JP5117901B2 - インプリント治具およびインプリント装置 - Google Patents
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Description
つまり、ホルダプレート103とゴムシート104との密着性が剥離力に依存していることを見出した。
103 スタンパホルダ
104 ゴムシート
105 スタンパ
201 PCシート
210 プレス装置
Claims (11)
- 熱可塑性シートにパターンを転写するために表面に転写用パターンが形成された第一金型と、
前記第一金型を固定する金型ホルダと、
前記第一金型と前記金型ホルダとの間に弾性部材を設け、
前記第一金型に接触する該弾性部材の面と反対の面に前記シートを配置し、
前記第一金型の該シートに対して反対側に、第二金型を設けたインプリント治具において、
該弾性部材と前記第一金型の間、もしくは弾性部材と前記金型ホルダの間に密着性低減手段を設けたこと
を特徴とするインプリント治具。 - 前記第二金型に鏡面加工が施されていることを特徴とする請求項1に記載のインプリント治具。
- 前記密着性低減手段は、前記弾性部材と前記金型ホルダのそれぞれ対向する面の片側あるいは双方の面に凹凸を設け、あるいは前記弾性部材の前記スタンパ側の面に凹凸形成することであることを特徴とする請求項1に記載のインプリント治具。
- 前記密着性低減手段は、前記弾性部材と前記金型ホルダのそれぞれ対向する面の片側あるいは双方の面に凹凸を設け、あるいは前記弾性部材の前記スタンパ側の面に凹凸形成することであることを特徴とする請求項2に記載のインプリント治具。
- 前記凹凸の高さが0.5以上1μm以下である請求項3〜4のいずれか一項に記載のインプリント治具。
- 前記密着性低減手段が、剥離剤である請求項1〜2のいずれか一項に記載のインプリント治具。
- 前記弾性部材がシリコンゴムあるいは耐熱性を有するゴムによって形成されている請求項1〜4のいずれか一項に記載のインプリント治具。
- 前記密着性低減手段が、前記弾性部材と前記金型ホルダとの間、あるいはそのどちらか一方の面に設けられ、且つ前記密着性低減手段は表面に凹凸が形成された金属薄膜、あるいはフッ素樹脂の薄膜であることを特徴とする請求項1〜2のいずれか一項に記載のインプリント治具。
- 前記密着性低減手段が、前記スタンパと前記弾性部材との間、あるいは弾性部材側に設けられ、且つ前記密着性低減手段は表面に凹凸が形成された金属薄膜、あるいはフッ素樹脂の薄膜であることを特徴とする請求項1〜2のいずれか一項に記載のインプリント治具。
- 熱可塑性シートにパターンを転写するために表面に転写用パターンが形成された第一金型と、
前記第一金型を固定する金型ホルダと、
前記第一金型と前記金型ホルダとの間に弾性部材を設け、
前記第一金型に接触する該弾性部材の面と反対の面に該シートを配置し、
該シートに対して前記第一金型との反対側に、第二金型を設けたインプリント治具において、
該弾性部材と前記第一金型の間、もしくは弾性部材と前記金型ホルダの間に密着性低減手段を設けたことを特徴とするインプリント治具を着脱可能である装置であって、
前記インプリント治具に対し、加熱又は加圧することができる手段を保有していることを特徴とするインプリント装置。 - 前記第二金型に鏡面加工が施されていることを特徴とする請求項10に記載のインプリント装置。
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