JP2001014667A - 磁気転写方法および磁気転写装置 - Google Patents
磁気転写方法および磁気転写装置Info
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- JP2001014667A JP2001014667A JP2000090254A JP2000090254A JP2001014667A JP 2001014667 A JP2001014667 A JP 2001014667A JP 2000090254 A JP2000090254 A JP 2000090254A JP 2000090254 A JP2000090254 A JP 2000090254A JP 2001014667 A JP2001014667 A JP 2001014667A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気転写によって、磁気パターンの位置によ
らずに、品位の高い転写パターンを磁気転写によって磁
気転写用マスター担体からスレーブ媒体へ転写する。 【解決手段】 基板の表面の情報信号に対応する部分に
磁性層が形成された磁気転写用マスター担体と、転写を
受けるスレーブ媒体である磁気記録媒体を接触して転写
用磁界を印加する磁気転写方法において、スレーブ磁気
記録媒体の保磁力Ｈcsと該転写用磁界の関係が、 ０．６×Ｈcs≦転写用磁界≦１．３×Ｈcs である磁気転写方法。
らずに、品位の高い転写パターンを磁気転写によって磁
気転写用マスター担体からスレーブ媒体へ転写する。 【解決手段】 基板の表面の情報信号に対応する部分に
磁性層が形成された磁気転写用マスター担体と、転写を
受けるスレーブ媒体である磁気記録媒体を接触して転写
用磁界を印加する磁気転写方法において、スレーブ磁気
記録媒体の保磁力Ｈcsと該転写用磁界の関係が、 ０．６×Ｈcs≦転写用磁界≦１．３×Ｈcs である磁気転写方法。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に多
くの情報を一度に記録する方法に関し、とくに大容量、
高記録密度の磁気記録媒体への記録情報の転写方法に関
する。
くの情報を一度に記録する方法に関し、とくに大容量、
高記録密度の磁気記録媒体への記録情報の転写方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】デジタル画像の利用の進展等で、パソコ
ン等で取り扱う情報量が飛躍的に増加している。情報量
の増加によって、情報を記録する大容量で安価で、しか
も記録、読み出し時間の短い磁気記録媒体が求められて
いる。ハードディスク等の高密度記録媒体や、ＺＩＰ
（アイオメガ社）に代表される高密度のフロッピー（登
録商標）ディスク型の磁気記録媒体では、一般のフロッ
ピーディスクに比べて情報記録領域は狭トラックで構成
されており、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドを走査
し、信号の記録と再生を高Ｓ／Ｎ比で行うためには、ト
ラッキングサーボ技術を用いて正確な走査を行うことが
必要である。
ン等で取り扱う情報量が飛躍的に増加している。情報量
の増加によって、情報を記録する大容量で安価で、しか
も記録、読み出し時間の短い磁気記録媒体が求められて
いる。ハードディスク等の高密度記録媒体や、ＺＩＰ
（アイオメガ社）に代表される高密度のフロッピー（登
録商標）ディスク型の磁気記録媒体では、一般のフロッ
ピーディスクに比べて情報記録領域は狭トラックで構成
されており、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドを走査
し、信号の記録と再生を高Ｓ／Ｎ比で行うためには、ト
ラッキングサーボ技術を用いて正確な走査を行うことが
必要である。
【０００３】そこで、ハードディスク、リムーバル型の
磁気記録媒体のような大容量の磁気記録媒体では、ディ
スクの１周のなかである間隔でトラッキング用のサーボ
信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記録さ
れた、いわゆるプリフォーマットがなされている。磁気
ヘッドはこのプリフォーマットの信号を読みとって自分
の位置を修正することで正確にトラック上を走行するこ
とが可能となっている。
磁気記録媒体のような大容量の磁気記録媒体では、ディ
スクの１周のなかである間隔でトラッキング用のサーボ
信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記録さ
れた、いわゆるプリフォーマットがなされている。磁気
ヘッドはこのプリフォーマットの信号を読みとって自分
の位置を修正することで正確にトラック上を走行するこ
とが可能となっている。
【０００４】現在のプリフォーマットはディスクを専用
のサーボ記録装置を用いて、１枚ずつ、１トラックずつ
記録して作製される。サーボ記録装置は高価であるこ
と、プリフォーマット作製に長時間を要するために製造
に長時間を要し、製造コストにも影響を及ぼすという問
題があった。そこで、１トラックずつプリフォーマット
を行わずに磁気転写で行う方式も提案されている。例え
ば、特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４
０５４４号公報、および特開平１０−２６９５６６号公
報に転写技術が紹介されている。しかしながら、磁気転
写方法において転写時に印加する磁界の条件およびその
磁界を発生するための具体的な手段をはじめとして、実
際に即した提案は行われてこなかった。
のサーボ記録装置を用いて、１枚ずつ、１トラックずつ
記録して作製される。サーボ記録装置は高価であるこ
と、プリフォーマット作製に長時間を要するために製造
に長時間を要し、製造コストにも影響を及ぼすという問
題があった。そこで、１トラックずつプリフォーマット
を行わずに磁気転写で行う方式も提案されている。例え
ば、特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４
０５４４号公報、および特開平１０−２６９５６６号公
報に転写技術が紹介されている。しかしながら、磁気転
写方法において転写時に印加する磁界の条件およびその
磁界を発生するための具体的な手段をはじめとして、実
際に即した提案は行われてこなかった。
【０００５】また、こうした従来の問題点を解決する記
録方法として、特開昭６３−１８３６２３号公報や特開
平１０−４０５４４号公報において、基体の表面に情報
信号に対応する凹凸形状が形成され、凹凸形状の少なく
とも凸部表面に強磁性薄膜が形成された磁気転写用マス
ター担体の表面を、強磁性薄膜あるいは強磁性粉塗布層
が形成されたシート状もしくはディスク状磁気記録媒体
の表面に接触、あるいはさらに交流バイアス磁界、ある
いは直流磁界を印加して凸部表面を構成する強磁性材料
を励磁することによって、凹凸形状に対応する磁化パタ
ーンを磁気記録媒体に記録する方法が提案されている。
録方法として、特開昭６３−１８３６２３号公報や特開
平１０−４０５４４号公報において、基体の表面に情報
信号に対応する凹凸形状が形成され、凹凸形状の少なく
とも凸部表面に強磁性薄膜が形成された磁気転写用マス
ター担体の表面を、強磁性薄膜あるいは強磁性粉塗布層
が形成されたシート状もしくはディスク状磁気記録媒体
の表面に接触、あるいはさらに交流バイアス磁界、ある
いは直流磁界を印加して凸部表面を構成する強磁性材料
を励磁することによって、凹凸形状に対応する磁化パタ
ーンを磁気記録媒体に記録する方法が提案されている。
【０００６】この方法では、磁気転写用マスター担体の
凸部表面をプリフォーマットすべき磁気記録媒体、すな
わちスレーブ媒体に密着させて同時に凸部を構成する強
磁性材料を励磁することにより、スレーブ媒体に所定の
フォーマットを形成する転写による方法であり、磁気転
写用マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変
化させることなく静的に記録を行うことができ、正確な
プリフォーマット記録が可能であるという特徴を有して
いる。しかも記録に要する時間も極めて短時間であると
いう特徴を有している。すなわち、前述した磁気ヘッド
から記録する方法では、通常数分から数十分は必要であ
り、且つ記録容量に比例して転写に要する時間はさらに
長くなるという問題があったが、この磁気転写法である
と、記録容量や記録密度に関係なく１秒以下で転写を完
了させることができると言う特徴を有している。
凸部表面をプリフォーマットすべき磁気記録媒体、すな
わちスレーブ媒体に密着させて同時に凸部を構成する強
磁性材料を励磁することにより、スレーブ媒体に所定の
フォーマットを形成する転写による方法であり、磁気転
写用マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変
化させることなく静的に記録を行うことができ、正確な
プリフォーマット記録が可能であるという特徴を有して
いる。しかも記録に要する時間も極めて短時間であると
いう特徴を有している。すなわち、前述した磁気ヘッド
から記録する方法では、通常数分から数十分は必要であ
り、且つ記録容量に比例して転写に要する時間はさらに
長くなるという問題があったが、この磁気転写法である
と、記録容量や記録密度に関係なく１秒以下で転写を完
了させることができると言う特徴を有している。
【０００７】図１を参照して、磁気転写用マスター担体
におけるプリフォーマット用のパターンの転写を説明す
る。図１（Ａ）は磁気転写用マスター担体の磁性層面を
模式的に説明した平面図であり、図１（Ｂ）は転写過程
を説明する断面図である。磁気転写用マスター担体１の
トラックの所定の領域に、転写すべきトラッキング用の
サーボ信号やアドレス信号のパターンを形成したプリフ
ォーマット領域２とデータ領域３が形成されており、磁
気転写用マスター担体１とスレーブ媒体４とを密着させ
てトラック方向５の転写用外部磁界６を加えることによ
ってプリフォーマット情報をスレーブ媒体側に記録情報
７として転写することができるので、効率的にスレーブ
媒体を製造することができるものである。ところが、こ
のよう方法によって転写を行った場合には、情報信号品
位が悪いものが生じることがあり、サーボ動作が不正確
となるものが生じる場合があることが明かとなった。
におけるプリフォーマット用のパターンの転写を説明す
る。図１（Ａ）は磁気転写用マスター担体の磁性層面を
模式的に説明した平面図であり、図１（Ｂ）は転写過程
を説明する断面図である。磁気転写用マスター担体１の
トラックの所定の領域に、転写すべきトラッキング用の
サーボ信号やアドレス信号のパターンを形成したプリフ
ォーマット領域２とデータ領域３が形成されており、磁
気転写用マスター担体１とスレーブ媒体４とを密着させ
てトラック方向５の転写用外部磁界６を加えることによ
ってプリフォーマット情報をスレーブ媒体側に記録情報
７として転写することができるので、効率的にスレーブ
媒体を製造することができるものである。ところが、こ
のよう方法によって転写を行った場合には、情報信号品
位が悪いものが生じることがあり、サーボ動作が不正確
となるものが生じる場合があることが明かとなった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、磁気転写用
マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて外部磁界を
印加してプリフォーマットパターンの転写によって作製
したスレーブ媒体のサーボ動作が不正確となることを防
止して安定的な転写方法および装置を提供することを課
題とするものである。
マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて外部磁界を
印加してプリフォーマットパターンの転写によって作製
したスレーブ媒体のサーボ動作が不正確となることを防
止して安定的な転写方法および装置を提供することを課
題とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板の表面の
情報信号に対応する部分に磁性層が形成された、磁気転
写用マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを密着
させて転写用磁界を印加する磁気転写方法において、ス
レーブ媒体のトラック方向に磁界を印加しあらかじめス
レーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化した
後、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体を密着させスレーブ媒体のトラック方向に転写用
磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法である。磁
気転写用マスター担体の磁性層の保磁力Ｈcmが４７．７
ｋＡ／ｍ（６００Ｏｅ）以下である前記の磁気転写方法
である。転写を受けるスレーブ媒体の保磁力Ｈcsが１４
３ｋＡ／ｍ（１８００Ｏｅ）以上である前記の磁気転写
方法である。スレーブ媒体にトラック方向の磁界を印加
し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために印加
する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向きであ
る前記の磁気転写方法である。
情報信号に対応する部分に磁性層が形成された、磁気転
写用マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを密着
させて転写用磁界を印加する磁気転写方法において、ス
レーブ媒体のトラック方向に磁界を印加しあらかじめス
レーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化した
後、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体を密着させスレーブ媒体のトラック方向に転写用
磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法である。磁
気転写用マスター担体の磁性層の保磁力Ｈcmが４７．７
ｋＡ／ｍ（６００Ｏｅ）以下である前記の磁気転写方法
である。転写を受けるスレーブ媒体の保磁力Ｈcsが１４
３ｋＡ／ｍ（１８００Ｏｅ）以上である前記の磁気転写
方法である。スレーブ媒体にトラック方向の磁界を印加
し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために印加
する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向きであ
る前記の磁気転写方法である。
【００１０】スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁界強度
部分をトラック方向位置で少なくとも１カ所以上有する
磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生さ
せ、スレーブ媒体あるいは磁界をトラック方向に回転さ
せることにより、スレーブ媒体磁化をトラック方向に初
期直流磁化するための磁界を印加する前記の磁気転写方
法である。スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部
分をトラック方向位置で一方向のみで有しており、逆方
向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でもスレーブ
媒体の保磁力Ｈcs未満である磁界強度分布の磁界をトラ
ック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒体あるいは磁
界をトラック方向に回転させることにより、スレーブ媒
体をトラック方向に初期直流磁化するための磁界を印加
する前記の磁気転写方法である。
部分をトラック方向位置で少なくとも１カ所以上有する
磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生さ
せ、スレーブ媒体あるいは磁界をトラック方向に回転さ
せることにより、スレーブ媒体磁化をトラック方向に初
期直流磁化するための磁界を印加する前記の磁気転写方
法である。スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部
分をトラック方向位置で一方向のみで有しており、逆方
向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でもスレーブ
媒体の保磁力Ｈcs未満である磁界強度分布の磁界をトラ
ック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒体あるいは磁
界をトラック方向に回転させることにより、スレーブ媒
体をトラック方向に初期直流磁化するための磁界を印加
する前記の磁気転写方法である。
【００１１】また、最適転写磁界強度範囲の最大値を超
える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最
適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのト
ラック方向で少なくとも１カ所以上存在し、これと逆向
きのトラック方向の磁界強度がいずれのトラック方向位
置においても最適転写磁界強度範囲の最小値未満である
磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生さ
せ、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体を密着させた状態でトラック方向に回転させる
か、あるいは磁界をトラック方向に回転させることによ
り、スレーブ媒体面のトラック方向に転写用磁界を印加
する前記の磁気転写方法である。
える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最
適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのト
ラック方向で少なくとも１カ所以上存在し、これと逆向
きのトラック方向の磁界強度がいずれのトラック方向位
置においても最適転写磁界強度範囲の最小値未満である
磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生さ
せ、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体を密着させた状態でトラック方向に回転させる
か、あるいは磁界をトラック方向に回転させることによ
り、スレーブ媒体面のトラック方向に転写用磁界を印加
する前記の磁気転写方法である。
【００１２】永久磁石の磁極の軸をスレーブ媒体の上面
あるいは下面側の一方に垂直方向に配設し、磁極の軸に
対して対称な磁界をトラック方向に印加させ、スレーブ
媒体あるいは永久磁石をトラック方向に回転させること
により、スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流
磁化する前記の磁気転写方法である。永久磁石の磁極の
軸をスレーブ媒体面に対して斜めに配設しトラック方向
の磁界強度分布を非対称化し、スレーブ媒体あるいは永
久磁石をトラック方向に回転させることにより、スレー
ブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化する前記の
磁気転写方法である。
あるいは下面側の一方に垂直方向に配設し、磁極の軸に
対して対称な磁界をトラック方向に印加させ、スレーブ
媒体あるいは永久磁石をトラック方向に回転させること
により、スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流
磁化する前記の磁気転写方法である。永久磁石の磁極の
軸をスレーブ媒体面に対して斜めに配設しトラック方向
の磁界強度分布を非対称化し、スレーブ媒体あるいは永
久磁石をトラック方向に回転させることにより、スレー
ブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化する前記の
磁気転写方法である。
【００１３】永久磁石の磁極の軸をスレーブ媒体面に対
して斜めに配設しトラック方向の磁界強度分布を非対称
化し、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレ
ーブ媒体を密着させた状態でトラック方向に回転させる
かあるいは磁界をトラック方向に回転させることによ
り、トラック方向の転写用磁界を印加させ磁気転写を行
う前記の磁気転写方法である。最適転写磁界強度がスレ
ーブ媒体の保磁力Ｈcsに対して０．６×Ｈcs〜１．３×
Ｈcsである前記の磁気転写方法である。
して斜めに配設しトラック方向の磁界強度分布を非対称
化し、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレ
ーブ媒体を密着させた状態でトラック方向に回転させる
かあるいは磁界をトラック方向に回転させることによ
り、トラック方向の転写用磁界を印加させ磁気転写を行
う前記の磁気転写方法である。最適転写磁界強度がスレ
ーブ媒体の保磁力Ｈcsに対して０．６×Ｈcs〜１．３×
Ｈcsである前記の磁気転写方法である。
【００１４】また、基板の表面の情報信号に対応する部
分に磁性層が形成され、磁気転写用マスター担体と転写
を受けるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加
する磁気転写装置において、スレーブ媒体面のトラック
方向に磁界を印加しあらかじめスレーブ担体の磁化をト
ラック方向に初期直流磁化する初期直流磁化手段、磁気
転写用マスター担体と初期直流磁化したスレーブ媒体を
密着させスレーブ媒体のトラック方向に転写用磁界を印
加させる転写磁界印加手段を有する磁気転写装置であ
る。磁気転写用マスター担体の磁性層の保磁力Ｈcmが４
７．７ｋＡ／ｍ（６００Ｏｅ）以下である前記の磁気転
写装置である。転写を受けるスレーブ媒体の保磁力Ｈcs
が１４３ｋＡ／ｍ（１８００Ｏｅ）以上である前記の磁
気転写装置である。スレーブ媒体にトラック方向磁界を
印加し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために
印加する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向き
である前記の磁気転写装置である。初期直流磁化手段が
スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラッ
ク方向位置で少なくとも１カ所以上有する磁界強度分布
の磁界をトラック方向の一部分で発生させるとともに、
スレーブ媒体あるいは磁界をトラック方向に回転させる
手段を有する前記の磁気転写装置である。
分に磁性層が形成され、磁気転写用マスター担体と転写
を受けるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加
する磁気転写装置において、スレーブ媒体面のトラック
方向に磁界を印加しあらかじめスレーブ担体の磁化をト
ラック方向に初期直流磁化する初期直流磁化手段、磁気
転写用マスター担体と初期直流磁化したスレーブ媒体を
密着させスレーブ媒体のトラック方向に転写用磁界を印
加させる転写磁界印加手段を有する磁気転写装置であ
る。磁気転写用マスター担体の磁性層の保磁力Ｈcmが４
７．７ｋＡ／ｍ（６００Ｏｅ）以下である前記の磁気転
写装置である。転写を受けるスレーブ媒体の保磁力Ｈcs
が１４３ｋＡ／ｍ（１８００Ｏｅ）以上である前記の磁
気転写装置である。スレーブ媒体にトラック方向磁界を
印加し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために
印加する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向き
である前記の磁気転写装置である。初期直流磁化手段が
スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラッ
ク方向位置で少なくとも１カ所以上有する磁界強度分布
の磁界をトラック方向の一部分で発生させるとともに、
スレーブ媒体あるいは磁界をトラック方向に回転させる
手段を有する前記の磁気転写装置である。
【００１５】また、初期直流磁化手段がスレーブ媒体の
保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置で一
方向のみに有しており、逆方向の磁界強度はいずれのト
ラック方向位置でもスレーブの保磁力Ｈcs未満である磁
界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させ、
スレーブ担体あるいは磁界をトラック方向に回転させる
手段を有し、スレーブ担体磁化をトラック方向に初期直
流磁化するための磁界を印加する前記の磁気転写装置で
ある。
保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置で一
方向のみに有しており、逆方向の磁界強度はいずれのト
ラック方向位置でもスレーブの保磁力Ｈcs未満である磁
界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させ、
スレーブ担体あるいは磁界をトラック方向に回転させる
手段を有し、スレーブ担体磁化をトラック方向に初期直
流磁化するための磁界を印加する前記の磁気転写装置で
ある。
【００１６】転写磁界印加手段が、最適転写磁界強度範
囲の最大値を超える磁界強度がいずれのトラック方向位
置でも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度と
なる部分を１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上
有し、これと逆向きのトラック方向の磁界強度がいずれ
のトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲の
最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方向の
一部分で発生させる手段を有し、磁気転写用マスター担
体と初期直流磁化したスレーブ媒体を密着させた状態で
トラック方向に回転させる手段、あるいは磁界をトラッ
ク方向に回転させる手段を有し、スレーブ媒体面のトラ
ック方向に転写用磁界を印加する前記の磁気転写装置で
ある。磁極の軸をスレーブ媒体の上面あるいは下面側の
一方に垂直方向に配設し、磁極の軸に対して対称な磁界
をトラック方向に印加させることができる単一の永久磁
石を有する初期直流磁化手段、およびスレーブ媒体ある
いは永久磁石をトラック方向に回転させる回転手段を有
し、スレーブ媒体をトラック方向に初期直流磁化する機
能を有する前記の磁気転写装置である。
囲の最大値を超える磁界強度がいずれのトラック方向位
置でも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度と
なる部分を１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上
有し、これと逆向きのトラック方向の磁界強度がいずれ
のトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲の
最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方向の
一部分で発生させる手段を有し、磁気転写用マスター担
体と初期直流磁化したスレーブ媒体を密着させた状態で
トラック方向に回転させる手段、あるいは磁界をトラッ
ク方向に回転させる手段を有し、スレーブ媒体面のトラ
ック方向に転写用磁界を印加する前記の磁気転写装置で
ある。磁極の軸をスレーブ媒体の上面あるいは下面側の
一方に垂直方向に配設し、磁極の軸に対して対称な磁界
をトラック方向に印加させることができる単一の永久磁
石を有する初期直流磁化手段、およびスレーブ媒体ある
いは永久磁石をトラック方向に回転させる回転手段を有
し、スレーブ媒体をトラック方向に初期直流磁化する機
能を有する前記の磁気転写装置である。
【００１７】磁極の軸をスレーブ媒体面に対して斜めに
配設しトラック方向の磁界強度分布を非対称化した単一
の永久磁石を有する初期直流磁化手段、およびスレーブ
媒体あるいは永久磁石をトラック方向に回転させる回転
手段を有し、あらかじめスレーブ媒体の磁化をトラック
方向に初期直流磁化する機能を有する前記の磁気転写装
置である。転写磁界印加手段が、スレーブ媒体面に対し
て垂直方向に磁化され、スレーブ媒体の上面あるいは下
面側の一方にスレーブ媒体面に対して斜めに配設しトラ
ック方向の磁界強度分布を非対称化した単一の永久磁石
を有し、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したス
レーブ担体を密着させた状態でトラック方向に回転させ
るか、あるいは磁界をトラック方向に回転させる回転手
段を有し、トラック方向の転写用磁界を印加させ磁気転
写を行う前記の磁気転写装置である。最適転写磁界強度
が０．６×Ｈcs〜１．３×Ｈcsである前記の磁気転写装
置である。
配設しトラック方向の磁界強度分布を非対称化した単一
の永久磁石を有する初期直流磁化手段、およびスレーブ
媒体あるいは永久磁石をトラック方向に回転させる回転
手段を有し、あらかじめスレーブ媒体の磁化をトラック
方向に初期直流磁化する機能を有する前記の磁気転写装
置である。転写磁界印加手段が、スレーブ媒体面に対し
て垂直方向に磁化され、スレーブ媒体の上面あるいは下
面側の一方にスレーブ媒体面に対して斜めに配設しトラ
ック方向の磁界強度分布を非対称化した単一の永久磁石
を有し、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したス
レーブ担体を密着させた状態でトラック方向に回転させ
るか、あるいは磁界をトラック方向に回転させる回転手
段を有し、トラック方向の転写用磁界を印加させ磁気転
写を行う前記の磁気転写装置である。最適転写磁界強度
が０．６×Ｈcs〜１．３×Ｈcsである前記の磁気転写装
置である。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明者らは、磁気転写用マスタ
ー担体とスレーブ媒体とを密着させて外部より転写用磁
界を印加した際に、転写が不安定で信号品位が低下した
部分が生じるのは、転写時に印加する磁界が適切でない
ために信号品位が低下することが原因であることを見い
だし本発明を想到したものである。
ー担体とスレーブ媒体とを密着させて外部より転写用磁
界を印加した際に、転写が不安定で信号品位が低下した
部分が生じるのは、転写時に印加する磁界が適切でない
ために信号品位が低下することが原因であることを見い
だし本発明を想到したものである。
【００１９】磁気転写用マスター担体からスレーブ担体
への磁気転写においては、スレーブ媒体の保持力Ｈcsよ
りも高い外部磁界を印加すると、スレーブの磁化状態が
すべて印加した方向に磁化し、このために本来転写すべ
きパターンの記録が行なわれないと一般には考えられて
いた。例えば、特開平１０−４０５４４号公報において
も、段落番号００６４において、磁気記録媒体の保持力
と同程度以下とすることが好ましいことが記載されてい
る。
への磁気転写においては、スレーブ媒体の保持力Ｈcsよ
りも高い外部磁界を印加すると、スレーブの磁化状態が
すべて印加した方向に磁化し、このために本来転写すべ
きパターンの記録が行なわれないと一般には考えられて
いた。例えば、特開平１０−４０５４４号公報において
も、段落番号００６４において、磁気記録媒体の保持力
と同程度以下とすることが好ましいことが記載されてい
る。
【００２０】しかしながら、本発明者等の検討によって
本方式における磁気転写の原理は図１に示す様に、磁気
転写用マスター担体１のスレーブ媒体４に実質的に接触
している凸の磁性層部分では転写用外部磁界６は、その
凸部分へ吸収される磁界６ａとなり、接触しているスレ
ーブ媒体４の磁性層では記録できる磁界強度とならない
が、磁気転写用マスター担体１のスレーブ媒体４に接触
していない凹の部分に対応するスレーブ媒体４の磁性層
では記録できる磁界強度となり、図の７に示す様に転写
用外部磁界６の方向に磁化され、磁気転写用マスター担
体１のプリフォーマット用パターンをスレーブ媒体４へ
記録情報７として転写することができるものであること
が判明した。
本方式における磁気転写の原理は図１に示す様に、磁気
転写用マスター担体１のスレーブ媒体４に実質的に接触
している凸の磁性層部分では転写用外部磁界６は、その
凸部分へ吸収される磁界６ａとなり、接触しているスレ
ーブ媒体４の磁性層では記録できる磁界強度とならない
が、磁気転写用マスター担体１のスレーブ媒体４に接触
していない凹の部分に対応するスレーブ媒体４の磁性層
では記録できる磁界強度となり、図の７に示す様に転写
用外部磁界６の方向に磁化され、磁気転写用マスター担
体１のプリフォーマット用パターンをスレーブ媒体４へ
記録情報７として転写することができるものであること
が判明した。
【００２１】したがって、磁気転写用マスター担体から
スレーブ媒体への転写の際には、スレーブ媒体と接触し
ている部分は多くの磁界が磁気転写用マスター担体のパ
ターン部に入るために、スレーブ媒体には、保磁力Ｈcs
よりも高い転写磁界を印加しても反転しないものと考え
られる。そして、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsと比較して
特定の関係の強度を有する転写用磁界を適用することに
よって信号品位の高いスレーブ媒体を得ることができ
る。
スレーブ媒体への転写の際には、スレーブ媒体と接触し
ている部分は多くの磁界が磁気転写用マスター担体のパ
ターン部に入るために、スレーブ媒体には、保磁力Ｈcs
よりも高い転写磁界を印加しても反転しないものと考え
られる。そして、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsと比較して
特定の関係の強度を有する転写用磁界を適用することに
よって信号品位の高いスレーブ媒体を得ることができ
る。
【００２２】明瞭な転写をいかなるパターンにおいても
実現するためには、スレーブ媒体をあらかじめ一方向に
十分大きな磁界で、保磁力Ｈcs以上、好ましくはＨcsの
１．２倍以上で初期直流磁化しておき、特定の強度の転
写用磁界、すなわち最適転写磁界強度範囲の磁界を印加
するものであり、好ましい転写用磁界は、 ０．６×Ｈcs≦転写用磁界≦１．３×Ｈcs であり、その向きは初期直流磁化の向きと逆向きに印加
するものである。また、転写用磁界はより好ましくは
０．８〜１．２Ｈcsであり、さらに好ましくは１〜１．
１Ｈcsである。
実現するためには、スレーブ媒体をあらかじめ一方向に
十分大きな磁界で、保磁力Ｈcs以上、好ましくはＨcsの
１．２倍以上で初期直流磁化しておき、特定の強度の転
写用磁界、すなわち最適転写磁界強度範囲の磁界を印加
するものであり、好ましい転写用磁界は、 ０．６×Ｈcs≦転写用磁界≦１．３×Ｈcs であり、その向きは初期直流磁化の向きと逆向きに印加
するものである。また、転写用磁界はより好ましくは
０．８〜１．２Ｈcsであり、さらに好ましくは１〜１．
１Ｈcsである。
【００２３】また、サーボ用のプリフォーマットを行う
磁気記録媒体は、一般には円盤状の記録媒体であり、回
転の中心から同心円状に描かれたトラックに沿って情報
を記録している。このような円盤状磁気記録媒体におい
て、放射状のパターンを転写する磁界印加方法は、スレ
ーブ媒体面のトラック方向、すなわち任意のトラック方
向位置で円弧の接線方向に磁界を印加しあらかじめスレ
ーブ媒体磁化をトラック方向に初期直流磁化する。
磁気記録媒体は、一般には円盤状の記録媒体であり、回
転の中心から同心円状に描かれたトラックに沿って情報
を記録している。このような円盤状磁気記録媒体におい
て、放射状のパターンを転写する磁界印加方法は、スレ
ーブ媒体面のトラック方向、すなわち任意のトラック方
向位置で円弧の接線方向に磁界を印加しあらかじめスレ
ーブ媒体磁化をトラック方向に初期直流磁化する。
【００２４】次いで、磁気転写用マスター担体と上記初
期直流磁化したスレーブ媒体を密着させスレーブ媒体面
のトラック方向に転写用磁界を印加させ磁気転写を行う
が、あらかじめスレーブ媒体にトラック方向磁界を印加
し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために印加
する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向きであ
ることが必要である。
期直流磁化したスレーブ媒体を密着させスレーブ媒体面
のトラック方向に転写用磁界を印加させ磁気転写を行う
が、あらかじめスレーブ媒体にトラック方向磁界を印加
し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために印加
する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向きであ
ることが必要である。
【００２５】したがって円盤状媒体の全面にわたって上
記印加磁界条件の磁界を印加するためには、スレーブ媒
体の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置
で少なくとも１カ所以上有する様な磁界強度分布の磁界
をトラック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒体ある
いは磁界をトラック方向に１周の回転をさせることによ
り初期直流磁化を実現することができる。
記印加磁界条件の磁界を印加するためには、スレーブ媒
体の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置
で少なくとも１カ所以上有する様な磁界強度分布の磁界
をトラック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒体ある
いは磁界をトラック方向に１周の回転をさせることによ
り初期直流磁化を実現することができる。
【００２６】また、スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁
界強度部分をトラック方向位置で一方向のみで有してお
り、逆方向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でも
スレーブ媒体の保磁力Ｈcs未満である様な磁界強度分布
の磁界をトラック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒
体あるいは磁界をトラック方向に１回転させることによ
り、あらかじめスレーブ媒体磁化をトラック方向に初期
直流磁化するための磁界を印加することができる。
界強度部分をトラック方向位置で一方向のみで有してお
り、逆方向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でも
スレーブ媒体の保磁力Ｈcs未満である様な磁界強度分布
の磁界をトラック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒
体あるいは磁界をトラック方向に１回転させることによ
り、あらかじめスレーブ媒体磁化をトラック方向に初期
直流磁化するための磁界を印加することができる。
【００２７】そして、最適転写磁界強度範囲の最大値を
超える磁界強度がいずれのトラック方向位置でも存在せ
ず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１
つのトラック方向で少なくとも一カ所以上存在し、これ
と逆向きのトラック方向の磁界強度がいずれのトラック
方向位置においても最適転写磁界強度範囲の最小値未満
である様な磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分
で発生させ、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化し
たスレーブ担体を密着させた状態でトラック方向に回転
させるかあるいは磁界をトラック方向に回転させること
により、スレーブ媒体面のトラック方向に転写用磁界を
印加することによっても実現できる。
超える磁界強度がいずれのトラック方向位置でも存在せ
ず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１
つのトラック方向で少なくとも一カ所以上存在し、これ
と逆向きのトラック方向の磁界強度がいずれのトラック
方向位置においても最適転写磁界強度範囲の最小値未満
である様な磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分
で発生させ、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化し
たスレーブ担体を密着させた状態でトラック方向に回転
させるかあるいは磁界をトラック方向に回転させること
により、スレーブ媒体面のトラック方向に転写用磁界を
印加することによっても実現できる。
【００２８】また、本発明の方法では、永久磁石の磁極
の軸をスレーブ媒体面に対して斜めに傾斜させて転写磁
界を与えても良く、その場合には、磁極の軸の傾きの最
適値は、磁石の形状により変化するが、直方体状の永久
磁石の場合には、磁極の軸に垂直な面とスレーブ媒体面
とがなす角度θを、５°〜７０°とすることが好まし
く、２０°〜５５°とすることがより好ましい。
の軸をスレーブ媒体面に対して斜めに傾斜させて転写磁
界を与えても良く、その場合には、磁極の軸の傾きの最
適値は、磁石の形状により変化するが、直方体状の永久
磁石の場合には、磁極の軸に垂直な面とスレーブ媒体面
とがなす角度θを、５°〜７０°とすることが好まし
く、２０°〜５５°とすることがより好ましい。
【００２９】初期直流磁化および磁気転写に用いる永久
磁石は、スレーブ媒体の一端のトラックから他端のトラ
ックまでの距離と同程度の大きさ、もしくはその距離よ
りも大きいものが好ましく、円盤状のスレーブ媒体にあ
ってはスレーブ媒体の最外周トラックから最内周トラッ
クまでの半径方向距離と同程度の大きさもしくはその距
離よりも大きいものが好まれる。このような大きさのも
のを用いることによってスレーブ媒体、スレーブ媒体と
磁気転写用マスター担体との密着体、もしくは永久磁石
のいずれかをトラック全長にわたって一方向に移動させ
るか１周の回転をするのみでスレーブ媒体面に均一な磁
界を与えることが可能となる。また、永久磁石を用いて
印加する磁界強度は全トラック位置において均一なもの
が要求され、そのばらつきの大きさは全トラック位置で
±５％以内が好ましく、さらには±２．５％以内とする
ことがより好ましい。
磁石は、スレーブ媒体の一端のトラックから他端のトラ
ックまでの距離と同程度の大きさ、もしくはその距離よ
りも大きいものが好ましく、円盤状のスレーブ媒体にあ
ってはスレーブ媒体の最外周トラックから最内周トラッ
クまでの半径方向距離と同程度の大きさもしくはその距
離よりも大きいものが好まれる。このような大きさのも
のを用いることによってスレーブ媒体、スレーブ媒体と
磁気転写用マスター担体との密着体、もしくは永久磁石
のいずれかをトラック全長にわたって一方向に移動させ
るか１周の回転をするのみでスレーブ媒体面に均一な磁
界を与えることが可能となる。また、永久磁石を用いて
印加する磁界強度は全トラック位置において均一なもの
が要求され、そのばらつきの大きさは全トラック位置で
±５％以内が好ましく、さらには±２．５％以内とする
ことがより好ましい。
【００３０】以下に図面を参照して、転写方法および転
写装置について説明する。図２は、スレーブ媒体面に対
して磁極の中心軸に対称な磁界を有する単一の永久磁石
を用いた転写方法および転写装置を説明する図である。
図２（Ａ）は、スレーブ媒体４の上面に永久磁石８で磁
界を与えた状態でスレーブ媒体を回転する例を示してい
る。スレーブ媒体４の上面に設けた単一の永久磁石８か
ら、図２（Ｂ）に示すようにスレーブ媒体面に対して、
平行なトラック方向磁界９を印加した状態で、スレーブ
媒体あるいは永久磁石をスレーブ媒体の中心軸に対して
トラック方向に回転させるものであり、スレーブ媒体面
に対しては、図２（Ｃ）で示すような、スレーブ媒体の
保磁力Ｈcsを超えるピーク１０を有する磁界が与えられ
て初期直流磁化が行われる。図２に示した例では、スレ
ーブ媒体の上面に設けた例を示したが、下面であっても
良い。
写装置について説明する。図２は、スレーブ媒体面に対
して磁極の中心軸に対称な磁界を有する単一の永久磁石
を用いた転写方法および転写装置を説明する図である。
図２（Ａ）は、スレーブ媒体４の上面に永久磁石８で磁
界を与えた状態でスレーブ媒体を回転する例を示してい
る。スレーブ媒体４の上面に設けた単一の永久磁石８か
ら、図２（Ｂ）に示すようにスレーブ媒体面に対して、
平行なトラック方向磁界９を印加した状態で、スレーブ
媒体あるいは永久磁石をスレーブ媒体の中心軸に対して
トラック方向に回転させるものであり、スレーブ媒体面
に対しては、図２（Ｃ）で示すような、スレーブ媒体の
保磁力Ｈcsを超えるピーク１０を有する磁界が与えられ
て初期直流磁化が行われる。図２に示した例では、スレ
ーブ媒体の上面に設けた例を示したが、下面であっても
良い。
【００３１】そして、スレーブ媒体と磁気転写用マスタ
ー担体とを密着させて、初期直流磁化と逆方向の磁界を
与えることによって磁気転写用マスター担体のパターン
をスレーブ媒体へ転写することができる。また、スレー
ブ媒体面に対して垂直方向に磁化された単一の永久磁石
をスレーブ媒体の上面あるいは下面側の一方にスレーブ
面に対して斜めに配設しトラック方向の磁界強度分布を
非対称化し、スレーブ担体あるいは永久磁石をトラック
方向に回転させることにより、あらかじめスレーブ媒体
磁化をトラック方向に初期直流磁化、あるいは磁気転写
用マスター担体からスレーブ媒体へのパターンの転写を
行っても良い。
ー担体とを密着させて、初期直流磁化と逆方向の磁界を
与えることによって磁気転写用マスター担体のパターン
をスレーブ媒体へ転写することができる。また、スレー
ブ媒体面に対して垂直方向に磁化された単一の永久磁石
をスレーブ媒体の上面あるいは下面側の一方にスレーブ
面に対して斜めに配設しトラック方向の磁界強度分布を
非対称化し、スレーブ担体あるいは永久磁石をトラック
方向に回転させることにより、あらかじめスレーブ媒体
磁化をトラック方向に初期直流磁化、あるいは磁気転写
用マスター担体からスレーブ媒体へのパターンの転写を
行っても良い。
【００３２】図３は、他の磁界の印加方法を説明する図
である。図３（Ａ）は、傾斜磁界の印加を説明する図で
あり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の磁界の印加によって
与えられる磁界の強度を説明する図である。スレーブ媒
体４の表面に対して傾斜永久磁石１１を用いて初期直流
磁界を与える方法を説明するものであり、スレーブ媒体
４に傾斜磁界１２を与えて、スレーブ媒体４または傾斜
永久磁石１１をスレーブ媒体の中心軸に対してトラック
方向に回転させることによって、非対称の磁界が与える
ことによって初期直流磁化するものである。一方の強度
の小さなピーク１３は、スレーブ媒体への初期直流磁化
には何ら影響を与えず、強度の大きなピーク１４のみが
初期直流磁化の作用をすることとなる。
である。図３（Ａ）は、傾斜磁界の印加を説明する図で
あり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の磁界の印加によって
与えられる磁界の強度を説明する図である。スレーブ媒
体４の表面に対して傾斜永久磁石１１を用いて初期直流
磁界を与える方法を説明するものであり、スレーブ媒体
４に傾斜磁界１２を与えて、スレーブ媒体４または傾斜
永久磁石１１をスレーブ媒体の中心軸に対してトラック
方向に回転させることによって、非対称の磁界が与える
ことによって初期直流磁化するものである。一方の強度
の小さなピーク１３は、スレーブ媒体への初期直流磁化
には何ら影響を与えず、強度の大きなピーク１４のみが
初期直流磁化の作用をすることとなる。
【００３３】図４は、他の転写磁界の印加方法を説明す
る図である。図４（Ａ）は、傾斜磁界の印加方法を説明
する図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の磁界の印加
によって与えられる磁界の強度を説明する図である。ス
レーブ媒体４を磁気転写用マスター担体１と密着させた
密着体１５の表面に対して傾斜永久磁石１１を用いて転
写磁界を与える方法を説明するものであり、密着体１５
に傾斜磁界１２を与えて、傾斜永久磁石１１または密着
体１５をその中心軸に対してトラック方向に回転させる
ことによって、初期直流磁化の磁化方向とは反対方向の
磁界が与えられる。
る図である。図４（Ａ）は、傾斜磁界の印加方法を説明
する図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の磁界の印加
によって与えられる磁界の強度を説明する図である。ス
レーブ媒体４を磁気転写用マスター担体１と密着させた
密着体１５の表面に対して傾斜永久磁石１１を用いて転
写磁界を与える方法を説明するものであり、密着体１５
に傾斜磁界１２を与えて、傾斜永久磁石１１または密着
体１５をその中心軸に対してトラック方向に回転させる
ことによって、初期直流磁化の磁化方向とは反対方向の
磁界が与えられる。
【００３４】非対称の磁界のうち強度の小さなピーク１
６は、磁気転写用マスター担体からスレーブ媒体へのパ
ターンの転写には何ら影響を与えず、強度の大きなピー
ク１７のみが、磁気転写に寄与することとなる。また、
強度の大きなピーク１７は、磁気転写用マスター担体か
らスレーブ媒体への最適転写磁界強度範囲の磁界を与え
ることによってパターンの形状に係わらず良好なパター
ンを形成することが可能となる。このように初期直流磁
界および転写磁界の強度を適切な大きさとすることによ
って好ましい転写パターンを形成することが可能とな
る。また、図２ないし図４で示した磁気転写方法に用い
る装置には、スレーブ媒体面と永久磁石との距離を任意
に調整し得る機構が設けられており、スレーブ媒体と永
久磁石との間の距離を調整することにより、スレーブ媒
体面で所望の磁界強度が得られる。
６は、磁気転写用マスター担体からスレーブ媒体へのパ
ターンの転写には何ら影響を与えず、強度の大きなピー
ク１７のみが、磁気転写に寄与することとなる。また、
強度の大きなピーク１７は、磁気転写用マスター担体か
らスレーブ媒体への最適転写磁界強度範囲の磁界を与え
ることによってパターンの形状に係わらず良好なパター
ンを形成することが可能となる。このように初期直流磁
界および転写磁界の強度を適切な大きさとすることによ
って好ましい転写パターンを形成することが可能とな
る。また、図２ないし図４で示した磁気転写方法に用い
る装置には、スレーブ媒体面と永久磁石との距離を任意
に調整し得る機構が設けられており、スレーブ媒体と永
久磁石との間の距離を調整することにより、スレーブ媒
体面で所望の磁界強度が得られる。
【００３５】また、図３および図４に示した装置におい
ては、距離の調整機構に加えて、永久磁石の傾き角度を
任意に調整する機構を設けることによって、初期直流磁
化および磁気転写用磁界と逆向きの磁界強度を所望の磁
界強度となるように調整可能である。図３および図４に
示した方法は、実質的に１つの永久磁石を用いてトラッ
ク方向位置での磁界分布を非対称化するための一例を示
したものにすぎず、永久磁石のスレーブ媒体面側の形状
を変更すること、あるいは複数の小永久磁石を組合せ１
つにブロック化すること、あるいは永久磁石に使用する
磁性材料を不均一化する等の手段によっても同様に磁界
分布を非対称化することが可能となり、図３ないし図４
に示した例と同様の非対称な強度分布の磁界パターンを
形成することができる。
ては、距離の調整機構に加えて、永久磁石の傾き角度を
任意に調整する機構を設けることによって、初期直流磁
化および磁気転写用磁界と逆向きの磁界強度を所望の磁
界強度となるように調整可能である。図３および図４に
示した方法は、実質的に１つの永久磁石を用いてトラッ
ク方向位置での磁界分布を非対称化するための一例を示
したものにすぎず、永久磁石のスレーブ媒体面側の形状
を変更すること、あるいは複数の小永久磁石を組合せ１
つにブロック化すること、あるいは永久磁石に使用する
磁性材料を不均一化する等の手段によっても同様に磁界
分布を非対称化することが可能となり、図３ないし図４
に示した例と同様の非対称な強度分布の磁界パターンを
形成することができる。
【００３６】本発明の磁気転写に使用する磁気転写用マ
スター担体の製造方法について説明する。磁気転写用マ
スター担体用の基板としては、シリコン、石英板、ガラ
ス、アルミニウム等の非磁性金属または合金、セラミッ
クス、合成樹脂等の表面が平滑な板状体であり、エッチ
ング、成膜工程での温度等の処理環境に耐性を有するも
のを用いることができる。表面が平滑な基板にフォトレ
ジストを塗布し、プリフォーマットのパターンに応じた
フォトマスクを用いて露光、現像したり、あるいはフォ
トレジストを直接にけがく等の方法によってフォトレジ
ストにプリフォーマットの情報に応じたパターンを形成
する。
スター担体の製造方法について説明する。磁気転写用マ
スター担体用の基板としては、シリコン、石英板、ガラ
ス、アルミニウム等の非磁性金属または合金、セラミッ
クス、合成樹脂等の表面が平滑な板状体であり、エッチ
ング、成膜工程での温度等の処理環境に耐性を有するも
のを用いることができる。表面が平滑な基板にフォトレ
ジストを塗布し、プリフォーマットのパターンに応じた
フォトマスクを用いて露光、現像したり、あるいはフォ
トレジストを直接にけがく等の方法によってフォトレジ
ストにプリフォーマットの情報に応じたパターンを形成
する。
【００３７】次いで、エッチング工程において、反応性
エツチング、アルゴンプラズマを用いた物理的エッチン
グ、液体を用いたエッチング等の基板に応じたエッチン
グ手段によって、パターンに応じて基板のエッチングを
行う。エッチングによって形成する穴の深さは、転写情
報記録部として形成する磁性層の厚さに相当する深さと
するが、２０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であることが好
ましい。厚すぎると磁界の広がり幅が大きくなるので望
ましくない。形成する穴は、底面が基板の表面に平行な
平面で形成されるような深さが均等な穴を形成すること
が好ましい。また、穴の形状は、面に垂直なトラック方
向の断面が長方形の形状であることが好ましい。
エツチング、アルゴンプラズマを用いた物理的エッチン
グ、液体を用いたエッチング等の基板に応じたエッチン
グ手段によって、パターンに応じて基板のエッチングを
行う。エッチングによって形成する穴の深さは、転写情
報記録部として形成する磁性層の厚さに相当する深さと
するが、２０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であることが好
ましい。厚すぎると磁界の広がり幅が大きくなるので望
ましくない。形成する穴は、底面が基板の表面に平行な
平面で形成されるような深さが均等な穴を形成すること
が好ましい。また、穴の形状は、面に垂直なトラック方
向の断面が長方形の形状であることが好ましい。
【００３８】次いで、磁性材料を真空蒸着法、スパッタ
リング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、
めっき法により形成した穴に対応した厚さで基板の表面
まで磁性材料を成膜する。転写情報記録部の磁気特性
は、抗磁力（Ｈｃ）は１９９ｋＡ／ｍ（２５００Ｏｅ）
以下、好ましくは０．４〜１１９ｋＡ／ｍ（５〜１５０
０Ｏｅ）であり、飽和磁束密度（Ｂｓ）としては、０．
３Ｔ（テスラ）以上、好ましくは０．５Ｔ以上である。
次いで、フォトレジストをリフトオフ法で除去し、表面
を研磨して、ばりがある場合は取り除くとともに、表面
を平坦化する。
リング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、
めっき法により形成した穴に対応した厚さで基板の表面
まで磁性材料を成膜する。転写情報記録部の磁気特性
は、抗磁力（Ｈｃ）は１９９ｋＡ／ｍ（２５００Ｏｅ）
以下、好ましくは０．４〜１１９ｋＡ／ｍ（５〜１５０
０Ｏｅ）であり、飽和磁束密度（Ｂｓ）としては、０．
３Ｔ（テスラ）以上、好ましくは０．５Ｔ以上である。
次いで、フォトレジストをリフトオフ法で除去し、表面
を研磨して、ばりがある場合は取り除くとともに、表面
を平坦化する。
【００３９】以上の説明では、基板に穴を形成し、形成
した穴に磁性材料を成膜する方法について述べたが、フ
ォトファブリーケション法によって基板上の所定の箇所
に、磁性材料を成膜して転写情報記録部の凸部を形成し
た後に、凸部の間に非磁性材料を成膜あるいは充填し、
転写情報記録部と非磁性材料部の表面を同一平面として
も良い。
した穴に磁性材料を成膜する方法について述べたが、フ
ォトファブリーケション法によって基板上の所定の箇所
に、磁性材料を成膜して転写情報記録部の凸部を形成し
た後に、凸部の間に非磁性材料を成膜あるいは充填し、
転写情報記録部と非磁性材料部の表面を同一平面として
も良い。
【００４０】また、磁性層に用いることができる磁性材
料としては、磁束密度が大きなコバルト、鉄あるいはそ
れらの合金を用いることができる。具体的には、Ｃｏ、
ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔ
ＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ、Ｆｅ、ＦｅＣ
ｏ、ＦｅＰｔ等を挙げることができる。また、磁性層の
厚さとしては、２０〜１０００ｎｍであり、好ましくは
３０ないし５００ｎｍである。あまり厚いと記録分解能
が低下する。
料としては、磁束密度が大きなコバルト、鉄あるいはそ
れらの合金を用いることができる。具体的には、Ｃｏ、
ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔ
ＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ、Ｆｅ、ＦｅＣ
ｏ、ＦｅＰｔ等を挙げることができる。また、磁性層の
厚さとしては、２０〜１０００ｎｍであり、好ましくは
３０ないし５００ｎｍである。あまり厚いと記録分解能
が低下する。
【００４１】とくに、磁束密度が大きく、スレーブ媒体
と同じ方向、例えば面内記録の場合には面内方向、垂直
記録の場合には垂直方向の磁気異方性を有していること
が明瞭な転写が行うためには好ましい。磁性材料は、細
かな磁気粒子またはアモルファス構造を有していること
が鋭利なエッジが形成できる点からも好ましい。
と同じ方向、例えば面内記録の場合には面内方向、垂直
記録の場合には垂直方向の磁気異方性を有していること
が明瞭な転写が行うためには好ましい。磁性材料は、細
かな磁気粒子またはアモルファス構造を有していること
が鋭利なエッジが形成できる点からも好ましい。
【００４２】また、磁気材料に磁気異方性を形成するた
めには、非磁性の下地層を設けることが好ましく、結晶
構造と格子常数を磁性層と同様のものとすることが必要
である。具体的には、そのような下地層としては、Ｃ
ｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡ
ｌ、Ｒｕ等をスパッタリングによって成膜することがで
きる。
めには、非磁性の下地層を設けることが好ましく、結晶
構造と格子常数を磁性層と同様のものとすることが必要
である。具体的には、そのような下地層としては、Ｃ
ｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡ
ｌ、Ｒｕ等をスパッタリングによって成膜することがで
きる。
【００４３】また、磁性層の上にダイヤモンド状炭素膜
等の保護膜を設けても良く、潤滑剤を設けても良い。保
護膜として５〜３０ｎｍのダイヤモンド状炭素膜と潤滑
剤が存在することがさらに好ましい。その上に潤滑剤が
設けられていることが必要な理由は、スレーブとの接触
過程で生じるずれを補正する際に摩擦が生じ、潤滑剤層
がないと耐久性が不足するためである。
等の保護膜を設けても良く、潤滑剤を設けても良い。保
護膜として５〜３０ｎｍのダイヤモンド状炭素膜と潤滑
剤が存在することがさらに好ましい。その上に潤滑剤が
設けられていることが必要な理由は、スレーブとの接触
過程で生じるずれを補正する際に摩擦が生じ、潤滑剤層
がないと耐久性が不足するためである。
【００４４】本発明の磁気転写用マスター担体は、ハー
ドディスク、大容量リムーバル型磁気記録媒体等のディ
スク型磁気記録媒体への磁気記録情報の転写のみではな
く、カード型磁気記録媒体、テープ型磁気記録媒体への
磁気記録情報の転写にも用いることができる。
ドディスク、大容量リムーバル型磁気記録媒体等のディ
スク型磁気記録媒体への磁気記録情報の転写のみではな
く、カード型磁気記録媒体、テープ型磁気記録媒体への
磁気記録情報の転写にも用いることができる。
【００４５】
【実施例】以下に実施例を示し、本発明を説明する。 実施例１および比較例１ （磁気転写用マスター担体の作製）真空成膜装置におい
て、室温にて１．３３×１０-5Ｐａ（１０-7Torr）まで
減圧した後に、アルゴンを導入して０．４Ｐａ（３×１
０-3Torr）とした条件下で、シリコン基板上に厚さ２０
０ｎｍのＦｅＣｏ膜を形成し、磁気転写用マスター担体
とした。保磁力Ｈｃは８ｋＡ／ｍ（１００Ｏｅ）、磁束
密度Ｍｓは２８．９Ｔ（２３０００Ｇａｕｓｓ）であっ
た。円盤状パターンを円盤中心から半径方向２０ｍｍ〜
４０ｍｍの位置までの幅１０μの等間隔の放射状ライ
ン、ライン間隔は半径方向２０ｍｍの最内周位置で１０
μｍ間隔とした。
て、室温にて１．３３×１０-5Ｐａ（１０-7Torr）まで
減圧した後に、アルゴンを導入して０．４Ｐａ（３×１
０-3Torr）とした条件下で、シリコン基板上に厚さ２０
０ｎｍのＦｅＣｏ膜を形成し、磁気転写用マスター担体
とした。保磁力Ｈｃは８ｋＡ／ｍ（１００Ｏｅ）、磁束
密度Ｍｓは２８．９Ｔ（２３０００Ｇａｕｓｓ）であっ
た。円盤状パターンを円盤中心から半径方向２０ｍｍ〜
４０ｍｍの位置までの幅１０μの等間隔の放射状ライ
ン、ライン間隔は半径方向２０ｍｍの最内周位置で１０
μｍ間隔とした。
【００４６】（スレーブ媒体の作製）真空成膜装置にお
いて、室温にて１．３３×１０-5Ｐａ（１０-7Torr）ま
で減圧した後に、アルゴンを導入して０．４Ｐａ（３×
１０-3Torr）とした条件下で、ガラス板を２００℃に加
熱し、ＣｏＣｒＰｔ２５ｎｍ，Ｍｓ：５．７Ｔ（４５０
０Ｇａｕｓｓ）、保磁力Ｈcs：１９９ｋＡ／ｍ（２５０
０Ｏｅ）の３．５型の円盤状磁気記録媒体を作製した。
いて、室温にて１．３３×１０-5Ｐａ（１０-7Torr）ま
で減圧した後に、アルゴンを導入して０．４Ｐａ（３×
１０-3Torr）とした条件下で、ガラス板を２００℃に加
熱し、ＣｏＣｒＰｔ２５ｎｍ，Ｍｓ：５．７Ｔ（４５０
０Ｇａｕｓｓ）、保磁力Ｈcs：１９９ｋＡ／ｍ（２５０
０Ｏｅ）の３．５型の円盤状磁気記録媒体を作製した。
【００４７】（磁気転写試験方法）ピーク磁界強度がス
レーブ媒体の表面において、スレーブ媒体の保磁力Ｈcs
の２倍の３８８ｋＡ／ｍ（５０００Ｏｅ）となるよう
に、図２で示したように永久磁石を配置して、スレーブ
媒体の初期直流磁化を行った。次に、初期直流磁化した
スレーブ媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させ
て、図４に示した傾斜した永久磁石を有する装置を用い
てスレーブ媒体の磁化とは逆の方向に印加して磁気転写
を行った。永久磁石の傾斜角は図４において、θで表さ
れるスレーブ媒体との角度は３５°であった。また、磁
気転写用マスター担体とスレーブ媒体の密着は、ゴム板
を挟んでアルミニウム板上から加圧した。
レーブ媒体の表面において、スレーブ媒体の保磁力Ｈcs
の２倍の３８８ｋＡ／ｍ（５０００Ｏｅ）となるよう
に、図２で示したように永久磁石を配置して、スレーブ
媒体の初期直流磁化を行った。次に、初期直流磁化した
スレーブ媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させ
て、図４に示した傾斜した永久磁石を有する装置を用い
てスレーブ媒体の磁化とは逆の方向に印加して磁気転写
を行った。永久磁石の傾斜角は図４において、θで表さ
れるスレーブ媒体との角度は３５°であった。また、磁
気転写用マスター担体とスレーブ媒体の密着は、ゴム板
を挟んでアルミニウム板上から加圧した。
【００４８】（電磁変換特性評価方法）電磁変換特性測
定装置（協同電子製 ＳＳ−６０）によりスレーブ媒体
の転写信号の評価を行った。ヘッドには、再生ヘッドギ
ャップ：０．２４μｍ、再生トラック幅：１．９μｍ、
記録ヘッドギャップ：０．４μｍ、記録トラック幅：
２．４μｍであるＭＲヘッドを使用した。読込信号をス
ペクトロアナライザーで周波数分解し、１次信号のピー
ク強度（Ｃ）と外挿した媒体ノイズ（Ｎ）の差（Ｃ／
Ｎ）を測定した。各磁場強度でのＣ／Ｎのうち、最大値
を０ｄＢとし、相対値（△Ｃ／Ｎ）で評価を行い、表１
に示した。なお、Ｃ／Ｎ値が−２０ｄＢ以下の場合、磁
気転写の信号品位が実用レベルでないため＊で示した。
定装置（協同電子製 ＳＳ−６０）によりスレーブ媒体
の転写信号の評価を行った。ヘッドには、再生ヘッドギ
ャップ：０．２４μｍ、再生トラック幅：１．９μｍ、
記録ヘッドギャップ：０．４μｍ、記録トラック幅：
２．４μｍであるＭＲヘッドを使用した。読込信号をス
ペクトロアナライザーで周波数分解し、１次信号のピー
ク強度（Ｃ）と外挿した媒体ノイズ（Ｎ）の差（Ｃ／
Ｎ）を測定した。各磁場強度でのＣ／Ｎのうち、最大値
を０ｄＢとし、相対値（△Ｃ／Ｎ）で評価を行い、表１
に示した。なお、Ｃ／Ｎ値が−２０ｄＢ以下の場合、磁
気転写の信号品位が実用レベルでないため＊で示した。
【００４９】
【表１】 スレーブ媒体のＨcs １９９ｋＡ／ｍ 転写用磁界の ピーク強度ｋＡ／ｍ Ｈｃｓとの比 △Ｃ／Ｎ（ｄＢ） ５９．７ ０．３ ＊ ９９．５ ０．５ −１６．３ １１９ ０．６ −３．２ １５９ ０．８ −０．６ １７９ ０．９ −０．３ １９９ １．０ −０．１ ２１９ １．１ ０．０ ２３９ １．２ −３．５ ２５９ １．３ −３．８ ２７９ １．４ −１０．２ ２９８ １．５ −１６．９ ３１８ １．６ ＊ ３９８ ２．０ ＊
【００５０】実施例２および比較例２ 保磁力Ｈcsが１９９ｋＡ／ｍ（２５００Ｏｅ）のスレー
ブ媒体に、ピーク磁界強度が２３９ｋＡ／ｍ（３０００
Ｏｅ）、すなわちスレーブ媒体の保磁力のＨcsの１．２
倍の磁界強度でスレーブ媒体の初期直流磁化を行い、次
に初期直流磁化したスレーブ媒体と磁気転写用マスター
担体とを密着させて磁気転写を行った点を除き実施例１
と同様にして磁気転写を行った後に、実施例１における
評価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、その
結果を表２に示す。
ブ媒体に、ピーク磁界強度が２３９ｋＡ／ｍ（３０００
Ｏｅ）、すなわちスレーブ媒体の保磁力のＨcsの１．２
倍の磁界強度でスレーブ媒体の初期直流磁化を行い、次
に初期直流磁化したスレーブ媒体と磁気転写用マスター
担体とを密着させて磁気転写を行った点を除き実施例１
と同様にして磁気転写を行った後に、実施例１における
評価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、その
結果を表２に示す。
【００５１】
【表２】 スレーブ媒体のＨcs １９９ｋＡ／ｍ 転写用磁界の ピーク強度ｋＡ／ｍ Ｈｃｓとの比 △Ｃ／Ｎ（ｄＢ） ５９．７ ０．３ ＊ ９９．５ ０．５ −１３．６ １１９ ０．６ −２．９ １５９ ０．８ −２．１ １７９ ０．９ −０．８ １９９ １．０ ０．０ ２１９ １．１ −０．３ ２３９ １．２ −１．４ ２５９ １．３ −２．４ ２７９ １．４ −１０．２ ２９８ １．５ −１９．６ ３１８ １．６ ＊ ３９８ ２．０ ＊
【００５２】比較例３ 実施例１と同様にして作製した保磁力Ｈcsが１９９ｋＡ
／ｍ（２５００Ｏｅ）のスレーブ媒体に、ピーク磁界強
度が１５９ｋＡ／ｍ（２０００Ｏｅ）、すなわちスレー
ブ媒体の保磁力のＨcsの０．８倍の磁界強度でスレーブ
媒体の初期直流磁化を行い、次に初期直流磁化したスレ
ーブ媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させて図４
に示した装置を用いて磁気転写を行った点を除き実施例
１と同様にして磁気転写を行った後に、実施例１におけ
る評価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、そ
の結果を表３に示す。
／ｍ（２５００Ｏｅ）のスレーブ媒体に、ピーク磁界強
度が１５９ｋＡ／ｍ（２０００Ｏｅ）、すなわちスレー
ブ媒体の保磁力のＨcsの０．８倍の磁界強度でスレーブ
媒体の初期直流磁化を行い、次に初期直流磁化したスレ
ーブ媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させて図４
に示した装置を用いて磁気転写を行った点を除き実施例
１と同様にして磁気転写を行った後に、実施例１におけ
る評価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、そ
の結果を表３に示す。
【００５３】
【表３】 スレーブ媒体のＨcs １９９ｋＡ／ｍ 転写用磁界の ピーク強度ｋＡ／ｍ Ｈｃｓとの比 △Ｃ／Ｎ（ｄＢ） ５９．７ ０．３ ＊ ９９．５ ０．５ ＊ １１９ ０．６ ＊ １５９ ０．８ ＊ １７９ ０．９ ＊ １９９ １．０ ＊ ２１９ １．１ ＊ ２３９ １．２ ＊ ２５９ １．３ ＊ ２７９ １．４ ＊ ２９８ １．５ ＊ ３１８ １．６ ＊ ３９８ ２．０ ＊
【００５４】実施例３および比較例４ 保磁力Ｈcsが１９９ｋＡ／ｍ（２５００Ｏｅ）のスレー
ブ媒体に、ピーク磁界強度が３９９ｋＡ／ｍ（５０００
Ｏｅ）、２３９ｋＡ／ｍ（３０００Ｏｅ）、および１５
９ｋＡ／ｍ（２０００Ｏｅ）となるように、図３に示し
た永久磁石を用いてスレーブ媒体の初期直流磁化を行
い、初期直流磁化した磁気転写用マスター担体とを密着
させて、図４に示す永久磁石を用いて磁界を印加するこ
とによって磁気転写を行った。
ブ媒体に、ピーク磁界強度が３９９ｋＡ／ｍ（５０００
Ｏｅ）、２３９ｋＡ／ｍ（３０００Ｏｅ）、および１５
９ｋＡ／ｍ（２０００Ｏｅ）となるように、図３に示し
た永久磁石を用いてスレーブ媒体の初期直流磁化を行
い、初期直流磁化した磁気転写用マスター担体とを密着
させて、図４に示す永久磁石を用いて磁界を印加するこ
とによって磁気転写を行った。
【００５５】結果は、図２に示す永久磁石を有する装置
の場合と同様の結果が得られた。
の場合と同様の結果が得られた。
【００５６】実施例４および比較例５ 実施例１と同様にして作製した保磁力Ｈcsが１５９ｋＡ
／ｍ（２０００Ｏｅ）のスレーブ媒体に、ピーク磁界強
度が３１８ｋＡ／ｍ（４０００Ｏｅ）、すなわちスレー
ブ媒体の保磁力のＨcsの２倍の磁界強度でスレーブ媒体
の初期直流磁化を行い、次に初期直流磁化したスレーブ
媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させて図４に示
した装置を用いて磁気転写を行った点を除き実施例１と
同様にして磁気転写を行った後に、実施例１における評
価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、その結
果を表４に示す。
／ｍ（２０００Ｏｅ）のスレーブ媒体に、ピーク磁界強
度が３１８ｋＡ／ｍ（４０００Ｏｅ）、すなわちスレー
ブ媒体の保磁力のＨcsの２倍の磁界強度でスレーブ媒体
の初期直流磁化を行い、次に初期直流磁化したスレーブ
媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させて図４に示
した装置を用いて磁気転写を行った点を除き実施例１と
同様にして磁気転写を行った後に、実施例１における評
価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、その結
果を表４に示す。
【００５７】
【表４】 スレーブ媒体のＨcs １５９ｋＡ／ｍ 転写用磁界の ピーク強度ｋＡ／ｍ Ｈｃｓとの比 △Ｃ／Ｎ（ｄＢ） ４７．７ ０．３ ＊ ７９．６ ０．５ −１８．２ ９５．５ ０．６ −４．８ １２７ ０．８ −３．２ １４３ ０．９ −０．１ １５９ １．０ ０．０ １７５ １．１ −０．２ １９１ １．２ −０．８ ２０７ １．３ −２．３ ２２３ １．４ −９．６ ２３９ １．５ −１６．３ ２５５ １．６ ＊ ３１８ ２．０ ＊
【００５８】実施例５および比較例６ 保磁力Ｈcsが１５９ｋＡ／ｍ（２０００Ｏｅ）のスレー
ブ媒体にピーク磁界強度が１９１ｋＡ／ｍ（２４００Ｏ
ｅ）、すなわちスレーブ媒体の保磁力Ｈcsの１．２倍の
磁界強度でスレーブ媒体の初期直流磁化を行った点を除
き、実施例５と同様に初期直流磁化したスレーブ媒体と
磁気転写用マスター担体とを密着させて磁気転写を行同
様に得られた磁気転写パターンを実施例１における評価
方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、その結果
を表５に示す。
ブ媒体にピーク磁界強度が１９１ｋＡ／ｍ（２４００Ｏ
ｅ）、すなわちスレーブ媒体の保磁力Ｈcsの１．２倍の
磁界強度でスレーブ媒体の初期直流磁化を行った点を除
き、実施例５と同様に初期直流磁化したスレーブ媒体と
磁気転写用マスター担体とを密着させて磁気転写を行同
様に得られた磁気転写パターンを実施例１における評価
方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、その結果
を表５に示す。
【００５９】
【表５】 スレーブ媒体のＨcs １５９ｋＡ／ｍ 転写用磁界の ピーク強度ｋＡ／ｍ Ｈｃｓとの比 △Ｃ／Ｎ（ｄＢ） ４７．７ ０．３ ＊ ７９．６ ０．５ −１７．２ ９５．５ ０．６ −４．２ １２７ ０．８ −２．１ １４３ ０．９ −０．７ １５９ １．０ ０．０ １７５ １．１ ０．０ １９１ １．２ −０．６ ２０７ １．３ −４．２ ２２３ １．４ −１３．２ ２３９ １．５ −１９．８ ２５５ １．６ ＊ ３１８ ２．０ ＊
【００６０】実施例６および比較例７ 保磁力Ｈcsが１５９ｋＡ／ｍ（２０００Ｏｅ）のスレー
ブ媒体に、ピーク磁界強度が３１８ｋＡ／ｍ（４０００
Ｏｅ）、１９１ｋＡ／ｍ（２４００Ｏｅ）、および１２
７ｋＡ／ｍ（１６００Ｏｅ）となるように、図３に示し
た永久磁石を用いてスレーブ媒体の初期直流磁化を行
い、初期直流磁化した磁気転写用マスター担体とを密着
させて、図４に示す永久磁石を用いて磁界を印加するこ
とによって磁気転写を行ったところ、図２に示す永久磁
石を有する装置の場合と同様の結果が得られた。
ブ媒体に、ピーク磁界強度が３１８ｋＡ／ｍ（４０００
Ｏｅ）、１９１ｋＡ／ｍ（２４００Ｏｅ）、および１２
７ｋＡ／ｍ（１６００Ｏｅ）となるように、図３に示し
た永久磁石を用いてスレーブ媒体の初期直流磁化を行
い、初期直流磁化した磁気転写用マスター担体とを密着
させて、図４に示す永久磁石を用いて磁界を印加するこ
とによって磁気転写を行ったところ、図２に示す永久磁
石を有する装置の場合と同様の結果が得られた。
【００６１】比較例８ 実施例１と同様にして作製した保磁力Ｈcsが１５９ｋＡ
／ｍ（２０００Ｏｅ）のスレーブ媒体に、ピーク磁界強
度が１２７ｋＡ／ｍ（１６００Ｏｅ）、すなわちスレー
ブ媒体の保磁力のＨcsの０．８倍の磁界強度でスレーブ
媒体の初期直流磁化を行い、次に初期直流磁化したスレ
ーブ媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させて図４
に示した装置を用いて磁気転写を行った点を除き実施例
１と同様にして磁気転写を行った後に、実施例１におけ
る評価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、そ
の結果を表６に示す。
／ｍ（２０００Ｏｅ）のスレーブ媒体に、ピーク磁界強
度が１２７ｋＡ／ｍ（１６００Ｏｅ）、すなわちスレー
ブ媒体の保磁力のＨcsの０．８倍の磁界強度でスレーブ
媒体の初期直流磁化を行い、次に初期直流磁化したスレ
ーブ媒体と磁気転写用マスター担体とを密着させて図４
に示した装置を用いて磁気転写を行った点を除き実施例
１と同様にして磁気転写を行った後に、実施例１におけ
る評価方法と同様にして電磁変換特性の評価を行い、そ
の結果を表６に示す。
【００６２】
【表６】 スレーブ媒体のＨcs １５９ｋＡ／ｍ 転写用磁界の ピーク強度ｋＡ／ｍ Ｈｃｓとの比 △Ｃ／Ｎ（ｄＢ） ４７．７ ０．３ ＊ ７９．６ ０．５ ＊ ９５．５ ０．６ ＊ １２７ ０．８ ＊ １４３ ０．９ ＊ １５９ １．０ ＊ １７５ １．１ ＊ １９１ １．２ ＊ ２０７ １．３ ＊ ２２３ １．４ ＊ ２３９ １．５ ＊ ２５５ １．６ ＊ ３１８ ２．０ ＊
【００６３】
【発明の効果】磁気転写用マスター担体から、スレーブ
媒体への磁気転写において、スレーブ媒体の保磁力Ｈcs
に対して特定の強度の転写用磁界を与えることによって
パターンの位置や形状によらずに高品位の転写パターン
を有するスレーブ媒体を得ることができる。
媒体への磁気転写において、スレーブ媒体の保磁力Ｈcs
に対して特定の強度の転写用磁界を与えることによって
パターンの位置や形状によらずに高品位の転写パターン
を有するスレーブ媒体を得ることができる。
【図１】図１は、磁気転写用マスター担体におけるパタ
ーン転写を説明する図である。
ーン転写を説明する図である。
【図２】図２は、スレーブ媒体面に対して磁極の中心軸
に対称な磁界を有する単一の永久磁石を用いた転写方法
および転写装置を説明する図である。
に対称な磁界を有する単一の永久磁石を用いた転写方法
および転写装置を説明する図である。
【図３】図３は、他の磁界の印加方法を説明する図であ
る。
る。
【図４】図４は、他の磁界の印加方法を説明する図であ
る。
る。
１…磁気転写用マスター担体、２…プリフォーマット領
域、３…データ領域、４…スレーブ媒体、５…トラック
方向、６…転写用外部磁界、６ａ…凸部分へ吸収される
磁界、７…記録情報、８…永久磁石、９…平行なトラッ
ク方向磁界、１０…保磁力Ｈcsを超えるピーク、１１…
傾斜永久磁石、１２…傾斜磁界、１３…強度の小さなピ
ーク、１４…強度の大きなピーク、１５…密着体、１６
…強度の小さなピーク、１７…強度の大きなピーク
域、３…データ領域、４…スレーブ媒体、５…トラック
方向、６…転写用外部磁界、６ａ…凸部分へ吸収される
磁界、７…記録情報、８…永久磁石、９…平行なトラッ
ク方向磁界、１０…保磁力Ｈcsを超えるピーク、１１…
傾斜永久磁石、１２…傾斜磁界、１３…強度の小さなピ
ーク、１４…強度の大きなピーク、１５…密着体、１６
…強度の小さなピーク、１７…強度の大きなピーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西川 正一 神奈川県小田原市扇町２丁目12番１号 富 士写真フイルム株式会社内 Ｆターム(参考） 5D112 AA05 AA24 DD05 DD09 FA02
Claims (22)
- 【請求項１】 基板の表面の情報信号に対応する部分に
磁性層が形成された、磁気転写用マスター担体と転写を
受けるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加す
る磁気転写方法において、スレーブ媒体のトラック方向
に磁界を印加しあらかじめスレーブ媒体の磁化をトラッ
ク方向に初期直流磁化した後、磁気転写用マスター担体
と初期直流磁化したスレーブ媒体を密着させスレーブ媒
体のトラック方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行
うことを特徴とする磁気転写方法。 - 【請求項２】 磁気転写用マスター担体の磁性層の保磁
力Ｈcmが４７．７ｋＡ／ｍ（６００Ｏｅ）以下であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の磁気転写方法。 - 【請求項３】 転写を受けるスレーブ媒体の保磁力Ｈcs
が１４３ｋＡ／ｍ（１８００Ｏｅ）以上であることを特
徴とする請求項１に記載の磁気転写方法。 - 【請求項４】 スレーブ媒体にトラック方向の磁界を印
加し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために印
加する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向きで
あることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写方法。 - 【請求項５】 スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁界強
度部分をトラック方向位置で少なくとも１カ所以上有す
る磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生さ
せ、スレーブ媒体あるいは磁界をトラック方向に回転さ
せることにより、スレーブ媒体磁化をトラック方向に初
期直流磁化するための磁界を印加することを特徴とする
請求項１に記載の磁気転写方法。 - 【請求項６】 スレーブ媒体の保磁力Ｈcs以上の磁界強
度部分をトラック方向位置で一方向のみで有しており、
逆方向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でもスレ
ーブ媒体の保磁力Ｈcs未満である磁界強度分布の磁界を
トラック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒体あるい
は磁界をトラック方向に回転させることにより、スレー
ブ媒体をトラック方向に初期直流磁化するための磁界を
印加することを特徴とする請求項１に記載の磁気転写方
法。 - 【請求項７】 最適転写磁界強度範囲の最大値を超える
磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転
写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラッ
ク方向で少なくとも１カ所以上存在し、これと逆向きの
トラック方向の磁界強度がいずれのトラック方向位置に
おいても最適転写磁界強度範囲の最小値未満である磁界
強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させ、磁
気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレーブ媒体
を密着させた状態でトラック方向に回転させるか、ある
いは磁界をトラック方向に回転させることにより、スレ
ーブ媒体面のトラック方向に転写用磁界を印加すること
を特徴とする請求項１に記載の磁気転写方法。 - 【請求項８】 永久磁石の磁極の軸をスレーブ媒体の上
面あるいは下面側の一方に垂直方向に配設し、磁極の軸
に対して対称な磁界をトラック方向に印加させ、スレー
ブ媒体あるいは永久磁石をトラック方向に回転させるこ
とにより、スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直
流磁化することを特徴とする請求項５に記載の磁気転写
方法。 - 【請求項９】 永久磁石の磁極の軸をスレーブ媒体面に
対して斜めに配設しトラック方向の磁界強度分布を非対
称化し、スレーブ媒体あるいは永久磁石をトラック方向
に回転させることにより、スレーブ媒体の磁化をトラッ
ク方向に初期直流磁化することを特徴とする請求項６に
記載の磁気転写方法。 - 【請求項１０】 永久磁石の磁極の軸をスレーブ媒体面
に対して斜めに配設しトラック方向の磁界強度分布を非
対称化し、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化した
スレーブ媒体を密着させた状態でトラック方向に回転さ
せるかあるいは磁界をトラック方向に回転させることに
より、トラック方向の転写用磁界を印加させ磁気転写を
行うことを特徴とする請求項７に記載の磁気転写方法。 - 【請求項１１】 最適転写磁界強度がスレーブ媒体の保
磁力Ｈcsに対して０．６×Ｈcs〜１．３×Ｈcsであるこ
とを特徴とする請求項７または１０に記載の磁気転写方
法。 - 【請求項１２】 基板の表面の情報信号に対応する部分
に磁性層が形成され、磁気転写用マスター担体と転写を
受けるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加す
る磁気転写装置において、スレーブ媒体面のトラック方
向に磁界を印加しあらかじめスレーブ担体の磁化をトラ
ック方向に初期直流磁化する初期直流磁化手段、磁気転
写用マスター担体と初期直流磁化したスレーブ媒体を密
着させスレーブ媒体のトラック方向に転写用磁界を印加
させる転写磁界印加手段を有することを特徴とする磁気
転写装置。 - 【請求項１３】 磁気転写用マスター担体の磁性層の保
磁力Ｈcmが４７ｋＡ／ｍ（６００Ｏｅ）以下であること
を特徴とする請求項１２に記載の磁気転写装置。 - 【請求項１４】 転写を受けるスレーブ媒体の保磁力Ｈ
csが１４３ｋＡ／ｍ（１８００Ｏｅ）以上であることを
特徴とする請求項１２に記載の磁気転写装置。 - 【請求項１５】 スレーブ媒体にトラック方向磁界を印
加し初期直流磁化させた方向と磁気転写を行うために印
加する転写用磁界とがスレーブ媒体面において逆向きで
あることを特徴とする請求項１２に記載の磁気転写装
置。 - 【請求項１６】 初期直流磁化手段がスレーブ媒体の保
磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置で少な
くとも１カ所以上有する磁界強度分布の磁界をトラック
方向の一部分で発生させるとともに、スレーブ媒体ある
いは磁界をトラック方向に回転させる手段を有すること
を特徴とする請求項１２に記載の磁気転写装置。 - 【請求項１７】 初期直流磁化手段がスレーブ媒体の保
磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置で一方
向のみに有しており、逆方向の磁界強度はいずれのトラ
ック方向位置でもスレーブの保磁力Ｈcs未満である磁界
強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させ、ス
レーブ担体あるいは磁界をトラック方向に回転させる手
段を有し、スレーブ担体磁化をトラック方向に初期直流
磁化するための磁界を印加することを特徴とする請求項
１２に記載の磁気転写装置。 - 【請求項１８】 転写磁界印加手段が、最適転写磁界強
度範囲の最大値を超える磁界強度がいずれのトラック方
向位置でも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強
度となる部分を１つのトラック方向で少なくとも１カ所
以上有し、これと逆方向のトラック方向の磁界強度がい
ずれのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範
囲の最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方
向の一部分で発生させる手段を有し、磁気転写用マスタ
ー担体と初期直流磁化したスレーブ媒体を密着させた状
態でトラック方向に回転させる手段、あるいは磁界をト
ラック方向に回転させる手段を有し、スレーブ媒体面の
トラック方向に転写用磁界を印加することを特徴とする
請求項１２に記載の磁気転写装置 - 【請求項１９】 磁極の軸をスレーブ媒体の上面あるい
は下面側の一方に垂直方向に配設し、磁極の軸に対して
対称な磁界をトラック方向に印加させることができる単
一の永久磁石を有する初期直流磁化手段、およびスレー
ブ媒体あるいは永久磁石をトラック方向に回転させる回
転手段を有し、スレーブ媒体をトラック方向に初期直流
磁化する機能を有することを特徴とする請求項１６に記
載の磁気転写装置。 - 【請求項２０】 磁極の軸をスレーブ媒体面に対して斜
めに配設しトラック方向の磁界強度分布を非対称化した
単一の永久磁石を有する初期直流磁化手段、およびスレ
ーブ媒体あるいは永久磁石をトラック方向に回転させる
回転手段を有し、あらかじめスレーブ媒体の磁化をトラ
ック方向に初期直流磁化する機能を有することを特徴と
する請求項１７に記載の磁気転写装置。 - 【請求項２１】 転写磁界印加手段が、スレーブ媒体面
に対して垂直方向に磁化され、スレーブ媒体の上面ある
いは下面側の一方にスレーブ媒体面に対して斜めに配設
しトラック方向の磁界強度分布を非対称化した単一の永
久磁石を有し、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化
したスレーブ担体を密着させた状態でトラック方向に回
転させるか、あるいは磁界をトラック方向に回転させる
回転手段を有し、トラック方向の転写用磁界を印加させ
磁気転写を行うことを特徴とする請求項１８に記載の磁
気転写装置。 - 【請求項２２】 最適転写磁界強度が０．６×Ｈcs〜
１．３×Ｈcsであることを特徴とする請求項１８または
２１に記載の磁気転写装置。
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