KR102001309B1 - 액체처리장치 - Google Patents

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웬-핑 차이
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Abstract

액체처리장치는 웨이퍼의 표면에 액체를 공급하여 액체처리를 한다. 액체처리장치는 기좌, 회전축, 고정부재, 액체공급부재, 누수방지부재와 가스공급부재를 포함한다. 회전축은 기좌를 연결하고 축내 통로를 구비한다. 고정부재는 회전축을 연결하고 웨이퍼를 고정하며, 고정부재는 관통된 구멍을 구비하고, 구멍은 축내 통로와 연통된다. 액체공급부재는 액체를 웨이퍼 표면에 제공한다. 누수방지부재는 구멍과 연통된다. 가스공급부재는 누수방지부재를 연통하고 가스 소스를 고정부재에 제공한다. 액체가 고정부재의 구멍에서 회전축에 진입할 때, 액체는 누수방지부재로 흘러 액체가 가스공급부재로 흐르는 것을 방지한다.

Description

액체처리장치{LIQUID PROCESSING DEVICE}
본 발명은 액체처리장치에 관한 것이고, 특히 액체가 부당하게 액체처리장치 내부에 흘러 장비파손의 조성을 방지할 수 있는 액체처리장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼를 제조하는 과정에, 웨이퍼를 액체처리기계 위에 놓고, 웨이퍼가 액체처리기계 위에서 회전하게 하고, 액체처리기계가 웨이퍼의 표면에 대하여 산성액을 가하여 에칭하도록 하며; 부식할 처리가 종료된 후, 다시 액체처리기계가 웨이퍼의 표면에 대하여 세척액을 가하여 세척을 진행한다. 보통 액체처리기계는 회전 플랫폼, 공기 블리드 통로와 공기 빼기기가 있다. 공기 블리드 통로의 일단은 공기 빼기기에 연통되고, 타단은 회전 플랫폼을 통과하며, 이로써, 공기 빼기기로 공기를 빼낼 때, 공기 블리드 통로는 회전 플랫폼의 일단에 설치되어 흡인력을 생성하고, 따라서 회전 플랫폼 상의 웨이퍼는 상기 흡인력에 흡인되어 회전시 회전 플랫폼에서 떨어지지 않는다.
그러나, 웨이퍼에 크랙이 있으면 액체처리기계는 회전하는 웨이퍼의 표면에 액체를 가할 때, 액체는 크랙을 통과하여 공기 블리드 통로의 흡인력에 흡인될 수 있고, 이때 공기 블리드 통로에 흡인된 액체는 공기 블리드 통로에 의하여 공기 빼기 또는 액체처리기계 내부의 기타 부재내에 침투되어 액체처리기계의 부재파손을 조성한다.
따라서, 액체가 부당하게 액체처리기계 내부에 흘러 들어 장비파손의 조성을 방지할 수 있는 새로운 액체처리기계를 제공할 필요가 있다.
본 발명의 주요목적은 액체가 부당하게 액체처리기 내부에 흘러 들어 장비파손의 조성을 방지할 수 있는 액체처리장치를 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 액체처리장치는 웨이퍼의 표면에 액체를 공급하여 액체처리를 한다. 액체처리장치는 기좌(샘林), 회전축, 고정부재, 액체공급부재, 누수방지부재와 가스공급부재를 포함한다. 회전축은 기좌를 연결하고 축내 통로를 구비한다. 고정부재는 회전축을 연결하고 웨이퍼를 고정하며, 고정부재는 관통된 구멍을 구비하고, 구멍은 축내 통로와 연통된다. 액체공급부재는 액체를 웨이퍼 표면에 제공한다. 누수방지부재는 구멍과 연통된다. 가스공급부재는 누수방지부재를 연통하고 가스 소스를 고정부재에 제공한다. 액체가 고정부재의 구멍에서 회전축에 진입할 때, 액체는 누수방지부재로 흘러 액체가 가스공급부재로 흐르는 것을 방지한다.
본 발명의 일실시예에 따라, 가스공급부재는 가스통로 및 스위치부재를 포함하고, 가스공급부재는 가스통로를 통하여 가스액체 분리유닛과 연통되고 스위치부재는 가스통로에 설치되어 가스통로 내의 가스압력을 제어한다.
본 발명의 일실시예에 따라, 액체가 고정부재의 구멍에서 회전축으로 진입할 때, 제어스위치는 가스공급부재와 가스액체 분리유닛의 연통을 컷오프 한다.
본 발명의 일실시예에 따라, 가스압력이 부압일 때, 웨이퍼는 고정부재에 고정되고, 가스압력이 비부압일 때, 웨이퍼는 고정부재에서 이동한다.
본 발명의 일실시예에 따라, 누수방지부재는 탐지기를 더 포함하고, 탐지기는 가스액체 분리유닛의 일측에 설치되어 가스액체 분리유닛 내의 액체 용량을 탐지한다.
본 발명의 일실시예에 따라, 탐지기는 액체레벨 탐지기 또는 액체중량 탐지기이다.
본 발명의 일실시예에 따라, 가스액체 분리유닛은 축내 통로에 설치되고, 누수방지부재는 가스액체 통로를 포함하며, 누수방지부재는 가스액체 통로를 통하여 구멍과 연통된다.
본 발명의 일실시예에 따라, 가스액체 분리유닛은 기좌가 회전축을 멀리하는 일측에 설치되고, 누수방지부재는 가스액체 통로를 포함하며, 누수방지부재는 가스액체 통로를 통하여 축내 통로의 일단과 연통되고, 그 중에서 누수방지부재는 가스액체 통로를 통하여 구멍과 연통된다.
본 발명의 일실시예에 따라, 가스액체 통로가 구멍을 멀리하는 일단에 제1포트가 있고, 가스통로가 구멍에 가까이 하는 일단에 제2포트가 있으며, 제1포트와 가스액체 분리유닛의 저면은 제1간격으로 떨어져 있고, 제2포트와 가스액체 분리유닛의 저면은 제2간격으로 떨어져 있으며, 제1간격은 제2간격보다 작다.
본 발명의 일실시예에 따라, 그 중의 회전축은 회전모터이다.
본 발명의 일실시예에 따라, 액체처리장치는 액체수집부재를 더 포함하고, 액체수집부재는 기좌에 설치되고, 회전축으로 웨이퍼를 회전시킬 때 분출되는 액체를 수집한다.
본 발명의 일실시예에 따라, 액체처리장치는 완충공간을 가지는 완충용기를 더 포함하고, 완충용기는 누수방지부재와 가스공급부재 사이에 설치되고 서로 연통되며, 그 중에서, 액체처리장치는 복수 개이고, 가스공급부재는 가스 소스를 완충공간에 제공하며, 그 중의 적어도 하나의 액체처리장치에 이상이 있을 때, 기타 나머지 액체처리장치는 완충공간의 완충기압을 통하여 정상작동을 유지한다.
본문 내에 포함되어 있음.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 액체처리장치 설명도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 액체와 가스가 가스액체 분리유닛에서 분리하는 설명도이다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 액체처리장치의 설명도이다.
도 3a는 본 발명의 제2실시예에 따른 다른 형태의 가스액체 통로를 가진 액체처리장치의 설명도이다.
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 액체와 가스가 가스액체 분리유닛에서 분리하는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 액체와 가스가 가스액체 분리유닛에서 분리하는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 액체처리장치의 설명도이다.
귀 심사위원이 본 발명의 기술내용을 더 이해하게 하기 위하여, 아래와 같이 바람직한 구체적 실시예를 예로 들어 설명한다.
아래에 본 발명의 제1실시예의 액체처리장치에 관한 도 1과 도 2를 함께 참고하기 바란다. 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 액체처리장치 설명도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 액체와 가스가 가스액체 분리유닛에서 분리하는 설명도이다.
본 발명의 제1실시예에서, 도 1과 도 2와 같이, 본 발명의 액체처리장치(1)는 웨이퍼(W)의 표면에 액체(L)를 공급하여 액체처리를 진행한다. 액체(L)는 예하면 산성액 또는 세척액이고, 웨이퍼(W)의 표면에 가하여 에칭 또는 세척을 할 수 있는 액체처리이다. 액체처리장치(1)는 고정부재(10), 회전축(20), 누수방지부재(30), 가스공급부재(40), 액체공급부재(50), 액체수집부재(60)와 기좌(70)를 포함한다.
본 발명의 제1실시예에서, 고정부재(10)는 웨이퍼(W)의 플랫폼을 고정하고 적재하는데 사용된다. 고정부재(10)는 관통된 구멍(11)을 가지고, 구멍(11)은 회전축(2)의 내부를 연통한다. 고정부재(10)는 회전축(20), 누수방지부재(30) 및 가스공급부재(40)와도 매치될 수 있고, 고정부재(10)의 표면에 흡인력을 발생하여 상기 흡인력은 웨이퍼(W)를 흡인하고 고정할 수 있다. 그러나, 고정부재(10)가 웨이퍼(W)를 고정하는 방식은 상술한 내용에 한정되지 않고, 고정부재(10)는 블로우 에어 기능을 가지게 설계할 수 있고, 종래의 블로우 에어 서스펜션 방식을 통하여 웨이퍼(W)를 고정하거나 클램프를 갖도록 설계하여 웨이퍼(W) 주위를 집어 웨이퍼(W)를 고정한다.
본 발명의 제1실시예에서, 회전축(20)은 고정부재(10)의 저면을 연결하고, 회전축(20)은 고정부재(10)의 회전을 이끈다. 회전축(20)은 축내 통로(22)를 포함한다. 축내 통로(22)는 액체처리장치(1)의 일부분 부재를 용납하고, 축내 통로(22)의 상단에 오픈구멍이 설치되어 있으며, 오픈구멍은 구멍(11)과 정렬되기에 축내 통로(22)는 고정부재(10)의 구멍(11)을 연통한다. 본 실시예에서, 하나의 구멍(11) 및 정렬설정을 예로 들면, 실제수요에 의하여 복수 개의 구멍(11)과 비정렬의 방식을 설정할 수 있고, 예를 들면, 경사각도에 의하여 구멍(11)을 설정하고 본건의 예에 한정되지 않는다. 본 발명에서, 액체처리장치(1)는 구동부재(90)를 더 포함하고, 구동부재(90)는 회전축(20)을 구동하여 회전축(20) 전체를 회전시켜 고정부재(10)의 회전을 진일보로 이끌고, 구동부재(90)는 축내 통로(22)의 저면에 위치하지만, 구동부재(90)의 위치는 상술한 내용에 한정되지 않고, 회전축(20) 저면의 외측에 위치하는 것으로 설계할 수 있다. 본 실시예에서, 구동부재(90)는 회전모터일 수 있다. 실시예에서, 회전축(20)은 회전모터일 수 있고, 예를 들면 회전축(20) 자체가 회전모터 또는 회전축(20)이 회전모터의 중심축이다.
본 발명의 제1실시예에서, 누수방지부재(30)는 구멍(11)에서 회전축(20) 내부로 흐르는 액체(L)를 수집하여 액체(L)가 액체처리장치(1)의 기타 부품 내에 흘러 부품파손의 조성을 방지한다. 제1실시예에서, 누수방지부재(30)는 고정부재(10)의 구멍(11)을 연통하고, 일부분의 누수방지부재(30)는 축내 통로(22)내에 위치하고, 다른 부분의 누수방지부재(30)는 회전축(20) 외로 연장되어 기좌(70)의 하방에 위치한다. 누수방지부재(30)는 가스액체 분리유닛(31), 스위치부재(33), 탐지기(34)와 가스액체 통로(35)를 포함한다. 가스액체 분리유닛(31)은 예를 들면, 병모양의 구조이고, 가스액체 분리유닛(31)은 구멍(11)과 연통하며 가스액체 분리유닛(31)은 구멍(11)에서 회전축(20) 내부에 흐른 액체(L)와 가스가 서로 분리되게 하여 통로에 의하여 회전축(20)에 진입한 액체(L)가 가스액체 분리유닛(31) 내부에 저장되게 한다. 가스액체 분리유닛(31)은 축내 통로(22) 내에 위치한다. 스위치부재(33)는 액체배출 통로(331)를 포함하고, 스위치부재(33)는 액체배출 통로(331)와 가스액체 분리유닛(31)을 통하여 연통하여 가스액체 분리유닛(31)에 의하여 배출한 액체 흐름량을 제어하고, 스위치부재(33) 말단에는 밸브가 있다. 액체배출 통로(331)는 축내 통로(22)에 의하여 연장되어 기좌(70)를 관통하고, 스위치부재(33) 말단의 밸브는 기좌(70)의 저면에 노출되고, 스위치부재(33)는 사용자에게 밸브오픈을 제공하여 가스액체 분리유닛(31)이 저장한 액체(L)를 배출하게 한다. 탐지기(34)는 가스액체 분리유닛(31)의 일측에 설치되어 가스액체 분리유닛(31) 내의 액체(L)의 용량을 탐지하고, 탐지기(34)는 예를 들면 액체중량 탐지기이고, 이는 액체중량 탐지기능을 가진 전자신호 발사기이고, 가스액체 분리유닛(31) 내부의 액체(L) 용량이 너무 높은지 여부를 탐지하고, 가스액체 분리유닛(31) 내부의 액체(L) 용량이 일정한 정도의 높이에 도달할 때, 액체중량 탐지기의 탐지기(34)는 가스액체 분리유닛(31) 내부의 액체(L)의 중량이 이미 경보알림 정도에 도달하였음을 대응하게 탐지하고, 이때, 탐지기(34)는 전자신호를 외부의 컴퓨터(미도시)에 전송하여, 사용자가 반드시 스위치부재(33)의 밸브를 오픈하여 가스액체 분리유닛(31)이 축적한 액체(L)를 배출하도록 알려준다. 그러나, 탐지기(34)의 탐지기능은 액체중량을 탐지하는 기능에 한정되지 않고, 탐지기(34)는 액체레벨 탐지기로도 설계할 수 있으며, 액체의 수위높이를 탐지하는 전자신호 발사기를 가지고 있고, 따라서, 가스액체 분리유닛(31) 내부의 액체(L)의 수위가 액체레벨 탐지기의 탐지기(34)를 터치하는 높이에 도달할 때, 탐지기(34)는 액체(L)의 수위를 대응하게 탐색하고, 이때, 탐지기(34)는 전자신호를 외부의 컴퓨터(미도시)에 전송하여, 사용자가 반드시 스위치부재(33)의 밸브를 오픈하여 가스액체 분리유닛(31)이 축적한 액체(L)를 배출하도록 알려준다. 그 외에, 스위치부재(33)의 밸브는 전자식 밸브로 설계할 수 있고, 전자식 밸브는 탐지기(34)가 전송한 전자신호를 수신할 수 있어 밸브가 자동으로 오픈되게 하여 가스액체 분리유닛(31)이 축적한 액체(L)가 흘러나오게 하고, 이와 같이 하면 사용자의 조작인력을 진일보로 절약할 수 있다. 가스액체 통로(35)는 가스와 액체(L)를 흐르게 하여 누수방지부재(30)의 가스액체 분리유닛(31)이 가스액체 통로(35)를 통하여 구멍(11)과 연통되게 한다. 가스액체 통로(35)가 구멍(11)을 멀리하는 일단에 제1포트(351)가 있다.
본 발명의 제1실시예에서, 도 1과 도 2와 같이, 가스공급부재(40)는 가스통로(41)와 제어스위치(42)를 포함하고, 가스공급부재(40)는 가스통로(41)와 가스액체 분리유닛(31)을 통하여 연통된다. 가스통로(41)는 구멍(11)의 일단과 가까이 하고 제2포트(411)를 가진다. 제1포트(351)와 가스액체 분리유닛(31)의 저면은 제1간격(D)으로 떨어져 있고, 제2포트(411)와 가스액체 분리유닛(31)의 저면은 제2간격(E)으로 떨어져 있으며 제1간격(D)은 제2간격(E)보다 작고, 다시 말해서 제1포트(351)의 높이가 제2포트(411)보다 낮기에 액체(L)가 제1포트(351)에서 떨어질 때, 액체(L)는 비교적 어렵게 제2포트(411)에 흡입된다. 제어스위치(42)는 예를 들면, 3방향 밸브이고, 가스통로(41)에 설치되고, 제어스위치(42)는 가스통로(41) 내의 가스압력을 제어한다. 액체(L)가 고정부재(10)의 구멍(11)에서 회전축(20)에 진입할 때, 가스통로(41) 내의 가스압력에 영향을 줄 수 있고, 가스공급부재(40)의 가스공급에 연대영향 줄 수 있으며, 예를 들면, 웨이퍼(W) 파손 또는 잘못된 위치조준으로 상기 가스압력에 변화가 발생하게 할 수 있다. 따라서, 가스통로(41) 내의 가스압력에 변화가 발생할 때, 제어스위치(42)는 가스압력의 변화에 따라 가스압력부재(40)와 가스액체 분리유닛(31)의 연통을 컷오프 하여, 가스압력이 지속적으로 영향 받는 것을 피한다. 가스공급부재(40)는 가스통로(41), 가스액체 분리유닛(31), 가스액체 통로(35)와 구멍(11)으로 형성된 연통라인에 의하여, 가스 소스를 고정부재(10)에 제공하고, 부압고정으로 말할 때, 가스공급부재(40)가 제공한 가스 소스는 부압가스이고, 따라서 가스공급부재(40)는 고정부재(10)의 외표면에 흡인력을 생성하여 고정부재(10)상의 웨이퍼(W)에 고정되고, 상기 가스압력이 비부압일 때, 예를 들면, 대기압 또는 대기압보다 높은 기압은 웨이퍼가 상기 고정부재(10)에서 이동되게 한다. 정압고정으로 말할 때, 가스공급부재(40)가 제공한 가스 소스는 정압가스일 수 있고, 고정부재(10)의 외표면에서 블로우 에어 서스펜션의 방식으로 고정부재(10)상의 웨이퍼(W)에 고정된다.
주의할 것은 누수방지부재(30)의 가스액체 분리유닛(31), 스위치부재(33), 탐지기(34)와 가스액체 통로(35) 및 가스공급부재(40)는 비록 축내 통로(22)에 위치하지만, 가스액체 분리유닛(31), 스위치부재(33), 탐지기(34)와 가스액체 통로(35) 및 가스공급부재(40)는 회전축(20)에 달라붙지 않았기에 가스액체 분리유닛(31), 스위치부재(33), 탐지기(34)와 가스액체 통로(35) 및 가스공급부재(40)는 회전축(20)에 의하여 함께 회전하지 않는다.
본 발명의 제1실시예에서, 액체공급부재(50)는 고정부재(10) 위측에 위치하고, 액체공급부재(50)는 액체(L)를 웨이퍼(W)의 표면에 공급하여 웨이퍼(W)의 표면에 대하여 액체처리를 한다. 기좌(70)는 회전축(20), 액체공급부재(50)와 액체수집부재(60)를 연결한다. 기좌(70)는 링형의 측벽(71)을 포함하고, 측벽(71)은 회전축(20)을 에워싼다. 기좌(70)는 고정부재(10), 회전축(20), 누수방지부재(30), 가스공급부재(40), 액체공급부재(50)와 액체수집부재(60)를 지지한다. 액체수집부재(60)는 회전축(20)으로 웨이퍼(W) 회전할 때, 분출되는 액체(L)를 수집한다. 액체수집부재(60)는 두 개의 환형의 수집환(61, 61a)을 포함하고, 상기 두 개 수집환(61, 61a)은 각각 측벽(71)에서 승강할 수 있다. 내측의 수집환(61a)이 상승할 때, 내측의 수집환(61a)은 회전하는 웨이퍼(W)에서 떨어지는 액체(L)를 수집할 수 있고, 내측의 수집환(61a)이 하강할 때, 외측의 수집환(61)은 회전하는 웨이퍼(W)에서 떨어지는 액체(L)를 수집할 수 있으며, 이로써, 사용자는 두 개의 수집환(61, 61a) 승강을 제어하고, 서로 다른 액체처리에서 사용한 액체(L)를 수집하고, 본 실시예에서, 두 개의 수집환(61, 61a)만을 예로 들어, 실제요구에 따라 서로 다른 수량의 수집환을 증감할 수 있고 본건의 예시에 한정되지 않는다.
주의할 것은 본 발명의 회전축(20), 누수방지부재(30), 가스공급부재(40), 액체공급부재(50)와 액체수집부재(60)는 모두 외부 컴퓨터와 전기적으로 연결되고, 따라서, 사용자는 외부 컴퓨터를 사용하여 회전축(20), 누수방지부재(30), 가스공급부재(40), 액체공급부재(50)와 액체수집부재(60)의 작동을 제어할 수 있다. 그러나, 외부 컴퓨터를 사용하여 부품작동을 제어하는 것은 본 영역에서 공지된 상식이고 본건의 중점이 아니기에 더 이상 설명하지 않는다.
사용자가 본 발명의 액체처리장치(1)를 사용하여 웨이퍼(W)에 대하여 액체처리를 할 때, 사용자는 외부 컴퓨터를 사용하여 가스공급부재(40)가 제공한 부압 가스의 가스 소스를 제어하고, 이때, 구멍(11)에는 가스를 흡수하는 흡인력이 생겨 외부 가스가 구멍(11)에서 회전축(20)내의 가스액체 통로(35)에 진입하고, 또 가스액체 통로(35)로 가스액체 분리유닛(31)에 진입하고, 또한 가스통로(41)로 가스공급부재(40)(도 2와 같이 가스유동방향 A)에 진입한다. 따라서, 사용자는 웨이퍼(W)를 고정부재(10)상에 놓고, 이때, 구멍(11)에서 생성된 흡인력은 웨이퍼(W)를 흡인한다. 이로써, 웨어퍼(W)가 견고하게 고정부재(10)에 위치하게 하고, 따라서, 사용자는 외부 컴퓨터를 사용하여 회전축(20)을 회전하는 것으로 고정부재(10)의 회전을 이끌고, 액체공급부재(50)가 웨이퍼(W)에 대한 액체(L) 스프레이를 제어하는 것으로 액체처리를 진행할 수 있다.
도 2와 같이, 웨이퍼(W)에 크랙(Y)이 있을 때, 액체공급부재(50)는 웨이퍼(W)가 스프레이한 액체(L)에 대하여 크랙(Y)에 의하여 구멍(11)에서 생성된 흡인력을 흡인하여 회전축(20)내의 가스액체 통로(35)에 흘러 들어갈 수 있다. 액체(L)가 가스액체 통로(35)에서 가스액체 분리유닛(31)에 진입할 때, 액체(L)는 중력의 영향을 받아 가스액체 분리유닛(31)의 저면으로 흘러 스위치부재(33)로 흘러 들어간다. 따라서, 회전축(20)내에 흘러 들어간 가스액체 통로(35)의 액체(L)와 가스는 서로 나뉘어지고, 액체(L)는 가스액체 분리유닛(31)과 스위치부재(33)의 액체배출 통로(331)내에 저장되고, 액체(L)는 가스통로(41)로 가스공급부재(40) 및 액체처리장치(1)의 기타 부품내에 진입하여 부품파손을 더 이상 하지 않는다. 가스액체 분리유닛(31)과 스위치부재(33)가 저장한 액체(L)가 너무 많아 일정한 중량 또는 수위에 도달하면, 탐지기(34)는 액체(L)가 이미 일정한 중량 또는 수위에 도달하였음을 탐지할 수 있고, 전자신호를 외부 컴퓨터에 전송하여 사용자에게 반드시 스위치부재(33)의 밸브를 오픈하여 가스액체 분리유닛(31)의 저면에 저장된 액체(L)를 추출할 것을 알려준다. 또한, 액체(L)가 크랙(Y)에서 고정부재(10)의 통로(11)에 진입하고, 회전축(20)에 또 진입할 때, 크랙(Y)가 이미 가스통로(41)를 연통하고 대기와 연통되었음을 표시하여 가스통로(41)내의 가스압력에 영향 줄 수 있고, 가스공급부재(40)의 가스공급에 연대영향을 주며, 가스통로(41)내의 가스압력 개변도 고정부재(10)가 웨이퍼(W)를 고정하는 안정성에 연대영향을 준다. 따라서, 가스통로(41)내의 가스압력에 변화가 발생할 때, 제어스위치(42)는 가스압력의 변화에 따라 가스공급부재(40)와 가스액체 분리유닛(31)의 연통을 컷오프 하여 가스압력이 지속적으로 받는 영향을 피한다.
아래에 본 발명의 제2실시예의 액체처리장치에 관한 도 3과 도 3a를 참고하기 바란다. 도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 액체처리장치의 설명도이다. 도 3a는 본 발명의 제2실시예에 따른 다른 형태의 가스액체 통로를 가진 액체처리장치의 설명도이다.
본 발명의 제2실시예에서, 도 3과 같이 제2실시예와 제1실시예의 차별은 가스액체 분리유닛(31a)이 축내 통로(22a)에 설치되지 않고, 기좌(70a)가 회전축(20a)을 멀리하는 일측에 설치된다. 실시예에 따라 기좌(70a)의 하방에 설치된다. 다른 실시예에 따라, 회전축(20a)외에 설치된다. 상술한 가스액체 분리유닛(31a)의 설치위치는 실제수요에 의하여 개변될 수 있고, 이에 한정되지 않는다. 회전축(20a)에는 가스액체 분리유닛(31a)이 용납되지 않기에, 회전축(20a)의 높이는 비교적 짧은 높이로 설계할 수 있고, 기좌(70a)의 측벽(71a)도 함께 비교적 짧은 높이로 설계될 수 있기에 기좌(70a)의 상부구조의 설계요구는 비교적 탄성적이다. 제2실시예의 액체처리장치(1a)의 누수방지부재(30a)는 가스액체 통로(36)를 가지고, 누수방지부재(30a)의 가스액체 분리유닛(31a)은 가스액체 통로(36)과 축내 통로(22a)의 일단을 통하여 연통된다. 스위치부재(33a)의 액체배출 통로(331a)는 가스액체 분리유닛(31a) 위치의 변경에 매치하여 설계가 비교적 짧은 길이를 대응하게 획득할 수 있다. 가스공급부재(40a)의 위치, 가스통로(41a)와 제어스위치(42)의 위치는 가스액체 분리유닛(31a) 위치의 변경에 매치하여 기좌(70a)의 하방에 위치한 개변된 위치를 대응하게 획득할 수 있다. 액체(L)가 구멍(11)을 통하여 축내 통로(22a)에 흘러 들어갈 때, 액체(L)는 중력에 의하여 가스액체 통로(36)로 흐르고, 가스액체 분리유닛(31a)의 저면에 떨어진다. 가스가 가스공급부재(40a)의 흡인을 받아 구멍(11)에 의하여 축내 통로(22a)에 흐를 때, 가스는 계속적으로 흡인을 받아 가스액체 통로(36)와 가스액체 분리유닛(31a)에 흐르고, 또 가스통로(41a)에 의하여 가스공급부재(40a)에 흡인될 수 있다. 따라서, 제2실시예의 액체처리장치(1a)도 회전축(20a)내에 흘러 들어간 액체(L)와 가스를 서로 분리하여 액체(L)가 가스액체 분리유닛(31a)와 스위치부재(33a)의 액체배출 통로(331a)내에 저장되게 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라, 도 3a와 같이 가스액체 통로(36a)도 비교적 긴 길이를 가져 구멍(11)을 연결하도록 설계할 수 있다. 액체(L)가 구멍(11)에 의하여 흘러 들어가면, 직접 가스액체 통로(36a)에 의하여 가스액체 분리유닛(31a)에 흘러 들어갈 수 있다.
아래에 본 발명의 제3실시예의 액체처리장치에 관한 도 4를 참고하기 바란다. 도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 액체와 가스가 가스액체 분리유닛에서 분리하는 설명도이다.
본 발명의 제3실시예에서, 도 4와 같이, 제3실시예와 제1실시예의 차이는 누수방지부재(30b)가 L형의 가림판(37)을 가지고, L형의 가림판(37)은 가스액체 분리유닛(31b)내에 위치하고, L형의 가림판(37)은 가스액체 분리유닛(31b)을 상층구역과 하층구역으로 구분한다. 상층구역은 액체배출 통로(331b)를 연통하고, 상층구역은 가스액체 통로(35)에서 떨어지는 액체(L)를 받고, 탐지기(34b)는 상층구역에 위치한다. 하층구역은 가스공급부재(40b)의 가스통로(41b)와 연통되고, 하층구역은 가스파이프라인을 형성하여 가스액체 통로(35)내의 가스를 공급하여 가스통로(41b)로 흘러 들어가게 하고, 이로써 가스액체 통로(35)내에서 흐르는 가스와 액체(L)를 분리할 수 있다. 여기서, 누수방지부재(30b)는 기좌(70)가 회전축(20)을 멀리하는 일측에 설치할 수 있고, 회전축(20) 외에 설치되지만 이에 한정되지 않는다(미도시).
아래에 본 발명의 제4실시예의 액체처리장치에 관한 도 5를 참고하기 바란다. 도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 액체와 가스가 가스액체 분리유닛에서 분리하는 설명도이다.
본 발명의 제4실시예에서, 도 5와 같이, 제4실시예와 제1실시예의 차이는 누수방지부재(30c)가 긴판형태의 가림판(37a)을 가지고, 긴판형태의 가림판(37a)은 가스액체 분리유닛(31c)내에 위치하고, 긴판형태의 가림판(37a)은 가스액체 분리유닛(31c)을 좌측구역과 우측구역으로 구분한다. 우측구역은 액체배출 통로(331c)를 연통하고, 우측구역은 가스액체 통로(35)에서 떨어지는 액체(L)를 받고, 탐지기(34c)는 우측구역에 위치한다. 좌측구역은 가스공급부재(40c)의 가스통로(41c)와 연통되고, 좌측구역은 가스파이프라인을 형성하여 가스액체 통로(35)내의 가스를 공급하여 가스통로(41c)로 흘러 들어가게 하고, 이로써 가스액체 통로(35)내에서 흐르는 가스와 액체(L)를 분리할 수 있다. 여기서, 누수방지부재(30c)는 기좌(70)가 회전축(20)을 멀리하는 일측에 설치할 수 있고, 회전축(20) 외에 설치되지만 이에 한정되지 않는다(미도시). 본 발명에서, 단지 상술한 가스액체 분리유닛을 예로 들면, 액체중량이 가스중량보다 높고, 구조설계를 통하여 가스액체 분리를 하면 되며, 본건의 예에 한정되지 않는다.
아래에 본 발명의 제5실시예의 액체처리장치에 관한 도 6을 참고하기 바란다. 도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 액체처리장치의 설명도이다.
본 발명의 제5실시예에서, 도 6과 같이, 제5실시예와 제1실시예의 차이는 액체처리장치(1b)는 복수 개이고, 각각의 액체처리장치(1b)는 하나의 가스공급부재(40d)를 사용하고 상기 가스공급부재(40d)는 기좌(70) 아래에 설치된다. 액체처리장치(1b)는 완충공간을 가지는 완충용기(80)를 더 포함하고, 기좌(70) 아래에 설치된다. 완충용기(80)와 누수방지부재(30) 및 가스공급부재(40d)는 서로 연통된다. 가스공급부재(40d)는 가스 소스를 완충용기(80)의 완충공간에 제공할 수 있고, 완충용기(80)와 가스통로(41d)의 연통으로 가스 소스를 고정부재(10)에 제공한다. 그 중의 임의의 액체처리장치(1b)에 이상이 발생할 때, 예를 들면 웨이퍼(W) 파손 또는 잘못된 위치조준으로 가스압력에 변화가 발생할 때, 완충용기(80)의 큰 체적의 완충공간은 가스공급부재(40d)가 가스 소스를 각각의 액체처리장치(1b)에 제공하는 전체적 기압변화를 완충시켜 기압의 급격한 변화로 고정부재(10)가 웨이퍼(W)를 고정하는데 영향을 피할 수 있고, 따라서 기타 나머지 이상이 발생하지 않은 액체처리장치(1b)는 완충공간의 완충기압을 통하여 정상작동 할 수 있다. 주의할 것은 제5실시예의 완충용기(80)는 비록 기좌(70) 아래에 설치되지만 그 위치는 이에 한정되지 않으며, 완충용기(80)는 기타 위치에 설치될 수도 있고, 예를 들면, 회전축(20)내에 위치한다. 완충용기(80)의 설치는 제어스위치(42)의 설치와 매치하여 제어할 수 있고, 제어스위치(42)는 가스압력의 변화에 따라 가스공급부재(40)와 가스액체 분리유닛(31)의 연통을 컷오프 하여 가스압력이 계속하여 영향을 받는 것을 피한다.
본 발명의 액체처리장치의 구조에 의하여 회전축 내에 흘러 들어간 액체와 가스를 서로 나눌 수 있고, 액체는 가스액체 분리유닛과 스위치부재 내에 저장되고, 액체는 더 이상 액체처리장치의 기타부품 내에 들어가지 않으며 가스공급부재에 흘러 들어가 부품의 파손을 일으키지도 않는다.
주의할 것은, 상술한 내용은 단지 실시예이고, 실시예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 본 발명의 기본구조를 벗어나지 않는 내용은 본 특허가 주장하는 권리범위에 속하고 특허청구범위를 기준으로 한다.
1, 1a, 1b: 액체처리장치
10: 고정부재
11: 구멍
20, 20a: 회전축
22, 22a: 축내 통로
30, 30a, 30b, 30c: 누수방지부재
31, 31a, 31b, 31c: 가스액체 분리유닛
33, 33a: 스위치부재
331, 331a, 331b, 331c: 액체배출 통로
34, 34b, 34c: 탐지기
35, 36, 36a: 가스액체 통로
351: 제1포트
37, 37a: 가림판
40, 40a, 40b, 40c, 40d: 가스공급부재
41, 41a, 41b, 41c, 41d: 가스통로
411: 제2포트
42: 제어스위치
50: 액체공급부재
60: 액체수집부재
61, 61a: 수집환
70, 70a: 기좌
71, 71a: 측벽
80: 완충용기
90: 구동부재
A: 가스유동방향
D: 제1간격
E: 제2간격
W: 웨이퍼
Y: 크랙

Claims (13)

  1. 웨이퍼의 표면에 액체를 공급하여 액체처리를 하는 액체처리장치에 있어서,
    기좌;
    상기 기좌를 연결하고 축내 통로를 구비하는 회전축;
    상기 회전축을 연결하고 상기 웨이퍼를 고정하기 위한 고정부재, 상기 고정부재는 관통된 구멍을 구비하고, 상기 구멍은 상기 축내 통로와 연통되고;
    상기 액체를 상기 웨이퍼 표면에 제공하는 액체 공급부재;
    상기 구멍과 연통되는 누수방지부재; 및
    상기 누수방지부재를 연통하고 가스 소스를 상기 고정부재에 제공하는 가스공급부재
    를 포함하고,
    상기 액체가 상기 고정부재의 상기 구멍에서 상기 회전축에 진입할 때, 상기 액체는 상기 누수방지부재로 흘러 상기 액체가 상기 가스공급부재로 흐르는 것을 방지하고,
    상기 누수방지부재는 가스액체 분리유닛 및 스위치부재를 포함하고,
    상기 가스액체 분리유닛은 상기 구멍과 연통되어 상기 구멍으로 상기 회전축을 진입하는 상기 액체가 상기 가스액체 분리유닛에 저장되게 하고,
    상기 스위치부재는 액체배출 통로를 포함하고, 상기 스위치부재는 상기 액체배출 통로를 통하여 상기 가스액체 분리유닛과 연통되어 상기 가스액체 분리유닛으로 배출하는 상기 액체 흐름량을 제어하는
    액체처리장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가스공급부재는 가스통로 및 제어스위치를 포함하고,
    상기 가스공급부재는 상기 가스통로와 상기 가스액체 분리유닛을 통하여 연통되고,
    상기 제어스위치는 상기 가스통로에 설치되어 상기 가스통로 내의 가스압력을 제어하는
    액체처리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 액체가 상기 고정부재의 상기 구멍에서 상기 회전축으로 진입할 때, 상기 제어스위치는 상기 가스공급부재와 상기 가스액체 분리유닛의 연통을 컷오프 하는
    액체처리장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 가스압력이 부압일 때, 상기 웨이퍼는 상기 고정부재에 고정되고, 상기 가스압력이 비부압일 때, 상기 웨이퍼는 상기 고정부재에서 이동하는
    액체처리장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 누수방지부재는 탐지기를 더 포함하고,
    상기 탐지기는 상기 가스액체 분리유닛의 일측에 설치되어 상기 가스액체 분리유닛 내의 상기 액체 용량을 탐지하는
    액체처리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 탐지기는 액체레벨 탐지기 또는 액체중량 탐지기인
    액체처리장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가스액체 분리유닛은 상기 축내 통로에 설치되고, 상기 누수방지부재는 가스액체 통로를 포함하며, 상기 누수방지부재는 상기 가스액체 통로를 통하여 상기 구멍과 연통되는
    액체처리장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 가스액체 분리유닛은 상기 기좌가 상기 회전축을 멀리하는 일측에 설치되고, 상기 누수방지부재는 가스액체 통로를 포함하며, 상기 누수방지부재는 상기 가스액체 통로를 통하여 상기 축내 통로의 일단과 연통되고, 그 중에서 상기 누수방지부재는 상기 가스액체 통로를 통하여 상기 구멍과 연통되는
    액체처리장치.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 가스공급부재는 가스통로를 포함하고,
    상기 가스액체 통로가 상기 구멍을 멀리하는 일단에 제1포트가 있고, 상기 가스통로가 상기 구멍에 가까이 하는 일단에 제2포트가 있으며,
    상기 제1포트와 상기 가스액체 분리유닛의 저면은 제1간격으로 떨어져 있고, 상기 제2포트와 상기 가스액체 분리유닛의 저면은 제2간격으로 떨어져 있으며, 상기 제1간격은 상기 제2간격보다 작은
    액체처리장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 회전축은 회전모터인
    액체처리장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 액체처리장치는 액체수집부재를 더 포함하고,
    상기 액체수집부재는 상기 기좌에 설치되고, 상기 회전축으로 상기 웨이퍼 회전시킬 때 분출되는 상기 액체를 수집하는
    액체처리장치.
  13. 제1항에 있어서,
    완충공간을 가지는 완충용기를 더 포함하고,
    상기 완충용기와 상기 누수방지부재 및 상기 가스공급부재는 서로 연통되며,
    상기 액체처리장치는 복수 개이고, 상기 가스공급부재는 상기 가스 소스를 상기 완충공간에 제공하며, 그 중의 적어도 하나의 상기 액체처리장치에 이상이 있을 때, 기타 나머지 상기 액체처리장치는 상기 완충공간의 완충기압을 통하여 정상작동을 유지하는 액체처리장치.
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