JP2000195048A

JP2000195048A - 磁気転写用マスタ―担体および転写方法

Info

Publication number: JP2000195048A
Application number: JP33802199A
Authority: JP
Inventors: Makoto Nagao; 信長尾; Kazutoshi Katayama; 和俊片山
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1999-01-01
Filing date: 1999-11-29
Publication date: 2000-07-14

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気記録媒体へ記録情報を転写する磁気転写
用マスター担体および転写方法を提供する。【解決手段】磁気記録媒体へ記録情報を転写する磁気
転写用マスター担体において、基板上に転写用記録情報
に応じたパターンの強磁性層からなる複数の転写情報記
録部が存在し、それぞれの転写情報記録部の間には、空
間もしく非磁性部が存在しており、転写情報記録部の表
面硬度が２０ＧＰａ以上であるとともに、表面には厚さ
５ｎｍ〜３０ｎｍのダイヤモンド状炭素保護膜を有して
いる磁気転写用マスター担体。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大容量、高記録密
度の磁気記録再生装置用の磁気記録媒体への記録情報の
転写に使用する磁気転写用マスター担体に関し、特に大
容量、高記録密度の磁気記録媒体へのサーボ信号、アド
レス信号、その他通常の映像信号、音声信号、データ信
号等の記録に用いられる磁気転写用マスター担体に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】デジタル画像の利用の進展等で、パソコ
ン等で取り扱う情報量が飛躍的に増加している。情報量
の増加によって、情報を記録する大容量で安価で、しか
も記録、読み出し時間の短い磁気記録媒体が求められて
いる。ハードディスク等の高密度記録媒体や、ＺＩＰ
（アイオメガ社）等の大容量のリムーバル型の磁気記録
媒体では、フロッピーディスクに比べて情報記録領域は
狭トラックで構成されており、狭いトラック幅を正確に
磁気ヘッドを走査し、信号の記録と再生を高Ｓ／Ｎ比で
行うためには、トラッキングサーボ技術を用いて正確な
走査を行うことが必要である。

【０００３】そこで、ハードディスク、リムーバル型の
磁気記録媒体のような大容量の磁気記録媒体では、ディ
スクの１周に対して、一定の角度間隔でトラッキング用
サーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が
記録された領域を設けており、磁気ヘッドは、一定間隔
でこれらの信号を再生することにより、ヘッドの位置を
確認、修正しながら正確にトラック上を走査している。
これらの信号は、磁気記録媒体の製造時にプリフォーマ
ットと称してあらかじめ磁気記録媒体に記録することが
行われている。

【０００４】トラッキング用サーボ信号やアドレス情報
信号、再生クロック信号等の記録には正確な位置決め精
度が要求されるので、磁気記録媒体をドライブに組み込
んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて厳密に位置制御
された磁気ヘッドによりプリフォーマット記録が行われ
ている。

【０００５】しかしながら、磁気ヘッドによるサーボ信
号やアドレス情報信号、再生クロック信号のプリフォー
マット記録においては、専用のサーボ記録装置を用いて
磁気ヘッドを厳密に位置制御しながら記録を行うため
に、プリフォーマット記録に多くの時間を要し、磁気記
録密度の増大に伴ってプリフォーマット記録すべき信号
量が多くなり、さらに多くの時間を要することになる。
また、ヘッドと磁気記録媒体との間のスペーシングや記
録ヘッドの形状による記録磁界の広がりのため、プリフ
ォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移が急峻性
に欠けるという点があった。

【０００６】また、磁気転写用マスター担体からの転写
の際には、外部からの磁界で励磁しても磁気転写用マス
ター担体の磁化が消磁することがないように、被転写記
録媒体の保磁力（Ｈｃ）よりも３倍以上大きな保磁力を
持つものを用いる必要がある。平面状の磁性体を部分的
に磁化する場合には、高密度記録用の被転写記録媒体に
使用されている磁性体の抗磁力は２０００Ｏｅ程度であ
るから、磁気転写用マスター担体の保磁力は６０００Ｏ
ｅ以上となり、磁気ヘッドで精密に磁化することは事実
上不可能であった。

【０００７】そこで、こうした従来の問題点を解決する
記録方法として、特開平１０−４０５４４号公報におい
て、基体の表面に情報信号に対応する凹凸形状が形成さ
れ、凹凸形状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成
された磁気転写用マスター担体の表面を、強磁性薄膜あ
るいは強磁性粉塗布層が形成されたシート状もしくはデ
ィスク状磁気記録媒体の表面に接触、あるいはさらに交
流バイアス磁界、あるいは直流磁界を印加して凸部表面
を構成する強磁性材料を励磁することによって、凹凸形
状に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に記録する方
法が提案されている。

【０００８】この方法では、マスター担体の凸部表面を
プリフォーマットすべき磁気記録媒体、すなわちスレー
ブ媒体に密着させて同時に凸部を構成する強磁性材料を
励磁することにより、スレーブ媒体に所定のフォーマッ
トを形成する転写による方法であり、磁気転写用マスタ
ー担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させるこ
となく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォー
マット記録が可能であるという特徴を有している。しか
も記録に要する時間も極めて短時間であるという特徴を
有している。すなわち、前述した磁気ヘッドから記録す
る方法では、通常数分から数十分は必要であり、且つ記
録容量に比例して記録に要する時間はさらに長くなると
いう問題があったが、この磁気転写法であると、記録容
量や記録密度に関係なく１秒以下で転写を完了させるこ
とができるものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな記録方法では、記録枚数が少ない場合には、高精度
の記録が可能であるが、多くの磁気記録媒体のプリフォ
ーマットを行うと、情報記録領域の角部が乱れたり、記
録が欠けたりすることが起こり、多数枚の記録は困難で
あるという問題点を有していた。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、磁気記録媒体
へ記録情報を転写する磁気転写用マスター担体におい
て、基板上に転写用記録情報を磁化した複数の転写情報
記録部が存在し、それぞれの転写情報記録部の間には、
空間もしく非磁性部が存在しており、転写情報記録部の
表面硬度が２０ＧＰａ以上であるとともに、表面には厚
さ５ｎｍ〜３０ｎｍのダイヤモンド状炭素保護膜を有し
ている磁気転写用マスター担体である。また、転写情報
記録部のみに強磁性体を有し、他の部分には強磁性体を
有さない前記の磁気転写用マスター担体である。また、
磁気記録媒体への記録情報を転写する方法において、基
板上に転写用記録情報を磁化した複数の転写情報記録部
が存在し、それぞれの転写情報記録部の間には、空間も
しく非磁性部が存在しており、転写情報記録部の表面硬
度が２０ＧＰａ以上であるとともに、表面には厚さ５ｎ
ｍ〜３０ｎｍのダイヤモンド状炭素保護膜を有している
磁気転写用マスター担体と、表面硬度が１ＧＰａ以上で
可撓性を有したスレーブ媒体とを密着して磁気転写を行
う磁気転写方法である。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明は、凹凸を形成した磁気転
写用マスター担体の凸部に形成した記録情報をスレーブ
媒体へ転写する記録方法の問題点を解決するものであ
る。凹凸を形成した磁気転写用マスター担体の凸部の磁
気情報を転写する方法において、情報記録領域の角部が
欠けたり、あるいは記録が欠けたりすることが避けられ
なかったのは、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体
のそれぞれの表面硬度、可撓性等に問題があり、これら
を改良することによって大幅な改善が可能であることを
見いだして本発明を想到したものである。

【００１２】以下に、図面を参照して本発明を説明す
る。図３は、従来の磁気転写用マスター担体からスレー
ブ媒体への転写方法を説明する図である。磁気転写用マ
スター担体１には、強磁性薄膜２が形成されており、強
磁性薄膜の表面にはプリフォーマットに合わせて形成し
た凸部３が形成されている。磁気転写用マスター担体の
凸部３をスレーブ媒体５の表面に接触して励磁磁界６を
与えると、スレーブ媒体５には、マスター担体の凸部３
に応じた記録磁界７が形成されてスレーブ媒体のプリフ
ォーマットが行われる。

【００１３】ところが、このような方法によって磁気転
写用マスター担体を用いて多数回の転写を行うと、転写
した磁気記録情報にエッジの乱れや、記録が欠けたりす
ることが生じ、多数枚の転写は困難であった。この大き
な原因は、磁気転写用マスター担体の表面硬度が不充分
であることである。十分な硬度を有しない磁気転写用マ
スター担体は、転写回数を重ねるにつれ、磁気転写用マ
スター担体の転写パターンの一部、とくにエッジの部分
が欠けることで、転写パターンの形状が欠けたり、乱れ
が生じる。また欠けた部分から生じた微細な粉が磁気転
写用マスター担体とスレーブ媒体との間に入り、両者の
間に空間が生じることで、欠けていない磁気転写用マス
ター担体からの磁界も広がり、転写像が不鮮明になる。

【００１４】図３に示す磁気転写用マスター担体１は、
スレーブ媒体５と密着する凸部３の磁性層が凹部と一体
に形成されているので、凸部をスレーブ媒体５と密着し
て転写する際にも、凹部８と凸部３の間にはスレーブ媒
体５に対する距離が比較的短いので、凹部８の漏れ磁力
９がスレーブ媒体に影響を与えることが避けられず、転
写された磁気記録情報が乱れたり、あるいは記録が欠け
ることが生じ易い。そこで、本発明の磁気転写用マスタ
ー担体においては、磁性層は転写する部分のみに存在
し、その他の転写を行わない部分には存在しておらず、
基板面上には厚みが一様な磁性層が形成されていないこ
とが好ましい。

【００１５】図１は、本発明の磁気転写用マスター担体
とそれを用いたスレーブ媒体への記録情報の転写方法を
説明する図であり、磁気転写用マスター担体の面に垂直
な記録トラック方向の断面を示す図である。磁気転写用
マスター担体１には、非磁性基体、プリフォーマットに
応じた凸状の転写情報記録部１１が形成されている。転
写情報記録部１１上にはダイヤモンド状炭素保護膜１２
が形成されており、さらにダイヤモンド状炭素保護膜上
には潤滑剤層１３が形成されている。

【００１６】本発明の磁気転写用マスター担体をスレー
ブ媒体５と密着、あるいはさらに交流バイアス磁界、あ
るいは直流磁界等の励磁磁界６を印加して転写情報記録
部１０を励磁することによってスレーブ媒体の精密なプ
リフォーマットが行われる。

【００１７】なお、図１の説明においては、スレーブ媒
体を面内方向に磁化する磁気転写方法について述べた
が、磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体を接触した
状態で、スレーブ媒体の垂直方向に励磁磁界を与えるな
らば、スレーブ媒体を垂直方向に磁化することが可能で
ある。

【００１８】本発明の磁気転写用マスター担体およびス
レーブ媒体は、転写情報記録部１１に損傷が生じること
がないように、転写情報記録部には、ダンヤモンド状炭
素保護膜の形成によって充分な硬度を有していることが
好ましく、２０ＧＰａ以上の硬度を有していることが好
ましい。硬度が２０ＧＰａよりも小さい場合には、耐久
性が小さくなるので好ましくない。

【００１９】また、磁気転写用マスター担体の磁性層の
表面に形成する保護膜は、ダイヤモンド状構造炭素保護
膜を、メタン、エタン、プロパン、ブタン等のアルカ
ン、あるいはエチレン、プロピレン等のアルケン、また
はアセチレン等のアルキンをはじめとした炭素含有化合
物を原料としたプラズマＣＶＤによって形成しても良
い。この際、基板に５０〜４００Ｖの負電圧を印加する
ことが望ましい。炭素保護膜は３〜３０ｎｍの厚さとす
ることが好ましく、５〜１０ｎｍとすることがより好ま
しい。

【００２０】さらに、炭素保護膜上には潤滑剤が存在す
ることが好ましい。潤滑剤としては、パーフルオロアル
キル基を含む有機フッ素化合物等を潤滑剤と用いること
が好ましい。潤滑剤の厚さは２〜１０ｎｍとすることが
好ましい。潤滑剤が設けられた場合には、磁気転写用マ
スター担体とスレーブ媒体とが接触する際に生じる摩擦
による耐久性の低下を防止することが可能となる。

【００２１】また、磁気転写用マスター担体と接触する
スレーブ媒体は、表面硬度が１ＧＰａ以上であることが
好ましく、２ＧＰａ以上であることがより好ましく、磁
気転写用マスター担体と同様にダイヤモンド状炭素保護
膜を形成したものが好ましい。

【００２２】スレーブ媒体は、磁気転写用マスター担体
の密着によって傷が生じないように表面の硬度が高いも
のであるとともに、磁気転写用マスター担体と密着した
際に十分に密着するように可撓性を有していることが好
ましい。

【００２３】本発明において使用可能なスレーブ媒体
は、基材として合成樹脂フィルムを用いることが好まし
く、具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレンナフタレート、アラミド、ポリイミド、ポリフェ
ニレンベンズビスオキサザール等を挙げることができ
る。

【００２４】スレーブ媒体に形成する磁性層は、強磁性
金属薄膜から構成されたものの場合には高記録密度を有
する磁気記録媒体が得られるので好ましいが、強磁性金
属粉末を、結合剤中に分散した組成物を塗布することに
よって形成した磁性層を有するものであっても良い。そ
の場合には、磁性層の形成に使用する組成物中に混合す
る研磨剤の種類、あるいは量を調整することによって所
定の硬度のものを得ることができる。

【００２５】また、スレーブ媒体が強磁性金属薄膜を形
成したものである場合には、磁性層表面に、ダンヤモン
ド状炭素保護膜を形成し、さらに潤滑剤層を形成するこ
とが好ましい。

【００２６】次に、本発明の表面硬度について説明す
る。本発明の表面硬度は、微小硬度で表現したものであ
る。通常のビッカース、ヌープ硬度測定のように大きな
荷重で磁気転写用マスター担体に圧力を印加して行う測
定方法では、好ましい硬度範囲を見いだすことはできな
かった。硬度の測定は２枚の電極板の中間に圧子が設置
されたピックアップ電極が置かれた、電極の動きに伴う
静電容量の変化を用いて、力と変位を高感度に検出する
方法で測定できる。測定はダイヤモンド先端稜角９０
度、先端曲率半径３５〜５０ｎｍの三角錐型を用いて押
し込み加重５μＮで押し込み速度２〜４ｎｍ／秒で押し
込み、最大５μＮまでの圧力を印加し、その後圧力を徐
々に戻す。このときの最大荷重５μＮを圧子接触部の投
影面積で除算した値を硬度とする。

【００２７】投影面積は押し込み試験によって得られ深
さ−加重曲線のうち除荷曲線の１／３を直線近似して深
さ軸と交差する点を圧子接触部の接触深さとし、圧子の
形状より該接触深さの関数として求められる。通常のビ
ッカース、ヌープ硬度測定のように大きな荷重で媒体内
部（１００ｎｍ以上）かけて測定した硬度では転写の適
切なマスタ担体、方法を見出すことが出来なかった。具
体的には、ＴＲＩＢＯＳＣＯＰＥ（ＨＹＳＩＴＲＯＮ
社）等を用いて測定が可能である。

【００２８】次に本発明の磁気転写用マスター担体の製
造方法を図面を参照して説明する。図２は、本発明の磁
気転写用マスター担体の製造方法を工程順に説明する図
である。図２（Ａ）に示すように、表面が平滑な基板２
１に、非磁性導電性層２２を形成する。次いで、図２
（Ｂ）に示すように、非磁性導電性層上に磁性材料をス
パッタリング、真空蒸着、めっき等の手段によって成膜
して磁性層２３を形成する。

【００２９】さらに、図２（Ｃ）に示すように、磁性層
上にフォトレジスト２４を塗布する。フォトレジスト
は、ポジ型、ネガ型いずれのものを用いていも良い。次
いで、図２（Ｄ）に示すように、プリフォーマットのパ
ターンに応じたフォトマスク２５を用いてフォトレジス
ト２４を露光２６する。

【００３０】図２（Ｅ）に示すように、現像してフォト
レジスト２４にプリフォーマットの情報に応じたレジス
トパターン２７を形成する。次いで、図２（Ｆ）に示す
ように、磁性材料をレジストパターンに応じてエッチン
グする。

【００３１】次いで、図２（Ｇ）に示すように、フォト
レジストを除去して、転写用磁性層２８を形成する。さ
らに、図２（Ｈ）に示すように、転写用磁性層上には、
磁性層表面にダイヤモンド状炭素保護膜２９を形成した
後に、潤滑剤層３０を設けた後に一様な磁界を印加して
磁化する。

【００３２】図２では、あらかじめ形成した磁性層から
エッチングによって不要な磁性材料を除去して製造する
方法について説明をしたが、非磁性導電性層上にフォト
レジストのパターンを形成した後に、磁性層をスパッタ
リング等の成膜手段によって形成し、フォトレジストで
被われていない部分に磁性層を形成しても良い。

【００３３】本発明において、基板２１としては、シリ
コン、石英板、ガラス、アルミニウム等の非磁性金属ま
たは合金、セラミックス、合成樹脂等の表面が平滑な板
状体であり、エッチング、成膜工程での温度等の処理環
境に耐性を有するものを用いることができる。

【００３４】また、非磁性導電性層２２としては、非磁
性金属層が好ましく、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ等からな
る層を挙げることができる。また、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ等
の磁性金属と合金を形成したことによって非磁性化した
合金、カーボンブラックや非磁性金属などの導電性粒子
と結合剤とからなる層などが挙げられる。なかでも、Ｃ
ｏ、Ｃｏ系合金が好ましい。

【００３５】非磁性導電性層としては、１０⁷Ω・ｃｍ
以下であり、１０⁵Ω・ｃｍ以下の導電性を有している
層を形成することが好ましく、１０⁷Ω・ｃｍよりも導
電性が小さいものが好ましく、帯電防止効果を十分に得
ることができる。非磁性導電性層の厚さは１０ｎｍ以上
であり、好ましくは３０ｎｍ以上である。

【００３６】また、本発明において、磁性層に用いるこ
とができる磁性材料としては、磁束密度が大きなコバル
ト、鉄あるいはそれらの合金を用いることができる。具
体的には、Ｃｏ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣ
ｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮ
ｉ、Ｆｅ、ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＮｉ、ＣｏＮｂ、
ＦｅＳｉＡｌ、ＦｅＴａＮ等を挙げることができる。磁
性層の厚さとしては、２０〜１０００ｎｍであり、好ま
しくは３０ないし５００ｎｍである。あまり厚いと記録
分解能が低下する。

【００３７】特に、磁束密度が大きく、スレーブ媒体と
同じ方向、例えば面内記録の場合には面内方向、垂直記
録の場合には垂直方向の磁気異方性を有していることが
明瞭な転写が行うためには好ましい。磁性材料は、細か
な磁気粒子又はアモルファス構造を有していることが鋭
利なエッジが形成できる点からも好ましい。

【００３８】また、磁気材料に磁気異方性を形成するた
めには、非磁性の下地層を設けることが好ましく、結晶
構造と格子常数を磁性層と同様のものとすることが必要
である。具体的には、そのような下地層としては、Ｃ
ｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡ
ｌ、Ｒｕ等をスパッタリングによって成膜することがで
きる。

【００３９】また、磁気転写用マスター担体とスレーブ
媒体との密着は、ゴム板を挟んでアルミニウム板等の非
磁性体上から加圧することが好ましく、磁気転写用マス
ター担体とスレーブ媒体とを重ね合わせてその間に介在
する空気を減圧下で吸引する方法が有効である。

【００４０】本発明の磁気転写用マスター担体は、ハー
ドディスク、大容量リムーバル型磁気記録媒体等のディ
スク型磁気記録媒体への磁気記録情報の転写のみではな
く、カード型磁気記録媒体、テープ型磁気記録媒体への
磁気記録情報の転写にも用いることができる。

【００４１】また、本発明においては、磁気転写用マス
ター担体からスレーブ媒体への磁気転写をプリフォーマ
ットを例に説明したが、プリフォーマットに限らず、任
意の磁気記録情報の転写にも同様に適用することがで
き、短時間に大量な磁気記録情報を正確に転写すること
が可能である。また、磁気転写用マスター担体とスレー
ブ媒体の、転写時の位置関係はどちらが上または下にな
っても良く、密着方法は、固定した磁気転写用マスター
担体上へスレーブ媒体を載置して押さえつける方法、あ
るいは空気の吸引で密着する方法などが挙げられる。

【００４２】

【実施例】以下に、本発明の実施例を示し本発明を説明
する。実施例１（磁気転写用マスター担体の作製）ガラス基板に下地層
としてＣｒＴｉを６０ｎｍの厚さで形成した後に、Ｈｃ
１００ＯｅのＦｅＣｏ膜をスパッタリングによって２０
０ｎｍの厚さに形成した。次いで、フォトレジストを塗
布し、プリフォーマット用のフォトマスクを用いて露
光、現像してレジストパターンを形成した。次いで、５
０重量％の塩化第二鉄溶液を用いて磁性層をエッチング
した後に、フォトレジストを除去して、メタンとアルゴ
ンが体積比で１：１の混合気体を通気して、２×１０^-3
Ｔｏｏｒの真空度で高周波プラズマを発生させて基板に
２００Ｖの負の電圧を印加して炭素保護膜を１０ｎｍの
厚さで形成した。

【００４３】得られた磁気転写用マスター担体をＴＲＩ
ＢＯＳＣＯＰＥ（ＨＹＳＩＴＲＯＮ社）を用いて、ダイ
ヤモンド先端稜角９０度、先端曲率半径４０ｎｍの三角
錐型を用いて押し込み加重５μＮで押し込み速度３ｎｍ
／秒で押し込み、最大５μＮまでの圧力を印加し、その
後圧力を徐々に戻す。このときの最大荷重５μＮを圧子
接触部の投影面積で除算して硬度を求めたところ、３０
ＧＰａであった。

【００４４】（スレーブ媒体の作製）厚さ７５μｍのポ
リイミド基板上にＣｒＴｉを６０ｎｍの厚さでスパッタ
リングによって形成し、さらに、抗磁力（Ｈｃ）２００
０ＯｅのＣｏＰｔＣｒＴａ膜をスパッタリングで３０ｎ
ｍの厚さに形成して、磁性層を形成した。次いで、スパ
ッタリングによってダイヤモンド状炭素保護膜を形成
し、得られたスレーブ媒体を磁気転写用マスター担体と
同様の測定条件で表面硬度を測定したところ、２０ＧＰ
ａであった。次いで、６０００Ｏｅで直流磁化した。

【００４５】（転写試験方法）スレーブ媒体と磁気転写
用マスター担体とを密着して１９００Ｏｅの外部磁化を
スレーブ媒体の磁化とは逆方向の方向に印加した。磁気
転写用マスター担体とスレーブ媒体との密着は、ゴム板
を挟んでアルミニウム板上から加圧した。マスター担体
を変えて１００００回の転写後スレーブ媒体に転写され
た磁化パターンの状況を磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）で観察
し、光学顕微鏡で磁気転写用マスター担体の表面の破損
状況を観察した。スレーブ媒体の表面に良好な転写パタ
ーンが観察され、またマスター担体の表面の破損状況を
観察したところ、ほとんど欠けは見られなかった。

【００４６】比較例１炭素保護膜を形成しなかった点を除き、実施例１と同様
にして、磁気転写用マスター担体およびスレーブ媒体を
作製し、実施例１と同様にして転写試験を行い、表面の
状態を観察したところ、磁気転写用マスター担体には欠
けがみられ、また転写パターンにも欠けがみられた。

【００４７】

【発明の効果】本発明の磁気転写用マスター担体を用い
ることにより、ハードディスク、大容量リムーバブルデ
ィスク媒体、大容量フレキシブル媒体等のディスク状媒
体に、短時間に生産性良く、トラッキング用サーボ信号
やアドレス情報信号、再生クロック信号等のプリフォー
マット記録の転写を多数回安定して高精度に行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の磁気転写用マスター担体とそ
れを用いたスレーブ媒体への記録情報の転写方法を説明
する図である。

【図２】図２は、本発明の磁気転写用マスター担体の製
造方法を工程順に説明する図である。

【図３】図３は、従来の磁気転写用マスター担体からス
レーブ媒体への転写方法を説明する図である。

【符号の説明】

１…磁気転写用マスター担体、２…強磁性薄膜、３…凸
部、５…スレーブ媒体、６…励磁磁界、７…記録磁界、
８…凹部、９…漏れ磁力、１１…転写情報記録部、１２
…ダイヤモンド状炭素保護膜、１３…潤滑剤層、１４…
ダイヤモンド状炭素保護膜、１５…潤滑剤層、２１…基
板、２２…非磁性導電性層、２３…磁性層、２４…フォ
トレジスト、２５…フォトマスク、２６…露光、２７…
レジストパターン、２８…転写用磁性層、２９…ダイヤ
モンド状炭素保護膜、３０…潤滑剤層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気記録媒体へ記録情報を転写する磁気
転写用マスター担体において、基板上に転写用記録情報
に応じた強磁性体からなる複数の転写情報記録部が存在
し、それぞれの転写情報記録部の間には、空間もしく非
磁性部が存在しており、転写情報記録部の表面硬度が２
０ＧＰａ以上であるとともに、表面には厚さ３ｎｍ〜３
０ｎｍのダイヤモンド状炭素保護膜を有していることを
特徴とする磁気転写用マスター担体。
【請求項２】転写情報記録部のみに強磁性体を有し、
他の部分には強磁性体を有さないことを特徴とする請求
項１記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項３】磁気記録媒体への記録情報を転写する方
法において、基板上に転写用記録情報を磁化した複数の
転写情報記録部が存在し、それぞれの転写情報記録部の
間には、空間もしく非磁性部が存在しており、転写情報
記録部の表面硬度が２０ＧＰａ以上であるとともに、表
面には厚さ５ｎｍ〜３０ｎｍのダイヤモンド状炭素保護
膜を有している磁気転写用マスター担体と、表面硬度が
１ＧＰａ以上で可撓性を有したスレーブ媒体とを密着し
て磁気転写を行うことを特徴とする磁気転写方法。