JP2001243624A - 磁気転写方法 - Google Patents
磁気転写方法Info
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/86—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/86—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
- G11B5/865—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers by contact "printing"
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体とを
接触して磁気転写する方法において、転写信号の信号品
位が高い磁気転写方法を提供する。 【解決手段】 磁気記録情報が記録された磁性層を有す
る磁気転写用マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体
とを密着させて磁気転写用マスター担体の磁気記録情報
をスレーブ媒体に転写する磁気転写方法において、予め
スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化した
後、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体とを密着させスレーブ面の初期直流磁化方向と逆
向きの方向に転写用磁界を印加し磁気転写をおこなう際
に、磁気転写用マスター担体の異方性磁界（Ｈｋ）がス
レーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）に対して４×１０-4＜（Ｈ
ｋ／Ｈｃ）＜２×１０-1の条件で磁気転写を行う磁気転
写方法。
接触して磁気転写する方法において、転写信号の信号品
位が高い磁気転写方法を提供する。 【解決手段】 磁気記録情報が記録された磁性層を有す
る磁気転写用マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体
とを密着させて磁気転写用マスター担体の磁気記録情報
をスレーブ媒体に転写する磁気転写方法において、予め
スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化した
後、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体とを密着させスレーブ面の初期直流磁化方向と逆
向きの方向に転写用磁界を印加し磁気転写をおこなう際
に、磁気転写用マスター担体の異方性磁界（Ｈｋ）がス
レーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）に対して４×１０-4＜（Ｈ
ｋ／Ｈｃ）＜２×１０-1の条件で磁気転写を行う磁気転
写方法。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、大容量、高記録密
度の磁気記録再生装置用の磁気記録媒体への記録情報の
磁気転写方法に関し、特に大容量、高記録密度の磁気記
録媒体へのサーボ信号、アドレス信号、その他通常の映
像信号、音声信号、データ信号等の記録に用いられる磁
気転写方法に関する。
度の磁気記録再生装置用の磁気記録媒体への記録情報の
磁気転写方法に関し、特に大容量、高記録密度の磁気記
録媒体へのサーボ信号、アドレス信号、その他通常の映
像信号、音声信号、データ信号等の記録に用いられる磁
気転写方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】デジタル画像の利用の進展等で、パソコ
ン等で取り扱う情報量が飛躍的に増加している。情報量
の増加によって、情報を記録する大容量で安価で、しか
も記録、読み出し時間の短い磁気記録媒体が求められて
いる。ハードディスク等の高密度記録媒体や、ＺＩＰ
（Ｉｏｍｅｇａ社）等の大容量のリムーバル型の磁気記
録媒体では、フロッピーディスクに比べて情報記録領域
は狭トラックで構成されており、狭いトラック幅を正確
に磁気ヘッドを走査し、信号の記録と再生を高Ｓ／Ｎ比
で行うためには、トラッキングサーボ技術を用いて正確
な走査を行うことが必要である。
ン等で取り扱う情報量が飛躍的に増加している。情報量
の増加によって、情報を記録する大容量で安価で、しか
も記録、読み出し時間の短い磁気記録媒体が求められて
いる。ハードディスク等の高密度記録媒体や、ＺＩＰ
（Ｉｏｍｅｇａ社）等の大容量のリムーバル型の磁気記
録媒体では、フロッピーディスクに比べて情報記録領域
は狭トラックで構成されており、狭いトラック幅を正確
に磁気ヘッドを走査し、信号の記録と再生を高Ｓ／Ｎ比
で行うためには、トラッキングサーボ技術を用いて正確
な走査を行うことが必要である。
【０００３】そこで、ハードディスク、リムーバル型の
磁気記録媒体のような大容量の磁気記録媒体では、ディ
スク１周に対して、一定の角度間隔でトラッキング用サ
ーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記
録された領域を設けており、磁気ヘッドは、一定間隔で
これらの信号を再生することにより、ヘッドの位置を確
認、修正しながら正確にトラック上を走査している。こ
れらの信号は、磁気記録媒体の製造時にプリフォーマッ
トと称してあらかじめ磁気記録媒体に記録する方法が行
われている。
磁気記録媒体のような大容量の磁気記録媒体では、ディ
スク１周に対して、一定の角度間隔でトラッキング用サ
ーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記
録された領域を設けており、磁気ヘッドは、一定間隔で
これらの信号を再生することにより、ヘッドの位置を確
認、修正しながら正確にトラック上を走査している。こ
れらの信号は、磁気記録媒体の製造時にプリフォーマッ
トと称してあらかじめ磁気記録媒体に記録する方法が行
われている。
【０００４】トラッキング用サーボ信号やアドレス情報
信号、再生クロック信号等の記録には正確な位置決め精
度が要求されるので、磁気記録媒体をドライブに組み込
んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて厳密に位置制御
された磁気ヘッドによりプリフォーマット記録が行われ
ている。
信号、再生クロック信号等の記録には正確な位置決め精
度が要求されるので、磁気記録媒体をドライブに組み込
んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて厳密に位置制御
された磁気ヘッドによりプリフォーマット記録が行われ
ている。
【０００５】しかしながら、磁気ヘッドによるサーボ信
号やアドレス情報信号、再生クロック信号のプリフォー
マット記録においては、専用のサーボ記録装置を用いて
磁気ヘッドを厳密に位置制御しながら記録を行うため
に、プリフォーマット記録に多くの時間を要している。
また、磁気記録密度の増大に伴ってプリフォーマット記
録すべき信号量が多くなり、さらに多くの時間を要する
ことになる。したがって磁気記録媒体の製造において、
サーボ信号等のプリフォーマット記録工程に要する費用
の製造コストに占める割合が大きくなるので、この工程
での低コスト化が望まれている。
号やアドレス情報信号、再生クロック信号のプリフォー
マット記録においては、専用のサーボ記録装置を用いて
磁気ヘッドを厳密に位置制御しながら記録を行うため
に、プリフォーマット記録に多くの時間を要している。
また、磁気記録密度の増大に伴ってプリフォーマット記
録すべき信号量が多くなり、さらに多くの時間を要する
ことになる。したがって磁気記録媒体の製造において、
サーボ信号等のプリフォーマット記録工程に要する費用
の製造コストに占める割合が大きくなるので、この工程
での低コスト化が望まれている。
【０００６】一方、１トラックずつプリフォーマット情
報を記録せずに、プリフォーマット情報をマスター担体
からスレーブ媒体への磁気転写で行う方式も提案されて
いる。例えば、特開昭６３−１８３６２３号公報、特開
平１０−４０５４４号公報および特開平１０−２６９５
６６号公報に転写技術が紹介されている。特開昭６３−
１８３６２３号公報や特開平１０−４０５４４号公報に
記載の方法では、磁気転写用マスター担体として基板の
表面に情報信号に対応する凸凹形状が形成され、凸凹形
状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成された磁気
転写用マスター担体の表面を、強磁性薄膜あるいは強磁
性粉塗布層が形成されたシート状もしくはディスク状磁
気記録媒体の表面に接触、あるいは更に交流バイアス磁
界、あるいは直流磁界を印加して凸部表面を構成する強
磁性材料を励起することにより、凸凹形状に対応する磁
化パターンを磁気記録媒体に記録するものである。
報を記録せずに、プリフォーマット情報をマスター担体
からスレーブ媒体への磁気転写で行う方式も提案されて
いる。例えば、特開昭６３−１８３６２３号公報、特開
平１０−４０５４４号公報および特開平１０−２６９５
６６号公報に転写技術が紹介されている。特開昭６３−
１８３６２３号公報や特開平１０−４０５４４号公報に
記載の方法では、磁気転写用マスター担体として基板の
表面に情報信号に対応する凸凹形状が形成され、凸凹形
状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成された磁気
転写用マスター担体の表面を、強磁性薄膜あるいは強磁
性粉塗布層が形成されたシート状もしくはディスク状磁
気記録媒体の表面に接触、あるいは更に交流バイアス磁
界、あるいは直流磁界を印加して凸部表面を構成する強
磁性材料を励起することにより、凸凹形状に対応する磁
化パターンを磁気記録媒体に記録するものである。
【０００７】この方法では、磁気転写用マスター担体の
凸部表面をプリフォーマットするべき磁気記録媒体、す
なわちスレーブ媒体に密着させて同時に凸部を構成する
強磁陸材料を励磁することにより、スレーブ媒体に所定
のプリフォーマット情報の記録を形成する転写方法であ
り、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体との相対的
な位置を変化させることなく静的に記録を行うことがで
き、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも
記録に要する時間も極めて短時間であるという特徴を有
している。また、この磁気転写方法は磁気転写用マスタ
ー担体とスレーブ媒体の両者を静止した状態で接触させ
て転写する方式であるため、サーボ信号記録工程での磁
気転写用マスター担体、スレーブ媒体ともに破損が発生
することが少なく、高い耐久性が期待される方式であ
る。
凸部表面をプリフォーマットするべき磁気記録媒体、す
なわちスレーブ媒体に密着させて同時に凸部を構成する
強磁陸材料を励磁することにより、スレーブ媒体に所定
のプリフォーマット情報の記録を形成する転写方法であ
り、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体との相対的
な位置を変化させることなく静的に記録を行うことがで
き、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも
記録に要する時間も極めて短時間であるという特徴を有
している。また、この磁気転写方法は磁気転写用マスタ
ー担体とスレーブ媒体の両者を静止した状態で接触させ
て転写する方式であるため、サーボ信号記録工程での磁
気転写用マスター担体、スレーブ媒体ともに破損が発生
することが少なく、高い耐久性が期待される方式であ
る。
【０００８】磁気転写用マスター担体に用いる磁性体と
しては一般には軟磁性材料が使用される。そして、これ
らの磁性体には転写効率を高めるために異方性磁界（Ｈ
ｋ）が小さく、小さな磁界で飽和する磁性層が良いとの
考えから、Ｈｋ＜８．０×１０-2ｋＡ／ｍ（１Ｏｅ）以
下の材料を検討した。しかしながら、Ｈｋ＜８．０×１
０-2ｋＡ／ｍ（１Ｏｅ）以下の磁性層で磁気転写を行っ
た媒体では、磁気転写の信号出力、半値幅が変化し信号
品位が変化する現象が起こった。またマスター担体の異
方性磁界（Ｈｋ）が大きくなると磁気転写信号が不鮮明
になり、出力が低下するという間題が起こっていた。
しては一般には軟磁性材料が使用される。そして、これ
らの磁性体には転写効率を高めるために異方性磁界（Ｈ
ｋ）が小さく、小さな磁界で飽和する磁性層が良いとの
考えから、Ｈｋ＜８．０×１０-2ｋＡ／ｍ（１Ｏｅ）以
下の材料を検討した。しかしながら、Ｈｋ＜８．０×１
０-2ｋＡ／ｍ（１Ｏｅ）以下の磁性層で磁気転写を行っ
た媒体では、磁気転写の信号出力、半値幅が変化し信号
品位が変化する現象が起こった。またマスター担体の異
方性磁界（Ｈｋ）が大きくなると磁気転写信号が不鮮明
になり、出力が低下するという間題が起こっていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、磁気転写用
マスター担体に記録された記録情報をスレーブ媒体に転
写する際に、転写された信号の品位の劣化を防止する方
法を提供することを課題とするものである。
マスター担体に記録された記録情報をスレーブ媒体に転
写する際に、転写された信号の品位の劣化を防止する方
法を提供することを課題とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、磁気記
録媒体に磁気転写を行う方法において、磁気転写用マス
ター担体の異方性磁界（Ｈｋ）がスレーブ媒体の保磁力
（Ｈｃ）に対して４×１０-4＜（Ｈｋ／Ｈｃ）＜２×１
０-1の関係にある磁気転写方法によって解決することが
できる。また、磁気記録情報が記録された磁性層を有す
る磁気転写用マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体
とを密着させて磁気転写用マスター担体の磁気記録情報
をスレーブ媒体に転写する磁気転写方法において、予め
スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化した
後、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体とを密着させスレーブ面の初期直流磁化方向と逆
向きの方向に転写用磁界を印加し磁気転写をおこなう前
記の磁気転写方法である。
録媒体に磁気転写を行う方法において、磁気転写用マス
ター担体の異方性磁界（Ｈｋ）がスレーブ媒体の保磁力
（Ｈｃ）に対して４×１０-4＜（Ｈｋ／Ｈｃ）＜２×１
０-1の関係にある磁気転写方法によって解決することが
できる。また、磁気記録情報が記録された磁性層を有す
る磁気転写用マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体
とを密着させて磁気転写用マスター担体の磁気記録情報
をスレーブ媒体に転写する磁気転写方法において、予め
スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化した
後、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体とを密着させスレーブ面の初期直流磁化方向と逆
向きの方向に転写用磁界を印加し磁気転写をおこなう前
記の磁気転写方法である。
【００１１】また、磁気記録媒体としてスレーブ媒体の
保磁力Ｈｃが１０３ｋＡ／ｍ以上、３１３ｋＡ／ｍ未満
である磁気記録媒体を用いる前記の磁気転写方法であ
る。さらに、磁気記録媒体が前記のいずれかに記載の方
法によってサーボ信号を記録したものである磁気記録媒
体である。
保磁力Ｈｃが１０３ｋＡ／ｍ以上、３１３ｋＡ／ｍ未満
である磁気記録媒体を用いる前記の磁気転写方法であ
る。さらに、磁気記録媒体が前記のいずれかに記載の方
法によってサーボ信号を記録したものである磁気記録媒
体である。
【００１２】
【発明の実施の形態】すなわち本発明においては、磁気
記録媒体に磁気転写によって記録情報の転写を行う際
に、マスター担体の異方性磁界（Ｈｋ）の大きさがスレ
ーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）に対して一定の大きさであれ
ば磁気転写した信号の品位の低下を防止できることを見
出したものである。記録情報の磁気転写においては、一
般には磁気転写用マスター担体としては軟磁性材料が使
用される。特に転写効率を高めるためには、磁気異方性
（Ｈｋ）が小さく、小さな磁界で飽和する磁性層が良い
と考えられていた。
記録媒体に磁気転写によって記録情報の転写を行う際
に、マスター担体の異方性磁界（Ｈｋ）の大きさがスレ
ーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）に対して一定の大きさであれ
ば磁気転写した信号の品位の低下を防止できることを見
出したものである。記録情報の磁気転写においては、一
般には磁気転写用マスター担体としては軟磁性材料が使
用される。特に転写効率を高めるためには、磁気異方性
（Ｈｋ）が小さく、小さな磁界で飽和する磁性層が良い
と考えられていた。
【００１３】そこで、磁気異方性Ｈｋが、８．０×１０
-2ｋＡ／ｍ（１Ｏｅ）よりも小さな材料を用いてみたと
ころ、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体を密着さ
せた状態では弱磁場においても磁気転写用マスター担体
上の磁性層の磁化は飽和する。そのため、約３０Ａ／ｍ
である地磁気、あるいは電磁石鉄芯の残留磁化による磁
界で磁気転写用マスター担体の磁性層の磁化が飽和する
ことがあり、記録情報を記録した部分以外のスレーブ媒
体の磁化状熊が変化し、信号品位が低下することを見出
した。
-2ｋＡ／ｍ（１Ｏｅ）よりも小さな材料を用いてみたと
ころ、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体を密着さ
せた状態では弱磁場においても磁気転写用マスター担体
上の磁性層の磁化は飽和する。そのため、約３０Ａ／ｍ
である地磁気、あるいは電磁石鉄芯の残留磁化による磁
界で磁気転写用マスター担体の磁性層の磁化が飽和する
ことがあり、記録情報を記録した部分以外のスレーブ媒
体の磁化状熊が変化し、信号品位が低下することを見出
した。
【００１４】一方、飽和磁化に達するまでの時間を要す
高磁気異方性磁性層を具備した磁気転写用マスター担体
を使用した場合には、磁気転写用マスター担体とスレー
ブ媒体を密着させた状態で磁界を印加すると、磁気転写
用マスター担体上の磁性層に吸収されるべき磁界がスレ
ーブ媒体上に漏れ出し、情報記録したパターンのスレー
ブ媒体の磁化状態が変化し出力低下が起こることも見出
した。こうした解析結果を踏まえ、磁気転写用マスター
担体の異方性磁界Ｈｋの大きさとスレーブ媒体の保磁力
Ｈｃの関係を詳細に調べた結果、４×１０-4＜Ｈｋ／Ｈ
ｃ＜２×１０-1の関係を満たすことで、磁気転写方法に
より記録した信号の品位劣化が防止可能であることを見
出した。
高磁気異方性磁性層を具備した磁気転写用マスター担体
を使用した場合には、磁気転写用マスター担体とスレー
ブ媒体を密着させた状態で磁界を印加すると、磁気転写
用マスター担体上の磁性層に吸収されるべき磁界がスレ
ーブ媒体上に漏れ出し、情報記録したパターンのスレー
ブ媒体の磁化状態が変化し出力低下が起こることも見出
した。こうした解析結果を踏まえ、磁気転写用マスター
担体の異方性磁界Ｈｋの大きさとスレーブ媒体の保磁力
Ｈｃの関係を詳細に調べた結果、４×１０-4＜Ｈｋ／Ｈ
ｃ＜２×１０-1の関係を満たすことで、磁気転写方法に
より記録した信号の品位劣化が防止可能であることを見
出した。
【００１５】本発明は、磁気転写用マスター担体とスレ
ーブ媒体を密着して磁気記録媒体に磁気転写を行う磁気
転写方法において、磁気転写用マスター担体の異方性磁
界（Ｈｋ）がスレーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）に対して４
×１０-4＜Ｈｋ／Ｈｃ＜２×１０-1の関係にあるこ磁気
転写方法を提供するものである。
ーブ媒体を密着して磁気記録媒体に磁気転写を行う磁気
転写方法において、磁気転写用マスター担体の異方性磁
界（Ｈｋ）がスレーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）に対して４
×１０-4＜Ｈｋ／Ｈｃ＜２×１０-1の関係にあるこ磁気
転写方法を提供するものである。
【００１６】本発明の磁気転写方法に使用する磁気転写
用マスター担体は、以下の方法によって作製することが
できる。磁気転写用マスター担体の基板としては、シリ
コン、アルミニウム、ガラス、合成樹脂等の表面が平滑
な部材を用いることができる。まず、これらの基板上に
フォトレジストを塗布し、磁気転写により形成するパタ
ーンに合致したレジストパターンをパターン露光、ある
いは直接けがきにより形成する。
用マスター担体は、以下の方法によって作製することが
できる。磁気転写用マスター担体の基板としては、シリ
コン、アルミニウム、ガラス、合成樹脂等の表面が平滑
な部材を用いることができる。まず、これらの基板上に
フォトレジストを塗布し、磁気転写により形成するパタ
ーンに合致したレジストパターンをパターン露光、ある
いは直接けがきにより形成する。
【００１７】パターン露光の場合は反応性エッチング、
またはアルゴンプラズマ等による物理的エッチング、ま
たは液体によるエッチングにより、基板上にパターンを
形成する。次いで、スパッタリングにより磁性層を所定
の部分に、所定の厚さに成膜する。その後、フォトレジ
ストをリフトオフで除去する。また、磁気転写の際にス
レーブ媒体と接触する凸状の磁性層のみをフォトファブ
リケーションで作製しても良い。
またはアルゴンプラズマ等による物理的エッチング、ま
たは液体によるエッチングにより、基板上にパターンを
形成する。次いで、スパッタリングにより磁性層を所定
の部分に、所定の厚さに成膜する。その後、フォトレジ
ストをリフトオフで除去する。また、磁気転写の際にス
レーブ媒体と接触する凸状の磁性層のみをフォトファブ
リケーションで作製しても良い。
【００１８】また、微細加工を行う方法として射出成形
法を用いても良い。射出成形法について説明すると、フ
ォトレジストを塗布したガラス基板を回転しながら、サ
ーボ信号に対応して変調したレーザーを照射しフォトレ
ジストをガラス面全体に露光する。該レジストを現像し
て、ガラス基板を現像しガラスに凹凸を形成する。次い
で、レジストを除去して凹凸を形成したガラス基板上に
めっきを行い、凹凸が形成されためっき原盤を作製す
る。めっき板材料としては、ニッケルもしくはニッケル
合金を使用することができる。また、めっき原盤の耐久
性を向上させるために、ダイヤモンド状炭素等の炭素膜
をスパッタリング等によって形成しても良い。
法を用いても良い。射出成形法について説明すると、フ
ォトレジストを塗布したガラス基板を回転しながら、サ
ーボ信号に対応して変調したレーザーを照射しフォトレ
ジストをガラス面全体に露光する。該レジストを現像し
て、ガラス基板を現像しガラスに凹凸を形成する。次い
で、レジストを除去して凹凸を形成したガラス基板上に
めっきを行い、凹凸が形成されためっき原盤を作製す
る。めっき板材料としては、ニッケルもしくはニッケル
合金を使用することができる。また、めっき原盤の耐久
性を向上させるために、ダイヤモンド状炭素等の炭素膜
をスパッタリング等によって形成しても良い。
【００１９】めっき原盤を使用し射出成形などの方法に
より、パターン形成した樹脂基板を作製する。樹脂材料
としてはポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート
等のアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル・塩化ビニル共重合
体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂、アモルファス
ポリオレフィンおよびポリエステルなどが使用可能であ
る。耐湿性、寸法安定性および価格等の点からポリカー
ボネートが好ましい。また、形成しためっき原盤にバリ
がある場合はバーニシュまたはポリッシュにより除去す
る。パターンの溝深さは５０〜１０００ｎｍの範囲が好
ましい。より好ましくは２００〜５００ｎｍの範囲であ
る。
より、パターン形成した樹脂基板を作製する。樹脂材料
としてはポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート
等のアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル・塩化ビニル共重合
体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂、アモルファス
ポリオレフィンおよびポリエステルなどが使用可能であ
る。耐湿性、寸法安定性および価格等の点からポリカー
ボネートが好ましい。また、形成しためっき原盤にバリ
がある場合はバーニシュまたはポリッシュにより除去す
る。パターンの溝深さは５０〜１０００ｎｍの範囲が好
ましい。より好ましくは２００〜５００ｎｍの範囲であ
る。
【００２０】磁性材料としてはＣｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮ
ｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ
合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏ、Ｎｉ、ＦｅＮｉＭｏ、Ｆｅ
ＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金
（ＮｉＦｅ）が用いることができる。特に好ましくはＦ
ｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。
ｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ
合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏ、Ｎｉ、ＦｅＮｉＭｏ、Ｆｅ
ＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金
（ＮｉＦｅ）が用いることができる。特に好ましくはＦ
ｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。
【００２１】また、本発明の磁気転写方法に使用する磁
気転写用マスター担体の磁性層の形成に先だって、非磁
性の下地層を設けることが好ましく、下地層の結晶構造
と格子常数を磁性層のそれに一致させることが好まし
い。下地層を形成する材料としては、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、
ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を挙
げることができる。
気転写用マスター担体の磁性層の形成に先だって、非磁
性の下地層を設けることが好ましく、下地層の結晶構造
と格子常数を磁性層のそれに一致させることが好まし
い。下地層を形成する材料としては、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、
ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を挙
げることができる。
【００２２】また、磁性層の異方性磁界（Ｈｋ）は磁性
層材料、スパッタリング時の圧力、作製温度、スパッタ
リングの際の投入電力により調整することができる。ま
た、直流スパッタリング、交流スパッタリング等のスパ
ッタリングに用いる方式等を変えることによっても調整
可能である。
層材料、スパッタリング時の圧力、作製温度、スパッタ
リングの際の投入電力により調整することができる。ま
た、直流スパッタリング、交流スパッタリング等のスパ
ッタリングに用いる方式等を変えることによっても調整
可能である。
【００２３】また、磁性層上にダイヤモンド状炭素（Ｄ
ＬＣ）等の保護膜を設けても良く、潤滑剤層を設けても
良い。特に保護膜として５〜３０ｎｍのダイヤモンド状
炭素膜と潤滑剤が存在することが更に好ましい。潤滑剤
が存在すると、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体
との接触過程で生じるずれを補正する際に摩擦が生じた
場合にも、耐久性を高めることが可能となる。
ＬＣ）等の保護膜を設けても良く、潤滑剤層を設けても
良い。特に保護膜として５〜３０ｎｍのダイヤモンド状
炭素膜と潤滑剤が存在することが更に好ましい。潤滑剤
が存在すると、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体
との接触過程で生じるずれを補正する際に摩擦が生じた
場合にも、耐久性を高めることが可能となる。
【００２４】以下に、本発明に使用するスレーブ媒体に
ついて説明する。スレーブ媒体としては、強磁性金属粒
子を結合剤中に分散した塗布型磁気記録媒体、あるいは
基板上に強磁性金属薄膜を形成した金属薄膜型磁気記録
媒体を用いることができる。
ついて説明する。スレーブ媒体としては、強磁性金属粒
子を結合剤中に分散した塗布型磁気記録媒体、あるいは
基板上に強磁性金属薄膜を形成した金属薄膜型磁気記録
媒体を用いることができる。
【００２５】塗布型磁気記録媒体としては、Ｚｉｐ（ア
イオメガ社）用記録媒体であるＺｉｐ１００、Ｚｉｐ２
５０、あるいはＨｉＦＤと呼ばれる高密度フロッピーデ
ィスクなどの磁気記録媒体が挙げられる。スレーブ媒体
の保磁力Ｈｃが１０３ｋＡ／ｍ（１３００Ｏｅ）以上、
３１３ｋＡ／ｍ（４０００Ｏｅ）未満であることが好ま
しく、更に１２７ｋＡ／ｍ（１６００Ｏｅ）以上、２３
９ｋＡ／ｍ（３０００Ｏｅ）未満であることがより好ま
しい。スレーブ媒体の保磁力Ｈｃが１０３ｋＡ／ｍ未満
では、６．４５ｃｍ2あたり１Ｇｂ（１ギガビット／平
方インチ）以上の高密度記録情報を保持することはでき
ない。逆に３１３ｋＡ／ｍ）以上では、スレーブ媒体に
記録可能な磁気記録ヘッドが存在しない。
イオメガ社）用記録媒体であるＺｉｐ１００、Ｚｉｐ２
５０、あるいはＨｉＦＤと呼ばれる高密度フロッピーデ
ィスクなどの磁気記録媒体が挙げられる。スレーブ媒体
の保磁力Ｈｃが１０３ｋＡ／ｍ（１３００Ｏｅ）以上、
３１３ｋＡ／ｍ（４０００Ｏｅ）未満であることが好ま
しく、更に１２７ｋＡ／ｍ（１６００Ｏｅ）以上、２３
９ｋＡ／ｍ（３０００Ｏｅ）未満であることがより好ま
しい。スレーブ媒体の保磁力Ｈｃが１０３ｋＡ／ｍ未満
では、６．４５ｃｍ2あたり１Ｇｂ（１ギガビット／平
方インチ）以上の高密度記録情報を保持することはでき
ない。逆に３１３ｋＡ／ｍ）以上では、スレーブ媒体に
記録可能な磁気記録ヘッドが存在しない。
【００２６】金属薄膜型磁気記録媒体としては、磁性材
料として、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、
ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒ
Ｂ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰ
ｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。磁束密度が
大きく、磁気転写用マスター担体の磁性層と同じ方向、
すなわち面内記録なら面内方向、垂直なら垂直方向の磁
気異方性を有していることが明瞭な転写が行えるため好
ましい。
料として、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、
ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒ
Ｂ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰ
ｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。磁束密度が
大きく、磁気転写用マスター担体の磁性層と同じ方向、
すなわち面内記録なら面内方向、垂直なら垂直方向の磁
気異方性を有していることが明瞭な転写が行えるため好
ましい。
【００２７】磁性層の下部、すなわち基板側に必要な磁
気異方性を形成するために非磁性の下地層を設けること
が好ましく、結晶構造と格子常数を磁性層に合致させる
ことが好ましい。具体的には、下地層形成用材料として
は、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、
Ｎｉ、Ｒｕ等を挙げることができる。
気異方性を形成するために非磁性の下地層を設けること
が好ましく、結晶構造と格子常数を磁性層に合致させる
ことが好ましい。具体的には、下地層形成用材料として
は、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、
Ｎｉ、Ｒｕ等を挙げることができる。
【００２８】本発明の磁気転写用マスター担体の異方性
磁界（Ｈｋ）とスレーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）の関係
は、４×１０-4＜（Ｈｋ／Ｈｃ）＜２×１０-1の範囲に
あることが望ましい。更に好ましくは４×１０-3＜（Ｈ
ｋ／Ｈｃ）＜１．５×１０-1の範囲である。
磁界（Ｈｋ）とスレーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）の関係
は、４×１０-4＜（Ｈｋ／Ｈｃ）＜２×１０-1の範囲に
あることが望ましい。更に好ましくは４×１０-3＜（Ｈ
ｋ／Ｈｃ）＜１．５×１０-1の範囲である。
【００２９】
【実施例】以下に実施例を示し本発明を説明する。 実施例１ ３．５型磁気転写用マスター担体には、シリコンウエハ
ー円盤を基板としＦｅＣｏ（Ｃｏ：３０ａｔ％）からな
る厚さ１５０ｎｍの磁性層を形成した。パターンは円盤
中心から半径方向２０ｍｍ〜４０ｍｍの位置まで幅８μ
ｍの等間隔の放射状ライン、ライン間隔は半径方向２０
ｍｍの最内周位置で８μｍ間隔とした。磁性層はスパッ
タリング装置（アネルバ社製７３０Ｈ）で直流スパッタ
リング法を使用し、作製温度は２５℃、アルゴンスパッ
タリング圧３．３×１０-4Ｐａ（０．２５ｍＴｏｒ
ｒ）、投入電力２．５４Ｗ／ｃｍ2とした。
ー円盤を基板としＦｅＣｏ（Ｃｏ：３０ａｔ％）からな
る厚さ１５０ｎｍの磁性層を形成した。パターンは円盤
中心から半径方向２０ｍｍ〜４０ｍｍの位置まで幅８μ
ｍの等間隔の放射状ライン、ライン間隔は半径方向２０
ｍｍの最内周位置で８μｍ間隔とした。磁性層はスパッ
タリング装置（アネルバ社製７３０Ｈ）で直流スパッタ
リング法を使用し、作製温度は２５℃、アルゴンスパッ
タリング圧３．３×１０-4Ｐａ（０．２５ｍＴｏｒ
ｒ）、投入電力２．５４Ｗ／ｃｍ2とした。
【００３０】スレーブ媒体には、市販のアイオメガ社Ｚ
ｉｐ２５０用塗布型磁気記録媒体（富士写真フイルム
製）を使用した。スレーブ媒体の保磁力Ｈｃは１９９ｋ
Ａ／ｍ（２５０００ｅ）であった。スレーブ媒体を３９
８ｋＡ／ｍ（５０００Ｏｅ）で初期直流磁化した後、磁
気転写用マスター担体とスレーブ媒体とを密着して、初
期直流磁化とは反対の方向に１９９ｋＡ／ｍ（２５００
Ｏｅ）の磁界を印加して記録情報をスレーブ媒体へ転写
した。得られたスレーブ媒体を以下の評価方法によって
評価を行い、磁気転写情報の評価を行った。
ｉｐ２５０用塗布型磁気記録媒体（富士写真フイルム
製）を使用した。スレーブ媒体の保磁力Ｈｃは１９９ｋ
Ａ／ｍ（２５０００ｅ）であった。スレーブ媒体を３９
８ｋＡ／ｍ（５０００Ｏｅ）で初期直流磁化した後、磁
気転写用マスター担体とスレーブ媒体とを密着して、初
期直流磁化とは反対の方向に１９９ｋＡ／ｍ（２５００
Ｏｅ）の磁界を印加して記録情報をスレーブ媒体へ転写
した。得られたスレーブ媒体を以下の評価方法によって
評価を行い、磁気転写情報の評価を行った。
【００３１】実施例２ 実施例１記載の磁気転写用マスター担体の作成温度を６
０℃に変更した点を除き実施例１と同様にして実施例２
のマスター担体を作製し実施例１と同様に磁気転写を行
って評価を行った。
０℃に変更した点を除き実施例１と同様にして実施例２
のマスター担体を作製し実施例１と同様に磁気転写を行
って評価を行った。
【００３２】実施例３ 実施例１記載の磁気転写用マスター担体の磁性層をＣｏ
ＦｅＮｉ（原子比６５：２２：１３）に変更した点を除
き実施例１と同様に実施例３の磁気転写用マスター担体
を作製し実施例１と同様に磁気転写を行って評価を行っ
た。
ＦｅＮｉ（原子比６５：２２：１３）に変更した点を除
き実施例１と同様に実施例３の磁気転写用マスター担体
を作製し実施例１と同様に磁気転写を行って評価を行っ
た。
【００３３】実施例４ 実施例１記載の磁気転写用マスター担体の磁性層をＮｉ
Ｆｅ（原子比８０：２０）に変更した点を除き実施例１
と同様に実施例４の磁気転写用マスター担体を作製して
実施例１と同様に磁気転写を行って評価を行った。
Ｆｅ（原子比８０：２０）に変更した点を除き実施例１
と同様に実施例４の磁気転写用マスター担体を作製して
実施例１と同様に磁気転写を行って評価を行った。
【００３４】比較例１ 実施例４記載の磁気転写用マスター担体の磁性層の作製
温度を１００℃に変更した点を除き実施例４と同様に比
較例１の磁気転写用マスター担体を作製して実施例１と
同様にして磁気転写を行って評価を行った。
温度を１００℃に変更した点を除き実施例４と同様に比
較例１の磁気転写用マスター担体を作製して実施例１と
同様にして磁気転写を行って評価を行った。
【００３５】比較例２ 比較例１記載の磁気転写用マスター担体の磁性層をＮｉ
ＦｅＣｕＭｏ（原子比７６：１４：６：４）に変更した
点を除き比較例１と同様の比較例２のマスター損体。
ＦｅＣｕＭｏ（原子比７６：１４：６：４）に変更した
点を除き比較例１と同様の比較例２のマスター損体。
【００３６】比較例３ 実施例１記載の磁気転写用マスター担体の磁性層をスパ
ッタリングの際の圧力を１．３×１０-2Ｐａ（１０ｍＴ
ｏｒｒ）に変更した点を除き実施例１と同様に比較例３
の磁気転写用マスター担体を作製し、実施例１と同様に
磁気転写を行った後に評価を行った。
ッタリングの際の圧力を１．３×１０-2Ｐａ（１０ｍＴ
ｏｒｒ）に変更した点を除き実施例１と同様に比較例３
の磁気転写用マスター担体を作製し、実施例１と同様に
磁気転写を行った後に評価を行った。
【００３７】比較例４ 実施例１記載の磁気転写用マスター担体の磁性層を、Ｉ
ｒＭｎ（原子比５０：５０）の下地層を設けた点を除き
実施例１と同様にして比較例４の磁気転写用マスター担
体を作製した。ＩｒＭｎ下地層の作製温度は２００℃で
あり、スパッタリング圧力は３．３×ｌＯ-2Ｐａ（２５
ｍＴｏｒｒ）、膜厚は３０ｎｍとした。
ｒＭｎ（原子比５０：５０）の下地層を設けた点を除き
実施例１と同様にして比較例４の磁気転写用マスター担
体を作製した。ＩｒＭｎ下地層の作製温度は２００℃で
あり、スパッタリング圧力は３．３×ｌＯ-2Ｐａ（２５
ｍＴｏｒｒ）、膜厚は３０ｎｍとした。
【００３８】（評価方法） １．異方性磁界の測定方法 交流消磁機で磁気転写用マスター担体を交流消磁する。
その後、軟磁性資料振動型磁力計（ＶＳＭ）で、磁界ゼ
ロの状態から磁界を増加させ、磁化値を測定する。磁化
値が頭打ち、すなわち飽和した時の磁界を異方性磁界と
した。
その後、軟磁性資料振動型磁力計（ＶＳＭ）で、磁界ゼ
ロの状態から磁界を増加させ、磁化値を測定する。磁化
値が頭打ち、すなわち飽和した時の磁界を異方性磁界と
した。
【００３９】２．転写信号の品位 電磁変換特性測定装置（協同電子製：ＳＳ−６０）によ
りスレーブ媒体の転写信号の評価を行った。ヘッドに
は、ヘッドギャップ：０．２３μｍ、トラック幅：３．
０μｍであるインダクティブヘッドにより再生信号を観
察し、磁気転写後のスレーブ媒体のディスク内周部（デ
ィスク半径２０ｍｍ）で測定を行った。ディスク１周分
の磁気信号強度（ＴＡＡ出力）を測定し、ＤＴＡＡとし
て表現した。
りスレーブ媒体の転写信号の評価を行った。ヘッドに
は、ヘッドギャップ：０．２３μｍ、トラック幅：３．
０μｍであるインダクティブヘッドにより再生信号を観
察し、磁気転写後のスレーブ媒体のディスク内周部（デ
ィスク半径２０ｍｍ）で測定を行った。ディスク１周分
の磁気信号強度（ＴＡＡ出力）を測定し、ＤＴＡＡとし
て表現した。
【００４０】上記ヘッドによる記録再生の磁気信号強度
（ＨＴＡＡ）とＤＴＡＡの比を（１）式で定義する 信号強度比＝（ＤＴＡＡ／ＨＴＡＡ）×１００ （１） （１）式の値が９５％以上であれば良好、それ以下であ
れば不良と評価した。また、磁気転写後の信号品位を確
認するために、再生信号を観測し、得られた再生信号を
デジタルオシロスコープ（レクロイ社製ＬＣ３３４Ａ
Ｍ）に入力し、信号の半値幅（ＰＷ５０）により評価し
た。ＰＷ５０が３００ｎｍ以下であれば良好、それ以上
では不良とした。
（ＨＴＡＡ）とＤＴＡＡの比を（１）式で定義する 信号強度比＝（ＤＴＡＡ／ＨＴＡＡ）×１００ （１） （１）式の値が９５％以上であれば良好、それ以下であ
れば不良と評価した。また、磁気転写後の信号品位を確
認するために、再生信号を観測し、得られた再生信号を
デジタルオシロスコープ（レクロイ社製ＬＣ３３４Ａ
Ｍ）に入力し、信号の半値幅（ＰＷ５０）により評価し
た。ＰＷ５０が３００ｎｍ以下であれば良好、それ以上
では不良とした。
【００４１】
【表１】 異方性磁界(Hk) Ｈｋ／Ｈｃ 信号強度比 半値幅 (kA/m) ×100 (nm) 実施例１ 15.9 8.0×10-2 96(良好) 282(良好) 実施例２ 2.4 1.2×10-2 96(良好) 280(良好) 実施例３ 6.4 3.2×10-2 97(良好) 279(良好) 実施例４ 0.4 2.0×10-3 97(良好) 277(良好) 比較例１ 0.07 3.6×10-4 96(良好) 301(不良) 比較例２ 0.04 2.0×10-4 93(不良) 305(不良) 比較例３ 40.0 2.0×10-1 90(不良) 280(良好) 比較例４ 44.6 2.2×10-1 91(不良) 283(良好)
【００４２】
【発明の効果】以上のように、本発明の磁気転写用マス
ター担体を用いた磁気転写方法によって、ハードディス
ク、大容量リムーバブルディスク媒体、大容量フレキシ
ブル媒体等のディスク状媒体に、短時間に生産性良く、
トラッキング用サーボ信号やアドレス情報信号、再生ク
ロック信号等のプリフォーマット記録を転写信号の品位
の低下をきたすことなく安定した磁気転写を行うことが
できる。
ター担体を用いた磁気転写方法によって、ハードディス
ク、大容量リムーバブルディスク媒体、大容量フレキシ
ブル媒体等のディスク状媒体に、短時間に生産性良く、
トラッキング用サーボ信号やアドレス情報信号、再生ク
ロック信号等のプリフォーマット記録を転写信号の品位
の低下をきたすことなく安定した磁気転写を行うことが
できる。
Claims (4)
- 【請求項１】 磁気記録媒体に磁気転写を行う方法にお
いて、磁気転写用マスター担体の異方性磁界（Ｈｋ）が
スレーブ媒体の保磁力（Ｈｃ）に対して４×１０-4＜
（Ｈｋ／Ｈｃ）＜２×１０-1の関係にあることを特徴と
する磁気転写方法。 - 【請求項２】 磁気記録情報が記録された磁性層を有す
る磁気転写用マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体
とを密着させて磁気転写用マスター担体の磁気記録情報
をスレーブ媒体に転写する磁気転写方法において、予め
スレーブ媒体の磁化をトラック方向に初期直流磁化した
後、磁気転写用マスター担体と初期直流磁化したスレー
ブ媒体とを密着させスレーブ面の初期直流磁化方向と逆
向きの方向に転写用磁界を印加し磁気転写をおこなうこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気転写方法。 - 【請求項３】 磁気記録媒体としてスレーブ媒体の保磁
力Ｈｃが１０３ｋＡ／ｍ以上、３１３ｋＡ／ｍ未満であ
る磁気記録媒体を用いることを特徴とする請求項１ない
し２記載の磁気転写方法。 - 【請求項４】 磁気記録媒体が請求項１ないし３のいず
れかに記載の方法によってサーボ信号を記録したもので
あることを特徴とする磁気記録媒体。
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=18572852
Family Applications (1)
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| CN1149542C (zh) | 1998-10-29 | 2004-05-12 | 松下电器产业株式会社 | 主信息载体和使用了主信息载体的磁记录媒体的制造方法 |
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| US6798590B2 (en) * | 2002-01-22 | 2004-09-28 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for contact magnetic transfer of servo pattern to hard magnetic recording disk |
| CN1277251C (zh) * | 2002-01-30 | 2006-09-27 | 富士胶片株式会社 | 磁记录介质 |
| JP2003303413A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気転写装置 |
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| SG143046A1 (en) * | 2003-06-30 | 2008-06-27 | Shinetsu Chemical Co | Substrate for magnetic recording medium |
| KR20100000323A (ko) | 2008-06-24 | 2010-01-06 | 삼성전자주식회사 | 서보 마스터 및 이를 이용한 자기 전사 방법 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS4944405A (ja) | 1972-09-08 | 1974-04-26 | ||
| US4363038A (en) * | 1980-07-14 | 1982-12-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Contact duplication system using anisotropic magnetic recording media |
| JPS5826328A (ja) * | 1981-08-11 | 1983-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気テ−プ転写方式 |
| JPS63177317A (ja) | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Toshiba Corp | 磁気転写方法 |
| JPS63183623A (ja) | 1987-01-23 | 1988-07-29 | Sony Corp | 可撓性デイスクへの接触磁界転写方法 |
| JP3547022B2 (ja) * | 1994-12-16 | 2004-07-28 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP4056095B2 (ja) * | 1995-01-10 | 2008-03-05 | 富士フイルム株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP3343326B2 (ja) | 1997-03-27 | 2002-11-11 | 松下電器産業株式会社 | マスター情報担体 |
| TW342495B (en) | 1996-07-22 | 1998-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Master information carrier, method of producing the same, and method for recording master information signal on magnetic recording medium |
| JP3323743B2 (ja) | 1996-07-22 | 2002-09-09 | 松下電器産業株式会社 | マスター情報担体および磁気記録媒体の製造方法 |
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