JP2002163823A - 磁気転写装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マスター担体からスレーブ媒体にサーボ信号
のような情報信号の磁気転写を行う磁気転写におけるマ
スター担体とスレーブ媒体との密着性を高めて転写信号
品位を高める。 【解決手段】 情報を担持したマスター担体３とスレー
ブ媒体２とを密着させて転写用磁界を印加して磁気転写
を行うについて、マスター担体３の背面を吸着部材６の
平坦吸着面６ａに吸着保持して該マスター担体３の平坦
性を高めた状態で、マスター担体３とスレーブ媒体２と
を密着させる。片面転写の場合には、スレーブ媒体２の
反対面には弾性体を密着させるのが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報が担持された
マスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体においては一般に、情報量
の増加と共に多くの情報を記録する大容量で安価で、さ
らに好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せるよう
な、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれてい
る。それらの一例として高密度フレキシブルディスクが
知られ、その大容量を実現するためには、狭いトラック
幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を
再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が、大きな
役割を担っている。ディスクの１周の中で、ある間隔で
トラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生
クロック信号等が、いわるプリフォーマットとして記録
されている。

【０００３】磁気ヘッドはこのようなプリフォーマット
の信号を読み取って自らの位置を修正することにより正
確にトラック上を走行することが可能に設定されてい
る。現在のプリフォーマットは、ディスクを専用のサー
ボライト装置を用いて１枚ずつまた１トラックずつ記録
して作成される。

【０００４】しかしながら、サーボライト装置は高価で
あり、またプリフォーマット作成に時間が掛かるため
に、この工程が製造コストの大きな部分を占めることに
なっており、その低コスト化が望まれている。

【０００５】一方、１トラックずつプリフォーマットを
書くのではなく、磁気転写方法によりそれを実現する方
法も提案されている。この磁気転写方法としては、例え
ば特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４０
５４４号公報、特開平１０−２６９５６６号公報等に開
示されている。磁気転写は、マスター担体とスレーブ媒
体を密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター
担体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁
化パターンの転写を行うもので、マスター担体とスレー
ブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記
録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可
能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間であ
る。

【０００６】上記磁気転写における転写品質を高めるた
めには、マスター担体とスレーブ媒体とをいかに隙間な
く密着させることが重要な課題である。つまり密着不良
があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写
が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信
号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサ
ーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られず
に信頼性が低下するという問題がある。

【０００７】この課題の一つの解決手段として、特開平
７−７８３３７号には、マスター担体の背面全体を弾性
体による圧接手段で均等な圧力で押圧してスレーブ媒体
とマスター担体との密着性を高めるようにした技術が開
示されている。

【０００８】また、他の解決手段として、特開平１１−
１６１９５６号には、マスター担体の中心部をスレーブ
媒体側に凸状に湾曲形成し、スレーブ媒体との密着時の
圧接により中心部から外側に向けて順次平坦に変形しつ
つ密着させることで、密着面に空気が残留しないように
排出して密着性を高めるようにした技術が開示されてい
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかして、上記のよう
な解決手段では、マスター担体が基本的に平坦であるこ
とが前提となっており、マスター担体の作成方法等によ
っては、十分な平坦性の確保が困難な場合があり、この
ようなマスター担体においては密着不良の解消が完全で
はなく十分な密着性が得られない場合があった。特に、
スレーブ媒体の両側にマスター担体を密着させて両面同
時に磁気転写を行うものにおいて、両側のマスター担体
の平坦性の差により密着が困難となる。

【００１０】さらに、前記先行例のように圧接段階でマ
スター担体を変形させて平坦度を得るものでは、スレー
ブ媒体表面とマスター担体との間で変形に応じた摩擦が
発生し、マスター担体表面の転写情報を担持した微細凹
凸パターンまたはスレーブ媒体の記録面にダメージを与
える恐れがある。特に、スレーブ媒体としてフレキシブ
ルディスクを使用する場合には、スレーブ媒体の変形を
生起する恐れがある。

【００１１】ところで、マスター担体を転写位置に固定
する際、機械的に外周部などをクランプして固定する
と、マスター担体の一部に力が加えられるため、マスタ
ー担体が変形、または破損する恐れがある。また、マス
ター担体を接着剤で固定すると、接着剤を均一に塗布す
ることが難しく、不均一な接着剤によりマスター担体の
平面度が損なわれると共に、マスター担体を交換する際
に接着剤を剥がすことが難しく、高価なマスター担体の
破損を招く恐れがある。

【００１２】本発明はこのような問題に鑑みなされたも
ので、磁気転写におけるマスター担体の平坦性を確保し
てスレーブ媒体とマスター担体との密着性を高めて転写
信号品位を向上するようにした磁気転写装置を提供する
ことを目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気転写装置
は、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるス
レーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写
を行う磁気転写装置において、前記マスター担体の背面
を吸着保持する平坦面を有する吸着部材を備え、マスタ
ー担体の平坦性を高めた状態でスレーブ媒体と密着させ
ることを特徴とするものである。

【００１４】前記吸着部材は、表面が所定の平坦度を有
し多数の吸引孔が開口した吸着面を有するもの、また
は、表面に微細な吸引孔が開口している吸着面を有する
多孔質部材で構成し、吸着面の吸引孔は吸引通路を経て
真空ポンプに接続されて吸引され、マスター担体を真空
吸着してマスター担体の平坦性を吸着面に沿わせて矯正
する。

【００１５】また、片面転写の場合には、前記スレーブ
媒体の片面に、背面を吸着部材の平坦面に吸着保持して
平坦性を高めたマスター担体を密着させ、スレーブ媒体
の反対面には弾性体を密着させるのが好ましい。

【００１６】前記マスター担体の剛性が低い場合には、
吸引孔の開口間隔を小さくして多数の吸引孔によって全
面を均等に吸引するのが好ましく、特に多孔質部材によ
って吸引するのが好適である。

【００１７】前記吸着部材からマスター担体を引き剥が
す際に、吸引孔に加圧エアーを送給して吸着面からの剥
離を行うのが好ましい。

【００１８】また、マスター担体の外径はスレーブ媒体
の記録領域の外径より大きく、マスター担体の内径はス
レーブ媒体の記録領域の内径より小さく設けるのが好ま
しい。

【００１９】磁気転写を行う際には、スレーブ媒体の磁
化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直
記録なら垂直方向に初期直流磁化しておき、前記マスタ
ー担体と密着させてその初期直流磁化方向と略逆向きの
トラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁
気転写を行うのが好適である。前記情報としてはサーボ
信号が好適である。

【００２０】

【発明の効果】上記のような本発明によれば、マスター
担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写を行う際
に、スレーブ媒体と密着させるマスター担体の背面を平
坦面に吸着してマスター担体の平坦性を高める吸着部材
を備えたことにより、マスター担体の平坦性を向上して
スレーブ媒体との密着性を全面で確保することができ、
密着不良に起因する信号抜けの発生を防止して転写信号
品位を高め信頼性を向上することができる。

【００２１】また、スレーブ媒体とマスター担体との圧
接時にマスター担体の変形がなく、マスター担体とスレ
ーブ媒体との摩擦が発生せず、マスター担体の耐久性が
向上すると共に、スレーブ媒体の変形等によるダメージ
の発生を防止することができる。

【００２２】また、片面転写時には、スレーブ媒体の片
面には背面を吸着部材で保持したマスター担体を密着さ
せ、スレーブ媒体の反対面には弾性体を密着させると、
両面にマスター担体を密着させる際の両側のマスター担
体の平坦性の差による密着性の低下がなく、スレーブ媒
体とマスター担体との密着性をさらに向上することがで
きる。

【００２３】多孔質部材による吸着部材を使用するもの
では、エア吸引構造が簡素化できると共に、表面の吸引
孔が微細となって、剛性の低いマスター担体に対する吸
引保持が、平面度を確保しつつ良好に行える。

【００２４】マスター担体の引き剥がし時に、吸引孔に
加圧エアーを送給すると、マスター担体の剥離が容易に
行える。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図１は本発明の一つの実施の形態にかかる
磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。図２
は第１の実施の形態にかかる密着体の分解斜視図、図３
は第２の実施の形態にかかる密着体の分解斜視図、図４
は第３の実施の形態にかかる密着体の要部断面図であ
る。また、図５はスレーブ媒体とマスター担体との大き
さの関係を示す平面図、図６は磁気転写の基本工程を示
す図である。なお、各図は模式図でありその厚み等は実
際の寸法とは異なる比率で示している。

【００２６】図１および図２に示す磁気転写装置１は面
内記録方式により両面同時転写を行うものであり、スレ
ーブ媒体２の上下にマスター担体３，４を圧接密着させ
た密着体１０を回転させつつ、この密着体１０の上下に
配設した磁界印加装置５（電磁石装置）によって転写用
磁界を印加して、マスター担体３，４に担持した情報を
磁気的にスレーブ媒体２の両面に同時に転写記録する。

【００２７】密着体１０は、スレーブ媒体２の下側記録
面にサーボ信号等の情報を転写する下側マスター担体３
と、スレーブ媒体２の上側記録面にサーボ信号等の情報
を転写する上側マスター担体４と、前記下側マスター担
体３を吸着保持して平坦性を矯正する下側吸着部材６を
備えた下側圧接部材８と、前記上側マスター担体４を吸
着保持して平坦性を矯正する上側吸着部材７（下側吸着
部材６と同構成）を備えた上側圧接部材９とを備え、こ
れらは中心位置を合わせた状態で圧接され、スレーブ媒
体２の両面に下側マスター担体３と上側マスター担体４
とを密着させる。

【００２８】図示のスレーブ媒体２は、円盤状の記録メ
ディア２ａの中心部にハブ２ｂが固着されてなるフレキ
シブルディスクであり、記録メディア２ａはフレキシブ
ルなポリエステルシート等からなる円盤状のベースの両
面に磁性体層が形成された記録面を有する。このスレー
ブ媒体は、ハードディスクであってもよい。

【００２９】前記下側マスター担体３および上側マスタ
ー担体４は、円環状ディスクに形成され、その片面に前
記スレーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸パター
ン（図６により後述する）による転写情報担持面を有
し、これと反対側の面が下側吸着部材６および上側吸着
部材７に真空吸着保持される。この下側マスター担体３
および上側マスター担体４は、必要に応じてスレーブ媒
体２との密着性を高めるために、微細凹凸パターンの形
成部以外の位置でかつ後述の吸着部材６，７の吸引孔に
連通しない位置に微細な孔が表裏を貫通して形成され
て、スレーブ媒体２との密着面間のエアを吸引排出する
ように設けられる。

【００３０】下側吸着部材６（上側吸着部材７も同様）
は、マスター担体３の大きさに対応した円盤状に設けら
れ、その表面が中心線平均表面粗さＲａが０．０１〜
０．１μｍ程度の平面度に平坦に仕上げられた吸着面６
ａに形成されている。この吸着面６ａには、直径約２ｍ
ｍ以下の吸引孔６ｂが約２５〜１００個ほぼ均等に開口
している。図示していないが、この吸引孔６ｂには吸着
部材６の内部から下側圧接部材８の外部に導出された吸
引通路を経て真空ポンプに接続されて吸引され、吸着面
６ａに密着されたマスター担体３の背面を真空吸着し、
該マスター担体３の平坦性を吸着面６ａに沿わせて矯正
する。

【００３１】下側圧接部材８および上側圧接部材９は円
盤状で一方または両方が軸方向に移動可能に設けられて
図示しない開閉機構（押圧機構、締結機構等）によって
開閉作動するものであり、互いに所定の圧力で圧接され
る。外周には鍔部８ａ，９ａを有し閉作動時には上下の
圧接部材８，９の鍔部８ａ、９ａが当接して内部を密閉
状態に保持する。下側圧接部材８の中心部には、スレー
ブ媒体２のハブ２ｂの中心孔に係合して位置決めするピ
ン８ｂが設けられている。また、下側圧接部材８および
上側圧接部材９は図示しない回転機構に連係されて一体
に回転駆動される。

【００３２】上記密着体１０においては、同じ下側マス
ター担体３および上側マスター担体４により複数のスレ
ーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず下
側吸着部材６および上側吸着部材７の吸着面６ａにそれ
ぞれ中心位置を合わせて下側マスター担体３および上側
マスター担体４をそれぞれ真空吸着して保持させてお
く。そして、上側圧接部材９と下側圧接部材８とを離間
した開状態で、予め初期磁化したスレーブ媒体２を中心
位置を合わせてセットした後、上側圧接部材９と下側圧
接部材８とを接近させて閉作動し、スレーブ媒体２の両
面にマスター担体３，４を密着させる。その後、上下の
磁界印加装置５の移動または密着体１０の移動によっ
て、密着体１０の上下面に上下の磁界印加装置５を接近
させ、密着体１０を回転させつつ磁界印加装置５によっ
て転写用磁界を印加して、下側マスター担体３および上
側マスター担体４の転写情報をスレーブ媒体２の記録面
に磁気的に転写記録する。

【００３３】初期磁界および転写用磁界を印加する磁界
印加装置５は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ
媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイ
ルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が上下に配設
されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行に発
生させた転写用磁界を印加する。磁界印加装置５は、片
側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両
側または片側に配設してもよい。また、磁界印加装置５
を回転移動させてもよい。

【００３４】垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の
異なる電磁石または永久磁石をスレーブ媒体２とマスタ
ー担体３との密着体１０の上下に配置し、垂直方向に磁
界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するもの
では、スレーブ媒体２とマスター担体３との密着体１０
を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行
う。

【００３５】本実施の形態によれば、スレーブ媒体２の
両面にマスター担体３，４を密着させる際に、それぞれ
のマスター担体３，４を吸着部材６，７によって平坦度
の高い吸着面に真空吸着することにより、平坦性を矯正
して高めることができる。この平坦な上下のマスター担
体３，４によってスレーブ媒体２を挟むように圧接して
密着させるために、スレーブ媒体２とマスター担体３，
４間に隙間ができることなく全面で均等に密着させるこ
とができ、マスター担体３，４に形成された凹凸パター
ンに正確に対応した磁化パターンをスレーブ媒体２の記
録面に転写記録することができる。また、スレーブ媒体
２と密着する以前にマスター担体３，４は平坦に矯正さ
れていることで、密着時にマスター担体３，４が変形せ
ずスレーブ媒体２との間にコスレが発生せず、ダメージ
の発生がなく耐久性および品質が高められる。

【００３６】図３は第２の実施の形態を示す密着体２０
の分解斜視図であり、片面転写を行う例である。密着体
２０は、スレーブ媒体２の下側記録面にサーボ信号等の
情報を転写する下側マスター担体３と、スレーブ媒体２
の上側記録面に接触する弾性体１１（クッション材）
と、前記下側マスター担体３を吸着保持して平坦性を矯
正する下側吸着部材６を備えた下側圧接部材８と、前記
弾性体１１を保持する上側圧接部材９とを備え、これら
は中心位置を合わせた状態で圧接され、スレーブ媒体２
の片面にマスター担体３を反対面に弾性体１１を密着さ
せる。すなわち、前記図２の実施の形態における上側マ
スター担体４が弾性体１１に変更され、その他は同様に
構成されるが、上側圧接部材８への弾性体１１の保持は
真空吸着またはその他の方法により行う。

【００３７】スレーブ媒体２は、前記と同様の円盤状の
記録メディア２ａの中心部にハブ２ｂが固着されてなる
フレキシブルディスクである（ハードディスクでもよ
い）。また、下側マスター担体３および下側吸着部材６
も前記と同様であり、円環状ディスクに形成され片面に
スレーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸パターン
による転写情報担持面を有するマスター担体３の反対側
の背面が、下側吸着部材６の吸引孔６ｂを有する吸着面
６ａに真空吸着され、マスター担体３の平坦性を吸着面
６ａに沿わせて矯正する。

【００３８】弾性体１１は弾性特性を有する材料により
円盤状に形成され、上側圧接部材９に保持される。前記
弾性体１１の材料は、密着圧力印加時にスレーブ媒体２
の表面形状に追従変形し、マスター担体３からスレーブ
媒体２の引き剥がし時に圧力印加前の表面性に復元する
特性を備えている。弾性体１１の具体的材料としては、
シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジ
エンゴム、テフロン（登録商標）ゴム、バイトンゴムな
ど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが使
用できる。弾性体１１のスレーブ媒体２と接する面の形
状は、マスター担体３と平行な平面形状、またはスレー
ブ媒体２側に凸形状に形成される。

【００３９】本実施形態の密着体２０においては、下側
マスター担体３により複数のスレーブ媒体２に対する磁
気転写を行うものであり、まず下側吸着部材６の吸着面
６ａに中心位置を合わせて下側マスター担体３を真空吸
着して保持しておく。そして、上側圧接部材９と下側圧
接部材８とを離間した開状態で、スレーブ媒体２を中心
位置を合わせてセットした後、上側圧接部材９と下側圧
接部材８とを接近させて閉作動しスレーブ媒体２の片面
にマスター担体３を弾性体１１の押圧により密着させ
る。その後、前記と同様に密着体２０の上下面に上下の
磁界印加装置５を接近させ、密着体２０を回転させつつ
磁界印加装置５によって転写用磁界を印加して、下側マ
スター担体３の転写情報をスレーブ媒体２の片面に磁気
的に転写記録する。その後、別工程でスレーブ媒体２の
反対面に上側マスター担体４を密着させて同様に磁気転
写を行う。

【００４０】本実施の形態によれば、スレーブ媒体２の
片面にマスター担体３を密着させる際に、マスター担体
３を吸着部材６によって平坦度の高い吸着面６ａに真空
吸着することによりその平坦性を矯正して高め、この平
坦な下側マスター担体３に対して反対側の弾性体１１に
よってスレーブ媒体２を挟むように圧接して密着するた
めに、さらにスレーブ媒体２とマスター担体３間に隙間
ができることなく全面で均等に密着することができ、マ
スター担体３に形成された凹凸パターンに正確に対応し
た磁化パターンをスレーブ媒体２の記録面に転写記録す
ることができる。

【００４１】次に、図４は第３の実施の形態を示す密着
体３０の要部断面図である。本実施形態の密着体３０に
おける下側圧接部材１８の吸着部材１６は多孔質部材で
構成され、その他は前述の図２または図３と同様に構成
され、同様の磁気転写が行われるものであり、図２の場
合は上側圧接部材の吸着部材も多孔質部材で構成され
る。

【００４２】吸着部材１６を構成する多孔質部材は、上
面から下面の方向に通気性がある連続気泡を有する剛体
による板状の部材であり、上面の吸着面１６ａが所定の
平坦度に形成されると共に、微細な吸引孔が開口してい
る。

【００４３】下側圧接部材１８の中央部には吸着部材１
６の厚さより深い凹部が形成され、この凹部の上部に吸
着部材１６が固着されている。吸着部材１６の下面と下
側圧接部材１８の凹部底面との間隙が吸引通路１８ｄに
形成され、この吸引通路１８ｄが回転軸部１８ｃを通し
て外部の真空ポンプと接続される。下側圧接部材１８の
外周部には鍔部１８ａが形成されている。

【００４４】本実施形態の密着体３０によれば、多孔質
部材による吸着部材１６の吸着面に中心位置を合わせて
マスター担体３の全面を真空吸着保持し、平坦性を矯正
する。多孔質部材による吸着部材１６はエア吸引構造が
簡素化できると共に、吸着面１６ａの吸引孔が微細とな
って、マスター担体３表面に吸引孔に応じた凹凸が形成
されにくく、特に、剛性の低いマスター担体３に対する
吸引保持が、平面度を確保しつつ良好に行える。

【００４５】前記各実施の形態において、吸着部材６，
１６からマスター担体３を引き剥がす際に、吸引孔に加
圧エアーを送給して剥離を行うのが好ましい。つまり、
真空ポンプによる吸引圧を遮断し、加圧エアーを送給し
てマスター担体３と吸着面６ａ，１６ａとの吸着を開放
する。大気開放するようにしてもよい。これにより、マ
スター担体３の剥離性を向上することができ、マスター
担体３の交換時の傷付き、破損等を防止しつつ作業効率
が向上する。

【００４６】さらに、図５はマスター担体３およびスレ
ーブ媒体２の平面図を示している。マスター担体３は中
心孔３ａを有する円盤状に形成され、転写情報がサーボ
信号の場合は、マスター担体３の情報担持面には、中心
部から等間隔でほぼ放射方向（図示の場合は、若干湾曲
している）に延びる細幅の領域にサーボパターンＰ（転
写パターン）が形成されている。磁気転写によりサーボ
パターンＰに対応する磁化パターンをスレーブ媒体２に
転写記録する。また、スレーブ媒体２は、中心孔２ｃを
有する円盤状であり、内周部および外周部を除く円環状
領域が記録再生を行う記録領域２１に設定され、ヘッド
可動領域となる。

【００４７】そして、マスター担体３の外径Ｄｍは、ス
レーブ媒体２の記録領域２１の外径２１ａより大きく、
好ましくはスレーブ媒体２の外径Ｄｓより大きい。ま
た、マスター担体３の内径ｄｍは、スレーブ媒体２の記
録領域２１の内径２１ｂより小さく、好ましくはスレー
ブ媒体２の内径ｄｓより小さい。つまり、ヘッド可動領
域より外側または内側にマスター担体３の外径Ｄｍまた
は内径ｄｍが位置するようにする。

【００４８】マスター担体３の外径部分および内径部分
は、切削や研削加工された部分であるため、最大数μｍ
の凹凸が生じており、この部分とスレーブ媒体２の記録
領域２１とが磁気転写時の密着で接触すると、スレーブ
媒体２を損傷させる恐れがある。この点、マスター担体
３の外径Ｄｍおよび内径ｄｍを、前述のようにスレーブ
媒体２の記録領域２１（ヘッド可動領域）より外すこと
で、密着時にスレーブ媒体２を損傷することがなく、密
着後のスレーブ媒体２に微小の段差が生じてもヘッドに
衝撃を与えることがなくなる。

【００４９】面内記録による磁気転写の具体例を図６に
基づき説明する。まず図６(ａ)に示すように、予めスレ
ーブ媒体２に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方向に印
加して初期磁化(直流消磁)を施しておく。その後、図６
(ｂ)に示すように、このスレーブ媒体２の記録面（磁気
記録部）とマスター担体３の基板３１の微細凹凸パター
ンに磁性層３２（軟磁性体）が被覆されてなる情報担持
面とを密着させ、スレーブ媒体２のトラック方向に前記
初期磁界Ｈinとは逆方向に転写用磁界Ｈduを印加して磁
気転写を行う。転写用磁界Ｈduが密着突部の磁性層３２
に吸い込まれてこの部分の磁化は反転せず、その他の部
分の磁界が反転する結果、図６(ｃ)に示すように、スレ
ーブ媒体２の磁気記録面（トラック）にはマスター担体
３の情報担持面の磁性層３２の密着突部と凹部空間との
形成パターンに応じた情報が磁気的に転写記録される。
図示してないが、スレーブ媒体２の上記録面に同様に作
成された上側マスター担体４を同時に密着させた場合も
同様に磁気転写が行われる。

【００５０】なお、上記マスター担体３の基板３１の凹
凸パターンが図６のポジパターンと逆の凹凸形状のネガ
パターンの場合であっても、初期磁界Ｈinの方向および
転写用磁界Ｈduの方向を上記と逆方向にすることによっ
て同様の情報が磁気的に転写記録できる。

【００５１】前記基板３１がＮｉなどによる強磁性体の
場合はこの基板３１のみで磁気転写は可能で、前記磁性
層３２（軟磁性体）は被覆しなくてもよいが、転写特性
の良い磁性層３２を設けることでより良好な磁気転写が
行える。基板３１が非磁性体の場合は磁性層３２を設け
ることが必要である。

【００５２】なお、磁性層の上にダイヤモンドライクカ
ーボン（ＤＬＣ）等の保護膜を設けることが好ましく、
潤滑剤層を設けても良い。また保護膜として５〜３０ｎ
ｍのＤＬＣ膜と潤滑剤層が存在することがさらに好まし
い。また、磁性層と保護膜の間に、Ｓｉ等の密着強化層
を設けてもよい。この保護膜により接触耐久性が向上し
多数回の磁気転写が可能となる。

【００５３】次に、前記マスター担体の作成について説
明する。マスター担体の基板としては、ニッケル、シリ
コン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミッ
クス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、
スタンパー法、フォトファブリケーション法等によって
行われる。

【００５４】スタンパー法は、表面が平滑なガラス板
（または石英板）の上にスピンコート等でフォトレジス
トを形成し、このガラス板を回転させながらサーボ信号
に対応して変調したレーザー光（または電子ビーム）を
照射し、フォトレジスト全面に所定のパターン、例えば
各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサー
ボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応
する部分に露光する。その後、フォトレジストを現像処
理し、露光部分を除去しフォトレジストによる凹凸形状
を有する原盤を得る。次に、原盤の表面の凹凸パターン
をもとに、この表面にメッキ（電鋳）を施し、ポジ状凹
凸パターンを有するＮｉ基板を作成し、原盤から剥離す
る。この基板をそのままマスター担体とするか、または
凹凸パターン上に必要に応じて、磁性層、保護膜を被覆
してマスター担体とする。

【００５５】また、前記原盤にメッキを施して第２の原
盤を作成し、この第２の原盤を使用してメッキを行い、
ネガ状凹凸パターンを有する基板を作成してもよい。さ
らに、第２の原盤にメッキを行うか樹脂液を押し付けて
硬化を行って第３の原盤を作成し、第３の原盤にメッキ
を行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作成しても
よい。

【００５６】一方、前記ガラス板にフォトレジストによ
るパターンを形成した後、エッチングしてガラス板に穴
を形成し、フォトレジストを除去した原盤を得て、以下
前記と同様に基板を形成してもよい。

【００５７】金属による基板の材料としては、Ｎｉもし
くはＮｉ合金を使用することができ、この基板を作成す
る前記メッキは、無電解メッキ、電鋳、スパッタリン
グ、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法が適
用できる。基板の凹凸パターンの深さ（突起の高さ）
は、８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲が好ましく、より好ま
しくは１００ｎｍ〜６００ｎｍである。

【００５８】前記磁性層（軟磁性体）の形成は、磁性材
料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティ
ング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜す
る。その磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮ
ｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ
合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡ
ｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（Ｎ
ｉＦｅ）が用いることができる。特に好ましくはＦｅＣ
ｏ、ＦｅＣｏＮｉである。磁性層の厚みは、５０ｎｍ〜
５００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは１００
ｎｍ〜４００ｎｍである。

【００５９】前記原盤を用いて樹脂基板を作成し、その
表面に磁性層を設けてマスター担体としてもよい。樹脂
基板の樹脂材料としては、ポリカーボネート・ポリメチ
ルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル
・塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ
樹脂、アモルファスポリオレフィンおよびポリエステル
などが使用可能である。耐湿性、寸法安定性および価格
などの点からポリカーボネートが好ましい。成形品にバ
リがある場合は、バーニシュまたはポリッシュにより除
去する。また、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを
使用して、原盤にスピンコート、バーコート塗布で形成
してもよい。樹脂基板のパターン突起の高さは、５０〜
１０００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは１０
０〜５００ｎｍの範囲である。

【００６０】前記樹脂基板の表面の微細パターンの上に
磁性層を被覆しマスター担体を得る。磁性層の形成は、
磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ
ーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成
膜する。

【００６１】一方、フォトファブリケーション法は、例
えば、平板状の基板の平滑な表面にフォトレジストを塗
布し、サーボ信号のパターンに応じたフォトマスクを用
いた露光、現像処理により、情報に応じたパターンを形
成する。次いで、エッチング工程により、パターンに応
じて基板のエッチングを行い、磁性層の厚さに相当する
深さの穴を形成する。次いで、磁性材料を真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成
膜手段、メッキ法により、形成した穴に対応した厚さで
基板の表面まで磁性材料を成膜する。次いで、フォトレ
ジストをリフトオフ法で除去し、表面を研磨して、ばり
がある場合は取り除くと共に、表面を平滑化する。

【００６２】垂直記録方式の場合にも、上記面内記録と
ほぼ同様のマスター担体が使用される。この垂直記録の
場合には、スレーブ媒体の磁化を、予め垂直方向の一方
に初期直流磁化しておき、マスター担体と密着させてそ
の初期直流磁化方向と略逆向きの垂直方向に転写用磁界
を印加して磁気転写を行うものであり、この転写用磁界
がマスター担体の密着突部の磁性層に吸い込まれ、密着
突部に対応する部分の垂直磁化が反転し、凹凸パターン
に対応した磁化パターンがスレーブ媒体に記録できる。

【００６３】次にスレーブ媒体について述べる。スレー
ブ媒体は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形
成された高密度フレキシブルディスク、ハードディスク
などの円盤状磁気記録媒体が使用され、その磁気記録部
は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構
成される。金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、
Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣ
ｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ
等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏ
Ｎｉ）を用いることができる。これは磁束密度が大きい
こと、磁界印加方向と同じ方向（面内記録なら面内方
向、垂直記録なら垂直方向）の磁気異方性を有している
ことが、明瞭な転写が行えるため好ましい。そして磁性
材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性をつけるため
に非磁性の下地層を設けることが好ましい。結晶構造と
格子定数を磁性層に合わすことが必要である。そのため
にはＣｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、
ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一つの実施の形態に係る磁気転写装置
の転写状態を示す要部斜視図

【図２】密着体の第１の実施の形態にかかる分解斜視図

【図３】密着体の第２の実施の形態にかかる分解斜視図

【図４】密着体の第３の実施の形態にかかる要部断面図

【図５】マスター担体とスレーブ媒体の寸法関係を示す
平面図

【図６】磁気転写方法の基本工程を示す図

【符号の説明】

１ 磁気転写装置 ２ スレーブ媒体 ３，４ マスター担体 ５ 磁界印加装置 ６，７ 吸着部材 ８，９，18 圧接部材 10 密着体 11 弾性体 16 吸着部材（多孔質部材）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 転写情報を担持したマスター担体と転写
   を受けるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加
   し磁気転写を行う磁気転写装置において、 前記マスター担体の背面を吸着保持する平坦面を有する
   吸着部材を備え、マスター担体の平坦性を高めた状態で
   スレーブ媒体と密着させることを特徴とする磁気転写装
   置。