの実施例については2つの方程式および3つの未知数がある。ゆえに、もう1つの方程式が必要とされる。この追加的な方程式は、以下の例示的なコスト関数を最小化することによって得ることもできる。以前述べたとおり、他のコスト関数および力配分を使用してもよい。
Figure 2010532151
これによって、以下のとおり最適化された解が得られる：
Figure 2010532151
図6の実施例について、ローレンツ力を使用して、以下の力／電流の関係を使用してもよい：
Figure 2010532151
この結果：
Figure 2010532151
ここでjは各巻線セットを表し、そして：
Figure 2010532151
上記の実施例に類似して、ローレンツ力を生み出す3つの巻線セット615、620、625を使用して、所望のトルクTおよび向心力FxおよびFyを実現するために、巻線セットA、BおよびCに適用可能な、例えば（17）の形態における転流方程式を使用して、転流機能640においてIjおよびΔj（ここでj=A, B, C）を適用してもよい。
上記の実施例と同様に、一連の共通したモーター転流方程式を使用して、所望のトルクおよび向心力を得るために、電気角オフセットΔj（ここでj=A, B, C）を使用して電気角を調整してもよい。また、何らかの適切な転流実施例を使用した、他の転流スキームを採用してもよい。
引き続き図6を再び参照すると、他の実施例におけるモーターは、ローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせによって動作するよう構成されていてもよい。所望のトルク（T）およびX軸に沿った向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）の半径方向力および接線力（Frj, Ftj, j = A, B）の関数としての例示的な関係は、上記で開示されたローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせを使用して、図3の実施例と類似していてもよい。
この実施例において、図6のモーターについて定義された3つの部分A、BおよびCに対する所望の向心力ベクトル（Fx, Fy）の位置に基づいて、解を取得してもよい。例えば、各部分は120度であってもよく、3つの解は各部分について1つ求めてもよい。
図6の実施例について、ローレンツ力およびマックスウェル力を使用して、以下の力／電流の関係を使用してもよい。
Figure 2010532151
図6の実施例についてローレンツ力およびマックスウェル力を使用した例としての解は以下の表2に示されており、ここで
Figure 2010532151
および
Figure 2010532151
 （j=A,B）である：
Figure 2010532151
この実施例についての転流機能は、上記で説明した実施例と類似した方法で導き出してもよい。例えば、上記の実施例と同様に、一連の共通したモーター転流方程式を使用して、例としては巻線セットA、BおよびCに適用可能な（17）の形態における転流方程式を使用したりなどして、所望の力を得るために、電気角オフセットΔj（ここでj=A, B, C）を使用して電気角を調整してもよい。また、何らかの適切な転流実施例を使用した、他の転流スキームを採用してもよい。
図7は、4つの巻線セットAの715、Bの720、Cの725およびDの730を使用した実施例を示しており、巻線セットはA、B、CおよびDと表記され示されているとおりローターの4つの部分を覆っている。巻線セットAの715、Bの720、Cの725およびDの730のそれぞれは、4つの巻線セットを駆動することのできる電流増幅器735によって駆動してもよい（ステーターの周囲にそって均等に配分されているように示されているが、代替的な実施例において巻線セットはその他任意の所望の形態において配置されていてもよい）。電流増幅器735には、この巻線セットを駆動するのに適したソフトウェア、ハードウェアまたはソフトウェアおよびハードウェアの組み合わせが含まれていてもよい。また、電流増幅器735には、4つの巻線セットを駆動するのに適したプロセッサー740、転流機能745、および電流ループ機能750が含まれていてもよい。電流増幅器125に類似して、転流機能745は、一連の指定された機能に従って、各巻線セットの巻線について電流を決定してもよい一方、電流ループ機能750は決定された巻線を通した電流を保持するためフィードバックおよび駆動性能を提供してもよい。また、このプロセッサー740、転流機能745、および電流ループ機能750には、位置情報を提供する1つまたは複数のセンサーまたはセンサー・システムからのフィードバックを受信するために回路が含まれていてもよい。
図7に示された例示的な実施例において、モーターはローレンツ力に基づいて動作するよう構成されていてもよい。図7の実施例における、ローレンツ力を使用した、所望のトルク（T）およびX軸に沿った向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）の半径方向力および接線力（Frj, Ftj, j = A, B）の関数としての例示的な関係は、以下のとおり示される。任意の他の関係、計算方法、および結果として生じる転流スキームを使用してもよい。
Figure 2010532151
ここで：
Figure 2010532151
と仮定する。これは4つの巻線セット間でトルクを生み出す接線力を均等に配分するためである。均等な配分は例示的な解法であり、IjおよびΔj（j=A, B, C, D）について解法を決定する際に、他の技法および力配分を使用してもよいと理解されるべきである。上記の実施例において示されているコスト関数または他の例示的なコスト関数を導入することで、他の力配分を使用してもよい。他の例示的なコスト関数は巻線を通した電流に基づいていてもよい。
ゆえに：
Figure 2010532151
ここで：
Figure 2010532151
と仮定する。これは反対側の巻線の間に向心力を均等に配分するためである。上記で述べたとおり、この均等な配分は例示的な解法であり、他の技法および力配分を使用してもよいと理解されるべきである。
図7のこの実施例について、ローレンツ力を使用して、以下の力／電流の関係を使用してもよい。
Figure 2010532151
この結果：
Figure 2010532151
各巻線セットjについて、j= A 715, B 720, C 725, および D 730であり、ここで
Figure 2010532151
および
Figure 2010532151
 。
ローレンツ力を生み出す4つの巻線セット715、720、725および430を使用して、所望のトルクTおよび向心力Fx、Fyを実現するために、転流機能745においてIjおよびΔj（ここでj=A, B, C, D）を適用してもよい。
上記の実施例と同様に、一連の共通したモーター転流方程式を使用して、所望のトルクおよび向心力を得るために、電気角オフセットΔj（j=A, B, C, D）を使用して電気角を調整してもよい。このように、分割された巻線A、B、C、Dを駆動して、一連の共通したモーター転流方程式において調整された電気角を使用して、モーターのローターの駆動およびセンタリングを行うために独立したトルクおよび向心力を同時に生み出してもよい。さらに、任意のその他の適切な転流動作を使用してもよい。
図7を再び参照すると、他の実施例におけるモーターは、ローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせを使用してもよい。所望のトルク（T）およびX軸に沿った向心力（Fx）およびY軸に沿ったもの（Fy）の半径方向力および接線力（Frj および Ftj, j = A, B, C, D）の関数としての関係は、方程式（75）から（81）と同じである。上記の実施例に類似して、ローレンツ力およびマックスウェル力を使用し、図7の実施例について定義された4つの部分に対する所望の向心力ベクトル（Fx, Fy）の位置に基づいて、解を取得してもよい。この実施例において、各部分は90度であってもよく、4つの解は各部分について1つ求めてもよい。
図7の実施例について、ローレンツ力およびマックスウェル力を使用して、以下の力／電流の関係を使用してもよい。
Figure 2010532151
図7の実施例についてローレンツ力およびマックスウェル力を使用した例としての解は以下の表3に示されており、ここで表3において
Figure 2010532151
および
Figure 2010532151
 （j=A,B）である：
Figure 2010532151
この実施例についての転流機能は、上記で説明した実施例と類似した方法で導き出してもよい。例えば、上記の実施例と同様に、巻線セットA、B、CおよびDに適用可能な（17）の形態における転流方程式など、一連の共通したモーター転流方程式を使用して、所望の力を得るために、電気角オフセットΔj（ここでj=A, B, C, D）を使用して電気角を調整してもよい。また、何らかの適切な転流実施例を使用した、他の転流スキームを採用してもよい。
上記の実施例と同様に、一連の共通したモーター転流方程式を使用して、所望の力を得るために、電気角オフセットΔj（j=A, B, C, D）を使用して電気角を調整してもよい。このように、分割された巻線A、B、C、Dを駆動して、一連の共通したモーター転流方程式において調整された電気角を使用して、モーターのローターのトルク印加および能動的なセンタリングを行うために独立したトルクおよび向心力を同時に生み出してもよい。
図8は、開示された実施例について位置フィードバックを行うのに適したセンサー・システムの例示的な実施例である。このセンサー・システムには、ペアごとに配置された複数のセンサーが含まれていてもよい。各センサー・ペアは、他のペアから機械的角度または電気角の距離をおいて配置されてもよい。最初のペアの対応するセンサーは、追加ペアにおける対応するセンサーから、何らかの機械的角度または電気角の距離をおいて配置してもよい。
図8の例示的な実施例において、ホール効果センサーの2つのペア、810、815は上記の実施例についてローターの位置を決定するためのフィードバックを行ってもよい。ホール効果センサーの最初のペア810には、ホールA1およびホールAのセンサーが含まれていてもよい一方、ホール効果の2つ目のペア815にはホールB1およびホールB2のセンサーを含まれていてもよい。この実施例において、最初のセンサー・ペア810は2つ目のセンサー・ペア815から90度の機械的角度のオフセットにおいて配置されている。また各センサーは、そのペアの他方から電気角90度のオフセットをおいて配置されてもよい。たとえば、センサー・ホールA1は、センサー・ホールB1から電気角90度のオフセットとなっていてもよく、センサー・ホールA2はセンサー・ホールB2から電気角90度のオフセットとなっていてもよい。各センサー、ホールA1、ホールA2、ホールB1、およびホールB2は、位置のフィードバックを行うため適切な電流増幅器125、225、630、735に接続されていてもよい。
図8の例示的な実施例において、センサー・ホールA1およびホールA2は互いに電気角90度の距離をおいて配置されており、ローターの回転に応じて、移送された位置に依存した正弦波信号が生み出される。ローター110の電気的位置は以下のとおり算出してもよい：
Figure 2010532151
ここで、A1およびA2はそれぞれセンサー・ホールA1およびホールA2からの信号である。
X軸およびY軸方向のローターの変移は両セットのセンサーを使用して、以下のように算出してもよい：
Figure 2010532151
ここでA1およびA2はそれぞれセンサー・ホールA1およびホールA2からの信号であり、またB1およびB2はそれぞれセンサー・ホールB1およびホールB2からの信号であり、また定数
およびは例えば、既知のギャップ基準に対して実験的に決定してもよい。
ゆえに、この実施例において、ホール効果センサーのわずか2つのペアのみが、開示された実施例について必要な位置のフィードバックを行う。ローターの交互に配置されたポールは、ローターの回転に応じて各センサーからの正弦波の出力を生み出してもよい。このようにセンサーの各ペア810、815は移相された正弦波出力が生み出され、ここからローターの位置を決定してもよい。上記で示されているとおり、例えばセンサー・ホールA1およびホールA2といった2つの信号の比のアークタンジェントによって決定される角度を算出してもよい。さらに、X軸およびY軸に沿ったギャップは、例えば各センサー・ペアが出力した2つのセンサー信号の2乗和の4乗根で対応する定数を割ることで決定してもよい。
図9は、開示された実施例の機能を取り込んだ例示的な基板処理装置1000の平面図である。基板処理装置1001は一般的に、大気にさらされている大気部1050と、真空チャンバーとして備え付けられた隣接する真空部1100を有する。大気部1050は、1つまたは複数の基板保持カセット1150および1つの大気基板搬送装置1200を有していてもよい。真空部1100は、1つまたは複数の処理モジュール1250および1つの真空基板搬送装置1300を有していてもよい。図9に示された実施例は、大気部1050および真空部1100の間において、真空部1100にある可能性のある真空状態を破壊することなく基板が通過できるように、荷重ロック1350、1400を有していてもよい。
また、基板処理装置1000には、基板処理装置1000の動作を制御するコントローラー1700が含まれている。コントローラー1700には、プロセッサー1730およびメモリー1780が含まれていてもよい。コントローラー1700には、リンク1830を通して基板処理システム1000に接続されていてもよい。開示された実施例の目的について、基板は例えば、半導体ウェハー（例：200mmまたは300mmウェハー）、フラット・パネル・ディスプレイ基板、基板処理装置1000による処理に適した任意のその他の種別の基板、ブランク基板、または一定の寸法または特定の質量など、基板に類似した特性を有する物品であってもよい。
大気基板搬送装置1200には、1つまたは複数のセルフ・ベアリング・モーター、例えば開示された実施例に従った1600が含まれていてもよい。セルフ・ベアリング・モーター1600は、セルフ・ベアリング・モーター機能に影響を及ぼす最小限の巻線セット数を有利に使用してもよく、開示された実施例に従って実質的に独立した駆動力および向心力を得るために、この同じ巻線を使用してもよい。セルフ・ベアリング・モーター1600は、上記で説明された電流増幅器に類似した電流増幅器1250によって駆動されてもよい。真空基板搬送装置1300には、開示された実施例に従って1つまたは複数のセルフ・ベアリング・モーター1900が含まれていてもよい。セルフ・ベアリング・モーター1900は、上記で説明された電流増幅器に類似した1つまたは複数の電流増幅器によって駆動されてもよい。基板処理装置1000には、適切な場合には本書で開示されているその他のセルフ・ベアリング・モーターが含まれていてもよい。
まとめると、開示されている実施例は、セルフ・ベアリング・モーターの機能に影響を及ぼす、最小限の巻線セット数を有利に使用するセルフ・ベアリング・モーターを意図している。巻線セットの個数を削減させることは、例えば、独立した巻線を対象とした関連する複雑およびコストの高い制御システムおよび電子部品もまた削減されるため、有利となる。少なくとも1つの実施例においては、セルフ・ベアリング・モーター機能を果たすために、モーターのわずか2つの巻線セットのみを使用してもよい。開示された例示的なロータリーの実施例において、ローターの回転の中心を能動的に制御するために、同じ巻線を使用して、実質的に独立した駆動力および向心力を生み出してもよい。開示された例示的な直線的な実施例において、プラテンを制御するために、同じ巻線を使用して、実質的に独立した推進力および案内力を生み出してもよい。開示されたモーターの実施例には、分割された巻線が含まれていてもよく、例えばローターまたはプラテンの所望の部分に沿って、巻線セットを配分させ、1つまたは複数の巻線サブセットを有する巻線セットを形成するよう分割してもよい。さらに、位置およびギャップの両者のフィードバックを行うため、例示的なセンサー・システムを含めてもよい。例えば、センサー・システムは第1および第2の軸に沿った同時位置測定を行うように構成されていてもよい。また、センサー・システムは、第1および第2の軸の測定と同時に、または個別に、第3の軸に沿った測定を行うことができるようになっていてもよい。
上述の説明は、現在の実施例を例証するものにすぎないと理解されるべきである。様々な代用手段及び変形が、当業者によって本発明から逸脱することなく考案され得る。従って、本発明は添付の特許請求の範囲中に入る、すべてのそのような代用手段、変形、及び派生物の包含を意図するものである。

Claims (57)

  1. モーターを転流する方法であって、
    前記モーターのステーターおよび前記モーターの作動コンポーネントを機能的に接続するステップと、
    前記作動コンポーネントに対して少なくとも2つの巻線セットを配置するステップと、
    前記少なくとも2つの巻線セットを独立して制御し、前記少なくとも2つの巻線セットで前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うステップと、
    を含むことを特徴とする方法。
  2. 前記作動コンポーネントに対して少なくとも3つの巻線セットを配置するステップと、
    前記少なくとも3つの巻線セットを独立して制御し、前記少なくとも3つの巻線セットで前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うステップと、
    を更に含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
  3. 前記作動コンポーネントに対して少なくとも4つの巻線セットを配置するステップと、
    前記少なくとも4つの巻線セットを独立して制御し、前記少なくとも4つの巻線セットで 前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うステップと、
    を更に含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
  4. 前記少なくとも2つの巻線セットのそれぞれを巻線サブセットのペアとして配置するステップと、
    巻線サブセットの各ペアにおいて巻線サブセットをオフセットすることで、前記作動コンポーネント上で前記ペアの1方の巻線サブセットが半径方向力を生み出し、もう一方の巻線サブセットが接線力を生み出すようにするステップと、
    を更に含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
  5. 巻線サブセットの各ペアにおいて、前記巻線サブセットを90度の電気角でオフセットするステップを含むことを特徴とする請求項4記載の方法。
  6. モーターを転流するための装置であって、
    前記モーターの作動コンポーネントに対して配置された少なくとも2つの巻線セットと、
    前記少なくとも2つの巻線セットによって前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うために、前記少なくとも2つの巻線セットを独立して制御できる転流回路と、
    を備えたことを特徴とする装置。
  7. 前記作動コンポーネントに対して配置された少なくとも3つの巻線セットと、
    前記少なくとも3つの巻線セットで前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うために、前記少なくとも3つの巻線セットを独立して制御できる転流回路と、
    を更に備えたことを特徴とする請求項6記載の装置。
  8. 前記作動コンポーネントに対して配置された少なくとも4つの巻線セットと、
    前記少なくとも4つの巻線セットで前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方を行うために、前記少なくとも4つの巻線セットを独立して制御できる転流回路と、
    を更に備えたことを特徴とする請求項6記載の装置。
  9. 前記少なくとも2つの巻線セットのそれぞれが巻線サブセットの1つのペアを含み、
    巻線サブセットの各ペアにおいて巻線サブセットがオフセットされ、前記ペアの一方の巻線サブセットが半径方向力を生み出し、もう一方の巻線サブセットが接線力を生み出すことを特徴とする請求項6記載の装置。
  10. 巻線サブセットの各ペアにおいて、前記巻線サブセットが90度の電気角でオフセットされていることを特徴とする請求項9記載の装置。
  11. モーターであって、
    独立して制御される少なくとも2つの巻線セットを有するステーターと、
    前記ステーターと機能的に接続された作動コンポーネントと、
    前記少なくとも2つの巻線セットが前記作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう制御するために、前記少なくとも2つの巻線セットに対して通信のために接続されたコントローラーと、
    を備え、
    前記少なくとも2つの巻線セットは、前記作動コンポーネントに対して配置されており、前記コントローラーは、前記少なくとも2つの巻線セットを制御するようプログラミングされていて、前記少なくとも2つの巻線セットによって前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方が行われることを特徴とするモーター。
  12. 前記ステーターは、独立して制御される少なくとも3つの巻線セットを有しており、
    前記作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう、前記少なくとも2つの巻線セットを制御するために、前記コントローラーが前記少なくとも3つの巻線セットに対して通信のために接続されており、
    前記少なくとも3つの巻線セットは、前記作動コンポーネントに対して配置されおり、前記コントローラーは、前記少なくとも3つの巻線セットを制御するようプログラミングされていて、前記少なくとも3つの巻線セットによって、前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方が行われることを特徴とする請求項11記載のモーター。
  13. 前記ステーターが独立して制御される少なくとも4つの巻線セットを有しており、 前記作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう、前記少なくとも4つの巻線セットを制御するために、前記コントローラーが前記少なくとも4つの巻線セットに対して通信のために接続されており、
    前記少なくとも4つの巻線セットは前記作動コンポーネントに対して配置されており、前記コントローラーは、前記少なくとも4つの巻線セットを制御するようプログラミングされていて、前記少なくとも4つの巻線セットによって、前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方が行われることを特徴とする請求項11記載のモーター。
  14. 独立して制御される前記少なくとも2つの巻線セットのそれぞれが巻線サブセットの1つのペアを含み、
    巻線サブセットの各ペアにおいて巻線サブセットがオフセットされ、前記ペアの一方の巻線サブセットが半径方向力を生み出し、もう一方の巻線サブセットが接線力を生み出すことを特徴とする請求項11記載のモーター。
  15. 巻線サブセットの各ペアにおいて、前記巻線サブセットが90度の電気角でオフセットされていることを特徴とする請求項14記載のモーター。
  16. 基板処理装置であって、
    モーターを含み、
    前記モーターは、
    独立して制御される少なくとも2つの巻線セットを有するステーターと、
    前記ステーターと機能的に接続された作動コンポーネントと、
    前記少なくとも2つの巻線セットが前記作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう制御するために、前記少なくとも2つの巻線セットに対して通信のために接続されたコントローラーと、を備え、
    前記少なくとも2つの巻線セットは、前記作動コンポーネントに対して配置されており、前記コントローラーは、前記少なくとも2つの巻線セットを制御するようプログラミングされていて、前記少なくとも2つの巻線セットによって作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方が行われることを特徴とする基板処理装置。
  17. 前記ステーターが、独立して制御される少なくとも3つの巻線セットを有しており、
    前記作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう、前記少なくとも2つの巻線セットを制御するために、前記コントローラーが前記少なくとも2つの巻線セットに対して通信のために接続されており、
    前記少なくとも3つの巻線セットが前記作動コンポーネントに対して配置されており、前記コントローラーは、前記少なくとも3つの巻線セットを制御するようプログラミングされていて、前記少なくとも3つの巻線セットによって、前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方が行われることを特徴とする請求項16記載の基板処理装置。
  18. 前記ステーターが、独立して制御される少なくとも4つの巻線セットを有しており、
    前記作動コンポーネントを独立して駆動およびセンタリングするよう、前記少なくとも4つの巻線セットを制御するために、前記コントローラーが前記少なくとも4つの巻線セットに対して通信のために接続されており、
    前記少なくとも4つの巻線セットは、前記作動コンポーネントに対して配置されており、前記コントローラーは、前記少なくとも4つの巻線セットを制御するようプログラミングされていて、前記少なくとも4つの巻線セットによって、前記作動コンポーネントの駆動およびセンタリングの両方が行われることを特徴とする請求項16記載の基板処理装置。
  19. 独立して制御される前記少なくとも2つの巻線セットのそれぞれが巻線サブセットの1つのペアを含み、
    巻線サブセットの各ペアにおいて前記巻線サブセットがオフセットされ、前記ペアの一方の巻線サブセットが半径方向力を生み出し、もう一方の巻線サブセットが接線力を生み出すことを特徴とする請求項16記載の基板処理装置。
  20. 巻線サブセットの各ペアにおいて、前記巻線サブセットが90度の電気角でオフセットされていることを特徴とする請求項19記載の基板処理装置。
  21. モーターを転流させる方法であって、
    調整電気角を算出するステップと、
    前記モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、前記ローターが少なくとも2つの前記モーター巻線セットで能動的にセンタリングするように、一連の共通した転流方程式でこの調整電気角を利用するステップと、
    を含む方法。
  22. 前記一連の共通した転流方程式において、前記調整電気角とともに巻線の相電流を使用するステップを更に含むことを特徴とする請求項21記載の方法。
  23. 前記モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、前記ローターが少なくとも3つの前記モーター巻線セットで能動的にセンタリングするように、一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用するステップを更に含むことを特徴とする請求項21記載の方法。
  24. 前記モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、前記ローターが少なくとも4つのモーター巻線セットで能動的にセンタリングするように、一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用するステップを更に含むことを特徴とする請求項21記載の方法。
  25. ローレンツ力を使用して、前記ローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行うために、前記一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用するステップを更に含むことを特徴とする請求項21記載の方法。
  26. マックスウェル力を使用して、前記ローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行うために、前記一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用するステップを更に含むことを特徴とする請求項21記載の方法。
  27. ローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせを使用して、前記ローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行うために、前記一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用するステップを更に含むことを特徴とする請求項21記載の方法。
  28. モーターを転流させる方法であって、
    調整電気角を算出するステップと、
    前記モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、前記ローターが少なくとも2つのモーター巻線セットで能動的にセンタリングするように、 モーターを転流させるための転流方程式に前記調整電気角を代入するステップと、
    を含むことを特徴とする方法。
  29. 前記モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、前記ローターが少なくとも3つのモーター巻線セットで能動的にセンタリングするように、 モーターを転流させるための転流方程式に前記調整電気角を代入するステップを更に含むことを特徴とする請求項28記載の方法。
  30. 前記モーターのローターの独立したトルク印加と能動的なセンタリングを行って、前記ローターが少なくとも4つのモーター巻線セットで能動的にセンタリングするように、 モーターを転流させるための転流方程式に前記調整電気角を代入するステップを更に含むことを特徴とする請求項28記載の方法。
  31. 前記モーターのトルクおよび能動的な向心力がローレンツ力を含むよう前記調整電気角を決定するステップを更に含むことを特徴とする請求項28記載の方法。
  32. 前記モーターのトルクおよび能動的な向心力がマックスウェル力を含むよう前記調整電気角を決定するステップを更に含むことを特徴とする請求項28記載の方法。
  33. 前記モーターのトルクおよび能動的な向心力がローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせを含むよう前記調整電気角を決定するステップを更に含むことを特徴とする請求項28記載の方法。
  34. モーターを転流させるための装置であって、
    調整電気角を算出するための回路と、
    一連の共通した転流方程式が、少なくとも2つの巻線セットを有するモーター、および少なくとも3つの巻線セットを有するモーターにおいてトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成できるよう、前記一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用できる電流増幅器と、
    を備えたことを特徴とする装置。
  35. 前記一連の共通した転流方程式において、前記調整電気角とともに巻線の相電流を使用するための回路を更に備えたことを特徴とする請求項34記載の装置。
  36. 前記一連の共通した転流方程式が、少なくとも4つのモーター巻線セットを有するモーターにおいて、トルクおよび能動的な向心力の両方を生み出すことのできるように、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できることを特徴とする請求項34記載の装置。
  37. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力が含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できることを特徴とする請求項34記載の装置。
  38. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にマックスウェル力が含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できることを特徴とする請求項34記載の装置。
  39. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせが含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できることを特徴とする請求項34記載の装置。
  40. モーターであって、
    ローターと、
    電流増幅器で駆動される巻線と、を備え、
    前記電流増幅器は、
    調整電気角を算出するための回路と、
    一連の共通した転流方程式が前記モーターにおける互いに異なるトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成できるように、前記一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用する増幅器と、を有し、
    前記モーターは、2つの巻線セットまたは3つの巻線セットの少なくとも一方であることを特徴とするモーター。
  41. 前記電流増幅器に、前記一連の共通した転流方程式において、前記調整電気角とともに巻線の相電流を使用するための回路が含まれていることを特徴とする請求項40記載のモーター。
  42. 前記一連の共通した転流方程式が、少なくとも4つのモーター巻線セットを有する前記モーターにおいてそれぞれ異なった、トルクおよび能動的な向心力の両方を生み出すことのできるように、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項40記載のモーター。
  43. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力が含まれるよう、前記増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項40記載のモーター。
  44. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にマックスウェル力が含まれるよう、前記増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項40記載のモーター。
  45. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせが含まれるよう、前記増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項40記載のモーター。
  46. 基板処理装置であって、
    モーターを転流するためのコントローラーを備え、
    前記モーターを転流するためのコントローラーは、
    一連の共通した転流方程式が互いに異なるトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成できるよう、前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を使用できる電流増幅器を有し、前記モーターは2つの巻線セットまたは3つの巻線セットの少なくとも一方であることを特徴とする基板処理装置。
  47. 前記一連の共通した転流方程式において、前記調整電気角とともに巻線の相電流を使用するための回路を更に備えたことを特徴とする請求項46記載の基板処理装置。
  48. 前記一連の共通した転流方程式が、少なくとも4つのモーター巻線セットを有するモーターにおいてそれぞれ異なった、トルクおよび能動的な向心力の両方を生み出すことのできるように、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項46記載の基板処理装置。
  49. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力が含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項46記載の基板処理装置。
  50. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にマックスウェル力が含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項46記載の基板処理装置。
  51. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせが含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項46記載の基板処理装置。
  52. 基板処理装置であって、
    モーターを備え、
    前記モーターは、
    ローターと、
    電流増幅器で駆動される巻線と、を有し、
    前記電流増幅器は
    調整電気角を算出するための回路と、
    一連の共通した転流方程式が互いに異なるトルクおよび能動的なセンタリングの力の両方を生成できるよう、前記一連の共通した転流方程式で前記調整電気角を利用できる増幅器と、を有し、前記モーターは、2つの巻線セットまたは3つの巻線セットの少なくとも一方であることを特徴とする基板処理装置。
  53. 前記電流増幅器に、前記一連の共通した転流方程式において、前記調整電気角とともに巻線の相電流を使用するための回路が含まれていることを特徴とする請求項52記載の基板処理装置。
  54. 前記一連の共通した転流方程式が、4つのモーター巻線セットを有する前記モーターにおいてそれぞれ異なった、トルクおよび能動的な向心力の両方を生み出すことのできるように、前記増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項52記載の基板処理装置。
  55. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力が含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項52記載の基板処理装置。
  56. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にマックスウェル力が含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項52記載の基板処理装置。
  57. 前記モーターにおけるトルクおよび能動的な向心力にローレンツ力およびマックスウェル力の組み合わせが含まれるよう、前記電流増幅器が前記一連の共通した転流方程式において前記調整電気角を利用できるよう構成されていることを特徴とする請求項52記載の基板処理装置。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DK2251421T3 (en) 2008-02-13 2017-02-06 Amano Enzyme Inc Stabilized transglutaminase and process for its preparation
US9465305B2 (en) * 2010-05-18 2016-10-11 Nikon Corporation Method for determining a commutation offset and for determining a compensation map for a stage
EP2670027B1 (en) 2012-06-01 2017-09-13 Siemens Aktiengesellschaft Method and system for controlling a generator
WO2015073647A1 (en) 2013-11-13 2015-05-21 Brooks Automation, Inc. Sealed robot drive
TWI695447B (zh) 2013-11-13 2020-06-01 布魯克斯自動機械公司 運送設備
KR102591049B1 (ko) 2013-11-13 2023-10-18 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 밀봉된 스위치드 릴럭턴스 모터
US10564221B2 (en) 2013-11-13 2020-02-18 Brooks Automation, Inc. Method and apparatus for brushless electrical machine control
US10734912B2 (en) * 2016-08-24 2020-08-04 Beckhoff Automation Gmbh Stator device for a linear motor, linear drive system, and method for operating a stator device
US11271308B2 (en) * 2017-09-05 2022-03-08 Sri International Diamagnetic mechanically based antenna
US11018552B2 (en) * 2019-04-18 2021-05-25 Wisconsin Alumni Research Foundation High-force density three pole magnetic bearing
DE102020126068A1 (de) 2020-10-06 2022-04-07 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Axiaflussmaschine mit Schwingungsdämpfung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02193547A (ja) * 1989-01-18 1990-07-31 Akira Chiba 半径方向回転体位置制御巻線付き電磁回転機械及び半径方向回転体位置制御装置
JPH1070865A (ja) * 1996-08-26 1998-03-10 Ebara Corp 無軸受回転機械装置

Family Cites Families (327)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2564221A (en) 1948-01-22 1951-08-14 Bailey Meter Co Electromagnetic motion responsive device
US3205485A (en) 1960-10-21 1965-09-07 Ti Group Services Ltd Screening vane electro-mechanical transducer
US3560774A (en) 1968-12-16 1971-02-02 Raymond R Reeves Rotary stepping motor with eccentric rotor
DE2102020A1 (de) 1971-01-16 1972-09-21 Luc J Klebeverfahren, Einrichtungen zur Durchfuhrung des Verfahrens und Anwen düngen des Verfahrens
US3860843A (en) 1970-06-26 1975-01-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd Rotating electric machine with reduced cogging
US3697992A (en) 1970-07-09 1972-10-10 Us Navy Servo compensation for inertia change
US3750151A (en) 1971-08-25 1973-07-31 H Dill Three-phase rotating ring display
DE2603882A1 (de) 1976-02-02 1977-08-04 Gutehoffnungshuette Sterkrade Schnellaufendes rotationssystem
US4210865A (en) 1977-12-12 1980-07-01 Chaika Leopold I Position sensor of linearly moving bodies
DE2847930A1 (de) 1978-11-04 1980-05-14 Teldix Gmbh Magnetische lagereinrichtung
US4547678A (en) 1980-01-11 1985-10-15 Califone International, Inc. Hybrid electric vehicle control methods and devices
US4360753A (en) 1980-05-08 1982-11-23 Shannon E Paul Motor having concentric ring rotor
JPS57135917U (ja) 1981-02-20 1982-08-25
JPH0646036B2 (ja) 1982-11-19 1994-06-15 セイコー電子工業株式会社 軸流分子ポンプ
JPS59108193A (ja) 1982-12-13 1984-06-22 株式会社日立製作所 磁気的に位置を検出する装置
US4659991A (en) 1983-03-31 1987-04-21 Ndt Technologies, Inc. Method and apparatus for magnetically inspecting elongated objects for structural defects
US4737701A (en) * 1983-04-29 1988-04-12 Emerson Electric Co. Tapped auxiliary winding for multi-speed operation of electric motor and method therefor
GB2140042B (en) 1983-05-20 1988-06-08 Rieter Ag Maschf Open-end yarn piecer
EP0129731A1 (en) 1983-06-15 1985-01-02 The Perkin-Elmer Corporation Wafer handling system
US4717874A (en) 1984-02-10 1988-01-05 Kabushiki Kaisha Sg Reluctance type linear position detection device
US4628499A (en) 1984-06-01 1986-12-09 Scientific-Atlanta, Inc. Linear servoactuator with integrated transformer position sensor
JPS61152304A (ja) 1984-12-26 1986-07-11 Hitachi Ltd スピンドル装置
DE3610479A1 (de) 1986-03-27 1987-10-01 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer wegsensor
US5080549A (en) 1987-05-11 1992-01-14 Epsilon Technology, Inc. Wafer handling system with Bernoulli pick-up
US5003260A (en) 1987-05-28 1991-03-26 Auchterlonie Richard C Inductive position sensor having plural phase windings on a support and a displaceable phase sensing element returning a phase indicating signal by electromagnetic induction to eliminate wire connections
US4874998A (en) 1987-06-11 1989-10-17 International Business Machines Corporation Magnetically levitated fine motion robot wrist with programmable compliance
DE3808331A1 (de) 1988-03-12 1989-09-28 Kernforschungsanlage Juelich Magnetische lagerung mit permanentmagneten zur aufnahme der radialen lagerkraefte
JPH01240268A (ja) 1988-03-17 1989-09-25 Seiko Seiki Co Ltd 研削盤のドレス方法
JP2852747B2 (ja) 1988-03-18 1999-02-03 セイコー精機株式会社 内面研削盤
EP0419461B1 (en) 1988-06-17 1998-09-02 Advanced Semiconductor Materials America, Inc. Wafer handling system with bernoulli pick-up
JPH0236313A (ja) 1988-07-26 1990-02-06 Fanuc Ltd 磁気式エンコーダの隙間調整方法
US4922197A (en) 1988-08-01 1990-05-01 Eaton Corporation High resolution proximity detector employing magnetoresistive sensor disposed within a pressure resistant enclosure
SE468589B (sv) 1988-11-10 1993-02-15 Spirac Engineering Ab Spiraltransportoer
US5210490A (en) 1989-01-11 1993-05-11 Nartron Corporation Linear position sensor having coaxial or parallel primary and secondary windings
JPH03147568A (ja) 1989-11-01 1991-06-24 Canon Electron Inc ディスク駆動装置
US5124863A (en) 1989-06-27 1992-06-23 Canon Denshi Kabushiki Kaisha Disk drive device having reduced thickness
US5015998A (en) 1989-08-09 1991-05-14 Kollmorgen Corporation Null seeking position sensor
JPH0374164A (ja) 1989-08-14 1991-03-28 Hitachi Ltd 電動機
DE3931661A1 (de) 1989-08-25 1991-04-04 Leybold Ag Magnetgelagerte vakuumpumpe
NL8902471A (nl) 1989-10-05 1991-05-01 Philips Nv Tweetraps positioneerinrichting.
JPH03125212A (ja) 1989-10-11 1991-05-28 Toshiba Corp キーボード操作支援装置
EP0423608B1 (en) 1989-10-20 1996-06-05 Applied Materials, Inc. Two-axis magnetically coupled robot
US4992733A (en) 1989-11-17 1991-02-12 Visi-Trak Corporation Position sensing transducer having a circular magnet with an integral flux distorting member and two magnetic field sensors
JP3013997B2 (ja) 1989-12-06 2000-02-28 住友重機械工業株式会社 ２次元モータ式ステージ装置
DE4103603C2 (de) 1990-02-08 2003-09-11 Papst Licensing Gmbh & Co Kg Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils
JPH03276317A (ja) 1990-03-27 1991-12-06 Toshiba Corp 磁気軸受の制御装置
US5202695A (en) 1990-09-27 1993-04-13 Sperry Marine Inc. Orientation stabilization by software simulated stabilized platform
JPH04209996A (ja) 1990-11-30 1992-07-31 Daikin Ind Ltd 高速度回転真空ポンプの磁気軸受
AU9107391A (en) 1990-12-28 1992-08-17 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Magnetic sensor and structure of its mounting
US5252870A (en) 1991-03-01 1993-10-12 Jacobsen Stephen C Magnetic eccentric motion motor
JPH04308823A (ja) 1991-04-05 1992-10-30 Ricoh Co Ltd 手ぶれ補正機能付きカメラ
EP0512516B1 (en) 1991-05-08 1995-12-20 Koyo Seiko Co., Ltd. Magnetic drive device
US5113102A (en) 1991-05-09 1992-05-12 Huntington Mechanical Laboratories, Inc. Rotary motion transmitter and heat treatment method for sealed chamber
JPH04364752A (ja) 1991-06-12 1992-12-17 Toshiba Corp 半導体基板処理システム
JPH0799919B2 (ja) 1991-07-18 1995-10-25 株式会社荏原製作所 誘導電動機の回転子軸振れ偏心検知装置
US5314868A (en) 1991-08-06 1994-05-24 Koyo Seiko Co., Ltd. Bearing device
JP3125212B2 (ja) 1991-08-23 2001-01-15 武田薬品工業株式会社 ２−ピペラジノン誘導体およびその用途
US5285154A (en) 1991-10-15 1994-02-08 Eldec Corporation Saturable core proximity sensor aligned perpendicular to a magnet target having a plate and a non-magnetic metal housing
US5351004A (en) 1991-10-15 1994-09-27 Eldec Corporation Saturable core proximity sensor including a flux director and a magnetic target element
JPH0623687A (ja) 1992-02-21 1994-02-01 Ebara Corp ロボット
JP3347766B2 (ja) 1992-06-08 2002-11-20 日本トムソン株式会社 リニアエンコーダ及びこれを具備した案内ユニット
US5641054A (en) 1992-07-07 1997-06-24 Ebara Corporation Magnetic levitation conveyor apparatus
FR2696057B1 (fr) 1992-09-22 1997-06-13 Aerospatiale Moteur-couple allonge et dispositif de commande en debattement angulaire le comportant.
FR2695968B1 (fr) 1992-09-22 1994-12-23 Aerospatiale Dispositif à palier magnétique et à butée mécanique pour le positionnement d'un corps tournant par rapport à un corps statorique.
EP1179611B1 (de) 1992-10-06 2004-09-15 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Kammer für den Transport von Werkstücken
US5469053A (en) 1992-11-02 1995-11-21 A - Tech Corporation E/U core linear variable differential transformer for precise displacement measurement
US5386738A (en) 1992-12-22 1995-02-07 Honeywell Inc. Direct torque control moment gyroscope
US5334892A (en) 1992-12-22 1994-08-02 Anorad Corporation Positioning device for planar positioning
JP3312218B2 (ja) 1993-01-21 2002-08-05 光洋精工株式会社 磁気軸受装置
JP3189464B2 (ja) 1993-02-19 2001-07-16 株式会社デンソー 回転位置検出装置
JP3147568B2 (ja) 1993-03-05 2001-03-19 アイシン精機株式会社 アクチュエータのショックアブソーバへの固定構造
JP3135410B2 (ja) 1993-04-14 2001-02-13 光洋精工株式会社 磁気軸受装置
WO1994023911A1 (en) 1993-04-16 1994-10-27 Brooks Automation, Inc. Articulated arm transfer device
JPH0712091A (ja) 1993-09-24 1995-01-17 Ebara Corp 磁気軸受装置
JP2740893B2 (ja) 1993-11-01 1998-04-15 日本サーボ株式会社 永久磁石式ステッピングモータ
JPH07131966A (ja) 1993-11-05 1995-05-19 Sharp Corp ２次元リニアモータ
AT407196B (de) 1993-11-17 2001-01-25 Amo Automatisierung Messtechni Positionsmelder für automatisierung
JP3396525B2 (ja) 1993-12-08 2003-04-14 サンクス株式会社 導電体の位置検出方法及び電子部品のリード検査装置
DE4342539A1 (de) 1993-12-14 1995-06-22 Skf Textilmasch Komponenten Schaftloser Spinnrotor einer Offenend-Spinnmaschine
US5444368A (en) 1994-01-10 1995-08-22 H. Magnetic Corp. Differential reactance permanent magnet position transducer
US5642298A (en) 1994-02-16 1997-06-24 Ade Corporation Wafer testing and self-calibration system
JPH07255158A (ja) 1994-03-14 1995-10-03 Yaskawa Electric Corp 永久磁石形同期回転電機
US6989647B1 (en) 1994-04-01 2006-01-24 Nikon Corporation Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device
WO1995033180A1 (en) 1994-06-01 1995-12-07 Stridsberg Innovation Ab Position transducer
US5801721A (en) 1994-09-09 1998-09-01 Signtech U.S.A. Ltd. Apparatus for producing an image on a first side of a substrate and a mirror image on a second side of the substrate
US5589769A (en) 1994-09-30 1996-12-31 Honeywell Inc. Position detection apparatus including a circuit for receiving a plurality of output signal values and fitting the output signal values to a curve
US5753991A (en) 1994-12-02 1998-05-19 Hydro-Quebec Multiphase brushless AC electric machine
US5808437A (en) * 1994-12-02 1998-09-15 Sulzer Electronics Ag Method for compensation of periodic shaking forces in an electrical rotating field machine
US5568048A (en) 1994-12-14 1996-10-22 General Motors Corporation Three sensor rotational position and displacement detection apparatus with common mode noise rejection
US6246233B1 (en) 1994-12-30 2001-06-12 Northstar Technologies Inc. Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation
US6100618A (en) 1995-04-03 2000-08-08 Sulzer Electronics Ag Rotary machine with an electromagnetic rotary drive
JPH08323505A (ja) 1995-06-01 1996-12-10 Koyo Seiko Co Ltd 工作機械
US6194415B1 (en) * 1995-06-28 2001-02-27 Allergan Sales, Inc. Method of using (2-imidazolin-2-ylamino) quinoxoalines in treating neural injury
US5741113A (en) 1995-07-10 1998-04-21 Kensington Laboratories, Inc. Continuously rotatable multiple link robot arm mechanism
JP2914231B2 (ja) * 1995-07-26 1999-06-28 日本電気株式会社 電流検出回路
DE19529038A1 (de) 1995-08-08 1997-02-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh Magnetlager für einen Rotor
US5924975A (en) 1995-08-30 1999-07-20 International Business Machines Corporation Linear pump
GB2305022B (en) 1995-09-05 2000-04-26 Switched Reluctance Drives Ltd Starting a single-phase reluctance motor
US6163148A (en) 1995-10-17 2000-12-19 Seiko Epson Corporation Sensor, drive force auxiliary device using the sensor, and torque sensor zero point adjusting mechanism of the drive force auxiliary device
US5818137A (en) 1995-10-26 1998-10-06 Satcon Technology, Inc. Integrated magnetic levitation and rotation system
US6299404B1 (en) 1995-10-27 2001-10-09 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with double substrate holders
US5830272A (en) 1995-11-07 1998-11-03 Sputtered Films, Inc. System for and method of providing a controlled deposition on wafers
US5670876A (en) 1995-11-14 1997-09-23 Fisher Controls International, Inc. Magnetic displacement sensor including first and second flux paths wherein the first path has a fixed reluctance and a sensor disposed therein
US5633545A (en) 1995-12-06 1997-05-27 International Business Machines Corporation Disk drive in-hub radial-gap spindle motor with coils generating axial fields
JP3740770B2 (ja) 1995-12-28 2006-02-01 日本精工株式会社 密閉型アクチュエ−タ
JPH09269007A (ja) 1996-03-29 1997-10-14 Ebara Corp 受動型磁気軸受
US6074180A (en) 1996-05-03 2000-06-13 Medquest Products, Inc. Hybrid magnetically suspended and rotated centrifugal pumping apparatus and method
US6244835B1 (en) 1996-06-26 2001-06-12 James F. Antaki Blood pump having a magnetically suspended rotor
US6015272A (en) 1996-06-26 2000-01-18 University Of Pittsburgh Magnetically suspended miniature fluid pump and method of designing the same
JP3111376B2 (ja) 1996-07-02 2000-11-20 池上通信機株式会社 立体カメラの位置決め調整装置
JPH1023781A (ja) 1996-07-04 1998-01-23 Ebara Corp 磁気軸受電源装置
FR2750748B1 (fr) 1996-07-05 1998-11-20 Aerospatiale Palier magnetique actif longitudinalement et transversalement
US7087143B1 (en) 1996-07-15 2006-08-08 Semitool, Inc. Plating system for semiconductor materials
CA2213810C (en) 1996-08-29 2006-06-06 Lewis Dale Pennington Benzo¬b|thiophene compounds, intermediates, processes, compositions and methods
JP3550465B2 (ja) 1996-08-30 2004-08-04 株式会社日立製作所 ターボ真空ポンプ及びその運転方法
TW304391U (en) 1996-10-18 1997-05-01 guo-zhen Weng Fastening structure for tea pot cover
EP0938646B1 (de) 1996-11-14 2001-09-19 Brose Fahrzeugteile GmbH &amp; Co. KG Anordnungen zum erfassen einer rotatorischen oder translatorischen bewegung
US5838121A (en) 1996-11-18 1998-11-17 Applied Materials, Inc. Dual blade robot
DE19652562C2 (de) 1996-12-17 1999-07-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
JPH10184685A (ja) 1996-12-25 1998-07-14 Fuji Xerox Co Ltd 磁気軸受
TW342898U (en) 1997-01-03 1998-10-11 Sheng-Zhang Jiang Improved structure for nut set
US5841274A (en) 1997-01-29 1998-11-24 Mitutoyo Corporation Induced current absolute position transducer using a code-track-type scale and read head
JP3757016B2 (ja) 1997-02-20 2006-03-22 ローツェ株式会社 ハンドリング用ロボット
NL1005344C2 (nl) 1997-02-21 1998-08-24 Stichting Tech Wetenschapp Aangedreven magneetlager.
JPH10270535A (ja) 1997-03-25 1998-10-09 Nikon Corp 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
US5886432A (en) 1997-04-28 1999-03-23 Ultratech Stepper, Inc. Magnetically-positioned X-Y stage having six-degrees of freedom
JP3885217B2 (ja) 1997-05-19 2007-02-21 株式会社安川電機 ウェハ搬送装置
JPH1130502A (ja) 1997-07-14 1999-02-02 Oki Electric Ind Co Ltd 位置検出機構
NL1006599C2 (nl) 1997-07-16 1999-01-19 Hollandse Signaalapparaten Bv Stelsel voor het stabiliseren van een op een beweegbaar platform geplaatst object.
JP3829335B2 (ja) 1997-07-18 2006-10-04 株式会社ニコン 励磁ユニットおよびそれを用いた平面型モータ、およびそれを用いたステージ装置、およびそれを用いた露光装置
JPH1151693A (ja) 1997-08-06 1999-02-26 Nippon Thompson Co Ltd リニアエンコーダ装置
KR19990026296A (ko) 1997-09-23 1999-04-15 윤종용 비동축 유도 모터용 동심 제어 장치
JP3627132B2 (ja) 1997-11-18 2005-03-09 東京エレクトロン株式会社 基板乾燥処理装置及び基板乾燥処理方法
US6078119A (en) 1997-11-26 2000-06-20 Ebara Corporation Bearingless rotary machine
JPH11166803A (ja) 1997-12-05 1999-06-22 Hitachi Cable Ltd 磁気式ケーブル伸び出し量センサ
JP3630964B2 (ja) 1997-12-26 2005-03-23 キヤノン株式会社 ステージ装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法
US6085760A (en) * 1997-12-31 2000-07-11 Placontrol, Inc. Animate form dental flossing device
US6097183A (en) 1998-04-14 2000-08-01 Honeywell International Inc. Position detection apparatus with correction for non-linear sensor regions
DE19816936A1 (de) 1998-04-16 1999-10-21 Siemens Ag Antennen-Transponder-Anordnung zur Energieübertragung und Winkelmessung
DE19819669A1 (de) * 1998-05-02 1999-11-04 Philips Patentverwaltung Teletext mit Transparent-Funktion
US6176668B1 (en) 1998-05-20 2001-01-23 Applied Komatsu Technology, Inc. In-situ substrate transfer shuttle
US6206176B1 (en) 1998-05-20 2001-03-27 Applied Komatsu Technology, Inc. Substrate transfer shuttle having a magnetic drive
US6086362A (en) 1998-05-20 2000-07-11 Applied Komatsu Technology, Inc. Multi-function chamber for a substrate processing system
US6522130B1 (en) 1998-07-20 2003-02-18 Uqm Technologies, Inc. Accurate rotor position sensor and method using magnet and sensors mounted adjacent to the magnet and motor
JP3601757B2 (ja) 1998-08-03 2004-12-15 オークマ株式会社 永久磁石モータ
US6324134B1 (en) 1998-08-05 2001-11-27 Seiko Instruments Inc. Disk recording and reproducing apparatus
US6058760A (en) 1998-08-18 2000-05-09 Kvh Industries, Inc. Apparatus and method for sensing angular displacement
DE59915016D1 (de) 1998-08-24 2009-06-18 Levitronix Llc Verfahren zum Bestimmen der radialen Position eines permanentmagnetischen Rotors und elektromagnetischer Drehantrieb
US6485531B1 (en) 1998-09-15 2002-11-26 Levitronix Llc Process chamber
DE19849613A1 (de) 1998-10-28 2000-05-04 Philips Corp Intellectual Pty Anordnung zur Messung einer relativen linearen Position
US6208045B1 (en) 1998-11-16 2001-03-27 Nikon Corporation Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom
US6147421A (en) 1998-11-16 2000-11-14 Nikon Corporation Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils
US6485250B2 (en) 1998-12-30 2002-11-26 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation
AU3206900A (en) 1998-12-31 2000-07-31 Ball Semiconductor Inc. Position sensing system
US6416215B1 (en) 1999-12-14 2002-07-09 University Of Kentucky Research Foundation Pumping or mixing system using a levitating magnetic element
US6127749A (en) 1999-02-10 2000-10-03 Nikon Corporation Of Japan Two-dimensional electric motor
US6358128B1 (en) 1999-03-05 2002-03-19 Ebara Corporation Polishing apparatus
JP2001074006A (ja) 1999-09-03 2001-03-23 Amitec:Kk ストロークセンサ
JP4209996B2 (ja) 1999-04-16 2009-01-14 スタンレー電気株式会社 プロジェクタ型車両用灯具
JP2002541986A (ja) 1999-04-23 2002-12-10 ヴェントラシスト・ピーティワイ・リミテッド ロータリ血液ポンプ及びその制御装置
US6876896B1 (en) 1999-04-26 2005-04-05 Ab Tetrapak Variable motion system and method
TNSN00087A1 (fr) 1999-04-26 2002-05-30 Int Paper Co Une machine a outils independamment mobiles
EP1052761A3 (en) 1999-05-06 2001-05-09 Yukio Kinoshita A rotary electric machine
US6285097B1 (en) 1999-05-11 2001-09-04 Nikon Corporation Planar electric motor and positioning device having transverse magnets
JP3105210B1 (ja) 1999-05-17 2000-10-30 ファナック株式会社 ステータ構造
US6279412B1 (en) 1999-05-19 2001-08-28 Brooks Automation, Inc. Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly
US6326750B1 (en) 1999-06-17 2001-12-04 Emerson Electric Co. Active reduction of torque irregularities in rotating machines
AU6341200A (en) 1999-07-02 2001-01-22 Magnemotion, Inc. System for inductive transfer of power, communication and position sensing to a guideway-operated vehicle
JP3777272B2 (ja) 1999-07-05 2006-05-24 本田技研工業株式会社 車両におけるエンジン始動／停止装置
FR2797478B1 (fr) 1999-08-09 2001-10-12 Cit Alcatel Palier magnetique de centrage a commande en basculement de grande amplitude
TWI248718B (en) 1999-09-02 2006-02-01 Koninkl Philips Electronics Nv Displacement device
US6227817B1 (en) 1999-09-03 2001-05-08 Magnetic Moments, Llc Magnetically-suspended centrifugal blood pump
JP4359369B2 (ja) 1999-11-30 2009-11-04 キヤノンアネルバ株式会社 基板搬送ロボット
US6758593B1 (en) 2000-10-09 2004-07-06 Levtech, Inc. Pumping or mixing system using a levitating magnetic element, related system components, and related methods
JP2001224154A (ja) 2000-02-10 2001-08-17 Japan Science & Technology Corp マルチポール磁気浮上回転方法およびその装置
US6691159B1 (en) * 2000-02-24 2004-02-10 General Electric Company Web-based method and system for providing assistance to computer users
US6537011B1 (en) 2000-03-10 2003-03-25 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for transferring and supporting a substrate
US6781524B1 (en) 2000-03-17 2004-08-24 Magnemotion, Inc. Passive position-sensing and communications for vehicles on a pathway
US6498410B1 (en) 2000-03-28 2002-12-24 Ibiden Co., Ltd. Motor and pressure generating apparatus incorporating the motor
JP4341140B2 (ja) 2000-03-31 2009-10-07 ミツミ電機株式会社 電子機器
US6509732B1 (en) 2000-05-01 2003-01-21 Honeywell International Inc. Enhanced methods for sensing positions of an actuator moving longitudinally
US6559567B2 (en) * 2000-05-12 2003-05-06 Levitronix Llc Electromagnetic rotary drive
FR2808872B1 (fr) 2000-05-15 2002-08-16 Cit Alcatel Capteurs inductifs en etoile pour la detection de la position radiale d'un rotor dans un stator
JP2001326201A (ja) 2000-05-16 2001-11-22 Ebara Corp ポリッシング装置
US6853106B2 (en) * 2000-06-02 2005-02-08 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Brushless motor
JP2001351874A (ja) 2000-06-09 2001-12-21 Ebara Corp 基板回転装置
US6445093B1 (en) 2000-06-26 2002-09-03 Nikon Corporation Planar motor with linear coil arrays
JP2002026105A (ja) 2000-07-05 2002-01-25 Daikin Ind Ltd 真空搬送モジュール
JP2002022403A (ja) 2000-07-13 2002-01-23 Tokyo Keiso Co Ltd 変位検出器および変位検出方法
DE10034662A1 (de) * 2000-07-16 2002-01-24 Wolfgang Amrhein Aufwandsamer elektrischer Antrieb zur Erzeugung von Tragkräften und Drehmomenten
GB0020501D0 (en) 2000-08-18 2000-10-11 Switched Reluctance Drives Ltd Apparatus and method for controlling an electric machine
JP3979561B2 (ja) 2000-08-30 2007-09-19 株式会社日立製作所 交流電動機の駆動システム
DE10043235A1 (de) 2000-09-02 2002-03-14 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
US6498451B1 (en) 2000-09-06 2002-12-24 Delphi Technologies, Inc. Torque ripple free electric power steering
US6690159B2 (en) 2000-09-28 2004-02-10 Eldec Corporation Position indicating system
DE50003742D1 (de) 2000-10-04 2003-10-23 Nti Ag Zuerich Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements
JP2002122137A (ja) 2000-10-10 2002-04-26 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 軸受装置
US6431011B1 (en) 2000-11-02 2002-08-13 Murray F. Feller Magnetic flow sensor and method
US6707200B2 (en) 2000-11-14 2004-03-16 Airex Corporation Integrated magnetic bearing
JP3757118B2 (ja) 2001-01-10 2006-03-22 株式会社日立製作所 非接触式回転位置センサ及び非接触式回転位置センサを有する絞弁組立体
US6642711B2 (en) 2001-01-24 2003-11-04 Texas Instruments Incorporated Digital inductive position sensor
US6691074B1 (en) 2001-02-08 2004-02-10 Netmore Ltd. System for three dimensional positioning and tracking
JP2002247823A (ja) * 2001-02-15 2002-08-30 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気浮上型電動機
US6518747B2 (en) 2001-02-16 2003-02-11 Quantum Design, Inc. Method and apparatus for quantitative determination of accumulations of magnetic particles
US7036207B2 (en) 2001-03-02 2006-05-02 Encap Motor Corporation Stator assembly made from a plurality of toroidal core segments and motor using same
EP1243969A1 (en) 2001-03-20 2002-09-25 Asm Lithography B.V. Lithographic projection apparatus and positioning system
US20020149270A1 (en) 2001-04-12 2002-10-17 Hazelton Andrew J. Planar electric motor with two sided magnet array
US7196604B2 (en) 2001-05-30 2007-03-27 Tt Electronics Technology Limited Sensing apparatus and method
GB0126014D0 (en) 2001-10-30 2001-12-19 Sensopad Technologies Ltd Modulated field position sensor
US6650079B2 (en) 2001-06-01 2003-11-18 Nikon Corporation System and method to control planar motors
US20030085676A1 (en) 2001-06-28 2003-05-08 Michael Binnard Six degree of freedom control of planar motors
US6879126B2 (en) 2001-06-29 2005-04-12 Medquest Products, Inc Method and system for positioning a movable body in a magnetic bearing system
AU2002327249A1 (en) 2001-07-13 2003-01-29 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple independent end effectors
JP2003052146A (ja) 2001-08-06 2003-02-21 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 周面対向型モータ
US6573088B2 (en) 2001-08-08 2003-06-03 Dade Microscan Inc. Automated random access microbiological analyzer
DE50202567D1 (de) 2001-08-10 2005-04-28 Ebm Papst St Georgen Gmbh & Co Verfahren zur steuerung der kommutierung bei einem elektronisch kommutierten motor, und elektronisch kommutierter motor zur durchführung eines solchen verfahrens
JP2003068620A (ja) 2001-08-28 2003-03-07 Sendai Nikon:Kk 露光装置
JP3849921B2 (ja) 2001-09-26 2006-11-22 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
AU2002347782A1 (en) 2001-10-01 2003-04-14 Magnemotion, Inc. Synchronous machine design and manufacturing
FI114511B (fi) * 2001-10-24 2004-10-29 Abb Oy Menetelmä tahtikoneen roottorin asentokulman määrittämiseksi
US20030102721A1 (en) 2001-12-04 2003-06-05 Toshio Ueta Moving coil type planar motor control
JP3644922B2 (ja) * 2001-12-06 2005-05-11 本田技研工業株式会社 電動パワーステアリング装置
US6927505B2 (en) 2001-12-19 2005-08-09 Nikon Corporation Following stage planar motor
US7115066B1 (en) 2002-02-11 2006-10-03 Lee Paul Z Continuously variable ratio transmission
US6991710B2 (en) 2002-02-22 2006-01-31 Semitool, Inc. Apparatus for manually and automatically processing microelectronic workpieces
WO2003071231A1 (en) 2002-02-22 2003-08-28 Fast Technology Ag Magnetically neutral displacement (torque) transducer for a ferromagnetic member with coil(s) and magnetic field sensor(s)
US7023118B1 (en) 2002-03-14 2006-04-04 The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration System for controlling a magnetically levitated rotor
US6800833B2 (en) 2002-03-29 2004-10-05 Mariusch Gregor Electromagnetically levitated substrate support
JP4197103B2 (ja) 2002-04-15 2008-12-17 株式会社荏原製作所 ポリッシング装置
US7292656B2 (en) 2002-04-22 2007-11-06 Cognio, Inc. Signal pulse detection scheme for use in real-time spectrum analysis
EP1357429A1 (en) * 2002-04-23 2003-10-29 ASML Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP3912779B2 (ja) 2002-05-08 2007-05-09 松下電器産業株式会社 磁気式位置検出装置
WO2003098064A1 (de) 2002-05-16 2003-11-27 Silphenix Gmbh Passives, dynamisch stabilisierendes magnetlager und antrieb
US7578649B2 (en) 2002-05-29 2009-08-25 Brooks Automation, Inc. Dual arm substrate transport apparatus
US20040021437A1 (en) 2002-07-31 2004-02-05 Maslov Boris A. Adaptive electric motors and generators providing improved performance and efficiency
US6745145B2 (en) 2002-06-24 2004-06-01 Lsi Logic Corporation Methods and systems for enhanced automated system testing
US6909281B2 (en) 2002-07-03 2005-06-21 Fisher Controls International Llc Position sensor using a compound magnetic flux source
US7575406B2 (en) * 2002-07-22 2009-08-18 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
JP2004106084A (ja) 2002-09-17 2004-04-08 Ebara Corp ポリッシング装置及び基板処理装置
US20050174087A1 (en) 2004-02-10 2005-08-11 Koyo Seiko Co., Ltd. Control magnetic bearing device
DE10244234A1 (de) 2002-09-23 2004-03-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
FR2845469B1 (fr) 2002-10-07 2005-03-11 Moving Magnet Tech Capteur de position analogique a reluctance variable
US6813543B2 (en) 2002-10-08 2004-11-02 Brooks-Pri Automation, Inc. Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation
US20040070300A1 (en) 2002-10-10 2004-04-15 Fu Zhenxing (Zack) Low torque ripple surface mounted magnet synchronous motors for electric power assisted steering
US6879076B2 (en) 2002-12-09 2005-04-12 Johnny D. Long Ellipsoid generator
US6698737B1 (en) 2002-12-14 2004-03-02 Ronald Lee Blessing Clamping jig
US7030528B2 (en) 2003-02-06 2006-04-18 General Motors Corporation Dual concentric AC motor
JP2004245703A (ja) 2003-02-14 2004-09-02 Mitsuba Corp 回転角検出装置
EP1450462B1 (en) 2003-02-18 2008-07-09 Minebea Co., Ltd. Rotor and stator for an electrical machine with reduced cogging torque
JP2004253741A (ja) 2003-02-21 2004-09-09 Sumitomo Eaton Noba Kk 移動装置及び半導体製造装置
DE10309351A1 (de) 2003-03-03 2004-09-16 Robert Bosch Gmbh Druckregler
TWI327985B (en) 2003-04-14 2010-08-01 Daifuku Kk Apparatus for transporting plate-shaped work piece
US6803758B1 (en) 2003-04-25 2004-10-12 Delphi Technologies, Inc. Non-contact magnetically variable differential transformer
US7245047B2 (en) 2003-05-01 2007-07-17 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
AU2003902255A0 (en) 2003-05-09 2003-05-29 Queensland University Of Technology Motor
US7371306B2 (en) 2003-06-06 2008-05-13 Semitool, Inc. Integrated tool with interchangeable wet processing components for processing microfeature workpieces
US7596425B2 (en) 2003-06-13 2009-09-29 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Substrate detecting apparatus and method, substrate transporting apparatus and method, and substrate processing apparatus and method
DE10330434A1 (de) 2003-07-04 2005-02-03 Jostra Ag Zentrifugal-Pumpe
DE10394095D2 (de) 2003-07-09 2006-11-02 Rena Sondermaschinen Gmbh Vorrichtung zur Reinigung von Wafern nach dem CMP-Prozeß
US6902646B2 (en) 2003-08-14 2005-06-07 Advanced Energy Industries, Inc. Sensor array for measuring plasma characteristics in plasma processing environments
EP1510867A1 (en) 2003-08-29 2005-03-02 ASML Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US8016541B2 (en) 2003-09-10 2011-09-13 Brooks Automation, Inc. Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation
EP1517042A1 (en) 2003-09-17 2005-03-23 Mecos Traxler AG Magnetic bearing device and vacuum pump
WO2005030296A2 (en) 2003-09-25 2005-04-07 Medforte Research Foundation Axial-flow blood pump with magnetically suspended, radially and axially stabilized impeller
US7070398B2 (en) 2003-09-25 2006-07-04 Medforte Research Foundation Axial-flow blood pump with magnetically suspended, radially and axially stabilized impeller
US7229258B2 (en) 2003-09-25 2007-06-12 Medforte Research Foundation Streamlined unobstructed one-pass axial-flow pump
US6952086B1 (en) 2003-10-10 2005-10-04 Curtiss-Wright Electro-Mechanical Corporation Linear position sensing system and coil switching methods for closed-loop control of large linear induction motor systems
JP4767488B2 (ja) 2003-10-23 2011-09-07 Ｎｔｎ株式会社 磁気浮上型ポンプ
JP4202889B2 (ja) 2003-10-29 2008-12-24 株式会社神戸製鋼所 薄膜形成方法及び装置
JP2005158826A (ja) 2003-11-20 2005-06-16 Anelva Corp マルチアーム型基板搬送ロボット及び基板搬送方法
JP4606033B2 (ja) 2004-01-30 2011-01-05 三菱電機株式会社 同期モータの回転子位置検出調整方法
JP4522106B2 (ja) 2004-02-04 2010-08-11 山洋電気株式会社 リニアモータ
US7264430B2 (en) 2004-02-26 2007-09-04 Federal Mogul World Wide, Inc Magnetically levitated high-speed spindle for shaping irregular surfaces
US20060238053A1 (en) 2004-03-01 2006-10-26 The University Of Toledo Conical bearingless motor/generator
JP2005253179A (ja) 2004-03-03 2005-09-15 Canon Inc 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法
FR2869090B1 (fr) 2004-04-15 2007-09-07 Gaz De France Procede pour raccorder une conduite de derivation a une canalisation principale et reseau souterrain de distribution de fluide
US7246985B2 (en) 2004-04-16 2007-07-24 Axcelis Technologies, Inc. Work-piece processing system
US7235906B2 (en) 2004-05-10 2007-06-26 Airex Corporation Magnetic bearing using displacement winding techniques
JP4324736B2 (ja) 2004-05-17 2009-09-02 株式会社島津製作所 磁気軸受制御装置
US7135855B2 (en) 2004-05-17 2006-11-14 David Scott Nyce Simplified inductive position sensor and circuit configuration
GB0411053D0 (en) 2004-05-18 2004-06-23 Ricardo Uk Ltd Data processing
US20050269892A1 (en) 2004-05-18 2005-12-08 Duff William B Jr Induction machine rotors with improved frequency response
JP4587708B2 (ja) 2004-05-20 2010-11-24 コニカミノルタオプト株式会社 位置検出装置、手振れ補正機構、および撮像装置
WO2005123565A2 (en) 2004-06-09 2005-12-29 Brooks Automation, Inc. Dual sacra arm
US7205741B2 (en) 2004-06-24 2007-04-17 Asml Netherlands B.V. Planar motor initialization method, planar motor, lithographic apparatus and device manufacturing method
JP4085074B2 (ja) 2004-06-24 2008-04-30 ファナック株式会社 磁気式角度検出器における回転体の製造方法
JP4732716B2 (ja) 2004-06-29 2011-07-27 株式会社アルバック 搬送装置及びその制御方法並びに真空処理装置
KR20070058445A (ko) 2004-07-02 2007-06-08 스트라스바흐, 인코포레이티드 웨이퍼 처리 방법 및 시스템
EP1621785A1 (en) 2004-07-30 2006-02-01 Mecos Traxler AG Method and apparatus for controlling a magnetic bearing device
EP1779080A1 (en) 2004-08-02 2007-05-02 NCTEngineering GmbH Sensor device capable of identifying any components of a mechanical force applied to a movable object
JP4649951B2 (ja) 2004-10-28 2011-03-16 日本電産株式会社 モータおよび電機子の製造方法
WO2006053384A1 (en) 2004-11-17 2006-05-26 Queensland University Of Technology Fluid pump
JP2006174526A (ja) 2004-12-13 2006-06-29 Nippon Densan Corp モータ
US7230355B2 (en) 2004-12-21 2007-06-12 Baldor Electric Company Linear hybrid brushless servo motor
US20060164697A1 (en) 2005-01-26 2006-07-27 Larson David R Irregularly spacing linear portions of media sheet for optical scanning thereof
US20060275155A1 (en) 2005-01-28 2006-12-07 Robert Thibodeau Rotational apparatus
JP4600060B2 (ja) 2005-02-01 2010-12-15 コニカミノルタオプト株式会社 駆動装置
KR100653434B1 (ko) * 2005-04-29 2006-12-01 영 춘 정 2상 무정류자 모터
JP2007019216A (ja) 2005-07-07 2007-01-25 Rorze Corp 基板の搬送ロボット
WO2007008941A2 (en) 2005-07-11 2007-01-18 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with automated alignment
US8573919B2 (en) 2005-07-11 2013-11-05 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
JP4770308B2 (ja) 2005-07-15 2011-09-14 日立電線株式会社 トルクセンサ
JP4496376B2 (ja) 2005-09-05 2010-07-07 国立大学法人東京工業大学 使い捨て磁気浮上式血液ポンプ
EP1732011A1 (en) 2005-11-23 2006-12-13 Mecos Traxler AG Compact magnetic bearing device and method of operating the device with calculation of distribution of currents in the windings
FR2894023B1 (fr) 2005-11-29 2008-02-22 Electricfil Automotive Soc Par Capteur magnetique de position pour un mobile ayant une course lineaire limitee
JP4815204B2 (ja) 2005-12-01 2011-11-16 アイチエレック株式会社 永久磁石回転機及び圧縮機
US7339370B2 (en) 2005-12-09 2008-03-04 Bourns, Inc. Position and torque sensor
US20090021244A1 (en) 2005-12-15 2009-01-22 Lutz May Sensor
US7468589B2 (en) 2006-01-13 2008-12-23 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus having a controlled motor, and motor control system and method
US8104488B2 (en) 2006-02-22 2012-01-31 Applied Materials, Inc. Single side workpiece processing
JP4977378B2 (ja) 2006-02-23 2012-07-18 山梨日本電気株式会社 磁気センサ、回転検出装置及び位置検出装置
US7795861B2 (en) 2006-05-02 2010-09-14 Cairos Technologies Ag Method and apparatus for controlling a movable object for localization within a positioning area
JP2007312516A (ja) 2006-05-18 2007-11-29 Canon Inc 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法
US7868610B2 (en) 2006-06-09 2011-01-11 The Regents Of The University Of California Angular motion tracking sensor
US8701519B2 (en) 2006-06-28 2014-04-22 Genmark Automation, Inc. Robot with belt-drive system
JP2009542611A (ja) 2006-07-03 2009-12-03 ザパロイド・リミテッド アルファ−シヌクレイン凝集の阻害
US20080067968A1 (en) 2006-09-12 2008-03-20 Nikon Corporation Identifying and compensating force-ripple and side-forces produced by linear actuators
US8137048B2 (en) 2006-09-27 2012-03-20 Vserv Technologies Wafer processing system with dual wafer robots capable of asynchronous motion
US20080120164A1 (en) 2006-11-17 2008-05-22 Avaya Technology Llc Contact center agent work awareness algorithm
JP5379954B2 (ja) 2007-02-09 2013-12-25 株式会社東芝 制御盤試験用端子台、制御盤自動試験装置、及び仮設制御装置
JP5130762B2 (ja) 2007-03-26 2013-01-30 住友電気工業株式会社 広帯域光源装置
US8283813B2 (en) 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
WO2009003186A1 (en) 2007-06-27 2008-12-31 Brooks Automation, Inc. Multiple dimension position sensor
JP5416104B2 (ja) 2007-06-27 2014-02-12 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド セルフベアリングモータ用位置フィードバック
JP5501375B2 (ja) 2009-01-11 2014-05-21 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ロボットおよびロボットの電気エンドエフェクタに電気的に接続するシステム、装置、および方法
JP3178747U (ja) 2012-07-18 2012-09-27 有限会社エコー商事 ポールの固定構造

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02193547A (ja) * 1989-01-18 1990-07-31 Akira Chiba 半径方向回転体位置制御巻線付き電磁回転機械及び半径方向回転体位置制御装置
JPH1070865A (ja) * 1996-08-26 1998-03-10 Ebara Corp 無軸受回転機械装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5517928B2 (ja) 2014-06-11
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