CN101274486A - 刻印夹具及刻印装置 - Google Patents

Abstract

本发明在用于热毫微刻印的刻印夹具中，提供一种可容易剥离形成有规定图案的压模、和转印有形成于压模上的图案的塑料薄板的刻印夹具。刻印夹具具备：压模；固定压模的压模座；配置在压模和压模座之间且其一部分固定在压模座上的弹性部件；在压模的与弹性部件相反的一侧上与压模相对并在与压模之间夹持并保持塑料薄板的第二模具；以及用于提高弹性部件和压模座之间的剥离性的剥离性提高元件。

Description

刻印夹具及刻印装置

技术领域

本发明是夹持热塑性薄板的刻印夹具及刻印装置，并涉及在通过加热加压从而在热塑性薄板上转印细微图案的热式刻印中所使用的刻印夹具及刻印装置。

背景技术

近年来，由普林斯顿大学的Stephen Y.Chou教授等，作为以低廉的方法转印高纵横尺寸比的微小图案的方法发表了很多毫微刻印方式(ナノインプリント)的报告。毫微刻印主要可分为对图案转印使用紫外线硬化树脂的光毫微刻印方式和通过对热塑性物质施加热和压力从而进行图案转印的热毫微刻印方式。尤其是后者的方法通过将薄板材料作为材料，从而廉价地制造平板显示、电子卡等方法(以下，称为薄板热毫微刻印法(シ一ト熱ナノインプリント))受到关注。

记录媒体的世界中，例如在作为光盘基板的薄PC(聚碳酸酯)制薄板上利用薄板热毫微刻印法转印光盘图案，并将其以原样作为记录媒体使用，从而飞跃增加每单位体积的记录容量的技术受到关注。例如，根据专利文献1(日本特开2003-91970号公报)，提出了通过组合100μm以下的薄光盘和用于减少该薄形光盘的面振动使其稳定旋转的稳定器得到的大容量记录再生系统。

在光盘的制作中，一般是利用注射模塑成形的基板成形，但要用注射模塑成形制作上述薄基板，由于模具和第一模具(以下，称为压模)之间的间隙极窄，所以无法填充树脂。由此，将注射模塑成形法应用于薄形基板在技术上很难。另外，虽然向利用2P法得到的薄形基板上的图案形成在技术上是可行的，但存在成本的问题。与此相对，作为直接向薄板基板形成图案的薄板热毫微刻印法在技术上和成本上可以说比上述现有技术格外优良。

如上所述在使用热毫微刻印法制作光盘的场合，如果较薄地形成作为基板的热塑性薄板，则通过在该薄板上转印细微图案，可以制作极薄的光盘。就薄片热毫微刻印法而言，通过以比薄板的玻璃转变点高的温度对薄板加压，从而在软化的薄板表面上转印形成于压模上的细微图案。其后，将薄板冷却到比该玻璃转变点低的温度，剥离薄板和压模。这时，将组合了为转印细微图案而必需的第一模具(以下，还称为压模)、设置在与第一模具(压模)和薄板相接的面相反一侧的第二模具(以下，还称为板)和薄板及支撑第一模具的模具座(以下，还称为压模座或者座板)的夹具称为刻印夹具。使用时，由于调整加压所使用的加压装置整体的温度需要时间，所以在专利文献2(日本特开2006-269928号公报)中，在含有形成规定细微图案的压模的刻印夹具上夹住并固定热塑性薄板，将该刻印夹具夹在加压装置的平行平板上，加热的同时进行加压。其后，在剥离薄板和压模时，从加压装置中卸下刻印夹具，仅冷却刻印夹具。

制作光盘时，必须在宽广区域(φ120mm的圆形区域整体)的整个范围内可靠地转印细微图案，所以有必要高精度地控制薄板和压模之间的平行度。它们在不平行的状态下若进行加压则薄板整体不会均匀地受到压力，有可能无法在薄板上准确转印图案或者薄板发生变形。

为了避免这种问题，如后面所述，在压模和保持压模的压模座之间配置缓冲用橡胶薄板(以下，还称为弹性部件)。由此，可对薄板的面整体均匀地施加压力，可以大面积的转印。

但是，如后面所述，根据本发明者的实验，可明确如下问题。即、由于使用缓冲用橡胶薄板，因而在图案转印后的冷却剥离工序中，剥离完成转印的薄板和刻印夹具的压模所需的力变大，有可能使剥离后的完成转印的薄板发生变形。另外，如果完成转印的薄板和压模以倾斜的状态进行剥离，则由于转印的细微图案有可能变形，所以必须以将它们保持为平行的状态进行剥离。但是，在将薄板和压模保持为平行的状态下进行剥离的场合、与在它们倾斜的状态下剥离的场合相比，剥离需要较大的力。这样，剥离所需的力变大的场合，产生需要大规模的剥离装置的问题。

发明内容

根据本发明的第一方式，提供一种刻印夹具，其特征在于，具有：为了在热塑性薄板上转印图案而在表面上形成了转印用图案的第一模具；以及固定上述第一模具的模具座，在上述第一模具和上述模具座之间设置弹性部件，在与上述第一模具接触的该弹性部件的面的相反面上配置上述薄板，在上述薄板的与上述第一模具的相反侧设置实施了镜面处理的第二模具。另外，上述可以形成转印用图案，也可以实施镜面加工。实施镜面加工的场合，剥离压模和塑料薄板时，由于塑料薄板和第二模具牢固地粘贴，所以塑料薄板不会从第二模具剥离，能够可靠地剥离压模和塑料薄板。

根据本发明的第二方式，提供一种刻印夹具，其特征在于，具有：为了在热塑性薄板上转印图案而在表面上形成了转印用图案的第一模具；以及固定上述第一模具的模具座，在上述第一模具和上述模具座之间设有弹性部件，在与上述第一模具接触的该弹性部件的面的相反面上配置上述薄板，在该薄板的与上述第一模具的相反侧设置实施了镜面处理的第二模具，在该弹性部件和上述第一模具之间或者弹性部件和上述模具座之间设置密合性降低元件。上述可以形成转印用图案，也可以实施镜面加工。实施了镜面加工的场合，剥离压模和塑料薄板时，由于塑料薄板和第二模具牢固地粘贴，所以塑料薄板不会从第二模具剥离，能够可靠地剥离压模和塑料薄板。

本发明的刻印夹具，由于具备密合性降低元件，所以弹性部件和压模及压模座之间或者其任一方的密合性变低，其结果，可容易地剥离压模和塑料薄板。例如，在利用后述的热毫微刻印法对夹持在刻印夹具的压模和第二模具之间的塑料薄板进行加热加压时，压模和塑料薄板紧贴。由此，剥离塑料薄板和压模时需要非常大的力。在本发明中，由于具备用于提高剥离性的密合性降低元件，所以弹性部件和压模及压模座之间或者任一方的密合性变低，在开始剥离塑料薄板和压模时，在弹性部件的未固定在压模座上的部分(例如中央部分)中，压模座和弹性部件稍微剥离。此时，弹性部件的固定在压模座上的部分(例如弹性部件的外周边缘部分)无法从压模座剥离。因此，仅弹性部件的中央部分以向与压模座相反的一侧弯曲的方式发生变形，伴随着该变形，在压模的外周部分中，在压模和塑料薄板之间形成微小间隙。可以认为这样形成的间隙可容易进行压模和塑料薄板的剥离。

在本发明的刻印夹具中，上述弹性部件可以由硅酮橡胶形成，上述弹性部件还可以由具有耐热性的橡胶形成。在任一种情况中，由于弹性部件由具有耐热性的橡胶(硅酮橡胶、氟系橡胶等)形成，所以可在薄板热微毫转印法所需的高温环境下使用刻印夹具。

在本发明的刻印夹具中，上述密合性降低元件可以是形成于上述压模座的上述弹性部件一侧的面上的凹凸。另外，上述凹凸的高度可以为大致1μm。这种情况，通过加粗压模座的表面粗糙度，例如形成1μm左右的凹凸，从而可使压模座和弹性部件之间的密合性降低，再有可容易地剥离压模和塑料薄板。在此，凹凸是指突起及/或凹入，凹凸的高度是指形成有凹凸的面(例如压模座的弹性部件一侧的面)在与该面垂直方向上的高低差。

在本发明的刻印夹具中，上述密合性降低元件可以是形成于上述弹性部件的上述压模座一侧的面上的凹凸。另外，上述凹凸的高度可以为大致1μm。这种情况，通过加粗弹性部件的表面粗糙度，例如形成1μm左右的凹凸，可使压模座和弹性部件之间的密合性降低，进而可容易地剥离压模和塑料薄板。

在本发明的刻印夹具中，上述密合性降低元件可以是形成于上述弹性部件的上述压模一侧的面上的凹凸。另外，上述凹凸的高度可以为大致1μm。这种情况，通过加粗弹性部件的表面粗糙度，例如形成1μm左右的凹凸，可使压模座和弹性部件之间的密合性降低，进而可容易地剥离压模和塑料薄板。

在本发明的刻印夹具中，上述密合性降低元件可以是剥离剂，还可以是设置在上述弹性部件和上述压模及上述压模座之间或者其任一方上的氟树脂薄膜，还可以是设置在上述弹性部件、上述压模及上述压模座之间或者其任一方上且表面上形成有凹凸的金属薄膜。在任一种情况中，均可使压模座和弹性部件之间的密合性降低，进而可容易地剥离压模和塑料薄板。

在本发明的刻印夹具中，上述第二模具的与上述压模相对的面可以是镜面。在这种情况下，在剥离压模和塑料薄板时，由于塑料薄板和第二模具牢固地粘贴，所以塑料薄板不会从第二模具剥离，能够可靠地剥离压模和塑料薄板。

对本发明的效果进行说明。

使用本发明的刻印夹具，在使用薄板热毫微刻印法进行大面积的图案转印时，不会对薄板造成损伤，可用较小的力从夹具上进行薄板的剥离。

附图说明

图1是涉及本发明的刻印夹具的示意图。

图2是表示在刻印夹具上夹有PC薄板状态的图。

图3是加压装置的示意图。

图4(a)是表示将夹有PC薄板的刻印夹具安装在加压装置上状态的图，图4(b)是表示用加压装置对刻印夹具进行着加压状态的图。

图5是表示将刻印夹具安装在剥离装置上的状态的图。

图6是总结有关剥离容易度相对压模座的表面粗糙度的测定结果的表。

图7是在剥离压模和PC薄板时的刻印夹具状态的图。

图8是表示使用了剥离剂的场合的刻印夹具的图。

图9是表示使用了两张橡胶薄板场合的刻印夹具的图。

图中：

100-刻印夹具，103-压模座，104-橡胶薄板，105-压模，201-PC薄板，210-加压装置。

具体实施方式

参照图1，对涉及本发明的刻印夹具的一个例子进行说明。如图1所示，刻印夹具100主要具备压模座101、和配置在压模座101的上侧的镜板102。

镜板102是不锈钢制的略呈圆盘状的部件，在镜板102的与压模座101相对的下面102a上实施镜面加工。另外，在镜板102的外周边缘形成比镜板102的中央部分厚度薄的凸缘102b。在搬运镜板102时，通过用手把持该凸缘102b，从而防止不经意接触到已实施镜面加工的下面102a。

压模座101具备：略呈圆盘状部件的不锈钢制座板103；配置在座板103上面(与镜板102相对一侧的面)的耐热橡胶制的橡胶薄板(耐热橡胶薄板、弹性部件)104；配置在橡胶薄板104上面的压模105；以及将橡胶薄板104及压模105固定在座板103上面的夹紧部(按压部、外周按压部)106。橡胶薄板104由硅酮橡胶形成，并配置在压模105和座板103之间。如后面所述，橡胶薄板104起到在制造光盘基板的加热加压工序中作为用于使压模105均匀地按压光盘基板即热塑性树脂薄板整体的缓冲材料的作用。

压模105是镍制呈薄形略为圆盘状的部件，在其一个面上形成规定的细微图案，在后述的加热加压工序中，在用作光盘基板的热塑性树脂薄板上转印该图案。另外，在座板103的上面以橡胶薄板104和压模105重叠配置的状态，压模105的外周部分由夹紧部106进行加力。与此相对，由于橡胶薄板104及压模105的中央部分未直接对座板103加力，所以，如后面所述，它们的中央部分可以以从座板103分离的方式进行弯曲变形。

其次，对使用上述刻印夹具100形成光盘基板的方法(薄板热毫微刻印法)进行说明。首先，如图2所示，在压模座101的上面即、由夹紧部106固定外周部的压模105的上面(形成有图案的面)放置厚度约为100μm的聚碳酸酯(PC)制热塑性塑料薄板(PC薄板)201上。再有，使镜板102的镜面加工后的下面102a接触PC薄板201的上面，将PC薄板201夹在刻印夹具100上。

其次，如图4(a)所示，将夹持了PC薄板201的刻印夹具100安装在加热装置210上。在此，如图3所示，加压装置210具备：具有规定厚度的金属制板状部件即上台211A及下台211B；分别设置在这些上台211A及下台211B上的加热器212；可旋转地设置在上台211A上且使上台211A上下移动的滚珠螺杆213；以及内装在下台211B中的滚珠螺杆213的旋转马达(未图示)。加压装置210在利用加热器212将加压对象物加热到规定温度的状态下，可对夹在上台211A和下台211B之间的加压对象物进行加压。

利用滚珠螺杆213的旋转马达，如图4(b)所示，使上台211A向接近下台211B的方向移动，对夹持在上台211A和下台211B中的刻印夹具100施加规定载荷。通过以规定载荷(压力)按压刻印夹具100，从而还可对夹持在刻印夹具100中的PC薄板201施加规定载荷。在由加压装置210按压刻印夹具100及PC薄板201期间，由设置在加压装置210上的加热器212将刻印夹具100及PC薄板201的温度维持在比PC薄板201的玻璃转变温度Tg还高的温度(加热加压工序)。这样，通过在将PC薄板201维持在比其玻璃转变温度Tg还高的温度的状态下按压，可将形成于压模105上面的规定图案转印在与压模105上面接触的PC薄板201的下面。

在由加压装置210在规定时间内(在本实施方式中约为10秒)对刻印夹具100及PC薄板201施加规定载荷之后，将加压装置210的上台211A从下台211B分离开，卸下夹持在这些台之间的刻印夹具100(及PC薄板201)。将卸下后的刻印夹具100及PC薄板201冷却到比PC薄板201的玻璃转变温度Tg低的温度(冷却温度)(冷却工序)。在此，将PC薄板201的温度冷却到了比其玻璃转变温度Tg足够低的场合，在后述的剥离工序中，由于容易损坏已转印到PC薄板201上的图案，所以期望冷却温度设定为比PC薄板201的玻璃转变温度Tg稍微低的温度。

在将刻印夹具100及PC薄板201冷却到了规定的冷却温度之后，如图5所示那样安装在剥离装置230上。在此，剥离装置230具备：放置对象物的台231；固定配置在台231上的对象物的夹紧部232；在台231的上方，对固定在台231上的对象物进行真空吸附的真空吸附部233；真空泵234；以及使真空吸附部233相对台231向上方移动的移动部235。真空吸附部233以在与对象物之间形成规定的密闭空间的状态与对象物紧贴配置。通过由真空泵234对形成于真空吸附部233和对象物之间的空间压力进行减压，从而真空吸附部233对对象物进行真空吸附。

如图5所示，将刻印夹具100配置在台231上。这时，由夹紧部232将刻印夹具100的压模座101固定在台231上，由真空吸附部233对刻印夹具100的镜板102的上面进行真空吸附。其后，通过使用移动部235使真空吸附部233相对台231向上方移动，从而从压模座101上拉离镜板102。这时，镜板102和压模座101以保持大致相互平行的状态被拉离。

在此，由于镜板102的与PC薄板201相接的面实施镜面加工，所以它们牢固紧贴。因此，即使施加垂直于镜板102及PC薄板201的面方向的力，也很难将它们拉离。因此，在向上侧拉引由真空吸附部233吸附的镜板102的场合，镜板102不会从PC薄板201分离，镜板102和PC薄板201构成一体，相对压模座101向上侧被拉引。

另一方面，由于压模座101固定在台231上，所以如上所述，在向上侧拉引由真空吸附部233吸附的镜板102的场合，剥离压模座101的上面(也就是，压模105的上面)和PC薄板201的下面(剥离工序)。其后，通过从镜板102剥离PC薄板201，从而形成在一面上形成了细微图案的光盘基板。

在剥离PC薄板201后的镜板102及压模座101上配置别的PC薄板201，再安装在加压装置210上。在此，刻印夹具100和加压装置210是独立的装置，所以可在将加压装置210保持为规定温度的状态下，从加压装置容易地卸下刻印夹具100，可冷却PC薄板201。由于刻印夹具100的热容量小，所以可在短时间内进行冷却。因此，与将刻印夹具100组装在加压装置210中的场合相比，在冷却PC薄板201的工序中，无需等到热容量大的加压装置210的温度降低。再有，使用多个刻印夹具100的场合，可同时进行冷却安装在某个刻印夹具100上的PC薄板201的工序、和使用被保持为规定温度的加压装置210对安装在别的刻印夹具100上的PC薄板201进行加热加压的工序，可实现作业时间的缩短。

但是，由于加压装置210和刻印夹具100并未做成一体化，所以例如即使以高工作精度形成加压装置210的上台211A和下台211B，安装在刻印夹具100上的PC薄板201在其面方向整体范围内也未必均匀地受到压力。这是因为向PC薄板201施加的压力的均匀度受到刻印夹具100的工作精度(公差)、PC薄板201向刻印夹具100上安装的安装精度及/或刻印夹具100向加压装置210上安装的安装精度等引起的误差的影响。在上述误差大的场合，在PC薄板201的全面范围内未均匀地施加压力的场合，压模105的上面和PC薄板201的下面未均匀紧贴，有可能在PC薄板201的下面未转印压模105的细微图案。为了防止这种情况，在本实施方式中，在座板103和压模105之间配置缓冲用橡胶薄板104，吸收上述误差，可在PC薄板201的面方向全体范围内均匀地施加压力。

这样，通过在将PC薄板201安装在刻印夹具100上的状态下使用加压装置210对其进行加压，从而可在PC薄板201的下面转印形成于压模105上的规定细微图案。然后，在从加压装置210中卸下了刻印夹具100时，由于PC薄板201和刻印夹具100处于粘贴状态，所以如上所述，必需将它们剥离。在此，在剥离刻印夹具100的压模105和PC薄板201时，例如像剥离薄板的场合那样，若对压模105及PC薄板201施加相对于压模105及PC薄板201的面方向倾斜方向(以下，简单称之为面方向)的力剥离它们，则转印在PC薄板201的下面的图案破损的可能性大。另外，为剥离压模105和PC薄板201所需的力(剥离力)非常大的场合，存在已剥离的PC薄板201发生变形的情况。

因此，在剥离压模105和PC薄板201时，期望使剥离压模105和PC薄板201保持为平行的状态下，且以尽可能弱的力剥离它们。在此，在本实施方式中，由于使用剥离装置230进行剥离，所以可在压模105和PC薄板201保持平行的状态下进行剥离。但是，为了在压模105和PC薄板201保持平行的状态下进行剥离，有必要对它们施加垂直于面方向的力进行剥离，与施加倾斜于面方向的力剥离它们的场合相比，需要较大的剥离力。但是，若对PC薄板施加这样的较大的力，则如上所述，剥离的PC薄板201有可能发生变形。

针对该问题，本发明者基于以下所示的实验结果，发现按照座板103的上表面的粗糙度(Ra)剥离所需的力(剥离力)大不一样。也就是，发现剥离压模105和PC薄板201所需的力不是依存于刻印夹具100的与PC薄板201接触部分的表面粗糙度，而是依存于与橡胶薄板104接触部分的表面粗糙度。

也就是，发现座板103和橡胶薄板104的密合性依存于剥离力。

对于座板103的上表面的粗糙度(Ra)不同的场合，使用上述剥离装置230进行压模105和PC薄板210的剥离，并进行了研究各种情况的剥离状况的实验。图6是总结这些实验结果的表。从该结果中可知，Ra小的场合(Ra为20nm或400nm)，需要非常大的剥离力，现有的剥离装置无法剥离PC薄板201和压模105。另一方面，Ra较大(例如Ra为600nm或1000nm)的场合，以较小的剥离力便可剥离PC薄板201和压模105。即、可知，通过加大座板103的上表面的粗糙度(Ra)能够以较小的剥离力剥离压模105和PC薄板201。

其次，考察了有关座板103的上面的粗糙度对PC薄板201和压模105带来的影响。在剥离PC薄板201和压模105时，相对压模座101向上拉引镜板102。这时，与镜板102构成一体的PC薄板201会向上拉引压模105。虽然压模105的外周边缘部分由夹紧部106向座板103加力，但它们的中央部分相对于座板103未直接加力。再有，虽然橡胶薄板104和压模105紧贴，彼此牢固地粘贴，但在座板103的上面形成微小凹凸，座板103的上面变粗糙的场合，座板103和橡胶薄板104之间的密合性变低。因此，如图7所示认为，由剥离装置230向箭头方向施加力，剥离PC薄板201和压模105时，压模105及橡胶薄板104成为一体，以它们的中央部分稍微向上凸出的方式发生变形。

如图7所示，在压模105及橡胶薄板104已向上拉引时，它们的中央部分稍微向上凸起变形，但压模105的外周边缘部分固定在座板103上不会变形。因此，在压模105的外周边缘部分和PC薄板201的外周边缘部分之间发生微小间隙。认为是由于该间隙的存在，压模105和PC薄板210的剥离会容易。也就是认为，通过形成该间隙，虽然不是以非常小的角度而是以与倾斜拉引等同的作用对压模105和PC薄板201作用力。或者还可以认为是通过形成间隙，从而对压模105和PC薄板201的接触板(界面)供给空气，从而促进它们的剥离。

这样，为了降低用于剥离PC薄板201和压模105所需的力，认为将压模105的中央部相对于压模105的外周边缘部向远离座板103的方向移动，即、稍微向上凸出地变形是有必要的。用于提高PC薄板201和压模105的剥离力的方法不限于如上述实施方式所述的在座板103的与橡胶薄板104接触的面上形成微小凹凸(Ra约为600nm～1μm左右)，还可以采用以下说明的各种方法。

本发明者基于上述实验结果，发现了按照座板103的上表面的粗糙度(Ra)，剥离所需的力(剥离力)大不相同。也就是，发现了剥离压模105和PC薄板201所需的力依存于橡胶薄板104和座板103的密合度。这样，如果着眼于橡胶薄板104和座板103的密合度，则不仅在座板103的与橡胶薄板104接触的面上形成微小凹凸(Ra约为600nm～1μm左右)，或者还可以取代形成上述凹凸，而在橡胶薄板104的与座板103接触的面上形成与上述凹凸相同程度的微小凹凸(Ra约为600nm～1μm左右)，也能够降低橡胶薄板104和座板103的密合度。这种情况，在剥离PC薄板201和压模105时，由于橡胶薄板104及压模105的中央部也可向上凸起地变形，基于上述理由，可促进PC薄板201及压模105的剥离。

如图8所示，还可以在橡胶薄板104和座板103之间涂敷剥离剂180。这种情况，由于橡胶薄板104和座板103之间容易剥离，所以在剥离PC薄板201和压模105时，橡胶薄板104和压模105的中央部也可向上凸起地变形。由此，也可容易剥离PC薄板201和压模105。另外，不仅涂敷剥离剂108还可取代剥离剂180的涂敷，例如通过将氟系树脂等的薄膜、在表面已形成细微凹凸的金属薄膜等配置在橡胶薄板104和座板103之间，从而也可促进PC薄板201和压模105的剥离。

如图9所示，也可以在橡胶薄板104和座板103之间进一步配置其它橡胶薄板104A。这种情况，例如还可以在橡胶薄板104及/或橡胶薄板104A的表现形成细微的凹凸，也可以在这些橡胶薄板之间涂敷剥离剂180。或者，还可以在这些橡胶薄板之间插入上述薄膜。任一种情况，均可促进PC薄板201和压模105的剥离。

至此，对利用使橡胶薄板104和座板103的接触面的密合度降低的方法促进PC薄板201和压模105的剥离的情况进行了说明。但是，通过在压模105和橡胶薄板104之间使用上述方法，从而还可降低其间的密合度。这种情况，虽然橡胶薄板104保持与座板103紧贴的状态，但由于压模105的中央部远离橡胶薄板104并向上凸起地变形，因而可促进PC薄板201和压模105的剥离。

在以上的说明中，形成于橡胶薄板104、座板103或压模105上的凹凸还可以在它们的全面范围内形成，例如还可以在中央部分等的一部分形成。另外，例如还可以在橡胶薄板104的双面上形成凹凸等，在两个以上的面上形成凹凸。另外，橡胶薄板104的材料不限于硅酮橡胶，例如还可以用氟系橡胶、氟化橡胶等的具有耐热性的橡胶形成。再有，只要是具有耐热性，橡胶薄板104A可以用与橡胶薄板104相同的材料形成，也可以用其它材料形成。

另外，座板、镜板等的材质、形状不限于上述实施方式。例如，在镜板的与PC薄板接触的面上还可以形成与压模相同的毫微程度的细微图案。在上述实施方式中，作为形成光盘基板的原材料，虽然以PC薄板为例进行了说明，但只要是热塑性塑料薄板即可，例如，还可以是PET薄板。

以上，对本发明的具体实施方式进行了说明，但本发明不限于这些实施方式。在本领域技术人员在不脱离本发明要旨的范围内可进行对发明结构及机能的变更、改良。

Claims (13)

1.一种刻印夹具，其特征在于，

具有：为了在热塑性薄板上转印图案而在表面上形成有转印用图案的第一模具；以及固定上述第一模具的模具座，

在上述第一模具和上述模具座之间设置弹性部件，

在与上述第一模具接触的该弹性部件的面的相反面上配置上述薄板，

相对于上述薄板在与上述第一模具相反的一侧设置第二模具。

2.根据权利要求1所述的刻印夹具，其特征在于，

对上述第二模具实施镜面加工。

3.一种刻印夹具，其特征在于，

具有：为了在热塑性薄板上转印图案而在表面上形成了转印用图案的第一模具；以及固定上述第一模具的模具座，

在上述第一模具和上述模具座之间设置弹性部件，

在与上述第一模具接触的该弹性部件的面的相反面上配置上述薄板，

在上述第一模具的相对于该薄板的相反侧配置第二模具，

在该弹性部件和上述第一模具之间或者弹性部件和上述模具座之间设置密合性降低元件。

4.根据权利要求3所述的刻印夹具，其特征在于，

对上述第二模具实施镜面加工。

5.根据权利要求3所述的刻印夹具，其特征在于，

上述密合性降低元件在上述弹性部件和上述模具座的各相对面的单侧或者双方的面上设置凹凸，或者在上述弹性部件的上述压模侧的面上形成凹凸。

6.根据权利要求4所述的刻印夹具，其特征在于，

上述密合性降低元件在上述弹性部件和上述模具座的各相对面的单侧或者双方的面上设置凹凸，或者在上述弹性部件的上述压模侧的面上形成凹凸。

7.根据权利要求3～6任一项所述的刻印夹具，其特征在于，

上述弹性部件由硅酮橡胶或者具有耐热性的橡胶形成。

8.根据权利要求5～6任一项所述的刻印夹具，其特征在于，

上述凹凸的高度为大致1μm。

9.根据权利要求3～4任一项所述的刻印夹具，其特征在于，

上述密合性降低元件是剥离剂。

10.根据权利要求3～4任一项所述的刻印夹具，其特征在于，

上述密合性降低元件设置在上述弹性部件和上述模具座之间或者其任一方的面上，而且上述密合性降低元件是在表面上形成有凹凸的金属薄膜或者氟树脂薄膜。

11.根据权利要求3～4任一项所述的刻印夹具，其特征在于，

上述密合性降低元件设置在上述压模和上述弹性部件之间或者弹性部件一侧上，而且上述密合性降低元件是在表面上形成有凹凸的金属薄膜或者氟树脂薄膜。

12.一种刻印装置，可装卸刻印夹具，其特征在于，

该刻印夹具具有为了在热塑性薄板上转印图案而在表面上形成有转印用图案的第一模具、以及固定上述第一模具的模具座，

在上述第一模具和上述模具座之间设置弹性部件，

在与上述第一模具接触的该弹性部件的面的相反面上配置该薄板，

相对于该薄板在与上述第一模具相反的一侧设置第二模具，

在该弹性部件和上述第一模具之间或者弹性部件和上述模具座之间设置密合性降低元件；

上述刻印装置具有可对上述刻印夹具进行加热或加压的元件。

13.根据权利要求12所述的刻印装置，其特征在于，

对上述第二模具实施镜面加工。

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