KR100327940B1 - 마스터정보담체와그제조방법및마스터정보담체를사용하는마스터정보신호의자기기록매체에의기록방법과기록장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 의한 마스터 정보신호의 자기기록매체에 대한 기록방법에 따르면, 정보신호에 대응하는 요철형상이 마스터 정보담체의 기판 표면에 형성되는데, 상기 요철형상중 적어도 볼록부 표면이 강자성 재료로 형성된다.

상기 마스터 정보담체의 표면을 강자성 박막 또는 강자성 분말 도포층이 형성된 시트형 또는 디스크형 자기기록매체의 표면과 접촉시킴으로써, 표면의 요철형상에 대응하는 자화 패턴을 자기기록매체에 기록한다.

Description

마스터 정보담체와 그 제조방법 및 마스터 정보담체를 사용하는 마스터 정보신호의 자기기록매체에의 기록방법과 기록장치{MASTER INFORMATION CARRIER, PROCESS FOR PRODUCING THE CARRIER, AND METHOD AND APPARATUS FOR RECORDING MASTER INFORMATION SIGNAL ON MAGNETIC RECORDING MEDIUM BY USING THE CARRIER}

본 발명은 대용량·고기록 밀도의 자기기록 재생장치에 이용되는 자기기록매체에 대한 정보신호의 기록방법과 기록장치 및 그 기록에 사용되는 마스터 정보담체와 그 제조방법에 관한 것이다.

현재, 자기기록 재생장치는 소형이면서 대용량을 실현하기 위해 고기록 밀도화의 경향이 있다. 대표적인 자기기억장치인 하드 디스크 드라이브 분야에서는 이미 면기록 밀도 1Gbit/in²를 초과하는 장치가 상품화되어 있으며, 수년후에는 10Gbit/in²의 실용화가 논의될 정도의 급격한 기술진보를 보이고 있다.

이와 같은 고기록 밀도화를 가능하게 한 기술적 배경으로는, 매체 성능, 헤드·디스크 인터페이스 성능의 향상이나 부분 응답 등 신규한 신호처리방식의 출현에 따른 선기록 밀도의 향상도 커다란 요인이다. 그러나, 최근에는 트랙 밀도의 증가경향이 선기록 밀도의 증가경향을 크게 상회하며, 면기록 밀도 향상을 위한 주요한 요인이 되고 있다. 이것은 종래의 유도형 자기 헤드에 비해 훨씬 재생출력성능이 뛰어난 자기 저항 소자형 헤드의 실용화에 기여하고 있다. 현재, 자기 저항 소자형 헤드의 실용화에 따라 불과 수㎛ 트랙폭의 신호를 양호한 SN비로 재생하는 것이 가능해지고 있다. 한편, 금후의 좀더 나은 헤드성능의 향상에 따라 가까운 장래에는 트랙 피치가 서브미크론 영역에 도달할 것이라 예상되고 있다.

이와 같은 좁은 트랙을 헤드가 정확하게 추종하고, 양호한 SN비로 신호를 재생하기 위해서는, 헤드의 트래킹 서보 기술이 중요한 역할을 하고 있다. 예를들면 현재의 하드 디스크 드라이브에서는 디스크의 1회전, 즉, 각도로 360도중 일정한 각도 간격마다 트래킹용 서보신호나 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등이 기록된 영역을 형성하고 있다. 이하의 설명에 있어서, 이와 같은 정보신호를 미리 기록하는 것을 프리포맷기록이라 한다. 자기 헤드는 일정 간격마다 이들 신호를 재생함으로써, 헤드의 위치를 확인, 수정하면서 정확하게 목적하는 트랙위를 추종할 수 있다.

상술한 트래킹용 서보신호나 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등은 헤드가 정확하게 트랙위를 추종하기 위한 기준신호가 되는 것이므로, 그 기록시에는 기록트랙의 정확한 위치결정 정밀도가 요구된다. 현재의 하드 디스크 드라이브의 프리포맷기록은 자기 디스크 및 자기 헤드를 드라이브에 넣은 후, 전용 서보트랙 기록장치(servo track writer)를 사용하여 드라이브내에 들어 있는 자기헤드에 의해 행해지고 있다. 이 때 드라이브내에 들어 있는 자기 헤드를 서보 트랙 기록장치에 장비된 외부 액튜에이터에 의해 정밀하게 위치제어하면서 기록을 행함으로써, 필요한 기록트랙 위치결정 정밀도가 실현되고 있다.

또, 최근 상품화된 대용량 플랙시블 디스크나 디스크 카트리지가 착탈가능한 리무버블 하드 디스크용 매체에서도 마찬가지로, 서보신호나 어드레스 정보신호, 재생클록신호의 프리포맷기록이 행해지고 있다. 이들 매체는 착탈가능한 매체이므로, 기본적으로 기기 호환을 갖는다. 따라서, 통상의 하드 디스크와 같이, 드라이브내에 들어간 후, 각 드라이브 고유의 자기 헤드에 의해 반드시 프리포맷기록을 할 필요는 없다. 그러나, 전용 서보 트랙 기록장치를 사용하고, 이것에 장비된 외부 액튜에이터에 의해 정밀하게 위치제어된 자기 헤드에 의해 프리포맷기록을 행한다는 점에서는 통상의 하드 디스크 드라이브의 경우와 같다.

상기와 같은 종래의 방법에 의한 서보 신호, 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등의 프리포맷 기록에 있어서는 이하와 같은 과제가 있었다.

제1과제로서, 자기 헤드에 의한 기록은 기본적으로 헤드와 매체의 상대 이동에 의거한 동적인 선기록이다. 이 때문에, 전용 서보기록장치를 이용해서 자기 헤드를 정밀하게 위치제어하면서 기록을 행하는 상기의 방법에서는 프리포맷기록에 많은 시간을 요한다. 또, 전용 서보 트랙 기록장치는 상당히 고가이다. 그 결과 프리포맷기록에 소요되는 비용이 높아진다.

이 과제는 자기기록장치의 면기록 밀도가 향상될수록 심각해진다. 이것은 단순히 디스크 직경방향에 있어서 프리포맷기록해야 할 트랙수가 증가하는 것에 기인하는 것만은 아니다. 트랙밀도가 향상될수록 헤드의 위치결정에 높은 정밀도가 요구되기 때문에, 디스크의 1회전, 즉 360도 중에서 트래킹용 서보신호 등이 기록된 서보 영역을 형성하는 각도 간격을 작게 하지 않으면 안된다. 또, 기록 밀도의 향상과 함께, 프리포맷기록해야 할 어드레스 정보신호의 양도 증가한다. 이와 같이, 높은 기록 밀도를 가진 장치일수록 프리포맷기록해야 할 신호량은 비약적으로 많아지며, 또 많은 시간과 비용을 요하게 된다.

또, 자기 디스크 매체는 소직경화 경향에 있지만, 여전히 3.5인치나 5인치의 대직경 디스크에 대한 수요도 많다. 디스크의 기록면적이 클수록 프리포맷기록해야 할 신호량이 많아진다. 이와 같은 대직경 디스크 드라이브의 코스트 퍼포먼스에 관해서도 프리포맷기록에 요하는 시간이 크게 영향을 주고 있다.

제2의 과제로서, 헤드·매체간 스페이싱이나 기록헤드의 폴(자극) 형상에 의한 기록자계의 확산을 위해, 프리포맷기록된 트랙 단부의 자화(磁化) 천이의 급준성(急峻性)이 결여된다는 점이 있다. 자기 헤드에 의한 기록은 기본적으로 헤드와 매체의 상대 천이로 인한 동적 선기록이기 때문에, 헤드·매체간의 인터페이스 성능이라는 관점에서 일정량의 헤드·매체간 스페이싱을 형성하지 않을 수 없다. 또, 현재의 자기 헤드는 통상, 기록과 재생을 따로따로 담당하는 2개의 엘리먼트를 가진 구조상, 기록 갭의 후부 가장자리측 폴 폭이 기록 트랙 폭에 상당하는데 반해, 전부 가장자리측 폴 폭은 기록 트랙 폭의 몇배 이상으로 커지고 있다.

상기의 2가지 현상은 모두 기록 트랙 단부에 있어서의 기록 자계의 확산을 발생시키는 요인이 되며, 결과적으로 프리포맷기록된 트랙 단부의 자화 천이가 급준성이 결여되거나 혹은 트랙단 양측에 소거영역을 만드는 결과가 생긴다. 현재의 트래킹 서보기술에서는, 헤드가 트랙을 벗어났을 때의 재생출력의 변화량에 의거해서 헤드의 위치검출을 하고 있다. 따라서, 서보영역 사이에 기록된 데이터신호를 재생할 때와 같이 헤드가 트랙위를 정확하게 추종하고 있을 때의 SN비가 뛰어날 뿐만 아니라, 헤드가 트랙을 벗어났을 때의 재생출력 변화량, 즉 오프 트랙특성은 급준한 것이 요구된다. 상술한 바와 같이 프리포맷기록된 트랙 단부의 자화 천이가 급준성이 떨어지면, 금후의 서브 미크론 트랙기록에 있어서의 정확한 트래킹용 서보기술의 실현이 곤란해진다.

상기 2가지 과제중 제1과제의 해결책으로서, 예를들면 일본국 특개소63-183623호 공보에 자기전사기술을 이용한 트래킹 서보신호 등의 복사기록기술이 개시되어 있다. 자기전사기술을 이용한 자화패턴신호의 복사기록기술은 원래 비디오 테이프의 복제수단으로 개발된 것이다. 이 기술에 관해서는 예를들면 “C.D.Mee and E.D. Daniel:Magnetic Recording, Vol.3, Chapter 2, p94-105”에 상세한 해설이 되어 있다. 일본국 특개소63-183623호 공보에 개시된 방법은 상기 비디오 테이프의 복제기술을 플랙시블 디스크 매체의 트래킹 서보신호 등의 프리포맷기록에 응용한 것이다.

이와 같은 자기전사기술을 이용하면 프리포맷기록시의 생산성이 개선되는 것은 사실이다. 그러나, 이 기술은 플랙시블 디스크와 같이 비교적 보자력이 낮으며,면기록 밀도가 적은 자기디스크매체에는 유효하지만, 오늘날 하드 디스크 매체와 같이 수백 메가비트에서 기가비트 급의 면기록 밀도를 담당하는 분해능을 구비한 고보자력 매체에 대해 사용하는 것은 불가능하다.

자기전사기술에 있어서는 전사효율을 확보하기 위해 피전사 디스크 보자력의 1.5배 정도의 진폭을 가진 교류 바이어스 자계를 인가할 필요가 있다. 마스터 디스크에 기록된 마스터 정보는 자화 패턴이므로, 이 교류 바이어스 자계에 의해 마스터 정보가 소자(消磁)되지 않기 위해서는 마스터 디스크의 보자력이 피전사 디스크의 보자력의 3배 정도 이상인 것이 요구된다. 현재의 고밀도 하드 디스크 매체의 보자력은 높은 면기록 밀도를 담당하기 위해 120∼200kA/m 이다. 또, 장래의 10기가 비트 급의 면기록 밀도를 담당하기 위해서는, 이 값은 250∼350kA/m에 도달할 것이라 예상된다. 즉, 마스터 디스크에는 현상태에 있어서 360∼600kA/m, 장래적으로는 750∼1050kA/m의 보자력이 요구되게 된다.

마스터 디스크에 있어서 이와 같은 보자력을 실현하는 것은 자성 재료의 선택면에서 곤란하다. 또, 현재의 자기기록기술로는 이와 같은 고보자력을 가진 마스터 디스크에 마스터 정보를 기록할 수 없다. 따라서, 자기전사기술에 있어서는 마스터 디스크에 실현가능한 보자력값을 고려하면 필연적으로 피전사 디스크의 보자력에 제약을 받게 된다.

한편, 상기의 자기전사기술에 있어서는, 교류바이어스자계를 인가하는 대신, 피전사 디스크를 퀴리점 근방까지 가열하여 자력을 소실시킨 상태에서 전사기록을 행하는 열자기 전사를 이용하는 것도 가능하다. 그러나, 이 경우에는 피전사 디스크의 퀴리점이 마스터 디스크의 퀴리점에 비해 충분히 낮을 것이 요구된다. 일반적으로 고밀도 자기기록매체에 사용되는 Co기의 고보자력 자성막은 퀴리점이 상당히 높으므로, 열자기 전사를 행하기 위해 요구되는 마스터 디스크 및 피전사 디스크의 특성을 실현하는 것은 곤란하다. 따라서, 자기전사기술을 이용한 프리포맷기록은 상술한 과제에 대해 본질적인 해결책은 될 수 없다.

상술한 과제에 대한 또다른 해결책으로서, 예를들면 일본국 특개평7-153060호 공보(USP-5585989, EP-655734(공개번호))에 트래킹용 서보신호나 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등에 대응하는 요철형상을 가진 매체용 기판을 스탬퍼에 의해 형성하고, 이 기판상에 자성층을 형성하는 프리 엠보스트 디스크기술이 개시되어 있다. 이 기술은 이미 설명한 2가지 과제에 대해 모두 유효한 해결책이 된다. 그러나, 디스크 표면의 요철형상이 기록재생시 헤드의 부상특성(접촉기록의 경우에는 매체와의 콘택트 상태)에 영향을 미쳐서, 헤드·매체간 인터페이스 성능에 문제를 일으키리라 예상된다. 또, 스탬퍼에서 제조된 기판은 기본적으로 고분자 재료(플라스틱) 기판이기 때문에, 매체 성능의 확보를 위해 필요한 자성층 성막시의 기판 가열을 할 수 없어서 필요한 매체 SN비가 확보되지 않는다는 문제도 있다.

이상과 같은 기술적 배경에서 상술한 2가지 과제에 관해 매체SN비나 헤드·매체간 인터페이스 성능 등, 그 밖의 중요 성능을 희생하지 않는 정말 유효한 해결책은 발견되지 않았다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 감안하여 매체SN비, 헤드·매체간 인터페이스 성능 등 그밖의 중요한 성능을 희생하지 않고, 프리포맷기록시의 생산성 및 프리포맷기록된 트랙 단부의 자화 천이의 급준성을 향상하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 의한 마스터 정보담체 표면의 구성예를 도시한 확대평면도이다.

도 2는 본 발명에 의한 마스터 정보담체 실시예의 트랙을 따르는 방향에서의 단면도이다.

도 3은 본 발명에 의한 마스터 정보담체의 또다른 실시예를 도시한 트랙을 따르는 방향에서의 단면도이다.

도 4는 본 발명에 의한 마스터 정보담체의 또다른 실시예를 도시한 트랙을 따르는 방향에서의 단면도이다.

도 5는 본 발명에 의한 마스터 정보담체의 또다른 실시예를 도시한 트랙을 따르는 방향에서의 단면도이다.

도 6(a)는 본 발명의 마스터 정보담체를 이용해서 마스터 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 방법을 도시한 도면이다.

도 6(b)는 자기기록매체에 기록된 기록자화패턴의 일예를 도시한 도면이다.

도 6(c)는 자기기록매체에 기록된 기록자화패턴으로부터의 헤드 재생 파형의 일예를 도시한 도면이다.

도 7은 본 발명의 마스터 정보담체를 이용해서 마스터 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 다른 방법을 도시한 도면이다.

도 8은 본 발명의 마스터 정보담체를 이용해서 마스터 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 또다른 방법을 도시한 도면이다.

도 9(a)는 본 발명의 마스터 정보담체를 이용해서 마스터 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 다른 방법을 도시한 도면이다.

도 9(b)는 자기기록매체에 기록된 기록자화패턴의 일예를 도시한 도면이다.

도 9(c)는 자기기록매체에 기록된 기록자화패턴으로부터의 헤드재생파형의 일예를 도시한 도면이다.

도 10은 본 발명의 마스터 정보담체 볼록부의 비트길이방향에서의 단면의 예를 도시한 도면이다.

도 11은 본 발명의 마스터 정보담체 볼록부의 비트길이방향에서의 단면의 또다른 예를 도시한 도면이다.

도 12는 본 발명의 마스터 정보담체의 제조 프로세스 예를 도시한 도면이다.

도 13은 본 발명의 마스터 정보담체의 제조 프로세스의 또다른 예를 도시한 도면이다.

도 14는 본 발명의 마스터 정보담체의 제조 프로세스의 또다른 예를 도시한 도면이다.

도 15는 본 발명의 마스터 정보담체의 예를 도시한 평면도이다.

도 16은 도 15의 마스터 정보담체의 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 마스터 정보의 자기기록장치를 도시한 부분단면도이다.

도 17(a)는 도 16의 자기기록장치를 이용해서 마스터 정보담체의 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 방법을 도시한 사시도이다.

도 17(b)는 도 16의 자기기록장치를 이용해서 마스터 정보담체의 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 또다른 방법을 도시한 사시도이다.

도 18은 자기기록매체를 미리 초기 자화하는 방법의 일예를 도시한 도면이다.

도 19(a)는 본 발명의 마스터 정보담체의 평면 구조를 도시한 도면이다.

도 19(b)는 도 19(a)의 마스터 정보담체의 C-C'선을 따른 표면의 윤곽을 도시한 도면이다.

도 20은 도 19의 마스터 정보담체의 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 마스터 정보의 자기기록장치를 도시한 부분단면도이다.

도 21은 도 20의 자기기록장치를 이용해서 마스터 정보담체의 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 방법을 도시한 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

21, 31, 51, 121, 131: 기체

22, 32, 42, 102, 112, 122, 143: 강자성 박막

61, 91, 161a, 161b, 201: 마스터 정보담체

62, 72, 82, 92: 자기기록매체 123, 133, 144 : 포토레지스트막

134: 도전성 박막 141: 유리 모재

142: 폴리이미드층 153, 169: 관통구멍

162, 202: 하드 디스크 163, 203: 상측 플랜지

164, 204: 하측 플랜지 165a, 165b, 205: 영구자석

166a, 166b, 182, 206: 배기장치 167a, 167b, 207:삼방밸브

168a, 168b, 208: 배기덕트 160: O링

200a, 200b: 탄성판 209: 볼트

본 발명에 의한 마스터 정보신호의 자기기록매체에 대한 기록방법은, 기체의 표면에 마스터 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성된 영역을 가지며, 이 요철형상중 적어도 볼록부 표면이 강자성 재료로 형성된 마스터 정보담체를 사용한다. 그리고, 이 마스터 정보담체의 표면을 강자성 박막 또는 강자성 분말 도포층이 형성된 시트 형상 혹은 디스크형상 자기기록매체의 표면에 접촉시킴으로써, 마스터 정보담체 표면의 요철형상에 대응하는 자화 패턴을 자기기록매체에 기록한다.

바람직하게는 마스터 정보담체의 볼록부 표면을 구성하는 강자성 재료는 연질자성재료 혹은 기체면내측방향 또는 기체수직방향의 보자력이 40kA/m 이하인 경질 또는 반경질 자성재료이다.

좀더 바람직하게는 마스터 정보담체 표면을 자기기록매체 표면에 접촉시킬 때, 마스터 정보담체의 볼록부 표면을 구성하는 강자성 재료를 자화하기 위한 직류자계 혹은 자화 패턴의 기록을 조성하기 위한 교류바이어스자계를 인가한다.

상기와 같은 본 발명에 의한 기록방법에서는, 일방향으로 자화된 마스터 정보담체 표면 볼록부의 강자성 재료에서 발생하는 누설 자속에 의해, 마스터 정보담체의 요철형상에 대응하는 자화 패턴이 자기기록매체에 기록된다. 즉, 마스터 정보담체의 표면에 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등에 대응하는 요철형상을 형성함으로써, 자기기록매체상에 이들 정보신호에 대응하는 프리포맷기록을 행할 수 있다.

본 발명은 요철형상에 의한 자기저항변화로 인해 볼록부의 강자성 재료에서 발생하는 누설 자계를 이용해서 기록을 행한다. 따라서, 기록 메커니즘은 자기 헤드의 기록 갭에서 발생하는 누설 자계에 의해 기록을 행하는 종래의 자기 기록과 같다. 그러나, 종래의 자기 헤드에 의한 기록이 기본적으로 헤드와 매체의 상대 이동에 의거한 동적 선기록인데 반해, 본 발명에 의한 기록 방법은 마스터 정보담체와 매체의 상대 이동을 따르지 않는 정적인 면기록이다. 이 특징에 의해 본 발명은 상술한 2가지 과제에 대해 하기의 이유에 의해 유효한 해결책이 된다.

첫째, 면기록이기 때문에 프리포맷기록에 요하는 시간은 종래의 자기 헤드에 의한 기록방법에 비해 매우 짧다. 또, 자기 헤드를 정밀하게 위치제어하면서 기록을 하기 위한 고가의 서보 트랙 기록장치가 불필요하다. 따라서, 본 발명에 의하면, 프리포맷기록에 관한 생산성을 대폭 향상시키고, 생산 비용을 저감할 수 있다.

둘째, 마스터 정보담체와 매체의 상대 이동을 따르지 않는 정적 기록이기 때문에, 마스터 정보담체 표면과 자기기록매체 표면을 밀착시킴으로써, 기록시 양자간의 스페이싱을 최소한으로 할 수 있다. 또, 자기 헤드에 의한 기록과 같이, 기록 헤드의 폴 형상에 의한 기록 자계의 확산을 일으키지 않는다. 이 때문에, 프리포맷기록된 트랙 단부의 자화 천이는 종래의 자기 헤드에 의한 기록에 비해 뛰어난 급준성을 가지므로, 보다 정확한 트래킹이 가능해진다.

또, 본 발명에 의하면, 일본국 특개소63-183623호 공보에 개시된 자기전사기술 또는 일본국 특개평7-153060호 공보에 개시된 프리 엠보스트 디스크 기술에 있어서의 문제, 즉 프리포맷기록된 자기기록매체의 구성이나 자기 특성에 제약을 받는 문제를 일으키는 일도 없다.

예를들면, 일본국 특개소63-183623호 공보에 개시된 자기전사기술에 있어서, 자화 패턴에 의해 기록된 마스터 정보를 구비한 마스터 디스크는 상당한 자기기록 분해능을 필요로 한다. 이 때문에, 마스터 디스크 자성층의 자속 밀도 및 막두께를 충분히 크게 할 수 없어서, 발생하는 전사 자계의 크기가 매우 작아진다. 또, 마스터 정보가 자화 패턴에 의해 기록되어 있는 경우, 다이비트의 매칭 자화에 의한 감자(減磁)를 일으키고, 자화 천이 영역에 있어서의 전사 자계 기울기도 완만해진다. 이와 같은 약한 전사 자계에 의한 자기전사기록에 있어서 충분한 전사효율을 확보하기 위해서는, 피전사 디스크 보자력의 1.5배 정도의 진폭을 가진 교류 바이어스 자계를 인가할 필요가 생긴다. 그 결과, 이 자기전사기술은 상술한 바와 같이 피전사 디스크의 보자력에 있어서 제약을 받으며, 비교적 기록 밀도가 낮은 플랙시블 디스크 등에 밖에 적용할 수 없었다.

이에 대해 본 발명의 마스터 정보담체는 마스터 정보를 요철형상 패턴으로 가지고 있으며, 그 요철형상에 의한 자기 저항 변화로 인해 볼록부의 강자성 재료에서 발생하는 누설 자계에 의해 기록을 행한다. 자기전사기술에 있어서의 마스터 디스크와 같은 자기기록매체로서의 분해능을 필요로 하지 않으므로, 마스터 정보담체 표면의 볼록부를 구성하는 강자성 재료의 자속 밀도나 체적을 자기 헤드와 같은 정도로 크게 할 수 있으며, 그 결과 자기 헤드와 같이 급준하고 큰 기록 자계를 발생할 수 있다. 이에 따라 통상의 플랙시블 디스크나 하드 디스크로부터 장래적인기가비트기록을 담당하는 고보자력 매체에 이르기까지 소위 자기기록매체에 대해 충분한 기록 능력을 발휘할 수 있는 것이다.

또, 일본국 특개평7-153060호 공보에 개시된 프리 엠보스트 디스크기술로는 상술한 바와 같이 프리포맷기록된 디스크 매체의 기판 재료와 형상에 제약을 받기 때문에, 매체 성막시의 기판 온도에 관한 매체SN비 및 헤드의 부상 특성(접촉기록의 경우에는 매체와의 콘택트 상태)에 관한 헤드·미디어 인터페이스 성능을 희생하였다. 이에 대해 본 발명의 기록방법은 상기와 같이 프리 포맷기록된 자기기록매체의 기판재료나 표면형상에 관해 아무런 제약도 받지 않는다.

이상과 같이 본 발명의 기록방법에 의하면, 프리포맷기록된 자기기록매체의 구성이나 자기 특성에 관계없이 정적인 면기록을 할 수 있으며, 상술한 2가지 과제에 관해 매체SN비, 인터페이스 성능 등의 중요 성능을 희생하지 않고, 정말 유효한 해결책을 제공할 수 있다.

또, 본 발명의 방법에 의한 기록 과정에 있어서도 시간의 경과와 함께 감쇠되는 교류 바이어스 자계를 인가하는 것은 기록 효율을 더한층 향상시키는데 유효한 수단이다. 이 때, 자화 패턴에 의해 마스터 정보가 기록된 자기전사기술과는 달리, 본 발명의 마스터 정보는 요철형상에 의한 패턴이기 때문에, 이와 같은 교류 바이어스 자계 등의 외부 자계가 인가된 경우에도 마스터 정보 자체가 소실되는 일은 없다. 이와 같은 관점에서 본 발명은 마스터 정보담체 표면 볼록부를 구성하는 강자성 재료의 보자력값에 제약을 받지 않는다. 이 때문에, 자기기록매체에 마스터 정보를 기록하기 위한 충분한 기록 자계를 발생할 수 있는 한은 마스터 정보담체의표면 볼록부를 구성하는 강자성 재료로서 고보자력 재료에 한하지 않고, 반경질 자성이나 연질 자성을 가진 많은 재료중에서 적절한 재료를 선택할 수 있다.

또, 본 발명의 기록방법에 있어서, 마스터 정보담체의 표면 볼록부를 구성하는 강자성 재료는 기록 과정에 있어서 일방향으로 자화되어 기록 자계를 발생하는 일이 필요하다. 따라서, 반경질 자성 재료나 연질 자성 재료를 사용함으로써 안정한 일방향 자화를 얻을 수 없는 경우나, 비교적 큰 진폭의 교류 바이어스 자계를 인가하는 경우는 강자성 재료를 자화하여 적절한 기록 자계를 발생하기 위한 직류여자자계를 인가할 필요가 있다. 이 직류여자자계는 자기 헤드에 있어서 권선전류에 의해 공급되는 여자 자계에 상당하는 것이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 자기기록매체, 특히 고정 하드 디스크 매체, 리무버블 하드 디스크 매체, 대용량 플랙시블 매체 등의 디스크형상 매체에 단시간에 생산성좋고 저렴하게 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등의 프리포맷기록을 할 수 있다.

또, 본 발명의 기록방법에 의하면, 종래의 방법에 비해 보다 높은 트랙 밀도 영역에 있어서 정밀한 트래킹이 가능해진다.

본 발명은 상기의 효과를 실현하기 위해, 자기기록매체SN비나 헤드·매체 인테페이스성능 등, 그밖의 중요 성능을 조금도 희생하는 일 없이, 종래 기술의 과제에 대해 정말 유효한 해결책을 제공할 수 있다. 즉, 본 발명은 자기기록 재생장치 분야에 있어서, 장래의 기가비트급 이상의 면기록 밀도를 담당하기 위해 유효한 기술이다.

[실시예]

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태를 도면에 의거해서 상술한다.

(실시형태1)

먼저, 본 발명에 의한 마스터 정보담체의 기본적인 구성예와, 이 마스터 정보담체를 이용해서 마스터 정보신호를 자기기록매체에 기록하는 방법의 예에 대해 설명한다.

본 발명에 의한 마스터 정보담체 표면의 일예를 도 1에 도시했다. 도 1은 예를들면 디스크형상 자기기록매체의 주방향(즉 트랙을 따르는 방향)에 있어서 일정 각도 마다 형성되는 프리포맷영역에 기록되는 마스터 정보 패턴을 디스크 매체의 직경방향(즉 트랙을 가로지르는 방향)으로 10 트랙분만 나타낸 것이다. 도 1에 있어서, 점선으로 나타낸 영역은 마스터 정보신호가 기록된 자기기록매체상에서 데이터 영역이 되는 트랙부분에 대응한다. 실제의 마스터 정보담체 표면은 마스터 정보가 기록된 자기 디스크 매체의 기록 영역에 대응하고, 디스크의 주방향에 있어서 일정각도마다, 또 디스크 매체의 직경방향으로는 기록 트랙분 전체, 도 1과 같은 마스터 정보 패턴이 형성되어 있다.

마스터 정보 패턴은, 예를들면 도 1에 도시된 바와 같이, 클록신호, 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호의 각 영역이 트랙을 따르는 방향으로 차례로 배열되어 구성된다. 본 발명에 의한 마스터 정보담체의 표면에는 이 마스터 정보 패턴에 대응하는 요철형상이 형성되어 있다. 예를들면, 도 1에 있어서 해칭을 가한 부분이 볼록부이고, 그 표면은 강자성 재료로 형성되어 있다. 또한, 강자성 재료로서일반적으로는 기상퇴적법이나 도금법에 의해 제조된 강자성 박막을 사용하지만, 유기 바인더에 자성 입자를 분산시켜서 도포한 자성 도포막이나 소결체와 같은 벌크 재료를 이용할 수도 있다.

도 1에 도시된 바와 같은 정보신호에 대응하는 미세한 요철형상패턴은 광디스크 성형용 마스터 스탬퍼의 형성 프로세스, 반도체 프로세스 등에서 이용되는 다양한 미세가공기술을 이용해서 쉽게 형성할 수 있다. 예를들면, 강자성 박막의 표면상에 포토리소그래피법 혹은 레이저 빔 또는 전자 빔을 이용한 리소그래피기술에 의해 레지스트막을 형성하고, 노광 및 현상에 의해 패터닝한 후, 드라이 에칭에 의해 미세한 요철형상 패턴을 강자성 박막에 형성한다. 또는, 기체 표면에 레지스트막을 패터닝한 후, 강자성 박막을 형성하여 레지스트막을 제거하는 소위 리프트 오프법에 의해 강자성 박막에 미세한 요철형상 패턴을 형성해도 된다. 물론, 정보신호에 대응하는 미세한 요철형상 패턴이 정밀하게 형성되는 한은 레지스트막을 이용하지 않고, 레이저, 전자 빔, 이온 빔, 또는 그밖의 기계가공에 의해 직접 미세가공을 가해도 상관없다. 또, 본 발명의 마스터 정보담체의 제조에 적합한 미세가공 프로세스의 예에 대해서는 실시형태2에서 상술한다.

다음에 도 1중의 일점 쇄선AA'을 따른 마스터 정보담체의 단면 구조의 예를 도 2 내지 도 4에 도시했다. 도 2 및 도 3은 평면 형상의 기체(21, 31) 표면에 강자성 박막(22, 32)을 형성한 후, 마스터 정보신호에 대응하는 요철형상을 형성한 예이다. 요철형상의 형성시에는 도 2에 도시한 예와 같이 오목부에도 강자성 박막(22)을 남겨도 되고, 도 3에 도시한 바와 같이 오목부를 기체(31)내까지 이르게 하여 볼록부에만 강자성 박막(32)이 남도록 해도 된다.

도 4의 예는 기체(41)의 표면에 요철형상을 형성한 후, 그 위에 강자성 박막(42)을 형성한 것이다. 도 4의 구성은 볼록부의 강자성 박막(42) 표면의 에지가 구부러지기 쉽고, 급준한 단차를 얻기가 곤란해진다. 이 경우, 마스터 정보를 자기 디스크 매체에 기록할 때, 볼록부와 오목부의 경계에 있어서의 기록자계기울기가 저하되어 기록성능을 열화시키는 경우가 있으므로 유의를 요한다.

한편, 도 2 및 도 3의 구성은, 볼록부와 오목부의 경계에 있어서 충분히 큰 기울기를 가진 급준한 기록 자계를 얻기 쉬우므로, 일반적으로는 도 4의 구성보다 바람직하다. 그러나, 요철형상의 형성시 강자성 박막 표면에 변질층이나 레지스트막이 잔류되지 않도록 유의할 필요가 있다. 이러한 잔류물이 있으면 마스터 정보를 자기 디스크 매체에 기록할 때 기록 스페이싱 손실을 일으키기 때문이다.

기체 재료에 관해서는 기체상에 강자성 박막을 형성할 수 있으며, 마스터 정보신호에 대응하는 요철형상을 정밀하게 형성할 수 있는 한에 있어서는 특별히 제약은 없으나, 요철형상이 형성되는 면의 표면 조도가 적고, 가능한 한 평탄성이 좋은 것이 바람직하다. 표면 조도가 큰 경우에는 기체상에 형성되는 강자성 박막의 표면 조도도 커지고, 마스터 정보를 자기 디스크 매체에 기록할 때의 기록 스페이싱 손실을 증가시켜 버리기 때문이다. 따라서, 평탄성이 좋은 표면을 실현할 수 있는 재료로서, 예를들면 자기 디스크나 광디스크용 기판으로 사용되고 있는 각종 유리기판, 폴리카보네이트 등의 고분자재료기판, Al 등의 금속기판외에 Si기판이나 카본기판 등이 적합하다.

또, 상기의 기록 스페이싱 손실에 관해 언급하면, 마스터 정보를 자기 디스크매체에 기록할 때에는 마스터 정보담체 표면과 자기 디스크 매체 표면이 밀착되어 양호한 접촉상태에 있는 것이 바람직하다. 특히 마스터 정보가 기록된 자기 디스크가 하드 디스크 매체인 경우에는, 마스터 정보담체표면이 자기 디스크 매체 표면의 미묘한 굴곡이나 휨에 추종하여 디스크 전면에 있어서 양호한 접촉상태를 실현하는 것이 바람직하다. 이 때문에, 마스터 정보담체의 기체 재료로서, 다소나마 가요성을 가진 것, 예를들면 시트 형상 혹은 디스크형상의 고분자 재료 기판이나 금속 박판 등이 바람직하다. 이와 같은 관점에서 특히 바람직한 기체를 가진 마스터 정보담체의 예에 관해서는 나중에 실시형태3에서 상술한다.

도 2 내지 도 4의 구성예에 있어서 요철형상의 오목부 깊이, 즉 볼록부 표면과 오목부 저면의 단차는 마스터 정보가 기록되는 자기디스크매체의 표면성이나 마스터정보의 비트사이즈에도 따르지만, 일반적으로는 0.05㎛ 이상, 바람직하게는 0.1㎛ 이상으로 한다. 도 2나 도 4의 구성과 같이 오목부 저면에 강자성 재료가 잔류하는 경우, 오목부 깊이가 0.1㎛ 이하이면 볼록부와 오목부의 경계에 있어서 기울기가 충분히 큰 급준한 기록자계를 얻기 힘들다. 또, 마스터 정보를 자기 디스크 매체에 기록할 때의 마스터 정보담체표면과 자기 디스크 매체 표면의 콘택트 상태를 양호하게 하기 위해서도 0.1㎛ 이상의 오목부 깊이가 바람직하다.

강자성 박막의 형성에는 스퍼터링법, 진공증착법, 도금법, CVD법 등, 일반적으로 이용되고 있는 박막형성방법을 이용할 수 있다.

강자성 박막재료에는 이미 설명한 바와 같이 경질자성재료, 반경질 자성재료, 연질자성재료에 관계없이, 많은 종류의 재료를 사용하는 것이 가능한데, 마스터 정보가 기록된 자기 디스크 매체의 종류에 따르지 않고, 충분한 기록자계를 발생하기 위해서는 그 포화자속밀도가 클수록 좋다. 특히 150kA/m를 초과하는 고보자력 매체나 자성층 두께가 큰 플랙시블 디스크 매체에 대해서는 포화자속밀도가 0.8T 이하가 되면 충분한 기록이 행해지지 않는 경우가 있으므로, 일반적으로는 0.8T 이상, 바람직하게는 1.0T 이상의 포화자속밀도를 가진 재료를 사용한다.

또, 강자성 박막의 막두께도 자기디스크매체에 대한 기록능력에 영향을 미친다. 자기디스크매체의 종류에 따르지 않고, 충분한 기록 자계를 발생하기 위해서는 강자성 박막에는 일정 이상의 막두께가 필요하지만, 한편으로 마스크 정보의 비트형상과의 균형이라는 점에서 반자계(反磁界)의 영향도 고려하지 않으면 안된다. 본 발명의 구성에서는 자기디스크매체가 수직자기기록매체인 특수한 경우를 제외하고는 일반적으로 마스터 정보담체 볼록부의 강자성 박막을 막면내에 있어서 트랙방향으로 자화하고, 기록자계를 발생시킨다. 그러나, 막두께가 너무 두꺼울 경우에는 반자계의 영향에 의해 누설 자속이 감소하여, 오히려 기록능력이 떨어지는 결과가 된다. 따라서, 강자성 박막의 막두께에 관해서는 마스터 정보의 비트 길이에 따라 적절한 값을 설정할 필요가 있다. 예를들면, 마스터 정보의 최단비트길이가 1∼2㎛ 정도인 경우에는 0.1㎛ 내지 1㎛ 정도의 막두께 범위가 적절하다.

또, 이들 강자성 재료의 바람직한 자기 특성에 대해서는 마스터 정보의 자기디스크 매체에 대한 기록방법과의 관련을 포함해서 후술한다.

도 5는 도 1중의 일점쇄선AA'에 있어서의 마스터 정보담체 단면의 또다른 구성예를 도시한 것이다. 도 5의 구성예는 도 2 내지 도 4의 구성예와는 달리, 기체 자체가 강자성 재료로 만들어져 있다. 즉, 도 5의 구성에서는 강자성 재료로 이루어진 기체(51)의 표면에 마스터 정보신호에 대응하는 요철형상을 형성함으로써, 강자성 박막을 형성하는 프로세스를 줄일 수 있으므로, 도 2 내지 도 4의 구성에 비해 마스터 정보담체 자체의 생산성을 향상시킬 수 있다.

강자성 재료 기체(51)로서 소결체와 같은 벌크재료를 사용하면, 마스터 정보담체의 표면 조도가 비교적 커지는 경우가 많다. 이 경우, 마스터 정보를 자기 디스크 매체에 기록할 때 기록 스페이싱 손실을 증가시키게 되므로, 가능한 한 평탄한 표면성을 가진 기체 재료를 선택하는 것이 필요하다. 또, 일반적으로 소결체와 같은 벌크재료로는 가요성을 실현할 수 없다. 따라서, 도 5의 구성예는 하드 디스크 매체에 대한 기록보다 플랙시블 디스크 매체에 대한 기록에 적합하다.

다음에, 상술한 마스터 정보담체를 이용해서 자기기록매체에 마스터 정보신호를 기록하는 방법에 대해 설명한다. 도 6(a)는 마스터 정보담체를 이용한 면내 자기기록매체에 대한 마스터 정보신호의 기록방법을 나타낸 것이고, 도 6(b)는 자기기록매체에 기록된 기록자화패턴을 나타낸 것이고, 도 6(c)는 상기의 기록 자화를 자기저항형(MR) 헤드를 이용해서 재생한 신호파형의 일예를 나타낸다. 또, 도 6(a), 도6(b)는 모두 자기기록매체의 트랙을 따르는 방향에 있어서의 단면의 구성예를 나타낸다.

면내 자기기록매체에 기록을 하는 경우에는 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 마스터 정보담체(61)의 볼록부를 구성하는 강자성 재료에는, 자기기록매체(62) 표면과 평행하게 트랙을 따르는 방향으로 자화(63)를 인가한다. 이 자화(63)는 예를들면 볼록부를 구성하는 강자성 재료가 고보자력 재료로 이루어진 경우에는 이것을 미리 트랙을 따르는 방향으로 직류포화시킴으로써 발생하는 잔류 자화에 의해 인가된다. 또, 상기와 같은 강자성 재료에 적합한 고보자력 재료로는, 예를들면 Sm-Co, Ne-Fe-B를 비롯한 희토류-천이금속계 재료 등이 보자력, 포화자속밀도 모두 커서 적합하다.

마스터 정보담체(61)의 표면에는 요철형상에 의한 자기저항변화를 일으키기 위해, 볼록부 강자성 재료의 자화(63)에 의해 기록 자계(64)를 발생한다. 이 기록 자계(64)는 마스터 정보담체(61)의 볼록부 표면과 오목부 표면에서 역극성이 되기 때문에, 결과적으로 자기기록매체(62)에는 도 6(b)에 도시한 바와 같은 요철형상에 대응하는 기록 자화(65)의 패턴이 기록되게 된다.

본 발명의 기록방법에 의한 기록 자화(65)로부터 자기헤드에 의해 재생된 신호파형은, 도 6(c)에 도시한 바와 같이, 종래의 자기헤드를 이용해서 기록된 기록자화로부터의 재생파형상과 기본적으로 동일하다. 따라서, 신호처리상에서도 특별히 문제를 일으키지 않는다. 오히려 본 발명의 기록방법은 자기 헤드에 의한 기록에 비해 기록 자계의 대칭성이 좋으며, 또 마스터 정보담체와 자기기록매체의 상대 이동을 수반하지 않는 정적 기록이기 때문에, 재생 파형의 대칭성도 우수한 경향이 보인다.

본 발명에 의한 기록 공정에서는, 상술한 바와 같이, 시간의 경과와 함께 감쇠되는 교류 바이어스 자계를 인가함으로써, 기록효율을 더한층 향상시킬 수 있다.본 발명이 적용되는 기술분야를 고려하면, 본 발명의 기록방법으로는 기본적으로 디지털 포화기록을 행하는 것이 바람직하다. 그러나 기록해야 할 정보신호 패턴이나 자기기록매체의 자기 특성에 따라서는, 기록 능력이 약간 부족한 경우도 있다. 이와 같은 경우에는, 상기 시간의 경과와 함께 감쇠하는 교류 바이어스 자계의 인가는 충분한 포화기록을 조성하기 위해 유효한 수단이다.

교류 바이어스 자계의 인가에 의한 기록 기구는 기본적으로 종래의 아날로그 교류 바이어스 기록의 기구와 동일하다. 단, 본 발명의 기록방법은, 마스터 정보담체와 자기기록매체의 상대이동을 수반하지 않는 정적기록이기 때문에, 교류 바이어스 자계의 주파수에 관한 제약은, 종래의 아날로그 교류 바이어스 기록에 비해 아주 적다. 따라서, 본 발명의 기록방법에서 인가되는 교류 바이어스 자계의 주파수는, 예를들면 가정용 교류전원에 사용되고 있는 50Hz 혹은 60Hz의 주파수로 충분하다.

교류 바이어스 자계의 감쇠시간은 교류 바이어스 주기에 비해 충분히 길고, 바람직하게는 교류 바이어스 5주기 이상으로 설정한다. 예를들면, 교류바이어스자계의 주파수가 50Hz 혹은 60Hz인 경우에는 그 감쇠시간을 100ms 정도 이상으로 하면 충분하다.

한편, 도 6(a)에 도시한 방법에 있어서는, 교류 바이어스 자계의 최대 진폭을 마스터 정보담체(61)의 볼록부를 구성하는 강자성 재료의 보자력보다 작게 할 필요가 있다. 도 6(a)에 도시한 방법에 있어서 강자성 재료의 보자력보다 큰 교류 바이어스 자계를 인가한 경우에는 볼록부 강자성 재료의 자화(63)가 감소되어 충분한 기록 자계(64)를 얻기 힘들어진다.

상기의 설명은 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료가 고보자력 재료로 이루어진 경우이다. 그러나, 고보자력 재료를 사용할 경우에는, 마스터 정보담체 표면의 요철패턴형상에 따라서는, 강자성 재료의 자화 용이축을 자기기록매체의 트랙을 따르는 방향에 인가함으로써 충분한 자화를 얻는 것이 곤란한 경우가 있다.

예를들면, 마스터 정보담체(61)의 볼록부에서 인가되는 마스터 정보신호의 비트 형상이 자기기록매체의 트랙을 따르는 방향보다 트랙을 가로지르는 방향으로 가늘고 긴 경우에는, 볼록부를 구성하는 강자성 재료에 트랙을 가로지르는 방향의 형상 이방성을 일으켜서, 트랙을 가로지르는 방향이 자화 용이축이 되기 쉽다. 이 경우, 강자성 재료를 트랙을 따르는 방향으로 직류포화시킴에 따라 발생하는 잔류 자화가 적어서 트랙을 따르는 방향 성분의 기록자계를 충분히 얻을 수 없게 된다. 또, 경질 자성을 가진 고보자력 재료는 일반적으로 자기 이방성 제어가 곤란하며, 상기와 같은 비트 형상의 영향을 보상할 수 있을 정도의 이방성을 트랙을 따르는 방향으로 유도하는 것도 곤란하다.

마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료를 연질자성재료 혹은 비교적 낮은 보자력을 가진 경질 혹은 반경질 자성재료로 구성하는 경우에는, 상기의 문제를 비교적 쉽게 해결할 수 있으므로 바람직하다. 또, 경질자성재료와 반경질자성재료의 구별은 애매하므로, 이하 이 명세서에 있어서는 자기기록매체의 보자력(통상, 120∼200kA/m)에 비해 절반 이하 정도의 충분히 작은 보자력(예를들면,60kA/m 이하)을 가진 경질 혹은 반경질 자성재료를 반경질 자성재료로서 총칭하여 사용하기로 한다.

이들 연질 자성재료나 반경질자성재료는, 재료의 형성 프로세스중에 다양한 종류의 에너지를 의도적으로 주거나, 재료형성후에 자계중에서 어닐링하는 것 등에 의해 고보자력을 지닌 경질 자성재료에 비해, 적절한 자기 이방성을 쉽게 유도 할 수 있다. 이 때문에, 상술한 바와 같은 비트 형상의 기여에 의한 형상 이방성에 관해서도 비교적 쉽게 보상할 수 있는 경우가 많다. 또, 연질 자성재료 혹은 반경질 자성재료에 있어서는, 마스터 정보담체(61)의 볼록부를 구성하는 강자성 재료로 적합한 고포화 자속밀도를 가진 재료도 풍부하다. 본 발명의 마스터 정보담체(61)의 볼록부를 구성하는 강자성 재료에 적합한 연질 자성재료로는, 예를들면 자기헤드코어재료로서 일반적으로 사용되고 있는 Ni-Fe, Fe-Al-Si 등의 결정재료, Co-Zr-Nb 등의 Co기의 아몰퍼스 재료, Fe-Ta-N 등의 Fe계 미결정(微結晶) 재료가 있다. 또, 비교적 낮은 보자력을 가진 반경질 자성재료로는, 예를들면 Fe, Co, Fe-Co 등이 적합하다.

본 발명의 구성에 있어서 볼록부를 구성하는 강자성 재료는, 기록 과정에 있어서 일방향으로 자화되어 기록 자계를 발생시키는 일이 필요한데, 연질자성재료나 반경질 자성재료는 원래 잔류 자화 상태에 있어서 안정한 일방향 자화를 얻을 수 없는 것이 많다. 따라서, 연질 자성재료나 반경질 자성재료를 사용하는 구성에서는 대부분의 경우, 이것들을 여자하여 적절한 기록자계를 발생하기 위한 직류여자자계를 별도로 인가한다. 이미 설명한 바와 같이 이 직류여자자계는 자기 헤드에 있어서 권선전류에 의해 공급되는 여자자계에 상당하는 것이라 생각할 수 있다.

도 7에 상기와 같은 직류여자자계를 이용한 마스터 정보신호의 기록방법의 구성예를 도시했다. 도 7도는 도 6(A)와 같이, 자기기록매체의 트랙을 따르는 방향에 있어서의 단면을 도시한 것이다.

마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 연질 자성재료 혹은 반경질 자성재료는, 직류여자자계(75)에 의해 자기기록매체(72)의 트랙을 따르는 방향으로 안정하게 자화되며, 기록 자계(74)를 발생한다. 직류여자자계(75)는 자기기록매체(72)에도 인가되게 되므로, 너무 큰 값으로 할 수는 없다. 대부분의 경우에는 자기기록매체의 보자력과 같은 정도 이하의 크기가 바람직하다. 직류여자자계(75)의 크기가 자기기록매체의 보자력과 같은 정도 이하이면, 볼록부를 구성하는 연질자성재료 혹은 반경질 자성재료에서 발생하는 기록 자계(74)쪽이 충분히 크므로, 도 6의 구성과 같이, 요철형상에 대응하는 기록자화패턴을 기록할 수 있다. 실제로는 적절한 직류여자자계(75)의 크기는 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 연질자성재료 혹은 반경질 자성재료의 자기 특성, 자기기록매체의 자기 특성, 요철 패턴 형상 등의 요인에 의해 다양하게 변화한다. 따라서, 자기기록매체의 보자력값을 기준으로 해서, 각각의 경우에 따라 최적의 기록 특성을 얻을 수 있도록 실험적으로 최적화를 도모할 필요가 있다.

상기의 관점에서 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 연질자성재료 또는 반경질 자성재료는 자기기록매체의 보자력과 같은 정도 이하의 직류여자자계(75)에 의해 대부분 자기 포화에 도달하는 것이 바람직하다. 연질자성재료의 경우에는 약한 자계중에서 양호한 포화 특성을 나타내는 경우가 많다, 그러나, 반경질 자성재료중에는 비교적 커다란 포화 자계를 필요로 하는 경우가 있으므로, 재료 선택에 유의를 요한다. 일반적인 보자력값을 가진 하드 디스크 매체나 대용량 플랙시블 디스크 매체에 기록을 하는 경우에는, 반경질 자성재료로서 40kA/m 이하의 보자력을 가진 것이 바람직하다. 보자력이 40kA/m보다 큰 경우에는 반경질 자성재료를 자기기록매체(72)의 트랙을 따르는 방향으로 안정하게 자화하기 위해 필요한 직류여자자계(75)가 매체 보자력에 비해 커지므로, 분해능이 뛰어난 기록을 하는 것이 곤란해 지는 경우가 있다.

도 7에 도시한 바와 같은 직류여자자계를 인가하는 기록방법은, 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료가 고보자력 재료로 이루어진 구성에 있어서도 특히 그 보자력보다 큰 교류 바이어스 자계를 인가하는 경우에 유효하다. 이미 설명한 바와 같이, 도 6에 도시한 구성에 있어서 강자성 재료의 보자력보다 큰 교류 바이어스 자계를 인가한 경우에는 볼록부를 형성하는 강자성 재료의 자화(63)가 감소되어 충분한 기록자계(64)를 얻을 수 없게 된다. 이 때, 직류여자자계를 중첩하여 인가함으로써, 강자성 재료의 자화(63)와 역극성으로 인가되는 토탈 외부 자계가 저감되고, 교류 바이어스 자계를 인가하지 않은 경우와 같이 안정한 기록 자계를 발생시키는 것이 가능해진다. 상기와 같이, 시간과 함께 감쇠되는 교류 바이어스 자계를 직류여자자계에 중첩하여 인가하는 구성은, 마스터 정보담체 볼록부를 구성하는 강자성 재료가 반경질 자성재료 혹은 연질 자성재료로 이루어진 경우에도 물론 유효하다.

마스터 정보담체 표면의 요철형상 패턴에 따라서는, 도 8에 도시한 바와 같이, 자기기록매체를 미리 직류포화소거하고, 일방향으로의 초기 자화(86)를 인가해 두는 구성으로 함으로써, 보다 양호한 기록이 가능해지는 경우가 있다.

요철형상 패턴은 각각의 응용예에 필요한 정보신호에 따라 다양한 형태를 갖는다. 이 때문에 요철형상 패턴에 따라서는 볼록부 표면의 기록 자계 및 오목부의 기록 자계중 한쪽이 다른쪽보다 현저하게 작아지고, 작은 쪽 극성에 있어서 충분한 포화기록이 곤란해지거나 혹은 기록의 선형성을 손상시키는 현상을 일으키는 것이다. 도 8에 도시한 구성에 있어서는, 볼록부 표면상의 기록 자계(84a)와 오목부 표면상의 기록 자계(84b)중 작은 쪽의 기록자계와 같은 극성에 미리 자기기록매체(82)를 직류포화소거해 둠으로써, 이 극성방향으로의 포화기록을 조성할 수 있다.

또, 도 8에서는 자기기록매체(82)를 볼록부 강자성 재료의 자화(83)와는 역극성으로 직류포화소거하는 예에 대해 나타냈으나, 상기에서 밝혀진 바와 같이, 자기기록매체를 직류포화소거해야 하는 극성은 각각의 경우에 따라 다르다. 즉, 자기기록매체(82)를 볼록부 강자성 재료의 자화(83)와 같은 극성으로 직류포화소거하는 편이 뛰어난 기록분해능을 얻을 수 있는 경우도 있으므로 주의를 요한다. 또, 도 8에 있어서는 도 7과 같이 직류여자자계(85)를 인가하는 경우에 대해 도시했으나, 직류여자자계(85)를 인가하지 않는 경우에도 마찬가지로 직류포화소거의 효과는 얻을 수 있다.

이상의 설명은 면내 자기기록매체에 기록을 행하는 경우이다. 그러나, 본 발명의 기록방법은 자기기록매체의 종류에 따라 다양한 변경을 하여 실시할 수 있으며, 그 경우에도 상기와 같은 효과를 얻을 수 있을 것이다.

전형적인 변형예로서 자기기록매체가 수직자기기록매체인 경우의 본 발명의 기록방법의 구성을 도 9에 나타냈다. 도 9(a)는 마스터 정보담체를 사용한 수직자기기록매체에 대한 마스터 정보신호의 기록방법을 나타낸 것이며, 도 9(b)는 수직자기기록매체에 기록된 기록자화패턴을 나타낸 것이고, 도 9(c)는 상기의 기록 자화를 자화저항형(MR) 헤드를 사용하여 재생했을 때의 신호파형의 일예를 나타낸 것이다. 또, 도 9(a) 및 도 9(b)는 도 6(a)내지 도 8과 같이 모두 자기기록매체의 트랙을 따르는 방향에 있어서의 단면을 나타내고 있다.

수직자기기록매체에 기록을 하는 경우에는 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 마스터 정보담체(91)의 볼록부를 구성하는 강자성 재료에 자기기록매체(92) 표면과 직교하는 방향에 자화(93)를 인가하게 된다. 따라서, 예를들면 볼록부를 구성하는 강자성 재료가 강자성 박막인 경우, 수직방향에 있어서의 반자계를 저감하기 위해 강자성 박막의 막두께를 충분히 크게 하는 것이 바람직하다.

또, 직류여자전류(95)를 인가하는 경우에도 면내 자기기록매체에 기록을 행하는 경우와는 달리, 자기기록매체(92)의 표면에 대해 수직방향으로 인가한다. 또, 자기기록매체(92)를 미리 직류포화소거하고, 일방향으로의 초기 자화(96)를 인가해 두는 경우에도 직류포화소거는 수직방향으로 행해져서 수직방향의 초기 자화(96)를 잔류시키게 된다.

(실시형태 2)

본 발명의 실시형태 2에서 넓은 면적에 걸쳐서 기록 분해능이 균일하게 뛰어난 마스터 정보담체의 구성예와, 이것을 저렴하고, 효율적으로 생산하기 위한 제조 프로세스의 예에 대해 설명한다.

상술한 실시형태1에 있어서 도 1∼도 5에 도시한 마스터 정보담체의 표면은, 포토리소그래피 기술 등을 이용해서 프리포맷기록된 신호패턴에 대응하는 요철 패턴을 정밀하게 가공, 형성하는 일이 필요하다. 그러나, 비트 길이가 수 ㎛ 이하인 기록 밀도가 높은 신호에 대응하는 요철 패턴을 형성하는 경우, 마스터 정보담체의 형성 프로세스에 따라서는 분해능이 충분히 높은 요철 패턴의 형성이 곤란한 경우가 있다. 특히, 3.5인치 또는 5인치의 큰 직경 디스크에 기록을 하기 위한 마스터 정보담체의 경우, 통상의 포토리소그래피 프로세스에서는 이와 같은 넓은 면적에 걸쳐서 균일한 가공 정밀도를 실현하기가 곤란하며, 요철 패턴의 미세한 단면형상이 장소에 따라 차이를 가지게 된다.

예를들면 도 3에 도시한 예에서는, 평면형상의 기체(31) 표면에 먼저 강자성 박막(32)을 형성하고, 그 표면에 도포한 레지스트막을 노광, 현상하여 디지털 정보신호에 대응하는 요철형상을 패터닝한 후, 이온 밀링 등의 드라이 에칭기술에 의해 강자성 박막(32)에 미세한 요철형상 패턴을 형성했다.

도 3에서는 볼록부의 단면 형상을 간략화하여 직사각형으로 그리고 있으나, 통상의 포토리소그래피 프로세스를 이용하여 만든 실제의 마스터 정보담체에서는 이와 같은 직사각형 단면을 넓은 면적에서 균일하게 형성하는 것이 곤란하다. 즉, 볼록부의 단면형상은 정확하게 직사각형은 되지 않으며, 상측 바닥 길이와 하측 바닥 길이가 다른 사다리꼴에 가까운 형상이 된다. 또한, 상측 바닥 양단의 어깨부에서는 각이 없어져서 둥글어지는 것이 일반적이다.

상기와 같은 사다리꼴 단면 형상은 주로 레지스트막의 노광 및 현상 프로세스에 있어서 분해능이 디지털 정보신호의 비트길이에 비해 충분하지 않다는데 기인한다. 즉, 레지스트막을 패터닝하여 얻어지는 레지스트의 볼록부 단면 형상이 이미 사다리꼴 형상이 되고, 또 상측 바닥 양단의 어깨부에서는 각이 없어져서 둥글어진다. 이와 같은 레지스트막의 패터닝 형상을 이어 받아, 그 후에 이온 밀링 등 드라이 에칭기술에 의해 형성되는 강자성 박막의 요철형상 패턴의 볼록부 단면형상도 같은 사다리꼴형상 단면이 되어 버린다.

또, 상기의 패터닝 형상은 넓은 면적에서의 균일성이 결여되어, 동일한 요철패턴을 형성한 경우에도 장소에 따라 상술한 바와 같은 미세한 단면 형상에 차이가 보이는 경우도 많다. 이와 같은 요철 패턴의 미세한 단면 형상의 차이가 프리포맷기록된 신호의 SN비에 영향을 미치는 것은 바람직하지 않다.

상기의 과제는 넓은 면적에 걸쳐서 충분히 높은 정밀도와 분해능을 실현할 수 없는 고도의 포토리소그래피 기술을 이용함으로써 해결할 수 있는 가능성도 있다. 그러나, 이 경우에는 만일 상기 과제가 해결되었다고 해도 고가의 노광장치, 레지스트 및 현상액 등을 사용할 필요가 있으므로, 마스터 정보담체의 생산성이 저하되고 비용이 상승하게 된다.

이에 대해 본 실시형태에 의하면, 요철 패턴 형상을 연구함으로써, 비교적 저렴한 포토리소그래피 프로세스를 사용한 경우에도 미세한 단면 형상의 차이에 따른 SN비의 변화를 허용량 이하에 머물게 할 수 있다.

발명자들은 신호의 SN비에 영향을 미치기 어려우며, 바람직한 요철 패턴의 단면 형상에 대해 예의 검토를 하였다. 그 결과, 마스터 정보담체의 볼록부 단면 형상을 이하에 설명하는 제1 또는 제2 구성으로 함으로써, 미세한 단면 형상의 차이에 따른 SN비의 변화를 허용량 이하에 머물게 할 수 있음을 알 수 있다.

도 10에 볼록부 단면 형상의 제1구성예를 나타냈다. 이 구성에서는, 디지털 정보신호의 비트길이방향에 있어서의 볼록부 단면형상은, 개략 표면측을 상측 바닥, 기체측을 하측 바닥으로 하는 사다리꼴이다. 상측 바닥 길이(a)는 하측 바닥 길이(b)보다 작으며, 또 양 바닥 길이의 차이(b-a)는 사다리꼴 높이(h)의 2배 이하이다. 볼록부를 이와 같은 단면형상으로 함으로써, 비트길이가 수㎛ 정도인 디지털 정보신호를 프리포맷기록하는 경우에도 미세한 단면 형상의 차이에 따른 SN비 변화를 허용범위내에 머물게 할 수 있다.

재생신호의 SN비는 마스터 정보담체 볼록부의 강자성 박막(102)이 프리포맷기록을 하기 위해 발생하는 기록 자계의 크기는 물론이고, 볼록부와 오목부의 경계부, 즉 볼록부 표면측의 상측 바닥 양단 근방의 자계 기울기의 크기에도 영향을 받는다. 사다리꼴 단면을 가진 볼록부의 상측 바닥 길이(a)와, 하측 바닥 길이(b)의 차이가 사다리꼴 높이(h)의 2배 이하인 범위에서는 자계 기울기가 비교적 급준하기 때문에, 재생신호SN비는 필요충분한 값을 얻을 수 있으며, 또 이 범위에서는 미세한 단면 형상의 차이에 따른 SN비의 변화가 작다는 것도 검토 결과 알 수 있다.

반대로 볼록부의 단면 형상에 있어서, 상측 바닥 길이(a)와 하측 바닥길이(b)의 차가 사다리꼴 높이(h)의 2배보다 큰 범위에서는, 사다리꼴 단면의 경사부에서 발생하는 누설 자계 때문에 상측바닥 양단 근방의 자계 기울기가 급격하게 저하된다. 따라서, 이 범위에서는 단면 형상의 차이에 따른 재생신호SN비의 변화가 허용범위를 초과하여 커져서 넓은 면적에 걸쳐서 균일하고 충분한 재생신호의 SN비를 얻는 것이 곤란해진다.

또, 비트길이가 더욱 작고, 1㎛ 이하 정도의 디지털 정보신호를 기록하는 경우에는, 상측 바닥의 양단부 형상에 따른 자계 기울기의 변화가 재생신호의 SN비에 영향을 주는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 상측 바닥의 양단부의 곡률 반경(r, r')을 상측 바닥 길이의 절반 이하로 하는 것이 바람직하다. 이에 따라 비트 길이가 1㎛ 이하 정도의 디지털 정보신호를 기록하는 경우에도 단면 형상의 차이에 따른 SN비의 변화를 허용범위내에 머물게 할 수 있다.

이와 같이, 상기의 제1구성에 의하면, 볼록부 단면이 사다리꼴 형상이 되는 것이 허용되므로, 특별히 고도의 포토리소그래피 프로세스를 이용할 필요는 없으며, 일반적으로 널리 사용되고 있는 통상의 포토리소그래피 프로세스를 이용해서 요철형상을 제조할 수 있다. 따라서, 상기의 제1구성을 가진 마스터 정보담체는 생산성이 뛰어나며, 저렴하게 생산할 수 있다.

상기와 같은 마스터 정보담체를 이용해서 프리포맷기록을 할 때, 강자성 박막의 막두께가 재생신호의 SN비에 영향을 주는 것을 실시형태1로 설명했다. 도 10의 구성예에 있어서 강자성 박막(102)의 막두께가 너무 얇은 경우에는 충분한 크기의 기록 자계를 발생할 수 없으며, 또 볼록부와 오목부의 경계에서 자계 기울기도작아지기 때문에, 충분한 기록이 행해지기가 곤란해진다.

한편, 면내 자기기록매체에 프리포맷기록을 할 경우, 강자성 박막(102)의 막두께가 너무 크면, 볼록부 형상에 따른 반자계 때문에, 역시 충분한 크기의 기록자계를 발생할 수 없게 된다. 예를들면, 면내 자기디스크매체에 프리포맷기록을 할 경우, 디스크 면내에 있어서 원주방향으로 직류여자자계를 인가하여 마스터 정보담체 볼록부의 강자성 박막(102)을 자화하고, 요철형상 패턴에 따른 디지털 정보신호를 기록한다. 그러나, 신호의 비트길이에 대응하는 볼록부 상측 바닥 길이(a)가 강자성 박막(102)의 막두께에 비해 충분히 크지 않은 경우에는, 강자성 박막(102)의 자화와는 역극성의 반자계가 커지므로, 볼록부에서 발생하는 기록 자계를 저하시켜 버린다.

상기의 반자계로 인한 영향은 강자성 박막(102)의 막두께가 볼록부의 상측 바닥 길이(a)의 2분의 1보다 큰 경우에는 SN비의 저하를 일으키지만, 강자성 박막(102)의 막두께가 볼록부 상측바닥길이(a)의 2분의 1보다 작으면 SN비의 저하는 무시할 수 있을 정도로 작음을 알 수 있다. 따라서, 특별히 면내기록매체에 프리포맷기록하는 경우에 사용되는 마스터 정보담체에 있어서는, 볼록부의 단면에 있어서 상측 바닥 길이(a)의 2분의 1 이하의 범위에서 충분한 기록 자계를 발생할 수 있는 강자성 박막(102)의 막두께를 확보하는 것이 바람직하다.

반대로, 수직자기기록매체에 프리포맷기록하는 경우에는, 강자성 박막(102)의 막두께 방향으로 직류여자자계를 인가하여 이것을 자화하고, 요철형상 패턴에 따른 디지털 정보신호를 기록한다. 이 경우에는 면내기록매체에 신호기록하는 경우와는 반대로, 강자성 박막(102)의 막두께가 작을수록, 반자계로 인한 기록 자계의 저하가 현저해진다. 따라서, 수직자기기록매체에 프리포맷기록하는 경우에 사용되는 마스터 정보담체는 강자성 박막(102)의 막두께를 볼록부 단면에 있어서의 상측 바닥 길이(a)에 비해 충분히 크고, 바람직하게는 상측 바닥 길이(a)의 2배 이상으로 하는 일이 필요하다.

다음으로 도 11에 볼록부 단면 형상의 제2구성예를 도시했다. 이 제2구성에서는 디지털 정보신호의 비트길이방향에 있어서 볼록부의 단면 형상은 개략 표면측을 상측 바닥, 기체측을 하측 바닥으로 하는 사다리꼴이며, 또 상측 바닥 길이(a)는 하측 바닥 길이(b)보다 크다. 이와 같이 볼록부의 단면을 소위 역 사다리꼴 형상으로 함으로써, 비트 길이가 1㎛이하의 디지털 정보신호를 프리포맷기록하는 경우에도 충분한 재생신호의 SN비를 얻을 수 있으며, 또 미세한 단면 형상의 차이에 따른 SN비의 변화를 허용량 이하에 머물게 할 수 있다.

재생신호의 SN비는 상술한 바와 같이, 마스터 정보담체 볼록부의 강자성 박막이 프리포맷기록을 하기 위해 발생하는 기록 자계의 크기 및 볼록부와 오목부의 경계부, 즉 볼록부 표면측의 상측 바닥 양단 근방의 자계 기울기의 크기에 영향을 받는다. 제2구성에 있어서는, 볼록부 단면 형상인 사다리꼴 상측 바닥 길이(a)를 하측 바닥 길이(b)보다 크게 함으로써, 상측 바닥과 그 양측의 빗변이 이루는 각을 예각으로 하고 있다. 이와 같은 구조에 의해 빗변부분에서 발생하는 누설자계의 영향을 저감하고, 상측 바닥 양단 근방에 있어서 급준한 자계 기울기를 얻을 수 있으며, 그 결과 재생신호가 충분한 SN비를 얻는 것이 가능하다.

또, 상기 제2구성에서는 볼록부 단면 형상인 사다리꼴의 상측 바닥 길이(a)와 하측 바닥 길이(b)의 차이 및 상측 바닥 양단부의 자계 기울기 변화가 구조상 작아진다. 이 때문에, 미세한 단면 형상 변화에 따른 재생신호의 SN비 변화량에 대해서도 허용량 이하의 적은 값으로 할 수 있다. 따라서, 제1구성과 같이 넓은 면적에 걸쳐서 균일하고 충분한 재생신호(SN)비를 얻는 것이 가능해진다.

상기 제2구성에 있어서도 강자성 박막(112)의 막두께가 재생신호의 SN비에 영향을 준다. 강자성 박막(112)의 막두께에 관한 설계 지침은 제1구성과 같다. 즉, 면내 자기기록매체에 프리포맷기록하기 위한 마스터 정보담체에서는 강자성 박막(112)의 막두께를 볼록부 상측 바닥 길이(a)의 절반 이하로 하고, 한편 수직자기기록매체에 프리포맷기록하기 위한 마스터 정보담체에서는 강자성 박막(112)의 막두께를 볼록부 상측 바닥 길이(a)의 2배 이상으로 하는 것이 바람직하다.

제2구성을 가진 마스터 정보담체는, 예를들면 리프트 오프 프로세스 등을 이용한 포토리소그래피 기술에 의해 제조할 수 있다. 이하에 제2구성을 가진 마스터 정보담체의 제조에 적합한 제조프로세스예에 대해 설명한다.

도 12는 제2구성을 가진 마스터 정보담체의 제조 프로세스의 일예를 도시한 것이다.

먼저, 도 12의 (a)에 도시한 바와 같이, 기체(121)의 표면에 디지털 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막(123)에 의해 형성한다. 이 때 디지털 정보신호의 비트길이방향에 있어서의 포토레지스트막(123)에 의해 형성된 볼록부의 단면 형상이, 도 12의 (a)에 도시한 바와 같이, 표면측을 상측 바닥, 기체측을 하측 바닥으로 하는 대략 사다리꼴이며, 또 하측바닥길이가 상측바닥길이보다 커지게 한다.

다음에, 도 12의 (b)에 도시한 바와 같이, 포토레지스트막(123)에 의해 형성된 볼록부를 포함하는 기체(121)상에 강자성 박막(122)을 형성한다. 강자성 박막(122)의 형성에는 진공증착법, 스퍼터링법, 도금법 등, 일반적으로 사용되고 있는 다양한 박막 형성방법을 이용할 수 있다.

다음에 도 12의 (c)에 도시한 바와 같이, 이온 밀링 등에 의해 강자성 박막(122) 표면에 약간의 에칭을 가한 후, 포토레지스트막(123) 및 포토레지스트막(123)상에 형성된 강자성 박막(122)을 리프트 오프에 의해 제거한다. 그 결과, 도 12의 (d)에 도시한 바와 같이, 표면측의 상측 바닥이 기체측의 하측 바닥보다 긴 사다리꼴 단면을 가진 강자성 박막(122)의 볼록부가 기체(121)상에 형성된 마스터 정보담체가 완성된다. 또, 리프트 오프 프로세스는 리무버라 불리우는 특별한 용제에 의해 포토레지스트막(123)을 녹임으로써, 포토레지스트막(123) 및 포토레지스트막(123)상에 형성된 강자성 박막(122)을 제거하는 것이다.

도 12의 (c)에 도시한 강자성 박막 표면의 에칭 공정은 포토레지스트막에 의해 형성된 볼록부의 사면에 퇴적된 강자성 박막(122)을 제거하여, 이 후의 리프트 오프 프로세스를 쉽게 하는 것을 목적으로 한다.

강자성 박막(122)의 막두께가 작을 경우에는 이 에칭공정을 생략하여 리프트 오프하는 것이 가능하다. 그러나, 이 경우에는 리프트 오프후의 강자성 박막(122)의 패터닝 정밀도가 저하되기 쉬운데다, 분분적으로 강자성 박막의 부스러기나 포토레지스트막(123)이 잔류될 우려가 있다. 따라서, 도 12의 (c)에 도시한 에칭 공정을 확실하게 하는 편이 바람직하다.

도 12의 (c)에서는 이온 밀링에 의해 강자성 박막의 에칭을 하는 예를 도시했으나, 이 공정에는 스퍼터 에칭 등 진공드라이 프로세스외에 화학 에칭에 의한 웨트 프로세스를 이용할 수도 있다.

또, 이 에칭 프로세스는 포토레지스트막(123)에 의해 형성된 볼록부의 사면에 퇴적된 강자성 박막(122)을 제거하는 것을 목적으로 하고 있으므로, 스퍼터 에칭 혹은 이온 밀링 등의 진공 드라이 프로세스를 이용하는 경우에는, 이온(124)을 기체(121) 표면에 대해 비스듬하게 입사시키는 것이 바람직하다. 본 발명자들의 검토에 의하면, 이온(124)의 기체(121)에 대한 입사각을 기체면의 법선에 대해 20도 이상으로 함으로써, 상기 빗변상에 퇴적된 강자성 박막(122)을 효과적으로 제거할 수 있음을 알 수 있다.

도 13에는 제2구성을 갖춘 마스터 정보담체의 제조 프로세스의 또다른 예를 도시했다.

먼저, 도 13의 (a)에 도시한 바와 같이, 기체(131) 표면에 도전성 박막(134)을 형성한 후, 도 13의 (b)에 도시한 바와 같이, 도전성 박막(134)상에 디지털 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막(133)으로 형성한다. 이 때 디지털 정보신호의 비트길이방향에 있어서의 포토레지스트막(133)에 의해 형성된 볼록부의 단면 형상이 도 13의 (b)에 도시한 바와 같이, 표면측을 상측 바닥, 기체측을 하측 바닥으로 하는 사다리꼴이며, 하측 바닥 길이가 상측 바닥길이보다 커지도록 한다.

계속해서, 도 13의 (c)에 도시한 바와 같이, 포토레지스트막(133)에 의한 볼록부를 포함하는 도전성 박막(134)상에 전해도금법으로 강자성 박막(132)을 형성한다.

마지막으로, 포토레지스트막(133)을 제거함으로써, 도 13의 (d)에 도시한 바와 같이, 표면측의 상측 바닥이 기체측의 하측 바닥보다 긴 사다리꼴 단면을 가진 강자성 박막(132)의 볼록부가 도전성 박막(134)상에 형성된 마스터 정보담체가 완성된다. 포토레지스트막(133)의 제거는 도 12의 (d)에 도시한 리프트 오프 프로세스와 같이, 리무버라 불리우는 특정한 용제에 의해 포토레지스트막(133)을 녹임으로써 행해진다.

도 12에 도시한 제법과는 달리, 도 13에 도시한 제법에서는 강자성 박막(132)의 형성이 전해도금법에 의해 행해지므로, 포토레지스트막(133)에 의한 볼록부 표면에 강자성 박막은 퇴적되지 않는다. 따라서, 도 12에 도시한 제법에 비해 포토레지스트막(133)의 제거가 용이함과 동시에, 강자성 박막(132)의 에칭 프로세스를 필요로 하지 않는다. 도 13에 도시한 제법에서 필요한 도전성 박막(134)을 형성하는 프로세스는 도전성 기체(131)를 사용함으로써 불필요할 수 있다.

도전성 박막(134)의 재료 및 막두께에 특별히 제한은 없으나, 표면 조도가 적은 박막을 얻는 것이 바람직하다. 도전성 박막(134)의 표면 조도가 큰 경우에는 그 위에 형성된 강자성 박막(132)의 표면 조도도 커지므로, 프리포맷기록시의 기록자계분포에 영향을 줄 가능성이 있다. 따라서, 전해도금이 가능한 도전성을 얻을 수 있는 한 표면 조도가 적은 연속 박막 재료를 사용하며, 또 가능한한 막두께를얇게 하는 것이 바람직하다.

또, 포토레지스트막을 노광하는 광원파장영역에 있어서 도전성 박막(134)의 표면 광 반사율이 클 경우에는, 반사광에 의한 영향 때문에 노광시의 분해능을 저하시키는 경우가 있다. 따라서, 도전성 박막재료로서 표면 광의 반사율이 포토레지스트막(133)을 노광하는 광원파장영역에 있어서 비교적 작은 것, 바람직하게는 50％ 이하인 것을 사용하는 것이 바람직하다.

상기와 같이, 도전성 박막(134)에 반사방지막으로서의 기능을 갖추게 함으로써, 레지스트막의 패터닝을 기체(131)상에 직접 행하는 경우보다 분해능을 향상시킬 수 있다. 이와 같은 반사방지막으로서의 기능을 겸비한 도전성 박막(134)에 적합한 재료로는, 예를들면 도전성 카본막 혹은 카본을 주성분으로 하면서 약간의 불순물을 함유한 막이 있다.

도전성 박막재료를 선택할 때의 기준으로서, 상기 조건 이외에 도전성 박막(134)상에 퇴적된 강자성 박막재료와의 상성을 고려하는 것이 바람직하다. 도전성 박막재료에 따라서는 전해도금법에 의해 그 위에 퇴적된 강자성 박막(132)의 막퇴적속도, 구조 또는 자기특성에 차이가 생기는 일이 있다. 따라서, 사용되는 강자성 박막재료를 고려하여 최적의 도전성재료를 선택하는 것이 바람직하다.

또, 도전성 기체를 사용하는 경우에도 그 재료의 선택은 상기 도전성 박막재료의 선택과 같다는 점에 유의해야 한다.

이상 설명한 바와 같이, 제2구성을 가진 마스터 정보담체의 제조에 특히 적합한 프로세스예에 있어서는, 포토레지스트막(133)에 의한 볼록부 단면이 사다리꼴형상이 되는 것이 혀용되므로, 특별히 고도의 포토리소그래피 프로세스를 이용할 필요가 없으며, 일반적으로 널리 사용되고 있는 통상의 포토리소그래피 프로세스를 이용할 수 있다. 이 때문에, 제1구성을 가진 마스터 정보담체와 같이 생산성이 뛰어나고, 저렴하게 생산할 수 있다.

(실시형태3)

마스터 정보신호의 기록 과정에 있어서는, 마스터 정보담체 표면과 자기기록매체 표면 사이에서 균일하고 양호한 접촉상태를 유지하는 일이 필요하다. 균일하고 양호한 접촉상태가 유지되지 않는 경우에는 스페이싱 손실 때문에 마스터 정보신호가 바르게 기록되지 못하는 경우가 있다. 이 경우, 자기기록매체로부터의 재생신호에 부분적인 정보 결락(缺落, 부족하거나 빠짐) 또는 SN비의 저하가 발생하게 된다.

본 실시형태에서는 마스터 정보담체의 표면과 자기기록매체의 표면이 균일하고 양호한 접촉상태를 유지하고, 신뢰성이 높은 프리포맷기록을 할 수 있는 마스터 정보담체 및 그것을 이용한 기록 방법의 예에 대해 설명한다.

프리포맷기록된 자기기록매체가 하드 디스크인 경우, 그 기판은 금속, 유리, 실리콘 혹은 카본이라는 고경도의 강체이다. 따라서, 마스터 정보담체 표면이 하드 디스크기판 표면의 미묘한 굴곡이나 변형에 따라 하드 디스크 표면과의 사이에 양호한 접촉상태를 유지하기 위해서는, 마스터 정보담체의 기체가 다소의 가요성을 가진 것이 바람직하다. 이와 같은 기체 재료의 후보로서 고분자 재료를 들 수 있다.

본 발명의 마스터 정보담체는 고분자재료로 이루어진 기체를 이용함으로써, 고경도의 강체 기판에 형성된 자성층을 가진 하드 디스크 매체 표면과의 사이에 균일하고 양호한 접촉상태를 실현하기가 쉬워진다. 이에 따라, 프리포맷기록의 신뢰성을 높일 수 있다.

그러나, 장래적인 10기가비트오더의 면기록 밀도를 가진 하드 디스크의 프리포맷기록에 있어서, 하드 디스크 기판에 비해 유연한 물성을 가진 고분자 재료를 마스터 정보담체의 기체로서 이용하려면, 내(耐)환경특성 및 핸들링 성능을 상당히 개선할 필요가 있음을 알 수 있다. 구체적으로는 온도 습도 변화에 의한 팽창수축에 대한 치수 안정성, 마스터 정보담체의 제조 프로세스시의 물리적, 화학적 안정성의 문제 및 가공성을 높일 필요가 있다. 또, 기록 과정에 있어서, 마스터 정보담체 표면과 자기 디스크 매체 표면 사이에 균일하고 양호한 접촉상태를 확보하기 위해서는 정전기에 의한 먼지의 흡착이 발생하지 않도록 할 필요도 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 고분자재료를 구성요소로 하는 기체를 가진 마스터 정보담체의 구조에 관해 검토했다. 그 결과, 마스터 정보담체를 이하에 설명하는 구조로 만듬으로써, 상기 과제를 해결할 수 있음을 알 수 있다.

먼저, 내환경성의 문제에 대해 설명한다. 장래적인 10기가비트오더의 면기록 밀도를 가진 하드 디스크의 프리포맷기록을 하기 위해서는 마스터 정보담체의 기체에 상당히 높은 치수정밀도가 요구된다. 또, 이 높은 치수정밀도가 마스터 정보담체의 제조공정, 프리포맷기록 공정 및 마스터 정보담체의 보존상태라는 다양한 환경하에서 실현되지 않으면 안된다. 그러나, 상기의 요구를 만족할 수 있는 내환경성능을 가진 고분자재료는 현재 단독재료로는 존재하지 않는다.

예를들면, 폴리이미드계, 폴리아미드계 수지는 뛰어난 열안정성이나 화학적 안정성을 가진 재료이지만, 고습환경하에서는 수분을 흡착하여 팽창하는 성질을 가지고 있다. 또, 폴리에틸렌 텔레프탈레이트계 수지는 흡수에 의한 팽창은 비교적 적지만, 열안정성에 문제가 있다.

폴리프로필렌계, 테프론(폴리테트라 플루오로 에틸렌의 상품명)계 수지는 다른 환경하에 있어서의 치수안정성은 비교적 뛰어나다. 그러나, 이들 재료는 강자성 박막과의 접착력을 확보하기 힘들다는 문제가 있다.

본 발명의 마스터 정보담체는 상기와 같이 특성이 다른 2종 이상의 고분자 재료를 적층한 다층구조로 기체가 구성되어 있다. 이에 따라 각각의 재료의 특성을 살리고 결점은 보충된다.

바람직한 예로서, 폴리프로필렌계 혹은 테프론계 수지상에 폴리이미드계 혹은 폴리아미드계 수지를 적층한 다층구조로 이루어진 기체가 있다. 이 기체를 사용한 마스터 정보담체는 폴리프로필렌계 혹은 테프론계 수지의 특성에 의해 다양한 환경하에서 뛰어난 치수정밀도를 유지할 수 있다. 또, 강자성 박막은 폴리이미드계 혹은 폴리아미드계수지 표면상에 형성되므로, 강자성 박막과 기체의 밀착성에 관해서도 충분한 성능이 확보된다.

이와 같은 다층구조기체에 있어서 고분자재료의 바람직한 조합이나 층두께 배분은 마스터 정보담체를 제조할 때의 열 이력이나 프리포맷기록을 할 때의 온습도 환경, 마스터 정보담체를 보존할 때의 온습도 환경 등에 따라 다르다. 따라서,각각의 실시조건에 따라 바람직한 조합 및 층두께 배분을 선택하는 것이 필요하다.

다음에, 가공성 문제에 대해 설명한다. 마스터 정보담체에 대응하는 요철형상의 패터닝후에 프리포맷기록된 자기기록매체의 형태에 따라 적절한 형상가공을 필요로 하는 경우가 있다. 예를들면, 하드 디스크에 프리포맷기록을 하는 마스터 정보담체의 경우, 프리포맷기록시의 핸들링을 쉽게 하기 위해서는 하드 디스크의 직경에 맞는 적절한 크기를 가진 것이 바람직하다.

그러나, 고분자 재료로 이루어진 기체를 가진 마스터 정보담체는 일반적으로 가공성이 나쁘다. 특히 가공시에 소성변형 등을 일으키기 쉽기 때문에, 이에 따른 치수정밀도의 저하가 발생하는 경우가 있다.

본 발명의 마스터 정보담체의 기체는 금속, 합금 또는 세라믹재료의 모재와, 그 표면에 형성된 고분자 재료층을 구비하고 있으므로, 상기의 가공성에 관한 문제를 해소할 수 있다. 즉, 비교적 고경도를 가진 모재의 뛰어난 가공성을 반영하여 마스터 정보담체 전체의 가공성이 개선됨과 동시에, 모재 표면에 형성된 고분자 재료층의 소성변형이 일어나기 힘들어진다. 또, 비교적 고경도를 가진 모재에 의해 마스터 정보담체의 마크로적인 형상 안정성 및 핸들링 성능이 향상된다.

단단한 모재 자체가 자기기록매체의 변형에 충분히 대응하기는 곤란하다. 그러나, 기체 표면에 형성된 가요성 고분자 재료층이 탄성을 가짐으로써, 마스터 정보담체의 강자성 박막에 의해 구성된 볼록부의 각각이 개별적으로 자기기록매체의 변형이나 표면의 미묘한 굴곡에 충분히 추종할 수 있다. 이에 따라 자기기록매체 표면과의 사이에서 균일하고 양호한 밀착성을 확보하는 것이 가능하다.

또, 마스터 정보담체의 기체를 금속, 합금 또는 세라믹재료로 이루어진 모재와 그 표면에 형성된 고분자 재료층으로 구성하는 경우, 고분자 재료의 내환경 특성에 관한 치수 정밀도를 개선하는 효과도 얻을 수 있다.

모재 표면에 고분자 재료층을 형성하는 방법으로는, 고분자재료필름의 점착, 모노머나 폴리머 전구체의 도포 또는 유연, 또 그 후의 중합, 고분자 재료의 진공증착 등 각종 방법을 이용할 수 있다.

상기의 구조를 가진 마스터 정보담체의 제조 프로세스의 일예를 개략 단면도 에 의해 도 14에 도시했다.

먼저, 폴리이미드용액(트레니스:토레이 제품)을 시클로헥사놀로 소정의 농도로 희석하고, 이것을 유리 모재(141)상에 스핀코터를 이용해서 도포한다. 이것을 고온에서 경화함으로써, 도 14의 (a)에 도시한 바와 같이, 유리 모재(141)상에 폴리이미드층(142)이 적층된 기체가 완성된다. 폴리이미드층(142)의 두께는 실시조건에 따라 최적치로 하는 것이 필요하다. 일실시예에서는 경화후에 약 1㎛이었다.

다음에, 폴리이미드층(142)상에 포토레지스트막(144)을 형성한 후, 노광, 현상 공정을 거쳐 도 14의 (b)에 도시한 바와 같이, 마스터 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성된다.

다음에, 포토레지스트막(144)에 의해 형성된 볼록부를 포함하는 폴리이미드층(142)상에 강자성 박막(143)을 형성한다. 강자성 박막(143)의 형성에는 진공증착법, 스퍼터법, 도금법 등 일반적으로 사용되는 다양한 박막형성방법을 이용할 수 있다.

마지막으로, 포토레지스트막(144) 및 그 위에 형성된 강자성 박막(143)을 리프트 오프에 의해 제거한다. 그 결과, 도 14의 (c)에 도시한 바와 같이, 유리재를 모재(141)로 하고, 그 표면에 폴리이미드층으로 이루어진 고분자 재료층(142)을 형성한 기체상에 강자성 박막(143)의 볼록부가 형성된 마스터 정보담체가 완성된다.

고분자 재료층은 단일한 재료에 한하지 않으며, 고분자 재료의 탄성, 내약품성 등을 고려하여 다수의 고분자 재료를 적층해도 된다. 포토레지스트막을 현상하는 현상액, 리프트 오프에 이용하는 리무버, 또는 웨트 프로세스에서의 에칭에 이용하는 에천트 등의 용액은 비교적 강한 알카리성 혹은 산성을 가진 것이 많다. 폴리이미드나 폴리아미드 등의 고분자재료는 산이나 알카리에 대한 내약품성이 뛰어나므로, 기체(基體)의 외부표면을 형성하는 재료로 적합하다.

다음에, 프리포맷기록과정에 있어서 정전기에 의한 먼지 부착을 방지할 수 있는 마스터 정보담체의 구성에 대해 설명한다. 프리포맷기록과정에 있어서, 마스터 정보담체 표면과 자기기록매체 표면 사이에 균일하고 양호한 접촉상태를 확보하려면, 정전기에 의한 먼지 부착을 방지할 필요가 있다. 먼지 부착이 발생한 부위에서는 스페이싱 손실에 의한 재생신호SN비의 저하 또는 재생신호의 결락을 일으키기 때문이다.

본 발명의 마스터 정보담체에서는 적어도 기체 표면을 구성하는 고분자 재료가 대전을 방지할 정도의 도전성을 갖는다. 이에 따라 마스터 정보담체에 대한 먼지 부착이 억제되어 신뢰성 높은 프리포맷기록이 가능해진다.

적어도 기체 표면을 형성하는 고분자 재료중에 도전물질을 주성분으로 하는미립자를 분산시킴으로써, 그 고분자 재료에 대전하지 않을 정도의 도전성을 갖게 할 수 있다. 이와 같은 미립자로는, 예를들면 탄소를 주성분으로 하는 것이 바람직하다. 이와 같은 탄소를 주성분으로 하는 도전성 미립자는 고분자 재료중에 대한 배합분산이 쉽고 저렴하다.

또, 정전기에 의한 먼지 부착을 방지하는 별도의 구성으로서, 모재 표면에 형성된 고분자 재료층 표면에 고분자 재료층의 탄성을 저해하지 않을 정도 두께의 도전성 박막(예를들면 금속막)을 형성해도 된다. 즉, 고분자 재료로 이루어진 기체 표면상에 도전성 박막을 형성하고, 이 도전성 박막상에 강자성 박막의 요철형상 패턴을 형성한다. 이와 같은 구조에서는 마스터 정보담체 표면이 도전성 재료에 의해서만 구성되므로, 보다 확실한 대전 방지가 가능해져서 먼지 부착을 더욱더 확실하게 억제할 수 있다.

(실시형태 4)

본 발명의 기록방법의 효과를 최대한 끌어내려면, 상술한 바와 같이, 마스터 정보신호의 기록과정에 있어서, 마스터 정보담체 표면과 자기기록매체 표면 사이에 균일하고 양호한 접촉상태를 확보하는 것이 필요하다. 양자간에 균일하고 양호한 밀착성이 실현되지 않을 경우에는 스페이싱 손실로 인해 재생신호의 결락을 일으키거나 혹은 충분한 기록신호강도를 얻을 수 없어서, 양호한 SN비를 확보하지 못할 우려가 있다. 또, 기록 자계의 확산으로 인해 트랙 단부의 자화 천이가 급준성이 결여되므로, 충분한 오프 트랙 특성이 얻어지지 않을 우려가 있다.

본 실시형태의 마스터 정보담체는 실시형태 3과 다른 구성에 의해 마스터 정보담체의 표면과 자기기록매체 표면의 균일하고 양호한 밀착상태를 확보한다. 또, 이 마스터 정보담체를 이용해서 신뢰성이 높은 프리포맷기록을 하기 위한 자기기록장치도 제공한다.

먼저, 본 실시형태의 제1구성에 의한 마스터 정보담체는, 기체의 표면에 정보신호에 대응하는 요철 형상이 형성된 영역과, 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역을 구비하고, 요철형상중 적어도 볼록부 표면에 강자성 박막이 형성되고, 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역중 적어도 일부분에 관통구멍이 형성되어 있다.

또, 본 실시형태의 제2구성에 의한 마스터 정보담체는, 기체의 표면에 정보신호에 대응하는 요철 형상이 형성된 영역과, 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역을 구비하고, 요철형상중 적어도 볼록부 표면에 강자성 박막이 형성되고, 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역중 적어도 일부분의 표면 높이가 요철형상이 형성된 영역의 표면 높이보다 낮게 되어 있다.

상기와 같은 마스터 정보담체를 이용해서 자기기록매체에 정보신호를 기록하기 위한 자기기록장치는, 마스터 정보담체와 자기기록매체를 밀착시키는 수단과, 마스터 정보담체와 자기기록매체의 위치조정을 하는 수단과, 마스터 정보담체의 볼록부 표면에 형성된 강자성 박막을 자화하는 자계를 인가하는 수단을 구비하고 있다.

상기의 특징을 가진 자기기록장치의 제1 구체구성은, 요철형상이 형성되어 있는 않은 영역중 적어도 일부분에 관통구멍이 형성된 제1구성의 마스터 정보담체를 이용한다. 그리고, 마스터 정보담체와 자기기록매체를 밀착시키는 수단은, 마스터 정보담체와 자기기록매체를 접촉시킨 상태에서 마스터 정보담체의 관통구멍을 통해 마스터 정보담체와 자기기록매체 사이에 존재하는 기체를 배기함으로써, 마스터 정보담체의 요철형상과 자기기록매체를 밀착시키도록 구성되어 있다.

자기기록장치의 제2 구체구성은, 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역중 적어도 일부분의 표면 높이를 요철형상이 형성된 영역의 표면 높이보다 낮게 한 마스터 정보담체를 이용하고, 마스터 정보담체와 자기기록매체의 밀착수단으로는, 마스터 정보담체와 자기기록매체를 접촉시킨 상태에서 마스터 정보담체의 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역과 자기기록매체와의 사이에 존재하는 기체를 배기함으로써, 마스터 정보담체의 요철형상과 자기기록매체를 밀착시키도록 구성되어 있다.

상기와 같은 본 발명의 마스터 정보담체 및 자기기록장치를 사용함으로써, 마스터 정보담체에 대해 자기기록매체를 균일하고 양호하게 밀착시킬 수 있어서, 신뢰성이 높은 프리포맷기록을 할 수 있다.

마스터 정보담체와 자기기록매체의 밀착수단으로는, 마스터 정보담체 및 자기기록매체를 사이에 둔 한쌍의 플랜지와, 이들 한쌍의 플렌지 외주부를 서로 조이는 수단을 구비하는 것도 바람직하다. 상기의 기체 배기에 의한 밀착수단이 이 기계적인 체결수단도 구비함으로써, 마스터 정보담체와 자기기록매체 사이에 좀더 균일하고 양호한 밀착을 얻을 수 있다. 기체의 배기를 하기 위한 배기 덕트를 마스터 정보담체 또는 자기기록매체면의 중앙부에 접속한 경우, 기체 배기로 인한 흡인력이 중앙부에 집중하기 쉽기 때문에, 마스터 정보담체 또는 자기기록매체에 벤딩을 일으키는 경우가 있다. 그래서 상기의 중앙부 근방에 집중된 흡인력(대기압)을 보충하도록 외주부를 기계적으로 단단히 조임으로써, 마스터 정보담체 또는 자기기록매체의 휨이 억제되어, 양자가 보다 균일하고 양호하게 밀착되는 것이다. 좀더 바람직하게는 상기 한쌍의 플랜지와 마스터 정보담체 및 자기기록매체 사이중 적어도 한쪽에 탄성부재를 끼움으로써, 마스터 정보담체 및 자기기록매체를 더한층 균일하고 양호하게 밀착할 수 있다.

또, 마스터 정보담체와 자기기록매체의 위치조정을 하기 위한 수단으로는, 마스터 정보담체의 내주부 혹은 외주부에 자기기록매체의 내주 혹은 외주에 맞춰서 위치 조정을 하기 위한 마커가 배치되어 있는 구성이 바람직하다.

이하에 도 15 내지 도 21을 참조하면서 본 실시형태의 상세한 구성을 설명한다.

도 16은 마스터 정보담체에 형성된 정보신호를 자기기록매체에 기록하기 위한 자기기록장치의 일구성예를 도시한 단면도이다. 도면중, 161a, 161b는 마스터 정보담체, 162는 하드 디스크, 163은 상측 플랜지, 164는 하측 플랜지, 165a, 165b는 영구자석, 166a, 166b는 배기장치, 167a, 167b는 삼방밸브, 168a, 168b는 배기덕트, 160은 O링이다. 영구자석(165a, 165b)에 의한 자화 방향은 지면뒤에서 앞의 방향이다.

마스터 정보담체(161a, 161b)의 표면에는, 예를들면 도 15에 도시한 바와 같이, 정보신호에 대응하는 미세한 요철형상이 형성된 영역(152)이 소정의 각도 간격마다 형성되어 있다. 이 영역(152)의 일부(도 15중 영역B)를 확대하면, 예를들면 도 1에 도시한 바와 같은 구성을 가지고 있다. 실시형태 1에서도 설명한 바와 같이, 요철형상이 형성된 영역(152)에는 트래킹용 서보신호, 클록신호 및 어드레스 정보신호의 각각의 트랙을 따르는 방향으로 차례로 배열되어 구성되어 있다. 도 1에 있어서 해칭을 입힌 부분이 볼록부이고, 볼록부 표면은 Co, Ni-Fe 등의 강자성 재료로 형성되어 있다.

실시예1에서 설명한 바와 같이, 정보신호에 대응하는 미세한 요철형상의 볼록부 표면과 오목부 저면의 단차는 마스터 정보가 기록되는 자기기록매체의 표면성 및 마스터 정보의 비트 사이즈에도 따르지만, 일반적으로는 0.05㎛ 이상, 바람직하게는 0.1㎛ 이상으로 한다. 예를들면 일실시예에서는 0.5㎛으로 했다.

도 15에 도시한 바와 같이, 마스터 정보담체(151)의 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성된 영역(152) 이외의 영역에는 관통구멍(153)이 형성되어 있다. 관통구멍(153)은 마스터 정보담체의 기판이 유리인 경우, 초음파가공, 레이저가공, 웨트 에칭 등의 공지된 가공방법을 이용해서 형성할 수 있다. 관통구멍의 직경은 가능한 한 작으며, 관통구멍의 수는 가능한 한 많은 편이 바람직하다. 예를들면 일실시예에서는 초음파가공을 이용해서 직경 1mm의 관통구멍을 3mm 사방에 하나의 비율로 형성했다.

마스터 정보담체에 형성된 정보신호를 자기기록매체인 하드 디스크에 기록할 때, 마스터 정보 패턴의 중심을 하드 디스크의 중심을 맞추고나서 밀착시킬 필요가 있다. 이 위치조정을 쉽게 하기 위해 도 15에 도시한 바와 같이, 마스터 정보담체(151)의 내주부에는 마커(154)가 형성되어 있다. 마커(154)는 정보신호에 대응하는 요철형상과 동시에 형성된다. 이 마스터 정보담체(151)의 내주부에 형성된 마커(154)는 하드 디스크의 내주를 위치조정하도록 형성되어 있으나, 하드 디스크의 외주를 위치조정하도록 마스터 정보담체(151)의 외주부 근방에 마커를 형성해도 된다. 예를들면, 자기기록매체가 하드 디스크와 같이 내주를 가진 디스크형상이 아니라, 자기 카드와 같은 시트 형상 매체인 경우에는 자기기록매체의 외주에서 위치조정하도록 마스터 정보담체(151)의 마커를 형성한다. 이와 같이, 마커의 위치, 형상, 수는 각각의 자기기록매체의 형상에 따라 적절히 결정하면 된다.

도 16에 도시한 자기기록장치를 사용해서 마스터 정보담체에 형성된 정보신호를 하드 디스크에 기록하는 수순을 도 17을 참조하여 설명한다. 도 16에 도시한 자기기록장치는 대기압을 이용하여 마스터 정보담체(161a, 161b)와 하드 디스크(162)를 전면적으로 균일하게 밀착시킨다. 마스터 정보담체(161a, 161b)에 형성된 관통구멍(169)을 통해 배기함으로써, 하드 디스크(162)가 마스터 정보담체(161a, 161b)에 눌려서 마스터 정보담체(161a, 161b)에 형성된 요철형상 패턴의 볼록부 표면과 하드 디스크(162)가 밀착된다. 그 후, 영구자석(165a, 165b)을 이용해서 마스터 정보담체(161a, 161b)에 형성된 요철형상 패턴의 볼록부 표면의 강자성 박막을 자화시킴으로써 요철형상에 대응하는 정보신호를 하드 디스크(162)에 기록한다. 이하에 순서를 상세하게 설명한다.

먼저, 도 18에 도시한 바와 같이, 영구자석(182)을 이용해서 하드 디스크(162)를 원주방향을 따라 화살표(181) 방향으로 미리 자화시켜 둔다. 또, 영구자석 대신 전자석을 사용해도 된다. 다음에 도 16에 도시한 바와 같이, 하측 플랜지(164)의 홈에 O링(160)을 장착하고, 그 위에 마스터 정보담체(161b) 및 하드디스크(162)를 중첩한다. 이 때, 상술한 바와 같이 마스터정보패턴의 중심과 하드 디스크(162)의 중심을 맞추기 위한 마커(도 15의 154)가 마스터 정보담체(161b)에 형성되어 있으므로, 이 마커를 하드 디스크(162)의 내주에 맞춘다. 또, 하드 디스크(162)상에 마스터 정보담체(161a), 그리고, O링(160)을 홈에 장착한 상측 플랜지(163)를 중첩한다. 이 때에도 상기와 같이, 마스터 정보담체(161a)의 내주부에 형성된 마커를 하드 디스크(162)의 내주에 맞춘다.

상측의 삼방밸브(167a)를 조작하여 배기장치(166a)에 의해 상측 플랜지(163)와 마스터 정보담체(161a) 사이의 공기를 흡인한다. 하측의 삼방밸브(167b)는 하측 플랜지(164)와 마스터 정보담체(161b)의 공간이 대기압이 되도록 절환해 둔다. 마스터 정보담체(161a)와 하드 디스크(162) 사이의 공기가 마스터 정보담체(161a)에 형성된 관통구멍(169)을 통해 배기됨으로써, 하드 디스크(162)는 마스터 정보담체(161a)에 눌려서 양자가 전면적으로 밀착된다. 다음에, 도 17(a)에 도시한 바와 같이, 영구자석(165a)을 상측 플랜지(163)에 평행하게 또 배기덕트(168a)를 중심으로 회전함으로써, 직류여자자계(171a)를 인가한다. 이 조작에 의해 마스터 정보담체(161a)에 형성된 요철형상 패턴의 볼록부 표면의 강자성 박막이 자화되고, 요철형상에 대응하는 정보신호가 하드 디스크(162)에 기록된다. 상술한 바와 같이, 하드 디스크(162)는 미리 영구작석을 이용해서 원주방향을 따라 초기 자화되어 있다. 이 초기 자화의 극성과, 정보신호를 기록할 때 영구자석(165a)에 의해 인가하는 자계의 극성은 대부분의 경우 반대로 한다. 그러나, 실시형태 1에서 설명한 바와 같이, 마스터 정보담체에 형성된 요철형상 패턴에 따라서는 이들 극성을 동일하게 하는 편이 바람직한 경우도 있으므로, 각각의 실시조건에 따라 양호한 재생신호SN비를 얻는 쪽을 선택한다. 일실시예에서는 역극성으로 했다.

다음에, 하측의 삼방밸브(167b)를 조작하여 배기장치(166b)에 의해 하측 플랜지(164)와 마스터 정보담체(161b) 사이의 공기를 흡인한다. 상측의 삼방밸브(167a)는 상측 플랜지(163)와 마스터 정보담체(161a)의 공간이 대기압이 되도록 절환해 둔다. 마스터 정보담체(161b)와 하드 디스크(162) 사이의 공기가 마스터 정보담체(161b)에 형성된 관통구멍(169)을 통해 배기됨으로써, 하드 디스크(162)는 마스터 정보담체(161b)에 눌려서 양자가 전면적으로 밀착된다.

다음에, 도 17(b)에 도시한 바와 같이, 영구자석(165b)을 상측 플랜지(164)에 평행하게 또 배기덕트(168b)를 중심으로 회전시킴으로써, 직류여자자계(171b)를 인가한다. 이 조작에 의해 마스터 정보담체(161b)에 형성된 요철형상 패턴의 볼록부 표면의 강자성 박막이 자화되어 요철형상에 대응하는 정보신호가 하드 디스크(162)에 기록된다. 일실시예에서는 하드 디스크(162)의 초기 자화의 극성과, 정보신호를 기록할 때 영구자석(165b)에 의해 인가하는 자계의 극성을 역극성으로 했다.

이상의 수순에 의해 하드 디스크(162)의 양면에 단시간에 프리포맷기록을 할 수 있다. 마스터 정보담체에 형성된 요철형상 패턴의 볼록부 표면의 강자성 박막을 자화하는 데 영구자석을 사용하는 대신, 전자석을 사용해도 된다. 또한, 영구자석과 마스터 정보담체 사이에 상측 플랜지(163) 또는 하측 플랜지(164)가 삽입되어 있는 상태에서 마스터 정보담체 표면의 강자성 박막을 자화하게 되므로, 상측 플랜지(163) 및 하측 플랜지(164)의 재질은 황동강(黃銅鋼) 등의 비자성 재료인 것이 바람직하다.

도 16에 도시한 자기기록장치의 구성에 있어서, 자기기록매체가 하드 디스크가 아니라 플랙시블 디스크와 같이 가요성이 풍부한 매체인 경우, 마스터 정보담체에 형성한 관통구멍이 크면 플랙시블 디스크가 관통구멍에 빨려들어가 변형되어, 프리포맷기록이 정확한 위치에 행해지지 않거나, 기록되어야 할 신호가 빠지는 경우가 있다. 따라서, 상술한 바와 같이 관통구멍의 크기는 가능한한 작으며, 또 가능한한 많은 관통구멍을 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 하드 디스크 뿐만 아니라 플랙시블 디스크에도 신뢰성 높은 프리포맷기록을 할 수 있다. 또, 도 16에 도시한 구성은 자기기록매체의 양측에 마스터 정보담체를 배치하므로, 자기기록매체의 양면에 단시간에 효율적으로 프리포맷기록을 할 수 있으며, 나아가 생산성 향상에 기여할 수 있다.

도 20은 마스터 정보담체에 형성된 정보신호를 자기기록매체에 기록하기 위한 자기기록장치의 또다른 일구성예를 도시한 단면도이다. 도면중 201은 마스터 정보담체, 202는 하드 디스크, 203은 상측 플랜지, 204는 하측 플랜지, 205는 영구자석, 200a, 200b는 탄성판이다. 또, 206은 배기장치, 207은 삼방밸브, 208은 배기덕트, 209는 상측 플랜지(203)와 하측 플랜지(204)를 고정하기 위한 볼트이다.

마스터 정보담체(201)의 표면에는, 예를들면 도 19(a)에 도시한 바와 같이, 정보신호에 대응하는 미세한 요철형상이 형성된 영역(192)이 소정의 각도 간격으로 형성되어 있다. 도 15에 도시한 구성예와 같이, 이 영역(192)의 일부를 확대하면,예를들면 도 1에 도시한 바와 같은 구성을 가진다.

도 19(a)에 도시한 마스터 정보담체(191)에서는, 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되어 있는 영역(192) 및 외주부(도 19(a)의 백색으로 칠한 부분)의 표면 높이에 비해, 다른 영역(193)(도 19(a)의 해칭 부분)의 표면 높이를 낮게 한다. 이하, 이 영역(193)을 오목부 영역이라 한다. 도 19(b)는 도 19(a)에 있어서의 원주방향의 일점쇄선 C-C'를 따르는 단면의 표면 윤곽을 나타낸다. 영역(192)상에는 예를들면 도 1에 도시한 바와 같은 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되어 있다. 이 요철형상을 포토리소그래피 프로세스 등에 의해 형성한 후, 오목부영역(193)을 기계가공이나 초음파가공, 레이저가공 등 공지의 가공방법을 이용해서 형성한다. 요철형상이 형성된 영역(192)과 오목부 영역(193)의 단차는 마스터 정보담체(191) 기판의 두께에도 따르지만 수10㎛ 이상, 바람직하게는 100㎛ 이상으로 한다.

마스터 정보담체(191)에 형성된 정보신호를 자기기록매체인 하드 디스크에 기록할 때, 마스터 정보 패턴의 중심을 하드 디스크의 중심에 맞춰서 밀착시킬 필요가 있다. 도 19(a)에 도시한 바와 같이, 마스터 정보담체(191)의 내주부에 마커(194)가 형성되고, 이것이 하드 디스크의 내주와 위치조정된다. 마커의 형성위치는 마스터 정보담체(191)의 내주부에 한하지 않으며, 외주부에 형성하여 하드 디스크의 외주와 위치조정하도록 해도 된다.

도 21은 도 20에 도시한 자기기록장치를 사용해서 마스터 정보담체에 형성된 정보신호를 하드 디스크에 기록하는 방법을 나타낸다. 도 20에 도시한 자기기록장치는 마스터 정보담체(201)의 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되어 있는 영역과 하드 디스크(202)를 대기압을 이용하여 균일하게 밀착시키고, 또한 마스터 정보담체(201)과 하드 디스크(202)를 기계적으로 압축접합시킨다. 마스터 정보담체(201)의 오목부영역(193)과 하드 디스크(202) 사이에는 공간이 있다. 이 공간에 존재하는 공기를 배기함으로써, 마스터 정보담체(201)의 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되어 있는 영역과 하드 디스크(202)가 밀착된다. 그 후, 영구자석(205)을 이용해서 마스터 정보담체(201)에 형성된 요철형상 패턴의 볼록부 표면의 강자성 박막을 자화시킴으로써, 요철형상에 대응하는 정보신호를 하드 디스크(202)에 기록한다. 이하에 순서를 상세히 설명한다.

먼저, 도 18에 도시한 바와 같이, 영구자석(182)을 이용해서 하드 디스크(202)를 원주방향을 따라 화살표(181) 방향으로 미리 자화시켜 둔다. 다음에, 도 20에 도시한 바와 같이, 하측 플랜지(204)에 탄성판(200b), 하드 디스크(202), 마스터 정보담체(201)을 차례로 중첩한다. 탄성판(200b)의 중앙에는 하드 디스크(202) 중앙구멍과 같은 정도 크기의 관통구멍이 형성되어 있다. 마스터 정보담체(201)를 하드 디스크(202)에 중첩할 때에는 상술한 마커(도 19의 194)를 하드 디스크(202)의 내주에 맞춘다. 마지막으로 마스터 정보담체(201)상에 탄성판(200a) 및 상측 플랜지(203)을 중첩한다. 탄성판(200a, 200b)에는 실리콘 고무 등의 탄성을 가진 각종 재료를 사용할 수 있다.

삼방밸브(207)를 조작하고, 마스터 정보담체(201)의 오목부 영역(193)과 하드 디스크(202) 사이의 공기를 배기장치(206)에 의해 배기한다. 이에 따라 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되어 있는 영역과 하드 디스크(202)가 밀착된다. 도 20에 도시된 바와 같이, 배기덕트(208)가 장치의 중앙부에 배치되어 있기 때문에, 배기 컨덕턴스는 마스터 정보담체(201)의 중앙부에서 크다. 따라서, 하드 디스크(202)의 중앙구멍으로부터의 배기에 의한 부압이 마스터 정보담체(201)의 중앙부 근방에 크게 작용하는 한편, 외주부 근방에는 그다지 강하게 작용하지 않으며, 그 결과 마스터 정보담체(201)의 외주부와 하드 디스크(202)의 밀착성이 나빠질 우려가 있다.

상기의 문제를 해결하기 위해, 도 20에 도시한 바와 같이, 상측 플랜지(203)와 마스터 정보담체(201) 사이 및 하측 플랜지(204)와 하드 디스크(202) 사이에 탄성판(200a, 200b)을 각각 형성하고, 또 상측 플랜지(203)와 하측 플랜지(204)의 주변부를 볼트(209)를 이용해서 접속하고 있다. 그리고, 볼트(209)의 체결 토크를 조정함으로써 마스터 정보담체(201)와 하드 디스크(202)를 적절히 균일하게 압축접합한다. 이렇게 해서 마스터 정보담체(201)의 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되어 있는 영역과 하드 디스크(202)가 균일하게 밀착한다.

마지막으로 도 21에 도시한 바와 같이, 영구자석(205)을 상측 플랜지(203)에 평행하게, 또 원주방향을 따라 회전시킴으로써, 직류여자자계(211)를 인가한다. 이 조작에 의해 마스터 정보담체(201)에 형성된 정보신호에 대응하는 요철형상의 볼록부 표면의 강자성 박막이 자화되어 요철형상에 대응하는 정보신호가 하드 디스크(202)에 기록된다. 하드 디스크(202)는 미리 영구자석 등을 이용해서 원주방향으로 초기 자화시켜 둔다. 이 초기 자화의 극성과 정보신호를 기록할 때 영구자석(205)에 의해 인가하는 자계의 극성은 통상 반대로 하지만, 마스터 정보담체에 형성된 요철형상 패턴에 따라서는 이들 극성을 동일하게 하는 편이 바람직한 경우도 있다. 각각의 실시조건에 따라 재생신호의 SN비가 좋아지는 쪽을 선택하면 된다. 일실시예에서는 역극성으로 했다.

또, 영구자석(205)과 마스터 정보담체(201) 사이에 상측 플랜지(203)가 삽입되어 있으므로, 상측 플랜지(203)의 재질은 황동강 등의 비자성 재료인 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 도 20에 도시한 구성에서는 마스터 정보담체의 오목부 영역과 하드 디스크 사이의 공기를 배기함으로써 마스터 정보담체와 하드 디스크를 밀착시키고, 또 주변부를 볼트에 의해 체결함으로써, 프리포맷기록의 신뢰성을 더욱더 향상시킬 수 있다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 설명했으나, 본 발명은 상기의 실시형태에 한하지 않고, 다양한 형태로 실시할 수 있다. 예를들면 상기의 실시형태는 자기 디스크에 대한 프리포맷기록에 관한 것이지만, 본 발명은 자기 디스크에 한하지 않고, 자기 카드, 자기 테이프 등의 자기기록매체에 프리포맷기록을 하는 경우에도 적용할 수 있다.

또, 본 발명은 광자기 기록매체와 같이, 신호의 재생수단으로서 각종 광학효과를 이용하는 자기기록매체에 대한 신호기록에도 적용할 수 있다. 본 발명의 기록방법을 이용해서 광자기기록매체에 기록을 하는 경우에는 광자기 기록매체를 퀴리점 또는 보상점 근방까지 가열하고, 자발 자화를 소실시킨 상태에서 기록을 하는 열자기 기록의 수법을 이용하는 것도 가능하며, 유효한 효과를 얻을 수 있다.

또, 자기기록매체에 기록되는 정보신호는 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등 프리 포맷 신호에 한할 필요는 없다. 예를들면, 본 발명의 구성을 이용해서 다양한 데이터 신호나 오디오, 비디오 신호를 기록하는 것도 원리적으로 가능하다. 이 경우, 본 발명을 이용하여 소프트 디스크 매체의 대량 복사 생산을 할 수 있어서 저렴하게 소프트를 제공하는 것이 가능해진다.

Claims (71)

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33. 자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체에 있어서, 기체(基體)의 표면에 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호, 클록신호중 적어도 어느 하나를 포함하는 상기 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성된 영역과, 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역이 형성되고, 상기 요철형상중 적어도 볼록부 표면이 강자성 재료로 구성되고, 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역중 적어도 일부분에 관통구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체.
34. 자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체에 있어서, 기체 표면에 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호, 클록신호중 적어도 어느 하나를 포함하는 상기 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성된 영역과, 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역이 형성되고, 상기 요철형상중 적어도 볼록부 표면이 강자성 재료로 구성되고, 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역중 적어도 일부분의 표면 높이를 상기 요철형상이 형성된 영역의 표면 높이 보다 낮게 한 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체.
35. (정정) 자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체의 제조방법에 있어서, 기체의 표면에 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막에 의해 형성하는 공정과, 상기 요철형상 위에 강자성 박막을 형성하는 공정과, 상기 강자성 박막 표면을 에칭하는 공정과, 상기 포토레지스트막 및 포토레지스트막위의 강자성 박막을 리프트 오프법에 의해 제거하는 공정을 구비하고,

    상기 포토레지스트막에 의해 요철형상을 형성하는 공정에 있어서, 디지털 정보신호의 비트길이방향에 있어서의 볼록부 단면형상을 실질적으로 표면측을 상측바닥, 기체측을 하측바닥으로 하는 사다리꼴로 하고, 또 하측바닥길이를 상측바닥길이보다 크게 한 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
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37. (정정)자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체의 제조방법에 있어서, 기체의 표면에 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막에 의해 형성하는 공정과, 상기 요철형상 위에 강자성 박막을 형성하는 공정과, 상기 강자성 박막 표면을 에칭하는 공정과, 상기 포토레지스트막 및 포토레지스트막 위의 강자성 박막을 리프트 오프법에 의해 제거하는 공정을 구비하고,

    상기 강자성 박막 표면을 에칭하는 공정이 스퍼터 에칭 또는 이온밀링을 이용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
38. 제37항에 있어서, 이온의 기체표면에 대한 입사각을 기체면의 법선에 대해 20도 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
39. (정정)자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체의 제조방법에 있어서, 기체의 표면에 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막에 의해 형성하는 공정과, 상기 요철형상 위에 강자성 박막을 형성하는 공정과, 상기 강자성 박막 표면을 에칭하는 공정과, 상기 포토레지스트막 및 포토레지스트막 위의 강자성 박막을 리프트 오프법에 의해 제거하는 공정을 구비하고,

    상기 강자성 박막 표면을 에칭하는 공정이 화학에칭을 이용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
40. (정정) 자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체의 제조방법에 있어서, 기체 표면에 도전성 박막을 형성하는 공정과, 상기 도전성 박막상에 디지털 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막에 의해 형성하는 공정과, 상기 요철형상을 형성한 상기 도전성 박막상에 전해도금법에 의해 강자성박막을 형성하는 공정과, 상기 포토레지스트막을 제거하는 공정을 구비하고,

    상기 포토레지스트막에 의해 요철형상을 형성하는 공정에 있어서, 디지털 정보신호의 비트길이방향에 있어서의 볼록부의 단면형상을 실질적으로 표면측을 상측바닥, 기체측을 하측바닥으로 하는 사다리꼴로 하고, 또 하측바닥길이를 상측바닥길이보다 크게 한 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
41. (삭제)
42. (정정)자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체의 제조방법에 있어서, 기체 표면에 도전성 박막을 형성하는 공정과, 상기 도전성 박막상에 디지털 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막에 의해 형성하는 공정과, 상기 요철형상을 형성한 상기 도전성 박막 상에 전해도금법에 의해 강자성박막을 형성하는 공정과, 상기 포토레지스트막을 제거하는 공정을 구비하고,

    상기 도전성 박막 표면의 광반사율이 포토레지스트막을 노광하는 광원의 파장영역에서 50％ 이하인 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
43. 제42항에 있어서, 상기 도전성 박막이 카본을 주성분으로 하는 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
44. (정정) 자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체의 제조방법에 있어서, 도전성 기체의 표면에 디지털 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막에 의해 형성하는 공정과, 상기 요철형상을 형성한 상기 도전성 기체 표면 상에 전해도금법에 의해 강자성 박막을 형성하는 공정과, 상기 포토레지스트막을 제거하는 공정을 구비하고,

    상기 포토레지스트막에 의해 요철형상을 형성하는 공정에서, 디지털 정보신호의 비트 길이 방향에 있어서의 볼록부 단면형상을 실질적으로 표면측을 상측바닥, 기체측을 하측바닥으로 하는 사다리꼴로 하고, 또 하측바닥길이를 상측바닥길이보다 크게 한 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
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46. (정정)자기기록매체에 대한 정보신호의 기록에 사용하는 마스터 정보담체의 제조방법에 있어서, 도전성 기체의 표면에 디지털 정보신호에 대응하는 요철형상을 포토레지스트막에 의해 형성하는 공정과, 상기 요철형상을 형성한 상기 도전성 기체 표면 상에 전해도금법에 의해 강자성 박막을 형성하는 공정과, 상기 포토레지스트막을 제거하는 공정을 구비하고,

    상기 도전성기체 표면의 광반사율이 포토레지스트막을 노광하는 광원의 파장영역에서 50％ 이하인 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
47. 제46항에 있어서, 상기 도전성기체가 카본을 주성분으로 하는 것을 특징으로 하는 마스터 정보담체의 제조방법.
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66. 기체표면에 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되고, 상기 요철형상중 적어도 볼록부가 강자성 재료로 구성된 마스터 정보담체를 사용하고, 자기기록매체에 상기 정보신호를 기록하기 위한 장치에 있어서, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체를 밀착시키는 수단과, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체의 위치조정을 하는 수단과, 상기 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료를 자화하기 위한 자계를 인가하는 수단을 구비하고 있는 자기기록장치로서,

    상기 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성된 영역과 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역을 표면에 구비하고, 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역중 적어도 일부분에 관통구멍이 형성된 마스터 정보담체를 사용하고, 상기 밀착시키는 수단은 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체를 접촉시킨 상태에서 상기 마스터 정보담체의 관통구멍을 통하여 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체 사이에 존재하는 기체를 배기함으로써, 상기 마스터 정보담체의 요철형상과 상기 자기기록매체를 밀착시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기기록장치.
67. 기체표면에 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되고, 상기 요철형상중 적어도 볼록부가 강자성 재료로 구성된 마스터 정보담체를 사용하고, 자기기록매체에 상기 정보신호를 기록하기 위한 장치에 있어서, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체를 밀착시키는 수단과, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체의 위치조정을 하는 수단과, 상기 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료를 자화하기 위한 자계를 인가하는 수단을 구비하고 있는 자기기록장치로서,

    상기 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성된 영역과 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역을 표면에 구비하고, 상기 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역중 적어도 일부분의 표면 높이를 상기 요철형상이 형성된 영역의 표면 높이보다 낮게 한 마스터 정보담체를 사용하고, 상기 밀착시키는 수단은 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체를 접촉시킨 상태에서 상기 마스터 정보담체의 요철형상이 형성되어 있지 않은 영역과 상기 자기기록매체 사이에 존재하는 기체를 배기함으로써, 상기 마스터 정보담체의 요철형상과 상기 자기기록매체를 밀착시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 마스터 정보의 자기기록장치.
68. 기체표면에 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되고, 상기 요철형상중 적어도 볼록부가 강자성 재료로 구성된 마스터 정보담체를 사용하고, 자기기록매체에 상기 정보신호를 기록하기 위한 장치에 있어서, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체를 밀착시키는 수단과, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체의 위치조정을 하는 수단과, 상기 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료를 자화하기 위한 자계를 인가하는 수단을 구비하고 있는 자기기록장치로서,

    상기 밀착시키는 수단이 상기 마스터 정보담체 및 상기 자기기록매체를 사이에 둔 한 쌍의 플랜지와, 상기 한 쌍의 플랜지 주부를 서로 체결하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 마스터 정보의 자기기록장치.
69. 제68항에 있어서, 상기 한 쌍의 플랜지와 상기 마스터 정보담체 및 상기 자기기록매체 사이 중 적어도 한쪽에 삽입장착된 탄성부재를 추가로 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 마스터 정보의 자기기록장치.
70. 기체표면에 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되고, 상기 요철형상중 적어도 볼록부가 강자성 재료로 구성된 마스터 정보담체를 사용하고, 자기기록매체에 상기 정보신호를 기록하기 위한 장치에 있어서, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체를 밀착시키는 수단과, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체의 위치조정을 하는 수단과, 상기 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료를 자화하기 위한 자계를 인가하는 수단을 구비하고 있는 자기기록장치로서,

    상기 위치조정을 하는 수단이 상기 자기기록매체의 내주에 맞춰서 상기 마스터 정보담체의 내주부에 배치된 마커인 것을 특징으로 하는 마스터 정보의 자기기록장치.
71. 기체표면에 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되고, 상기 요철형상중 적어도 볼록부가 강자성 재료로 구성된 마스터 정보담체를 사용하고, 자기기록매체에 상기 정보신호를 기록하기 위한 장치에 있어서, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체를 밀착시키는 수단과, 상기 마스터 정보담체와 상기 자기기록매체의 위치조정을 하는 수단과, 상기 마스터 정보담체의 볼록부를 구성하는 강자성 재료를 자화하기 위한 자계를 인가하는 수단을 구비하고 있는 자기기록장치로서,

    상기 위치조정을 하는 수단이 상기 자기기록매체의 외주에 맞춰서 상기 마스터 정보담체의 외주부에 배치된 마커인 것을 특징으로 하는 마스터 정보의 자기기록장치.