KR20020062593A - 자기전사용 마스터담체 - Google Patents

Abstract

자기전사용 마스터담체를 이용하는 자기전사에 있어서, 슬레이브매체에 전사되는 자기정보의 신호빠짐의 발생을 방지한다.

마스터담체에 형성되는 요철패턴에 있어서, 볼록부(11)의 트랙피치방향(화살표 Y방향)의 폭(W1)을 트랙피치(P)보다 작게 형성함으로써 전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부를 형성하지 않도록 한다.

Description

자기전사용 마스터담체{MASTER CARRIER FOR MAGNETIC TRANSFER}

본 발명은, 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체 및 그 사용방법에 관한 것이다.

자기기록매체에 있어서는 일반적으로, 정보량의 증가과 함께 많은 정보를 기록하는 대용량이며 싼가격이고, 더욱 바람직하게는 단시간에 필요한 개소를 판독하는, 소위 고속액세스가 가능한 매체가 요망되고 있다. 이들 일예로서 하드디스크장치나 플랙서블 디스크장치에 이용되는 고밀도 자기디스크매체가 알려져 있고, 그대용량을 실현하기 위해서는, 좁은 트랙폭을 정확하게 자기헤드가 조사하고, 높은 S/N비로 신호를 재생하고, 소위 트래킹서보기술이, 큰 역할을 하고 있다. 디스크의 한바퀴 중에서, 어느 간격으로 트래킹용 서보신호, 어드레스정보신호, 재생클럭신호 등이, 소위 프리포맷으로서 기록되어 있고, 자기헤드는 이와 같은 프리포맷의 신호를 판독하여 자기의 위치를 수정함으로써 정확하게 트랙 상을 주행하는 것이 가능하게 설정되어 있다.

일반적인 서보신호(서보패턴)은, 서보프레임 선두부에서 순서대로 프리앰블(동기용 신호), 그레이코드(트랙번호신호), 버스트신호(헤드위치결정신호)로 되고, 이것에 이어서 데이터영역이 설정된다. 상기 버스트신호는, 트랙 중심성보다 1/2트랙폭 어긋나게 하여 기록되는 부분을 보유하고, 그 외의 트랙신호는 트랙중심선 상에 모든 트랙피치폭에서 기록된다. 또한, 데이터영역은 서보신호의 기록폭보다 좁고, 그 내외의 트랙과 인접하는 부분에는 신호가 기록되지 않은 가이드밴드부가 형성되어 있다.

현존, 상기 프리포맷은, 전용 서보기록장치를 이용하고, 디스크 1장씩, 또한 그 1트랙씩 신호를 기록함으로써 작성된다. 서보기록장치는, 예컨대 트랙피치의 75%정도의 헤드폭을 가지는 자기헤드를 구비하고 있고, 우선, 자기헤드를 디스크에 근접시킨 상태로 디스크를 1회전시켜서, 외측 1/2트랙에 상당하는 패턴을 기록하고, 그 후 이 자기헤드를 반트랙피치 내측으로 이동시켜서 디스크의 다음 회전에서 내측 1/2트랙에 상당하는 패턴을 기록함으로써 1트랙만큼의 신호를 형성한다.

상기 서보기록장치는 고가이고, 또한 프리포맷작성에 시간이 걸리기 때문에,이 공정이 제조비용의 큰 부분을 차지하게 되고, 이 저비용화가 요망되고 있다.

여기서, 1트랙씩 프리포맷을 기록하는 것은 아니고, 자기전사에 의해 이것을 실현하는 방법도 제안되고 있다. 예컨대, 일본 특개평10-40544호 및 일본 특개평 10-269566호 등에 자기전사기술이 소개되어 있다. 이 자기전사는, 피자기전사매체인 자기디스크매체 등의 슬레이브매체에 대해서 전사해야할 정보에 대응하는 요철패턴을 보유하는 마스터담체를 준비하고, 이 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시킨 상태로, 전사용 자계를 인가함으로써, 마스터담체의 요철패턴이 담지하는 정보(예컨대 서보신호)에 대응하는 자기패턴을 슬레이브매체에 전사하는 것이므로, 마스터담체와 슬레이브매체의 상대적인 위치를 변화시킴이 없이 정적으로 기록을 행할 수 있고, 정확한 프리포맷기록이 가능하고, 또한 기록에 필요한 시간도 아주 단시간이다.

상기 자기전사에 있어서의 전사품질을 높이기 위해서는, 마스터담체와 슬레이브매체를 어떻게 간격없이 밀착시키는가가 중요하다. 요컨대 밀착불량이면, 자기전사가 일어나지 않는 영역이 생기고, 자기전사가 일어나지 않으면 슬레이브매체에 전사된 자기정보에 신호빠짐이 발생하여 신호품위가 저하하고, 기록한 신호가 서보신호의 경우에는 트래킹기능이 충분히 얻어지지않고 신뢰성이 저하한다라는 문제가 있다.

이 과제의 해결수단으로서, 예컨대, 일본 특개평11-161956호에는, 마스터담체의 중심부를 슬레이브매체측에 볼록형상으로 만곡형성하고, 슬레이브매체의 밀착시의 압접에 의해 중심부로부터 외측으로 향하여 순차 평탄하게 변형하면서 밀착하는 것에서, 밀착면에 공기가 잔류하지 않도록 배출하여 밀착성을 높이도록 한 기술이 개시되어 있다.

그런데, 상기 서보기록장치를 이용하여 서보라이트(servo light)하였을 때에 슬레이브매체에 기록되는 신호패턴과 마찬가지의 신호패턴을 슬레이브매체에 전사하기 위해서, 마스터담체에 형성되는 요철패턴은, 슬레이브매체의 트랙피치(트랙폭)와 마찬가지의 폭의 볼록부와 오목부에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 13에 마스터담체 표면에 형성되는 요철패턴형상의 일부 사시도를 나타내는 바와 같이, 트랙피치방향(화살표 Y방향)으로 트랙피치(P)와 마찬가지의 폭을 보유하는 볼록부(71)가 1개의 트랙 내에, 또는 2개의 트랙에 걸쳐서 형성되어 있다.

이와 같은 볼록부(71)가 트랙방향(화살표X방향) 및 트랙피치방향(화살표Y방향)으로 연속하여 형성되기 때문에, 도 중 사선부로 나타는 바와 같이 볼록부(71)에 네방향이 둘러싸인 오목부(72)가 형성되는 경우가 있다. 이와 같은 볼록부(71)에 네방향이 둘러싸인 오목부(72)가 존재하면, 상기 일본 특개평11-161956호 등과 같은 밀착성을 높이기 위한 기술을 이용한 것으로 하여도, 실제로는, 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시킬 때에, 이 오목부(72)의 둘레의 볼록부(71)가 앞에 슬레이브매체와 밀착하여 버리면 이 오목부(72)가 밀폐되고 이 오목부(72) 내의 공기가 빠져나가지 않고, 이 잔류공기에 의해 결과로서 충분한 밀착성이 얻어지지 않는다라는 문제가 있다.

또한, 상기한 바와 같이 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시킨 상태에서 자기전사를 행하기 위하여, 자기전사 전에, 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시킨 상태에서 위치결정하는 경우가 생기고, 이 위치결정시에 마스터담체와 슬레이브매체가 스치기 때문에, 반복되는 자기전사에 따른 마스터담체의 정보를 담지한 패턴면형상이 마모하여 전사정밀도가 저하한다. 마모하여 전사정밀도가 저하하면 마스터담체의 교환이 필요하게 되지만, 이 마스터담체는 매우 고가이고, 1장의 마스터담체로 몇장의 슬레이브매체에 전사할 수 있는가가 제조비용을 억제함에 있어서 매우 중요한 문제로 된다.

또한, 한편, 마스터담체와 슬레이브매체의 밀착시에 양자간의 일부에서도 밀착불량개소가 생기면 양자의 위치관계의 전면에 미치는 일양성을 유지할 수 없고 전사품질이 저하하게 된다. 또한 경우에 따라서는, 밀착불량개소에서 자기전사가 이루어지지 않은 영역이 생기는 경우가 있고, 슬레이브매체에 전사된 자기정보에 신호빠짐이 발생하여 신호의 기록품질이 저하하고, 기록한 신호가 서보신호의 경우에는 트래킹기능이 충분히 얻어지지 않고 신뢰성이 저하한다라는 문제가 있다.

본 발명은 이와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것이고, 슬레이브매체에 전사되는 자기정보에 신호빠짐이 발생하지 않는 양호한 자기전사를 가능하게 하는 마스터담체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사를 행할 수 있는 수명이 자기전사용 마스터담체 및 그 사용방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은, 슬레이브매체와 마스터담체를 나타내는 사시도이다.

도 2는, 자기전사방법의 기본공정을 나타내는 도이다.

도 3은, 본 발명의 제 1의 실시형태에 관한 마스터담체의 요철패턴형상의 일부를 나타내는 사시도이다.

도 4는, 본 발명의 제 2의 실시형태에 관한 마스터담체의 요철패턴형상의 일부를 나타내는 사시도이다.

도 5는, 본 발명의 일실시형태의 마스터담체를 이용하여 자기전사를 행하는 자기전사장치의 요부사시도이다.

도 6은, 도 1에 나타내는 밀착체의 분해사시도이다.

도 7은, 본 발명의 제 3의 실시형태에 관한 마스터담체의 일부단면도이다.

도 8은, 본 발명의 제 4의 실시형태에 관한 마스터담체의 일부단면도이다.

도 9는, 본 발명의 제 5의 실시형태에 관한 마스터담체의 일부단면도이다.

도 10은, 본 발명의 제 6의 실시형태에 관한 마스터담체의 일부단면도이다.

도 11은, 본 발명의 제 7의 실시형태에 관한 마스터담체의 일부단면도이다.

도 12는, 본 발명의 일실시형태에 관한 마스터담체의 사용방법을 나타내는 도이다.

도 13은, 종래의 마스터담체의 요철패턴형상을 나타내는 사시도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1 … 자기전사장치 2 … 슬레이브매체

3,4 … 마스터담체 3a, 4a … 기판

3b, 4b … 연자성층 5 … 손상된 개소

11, 21, 22 … 볼록부 13, 23, 33, 43, 53 … 마스터담체

13a, 23a, 33a, 43a, 53a … 기판

13b, 23b, 33b, 43b, 53b … 연자성층

15 … 미세한 요철 17, 27, 37, 47, 57 … 거친면

25 … 입상물질 44 … 다공질막

P … 피치

본 발명의 자기전사용 마스터담체는, 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서,

상기 요철패턴이, 전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부를 형성하지 않도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

「전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부를 형성하지 않도록)은, 슬레이브매체와 마스터담체를 밀착시켰을 때, 오목부의 일부에서도 공기가 빠지도록 볼록부가 없는 부분이 있으면 좋고, 예컨대, 상기 요철패턴의 볼록부의 트랙피치방향의 폭을 상기 트랙피치보다도 작게 형성함으로써 달성할 수 있다.

또한, 모든 볼록부의 트랙피치방향의 폭을 상기 트랙피치보다도 작게 형성할 필요는 없으며, 일부의 볼록부의 트랙피치방향의 폭만큼을 트랙피치보다 작게 한 것이어도 좋다. 이 경우, 예컨대, 상기 요철패턴에 있어서, 1개의 트랙 내에 형성되는 볼록부의 트랙피치방향의 폭을 상기 트랙피치보다 작게 하고, 또한, 2개의 인접하는 트랙에 걸쳐서 형성되는 볼록부의 트랙피치방향의 폭을 트랙피치와 대략 동일하게 하여도 좋다.

본 발명의 별도의 자기전사용 마스터담체와, 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서,

상기 요철패턴의 볼록부 표면에 거친면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 상기 거친면은 상기 요철패턴의 볼록부 표면의 일부에 형성된 것이어도 좋고, 전체면에 형성되어 있어도 좋다. 또한, 볼록부 표면뿐만 아니라, 오목부 표면에 형성되어 있어도 지장을 주지 않는다.

상기 자기전사용 마스터담체는, 구체적으로는, 예컨대, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 설치된 연자성층을 구비하여 이루어지고, 상기 거친면이, 상기 기판의 적어도 상기 연자성층이 설치되는 개소에 실시되는 표면처리에 의해 형성된 거친면을 따라서 형성된 것을 들 수 있다. 여기서 기판에 실시된 표면처리는, 예컨대, 연마에 의한 텍스처처리 또는 레이저에 의한 텍스처처리이어도 좋고, 또는, 표면을 부식시키는 처리이어도 좋다.

또한, 상기 본 발명의 별도의 자기전사용 마스터담체는, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 도포된 입상물질과, 이 입상물질 상에 형성된 연자성층을 구비하여 이루어지고, 상기 거친면이, 상기 입상물질이 도포된 상기 볼록부의 표면형상을 따라서 형성된 것이어도 좋다.

또한, 상기 본 발명의 별도의 자기전사용 마스터담체는, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 설치된 연자성층을 구비하여 이루어지고, 상기 거친면이, 상기 연자성층의 형성조건, 즉, 예컨대 스패터링 등의 조건에 의해 제어되는 표면조도에 의해 형성된 것이어도 좋다.

또한, 상기 본 발명의 별도의 자기전사용 마스터담체는, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 설치된 다공질막과, 상기 다공질 상에 형성된 연자성층을 구비하여 이루어지고, 상기 거친면이, 상기 다공질막의 표면형상을 따라서 형성된 것이어도 좋다. 이 경우에는, 상기 다공질막이, 체적비가 30%에서 99%, 표면조도가 Rp=0.0001에서 0.1의 범위인 것이 요망된다.

또한, 상기 각 자기전사용 마스터담체에 있어서는, 상기 거친면이 3㎚에서50㎚이 깊이의 오목부를 보유하는 요철면인 것이 요망된다. 보다 바람직하게는 5㎚에서 20㎚이다.

본 발명의 또 다른 자기전사용 마스터담체는, 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서, 제조직후의 상기 요철패턴의 홈의 깊이가 50㎚에서 1000㎚이고, 상기 요철패턴의 볼록부 표면이, 제조후 사용전에 적어도 한번 연마되어서 사용되는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 또 다른 자기전사용 마스터담체는, 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서, 제조직후의 상기 요철패턴의 홈의 깊이가 50㎚에서 1000㎚이고, 상기 요철패턴의 볼록부 표면이, 사용후 적어도 1번 연마되어서 재사용되는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기에 있어서, 「제조직후」는, 일련의 제조공정이 종료하고, 마스터담체가 자기전사가능한 상태 또한 미사용의 상태를 가리킨다. 따라서, 예컨대, 통상의 마스터담체 제조공정에 있어서, 요철패턴의 볼록부 표면에 버가 있는 경우 등에 실시되는 표면의 연마는 제조공정 중의 연마이고, 상기 제조후의 연마와는 다른 것이다.

또한, 「제조후 사용전」은, 제조직후의 미사용의 상태이어도 좋고, 한번 사용한 후, 다시 사용하기 전이어도 좋다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체의 사용방법은, 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체의 사용방법으로서, 상기 요철패턴의 볼록부 표면을, 제조후 사용전에 적어도 한번 연마하고나서 사용하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 별도의 자기전사용 마스터담체의 사용방법은, 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체의 사용방법으로서, 상기 요철패턴의 볼록부 표면을, 사용후 적어도 한번 연마하여 재사용하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 각 자기전사용 마스터담체의 사용방법으로서는, 상기 요철패턴의 볼록부 표면을, 상기 볼록부 표면의 손상도에 따라서 연마를 사용하는 것으로 하여도 좋다.

여기서, 「손상도에 따라서 연마를 실시하기」는, 경험치를 기초로 몇회 사용했을 때마다, 또는, 몇일 사용하였을 때마다 연마를 실시하는 것이어도 좋고, 상기 볼록부 표면의 상태를 검사하여 연마를 실시하는 것이어도 좋다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체는, 요철패턴이, 전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부를 형성하지 않도록 구성되어 있기 때문에, 슬레이브매체와 밀착시킬 때에, 종래의 마스터담체의 경우에는 상기한 바와 같이 전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부가 존재하기 때문에 오목부에 공기가 잔류하여 밀착성이 저하한다라는 문제가 있지만, 이것을 회피하는 것이 가능하고, 슬레이브매체와의 밀착성을 향상시키는 것이 가능하다. 밀착성의 향상에 의해, 신호빠짐의 발생을 방지하여 전사신호품위를 높이는 것이 가능하다.

본 발명의 별도의 자기전사용 마스터담체는, 슬레이브매체와 접하는 요철패턴의 볼록부 표면에 거친면이 형성되어 있으므로, 종래의 볼록부 표면 전체가 슬레이브매체와 접촉한 경우와 비교하여, 슬레이브매체와의 실접촉면적을 작게 할 수 있기 때문에, 양자의 접촉시, 특히 양자의 위치결정시에 있어서의 마찰계수를 내릴 수 있고, 결과로서, 요철패턴의 마모를 지연시킬 수 있다. 따라서, 마스터담체의 수명이 연장되고, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다.

이것에 의해, 자기전사에 있어서의 비용이 삭감되고, 프리포맷을 마친 슬레이브매체를 저가격으로 제공할 수 있도록 된다.

또한, 게다가, 슬레이브매체와 밀착시켜서 전사한 후, 슬레이브매체와 박리할 때에 박리하기 어렵게 되면 마스터담체 또는 슬레이브매체에 여분의 힘을 가할 필요가 생기고, 이것이 파손의 원인으로 되는 경우도 있지만, 본 발명과 같이 진실접촉면적이 작으면 박리하기 쉽게 되고, 파손의 하나의 원인을 배제하는 효과도 있다.

또한, 거친면을 형성함으로써, 슬레이브매체와 접촉시킬 때에 공기를 빼기 쉽게 되기 때문에, 슬레이브매체와의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이 밀착성의 향상에 의해, 신호빠짐의 발생을 방지하여 전사신호의 기록품질을 높이는 것이 가능하다.

본 발명의 또 다른 자기전사용 마스터담체는, 그 요철패턴의 볼록부 표면이, 제조후 사용전에 적어도 한번 연마되어서 사용되는 것이므로, 요철패턴의 볼록부 표면에 손상이 있은 경우에도 연마에 의해 제거되어서 양호한 표면상태로 사용에 공급된다.

본 발명의 또 다른 자기전사용 마스터담체는, 그 요철패턴의 볼록부 표면이,사용후 적어도 한번 연마되어서 재사용되는 것이므로, 사용에 의한 표면형상의 마모 또는 찌꺼기 등에 의한 손상이 생긴 경우에도 연마에 의해 양호한 표면상태로 재생되어서 사용에 공급된다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체의 사용방법에 의하면, 마스터담체의 요철패턴의 볼록부 표면이, 제조후 사용전에 적어도 한번 연마하고나서 사용하는 것이므로, 요철패턴의 볼록부 표면에 손상이 있은 경우에도 연마에 의해 제거하고나서 사용하게 되고, 양호한 자기전사가 가능하게 된다. 또한, 이것에 의해 마스터담체를 반복사용할 수 있고, 결과로서 마스터담체의 수명이 연장되고, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다. 따라서, 자기전사에 있어서의 비용이 삭감되고, 프리포맷이 끝난 슬레이브매체를 저가격으로 제공할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 자기전사용 마스터담체의 사용방법에 의하면, 마스터담체의 요철패턴의 볼록부 표면이, 사용후 적어도 한번 연마하여 재사용하는 것이므로, 사용에 의한 표면형상의 마모 및 찌꺼기 등에 의한 손상을 포함하는 손상이 요철패턴의 볼록부 표면에 있은 경우에도 연마에 의해 손상된 개소가 제거된 상에서 사용하게 되고, 양호한 자기전사가 가능하게 된다. 또한, 이것에 의해 마스터담체를 반복사용할 수 있고, 결과로서 마스터담체의 수명이 연장되며, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다. 따라서, 자기전사에 있어서의 비용이 삭감되고, 프리포맷이 끝난 슬레이브매체를 저가격으로 제공할 수 있게 된다.

이하, 도면을 이용하여 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 우선, 마스터담체를 이용하여 슬레이브매체로 정보를 전사하는 자기전사의 기본공정을 도 1및 도 2에 기초하여 설명한다.

도 1은, 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3, 4)를 나타내는 사시도이다. 슬레이브매체(2)는, 예컨대, 원반형상의 기록미디어(2a)의 중심부에 허브(2b)가 고정부착되어 이루어진는 플랙서블 디스크이고, 기록미디어(2a)는 플랙서블한 폴리에스테르시트 등의 비자성체로 이루어지는 원반형상의 베이스(2c)의 양면에 자성체층이 형성된 기록면(2d, 2e)을 보유하는 것이다. 여기서는, 예로서, 플랙서블 디스크를 들었지만, 슬레이브매체는 이것에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 마스터담체는 하드디스크로의 자기전사에도 이용할 수 있다.

또한, 마스터담체(3, 4)는, 강체에 의해 원고리형상 디스크에 형성되고, 그 편면에 상기 슬레이브매체(2)의 기록면(2d, 2e)에 밀착되는 미세한 요철패턴이 형성되어 이루어지는 전사정보 담지면을 보유하는 것이다. 마스터담체(3, 4)는 각각 슬레이브매체(2)의 하측기록면(2d), 상측기록면(2e)용 요철패턴이 형성되어 있다. 요철패턴은, 마스터담체(3)를 예로 들면, 도 중 점선으로 둘러싼 도너츠형 영역에 형성되어 있다. 또한, 도 1에 나타내는 마스터담체(3, 4)는, 요철패턴이 형성된 기판(3a, 4a)과 그 요철패턴 상에 형성된 연자성층(3b, 4b)으로 구성되지만, 기판 (3a, 4a)이 Ni 등에 의한 강자성체인 경우에는 기판만으로 자기전사가능하고, 반듯이 자성층(3b, 4b)(연자성층)을 피복하지 않아도 좋다. 단, 전사특성이 양호한 자성층을 설치함으로써 양호한 자기전사를 행할 수 있다. 또한, 기판이 비자성체인 경우는 자성층을 설치할 필요가 있다.

또한 최상층에 다이아몬드 라이크 카아본(DLC) 등의 보호막을 피복하면, 이보호막에 의해 접촉내구성이 향상하고 다수 회의 자기전사가 가능하게 된다. 또는 DLC 보호막의 하층에 Si막을 스패터링 등으로 형성하도록 하여도 좋다.

도 2는, 본 발명에 관한 마스터담체를 사용한 자기전사의 기본공정을 설명하기 위한 도이고, 도 2(a)는 자장을 일방향으로 인가하여 슬레이브매체를 초기직류자화하는 공정, (b)는 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착하여 반대방향 자계를 인가하는 공정(c)은 자기전사후의 상태를 각각 나타내는 도이다. 또한, 도 2에 있어서, 슬레이브매체(2)에 관해서는 그 하면기록면(2d)만을 나타내고 있다.

자기전사방법의 개요는 이하와 같은 것이다. 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 미리 슬레이브매체(2)에 초기자계(Hin)를 트랙방향의 일방향으로 인가하여 초기자화(직류자기소거)를 실시하여 둔다. 그 후, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 이 슬레이브매체(2)의 기록면(2d)과 마스터담체(3)의 기판(3a)의 미세 요철패턴에 자성층(32)이 피복되어 이루어지는 정보담지면을 밀착시키고, 슬레이브매체(2)의 트랙방향으로 상기 초기자계(Hin)와는 역방향으로 전사용 자계(Hdu)를 인가하여 자기전사를 행한다. 그 결과, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이, 슬레이브매체(2)의 자기기록면(트랙)에는 마스터담체(3)의 정보담지면의 요철패턴에 따른 정보(예컨대 서보신호)가 자기적으로 전사기록된다. 여기서는, 슬레이브매체(2)의 하측기록면(2d)과 하측마스터담체(3)에 관해서 설명하였지만, 도 1에 나타내는 바와 같이, 슬레이브매체(2)의 상측 기록면(2e)에 관해서도 상측마스터담체(4)와 밀착시켜서 마찬가지로 자기전사를 행한다. 슬레이브매체(2)의 상하기록면(2d, 2e)으로의 자기전사는 동시에 이루어져도 좋고, 편면씩 순차 이루어져도 좋다.

또한, 마스터담체(3)의 요철패턴이 도 2의 포지패턴과 역의 요철형상의 네가패턴의 경우이어도, 초기자계(Hin)의 방향 및 전사용 자계(Hdu)의 방향을 상기와 역방향으로 함으로써 마찬가지의 정보를 자기적으로 전사기록할 수 있다. 또한, 초기자계 및 전사용 자계는, 슬레이브매체의 보자력, 마스터담체 및 슬레이브매체의 비투자율을 감안하여 정해진 값을 채용할 필요가 있다.

다음에, 본 발명의 실시형태에 관한 마스터담체에 형성되는 요철패턴에 관해서 설명한다. 도 3, 4는 본 발명의 제 1 및 제 2의 실시형태에 관한 마스터담체에 형성되는 요철패턴의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 3에 나타내는 제 1의 실시형태에 관한 마스터담체에 형성되는 요철패턴은, 그 볼록부(11)의 트랙피치방향의 폭(W1)이 트랙피치(P)보다 짧게 형성되어 있다. 따라서, 도 13에 나타낸 종래의 요철패턴시에 생기고 있는 볼록부(71)로 둘러싸인 오목부(72)는, 도 3에 나타내는 마스터담체에 있어서는 존재하지 않는다. 볼록부를 종래의 패턴의 폭(P)보다 작게 형성함으로써, 슬레이브매체 상의 트랙에 있어서 종래보다 폭이 작은 신호가 형성되지만, 이 폭이 슬레이브매체의 신호판독자기헤드의 폭(H)과 동일 정도이면 1개의 트랙 내에 형성되는 신호에 관해서는 C/N의 열화는 없다. 따라서, 형성되는 패턴 중에는, 트랙을 걸치도록 형성되는 신호(예컨대 버스트신호)가 있고, 마스터담체 상에서 2개의 트랙에 걸쳐서 형성되는 볼록부에 대응하는 슬레이브매체 상의 신호에 관해서는, 종래 자기헤드폭의 반정도의 폭의 신호가 1트랙 내에서 판독되고 있지만, 본 실시형태의 경우에는 판독되는 신호폭이 자기헤드의 폭(W)의 1/2보다 작게 되기 때문에 C/N의 열화가 생길 가능성이있다. 그러나, 본 실시형태의 마스터담체는, 슬레이브매체와의 밀착성을 향상하고, 밀착불량에 의해 생기는 신호빠짐을 억제하는 것이고, 일부의 신호의 C/N의 열화는 신호빠짐에 비교하면 문제는 작다.

도 4에 나타내는 제 2의 실시형태에 관한 마스터담체에 형성되는 요철패턴은, 1개의 트랙 내에 형성되는 볼록부(21)에 관해서는, 트랙피치방향의 폭(W2)이 각각 트랙피치(P)보다 짧게 형성되어 있고, 2개의 트랙에 걸쳐서 형성되는 볼록부 (22)에 관해서는, 트랙피치방향의 폭(W3)이 트랙피치(P)와 동일 정도로 형성되어 있다. 이와 같이, 길이가 다른 볼록부를 형성하도록 한 것은, 제 1의 실시형태에 나타낸 요철패턴형상에 있어서 생기는 상기C/N의 열화를 억제하기 위해서이고, 도 4에 나타내는 본 실시형태의 요철패턴형상으로 하면, 마스터담체와 슬레이브매체와의 밀착불량을 생기게 하지 않고, 또한, C/N의 열화도 없는 자기전사를 행할 수 있다.

또한, 본 발명의 자기전사용 마스터담체는, 상기 제 1 및 제 2의 실시형태에 나타낸 요철패턴형상에 한정되는 것이 아니고, 종래의 요철패턴형상 중, 볼록부로 둘러싸인 오목부가 생기는 개소에 관해서, 그 주위의 1개 또는 복수의 볼록부의 일부를 절결한 형상으로 하여, 주위의 적어도 일부에 볼록부가 아닌 부분을 설치하고, 슬레이브매체와의 밀착시에 공기를 빠지게하는 것이 가능하면 좋다.

이하, 구체적인 자기전사방법에 관해서 설명한다. 도 5는 본 발명의 1개의 실시형태에 관한 자기전사장치의 전사상태를 나타내는 요부사시도이다. 도 6은 제 1의 실시형태에 관한 밀착체의 분해사시도이다.

도 5 및 도 6에 나타내는 자기전사장치(1)는 양면 동시 전사를 행하는 것이고, 슬레이브매체(2)의 상하에 마스터담체(3, 4)를 압접밀착시킨 밀착체(10)를 회전시키면서, 이 밀착체(10)의 상하에 배치한 전자석장치(5)(자계발생장치)에 의해서 전사용 자계를 인가하여, 마스터담체(3, 4)에 담지한 정보를 자기적으로 슬레이브매체(2)의 양면에 동시에 전사기록하는 것이다.

밀착체(10)는, 슬레이브매체(2)의 하측기록면에 서보신호 등의 정보를 전사하는 하측마스터담체(3)와, 슬레이브매체(2)의 상측기록면에 서보신호 등의 정보를 전사하는 상측마스터담체(4)와, 상기 하측마스터담체(3)를 흡착지지하여 평탄성을 교정하는 하측교정부재(6)를 구비한 하측압접부재(8)와, 상기 상측마스터담체(4)를 흡착지지하여 평탄성을 교정하는 상측교정부재(7)(하측교정부재(6)와 동일 구성)를 구비한 상측압접부재(9)를 구비하고, 이들은 중심위치를 맞춘 상태로 압접되고, 슬레이브매체(2)의 양면에 하측마스터담체(3)와 상측마스터담체(4)를 밀착시킨다.

상기 하측마스터담체(3) 및 상측마스터담체(4)는, 미세한 요철패턴이 형성된 전사정보담지면과는 반대측의 면이 하측교정부재(6) 및 상측교정부재(7)에 진공흡착지지된다. 이 하측마스터담체(3) 및 상측마스터담체(4)는, 필요에 따라서 슬레이브매체(2)와의 밀착성을 높이기 위하여, 미세한 요철패턴의 형성부 이외의 위치에서 또한 후술의 교정부재(6, 7)의 흡기구멍에 연통하지 않는 위치에 미세한 구멍이 표리를 관통하여 형성되어서, 슬레이브매체(2)와의 밀착면 간의 공기를 흡인배출하도록 설치된다. 이 때, 본 발명의 마스터담체의 상기한 바와 같은 요철패턴형상에 의해 슬레이브매체(2)와의 사이의 공기는 완전히 흡인배출되기 때문에, 밀착성은매우 양호하게 된다.

하측 교정부재(6)(상측교정부재(7)도 마찬가지임)는, 마스터담체(3)의 크기에 대응한 원반형상으로 설치되고, 그 표면이 중심선 평균표면조도(Ra)가 0.01 ~ 0.1㎛정도의 평면도로 평탄하게 마무리한 흡착면(6a)에 설치되어 있다. 이 흡착면 (6a)에는, 직경 약 2mm이하의 흡기구멍(6b)이 약 25 ~ 100개 거의 균등하게 개구하고 있다. 도시하지 않지만, 이 흡기구멍(6b)에는 교정부재(6)의 내부로부터 하측압접부재(8)의 외부로 도출된 흡기통로를 경유하여 진공펌프에 접속되어서 흡인되고, 흡착면(6a)에 밀착된 마스터담체(3)의 배면을 진공흡착하고, 상기 마스터담체(3)의 평탄성을 밀착면(6a)에 맞게하여 교정한다.

하측압접부재(8) 및 상측압접부재(9)는 원반형상으로 일방 또는 양방이 축방향으로 이동가능하게 설치되어서 도시하지 않은 개폐기구(압압기구, 체결기구 등)에 의해서 개폐작동하는 것이고, 서로 소정의 압력으로 압접된다. 외부둘레에는 플랜지부(8a, 9a)를 보유하고 폐쇄작동시에는 상하의 압접부재(8, 9)의 중심부에는, 슬레이브매체(2)의 허브(2b)의 중심구멍에 결합하여 위치결정하는 핀(8b)이 형성되어 있다. 또한, 하측압접부재(8) 및 상측압접부재(9)는 도시하지 않는 회전기구에 연계되어서, 일체로 회전구동된다.

1조의 하측마스터담체(3) 및 상측마스터담체(4)를 이용하여, 복수의 슬레이브매체에 대한 자기전사를 행하기 위해서, 밀착체(10)에 있어서는, 하측교정부재 (6) 및 상측교정부재(7)의 흡착면(6a)에 각각 중심위치를 맞추게하여 하측마스터담체(3) 및 상측마스터담체(4)를 각각 진공흡착하여 지지시켜 두고, 상측압접부재(9)와 하측압접부재(8)를 이간한 개방상태에서, 슬레이브매체(2)의 세트 및 교체를 행한다. 미리 트랙방향의 일방향으로 초기직류자화된 슬레이브매체(2)를 중심위치를 맞추게하여 세트한 후, 상측압접부재(9)와 하측압접부재(8)를 접근시켜서 폐쇄작동하고, 슬레이브매체(2)의 양면에 마스터담체(3, 4)를 밀착시킨다. 그 후, 상하의 전자석장치(5)의 이동 또는 밀착체(10)의 이동에 의해서, 밀착체(10)의 상하면에 상하의 전자석장치(5)를 접근시킨다. 밀착체(10)를 회전시키면서, 슬레이브매체(2)의 초기작화의 방향과 반대의 방향의 전사용 자계(Hdu)를 인가한다. 이 전사용 자계(Hdu)의 인가에 의해, 하측마스터담체(3) 및 상측마스터담체(4)의 요철패턴면이 담지한 전사정보가 슬레이브매체(2)의 기록면에 자기적으로 전사기록된다.

상기한 바와 같이 본 발명의 마스터담체를 이용하면, 슬레이브매체와 마스터담체의 사이에 공기가 잔류하지 않기 때문에 양호한 밀착성을 얻을 수 있고, 자기전사시의 신호빠짐의 발생을 방지하여 전사품위를 높일 수 있다.

또한, 여기서는 양면 동시 전사를 행하는 경우의 실시형태에 관해서 설명하였지만, 편면씩 순차 전사를 행할 수도 있다. 또한, 편면전사는 슬레이브매체와 마스터담체의 위치결정이 용이하다라는 효과가 있다.

마스터담체의 기판으로서는, 니켈, 실리콘, 석영판, 유리, 알루미늄, 합금, 세라믹스, 합성수지 등을 사용한다. 요철패턴의 형성은, 스템퍼법, 포토제작법 등에 의해서 행해진다. 기판의 요철패턴의 깊이(돌기의 높이)는, 80nm ~ 800nm의 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 150nm ~ 600nm이다. 이 요철패턴은 서보신호의 경우는, 반경방향으로 길게 형성된다. 예컨대, 반경방향의 길이는 0.05 ~ 20㎛,원주방향은 0.05 ~ 5㎛이 바람직하고, 이 범위에서 반경방향의 쪽이 긴 패턴을 선택하는 것이 서보신호의 정보를 담지하는 패턴으로서 바람직하다.

연자성층의 자성재료로서는, Co, Co합금(CoNi, CoNiZr, CoNbTaZr 등), Fe, Fe합금(FeCo, FeCoNi, FeNiMo, FeAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, Ni합금(NiFe) 등이 이용된다. 특히 바람직한 것은 FeCo, FeCoNi이다. 이 연자성층은, 자성재료를 진공증착법, 스패터링법, 이온플레이팅법 등의 진공성막수단, 도금법 등에 의해 성막성형된다. 연자성층의 두께는, 50nm ~ 500nm의 범위가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 100nm ~ 400nm,이다.

이하, 마스터담체의 제작에 관해서 보다 상세하게 설명한다. 여기서는, 요철패턴을 보유하는 기판의 성형에 스템퍼법을 이용한 경우의 마스터담체의 제작에 관해서 설명한다.

우선, 표면이 평활한 유리판(또는 석영판)의 위에 스핀코트 등으로 포토레지스트를 형성하고, 이 유리판을 회전시키면서 서보신호에 대응하여 변조한 레이저광 (또는 전자빔)을 조사하고, 포토레지스트 전면에 소정의 패턴, 예컨대 각 트랙에 회전중심으로부터 반경방향으로 선형상으로 연장하는 서보신호에 상당하는 패턴을 원주 상의 각 프레임에 대응하는 부분에 노광하고, 그 후, 포토레지스트를 현상처리하고, 노광부분을 제거하고 포토레지스트에 의한 요철형상을 보유하는 원반을 얻은다. 다음에, 원반의 표면의 요철패턴을 기초로, 이 표면에 도금(전주)을 실시하고, 포지형상 요철패턴을 보유하는 Ni기판을 작성하고, 원반으로부터 박리한다. 이 기판을 그대로 마스터담체로 하거나, 또는 요철패턴 상에 필요에 따라서 비자성층,연자성층, 보호막을 피복하여 마스터담체로 한다.

또한, 상기 원반에 도금을 실시하여 제 2의 원반을 작성하고, 이 제 2의 원반을 사용하여 도금을 행하고, 네가형상 요철패턴을 보유하는 기판을 작성하여도 좋다. 또한, 제 2의 원반에 도금을 행하지만 수지액을 눌러붙여서 경화를 행하여 제 3의 원반을 작성하고, 제 3의 원반에 도금을 행하고, 포지형상 요철패턴을 보유하는 기판을 작성하여도 좋다.

또한, 상기 유리판에 포토레지스트에 의한 패턴을 형성한 후, 에칭하여 유리판에 구멍을 형성하고, 포토레지스트를 제거한 원반을 얻어서, 이하 상기와 마찬가지로 기판을 형성하도록 하여도 좋다.

금속에 의한 기판의 재료로서는, Ni 또는 Ni합금을 사용하는 것이 가능하고, 이 기판을 작성하는 상기 도금은, 무전해도금, 전주, 스패터링, 이온플레이팅을 포함하는 각종 금속성막법이 적용가능하다.

기판이 Ni 등에 의한 강자성체인 경우는 이 기판만으로 자기전사는 가능하지만, 전사특성이 양호한 자성층을 설치함으로써 양호한 자기전사를 행할 수 있다. 또한, 기판이 비자성체인 경우는 자성층을 설치할 필요가 있다.

이 자성층(연자성층)은, 자성재료를 진공증착법, 스패터링법, 이온플레이팅법 등의 진공성막수단, 도금법 등에 의해 성막형성한다.

또한, 상기한 바와 같이, 자성층의 위에 또한 DLC 등의 보호막을 설치하는 것이 바람직하고, 윤활제층을 설치하여도 좋다. 또한 보호막으로서 5 ~30nm의 DLC막과 윤활제층이 존재하는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 자성층과 보호막의 사이에, Si 등의 밀착강화층을 설치하여도 좋다.

상기 원반을 이용하여 수지기판을 제작하고, 그 표면에 자성층을 설치하여 마스터담체로 하여도 좋다. 수지기판의 수지재료로서는, 폴리카보네이트ㆍ폴리메틸메타그릴레이트 등의 아크릴수지, 폴리염화비닐ㆍ염화비닐공중합체 등의 염화비닐수지, 에폭시수지, 아몰파아스폴리올레핀 및 폴리에스테르 등이 사용가능하다. 내습성, 치수안정성 및 가격 등의 점에서 폴리카보네이트가 바람직하다. 성형품에 버가 있는 경우는, 바니시 또는 폴리시에 의해 제거한다. 수지기판의 패턴돌기의 높이는, 50 ~ 1000nm의 범위가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 200 ~ 500nm의 범위이다.

상기 수지기판의 표면의 미세한 패턴의 상에 자성층을 피복하고 마스터담체를 얻는다. 또한, 자성층은, 자성재료를 진공증착법, 스패터링법, 이온플래이팅법 등의 진공성막수단, 도금법 등에 의해 성막형성한다.

다음에, 본 발명의 마스터담체로서, 요철패턴의 볼록부 표면에 거친면이 형성된 실시형태에 관해서 상세하게 설명한다. 도 7 ~ 도 11은 본 발명의 제 3 ~ 제 7의 실시형태에 관한 마스터담체의 일부단면도이다. 도 7 ~ 도 10에 나타내는 제 3 ~ 제 6의 실시형태에 관한 마스터담체의 기판은, 기판표면에 요철패턴이 형성된 것이고, 이 기판은 예컨대 상기 스템퍼법 등에 의해 얻어진 것이다.

도 7에 나타내는 제 3의 실시형태에 관한 마스터담체(13)는, 요철패턴을 보유하는 기판(13a)의 볼록부 표면에, 연마에 의한 텍스처처리 또는 레이저에 의한 텍스처처리를 실시함으로써 형성된 미세한 요철(15)을 보유하고, 그 위에 연자성층(13b)이 형성된 것이다. 즉, 기판(13a)의 볼록부 표면에 형성된 미세한 요철(15)에 따라서 그 상층에 설치된 연자성층(13b)의 표면에 요철면(거친면)(17)이 형성되어 있다.

도 8에 나타내는 제 4의 실시형태에 관한 마스터담체(23)는, 요철패턴을 보유하는 기판(23a)표면에 SiO₂등의 입상물질(25)이 도포되고, 이 입상물질 (25)을 덮도록 하여 연자성층(23b)이 형성되어 이루어지는 것이다. 즉, 기판(23a) 상에 도포된 입상물질(25)에 따른 요철면(거친면)(27)이 연자성층 (23b)의 표면에 형성되어 있다.

도 9에 나타내는 제 5의 실시형태에 관한 마스터담체(33)는, 요철패턴을 보유하는 기판(33a)표면에 스패터링 등에 의해 연자성층(33b)이 형성된 것이지만, 스패터링 등의 연자성층(33b)을 성막할 때의 조건을 바꿈으로써 연자성층(33b) 표면의 조도를 제어하고, 이 표면조도에 의해 요철패턴면에 거친면(37)이 형성된 것이다.

도 10에 나타내는 제 6의 실시형태에 관한 마스터담체(43)는, 요철패턴을 보유하는 기판(43a) 상에 다공질막(44)이 형성되고, 이 다공질막(44) 상에 연자성층 (43b)이 형성된 것이다. 즉, 다공질막(44)의 상층에 설치된 연자성층(43b)의 표면에는, 상기 다공질막(44)의 표면형상(45)에 따른 거친면(47)이 형성되어 있다. 이 다공질막(44)의 체적비는 30% ~ 99%, 표면조도는 Rp가 0.0001 ~ 0.1의 범위인 것이 요망된다.

또한, 이 다공질막은 기판 상에 기판과는 다른 재료의 것으로 형성하여도 좋고, 예컨대, 니켈, 실리콘, 석영판, 유리, 알루미늄, 합금, 세라믹스, 합성수지 등에 의해 형성된 기판의 요철패턴표면을 다공질막화시켜서 형성하여도 좋다. 이 다공질막화의 방법으로서는, 소결이나 주조를 들수 있지만, 보다 미세한 요철을 형성하기 위해서, 주형의 상에 전기적, 화학적으로 석출시키는 방법이나, 표면에 폴리머용액 등을 도포하고 그 후 에칭을 행하는 방법 등을 들 수 있다.

도 11에 나타내는 제 7의 실시형태에 관한 마스터담체(53)는, 평판한 기판(53a) 상에 연자성층(53b)에 의한 요철패턴이 형성되어 이루어지는 것이다. 이와 같이, 마스터담체의 요철패턴을 연자성층(53b)에 의해 구성할 수도 있다. 이 마스터담체(53)는, 평판기판(53a) 상에 상기 제 3의 실시형태의 경우와 마찬가지로 적당한 성막조건으로 연자성층(53b)을 성막함으로써 연자성층(53b) 표면에 거친면 (57)을 형성하고, 그 후, 예컨대 포토제작법에 의해 요철패턴을 혀성한 것이다. 또한, 거친면을 형성하기 위해서, 상기 제 3, 제 4 또는 제 6의 실시형태에 관한 마스터담체의 경우와 마찬가지로, 기판표면에 텍스처처리를 실시하고, 기판과 연자성층과의 사이에 입상물질을 도포하고, 또는 기판과 연자성층과의 사이에 다공질막을 설치하는 등을 행하여도 좋다.

상기 각 실시형태에 있어서, 요철패턴의 표면에 형성된 거친면이 요철면형상으로 되어 있는 경우, 상기 거친면의 오목부의 깊이가 3nm ~ 50nm정도인 것이 요망되며, 더욱 바람직하게는 5nm ~ 20nm이다.

또한, 상기 각 실시형태에 관한 마스터담체에 있어서는, 연자성층 표면에 보호막을 설치하여도 좋다. 연자성층 상에 보호막을 설치한 경우에도, 상기한 바와 같은 연자성층 표면의 거친면을 따라서, 최상층으로 되는 보호막 표면에 거친면이 형성되게 되고, 결과로서 요철패턴의 적어도 볼록부 표면에 보유하는 마스터담체를 얻을 수 있다.

상기 본 발명의 실시형태에 관한 각 마스터담체를 이용하여 상기 자기전사를 행하면, 그 요철패턴의 볼록부 표면에 있는 거친면에 의해, 슬레이브매체와의 위치결정시에는 진실접촉면적이 종래보다 작기 때문에 양자간의 마모계수가 작고 요철패턴의 마모가 지연가능하고, 밀착시에는 공기가 쉽게 빠지고 양호한 밀착성을 얻을 수 있고, 또한, 자기전사후의 양자를 용이하게 박리할 수 있다. 따라서, 마스터담체의 수명을 길게 할 수 있고, 또한, 양호한 자기전사를 행할 수 있다.

다음에, 도 12를 참조하여 본 발명의 마스터담체의 사용방법을 설명한다. 도 12(a)는 제조직후의 마스터담체, 도 12(b)는 반복사용하고, 표면이 손상한 마스터담체, 도 12(c)는 동 도(b)의 표면을 연마하여 재사용가능한 상태로 된 마스터담체의 각각 일부단면도이다.

마스터담체(3)는 도 12(a)에 나타내는 바와 같이 그 요철패턴의 깊이(d)가 50nm ~ 1000nm정도로 형성되어 있다. 이 마스터담체(3)를 이용하여, 도 1에 나타내어 설명한 바와 같이 자기전사를 행한다. 복수의 슬레이브매체에 대해서 반복 자기전사를 행하는 중에, 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 마스터담체(3)의 요철패턴의 볼록부 표면에는, 슬레이브매체와의 위치결정시의 마찰이나, 표면에 부착하는 찌꺼기 등에 의해 손상(5)이 생긴다. 이와 같이 표면에 손상이 생기고, 또한 각이 둥근볼록부로 된 마스터담체를 이용하여 자기전사를 행하면 전사정밀도가 매우 나쁘게 된다. 종래는 이와 같은 상태로 되면 이 마스터담체는 새로운 마스터담체와 교환되게 되어 있었다.

그러나, 본 발명의 마스터담체의 사용방법에 있어서는, 손상을 받은 볼록부 표면을 연마함으로써 마스터담체(3)를 재사용가능하게 한다. 도 12(b)의 볼록부 표면을 그 손상된 개소(5)가 제거되는 정도까지(도 중 점선으로 나타내는 위치근방까지) 연마한다.

볼록부 표면의 연마에 의해 도 12(c)와 같이 손상이 없는 양호한 볼록부 표면을 보유하는 마스터담체를 재생하고, 이것을 재사용한다. 연마에 의해 요철패턴의 깊이는 작게 되지만, 이 깊이가 5nm ~ 10nm정도로 되기까지 반복사용가능하다. 단, 요철패턴의 깊이의 최저한도는 요철패턴의 트랙폭방향의 폭에 의존하기 때문에 일률적으로는 규정할 수 없다.

이와 같이, 요철패턴의 볼록부 표면을 연마하여 재사용함으로써, 마스터담체의 수명을 연장하고, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다. 또한, 요철패턴의 볼록부 표면의 연마는, 경험적으로 얻어진다. 마스터담체의 사용회수 또는 사용기간 등에 따른 손상도에 의해 정기적으로 행하여도 좋고, 볼록부 표면의 상태를 정기적으로 검사하고, 그 결과를 기초로 필요에 따라서 행하도록 하여도 좋다.

또한, 기판의 상층에 자성층, 보호층 등을 구비하고 있는 마스터담체에 관해서는, 연마에 의해 이들 상층이 깍여지기 때문에, 다시 피막할 필요가 있다. 그런,기판으로부터 마스터담체를 제조하는 경우와 비교하여, 비용도 수고도 삭감할 수 있다.

또한, 상기 마스터담체의 사용방법은, 제조후 사용한 것에 의해 생긴 손상을 받은 경우의 재생 및 재사용에 관해서의 것이지만, 마스터담체 제조후 미사용의 상태에서도, 제조공정에 있어서 또는 보존상태에 의해 요철패턴의 볼록부 표면에 손상을 받고, 그 때문에 전사정밀도가 저하하는 경우가 있을 수 있다.

본 발명의 다른 마스터담체의 사용방법에의하면, 제조후 사용전에 표면을 연마하여 표면을 양호한 상태로 한 상에서 사용한다. 즉, 상기한 바와 같이 제조후 미사용상태에서 표면에 손상이 있은 경우에도 이것을 연마에 의해 제거하여 사용하는 것에서 양호한 자기전사가 가능하게 되고, 또한, 더욱 이 연마와 사용을 반복적으로 행함으로써 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체는, 요철패턴이, 전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부를 형성하지 않도록 구성되어 있기 때문에, 슬레이브매체와 밀착시킬 때에, 종래의 마스터담체의 경우에는 상기한 바와 같이 전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부가 존재하기 때문에 오목부에 공기가 잔류하여 밀착성이 저하한다라는 문제가 있지만, 이것을 회피하는 것이 가능하고, 슬레이브매체와의 밀착성을 향상시키는 것이 가능하다. 밀착성의 향상에 의해, 신호빠짐의 발생을 방지하여 전사신호품위를 높이는 것이 가능하다.

본 발명의 별도의 자기전사용 마스터담체는, 슬레이브매체와 접하는 요철패턴의 볼록부 표면에 거친면이 형성되어 있으므로, 종래의 볼록부 표면 전체가 슬레이브매체와 접촉한 경우와 비교하여, 슬레이브매체와의 실접촉면적을 작게 할 수 있기 때문에, 양자의 접촉시, 특히 양자의 위치결정시에 있어서의 마찰계수를 내릴 수 있고, 결과로서, 요철패턴의 마모를 지연시킬 수 있다. 따라서, 마스터담체의 수명이 연장되고, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다.

이것에 의해, 자기전사에 있어서의 비용이 삭감되고, 프리포맷을 마친 슬레이브매체를 저가격으로 제공할 수 있도록 된다.

또한, 게다가, 슬레이브매체와 밀착시켜서 전사한 후, 슬레이브매체와 박리할 때에 박리하기 어렵게 되면 마스터담체 또는 슬레이브매체에 여분의 힘을 가할 필요가 생기고, 이것이 파손의 원인으로 되는 경우도 있지만, 본 발명과 같이 진실접촉면적이 작으면 박리하기 쉽게 되고, 파손의 하나의 원인을 배제하는 효과도 있다.

또한, 거친면을 형성함으로써, 슬레이브매체와 접촉시킬 때에 공기를 빼기 쉽게 되기 때문에, 슬레이브매체와의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이 밀착성의 향상에 의해, 신호빠짐의 발생을 방지하여 전사신호의 기록품질을 높이는 것이 가능하다.

본 발명의 또 다른 자기전사용 마스터담체는, 그 요철패턴의 볼록부 표면이, 제조후 사용전에 적어도 한번 연마되어서 사용되는 것이므로, 요철패턴의 볼록부 표면에 손상이 있은 경우에도 연마에 의해 제거되어서 양호한 표면상태로 사용에 공급된다.

본 발명의 또 다른 자기전사용 마스터담체는, 그 요철패턴의 볼록부 표면이, 사용후 적어도 한번 연마되어서 재사용되는 것이므로, 사용에 의한 표면형상의 마모 또는 찌꺼기 등에 의한 손상이 생긴 경우에도 연마에 의해 양호한 표면상태로 재생되어서 사용에 공급된다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체의 사용방법에 의하면, 마스터담체의 요철패턴의 볼록부 표면이, 제조후 사용전에 적어도 한번 연마하고나서 사용하는 것이므로, 요철패턴의 볼록부 표면에 손상이 있은 경우에도 연마에 의해 제거하고나서 사용하게 되고, 양호한 자기전사가 가능하게 된다. 또한, 이것에 의해 마스터담체를 반복사용할 수 있고, 결과로서 마스터담체의 수명이 연장되고, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다. 따라서, 자기전사에 있어서의 비용이 삭감되고, 프리포맷이 끝난 슬레이브매체를 저가격으로 제공할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 자기전사용 마스터담체의 사용방법에 의하면, 마스터담체의 요철패턴의 볼록부 표면이, 사용후 적어도 한번 연마하여 재사용하는 것이므로, 사용에 의한 표면형상의 마모 및 찌꺼기 등에 의한 손상을 포함하는 손상이 요철패턴의 볼록부 표면에 있은 경우에도 연마에 의해 손상된 개소가 제거된 상에서 사용하게 되고, 양호한 자기전사가 가능하게 된다. 또한, 이것에 의해 마스터담체를 반복사용할 수 있고, 결과로서 마스터담체의 수명이 연장되며, 보다 많은 슬레이브매체로의 자기전사가 가능하게 된다. 따라서, 자기전사에 있어서의 비용이 삭감되고, 프리포맷이 끝난 슬레이브매체를 저가격으로 제공할 수 있게 된다.

Claims (16)

1. 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서,

   상기 요철패턴이, 전체 주위가 볼록부로 둘러싸인 오목부를 형성하지 않도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
2. 제 1항에 있어서, 상기 요철패턴의 볼록부의 트랙피치방향의 폭이 상기 트랙피치보다 작은 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
3. 제 1항에 있어서, 상기 요철패턴에 있어서, 1개의 트랙 내에 형성되는 볼록부의 트랙피치방향의 폭이 상기 트랙피치보다 작고, 또한, 2개의 인접하는 트랙에 걸쳐서 형성되는 볼록부의 트랙피치방향의 폭이 상기 트랙피치와 대략 동일한 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
4. 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서,

   상기 요철패턴의 볼록부 표면에 거친면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
5. 제 4항에 있어서, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 설치된 연자성층을 구비하여 이루어지고,

   상기 거친면이, 상기 기판의 적어도 상기 연자성층이 설치되는 개소에 실시되는 표면처리에 의해 형성된 거친면을 따라서 형성된 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
6. 제 4항에 있어서, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 도포된 입상물질과, 이 입상물질 상에 형성된 연자성층을 구비하여 이루어지고,

   상기 거친면은 상기 입상물질이 도포된 상기 볼록부의 표면형상을 따라서 형성된 것임을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
7. 제 4항에 있어서, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 설치된 연자성층을 구비하여 이루어지고,

   상기 거친면은 상기 연자성층의 형성조건에 의해 제어되는 표면조도에 의해 형성된 것임을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
8. 제 4항에 있어서, 기판과, 이 기판 상의, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부로 되는 개소에 설치된 다공질막과, 이 다공질 상에 형성된 연자성층을 구비하여 이루어지고,

   상기 거친면은 상기 다공질막의 표면형상을 따라서 형성된 것임을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
9. 제 8항에 있어서, 상기 다공질막은, 체적비가 30%에서 99%, 표면조도가 Rp=0.0001에서 0.1의 범위인 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
10. 제 4항에 있어서, 상기 거친면은 3㎚에서 50㎚의 깊이의 오목부를 보유하는 요철면인 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
11. 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서,

    제조직후의 상기 요철패턴의 홈의 깊이가 50㎚에서 1000㎚이고, 상기 요철패턴의 볼록부 표면이, 제조후 사용전에 한번이상 연마되어서 사용되는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
12. 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체로서,

    제조직후의 상기 요철패턴의 홈의 깊이가 50㎚에서 1000㎚이고, 상기 요철패턴의 볼록부 표면이, 사용후 한번이상 연마되어서 재사용되는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
13. 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체의 사용방법으로서,

    상기 요철패턴의 볼록부 표면을, 제조후 사용전에 한번이상 연마하고나서 사용하는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체의 사용방법.
14. 제 13항에 있어서, 상기 요철패턴의 볼록부 표면을, 이 볼록부 표면의 손상도에 따라서 연마를 실시하여 사용하는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체의 사용방법.
15. 슬레이브매체에 정보를 전사하기 위한 요철패턴을 구비한 자기전사용 마스터담체의 사용방법으로서,

    상기 요철패턴의 볼록부 표면을, 사용후 한번이상 연마하여 재사용하는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체의 사용방법.
16. 제 15항에 있어서, 상기 요철패턴의 볼록부 표면을, 이 볼록부 표면의 손상도에 따라서 연마를 실시하여 사용하는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체의 사용방법.