JP2011243264A - 磁気記録媒体、および、磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】転写用原盤に密着体分離のための形状加工を施すことなく、分離工程において磁気記録媒体を傷つけることなく容易に分離することができ、しかも、装置を大型化させることなく効率よく量産できること。
【解決手段】転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇが押圧部材１８の押圧面１８ｆで拘束された状態で、転写用原盤２２の中央部が受止部材１２Ｃの半球面状の先端で受け止められ、上方に向けて凸状に撓まされるので密着体２８における磁気記録媒体２４の外周縁が転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対し所定の隙間が形成されるように容易に分離されるもの。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁気転写工程を経て製造される磁気記録媒体、および、磁気記録媒体の製造方法に関する。

磁気情報の磁気記録媒体への書き込みは、一般に、磁気情報が記録面に何も書き込まれていない状態の磁気記録媒体がハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）装置ともいう）に組み込まれた後、ＨＤＤ装置内で磁気記録媒体の記録面上のトラックと呼ばれる一定の幅を持った同心円状の領域に、必要な磁気的情報が、書き込まれる。磁気記録媒体におけるデータの読み出しまたは書き込みは、磁気ヘッドがトラックに沿って動きながら行なわれる。その際、磁気記録媒体のトラックに書き込まれたサーボ信号と呼ばれる磁気信号に基づいてトラックに対する磁気ヘッドの位置ズレが検出される。その磁気ヘッドは、そのサーボ信号に基づいてトラックから外れないよう制御される。

いずれのデータも書き込まれていない磁気記録媒体における同心円状のトラックに、例えば、サーボ信号を精密に書き込むためには、磁気ヘッドの上述のトラックに対する精密な位置制御機能を有する装置をＨＤＤ装置１台毎に外部から導入する必要がある。また、例えば、磁気記録媒体における１つの記録面に形成される数十万本というトラックにサーボ信号を書き込むためには、数時間が要される場合がある。

さらに、磁気記録媒体における昨今の記録密度向上に伴って更に高精度の位置制御装置がＨＤＤ装置に必要となるとともに、サーボ信号の書き込み時間が長時間となる。従って、ＨＤＤ装置の生産性やコスト面で大きなデメリットになってきた。

そこで、上述のサーボ信号用パターンを持つ転写用原盤のサーボ信号用パターンを磁気記録媒体に転写する磁気転写技術が、例えば、特許文献１乃至３にも示されるように、開発されている。そのような技術は、サーボ信号用パターンを持つ転写用原盤を磁気記録媒体に緊密に密着させた状態で、互いに密着した転写用原盤および磁気記録媒体に対し外部より磁界を印加することにより、そのサーボ信号用パターンに対応した磁気情報が磁気記録媒体に瞬時に転写されるものである。この技術により、製造コストの削減やトラックの高密度化（トラック幅の狭域化）が可能となる。

上述の磁気転写技術においては、そのサーボ信号用パターンに対応した磁気情報が磁気記録媒体に瞬時に転写された後、転写された磁気記録媒体を得るために転写用原盤と転写された磁気記録媒体とを迅速にかつ損傷することなく分離させることが必要とされる。

第１の分離方法としては、特許文献１にも示されるように、転写された磁気記録媒体（特許文献１においてはスレーブディスクと呼称される）と転写用原盤（特許文献１においてはマスタと呼ばれる）との間に、転写用原盤に設けられるチャンバーおよび通気孔を介して所定の空気圧を導入することにより、転写された磁気記録媒体を転写用原盤に対して分離させる方法である。

また、第２の分離方法としては、特許文献２にも示されるように、転写された磁気記録媒体（特許文献２においてはスレーブ媒体と呼称される）の外周部と転写用原盤（特許文献２においてはマスター担体と呼ばれる）の外周部との間に形成される環状の凹部に起因した隙間に、剥離手段の爪の先端部が挿入された後、磁気記録媒体を転写用原盤に対し引き上げ、磁気記録媒体を分離させる方法である。

さらに、第３の分離方法としては、特許文献３にも示されるように、転写された磁気記録媒体（特許文献３においてはスレーブ媒体と呼称される）と転写用原盤（特許文献３においてはマスター担体と呼ばれる）との密着面に圧縮流体が流入され、チャックの把持爪が磁気記録媒体の内周部を保持して剥離外力を同時に加えることにより、磁気記録媒体を転写用原盤に対し分離させる方法である。

特開平１１−０２５４５５号公報 特開２００３−１７３５２３号公報 特開２００４−１３４０１２号公報

（１）特許文献１に示されるように、チャンバーおよび通気孔が転写用原盤に設けられる場合、それらの加工する工程が増大するので製造コストが嵩むこととなる。また、気体圧送のためのチャンバーが設けられることにより、その装置が大きく複雑なものになる場合がある。

（２）また、特許文献２に示されるように、環状の凹部が、転写された磁気記録媒体の外周部と転写用原盤の外周部との間に形成される場合、その凹部の上端部エッジが磁気記録媒体の被転写面に接触する場合がある。その結果、分離された磁気記録媒体の被転写面に、そのエッジ形状に沿った接触痕やエッジ欠けよる発塵物、治具挿入で発生する摩擦発塵物や傷が検出される場合がある。これらの発塵物中には磁気ヘッドの浮上性に問題を起こす大きさの物も含まれる虞がある。

（３）さらに、特許文献３に示されるように、密着面に圧縮流体が流入される状態でチャックの把持爪により引き剥がされる場合、転写用原盤の内周エッジが磁気記録媒体に接触することによって、接触痕の問題が生じる虞があるほか、チャックの把持爪により引き剥がされる際、磁気記録媒体の外周エッジが転写用原盤を傷つけてしまう場合がある。

そして、例えば、上述の磁気転写工程と密着体分離工程が１つの装置で行なわれる場合、密着体分離中は、新たな他の磁気記録媒体の磁気転写をすることが出来ないので磁気記録媒体が滞留する。従って、磁気記録媒体を連続的に大量生産する場合、そのような装置を多数設置して処理する必要があるという問題を伴う。

以上の問題点を考慮し、本発明は、第１に、上述の（１）で述べたような転写用原盤に密着体分離のための形状加工を施す必要がなく、しかも、分離工程において磁気記録媒体を傷つけることなく容易に分離することができる磁気記録媒体、および、磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。また、第２に、本発明は、上述の（２）で述べたような、転写用原盤や被転写体に傷や発塵物を生成する虞がない磁気記録媒体、および、磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。さらに、第３に、本発明は、上述の（３）で述べたような大量生産する場合、装置を大型化させることなく効率よく量産でき、従って、装置構成やプロセス時間を縮減出来る磁気記録媒体、および、磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法は、磁気転写情報が記録された転写用原盤と被転写媒体とからなる密着体を形成する工程と、密着体における被転写媒体を転写用原盤から分離させる分離工程と、を含み、分離工程において、転写用原盤の外周縁部および中央部のうちの少なくとも一方を押圧し転写用原盤を凸状に撓ませることにより、被転写媒体を転写用原盤から分離させることを特徴とする。

また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法は、密着体の転写用原盤に作用される曲げモーメントに応じて生じる被転写媒体の復元力が、転写用原盤および被転写媒体相互間の密着力よりも大であってもよい。

さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、上述の磁気記録媒体の製造方法により製造されたことを特徴とする。

本発明に係る磁気記録媒体、および、磁気記録媒体の製造方法によれば、分離工程において、転写用原盤の外周縁部および中央部のうちの少なくとも一方を押圧し転写用原盤を凸状に撓ませることにより、被転写媒体を転写用原盤から分離させるので、分離工程において磁気記録媒体を傷つけることなく容易に分離することができ、しかも、装置を大型化させることなく効率よく量産できる。また、密着体の転写用原盤に作用される曲げモーメントに応じて生じる被転写媒体の復元力が、転写用原盤および被転写媒体相互間の密着力よりも大となることにより被転写媒体が容易に分離されるので転写用原盤に密着体分離のための形状加工を施す必要がない。

本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける分離装置の第１実施例の構成を概略的に示す構成図である。 図１に示される例における各構成要素を分解して示す斜視図である。 本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける密着体形成装置を転写用原盤および磁気記録媒体とともに示す斜視図である。 （Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、図３に示される密着体形成装置の動作説明に供される図である。 図１に示される例に用いられる転写用原盤を示す平面図である。 本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける磁気転写装置の構成を概略的に示す斜視図である。 エッジ転写方式の原理の説明に供される密着体の一部断面を部分的に拡大して示す斜視図である。 ビット転写方式の原理の説明に供される密着体の一部断面を部分的に拡大して示す斜視図である。 エッジ転写方式の原理の説明に供される磁気信号の一部を拡大して示す特性図である。 図１に示される例において備えられる制御ユニットを示すブロック図である。 （Ａ）乃至（Ｄ）は、図１に示される例における動作説明に供される構成図である。 本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムの工程の説明に供される図である。 （Ａ）乃至（Ｄ）は、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける分離装置の第２実施例の動作説明に供される構成図である。 本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける分離装置の第３実施例の動作説明に供される構成図である。 図１４に示される例における各構成要素を分解して示す斜視図である。 図１４に示される例における動作説明に供される構成図である。 図１に示される例において、転写用原盤の他の一例が適用された場合を示す構成図である。 図１３（Ａ）に示される例において、転写用原盤の他の一例が適用された場合を示す構成図である。 図１４に示される例において、転写用原盤の他の一例が適用された場合を示す構成図である。 転写用原盤のさらなる他の一例を磁気記録媒体とともに示す斜視図である。 （Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、比較例における分離装置を示す構成図である。 図２１に示される例において用いられる転写用原盤を示す平面図である。 他の比較例としての従来の磁気転写装置を示す斜視図である。 他の比較例の工程の説明に供される図である。

（第１実施例）
図１は、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける作業ステーション（以下、分離ステーションともいう）に配される分離装置の第１実施例の構成を概略的に示す。その分離ステーションにおいては、一連の製造工程において得られた密着体を転写用原盤と被転写媒体とに分離させる分離工程が行われる。また、その分離工程は、後述される密着体形成ステーションおよび磁気転写ステーションにおいてそれぞれ行われる、密着体形成工程、および、磁気転写工程を経た後、行われる工程とされる。なお、作業ステーションとしての密着体形成ステーションおよび磁気転写ステーションは、生産システムにおいて上述の分離ステーションに供される磁気記録媒体の搬送路と共通の磁気記録媒体の搬送路に沿って配置されている。

上述の密着体２８は、例えば、図３および図６に示されるように、後述する密着体形成装置により、被転写媒体としての磁気記録媒体用円盤２４´が転写用原盤２２に密着された後、得られた密着体２８´における磁気記録媒体用円盤２４´の記録面に磁気信号が磁気転写装置により転写されたものとされる。

磁気記録媒体用円盤２４´は、例えば、ガラス、アルミニウム、シリコン、プラスチック等の基材で作られ、中央部に円形の孔２４´ａを有している。その外径および内径は、それぞれ、例えば、６５ｍｍ、２０ｍｍに設定されている。

磁気記録媒体用円盤２４´は、例えば、アモルファスガラス基材上にスパッタによって磁性層と、その上層に保護層とがその基材上に積層されている。また、その保護層に潤滑剤が塗布されている。

なお、磁気記録媒体用円盤２４´の寸法は、斯かる例に限られることなく、例えば、後述の転写用原盤２２の外径より小さく、転写用原盤２２に設けられた被転写媒体密着領域の大きさと合致しているならば、上述の値に限定されるものではない。

厚さ０．５ｍｍの転写用原盤２２は、例えば、シリコン、ガラス、アルミニウム、プラスチック等の材料で環状に作られ、中央部に円形の孔２２ａを有している。図５に拡大されて示されるように、転写用原盤２２の外径φＤＡおよび内径φＤＣは、それぞれ、８０ｍｍ、２０ｍｍに設定されている。また、転写用原盤２２の転写面には、孔２２ａの周縁から外縁に向けて広がる被転写媒体密着領域２２ＰＳが環状に形成されている。被転写媒体密着領域２２ＰＳの直径φＤＢは、例えば、６５ｍｍに設定されている。被転写媒体密着領域２２ＰＳは、内周から外周に亘って円周方向に所定の間隔をもって放射状に延びる複数の弧からなる転写パターン形成面を有している。図５において、その転写パターンにおける黒色の弧を描いている各部分には、転写磁気情報に応じた微細形状パターンが、例えば、軟磁性体で形成されている。

転写用原盤２２の作製法としては、例えば、シリコン基板上にＦｅＣｏ系軟磁性層と炭素からなる保護層とがスパッタで成膜される。その後、レジストが保護層上に塗布された後、所定のサーボ信号用パターンに対応する微細形状パターンが形成されたニッケル（Ｎｉ）製スタンパが、形成されたレジスト表面にプレスされることによって、そのレジスト表面に微細形状パターンが複製される。ドライエッチングにより、そのレジストがエッチングされた後、イオンミリングで軟磁性層に微細形状パターンが形成される。再度、ドライエッチングでレジストと炭素からなる保護層とが剥離されることにより、転写用原盤が得られる。得られた微細形状パターンに形成された凹凸は、例えば、約３０ｎｍである。

被転写媒体密着領域２２ＰＳには、図３、図４（Ａ）および（Ｂ）に示される密着装置により、上述の磁気記録媒体用円盤２４´の記録面が密着される。

図３に示される被転写媒体密着領域２２ＰＳに隣接しその外周縁部に形成される環状の部分は、上述の押圧部材１８の環状の押圧面に当接される被押圧面部２２Ｇである。被押圧面部２２Ｇの内寸法および外寸法は、好ましくは、転写用原盤２２の直径に対し約２％以上の掴み代があるように設定される。なお、その掴み代が余裕を見て広く設定された後、被押圧面部２２Ｇの外縁の一部を押圧部材１８の環状の押圧面で押圧するようになされてもよい。

なお、転写用原盤２２の寸法は、斯かる例に限られることなく、被転写媒体および装置構成等の寸法に応じて適宜決められてもよい。

密着体形成装置は、図４（Ａ）に示されるように、作業ステーションとしての密着体形成ステーションに配され、中央部に円柱部３６Ｃを有するとともに、円柱部３６Ｃの周縁に転写用原盤２２が載置される載置面を有する基台３６と、磁気記録媒体用円盤２４´を選択的に吸着または解放する把持面部３２Ｓを有する搬送用ハンドラ３２を含んでなる加圧機構部３４と、搬送用ハンドラ３２を昇降動可能に支持する空気圧シリンダーと（不図示）、を主な要素として含んで構成されている。

基台３６の載置面には、載置面に対し垂直に設けられる円柱３６Ｃが上述の孔２２ａおよび２４´ａに挿入された状態で転写用原盤２２、磁気記録媒体用円盤２４´が順次、重ねられる。円柱部３６Ｃの載置面から最上端までの高さは、転写用原盤２２、および、磁気記録媒体用円盤２４´の厚さの合計よりも若干低く設定されている。また、円柱部３６Ｃの直径は、円柱部３６Ｃが挿入された磁気記録媒体用円盤２４´の孔２４´ａの中心位置と転写用原盤２２の孔２２ａの中心位置とが共通の中心軸線上にあり、各孔の内周部に対し略同一の隙間を形成するように設定されている。従って、磁気記録媒体用円盤２４´の転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対する位置決めが、円柱部３６Ｃによりなされる。なお、磁気記録媒体用円盤２４´の転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対する位置決めは、磁気記録媒体用円盤２４´および転写用原盤２２の孔に係合する位置決めピンがさらに設けられて位置決めされてもよい。また、転写用原盤２２の外周縁に位置決めマークを設けるとともに、その位置決めマークを検出する検出部を搬送用ハンドラ３２に設ける構成により、磁気記録媒体用円盤２４´の転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対する位置決めがなされてもよい。

搬送用ハンドラ３２の把持面部３２Ｓは、図４（Ａ）に示されるように、磁気記録媒体用円盤２４´の孔２４´ａ周縁近傍に選択的に密着し把持するものとされる。その把持面部３２Ｓは、搬送用ハンドラ３２の内部に形成される作動圧供給通路３２ＰＡの一端に連通する複数個の透孔を有している。作動圧供給通路３２ＰＡの他端には、図示が省略される吸引手段としての真空ポンプが接続されている。

また、真空ポンプが作動状態とされる場合、上述の搬送用ハンドラ３２を昇降動可能に支持する空気圧シリンダーは、図示が省略される駆動制御部により、図４（Ａ）に示されるように、搬送用ハンドラ３２の把持面部３２Ｓに保持された磁気記録媒体用円盤２４´を転写用原盤２２に対し離隔した待機位置と、把持面部３２Ｓに保持された磁気記録媒体用円盤２４´を転写用原盤２２に対し所定の加圧力Ｆで押し付ける押圧位置との間で移動するように制御される。

斯かる構成において、図４（Ａ）に示されるように、転写用原盤２２が基台３６の載置面に重ねられた後、真空ポンプが作動状態とされるとき、搬送用ハンドラ３２の把持面部３２Ｓに対し同心とされ保持された磁気記録媒体用円盤２４´の記録面の内周域が、空気圧シリンダーにより、図４（Ｂ）に示されるように、転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対し重ね合わされ、例えば、加圧力６．５ｋｇ／ｃｍ²で保持期間５秒間、押し付けられる。

これにより、原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳと円盤２４´の記録面との間に含まれる空気が、外周に向かって押し出される。従って、両者は全面均一に緊密に密着して、密着体２８´が形成される。密着体２８´は、原盤２２と円盤２４´とが緊密な密着となるので空気圧シリンダーが搬送用ハンドラ３２の加圧を止めても密着状態を維持している。なお、上述の密着方法は一例であり、斯かる例に限定されることなく、他の適切な方法によって適宜、行われてもよい。また、磁気記録媒体用円盤２４´を加圧する加圧駆動手段としては、空気圧シリンダーの代わりに、モータ等の他の駆動手段が用いられてもよい。

次に、得られた密着体２８´における磁気記録媒体用円盤２４´は、後述するように、図６に示される磁気転写装置により、所定の磁気信号がその記録面に転写される。これにより、磁気転写された密着体２８が得られる。

図６において、例えば、ビット転写方式で行われる磁気転写装置は、図示が省略される筐体に回動可能に支持され上述の密着体２８´を、吸引把持機構（不図示）を介して着脱可能に一端に支持するスピンドル部４２と、密着体２８´の密着面（接触面）に対し垂直方向に磁界を形成する電磁石４０Ａおよび４０Ｂと、電磁石４０Ａおよび４０Ｂを互いに近接または離隔可能に移動制御する駆動制御機構部４０とを含んで構成されている。なお、スピンドル部４２の一端は、図示が省略される駆動用モータの出力軸に連結されている。駆動制御機構部４０は、図示が省略される制御部により制御される。

ビット転写方式の場合、原理的には、図８に模式的に拡大されて示されるように、最初、被転写媒体６２´の磁性層６２´Ｍは、転写前に予め、矢印６２´Ｍａの示す方向、即ち、一方向に磁化されている。次に、磁気転写装置内において、転写用原盤６０および被転写媒体６２´からなる密着体が電磁石６４Ａおよび６４Ｂ相互間で回転されながら、被転写媒体６２´が磁化され、磁気信号が転写されることにより、転写された被転写媒体６２が得られる。

被転写媒体６２の転写中、転写用原盤６０と被転写媒体６２との接触面に対して矢印ＭＦの示す方向、即ち、垂直方向に磁界が印加される。これにより、転写用原盤６０の軟磁性体による各微細形状パターン６０ＰＡにおいて多量の磁束が矢印ｍｆの示す方向に透過するので被転写媒体６２における各微細形状パターン６０ＰＡに対応する磁性層６２Ｍが、矢印６２Ｍａが示す初期の磁化の向きと反対となる矢印６２Ｍｂが示す向きに磁化されることとなる。但し、各微細形状パターン６０ＰＡと接触していない部分は、初期の磁化の向きが保持される。なお、上述した軟磁性体による各微細形状パターンは、転写用原盤の主表面に対して軟磁性体が凸部として形成されていても良いし、あるいは、転写用原盤の主表面に対して凹部が形成された中に軟磁性体が埋め込まれている形態であっても良い。

図６において、先ず、密着体２８´が吸引把持機構（不図示）を介してスピンドル部４２の一端に支持された後、駆動制御機構部４０により、電磁石４０Ａおよび４０Ｂが密着体２８´を挟んで互いに所定の位置まで近接される。そして、駆動用モータが作動状態とされるとき、密着体２８´を伴ってスピンドル部４２が、例えば、１回転あたり２秒以上２０秒以下の回転速度、例えば、１回転あたり１０秒の回転速度で１回転、回転せしめられる。これにより、上述したように、磁気信号が密着体２８´における磁気記録媒体用円盤２４´の記録面全体にわたって転写される。従って、転写された磁気記録媒体２４を備える密着体２８が得られることなる。

なお、磁気転写装置の転写方式は、上述のビット転写方式に限られることなく、例えば、エッジ転写方式で行われる磁気転写装置（不図示）が用いられてもよい。そのエッジ転写方式は、図７に模式的に拡大されて示されるように、転写磁気情報に応じた複数個の微細形状パターン５０ＰＡを有する転写用原盤５０の面内方向に磁場を印加し、パターンのエッジ部から生じる漏れ磁束の垂直成分に沿って被転写媒体５２の磁性層５２Ｍを磁化し、磁気情報を記録する方法とされる。その装置において、転写用原盤５０および被転写媒体５２からなる密着体が矢印の方向に回転されながら、電磁石５４により、外部磁界が矢印ＭＦの示す方向に印加されたとき、各微細形状パターン５０ＰＡの各エッジ部から生じた漏れ磁束ｍｆの垂直成分の方向に応じて、被転写媒体５２の磁性層５２Ｍが、矢印５２Ｍａの示す方向、および、矢印５２Ｍｂの示す方向に磁化される。従って、この方式は、転写用原盤５０の軟磁性体による微細形状パターン５０ＰＡの各エッジから漏れた磁束によって磁気信号が転写される。図９に部分的に拡大されて示されるような被転写媒体５２に対し転写された磁気信号Ｓｍｇは、例えば、サーボ信号とされる。

上述した分離ステーションに配される分離装置１０は、図１および図２に示されるように、一対のストッパ部材１２Ｐを相対向して有する基台１２と、上述の密着体２８が所定位置に載置される環状のステージ部材１６と、ステージ部材１６の載置面に載置された密着体２８の転写用原盤２２を押圧または解放する押圧部材１８を備える押圧機構部２０と、押圧機構部２０を駆動させる駆動シリンダー７８（図１０参照）と、基台１２の中央部に設けられステージ部材１６の透孔１６ａを介し押圧部材１８と協働して転写用原盤２２の中央部をステージ部材１６の載置面の下方側から受け止め、転写用原盤２２に対し磁気記録媒体２４を分離させる受止部材１２Ｃと、ステージ部材１６を受止部材１２Ｃから離隔する方向に付勢する２個のコイルスプリング１４を含んで構成される。

一対のストッパ部材１２Ｐは、互いに同一の直径および長さを有し、その中心軸線が基台１２の表面に対し略垂直となるように設けられている。なお、斯かる例に限られることなく、例えば、一対のストッパ部材１２Ｐの直径は、互いに異なっていてもよい。ストッパ部材１２Ｐにおける基台１２の表面から上端までの長さは、図１１（Ｃ）および（Ｄ）に示されるように、押し下げられたステージ部材１６の下面がストッパ部材１２Ｐの上端に当接されたとき、受止部材１２Ｃの上端がステージ部材１６の透孔１６ａから所定量だけ突出し、転写用原盤２２の中央部を所定量、例えば、１００（ｕｍ）だけ上方に向けて凸状に撓ませるように設定されている。

なお、転写用原盤２２の直径が８０ｍｍを超える場合、転写用原盤２２の中央部の撓み量が１００（ｕｍ）を超えるようにストッパ部材１２Ｐにおける基台１２の表面から上端までの長さが設定され、また、転写用原盤２２の直径が８０ｍｍ未満の場合、転写用原盤２２の中央部の撓み量が１００（ｕｍ）よりも小となるようにストッパ部材１２Ｐにおける基台１２の表面から上端までの長さが設定される。

但し、転写用原盤２２が撓んだとき、転写用原盤２２に作用される曲げ応力（＝Ｍ／Ｚ、Ｍ：曲げモーメント、Ｚ：断面係数）が、転写用原盤２２の許容曲げ強度より小であることが必要とされる。

受止部材１２Ｃの直径は、ステージ部材１６の孔１６ａの直径よりも若干小であって、転写用原盤２２の孔２２ａの直径よりも例えば、約１ｍｍ程度大に設定されている。また、受止部材１２Ｃの先端は、図１に示されるように、密着体２８がステージ部材１６の載置面に載置されるとき、ステージ部材１６の孔１６ａに挿入されている。

ステージ部材１６は、その下方に配される２個のコイルスプリング１４により昇降動可能に支持されている。２個のコイルスプリング１４は、受止部材１２Ｃを挟んで離隔し相対向して配されている。なお、コイルスプリング１４の個数は、２個に限られることなく、３個以上設けられてもよい。

環状の押圧部材１８の外径は、転写用原盤２２の外径寸法と略同一に設定されている。また、押圧部材１８の押圧面１８ｆは、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇに対向して配されている。押圧部材１８の押圧面１８ｆの面積は、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇの面積よりも小に設定されている。

押圧機構部２０が作動状態とされる場合、押圧部材１８は、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇの上方となる所定の待機位置、または、その押圧面１８ｆが転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇに当接し押圧する位置に配される。

本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおいては、上述の分離装置に加えて、制御ユニット７０を備えている。

制御ユニット７０には、生産管理用ホストコンピュータ７２からのｎ番目（ｎ；ｎは１以上）に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の開始指令をあらわす指令信号ＳＰ１、ｎ＋１番目に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の開始指令をあらわす指令信号ＳＰ２、ｎ＋２番目に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の開始指令をあらわす指令信号ＳＰ３、および、ｎ＋３番目に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の開始指令をあらわす指令信号ＳＰ４と、ｎ番目に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の終了をあらわす作業終了信号ＳＥ１、ｎ＋１番目に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の終了をあらわす作業終了信号ＳＥ２、ｎ＋２番目に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の終了をあらわす作業終了信号ＳＥ３、および、ｎ＋３番目に分離装置に供給された密着体２８に対する分離作業の終了をあらわす作業終了信号ＳＥ４が供給される。

制御ユニット７０は、上述の押圧部材１８を備える押圧機構部２０の動作制御用プログラムデータ、分離された磁気記録媒体２４を他のステーションに搬送するための搬送用ハンドラ８４の動作制御用プログラムデータ、および、分離作業が行われる密着体２８の設定された個数ｎをあらわすデータ等を格納するデータ記憶部７０Ｍを備えている。

制御ユニット７０は、図１１（Ａ）に示されるように、生産管理用ホストコンピュータ７２からの指令信号ＳＰ１に基づいて待機位置にある押圧部材１８に、図１１（Ｂ）および（Ｃ）に示されるように、ステージ部材１６の載置面における所定位置に位置決めされた密着体２８の転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇに当接した状態で、２個のコイルスプリング１４の弾性力に抗して所定量、下方に向けて押圧させるべく、制御信号Ｃｄを形成し、それを駆動制御部７４に供給する。駆動制御部７４は、制御信号Ｃｄに基づいて駆動信号を形成し、それを押圧機構部２０における駆動シリンダー７８に連結されるポンプ部に供給する。これにより、押圧部材１８の押圧面１８ｆは、図１１（Ｃ）に示されるように、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇに当接した状態でステージ部材１６の下面がストッパ部材１２Ｐの上端に当接されるまで押圧する。

従って、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇが押圧部材１８の押圧面１８ｆで拘束された状態で、転写用原盤２２の中央部が受止部材１２Ｃの半球面状の先端で受け止められ、上方に向けて凸状に撓まされるので密着体２８における磁気記録媒体２４の外周縁が転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対し所定の隙間が形成されるように容易に分離される。このように容易に分離されるのは、転写用原盤２２に作用される曲げモーメントに応じて生じた磁気記録媒体２４自体の復元力が、密着体２８における磁気記録媒体２４および転写用原盤２２相互間の密着力よりも大となるからである。その際、磁気記録媒体２４の記録面および転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳは、損傷する虞がない。

そして、制御ユニット７０は、作業終了信号ＳＥ１に基づいて図１１（Ｄ）に示されるように、分離された磁気記録媒体２４を搬送用ハンドラ８４（図１０参照）に吸引保持させながら次の作業ステーションに搬送させるべく、制御信号Ｃｅを形成し、それを駆動制御部７６に供給するとともに、制御信号Ｃｐを形成し、それを空気圧制御部７７に供給する。駆動制御部７６は、制御信号Ｃｅに基づいて駆動制御信号を形成し、それを、搬送用ハンドラ８４を昇降動させる駆動モータ８０に供給する。また、空気圧制御部７７は、制御信号Ｃｐに基づいて駆動制御信号を形成し、それを真空ポンプ部８２に供給する。真空ポンプ部８２は、作動状態とされる場合、搬送用ハンドラ８４内の作動圧供給路８４ＰＡを通じ搬送用ハンドラ８４の把持面を介して磁気記録媒体２４を吸引保持するものとされる。

従って、搬送用ハンドラ８４は、分離された磁気記録媒体２４に対し近接するように下降せしめられ、磁気記録媒体２４を保持した後、離隔されるように上昇せしめられ、次の作業ステーションに磁気記録媒体２４を搬送する。

続いて、制御ユニット７０は、指令信号ＳＰ２および作業終了信号ＳＥ２、指令信号ＳＰ３および作業終了信号ＳＥ３、指令信号ＳＰ４および作業終了信号ＳＥ４に基づいてｎ＋１番目、ｎ＋２番目、ｎ＋３番目に順次供給される密着体２８に対し分離装置１０および搬送ハンドラ８４に上述の動作と同様な動作を行わせるものとされる。

上述の例においては、転写用原盤２２は、例えば、中央部に円形の孔２２ａを有しているが、斯かる例に限られることなく、例えば、図１７に示されるように、環状の被押圧面部１０２Ｇを有し、中央部に孔がない円板状の転写用原盤１０２が用いられてもよい。

これにより、転写用原盤１０２は、内孔加工が不要となるので転写用原盤１０２にかかる製造コストを減らせるメリットがある。

さらにまた、円板状の転写用原盤２２に限られることなく、例えば、図２０に示されるように、環状の被転写媒体密着領域１０４Ｇを有する方形の転写用原盤１０４が用いられてもよい。斯かる場合、転写用原盤１０４の一辺の長さＬｍは、磁気記録媒体２４の直径Ｌｓよりも大に設定されている。これにより、例えば、半導体のブランクマスクとして用いられる方形の石英基板を流用することができるので転写用原盤にかかる製造コストを減らせるメリットがある。

上述の例においては、各作業ステーションに、１基の密着体形成装置、１基の磁気転写装置、１基の分離装置をそれぞれ備える生産システムとされたが、斯かる例に限られることなく、例えば、１基の密着体形成装置と、２基の磁気転写装置と、１基の分離装置を各作業ステーションに備える生産システムであってもよい。

このような生産システムにおいては、例えば、図１２に示されるように、密着体形成工程、磁気転写工程、密着体分離工程を、複数枚（図１２においては、４枚）の被転写媒体に対して連続的に行ない、磁気転写された被転写媒体を連続的に製造することが可能とされる。密着体形成工程に５秒、磁気転写工程に１０秒、密着体分離工程に５秒という条件の場合、磁気転写媒体が、５秒に１枚の速さで連続的に製造可能とされる。

具体的には、密着体形成装置で形成された第１の密着体を第１の磁気転写装置で磁気転写中に、新たな第２の密着体を密着体形成装置で形成し、第２の密着体を第２の磁気転写装置へ搬送、転写を行なう。次に、第１の磁気転写装置で第１の密着体に対し転写が終わると、その第１の密着体が分離装置へ搬送されるとともに、並行して形成された新たな第３の密着体が第１の磁気転写装置に供給される。

続いて、第２の磁気転写装置で第２の密着体の転写が終わると、その第２の密着体が分離装置へ搬送されるとともに、並行して形成された新たな第４の密着体が第２の磁気転写装置に供給される。このようにして、連続して磁気転写された被転写媒体が製造可能とされる。

従って、磁気転写装置と分離装置とが別々の構成であるので５秒に１枚の速さで製造するのに必要な分だけの磁気転写装置（２基）と分離装置（１基）とを組み合わせればよく、より簡便な装置構成で、かつ、従来同様の速さで連続的に磁気転写媒体を製造できることとなる。

（第２実施例）
図１３（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける分離ステーションに配される分離装置の第２実施例の構成を概略的に示す。なお、図１３においては、図１に示される例における構成要素と同一の構成要素について同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。また、分離ステーション以外の上述の各作業ステーション、および、上述の制御ユニットの構成は、図
４、図６、および、図１０に示される例と同様の構成を備えるものとされる。

図１に示される例においては、受止部材１２Ｃが基台１２に固定され、ステージ部材１６が受止部材１２Ｃに対し相対移動可能とされるが、その代わりに、図１３（Ａ）〜（Ｄ）においては、基台１２´の上端面（載置面）に載置される転写用原盤２２の中央部を載置面の下方側から押圧する受止部材１３が、基台１２´の中央部に形成される凹部１２´Ｒ内に昇降動可能に配されるものとされる。

図１３（Ａ）〜（Ｄ）において、分離装置は、図１および図２に示されるように、上述
の密着体２８の転写用原盤２２が載置される載置面を上部に有するとともに、上部における中央の孔１２´ａに連通する凹部１２´Ｒを内部に有する基台１２´と、基台１２´の載置面１２´ＰＦに載置された密着体２８の転写用原盤２２を押圧または解放する押圧部材１８を備える押圧機構部２０と、押圧機構部２０を駆動させる駆動シリンダー７８（図１０参照）と、基台１２´の凹部１２´Ｒ内に昇降動可能に設けられ孔１２´ａを介し押圧部材１８と協働して転写用原盤２２の中央部を載置面１２´ＰＦの下方側から押圧し転写用原盤２２に対し磁気記録媒体２４を分離させる受止部材１３と、受止部材１３を上昇させる方向に付勢するコイルスプリングを含んでなる昇降機構部１５とを含んで構成される。

昇降機構部１５は、図示が省略される駆動用モータの出力軸に連結されており、駆動用モータが作動状態とされるとき、その出力軸が一方向に回転せしめられるとき、受止部材１３を上昇させ、一方、その出力軸が他方向に回転せしめられるとき、受止部材１３をコイルスプリングの弾性力に抗して下降させる構成を備えるものとされる。

制御ユニット７０は、図１３（Ａ）に示されるように、例えば、生産管理用ホストコンピュータ７２からの指令信号ＳＰ１に基づいて待機位置にある押圧部材１８を、図１３（Ｂ）および（Ｃ）に示されるように、基台１２´の載置面１２´ＰＦにおける所定位置に位置決めされた密着体２８の転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇに当接させるように下降せしめるべく、制御信号Ｃｄを形成しそれを駆動シリンダー７８に連結されるポンプ部に供給する。また、制御ユニット７０は、受止部材１３を所定量、上昇させるべく、上述の昇降機構部１５の駆動用モータを制御する駆動制御部に制御信号を供給する。

従って、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇが押圧部材１８の押圧面１８ｆで拘束された状態で、転写用原盤２２の中央部が受止部材１３の半球面状の先端で押圧され上方に向けて凸状に撓まされるので密着体２８における磁気記録媒体２４の外周縁が転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対し所定の隙間が形成されるように容易に分離される。このように容易に分離されるのは、転写用原盤２２に作用される曲げモーメントに応じて生じた磁気記録媒体２４自体の復元力が、密着体２８における磁気記録媒体２４および転写用原盤２２相互間の密着力よりも大となるからである。その際、磁気記録媒体２４の記録面および転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳは、損傷する虞がない。

また、斯かる例では、分離装置における押圧部材１８およびステージ部材１６のストローク調整が容易に出来るメリットがある。第１実施例ではストッパ１２Ｐが複数本あり、ストッパ１２Ｐと受止部材１２Ｃとが一体でないのでステージ１６の降下量を計算で求めて調整する必要があったのに対し、一方、斯かる例では、昇降機構部１５における受止部材１３の移動量の調整により受止部材１３の上昇量を直接的に決定できるのでその調整が容易となる。

なお、上述の例においては、転写用原盤２２は、例えば、中央部に円形の孔２２ａを有しているが、斯かる例に限られることなく、例えば、図１８に示されるように、環状の被押圧面部１０２Ｇを有し、中央部に孔がない円板状の転写用原盤１０２が用いられてもよい。これにより、転写用原盤１０２は、内孔加工が不要となるので転写用原盤１０２にかかる製造コストを減らせるメリットがある。

（第３実施例）
図１４は、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける分離ステーションに配される分離装置の第３実施例の構成を概略的に示す。なお、図１４および後述する図１５乃至図１６（Ａ）〜（Ｄ）においては、図１に示される例における構成要素と同一の構成要素について同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。また、分離ステーション以外の上述の各作業ステーション、および、上述の制御ユニットの構成は、図４、図６、および、図１０に示される例と同様の構成を備えるものとされる。

分離装置は、図１５に示されるように、４本のストッパ部材９２Ｐを有する基台９２と、上述の密着体２８における転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇを協働して相対向して把持する一対のクランプ部９０Ａおよび９０Ｂと、一対のクランプ部９０Ａおよび９０Ｂに転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇを選択的に把持する動作または解放する動作を行わせる第１のシリンダー部（不図示）と、一対のクランプ部９０Ａおよび９０Ｂを４本のストッパ部材９２Ｐの上端に対し昇降動させる第２のシリンダー部（不図示）とを含んで構成される押圧機構部９０と、基台９２の中央部に設けられ押圧機構部９０と協働して転写用原盤２２の中央部を、その下方側から受け止め、転写用原盤２２に対し磁気記録媒体２４を分離させる受止部材９２Ｃと、を含んで構成される。

４本のストッパ部材９２Ｐは、それぞれ、互いに同一の直径および長さを有し、その中心軸線が基台９２の表面に対し略垂直となるように共通の円周上に均等に設けられている。なお、ストッパ部材９２Ｐは、斯かる例に限られることなく、例えば、互いに異なる直径および同一の長さを有するものでもよい。ストッパ部材９２Ｐにおける基台９２の表面から上端までの長さは、図１６（Ｂ）に示されるように、押し下げられたクランプ部９０Ａおよび９０Ｂの下面がストッパ部材９２Ｐの上端に当接されたとき、受止部材９２Ｃの上端が転写用原盤２２の中央部を所定量、例えば、１００（ｕｍ）だけ上方に向けて凸状に撓ませるように設定されている。即ち、半球面状の受止部材９２Ｃの先端の位置は、図１４に示されるように、密着体２８およびクランプ部９０Ａおよび９０Ｂがストッパ部材９２Ｐに対し離隔されているとき、ストッパ部材９２Ｐの最上端より高い位置とされる。 なお、転写用原盤２２の直径が８０ｍｍを超える場合、転写用原盤２２の中央部の撓み量が１００（ｕｍ）を超えるようにストッパ部材９２Ｐにおける基台９２の表面から上端までの長さが設定され、また、転写用原盤２２の直径が８０ｍｍ未満の場合、転写用原盤２２の中央部の撓み量が１００（ｕｍ）よりも小となるようにストッパ部材９２Ｐにおける基台９２の表面から上端までの長さが設定される。

但し、転写用原盤２２が撓んだとき、転写用原盤２２に作用される曲げ応力（＝Ｍ／Ｚ、Ｍ：曲げモーメント、Ｚ：断面係数）が、転写用原盤２２の許容曲げ強度より小であることが必要とされる。

受止部材９２Ｃは、図１５に示されるように、基台９２における略中央部に配されている。受止部材９２Ｃの直径は、転写用原盤２２の孔２２ａの直径よりも例えば、約１ｍｍ程度大に設定されている。

基台９２の上方となる位置には、押圧機構部９０が配されている。押圧機構部９０は、
密着体２８の転写用原盤２２を選択的に把持または解放するクランプ部９０Ａおよび９０Ｂと、クランプ部９０Ａおよび９０Ｂを互いに近接または離隔させる第１のシリンダー部と、密着体２８および第１のシリンダー部を伴ってクランプ部９０Ａおよび９０Ｂを昇降動させる第２のシリンダー部とを含んで構成されている。

上述の第２のシリンダー部は、図１６（Ａ）に示されるように、密着体２８の転写用原盤２２を協働して把持したクランプ部９０Ａおよび９０Ｂを、基台９２の上方となる待機位置と、各ストッパ部材９２Ｐの上端に当接させる押圧位置とをとらせるものとされる。

第１のシリンダー部および第２のシリンダー部は、それぞれ、制御ユニット７０および駆動制御部により制御される。

円弧状のクランプ部９０Ａおよび９０Ｂは、互いに同一の構造を有するのでクランプ部９０Ａについて説明し、クランプ部９０Ｂについての説明を省略する。クランプ部９０Ａは、ほぼ全周に亘って把持するように転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇが嵌合される溝９０Ａｇを有している。円弧状の溝９０Ａｇの曲率半径は、転写用原盤２２の曲率半径と略同一もしくは若干大に設定されている。溝９０Ａｇの深さは、被押圧面部２２Ｇにおける環状の領域よりも小となるように設定されている。

制御ユニット７０は、図１６（Ａ）に示されるように、生産管理用ホストコンピュータ７２からの指令信号ＳＰ１に基づいて待機位置にあるクランプ部９０Ａおよび９０Ｂを、
受止部材９２Ｃの中心軸線と同心となるように所定位置に位置決めされた密着体２８の転写用原盤２２の中央部が受止部材９２Ｃの半球面状の先端に当接した後、上述の押圧位置をとらせるように所定量、下降させるべく、制御信号Ｃｄを形成し、それを駆動制御部７４に供給する。駆動制御部７４は、制御信号Ｃｄに基づいて駆動信号を形成し、それを押圧機構部９０における第２のシリンダー部に連結されるポンプ部に供給する。これにより、クランプ部９０Ａおよび９０Ｂの下面は、図１６（Ｂ）および（Ｃ）に示されるように、転写用原盤２２の孔２２ａの周縁が上方に向けて凸状に撓みながら受止部材９２Ｃの半球面状の先端に当接した状態でストッパ部材９２Ｐの上端に当接される。

従って、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇがクランプ部９０Ａおよび９０Ｂで拘束された状態で、転写用原盤２２の中央部が受止部材９２Ｃの半球面状の先端で受け止められ、上方に向けて凸状に撓まされるので密着体２８における磁気記録媒体２４の外周縁が転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳに対し所定の隙間が形成されるように容易に分離される。このように容易に分離されるのは、転写用原盤２２に作用される曲げモーメントに応じて生じた磁気記録媒体２４自体の復元力が、密着体２８における磁気記録媒体２４および転写用原盤２２相互間の密着力よりも大となるからである。その際、磁気記録媒体２４の記録面および転写用原盤２２の被転写媒体密着領域２２ＰＳは、損傷する虞がない。

そして、制御ユニット７０は、作業終了信号ＳＥ１に基づいて図１６（C）に示されるように、分離された磁気記録媒体２４を搬送用ハンドラ８４（図１０参照）に吸引保持させながら次の作業ステーションに搬送させるべく、制御信号Ｃｅを形成し、それを駆動制御部７６に供給するとともに、制御信号Ｃｐを形成し、それを空気圧制御部７７に供給する。駆動制御部７６は、制御信号Ｃｅに基づいて駆動制御信号を形成し、それを、搬送用ハンドラ８４を昇降動させる駆動モータ８０に供給する。また、空気圧制御部７７は、制御信号Ｃｐに基づいて駆動制御信号を形成し、それを真空ポンプ部８２に供給する。真空ポンプ部８２は、作動状態とされる場合、搬送用ハンドラ８４内の作動圧供給路８４ＰＡを通じ搬送用ハンドラ８４の把持面を介して磁気記録媒体２４を吸引保持するものとされる。

従って、搬送用ハンドラ８４は、分離された磁気記録媒体２４に対し近接するように下降せしめられ、磁気記録媒体２４を保持した後、離隔されるように上昇せしめられ、次の作業ステーションに磁気記録媒体２４を搬送する。

なお、転写用原盤２２は、クランプ部９０Ａおよび９０Ｂにより把持された状態で再び、上述の密着体形成ステーションへ搬送されることによって、転写用原盤２２が繰り返し使用される（図１６（Ｄ））。また、上述の押圧機構部の構造は、転写用原盤２２の被押圧面部２２Ｇを把持し、かつ、上記分離に必要な動作の出来るものであれば、上述のような方式に限定されるものではない。斯かる例においては、上述のように密着体２８を搬送するための搬送ハンドラの把持部としての役割を果たすクランプ部９０Ａおよび９０Ｂが、押圧機構部９０の押圧部材の役割も兼ねることができるので装置構成をより簡単にできるメリットがある。

さらに、上述の例においては、転写用原盤２２は、例えば、中央部に円形の孔２２ａを有しているが、斯かる例に限られることなく、例えば、図１９に示されるように、環状の被押圧面部１０２Ｇを有し、中央部に孔がない円板状の転写用原盤１０２が用いられてもよい。これにより、転写用原盤１０２は、内孔加工が不要となるので転写用原盤１０２にかかる製造コストを減らせるメリットがある。

上述の本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける分離ステーションに配される分離装置の第１実施例、第２実施例、および、第３実施例、後述する比較例１によってそれぞれ、分離されて得られた１枚の磁気記録媒体２４の記録面の欠陥について、本願の発明者により、検証された。

その検証は、磁気記録媒体２４の記録面の所定の外周域（例えば、半径３０ｍｍ〜３２ｍｍ領域）が光学式外観検査装置により観察されることにより、その検出欠陥個数が調べられた。即ち、密着体２８として密着される前に、予め、１枚の被転写媒体２４´における所定の外周域（例えば、半径３０ｍｍ〜３２ｍｍ領域）の欠陥個数が調べられるもとで、分離後の磁気記録媒体２４の記録面の対応する所定の外周域の欠陥個数が、その当初の欠陥個数と比較され、増加した欠陥増加数（ΔＮ）、その欠陥種類毎の各個数が調べられた。欠陥の種類としては、例えば、所定の閾値以上の大きさの点欠陥（発塵物付着）、傷である。

その結果を、以下の表１に示す。

但し、表１において、ＮＡは、点欠陥（発塵物付着）の個数であり、ＮＢは、傷の個数である。

表１において、比較例１では、図２１（Ａ）および（Ｂ）に示されるような分離装置が用いられた。また、密着体を構成する転写用原盤は、図２２に示されるような転写用原盤１１８が用いられた。なお、図２１（Ａ）および（Ｂ）においては、図１に示される例における構成要素と同一の構成要素について同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。

転写用原盤１１８の外径φＤＡおよび内径φＤＣは、それぞれ、８０ｍｍ、２０ｍｍに設定されている。また、転写用原盤１１８の転写面には、孔１１８ａの周縁から外縁に向けて広がる被転写媒体密着領域２２ＰＳが環状に形成されている。被転写媒体密着領域１１８ＰＳの直径φＤＢは、例えば、６５ｍｍに設定されている。被転写媒体密着領域１１８ＰＳは、内周から外周に亘って円周方向に所定の間隔をもって放射状に延びる複数の弧からなる転写パターン形成面を有している。図２２において、その転写パターンにおける黒色の弧を描いている各部分には、転写磁気情報に応じた微細形状パターンが、例えば、軟磁性体で形成されている。また、転写用原盤１１８の外周縁部における共通の円周上に９０度間隔で切欠部１１８ＣＷが形成されている。後述するように磁気記録媒体２４の外縁に係合される部分となる各切欠部１１８ＣＷの切込量ｄは、１．５ｍｍに設定されている。各切欠部１１８ＣＷには、磁気記録媒体２４の分離のとき、後述する各受止ピン１１２ＰＢが嵌合される。

図２１（Ａ）において、その分離装置は、一対のストッパ部材１１２ＰＡを相対向して有する基台１１２と、転写用原盤１１８と磁気記録媒体２４との密着体が所定位置に載置される環状のステージ部材１１６と、ステージ部材１１６の載置面に載置された密着体の転写用原盤１１８を押圧または解放する押圧部材１８を備える押圧機構部と、その押圧機構部を駆動させる駆動シリンダー（不図示）と、基台１１２の中央部に設けられステージ部材１１６の各透孔を介し押圧部材１８と協働して転写用原盤１１８の切欠部１１８ＣＷを介してステージ部材１１６に載置される転写用原盤１１８上の磁気記録媒体２４の外周縁をその下方側から押圧し転写用原盤１１８に対し磁気記録媒体２４を分離させる４本の突出ピン１１２ＰＢと、ステージ部材１１６を突出ピン１１２ＰＢから離隔する方向に付勢するコイルスプリング１１４とを含んで構成される。

斯かる構成において、図２１（Ｂ）に示されるように、押圧部材１８の押圧面が、コイルスプリング１１４の弾性力に抗して密着体における転写用原盤１１８の表面に対し当接しながら押し下げられることにより、磁気記録媒体２４の外縁が各切欠部１１８ＣＷを介して突出する４本の突出ピン１１２ＰＢにより押圧され、密着体における磁気記録媒体２４が転写用原盤１１８から分離されることとなる。

表１に示される結果から明らかなように、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一例が適用される磁気記録媒体の生産システムにおける分離ステーションに配される分離装置の第１実施例乃至第３実施例により得られた磁気記録媒体２４では、点欠陥の増加が少なく、傷も発生しない結果となった。一方、突出ピン１１２ＰＢの先端により、磁気記録媒体２４を直接押圧する比較例１においては、上述の第１実施例乃至第３実施例と比べて欠陥の増加数が、１０倍以上であり、傷も多く発生していたことが確認された。

他の比較例として、図２３に示されるような、チャンバー形成部材１２４Ａ、１２４Ｂを持った従来の磁気転写装置を利用して、連続的に磁気転写媒体を製造する場合を考察する。図２３において、本装置では、脱着可能に連結されるチャンバー形成部材１２４Ａ、１２４Ｂの内側に形成されるチャンバーに、転写用原盤２２および磁気記録媒体２４からなる密着体が格納されている。そのチャンバー内における転写用原盤２２と磁気記録媒体２４との密着部分には、後述するスピンドル１２２内に形成される作動圧供給路１２２ａを通じて所定の圧力の気体が供給される。また、チャンバー形成部材１２４Ａ、１２４Ｂの中央部には、スピンドル１２２の一端が連結されている。そして、スピンドル１２２が回転せしめられながら、作動状態とされる電磁石１２０Ａおよび１２０Ｂにより磁気記録媒体２４が磁気転写される。

その後、所定の圧力の気体を作動圧供給路１２２ａを通じて矢印Ａの示す方向にそのチャンバー内へ圧送することによって磁気記録媒体２４が転写用原盤２２から分離される。

例えば、図２４に示されるように、密着体形成工程に５秒、磁気転写工程に１０秒、分離工程に５秒という条件で、５秒に１枚の速さで連続的に磁気転写媒体を製造する場合を考察する。

図２３に示されるような、従来の磁気転写装置では、磁気転写工程と密着体分離工程が１つの装置で行なわれるので、密着体分離中に次の磁気転写工程をすることができない。よって、図２４に示されるように、磁気転写工程、密着体分離工程を兼ね備える従来の磁気転写装置が４台必要となることが分かる。

１２ 基台
１２Ｐ、９２Ｐ ストッパ部材
１２Ｃ、１３、９２Ｃ 受止部材
１６ ステージ部材
１８ 押圧部材
２２ 転写用原盤
２４ 磁気記録媒体
２８ 密着体
７０ 制御ユニット
９０Ａ、９０Ｂ クランプ部

Claims (7)

1. 磁気転写情報が記録された転写用原盤と被転写媒体とからなる密着体を形成する工程と、
   前記密着体における前記被転写媒体を前記転写用原盤から分離させる分離工程と、を含み、
   前記分離工程において、前記転写用原盤の外周縁部および中央部のうちの少なくとも一方を押圧し該転写用原盤を凸状に撓ませることにより、前記被転写媒体を前記転写用原盤から分離させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
2. 前記分離工程において、前記転写用原盤の中央部を支点とし前記転写用原盤の外周縁部を押圧し該転写用原盤を凸状に撓ませることにより、前記被転写媒体を前記転写用原盤から分離させることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。
3. 前記分離工程において、前記転写用原盤の外周縁部を支点とし前記転写用原盤の中央部を押圧し該転写用原盤を凸状に撓ませることにより、前記被転写媒体を前記転写用原盤から分離させることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。
4. 前記密着体を搬送するための搬送ハンドラの把持部が、前記転写用原盤の外周縁部および中央部のうちの少なくとも一方を押圧する押圧機構部の押圧部材の役割も兼ねることを特徴とする請求項１または請求項２記載の磁気記録媒体の製造方法。
5. 前記密着体における前記被転写媒体に対し磁界発生手段により磁気転写情報に基づく磁気転写を行う磁気転写工程をさらに含み、
   前記分離工程と前記磁気転写工程とは、異なる作業ステーションで行われることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。
6. 請求項１乃至請求項５のうちのいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法により製造されたことを特徴とする磁気記録媒体。
7. 前記密着体の転写用原盤に作用される曲げモーメントに応じて生じる前記被転写媒体の復元力が、該転写用原盤および該被転写媒体相互間の密着力よりも大であることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。

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